WO2006059362A1 - 流体用機器の接続部シール構造 - Google Patents

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WO2006059362A1
WO2006059362A1 PCT/JP2004/017757 JP2004017757W WO2006059362A1 WO 2006059362 A1 WO2006059362 A1 WO 2006059362A1 JP 2004017757 W JP2004017757 W JP 2004017757W WO 2006059362 A1 WO2006059362 A1 WO 2006059362A1
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diameter
seal
flow path
connection
convex
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PCT/JP2004/017757
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Inventor
Tetsuya Ishihara
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Ckd Corporation
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Publication date
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    • F16K27/00Construction of housing; Use of materials therefor
    • F16K27/003Housing formed from a plurality of the same valve elements
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    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
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    • F16LPIPES; JOINTS OR FITTINGS FOR PIPES; SUPPORTS FOR PIPES, CABLES OR PROTECTIVE TUBING; MEANS FOR THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16L23/00Flanged joints
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    • F16L23/18Flanged joints characterised by the sealing means the sealing means being rings
    • F16L23/22Flanged joints characterised by the sealing means the sealing means being rings made exclusively of a material other than metal

Definitions

  • the present invention relates to a fluid device and relates to a seal structure of a connecting portion thereof.
  • connection portion seal structure a seal structure in which an elastic body such as rubber is interposed, a seal structure by a joint, and a seal structure by welding or adhesion are generally known.
  • Patent Document 1 an example of a seal structure that does not use an elastic body, a joint, and a welding 'adhesion means is described in Patent Document 1 below.
  • This seal structure is a seal structure relating to a connecting portion between a central block and a lower block constituting a chemical valve, and it is disclosed that both blocks are connected in an uneven relationship.
  • Patent Document 1 Japanese Patent Laid-Open No. 2001-149844
  • the above-described seal structure using an elastic body is unsuitable for applications such as a chemical solution that has insufficient corrosion resistance against acids and alkalis.
  • the seal structure using a joint requires a space for the joint itself and the joint construction, which tends to increase in size. Furthermore, welding and bonding cannot be removed or disassembled after connection, making them unsuitable for maintenance.
  • the present invention has been made in view of the above circumstances, and an object thereof is to provide a seal structure for a fluid device that has corrosion resistance, can be used for maintenance, and can contribute to downsizing. It is in.
  • the invention described in claim 1 includes a first component made of greaves.
  • a fluid device connection part seal structure in which second parts made of grease are connected to each other, formed on the connection part of the first part and the connection part of the second part, respectively, and in a concave-convex relationship with each other. It is intended that it has a concave and convex portion that is fitted in step (b) and a press-fitting allowance provided in the thickness direction of the concave and convex portion on at least one of both concave and convex portions.
  • connection part of the first component made of resin and the concave and convex strips in the connection part of the second component made of resin are fitted to each other, Concave ridges are tightly fitted by press-fitting allowance. Thereby, the connection parts of the first part and the second part are sealed to each other.
  • the invention according to claim 2 is directed to a connection part seal for a fluid device in which a first part made of a resin and a second part made of a resin are connected to each other.
  • the purpose is to provide a press-fitting allowance provided in the thickness direction of the concavo-convex strip on at least one of the corresponding concavo-convex strips.
  • connection part seal for a fluid device in which a first part made of a resin and a second part made of a resin are connected to each other.
  • An annular sealing part made of a resin interposed between the connection part of the first part and the connection part of the second part, and the connection of the connection part of the first part and the second part.
  • connection part of the first part made of resin and the connection part of the second part made of resin are connected to each other, the annular seal part is connected to the connection part of the first part.
  • the circumferential projection of the first component and the circumferential projection of the second component bite into and closely contact each other with the annular projection between the first component and the circumferential projection of the second component.
  • the seal structure is provided for a fluid device that handles acid or alkaline chemicals. Corrosion resistance can be demonstrated. In addition, the space for joints and joint construction can be reduced, which can contribute to downsizing. Furthermore, since it is not a seal structure by welding or adhesion, it can be removed and disassembled after connection, and it can also handle the maintenance of the first and second parts.
  • the first component, the second component, and the seal component are each formed from a resin, the fluid device that handles acid or alkaline chemicals,
  • the seal structure can exhibit corrosion resistance.
  • the space for joints and joint construction can be reduced, which can contribute to downsizing.
  • it since it is not a seal structure by welding or bonding, it can be removed and disassembled after connection, and maintenance of the first and second parts can also be handled.
  • the fluid device that handles acid or alkali chemicals is used as the device.
  • the seal structure can exhibit corrosion resistance.
  • the space for joints and joint construction can be reduced, which can contribute to downsizing.
  • it since it is not a seal structure by welding or adhesion, it can be removed and disassembled after connection, and maintenance of the first and second parts can be handled.
  • FIG. 1 is a cross-sectional view showing a chemical valve.
  • FIG. 2 is an exploded sectional view showing a chemical valve.
  • FIG. 3 is an enlarged sectional view showing a connection portion.
  • FIG. 4 is an enlarged sectional view showing an H-shaped ring.
  • FIG. 5 is a partial sectional view showing a circumferential groove.
  • FIG. 6 An enlarged cross-sectional view showing a part of the concavo-convex portion of each connection portion corresponding to the H-shaped ring.
  • FIG. 7 is a cross-sectional view showing a chemical valve.
  • FIG. 8 is an exploded sectional view showing a chemical valve.
  • FIG. 9 is a plan view showing a part of the hold base.
  • FIG. 10 is a cross-sectional view showing a chemical valve.
  • FIG. 11 is an exploded sectional view showing a chemical valve.
  • FIG. 12 is an enlarged cross-sectional view showing a connection portion.
  • FIG. 13 is an exploded enlarged cross-sectional view showing a connection portion.
  • FIG. 14 is an enlarged sectional view showing a connection portion.
  • FIG. 15 is an exploded enlarged sectional view showing a connection portion.
  • FIG. 16 is an enlarged cross-sectional view showing a connection portion.
  • FIG. 17 is an exploded enlarged sectional view showing a connection portion.
  • FIG. 18 is a cross-sectional view showing a chemical valve.
  • FIG. 19 is an exploded sectional view showing a chemical valve.
  • FIG. 20 is an enlarged sectional view showing a connection part.
  • FIG. 21 is an exploded enlarged sectional view showing a connection portion.
  • connection device seal structure for a fluid device of the present invention is embodied will be described in detail with reference to the drawings.
  • FIG. 1 is a cross-sectional view showing a hold-type chemical liquid valve 1 as a fluid device of the present invention.
  • FIG. 2 shows the chemical valve 1 in an exploded sectional view.
  • the chemical valve 1 includes a mounting plate 2, a manifold base 3 made of resin fixed on the plate 2, and a valve portion 4 made of resin fixed on the base 3.
  • the chemical liquid valve 1 is configured by connecting the mother base 3 and the valve portion 4 to each other.
  • the hold base 3 corresponds to the first part of the present invention
  • the valve portion 4 corresponds to the second part of the present invention.
  • both the hold base 3 and the flow path block 9 of the valve unit 4 are made of PTFE.
  • a flow path 5 is formed in the maroonore base 3.
  • a flow path 6 communicating with the flow path 5 is formed.
  • the periphery of the flow path 6 is a connecting portion 7 of the hold base 3.
  • the nozzle section 4 includes a flow path block 9 having a flow path 8 and a cylinder 11 having a piston 10 built therein.
  • the flow path block 9 is provided with a pipe joint 12 for connecting a pipe to the flow path 8.
  • a diaphragm valve element 13 that opens and closes the flow path 8 is provided between the flow path block 9 and the cylinder 11.
  • the diaphragm valve body 13 is connected to the piston 10. Pilot air enters and exits through a corresponding air port 17 into the lower chamber 15 of the cylinder 11 divided up and down by the piston 10. As the piston 10 moves in response to this notlot air, the die 10 The aphram valve element 13 is activated and the flow path 8 is opened.
  • a flow path 18 is provided on the lower surface of the flow path block 9.
  • the periphery of the flow path 18 is a connection portion 19 of the flow path block 9.
  • An H-shaped ring 20 is interposed between the connection portion 7 of the hold base 3 and the connection portion 19 of the flow path block 9 as a sealing part made of the resin of the present invention.
  • the H-shaped ring 20 is formed of PFA that is slightly harder than PTFE.
  • FIG. 3 is an enlarged cross-sectional view of the connecting portions 7 and 19 described above.
  • Concave and convex strips 21 and 22 are formed at corresponding portions of the connecting portion 7 of the mother base 3 and the H-shaped ring 20 so as to be fitted in a concave-convex relationship.
  • Concave and convex strips 23 and 24 are formed in the corresponding portions of the connecting portion 19 of the same flow path block 9 and the H-shaped ring 20 so as to fit with each other in a concave-convex relationship.
  • FIG. 4 shows the H-shaped ring 20 in an enlarged cross-sectional view.
  • the H-shaped ring 20 has an H-shaped cross section.
  • the H-shaped ring 20 has a thick ring shape, and on its lower surface, a circumferential groove 25 is formed in the center of the thickness direction (radial direction) indicated by an arrow X to form a ring-shaped uneven strip 22.
  • a circumferential groove 26 is formed at the center in the thickness direction (radial direction) indicated by an arrow X, and a ring-shaped uneven strip 24 is formed.
  • a press-fitting allowance 27 having a thickness in the thickness direction (radial direction) of the H-shaped ring 20 is provided on the inner wall of each circumferential groove 25, 26 so as to be surrounded by a broken line in FIG.
  • FIG. 5 shows a cross-sectional shape of the upper circumferential groove 26.
  • the circumferential groove 26 includes a tapered opening portion 26a, and an upper step portion 26b and a lower step portion 26c located on the lower side thereof.
  • the width W1 of the upper step portion 26b is set to be slightly wider than the width W2 of the lower step portion 26c, and the difference AW of the width is the press-fitting allowance 27 provided corresponding to the lower step portion 26c. That is, the opposite inner portions of the lower step portion 26c of the circumferential groove 26 become the press-fitting allowance 27.
  • FIG. 6 is an enlarged sectional view showing a part of the ridges 21 and 23 of the connecting portions 7 and 19 corresponding to the H-shaped ring 20.
  • the concave and convex strip 21 of the lower connection portion 7 has a circumferential convex strip 21a corresponding to the circumferential groove 25 of the H-shaped ring 20 at the radial center of the circumferential step portion, and is configured in an annular shape.
  • the concave and convex strips 23 of the upper connecting portion 19 have an annular ridge 23a corresponding to the circumferential groove 26 of the H-shaped ring 20 at the radial center of the circumferential step portion, and are configured in an annular shape.
  • the width W3 of the circumferential ridges 21a, 23a in the thickness direction is set to be the same as the width W1 of the upper ridges 25b, 26b of the circumferential grooves 25, 26 of the H-shaped ring 20.
  • the seal structure of each of the connection portions 7 and 19 is configured.
  • connection portion seal structure when the connection portion 7 of the resin base 3 made of resin and the connection portion 19 of the flow path block 9 made of resin are connected to each other, The concave and convex strip 21 of the base 3 and the concave and convex strip 22 of the H-shaped ring 20 are fitted to each other, and the concave and convex strip 23 of the flow path block 9 and the concave and convex strip 24 of the H-shaped ring 20 are fitted to each other.
  • the hold base 3, the flow path block 9, and the H-shaped ring 20 are each formed of fluorine resin, so that the chemical valve 1 that handles acid and alkaline chemicals is used, and the seals thereof are used.
  • the structure can exhibit corrosion resistance.
  • the joint is not used to connect the manifold base 3 and the valve part 4 to each other, and the structure is such that the H-shaped ring 20 is interposed between the parts 3 and 4. This can also contribute to miniaturization.
  • it since it is not a seal structure by welding or bonding, it can be removed and disassembled after connection, and maintenance of both parts 3 and 4 can also be handled.
  • FIG. 7 is a cross-sectional view of a manifold type chemical valve 31 as a resin-made device of the present invention.
  • FIG. 8 shows the chemical valve 31 in an exploded sectional view.
  • Fig. 9 shows a part of the hold base 3 in plan view.
  • This embodiment differs from the first embodiment in that the connecting portion seal structure is a double seal.
  • connection portion 7 of the hold base 3 is formed with the first small-diameter irregularities 32 and the first large-diameter irregularities 33 centered on the same point. Is done. 1st small diameter
  • a first flow path B 34 is formed inside the uneven strip 32. This flow passage b 34 leads to a flow passage 35 formed in the mold base 3.
  • a second flow path 36 is formed between the first small-diameter irregularities 32 and the first large-diameter irregularities 33.
  • This flow path 36 leads to a flow path 37 formed in the mold base 3.
  • the connecting portion 19 of the nozzle portion 4 has a second small-diameter concavo-convex strip 38 and a second large-diameter concavo-convex strip centered on the same point. 39 is formed.
  • a third flow path 40 is formed inside the second small-diameter unevenness 38.
  • the flow path B 40 leads to a flow path 41 formed in the flow path block 9.
  • the flow path B 40 is aligned with the first flow path B 34.
  • a fourth flow path 42 is formed between the second small-diameter concavo-convex line 38 and the second large-diameter concavo-convex line 39.
  • This flow path 42 also leads to the flow path 43 formed in the flow path block 9.
  • This flow path B corresponds to the second flow path B.
  • each of the small diameter uneven strips 32, 38 and each of the large diameter uneven strips 33, 39 is basically the same as each of the uneven strips 21, 23 shown in Fig. 6 and includes a circumferential convex strip. .
  • a small-diameter H-shaped ring 44 as a small-diameter sealing part made of the resin of the present invention is interposed between the two connecting portions 7 and 19 and between the small-diameter irregularities 32 and 38.
  • a first small-diameter seal irregularity 44a is formed that fits into the first small-diameter irregularity 32 in an irregular relationship.
  • a second small-diameter seal irregularity 44b that fits in a concave-convex relationship with the second small-diameter irregularity 38 is formed.
  • the configuration of the small-diameter H-shaped ring 44 is basically the same as the H-shaped ring 20 shown in FIGS. Further, the configuration of each of the small-diameter seal irregularities 44a and 44b is basically the same as the irregularities 22 and 24 of the first embodiment, and includes a circumferential groove.
  • a large-diameter H-shaped ring 45 serving as a large-diameter sealing part made of the resin of the present invention is interposed between the two large-diameter irregularities 33 and 39 between the two connecting portions 7 and 19.
  • a second large-diameter seal uneven strip 45b that fits into the second large-diameter uneven strip 39 in a concave-convex relationship is formed.
  • the configuration of the large-diameter H-shaped ring 45 is basically the same as that of the H-shaped ring 20 shown in FIGS.
  • the configuration of each large-diameter seal uneven strip 45a, 45b is the same as the uneven strip 22, 24 of the first embodiment. This is essentially the same and includes a circumferential groove.
  • connection device seal structure for a fluid device of the present invention is specifically described will be described in detail with reference to the drawings.
  • FIG. 10 shows a sectional view of a hold-type chemical valve 61 as a fluid device of the present invention.
  • FIG. 11 shows an exploded sectional view of the chemical valve 61.
  • the chemical valve 61 includes a mounting plate 62, a resin-made hold base 63 fixed on the plate 62, and a resin-made valve unit 64 fixed on the base 63. Also in this embodiment, the chemical liquid valve 61 is configured by connecting the hold base 63 and the valve portion 64 to each other.
  • the hold base 63 corresponds to the first part made of the resin of the present invention
  • the valve portion 64 corresponds to the second part made of the resin of the present invention.
  • the hold body 63 and the flow path block 70 of the valve portion 64 are both formed of PTFE.
  • the hold base 63 includes a flow path 65 and a pipe joint 66 that connects a pipe to the flow path 65.
  • a flow path 67 is provided on the upper surface of the base 63.
  • the periphery of the flow path 67 is a connecting portion 68 of the manifold base 63.
  • the valve section 64 includes a flow path block 70 having a flow path 69, a manual actuator 72 incorporating a shaft 71, and the like.
  • the channel block 70 is provided with a pipe joint 73 for connecting a pipe to the channel 69.
  • a diaphragm valve element 74 that opens and closes the flow path 69 is provided between the flow path block 70 and the manual actuator 72.
  • Diaphragm valve body 74 is connected to shaft 71.
  • the shaft 71 is moved by turning a manual knob connected to the screw, the diaphragm valve element 74 is activated, and the flow path 69 is opened and closed.
  • a flow path 75 is provided on the lower surface of the flow path block 70. The periphery of the flow path 75 is the connection portion 76 of the flow path block 70.
  • FIG. 12 is an enlarged cross-sectional view of the connection portions 68 and 76 described above.
  • Figure 13 shows the connection 6 8 and 76 are exploded and shown in an enlarged sectional view.
  • Concave and convex strips 77 and 78 are formed on the connecting portion 68 of the mother base 63 and the connecting portion 76 of the flow path block 70 so as to be fitted in a concave-convex relationship.
  • the ridges 77 of the hold base 63 have peripheral ridges 77a at positions outside the annular recess formed around the flow path 67.
  • the uneven strip 78 of the channel block 70 has a circumferential groove 78 a at a position outside the cylindrical convex portion formed around the channel port 75.
  • press-fitting allowances 79 are provided on both sides in the thickness direction (radial direction) of the circumferential ridge 77 a of the concavo-convex ridge 77. That is, in this embodiment, the width W12 of the circumferential projection 77a of the projection 77 is set slightly larger than the width W11 of the circumferential groove 78a of the projection 78, and the difference between the widths W11 and W12 is the circumferential projection.
  • the 77a press-fit allowance is 79.
  • connection portion seal structure of this embodiment the projections and depressions 77 in the connection portion 68 of the marble base 63 made of resin and the connection portion 76 of the flow path block 70 made of resin.
  • the concavo-convex ridges 78 are tightly fitted by press-fitting allowances 79.
  • the circumferential ridge 77a is fitted into the circumferential groove 78a, and each circumferential ridge 77a is tightly fitted in the thickness direction (radial direction) by the press-fitting allowance 79.
  • the circumferential ridge 77a is also pressed by both side forces in the radial direction, and the gap between the ridges 77 and 78 is sealed. Therefore, the connection bases 68 and 76 of the manifold base 63 and the flow path block 70 are securely sealed to each other.
  • the hold base 63 and the flow path block 70 are each formed of fluorine resin, so that the chemical valve 61 that handles acid or alkaline chemicals is used, and the seal structure exhibits corrosion resistance. Can do.
  • a joint is not used to connect the hold base 63 and the valve part 64 to each other, and a seal part such as an H-shaped ring is not interposed, so the number of parts is reduced. Can also contribute.
  • it since it is not a seal structure by welding or adhesion, it can be removed and disassembled after connection, and maintenance of both parts 63 and 64 can also be handled.
  • FIG. 14 is an enlarged cross-sectional view of the connection portions 7 and 19 of the hold base 3 and the flow path block 9.
  • FIG. 15 is an exploded sectional view of the connecting parts 7 and 19.
  • a ring-shaped seal part 81 made of grease is interposed between the connection part 7 of the marble base 3 made of grease and the connection part 19 of the flow path block 9 made of grease.
  • Concavity and convexity ridges 82 and 83 are formed at corresponding portions of the connection portion 7 of the mother base 3 and the seal part 81 so as to be fitted with each other in a concavo-convex relationship.
  • Concavity and convexity strips 84 and 85 are formed in the corresponding portions of the connection portion 19 of the flow path block 9 and the seal part 81 so as to be fitted in a concave-convex relationship with each other.
  • the concave and convex strip 82 of the hold base 3 is formed with the circumferential groove 82a formed around the flow path b 6 and the flow path b 6 inside the circumferential groove 82a. And a shape including a sleeve 82b.
  • the opening of the sleeve portion 82b connected to the flow path 6 is a tapered surface 82c.
  • the uneven strip 84 of the flow path block 9 includes a circumferential groove 84a formed around the flow path 18 and a sleeve portion 84b formed around the flow path opening 18 inside the circumferential groove 84a.
  • the opening of the sleeve 84b connected to the flow path port 18 is a tapered surface 84c.
  • the concave and convex strip 83 of the seal part 81 corresponding to the concave and convex strip 82 of the hold base 3 is located on the inner side of the peripheral convex strip 83a and the peripheral convex strip 83a to be press-fitted into the peripheral groove 82a.
  • a shape including the above-described circumferential recess 83b into which the sleeve 82b is press-fitted is formed.
  • the circumferential groove 83b has a tapered surface 83c aligned with the tapered surface 82c of the sleeve portion 82b.
  • the concave / convex strip 85 of the seal part 81 corresponding to the concave / convex strip 84 of the same flow path block 9 is located on the inner side of the peripheral convex strip 85a and the peripheral convex strip 85a. And a circumferential recess 85b into which the sleeve portion 84b is press-fitted.
  • the circumferential groove 85b has a tapered surface 85c that matches the teno 4c of the sleeve 84b.
  • a press-fitting allowance 87 is provided on the inner side in the thickness direction (radial direction) of the circumferential protrusions 83a and 85a of the seal part 81.
  • the width W22 of the root portion of each circumferential protrusion 83a, 85a of the seal part 81 is set slightly larger than the width W21 of the circumferential grooves 82a, 84a of each unevenness 82, 84. Then, the difference between the widths W21 and W22 becomes the press-fitting allowance 87 of each circumferential ridge 83a and 85a!
  • connection device seal structure for a fluid device of the present invention is specifically described will be described in detail with reference to the drawings.
  • FIG. 16 is an enlarged cross-sectional view showing the connection parts 7 and 19 of the hold base 3 and the flow path block 9.
  • FIG. 17 is an exploded sectional view of the connecting portions 7 and 19.
  • the configuration of the fourth embodiment is the same as the configuration of the concave and convex strips 82 and 84 of the hold base 3 and the flow path block 9, and the shape of the concave and convex strips 83 and 85 of the seal part 81. Are different.
  • the concave and convex strips 8 2 and 84 of the hold base 3 and the flow path block 9 are formed on the sleeve portions 82b and 84b, and the outer sleeve portions 82d and 84d located outside thereof. including . Then, the teno surfaces 82e and 84e are respectively formed on the outer peripheries of the outer surfaces 82d and 84d.
  • the concave and convex strips 83 and 85 of the seal part 81 include outer peripheral concave strips 83d and 85d located outside the peripheral convex strips 83a and 85a in addition to the peripheral concave strips 83b and 85b.
  • outer circumferential recesses 83d and 85d are respectively formed with tapered surfaces 83e and 85e.
  • a press-fitting allowance 87 is also provided on the outer side in the thickness direction (radial direction) of each circumferential ridge 83a, 85a.
  • the tapered surface 82c of the sleeve portion 82b and the tapered surface 83c of the circumferential concave strip 83b are provided.
  • the tapered surface 82e of the outer sleeve 82d and the tapered surface 83e of the outer circumferential groove 83d are pressed against each other, so that the press-fitting allowance 87 of the circumferential convex 83a is tightly fitted in the circumferential groove 82a. It is.
  • the concave and convex strips 84 and 85 of the flow path block 9 and the seal part 81 are fitted together.
  • the tapered surface 84c of the sleeve 84b and the tapered surface 85c of the circumferential groove 85b, and the tapered surface 84e of the outer sleeve 84d and the tapered surface 85e of the outer circumferential groove 85d are in pressure contact with each other.
  • the press-fitting allowance 87 of the circumferential ridge 85a is tightly fitted in the circumferential groove 84a.
  • the connection parts 7 and 19 of the hold base 3 and the valve part 4 are sealed with each other via the seal part 81.
  • this embodiment can provide the same effects as those of the first embodiment.
  • connection device seal structure for a fluid device of the present invention is concretely described with reference to the drawings.
  • connection portion seal structure of this embodiment the first component and the second component are not connected and connected in a concave-convex relationship between the first component and the second component via the seal component.
  • the structure is different from the connection seal structure of the first to fifth embodiments in that it is a type in which the components are connected by crimping in the axial direction through an annular seal component. That is, FIG. 18 shows a sectional view of a hold type chemical liquid valve 91 as a fluid device of the present invention. FIG. 19 shows an exploded sectional view of the chemical valve 91.
  • a first recess 92 and a second recess 93 are formed in the connection portion 7 of the hold base 3. Inside the first recess 92, a first flow path 34 that communicates with the flow path 35 is formed. Inside the second recess 93, a second flow path port 36 communicating with the flow path 37 is formed.
  • a third recess 94 and a fourth recess 95 are formed in the connecting portion 19 of the nozzle portion 4 (flow channel block 9). Inside the third recess 94, a third flow path 40 that communicates with the flow path 41 is formed. The flow path B 40 is aligned with the first flow path B 34. Inside the fourth recess 95, a fourth flow path B 42 communicating with the flow path 43 is formed. This channel B 42 is aligned with the second channel B 36.
  • annular seal component 96 made of the grease of the present invention is interposed between the first recess 92 and the third recess 94.
  • annular seal part 97 made of the grease of the present invention is interposed between the second concave portion 93 and the fourth concave portion 95.
  • FIG. 20 is an enlarged cross-sectional view of the first and third recesses 92 and 94 in the connection portions 7 and 19 described above.
  • the first and third recesses 92, 94 are disassembled and an enlarged sectional view is shown. Show. Since the configuration of the second and fourth recesses 93 and 95 is the same as the configuration of the first and third recesses 92 and 94, description thereof will be omitted.
  • Circumferential protrusions 98 and 99 are formed on the bottom surfaces of the first and third recesses 92 and 94, respectively. In this embodiment, each circumferential protrusion 98, 99 has a cross-sectional shape with a sharpened tip.
  • the circumferential protrusions 98, 99 is designed to bite and connect to the lower and upper surfaces of the annular seal parts 96,97.
  • connection part seal structure when connecting the connection part 7 of the marble base 3 made of fluorine resin and the connection part 19 of the valve part 4 made of fluorine resin, Annular seal parts 96, 97 made of fluorine resin are pressed against the bottom surfaces of the recesses 92-95 of both connecting parts 7, 19.
  • the connecting portion 7 of the mother base 3 and the connecting portion 19 of the valve portion 4 are sealed together via the annular seal parts 96, 97.
  • the mold base 3, the nozzle part 4 and the annular seal parts 96, 97 are made of fluorine resin, respectively. It can be demonstrated.
  • the space for joints and joint construction can be reduced, contributing to downsizing.
  • it since it is not a seal structure by welding or adhesion, it can be removed and disassembled after connection, and maintenance of the hold base 3 and the valve unit 4 can be handled.
  • connection seal structure of the double seal is embodied when a small-diameter seal component and a large-diameter seal component are interposed between the first component and the second component. did .
  • connection seal structure of the double seal is specifically described in the case where the seal part is not interposed between the first part and the second part as in the third embodiment. Well ...
  • the hold base and the body are connected to each other.
  • the first small-diameter irregularities and the first large-diameter irregularities centering on the same point are formed at the joint of the manifold base.
  • a first flow path B is formed on the inner side.
  • a second flow path B is formed between the first small-diameter irregularities and the first large-diameter irregularities.
  • a second small-diameter irregularity strip and a second large-diameter irregularity strip centering on the same point are formed at the connection portion of the body, and aligned with the first flow path port inside the second small-diameter irregularity strip.
  • a third flow path B is formed.
  • a fourth flow path B corresponding to the second flow path opening is formed between the second small diameter uneven line and the second large diameter uneven line. Then, the first small-diameter ridges and the second small-diameter ridges are fitted with each other in a concavo-convex relationship, and a press-fitting allowance is provided in the thickness direction of the small-diameter concavo-convex strips in at least one of the small-diameter concavo-convex strips.
  • first large-diameter concavo-convex ridge and the second large-diameter concavo-convex ridge are fitted with each other in a concavo-convex relationship, and at least one of the large-diameter concavo-convex ridges is press-fitted in the thickness direction of the large-diameter concavo-convex ridge. Is provided.
  • These small-diameter concavo-convex ridges and large-diameter concavo-convex ridges have shapes conforming to the concavo-convex ridges 77 and 78 shown in FIGS.
  • the second flow path port and the fourth flow path port are sealed and connected in the space between the both small diameter irregularities and both large diameter irregularities.
  • the first small-diameter irregularities and the first large-diameter irregularities are formed around the same point in the connection portion of the mold base, and the second small-diameter irregularities and the second large-diameter stripe in the body connection are formed.
  • the diameter irregularities are formed around the same point. For this reason, the alignment accuracy with a small positional deviation between the corresponding small-diameter concavo-convex ridges and the corresponding large-diameter concavo-convex ridges is improved.
  • the gap between the first and second small-diameter irregularities can be reliably sealed, and the gap between the first and second large-diameter irregularities can be reliably sealed.
  • Fluidic equipment made by connecting a first part made of resin and a second part made of resin together A connecting portion sealing structure
  • a third flow path opening formed inside the second small-diameter irregularities and aligned with the first flow path opening;
  • a small-diameter seal part made of a resin interposed between the first and second small-diameter concavo-convex ridges; 1 small-diameter seal irregularities,
  • connection part seal structure for a fluid device comprising:

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Abstract

 樹脂よりなるマニホールドベース(3)と樹脂よりなるバルブ部(4)とを互いに接続してなる薬液弁(1)の接続部シール構造は、ベース(3)の接続部(7)とバルブ部(4)の接続部(19)との間に介在される樹脂よりなるH形リング(20)を備える。ベース(3)の接続部(7)とH形リング(20)の対応部位には、互いに凹凸の関係で嵌合する凹凸条(21,22)がそれぞれ形成される。バルブ部(4)の接続部(19)とH形リング(20)の対応部位には、互いに凹凸の関係で嵌合する凹凸条(23,24)がそれぞれ形成される。そして、対応する各凹凸条(21,22)の少なくとも一方と、対応する各凹凸条(23,24)の少なくとも一方に、各凹凸条(21~24)の肉厚方向に圧入代が設けられる。    

Description

明 細 書
流体用機器の接続部シール構造
技術分野
[0001] この発明は、流体用機器に係り、その接続部のシール構造に関する。
背景技術
[0002] 従来、この種の接続部シール構造としては、ゴム等の弾性体を介在させたシール構 造、継手によるシール構造、溶着や接着によるシール構造が一般的に知られている
[0003] 一方、弾性体、継手及び溶着 '接着の手段を用いないシール構造の一例が下記の 特許文献 1に記載されている。このシール構造は、薬液弁を構成する中央ブロックと 下部ブロックとの接続部に係るシール構造であり、両ブロックを凹凸の関係で接続す ることが開示されている。
特許文献 1:特開 2001—149844号公報
発明の開示
発明が解決しょうとする課題
[0004] ところが、上記した弾性体を使用したシール構造は、酸やアルカリに対して耐食性 が十分でなぐ薬液等の用途には不向きであった。また、継手を使用したシール構造 では、継手そのものや継手施工のためのスペースが必要となり、大型化する傾向が あった。さらに、溶着や接着では、接続後の取り外しや分解ができず、メンテナンスに 不向きであった。
[0005] 一方、上記した特許文献 1に記載のシール構造は、二つのブロックを凹凸の関係で 接続して ヽるものの、シールのための具体的な構成が何も記載されて ヽなかった。
[0006] この発明は上記事情に鑑みてなされたものであって、その目的は、耐食性があり、 メンテナンスにも対応でき、小型化にも寄与可能とした流体用機器のシール構造を 提供することにある。
課題を解決するための手段
[0007] 上記目的を達成するために、請求項 1に記載の発明は、榭脂よりなる第 1の部品と 榭脂よりなる第 2の部品を互いに接続してなる流体用機器の接続部シール構造であ つて、第 1の部品の接続部と第 2の部品の接続部にそれぞれ形成され、互いに凹凸 の関係で嵌合する凹凸条と、両凹凸条の少なくとも一方にて凹凸条の肉厚方向に設 けられた圧入代とを備えたことを趣旨とする。
[0008] 上記発明の構成によれば、榭脂よりなる第 1の部品の接続部における凹凸条と榭 脂よりなる第 2の部品の接続部における凹凸条とを互いに嵌合することにより、各凹 凸条が圧入代により締まり嵌めされる。これにより、第 1の部品及び第 2の部品の接続 部が互いにシールされる。
[0009] 上記目的を達成するために、請求項 2に記載の発明は、榭脂よりなる第 1の部品と 榭脂よりなる第 2の部品を互いに接続してなる流体用機器の接続部シール構造であ つて、第 1の部品の接続部と第 2の部品の接続部との間に介在される榭脂よりなるシ ール部品と、第 1の部品の接続部とシール部品の対応部位にそれぞれ形成され、互 いに凹凸の関係で嵌合する凹凸条と、第 2の部品の接続部とシール部品の対応部 位にそれぞれ形成され、互いに凹凸の関係で嵌合する凹凸条と、対応する各凹凸条 の少なくとも一方にて凹凸条の肉厚方向に設けられた圧入代とを備えたことを趣旨と する。
[0010] 上記発明の構成によれば、榭脂よりなる第 1の部品の接続部と樹脂よりなる第 2の 部品の接続部を互いに接続する際、第 1の部品の凹凸条とシール部品の凹凸条とを 互いに嵌合し、第 2の部品の凹凸条とシール部品の凹凸条とを互いに嵌合する。こ れにより、各凹凸条が圧入代により締まり嵌めされる。従って、第 1の部品及び第 2の 部品の接続部が互いにシール部品を介してシールされる。
[0011] 上記目的を達成するために、請求項 3に記載の発明は、榭脂よりなる第 1の部品と 榭脂よりなる第 2の部品を互いに接続してなる流体用機器の接続部シール構造であ つて、 第 1の部品の接続部と第 2の部品の接続部との間に介在される榭脂よりなる 環状シール部品と、第 1の部品の接続部と第 2の部品の接続部にそれぞれ形成され た周状突起とを備え、第 1の部品の接続部と第 2の部品の接続部とを環状シール部 品を間に挟んで軸線方向に圧着させたときに各周状突起が環状シール部品に食い 込んで接続されることを趣旨とする。 [0012] 上記発明の構成によれば、榭脂よりなる第 1の部品の接続部と樹脂よりなる第 2の 部品の接続部を互いに接続する際、環状シール部品が第 1の部品の接続部及び第 2の部品の接続部に圧接すると共に、第 1の部品の周状突起と第 2の部品の周状突 起がそれぞれ間に挟まれた環状シール部品に食い込んで密着する。これにより、第 1の部品の接続部と第 2の部品の接続部とが互いに環状シール部品を介してシール される。
発明の効果
[0013] 請求項 1に記載の発明によれば、第 1の部品及び第 2の部品がそれぞれ榭脂より形 成されるので、酸やアルカリの薬液を扱う流体用機器につき、そのシール構造に耐 食性を発揮させることができる。また、継手及び継手施工のためのスペースを削減で きるため、小型化にも寄与することができる。さらに、溶着や接着によるシール構造で ないことから、接続後に取り外しや分解を行うことができ、第 1及び第 2の部品のメンテ ナンスにも対応することができる。
[0014] 請求項 2に記載の発明によれば、第 1の部品、第 2の部品及びシール部品がそれ ぞれ榭脂より形成されるので、酸やアルカリの薬液を扱う流体用機器につき、そのシ ール構造に耐食性を発揮させることができる。また、継手及び継手施工のためのスぺ ースを削減できるため、小型化にも寄与することができる。さらに、溶着や接着による シール構造でないことから、接続後に取り外しや分解を行うことができ、第 1及び第 2 の部品のメンテナンスにも対応することができる。
[0015] 請求項 3に記載の発明によれば、第 1の部品、第 2の部品及び環状シール部品が それぞれ榭脂より形成されるので、酸やアルカリの薬液を扱う流体用機器につき、そ のシール構造に耐食性を発揮させることができる。また、継手及び継手施工のための スペースを削減できるため、小型化にも寄与することができる。さらに、溶着や接着に よるシール構造でないことから、接続後に取り外しや分解を行うことができ、第 1及び 第 2の部品のメンテナンスにも対応することができる。
図面の簡単な説明
[0016] [図 1]薬液弁を示す断面図。
[図 2]薬液弁を示す分解断面図。 [図 3]接続部を示す拡大断面図。
[図 4]H形リングを示す拡大断面図。
[図 5]周溝を示す部分断面図。
[図 6]H形リングと対応する各接続部の凹凸条の一部を示す拡大断面図。
[図 7]薬液弁を示す断面図。
[図 8]薬液弁を示す分解断面図。
[図 9]マ-ホールドベースの一部を示す平面図。
[図 10]薬液弁を示す断面図。
[図 11]薬液弁を示す分解断面図。
[図 12]接続部を示す拡大断面図。
[図 13]接続部を示す分解拡大断面図。
[図 14]接続部を示す拡大断面図。
[図 15]接続部を示す分解拡大断面図。
[図 16]接続部を示す拡大断面図。
[図 17]接続部を示す分解拡大断面図。
[図 18]薬液弁を示す断面図。
[図 19]薬液弁を示す分解断面図。
[図 20]接続部を示す拡大断面図。
[図 21]接続部を示す分解拡大断面図。
符号の説明
1 薬液弁 (流体用機器)
3 マ-ホールドベース(第 1の部品)
4 バルブ部(第 2の部品)
7 接続部
19 接続部
20 H形リング(シール部品)
21 凹凸条
22 凹凸条 凹凸条
凹凸条
圧入代
薬液弁 (流体用機器)
第 1の小径凹凸条
第 1の大径凹凸条
第 1の流路ロ
第 2の流路ロ
第 2の小径凹凸条
第 2の大径凹凸条
第 3の流路ロ
第 4の流路口
小径 H形リング (小径シ -ル部 ¾) 大径 H形リング (大径シ -ル部 ¾) 薬液弁 (流体用機器)
マ-ホールドベース (第 1の部 バルブ部(第 2の部品) 流路ロ
接続部
流路ロ
接続部
凹凸条
凹凸条
圧入代
シール部材
凹凸条
凹凸条
凹凸条 91 薬液弁 (流体用機器)
96 環状シール部品
97 環状シール部品
98 周状突起
99 周状突起
発明を実施するための最良の形態
[0018] [第 1の実施形態]
以下、本発明の流体用機器の接続部シール構造を具体化した第 1の実施形態を 図面を参照して詳細に説明する。
[0019] 図 1に、本発明の流体用機器としてのマ-ホールドタイプの薬液弁 1を断面図により 示す。図 2に、その薬液弁 1を分解断面図により示す。この薬液弁 1は、マウンティン グプレート 2と、同プレート 2上に固定された樹脂よりなるマ二ホールドベース 3と、同 ベース 3上に固定された樹脂よりなるバルブ部 4とを備える。この実施形態では、マ- ホールドベース 3とバルブ部 4を互いに接続することにより薬液弁 1が構成される。こ の実施形態では、マ-ホールドベース 3が本発明の第 1の部品に相当し、バルブ部 4 が本発明の第 2の部品に相当する。この実施形態では、マ-ホールドベース 3及び バルブ部 4の流路ブロック 9はともに、 PTFEより形成される。
[0020] マ-ホーノレドベース 3には、流路 5が开成される。マ-ホーノレドベース 3の上面には 、流路 5に通じる流路ロ 6が形成される。この流路ロ 6の周囲が、マ-ホールドベース 3の接続部 7となっている。
[0021] ノ レブ部 4は、流路 8を有する流路ブロック 9と、ピストン 10を内蔵したシリンダ 11と を含む。流路ブロック 9には、流路 8に配管を接続するための管継手 12が設けられる 。流路ブロック 9とシリンダ 11との間には、流路 8を開閉するダイアフラム弁体 13が設 けられる。ダイアフラム弁体 13はピストン 10に連結される。ピストン 10により上下に区 画されたシリンダ 11の下側の部屋 15には、対応するエアポート 17を通じてパイロット エアが出入りする。このノ ィロットエアを受けてピストン 10が移動することにより、ダイ アフラム弁体 13が作動し、流路 8が開かれる。流路ブロック 9の下面には、流路ロ 18 が設けられる。この流路ロ 18の周囲が、流路ブロック 9の接続部 19となっている。
[0022] マ-ホールドベース 3の接続部 7と流路ブロック 9の接続部 19との間には、本発明 の榭脂よりなるシール部品としての H形リング 20が介在される。この実施形態で、 H 形リング 20は、 PTFEよりやや硬い PFAにより形成される。
[0023] 図 3に、上記した接続部 7, 19を拡大断面図に示す。マ-ホールドベース 3の接続 部 7と H形リング 20の対応部位には、互いに凹凸の関係で嵌合する凹凸条 21, 22 がそれぞれ形成される。同じぐ流路ブロック 9の接続部 19と H形リング 20の対応部 位には、互いに凹凸の関係で嵌合する凹凸条 23, 24がそれぞれ形成される。
[0024] 図 4に、 H形リング 20を拡大断面図により示す。この H形リング 20は、その断面が H 形をなしている。 H形リング 20は、肉厚なリング形状をなし、その下面において、矢印 Xで示す肉厚方向(半径方向)中央に周溝 25が形成され、リング状の凹凸条 22をな している。同じぐ H形リング 20は、その上面において、矢印 Xで示す肉厚方向(半径 方向)中央に周溝 26が形成され、リング状の凹凸条 24をなしている。この実施形態 で、各周溝 25, 26の内壁には、図 4に破線で囲むように、 H形リング 20の肉厚方向( 半径方向)に厚みを有する圧入代 27が設けられる。
[0025] 図 5に、上側の周溝 26の断面形状を示す。周溝 26は、テーパ状の開口部 26aと、 その下側に位置する上段部 26b及び下段部 26cとを含む。上段部 26bの幅 W1は下 段部 26cの幅 W2よりやや広く設定され、その幅の差分 AWが下段部 26cに対応して 設けられた圧入代 27となっている。つまり、周溝 26の下段部 26cの相対向する内側 部分が圧入代 27となって 、る。
[0026] 図 6に、 H形リング 20に対応する各接続部 7, 19の凹凸条 21, 23の一部を拡大断 面図により示す。下側の接続部 7の凹凸条 21は、円周状の段部の半径方向中央に、 H形リング 20の周溝 25に対応する周凸条 21aを有し、円環状に構成される。上側の 接続部 19の凹凸条 23は、円周状の段部の半径方向中央に、 H形リング 20の周溝 2 6に対応する周凸条 23aを有し、円環状に構成される。各周凸条 21a, 23aの肉厚方 向の幅 W3は、 H形リング 20の各周溝 25, 26の上段咅 25b, 26bの幅 W1と同じに設 定される。上記のように各接続部 7, 19のシール構造が構成される。 [0027] 従って、上記した接続部シール構造によれば、榭脂よりなるマ-ホールドベース 3の 接続部 7と榭脂よりなる流路ブロック 9の接続部 19を互いに接続するとき、マ-ホール ドベース 3の凹凸条 21と H形リング 20の凹凸条 22とを互いに嵌合し、流路ブロック 9 の凹凸条 23と H形リング 20の凹凸条 24とを互いに嵌合する。これにより、各凹凸条 2 1, 23の周凸条 21a, 23aが H形リング 20の各周溝 25, 26に嵌合されるとき、各周溝 25, 26の圧入代 27により各周凸条 21a, 23aがその肉厚方向(半径方向)に締まり 嵌めされる。つまり、各周凸条 21a, 23aがその半径方向の両側から押圧され、各凹 凸条 21, 23と H形リング 20との間がシールされる。このため、マ-ホールドベース 3と 流路ブロック 9の接続部 7, 19が互いに H形リング 20を介して確実にシールされる。こ の実施形態では、マ-ホールドベース 3、流路ブロック 9及び H形リング 20がそれぞ れフッ素榭脂より形成されるので、酸やアルカリの薬液を扱う薬液弁 1にっき、そのシ ール構造に耐食性を発揮させることができる。また、マ-ホールドベース 3とバルブ部 4を互いに接続するのに継手を特に使用せず、両部品 3, 4の間に H形リング 20を介 在させるだけの構造であることから、部品点数が少なぐ小型化にも寄与することがで きる。さらに、溶着や接着によるシール構造でないことから、接続後に取り外しや分解 を行うことができ、両部品 3, 4のメンテナンスにも対応することができる。
[0028] [第 2の実施形態]
次に、本発明の流体用機器の接続部シール構造を具体ィ匕した第 2の実施形態を 図面を参照して詳細に説明する。
[0029] 尚、以下に説明する各実施形態では、前記第 1の実施形態におけるシール構造と 同一の構成要素については、同一の符号を付して説明を省略し、異なった点を中心 に説明する。
[0030] 図 7に、本発明の榭脂製機器としてのマ二ホールドタイプの薬液弁 31を断面図によ り示す。図 8に、その薬液弁 31を分解断面図により示す。図 9に、マ-ホールドベー ス 3の一部を平面図により示す。この実施形態では、接続部シール構造を二重シー ルにした点で第 1の実施形態と異なる。
[0031] すなわち、図 7— 9に示すように、マ-ホールドベース 3の接続部 7には、同一点を 中心とする第 1の小径凹凸条 32及び第 1の大径凹凸条 33が形成される。第 1の小径 凹凸条 32の内側には、第 1の流路ロ 34が形成される。この流路ロ 34は、マ-ホー ルドベース 3に形成された流路 35に通じる。第 1の小径凹凸条 32と第 1の大径凹凸 条 33との間には、第 2の流路ロ 36が形成される。この流路ロ 36は、同じくマ-ホー ルドベース 3に形成された流路 37に通じる。
[0032] ノ レブ部 4 (流路ブロック 9)の接続部 19には、図 7— 9に示すように、同一点を中心 とする第 2の小径凹凸条 38及び第 2の大径凹凸条 39が形成される。第 2の小径凹凸 条 38の内側には、第 3の流路ロ 40が形成される。この流路ロ 40は、流路ブロック 9 に形成された流路 41に通じる。この流路ロ 40は、第 1の流路ロ 34に整合する。第 2 の小径凹凸条 38と第 2の大径凹凸条 39との間には、第 4の流路ロ 42が形成される。 この流路ロ 42も、流路ブロック 9に形成された流路 43に通じる。この流路ロ 42は、第 2の流路ロ 36に対応する。
[0033] ここで、各小径凹凸条 32, 38及び各大径凹凸条 33, 39の構成は、図 6に示す各 凹凸条 21, 23と基本的に同じであり、周凸条を含むものである。
[0034] 二つの接続部 7, 19の間にて、両小径凹凸条 32, 38の間には、本発明の榭脂より なる小径シール部品としての小径 H形リング 44が介在される。この小径 H形リング 44 の下側には、第 1の小径凹凸条 32に凹凸の関係で嵌合する第 1の小径シール凹凸 条 44aが形成される。この小径 H形リング 44の上側には、第 2の小径凹凸条 38に凹 凸の関係で嵌合する第 2の小径シール凹凸条 44bが形成される。この実施形態で、 小径 H形リング 44の構成は、図 4一 6に示す H形リング 20と基本的に同じである。ま た、各小径シール凹凸条 44a, 44bの構成は、第 1の実施形態の凹凸条 22, 24と基 本的に同じであり、周溝を含む。
[0035] 二つの接続部 7, 19の間にて、両大径凹凸条 33, 39の間には、本発明の榭脂より なる大径シール部品としての大径 H形リング 45が介在される。この大径 H形リング 45 の下側には、第 1の大径凹凸条 33に凹凸の関係で嵌合する第 1の大径シール凹凸 条 45aが形成される。この大径 H形リング 45の上側には、第 2の大径凹凸条 39に凹 凸の関係で嵌合する第 2の大径シール凹凸条 45bが形成される。この実施形態で、 大径 H形リング 45の構成は、図 4一 6に示す H形リング 20と基本的に同じである。ま た、各大径シール凹凸条 45a, 45bの構成は、第 1の実施形態の凹凸条 22, 24と基 本的に同じであり、周溝を含む。
[0036] 従って、この実施形態のシール構造によれば、第 1の実施形態と同様の作用効果 を得ることができる。
[0037] [第 3の実施形態]
次に、本発明の流体用機器の接続部シール構造を具体ィ匕した第 3の実施形態を 図面を参照して詳細に説明する。
[0038] この実施形態は、接続部シール構造がシール部品を持たな 、点で第 1及び第 2の 実施形態と異なる。すなわち、図 10に、本発明の流体用機器としてのマ-ホールドタ イブの薬液弁 61を断面図により示す。図 11に、その薬液弁 61の分解断面図を示す 。この薬液弁 61は、マウンティングプレート 62と、同プレート 62上に固定された榭脂 製のマ-ホールドベース 63と、同ベース 63上に固定された榭脂製のバルブ部 64と を備える。この実施形態でも、マ-ホールドベース 63とバルブ部 64を互いに接続す ることにより薬液弁 61が構成される。この実施形態では、マ-ホールドベース 63が本 発明の榭脂よりなる第 1の部品に相当し、バルブ部 64が本発明の榭脂よりなる第 2の 部品に相当する。この実施形態では、マ-ホールドボディ 63及びバルブ部 64の流 路ブロック 70はともに、 PTFEより形成される。
[0039] マ-ホールドベース 63は、流路 65と、その流路 65に配管を接続する管継手 66とを 含む。このベース 63上面には、流路ロ 67が設けられる。この流路ロ 67の周囲が、マ 二ホールドベース 63の接続部 68となっている。
[0040] バルブ部 64は、流路 69を有する流路ブロック 70、シャフト 71を内蔵した手動ァクチ ユエータ 72等とを含む。流路ブロック 70には、流路 69に配管を接続するための管継 手 73が設けられる。流路ブロック 70と手動ァクチユエータ 72との間には、流路 69を 開閉するダイアフラム弁体 74が設けられる。ダイアフラム弁体 74はシャフト 71に連結 される。この実施形態では、シャフト 71がねじに結合されている手動つまみを回すこ とにより移動し、ダイアフラム弁体 74が作動し、流路 69が開閉されるようになっている 。流路ブロック 70の下面には、流路ロ 75が設けられる。この流路ロ 75の周囲が、流 路ブロック 70の接続部 76となって 、る。
[0041] 図 12に、上記した接続部 68, 76を拡大断面図により示す。図 13に、その接続部 6 8, 76を分解して拡大断面図により示す。マ-ホールドベース 63の接続部 68と、流 路ブロック 70の接続部 76には、互いに凹凸の関係で嵌合する凹凸条 77, 78がそれ ぞれ形成される。この実施形態で、マ-ホールドベース 63の凹凸条 77は、流路ロ 6 7を中心に形成された円環状の凹部の外寄り位置に周凸条 77aを有する。また、流 路ブロック 70の凹凸条 78は、流路口 75を中心に形成された円筒状の凸部の外寄り 位置に周溝 78aを有する。
[0042] この実施形態では、凹凸条 77の周凸条 77aにおける肉厚方向(半径方向)両側に 圧入代 79が設けられる。すなわち、この実施形態では、凹凸条 78の周溝 78aの幅 W 11よりも凹凸条 77の周凸条 77aの幅 W12の方が若干大きく設定され、その幅 W11 , W12の差が周凸条 77aの圧入代 79となっている。
[0043] 従って、この実施形態の接続部シール構造によれば、榭脂よりなるマ-ホールドべ ース 63の接続部 68における凹凸条 77と、榭脂よりなる流路ブロック 70の接続部 76 における凹凸条 78を互いに嵌合することにより、各凹凸条 77, 78が圧入代 79により 締まり嵌めされる。このとき、周凸条 77aが周溝 78aに嵌合され、圧入代 79により各周 凸条 77aがその肉厚方向(半径方向)に締まり嵌めされる。つまり、周凸条 77aがその 半径方向の両側力も押圧され、両凹凸条 77, 78の間がシールされる。このため、マ 二ホールドベース 63及び流路ブロック 70の接続部 68, 76が互いに確実にシールさ れる。この実施形態では、マ-ホールドベース 63及び流路ブロック 70がそれぞれフ ッ素榭脂より形成されるので、酸やアルカリの薬液を扱う薬液弁 61にっき、そのシー ル構造に耐食性を発揮することができる。また、マ-ホールドベース 63とバルブ部 64 を互いに接続するのに継手を特に使用せず、 H形リングのようなシール部品を介在さ せない構造であることから、部品点数が少なぐ小型化にも寄与することができる。さ らに、溶着や接着によるシール構造でないことから、接続後に取り外しや分解を行う ことができ、両部品 63, 64のメンテナンスにも対応することができる。
[0044] [第 4の実施形態]
次に、本発明の流体用機器の接続部シール構造を具体ィ匕した第 4の実施形態を 図面を参照して詳細に説明する。
[0045] この実施形態では、第 1の実施形態の接続部シール構造の変形例について説明 する。図 14に、マ-ホールドベース 3及び流路ブロック 9の接続部 7, 19を拡大断面 図により示す。図 15に、その接続部 7, 19を分解して拡大断面図により示す。榭脂よ りなるマ-ホールドベース 3の接続部 7と、榭脂よりなる流路ブロック 9の接続部 19との 間には、榭脂よりなるリング状のシール部品 81が介在する。マ-ホールドベース 3の 接続部 7とシール部品 81の対応部位には、互いに凹凸の関係で嵌合する凹凸条 82 , 83がそれぞれ形成される。流路ブロック 9の接続部 19とシール部品 81の対応部位 には、互いに凹凸の関係で嵌合する凹凸条 84, 85がそれぞれ形成される。この実 施形態で、マ-ホールドベース 3の凹凸条 82は、流路ロ 6を中心に形成された周溝 82aと、その周溝 82aの内側にて流路ロ 6を中心に形成された袖部 82bとを含む形 状をなす。流路ロ 6に連なる袖部 82bの開口はテーパ面 82cとなっている。また、流 路ブロック 9の凹凸条 84は、流路ロ 18を中心に形成された周溝 84aと、その周溝 84 aの内側にて流路口 18を中心に形成された袖部 84bとを含む形状をなす。流路口 1 8に連なる袖部 84bの開口はテーパ面 84cとなっている。
[0046] マ-ホールドベース 3の凹凸条 82に対応するシール部品 81の凹凸条 83は、上記 した周溝 82aに圧入される周凸条 83aと、その周凸条 83aの内側に位置し、上記した 袖部 82bが圧入される周凹条 83bとを含む形状をなす。周凹条 83bは、袖部 82bの テーパ面 82cに整合するテーパ面 83cを有する。同じぐ流路ブロック 9の凹凸条 84 に対応するシール部品 81の凹凸条 85は、上記した周溝 84aに圧入される周凸条 85 aと、その周凸条 85aの内側に位置し、上記した袖部 84bが圧入される周凹条 85bと を含む形状をなす。周凹条 85bは、袖部 84bのテーノ 4cに整合するテーパ面 85c を有する。
[0047] この実施形態では、シール部品 81の各周凸条 83a, 85aの肉厚方向(半径方向) 内側には、圧入代 87が設けられる。すなわち、この実施形態では、各凹凸条 82, 84 の周溝 82a, 84aの幅 W21よりもシール部品 81の各周凸条 83a, 85aの根元部分の 幅 W22の方が若干大きく設定される。そして、それら幅 W21, W22の差が各周凸条 83a, 85aの圧入代 87となって! /、る。
[0048] 従って、この実施形態では、マ-ホールドベース 3及びシール部品 81の両凹凸条 8 2, 83が互いに嵌合するとき、袖部 82bのテーパ面 82cと周凹条 83bのテーパ面 83c とが互いに圧接することで、周凸条 83aの圧入代 87が周溝 82aの中で締まり嵌めさ れる。同様に、流路ブロック 9及びシール部品 81の両凹凸条 84, 85が互いに嵌合す るとき、袖部 84bのテーパ面 84cと周凹条 85bのテーパ面 85cとが互いに圧接するこ とで、周凸条 85aの圧入代 87が周溝 84aの中で締まり嵌めされる。これにより、マ- ホールドベース 3及びバルブ部 4の接続部 7, 19が互いにシール部品 81を介してシ ールされる。この結果、この実施形態でも、第 1の実施形態と同様の効果を得ることが できる。
[0049] [第 5の実施形態]
次に、本発明の流体用機器の接続部シール構造を具体ィ匕した第 5の実施形態を 図面を参照して詳細に説明する。
[0050] この実施形態では、第 4の実施形態の接続部シール構造の変形例について説明 する。図 16に、マ-ホールドベース 3及び流路ブロック 9の接続部 7, 19を拡大断面 図により示す。図 17に、その接続部 7, 19を分解して拡大断面図により示す。この実 施形態では、マ-ホールドベース 3及び流路ブロック 9の凹凸条 82, 84の形状、並 びにシール部品 81の各凹凸条 83, 85の形状の点で、第 4の実施形態と構成が異な る。
[0051] すなわち、この実施形態では、マ-ホールドベース 3及び流路ブロック 9の凹凸条 8 2, 84は、袖部 82b, 84bにカロえ、それらの外側に位置する外袖部 82d, 84dを含む 。そして、その外ネ由咅 82d, 84dの外周に ίま、それぞれテーノ面 82e, 84e力 ^形成さ れる。一方、この実施形態では、シール部品 81の各凹凸条 83, 85は、周凹条 83b, 85bに加え、各周凸条 83a, 85aの外側に位置する外周凹条 83d, 85dを含む。それ ら外周凹条 83d, 85d〖こは、それぞれテーパ面 83e, 85eが形成される。そして、各 周凸条 83a, 85aの肉厚方向(半径方向)外側にも、圧入代 87が設けられる。
[0052] 従って、この実施形態では、マ-ホールドベース 3及びシール部品 81の両凹凸条 8 2, 83が互いに嵌合するとき、袖部 82bのテーパ面 82cと周凹条 83bのテーパ面 83c と力 並びに、外袖部 82dのテーパ面 82eと外周凹条 83dのテーパ面 83eとがそれ ぞれ互いに圧接することで、周凸条 83aの圧入代 87が周溝 82aの中で締まり嵌めさ れる。同様に、流路ブロック 9及びシール部品 81の両凹凸条 84, 85が互いに嵌合す るとき、袖部 84bのテーパ面 84cと周凹条 85bのテーパ面 85cとが、並びに、外袖部 84dのテーパ面 84eと外周凹条 85dのテーパ面 85eとがそれぞれ互いに圧接するこ とで、周凸条 85aの圧入代 87が周溝 84aの中で締まり嵌めされる。これにより、マ- ホールドベース 3及びバルブ部 4の接続部 7, 19が互いにシール部品 81を介してシ ールされる。この結果、この実施形態でも、第 1の実施形態と同様の効果を得ることが できる。
[0053] [第 6の実施形態]
次に、本発明の流体用機器の接続部シール構造を具体ィ匕した第 6の実施形態を 図面を参照して詳細に説明する。
[0054] この実施形態の接続部シール構造は、第 1の部品と第 2の部品をシール部品を介 在して凹凸の関係で嵌合し接続するものではなぐ第 1の部品と第 2の部品を環状シ ール部品を介在して軸線方向に圧着させて接続するタイプである点で、第 1一第 5の 実施形態の接続部シール構造と構成が異なる。すなわち、図 18に、本発明の流体 用機器としてのマ-ホールドタイプの薬液弁 91を断面図により示す。図 19に、その 薬液弁 91の分解断面図を示す。マ-ホールドベース 3の接続部 7には、第 1の凹部 9 2及び第 2の凹部 93が形成される。第 1の凹部 92の内側には、流路 35に通じる第 1 の流路ロ 34が形成される。第 2の凹部 93の内側には、流路 37に通じる第 2の流路 口 36が形成される。
[0055] ノ レブ部 4 (流路ブロック 9)の接続部 19には、第 3の凹部 94及び第 4の凹部 95が 形成される。第 3の凹部 94の内側には、流路 41に通じる第 3の流路ロ 40が形成され る。この流路ロ 40は、第 1の流路ロ 34に整合する。第 4の凹部 95の内側には、流路 43に通じる第 4の流路ロ 42が形成される。この流路ロ 42は、第 2の流路ロ 36に整 合する。
[0056] 二つの接続部 7, 19の間にて、第 1の凹部 92と第 3の凹部 94との間には、本発明 の榭脂よりなる環状シール部品 96が介在される。同じぐ第 2の凹部 93と第 4の凹部 95との間には、本発明の榭脂よりなる環状シール部品 97が介在される。
[0057] 図 20に、上記した接続部 7, 19における第 1及び第 3の凹部 92, 94を拡大断面図 により示す。図 21に、その第 1及び第 3の凹部 92, 94を分解して拡大断面図により 示す。第 2及び第 4の凹部 93, 95の構成は、第 1及び第 3の凹部 92, 94の構成と同 じであることから説明を省略する。第 1及び第 3の凹部 92, 94の底面には、周状突起 98, 99がそれぞれ形成される。この実施形態で、各周状突起 98,99は、先端を尖ら せた断面形状を有する。この実施形態では、マ-ホールドベース 3の接続部 7とバル ブ部 4の接続部 19とを環状シール部品 96 , 97を間に挟んで軸線方向に圧着させた ときに各周状突起 98, 99が環状シール部品 96, 97の下面及び上面に食い込んで 接続されるようになっている。
[0058] 従って、上記した接続部シール構造によれば、フッ素榭脂よりなるマ-ホールドべ ース 3の接続部 7とフッ素榭脂よりなるバルブ部 4の接続部 19を互いに接続する際、 フッ素榭脂よりなる環状シール部品 96, 97が両接続部 7, 19の各凹部 92— 95の底 面に圧接する。これとともに、マ-ホールドベース 3の各凹部 92, 93に形成された周 状突起 98とバルブ部 4の各凹部 94, 95に形成された周状突起 99が、図 20に示す ように、それぞれ間に挟まれた環状シール部品 96の下面及び上面に食 、込んで密 着する。これにより、マ-ホールドベース 3の接続部 7とバルブ部 4の接続部 19とが互 いに環状シール部品 96, 97を介してシールされる。このため、マ-ホールドベース 3 、ノ レブ部 4及び環状シール部品 96, 97がそれぞれフッ素榭脂より形成されるので 、酸やアルカリなどの薬液を扱う薬液弁 91にっき、そのシール構造に耐食性を発揮 させることができる。また、継手及び継手施工のためのスペースを削減できるため、小 型化にも寄与することができる。さらに、溶着や接着によるシール構造でないことから 、接続後に取り外しや分解を行うことができ、マ-ホールドベース 3及びバルブ部 4の メンテナンスにも対応することができる。
[0059] 尚、この発明は前記各実施形態に限定されるものではなぐ発明の趣旨を逸脱する ことのな!/、範囲で以下のよう〖こ実施することもできる。
[0060] 前記第 2の実施形態では、二重シールの接続部シール構造を、第 1の部品と第 2の 部品との間に小径シール部品及び大径シール部品を介在させた場合に具体化した 。これに対し、二重シールの接続部シール構造を、第 3の実施形態のように、第 1の 部品と第 2の部品との間にシール部品を介在させな 、場合に具体ィ匕してもょ 、。
[0061] 例えば、第 2の実施形態と同様、マ-ホールドベースとボディを互いに接続してなる 薬液弁の接続部シール構造において、マ-ホールドベースの接続部に、同一点を中 心とする第 1の小径凹凸条及び第 1の大径凹凸条を形成し、第 1の小径凹凸条の内 側に第 1の流路ロを形成する。第 1の小径凹凸条と第 1の大径凹凸条との間に第 2の 流路ロを形成する。また、ボディの接続部に、同一点を中心とする第 2の小径凹凸条 及び第 2の大径凹凸条を形成し、第 2の小径凹凸条の内側に、第 1の流路口に整合 する第 3の流路ロを形成する。第 2の小径凹凸条と第 2の大径凹凸条との間に、第 2 の流路口に対応する第 4の流路ロを形成する。そして、第 1の小径凹凸条と第 2の小 径凹凸条が、互いに凹凸の関係で嵌合すると共に、各小径凹凸条の少なくとも一方 にて小径凹凸条の肉厚方向に圧入代を設ける。また、第 1の大径凹凸条と第 2の大 径凹凸条が、互いに凹凸の関係で嵌合すると共に、各大径凹凸条の少なくとも一方 にて大径凹凸条の肉厚方向に圧入代を設ける。これら小径凹凸条及び大径凹凸条 を、例えば、図 12, 13に示す凹凸条 77, 78に準ずる形状とする。この場合には、マ 二ホールドベース接続部とボディの接続部を互いに接続する際、マ-ホールドベー スの第 1の小径凹凸条とボディの第 2の小径凹凸条とが互いに嵌合することにより、 両小径凹凸条が圧入代により締まり嵌めされる。これにより、第 1の流路口と第 3の流 路口がシールされながら接続される。また、マ-ホールドベースの第 1の大径凹凸条 とボディの第 2の大径凹凸条とが互いに嵌合することにより、両大径凹凸条が圧入代 により締まり嵌めされる。これにより、両小径凹凸条と両大径凹凸条との間の空間に お!、て第 2の流路口と第 4の流路口がシールされながら接続される。ここで、マ-ホー ルドベースの接続部における第 1の小径凹凸条と第 1の大径凹凸条が同一点を中心 に形成され、ボディの接続部における第 2の小径凹凸条と第 2の大径凹凸条が同一 点を中心に形成される。このため、対応する小径凹凸条同士、対応する大径凹凸条 同士がそれぞれ位置ズレが少なぐ整合精度がよくなる。この結果、第 1及び第 2の 小径凹凸条の間を確実にてシールすることができ、第 1及び第 2の大径凹凸条の間 を確実にシールすることができる。
力!]えて、前記第 2の実施形態から把握できる技術的思想にっ 、て、以下に付記す る。
榭脂よりなる第 1の部品と榭脂よりなる第 2の部品を互いに接続してなる流体用機器 の接続部シール構造であって、
前記第 1の部品の接続部に形成され、同一点を中心とする第 1の小径凹凸条及び 第 1の大径凹凸条と、
前記第 1の小径凹凸条の内側に形成された第 1の流路口と、
前記第 1の小径凹凸条と前記第 1の大径凹凸条との間に形成された第 2の流路ロ と、
前記第 2の部品の接続部に形成され、同一点を中心とする第 2の小径凹凸条及び 第 2の大径凹凸条と、
前記第 2の小径凹凸条の内側に形成され、前記第 1の流路口に整合する第 3の流 路口と、
前記第 2の小径凹凸条と前記第 2の大径凹凸条との間に形成され、前記第 2の流 路口に対応する第 4の流路口と、
前記第 1及び第 2の小径凹凸条の間に介在される榭脂よりなる小径シール部品と、 前記小径シール部品に形成され、前記第 1の小径凹凸条に凹凸の関係で嵌合す る第 1の小径シール凹凸条と、
前記小径シール部品に形成され、前記第 2の小径凹凸条に凹凸の関係で嵌合す る第 2の小径シール凹凸条と、
前記第 1の小径凹凸条と前記第 1の小径シール凹凸条の少なくとも一方にて前記 第 1の小径凹凸条又は前記第 1の小径シール凹凸条の肉厚方向に設けられた圧入 代と、
前記第 2の小径凹凸条と前記第 2の小径シール凹凸条の少なくとも一方にて前記 第 2の小径凹凸条又は前記第 2の小径シール凹凸条の肉厚方向に設けられた圧入 代と、
前記第 1及び第 2の大径小径凹凸条の間に介在される榭脂よりなる大径シール部 ロロと、
前記大径シール部品に形成され、前記第 1の大径凹凸条に凹凸の関係で嵌合す る第 1の大径シール凹凸条と、
前記大径シール部品に形成され、前記第 2の大径凹凸条に凹凸の関係で嵌合す る第 2の大径シール凹凸条と、
前記第 1の大径凹凸条と前記第 1の大径シール凹凸条の少なくとも一方にて前記 第 1の大径凹凸条又は前記第 1の大径シール凹凸条の肉厚方向に設けられた圧入 代と、
前記第 2の大径凹凸条と前記第 2の大径シール凹凸条の少なくとも一方にて前記 第 2の大径凹凸条又は前記第 2の大径シール凹凸条の肉厚方向に設けられた圧入 代と
を備えたことを特徴とする流体用機器の接続部シール構造。

Claims

請求の範囲
[1] 榭脂よりなる第 1の部品と榭脂よりなる第 2の部品を互いに接続してなる流体用機器 の接続部シール構造であって、
前記第 1の部品の接続部と前記第 2の部品の接続部にそれぞれ形成され、互いに 凹凸の関係で嵌合する凹凸条と、
前記両凹凸条の少なくとも一方にて凹凸条の肉厚方向に設けられた圧入代と を備えたことを特徴とする流体用機器の接続部シール構造。
[2] 榭脂よりなる第 1の部品と榭脂よりなる第 2の部品を互いに接続してなる流体用機器 の接続部シール構造であって、
前記第 1の部品の接続部と前記第 2の部品の接続部との間に介在される榭脂よりな るシール部品と、
前記第 1の部品の接続部と前記シール部品の対応部位にそれぞれ形成され、互 ヽ に凹凸の関係で嵌合する凹凸条と、
前記第 2の部品の接続部と前記シール部品の対応部位にそれぞれ形成され、互 ヽ に凹凸の関係で嵌合する凹凸条と、
前記対応する各凹凸条の少なくとも一方にて凹凸条の肉厚方向に設けられた圧入 代と
を備えたことを特徴とする流体用機器の接続部シール構造。
[3] 榭脂よりなる第 1の部品と榭脂よりなる第 2の部品を互いに接続してなる流体用機器 の接続部シール構造であって、
前記第 1の部品の接続部と前記第 2の部品の接続部との間に介在される榭脂よりな る環状シール部品と、
前記第 1の部品の接続部と前記第 2の部品の接続部にそれぞれ形成された周状突 起と
を備え、前記第 1の部品の接続部と前記第 2の部品の接続部とを前記環状シール部 品を間に挟んで軸線方向に圧着させたときに前記各周状突起が前記環状シール部 品に食 、込んで接続されることを特徴とする流体用機器の接続部シール構造。
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