WO2007004665B1 - 振動波検出装置 - Google Patents
振動波検出装置Info
- Publication number
- WO2007004665B1 WO2007004665B1 PCT/JP2006/313381 JP2006313381W WO2007004665B1 WO 2007004665 B1 WO2007004665 B1 WO 2007004665B1 JP 2006313381 W JP2006313381 W JP 2006313381W WO 2007004665 B1 WO2007004665 B1 WO 2007004665B1
- Authority
- WO
- WIPO (PCT)
- Prior art keywords
- diaphragm
- sound
- detection device
- resonators
- acoustic
- Prior art date
Links
- 230000003534 oscillatory effect Effects 0.000 title 1
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 claims 9
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims 7
- 230000010255 response to auditory stimulus Effects 0.000 claims 2
- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims 1
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 abstract 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01H—MEASUREMENT OF MECHANICAL VIBRATIONS OR ULTRASONIC, SONIC OR INFRASONIC WAVES
- G01H11/00—Measuring mechanical vibrations or ultrasonic, sonic or infrasonic waves by detecting changes in electric or magnetic properties
- G01H11/06—Measuring mechanical vibrations or ultrasonic, sonic or infrasonic waves by detecting changes in electric or magnetic properties by electric means
- G01H11/08—Measuring mechanical vibrations or ultrasonic, sonic or infrasonic waves by detecting changes in electric or magnetic properties by electric means using piezoelectric devices
-
- H—ELECTRICITY
- H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
- H04R—LOUDSPEAKERS, MICROPHONES, GRAMOPHONE PICK-UPS OR LIKE ACOUSTIC ELECTROMECHANICAL TRANSDUCERS; DEAF-AID SETS; PUBLIC ADDRESS SYSTEMS
- H04R7/00—Diaphragms for electromechanical transducers; Cones
- H04R7/02—Diaphragms for electromechanical transducers; Cones characterised by the construction
- H04R7/04—Plane diaphragms
- H04R7/06—Plane diaphragms comprising a plurality of sections or layers
- H04R7/08—Plane diaphragms comprising a plurality of sections or layers comprising superposed layers separated by air or other fluid
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01H—MEASUREMENT OF MECHANICAL VIBRATIONS OR ULTRASONIC, SONIC OR INFRASONIC WAVES
- G01H13/00—Measuring resonant frequency
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01H—MEASUREMENT OF MECHANICAL VIBRATIONS OR ULTRASONIC, SONIC OR INFRASONIC WAVES
- G01H3/00—Measuring characteristics of vibrations by using a detector in a fluid
- G01H3/04—Frequency
- G01H3/08—Analysing frequencies present in complex vibrations, e.g. comparing harmonics present
-
- H—ELECTRICITY
- H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
- H04R—LOUDSPEAKERS, MICROPHONES, GRAMOPHONE PICK-UPS OR LIKE ACOUSTIC ELECTROMECHANICAL TRANSDUCERS; DEAF-AID SETS; PUBLIC ADDRESS SYSTEMS
- H04R1/00—Details of transducers, loudspeakers or microphones
- H04R1/20—Arrangements for obtaining desired frequency or directional characteristics
- H04R1/22—Arrangements for obtaining desired frequency or directional characteristics for obtaining desired frequency characteristic only
- H04R1/24—Structural combinations of separate transducers or of two parts of the same transducer and responsive respectively to two or more frequency ranges
- H04R1/245—Structural combinations of separate transducers or of two parts of the same transducer and responsive respectively to two or more frequency ranges of microphones
-
- H—ELECTRICITY
- H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
- H04R—LOUDSPEAKERS, MICROPHONES, GRAMOPHONE PICK-UPS OR LIKE ACOUSTIC ELECTROMECHANICAL TRANSDUCERS; DEAF-AID SETS; PUBLIC ADDRESS SYSTEMS
- H04R17/00—Piezoelectric transducers; Electrostrictive transducers
- H04R17/02—Microphones
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Signal Processing (AREA)
- Acoustics & Sound (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Multimedia (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Otolaryngology (AREA)
- Measurement Of Mechanical Vibrations Or Ultrasonic Waves (AREA)
- Piezo-Electric Transducers For Audible Bands (AREA)
- Transducers For Ultrasonic Waves (AREA)
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
- Examining Or Testing Airtightness (AREA)
Abstract
音波に応じて振動する板状のダイヤフラム２に結合され、それぞれが異なる特定の周波数に共振する複数の共振ビーム５を有するセンサ本体１を支持部１１で支持し、センサ本体１上にダイヤフラム２の一方面と他方面とを音響的に分離するためのキャップ２を備え、ダイヤフラム２の一方面に加わる音圧と他方面に加わる音圧との差圧を大きくして感度を向上させる。
Claims
[1] (補正後） 外部の対象とする音源からの音波に応じて振動する板状の振動板と、
前記振動板に結合され、 それぞれが異なる特定の周波数に共振する複数の共振子 と、
前記振動板の一方面と他方面とを音響的に分離し、 前記音源と前記振動板の他方 面とを遮断するための音響遮断部を備える、 振動波検出装置。
[2] 前記音響遮断部は、 少なくとも前記振動板の他方面に接する空間を前記一方面に 接する空間から遮断する遮断壁を含む、 請求項 1に記載の振動波検出装置。
[3] 前記音響遮断部は、
前記振動板と前記共振子の他方面に密閉された空室を形成する支持部材と、 前記複数の共振子の一方面を覆うキヤップとを含む、 請求項 1に記載の振動波検 出装置。
[4] 前記キャップは、 前記振動板と前記複数の共振子との境界部分に対向し、 所定の 空隙を有して前記音波の通過を阻止する音響遮断空隙部を含む、 請求項 3に記載の 振動波検出装置。
[5] 前記キャップは、 前記音波を前記振動板に入力するために開口された開口部を含 む、 請求項 3に記載の振動波検出装置。
[6] 前記キャップは、 前記複数の共振子を覆い、 内部に共振用キヤビティが形成され た封止部を含む、 請求項 3に記載の振動波検出装置。
[7] 前記音響遮断部は、 前記振動板の一方面から遮断された空室を他方面側に形成し、 前記振動板と前記複数の共振子との境界部分に対向し、 所定の空隙を有して前記音 波の通過を阻止する音響遮断空隙部が形成された壁を含む、 請求項 1に記載の振動 波検出装置。
[8] 音波に応じて振動する板状の振動板と、
前記振動板に結合され、 それぞれが異なる特定の周波数に共振する複数の共振子 と、
前記振動板と前記複数の共振子とを覆い、 前記振動板の一方面に、 所定の空隙を 介して対向して設けられる薄膜部を有する音響遮断部を備える、 振動波検出装置。 補正された用弒 (条約第 19条)
条約 19条 (1)に基づく説明書 国際調査報告において引用された文献 1、 J P 2003— 75284A (ダイ キン工業株式会社） との差異を明確にするために、 請求項 1には、 外部の対象と する音源と振動板の他方面とを遮断する限定を取り入れた。
引用文献 1は、 圧縮機などの製品の漏れ検査を行うものであり、 音源の方向を 特定可能な音源定位センサを備えた防音箱の内部に圧縮機をセットし、 圧縮機の 内部に流体を供給し、 圧縮機から流体が流出しているときに、 その吐出音の発生 位置を複数の音源センサにより特定して、 検査対象物における漏れ位置を検出す るに過ぎず、 本願発明におけるフィッシュボーン構造のセンサについて記載され ていない。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CA002614135A CA2614135A1 (en) | 2005-07-06 | 2006-07-05 | Vibration-wave detector |
| AU2006266731A AU2006266731A1 (en) | 2005-07-06 | 2006-07-05 | Oscillatory wave detecting apparatus |
| EP06767887A EP1909079A1 (en) | 2005-07-06 | 2006-07-05 | Oscillatory wave detecting apparatus |
| US11/988,208 US20090140612A1 (en) | 2005-07-06 | 2006-07-05 | Vibration-Wave Detector |
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2005197798A JP4256367B2 (ja) | 2005-07-06 | 2005-07-06 | 振動波検出装置 |
| JP2005-197798 | 2005-07-06 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| WO2007004665A1 WO2007004665A1 (ja) | 2007-01-11 |
| WO2007004665B1 true WO2007004665B1 (ja) | 2007-08-09 |
Family
ID=37604525
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| PCT/JP2006/313381 WO2007004665A1 (ja) | 2005-07-06 | 2006-07-05 | 振動波検出装置 |
Country Status (8)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US20090140612A1 (ja) |
| EP (1) | EP1909079A1 (ja) |
| JP (1) | JP4256367B2 (ja) |
| KR (1) | KR20080017430A (ja) |
| AU (1) | AU2006266731A1 (ja) |
| CA (1) | CA2614135A1 (ja) |
| TW (1) | TW200718926A (ja) |
| WO (1) | WO2007004665A1 (ja) |
Families Citing this family (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE102014108984B4 (de) | 2014-06-26 | 2017-04-06 | Tdk Corporation | Wandlerelement |
| DE102014009476A1 (de) * | 2014-06-30 | 2015-07-16 | Mann + Hummel Gmbh | Schalldruck-Erfassungsvorrichtung und elektrischer Schalldrucksensor |
| KR102207928B1 (ko) * | 2014-08-13 | 2021-01-26 | 삼성전자주식회사 | 음향 센싱 소자 및 주파수 정보 획득 방법 |
| KR102452948B1 (ko) | 2017-07-18 | 2022-10-11 | 삼성전자주식회사 | 미소 기계식 공진기 및 이를 포함하는 공진기 시스템 |
| KR102364853B1 (ko) | 2017-07-18 | 2022-02-18 | 삼성전자주식회사 | 음향 센싱 소자의 신호 처리 방법과 음향 센싱 시스템 |
| KR102335774B1 (ko) | 2017-09-01 | 2021-12-06 | 삼성전자주식회사 | 다중 공진기 어레이를 포함하는 소리 방향 탐지 센서 |
| KR102395994B1 (ko) * | 2017-12-27 | 2022-05-11 | 삼성전자주식회사 | 지향성 마이크로폰 |
| US11234086B2 (en) | 2019-01-11 | 2022-01-25 | Hemideina Pty Ltd | Acoustic devices |
| CN110550598B (zh) * | 2019-09-04 | 2022-09-30 | 中国科学院电子学研究所 | 谐振式差压传感器及其制备方法 |
| JP7508060B2 (ja) * | 2020-02-07 | 2024-07-01 | 多摩川精機株式会社 | Ａｅセンサ用音片アレイ配列構造、その配列構成方法、およびａｅセンサ |
| KR20220037551A (ko) * | 2020-09-17 | 2022-03-25 | 삼성전자주식회사 | 공진기 및 차동 증폭기를 포함하는 센서 인터페이스 |
| CN112595408B (zh) * | 2020-12-10 | 2021-07-23 | 四川度飞科技有限责任公司 | 动态共振传感装置 |
| WO2023015477A1 (zh) | 2021-08-11 | 2023-02-16 | 深圳市韶音科技有限公司 | 一种传声器 |
Family Cites Families (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US1806871A (en) * | 1931-05-26 | Search room u | ||
| DE3731196A1 (de) * | 1987-09-17 | 1989-03-30 | Messerschmitt Boelkow Blohm | Frequenzselektiver schallwandler |
| JP3348687B2 (ja) * | 1998-05-22 | 2002-11-20 | 住友金属工業株式会社 | 振動波検出方法及び装置 |
| JP3344335B2 (ja) * | 1998-10-28 | 2002-11-11 | 住友金属工業株式会社 | 音響センサ |
| JP3353728B2 (ja) * | 1999-01-06 | 2002-12-03 | 住友金属工業株式会社 | 音響振動センサ |
| US7166910B2 (en) * | 2000-11-28 | 2007-01-23 | Knowles Electronics Llc | Miniature silicon condenser microphone |
| JP2003075284A (ja) * | 2001-08-31 | 2003-03-12 | Daikin Ind Ltd | 漏れ検査方法 |
-
2005
- 2005-07-06 JP JP2005197798A patent/JP4256367B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2006
- 2006-07-05 EP EP06767887A patent/EP1909079A1/en not_active Withdrawn
- 2006-07-05 US US11/988,208 patent/US20090140612A1/en not_active Abandoned
- 2006-07-05 CA CA002614135A patent/CA2614135A1/en not_active Abandoned
- 2006-07-05 AU AU2006266731A patent/AU2006266731A1/en not_active Abandoned
- 2006-07-05 KR KR1020087000061A patent/KR20080017430A/ko active IP Right Grant
- 2006-07-05 WO PCT/JP2006/313381 patent/WO2007004665A1/ja active Application Filing
- 2006-07-06 TW TW095124664A patent/TW200718926A/zh not_active IP Right Cessation
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| AU2006266731A1 (en) | 2007-01-11 |
| JP4256367B2 (ja) | 2009-04-22 |
| TWI292037B (ja) | 2008-01-01 |
| TW200718926A (en) | 2007-05-16 |
| WO2007004665A1 (ja) | 2007-01-11 |
| US20090140612A1 (en) | 2009-06-04 |
| KR20080017430A (ko) | 2008-02-26 |
| JP2007017233A (ja) | 2007-01-25 |
| EP1909079A1 (en) | 2008-04-09 |
| CA2614135A1 (en) | 2007-01-11 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| WO2007004665B1 (ja) | 振動波検出装置 | |
| JP2007017233A5 (ja) | ||
| JP7173784B2 (ja) | 音方向探知センサー | |
| KR102160370B1 (ko) | 발음기 | |
| US20130180388A1 (en) | Percussion instrument apparatus, system and process | |
| JP2007003443A (ja) | 異常状態検出方法およびシート状圧電センサ | |
| JP2012522656A (ja) | マイクロメカニカルシステムおよびマイクロメカニカルシステムを製造する方法 | |
| CN112714380A (zh) | 声音方向传感器和装置 | |
| JP5607997B2 (ja) | ノイズキャンセルヘッドホンのための安定動作検査装置 | |
| JP5328990B2 (ja) | 空中超音波センサ | |
| JPS646690B2 (ja) | ||
| US3353400A (en) | Ultrasonic transducer and gas analyzer | |
| JP5893119B2 (ja) | クラック検査装置 | |
| JP2010243276A (ja) | 相対圧力センサー、相対圧力測定装置及び相対圧力測定方法 | |
| TW201509198A (zh) | 具振膜支撐結構的聲波傳感器 | |
| US10856086B2 (en) | Piezoelectric acoustic component | |
| Chen et al. | Enhanced stiffness sensitivity in a mode localized sensor using internal resonance actuation | |
| JP5705091B2 (ja) | クラック検査装置 | |
| JP2021524042A (ja) | １ｄ超音波変換器ユニット | |
| JP5372529B2 (ja) | 防音箱 | |
| US11667247B2 (en) | Ultrasonic sensor | |
| Feeney et al. | Venting in the comparative study of flexural ultrasonic transducers to improve resilience at elevated environmental pressure levels | |
| WO2014188688A1 (ja) | センサ装置 | |
| Walsh et al. | Influence of air masses on microphone vibration sensitivity | |
| JP2006279471A (ja) | 共鳴装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| 121 | Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application | ||
| WWE | Wipo information: entry into national phase |
Ref document number: 2006266731 Country of ref document: AU Ref document number: 1020087000061 Country of ref document: KR |
|
| ENP | Entry into the national phase |
Ref document number: 2614135 Country of ref document: CA |
|
| WWE | Wipo information: entry into national phase |
Ref document number: 11988208 Country of ref document: US Ref document number: 2006767887 Country of ref document: EP |
|
| NENP | Non-entry into the national phase |
Ref country code: DE |
|
| ENP | Entry into the national phase |
Ref document number: 2006266731 Country of ref document: AU Date of ref document: 20060705 Kind code of ref document: A |
|
| WWP | Wipo information: published in national office |
Ref document number: 2006266731 Country of ref document: AU |