WO2007004319A1

WO2007004319A1 - ガス放電管、光源装置及び液体クロマトグラフ

Info

Publication number: WO2007004319A1
Application number: PCT/JP2005/022790
Authority: WO
Inventors: Yoshinobu Ito; Masaki Ito; Koji Matsushita
Original assignee: Hamamatsu Photonics K.K.
Priority date: 2005-06-30
Filing date: 2005-12-12
Publication date: 2007-01-11
Also published as: AU2006201679B9; KR101143181B1; AU2006201679B2; JP4932185B2; CN101031992B; AU2006201679A1; EP1830390B1; US7557509B2; KR20070120871A; JP2007012471A; EP1830390A4; CN101031992A; US20080246400A1; EP1830390A1

Description

明細書

ガス放電管、光源装置及び液体クロマトグラフ

技術分野

[0001] この発明は、出射光を得るための放電をガスが封入された密封容器内で発生させるガス放電管、光源装置及び液体クロマトグラフに関するものである。

背景技術

[0002] 例えば液体クロマトグラフや半導体検査装置等の光源に採用される光源装置は、所定波長の光を出射するガス放電管と、このガス放電管の背面側に配置され可視光を該ガス放電管に向けて出射する可視光光源とを、少なくとも備えている。このような光源装置に使用されるガス放電管は、放電を発生させる一対の陰極部及び陽極部を備えており、陽極部には可視光光源からの可視光を通過させる円形開口が設けられている。この陽極部に設けられた円形開口は、該円形開口を通過した可視光が陽極部と陰極部との間の放電路を狭窄する放電狭窄用孔 (放電路制限部)を通過可能な位置に配置されている。（例えば、特許文献 1、 2参照)。

特許文献 1：特開昭 59— 215654号公報

特許文献 2 :特開平 5— 109389号公報

特許文献 3：特開 2001— 35238号公報

発明の開示

発明が解決しょうとする課題

[0003] 発明者らは、上述の従来技術にっ、て検討した結果、以下のような課題を発見した。すなわち、従来のガス放電管において、放電狭窄用孔を通過する可視光光源からの光量を増やす場合、陽極部の円形開口の径を、放電狭窄用孔の径に対して大きく設定する必要がある。しかしながら、この場合、放電狭窄用孔と陽極部の開口縁部との間の距離が長くなり、放電始動性が低下してしまう。力！]えて、陽極部の面積も小さくなることから（陽極部表面に対する開口面積の比率が大きくなる）、陽極部の温度が上昇し易くなる。この結果、従来のガス放電管では、陽極部の消耗が加速してしまうと V、う課題 (ガス放電管の短寿命化）があった。 [0004] この発明は上述のような課題を解決するためになされたものであり、放電始動性の維持と陽極部における寿命低下の防止の双方を実現するとともに、放電路制限部を通過する可視光光源力の可視光の光量増加を可能にするための構造を備えたガス放電管、光源装置及び液体クロマトグラフを提供することを目的として!ヽる。

課題を解決するための手段

[0005] この発明に係るガス放電管は、ガスが封入された密封容器を備え、この密封容器内には、陰極部と、陽極部と、放電路制限部とがそれぞれ配置されている。上記陰極は、放電に寄与する熱電子を発生させる電極である。上記陽極部は、陰極部力ゝらの熱電子を受容する電極であって、これら陰極部及び陽極部間で放電が生じる。上記放電路制限部は、陰極部と陽極部との間の放電路を狭窄するよう機能する。特に、この発明に係るガス放電管において、陽極部は、放電路制限部に対面している第 1面と該第 1面に対向する第 2面を有するとともに、これら第 1面及び第 2面を連絡する開口部が設けられている。当該ガス放電管において、この開口部の断面 (第 1面に一致する基準面上で規定される）は、非円形状を有することを特徴としている。

[0006] また、この発明に係る光源装置は、上述のような構造を有するガス放電管 (この発明に係るガス放電管）と、該ガス放電管の陽極部の開口部に向けて可視光を出射する可視光光源とを備える。さらに、この発明に係る液体クロマトグラフは、上記光源装置を含む。

[0007] 上述のような構造を有するガス放電管、光源装置及び液体クロマトグラフによれば、陽極部に形成された開口部の断面は非円形状である。そのため、例えば密閉容器の管軸方向に沿った開口幅（開口長さ L)を従来のガス放電管における陽極部の円形開口（以下、従来の円形開口という）の径より長くする一方、密封容器の管軸方向に直交する方向に沿った開口幅（開口幅 W)を従来の円形開口の径と一致させることができる。このように、開口長さ Lを従来の円形開口の径より長くすることで、当該ガス放電管における陽極部の開口部を通過する可視光 (ガス放電管の後方に配置された可視光光源力も供給される）の光量を増加させることができる。一方、開口幅 Wを従来の円形開口の径と一致させることで、放電始動性の維持と陽極部の寿命低下の防止の双方が実現可能になる。なお、この明細書において、「非円形状」とは、長円形状、楕円形状、矩形形状、正方形形状、ひし形形状、平行四辺形形状、その他の多角形形状、及びこれらを組み合わせた形状を含む。換言すれば、「開口部」は、ガス放電管の出射光の光軸 Xに沿って延びる方向から視た断面形状が上述の形状であればよい。また、この明細書において、「開口長さ L」、「開口幅 W」とは、光軸 Xに垂直な面内において、開口部を規定する陽極部の縁部間の距離 (直線距離で規定される開口幅)及びこれらを示す線分のうち、開口部の軸心を通る互いに直交する線分をいう。また、「開口長さ L」は「開口幅 W」より長い。

[0008] より具体的には、陽極部における開口部の断面は、第 1方向の最大開口幅と該第 1 方向と直交する第 2方向の最大開口幅とが異なっている非円形状ということができる。ここで、第 1方向が密封容器の管軸方向に一致している場合、第 1方向の最大開口幅は開口長さ Lに相当し、第 2方向の開口幅は開口幅 Wに相当する。このとき、従来の円形開口の径を基準にすると、開口長さ Lを従来の円形開口の径より長くし、開口幅 Wを従来の円形開口の径と一致させることが可能になる。なお、「径」とは、従来のガス放電管の出射光の光軸に沿って延びる方向から視た開口部の縁部間の距離（直線距離で規定される開口幅)及びこれを示す線分のうち、開口部の軸心を通る線分をいう。

[0009] また、この発明に係るガス放電管において、開口部の断面は、長円形状、楕円形状、矩形形状のうちいずれかを有するのが好ましい。なお、開口部の断面は、これら形状の他、開口部における一部の開口幅力当該開口部を規定する陽極部の縁部から基準面に沿って延びた突起によって調節された形状であってもよい。特に、第 2方向の開口幅（開口幅 W)を制限する場合、開口部の断面は、開口部における第 2方向の最大開口幅が、当該開口部を規定する陽極部の縁部から第 2方向に延びた突起によって調節される。いずれの断面形状であっても開口部の開口面積の増加を抑えつつ、所定方向の開口幅を従来の円形開口の径より大きくすることができる。そのため、従来の円形開口の開口面積を単純に拡大させた場合と比較して、電流容量の増加により放電始動性を向上させることが可能になる。また、同様の比較において、陽極部の熱容量も増加するので、当該陽極部の寿命特性も向上させることが可能になる。なお、この明細書において、「長円形状」とは、開口部を規定する陽極部の縁部に、所定方向に沿って延びた互いに平行な直線部分が設けられることにより特定される形状をいう。すなわち、これら直線部（平行部）が第 1方向に沿って延びている場合、これら直線部間の開口幅が、開口幅 Wとなる。これらの直線部の端部間を結ぶ縁部は、直線、曲線 (例えば円弧状)のいずれであってもよい。

[0010] この発明に係るガス放電管は、密封容器の管軸方向と直交する方向に光を出射するサイドオン型のガス放電管であってもよい。この場合、陽極部の第 1面が密封容器の管軸方向 Yに平行になるように配置される。すなわち、開口部における開口長さ L ( 長い方の開口幅）が管軸方向 Yに沿って延びるように陽極部が配置されると、放電路制限部に対して開口部が管軸方向 Yに多少ずれたとしても放電始動性や陽極部の寿命低下への影響は少ない。逆に、陽極部の開口部と放電路制限部との位置決めが容易になり、当該ガス放電管の組立て効率を向上させることできる。ここで、「開口長さ Lが管軸方向に沿って延びる」とは開口長さと管軸が略同一の方向であることをいう。

[0011] なお、この発明に係る各実施例は、以下の詳細な説明及び添付図面によりさらに十分に理解可能となる。これら実施例は単に例示のために示されるものであって、この発明を限定するものと考えるべきではない。

[0012] また、この発明のさらなる応用範囲は、以下の詳細な説明から明らかになる。しかしながら、詳細な説明及び特定の事例はこの発明の好適な実施例を示すものではある力例示のためにのみ示されているものであって、この発明の思想及び範囲における様々な変形および改良はこの詳細な説明から当業者には自明であることは明らかである。

発明の効果

[0013] この発明に係るガス放電管、光源装置及び液体クロマトグラフによれば、放電始動性の維持と陽極部の寿命低下の防止の双方を実現するとともに、放電路制限部を通過する可視光光源からの可視光の光量の増加させることができる。

図面の簡単な説明

[0014] [図 1]は、この発明に係るガス放電管の一実施例の構造を示す斜視図である。

[図 2]は、図 1に示されたガス放電管の正面図である。 [図 3]は、図 1に示されたガス放電管の背面図である。

[図 4]は、図 2中の IV— IV線に沿った、第 1実施例に係るガス放電管の断面図である

[図 5]は、図 4中に示された発光組立体における支持部、放電路制限部及び陽極部を当該ガス放電管の背面側力示す分解斜視図である。

[図 6]は、図 4中に示された発光部組立体における支持部、放電路制限部及び陽極部の正面図である。

[図 7]は、図 4中に示された発光部組立体における支持部、放電路制限部及び陽極部の分解正面図である。

[図 8]は、図 4中に示された発光部組立体における放電路制限部及び導電板の正面図である。

圆 9]は、図 4中に示された放電路狭窄用孔及び開口部 (長円形状)の位置関係を示す縦断面図である。

圆 10]は、図 4中に示された放電路狭窄用孔及び開口部 (長円形状)の位置関係を示す背面図である。

[図 11]は、この発明に係る光源装置の一実施例の構造を示す断面図である。

[図 12]は、この発明に係る液体クロマトグラフの一実施例の構造を示す概略構成図である。

[図 13]は、この発明に係るガス放電管に適用可能な陽極部の他の構造を示す正面図である。

[図 14]は、この発明に係るガス放電管における放電路狭窄用孔及び陽極部の他の位置関係を示す断面図である。

[図 15]は、図 14中に示された陽極部の正面図である

[図 16]は、この発明に係るガス放電管に適用可能な陽極部のさらに他の構造を示す正面図である。

[図 17]は、この発明に係るガス放電管に適用可能な陽極部のさらに他の構造を示す正面図である。

符号の説明 [0015] 10· ··ガス放電管、 11· ··密封容器、 12、 32、 33、 34、 35· ··陽極部、 12a…長円開口、 13· ··陰極部、 26· ··放電路制限部、 26a…放電路狭窄用孔、 32a…楕円開口、 36a…矩形開口、 40…光源装置、 85· ··タングステンランプ (可視光光源）、 100…液体クロマトグラフ、 Dl、 D5、 D7、 D9、 Dl l…短幅（第 2方向の最大開口幅：開口幅）、 D2、 D6、 D8、 D10、 D12…長幅（第 1方向の最大開口幅：開口長さ）、 Y…管軸方向。

発明を実施するための最良の形態

[0016] 以下、この発明に係るガス放電管、光源装置及び液体クロマトグラフの各実施図 17 を用いて詳細に説明する。なお、図面の説明において、同一又は相当要素には同一の符号を付し、重複する説明は省略する。図 1〜図 4は、この発明に係るガス放電管の一実施例を示し、図 5〜図 8は、図 4中に示された発光部組立体を示し、図 9及び図 10は、図 4中に示された放電路狭窄用孔及び長円開口の位置関係を示す。なお、以下の説明において、出射光の進行方向を「前方」と定め、「前」、「後」、「正面」、「背面」等の方向を表す語を用いることとし、「上」、「下」等の方向を示す語については各図の状態において言うものとする。

[0017] 図 1〜図 4に示されたガス放電管 10は管軸方向 Υに対して垂直方向に紫外光（20 0〜400nm)を出射させるサイドオン型の重水素ランプであると同時に、後方から別の光を通過させ得るシースルー型のガス放電管でもある。このようなガス放電管 10は、ガス放電管 10の後方に配置された別の光源力ゝら出射される光を、ガス放電管 10の前方に置かれた対象物に当てることができ、例えば、分析機器や半導体検査装置等の光源として使用される。このガス放電管 10は、重水素ガスが数百 Pa程度封入されたガラス製の密封容器 11を備え、この密封容器 11内には、図 4に示されたように、陽極部 12及び陰極部 13を有する、紫外光を発光させる発光部組立体 14が収容されている。

[0018] 密封容器 11は、図 1〜図 3に示されたように、一端（図示上端)側が封止された円筒状の側管部 15と、この側管部 15の他端側を封止するステム部 16とで構成されている。側管部 15の一部は、光出射窓 17 (図 4参照）として利用されている。

[0019] ステム部 16には、複数 (この実施例では 7本）の導電性ステムピン 18a〜18gがそれぞれ貫通した状態で固定されている。これらステムピン 18a〜18gは、管軸方向 Y ( 側管の軸線方向；図示上下方向）に沿って延びている。また、図 5に示されたように、ステムピン 18d〜18fの先端部には、段差 28a〜28cが設けられている。これら段差 2 8a〜28cは、ステムピン 18c！〜 18fの先端部に接続される陽極部 12及び後述の導電板 27の後方に延びる腕部 27a、 27aの管軸方向 Yの位置合わせに利用される。

[0020] 発光部組立体 14は、アーク放電を発生させて紫外光を出射する。発光部組立体 1 4は、図 4に示されたように、放電に寄与する熱電子を発生させる陰極部 13及びこの陰極部 13からの熱電子を受容する陽極部 12の他に、陽極部 12を収容する収容空間 21が形成されたベース部材 22及び放電路制限部 26を支持する支持部材 23、この支持部材 23の前面側に配置され、紫外光が通過する光通過口 24aが形成されたフロントカバー 24により構成されている。そして、陰極部 13は、図 1に示されたステムピン 18a、 18cによって外部電源に電気的に接続されている。

[0021] ベース部材 22及び支持部材 23は、セラミックス等の絶縁性材料力もなる。支持部材 23は、図 4及び図 5に示されたように、その背面側に部収容空間 21となる凹部が形成された板状部材である。この凹部の中央には、開口 23aが形成され、この開口 2 3a内に陰極部 13と陽極部 12との間の放電路を制限するための放電路制限部 26が配置されている。また、支持部材 23には管軸方向 Yに延びる開口 23b、 23bが形成されており、これら開口 23b、 23bにステムピン 18b、 18cがそれぞれ挿入されている

[0022] 放電路制限部 26は、例えば、モリブデン、タングステン、あるいはこれらからなる合金等の金属からなり、導電性を有する。また、放電路制限部 26は、円筒形状を有し、その貫通孔は、図 8及び図 9に示されたように、放電路を狭窄する放電路狭窄用孔（直径約 0. 5mm) 26aと、アークボール形成用の円錐部 26bを有する。この放電路制限部 26の背面には、図 4及び図 8に示されたように導電板 27が電気的に接続されている。導電板 27は、図 4及び図 5に示されたように、ステムピン 18e、 18fに電気的に接続された状態で収容空間 21内に収容されて、る。

[0023] ベース部材 22は、支持部材 23の背面に固定され、図 4に示されたような板状部材である。その正面側には収容空間 21を構成する凹部が形成されている。凹部の中央には、図 3及び図 4に示されたように、背面側と連絡する開口 22aが形成されている。開口 22aは、ガス放電管 10の後方に配置された別の光源から出射された光を通過させる。そして、図 4に示されたように、ベース部材 22に形成された開口 22a、陽極部 1 2に形成された長円開口 12a、放電路制限部 26に形成された放電路狭窄用孔 26a 及び円錐部 26b、フロントカバー 24に形成された光通過口 24aは、同軸上に配置されている。

[0024] 陽極部 12は、図 4〜図 7に示されたように、放電路制限部 26に対面している第 1面 120aと、該第 1面と対向する第 2面 120bを有する板状電極である。この陽極部 12は、第 1面 120aと第 2面 120bとを連絡する開口部が設けられており、この開口部はステムピン 18dにより支持された状態で管軸方向 Yに沿って配置されている。すなわち、板状の陽極部 12はガス放電管 10の出射光の光軸 Xと略直交するように配置され、この陽極部 12の中央には、開口部として、その長幅 D2が管軸方向 Yに延びるように長円開口 12aが形成されている。なお、長円開口 12aの光軸 Xに垂直な面における断面形状は光軸 X方向に沿って一様である。以下、図 10に示されたように、長円開口 12aの短い方の開口幅（開口幅 W1)を短幅 D1とし、この短幅 D1に直交する長い方の開口幅（開口長さ L1)を長幅 D2という。ここで、短幅 D1の長さは、従来の円形開口の径と略一致しており、長幅 D2の長さは、従来の円形開口の径より長いものとする。なお、短幅 D1及び長幅 D2は、光軸 Xに垂直な面上に存在し、互いに直交している。また、長円開口 12aは、陽極部 12の縁部（長円開口 12aを規定している）に開口長さ L1方向に沿った互いに平行な直線部 12c、 12cを形成することにより得られる。このとき、直線部 12c、 12cの端部間を結ぶ縁部 12d、 12dは、外側に突出した頂部 12e、 12eを有する円弧状に加工されている。

[0025] 次に、図 5、図 7〜図 10を参照して、陽極部 12の長円開口 12aと放電路制限部 26 の放電路狭窄用孔 26aとの位置合わせについて説明する。まず、図 5及び図 8に示されたように、放電路制限部 26の背面に導電板 27が固定される。続いて、図 5及び図 7に示されたように、放電路制限部 26が支持部材 23の開口 23aに配置された状態で、支持部材 23と導電板 27とが固定される。一方、陽極部 12は、長円開口 12aが管軸方向 Yに沿って延びるように、ステムピン 18dの先端に陽極部 12の下端が段差 28aに当接した状態で固定される。

[0026] 次に、支持部材 23の開口 23b、 23bにステムピン 18b、 18cが挿入され、導電板 27 の腕部 27a、 27aの側面には、該腕部 27a、 27aの下端を段差 28b、 28cに当接させた状態でステムピン 18e、 18fが当接される。そして、放電路狭窄用孔 26aと長円開口 12aの軸心が略同軸上に位置するように、放電路制限部 26及び導電板 27が支持部材 23に対して所定位置に配置される。なお、図 9に示された放電路制限部 26と陽極部 12との距離 D3は、約 lmmである。ここで、長円開口 12aが管軸方向 Yに位置ズレを生じていた場合であっても、放電路狭窄用孔 26aが背面視 (正面視）において、長円開口 12aと重なる位置であれば問題は生じない。すなわち、長円開口 12aの形状により管軸方向 Yのズレが許容される。図 10中において、仮想線で示された 12 aは、長円開口 12aが管軸方向 Yに位置ズレを生じても問題のない範囲 Rを示している。

[0027] 次に、上述のような構造を有するガス放電管 10の動作について説明する。まず、放電前の 20秒程度の間に陰極用外部電源からステムピン 18a、 18cを介して 1 OW前後の電力が陰極部 13に供給される。これにより、陰極部 13を構成するコイルが予め熱せられる。次いで、陰極部 13と陽極部 12との間に主放電用外部電源カもステムピン 18dを介して 160V程度の電圧が印加され、アーク放電の準備が整う。

[0028] その後、トリガ用外部電源力も放電路制限部 26と陽極部 12との間にステムピン 18d 〜18fを介して所定電圧、例えば 350V程度の電圧が印加される。すると、陰極部 13 と陽極部 12との間で始動放電が発生し、その後、主放電用外部電源による主放電（アーク放電）が発生する。このように主放電が発生することで紫外光が光出射窓 17を通して出射される。

[0029] ここで、この実施例に係るガス放電管 10では、上述のように、陽極部 12には直交する 2つの幅 Dl、 D2のうち、一方の幅 D1が他方の幅 D2より短くなつている。そのため、幅 D2を従来の円形開口の径より大きくする一方、幅 D1を従来の円形開口の径と一致させることも可能である。このように、幅 D2を従来の円形開口の径より大きくすることで、ガス放電管 10の陽極部 12の長円開口 12aを通過する可視光光源からの可視光の光量を増カロさせることができる。一方、幅 D1を従来の円形開口の径と同程度にすることにより、放電始動性の維持と陽極部 12の寿命低下の防止の双方を実現することがでさる。

[0030] また、陽極部 12は、長円開口 12aを有するため、開口面積の増加を抑制しつつ、所定方向の開口幅を従来の円形開口の径より大きくすることができる。これにより、従来の円形開口の開口面積を単純に拡大させた場合と比較して、電流容量の増加により放電始動性が向上する。また、同様の比較において、陽極部 12の熱容量も増加するので当該陽極部 12の寿命特性も向上する。一方、所定方向の開口幅は広められて、るので、通過する可視光の光量を増加させることができる。

[0031] また、ガス放電管 10は、密封容器 11の管軸方向 Yと直交する方向に光を出射するサイドオン型のガス放電管である。したがって、陽極部 12はその長幅 D2が管軸方向 Yに沿って延びるよう長円開口 12aが形成される。そのため、放電路制限部 26の放電路狭窄用孔 26aに対して長円開口 12が管軸方向 Yに多少ずれた状態で配置されたとしても問題ない。逆に、長円開口 12aと放電路制限部 16との位置決めが容易になり、発光部組立体 14の組立効率を向上させることができる。

[0032] 次に、上述のような構造を有するガス放電管 10を備えた光源装置 40について説明する。図 11に示されたように、この光源装置 40は、極めて軽量かつコンパクトで、持ち運びに便利なポータブル型の光源装置である。この光源装置 40は直方体形状のスチール製筐体 41を備え、この筐体 41内には、ガス放電管 10と、該ガス放電管 10 の背面側（図示右側）に配置され可視光を出射するタングステンランプ 85と、これらガス放電管 10及びタングステンランプ 85に電力を供給する電源 44とが収納されている。

[0033] ガス放電管 10は、アルミ製のランプボックス 50内に収容されている。ランプボックス 50は、筐体 41の前部側（図示左側）に配置され、筐体 41の底面板 41aにネジ止めされている。そして、ガス放電管 10は、そのステム部 16が上方に位置するよう配置されている。

[0034] ランプボックス 50の正面側の前壁 50aには、ガス放電管 10の光通過口 24a (図 2参照）に対応する位置に出射光を通過させる開口 50bが形成されている。この開口 50b には、集光レンズ 80が配置されている。また、前壁 50aの正面には、開口 50bに対応する位置に、出射光を通過させる筒状の導光筒 70が設けられており、この導光筒 70 は、前方に向力つて延在している。ガス放電管 10から出射された紫外光は、集光レンズ 80を通過し、筐体 41外へ出射される。

[0035] ランプボックス 50の背面側の後壁 50cには、ガス放電管 10の開口 22a (図 3参照）に対応する位置に開口 50dが形成されている。この開口 50dには、後方に向かって延在し、タングステンランプ 85を収容するランプ収容筒 82が差し込まれている。ランプ収容筒 82の後端部には、タングステンランプ 85が配置され、ランプ収容筒 82の前端部には、集光レンズ 84が配置されている。タングステンランプ 85から出射された可視光は、集光レンズ 84、ガス放電管 10、集光レンズ 80を順次通過し、ガス放電管 10 から出射された紫外光と同じ経路を伝搬して筐体 41外に出射される。

[0036] このような構造を有する光源装置 40は、ガス放電管 10及びタングステンランプ 85 を備えているため、ガス放電管 10からの紫外光、タングステンランプ 85からの可視光、これらの光を組み合わせた出射光を発生させることができる。また、シースルータイプのガス放電管 10が適用されているため、光学系を省略することができ、小型化された光源装置 40が実現され得る。

[0037] 上述のような光源装置 40においても、ガス放電管 10の陽極部 12には長円開口 12 aが形成されているため、放電始動性の維持と陽極部の寿命低下の防止の双方を実現するとともに、ガス放電管 10を通過する可視光光源力もの可視光の光量を増加させることができる。その結果、当該光源装置 40全体としての出射光量を増加させることがでさる。

[0038] なお、当該光源装置 40は、可視光光源としてタングステンランプ 85を備えているが、ハロゲンランプを始めとしたその他の可視光光源を備えてもょ、。

[0039] 次に、上述のような構造を有する光源装置 40を備えた液体クロマトグラフ 100を説明する。この液体クロマトグラフ 100は、例えば、有機化合物の分析等に用いられる紫外可視吸光検出器である。図 12に示されたように、液体クロマトグラフ 100は、上記ガス放電管 10及びタングステンランプ 85を有する光源装置 40の他に、光源装置 40からの出射光の波長を最適化するホロミゥムオキサイドフィルタ 101と、分析対象物を搭載したセル 102と、セル 102を透過した光を回折させるスリット 103と、スリット 1 03で回折された光を分光するグレーティング 104と、グレーティング 104で分光された光を検出するフォトダイオード 105とを備える。スリット 103は、プログラムにより制御されスペクトル分解能や感度を最適化することができる。また、フォトダイオード 105は、アレイ状に並べられ複数波長を同時に検出することができる。そして、このような液体クロマトグラフ 100では、従来の液体クロマトグラフと比較して、より広い波長範囲（ 190ηπ！〜 950nm)での測定が可能になるため、信頼性の高い分析が可能になる。

[0040] 当該液体クロマトグラフ 100においても、上述のような構造を有するガス放電管 10 を備えているため、放電始動性の維持と陽極部の寿命低下の防止の双方を実現するとともに、ガス放電管 10を通過する可視光光源力もの可視光の光量の増加を可能にしている。

[0041] 次に、この発明に係るガス放電管に適用可能な陽極部の他の構造を、図 13を参照しながら説明する。この実施例が図 1〜4に示されたガス放電管と違う点は、陽極部に形成された開口部の形状が変更されている点である。具体的には、長円開口 12a が形成された上述の陽極部 12に代えて、楕円開口 32aが形成された陽極部 32が適用されている。この陽極部 32も、上述の陽極部 12と同様に、互いに対向する第 1及び第 2面を有する板状電極である。楕円開口 32aの短、方の幅（開口幅 W2)を短幅 D5とし、この短幅 D5に直交する長い方の幅（開口長さ L2)を長幅 D6という。そして、短幅 D5の長さは、従来の円形開口の径と略一致し、長幅 D6の長さは、従来の円形開口の径より長くなつている。ここで、短幅 D5及び長幅 D6は、光軸 Xに垂直な開口断面上で互いに直交している。このような構成であっても図 1〜4に示されたガス放電管 10と同様な作用、効果を奏する。

[0042] さらに、この発明に係るガス放電管の他の実施例について、図 14及び図 15を参照しながら説明する。なお、図 15は、図 14中の XV— XV線の位置力も矢印方向に見た陽極部 35の正面図である。この実施例に係るガス放電管が図 1〜4に示されたガス放電管と違う点は、光軸 X方向（板厚方向）に沿って開口形状が変化しない開口部 12aが形成された陽極部 12に代えて、光軸 X方向に沿って異なる開口形状の開口部 36a、 37aが形成された陽極部 35が適用された点である。陽極部 35は、貼り合わされた 2枚の板材により構成されている。この陽極部 35も、上述の陽極部 12と同様に、放電路制限部 26に対面している第 1面 350aと、該第 1面 350aに対向する第 2面 3 50bを有するである。 2枚の板材のうち背面側の板材が陽極部本体 36を構成し、正面側の板材が陽極部正面板 37を構成している。また、陽極部本体 36はステムピン 1 8dにより支持された状態で管軸方向 Yに延在している。ここで、陽極部 35はガス放電管の光軸 Xと直交するように配置され、陽極部本体 36の中央には、その長幅 D12 が管軸方向 Yに延びた矩形開口 36aが形成されている。矩形開口 36aの短い方の幅（開口幅 W5)を短幅 D11とし、短幅 D11に直交する長い方の幅（開口長さ L5)を長幅 D12とする。そして、短幅 D11の長さは、従来の円形開口の径と略一致し、長幅 D12の長さは、従来の円形開口の径より長くなつている。ここで、短幅 D11及び長幅 D12は、光軸 Xに垂直な開口断面上で互いに直交している。一方、陽極部正面板 3 7の中央には、円形の開口部 37aが形成されている。この円形の開口部 37aは、矩形開口 36aと同軸となるように配置されている。円形の開口部 37aの直径 D13は、矩形開口 36aの長幅 D12より長く設定されている。

[0043] 以上、種々の実施例に基づき具体的に説明したが、この発明は、上述の実施例に限定されるものではない。具体的には、上述の実施例では、開口部として長円開口 1 2a、楕円開口 32a、矩形開口 36aが形成された陽極部 12、 32、 35を備えるガス放電管 10が示されたが、陽極部に形成される開口部は、上記長円開口 12a、楕円開口 32a、矩形開口 36aに限定されない。例えば、図 16に示されたように、陽極部 33 は、開口部として短幅（開口幅 W3) D7及び長幅（開口長さ L3) D8を有する開口部 3 3aが形成されてもよい。この陽極部 33は、円形（直径は長径 D8と同じ長さ）の開口縁部に対し管軸方向 Yに直交する方向の両側力も軸心に向力つて突出する矩形状の凸部 33b、 33bが形成されることで、短幅 D7を有する開口部 33aが形成されている（短幅 D7は長幅 D8より小さい）。また、図 17に示されたように、陽極部 34は、短幅 (開口幅 W4) D9及び長幅（開口長さ L4) D10を有する開口部 34aが形成されてもよい。この陽極部 34は、円形 (直径は長幅 D10と同じ長さ）の開口縁部に対し管軸方向 Yの両側力も軸心に向力つて突出する山型の凸部 34b、 34bが形成されることで、短幅 D9を有する開口部 34aが形成されて、る（短幅 D9は長幅 D10より小さ、）。

[0044] 図 16及び図 17に示された陽極部においても、従来の円形開口の開口面積を単純に拡大させた場合と比較して、放電始動性を低下させずに放電狭窄用孔を通過する可視光光源からの可視光の光量を増カロさせることが可能である。特に、陽極部 12、 3 2、 35によれば、上述のように長円開口（図 10参照） 12a、楕円開口（図 13参照） 32a 、矩形開口（図 15参照） 36aが形成されている。そのため、開口部 12a、 32a、 36aの短幅（一方の幅）を構成する陽極部における縁部が長幅 (他方の幅)方向に延在するため放電が分散され、放電始動性を良好に維持することができる。この点において、陽極部 12、 32、 35は、図 14及び図 15に示された陽極部 33、 34より優れている。

[0045] また、以上の説明は、サイドオン型のガス放電管 10に関するものである力ヘッドォン型のガス放電管であってもよい。なお、ヘッドオン型の場合、陽極部の開口部と可視光光源との間にステム部が介在する構成であると、可視光光源力の可視光を陽極部の開口部へ導く光学系が必要となる。

[0046] 以上の本発明の説明から、本発明を様々に変形しうることは明らかである。そのような変形は、本発明の思想および範囲力逸脱するものとは認めることはできず、すべての当業者にとって自明である改良は、以下の請求の範囲に含まれるものである。産業上の利用可能性

[0047] この発明に係るガス放電管は、液体クロマトグラフや半導体検査装置等の光源に好適に適用可能である。

Claims

請求の範囲

[1] 内部にガスが封入された密封容器と、

前記密封容器内に配置された陰極部と、

前記密封容器内に配置された、前記陰極部との間で放電を発生させるための陽極部と、そして、

前記密封容器内に配置された、前記陰極部と前記陽極部との間の放電路を狭窄するための放電路制限部を備えたガス放電管であって、

前記陽極部は、前記放電路制限部に対面している第 1面と該第 1面と対向する第 2 面とを有するとともに、前記第 1面と前記第 2面を連絡する開口部を有し、そして、前記第 1面に一致する基準面上で規定される前記開口部の断面は、非円形状を有する。

[2] 請求項 1記載のガス放電管において、

前記開口部の断面は、第 1方向の最大開口幅と該第 1方向と直交する第 2方向の最大開口幅とが異なっている非円形状を有する。

[3] 請求項 1又は 2記載のガス放電管において、

前記開口部の断面は、楕円形状、長円形状及び矩形形状のうちいずれかを有する

[4] 請求項 1記載のガス放電管において、

前記開口部における一部の開口幅は、当該開口部を規定する該陽極部の縁部から前記基準面に沿って延びた突起によって調整されている。

[5] 請求項 2記載のガス放電管にお、て、

前記開口部の断面における前記第 2方向の最大開口幅は、当該開口部を規定する該陽極部の縁部力該第 2方向に伸びた突起によって調整されている。

[6] 請求項 1〜5の、ずれか一項記載のガス放電管にお!、て、

前記陽極部は、該密封容器の管軸方向と直交する方向に光を出射するよう、前記第 1面が前記密封容器の管軸方向に平行になるよう配置されている。

[7] 請求項 1〜6のいずれか一項記載のガス放電管と、そして、

前記ガス放電管の一部を構成する前記陽極部の前記開口部に向けて可視光を出射する可視光光源を備えた光源装置。

請求項 6記載の光源装置を備えた液体クロマトグラフ。