WO2006028228A1 - ガラス基板収納ケース、ガラス基板入替装置、ガラス基板管理装置、ガラス基板流通方法、シール部材及びこのシール部材を用いたシール構造 - Google Patents

ガラス基板収納ケース、ガラス基板入替装置、ガラス基板管理装置、ガラス基板流通方法、シール部材及びこのシール部材を用いたシール構造 Download PDF

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WO2006028228A1
WO2006028228A1 PCT/JP2005/016670 JP2005016670W WO2006028228A1 WO 2006028228 A1 WO2006028228 A1 WO 2006028228A1 JP 2005016670 W JP2005016670 W JP 2005016670W WO 2006028228 A1 WO2006028228 A1 WO 2006028228A1
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WO
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glass substrate
storage case
groove
seal member
reticle
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Application number
PCT/JP2005/016670
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French (fr)
Inventor
Toshiya Umeda
Atsushi Osada
Hideaki Kawashima
Tsutomu Yoshida
Original Assignee
Nippon Valqua Industries, Ltd.
Hakuto Co., Ltd.
Wins, Ltd.
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Publication date
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    • H01L21/67376—Closed carriers characterised by sealing arrangements

Definitions

  • the present invention includes a glass substrate storage case for storing a glass substrate such as a reticle, a glass substrate replacement device for replacing a glass substrate stored in the glass substrate storage case with another stepper case, and a glass substrate replacement device.
  • the present invention relates to a glass substrate management apparatus that individually manages glass substrates, a glass substrate distribution method that distributes and trades glass substrates, a sealing member that can enhance an airtight effect, and a sealing structure that uses this sealing member.
  • An exposure apparatus that projects and transfers a pattern previously formed on a reticle onto a semiconductor wafer when a semiconductor element is manufactured by photolithography is used.
  • a library for storing a large number of reticles is arranged in the vicinity of the exposure apparatus.
  • the reticle is stored and handled in a reticle storage case.
  • the reticle maker's ability to manufacture reticles also reaches the drawing contractor who forms a predetermined pattern on the reticle.
  • the reticle is stored in a reticle storage case consisting of an upper lid and a lower lid, and the upper lid and lower Reticles were traded with tape attached to the boundary (joint) with the lid and the storage case sealed.
  • a pattern maker formed on the reticle using an exposure apparatus is projected onto a semiconductor wafer and transferred to a device maker.
  • Reticles were stored in a reticle storage case and traded.
  • device manufacturers stored reticles in a special reticle storage case for storing reticles and stored them in a library in a clean room.
  • Patent Document 1 Japanese Patent Laid-Open No. 2000-269301
  • Reticle storage containers are made of a relatively thin resin material and are very high and rigid. Therefore, if the container is subjected to a compression reaction force caused by such inertial deformation of the seal material, the reaction It cannot withstand the force and causes warping in the container itself V. There is a problem that it is easy to cause a seal failure.
  • the present invention provides a glass substrate storage case capable of ensuring hermeticity and preventing deterioration of the quality of the glass substrate in distributing a glass substrate such as a reticle, and the glass substrate storage case cover. Glass substrate replacement device that automatically replaces the glass substrate in another storage case, and glass that can be reduced in size and cost by managing the glass substrate individually with the glass substrate replacement device.
  • a glass substrate distribution method that allows glass substrates to be stored in a dedicated glass substrate storage case for trading from substrate manufacturers to glass substrate manufacturers and device manufacturers, and to enhance the airtight effect It is an object of the present invention to provide a seal member that can be used and a seal structure using the seal member.
  • the invention according to claim 1 is a glass substrate storage case for storing a glass substrate, the bottom member on which the glass substrate is placed, and the glass substrate placed on the bottom member.
  • a lid member that is fitted to the bottom member so as to cover a plate and forms a space between the bottom member, and the bottom member or Z and the lid member is provided, and the lid member is fitted to the bottom member
  • the invention according to claim 2 is the glass substrate storage case according to claim 1, wherein the hook member includes a shaft portion rotatably provided on the lid member, and the shaft portion as a rotation shaft. And a claw portion that rotates and engages with the bottom portion of the bottom member.
  • the invention according to claim 3 is the glass substrate storage case according to claim 1 or 2, wherein the seal member is disposed in a groove formed in the lid member or Z and the bottom member, and the seal The member is inserted in the groove and presses a side wall of the groove, and contacts the lid member or the bottom member when the pressure members are connected to each other by connecting the pressure parts to each other. And a bending portion that is elastically deformed, and the thickness of each pressure portion is formed to be thicker than the thickness of the bending portion.
  • the invention according to claim 4 is the glass substrate storage case according to claim 3, wherein at least a part from the bent portion to each pressure portion is provided with a protrusion. It is characterized by.
  • the invention according to claim 5 is the glass substrate storage case according to claim 4, wherein the thickness is gradually increased from the bent portion to each pressure portion. It is characterized by.
  • the invention according to claim 6 is the glass substrate storage case according to claim 1 or 2, wherein the lid member or Z and the bottom member are formed with grooves having convex portions, and the seal member is The seal member is inserted into the groove so as to sandwich the convex part, and a pair of pressure parts that press the groove side wall facing the convex part, and connects the pressure parts to each other and the lid
  • the portion that contacts the lid member or the bottom member is formed in a curved shape, and when the lid member is fitted to the bottom member, the portion contacts the lid member or the bottom member. And a thin-walled portion that is elastically deformed.
  • the invention according to claim 7 is the glass substrate storage case according to claim 6, wherein the thickness of the thin portion is 0.2 mm or more and 0.6 mm or less.
  • the invention according to claim 8 is characterized in that, in the glass substrate storage case according to claim 6 or 7, the thickness is gradually reduced toward a tip portion contacting the groove bottom surface of the pressure portion.
  • the invention according to claim 9 is the glass substrate storage case according to any one of claims 6 to 8, wherein the sealing member has a height direction of a cross section cut in a thickness direction of the sealing member. It is characterized by being formed so as to be symmetric with respect to the center line extending in the direction.
  • the invention according to claim 10 is a glass substrate replacement device that replaces the glass substrate stored in the glass substrate storage case according to any one of claims 1 to 9 with another stepper case.
  • a lifting member provided so as to be movable in the vertical direction and on which the glass substrate storage case is placed, and a bow I of the hook member to the bottom member of the glass substrate storage case placed on the lifting member.
  • An engagement release member for releasing the hook and supporting the lid member from below, a base member on which the stepper case is placed, and the glass substrate placed on the bottom member on the lift member Remove from the bottom member And an arm member that moves to the side of the tepper case.
  • the invention according to claim 11 is the glass substrate replacement apparatus according to claim 10, wherein the disengagement member presses the lid member against the bottom member to elastically deform the seal member, and A pressing portion for releasing the engagement between the claw portion and the bottom member, and an opening for lifting the claw portion released from the engagement with the bottom member while rotating around the shaft portion and supporting the lid member And a support portion.
  • the invention according to claim 12 is a glass substrate management apparatus for managing a glass substrate, wherein the glass substrate replacement apparatus according to claim 10 or 11 and a floor on which the glass substrate replacement apparatus is installed. And a stock room formed below.
  • the invention according to claim 13 is a glass substrate manufacturer that manufactures the glass substrate by using the glass substrate storage case according to any one of claims 1 to 9, and the glass substrate. It is distributed to a drawing contractor who forms a predetermined pattern on a substrate, and further to a device manufacturer who projects and transfers the pattern of the glass substrate onto a semiconductor wafer.
  • the invention according to claim 14 is a seal member that is mounted in a groove formed of an elastic body and formed on a joint surface between the members, and the seal member is mounted in the groove.
  • a pair of pressure parts that press the side walls of the groove and a bent part that connects the pair of pressure parts, and the distance between the pressure parts is reduced and the groove is attached to the groove. It is a feature.
  • the invention according to claim 15 is characterized in that, in the seal member according to claim 14, the bending portion force is formed so that the wall thickness gradually increases over each pressure portion. To do.
  • the invention according to claim 16 is the seal member according to claim 14 or 15, wherein at least a part from the bent portion to the pressure portions is provided with a protrusion.
  • the invention according to claim 17 is a seal member that is mounted in the groove so as to sandwich the convex portion of the groove formed of rubber and formed on the joint surface between the members, wherein the seal member is A pair of pressure parts that press the groove side wall facing the convex part when mounted in the groove; A portion that connects each pressure portion and contacts one or the other of each member is formed in a curved shape, and has a thin-walled portion that contacts and elastically deforms one or the other of each member.
  • the invention according to claim 18 is the seal member according to claim 17, characterized in that the thickness of the thin portion is not less than 0.2 mm and not more than 0.6 mm.
  • the invention according to claim 19 is characterized in that, in the seal member according to claim 17 or 18, the thickness is gradually reduced toward the tip portion contacting the groove bottom surface of the pressure portion.
  • the invention according to claim 20 is symmetric with respect to the center line extending in the height direction of the cross section cut in the thickness direction of the seal member in the seal member according to any one of claims 17 to 19. It is characterized by being formed to be
  • the invention according to claim 21 is a seal structure in which the seal member according to any one of claims 14 to 20 is mounted and sealed in the groove, and the opening of the groove is wide. As described above, the opening edge of the groove is chamfered.
  • the glass substrate is placed on the bottom member, and the lid member is aligned with the bottom member.
  • a space is formed between the lid member and the bottom member, and the glass substrate is accommodated in this space.
  • the seal member is pressed by both members to be elastically deformed so that the space member is aligned with the bottom member. Becomes airtight. This prevents dust and the like from adhering to the internal glass substrate, so that the quality of the glass substrate does not deteriorate.
  • the hook member is provided on the lid member, the airtight state can be maintained by hooking the hook member to the bottom member. As a result, the glass substrate can be freely distributed and traded by simply storing the glass substrate in the glass substrate storage case.
  • the lid member can be easily removed from the bottom member by releasing the hook member from the bottom member. Thereby, the glass substrate can be taken out from the glass substrate storage case.
  • the claw portion rotates about the shaft portion as the rotation shaft and engages with the bottom portion of the bottom member.
  • the hook member can have a simple structure, and the airtight state can be reliably maintained.
  • the pressure portion of the seal member is inserted into the groove and presses the side wall of the groove, and the bent portion of the seal member connects the pressure portions to each other so that the lid member becomes the bottom member. When fitted, it comes into contact with the lid member or bottom member and elastically deforms. Thereby, a space part can be made airtight.
  • the thickness of the pressure portion is formed to be thicker than the thickness of the bent portion! Therefore, the pressure portion force can also increase the pressure acting on the side wall of the groove, and the bent portion The force can also reduce the pressure acting on the lid member or the bottom member. As a result, it is possible to reliably prevent the sealing member from falling off the groove, and when the lid member is fitted to the bottom member, the sealing member also applies pressure (elastic force, repulsive force) acting on the lid member or the bottom member. Even when the lid member or the bottom member is made of a predetermined material (for example, a resin), the lid member or the bottom member can be prevented from being damaged.
  • a predetermined material for example, a resin
  • the rigidity of the pressure portion is improved when the thickness of the pressure portion is relatively thick, deformation of the pressure portion can be suppressed when pressure is also applied to the bent portion by the lid member or the bottom member.
  • the pressure part can be prevented from being displaced with respect to the side wall of the groove, no frictional force is generated between the pressure part and the side wall of the groove, and damage such as cracks occurs in the pressure part. Can be prevented.
  • the sealing member can be easily grasped by having the protruding portion. Can. Thereby, the handleability of the seal member can be improved, and for example, the seal member can be easily mounted in the groove.
  • the seal member is formed so that the thickness gradually increases from the bent portion to each pressure portion, more effectively each pressure portion.
  • the wall thickness can be increased compared to the bent part.
  • the pressure part of the seal member is inserted into the groove and presses the side wall of the groove, and the thin part of the seal member connects the pressure parts to each other, and the lid member serves as the bottom member. When fitted, it comes into contact with the lid member or bottom member and elastically deforms. Thereby, a space part can be made airtight.
  • the thin portion comes into contact with the lid member or the bottom member and elastically deforms when the lid member is fitted to the bottom member, the airtightness of the space portion can be maintained. Further, since the thin portion is made of rubber, even when the thin portion is elastically deformed and comes into contact with the lid member or the bottom member, the compression reaction force exerted on the lid member or the bottom member by the thin portion can be reduced. Warpage or the like can be prevented from occurring in the lid member or the bottom member. In addition, since the lid member or the portion that contacts the bottom member is formed in a curved shape when the lid member is fitted to the bottom member, the thin-walled portion has a lid as compared with, for example, a conventional seal member having a lip piece. Since it hardly slides with respect to the member or the bottom member, the generation of particles due to rubbing with the lid member or the bottom member can be prevented.
  • the thickness of the thin portion is not less than 0.2 mm and not more than 0.6 mm, the airtightness of the space portion can be secured, and the thin portion can be the lid member.
  • the compression reaction force exerted on the bottom member can be reduced, and warpage or the like can be prevented from occurring on the lid member or the bottom member. In this way, it is possible to achieve both ensuring the airtightness of the space and preventing the lid member or the bottom member from warping.
  • the thickness of the thin wall portion is greater than 0.6 mm, the compression reaction force exerted on the lid member or the bottom member by the thin wall portion increases, and warpage or the like is likely to occur in the lid member or the bottom member. It becomes a problem. Also, if the thickness of the thin wall portion is thinner than 0.2 mm, the thin wall portion itself lacks rigidity and repulsion, and the compression reaction force exerted on the lid member or bottom member becomes too small to ensure airtightness of the space portion. There is a problem that can not be.
  • the seal member is formed so as to be symmetric with respect to the center line extending in the height direction of the cross section cut in the thickness direction of the seal member, the thin-walled portion is formed.
  • the thin wall portion is almost The generation of particles can be effectively suppressed without shifting.
  • the glass substrate storage case is placed on the elevating member, and the hook member is released from the hook member by the disengagement member.
  • the lid member is supported from below by the disengagement member.
  • the hook member is released from the engagement by the disengagement member and the lid member is supported by the downward force
  • the elevating member moves downward
  • the lid member is removed from the bottom member, and the elevating member Only the bottom member placed on the top moves downward together with the lifting member.
  • the glass substrate is exposed.
  • the glass substrate with the arm member exposed is taken out of the bottom member and moved to the stepper case mounted on the base member.
  • the glass substrate moved to the stepper case is sent to an exposure apparatus, and a predetermined pattern formed on the glass substrate is projected and transferred onto a semiconductor wafer.
  • the glass substrate can be easily replaced from the glass substrate storage case to the stepper case.
  • the lid member when the glass substrate storage case is placed on the elevating member, the lid member is pressed against the bottom member by the pressing portion. As a result, the seal member is deformed by inertia, the relative distance between the lid member and the bottom member is reduced, and the engagement between the claw portion and the bottom member is released.
  • the claw part released from the engagement with the bottom member is pulled up while being rotated around the shaft part by the open support part. Further, the claw portion is supported by the open support portion, whereby the lid member is supported by the open support portion.
  • the engagement releasing member can be made simple, and the engagement between the claw portion and the bottom member can be easily released. Further, since the lid member is supported by the opening support portion, the lid member can be easily detached from the bottom member by moving the bottom member downward.
  • the space under the floor can be used effectively.
  • the dead space in the room (for example, the clean room) where the glass substrate replacement device is installed can be eliminated, and the space in the clean room can be used effectively for other purposes.
  • the seal member is mounted in the groove with the distance between the pressure portions reduced, and when the seal member is mounted in the groove, each pressure portion is placed on the side wall of the groove. Press. As a result, it is possible to prevent the sealing member from coming out of the groove force or being displaced in the groove. In addition, when any one of the respective members comes into contact with the bent portion and the bent portion is pressed and elastically deformed, the members can be effectively sealed.
  • the seal member is formed so that the thickness gradually increases from the bent portion to each pressure portion, more effectively each pressure portion.
  • the wall thickness can be increased compared to the bent part.
  • gradually increasing the thickness of the bending portion force over each pressure portion it is possible to eliminate a portion where stress concentration occurs in the region extending over each pressure portion of the bending portion force, thereby reducing the strength of the seal member. Can be prevented, and as a result, durability can be improved.
  • the sealing member can be easily grasped by having the protrusion. Can do. Thereby, the handleability of the seal member can be improved, and for example, the seal member can be easily mounted in the groove.
  • the pressure portion of the seal member is inserted into the groove and presses the side wall of the groove, and the thin portion of the seal member connects the pressure portions, and one of the members is the other. When they are aligned, they contact one or the other of the members and elastically deform. This The space can be made airtight.
  • the thin wall portion comes into contact with one or the other of the members and elastically deforms, so that the airtightness of the space formed in one or the other of the members is reduced. Can be maintained.
  • the thin portion is made of rubber, even when the thin portion is elastically deformed and comes into contact with one or the other of the members, the compression reaction force exerted on one or the other of the members by the thin portion is reduced. It is possible to prevent warping or the like from occurring on one or the other of the members.
  • the portion that contacts one or the other of the members is formed in a curved shape, so that, for example, a thin-walled portion is less than a seal member having a conventional lip piece. Since it hardly slides with respect to one or the other of each member, generation of particles due to rubbing with one or the other of each member can be prevented.
  • the thickness of the thin portion is 0.2 mm or more and 0.6 mm or less, the airtightness of the space portion formed in one or the other of each member is ensured.
  • the thickness of the thin wall portion is greater than 0.6 mm, the compression reaction force exerted on the lid member or the bottom member by the thin wall portion increases, and the lid member or the bottom member is likely to be warped. It becomes a problem. Also, if the thickness of the thin wall portion is thinner than 0.2 mm, the thin wall portion itself lacks rigidity and repulsion, and the compression reaction force exerted on the lid member or bottom member becomes too small to ensure airtightness of the space portion. There is a problem that can not be.
  • the seal member is formed so as to be symmetric with respect to the center line extending in the height direction of the section cut in the thickness direction of the seal member, When the portion comes into contact with one or the other of the members, the thin-walled portion is hardly displaced with respect to one or the other of the members, and the generation of particles can be effectively suppressed.
  • the seal member is formed on the joint surface of each member! Each member is sealed in the groove.
  • the opening edge of the groove is chamfered so as to widen the opening, the opening edge of the groove does not get in the way when the seal member is attached, and the seal member can be easily attached to the groove. it can.
  • the opening edge of the groove is chamfered and the opening is widened. Therefore, the seal member can be easily attached to the groove while the protrusion is grasped. It is possible to greatly improve the mounting property of the seal member.
  • the seal member is made of an elastic body, and the lid member is pressed against the bottom member and the seal member is deformed by inertia, whereby the claw portion and the bottom portion of the bottom member are engaged. It is preferable that the combination is released. According to this configuration, when the lid member is pressed against the bottom member, the engagement between the claw portion and the bottom portion of the bottom member is released due to the elastic deformation of the seal member. Thus, the engagement between the claw portion and the bottom portion of the bottom member can be easily released simply by pressing the lid member against the bottom member, and the glass substrate can be easily taken out.
  • the seal member is disposed in a groove formed in the lid member or Z and the bottom member, and the seal portion covers a side wall of the groove when the seal member is disposed in the groove. It is preferable to have a pressure part to be pressed. According to this configuration, the seal member is disposed in the groove formed in the lid member or Z and the bottom member. At this time, since the pressure portion of the seal member presses the side wall of the groove, the seal member also drops the groove force. In addition, the posture of the seal member inside the groove can be stabilized.
  • each of the pressure portions is provided with a protrusion that contacts the side wall of the groove.
  • the seal member is sealed between the side wall of the groove with the seal member mounted in the groove. be able to.
  • foreign matter such as dust can be prevented from entering the inside of the groove, so that the seal member can be prevented from being damaged, and consequently the durability of the seal member can be improved.
  • the bottom member is provided with a support member that supports a downward force in a state where the glass substrate is separated from the bottom member.
  • the glass substrate is supported in a state where the bottom member force is separated. The downward force is supported by the holding member.
  • the glass substrate supported by the support member is taken out, the glass substrate can be lifted using the gap between the glass substrate and the bottom member, and the glass substrate can be easily taken out.
  • a positioning member for positioning the glass substrate is provided on the lid member or Z and the bottom member. According to this configuration, since the positioning member is provided on the lid member or Z and the bottom member, the glass substrate can be positioned. This prevents the glass substrate from moving in the space of the glass substrate storage case even when the glass substrate is distributed and traded in the glass substrate storage case. Can do.
  • the lid member is made of a transparent conductive resin.
  • the lid member is made of transparent conductive grease, the glass substrate stored inside the lid member without removing the lid member from the bottom member is confirmed from the outside of the glass substrate storage case. be able to. Further, by configuring the lid member with conductive grease, dust and the like can easily adhere to the lid member, and dust can be prevented from flying in the space.
  • a highly airtight first clean room in which the elevating member is disposed in which the elevating member is disposed, a highly airtight second turnroom in which the arm member is disposed adjacent to the first turrine room, and the A highly clean airtight third clean room provided adjacent to the second clean room and where the base member is disposed, a first partition member that partitions the first clean room and the second clean room, and the second clean room And a second partition member partitioning the third clean room, a first opening formed in the first partition member and communicating with the first clean room and the second clean room, and formed in the second partition member A second opening for communicating the second clean room and the third clean room; a first opening / closing member for opening or closing the first opening; and the second opening.
  • a second opening and closing member for opening or closing the it preferably has a.
  • the glass substrate on the bottom member placed on the elevating member is the arm member with the first opening / closing member opening the first opening and the second opening / closing member closing the second opening. Is removed from the bottom member.
  • the glass substrate moves from the first clean room to the second clean room.
  • the first and second clean rooms are in communication with each other. Since the airtightness of the clean room is high and the second opening is closed and there is no air flow, dust and the like can be prevented from adhering to the glass substrate.
  • the glass substrate taken out by the arm member is placed on the base member in the third clean room. Moved to the placed stepper case. At this time, the force that allows the second clean room and the third clean room to communicate with each other.
  • the second clean room and the third clean room are highly airtight and the first opening is closed, so that the air does not flow. It can prevent dust from adhering to the substrate. As described above, by replacing the glass substrate in each clean room, dust or the like can be prevented from adhering to the glass substrate, and the quality of the glass substrate can be prevented from deteriorating.
  • an elastic member is attached to the pressing portion, and the pressing portion preferably presses the lid member against the bottom member via the elastic member. According to this configuration, since the elastic member is attached to the pressing portion, and the pressing portion presses the lid member against the bottom member via the elastic member, the lid member can be prevented from being damaged.
  • a glass substrate management device for managing a glass substrate the glass substrate replacement device according to any one of claims 12 to 15, provided in the vicinity of the glass substrate replacement device, It is preferable to have a stock room for individually storing a plurality of the glass substrates in a state of being stored in the glass substrate storage case. According to this configuration, since the stock room for individually storing a plurality of glass substrates in the state of being accommodated in the glass substrate storage case is provided in the vicinity of the glass substrate replacement device, the glass substrate replacement device can be used for glass. Glass substrate storage case force When replacing a substrate with a stepper case, the necessary glass substrate force can be quickly and easily removed.
  • the storage case has moving means for moving the storage case from the standby room or from the standby room to the stock room.
  • the moving means moves from the stock room through the opening to the standby room.
  • a required glass substrate can be taken out from a stock room.
  • the glass substrate moved to the waiting room is placed on the elevating member while being accommodated in the glass substrate accommodating case, and is replaced with another stepper case.
  • the unnecessary glass substrate is stored in the glass substrate storage case, then placed on the moving means, and moved by the moving means from the standby room to the stock room through the opening. Then, it is stored in a stock room in a glass substrate storage case.
  • a determination means for recognizing the ID picker of the glass substrate stored in the glass substrate storage case and the ID picker of the glass substrate storage case, and determining whether or not the two match.
  • display means for displaying a determination result by the determination means.
  • the ID picker of the glass substrate stored in the glass substrate storage case and the ID picker of the glass substrate storage case are recognized by the determination means, and it is determined whether or not the forces match.
  • This determination result is displayed by the display means.
  • the user can instantly determine whether or not the glass substrate and the glass substrate storage case are aligned with each other only by checking the display means.
  • the glass substrate can be stored in a state where the glass substrate and the glass substrate storage case correspond to each other, and the management function of the glass substrate can be enhanced.
  • each pressure part is formed so as to be thicker than that of the bent part. According to this configuration, since the thickness of each pressure portion is formed to be thicker than that of the bent portion, the pressure acting on the side wall of the groove from the pressure portion can be increased, and the bent portion can be changed from the bent portion to the bent portion. The pressure acting on the contacting member can be reduced. As a result, it is possible to reliably prevent the groove of the sealing member from falling off, and when each member is joined, the sealing member force pressure (elastic force, repulsive force) acting on the member that contacts the sealing member is relatively small.
  • the member can be made of a predetermined material (for example, a resin)!
  • the member can be prevented from being damaged. Also, when the thickness of the pressure part becomes relatively thick, Since the rigidity of the pressure portion is improved, deformation of the pressure portion can be suppressed when a member force pressure that contacts the bent portion acts on the bent portion. This prevents the pressure part from shifting with respect to the side wall of the groove, prevents frictional force between the pressure part and the side wall of the groove, and prevents the pressure part from being damaged such as a crack. it can.
  • each pressure portion is provided with a protruding portion that contacts the side wall of the groove.
  • the seal member is sealed between the side wall of the groove with the seal member mounted in the groove. be able to.
  • foreign matter such as dust can be prevented from entering the inside of the groove, so that the seal member can be prevented from being damaged, and consequently the durability of the seal member can be improved.
  • the seal member can be positioned inside the groove when the protrusion comes into contact with the side wall of the groove.
  • FIG. 1 is a perspective view of a reticle storage case according to a first embodiment of the present invention as viewed obliquely from above.
  • FIG. 2 is a perspective view of the reticle storage case according to the first embodiment of the present invention as viewed obliquely from below.
  • FIG. 3 is an exploded view of the reticle storage case according to the first embodiment of the present invention.
  • FIG. 4 is a cross-sectional view of a seal member used in the reticle storage case according to the first embodiment of the present invention.
  • FIG. 5 (A) is a cross-sectional view showing a state in which a seal member used in the reticle storage case according to the first embodiment of the present invention is disposed in a groove formed in the bottom member
  • FIG. 6 is a cross-sectional view showing a state where a lid member is in contact with and pressed by the seal member.
  • FIG. 6 is a cross-sectional view of a seal member as a modification of the seal member used in the reticle storage case according to the first embodiment of the present invention, all of (A), (B), and (C).
  • FIG. 7 is a perspective view of the reticle management apparatus according to the first embodiment of the present invention.
  • FIG. 8 is a perspective view of a reticle replacement device constituting the reticle management device according to the first embodiment of the present invention.
  • FIG. 9 shows an oblique view of the disengagement member constituting the reticle replacement device according to the first embodiment of the present invention.
  • FIG. 10 is a view showing a state before the hook member is released by the engagement releasing member constituting the reticle replacement device according to the first embodiment of the present invention.
  • FIG. 11 is a view showing a state after releasing a hook member by an engagement releasing member constituting the reticle replacement device according to the first embodiment of the present invention.
  • FIG. 13 (A) and (B) are cross-sectional views when a conventional seal member is mounted in a groove.
  • FIG. 14 is a plan view of a modification of the seal member used in the reticle storage case according to the first embodiment of the present invention.
  • FIG. 15 is a cross-sectional view taken along line AA in FIG.
  • FIG. 16 (A) is a cross-sectional view showing a state in which a modification of the seal member used in the reticle storage case according to the first embodiment of the present invention is arranged in a groove formed in the bottom member; ) Is a cross-sectional view showing a state where the lid member is in contact with and pressed against a modification of the seal member
  • FIG. 17 is a configuration diagram of a testing machine used for a particle performance test.
  • First opening / closing shatter device (first opening / closing member)
  • Second opening / closing shatter device (second opening / closing member)
  • a glass substrate may be a reticle, a photomask, or the like.
  • a reticle is used as an example of a glass substrate.
  • the glass substrate storage case is used as a reticle storage case, the glass substrate replacement device as a reticle replacement device, the glass substrate management device as a reticle management device, and the glass substrate distribution method as a reticle distribution method. To do.
  • a reticle storage case for storing a reticle will be described.
  • the reticle storage case 10 includes a square bottom member 12. In the vicinity of each corner of the bottom member 12, a support member 14 for supporting the square reticle R extends vertically upward. The reticle R is supported by these four support members 14 while being separated from the bottom member 12. In each support member 14, a positioning member 16 that contacts each side surface of the reticle R supported by the support member 14 extends in a vertically upward direction. As a result, the reticle R is positioned by the positioning member 16 while being supported by the support member 14.
  • a groove 13 (see FIG. 5) is formed in the vicinity of the outer edge portion of the bottom member 12.
  • a seal member 18 is accommodated.
  • the seal member 18 has an inverted V shape as a whole when no pressure is applied. That is, the seal member 18 is formed to be relatively thick and presses the side surface 13A of the groove 13 when inserted into the groove 13, and the pressure members 18A and 18A are connected to the pressure parts 18A and 18A, respectively.
  • the connecting portions 18B and 18B are formed of a relatively thin wall and a bent portion 18C that connects the connecting portions 18B and 18B.
  • the sealing member 18 is formed so that the thickness gradually increases from the bent portion 18C to the pressure portions 18A, 18A, the pressure portions 18A, 18A are relatively thick. It is formed and thicker than the thickness of the bent part 18C. In this way, by forming the sealing member 18 so that the thickness of the bent portion 18C also gradually increases over the pressure portions 18A and 18A, the bent portion 18C force also has a region extending over the pressure portions 18A and 18A. Since it can be formed smoothly, the portion where stress concentration occurs can be eliminated, the strength of the seal member 18 can be prevented from being lowered, and the durability can be improved. Thus, the seal member 18 is set in a shape that is symmetrical with respect to the center line L in a cross-sectional view!
  • first projecting portions (projecting portions) 18D and 18D projecting outward are formed at the end portions of the pressure portions 18A and 18A, respectively. Furthermore, in the vicinity of the first protrusions 18D and 18D, second protrusions (protrusions) 18E and 18E that protrude outward are formed in the same manner as the first protrusions 18D and 18D. . Further, projections 18F and 18F projecting outward are formed on the connection portions 18B and 18B, respectively.
  • the bent portion 18C comes into contact with the lid member 20 and is elastically deformed by the pressure from the lid member 20.
  • the pressure portions 18A, 18A are deformed in the direction in which the separation distance between the pressure portions 18A, 18A increases due to the elastic force, and the first protrusions 18D, 18D and 18
  • the second protrusions 18E and 18E come into contact with the side walls 13A and 13A of the groove 13, respectively, and a predetermined pressure acts on the side walls 13A and 13A from the pressure parts 18A and 18A.
  • the pressure portions 18A and 18A press the side walls 13A and 13A.
  • the seal member 18 when the seal member 18 is disposed in the groove 13, the force that generates the gap 15 between the pressure portions 18A, 18A and the side walls 13A, 13A of the groove 13, in particular, the second projecting portions 18E, 18E By contacting the side walls 13 A and 13 A of the groove 13, it is possible to prevent foreign matters such as dust from entering the gap 15 during the cleaning process of the reticle storage case 10. As a result, corrosion of the seal member 18 can be prevented.
  • connection portions 18B and 18B constituting the seal member 18 are formed with the respective projections 18F and 18F, the seal member 18 can be easily grasped by having the projections 18F and 18F. can do. Thereby, the handleability of the seal member 18 can be improved.
  • the opening edge 13B of the groove 13 formed in the bottom member 12 is chamfered so that the opening of the groove 13 is widened, the opening edge 13B of the groove 13 is attached when the seal member 18 is attached to the groove 13.
  • the seal member 18 can be easily mounted in the groove 13 while holding the protrusions 18F and 18F. As a result, the mounting property of the seal member 18 in the groove 13 can be greatly improved.
  • the sealing member 18 of the present invention is This solves all of the problems of both, and greatly improves the ability to fit into the groove 13 and the sealing performance between the lid member 20 and the bottom member 12.
  • the seal member 18 is made of a relatively flexible thermoplastic resin (for example, a polyester elastomer resin, "Nuyuberan” manufactured by Teijin Ltd.). Also sea The steel member 18 is not limited to the case where it is made of thermoplastic resin, but may be made of an elastomer material such as general fluororubber.
  • a relatively flexible thermoplastic resin for example, a polyester elastomer resin, "Nuyuberan” manufactured by Teijin Ltd.
  • the steel member 18 is not limited to the case where it is made of thermoplastic resin, but may be made of an elastomer material such as general fluororubber.
  • the reticle storage case 10 includes a lid member 20.
  • the lid member 20 is made of a transparent conductive resin.
  • the lid member 20 includes a lid base portion 20A formed in a square shape in plan view, and a lid member body 20B formed integrally with the upper portion of the lid base portion 20A and formed in a square shape in plan view.
  • the lid base portion 20A and the lid member main body 20B are formed so as to be hollow.
  • the lid member main body 20B is formed so as to be located inside the lid base portion 20A.
  • the lid base portion 20A is configured to protrude outward with respect to the lid member main body 20B.
  • the lid base portion 2OA is formed with recesses 22L and 22R on two opposite sides, respectively.
  • the recesses 22L and 22R of the lid member 20 are provided with hook members 24 for hooking the bottom member 12 and maintaining the state where the lid member 20 is fitted to the bottom member 12, respectively.
  • the hook member 24 includes a shaft portion 24A and a claw portion integrally formed with the shaft portion 24A.
  • the shaft portion 24A is rotatably supported by a bearing portion 26 formed integrally with the lid base portion 20A.
  • the claw portion 24B is configured to cover the side portion of the lid base portion 20A when the lid member 20 is fitted to the bottom member 12.
  • a hook part 24C that engages with the bottom part of the bottom member 12 is formed at the tip part of the claw part 24B.
  • an engaging piece 24D that engages with a convex part 42B3 described later is formed in the vicinity of the tip part of the claw part 24B.
  • lid member 20 and the bottom member 12 of the reticle storage case 10 are made of a resin such as polycarbonate.
  • the force described with reference to the configuration in which the groove 13 is formed in the bottom member 12 and the seal member 18 is disposed in the groove 13 is limited to this configuration.
  • a groove (not shown) may be formed in the lid member 20, and the seal member 18 may be disposed inside the groove.
  • each pressure part 18A, 18A is formed so that the cross section of the pressure part 18A is square, and between the side wall 13A of the groove You may comprise so that a clearance gap may not arise.
  • FIG. 6 (B) a configuration in which only the first protrusions 18D and 18D are formed on the pressure portions 18A and 18A (a configuration in which the second protrusions 18E and 18E are removed) may be used.
  • each connecting portion 18B itself may be configured to protrude outward.
  • a breathing valve (not shown) with a chemical filter is attached to adjust the pressure inside and outside the reticle storage case 10 in consideration of use in aircraft transportation. May be.
  • a breathing valve with a chemical filter air can flow into the reticle storage case 10 through the breathing valve with a chemical filter when the outside air pressure is low.
  • the surrounding environment of the reticle storage case 10 is bad.
  • ammonia sulfide ((NH) SO) ammonia (NH)
  • reticle R is placed on support member 14 formed on bottom member 12. At this time, the reticle R is supported in a state of being separated from the bottom member 12.
  • each side surface of the reticle R comes into contact with the positioning member 16, and the reticle R is positioned on the support member 14.
  • the reticle R cannot move freely on the support member 14, and the reticle R can be prevented from dropping from the support member 14.
  • the lid member 20 When the reticle R is supported by the support member 14 and positioned by the positioning member 16, the lid member 20 is also applied with the upward force to the bottom member 12.
  • the shaft portion 24A rotates with the lid member 20 in contact with the bottom member 12, and the claw portion 24B rotates with the rotation of the shaft portion 24A.
  • the hook portion 24C formed at the tip of the claw portion 24B engages with the bottom portion of the bottom member 12.
  • the hook member 24 hooks the bottom portion of the bottom member 12, so that the state in which the lid member 20 and the bottom member 12 are combined can be maintained, and the lid member 20 is detached from the bottom member 12. Can be prevented.
  • the lid base portion 20A and the lid member main body 20B constituting the lid member 20 are formed in a hollow shape, and thus the lid member 20 and the bottom member 12 are formed.
  • a space (not shown) is formed between the two. In this space, the reticle R supported by the support member 14 is located.
  • the seal member 18 provided on the bottom member 12 comes into contact with the lid member 20, the space and the outside of the lid member 20 are partitioned by the seal member 18.
  • the bent portion 18C constituting the seal member 18 comes into contact with the lid member 20 and the bent portion 18C is elastically deformed. Therefore, there is no gap between the seal member 18, the lid member 20, and the bottom member 12, and the sealing performance of the space portion is significantly improved. As a result, the space can be surely hermetically sealed, and quality deterioration of the reticle R in which dust or the like does not adhere to the reticle R stored in the reticle storage case 10 can be prevented.
  • the thickness of the bent portion 18C is formed to be relatively thin, the force acting on the lid member 20 can also be reduced by the force of the bent portion 18C. Thereby, even when the lid member 20 is made of a predetermined material (for example, resin), the lid member 20 can be prevented from being damaged.
  • each pressure part 18A, 18A is set to be relatively thick, the rigidity of each pressure part 18A, 18A is improved, and when pressure is applied from the lid member 20 to the bent part 18C In addition, the deformation of the pressure parts 18A and 18A can be suppressed. This prevents the pressure parts 18A, 18A from shifting with respect to the side walls 13A, 13A of the groove 13, and the frictional force between the pressure parts 18A, 18A and the side walls 13A, 13A of the groove 13 can be prevented. It is possible to prevent the pressure parts 18A and 18A from being damaged such as cracks.
  • the sealing member 18 is formed so as to be symmetric with respect to the center line L, the lid member that acts on the bent portion 18 when the lid member 20 is combined with the bottom member 12 The pressure from 20 is approximately equal at each part of the bent portion 18C. Thereby, it is possible to prevent the frictional force with the lid member 20 from increasing at a predetermined portion of the bent portion 18C, and to prevent the bent portion 18C from being damaged.
  • the seal member 18 is formed so as to be symmetric with respect to the center line L, when the lid member 20 contacts the seal member 18, as shown in FIG.
  • the apex force of the bent portion 18C constituting the seal member 18 also comes into contact, and as the pressure force from the lid member 20 is received, the seal member 18 spreads equally to the left and right, and the seal between the lid member 20 and the seal member 18 A surface is formed. As a result, particles are generated by friction on the sealing surface where the sealing surface (contact surface) between the lid member 20 and the sealing member 18 does not shift regardless of the degree of pressing force from the lid member 20. Can be prevented.
  • the lid member 20 is made of a transparent conductive resin, the external force of the reticle storage case 10 can be easily confirmed for the reticle R stored therein, and the lid member 20 Is made of conductive grease, so that dust and the like can be easily attached to the lid member 20, dust can be prevented from flying in the space, and dust and the like can be reliably prevented from adhering to the reticle R. You can stop.
  • the lid member 20 when taking out the reticle R from the reticle storage case 10, the lid member 20 is pressed against the bottom member 12.
  • the bent portion 18C is further elastically deformed, and the relative distance between the lid member 20 and the bottom member 12 is reduced, so that the claw portion 24B and the bottom portion of the bottom member 12 are engaged. Is released.
  • the configuration can be simplified, the reticle R can be stored in an airtight state, and the reticle R can be easily taken out. , Reticle R's ability to prevent quality deterioration Extremely superior effects can be achieved.
  • the reticle storage case 10 of the present invention has high sealing performance, and thus the reticle R can be taken out of the clean room. And through this reticle storage case 10, The reticle manufacturer that manufactures the reticle R, the drawing company that forms the predetermined pattern on the reticle R, and the drawing company's ability to distribute the pattern on the reticle R to the device manufacturer that projects and transfers it to the semiconductor wafer. As a result, a single reticle storage case 10 can be unified. This eliminates the need for manufacturers and contractors to prepare a separate storage case for storing the reticle R.
  • the reticle management device 30 includes a reticle replacement device 32.
  • the reticle replacement device 32 includes a first clean room 34.
  • the first tower room 34 is configured in a rectangular parallelepiped shape, and the upper space 34U and the lower wall 34E and the four side walls 34A, 34B, 34C, 34D are configured so that the internal space is airtight.
  • a plate-like lifting platform (elevating member) 36 is disposed inside the first clean room 34.
  • a driving mechanism (not shown, elevating member) is connected to the elevating table 36, and the elevating table 36 can be moved in the vertical direction by driving of the driving mechanism.
  • an opening is formed in the upper wall 34U, and a lift 36 that is raised in this opening is located.
  • the lifting platform 36 forms a part of the upper wall 34U.
  • the upper wall 34U of the first clean room 34 is attached so that the two disengagement members 38 face each other.
  • the disengagement member 38 is a claw constituting a pressing head (pressing portion) 40 that presses the lid member 20 against the bottom member 12, and a hook member 24 attached to the lid member 20.
  • a support arm (open support part) 42 that engages the part 24B and rotates the claw part 24B together with the shaft part 24A and supports the lid member 20.
  • the pressing head 40 is provided so as to be movable in the horizontal direction and the vertical direction.
  • the pressing head 40 has two pressing pieces 40A, 40A and pressing pieces 40A, 40A attached and supported. And a base portion 40B. Further, shock-absorbing members (elastic members) 40C and 40C made of an elastic body such as rubber are attached to the tip portions of the pressing pieces 40A and 40A, respectively. As the pressing head 40 moves in the horizontal direction, the pressing pieces 40A and 40A also move in the horizontal direction, and as the pressing head 40 moves in the vertical direction, the pressing pieces 40A and 40A also move in the vertical direction.
  • shock-absorbing members elastic members
  • the support arm 42 includes an inclined base 42A provided on the base member 40B, and a support arm main body 42B that moves on the inclined base 42A in the oblique direction.
  • the support arm main body 42B includes a slide part 42B1 that moves on the tilt base 42A, and an engagement support part 42B2 that is attached to the tip of the slide part 42B1.
  • a convex portion 42B3 that engages with an engagement piece 24D formed on the claw portion 24B is formed at the distal end portion of the engagement support portion 42B2.
  • a rectangular first window 46 is formed on one side wall (first partition member) 34A that constitutes the first clean room 34 and partitions from a second clean room 44 described later.
  • the second clean room 44 is connected to the first clean room 34.
  • This second clean room 44 is configured in a rectangular parallelepiped shape, and is configured so that the inner space is airtight from the upper wall 44U and the lower wall 44E, and the four side walls 44A, 44B, 44C, 44D and the side wall. .
  • the side wall 34A of the first clean room 34 and the side wall (first partition member) 44C of the second clean room 44 are common side walls.
  • the first opening / closing shatter device 54 includes a flat opening / closing shatter body 54A that opens and closes the first window 46, and a drive unit 54B that moves the opening / closing shatter body 54A up and down.
  • a second window portion 48 is formed on a side wall (second partition member) 44A, which is a side wall constituting the second clean room 44 and is opposed to the side wall 44C.
  • the second clean room 44 is provided with a second opening / closing shirt device (second opening / closing member) 56 for opening and closing the second window 48.
  • the second opening / closing shutter device 56 includes a flat plate-like opening / closing shirt body 56A for opening / closing the second window portion 48, and a drive unit 56B for moving the opening / closing shirt body 56A up and down.
  • the first opening / closing shirt device 54 and the second opening / closing shirt device 56 are connected to the control unit (not shown). It is configured to be controlled and driven by (omitted).
  • an arm member 50 is arranged in the second clean room 44.
  • the arm member 50 constitutes a stepper case S placed on the base body 58 by using the reticle R supported on the bottom member 12 constituting the reticle storage case 10 placed on the lifting platform 36.
  • the support plate (arm member) 50A for supporting the reticle R, and the support plate 50A are moved in the first clean room 34 and the internal force in the third clean room 52 and moved vertically.
  • a link mechanism (arm member) 50B that is also moved.
  • the third clean room 52 is connected to the second clean room 44.
  • the third clean room 52 is configured in a rectangular parallelepiped shape, and is configured so that the internal space is hermetically sealed by the upper wall 52U and the lower wall 52E, and the four side walls 52A, 52B, 52C, and 52D.
  • the side wall 44A of the second clean room 44 and the side wall (second partition member) 52C of the third clean room 52 are common side walls.
  • a base member 58 is disposed in the third clean room 52.
  • the base member 58 includes a flat base body 58A on which various stepper cases are placed.
  • a drive mechanism (not shown, a base member) is connected to the base portion main body 58, and the base portion main body 58 can be moved in the vertical direction by driving of the drive mechanism.
  • the stepper case S is composed of a lid member 20 and a bottom member 12 as in the reticle storage case 10, for example.
  • the reticle R is I prefer something that can be stored!
  • an opening is formed in the upper wall 52U, and the base portion main body 58 raised in this opening is positioned.
  • the base body 58 constitutes a part of the upper wall 52U.
  • reticle management device 30 includes standby room 60 connected to reticle replacement device 32.
  • This waiting room 60 is connected to the first cream room 34 and is divided into an upper wall 60U and four wall J walls 60A, 60B, 60C, 60D!
  • the side wall 34D of the first clean norm 34 and the side wall 60B of the waiting room 60 become a common side wall!
  • a stock room 62 is arranged below the floor on which the reticle replacement device 32 is arranged. Is placed. This stock room 62 is for storing a plurality of types of reticles R in a state of being stored in the reticle storage case 10.
  • the waiting room 60 and the stock room 62 are in communication with each other through an opening 61 formed on the floor.
  • a rail portion (moving means) 66 is provided from the waiting room 60 to the stock room 62, and a carriage (moving means) 64 that moves up and down on the rail portion 66 is provided on the rail portion 66. Has been placed.
  • the carriage 64 is driven by a predetermined drive mechanism (not shown, moving means).
  • the reticle storage case 10 in which a predetermined reticle R is stored is also selected as the intermediate force of the stock room 62 and placed on the carriage 64.
  • the drive mechanism is activated to move the carriage 64 upward along the rail 66.
  • the carriage 64 is moved from the stock room 62 to the standby room 60, and is eventually positioned on the upper wall 60U constituting the standby room 60.
  • the reticle storage case 10 positioned on the upper wall 60U constituting the standby room 60 is placed on the lifting platform 36 positioned on the upper wall 34U of the first clean room 34.
  • the pressing head 40 moves in the horizontal direction, and the two pressing pieces 40A and 40A are positioned on the lid base portion 20A.
  • the pressing head 40 moves downward and presses the lid member 20 against the bottom member 12.
  • the lid base portion 20A is not damaged.
  • the support arm body 42B With the convex part 42B3 engaged with the engaging piece 24D, the support arm body 42B remains on the inclined base 42A. When moved upward, the claw portion 24B rotates with the rotation of the shaft portion 24A and is in an open state. The lid member 20 is supported by the support arm main body 42B with the claw portion 24B open. As a result, only the bottom member 12 is placed on the lifting platform 36.
  • the lifting platform 36 on which the bottom member 12 is placed is moved downward.
  • the first window portion 46 and the second window portion 48 are closed by the first opening / closing shirt device 54 and the second opening / closing shirt device 56, respectively.
  • the open / close shirt body 54A constituting the first open / close shirt device 54 is driven by the drive unit 54B, and the first window 46 is opened.
  • the support plate 50A is moved by the force link mechanism 50B, and enters the first clean room 34 from the second clean room 44 through the first window 46.
  • the support plate 50A moves below the reticle R supported while being separated from the bottom member 12, and then moves upward by the link mechanism 50B. As a result, the reticle R is supported by the support plate 50A. When the reticle R is supported by the support plate 50A, the support plate 50A moves again to the first clean room 34 force and the second clean room 44.
  • the opening / closing shatter body 54A constituting the first opening / closing shatter device 54 is driven by the drive unit 54B, and the first window 46 is closed.
  • the opening / closing shirt body 56A constituting the second opening / closing shirt device 56 is driven by the driving portion 56B, and the second window portion 48 is opened.
  • dust or the like may flow in the first tower room 34 where air does not flow into the first clean room 34. Absent.
  • the support plate 50A supporting the reticle R moves from the link mechanism 50B, passes through the second window portion 48, and enters the third clean room 52.
  • the reticle R is placed on the bottom member S2 constituting the stepper case S (case dedicated to each exposure apparatus) placed on the base body 58 that has been waiting in advance.
  • the base body 58 moves upward and is positioned on the upper wall 52U of the third clean room 52.
  • the lid member S1 is covered and the reticle R is stored in the stepper case S. In this way, reticle R is transferred from reticle storage case 10 to stepper case S.
  • the open / close shutter body 56A constituting the second open / close shatter device 56 is driven by the drive portion 56B, and the second window portion 48 is moved. close.
  • the reticle is used in an exposure apparatus (not shown) by the device manufacturer.
  • an exposure apparatus (not shown) a predetermined pattern formed on the reticle R is projected and transferred onto a semiconductor wafer.
  • the reticle R used in the exposure apparatus is placed on the base body 58 in a state of being placed on the bottom S2 of the stepper case S, and the base body 58 is driven by a drive mechanism (not shown). Then, the inside of the third clean room 52 is moved downward.
  • the opening / closing shirt body 56A constituting the second opening / closing shirt device 56 is driven by the drive unit 56B, and the second window 48 is opened.
  • the support plate 50A is moved by the link mechanism 50B, and passes from the second clean room 44 through the second window portion 48 and enters the third tower room 52.
  • the support plate 50A moves below the reticle R supported while being separated from the bottom member 12, and then moves upward by the link mechanism 50B.
  • the reticle R is supported by the support plate 50A.
  • the support plate 50A moves again from the third clean room 52 to the second clean room 44. At this time, the first window portion 46 is closed.
  • the open / close shutter body 56A constituting the second open / close shatter device 56 is driven by the drive unit 56B, and the second window While the part 48 is closed, the opening / closing shirter body 54A constituting the first opening / closing shirter device 54 is driven by the drive part 54B, and the first window part 46 is opened.
  • the support plate 50A force is moved by the S link mechanism 50B, and the second tally Enter the first clean room 34 from the first room 44 through the first window 46.
  • the reticle R is placed on the bottom member 12 on the lifting platform 36 which has been moved downward in the first clean room 34 and has been waiting in advance.
  • the reticle R is placed on and supported by the support member 14 and is positioned by the positioning member 16.
  • the reticle R also transfers the stepper case S force to the reticle storage case 10.
  • the lifting platform 36 moves up inside the first clean room 34 and is fitted to the lid member 20 supported by the support arm main body 42B. 20 is fixed to the bottom member 12.
  • the reticle R is stored in the reticle storage case 10.
  • reticle storage case 10 is placed on carriage 64 and stored in a predetermined location in stock room 62.
  • the reticle replacement device 32 and the reticle management device 30 of the present invention since the reticle R replacement work is performed in each of the clean rooms 34, 44, 52, dust or the like is present on the reticle R. It can prevent adhesion and prevent the quality of the reticle R from deteriorating.
  • stock room 62 for individually storing a plurality of reticles R in a state of being stored in reticle storage case 10 is provided.
  • the necessary reticle R can be quickly and easily removed from the stock room 62.
  • the stock room 62 is formed below the floor where the reticle replacement device 32 is installed, the space under the floor can be used effectively. As a result, if a large amount of reticle R is stored in a clean room, it is necessary to expand the space of the clean room and the management and maintenance costs are significantly increased. However, the stock room formed under the floor as in the present invention.
  • the maintenance cost of the reticle R can be greatly reduced, and the empty space in the clean room can be used effectively for other purposes. Togashi.
  • a dedicated ID number is provided for reticle R stored in reticle storage case 10, and a dedicated ID number is also provided for reticle storage case 10, and both are determined by a determination device (not shown, determination means). May be displayed on a monitor (not shown, display means) or the like for determining whether or not the force matches.
  • a determination device not shown, determination means
  • the seal member 70 is formed in a hollow shape, and is continuously formed so as to have a substantially rectangular shape in plan view. Further, the seal member 70 includes a pair of pressure portions 72A and a thin portion 72B in which the pressure portions 72A and 72A are connected to each other.
  • each of the pressure parts 72A and 72A is formed so that the rear end part force is directed toward the front end part and gradually becomes thinner.
  • the upper portion of the thin portion 72B is a portion that comes into contact with a lid member 76 of a reticle storage case 74 (see FIG. 16), which will be described later, and is formed in a curved shape.
  • the thin portion 72B has a thickness T of 0.2 mm or more and 0.6 mm or less, and is particularly preferably 0.3 mm. Further, the seal member 70 is formed so as to be symmetric with respect to a center line L extending in the height direction of a cross section cut in the thickness direction of the seal member 70.
  • the seal member 70 is made of an elastomer material (rubber) such as fluorine rubber.
  • This fluoro rubber includes perfluoro fluoro rubber (FF KM) whose main chain is completely fluorinated, ordinary fluoro rubber (FKM) having a carbon-hydrogen bond in a part of the main chain, and extrusion molding.
  • FF KM perfluoro fluoro rubber
  • FKM ordinary fluoro rubber
  • a possible fluorine-based thermoplastic elastomer is also preferable in terms of heat resistance and low gas generation.
  • a groove 80 is formed in the vicinity of the outer edge portion of the bottom member 78 constituting the reticle storage case 74 as a modified example.
  • a convex portion 82 is formed at the central portion of the groove 80 in the groove width direction.
  • the other configuration of the reticle storage case 74 is the same as the configuration of the reticle storage case according to the first embodiment described above, and a description thereof will be omitted.
  • the reticle storage case 74 is made of a resin such as polycarbonate.
  • a predetermined pressure acts as a reaction force on the groove side walls 78A and 78A in which the rear end portions of the pressure portions 72A and 72A are opposed to the convex portion 82 in the groove width direction.
  • the seal member 70 can be prevented from falling off the groove 80, and the cleaning liquid can be prevented from entering the groove 80 when the reticle storage case 74 is cleaned.
  • the seal member 70 is formed so as to be symmetric with respect to the center line L, when the thin portion 72B comes into contact with the lid member 76, the thin portion 72B is hardly displaced from the lid member 76. Generation of particles can be effectively suppressed.
  • the thin portion 72B is made of rubber and the thickness T is 0.2 mm or more and 0.6 mm or less, the airtightness of the space portion can be secured, and the thin portion It is possible to reduce the compression reaction force that 72B exerts on the lid member 76, and to prevent the lid member 76 from warping. In this way, it is possible to achieve both ensuring the airtightness of the space and preventing the lid member 76 from warping.
  • the thickness of the thin wall portion is greater than 0.6 mm, the compression reaction force exerted on the lid member or the bottom member by the thin wall portion increases, and warpage or the like is likely to occur in the lid member or the bottom member. It becomes a problem.
  • the thin wall portion itself lacks rigidity and repulsion, and the compression reaction force exerted on the lid member or bottom member becomes too small to ensure airtightness of the space portion. There is a problem that can not be.
  • a pressing member 90 that moves up and down by the air pressure from the pneumatic cylinder 88 is provided in the internal space 86 of the testing machine 84, and this pressing member 90 is the same as the lid member 76 of the reticle storage case 74.
  • a resin board 92 made of material was attached.
  • a table 94 is provided on the bottom surface of the internal space 86, and four grooves 80 formed in the bottom member 78 of the reticle storage case 74 are attached to the top surface of the table 94, and the above-described modified examples are provided in each groove 80.
  • Each of the sealing members 70 was installed. Then, the pneumatic cylinder 88 was operated 10,000 times, and each sealing member 70 was pressed by the resin plate 92.
  • the resin plate 92 contacts the seal member 70 and compresses and deforms the seal member 70 by a force of about 1.5 mm, and then the resin plate 92 is pulled up to release the elastic deformation of the seal member 70. Repeated 10,000 times. Particles generated at this time were guided to the outside from a supply path 96 provided at the bottom of the internal space 86, and the number of particles was measured by a suction type particle counter (not shown, suction amount 2.83 LZmin). Air was supplied to the internal space 86 via a 0.01 ⁇ m filter 98.
  • this test includes the unmounted state in which the seal member is not mounted in the groove 80, and the conventional state shown in FIG. 13 (B).
  • a conventional product with the seal member N installed in the groove 80 was also tested under the same conditions.
  • the seal member 70 which is a modified example used in this test, was kneaded with an open roll with a filler such as fluoro rubber (G921 manufactured by Biridenfurkin), a crosslinking agent, and carbon black. A rubber compound was produced. This was filled into a mold and subjected to heat bridge molding at 165 ° C for 15 minutes, followed by secondary vulcanization at 180 ° C for 12 hours to form a seal member.
  • a filler such as fluoro rubber (G921 manufactured by Biridenfurkin)
  • a receiving member 81 corresponding to the bottom member 78 of the reticle storage case 74 was used, and a groove 83 was formed in the receiving member 81 to mount a seal member 70 as a modification.
  • a covering member 85 corresponding to the lid member 76 of the reticle storage case 74 was used, and the covering member 85 and the receiving member 81 were combined so that the internal space 87 was hermetically sealed.
  • a glass substrate 89 was placed in the inner space 87.
  • a through passage 91 was formed in the covering member 85, and a negative pressure gauge 93, a pressure adjustment valve 95, and a vacuum pump 97 were connected to the through passage 91.
  • the pressure adjustment valve 95 is opened, the vacuum pump 97 is operated to evacuate the space 87 to about 500 Pa, and then the pressure adjustment valve 95 is kept closed, and the negative pressure gauge Measure the pressure in space 87 by 93.
  • the measurement by the negative pressure gauge 93 is a total immediately after the vacuum pump 97 is operated and the pressure in the space 87 is evacuated to about 500 Pa, and then the pressure adjustment valve 95 is closed and one week thereafter. Conducted twice.
  • Pressure (Pa) -490-485 As shown in Table 2 above, it was found that the pressure in the space 87 can be maintained substantially constant by using the sealing member 70 of the present invention.
  • the sealing member 70 of the present invention the generation of particles can be suppressed and the sealing performance of the space can be ensured. It was found that both can be achieved.

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Abstract

　ガラス基板の品質劣化を防止できるガラス基板収納ケース、ガラス基板収納ケースから別のケースにガラス基板を自動で入れ替えるガラス基板入替、ガラス基板を個別に管理するガラス基板管理装置、ガラス基板を専用のガラス基板収納ケースに収納させて取引するガラス基板流通方法、気密効果を高めるシール部材及びこのシール部材を用いたシール構造を提供する。 　レチクルＲが載置される底部材１２と、底部材１２に載置されたレチクルＲを覆うように底部材１２に合わせられ底部材１２との間に空間部を形成する蓋部材２０と、底部材１２又は／及び蓋部材２０に設けられ蓋部材２０が底部材１２に合わせられた状態で空間部を気密にするシール部材１８と、蓋部材２０に設けられ底部材１２に引っ掛けられて蓋部材２０が底部材１２に合わせられた状態を維持するフック部材２４と、を有する構成とした。

Description

明 細 書
ガラス基板収納ケース、ガラス基板入替装置、ガラス基板管理装置、ガラ ス基板流通方法、シール部材及びこのシール部材を用いたシール構造
技術分野
[0001] 本発明は、レチクルなどのガラス基板を収納するガラス基板収納ケース、ガラス基 板収納ケースに収納されたガラス基板を他のステッパーケースに入れ替えるガラス基 板入替装置、ガラス基板入替装置を備えガラス基板を個別に管理するガラス基板管 理装置及びガラス基板を流通'取引するガラス基板流通方法、気密効果を高めること が可能なシール部材及びこのシール部材を用いたシール構造に関する。
背景技術
[0002] 半導体素子をフォトリソグラフィで製造する際に、レチクルに予め形成されたパター ンを半導体ゥエーハに投影、転写する露光装置 (ステツパ）が用いられている。半導 体素子の製造時には、複数枚のレチクルを用いて異なるパターンを露光する必要が あるため、半導体素子の種類毎に多数のレチクルが必要になる。そのため、露光装 置の近傍には、多数のレチクルを保管するためのライブラリが配置されている。
[0003] ここで、上記レチクルが露光装置に至るまでに、埃の付着や人が直接触れることを 防止するために、レチクルはレチクル収納ケースに収納して取り扱われている。すな わち、レチクルを製造するレチクルメーカー力もレチクルに所定のパターンを形成す る描画業者に至るまでに、例えば、上蓋と下蓋とからなるレチクル収納ケースにレチ クルを収納し、上蓋と下蓋との境界部 (合わせ目）にテープを貼り、収納ケースを気密 にした状態でレチクルが取引されていた。また、描画業者にてレチクルに所定のパタ ーンが形成された後、露光装置を用いたレチクルに形成されたパターンを半導体ゥ エーハに投影、転写するデバイスメーカーに至るまでには、また別のレチクル収納ケ ースにレチクルが収納されて取引されていた。さらに、デバイスメーカーでは、レチク ルを保管するための専用のレチクル収納ケースにレチクルが収納されてクリーンルー ム内のライブラリで保管されていた。
[0004] 上記のように、レチクルメーカー力 描画業者への取引過程 (以下、適宜「第 1取引 過程」という。）、描画業者力 デバイスメーカーへの取引過程 (以下、適宜「第 2取引 過程」という。）、さらにデバイスメーカーでの保管過程において、レチクルは、各種別 々のレチクル収納ケースに収納されて!、た。
特許文献 1：特開 2000— 269301号公報
発明の開示
発明が解決しょうとする課題
[0005] ところで、第 1取引過程、第 2取引過程及び保管過程において、レチクルが別のレ チクル収納ケースに入れ替えられる力 それぞれの過程でレチクル収納ケースを用 意しなければならず、各メーカーや業者での負担が大きくなる。また、気密性が十分 な収納ケースがなぐクリーンルーム外へ持ち出す場合 (第 1取引過程、第 2取引過 程）に、レチクル収納ケースの下蓋と上蓋との合わせ目にテープを巻き付けて気密性 を確保していたため、作業性が悪くなつていた。また、その作業時に、レチクル収納 ケースの内部にわずかな空気流が発生し、レチクルに埃等が付着するおそれもある
[0006] また、半導体ゃレチクルの収納容器の気密性確保のために、ゴムシール材を介在 させて密封すると ヽぅ提案もある（特開 2005 - 31489)。
しかし、ここに提案されているような断面が円形，楕円，四角などの一般的なシール 材を使用した場合、気密性の実現に必要な弾性変形をさせるには、大きな荷重で押 し潰すことが必要である。レチクル収納容器は比較的薄肉な榭脂材力 構成され、あ まり高 、剛性を有して ヽな 、ことから、このようなシール材の弹性変形によって生ずる 圧縮反力を受けた場合、その反力に耐え切れず、容器自体にそりを発生させてしま V、、シール不良を引き起こしやす ヽと 、う問題がある。
[0007] また、収納容器の開閉作業を自動化するには、より小さな力で本体と蓋体とを開閉 できる容器が望ましく、低 、荷重で気密性を実現できるシール材が望まれる。
[0008] また、露光装置の近傍にレチクルを保管するためのライブラリが配置される力 この ライブラリはクリーンルームの内部に設けなければならない。このため、露光装置が大 型化するだけでなぐクリームルームを設けるための設備費が大幅に向上するため、 コストが増大することになる。 [0009] そこで、本発明は、上記事情に鑑み、レチクルなどのガラス基板を流通させる上で 気密性を確保しガラス基板の品質劣化を防止できるガラス基板収納ケース、また、こ のガラス基板収納ケースカゝら別の収納ケースにガラス基板を自動で入れ替えるガラ ス基板入替装置、また、ガラス基板入替装置を備えガラス基板を個別に管理すること により露光装置を小型化'低コストィ匕することができるガラス基板管理装置、また、ガラ ス基板メーカーカゝらデバイスメーカーに至るまでにガラス基板を専用のガラス基板収 納ケースに収納させて取引することができるガラス基板流通方法、また、気密効果を 高めることができるシール部材及びこのシール部材を用いたシール構造を提供する ことを目的とする。
課題を解決するための手段
[0010] 請求項 1に記載の発明は、ガラス基板を収納するためのガラス基板収納ケースであ つて、前記ガラス基板が載置される底部材と、前記底部材に載置された前記ガラス基 板を覆うように前記底部材に合わせられ前記底部材との間に空間部を形成する蓋部 材と、前記底部材又は Z及び前記蓋部材に設けられ、前記蓋部材が前記底部材に 合わせられた状態で前記空間部を気密にするシール部材と、前記蓋部材に設けら れ、前記底部材に引っ掛けられて前記蓋部材が前記底部材に合わせられた状態を 維持するフック部材と、を有することを特徴とする。
[0011] 請求項 2に記載の発明は、請求項 1に記載のガラス基板収納ケースにおいて、前 記フック部材は、前記蓋部材に回転可能に設けられた軸部と、前記軸部を回転軸と して回転し前記底部材の底部と係合する爪部と、を有することを特徴とする。
[0012] 請求項 3に記載の発明は、請求項 1又は 2に記載のガラス基板収納ケースにおいて 、前記シール部材は前記蓋部材又は Z及び前記底部材に形成された溝に配置され 、前記シール部材は、前記溝に挿入され前記溝の側壁を押圧する一対の圧力部と、 前記各圧力部同士を接続し前記蓋部材が前記底部材に合わせられるときに前記蓋 部材又は前記底部材と接触し弾性変形する屈曲部と、を有し、前記各圧力部の肉厚 が前記屈曲部の肉厚と比較して厚くなるように形成されて 、ることを特徴とする。
[0013] 請求項 4に記載の発明は、請求項 3に記載のガラス基板収納ケースにおいて、前 記屈曲部から前記各圧力部までの少なくとも一部には、突起部が設けられていること を特徴とする。
[0014] 請求項 5に記載の発明は、請求項 4に記載のガラス基板収納ケースにおいて、前 記屈曲部から前記各圧力部に亘つて肉厚が徐々に厚くなるように形成されていること を特徴とする。
[0015] 請求項 6に記載の発明は、請求項 1又は 2に記載のガラス基板収納ケースにおいて 、前記蓋部材又は Z及び前記底部材には凸部を有する溝が形成され、前記シール 部材は、ゴムで構成され、前記シール部材は、前記凸部を挟むように前記溝に挿入 され前記凸部と対向する溝側壁を押圧する一対の圧力部と、前記各圧力部同士を 接続し前記蓋部材が前記底部材に合わせられるときに前記蓋部材又は前記底部材 と接触する部位が湾曲状に形成され前記蓋部材が前記底部材に合わせられるとき に前記蓋部材又は前記底部材と接触して弾性変形する薄肉部と、を有することを特 徴とする。
[0016] 請求項 7に記載の発明は、請求項 6に記載のガラス基板収納ケースにおいて、前 記薄肉部の厚みは、 0. 2mm以上 0. 6mm以下であることを特徴とする。
[0017] 請求項 8に記載の発明は、請求項 6又は 7に記載のガラス基板収納ケースにおいて 、前記圧力部の溝底面と接触する先端部に向かって徐々に薄肉となっていることを 特徴とする。
[0018] 請求項 9に記載の発明は、請求項 6乃至 8のいずれ力 1項に記載のガラス基板収納 ケースにおいて、前記シール部材は、前記シール部材の厚み方向に切断した断面 の高さ方向に延びる中心線に関して対称となるように形成されて 、ることを特徴とす る。
[0019] 請求項 10に記載の発明は、請求項 1乃至 9のいずれか 1項に記載のガラス基板収 納ケースに収納されたガラス基板を別のステッパーケースに入れ替えるガラス基板入 替装置であって、上下方向に移動可能に設けられ前記ガラス基板収納ケースが載 置される昇降部材と、前記昇降部材に載置された前記ガラス基板収納ケースの前記 底部材への前記フック部材の弓 Iつ掛けを解除すると共に、前記蓋部材を下方から支 持する係合解除部材と、前記ステッパーケースが載置された土台部材と、前記昇降 部材上の前記底部材に載置された前記ガラス基板を前記底部材から取り出し前記ス テッパーケース側に移動させるアーム部材と、を有することを特徴とする。
[0020] 請求項 11に記載の発明は、請求項 10に記載のガラス基板入替装置において、前 記係合解除部材は、前記蓋部材を前記底部材に押し付けて前記シール部材を弾性 変形させ前記爪部と前記底部材との係合を解除する押圧部と、前記底部材との係合 を解除された前記爪部を前記軸部の回りに回転させながら引き上げると共に前記蓋 部材を支持する開放支持部と、を有することを特徴とする。
[0021] 請求項 12に記載の発明は、ガラス基板を管理するガラス基板管理装置であって、 請求項 10又は 11に記載のガラス基板入替装置と、前記ガラス基板入替装置が設置 された床の下方に形成されたストックルームと、を有することを特徴とする。
[0022] 請求項 13に記載の発明は、請求項 1乃至 9のいずれか 1項に記載のガラス基板収 納ケースを用いて、前記ガラス基板を製造するガラス基板製造メーカーカゝら前記ガラ ス基板に所定のパターンを形成する描画業者へ、さらに前記描画業者力 前記ガラ ス基板のパターンを半導体ゥエーハに投影'転写するデバイスメーカーへ流通させる ことを特徴とする。
[0023] 請求項 14に記載の発明は、弾性体で構成され各部材間の接合面に形成された溝 に装着されるシール部材であって、前記シール部材が前記溝に装着されたときに前 記溝の側壁を押圧する一対の圧力部と、前記一対の圧力部を接続する屈曲部と、を 有し、前記各圧力部同士の離間距離が縮められて前記溝に装着されることを特徴と する。
[0024] 請求項 15に記載の発明は、請求項 14に記載のシール部材において、前記屈曲部 力 前記各圧力部に亘つて肉厚が徐々に厚くなるように形成されていることを特徴と する。
[0025] 請求項 16に記載の発明は、請求項 14又は 15に記載のシール部材において、前 記屈曲部から前記各圧力部までの少なくとも一部には、突起部が設けられていること を特徴とする。
[0026] 請求項 17に記載の発明は、ゴムで構成され各部材間の接合面に形成された溝の 凸部を挟むように前記溝に装着されるシール部材であって、前記シール部材が前記 溝に装着されたときに前記凸部と対向する溝側壁を押圧する一対の圧力部と、前記 各圧力部同士を接続し各部材の一方又は他方と接触する部位が湾曲状に形成され 前記各部材の一方又は他方と接触して弾性変形する薄肉部と、を有することを特徴 とする。
[0027] 請求項 18に記載の発明は、請求項 17に記載のシール部材において、前記薄肉部 の厚みは、 0. 2mm以上 0. 6mm以下であることを特徴とする。
[0028] 請求項 19に記載の発明は、請求項 17又は 18に記載のシール部材において、前 記圧力部の溝底面と接触する先端部に向力つて徐々に薄肉となっていることを特徴 とする。
[0029] 請求項 20に記載の発明は、請求項 17乃至 19のいずれか 1項に記載のシール部 材において、前記シール部材の厚み方向に切断した断面の高さ方向に延びる中心 線に関して対称となるように形成されて ヽることを特徴とする。
[0030] 請求項 21に記載の発明は、請求項 14乃至 20のいずれか 1項に記載のシール部 材が前記溝に装着されてシールするシール構造であって、前記溝の開口部が広くな るように、前記溝の開口縁が面取りされていることを特徴とする。
発明の効果
[0031] 請求項 1に記載の発明によれば、底部材にガラス基板が載置され、この底部材に 蓋部材が合わせられる。これにより、蓋部材と底部材との間に空間部が形成され、こ の空間部にガラス基板が収納される。
[0032] ここで、底部材又は Z及び蓋部材にはシール部材が設けられているため、両部材 によりシール部材が押圧されて弾性変形して蓋部材が底部材に合わせられた状態 で空間部が気密になる。これにより、内部のガラス基板に埃等が付着することがなぐ ガラス基板の品質が劣化することがない。また、蓋部材にはフック部材が設けられて いるため、フック部材を底部材に引っ掛けることにより、気密状態を維持することがで きる。これらの結果、ガラス基板をガラス基板収納ケースに収納させるだけで、ガラス 基板を自由に流通 '取引させることができる。
[0033] 一方、フック部材の底部材への引っ掛けを解除することにより、蓋部材を底部材か ら容易に取り外すことができる。これにより、ガラス基板をガラス基板収納ケースから 取り出すことができる。 [0034] 請求項 2に記載の発明によれば、蓋部材が底部材に合わせられると、爪部が軸部 を回転軸として回転し、底部材の底部と係合する。このように、フック部材を簡易な構 成にすることができるとともに、気密状態を確実に維持することができる。
[0035] 請求項 3に記載の発明によれば、シール部材の圧力部が溝に挿入され溝の側壁を 押圧するとともに、シール部材の屈曲部が圧力部同士を接続し蓋部材が底部材に合 わせられるときに蓋部材又は底部材と接触し弾性変形する。これにより、空間部を気 密にすることができる。
[0036] ここで、圧力部の肉厚が屈曲部の肉厚と比較して厚くなるように形成されて!、るため 、圧力部力も溝の側壁に作用する圧力を大きくでき、かつ屈曲部力も蓋部材又は底 部材に作用する圧力を小さくすることができる。これにより、シール部材が溝から脱落 することを確実に防止できるとともに、蓋部材が底部材に合わせられたときにシール 部材カも蓋部材又は底部材に作用する圧力（弾性力、反発力）を比較的小さくするこ とができ蓋部材又は底部材が所定の材質 (例えば、榭脂)で形成されて!ヽる場合でも 蓋部材又は底部材が破損することを防止できる。
[0037] また、圧力部の肉厚が比較的厚くなると、圧力部の剛性が向上するため、屈曲部に 蓋部材又は底部材カも圧力が作用したときに、圧力部の変形を抑制できる。これによ り、圧力部が溝の側壁に対してずれてしまうことを防止でき、圧力部と溝の側壁との間 で摩擦力が発生せず、圧力部に亀裂等の損傷が生じることを防止できる。
[0038] 請求項 4に記載の発明によれば、屈曲部力 各圧力部までの少なくとも一部には突 起部が設けられているため、この突起部を持つことによりシール部材をつかみ易くす ることができる。これにより、シール部材の取扱性を向上でき、例えばシール部材の 溝への装着を容易に行うことができる。
[0039] 請求項 5に記載の発明によれば、シール部材は屈曲部から各圧力部に亘つて肉厚 が徐々に厚くなるように形成されているため、より効果的に、各圧力部の肉厚を屈曲 部と比較して厚くすることができる。特に、屈曲部力も各圧力部に亘つて肉厚が徐々 に厚くすることにより、屈曲部力 各圧力部に亘る領域に応力集中が生じる部位を無 くすことができ、シール部材の強度の低下を防止でき、ひいては耐久性を向上させる ことができる。 [0040] 請求項 6に記載の発明によれば、シール部材の圧力部が溝に挿入され溝の側壁を 押圧するとともに、シール部材の薄肉部が圧力部同士を接続し蓋部材が底部材に合 わせられるときに蓋部材又は底部材と接触し弾性変形する。これにより、空間部を気 密にすることができる。
[0041] ここで、蓋部材が底部材に合わせられるときに薄肉部が蓋部材又は底部材と接触 して弾性変形するため空間部の気密を維持することができる。また、薄肉部がゴムで 構成されているため、薄肉部が弾性変形して蓋部材又は底部材と接触した場合でも 薄肉部が蓋部材又は底部材に及ぼす圧縮反力を小さくすることができ、蓋部材又は 底部材に反り等が発生することを防止できる。また、蓋部材が底部材に合わせられる ときに蓋部材又は底部材と接触する部位が湾曲状に形成されているため、例えば従 来のリップ片を有するシール部材と比較して、薄肉部が蓋部材又は底部材に対して 殆どスライドしな 、ため、蓋部材又は底部材との擦れによるパーティクルの発生を防 止することができる。
[0042] 請求項 7に記載の発明によれば、薄肉部の厚みが 0. 2mm以上 0. 6mm以下であ るため、空間部の気密性を確保することができるとともに、薄肉部が蓋部材又は底部 材に及ぼす圧縮反力を小さくすることができ蓋部材又は底部材に反り等が発生する ことを防止できる。このように、空間部の気密性の確保と蓋部材又は底部材の反り等 の発生防止とを両立させることができる。
[0043] 逆に、薄肉部の厚みが 0. 6mmよりも厚くなれば、薄肉部が蓋部材又は底部材に 及ぼす圧縮反力が大きくなり蓋部材又は底部材に反り等が発生し易くなるため問題 となる。また、薄肉部の厚みが 0. 2mmよりも薄くなれば、薄肉部自体の剛性や反発 性が不足し、蓋部材又は底部材に及ぼす圧縮反力は小さくなりすぎて空間部の気密 性を確保することができな 、と 、う問題がある。
[0044] 請求項 8に記載の発明によれば、圧力部の溝底面と接触する先端部に向かって徐 々に薄肉となっているため、シール部材を溝に挿入し易くすることができる。
[0045] 請求項 9に記載の発明によれば、シール部材はシール部材の厚み方向に切断した 断面の高さ方向に延びる中心線に関して対称となるように形成されて 、るため、薄肉 部が蓋部材又は底部材に接触したときに薄肉部が蓋部材又は底部材に対して殆ど ずれることがなく、パーティクルの発生を効果的に抑制できる。
[0046] 請求項 10に記載の発明によれば、昇降部材にガラス基板収納ケースが載置され、 係合解除部材によりフック部材の底部材への引っ掛けが解除される。このとき、蓋部 材は係合解除部材により下方から支持されて!、る。フック部材の底部材への引っ掛 けが係合解除部材により解除され蓋部材が下方力 支持されている状態で、昇降部 材が下方向に移動すると、蓋部材が底部材から取り外され、昇降部材に載置された 底部材だけが昇降部材と共に下方向に移動していく。このとき、ガラス基板が露出し た状態となっている。次に、アーム部材が露出したガラス基板を底部材カも取り出し、 土台部材に載置されたステッパーケース側に移動させられる。
[0047] なお、ステッパーケースに移動させられたガラス基板は、露光装置に送られ、ガラス 基板に形成された所定のパターンが半導体ゥエーハに投影'転写させられる。
[0048] 以上のように、ガラス基板入替装置では、ガラス基板をガラス基板収納ケースからス テッパーケースに容易に入れ替えることができる。
[0049] 請求項 11に記載の発明によれば、ガラス基板収納ケースが昇降部材に載置される と、蓋部材が押圧部により底部材に押し付けられる。これにより、シール部材が弹性 変形し、蓋部材と底部材との相対距離が小さくなり、爪部と底部材との係合が解除さ れる。底部材との係合を解除された爪部が開放支持部により軸部の回りに回転させ ながら引き上げられる。さらに、爪部が開放支持部により支持されることにより蓋部材 が開放支持部により支持される。このように、係合解除部材を簡易な構成にすること ができるとともに、爪部と底部材との係合を解除し易くすることができる。また、蓋部材 が開放支持部により支持されるため、底部材を下側に移動させることにより、蓋部材 を底部材から容易に取り外すことができる。
[0050] 請求項 12に記載の発明によれば、ストックルームはガラス基板入替装置が設置さ れた床の下方に形成されているため、床下のスペースを有効に活用することができる 。これにより、ガラス基板入替装置が設置された部屋 (例えば、クリーンルーム）のデッ ドスペースを無くすことができ、クリーンルーム内のスペースを他の用途に有効に使う ことができる。
[0051] 請求項 13に記載の発明によれば、請求項 1乃至請求項 9のいずれか 1項に記載の ガラス基板収納ケースを用いて、ガラス基板を製造するガラス基板製造メーカーから ガラス基板に所定のパターンを形成する描画業者へ、さらに描画業者からガラス基 板のパターンを半導体ゥエーハに投影.転写するデバイスメーカーへ流通させること により、 1つのガラス基板収納ケースに統一することができる。これにより、各メーカー や業者は、ガラス基板を収納するための収納ケースを別途用意する必要がな 、。
[0052] また、上記ガラス基板収納ケースにガラス基板を収納することにより、従来のように ガラス基板の気密性を高めるために、ガラス基板収納ケースにテープ等を貼り付ける 必要がない。このため、ガラス基板を取り出すときにガラス基板収納ケースに貼り付け られたテープ等を剥がす必要がな!、ため、ガラス基板収納ケースの内部に埃等が舞 うことがなぐガラス基板の品質劣化を防止できる。
[0053] 請求項 14に記載の発明によれば、シール部材は各圧力部同士の離間距離が縮め られて溝に装着され、シール部材が溝に装着されると、各圧力部が溝の側壁を押圧 する。これにより、シール部材が溝力も抜け出たり、溝の内部で位置ズレしたりするこ とを防止できる。また、屈曲部に各部材のいずれか一方が接触し屈曲部押圧されて 弾性変形することにより、各部材間を効果的にシールすることができる。
[0054] 請求項 15に記載の発明によれば、シール部材は屈曲部から各圧力部に亘つて肉 厚が徐々に厚くなるように形成されているため、より効果的に、各圧力部の肉厚を屈 曲部と比較して厚くすることができる。特に、屈曲部力も各圧力部に亘つて肉厚が徐 々に厚くすることにより、屈曲部力 各圧力部に亘る領域に応力集中が生じる部位を 無くすことができ、シール部材の強度の低下を防止でき、ひいては耐久性を向上させ ることがでさる。
[0055] 請求項 16に記載の発明によれば、屈曲部力 各圧力部までの少なくとも一部には 突起部が設けられているため、この突起部を持つことによりシール部材をつかみ易く することができる。これにより、シール部材の取扱性を向上でき、例えばシール部材 の溝への装着を容易に行うことができる。
[0056] 請求項 17に記載の発明によれば、シール部材の圧力部が溝に挿入され溝の側壁 を押圧するとともに、シール部材の薄肉部が圧力部同士を接続し各部材の一方が他 方に合わせられるときに各部材の一方又は他方と接触し弾性変形する。これにより、 空間部を気密にすることができる。
[0057] ここで、各部材の一方と他方とが合わせられるときに薄肉部が各部材の一方又は他 方と接触して弾性変形するため各部材の一方又は他方に形成された空間部の気密 を維持することができる。また、薄肉部がゴムで構成されているため、薄肉部が弾性 変形して各部材の一方又は他方と接触した場合でも薄肉部が各部材の一方又は他 方に及ぼす圧縮反力を小さくすることができ、各部材の一方又は他方に反り等が発 生することを防止できる。また、各部材の一方が他方に合わせられるときに各部材の 一方又は他方と接触する部位が湾曲状に形成されているため、例えば従来のリップ 片を有するシール部材と比較して、薄肉部が各部材の一方又は他方に対して殆どス ライドしないため、各部材の一方又は他方との擦れによるパーティクルの発生を防止 することができる。
[0058] 請求項 18に記載の発明によれば、薄肉部の厚みが 0. 2mm以上 0. 6mm以下で あるため、各部材の一方又は他方に形成された空間部の気密性を確保することがで きるとともに、薄肉部が各部材の一方又は他方に及ぼす圧縮反力を小さくすることが でき各部材の一方又は他方に反り等が発生することを防止できる。このように、各部 材の一方又は他方に形成された空間部の気密性の確保と各部材の一方又他方の 反り等の発生防止とを両立させることができる。
[0059] 逆に、薄肉部の厚みが 0. 6mmよりも厚くなれば、薄肉部が蓋部材又は底部材に 及ぼす圧縮反力が大きくなり蓋部材又は底部材に反り等が発生し易くするため問題 となる。また、薄肉部の厚みが 0. 2mmよりも薄くなれば、薄肉部自体の剛性や反発 性が不足し、蓋部材又は底部材に及ぼす圧縮反力は小さくなりすぎて空間部の気密 性を確保することができな 、と 、う問題がある。
[0060] 請求項 19に記載の発明によれば、圧力部の溝底面と接触する先端部に向力つて 徐々に薄肉となっているため、シール部材を溝に挿入し易くすることができる。
[0061] 請求項 20に記載の発明によれば、シール部材はシール部材の厚み方向に切断し た断面の高さ方向に延びる中心線に関して対称となるように形成されて 、るため、薄 肉部が各部材の一方又は他方に接触したときに薄肉部が各部材の一方又は他方に 対して殆どずれることがなく、パーティクルの発生を効果的に抑制できる。 [0062] 請求項 21に記載の発明によれば、シール部材が各部材の接合面に形成されて！、 る溝に装着されて各部材間がシールされる。ここで、溝の開口縁は、開口部が広くな るように、面取りされているため、シール部材の装着時に溝の開口縁が邪魔にならず 、シール部材を容易に溝に装着させることができる。特に、シール部材に突起部が設 けられていれば、溝の開口縁が面取りされて開口部が広くなつているため、この突起 部を掴んだ状態でシール部材を溝に容易に装着させることができ、シール部材の装 着性を大幅に向上させることができる。
[0063] また、前記シール部材は、弾性体で構成され、前記蓋部材が前記底部材に押し付 けられて前記シール部材が弹性変形することにより前記爪部と前記底部材の底部と の係合が解除されることが好ましい。この構成によれば、蓋部材が底部材に押し付け られると、シール部材が弾性変形することにより爪部と底部材の底部との係合が解除 される。これにより、蓋部材を底部材に押し付けるだけで、爪部と底部材の底部との 係合を容易に解除させることができ、ガラス基板の取出し作業が容易になる。
[0064] また、前記シール部材は前記蓋部材又は Z及び前記底部材に形成された溝に配 置され、前記シール部は前記シール部材が前記溝に配置されたときに前記溝の側 壁を押圧する圧力部を有することが好ましい。この構成によれば、シール部材は蓋部 材又は Z及び底部材に形成された溝に配置されるが、このときシール部材の圧力部 が溝の側壁を押圧するため、シール部材が溝力も脱落することを防止でき、さらに溝 内部におけるシール部材の姿勢を安定させることができる。
[0065] また、前記各圧力部には、前記溝の側壁と接触する突出部が設けられていることが 好ましい。この構成によれば、各圧力部には溝の側壁と接触する突出部が設けられ ているため、シール部材が溝に装着された状態でシール部材と溝の側壁との間をシ ールすることができる。これにより、溝の内部に水ゃゴミなどの異物が侵入することを 防止できるため、シール部材が破損することを防止でき、ひいてはシール部材の耐 久性を向上させることができる。
[0066] また、前記底部材には、前記ガラス基板を前記底部材から離間させた状態で下方 力も支持する支持部材が設けられていることが好ましい。この構成によれば、底部材 には支持部材が設けられて 、るため、ガラス基板が底部材力 離間させた状態で支 持部材により下方力 支持される。これにより、支持部材により支持されたガラス基板 を取り出すときに、ガラス基板と底部材との間にある隙間を利用してガラス基板を持ち 上げることができ、ガラス基板を容易に取り出すことができる。
[0067] また、前記蓋部材又は Z及び前記底部材には、前記ガラス基板を位置決めする位 置決め部材が設けられていることが好ましい。この構成によれば、蓋部材又は Z及び 底部材には位置決め部材が設けられて 、るため、ガラス基板を位置決めすることが できる。これにより、ガラス基板をガラス基板収納ケースに収納させた状態で流通'取 引した場合でも、ガラス基板がガラス基板収納ケースの空間部内で動いてしまうこと 力 ぐガラス基板の品質劣化を防止することができる。
[0068] また、前記蓋部材は、透明な導電性榭脂で構成されて 、ることが好ま 、。この構 成によれば、蓋部材が透明な導電性榭脂で構成されているため、蓋部材を底部材か ら取り外すことなぐ内部に収納されたガラス基板をガラス基板収納ケースの外部から 確認することができる。また、蓋部材を導電性榭脂で構成することにより、埃等が蓋部 材に付着し易くなり、空間部内に埃が舞うことを防止できる。
[0069] また、前記昇降部材が配置される気密性の高い第 1クリーンルームと、前記第 1タリ ーンルームと隣接して設けられ前記アーム部材が配置される気密性の高い第 2タリー ンルームと、前記第 2クリーンルームと隣接して設けられ前記土台部材が配置される 気密性の高い第 3クリーンルームと、前記第 1クリーンルームと前記第 2クリーンルー ムとを区画する第 1区画部材と、前記第 2クリーンルームと前記第 3クリーンルームとを 区画する第 2区画部材と、前記第 1区画部材に形成され前記第 1クリーンルームと前 記第 2クリーンルームとを連通させる第 1開口部と、前記第 2区画部材に形成され前 記第 2クリーンルームと前記第 3クリーンルームとを連通させる第 2開口部と、前記第 1 開口部を開放又は閉塞する第 1開閉部材と、前記第 2開口部を開放又は閉塞する第 2開閉部材と、を有することが好ましい。この構成によれば、第 1開閉部材が第 1開口 部を開放し、第 2開閉部材が第 2開口部を閉塞した状態で、昇降部材に載置された 底部材上のガラス基板がアーム部材により底部材から取り出される。これにより、ガラ ス基板は第 1クリーンルーム力も第 2クリーンルームに移動する。このとき、第 1タリー ンルームと第 2クリーンルームとが連通した状態となる力 第 1クリーンルーム及び第 2 クリーンルームの気密性が高くかつ第 2開口部が閉塞されて空気の流動がないため 、ガラス基板に埃などが付着してしまうことを防止できる。次に、第 1開閉手段が第 1 開口部を閉塞し、第 2開閉手段が第 2開口部を開放した状態で、アーム部材に取り 出されたガラス基板が第 3クリーンルーム内の土台部材に載置されたステッパーケー スに移される。このとき、第 2クリーンルームと第 3クリーンルームとが連通した状態とな る力 第 2クリーンルーム及び第 3クリーンルームの気密性が高くかつ第 1開口部が閉 塞されて空気の流動がな 、ため、ガラス基板に埃などが付着してしまうことを防止で きる。以上のように、ガラス基板の入替作業を各クリーンルーム内で行うことにより、ガ ラス基板に埃等が付着することを防止でき、ガラス基板の品質が劣化することを防止 できる。
[0070] また、前記押圧部には弾性部材が取り付けられており、前記押圧部は前記弾性部 材を介して前記蓋部材を前記底部材に押し付けることが好まし 、。この構成によれば 、押圧部には弾性部材が取り付けられており、押圧部は弾性部材を介して蓋部材を 底部材に押し付けるため、蓋部材が破損してしまうことを防止できる。
[0071] また、ガラス基板を管理するガラス基板管理装置であって、請求項 12乃至 15のい ずれカゝ 1項に記載のガラス基板入替装置と、前記ガラス基板入替装置の近傍に設け られ、複数の前記ガラス基板を前記ガラス基板収納ケースに収納された状態で個別 に収容するストックルームと、を有することが好ましい。この構成によれば、ガラス基板 入替装置の近傍には、複数のガラス基板をガラス基板収納ケースに収納された状態 で個別に収容するストックルームが設けられているため、ガラス基板入替装置でガラ ス基板をガラス基板収納ケース力 ステッパーケースに入れ替えるときに、必要なガ ラス基板をストックルーム力も迅速かつ容易に取り出すことができる。また、露光装置 にガラス基板を保管するための大型のライブラリを設ける必要がなくなり、露光装置を 小型化することができると共に露光装置の製造コストを大幅に低減することができる。 なお、不要なガラス基板は、ガラス基板収納ケースに収納した後、ストックルームに収 容することができる。
[0072] また、前記床には開口部が形成され、前記第 1クリーンルームの近傍には前記開口 部に接続した待機ルームが配置され、前記ガラス基板が収納された前記ガラス基板 収納ケースを前記ストックルームカゝら前記待機ルームあるいは前記待機ルームから 前記ストックルームにそれぞれ移動させる移動手段を有することが好まし 、。この構 成によれは、必要なガラス基板が収納されたガラス基板収納ケースが移動手段に載 置させられた後、移動手段がストックルームから開口部を通過して待機ルームに移動 する。これにより、必要なガラス基板をストックルームから取り出すことができる。待機 ルームに移動させられたガラス基板は、ガラス基板収納ケースに収納された状態で 昇降部材に載置され、別のステッパーケースに入れ替えられる。一方、不要なガラス 基板は、ガラス基板収納ケースに収納された後、移動手段に載置され、移動手段に より待機ルームから開口部を通過してストックルームに移動させられる。そして、ストツ クルームでガラス基板収納ケースに収納された状態で保管される。
[0073] また、前記ガラス基板収納ケースに収納された前記ガラス基板の IDナンパと前記ガ ラス基板収納ケースの IDナンパを認識し、両者が合致するカゝ否かを判定する判定手 段と、前記判定手段による判定結果を表示する表示手段と、を有することが好ましい 。この構成によれば、判定手段によりガラス基板収納ケースに収納されたガラス基板 の IDナンパとガラス基板収納ケースの IDナンパとが認識され、両者が合致する力否 かが判定される。この判定結果は、表示手段により表示される。これにより、ユーザが 表示手段を確認するだけで、ガラス基板とガラス基板収納ケースとがー致して 、るか 否力を瞬時に判別することができる。この結果、ガラス基板とガラス基板収納ケースと が対応した状態でガラス基板を保管することができ、ガラス基板の管理機能を高める ことができる。
[0074] また、前記各圧力部の肉厚が前記屈曲部と比較して厚くなるように形成されている ことが好ましい。この構成によれば、各圧力部の肉厚が屈曲部と比較して厚くなるよう に形成されているため、圧力部から溝の側壁に作用する圧力を大きくでき、かつ屈曲 部から屈曲部と接触する部材に作用する圧力を小さくすることができる。これにより、 シール部材が溝力 脱落することを確実に防止できるとともに、各部材が接合された ときにシール部材力 シール部材と接触する部材に作用する圧力（弾性力、反発力） を比較的小さくすることができ部材が所定の材質 (例えば、榭脂)で形成されて!、る 場合でも部材が破損することを防止できる。また、圧力部の肉厚が比較的厚くなると、 圧力部の剛性が向上するため、屈曲部に屈曲部と接触する部材力 圧力が作用し たときに、圧力部の変形を抑制できる。これにより、圧力部が溝の側壁に対してずれ てしまうことを防止でき、圧力部と溝の側壁との間で摩擦力が発生せず、圧力部に亀 裂等の損傷が生じることを防止できる。
[0075] また、前記各圧力部には、前記溝の側壁と接触する突出部が設けられていることが 好ましい。この構成によれば、各圧力部には溝の側壁と接触する突出部が設けられ ているため、シール部材が溝に装着された状態でシール部材と溝の側壁との間をシ ールすることができる。これにより、溝の内部に水ゃゴミなどの異物が侵入することを 防止できるため、シール部材が破損することを防止でき、ひいてはシール部材の耐 久性を向上させることができる。また、突出部が溝の側壁と接触することによりシール 部材を溝の内部に位置決めすることができる。
図面の簡単な説明
[0076] [図 1]本発明の第 1実施形態に係るレチクル収納ケースの斜め上方から観た斜視図 である。
[図 2]本発明の第 1実施形態に係るレチクル収納ケースの斜め下方から観た斜視図 である。
[図 3]本発明の第 1実施形態に係るレチクル収納ケースの組立分解図である。
[図 4]本発明の第 1実施形態に係るレチクル収納ケースに用いられるシール部材の 断面図である。
[図 5] (A)は本発明の第 1実施形態に係るレチクル収納ケースに用いられるシール部 材が底部材に形成された溝に配置された状態を示す断面図であり、 (B)はそのシー ル部材に蓋部材が接触し押圧された状態を示す断面図である。
[図 6] (A)、（B)、（C)ともに、本発明の第 1実施形態に係るレチクル収納ケースに用 いられるシール部材の変形例となるシール部材の断面図である。
[図 7]本発明の第 1実施形態に係るレチクル管理装置の斜視図である。
[図 8]本発明の第 1実施形態に係るレチクル管理装置を構成するレチクル入替装置 の斜視図である。
[図 9]本発明の第 1実施形態に係るレチクル入替装置を構成する係合解除部材の斜 視図である。
[図 10]本発明の第 1実施形態に係るレチクル入替装置を構成する係合解除部材によ るフック部材を解除する前の状態を示した図である。
[図 11]本発明の第 1実施形態に係るレチクル入替装置を構成する係合解除部材によ るフック部材を解除する後の状態を示した図である。
圆 12]爪部と底部材の底部との係合が解除されるときのシール部材の弾性変形を示 した断面図である。
[図 13] (A)、 (B)ともに従来のシール部材を溝に装着したときの断面図である。
[図 14]本発明の第 1実施形態に係るレチクル収納ケースに用いられるシール部材の 変形例の平面図である。
[図 15]図 14の A— A間の断面図である。
[図 16] (A)は本発明の第 1実施形態に係るレチクル収納ケースに用いられるシール 部材の変形例が底部材に形成された溝に配置された状態を示す断面図であり、 (B) はそのシール部材の変形例に蓋部材が接触し押圧された状態を示す断面図である
[図 17]パーティクル性能試験に用 、た試験機の構成図である。
圆 18]シール性能試験に用いた試験機の構成図である。
符号の説明
10 レチクル収納ケース（ガラス基板収納ケース）
12 底部材 (部材)
13 溝
13A 溝の側壁
13B 溝の開口縁
14 支持部材
16 位置決め部材
18 シール部材
18A 圧力部 D 第 1突出部 (突出部）
E 第 2突出部 (突出部）
F 突起部
蓋部材 (部材）
フック部材
A 軸部
B 爪部
レチクル管理装置
レチクル入替装置
第 1クリーンルーム
A 側壁 (第 1区画部材）
A 側壁 (第 2区画部材）
昇降台 (昇降部材）
係合解除部材
押圧ヘッド
C 緩衝部材 (弾性部材）
支持アーム (開放支持部） 第 2クリーンルーム
第 1窓部 (第 1開口部）
第 2窓部 (第 2開口部）
アーム部材
第 3クリーンルーム
第 1開閉シャツタ装置 (第 1開閉部材) 第 2開閉シャツタ装置 (第 2開閉部材) 土台部材
待機ルーム
ストックノレーム
運搬台 (移動手段） 66 レール部 (移動手段）
70 シール部材
72A 圧力部
72B 薄肉部
74 レチクル収納ケース（ガラス基板収納ケース)
76 蓋部材
78 底部材
80 溝
82 凸部
R レチクノレ
S ステッパーケース
発明を実施するための最良の形態
[0078] 次に、本発明の第 1実施形態に係るガラス基板収納ケース、ガラス基板入替装置、 ガラス基板管理装置及びガラス基板流通方法につ!ヽて、図面を参照して説明する。 なお、ガラス基板としてレチクルやフォトマスクなどが挙げられる力 以下の説明では 、ガラス基板としてレチクルを例にとり説明する。このため、以下の説明では、ガラス基 板収納ケースをレチクル収納ケースとして、ガラス基板入替装置をレチクル入替装置 として、ガラス基板管理装置をレチクル管理装置として、ガラス基板流通方法をレチク ル流通方法として説明する。
[0079] 先ず、レチクルを収納するためのレチクル収納ケースについて説明する。
図 1乃至図 3に示すように、レチクル収納ケース 10は、正方形状の底部材 12を備え ている。この底部材 12の各角部の近傍には、正方形状のレチクル Rを支持するため の支持部材 14が垂直上方に向かって延在している。これらの 4つの支持部材 14によ り、レチクル Rは底部材 12と離間した状態で支持される。また、各支持部材 14には、 支持部材 14で支持されたレチクル Rの各側面に接触する位置決め部材 16が垂直上 方に向力つて延在している。これにより、レチクル Rが支持部材 14により支持された 状態で位置決め部材 16により位置決めされる。
[0080] また、底部材 12の外縁部近傍には溝 13 (図 5参照）が形成されており、この溝 13に シール部材 18が収納されている。図 4に示すように、このシール部材 18は、圧力が 負荷しない状態で、全体として逆 V字形状となっている。すなわち、シール部材 18は 、比較的厚肉に形成され溝 13に挿入されたときに溝 13の側面 13Aを押圧する各圧 力部 18A、 18Aと、各圧力部 18A、 18Aにそれぞれ接続する各接続部 18B、 18Bと 、比較的薄肉に形成され各接続部 18B、 18B同士を接続する屈曲部 18Cと、で構成 されている。
[0081] また、シール部材 18はその屈曲部 18Cから各圧力部 18A、 18Aに亘つて肉厚が 徐々に厚くなるように形成されているため、各圧力部 18A、 18Aは比較的厚肉に形 成されており、屈曲部 18Cの肉厚と比較して厚くなつている。このように、シール部材 18をその屈曲部 18C力も各圧力部 18A、 18Aに亘つて肉厚が徐々に厚くなるように 形成することにより、屈曲部 18C力も各圧力部 18A、 18Aに亘る領域を滑らかに形 成することができるため、応力集中が生じる部位を無くすことができ、シール部材 18 の強度の低下を防止でき、ひいては耐久性を向上させることができる。このように、シ 一ル部材 18は、断面視にて中心線 Lに対して左右対称となる形状に設定されて!ヽる
[0082] また、各圧力部 18A、 18Aの端部には、外側に突出した第 1突出部（突出部） 18D 、 18Dがそれぞれ形成されている。さらに、各第 1突出部 18D、 18Dの近傍には、第 1突出部 18D、 18Dと同様に、外側に突出した第 2突出部（突出部） 18E、 18Eがそ れぞれ形成されている。また、各接続部 18B、 18Bには、外側に突出した突起部 18 F、 18Fがそれぞれ形成されている。
[0083] さらに、後述の蓋部材 20が底部材 12に合わせられると、屈曲部 18Cが蓋部材 20と 接触し蓋部材 20からの圧力により弾性変形するようになって!/、る。
[0084] 上記シール部材 18が底部材 12に形成された溝 13に取り付けられる際には、図 4 及び図 5 (A)に示すように、各圧力部 18A、 18Aをその弾性力に杭して押圧し両者 の離間距離が縮められた状態で溝 13の内部に挿入される。各圧力部 18A、 18Aが 溝 13の内部に挿入されると各圧力部 18A、 18Aに作用して 、た押圧力が解除され る。これにより、各圧力部 18A、 18Aはその弾性力により両者の離間距離が広がる方 向に変形しょうとして、各圧力部 18A、 18Aに設けられた第 1突出部 18D、 18D及び 第 2突出部 18E、 18Eが溝 13の側壁 13A、 13Aにそれぞれ接触し、各圧力部 18A 、 18Aから各側壁 13A、 13Aに所定の圧力が作用する。このように、シール部材 18 が溝 13の内部に配置されると、各圧力部 18A、 18Aが各側壁 13A、 13Aを押圧し た状態となる。この結果、シール部材 18が溝 13から脱落することを防止でき、さらに 溝 13の内部におけるシール部材 18の姿勢を安定させることができる。
[0085] また、シール部材 18が溝 13に配置されると、各圧力部 18A、 18Aと溝 13の側壁 1 3A、 13Aとの間に隙間 15が生じる力 特に第 2突出部 18E、 18Eが溝 13の側壁 13 A、 13Aに接触することにより、レチクル収納ケース 10の洗浄工程において水ゃゴミ などの異物が隙間 15に浸入することを防止できる。この結果、シール部材 18の腐食 を防止できる。
[0086] さらに、シール部材 18を構成する各接続部 18B、 18Bには、各突起部 18F、 18F がそれぞれ形成されているため、この突起部 18F、 18Fを持つことによりシール部材 18を掴み易くすることができる。これにより、シール部材 18の取扱性を向上できる。 特に、底部材 12に形成された溝 13の開口縁 13Bが溝 13の開口部が広くなるように 面取りされているため、シール部材 18を溝 13に装着する際に、溝 13の開口縁 13B が邪魔にならず、突起部 18F、 18Fを掴んだ状態でシール部材 18を溝 13に容易に 装着することができる。この結果、シール部材 18の溝 13への装着性を大幅に向上さ せることができる。
[0087] 特に、図 13 (A)に示す従来のシール部材 Mでは、溝 100の側壁 100Aに装着され るものの、シール部材 Mの溝 100の側壁 100Aに作用する圧力が小さいため、蓋部 材 102が底部材 104に合わせられ、その後、蓋部材 102が取り外されると、シール部 材 Mが溝 100から脱落することがあり、また、図 13 (B)の従来のシール部材 Nでは、 その支持片 N1の先端部の剛性が低いため、支持片 N1が蓋部材 102と接触した場 合でも十分なシール性を確保することができないという問題があり、この点、本発明の シール部材 18は、両者の問題点を全て解決するものであり、溝 13への装着性や蓋 部材 20と底部材 12との間のシール性能を大幅に向上するものとなっている。
[0088] なお、このシール部材 18は、比較的柔軟性を有する熱可塑性榭脂（例えば、ポリエ ステルエラストマー榭脂、帝人社製「ヌ一べラン」など)で構成されている。また、シー ル部材 18は、熱可塑性榭脂で構成されている場合に限られるものではなぐ例えば 、一般フッ素ゴム等のエラストマ一材料で構成してもよ 、。
[0089] また、レチクル収納ケース 10は、蓋部材 20を備えている。この蓋部材 20は、透明 の導電性榭脂で構成されている。蓋部材 20は、平面視にて正方形状に形成された 蓋土台部 20Aと、蓋土台部 20Aの上部に一体形成されかつ平面視にて正方形状に 形成された蓋部材本体 20Bと、で構成されている。また、蓋土台部 20Aと蓋部材本 体 20Bとは、それぞれ中空状となるように形成されている。また、蓋部材本体 20Bは、 蓋土台部 20Aの内側に位置するように形成されている。換言すれば、蓋土台部 20A は、蓋部材本体 20Bに対して外側に突出した構成となっている。さらに、蓋土台部 2 OAには、相対する 2辺に凹部 22L、 22Rがそれぞれ形成されている。
[0090] 蓋部材 20の凹部 22L、 22Rには、底部材 12を引っ掛けて蓋部材 20が底部材 12 に合わされた状態を維持するためのフック部材 24がそれぞれ設けられて 、る。フック 部材 24は、軸部 24Aと、軸部 24Aに一体形成された爪部と、で構成されている。軸 部 24Aは、蓋土台部 20Aに一体形成された軸受け部 26に回転可能となるように支 持されている。また、爪部 24Bは、蓋部材 20が底部材 12に合わされたときに、蓋土 台部 20Aの側部を覆うように構成されている。また、爪部 24Bの先端部には、底部材 12の底部と係合する引掛部 24Cが形成されている。さらに、爪部 24Bの先端部近傍 には、後述の凸部 42B3と係合する係合片 24Dが形成されている。
[0091] なお、レチクル収納ケース 10の蓋部材 20と底部材 12とは、ポリカーボネード等の 榭脂で構成されている。
[0092] また、本実施形態のレチクル収納ケース 10では、底部材 12に溝 13が形成されそ の溝 13の内部にシール部材 18を配置した構成を例にとり説明した力 この構成に限 られるものではなぐ例えば、底部材 12に替えて、あるいは底部材 12と共に、蓋部材 20に溝（図示省略)を形成しその溝の内部にシール部材 18を配置した構成でもよい
[0093] また、シール部材 18の形状も図 4に図示したものに限られることはなぐシール部材 18の材質に応じて適度なシール性を実現できるように、例えば、図 6 (A)のように、各 圧力部 18A、 18Aの断面が四角形状となるように形成し溝 13の側壁 13Aとの間に 隙間が生じないように構成にしてもよい。また、図 6 (B)のように、各圧力部 18A、 18 Aに第 1突出部 18D、 18Dのみを形成した構成 (第 2突出部 18E、 18Eを取り除いた 構成)でも良ぐさらに、図 6 (C)のように、各接続部 18B自体を外側に突出させるよう に構成しても良い。
[0094] また、本実施形態のレチクル収納ケース 10では、航空機輸送での使用を考慮し、 レチクル収納ケース 10の内部と外部の圧力調整のため、ケミカルフィルタ付きの呼吸 弁（図示省略)を取り付けてもよい。ケミカルフィルタ付きの呼吸弁を取り付けることに より、外気圧が低い場合は、空気をケミカルフィルタ付きの呼吸弁を通してレチクル収 納ケース 10の内部に流入させることができレチクル収納ケース 10の内部と外部の圧 力調整を実現することができるとともに、このとき、レチクル収納ケース 10の周辺環境 が悪ぐ例えば、数 ppbレベルの硫化アンモ-ゥム ((NH ) SO )、アンモニア (NH ),
4 2 4 3 硫酸イオン (SO 2_)、或いは、スチレン (C H )が存在する雰囲気でも、これらをケミカ
4 8 8
ルフィルタで除去することができる。この結果、レチクルの表面に曇り（Haze)が発生 したり、ペリクルに対して悪影響を及ぼすことを防止できる。
[0095] 次に、本実施形態に係るレチクル収納ケース 10の作用と、レチクル収納ケース 10 を用いたレチクル流通方法にっ ヽてそれぞれ説明する。
[0096] 図 1乃至図 3に示すように、底部材 12に形成された支持部材 14にレチクル Rが載 置される。このとき、レチクル Rは、底部材 12から離間した状態で支持される。レチク ル Rが支持部材 14に載置されると、レチクル Rの各側面が位置決め部材 16と接触し 、レチクル Rが支持部材 14上で位置決めされる。これにより、レチクル Rが支持部材 1 4上を自由に移動できなくなり、レチクル Rが支持部材 14から落下することを防止でき る。
[0097] レチクル Rが支持部材 14に支持され、かつ位置決め部材 16により位置決めされる と、蓋部材 20が上方力も底部材 12に合わされる。蓋部材 20が底部材 12と接触した 状態で、軸部 24Aが回転し、この軸部 24Aの回転と共に爪部 24Bが回転する。そし て、爪部 24Bの先端に形成された引掛部 24Cが底部材 12の底部と係合する。このよ うに、フック部材 24が底部材 12の底部を引っ掛けることにより、蓋部材 20と底部材 1 2とが合わされた状態を維持することができ、蓋部材 20が底部材 12から外れてしまう ことを防止できる。
[0098] 蓋部材 20が底部材 12に合わされると、蓋部材 20を構成する蓋土台部 20Aと蓋部 材本体 20Bとがそれぞれ中空状に形成されているため、蓋部材 20と底部材 12との 間には空間部（図示省略）が形成される。この空間部には、支持部材 14により支持さ れたレチクル Rが位置することになる。このとき、底部材 12に設けられたシール部材 1 8が蓋部材 20と接触して 、るため、空間部と蓋部材 20の外側とがシール部材 18で 区画される。
[0099] すなわち、図 5 (B)に示すように、蓋部材 20が底部材 12に合わせられると、シール 部材 18を構成する屈曲部 18Cが蓋部材 20と接触し屈曲部 18Cが弾性変形するた め、シール部材 18と蓋部材 20及び底部材 12との間に隙間が存在せず、空間部の シール性能が格段に向上する。これにより、空間部を確実に気密にすることができ、 レチクル収納ケース 10に収納されたレチクル Rに埃などが付着することがなぐレチク ル Rの品質劣化を防止できる。
[0100] また、屈曲部 18Cの肉厚が比較的薄くなるように形成されているため、屈曲部 18C 力も蓋部材 20に作用する圧力を小さくすることができる。これにより、蓋部材 20が所 定の材質 (例えば、榭脂)で形成されて ヽる場合でも蓋部材 20が破損することを防止 できる。
[0101] また、各圧力部 18A、 18Aの肉厚が比較的厚く設定されているため、各圧力部 18 A、 18Aの剛性が向上し、屈曲部 18Cに蓋部材 20から圧力が作用したときに、各圧 力部 18A、 18Aの変形を抑制できる。これにより、各圧力部 18A、 18Aが溝 13の側 壁 13A、 13Aに対してずれてしまうことを防止でき、各圧力部 18A、 18Aと溝 13の側 壁 13A、 13Aとの間で摩擦力が発生せず、各圧力部 18A、 18Aに亀裂等の損傷が 生じることを防止できる。
[0102] さらに、シール部材 18が中心線 Lに対して左右対称となるように形成されているた め、蓋部材 20が底部材 12と合わせられたときに、屈曲部 18に作用する蓋部材 20か らの圧力が屈曲部 18Cの各部位で略等しくなる。これにより、屈曲部 18Cの所定の 部位で蓋部材 20との摩擦力が大きくなることを防止でき、屈曲部 18Cが損傷してしま うことを防止できる。 [0103] また、シール部材 18が中心線 Lに対して左右対称となるように形成されているため 、蓋部材 20がシール部材 18に接触する際には、図 5 (B)に示すように、シール部材 18を構成する屈曲部 18Cの頂点力も接触し、蓋部材 20からの押圧力を受けるに従 つてシール部材 18が左右に等しく広がっていき、蓋部材 20とシール部材 18とのシー ル面が形成される。この結果、蓋部材 20からの押圧力の程度によらず、蓋部材 20と シール部材 18とのシール面（接触面）がずれることがなぐシール面での摩擦によつ てパーティクルが発生することを防止できる。
[0104] また、蓋部材 20が透明な導電性榭脂で構成されているため、内部に収納されたレ チクル Rをレチクル収納ケース 10の外部力も容易に確認することができるとともに、蓋 部材 20を導電性榭脂で構成することにより、埃等が蓋部材 20に付着し易くなり、空 間部内に埃が舞うことを防止でき、レチクル Rに埃等が付着してしまうことを確実に防 止できる。
[0105] 一方、レチクル Rをレチクル収納ケース 10から取り出すときには、蓋部材 20を底部 材 12に押し付ける。蓋部材 20が底部材 12に押し付けられると、屈曲部 18Cがさらに 弾性変形し、蓋部材 20と底部材 12との相対距離が小さくなるため、爪部 24Bと底部 材 12の底部との係合が解除される。
[0106] 次に、爪部 24Bと底部材 12の底部との係合が解除されると、フック部材 24を構成 する軸部 24Aが回転し、この軸部 24Aの回転と共に爪部 24Bも回転する。この状態 で、蓋部材 20を底部材 12から取り外すことができ、内部に収納されたレチクル Rを取 り出すことができる。
[0107] 以上のように、本発明のレチクル収納ケース 10によれば、構成が簡易になるととも に、レチクル Rを気密状態で収納することができ、また、レチクル Rを容易に取り出す こともでき、レチクル Rの品質劣化防止の観点力 極めて優れた効果を発揮できるも のである。
[0108] 次に、本発明のレチクル収納ケース 10を用いたレチクル流通方法について説明す る。
[0109] 本発明のレチクル収納ケース 10は、高い密封性を有しているので、クリーンルーム の外へレチクル Rを持ち出すことができる。そして、このレチクル収納ケース 10を介し て、レチクル Rを製造するレチクル製造メーカーカゝらレチクル Rに所定のパターンを形 成する描画業者へ、さらに描画業者力 レチクル Rのパターンを半導体ゥエーハに 投影'転写するデバイスメーカーへ転々流通させることにより、 1つのレチクル収納ケ ース 10に統一することができる。これにより、各メーカーや業者は、レチクル Rを収納 するための収納ケースを別途用意する必要がない。
[0110] また、上記レチクル収納ケース 10にレチクル Rを収納することにより、従来のように レチクル Rの気密性を高めるために、レチクル収納ケース 10にテープ等を貼り付ける 必要がない。このため、レチクル Rを取り出すときにレチクル収納ケース 10に貼り付け られたテープ等を剥がす必要がないため、レチクル収納ケース 10の内部に埃等が舞 うことがなぐレチクル Rの品質劣化を防止できる。
[0111] 次に、本発明のレチクル入替装置及びレチクル管理装置について、詳細に説明す る。
[0112] 図 7乃至図 11に示すように、レチクル管理装置 30は、レチクル入替装置 32を備え ている。レチクル入替装置 32は、第 1クリーンルーム 34を備えている。この第 1タリー ンルーム 34は、直方体状に構成されており、上壁 34U及び下壁 34Eと、 4つの側壁 34A、 34B、 34C、 34Dとにより、内部空間が気密となるように構成されている。第 1ク リーンルーム 34の内部には、板状の昇降台（昇降部材） 36が配置されている。この 昇降台 36には駆動機構 (図示省略、昇降部材)が接続されており、駆動機構の駆動 により昇降台 36が上下方向に移動できるようになつている。また、上壁 34Uには開口 が形成されており、この開口に上昇した昇降台 36が位置するようになっている。この ように、昇降台 36は、上壁 34Uの一部を構成している。
[0113] また、第 1クリーンルーム 34の上壁 34Uは、 2つの係合解除部材 38が相対するよう に取り付けられている。図 9乃至図 11に示すように、係合解除部材 38は、蓋部材 20 を底部材 12に押し付ける押圧ヘッド (押圧部) 40と、蓋部材 20に取り付けられたフッ ク部材 24を構成する爪部 24Bと係合し爪部 24Bを軸部 24Aと共に回転させると共に 蓋部材 20を支持する支持アーム (開放支持部) 42と、で構成されて!、る。
[0114] 押圧ヘッド 40は、水平方向及び上下方向に移動可能となるように設けられている。
押圧ヘッド 40は、 2本の押圧片 40A、 40Aと、押圧片 40A、 40Aが取付け支持され るベース部 40Bと、を備えている。また、各押圧片 40A、 40Aの先端部には、ゴム等 の弾性体で構成された緩衝部材 (弾性部材) 40C、 40Cがそれぞれ取り付けられて いる。押圧ヘッド 40が水平方向に移動するに従い各押圧片 40A、 40Aも水平方向 に移動し、押圧ヘッド 40が上下方向に移動するに従い各押圧片 40A、 40Aも上下 方向に移動する。
[0115] 支持アーム 42は、ベース部材 40Bに設けられた傾斜台 42Aと、傾斜台 42A上を斜 面方向に移動する支持アーム本体 42Bと、を備えている。支持アーム本体 42Bは、 傾斜台 42A上を移動するスライド部 42B1と、スライド部 42B1の先端部に取り付けら れた係合支持部 42B2と、で構成されている。また、係合支持部 42B2の先端部には 、爪部 24Bに形成された係合片 24Dと係合する凸部 42B3が形成されている。
[0116] また、第 1クリーンルーム 34を構成し後述の第 2クリーンルーム 44と区画する 1つの 側壁 (第 1区画部材) 34Aには、長方形状の第 1窓部 46が形成されている。
[0117] また、第 1クリーンルーム 34には、第 2クリーンルーム 44が接続されている。この第 2 クリーンルーム 44は、直方体状に構成されており、上壁 44U及び下壁 44Eと、 4つの 側壁 44A、 44B、 44C、 44Dと〖こより、内部空間が気密となるように構成されている。 なお、第 1クリーンルーム 34の側壁 34Aと第 2クリーンルーム 44の側壁（第 1区画部 材) 44Cとは、共通の側壁となっている。
[0118] また、第 2クリーンルーム 44には、第 1窓部 46を開閉する第 1開閉シャツタ装置 (第
1開閉部材) 54が取り付けられている。第 1開閉シャツタ装置 54は、第 1窓部 46を開 閉する平板状の開閉シャツタ本体 54Aと、開閉シャツタ本体 54Aを上下に移動させ る駆動部 54Bと、で構成されている。
[0119] 第 2クリーンルーム 44を構成する側壁であって側壁 44Cと相対する側壁 (第 2区画 部材) 44Aには、同様に、第 2窓部 48が形成されている。また、第 2クリーンルーム 44 には、同様に、第 2窓部 48を開閉する第 2開閉シャツタ装置 (第 2開閉部材) 56が取 り付けられている。第 2開閉シャツタ装置 56は、第 2窓部 48を開閉する平板状の開閉 シャツタ本体 56Aと、開閉シャツタ本体 56Aを上下に移動させる駆動部 56Bと、で構 成されている。
[0120] なお、第 1開閉シャツタ装置 54及び第 2開閉シャツタ装置 56とは、制御部（図示省 略）により制御されて駆動するように構成されて 、る。
[0121] また、第 2クリーンルーム 44には、アーム部材 50が配置されている。このアーム部 材 50は、昇降台 36に載置されたレチクル収納ケース 10を構成する底部材 12に支 持されているレチクル Rを、土台部本体 58に載置されたステッパーケース Sを構成す る底部材 S2に移動させるためのものであり、レチクル Rを支持する支持板 (アーム部 材） 50Aと、支持板 50Aを第 1クリーンルーム 34内力も第 3クリーンルーム 52内に移 動させると共に上下方向にも移動させるリンク機構 (アーム部材) 50Bと、で構成され ている。
[0122] また、第 2クリーンルーム 44には、第 3クリーンルーム 52が接続されて 、る。この第 3 クリーンルーム 52は、直方体状に構成されており、上壁 52U及び下壁 52Eと、 4つの 側壁 52A、 52B、 52C、 52Dとにより、内部空間が気密となるように構成されている。 なお、第 2クリーンルーム 44の側壁 44Aと第 3クリーンルーム 52の側壁（第 2区画部 材） 52Cとは、共通の側壁となっている。
[0123] また、第 3クリーンルーム 52には、土台部材 58が配置されている。土台部材 58は、 各種のステッパーケースが載置される平板状の土台部本体 58Aを備えて 、る。この 土台部本体 58には駆動機構 (図示省略、土台部材)が接続されており、駆動機構の 駆動により土台部本体 58が上下方向に移動できるようになって 、る。
[0124] なお、ステッパーケース Sの構成としては、例えば、レチクル収納ケース 10のように 、蓋部材 20と底部材 12とで構成され、蓋部材 20を底部材 12に合わせることにより、 レチクル Rを収納できるものが好まし!/、。
[0125] また、上壁 52Uには開口が形成されており、この開口に上昇した土台部本体 58が 位置するようになっている。このように、土台部本体 58は、上壁 52Uの一部を構成し ている。
[0126] また、レチクル管理装置 30は、レチクル入替装置 32と接続した待機ルーム 60を備 えている。この待機ルーム 60は、第 1クリームルーム 34と接続されており、上壁 60U と、 4つの佃 J壁 60A、 60B、 60C、 60Dと、で区画されて! /、る。なお、第 1クリーンノレ一 ム 34の側壁 34Dと待機ルーム 60の側壁 60Bとは、共通の側壁となって!/、る。
[0127] また、レチクル入替装置 32が配置されている床の下方には、ストックルーム 62が配 置されている。このストックルーム 62は、複数の種類のレチクル Rを、レチクル収納ケ ース 10に収納された状態で、収容するためのものである。また、待機ルーム 60とスト ックルーム 62とは、床に形成された開口部 61で連通した状態となっている。
[0128] また、待機ルーム 60からストックルーム 62にかけてレール部（移動手段） 66が設け られており、このレール部 66にはレール部 66上を上下方向に移動する運搬台（移動 手段) 64が配置されている。なお、運搬台 64は、所定の駆動機構（図示省略、移動 手段）により駆動される。
[0129] 次に、本実施形態のレチクル入替装置 32及びレチクル管理装置 30の作用につい て説明する。
[0130] 図 7乃至図 11に示すように、所定のレチクル Rが収納されたレチクル収納ケース 10 をストックルーム 62の中力も選び、運搬台 64に載せる。運搬台 64にレチクル収納ケ ース 10が載せられると、駆動機構が作動し、運搬台 64をレール部 66に沿って上方 向に移動させる。これにより、運搬台 64は、ストックルーム 62から待機ルーム 60に移 動させられ、やがて待機ルーム 60を構成する上壁 60U上に位置する。
[0131] 待機ルーム 60を構成する上壁 60U上に位置したレチクル収納ケース 10は、第 1ク リーンルーム 34の上壁 34U上に位置している昇降台 36に載せられる。レチクル収納 ケース 10が昇降台 36に載せられると、押圧ヘッド 40が水平方向に移動し、 2本の押 圧片 40A、 40Aが蓋土台部 20A上に位置する。押圧片 40A、 40Aが蓋土台部 20A 上に位置した状態で、押圧ヘッド 40が下方向に移動し、蓋部材 20を底部材 12に押 し付ける。このとき、押圧片 40A、 40Aが緩衝部材 40C、 40Cを介して蓋土台部 20 Aと接触するため、蓋土台部 20Aが破損等することがない。また、図 12に示すように 、蓋部材 20が底部材 12に押し付けられると、シール部材 18を構成する屈曲部 18C 力 Sさらに弾性変形し、蓋部材 20と底部材 12との相対距離が小さくなる。これにより、 フック部材 24を構成する爪部 24Bと底部材 12の底部との係合が解除する。爪部 24 Bと底部材 12の底部との係合が解除した後、傾斜台 42Aをスライドして下方に移動し て 、た支持アーム本体 42Bが傾斜台 42A上を上方に移動すると、やがて係合支持 部 42B2の凸部 42B3が爪部 24Bに形成された係合片 24Dと係合する。凸部 42B3 が係合片 24Dと係合した状態で、支持アーム本体 42Bが傾斜台 42A上をそのまま 上方に移動すると、爪部 24Bが軸部 24Aの回転と共に回転し、開いた状態となる。 爪部 24Bが開いた状態で、蓋部材 20は、支持アーム本体 42Bにより支持される。こ れにより、昇降台 36には底部材 12だけが載置された状態となる。
[0132] 次に、底部材 12が載置された昇降台 36が下方に移動させられる。このとき、第 1窓 部 46と第 2窓部 48とは、第 1開閉シャツタ装置 54と第 2開閉シャツタ装置 56と、でそ れぞれ閉じられている。これにより、第 1クリーンルーム 34の内部に空気流が発生せ ず、底部材 12に載置されたレチクル Rに埃等が付着することを防止できる。昇降台 3 6が下方に移動すると、第 1開閉シャツタ装置 54を構成する開閉シャツタ本体 54Aが 駆動部 54Bにより駆動され、第 1窓部 46が開けられる。第 1窓部 46が開けられると、 支持板 50A力リンク機構 50Bにより移動し、第 2クリーンルーム 44から第 1窓部 46を 通過して第 1クリーンルーム 34に進入する。そして、支持板 50Aが底部材 12から離 間した状態で支持されたレチクル Rの下方に移動し、その後、リンク機構 50Bにより上 方向に移動する。これにより、レチクル Rが支持板 50Aに支持されるようになる。レチ クル Rが支持板 50Aにより支持されると、再度、支持板 50Aが第 1クリーンルーム 34 力 第 2クリーンルーム 44に移動する。
[0133] 支持板 50Aが第 1クリーンルーム 34から第 2クリーンルーム 44に移動すると、第 1開 閉シャツタ装置 54を構成する開閉シャツタ本体 54Aが駆動部 54Bにより駆動され、 第 1窓部 46が閉じられる。第 1開閉シャツタ装置 54により第 1窓部 46が閉じられると、 第 2開閉シャツタ装置 56を構成する開閉シャツタ本体 56Aが駆動部 56Bにより駆動 され、第 2窓部 48が開けられる。このように、第 1窓部 46を閉じて力も第 2窓部 48を開 けることにより、第 1クリーンルーム 34の内部に空気が流れ込むことがなぐ第 1タリー ンルーム 34内に埃等が舞うことがない。
[0134] 第 2窓部 48が開けられると、レチクル Rを支持した支持板 50Aがリンク機構 50B〖こ より移動し、第 2窓部 48を通過して、第 3クリーンルーム 52に進入する。支持板 50A が第 3クリーンルーム 52に進入すると、予め待機していた土台部本体 58に載置され たステッパーケース S (各露光装置専用のケース）を構成する底部材 S2上にレチクル Rが置かれる。ステッパーケース Sを構成する底部材 S2上にレチクル Rが置かれると 、土台部本体 58が上方に移動し、第 3クリーンルーム 52の上壁 52U上に位置する。 土台部本体 58が第 3クリーンルーム 52の上壁 52U上に位置すると、蓋部材 S1が被 せられ、レチクル Rがステッパーケース Sに収納される。このように、レチクル Rがレチ クル収納ケース 10からステッパーケース Sに移し替えられる。
[0135] また、レチクル Rがレチクル収納ケース 10からステッパーケース Sに移し替えられる と、第 2開閉シャツタ装置 56を構成する開閉シャツタ本体 56Aが駆動部 56Bにより駆 動され、第 2窓部 48が閉じる。
[0136] なお、所定のレチクル Rがステッパーケース Sに入れ替えられた後、そのレチクルは デバイスメーカーにより露光装置（図示省略)で使用される。露光装置（図示省略)で は、レチクル Rに形成された所定のパターンが半導体ゥエーハに投影'転写される。
[0137] 次に、露光装置で用いられたレチクル Rがレチクル収納ケース 10に収納される作 用について説明する。
[0138] 露光装置で用いられたレチクル Rは、ステッパーケース Sの底部 S2に載置された状 態で土台部本体 58に載せられ、土台部本体 58が駆動部機構（図示省略）により駆 動されて第 3クリーンルーム 52の内部を下方に移動する。
[0139] 次に、第 2開閉シャツタ装置 56を構成する開閉シャツタ本体 56Aが駆動部 56Bによ り駆動され、第 2窓部 48が開けられる。第 2窓部 48が開けられると、支持板 50Aがリ ンク機構 50Bにより移動し、第 2クリーンルーム 44から第 2窓部 48を通過して第 3タリ ーンルーム 52に進入する。そして、支持板 50Aが底部材 12から離間した状態で支 持されたレチクル Rの下方に移動し、その後、リンク機構 50Bにより上方向に移動す る。これにより、レチクル Rが支持板 50Aに支持されるようになる。レチクル Rが支持板 50Aにより支持されると、再度、支持板 50Aが第 3クリーンルーム 52から第 2クリーン ルーム 44に移動する。なお、このとき、第 1窓部 46は、閉じられている。
[0140] レチクル Rが支持された支持板 50Aが第 3クリーンルーム 52から第 2クリーンルーム 44に移動すると、第 2開閉シャツタ装置 56を構成する開閉シャツタ本体 56Aが駆動 部 56Bにより駆動され、第 2窓部 48が閉じられるとともに、第 1開閉シャツタ装置 54を 構成する開閉シャツタ本体 54Aが駆動部 54Bにより駆動され、第 1窓部 46が開けら れる。
[0141] 第 1窓部 46が開けられると、支持板 50A力 Sリンク機構 50Bにより移動し、第 2タリー ンルーム 44から第 1窓部 46を通過して第 1クリーンルーム 34に進入する。そして、予 め第 1クリーンルーム 34の内部を下方に移動し待機していた昇降台 36上の底部材 1 2にレチクル Rが載せられる。このとき、レチクル Rは、支持部材 14上に載せられて支 持されるとともに、位置決め部材 16により位置決めされる。これにより、レチクル Rがス テッパーケース S力もレチクル収納ケース 10に移し替えられる。
[0142] なお、レチクル Rが底部材 12に載せられると、支持板 50Aがリンク機構 50Bにより 移動し、第 1クリーンルーム 34から第 1窓部 46を通過して第 2クリーンルーム 44に戻 り、第 1窓部 46が閉じられる。
[0143] 底部材 12にレチクル Rが載せられると、昇降台 36が第 1クリーンルーム 34の内部を 上昇して、支持アーム本体 42Bにより支持された蓋部材 20に合わされ、フック部材 2 4により蓋部材 20が底部材 12に固定される。これにより、レチクル Rがレチクル収納ケ ース 10に収納される。レチクル Rがレチクル収納ケース 10に収納されると、レチクル 収納ケース 10は運搬台 64に載せられ、ストックルーム 62の所定の場所に収容される
[0144] 以上のように、本発明のレチクル入替装置 32及びレチクル管理装置 30によれば、 レチクル Rの入替作業を各クリーンルーム 34、 44、 52内で行うこと〖こより、レチクル R に埃等が付着することを防止でき、レチクル Rの品質が劣化することを防止できる。
[0145] また、レチクル入替装置 32の近傍には、複数のレチクル Rをレチクル収納ケース 10 に収納された状態で個別に収容するストックルーム 62が設けられているため、レチク ル入替装置 32でレチクル Rをレチクル収納ケース 10からステッパーケース Sに入れ 替えるときに、必要なレチクル Rをストックルーム 62から迅速かつ容易に取り出すこと ができる。
[0146] また、ストックルーム 62はレチクル入替装置 32が設置された床の下方に形成されて いるため、床下のスペースを有効に活用することができる。これにより、膨大なレチク ル Rの保管をクリーンルーム内で行うとクリーンルームのスペースの拡張が必要となり 管理維持コストが大幅に高くなるが、本発明のように床下に形成されたストックルーム
62にレチクル Rを保管することによりレチクル Rの維持管理コストを大幅に低減するこ とができるとともに、クリーンルームの空いたスペースを他の用途に有効に利用するこ とがでさる。
[0147] また、露光装置にレチクル Rを保管するためのライブラリを設ける必要がなくなり、露 光装置を小型化することができると共に露光装置の製造コストを大幅に低減すること ができる。
[0148] なお、レチクル収納ケース 10に収納されたレチクル Rに専用の IDナンパを設け、ま た、レチクル収納ケース 10にも専用の IDナンパを設け、判定装置（図示省略、判定 手段)より両者が合致する力否かを判定し、その判定結果を表示するモニタ（図示省 略、表示手段)等に表示させてもよい。これにより、ユーザがモニタを確認するだけで 、レチクル Rとレチクル収納ケース 10とが一致して!/、るか否かを瞬時に判別すること ができる。この結果、レチクル Rとレチクル収納ケース 10とが対応した状態でレチクル Rを保管することができ、レチクル Rの管理機能を高めることができる。
[0149] 次に、本発明の第 1実施形態に係るレチクル収納ケースとシール部材の変形例に ついて説明する。
[0150] 図 14及び図 15に示すように、変形例となるシール部材 70は、中空状に形成されて おり、平面視にて略四角形状となるように連続して形成されている。また、シール部材 70は、一対の圧力部 72Aと、各圧力部 72A、 72A同士を接続した薄肉部 72Bと、で 構成されている。ここで、各圧力部 72A、 72Aは、後端部力も先端部に向力つて徐々 に薄肉となるように形成されている。また、薄肉部 72Bの上部は、後述するレチクル 収納ケース 74 (図 16参照）の蓋部材 76と接触する部位であり、湾曲状となるように形 成されている。この薄肉部 72Bの厚み Tは、 0. 2mm以上 0. 6mm以下となるように 形成されており、特に 0. 3mmとすることが好ましい。また、シール部材 70は、シール 部材 70の厚み方向に切断した断面の高さ方向に延びる中心線 Lに関して左右対称 となるように形成されている。
[0151] このシール部材 70は、フッ素ゴムなどのエラストマ一材料（ゴム）で構成されて 、る。
このフッ素ゴムとして、主鎖が完全にフッ素化されて 、るパーフルオロフッ素ゴム（FF KM)、主鎖の一部に炭素一水素結合が存在する通常のフッ素ゴム (FKM)、押出 成形等が可能なフッ素系熱可塑性エラストマ一などが、耐熱性やガスの発生が低 、 という観点力も好ましい。 [0152] また、図 16に示すように、変形例となるレチクル収納ケース 74を構成する底部材 7 8の外縁部近傍には溝 80が形成されている。この溝 80の溝幅方向の中央部には、 凸部 82が形成されている。また、レチクル収納ケース 74の他の構成については、上 述した第 1実施形態に係るレチクル収納ケースの構成と同様であるため、説明を省略 する。なお、このレチクル収納ケース 74は、ポリカーボネード等の樹脂で構成されて いる。
[0153] 次に、変形例となるシール部材 70がレチクル収納ケース 74の底部材 78に装着さ れるときの作用について説明する。図 16 (A)に示すように、シール部材 70の各圧力 部 72A、 72Aが溝 80に形成された凸部 82を挟むようにして溝 80に装着される。この とき、各圧力部 72A、 72Aの後端部力も先端部に向力つて徐々に薄肉となっている ため、シール部材 70を溝 80に挿入し易くすることができる。シール部材 70が溝 80に 装着された状態では、各圧力部 72A、 72Aの後端部が凸部 82と溝幅方向に対向す る溝側壁 78A、 78Aに所定の圧力が反力として作用する。これにより、シール部材 7 0が溝 80から脱落することを防止できるとともに、レチクル収納ケース 74を洗浄等した 際に溝 80の内部に洗浄液が浸入することを防止できる。
[0154] 次に、レチクル収納ケース 74の蓋部材 76が底部材 78に取り付けられるときの作用 について説明する。図 16 (B)に示すように、蓋部材 76が底部材 78に合わせられて そのまま蓋部材 76が下方に押下げられると、シール部材 70の薄肉部 72Bが弾性変 形して溝幅方向に押し広げられる。これにより、シール部材 70の上部と蓋部材 76と が所定の反力が作用した状態で接触しているため、空間部の気密を維持することが できる。また、シール部材 70は中心線 Lに関して左右対称となるように形成されてい るため、薄肉部 72Bが蓋部材 76に接触したときに薄肉部 72Bが蓋部材 76に対して 殆どずれることがなく、パーティクルの発生を効果的に抑制できる。
[0155] また、薄肉部 72Bがゴムで構成されており、かつ、その厚み Tが 0. 2mm以上 0. 6 mm以下であるため、空間部の気密性を確保することができるとともに、薄肉部 72B が蓋部材 76に及ぼす圧縮反力を小さくすることができ蓋部材 76に反り等が発生する ことを防止できる。このように、空間部の気密性の確保と蓋部材 76の反り等の発生防 止とを両立させることができる。 [0156] 逆に、薄肉部の厚みが 0. 6mmよりも厚くなれば、薄肉部が蓋部材又は底部材に 及ぼす圧縮反力が大きくなり蓋部材又は底部材に反り等が発生し易くするため問題 となる。また、薄肉部の厚みが 0. 2mmよりも薄くなれば、薄肉部自体の剛性や反発 性が不足し、蓋部材又は底部材に及ぼす圧縮反力は小さくなりすぎて空間部の気密 性を確保することができな 、と 、う問題がある。
[0157] 次に、変形例となるシール部材のパーティクル性能を試す試験にっ 、て説明する。
図 17に示すように、試験機 84の内部空間 86に空気圧シリンダ 88からの空気圧によ り上下に移動する押圧部材 90を設け、この押圧部材 90にはレチクル収納ケース 74 の蓋部材 76と同じ材質の榭脂板 92を貼り付けた。また、内部空間 86の底面にはテ 一ブル 94を設け、このテーブル 94の上面にレチクル収納ケース 74の底部材 78に形 成された 4個の溝 80を取り付け、各溝 80に上記変形例となるシール部材 70をそれぞ れ装着した。そして、空気圧シリンダ 88を 1万回動作させ、榭脂板 92により各シール 部材 70を押圧した。このとき、榭脂板 92がシール部材 70に接触して力も約 1. 5mm だけシール部材 70を圧縮変形させ、その後、榭脂板 92を引き上げてシール部材 70 の弾性変形を開放するという動作を 1万回繰り返した。このとき発生したパーティクル を内部空間 86の底部に設けた供給路 96から外部に導き、吸引式のパーティクルカ ゥンタ（図示省略、吸引量 2. 83LZmin)によりその個数を測定した。なお、内部空 間 86には 0. 01 μ mのフィルタ 98を介して空気を供給した。
[0158] 本試験は、変形例となるシール部材 70を溝 80に装着した発明品装着状態の他に 、シール部材を溝 80に装着しない未装着状態と、図 13 (B)に示す従来のシール部 材 Nを溝 80に装着した従来品装着状態も、同様の条件を用いて試験した。
[0159] ここで、本試験で用いた変形例となるシール部材 70は、フッ素ゴム（ビ-リデンフル キン社製 G921)、架橋剤、カーボンブラックなどの充填材をカ卩えてオープンロールで 混練し、ゴムコンパウンドを生成した。これを金型に充填し、 165°C、 15分間加熱架 橋成形を行った後、 180°C、 12時間二次加硫してシール部材を成形した。
[0160] 上記パーティクル性能を試す試験の結果は、以下の表 1に示す通りである。
[表 1] 粒径 （ μ 0 . 1 0 . 1 5 0 . 2 0 . 3 0 . 5 合計 （個 m) ) 未装着状 5 9 2 2 2 1 6 6 態
発明品装 6 3 2 1 0 0 6 6 着状態
従来品装 6 3 2 5 6 6 5 1 9 4 1 7 1 3 1 2 2 6 5 着状態 上記表 1に示すように、発明品装着状態では 66個のパーティクルが発生して 、るが 、未装着状態でも 66個のパーティクルが発生しており、実質、シール部材から発生 するパーティクルはゼロに近いレベルになっていることが判明した。一方、従来品装 着状態では 2265個のパーティクルが発生しており、本発明品となるシール部材を用 いた場合には、従来のシール部材を用いた場合と比較して、パーティクルを大幅に 低減できることが判明した。
[0161] 次に、変形例となるシール部材のシール性能を試す試験について説明する。
図 18に示すように、レチクル収納ケース 74の底部材 78に相当する受け部材 81を 用い、この受け部材 81に溝 83を形成して変形例となるシール部材 70を装着させた。 そして、レチクル収納ケース 74の蓋部材 76に相当する被せ部材 85を用い、被せ部 材 85と受け部材 81とを合わせて、内部の空間部 87が気密となるように設定した。内 部の空間部 87には、ガラス基板 89を配置させた。なお、被せ部材 85には貫通路 91 を形成し、その貫通路 91に負圧計 93と圧力調整バルブ 95と真空ポンプ 97を接続し た。本試験では、圧力調整バルブ 95を開放し、真空ポンプ 97を作動させて空間部 8 7の圧力を— 500Pa程度まで真空引きし、その後、圧力調整バルブ 95を閉じた状態 を維持し、負圧計 93により空間部 87の圧力を測定する。負圧計 93による測定は、真 空ポンプ 97を作動させて空間部 87の圧力を 500Pa程度まで真空引きし、その後 、圧力調整ノ レブ 95を閉じた状態とした直後と、それから 1週間後の合計 2回を実施 した。
[0162] 上記シール性能を試す試験の結果は、以下の表 2に示す通りである。
[表 2] 直後 1週間後
圧力 （Pa) -490 - 485 上記表 2に示すように、本発明のシール部材 70を用いれば、空間部 87の圧力を略 一定に維持できることが判明した。
以上の 2つの試験結果により、本発明であるシール部材 70によれば、パーティクル の発生を抑制することができるとともに、空間部のシール性を確保することができ、パ 一ティクル性とシール性とを両立できることが判明した。

Claims

請求の範囲
[1] ガラス基板を収納するためのガラス基板収納ケースであって、
前記ガラス基板が載置される底部材と、
前記底部材に載置された前記ガラス基板を覆うように前記底部材に合わせられ前 記底部材との間に空間部を形成する蓋部材と、
前記底部材又は Z及び前記蓋部材に設けられ、前記蓋部材が前記底部材に合わ せられた状態で前記空間部を気密にするシール部材と、
前記蓋部材に設けられ、前記底部材に引っ掛けられて前記蓋部材が前記底部材 に合わせられた状態を維持するフック部材と、
を有することを特徴とするガラス基板収納ケース。
[2] 前記フック部材は、前記蓋部材に回転可能に設けられた軸部と、前記軸部を回転 軸として回転し前記底部材の底部と係合する爪部と、を有することを特徴とする請求 項 1に記載のガラス基板収納ケース。
[3] 前記シール部材は前記蓋部材又は Z及び前記底部材に形成された溝に配置され 前記シール部材は、前記溝に挿入され前記溝の側壁を押圧する一対の圧力部と、 前記各圧力部同士を接続し前記蓋部材が前記底部材に合わせられるときに前記蓋 部材又は前記底部材と接触し弾性変形する屈曲部と、を有し、
前記各圧力部の肉厚が前記屈曲部の肉厚と比較して厚くなるように形成されて 、 ることを特徴とする請求項 1又は 2に記載のガラス基板収納ケース。
[4] 前記屈曲部力も前記各圧力部までの少なくとも一部には、突起部が設けられている ことを特徴とする請求項 3に記載のガラス基板収納ケース。
[5] 前記屈曲部から前記各圧力部に亘つて肉厚が徐々に厚くなるように形成されてい ることを特徴とする請求項 4に記載のガラス基板収納ケース。
[6] 前記蓋部材又は Z及び前記底部材には凸部を有する溝が形成され、
前記シール部材は、ゴムで構成され、
前記シール部材は、前記凸部を挟むように前記溝に挿入され前記凸部と対向する 溝側壁を押圧する一対の圧力部と、前記各圧力部同士を接続し前記蓋部材が前記 底部材に合わせられるときに前記蓋部材又は前記底部材と接触する部位が湾曲状 に形成され前記蓋部材が前記底部材に合わせられるときに前記蓋部材又は前記底 部材と接触して弾性変形する薄肉部と、を有することを特徴とする請求項 1又は 2に 記載のガラス基板収納ケース。
[7] 前記薄肉部の厚みは、 0. 2mm以上 0. 6mm以下であることを特徴とする請求項 6 に記載のガラス基板収納ケース。
[8] 前記圧力部の溝底面と接触する先端部に向かって徐々に薄肉となっていることを 特徴とする請求項 6又は 7に記載のガラス基板収納ケース。
[9] 前記シール部材は、前記シール部材の厚み方向に切断した断面の高さ方向に延 びる中心線に関して対称となるように形成されていることを特徴とする請求項 6乃至 8 の！、ずれ力 1項に記載のガラス基板収納ケース。
[10] 請求項 1乃至 9のいずれか 1項に記載のガラス基板収納ケースに収納されたガラス 基板を別のステッパーケースに入れ替えるガラス基板入替装置であって、
上下方向に移動可能に設けられ前記ガラス基板収納ケースが載置される昇降部材 と、
前記昇降部材に載置された前記ガラス基板収納ケースの前記底部材への前記フッ ク部材の引っ掛けを解除すると共に、前記蓋部材を下方力 支持する係合解除部材 と、
前記ステッパーケースが載置された土台部材と、
前記昇降部材上の前記底部材に載置された前記ガラス基板を前記底部材から取り 出し前記ステッパーケース側に移動させるアーム部材と、
を有することを特徴とするガラス基板入替装置。
[11] 前記係合解除部材は、前記蓋部材を前記底部材に押し付けて前記シール部材を 弾性変形させ前記爪部と前記底部材との係合を解除する押圧部と、前記底部材との 係合を解除された前記爪部を前記軸部の回りに回転させながら引き上げると共に前 記蓋部材を支持する開放支持部と、を有することを特徴とする請求項 10に記載のガ ラス基板入替装置。
[12] ガラス基板を管理するガラス基板管理装置であって、 請求項 10又は 11に記載のガラス基板入替装置と、
前記ガラス基板入替装置が設置された床の下方に形成されたストックルームと、を 有することを特徴とするガラス基板管理装置。
[13] 請求項 1乃至 9のいずれか 1項に記載のガラス基板収納ケースを用いて、前記ガラ ス基板を製造するガラス基板製造メーカーカゝら前記ガラス基板に所定のパターンを 形成する描画業者へ、さらに前記描画業者力 前記ガラス基板のパターンを半導体 ゥエーハに投影.転写するデバイスメーカーへ流通させることを特徴とするガラス基板 流通方法。
[14] 弾性体で構成され各部材間の接合面に形成された溝に装着されるシール部材で あって、
前記シール部材が前記溝に装着されたときに前記溝の側壁を押圧する一対の圧 力部と、前記一対の圧力部を接続する屈曲部と、を有し、
前記各圧力部同士の離間距離が縮められて前記溝に装着されることを特徴とする シール部材。
[15] 前記屈曲部から前記各圧力部に亘つて肉厚が徐々に厚くなるように形成されてい ることを特徴とする請求項 14に記載のシール部材。
[16] 前記屈曲部力 前記各圧力部までの少なくとも一部には、突起部が設けられている ことを特徴とする請求項 14又は 15に記載のシール部材。
[17] ゴムで構成され各部材間の接合面に形成された溝の凸部を挟むように前記溝に装 着されるシール部材であって、
前記シール部材が前記溝に装着されたときに前記凸部と対向する溝側壁を押圧す る一対の圧力部と、前記各圧力部同士を接続し各部材の一方又は他方と接触する 部位が湾曲状に形成され前記各部材の一方又は他方と接触して弾性変形する薄肉 部と、を有することを特徴とするシール部材。
[18] 前記薄肉部の厚みは、 0. 2mm以上 0. 6mm以下であることを特徴とする請求項 1
7に記載のシール部材。
[19] 前記圧力部の溝底面と接触する先端部に向かって徐々に薄肉となっていることを 特徴とする請求項 17又は 18に記載のシール部材。
[20] 前記シール部材の厚み方向に切断した断面の高さ方向に延びる中心線に関して 対称となるように形成されていることを特徴とする請求項 17乃至 19のいずれか 1項に 記載のシール部材。
[21] 請求項 14乃至 20のいずれか 1項に記載のシール部材が前記溝に装着されてシー ルするシール構造であって、
前記溝の開口部が広くなるように、前記溝の開口縁が面取りされていることを特徴と するシール構造。
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