WO2006114895A1 - 電気的接続装置 - Google Patents

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WO2006114895A1
WO2006114895A1 PCT/JP2005/008097 JP2005008097W WO2006114895A1 WO 2006114895 A1 WO2006114895 A1 WO 2006114895A1 JP 2005008097 W JP2005008097 W JP 2005008097W WO 2006114895 A1 WO2006114895 A1 WO 2006114895A1
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WO
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contact
recess
frame member
electrical connection
elastic body
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PCT/JP2005/008097
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French (fr)
Inventor
Eichi Osato
Yoshihito Goto
Original Assignee
Kabushiki Kaisha Nihon Micronics
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Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01R—ELECTRICALLY-CONDUCTIVE CONNECTIONS; STRUCTURAL ASSOCIATIONS OF A PLURALITY OF MUTUALLY-INSULATED ELECTRICAL CONNECTING ELEMENTS; COUPLING DEVICES; CURRENT COLLECTORS
    • H01R13/00—Details of coupling devices of the kinds covered by groups H01R12/70 or H01R24/00 - H01R33/00
    • H01R13/02—Contact members
    • H01R13/22—Contacts for co-operating by abutting
    • H01R13/24—Contacts for co-operating by abutting resilient; resiliently-mounted
    • H01R13/2435—Contacts for co-operating by abutting resilient; resiliently-mounted with opposite contact points, e.g. C beam
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01R—ELECTRICALLY-CONDUCTIVE CONNECTIONS; STRUCTURAL ASSOCIATIONS OF A PLURALITY OF MUTUALLY-INSULATED ELECTRICAL CONNECTING ELEMENTS; COUPLING DEVICES; CURRENT COLLECTORS
    • H01R12/00—Structural associations of a plurality of mutually-insulated electrical connecting elements, specially adapted for printed circuits, e.g. printed circuit boards [PCB], flat or ribbon cables, or like generally planar structures, e.g. terminal strips, terminal blocks; Coupling devices specially adapted for printed circuits, flat or ribbon cables, or like generally planar structures; Terminals specially adapted for contact with, or insertion into, printed circuits, flat or ribbon cables, or like generally planar structures
    • H01R12/70—Coupling devices
    • H01R12/82—Coupling devices connected with low or zero insertion force
    • H01R12/85—Coupling devices connected with low or zero insertion force contact pressure producing means, contacts activated after insertion of printed circuits or like structures
    • H01R12/88—Coupling devices connected with low or zero insertion force contact pressure producing means, contacts activated after insertion of printed circuits or like structures acting manually by rotating or pivoting connector housing parts
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01R—ELECTRICALLY-CONDUCTIVE CONNECTIONS; STRUCTURAL ASSOCIATIONS OF A PLURALITY OF MUTUALLY-INSULATED ELECTRICAL CONNECTING ELEMENTS; COUPLING DEVICES; CURRENT COLLECTORS
    • H01R2201/00—Connectors or connections adapted for particular applications
    • H01R2201/20—Connectors or connections adapted for particular applications for testing or measuring purposes

Definitions

  • the present invention relates to an electrical connection device suitable for use as an auxiliary device in an energization test of a semiconductor device such as an integrated circuit.
  • an inspection auxiliary device consisting of an electrical connection device called a socket is generally used.
  • Each electrode of the semiconductor device which is a test object, is detachably connected to an electrical circuit of an inspection device such as a tester through this electrical connection device.
  • this electrical connection device there are devices described in Patent Documents 1 and 2.
  • Patent Document 1 Japanese Patent Laid-Open No. 1 1 1 3 1 5 6 6
  • Patent Document 2 Japanese Patent Laid-Open No. 2 0 0 3-2 9 7 5 0 6
  • the electrical connection devices described in Patent Documents 1 and 2 include a frame in which a recess for receiving an object to be inspected is formed at the center.
  • a large number of contacts called probes are incorporated from the lower surface of the frame via a rod-like elastic body for elastically supporting the contacts.
  • the contactors are arranged at intervals from each other in the extending direction of each side of the bottom surface of the recess so that the tip portion protrudes into the recess from a slot formed on the bottom surface of the recess. ing.
  • the semiconductor device as the object to be inspected is mounted in the recess so that the electrode contacts the tip of the corresponding contact.
  • each contact supported by the elastic body is attached to the lower surface of the frame. Pressed to the corresponding conductive path.
  • Each conductive path of this wiring board is connected to a corresponding connection terminal of a tester that is an inspection device, and each contactor connects the tester's electrical circuit and each electrode of the device under test to thereby connect the tester.
  • a rod-like elastic body for elastically supporting each contact is formed at the lower part of the frame prior to the mounting of the wiring board on the lower surface of the frame. And it inserts in the recessed part open
  • the elastic body inserted into the concave portion is held at a predetermined position by supporting both ends of the elastic body on both end walls of the concave portion.
  • a large number of contacts formed with receiving portions for receiving the elastic body correspond to the respective receiving portions from the lower surface of the frame so that the receiving portions are fitted to the elastic body. It is inserted into the frame through the slot.
  • the wiring board is attached so that the open end of the recess that accommodates the elastic body is closed on the lower surface of the frame, so that each contact is connected to the corresponding conductive path of the wiring board. Is done.
  • the concave portion that accommodates the elastic body to which a large number of contacts are attached is opened downward, so that both ends bend to the elastic body that is elastically supported. If this occurs, there is a risk that both ends will fall off the support.
  • the dropout of the elastic body from the recess means the dropout of all the contacts supported by the elastic body. For this reason, the contact replacement work requires careful handling so that the elastic body does not fall out of place while the wiring board is removed from the frame.
  • an object of the present invention is to provide an electric device that makes it easier to replace the contact than in the past. It is to provide an automatic connection device.
  • Another object of the present invention is to provide an electrical connection device in which contacts can be replaced without removing a wiring board.
  • the present invention provides a frame member having a recess for receiving an object to be inspected provided with a plurality of electrodes, a plurality of contacts provided corresponding to the electrodes, and a bottom portion of the recess of the frame member.
  • a plurality of slots arranged in parallel to each other to receive the contacts so that the tips of the contacts can contact the corresponding electrodes; and the slots on the bottom in the recess.
  • an elastic member that elastically holds the contact, and a cap member that is mounted on the frame member and sandwiches the elastic body with the frame member.
  • a drop-off preventing portion that can be locked to a corresponding edge of the slot can be provided at the rear end of each contact.
  • a fitting recess that allows the elastic body to be press-fitted is formed in each contact, and the elastic body and the contact can be elastically coupled by press-fitting the elastic body into the fitting recess. wear.
  • various shapes such as a rectangle, an arc, or a polygon can be applied depending on the cross-sectional shape of the elastic body. Can do.
  • the contact receives the elastic force of the elastic body.
  • the elastic force can hold the tip of the contact protruding from the slot into the recess.
  • the contact portion of the contact that contacts the wiring portion can be a curved surface.
  • the recess may be a rectangular planar shape
  • the cap member may be an annular member having a rectangular planar shape that fits into the recess.
  • the surface of the annular member on which the elastic member abuts is excessively moved on the wiring portion of the abutting portion of the contactor accompanied by shear deformation of the elastic body due to a pressing force from the electrode.
  • a step portion for suppressing shear deformation of the elastic body can be formed.
  • a guide surface for guiding the object to be inspected to an inspection position corresponding to the electrode of the object to be inspected and the tip of the contact corresponding to the electrode at an upper inner edge of the cap member. Can be formed.
  • the elastic member that elastically holds the contact is arranged across the slot that receives each contact on the frame member, and the frame member that accommodates the elastic member as in the related art. Since an open portion that allows the elastic member to fall is not formed in the inner space, even if the cap member that holds the elastic member between the frame member and the cap member is removed from the frame member, a slot is formed on the frame member.
  • the elastic body arranged transversely does not fall downward as in the prior art, and the contact held by the elastic body is also securely held in the frame member.
  • the elastic member arranged at a predetermined position on the frame member is taken out from above the frame member together with a number of contacts held by the member, and the contact that needs to be replaced is removed from the elastic member and replaced with a new contact. Thereafter, the elastic member is disposed at a predetermined position from above the frame member, and then the cap member is attached to the frame member, whereby the contact replacement operation can be completed.
  • the contact can be replaced while the wiring board is attached to the frame member, it is no longer necessary to remove and install the wiring board every time the contact is replaced. It is possible to replace the contactor.
  • each contactor By providing each contactor with a drop-off preventing portion that can be locked to the edge of the slot, it is possible to more reliably prevent the contact piece from being accidentally dropped.
  • fitting recesses formed in the respective contacts and the elastic body are fitted to both. It can be reliably and easily combined.
  • the no-contact object is pushed toward the bottom of the recess by holding the tip protruding from the slot into the recess when the contact is not subjected to a pressing force from the electrode of the object.
  • pressure is applied, reliable electrical contact between the electrode of the device under test and the corresponding contact can be obtained.
  • the contact portion of the contactor By making the contact portion of the contactor a curved surface, damage due to contact between the contact portion and the wiring portion on the wiring board is prevented, and durability of both the contactor and the wiring portion is improved. be able to.
  • the object to be inspected can be positioned in the recess with a predetermined correct posture, and the inspection can be performed accurately and Rapid progress can be promoted.
  • FIG. 1 is an exploded perspective view showing an electrical connection device according to the present invention.
  • FIG. 2 is a perspective view showing a process of assembling the probe assembly to the frame member shown in FIG.
  • FIG. 3 is a front view showing a coupling state between the elastic body and the contact of the probe assembly shown in FIG.
  • FIG. 4 is a plan view of a frame member to which the probe assembly shown in FIG. 2 is assembled.
  • FIG. 5 is a cross-sectional view taken along line VV shown in FIG.
  • FIG. 6 is a plan view of the frame member on which the cap member is mounted after the assembly of the probe assembly.
  • FIG. 7 is a cross-sectional view taken along line VII-VII shown in FIG.
  • FIG. 8 is a cross-sectional view showing a part of an expanded state of use of the electrical connection device according to the present invention.
  • FIG. 9 is a view similar to FIG. 3 showing another embodiment according to the present invention.
  • FIG. 10 is a drawing similar to FIG. 3 showing still another embodiment of the present invention.
  • FIG. 11 is a perspective view of a contact showing still another embodiment according to the present invention. Explanation of symbols
  • an electrical connection device 10 is referred to as a plate-like frame member 12 having a rectangular plane shape as a whole, and a number of probes incorporated in the frame member.
  • a contact member 14 a plurality of rod-like elastic members 1 6 to which a plurality of contact members 1 4 are respectively coupled, and a frame member 1 2 that is removably fixed to the frame member 1 2 via bolts 1 8.
  • a cap member 20 made of an annular member.
  • the frame member 12 is made of, for example, a non-conductive material such as a synthetic resin material, and a concave portion 2 2 having a rectangular planar shape that opens upward is formed in the center, and the upper surface 1 of the frame member 1 2 2a is formed with a rectangular enlarged opening 24 that surrounds the open edge of the recess 22 and is larger than the diameter of the recess and has a similar shape to the recess 22.
  • This The enlarged opening 24 has a planar shape slightly larger than the outer shape of the cap member 20 and has a depth dimension sufficient to accommodate the cap member 20, and therefore receives the cap member 20. It functions as a fitting hole (see Fig. 7).
  • the rectangular bottom 2 2 a of the recess 2 2 has a plurality of slots 26 extending from the vicinity of each side of the recess 2 2 toward the center of the recess 2 2 at right angles to the corresponding sides. 2 2 a are aligned and spaced from each other in the direction of extension of each side. Each slot 26 is formed so as to penetrate from the upper surface of the bottom portion 2 2 a to the lower surface 1 2 b of the frame member 12.
  • each slot 26 is spaced W from the upright peripheral wall 2 2 b of the recess 2 2, so that the slot 2 2 a has a slot 2 at the bottom 2 2 a.
  • a step portion 28 having a width dimension W is formed in the vicinity of the outer end of the second portion 26. Since this step portion 28 is located at the outer end portion of each slot 26, it constitutes the edge of each slot 26.
  • shallow grooves 30 having an arcuate cross-sectional shape that crosses each slot 26 are formed in the vicinity of the outer end of each spout row. In the illustrated example, four shallow grooves 30 are formed in the bottom 2 2 a of the recess 2 2 along each side of the bottom. Both ends of each shallow groove 30 traverse each slot 26 in the corresponding slot group, and extend outward in the width direction of the slot beyond the slot 26 located at the outermost position of each slot group. .
  • the elastic member 16 is made of rubber, for example. As shown in FIG. 3, the elastic member 16 has a semicircular circular bottom surface 16a corresponding to the arc shape of the shallow groove 30 and a flat top surface 16b. And a pair of vertical side surfaces 16c and 16c that extend downward from the top surface and reach the circular bottom surface 16a.
  • Each contact 14 connected to the elastic member 16 is made of a conductive metal member as is well known. Tip of contact 1 4 rising upward 1 4 a force As described later, it can protrude upward from slot 2 6 and so that the lower edge of contact 1 4 is received in slot 2 6
  • the plurality of contacts 14 are coupled to the respective elastic members 16 so as to be spaced apart from each other by a predetermined distance in the longitudinal direction of the elastic member 16 corresponding to the respective slots 2 6.
  • each contact 1 4 A circular fitting recess 32 that opens upward in the vicinity of the rear end is formed.
  • the fitting recess 32 is formed so as to cover an angle region exceeding the semicircular region of the arc bottom 16 a of the elastic member 16. Therefore, when the fitting recess 3 2 is fitted to the circular arc bottom portion 16 a of the elastic member 16, a tightening allowance of dimension t is given to each of both vertical side surfaces 16 c of the elastic member 16, and this tightening is performed. By the allowance t, the elastic member 16 and each contactor 14 coupled to the elastic member 16 can be reliably coupled by the elasticity of the elastic member 16.
  • each contact 14 On the upper edge of each contact 14, an overhang 14 b protruding from the rear end of the contact is formed. As will be described later, this overhanging portion 14 b extends along the edge of each slot 26, that is, along the step portion 28 shown in FIG. 2 when the contact 14 is assembled into the frame member 12. The upper portion of the step portion protrudes in the width direction.
  • the contact 14 has a horizontal lower edge 14 c that is substantially parallel to the upper edge provided with the fitting recess 32 in the vicinity of the rear end, and this horizontal edge has a radius of curvature R. It follows the curved surface 14 d and continues to the inclined lower edge 14 e. The inclined lower edge portion 14 e extends at an elevation angle from the curved surface 14 d to the tip 14 a.
  • FIG. 3 a predetermined number of contacts 14 are aligned with the elastic members 16 by fitting the respective fitting recesses 3 2 with the circular bottom surfaces 1 6 a of the elastic members 1 6. Then, as shown in FIG. 2, probe solids (14, 16) are formed.
  • each contact 14 constituting the probe assembly 14 is received in each slot 26, and the elastic member 16 has its circular bottom surface 16a a shallow groove 3
  • the frame member 1 2 is dropped from the upper surface 1 2 a of the frame member 1 2 into the slot 2 6 and the shallow groove 30 in the recess 2 2 of the frame member 1 2.
  • FIGS. 4 and 5 show the state after assembling each probe assembly (14, 16) to the frame member 12.
  • FIG. 4 and 5 show the state after assembling each probe assembly (14, 16) to the frame member 12.
  • the elastic members 16 connected to the corresponding contacts 14 are mounted on the shallow grooves 30 formed at the bottoms 2 2 a of the recesses 2 2 at both ends. Therefore, the elastic member 16 is located below the recess 22 because the end of the rod rides on and is supported by the beam portion 2 2 aa located between the slots 26 of the bottom 22a. It does not fall off and is securely held in the shallow groove 30. Therefore, the electrical connection device 1 0 In the assembly process of the probe assembly, the elastic member 16 and the contact 14 held by the elastic member 16 are not unexpectedly dropped downward from the frame member 12 integrally with the elastic member 16.
  • each probe assembly (1 4, 1 6) After assembling each probe assembly (1 4, 1 6) to the frame member 12, as shown in FIGS. 6 and 7, it is screwed into the screw hole 1 8 a (see FIG. 4) of the frame member 1 2.
  • the cap member 20 made of, for example, the same synthetic resin material as that of the frame member 12 2 is fixed to the enlarged opening 24 of the frame member 12 by the bolts 18.
  • a positioning pin 34 is provided at the step portion of the enlarged opening 24. It is clearly shown in FIG. 6 by positioning the cap member 20 in the enlarged opening 24 so that the positioning pin 3 4 can be received in the pin hole 3 4 a formed in the cap member 20.
  • the cap member 20 can be coupled to the frame member 12 in the correct posture so that the tip 14 a of each contactor 14 is properly exposed from the inner edge thereof.
  • each elastic force between the shallow groove 30 of the frame member 12 and the lower surface 20 a of the cap member 20 (see FIGS. 7 and 8) The member 16 is clamped.
  • a semiconductor device 36 such as an IC having a rectangular planar shape, which is an object to be inspected, is directed to the bottom 2 2 a of the lower recess 2 2.
  • the inclined surface 20 b to be guided is formed by chamfering.
  • the wiring board 3 8 is fixed to the lower surface 1 2 b of the frame member 12 as shown in FIGS.
  • the wiring board 38 is fixed to the frame member 12 by bolts 40 that are screwed into screw holes 40 a formed in the frame member 12.
  • FIG. 8 shows a state in which the cap member 20 and the wiring board 38 are respectively attached to the upper surface 12 a and the lower surface 12 b of the frame member 12.
  • a plurality of wiring portions 3 8 a made of conductive paths respectively connected to an electric circuit of a test apparatus such as a tester (not shown) are formed.
  • the contacts 14 are aligned corresponding to the wiring portions 3 8 a.
  • the child 14 is held by the elasticity of the elastic member 16 so that the horizontal lower edge portion 14 c abuts against the corresponding wiring portion 3 8 a. Also, in this state, the tip 14 a is held so as to protrude largely upward from the surface of the bottom 2 2 a of the recess 2 2, and the overhang 14 b is the step 2 8, that is, the edge 2 of the slot 2 6. Take on 8.
  • the overhanging portion 1 4 b overhangs on the edge 2 8, for example, even when the elastic member 1 6 is deformed to loosen the fitting between the elastic body and the fitting recess 3 2 of the contact 1 4, the overhanging portion 1 Due to the engagement between 4 b and the edge 2 8, the contact 14 can be reliably prevented from coming off from the corresponding slot 26. Therefore, the overhanging portion 14 b functions as a drop-off preventing portion for the contact 14.
  • the lower surface 20 a of the cap member 20 that receives the top surface 16 b of the elastic member 16 is formed with a step portion 20 c that receives the other vertical side surface 16 c of the elastic member 16. Therefore, excessive shear deformation of the elastic member 16 is suppressed. As a result, it is possible to ensure an appropriate swinging stroke from the posture of the phantom line shown in the figure to the posture shown by the solid line in the figure by the elasticity of the elastic member 16.
  • the contact between the tip 1 4 a of the contact 1 4 and the electrode 3 6 a of the semiconductor device 3 6 and the contact part of the contact 1 (1 4 d) and the wiring board 3 8 The wiring portion 3 8 a can be securely connected to each other and wear and damage to the contact portion (1 4 d) of the contact 14 and the wiring portion 3 8 a can be suppressed.
  • the curved surface 14 d can be eliminated, it is desirable that the portion (1 4 d) that serves as the fulcrum of the contact 14 be a curved surface in order to prevent damage to the wiring portion 38 a. Masle. Further, when the contact 14 is swung, as shown by a solid line in FIG. 8, a gap is generated between the peripheral wall of the fitting recess 3 2 and the other vertical side surface 16 c of the elastic member 16, thereby Even if looseness occurs between the elastic member 1 6 and the contact 14, the overhanging portion 14 b prevents the contact 14 from falling out of the slot 26 without fail.
  • the semiconductor device 3 6 By connecting the electrode 3 6a of the semiconductor device 3 6 and the wiring portion 3 8a of the wiring board 3 8 connected to the electric circuit of the tester via the contact 14 4, the semiconductor device 3 6 has a predetermined electric power. Undergo physical examination.
  • the defective contact 1 4 is removed from the electrical connection device 10 after removing the semiconductor device 36 as the object to be inspected. Can be replaced.
  • the bolt 18 is loosened, and the cap member 20 is removed from the enlarged opening 24 of the frame member 12 together with the bolt 18.
  • each probe assembly (1 4, 16) is exposed in the recess 2 2 of the frame member 12.
  • the probe assembly (1 4, 1 6) including the defective contact 14 (1), force S, as shown in FIG. 1 4 is replaced with that normal.
  • the probe assembly (1 4, 16) replaced with the normal contact 14 has the elastic member 16 fitted in the predetermined shallow groove 30 and each contact 1 4 is placed at a predetermined position so that it fits into the corresponding slot 2 6.
  • the cap member 20 is fixed to the frame member 12 with the bolts 18, thereby completing the replacement operation of the contact 14.
  • each contact 1 4 corresponds to the wiring board 3 8.
  • Installation of wiring board 3 8 that requires alignment work with wiring section 3 8 a is not required, and the efficiency of replacement work of contact 14 is significantly improved.
  • the elastic member 1 6 is not likely to drop off from the frame member 1 2. Therefore, the replacement work of the wiring board 3 8 can be easily performed as compared with the conventional case.
  • the wiring board 3 8 is removed in the same manner as in the past, and the defective contact 14 is removed from each slot 26 and replaced with a normal contact 14. It can be inserted into the frame member 1 2 through the second 26. However, as described above, the probe assembly (14, 16) is removed from the frame member 12 from above the frame member 12, and the defective contact 14 is replaced with a normal one. However, it is desirable in terms of speeding up the replacement work.
  • each probe assembly (1 4, 1 6) is placed in the frame member 12. After that, it is desirable to attach the cap member 20 to the enlarged opening 24 of the frame member 12.
  • the position of the wiring portion 3 8 a of the wiring board 3 8 is visually checked through the slot 2 6 before the probe assembly (14, 16) is assembled to the frame member 12. Therefore, proper installation of the wiring board 3 8 can be easily performed.
  • elastic members 1 1 6 and 2 16 having a rectangular cross-sectional shape and a circular cross-sectional shape as shown in FIG. 9 and FIG. 10 can be used, respectively.
  • the fitting recesses 1 3 2 and 2 3 2 of the contact 14 have shapes corresponding to the shapes of the elastic members 1 1 6 and 2 1 6, respectively, as shown in FIGS. Given.
  • the same tightening allowance t as that shown in FIG. 3 is given, so that the elastic coupling between the elastic member 1 16 and the contact 14 is ensured.
  • a circumferential region exceeding the semicircle of the elastic member 2 1 6 is given to the fitting portion 2 3 2, and the elastic member 2 1 6 is tightened by this circumferential region. And the contact 14 are secured elastically.
  • the shallow groove 30 is provided with a cross-sectional shape suitable for receiving the elastic members 1 1 6 and 2 16 as shown in FIG. 9 and FIG.
  • a Kelvin contact 14 is used.
  • the Kelvin contactor 14 corresponds to the pair of wiring parts 1 3 8 a on the wiring board 3 8, and a pair of conductive layers 1 1 4 a and the two conductive layers And a pair of tips 14 a and 14 a formed on each conductive layer are shifted back and forth in the direction of extension of the contact 14.
  • both ends 14 a and 14 a are used so as to contact the same electrode 36 a of the semiconductor device 36.

Landscapes

  • Measuring Leads Or Probes (AREA)
  • Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
  • Coupling Device And Connection With Printed Circuit (AREA)
  • Connecting Device With Holders (AREA)

Description

電気的接続装置 技術分野
本発明は、 集積回路のような半導体装置の通電試験に補助装置として用いるの に好適な電気的接続装置に関する。 明
背景技術
田
パッケージやモールド等によって封止された集積回路 （I C ) の電気的特性の 検査には、 一般的に、 ソケットと称される電気的接続装置からなる検査用補助装 置が用いられている。 被検查体である半導体装置の各電極は、 この電気的接続装 置を介して、 テスタのような検査装置の電気回路に取り外し可能に接続される。 この電気的接続装置に、 特許文献 1及び 2に記載の装置がある。
[特許文献 1 ] 特開平 1 1一 3 1 5 6 6号公報
[特許文献 2 ] 特開 2 0 0 3— 2 9 7 5 0 6号公報
特許文献 1および 2に記載の電気的接続装置は、 中央部に被検査体を受け入れ るための凹所が形成されたフレームを備える。 フレームには、 プローブと称され る多数の接触子が該接触子を弾性支持するための棒状の弾性体を介して、 フレー ムの下面から組み込まれている。各接触子は、前記凹所の底面に形成されたス口ッ トから先端部を前記凹所内に突出させるように、 前記凹所底面の各辺の伸長方向 へ互いに間隔をおいて、 配列されている。 被検査体である半導体装置は、 その電 極が対応する接触子の先端に当接するように、 凹所内に装着される。 この凹所に 装着された前記半導体装置に前記凹所の底部へ向けての押圧力が付与されると、 前記弾性体に支持された各接触子は、 前記フレームの下面に取り付けられた配線 基板の対応する導電路に押圧される。 この配線基板の各導電路は、 検査装置であ るテスタの対応する接続端子に接続されており、 各接触子は、 テスタの電気回路 と被検査体の各電極とを接続することにより、 テスタでの所定の電気的な検査が 可能となる。 ところで、 従来の前記電気的接続装置の組み立て工程では、 各接触子を弾性支 持するための棒状の弾性体は、 フレームの下面への前記配線基板の取付けに先 だって、 フレームの下部に形成されかつ下方に開放する凹部内に挿入される。 凹 部内に挿入された前記弾性体は、 その両端が前記凹部の両端壁に支持されること により、 所定箇所に保持される。 この弾性体のフレームへの組み付け後、 弾性体 を受け入れるための受入れ部が形成された多数の接触子は、 それぞれの前記受入 れ部が弾性体に嵌合するように、 フレームの下面より対応するスロットを経てフ レーム内に差し込まれる。 これら接触子の組み付け後、 フレームの下面に弾性体 を収容する凹部の開放端を閉鎖するように、 配線基板が取り付けられ、 これによ り、 各接触子が配線基板の対応する導電路に接続される。
しかしながら、 接触子が破損を生じ、 この破損を生じた接触子を新たな接触子 に取り替えるような場合、 この接触子の取り替えのために、 フレームから配線基 板を取り外す必要がある。 この取り外した配線基板をこれに形成された多数の導 電路が多数の接触子に整合するように、 再びフレームの下面に正しく取り付ける 作業は容易ではない。
また、 配線基板をフレームから取り外した状態では、 多数の接触子が取り付け られた前記弾性体を収容する前記凹部は下方に開放されることから、 両端が弾性 的に支持された前記弾性体にたわみが生じると、 その両端が支持部から抜け落ち るおそれがある。 この弾性体の凹部からの脱落は、 該弾性体に支持されている全 ての接触子の脱落を意味する。 そのため、 接触子の取り替え作業では、 配線基板 をフレームから取り外している間、 弾性体が所定箇所から脱落しないような慎重 な取り扱いが必要になる。
さらに、 配線基板は、 テスタの種類あるいはテスタによる検査内容に応じて取 り替える必要があり、 この配線基板の取り替え毎に多数の接触子を保持する弾性 体がフレームから脱落することの無いような慎重な取り扱いが必要となる。
発明の開示 ， 発明が解決しようとする課題
そこで、 本発明の目的は、 接触子の取り替え作業が従来に比較して容易な電気 的接続装置を提供することにある。
また、 本発明の他の目的は、 配線基板を取り外すことなく接触子の取り替えが 可能な電気的接続装置を提供することにある。 課題を解決するための手段
本発明は、 複数の電極が設けられた被検査体を受け入れる凹所を有するフレー ム部材と、 前記電極に対応して設けられる複数の接触子と、 前.記フレーム部材の 前記凹所の底部に形成され、 前記各接触子の先端を対応する前記電極に当接可能 に前記接触子を受け入れるべく、 相互に並列的に配列された複数のスロットと、 前記凹所内の前記底部上で前記スロットを横切って配置され前記接触子を弾性的 に保持する弾性部材と、 前記フレーム部材上に装着され、 前記フレーム部材との 間で前記弾性体を挟持するキヤップ部材とを含む。
さらに、 フレーム部材の下面に前記接触子に対応した配線部が形成された配線 基板を固定することができる。
また、 前記各接触子の後端に、 前記スロッ トの対応する端縁に係止可能の脱落 防止部を設けることができる。
前記各接触子に、 前記弾性体の圧入を許す嵌合凹部を形成し、 該嵌合凹部への 前記弾性体の圧入により該弾性体と前記各接触子とを弾性的に結合することがで きる。 この嵌合凹所の形状は、 前記弾性体の弾性によって両者の結合が維持でき る限り、 該弾性体の横断面形状に応じて、 矩形、 円弧あるいは多角形等の種々の 形状を適用することができる。
前記接触子は、 前記弾性体の弾性力を受ける。 前記接触子が前記被検査体の前 記電極から押圧力を受けないとき、この弾性力により、接触子の先端を前記スロッ トから前記凹所内に突出させて保持させることができる。
前記接触子の前記配線部に当接する当接部分を曲面とすることができる。 前記凹所を矩形平面形状とし、 前記キャップ部材を前記凹所に嵌合する矩形の 平面形状を有する環状部材で構成することができる。 また、 前記環状部材の前記 弾性部材が当接する面には、 前記電極からの押圧力による前記弾性体の剪断変形 を伴う前記接触子の前記当接部分の前記配線部上での過度の移動を抑制すべく、 前記弾性体の剪断変形を抑制するための段部を形成することができる。
前記キヤップ部材の上方内縁部に、 前記被検查体の前記電極と該電極に対応す る前記接触子の前記先端とが対応する検査位置へ前記被検査体を案内するための ガイ ド面を形成することができる。 発明の効果
本発明に係る電気的接続装置では、 接触子を弾性的に保持する弾性部材は、 フ レーム部材上で各接触子を受け入れるスロットを横切って配置され、 従来のよう に弾性部材を収容するフレーム部材内の空間に弾性部材の落下を許す開放部が形 成されないことから、 前記フレーム部材との間で前記弾性部材を挟持するキヤッ プ部材をフレーム部材から取り外しても、 該フレーム部材上でスロットを横切つ て配置された弾性体は従来のように下方に落下することはなく、 該弾性体に保持 された接触子も確実にフレーム部材内に保持される。
そのため、 フレーム部材上の所定箇所に配置された弾性部材をこれに保持され た多数の接触子と共にフレーム部材の上方から取り出し、 取り替えが必要な接触 子を弾性部材から取り外し、 新たな接触子に差し替えた後、 この弾性部材を前記 フレーム部材の上方からその所定箇所に配置し、 その後、 前記キャップ部材を前 記フレーム部材に取り付けることにより、 接触子の取り替え作業を終えることが できる。
したがって、 この接触子の取り替え作業では、 従来のような弾性部材の不意の 脱落を生じることはなく、 接触子を従来に比較して容易に取り替えることができ る。
また、 配線基板をフレーム部材に取り付けた状態で、 接触子の取り替え作業が 可能となることから、 接触子の取り替え作業毎の配線基板の取り外し及び取付け 作業が不要になり、 これにより、 迅速かつ容易な接触子の取り替え作業が可能と なる。
前記各接触子に、 前記スロットの端縁に係止可能の脱落防止部を設けることに より、 接触子の不意の脱落をより確実に防止することができる。
また、 前記各接触子に形成された嵌合凹部と前記弾性体との嵌合により両者を 確実かつ容易に結合することができる。
前記接触子が前記被検査体の前記電極から押圧力を受けない無負荷時に、 前記 先端を前記スロットから前記凹所内に突出させて保持することにより、 被検査体 が凹所底部へ向けて押圧力を受けたとき、 該被検査体の電極と対応する接触子と の確実な電気的接触を得ることができる。
前記接触子の前記当接部を曲面とすることにより、 該当接部と配線基板上の配 線部との当接による損傷を防止し、 接触子および配線部の両者の耐久性の向上を 図ることができる。
また、 前記弾性体の剪断変形を伴う前記接触子の前記配線部上での過度の移動 を抑制することにより、 前記弾性体の耐久性の向上と共に、 接触子が摺動するこ とによる前記配線部の劣化の促進を 制することができる。
また、 前記キャップ部材の上方内縁部に被検査体を案内するためのガイド面を 形成することにより、 被検査体を所定の正しい姿勢で前記凹所内に位置させるこ とができ、 検査の正確かつ迅速な進行を促進することができる。 図面の簡単な説明
図 1は、 本発明に係る電気的接続装置を分解して示す斜視図である。
図 2は、 図 1に示したフレーム部材へのプローブ組立体の組み付け工程を示す 斜視図である。
図 3は、 図 2に示したプローブ組立体の弾性体と接触子との結合状態を示す正 面である。
図 4は、 図 2に示したプローブ組立体が組み付けられたフレーム部材の平面図 である。
図 5は、 図 4に示した線 V-Vに沿って得られた断面図である。
図 6は、 プローブ組立体の組み付け後にキヤップ部材が装着されたフレーム部 材の平面図である。
図 7は、 図 6に示した線 VII- VIIに沿って得られた断面図である。
図 8は、 本発明に係る電気的接続装置の使用状態を拡大してその一部を示す断 面図である。 図 9は、 本発明に係る他の実施例を示す図 3と同様な図面である。
図 1 0は、 本発明に係るさらに他の実施例を示す図 3と同様な図面である。 図 1 1は、 本発明に係るさらに他の実施例を示す接触子の斜視図である。 符号の説明
1 0 電気的接続装置
1 2 フレーム部材
1 4 接触子
1 6 弾性部材
2 0 キャップ部材
2 2 凹所
2 6 スロッ ト
2 8 (段部） 端縁
3 0 浅溝
3 2 嵌合凹部
3 6 半導体装置
3 8 配線基板
3 8 a 配線部 3 8
発明を実施するための最良の形態
本発明に係る電気的接続装置 1 0は、 図 1に示すように、 全体に矩形の平面形 状を有する板状のフレーム部材 1 2と、 該フレーム部材に組み込まれる多数のプ ローブと称される接触子 1 4と、 複数の接触子 1 4がそれぞれに結合される複数 の棒状の弾性部材 1 6と、 ボルト 1 8を介してフレーム部材 1 2に取り外し可能 に固定される全体に矩形の環状部材からなるキャップ部材 2 0とを備える。 フレーム部材 1 2は、 例えば合成樹脂材料のような非導電性材料からなり、 中 央部には上方に開放する矩形平面形状を有する凹所 2 2が形成され、 フレーム部 材 1 2の上面 1 2 aには、 凹所 2 2の開放縁部を取り卷き、 該凹所の口径よりも 大きくかつ凹所 2 2と相似形を有する矩形の拡大開口 2 4が形成されている。 こ の拡大開口 2 4は、 キャップ部材 2 0の外形よりもわずかに大きな平面形状を有 し、かつキャップ部材 2 0を収容するに十分な深さ寸法を有することから、キヤッ プ部材 2 0を受け入れる嵌合穴として機能する （図 7参照） 。
凹所 2 2の矩形底部 2 2 aには、 凹所 2 2の各辺の近傍から凹所 2 2の中央部 へ向けて対応する各辺と直角に伸長する複数のスロット 2 6が、 底部 2 2 aの各 辺の伸長方向へ相互に間隔をおくように、 整列して配置されている。 各スロッ ト 2 6は、 底部 2 2 aの上面からフレーム部材 1 2の下面 1 2 bに貫通して形成さ れている。
図 2に拡大して示すように、 各スロッ ト 2 6の外端が凹所 2 2の直立周壁 2 2 bから間隔 Wをおくことにより、 凹所 2 2の底部 2 2 aには、 スロッ ト 2 6の外 端に近接して幅寸法 Wを有する段部 2 8が形成されている。 この段部 2 8は、 各 スロッ ト 2 6の外方端部に位置することから、各スロット 2 6の端縁を構成する。 また、 スロット 2 6の列には、 各ス口ット列の外端近傍で各スロット 2 6を横切 る弧状の横断面形状を有する浅溝 3 0が形成されている。 図示の例では、 凹所 2 2の底部 2 2 aには、 該底部の各辺に沿って 4本の浅溝 3 0が形成されている。 各浅溝 3 0の両端は、 対応するスロット群の各スロッ ト 2 6を横切り、 各スロッ ト群の最外方に位置するスロット 2 6を越えて該スロットの幅方向外方へ伸長す る。
弾性部材 1 6は、 例えばゴムからなる。 弾性部材 1 6は、 図 3に示すように、 その横断面で見て、浅溝 3 0の円弧形状に対応した半円の円形底面 1 6 aを有し、 また平坦な頂面 1 6 bおよび該頂面から下方に伸びそれぞれが前記した円形底面 1 6 aに至る一対の垂直側面 1 6 c、 1 6 cを有する。
弾性部材 1 6に結合される各接触子 1 4は、 従来よく知られているように、 導 電性金属部材からなる。 接触子 1 4の上方へ向けて立ち上がる先端 1 4 a力 後 述するように、 スロット 2 6から上方へ向けて突出可能に、 また接触子 1 4の下 縁がスロット 2 6に受け入れられるように、 複数の接触子 1 4が各スロット 2 6 に対応して弾性部材 1 6の長手方向へ所定の間隔をおくように、 各弾性部材 1 6 に結合されている。
この弾性部材 1 6との結合のために、 各接触子 1 4の上縁には、 接触子 1 4の 後端の近傍で上方に開放する円形の嵌合凹部 3 2が形成されている。 この嵌合凹 部 3 2は、 弾性部材 1 6の円弧底部 1 6 aの半円領域を越える角度領域を覆うよ うに形成されている。 そのため、 嵌合凹部 3 2を弾性部材 1 6の円弧底部 1 6 a に嵌合させたとき、 弾性部材 1 6の両垂直側面 1 6 cのそれぞれに寸法 tの締め 代が与えられ、 この締め代 tにより、 弾性部材 1 6とこれに結合さえる各接触子 1 4とを弾性部材 1 6の弾性によって確実に結合することができる。
各接触子 1 4の上縁には、 該接触子の後端から突出する張出し部 1 4 bが形成 されている。 この張出し部 1 4 bは、 後述するように、 接触子 1 4をフレーム部 材 1 2に組み込んだときに、 各スロッ ト 2 6の端縁、 すなわち図 2に示した段部 2 8に沿って該段部の上方'をその幅方向へ突出する。
また、 接触子 1 4は、 後端部近傍に、 嵌合凹部 3 2が設けられた上縁にほぼ平 行な水平下縁部 1 4 cを有し、 この水平縁部は曲率半径 Rの曲面 1 4 dを経て傾 斜下縁部 1 4 eに連なる。 傾斜下縁部 1 4 eは、 曲面 1 4 dから先端 1 4 aへ向 けて仰角をもって伸長する。
図 3に示したように、 所定数の接触子 1 4が、 それぞれの嵌合凹部 3 2と各弾 性部材 1 6の円形底面 1 6 aとの嵌合によって、 該弾性部材 1 6に整列して結合 されると、 図 2に示したように、 プローブ 立体 （1 4、 1 6 ) が構成される。 このプロ一ブ組立体 （1 4、 1 6 ) は、 これを構成する各接触子 1 4がそれぞれ のスロッ ト 2 6に受け入れられかつ弾性部材 1 6がその円形底面 1 6 aを浅溝 3 0に受け入れられるように、 フレーム部材 1 2の上面 1 2 aより、 フレーム部材 1 2の凹所 2 2内のスロット 2 6および浅溝 3 0内に落とし込まれる。 これによ りプローブ組立体（1 4、 1 6 )がフレーム部材 1 2に組み付けられる。各プロ一 ブ組立体 （1 4、 1 6 ) のフレーム部材 1 2への組み付け後の状態が図 4および 図 5に示されている。
図 5に示すように、 対応する接触子 1 4に結合される弾性部材 1 6は、 その両 端が凹所 2 2の底部 2 2 aに形成された浅溝 3 0上に乗ることに加えて、 その両 端間が底部 2 2 aのスロッ ト 2 6間に位置する梁部分 2 2 a a上に乗り、 これら によって支持されていることから、 弾性部材 1 6が凹所 2 2の下方に脱落するこ とはなく、 浅溝 3 0内に確実に保持される。 したがって、 電気的接続装置 1 0の このプローブ組立体の組み付け工程で、 弾性部材 1 6およびこれに保持された接 触子 1 4が弾性部材 1 6と一体的にフレーム部材 1 2から不意に下方に脱落する ことはない。
各プローブ組立体 （1 4、 1 6 ) のフレーム部材 1 2への組み付け後、 図 6お よび図 7に示すように、 フレーム部材 1 2のねじ穴 1 8 a (図 4参照） に螺合す るボルト 1 8によって、 例えばフレーム部材 1 2と同様な合成樹脂材料から成る キャップ部材 2 0がフレーム部材 1 2の拡大開口 2 4に固定される。 このキヤッ プ部材 2 0の位置決めのために、 拡大開口 2 4の段部には位置決めピン 3 4が設 けられている。 位置決めピン 3 4がキャップ部材 2 0に形成されたピン穴 3 4 a に受け入れられるように、 キャップ部材 2 0を拡大開口 2 4内に配置することに より、 図 6に明確に示されているように、 その内縁から各接触子 1 4の先端 1 4 aを適正に露出させるように、 キャップ部材 2 0を正しい姿勢でフレーム部材 1 2に結合することができる。
また、 フレーム部材 1 2へのキャップ部材 2 0の取付けにより、 フレーム部材 1 2の浅溝 3 0とキヤップ部材 2 0の下面 2 0 a (図 7及び図 8参照） との間で、 各弾性部材 1 6が挟持される。
キヤップ部材 2 0の内縁の上部には、 図 7に示すように、 被検査体である矩形 平面形状を有する I Cのような半導体装置 3 6を下方の凹所 2 2の底部 2 2 aへ 向けて案内する傾斜面 2 0 bが面取カ卩ェにより形成されている。
キャップ部材 2 0の取付け後、 図 7および図 8に示すように、 フレーム部材 1 2の下面 1 2 bに配線基板 3 8が固定される。 図示の例では、 フレーム部材 1 2 に形成されたねじ穴 4 0 aに螺合するボルト 4 0によって、 配線基板 3 8がフ レーム部材 1 2に固定されている。
図 8は、 フレーム部材 1 2の上面 1 2 aおよぴ下面 1 2 bにキャップ部材 2 0 および配線基板 3 8がそれぞれ取り けられた状態を示す。 配線基板 3 8の上面 には、 従来よく知られているように、 図示しないテスタのような試験装置の電気 回路にそれぞれ接続される導電路からなる複数の配線部 3 8 aが形成されてお り、 各配線部 3 8 aに対応して接触子 1 4が整列する。
凹所 2 2の底部 2 2 aに半導体装置 3 6が配置されていない状態では、 各接触 子 1 4は、 図 8に仮想線で示すように、 弾性部材 1 6の弾性により、 その水平下 縁部 1 4 cが対応する配線部 3 8 aに当接するように、 保持されている。 また、 この状態では、 先端 1 4 aは凹所 2 2の底部 2 2 aの表面から大きく上方に突出 して保持され、 張出し部 1 4 bは段部 2 8すなわちスロット 2 6の端縁 2 8上に 乗る。 張出し部 1 4 bが端縁 2 8に張り出すことから、 たとえば弾性部材 1 6の 変形によって該弾性体と接触子 1 4の嵌合凹部 3 2との嵌合がたとえ緩んでも、 張出し部 1 4 bと端縁 2 8との係合により、 接触子 1 4のこれに対応するスロッ ト 2 6からの抜け落ちが確実に防止される。 したがって、 張出し部 1 4 bは接触 子 1 4の脱落防止部として機能する。
半導体装置 3 6がその下面に設けられた電極 3 6 aを下方に向けてキャップ部 材 2 0の上方から凹所 2 2の底部 2 2 aへ向けて落とし込まれると、 キャップ部 材 2 0の傾斜面 2 0 bの案内作用により、 半導体装置 3 6は各電極 3 6 aが対応 する接触子 1 4の先端 1 4 aに当接する位置に確実に案内され、 半導体装置 3 6 に図 8に矢印 4 2で示す押圧力が作用すると、 この押圧力は接触子 1 4にモーメ ント力として作用する。
このモーメントカにより、 弾性部材 1 6に弾性的に保持された接触子 1 4は、 その下縁に形成されかつ配線部 3 8 aに当接する曲面 1 4 dの部分を支点として 図 8で見て反時計方向へわずかに回転を生じる。 この回転に伴い、 接触子 1 4の 配線部 3 8 aへの接触部分 （ 1 4 d ) は接触子 1 4の先端 1 4 aへ向けて移動す ると共に、 接触子 1 4は、 全体的に図中右方へわずかな変位を生じる。 このわず かな変位は、 スロット 2 6の外端壁 2 6 aにより規制されることから、 弾性部材 1 6にその一方の垂直側面 1 6 cから図中横方向の剪断力を生じさせる。 しかし ながら、弾性部材 1 6の頂面 1 6 bを受けるキャップ部材 2 0の下面 2 0 aには、 弾性部材 1 6の他方の垂直側面 1 6 cを受ける段部 2 0 cが形成されていること から、 弾性部材 1 6の過度の剪断変形が抑制される。 これにより、 弾性部材 1 6 の弾性によって接触子 1 4を図示の仮想線の姿勢から図中実線で示す姿勢への適 正な揺動ストロークを確保することができ、 また接触子 1 4の配線部 3 8 a上で の過度の摺動が抑制されることから、 接触子 1 4の先端 1 4 aと半導体装置 3 6 の電極 3 6 aとの接続および接触子 1 4の接触部分 （ 1 4 d ) と配線基板 3 8の 配線部 3 8 aとの接続をそれぞれ確実になしかつ接触子 1 4の接触部分（1 4 d ) および配線部 3 8 aの摩耗および損傷を抑制することができる。
曲面 1 4 dを不要とすることができるが、 配線部 3 8 aへの損傷を確実に防止 する上で、接触子 1 4の支点となる部分 （1 4 d ) を曲面とすることが望ましレ、。 また、 接触子 1 4の揺動時に、 図 8に実線で示すとおり、 嵌合凹部 3 2の周壁 と弾性部材 1 6の前記他方の垂直側面 1 6 cとの間に間隙が生じ、 それにより弾 性部材 1 6と接触子 1 4との嵌合に緩みが生じても、 張出し部 1 4 bの脱落防止 作用により、 接触子 1 4のスロット 2 6からの脱落が確実に防止される。
前記接触子 1 4を介する半導体装置 3 6の電極 3 6 aと前記テスタの電気回路 に接続された配線基板 3 8の配線部 3 8 aとの接続により、 半導体装置 3 6が所 定の電気的検査を受ける。
電気的接続装置 1 0の接触子 1 4に欠損等の不具合が生じると、 被検査体であ る半導体装置 3 6を電気的接続装置 1 0から除去した後、 不具合を生じた接触子 1 4を取り替えることができる。 この接触子 1 4の取り替えのために、 ボルト 1 8が緩められ、 ボルト 1 8と共に、 キャップ部材 2 0がフレーム部材 1 2の拡大 開口 2 4から取り除かれる。
これにより、 図 4に示したように、 フレーム部材 1 2の凹所 2 2に各プローブ 組立体 （1 4、 1 6 ) が露出する。 このうち、 不具合な接触子 1 4を含むプロ一 ブ組立体 （1 4、 1 6 ) 力 S、 図 2に示すように、 拡大開口 2 4の上方に引き上げ られ、 その不具合を生じた接触子 1 4が正常なそれに取り替えられる。 接触子 1 4の取り替え後、 正常な接触子 1 4に取り替えられたプローブ組立体 （1 4、 1 6 ) は、 その弾性部材 1 6が所定の浅溝 3 0に嵌合しかつ各接触子 1 4が対応す るスロット 2 6に嵌合するように、 所定箇所に配置される。 その後、 前記したと おり、 ボルト 1 8によってキャップ部材 2 0がフレーム部材 1 2に固定され、 こ れにより接触子 1 4の取り替え作業が終わる。
このように、 接触子 1 4の取り替えに、 配線基板 3 8をフレーム部材 1 2から 取り外す必要がないので、 各接触子 1 4の水平下縁部 1 4 cと配線基板 3 8の対 応する配線部 3 8 aとの整合作業を必要とする配線基板 3 8の取付け作業が不要 となり、 接触子 1 4の交換作業の効率が著しく向上する。 また、 例えば配線基板 3 8の取り替えのために、 フレ^"ム部材 1 2から配線基 板 3 8を取り外した状態であっても、 弾性部材 1 6がフレーム部材 1 2から脱落 するおそれがないので、 配線基板 3 8の取り替え作業が従来に比較して容易に行 える。
接触子 1 4の取り換えのために、 従来と同様に配線基板 3 8を取り外し、 各ス ロット 2 6から不具合を生じた接触子 1 4を抜き出し、 これに代えて正常な接触 子 1 4をスロッ ト 2 6を経てフレーム部材 1 2内に差し入れることができる。 し かしながら、 前記したように、 フレーム部材 1 2の上方からプローブ組立体 （1 4、 1 6 ) 毎、 フレーム部材 1 2から取り出して不具合の接触子 1 4を正常なも のに差し替えることが、 取り替え作業の迅速化の点で望ましい。
また、 電気的接続装置 1 0を組み立てる場合においても、 フレーム部材 1 2の 下面 1 2 bに配線基板 3 8を取り付けた後、 各プローブ組立体 （1 4、 1 6 ) を フレーム部材 1 2内に配置し、その後、フレーム部材 1 2の拡大開口 2 4にキヤッ プ部材 2 0を取り付けることが望ましい。 このような組み立て手順を経ることに より、 フレーム部材 1 2へのプローブ組立体 （1 4、 1 6 ) の組み付け前に、 ス ロット 2 6を通して配線基板 3 8の配線部 3 8 a位置を目視により確認すること ができるので、 配線基板 3 8の適正な取付けが容易に行える。
弾性部材 1 6に代えて、 図 9および図 1 0に示すような矩形断面形状および円 形断面形状を有する弾性部材 1 1 6、 2 1 6をそれぞれ用いることができる。 こ の場合、 接触子 1 4の嵌合凹部 1 3 2、 2 3 2には、 図 9、 1 0に示すように、 各弾性部材 1 1 6、 2 1 6の形状に対応した形状がそれぞれ与えられる。 図 9に 示す例では、 図 3に示したと同様な締め代 tが与えられており、 これにより弾性 部材 1 1 6と接触子 1 4との弾性的結合が確保されている。 また、 図 1 0に示す 例では、 嵌合部 2 3 2に弾性部材 2 1 6の半円を越える円周領域が与えられてお り、 この円周領域の締め付けにより、 弾性部材 2 1 6と接触子 1 4との弾性的結 合が確保されている。
また、 図示しないが、 浅溝 3 0は、 図 9および図 1 0に示すような弾性部材 1 1 6、 2 1 6を受け入れるために、 これに適合した断面形状が与えられる。 本発明に係る接触子 1 4として、 図 1 1に示すように、 ケルビン接触子 1 4を 用いることができる。 ケルビン接触子 1 4は、 従来よく知られているように、 配 線基板 3 8上の一対の配線部 1 3 8 aに対応して、 一対の導電層 1 1 4 aと、 該 両導電層間に配置された電気絶縁層 1 1 4 bとを有する積層構造を備え、 各導電 層に形成された一対の先端 1 4 a、 1 4 aは、 接触子 1 4の伸長方向へ前後にず れて配置されているが、 ケルビン接触子 1 4では、 その両先端 1 4 a、 1 4 aは、 半導体装置 3 6の同一の電極 3 6 aに接触するように、 用いられる。 産業上の利用可能性
本発明は、 上記実施例に限定されず、 その趣旨を逸脱しない限り、 種々変更す ることができる。

Claims

請求の範囲
1 . 複数の電極が設けられた被検査体を受け入れる凹所を有するフレーム部材 と、 前記電極に対応して設けられる複数の接触子と、 前記フレーム部材の前記凹 所の底部に形成され、 前記各接触子の先端を対応する前記電極に当接可能に前記 接触子を受け入れるべく、 相互に並列的に配列された複数のスロッ トと、 前記凹 所内の前記底部上で前記スロットを横切って配置され前記接触子を弾性的に保持 する弾性部材と、 前記フレーム部材上に装着され、 前記フレーム部材との間で前 記弾性体を挟持するキヤップ部材とを含む電気的接続装置。
2 . さらに、 前記フレーム部材の下面に固定される配線基板であって前記接触子 の先端が前記電極により押下されたとき前記接触子により押圧される配線部が形 成された配線基板を含む、 請求項 1に記載の電気的接続装置。
3 . 前記各接触子の後端には、 前記スロッ トの対応する端縁に係止可能の脱落 防止部が形成されている、 請求項 1または 2に記載の電気的接続装置。
4 . 前記各接触子は、 前記弾性体の圧入を許す嵌合凹部を有し、 該嵌合凹部へ の前記弾性体の圧入により該弾性体と前記各接触子とが弾性的に結合されてい る、 請求項 1または 2に記載の電気的接続装置。
5 . 前記接触子は、 前記被検査体の前記電極から押圧力を受けないとき、 前記 弾性体の弾性力により、 前記先端を前記スロットから前記凹所内に突出させて保 持されている、 請求項 4に記載の電気的接続装置。
6 . 前記接触子の前記配線部に当接する当接部分は曲面である、 請求項 5に記 載の電気的接続装置。
7 . 前記凹所は矩形平面形状を有する凹所であり、 前記キャップ部材は前記凹 所に嵌合する矩形の平面形状を有する環状部材であり、 該環状部材の前記弾性部 材が当接する面には、 前記電極からの押圧力による前記弾性体の剪断変形を伴う 前記接触子の前記当接部分の前記配線部上での過度の移動を抑制すべく、 前記弾 性体の剪断変形を抑制するための段部が形成されている、 請求項 5に記載の電気 的接続装置。
8 . 前記キヤップ部材の上方内縁部には、 前記被検査体の前記電極と該電極に 対応する前記接触子の前記先端とが対応する検査位置へ前記被検査体を案内する ためのガイド面が形成されている、 請求項 6に記載の電気的接続装置。
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