WO2007025519A3 - Verfahren und vorrichtung zum abformen von strukturen - Google Patents

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WO2007025519A3 PCT/DE2006/001506 DE2006001506W WO2007025519A3 WO 2007025519 A3 WO2007025519 A3 WO 2007025519A3 DE 2006001506 W DE2006001506 W DE 2006001506W WO 2007025519 A3 WO2007025519 A3 WO 2007025519A3
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Fraunhofer Ges Forschung
Thomas Otto
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Abstract

Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren sowie eine Vorrichtung zum Abformen von Strukturen, bei denen ein Substrat (7) auf einem Substrat träger (1) positioniert wird, der ein oder mehrere integrierte Kanäle (5) zum Ansaugen des Substrates (7) mittels Unterdruck aufweist. Zwischen dem Substratträger (1) und dem Substrat (7) wird beim vorliegenden Verfahren eine Zwischenplatte (4) eingesetzt, die nach dem Prägevorgang vom Substrat (7) getrennt wird, indem der Substrat träger (1) und ein Werkzeugträger (2) , von dem das Prägewerkzeug (3) bei diesem Schritt gehalten wird, auseinander bewegt werden. Die Zwischenplatte (4) wird anschließend vom Substratträger (1) entfernt und das Substrat (7) durch entgegen gesetzte Bewegung von Substrat träger (1) und/oder Werkzeugträger (2) mit dem Substratträger (1) in Kontakt gebracht und durch Ansaugen gehalten. Im nächsten Schritt wird das Substrat (4) vom Prägewerkzeug (3) getrennt, indem der Substrat träger (1) und der Werkzeugträger (2) , von dem das Prägewerkzeug (3) gehalten wird, auseinander bewegt werden. Das vorliegende Verfahren und die zugehörige Vorrichtung ermöglichen ein schnelles und automatisierbares Wechseln des Substrates sowie ein automatisiertes Trennen des Substrates vom Prägewerkzeug.
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