WO2006042791A1 - Piezoelectric actuator - Google Patents

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Bertram Sugg
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    • H10N30/50—Piezoelectric or electrostrictive devices having a stacked or multilayer structure
    • H10N30/508—Piezoelectric or electrostrictive devices having a stacked or multilayer structure adapted for alleviating internal stress, e.g. cracking control layers

Definitions

  • the invention relates to a piezoelectric actuator, for example for actuating a mechanical component such as a valve or the like, according to the generic features of the main claim.
  • piezoelectric effect it is generally known that a piezoelement made of a material having a suitable crystal structure can be constructed in such a way that the piezoelectric or electrostrictive ceramics expand or contract when electric fields are applied. Because of the extremely fast and precisely controllable effect, such arrangements can be used to construct actuators, which are referred to as piezo actuators.
  • Layer thickness is in the range of about 100 microns.
  • a typical Nice method for producing such layers is in the film casting technique.
  • the individual layers are metallized and stacked on top of each other so that the piezoelectric effect finally acts between two layers with the inner electrodes of different polarity formed by the metallization.
  • an external electrical voltage is applied to the internal electrodes, a mechanical reaction of the piezoelectric element takes place which, depending on the crystal structure and the contact regions of the electrical voltage, represents a pressure or tension in a predeterminable direction.
  • a sol ⁇ cher piezoelectric actuator in which in the layer structure of the piezoelectric actuator neutral phases are present without inner electrode layer having a special shape for Verhin ⁇ tion of this error. Cracks in the area of the electrical contacting are prevented by the fact that with the special shaping of the neutral phase, an increased mechanical stress can be applied during clamping of the piezoelectric actuator perpendicular to the layer structure in the region of these neutral phases.
  • the piezoactuator described at the outset which can be used, for example, to actuate a mechanical component, is advantageously constructed with a multilayer structure of piezoelectric layers of piezoelectric or electrostrictive ceramic layers and electrodes arranged therebetween, as well as mutual lateral contacting of the electrodes.
  • ceramic layers are advantageously arranged at predetermined intervals as stress relief layers, which have an increased tendency to form cracks due to a construction and / or composition deviating from the other ceramic layers.
  • the relief layers may have a greater porosity than the other ceramic layers, which may then more easily lead to controlled cracking.
  • the relief layers can be inserted at equidistant intervals in the course of the layer construction of the piezoelectric actuator in a simple manner, wherein the relief layers can be uniformly distributed in the course of the layer construction of the piezoelectric actuator.
  • the relief layers may also have a larger distance than the intermediate region between the relief layers in the middle in the course of the layer structure of the piezoelectric actuator towards the head and / or foot end. This is advantageous because cracks first occur in the middle during operation.
  • the relief layers have a rising distance in the course of the layer construction of the piezoelectric actuator from the middle to the top and / or bottom end.
  • FIG. 1 shows a section through a piezoactuator with a multilayer structure of layers of piezoceramics and internal electrodes as well as relief layers arranged at equidistant intervals
  • FIG. 2 shows a section through an embodiment modified with respect to FIG. ßeren distances to the top and bottom of the piezo actuator and
  • FIG. 3 shows a section through a further embodiment, which is modified with respect to FIG. 1, with the distance between the relief layers, which in each case continuously increases with respect to the head and foot regions of the piezoactuator.
  • FIG. 1 shows a piezoactuator 1 which is constructed in a manner known per se from piezo foils 2 of a piezoelectric material having a suitable crystal structure, so that by utilizing the so-called piezoelectric effect when an electrical voltage is applied via external electrodes attached to external surfaces of the piezoelectric actuator 1 Electrodes 3 and 4, a mechanical reaction of the Piezo ⁇ actuator 1 in the direction of the layer structure takes place.
  • the piezo foils 2 and the internal electrodes 3 and 4 are distinguished in the upper part of the piezoactuator 1, but they extend over the entire layer structure, in this case, vertically.
  • ceramic layers are arranged as relief layers 5 at predetermined intervals, the structure differing from the other ceramic layers or piezo foils 2 and / or another material composition, eg with have a greater porosity, an increased tendency to cracking.
  • These relief layers 5 need not necessarily be piezoelectrically active, since the total number n ent of these relief layers 5 is small in comparison to the total number n ges of the layers.
  • the sequence of the release layers 5 can, for example, be regular, wherein in particular an equidistant division is advantageous.
  • N (n ges -n ent ) / (n ent -l) inactive layers.
  • the relief layers 5 can also have a greater distance than the intermediate region between the relief layers in the middle in the course of the layer structure of the piezoactuator 1 towards the head and / or foot end.
  • N (n ges -n ent ) / (n ent + 1) inactive relief layers 5.
  • the relief layers 5 may have a variable spacing according to FIG. 3 in the course of the layer construction of the piezoactuator 1 from the middle to the top and / or bottom end. According to FIG. 3, increasing layer sequences of the relief layers 5 are realized from the center to the top and bottom of the piezoelectric actuator 1. In individual cases, this may also be a reverse order or a one-sided consequence only to the head or foot towards beneficial.
  • the invention is independent of the geometry of the internal electrodes 3 and 4, eg interdigital, plate-through-type, corner design etc., or of the material of the internal electrodes 3 and 4, eg AgPd, Cu etc.

Abstract

The invention relates to a piezoelectric actuator, for example for actuating a mechanical component. Said piezoelectric actuator comprises a multi-layer construction of piezoelectric layers (2) consisting of piezoelectric or electrostrictive ceramic layers and internal electrodes (3, 4) that are located between said layers. The internal electrodes (3,4) are laterally contacted on alternate sides. Within the layer construction, ceramic layers, which act as stress-relief layers (5), are provided at intervals, said layers having an increased tendency to form cracks as a result of a construction and/or a material composition that differs from that of the other ceramic layers (2).

Description

Piezoaktorpiezo actuator
Stand der TechnikState of the art
Die Erfindung betrifft einen Piezoaktor, beispielsweise zur Betätigung eines mechanischen Bauteils wie ein Ventil oder dergleichen, nach den gattungsgemäßen Merkmalen des Hauptanspruchs .The invention relates to a piezoelectric actuator, for example for actuating a mechanical component such as a valve or the like, according to the generic features of the main claim.
Es ist allgemein bekannt, dass unter Ausnutzung des soge¬ nannten Piezoeffekts ein Piezoelement aus einem Material mit einer geeigneten Kristallstruktur so aufgebaut werden kann, dass sich die piezoelektrischen oder elektrostrik- tiven Keramiken beim Anlegen elektrischer Felder ausdeh¬ nen bzw. zusammenziehen. Aufgrund des extrem schnellen und genau regelbaren Effektes können solche Anordnungen zum Bau von Stellern verwendet werden, die als Piezoakto- ren bezeichnet werden.Using the so-called piezoelectric effect, it is generally known that a piezoelement made of a material having a suitable crystal structure can be constructed in such a way that the piezoelectric or electrostrictive ceramics expand or contract when electric fields are applied. Because of the extremely fast and precisely controllable effect, such arrangements can be used to construct actuators, which are referred to as piezo actuators.
Da die elektrischen Feldstärken bei solchen Piezoaktoren im Bereich von mehreren Kilovolt pro Millimeter liegen aber in der Regel moderate elektrische Spannungen zur An¬ steuerung gewünscht sind, werden sogenannte Vielschich- taktoren oder Multilayeraktoren hergestellt, derenSince the electric field strengths in the case of such piezo actuators are in the range of several kilovolts per millimeter, but as a rule moderate electrical voltages for control are desired, so-called multi-layer actuators or multilayer actuators are produced
Schichtdicke im Bereich von etwa 100 μm liegt. Ein typi- sches Verfahren zum Herstellen solcher Schichten besteht in der Foliengießtechnik. Die einzelnen Schichten werden metallisiert und übereinandergstapelt, so dass zwischen zwei Schichten mit den durch die Metallisierung gebilde¬ ten Innenelektroden unterschiedlicher Polarität schlie߬ lich der Piezoeffekt wirkt. Bei Anlage einer äußeren e- lektrischen Spannung an die Innenelektroden erfolgt eine mechanische Reaktion des Piezoelements, die in Abhängig¬ keit von der Kristallstruktur und der Anlagebereiche der elektrischen Spannung einen Druck oder Zug in eine vor¬ gebbare Richtung darstellt.Layer thickness is in the range of about 100 microns. A typical Nice method for producing such layers is in the film casting technique. The individual layers are metallized and stacked on top of each other so that the piezoelectric effect finally acts between two layers with the inner electrodes of different polarity formed by the metallization. When an external electrical voltage is applied to the internal electrodes, a mechanical reaction of the piezoelectric element takes place which, depending on the crystal structure and the contact regions of the electrical voltage, represents a pressure or tension in a predeterminable direction.
Beim Betrieb des Piezoaktors ist darauf zu achten, dass durch mechanische Spannungen im Lagenaufbau keine stören¬ den Rissbildungen entstehen, die den elektrischen Kontakt beeinträchtigen können. Oft besteht jedoch die Gefahr, dass im Herstellungsprozess oder im Betrieb solche Risse in den Keramikschichten entstehen. Letzteres ist mitunter durch das Design des Piezoaktors bedingt, da im Über¬ gangsbereich zwischen aktiven und passiven Bereichen, z.B. an den Enden, Zugspannungen entstehen. Dieses Phäno¬ men hat eine verminderte Lebensdauer zur Folge und kann zum Totalausfall des Piezoaktors führen.When operating the piezoelectric actuator, care must be taken that no disruptive cracking occurs due to mechanical stresses in the layer structure, which can impair the electrical contact. Often, however, there is a risk that such cracks in the ceramic layers occur in the manufacturing process or during operation. The latter is sometimes due to the design of the piezoelectric actuator, since in the transition region between active and passive regions, e.g. at the ends, tensile stresses arise. This phenomenon has a reduced lifetime and can lead to total failure of the piezoelectric actuator.
Beispielsweise ist aus der DE 199 28 177 Al ist ein sol¬ cher Piezoaktor bekannt, bei dem im Schichtaufbau des Piezoaktors neutrale Phasen ohne Innenelektrodenschicht vorhanden sind, die eine spezielle Formgebung zur Verhin¬ derung dieses Fehlers aufweisen. Rissbildungen im Bereich der elektrischen Kontaktierung werden hierbei dadurch verhindert, dass mit der speziellen Formgebung der neut¬ ralen Phase eine erhöhte mechanische Spannung bei der Einspannung des Piezoaktors senkrecht zum Schichtaufbau im Bereich dieser neutralen Phasen aufbringbar ist. Vorteile der ErfindungFor example, from DE 199 28 177 A1, a sol¬ cher piezoelectric actuator is known in which in the layer structure of the piezoelectric actuator neutral phases are present without inner electrode layer having a special shape for Verhin¬ tion of this error. Cracks in the area of the electrical contacting are prevented by the fact that with the special shaping of the neutral phase, an increased mechanical stress can be applied during clamping of the piezoelectric actuator perpendicular to the layer structure in the region of these neutral phases. Advantages of the invention
Der eingangs beschriebene Piezoaktor, der beispielsweise zur Betätigung eines mechanischen Bauteils verwendbar sein kann, ist in vorteilhafter Weise mit einem Mehr¬ schichtaufbau von Piezolagen aus piezoelektrischen oder elektrostriktiven Keramikschichten und dazwischen ange¬ ordneten Elektroden sowie einer wechselseitigen seitli¬ chen Kontaktierung der Elektroden aufgebaut. Im Bereich des Schichtaufbaus sind erfindungsgemäß in vorteilhafter Weise in vorgegebenen Abständen Keramikschichten als Ent¬ lastungsschichten angeordnet, die durch einen von den an¬ deren Keramikschichten abweichenden Aufbau und/oder StoffZusammensetzung eine erhöhte Neigung zu Rissbildun¬ gen aufweisen.The piezoactuator described at the outset, which can be used, for example, to actuate a mechanical component, is advantageously constructed with a multilayer structure of piezoelectric layers of piezoelectric or electrostrictive ceramic layers and electrodes arranged therebetween, as well as mutual lateral contacting of the electrodes. In the area of the layer structure, according to the invention, ceramic layers are advantageously arranged at predetermined intervals as stress relief layers, which have an increased tendency to form cracks due to a construction and / or composition deviating from the other ceramic layers.
Beispielsweise können die Entlastungsschichten eine im Vergleich zu den anderen Keramikschichten größere Porosi¬ tät aufweisen, die dann leichter zu kontrollierten Riss¬ bildungen führen können. Mit der Erfindung ist es somit möglich, die Rissbildung bei piezoelektrischen Stapelak¬ toren in definierten Bereichen stattfinden zu lassen. Verlaufen diese Risse kontrolliert innerhalb von räumlich begrenzten Zonen, so wird verhindert, dass Risse quer durch den Piezoaktor verlaufen und diesen komplett zer¬ stören können.For example, the relief layers may have a greater porosity than the other ceramic layers, which may then more easily lead to controlled cracking. With the invention, it is thus possible to let crack formation in piezoelectric stacking actuators take place in defined regions. If these cracks run in a controlled manner within spatially delimited zones, it is prevented that cracks extend transversely through the piezoelectric actuator and can completely destroy it.
Es ist mit der erfindungsgemäßen Anordnung auch weiterhin möglich, dass Außenelektroden zur Kontaktierung der In¬ nenelektroden so gezielt aufgebracht werden können, dass eine Rissüberbrückung im Außenbereich des Piezoaktors die Kontaktierung über die gesamte Aktorlänge sicherstellt.It is also possible with the arrangement according to the invention that external electrodes for contacting the inner electrodes can be applied in such a targeted manner that crack bridging in the outer region of the piezoelectric actuator ensures contact over the entire actuator length.
Die Herstellbarkeit und die Zuverlässigkeit von Piezoak- toren wird somit deutlich verbessert. Zum Beispiel können herstellungsbedingte Entlastungsrisse, beispielsweise durch das Schwindungsverhalten des Aktors, im Lagenaufbau des Piezoaktors durchaus zugelassen werden um die Aus¬ bringung in der Produktion erhöhen.The manufacturability and reliability of piezo actuators is thus significantly improved. For example, manufacturing relieving cracks, for example be admitted by the shrinkage behavior of the actuator in the layer structure of the piezoelectric actuator quite by the Aus¬ brin increase in production.
Die Entlastungsschichten können auf einfache Weise im Verlauf des Schichtaufbaus des Piezoaktors in äquidistan- ten Abständen eingefügt werden, wobei die Entlastungs¬ schichten im Verlauf des Schichtaufbaus des Piezoaktors gleichverteilt angeordnet werden können.The relief layers can be inserted at equidistant intervals in the course of the layer construction of the piezoelectric actuator in a simple manner, wherein the relief layers can be uniformly distributed in the course of the layer construction of the piezoelectric actuator.
Alternativ können die Entlastungsschichten auch im Ver¬ lauf des Schichtaufbaus des Piezoaktors zum Kopf- und/oder zum Fußende hin einen größeren Abstand als der Zwischenbereich zwischen den Entlastungsschichten in der Mitte aufweisen. Dies ist deshalb vorteilhaft, da Risse im Betrieb zuerst in der Mitte auftreten.Alternatively, the relief layers may also have a larger distance than the intermediate region between the relief layers in the middle in the course of the layer structure of the piezoelectric actuator towards the head and / or foot end. This is advantageous because cracks first occur in the middle during operation.
Weiterhin ist es auch möglich, dass die Entlastungs¬ schichten im Verlauf des Schichtaufbaus des Piezoaktors von der Mitte bis zum Kopf- und/oder Fußende einen stei¬ genden Abstand aufweisen.Furthermore, it is also possible that the relief layers have a rising distance in the course of the layer construction of the piezoelectric actuator from the middle to the top and / or bottom end.
Zeichnungdrawing
Ausführungsbeispiele des erfindungsgemäßen Piezoaktors werden anhand der Zeichnung erläutert. Es zeigen:Embodiments of the piezoelectric actuator according to the invention will be explained with reference to the drawing. Show it:
Figur 1 einen Schnitt durch einen Piezoaktor mit ei¬ nem Mehrschichtaufbau von Schichten aus Piezokeramik und Innenelektroden sowie in äquidistanten Abständen angeordneten Entlastungsschichten,FIG. 1 shows a section through a piezoactuator with a multilayer structure of layers of piezoceramics and internal electrodes as well as relief layers arranged at equidistant intervals,
Figur 2 einen Schnitt durch ein gegenüber der Figur 1 abgewandeltes Ausführungsbeispiel mit jeweils grö- ßeren Abständen zum Kopf- und Fußbereich des Piezo- aktors undFIG. 2 shows a section through an embodiment modified with respect to FIG. ßeren distances to the top and bottom of the piezo actuator and
Figur 3 einen Schnitt durch ein weiteres gegenüber der Figur 1 abgewandeltes Ausführungsbeispiel mit zum Kopf- und Fußbereich des Piezoaktors jeweils kontinuierlich größer werdenden Abständen zwischen den Entlastungsschichten.FIG. 3 shows a section through a further embodiment, which is modified with respect to FIG. 1, with the distance between the relief layers, which in each case continuously increases with respect to the head and foot regions of the piezoactuator.
Beschreibung der AusführunqsbeispieleDescription of the embodiments
In Figur 1 ist ein Piezoaktor 1 gezeigt, der in an sich bekannter Weise aus Piezofolien 2 eines Piezomaterials mit einer geeigneten Kristallstruktur aufgebaut ist, so dass unter Ausnutzung des sogenannten Piezoeffekts bei Anlage einer elektrischen Spannung über an Außenflächen des Piezoaktors 1 angebrachte Außenelektroden an Innen¬ elektroden 3 und 4, eine mechanische Reaktion des Piezo¬ aktors 1 in Richtung des Schichtaufbaus erfolgt. Hier sind nur exemplarisch im oberen Teil des Piezoaktors 1 die Piezofolien 2 und die Innenelektroden 3 und 4 be¬ zeichnet, die sich aber über den gesamten Schichtaufbau, hier also senkrecht, erstrecken.FIG. 1 shows a piezoactuator 1 which is constructed in a manner known per se from piezo foils 2 of a piezoelectric material having a suitable crystal structure, so that by utilizing the so-called piezoelectric effect when an electrical voltage is applied via external electrodes attached to external surfaces of the piezoelectric actuator 1 Electrodes 3 and 4, a mechanical reaction of the Piezo¬ actuator 1 in the direction of the layer structure takes place. Here, by way of example only, the piezo foils 2 and the internal electrodes 3 and 4 are distinguished in the upper part of the piezoactuator 1, but they extend over the entire layer structure, in this case, vertically.
Im Bereich des Schichtaufbaus sind gemäß des in der Figur 1 dargestellten Ausführungsbeispiels der Erfindung in vorgegebenen Abständen Keramikschichten als Entlastungs¬ schichten 5 angeordnet, die mit einem von den anderen Ke¬ ramikschichten bzw. Piezofolien 2 abweichenden Aufbau und/oder eine andere StoffZusammensetzung, z.B. mit einer größeren Porosität, eine erhöhte Neigung zu Rissbildungen aufweisen. Diese Entlastungsschichten 5 müssen nicht notwendiger weise piezoelektrisch aktiv sein, da die Gesamtzahl nent dieser Entlastungsschichten 5 klein im Vergleich zur Ge¬ samtzahl nges der Schichten ist. Die Folge der Entlas¬ tungsschichten 5 kann zum Beispiel regelmäßig sein, wobei insbesondere eine äquidistante Einteilung vorteilhaft ist. Bei nent Entlastungsschichten von insgesamt nges Schichten, folgen jeweilsIn the region of the layer structure, according to the exemplary embodiment of the invention shown in FIG. 1, ceramic layers are arranged as relief layers 5 at predetermined intervals, the structure differing from the other ceramic layers or piezo foils 2 and / or another material composition, eg with have a greater porosity, an increased tendency to cracking. These relief layers 5 need not necessarily be piezoelectrically active, since the total number n ent of these relief layers 5 is small in comparison to the total number n ges of the layers. The sequence of the release layers 5 can, for example, be regular, wherein in particular an equidistant division is advantageous. When n ent relief layers of n ges total layers, follow each
N = (nges-nent)/ (nent-l) inaktive Schichten.N = (n ges -n ent ) / (n ent -l) inactive layers.
Alternativ können die Entlastungsschichten 5 auch im Ver¬ lauf des Schichtaufbaus des Piezoaktors 1 zum Kopf- und/oder zum Fußende hin einen größeren Abstand als der Zwischenbereich zwischen den Entlastungsschichten in der Mitte aufweisen.Alternatively, the relief layers 5 can also have a greater distance than the intermediate region between the relief layers in the middle in the course of the layer structure of the piezoactuator 1 towards the head and / or foot end.
Da in der Praxis Rissbildung im Betrieb des Piezoaktors 1 zuerst in der Mitte auftreten und dann jeweils in 1/2, 1/4, etc. der Aktorlänge, ist bei dem Ausführungsbeispiel nach der Figur 2 dieser Effekt vorweggenommen. Durch die Intervallhalbierung nach der Figur 2 zwischen den Entlas¬ tungsschichten 5 folgen jeweilsSince in practice crazing in the operation of the piezoelectric actuator 1 occur first in the middle and then each in 1/2, 1/4, etc. of the actuator length, this effect is anticipated in the embodiment of Figure 2. The interval halving according to FIG. 2 between the release layers 5 follows in each case
N = (nges-nent)/ (nent +1) inaktive Entlastungsschichten 5.N = (n ges -n ent ) / (n ent + 1) inactive relief layers 5.
Weiterhin ist es auch möglich, dass die Entlastungs¬ schichten 5 im Verlauf des Lagenaufbaus des Piezoaktors 1 von der Mitte bis zum Kopf- und/oder Fußende einen verän¬ derlichen Abstand gemäß Figur 3 aufweisen. Gemäß der Fi¬ gur 3 sind steigende Schichtfolgen der Entlastungsschich¬ ten 5 von der Mitte zum Kopf- und zum Fußende des Piezo¬ aktors 1 hin realisiert. Im Einzelfall kann hierbei auch eine umgekehrte Reihenfolge oder eine einseitige Folge nur zum Kopf- oder Fußende hin vorteilhaft sein. Die Erfindung ist überdies unabhängig von der Geometrie der Innenelektroden 3 und 4, z.B. interdigital, plate- through-type, Übereckdesign etc., oder vom Material der Innenelektroden 3 und 4, z.B. AgPd, Cu etc.. Furthermore, it is also possible for the relief layers 5 to have a variable spacing according to FIG. 3 in the course of the layer construction of the piezoactuator 1 from the middle to the top and / or bottom end. According to FIG. 3, increasing layer sequences of the relief layers 5 are realized from the center to the top and bottom of the piezoelectric actuator 1. In individual cases, this may also be a reverse order or a one-sided consequence only to the head or foot towards beneficial. Moreover, the invention is independent of the geometry of the internal electrodes 3 and 4, eg interdigital, plate-through-type, corner design etc., or of the material of the internal electrodes 3 and 4, eg AgPd, Cu etc.

Claims

Patentansprücheclaims
1) Piezoaktor, mit einem Mehrschichtaufbau von Piezolagen (2) aus piezo¬ elektrischen oder elektrostriktiven Keramikschichten und dazwischen angeordneten Innenelektroden (3,4) und einer wechselseitigen seitlichen Kontaktierung der In¬ nenelektroden (3,4), dadurch gekennzeichnet, dass, im Bereich des Schichtaufbaus in vorgegebenen Abstän¬ den Keramikschichten als Entlastungsschichten (5) an¬ geordnet sind, die durch einen von den anderen Kera¬ mikschichten (2) abweichenden Aufbau und/oder eine an¬ dere StoffZusammensetzung eine erhöhte Neigung zu Rissbildungen aufweisen.1) piezoelectric actuator, with a multi-layer structure of piezoelectric layers (2) of piezo¬ electric or electrostrictive ceramic layers and interposed internal electrodes (3,4) and a mutual lateral contacting of the In¬ nenelektroden (3,4), characterized in that, in the area the layer structure in predetermined Abstän¬ the ceramic layers as relief layers (5) are arranged an¬ which have an increased tendency to cracking due to a deviating from the other Kera¬ mikschichten (2) construction and / or an¬ other fabric composition.
2) Piezoaktor nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Entlastungsschichten (5) eine im Vergleich zu den anderen Keramikschichten (2) größere Porosität aufwei¬ sen. 3) Piezoaktor nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Entlastungsschichten (5) aus einem artfremden oder nicht piezoaktiven Material hergestellt sind.2) Piezoelectric actuator according to claim 1, characterized in that the relief layers (5) have a larger porosity than the other ceramic layers (2). 3) piezoelectric actuator according to claim 2, characterized in that the relief layers (5) are made of a dissimilar or non-piezoactive material.
4) Piezoaktor nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Entlastungsschichten (5) im Verlauf des Schicht¬ aufbaus des Piezoaktors (1) in äquidistanten Abständen eingefügt sind.4) Piezoelectric actuator according to one of the preceding claims, characterized in that the relief layers (5) in the course of Schicht¬ structure of the piezoelectric actuator (1) are inserted at equidistant intervals.
5) Piezoaktor nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, dass5) piezoelectric actuator according to claim 4, characterized in that
- die Entlastungsschichten (5) im Verlauf des Schichtauf¬ baus des Piezoaktors (1) gleichverteilt angeordnet sind.- The relief layers (5) in the course of Schichtauf¬ construction of the piezoelectric actuator (1) are arranged uniformly distributed.
6) Piezoaktor nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, dass6) piezoelectric actuator according to claim 4, characterized in that
- die Entlastungsschichten (5) im Verlauf des Schichtauf¬ baus des Piezoaktors (1) zum Kopf- und/oder zum Fußende hin einen größeren Abstand als den Abstand zwischen den Entlastungsschichten (5) in der Mitte aufweisen.- The relief layers (5) in the course of Schichtauf¬ construction of the piezoelectric actuator (1) towards the head and / or foot towards a greater distance than the distance between the relief layers (5) in the middle.
7) Piezoaktor nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Entlastungsschichten (5) im Verlauf des Schicht¬ aufbaus des Piezoaktors (1) von der Mitte bis zum Kopf- und/oder Fußende einen steigenden Abstand auf¬ weisen. 7) piezoactuator according to one of the preceding claims, characterized in that the relief layers (5) in the course of Schicht¬ structure of the piezoelectric actuator (1) from the middle to the top and / or bottom end auf¬ an increasing distance auf¬.
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