WO2005109419A1 - 光ピックアップの調整装置および調整方法 - Google Patents

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WO2005109419A1
WO2005109419A1 PCT/JP2005/009003 JP2005009003W WO2005109419A1 WO 2005109419 A1 WO2005109419 A1 WO 2005109419A1 JP 2005009003 W JP2005009003 W JP 2005009003W WO 2005109419 A1 WO2005109419 A1 WO 2005109419A1
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WO
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laser light
optical axis
optical pickup
optical
light
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Application number
PCT/JP2005/009003
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English (en)
French (fr)
Inventor
Kenji Fukui
Isao Kotani
Hirokazu Takahashi
Naoki Nishijima
Naokazu Morishita
Hideyuki Morishima
Original Assignee
Pulstec Industrial Co., Ltd.
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
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Publication date
Application filed by Pulstec Industrial Co., Ltd. filed Critical Pulstec Industrial Co., Ltd.
Priority to JP2006513060A priority Critical patent/JP4692483B2/ja
Publication of WO2005109419A1 publication Critical patent/WO2005109419A1/ja

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    • G—PHYSICS
    • G11—INFORMATION STORAGE
    • G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B7/00—Recording or reproducing by optical means, e.g. recording using a thermal beam of optical radiation by modifying optical properties or the physical structure, reproducing using an optical beam at lower power by sensing optical properties; Record carriers therefor
    • G11B7/08—Disposition or mounting of heads or light sources relatively to record carriers
    • G11B7/09—Disposition or mounting of heads or light sources relatively to record carriers with provision for moving the light beam or focus plane for the purpose of maintaining alignment of the light beam relative to the record carrier during transducing operation, e.g. to compensate for surface irregularities of the latter or for track following
    • G11B7/095—Disposition or mounting of heads or light sources relatively to record carriers with provision for moving the light beam or focus plane for the purpose of maintaining alignment of the light beam relative to the record carrier during transducing operation, e.g. to compensate for surface irregularities of the latter or for track following specially adapted for discs, e.g. for compensation of eccentricity or wobble
    • G11B7/0956—Disposition or mounting of heads or light sources relatively to record carriers with provision for moving the light beam or focus plane for the purpose of maintaining alignment of the light beam relative to the record carrier during transducing operation, e.g. to compensate for surface irregularities of the latter or for track following specially adapted for discs, e.g. for compensation of eccentricity or wobble to compensate for tilt, skew, warp or inclination of the disc, i.e. maintain the optical axis at right angles to the disc

Definitions

  • the present invention relates to an optical pickup adjustment device used for adjusting the inclination of an objective lens mounted on an optical pickup and an optical pickup adjustment method for adjusting the inclination of the objective lens.
  • optical disk An optical pickup is incorporated in an optical disk device or the like, and records or reproduces information on a recording medium such as an optical disk (hereinafter, simply referred to as “optical disk”).
  • the optical disk is ideally adjusted so that the optical disk has a posture perpendicular to the optical axis of the laser light emitted from the objective lens.
  • the occurrence of so-called coma aberration is suppressed, and the accuracy of recording or reproducing information on the optical disc is improved. It is also possible to correct the astigmatism component contained in the laser beam transmitted through the objective lens by tilting the objective lens, thereby improving the accuracy of recording or reproducing information on the optical disk.
  • the tilt of the objective lens of the optical pickup is adjusted by observing a laser beam emitted through the objective lens of the optical pickup by an observation device and based on the observation result.
  • an adjustment device for an optical pickup used in the process of adjusting the tilt of the objective lens of the optical pickup an adjustment using an interferometer as an observation device as disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. H10-9-1968. There is a device.
  • a simulated member having optical characteristics equivalent to that of an optical disk is irradiated with laser light via an objective lens, and the laser light transmitted through the simulated member is guided to the interferometer.
  • the laser light guided into the interferometer is split by the beam splitter, guided to two different optical paths, then combined again to form interference fringes, and received by one CCD image sensor.
  • the video signal from this CCD image sensor is Input to the computer device.
  • the computer generates interference fringe data from the video signal, analyzes the data, and displays the interference fringes and the analysis result on a monitor. Then, the operator adjusts the inclination of the objective lens based on the number of interference fringes displayed on the monitor, the degree of bending, and the analysis result so that these are in a predetermined state.
  • a spot analyzer as disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 2001-273643 was used as an optical pickup adjustment device using an observation device different from the adjustment device using the interferometer.
  • an optical spot formed on a simulated member having optical characteristics equivalent to that of an optical disk via an objective lens is imaged by a microscope, which is a spot analyzer, and a CCD image sensor. It is binarized and displayed on the monitor. Then, the operator visually determines the roundness of the zero-order light image and the uniformity of the ring-shaped image due to the first-order diffracted light of the light spot displayed on the monitor, and these are brought into a predetermined state.
  • the tilt of the objective lens as described above.
  • the operator adjusts the inclination of the objective lens provided in the optical pickup based on the observation result of the laser beam by the observation device displayed on the monitor. Operate the adjusting mechanism to adjust the tilt of the objective lens.
  • the present invention has been made to address the above-described problem, and an object of the present invention is to suppress the influence of vibration when adjusting the tilt of an objective lens, and to improve the working efficiency of an optical pickup adjustment operation. It is an object of the present invention to provide a possible optical pickup adjustment device.
  • the features of the present invention include a housing, a laser light source that is housed in the housing and emits laser light, and a laser light that is housed in the housing and converts the emitted laser light into a parallel light beam.
  • An adjusting device for an optical pickup for adjusting the tilt angle of an objective lens comprising: a second collimator for converting laser light emitted from a laser light source and passing through a first collimating lens and an objective lens into a parallel light flux.
  • a collimating lens, and an observation device for observing the laser light converted into a parallel light beam by the second collimating lens comprising: a second collimator for converting laser light emitted from a laser light source and passing through a first collimating lens and an objective lens into a parallel light flux.
  • a collimating lens, and an observation device for observing the laser light converted into a parallel light beam by the second collimating lens comprising: a second collimator for converting laser light emitted from a laser light source and passing through a first collimating lens and an objective lens into a parallel light flux.
  • Focus control beam splitter for extracting a part of the laser light incident on the measuring device, a focus control light receiving element for receiving the laser light extracted by the focus control beam splitter, and a focus control light receiving element Based on the reception of laser light by the element, the laser beam generated by the objective lens is adjusted to eliminate the deviation between the focal position of the laser light by the objective lens and the focal position for accurately entering the laser light into the observation device.
  • a focus support control circuit for performing focus servo control of the focus position.
  • the focus support control circuit causes the laser light to be accurately incident on the focal position of the laser light by the objective lens and the observation device based on the reception of the laser light by the focus control light receiving element. May be detected, and the result of the detection may be used to drive and control the focus factory built in the optical pickup.
  • the optical pickup is provided with a support device including an actuator that displaces the optical pickup in the optical axis direction of the objective lens while supporting the optical pickup. Based on the received light, the deviation between the focal position of the laser beam by the objective lens and the focal position for accurately entering the laser beam into the observation device is detected, and the drive of the actuator inside the support device is controlled based on the detection result. You may make it.
  • focus servo control of the objective lens is performed based on a shift between the focus position of the laser light by the objective lens and the focus position for accurately causing the laser light to enter the observation device.
  • Laser beam to the observation device And the tilt of the objective lens can be stably adjusted.
  • Another feature of the present invention is an optical pickup adjusting device for adjusting the tilt angle of an objective lens in an optical pickup configured as described above, wherein the adjusting device is provided with a first collimator emitted from a laser light source.
  • a second collimating lens that converts the laser light passing through the collimating lens and the objective lens into a parallel light beam, an observation device that observes the laser light converted into a parallel light beam by the second collimating lens, and an observation device.
  • Beam splitter for controlling the optical axis for extracting a part of the laser beam incident on the device, a light receiving element for controlling the optical axis for receiving the laser beam extracted by the beam splitter for controlling the optical axis, and a light receiving element for controlling the optical axis
  • the laser beam is taken into the observation device so that the optical axis of the laser beam taken into the observation device does not deviate from the optical axis of the observation device.
  • the optical axis of the laser beam lies in that a one-way service Ichipo control circuit for Sapo controlled in one direction perpendicular to the optical axis.
  • the optical pickup has a tracking function that drives the objective lens in one direction in a plane orthogonal to the optical axis of the laser light. Based on the laser light received by the axis control light-receiving element, the deviation between the optical axis of the laser light taken into the observation device and the optical axis of the observation device is detected, and the tracking result is driven based on the detection result. It is good to do so.
  • the optical pickup further includes a support device that supports the optical pickup and displaces the optical pickup in one direction within a plane orthogonal to the optical axis.
  • the one-way support control circuit includes an optical axis control circuit.
  • a deviation between the optical axis of the laser beam taken into the observation device and the optical axis of the observation device is detected, and the detection result is used to drive the actuator inside the support device. You may make it control.
  • the objective lens is orthogonal to the optical axis of the laser light based on the deviation between the optical axis of the laser light taken into the observation apparatus and the optical axis of the observation apparatus.
  • Support control can be performed in the one direction in the plane.
  • the laser beam incident on the observation device can be held at a predetermined position in the same plane, so that the laser beam can be accurately observed and the tilt of the objective lens can be stably performed.
  • another feature of the present invention is an optical pickup adjusting device for adjusting an inclination angle of an objective lens in an optical pickup configured as described above, wherein the first collimating lens emitted from a laser light source is provided.
  • a two-way servo control circuit for controlling the optical axis of the laser beam in two directions orthogonal to the optical axis.
  • the two-way servo control circuit detects a deviation between the optical axis of the laser light taken into the observation device and the optical axis of the observation device based on the reception of the laser light by the light receiving element for controlling the optical axis. It is preferable to drive the tracking factory and the collimating factory based on the detection result.
  • the optical pickup includes a support device including two actuators for supporting the optical pickup and displacing the optical pickup in two different directions in a plane orthogonal to the optical axis.
  • the deviation between the optical axis of the laser light taken into the observation device and the optical axis of the observation device is detected based on the reception of the laser light by the axis control light-receiving element, and the two results in the support device are detected based on the detection result.
  • the drive control may be performed each night.
  • the objective lens is orthogonal to the optical axis of the laser light based on the deviation between the optical axis of the laser light taken into the observation apparatus and the optical axis of the observation apparatus.
  • the second collimating lens is controlled in a different direction in a plane orthogonal to the optical axis of the laser beam. Therefore, servo control can be performed in two directions. This makes it possible to stably hold the laser light incident on the observation device at a predetermined position in the same plane, Further, the laser beam can be observed with high accuracy, and the tilt of the objective lens can be stably adjusted.
  • FIG. 1 is a block diagram schematically showing an entire optical pickup adjustment device according to an embodiment of the present invention.
  • FIG. 2 is a perspective view showing an optical pickup used in the optical pickup adjusting device of FIG.
  • FIG. 3 is a perspective view showing an optical pickup supporting device used in the optical pickup adjusting device of FIG.
  • FIG. 4 is a perspective view showing a simulation member supporting device used in the optical pickup adjusting device of FIG.
  • FIG. 5 is a block diagram schematically showing a state in which an angle calibration jig is provided in the optical pickup adjusting device of FIG.
  • FIG. 6 is a perspective view showing an angle calibration jig used in the optical pickup adjusting device of FIG.
  • FIG. 7 is a perspective view showing a state where an angle calibration jig is arranged on the optical pickup supporting device of FIG.
  • FIG. 8 is a perspective view showing another example of the optical pickup supporting device.
  • FIG. 9 is a perspective view showing another example of the simulation member supporting device.
  • FIG. 10 is a block diagram schematically showing an entire optical pickup adjusting device according to another embodiment of the present invention.
  • FIG. 11 is a block diagram schematically showing an entire optical pickup adjusting device according to another embodiment of the present invention.
  • FIG. 1 is an overall schematic diagram of an optical pickup adjustment device used to adjust the tilt of an objective lens mounted on the optical pickup.
  • the adjusting device includes an optical pickup supporting device 20 on which the optical pickup 10 is mounted, and a simulated member supporting device 30 for supporting a simulated member 31 disposed above the optical pickup 10. I have.
  • the optical pickup 10 reproduces a signal recorded on an optical disc such as a CD or a DVD and / or records a signal on the optical disc, and is an object to be adjusted by the optical pickup adjusting device according to the present invention. It is. To briefly explain the optical pickup 10 to be adjusted, the optical pickup 10 is composed of a laser light source 11, a collimating lens 12, and a start-up mounted on the casing 10a, respectively. It is composed of a mirror 13 and an objective lens 14.
  • the laser light source 11 emits laser light under the control of a laser drive circuit 102 described later.
  • the laser light emitted from the laser light source 11 is converted into a parallel light beam by the collimating lens 12, then reflected by the rising mirror 13, travels toward the objective lens 14, and is transmitted by the objective lens 14. Focus on it.
  • the objective lens 14 is elastically supported by a resilient support member 10b (for example, a wire) on a casing 10a by a cantilever or a cantilever.
  • the optical pickup 10 is also provided with a focus actuator 15 and a track actuator 16.
  • the focus lens 15 moves the objective lens 14 slightly in the direction of the optical axis of the laser beam, in other words, in the direction perpendicular to the plate surface of the optical disk (not shown) in which the optical pickup 10 is used.
  • the light spot is accurately formed on the recording surface of the optical disk.
  • the focus lens 15 is a predetermined position in the Z-axis direction of the objective lens 14, specifically, a position where aberration is minimized. It is used to hold the objective lens 14 so that the point image is accurately located at the object point position of the collimating lens 41 described later.
  • the position where the objective lens 14 is held may be set to a mechanically neutral position of the elastic support member 10b in the illustrated Z-axis direction of the objective lens 14.
  • the track actuator 16 moves the objective lens 14 slightly in the track direction (radial direction of the optical disc) of the optical disc (not shown) in which the optical pickup 10 is used, so that the optical spot is formed on the track of the optical disc. It is to follow exactly.
  • the track actuator 16 moves the objective lens 14 to a predetermined position in the track direction, that is, the illustrated Y-axis direction (for example, the illustrated Y-axis direction of the objective lens 14). (The mechanically neutral position of the elastic support member 10b).
  • the optical pickup 10 also includes tilt adjusting mechanisms 17 and 18.
  • the tilt adjusting mechanisms 17 and 18 are provided on the plane perpendicular to the optical axis of the laser beam, in other words, with respect to the plate surface of an optical disk (not shown) on which the optical pickup 10 is used. It consists of a screw mechanism that can adjust the tilt of 4 around two axes.
  • the adjusting device of the optical pickup is operated, the inclination around the X-axis and the Y-axis with respect to the XY coordinate plane shown in the drawing, that is, the rotation in the 0x and 0y rotation directions shown in the drawing is adjusted.
  • rotation directions ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ and 0 y are merely examples, and if the rotation direction is around two mutually orthogonal axes for adjusting the tilt angle of the objective lens 14, the other two axes are used. The direction of rotation may be around.
  • the inclination of the objective lens 14 is adjusted by operating the inclination adjusting mechanisms 17 and 18 using a driver tool or the like.
  • the bottom surface of the optical pickup 10 is provided with two mounting portions 19a and 19b used when the optical pickup 10 is set in an optical pickup support device 20 described later.
  • FIG. 2 shows a specific example of such an optical pickup 10.
  • Reference numerals in the figure correspond to the description of the optical pickup 10 described above.
  • the mounting portion 19a is formed in the shape of two square pillars protruding in the horizontal direction from one corner of the outer front surface of the casing 10a.
  • the casing 10a is formed into two flanges protruding from both ends of the outer rear surface.
  • the collimating lens 12 and the tilt angle adjusting mechanism 18 are not shown due to blind spots.
  • the optical pickup supporting device 20 is a supporting portion that detachably supports the optical pickup 10 and includes a stage 21 and a moving device 22.
  • the stage 21 supporting the backup 10 is shown as a flat plate for simplification of the drawing, and the stage 21 has a pair of support parts 23a for detachably supporting the optical pickup 10. , 23 b are provided.
  • the support portions 23a and 23b for supporting the optical pickup 10 extend horizontally from the side surfaces of the stage 21 formed in a rectangular parallelepiped shape.
  • the mounting portions 19a, 19b provided on the outer front and rear surfaces of the optical pickup 10 respectively penetrate into these support portions 23a, 23b, and the mounting portions 19a, 19b.
  • the optical pickup 10 is fixed on the supporting portions 23a and 23b by sandwiching both ends of the optical pickup 10 with clips or the like.
  • the moving device 22 has a moving mechanism that supports the stage 21 and that can displace the stage 21 in three directions and rotate around the two axes.
  • the three-axis directions are X, Y, and ⁇ -axis directions in which each pair is orthogonal to each other, as shown in FIG. 1, and the two-axis directions are around the X- and ⁇ -axes shown in FIG. , 0 y rotation direction.
  • the moving device 22 is provided with operators 24 to 28 which can manually displace the moving device 22 in the X, ⁇ , Z axis directions and the 0x, 0y rotation directions in this order. It has.
  • the stage 21, that is, the optical pickup 10 supported on the stage 21, can be displaced in the corresponding directions.
  • the rotation directions of the 0 X and 0 y are set around the X and Y axes.
  • the rotation directions of the 0 x and 0 y are not limited to this, and the two rotation directions exist on the XY plane and are orthogonal to each other. As long as the rotation direction is around the axis, the rotation direction may be around the other two axes.
  • the simulated member support device 30 is a support device that holds the simulated member 31 and includes a simulated member tilt adjustment mechanism capable of adjusting the tilt of the simulated member 31.
  • the simulation member 31 is made of a transparent member such as glass or plastic, and has optical characteristics equivalent to the optical characteristics of the optical disk in which the optical pickup 10 is used.
  • an optical disk is made of a polycarbonate material on the front side of a data recording surface formed of a metal thin film or the like, that is, on the light source side of an irradiated laser beam, for protecting the data recording surface from scratches or dust. It has a transparent substrate. For this reason, the laser beam irradiated on the optical disc is transmitted through the transparent substrate and focused on the data recording surface.
  • the optical pickup adjusting apparatus is, in practice, provided with a transparent substrate having a thickness equal to the wavefront of the laser light emitted from the objective lens 14 and transmitted through the transparent substrate of the optical disc.
  • a simulation member 31 for correcting the wavefront aberration of the laser beam due to the refractive index is required. That is, the simulation member 31 is disposed in place of the optical disk to simulate the optical disk, and is used to obtain a wavefront of the laser light equivalent to the wavefront of the laser light irradiated on the data recording surface of the optical disk.
  • the optical disk has properties equivalent to the substrate, specifically, an equivalent thickness and refractive index, that is, an optical path length equivalent to the optical disk.
  • the simulated member support device 30 includes a holding plate 32 and a plate support 33.
  • the holding plate 32 is formed in a disk shape, and the rotating shaft 34 is passed through and fixed to a through hole provided in a central portion thereof.
  • the holding plate 32 is provided with a plurality of through holes penetrating from the top surface to the bottom surface at substantially equal intervals along the circumferential direction.
  • the simulated member 31 is attached to each of the other through holes (for example, three through holes) except one of the plurality of through holes in a replaceable state. Have been.
  • the plurality of simulated members 31 are a plurality of types of simulated members having different optical characteristics, respectively, corresponding to substrates of optical disks having different optical characteristics.
  • one through-hole that is, an opening to which the simulation member 31 is not attached is prepared because a process that does not use the simulation member 31 exists.
  • the plate support table 33 supports the holding plate 32 and has a simulated member tilt adjusting mechanism capable of adjusting the tilt of the holding plate 32, and includes a support portion 33a, 33b and a base portion. Consists of 33 c.
  • the support portion 33a is formed in a substantially U-shape, and the tip of a pair of upper and lower arms 33a1 and 33a2 extending in the horizontal direction is provided with a rotating shaft of the holding plate 32. Both ends of 34 are supported so as to be rotatable around the axis of the rotating shaft 34. The upper end of the rotating shaft 34 protrudes from the upper arm 33a1, and the upper end of the rotating shaft 34 is used to manually rotate the holding plate 32 around the axis of the rotating shaft 34. A child 35 is provided. The lower surfaces of the bases of the arms 33a1, 33a2 in the support 33a are in contact with the upper end of the support 33b, and the contact surface between the support 33a and the support 33b is formed.
  • the cross-sectional shape perpendicular to the Y axis is an arc on the XZ plane.
  • the cross section of the contact surface between the support portion 33a and the support portion 33b, which is orthogonal to the X axis, is formed to be linear in the YZ plane.
  • the lower surface of the support portion 33a is slidably engaged with the upper surface of the support portion 33b, and the lower surface of the support portion 33a is slidably engaged with the upper surface of the support portion 33b. It is supported so that it can rotate around the Y axis.
  • the support portion 33b is provided with an operator 36 for rotating the support portion 33a around the Y axis, that is, in the 0 y direction with respect to the support portion 33b by manual operation. I have.
  • the lower surface of the support part 3 3b is in contact with the upper end of the base part 33c, and the cross-sectional shape orthogonal to the X axis of the contact surface between the support part 33b and the base part 33c is arcuate in the YZ plane. It is shaped to be. Further, the contact surface between the support portion 33b and the base portion 33c is formed so that the cross-sectional shape orthogonal to the Y-axis is linear in the XZ plane.
  • the lower surface of the support portion 33 b is slidably engaged with the upper surface of the base portion 33 c, and the lower surface of the support portion 33 b is disposed on the upper surface of the base portion 33 c around the X axis. It is supported rotatably.
  • the base 33c is provided with an operator 37 for rotating the support 33b around the X-axis, that is, in the 0X direction with respect to the base 33c by manual operation.
  • This optical pickup adjusting device irradiates a flat mirror portion 112 provided on an angle calibration jig 110, which will be described later, which is mounted and fixed on the optical pickup support device 20, with laser light.
  • a photo collimator 50 for allowing the reflected light at 112 to enter via a 12 wavelength plate 42 and a beam splitter 43.
  • the two-wavelength plate 42 is provided to eliminate the polarization dependence of an optical element such as a beam splitter provided in the adjustment device of the optical pickup for the incident laser light.
  • the beam splitter 43 is an optical element that transmits a part of the incident laser light in the same direction as the incident direction and reflects another part in the direction perpendicular to the incident direction.
  • the auto-collimator 50 is composed of a laser light source 51, a collimating lens 52, a beam splitter 53, a condenser lens 54, and a CCD image sensor 55.
  • a tilt angle detection device that receives reflected light from the target object and detects the tilt of the target object with respect to the emitted laser light.
  • the laser light emitted from the laser light source 51 is radiated toward the optical pickup supporting device 20 via the collimating lens 52 and the beam splitter 53, and the optical pickup supporting device 20
  • the reflected light from the CCD is received by a CCD image sensor 55 as an imager via a beam splitter 53 and a condenser lens 54.
  • a monitoring device 56 is connected to the CCD imaging device 55, and a light receiving image by the CCD imaging device 55 is displayed on the monitoring device 56.
  • a cross-shaped scale having an intersection as the direction of the optical axis of the laser beam irradiated from the autocollimation 50 to the optical pickup supporting device 20 is displayed.
  • the inclination of the stage 21 can be visually observed by displaying the information on the monitor device 56 via the monitor.
  • the monitor device 56 is fixed at a position where it is easy for an operator to visually recognize the monitor device 56 by a support member (not shown) of the optical pickup adjustment device. Further, the photo collimator 50 can also detect the inclination of the simulation member 31 with respect to the optical axis of the laser light emitted from the objective lens 14 in the same manner as described above.
  • this optical pickup adjusting device uses the laser beam transmitted through the objective lens 14 of the optical pickup 10 mounted and fixed on the optical pickup supporting device 20 for the simulation member 31 and the collimator described above. After passing through a splitting lens 41 and a half-wave plate 42, the light is reflected by a beam splitter 43, and is referred to as a shirt Quarttman sensor 60, a spot analyzer 70, a four-segment photodetector 83, and a two-dimensional position sensor. Sensor (PSD) 93.
  • the collimating lens 41 is an optical element that converts the incident laser light into a parallel light beam, and the collimating lens 41 is moved by a collimating lens moving mechanism (not shown) provided in an adjustment device of the optical pickup.
  • the collimating lens 41 consists of two types of lenses, high magnification and low magnification.
  • the collimating lens 41 of one magnification is exchangeably mounted on the collimating lens moving mechanism according to the purpose of use. Have been.
  • the collimating lens 41 is driven by the collimating lens actuator 44 in a direction orthogonal to the driving direction of the track pickup 16 of the optical pickup 10. In (1), it is displaced in the X-axis direction.
  • a shirt Quartman sensor 60 On the optical axis of the laser light reflected by the beam splitter 43, a shirt Quartman sensor 60 is provided via beam splitters 45, 46, and 47.
  • the beam splitters 45, 46, and 47 transmit a part of the incident laser light in the same direction as the incident direction and transmit the other part in the incident direction, similarly to the beam splitter 43 described above.
  • the laser beam reflected by the beam splitter 43 is partially reflected by the beam splitter 45 in a right angle direction, and a part of the reflected light is transmitted through the beam splitters 46 and 47, respectively.
  • the laser beam is incident on a shirt Quartman sensor 60 as an observation device.
  • the shirt Quarttman sensor 60 is composed of an ND (Neutral Density) filter 61, a lens array 62, and a CCD image sensor 63, and passes through beam splitters 45, 46, and 47.
  • This is a wavefront measuring instrument that measures the wavefront aberration of incident laser light.
  • the ND filter 61 is an optical filter for appropriately setting the amount of incident laser light.
  • the lens array 62 is composed of a plurality of lenses in which lenses smaller than the beam diameter of the incident laser light are arranged in a two-dimensional lattice, and the incident laser light is converted into a CCD image sensor for each lens.
  • the CCD image pickup device 63 is an image pickup device that is arranged at a position where laser light is focused by a plurality of lenses constituting the lens array 62 and captures a plurality of point images formed by the plurality of lenses.
  • the multiple point images captured by the CCD image sensor 63 are Each displacement from a plurality of point images obtained by a wavefront that does not include aberrations, which is called a nogram, that is, the sine (sine) component of the normal vector of the wavefront of the laser beam on the imaging surface of the CCD imaging device 63
  • a plurality of point images captured by the CCD image sensor 63 that is, video signals, are supplied to the image generation device 64.
  • the image generating device 64 is controlled by a controller 100 described later to calculate the wavefront shape of the laser light using the video signal output from the CCD image sensor 63 and display the wavefront as a stereoscopic image.
  • the stereoscopic image data generated by the image generating device 64 is output to a monitor device 65, and the state of the wavefront of the laser light is displayed as a stereoscopic image by the monitor device 65.
  • the amount of aberration can be calculated and displayed on the monitor 65 as numerical data, or the interference fringes can be displayed on the monitor 65 based on the measured and calculated wavefront.
  • the monitor 65 is fixed at a position where it is easy for an operator to visually recognize the monitor 65 by a support member (not shown) of the optical pickup adjustment device.
  • a spot analyzer 70 is provided on the optical axis of the laser light transmitted through the beam splitter 45.
  • the spot analyzer 70 is composed of an ND filter 71, a condenser lens 72 and a CCD image sensor 73, and the laser beam transmitted through the beam splitter 45 (that is, the Of the focal spot of the laser beam by the objective lens 14 in the plane of the X-Y axis as shown in the figure. It is a detector that observes the shape and position.
  • the spot analyzer 70 can also detect the inclination angle of the simulation member 31 with respect to the optical axis of the laser light emitted from the objective lens 14. Further, the functions of the condenser lens 54 and the CCD image sensor 55 of the photo collimator 50 described above can be performed instead.
  • the ND filter 71 like the ND filter 61, is an optical filter for appropriately adjusting the amount of incident laser light.
  • the condenser lens 72 is an optical lens that condenses the incident laser light on the CCD imaging device 73.
  • the CCD image pickup device 73 is an image pickup device that is arranged at a light condensing position of the condenser lens 72 and captures a point image formed by the condenser lens 72.
  • a monitoring device 74 is connected to the CCD image sensor 73, and the CCD image sensor 73
  • the received light image by 73 is displayed on the monitor device 74.
  • the display screen of the monitor device 74 displays a light receiving range in which the shirt sensor 80, a quadrant photodetector 83 described later, and a two-dimensional position sensor (PSD) 93 can receive laser light.
  • PSD two-dimensional position sensor
  • a cross-shaped scale with the center position as an intersection is displayed so that the positional relationship between the optical axis of the laser light incident on the shirt Quartman sensor 60 and the center position of the light receiving range can be visually checked. I'm familiar.
  • the monitor device 74 determines whether the focal position of the laser beam by the objective lens 14 and the laser beam to be accurately incident on the shirt Quartman sensor 60.
  • the direction in which the simulated member 31 is at the maximum inclination angle can be visually observed based on how the ring is interrupted.
  • the monitor device 74 is fixed to a position where it is easy for the operator to visually recognize the monitor device by a support member (not shown) of the optical pickup adjustment device.
  • a convex lens 81, a cylindrical lens 82, and a four-segment photodetector 83 are provided on the optical axis of the laser beam reflected by the beam splitter 46, and the laser beam reflected by the beam splitter 46 is provided. That is, a part of the laser beam incident on the shirt Quartman sensor 60 is a light receiving signal A, B, C corresponding to the light receiving amount at the light receiving portions a, b, c, d (not shown) on the four-divided photodetector 83. , D, and output to the focus error signal generation circuit 84.
  • the focus error signal generation circuit 84 generates a focus error signal from the light receiving signals A to D output from the four-divided photodetector 83 by an astigmatism method or the like, and outputs the focus error signal to the focus servo control circuit 85.
  • the focus servo control circuit 85 is controlled by a controller 100, which will be described later, to generate a focus servo signal based on the focus error signal output from the focus error signal generation circuit 84, and to generate a drive circuit 8. Output to 6.
  • the drive circuit 86 displaces the objective lens 14 in the optical axis direction by controlling the drive of a focus function 15 built in the optical pickup 10 to be adjusted in accordance with the focus service signal. . Therefore, the focus servo control of the objective lens 14 is realized by the cooperation of the focus error signal generation circuit 84, the focus servo control circuit 85, and the drive circuit 86.
  • An ND filter is placed on the optical axis of the laser beam reflected by the beam splitter 47.
  • a two-dimensional position sensor (PSD) 93 is provided via 91 and a convex lens 92.
  • the ND filter 91 like the ND filters 71, 61 described above, is an optical filter for appropriately setting the amount of incident laser light.
  • the convex lens 92 is an optical lens that focuses incident laser light on a two-dimensional position sensor (PSD) 93.
  • the two-dimensional position sensor (PSD) 93 is a device that detects the center of gravity of the two-dimensional received light amount using the surface resistance of the photodiode, and is disposed at the condensing position of the convex lens 92, and is provided by the convex lens 92.
  • a light receiving signal indicating the position of the center of gravity of the point image formed on the three-dimensional position sensor (PSD) 93 is output to the position calculating circuit 94.
  • the position represented by the received light signal is within a plane orthogonal to the optical axis of the laser light reflected by the beam splitter 47 (that is, the laser light equivalent to the laser light incident on the shirt square Hartmann sensor 60).
  • Position ie, the deviation between the optical axis of the shirt Hartmann sensor 60 and the optical axis of the laser beam emitted from the objective lens 14 in the plane of the X-Y axis is shown on the two-dimensional position sensor (PSD) 93. It is a projection.
  • the position calculation circuit 94 uses the light receiving signal output from the two-dimensional position sensor (PSD) 93 to calculate the center position of the light receiving range in which the shirt Quartman sensor 60 can receive laser light and the shirt Quartman.
  • the displacement of the laser beam incident on the sensor 60 with respect to the position of the optical axis is calculated in the X-Y-axis plane, and the X-direction error signal and the Y-direction error signal, which represent the same displacement, are calculated as X-Y Output to the directional servo control circuit 95.
  • the X—Y direction support control circuit 95 is controlled by a controller 100 described later to generate an X direction support signal and a Y direction servo signal based on the X direction error signal and the Y direction error signal. Then, the signals are output to the drive circuits 96 and 97, respectively.
  • the drive circuit 96 displaces the collimating lens 41 in the illustrated X-axis direction by controlling the driving of the collimating lens factory 44 for the collimating lens in accordance with the X-direction servo signal. .
  • the drive circuit 97 drives and controls the track function 16 built in the optical pickup 10 to be adjusted in response to the Y-direction servo signal, thereby displacing the objective lens 14 in the Y-axis direction in the figure. Let it.
  • the position calculation circuit 94, the X-Y direction servo control circuit 95, Two-way servo control of the collimating lens 41 in the illustrated X-axis direction and the objective lens 14 in the illustrated Y-axis direction is realized by the cooperation of the drive circuits 96 and 97.
  • the collimating lens factory 44 is used to displace the optical axis of the laser beam emitted from the objective lens 14 in the X-axis direction via the simulation member 31.
  • the controller 100 includes a CPU, a ROM, a RAM, and the like. In response to an instruction from the input device 101, the image generating device 64, the focus servo control circuit 85, the X-Y direction servo control circuit It controls the operation of 95 and the laser drive circuit 102, respectively.
  • the input device 101 includes a plurality of push-button switches, and includes an image generation device 64, a focus support control circuit 85, an XY direction support control circuit 95, and a laser drive circuit 102. Instruct the start of each operation.
  • the laser drive circuit 102 controls the operation of the laser light source 11 of the optical pickup 10 and the laser light source 51 of the autocollimator 50 in response to an instruction from the controller 100.
  • the stage 21 and the simulation member 31 of the optical pickup support device 20 need to be calibrated in advance. .
  • the angle calibration process of the stage 21 of the optical pickup support device 20 will be described.
  • the operator sets the angle calibration jig 110 on the stage 21 of the optical pickup supporting device 20.
  • the angle calibration jig 110 has a plane mirror portion 112 provided on a base 111 made of a rectangular flat plate member.
  • the pair of support portions 23a and 23b of the stage 21 described above is composed of two shafts, and is provided on the bottom surface of the base 111.
  • a pair of mounting portions 113a and 113b consisting of two parallel grooves are placed on the same shaft and set on the stage 21.
  • Plane mirror — Section 1 1 2 is a reflection member used for angle calibration of stage 21, and with base 11 1 placed on stage 21, the normal of the reflection surface is The angle is calibrated so that it is parallel to the optical axis of the lens 60.
  • the optical axis of the laser beam emitted from the optical pickup 10 fixed on the stage 21 becomes parallel to the optical axis of the Shack-Hartman sensor 60.
  • the operator starts the operation of the optical pickup adjusting device including the controller 100 by turning on a power switch (not shown).
  • the operator rotates the holding plate 32 by operating the operator 35 of the simulated member support device 30 so that the simulated member 31 of the holding plate 32 is not attached to one through-hole.
  • the hole (opening) is positioned on the optical axis of the laser beam emitted from the photocollimator 50. This is because the laser beam emitted from the autocollimator 50 is irradiated on the plane mirror section 112 without passing through the simulation member 3′1, thereby preventing reflected light from the simulation member 31 from being generated. is there.
  • the optical axis of the laser beam emitted from the autocollimator 50 is set in advance so as to coincide with the optical axis of the shirt Quartman sensor 60 via the beam splitter 43.
  • the collimating lens 41 is positioned outside the optical path of the ray I light emitted from the autocollimator 50. And move it. This is because the laser light emitted from the auto collimator 50 has already been converted into a parallel light beam by the collimating lens 52 built in the auto collimator 50.
  • the operator operates the input device 101 to instruct the controller 100 to emit laser light from the auto collimator 50.
  • the controller 100 instructs the laser drive circuit 102 to start operating the laser light source 51 in the autocollimator 50.
  • the auto collimator 50 converts the laser light emitted from the laser light source 51 through the collimating lens 52 and the beam splitter 53 into a flat plate mounted on the optical pickup supporting device 20. Light is emitted toward the plane mirror section 1 1 2.
  • the laser light emitted from the auto collimator 50 passes through a single through-hole (opening) to which the beam splitter 43 and the simulated member 31 of the holding plate 32 are not attached, and the flat mirror is formed. Partially irradiated to 1 1 and 2.
  • the laser beam applied to the plane mirror section 112 is reflected by the reflection surface of the plane mirror section 112, and the simulated member 31 of the holding plate 32 is not attached again.
  • the light passes through one through hole (opening) and the beam splitter 43 and enters the photo collimator 50.
  • the reflected light incident on the auto collimator 50 enters the condenser lens 54 via the beam splitter 53, and the condenser lens 54 forms the incident reflected light on the CCD image sensor 55.
  • a video signal representing the reflected light imaged on the CCD image pickup device 55 is input to a monitor device 56, which displays the angle of the reflected light on the XY plane as a point image. I do.
  • the operator operates the optical pickup support device 20 based on the display of the monitor device 56 so that the position of the point image is located at the intersection of the cross-shaped scale displayed on the monitor device 56.
  • the tilts of the stage 21 in the illustrated 0 y rotation direction are adjusted by operating the operators 27 and 28 for adjusting the illustrated 0 x and 0 y rotation directions.
  • the rotation directions of 0x and 0 are set to around the Y axis.
  • the rotation directions of 0x and 0y are not limited to this, and exist in the XY plane and are orthogonal to each other. As long as the rotation direction is around the axis, the rotation direction may be around the other two axes.
  • a pair of support portions 23a and 23b (two shafts) of the stage 21 of the optical pickup support device 20 are arranged with respect to the optical axis of the laser light emitted from the autocollimator 50.
  • the inclination of stage 21 is adjusted so that the upper bus is vertical.
  • the operator operates the input device 101 to stop the emission of the laser beam from the autocollimator 50 and removes the angle calibration jig 110 from the stage 21. .
  • the angle calibration process of the stage 21 of the optical pickup supporting device 20 is completed.
  • the stage 21 It is possible to easily adjust the tilt in the illustrated 0x, 0y rotation direction.
  • the angle calibration step of the simulation member 31 will be described.
  • the laser beam emitted from the auto collimator 50 is reflected by the simulation member 31, and the position of the reflected light is displayed on the monitor device 56 to display the simulation member 31.
  • This is to adjust the inclination of.
  • the operator rotates the holding plate 32 by operating the operator 35 of the simulated member support device 30, and the plurality of simulated members attached to the holding plate 32.
  • One of the simulated members 3 1 It is positioned on the optical axis of the laser beam emitted from one collimator 50.
  • one simulating member 31 selected from the plurality of simulating members 31 is a simulating member 3 having optical characteristics corresponding to an optical disk in which the optical pickup 10 adjusted by the optical pickup adjusting device is used. Is one.
  • the operator operates the input device 101 to instruct the controller 100 to emit laser light from the auto collimator 50.
  • the autocollimator 50 emits a laser beam in the same manner as in the angle calibration step of the stage 21 of the optical pickup supporting device 20.
  • the laser light emitted from the autocollimator 50 is irradiated on the simulation member 31 via the beam splitter 43.
  • a part of the laser beam applied to the simulated member 31 is transmitted through the simulated member 31, and another part is reflected by the simulated member 31, and is again returned to the autocollimator 5 through the beam splitter 43.
  • the collimating lens 41 is located outside the optical path of the laser beam emitted from the auto collimator 50.
  • the laser beam transmitted through the simulation member 31 is irradiated on the stage 21 of the optical pickup supporting device 20. However, since no flat mirror or the optical pickup 10 exists on the stage 21, There is no reflected light from.
  • the auto collimator 50 causes the monitor device 56 to display the angle of the reflected light in the 0-0 direction as a point image based on the received reflected light.
  • the operator operates the simulation member holder 30 so that the position of the point image is located at the intersection of the cross scale displayed on the monitor device 56 based on the display of the monitor device 56.
  • the inclination of the holding plate 32 that is, the simulation member 31 in the illustrated rotation directions of 0x and 0y is adjusted. Thereby, the inclination of the simulation member 31 is adjusted such that the optical axis of the laser beam emitted from the autocollimator 50 is perpendicular to the simulation member 31.
  • the operator operates the input device 101 to stop the emission of the laser beam from the autocollimator 50.
  • the angle calibration process of the simulation member 31 is completed. Note that the angle calibration process of the simulation member 31 may be performed as a pre-process of the angle calibration process of the stage 21 of the optical pickup support device 20 described above.
  • Optical pickup position The position adjustment step is performed so that the optical axis of the laser light emitted from the optical pickup 10 is positioned at the center of the light receiving range where the shirt Quartman sensor 60 can receive the laser light.
  • the focal position of the laser beam emitted from the optical pickup 10 accurately captures the laser beam into the shirt Quartman sensor 60 via the simulation member 31.
  • the position of the optical pickup 10 in the illustrated Z-axis direction is adjusted so as to be located at the position. Specifically, it is a point located below the collimating lens 41 (that is, an ideal on-axis object point for minimizing the aberration of the collimating lens 41).
  • an operator places and fixes an optical pickup 10 to be adjusted in the optical pickup adjusting device on a stage 21 of an optical pickup support device 20.
  • a low-magnification collimating lens 41 is set in a collimating lens moving mechanism (not shown) provided in the optical pickup adjustment device, and the collimating lens is operated by operating the collimating lens moving mechanism. 41 is moved so as to be positioned on the optical path of the laser light emitted from the optical pickup 10.
  • the reason why the low-magnification collimating lens 41 is used is to make it easier for the laser light emitted from the optical pickup 10 to enter a light receiving range of a spot analyzer 70 described later.
  • a laser drive circuit 102 is connected to the laser light source 11 of the optical pickup 10, and a focus actuator 15 and a track actuator 16 are connected to the drive circuits 86, 96. Connect to each.
  • the operator operates the input device 101 to instruct the controller 100 to emit laser light from the optical pickup 10.
  • the controller 100 instructs the laser drive circuit 102 to start the operation of the laser light source 11 in the optical pickup 10.
  • the optical pickup 10 directs the laser light emitted from the laser light source 11 toward the simulation member 31 via the collimating lens 12, the rising mirror 13 and the objective lens 14. Emit one light.
  • the laser light emitted from the optical pickup 10 passes through the simulated member 31, the collimating lens 41, and the beam splitters 43, 45, 46, and 47, respectively, and the spot analyzers 70 and 4 respectively.
  • PSD 2D position detector Sensor
  • the laser beams received by the shirt Quartman sensor 60, the four-segment photodetector 83, and the two-dimensional position sensor (PSD) 93 are the image generator 64, the focus support control circuit, respectively. Since the operation of the 85 and XY direction servo control circuits 95 has been stopped by the controller 100, respectively, the operation is ignored as a result.
  • the spot analyzer 70 focuses the laser light incident from the beam splitter 45 on the CCD image sensor 73 via the ND filter 71 and the condenser lens 72.
  • the CCD image sensor 73 outputs a video signal corresponding to the condensed laser light to the monitor device 74, and the monitor device 74 outputs the laser light in the illustrated XY coordinate plane based on the video signal. Is displayed as a point image.
  • the focal position of the objective lens 14 is a position where the laser beam is accurately taken into the shirt hearthman sensor 60 via the simulation member 31, that is, a point located below the collimating lens 41 (that is, a collimating lens).
  • the operator first adjusts the position of the optical pickup 10 so that the focal position of the objective lens 14 is located at a point located below the collimating lens 41. Specifically, while checking the display on the monitor 74, the operator adjusts the optical pickup support device 20 in the illustrated Z-axis direction so that the unclear image becomes a clear and minimal point image. The operator 26 is operated to adjust the position of the stage 21 in the illustrated Z-axis direction. Accordingly, the point where the focal position of the objective lens 14 is located below the collimating lens 41 (that is, the point at which the aberration of the Object).
  • the operator operates the optical pickup supporting device 2 so that the position of the point image is located at the intersection of the cross-shaped scale displayed on the monitor device 74.
  • the operator By operating the operators 24 and 25 for adjusting the X and Y axis directions shown in FIG. 0, the position of the stage 21 in the X and Y axis directions shown is adjusted.
  • the operator replaces the low-magnification collimating lens 41 set in the collimating lens moving mechanism with a high-magnification collimating lens 41. set.
  • the operator 26 for adjusting the illustrated Z-axis direction of the optical pickup support device 20 is operated so that the point image is minimized
  • the position adjustment step of the optical pickup ends.
  • the operator can operate the X, Y, and ⁇ ⁇ axis direction adjustment operators 24 to 26 while checking the display on the monitor device 74, thereby obtaining an optical pickup.
  • the position of 10 in the X, ⁇ , ⁇ axis directions can be easily adjusted.
  • the focus lens control start process of the objective lens is a process for accurately and stably controlling the focus lens of the objective lens 14, and is continuously performed from the optical pickup position adjustment process described above. Is what is done.
  • the operator operates the input device 101 to instruct the controller 100 to start the focus support control of the objective lens 14.
  • the controller 100 starts the operation of the focus servo control circuit 85.
  • the laser beam reflected by the beam splitter 46 enters the four-segmented photodetector 83 via the convex lens 81 and the cylindrical lens 82, and the light-receiving parts a, b,
  • the signals are converted into light receiving signals A to D corresponding to the light receiving amounts at c and d, and supplied to the focus error signal generating circuit 84.
  • the focus error signal is generated by the focus error signal generation circuit 84 based on the received light signals A to D.
  • An error signal is generated, and the focus servo control circuit 85 generates a focus servo signal based on the focus error signal and outputs the signal to the drive circuit 86.
  • the drive circuit 86 starts drive control of the objective lens 14 according to the focus support signal.
  • the operator corrects the position of the objective lens 14 in the illustrated X, ⁇ , and Z axis directions while the objective lens 14 is under focus servo control. More specifically, similarly to the above-described optical pickup position adjustment step, the operating members 24 to 26 for adjusting the X, ⁇ , and Z-axis directions of the optical pickup supporting device 20 are operated to operate the optical pickup 10. Correct the position. This is because the objective lens 14 incorporated in the optical pickup 10 is elastically supported by an elastic supporting member made of a wire or the like. Therefore, when the objective lens 14 is not controlled by the focus support, This is because the elasticity of the elasticity indicating member 10 b in the illustrated Z-axis direction is shifted downward from the dynamic neutral position by the weight of the objective lens 14.
  • the position of the optical pickup 10 in the illustrated Z-axis direction is determined and focused by the above-described position adjustment step of the optical pickup.
  • the servo control is started, the objective lens 14 is subjected to focus servo control around a position shifted downward from the neutral position. Therefore, the operator operates the operation member 26 for adjusting the Z-axis direction of the optical pickup supporting device 20 so that the position of the optical pickup 10 in the Z-axis direction is adjusted so that the objective lens 14 is in the neutral position.
  • the focus servo control of the objective lens 14 is performed around the neutral position by displacing the position downward by an amount deviated from the position. In this case, the amount of deviation of the objective lens 14 from the neutral position is measured in advance, and the operator moves the position of the optical pickup 10 in the illustrated Z-axis direction downward as a predetermined value.
  • an annular flat portion is provided on the outer periphery of the objective lens 14, and laser light is irradiated from the autocollimator 50 toward the objective lens 14 including this flat portion. Then, the monitor device 56 displays the reflected light from the flat surface portion.
  • the parallel light beam emitted from the auto-collimator 50 is provided. Is irradiated onto the annular flat surface of the objective lens 14, and the reflected light from this flat surface is received by the autocollimator 50.
  • a point image is displayed on the monitor device 56 in accordance with the inclination angle of the flat portion, and the operator operates the optical pickup supporting device 2 so that the image is at a predetermined position on the monitor device 56. It is also possible to correct the position of the optical pickup 10 in the illustrated Z-axis direction by operating the operator 26 for adjusting the illustrated Z-axis direction in FIG. Such correction of the position of the optical pickup in the illustrated Z-axis direction is particularly effective when the objective lens 14 is supported by the cantilever with respect to the casing 10 a of the optical pickup 10.
  • this condenser lens 48 is used only for the operation of correcting the position of the objective lens 14, the collimator lens moving mechanism (not shown) provided in the optical pick-up adjustment device allows the automatic collimation. It is supported so as to be selectively arranged on or outside the optical path of the laser light emitted from the laser beam at 50. Therefore, when the condenser lens 48 is unnecessary, as shown by the broken line in FIG. 5, the condenser lens 48 should be arranged outside the optical path of the laser beam emitted from the auto collimator 50.
  • the monitoring device connected to the spot analyzer 70 While confirming the above-mentioned point image displayed on 74, the X and Y-axis adjustment operators 24 and 25 of the optical pickup supporting device 20 are operated to operate the X and Y axes of the optical pickup 10. Correct the position in the Y-axis direction. As a result, the focus support control of the objective lens 14 is performed accurately and stably, and the focus servo control start step of the objective lens is completed.
  • the two-direction servo control start step is a step of starting the servo control of the objective lens 14 in the illustrated Y-axis direction and the start of the servo control of the collimating lens 41 in the illustrated X-axis direction. This is performed continuously from the step of starting the focus support control of the objective lens.
  • the operator operates the input device 101 to instruct the controller 100 to start the two-way servo control.
  • the controller 100 starts the operation of the XY direction servo control circuit 95.
  • the laser light reflected by the beam splitter 47 is The light enters the two-dimensional position sensor (PSD) 93 via the 9 1 and the convex lens 9 2, and is converted by the two-dimensional position sensor (PSD) 9 3 into a light receiving signal representing the position of the center of gravity of the corresponding point image, and the position is calculated. Supplied to circuit 94. Then, the position calculation circuit 94 generates an X-direction error signal and a Y-direction error signal based on the received light signal, respectively. The X—Y-direction servo control circuit 95 outputs the X-direction error signal and the Y-direction error signal.
  • An X-direction support signal and a Y-direction support signal are generated based on the direction error signal, and output to the drive circuits 96 and 97, respectively.
  • the drive circuit 97 starts drive control of the objective lens 14 in the illustrated Y direction according to the Y-direction servo signal. Further, the drive circuit 96 starts the drive control of the collimating lens 41 in the illustrated X direction in accordance with the X-direction servo signal. Accordingly, the servo control of the objective lens 14 in the illustrated Y direction is started, the servo control of the collimating lens 41 in the illustrated X direction is started, and the bidirectional support control start process ends. .
  • the operator proceeds to the tilt angle adjustment process of the objective lens.
  • the optical axis of the laser beam emitted from the laser light source 11 of the optical pickup 10 through the collimating lens 12 is parallel to the optical axis of the objective lens 14.
  • This is a step of adjusting the tilt of the objective lens 14, and is performed continuously from the above-described two-direction servo control start step.
  • the operator operates the input device 101 to instruct the controller 100 to start the operation of the image generation device 64.
  • the controller 100 starts the operation of the image generating device 64.
  • the laser light transmitted through the beam splitter 47 enters the shirt Quartman sensor 60.
  • the shirt Hartmann sensor 60 condenses the laser light incident from the beam splitter 47 on the CCD image sensor 63 via the ND filter 61 and the lens array 62. In this case, a plurality of point images are focused on the CCD image sensor 63 by the lens array 62.
  • the CCD image sensor 63 outputs a video signal corresponding to the collected laser light to the image generating device 64, and the image generating device 64 calculates the wavefront of the laser light based on the video signal.
  • three-dimensional image data to be displayed as a three-dimensional image is generated and output to the monitor device 65.
  • the monitor 65 uses the three-dimensional image data to convert the state of the wavefront of the laser light into a three-dimensional image. indicate.
  • the tilt angle adjusting mechanism 18 for adjusting the rotation direction of the objective lens 14 is adjusted by operating the mechanism 17 and the tilt angle adjustment mechanism 18 for adjusting the rotation direction of the objective lens 14. In this case, in the process of adjusting the tilt of the objective lens 14 in the rotation direction shown in FIG.
  • the optical axis of the laser beam emitted from the optical pickup 10 is adjusted to the If the position is out of the light receiving range, the process returns to the above-described optical pickup position adjusting step, and the operations of the respective steps are performed again from the optical pickup position adjusting step. Thereby, the optical axis of the laser light emitted from the laser light source 11 of the optical pickup 10 via the collimating lens 12 becomes parallel to the optical axis of the objective lens 14.
  • the operator When the tilt of the objective lens 14 is adjusted in this way, the operator operates the input device 101 to instruct the controller 100 to the image generation device 64 and the foreground. It instructs the operation of each of the first and second X-Y direction support control circuits 85 and 95 and the laser drive circuit 102 to stop.
  • the controller 100 includes an image generation device 64, a focus support control circuit 85, an XY direction support control circuit 95, and a laser drive circuit 100. Stop each operation of. Then, the operator removes the optical pickup 10 from the stage 21 of the optical pickup supporting device 20, and the tilt adjustment process of the objective lens is completed.
  • the work may be started from the above-described optical pickup position adjustment step.
  • the holding plate 32 is rotated by operating the operator 35 of the simulated member support device 30 to hold the disk.
  • the work may be started from the optical pick-up position adjustment process that has been performed.
  • the laser beam emitted from the pump 10 is received by the shirt Quartman sensor 60 via the objective lens 14 and the simulation member 31 and the wavefront aberration of the laser beam received by the shirt Quartman sensor 60 is measured.
  • the state of the wavefront calculated based on the measured aberration is displayed on the monitor 65.
  • the operator adjusts the tilt of the objective lens 14 while checking the state of the wavefront of the laser light displayed on the monitor device 65. Since the wavefront aberration of the laser light is measured independently of the coherence of the laser light, and the wavefront of the laser light is observed independently of the coherence of the laser light, it is affected by the coherence of the laser light.
  • the tilt of the objective lens 14 can be adjusted without having to do so. Also, since the wavefront aberration of the laser beam can be measured without using a collimating lens 41 having a high numerical aperture, the inclination of the objective lens 14 must be adjusted without being affected by the numerical aperture of the objective lens 14. Can be.
  • the tilt angle of the objective lens 14 is adjusted optimally by the following method.
  • a first simulation member having an optical path length longer by a predetermined optical path length than an optical path length corresponding to an optical path length of an optical disk, and a second simulation member having an optical path length shorter by the predetermined optical path length are sequentially exchanged so that the laser light emitted from the optical pickup 10 is taken into the Shack-Hartmann sensor 60.
  • the aberrations of the wavefront of the laser beam when the first simulating member and the second simulating member are used are calculated respectively, and the calculated aberrations with respect to the aberration when the tilt angle adjustment of the objective lens 14 is completed. Calculate the amount of change in aberration.
  • the tilt angle of the objective lens 14 is optimally adjusted.
  • the simulating member 31 may be rotated 0x in the rotation direction and Z or after the tilt angle adjustment of the objective lens 14 is completed.
  • both aberrations of the wavefront of the laser beam in the forward and reverse tilted state are calculated, respectively, and by confirming the symmetry of the amount of change in the calculated both aberrations. It is also possible to confirm that the tilt angle of the objective lens 14 is adjusted optimally.
  • a plurality of simulated members 31 having different optical characteristics are used.
  • the focus error signal generation circuit 84, the force sensor control circuit 85, and the drive circuit 86 perform focus servo control of the objective lens 14, and the position calculation circuit 94, X —
  • the Y-direction support control circuit 95 and the drive circuits 96 and 977 perform two-direction support control of the objective lens 14 in the illustrated Y-axis direction and the collimating lens 41 in the illustrated X-axis direction. I did it.
  • the focus of the objective lens 14 is always kept at a predetermined focal point. It can be held in position, and the work efficiency can be improved.
  • the image generation device 64 calculates the wavefront aberration of the laser beam based on the video signal output from the shirt Quartman sensor 60, and Although the state of the wavefront calculated based on the calculated wavefront aberration is displayed on the monitor device 65, the present invention is not limited to this.
  • the image generating device 64 For example, based on the video signal output from the shirt Quarttman sensor 60, the image generating device 64 generates a pseudo interference fringe with or without the wavefront of the laser light, Calculate the difference, coma and spherical aberration, respectively, and with the calculated wavefront stereoscopic image or separately from the wavefront stereoscopic image, pseudo interference fringes, laser beam astigmatism, coma aberration and spherical aberration The value may be displayed on the monitor device 65.
  • the adjustment of the stage 21 of the optical pickup support device 20 in the illustrated X, ⁇ , Z axis directions and the illustrated 0x, 0y rotation directions is performed by manually operating the operators 24 to 28 of the moving device 22.
  • the present invention is not limited to this.
  • the same adjustment can be performed by operating the controller 100 via the input device 101.
  • a driving device such as an electric motor is provided in a moving mechanism capable of displacing the stage 21 in three axial directions and rotating around the two axes, respectively.
  • the driving device is configured to be controlled by the controller 100.
  • the operator operates the input device 101 to specify the position of the stage 21 in the X, ⁇ , Z axis directions and the 0y rotation direction.
  • the controller 100 controls the driving of each of the driving devices so that the stage 21 is located at the position indicated by the instruction.
  • the displacement of the stage 21 of the optical pickup supporting device 20 in the illustrated 0x, 0y rotational direction is such that the plates 22 e and 22 f of the moving device 22 of the optical pickup supporting device 20 are formed in an arc shape.
  • the plates 22e, 22f, and 22g of the moving device 22 may be assembled by a link mechanism. Specifically, plates 22 e, 22 f, and 22 g formed in a flat plate shape are stacked via four tension springs 121 and 122 (one each not shown), and each is in a vertical relationship.
  • Plates 22f, 22e and 22e, 22f are connected by four links 123a, 123b, 124a, 124b and links 125a, 125b, 126a, 126b, respectively.
  • Links 123b, 124b, 125b and 126b are not shown because they are mounted on the opposite sides of the respective sides of the plates 22e, 22f and 22g to which the links 123a, 124a, 125a and 126a are mounted.
  • two links 123a (123b), 124a (124b), 125a (125b), and 126a (126b) are respectively attached in a non-parallel state.
  • the link 123a (123b) is installed in a direction parallel to the illustrated Z-axis direction, but the link 124a (124b) is mounted in the illustrated Y-axis direction with respect to the illustrated Z-axis direction. It is installed in an inclined state.
  • the link 125a (125b) is installed in a direction parallel to the illustrated Z-axis direction, but the link 126a (126b) is inclined in the illustrated X-axis direction with respect to the illustrated Z-axis direction. Installed in state.
  • the plate 22e can be displaced in the rotation direction of the link 126a (126b) with the link 125a (125b) side as a fulcrum
  • the plate 22f can be displaced in the link 123a (123b) side.
  • the link 124a (124b) side can be displaced in the rotation direction in FIG.
  • the plates 22 e and 22 f are always urged downward by the tension springs 121 and 122.
  • cylindrical cam followers 127a and 127b are rotatably mounted at the center of the side surfaces of the plates 22e and 22f on the side displaced in the rotation directions 0y and 0x, respectively.
  • Cams 128a and 128b are in contact with the circumferential surfaces of the cam followers 127a and 127b, respectively.
  • These cams 128a, 128b are connected to motors 129a, 129b via shafts, respectively, and are rotated by the rotation of the motors 129a, 129b, respectively.
  • the motors 129a and 129b are respectively connected to control devices (not shown) (for example, the controller 100), and their rotations are controlled.
  • the cam followers 127a and 127b are pulled downward by the rotational displacement of the cams 128a and 128b due to the rotation of the motors 129a and 129b, and the plates 22e and 22f are pulled. Due to the elastic force of the springs 121 and 122, they are displaced in the rotation directions of 0 y and ⁇ x shown in the drawing. Thus, the operator can displace the stage 21 in the illustrated 0y, 0X rotation directions by operating the control device.
  • the motors 129a and 129b manual controls are attached to the cams 128a and 128b, and the manual operation is performed by the operator as in the above embodiment. 22 e and 22 f, that is, the inclination of the stage 21 may be adjusted. Further, such a moving device 22 can be applied to the simulation member tilt adjusting mechanism of the simulation member support device 20 in the above embodiment.
  • the drive circuit 86 and the drive circuit 97 are connected to the focus function 15 and the track function 16 provided in the optical pickup 10, respectively.
  • the drive circuit 96 is connected to the collimating lens factory 41 provided in the adjustment device of the above, and the focus servo control of the focal position of the objective lens 14 and the shack Hartman sensor 60 are taken in.
  • two-direction servo control in the illustrated X and Y axis directions of the optical axis is performed, the present invention is not limited to this.
  • the stage 21 of the optical pickup supporting device 20 may be controlled individually in the X, ⁇ , and Z axis directions. In this case, as shown by the dashed line in FIG.
  • the stage 21 is shown in the optical pickup support device 20 in the X, ⁇ , and Z axis directions, respectively.
  • Axial actuators 44 and Z-axis actuators 15 are provided.
  • These Y-axis actuators 16 ', X-axis actuators 44, and Z-axis actuators 1 and 4 are provided.
  • Drive circuits 9 7, 9 6, 8 6 ′ are connected to 5 ′, respectively, and focus servo control of the focal position of the objective lens 14 and the optical axis taken into the shirt-Kartman sensor 60 X, Y Two-way servo control in the axial direction is performed.
  • the position calculation circuit 94, the XY direction support control circuit 95 and the drive circuits 96 and 97, the illustrated Y-axis direction and collimating of the objective lens 14 are performed.
  • the two-directional servo control in the illustrated X-axis direction of the lens 41 is performed, but the present invention is not limited to this.
  • the collimating lens 41 in the X-axis direction Servo control can be omitted.
  • a one-dimensional position sensor can be used instead of the two-dimensional position sensor 93, and the position calculation circuit 94 is also a two-dimensional calculation circuit. Can be changed to a one-dimensional calculation circuit.
  • the configuration of the adjustment device for the optical pickup can be simplified.
  • the optical pickup supporting device 20 capable of displacing the stage 21 in the directions of the X, Y, and ⁇ axes shown and the five axes of the 0 and ⁇ y rotational directions is used.
  • the present invention is not limited to this.
  • the inclination of the stage 21 of the optical pickup support device 20 and the inclination of the simulation member 31 are adjusted by using one autocollimator 50.
  • the present invention is not limited to this. It is not done.
  • an autocollimator 50 for adjusting the inclination of the stage 21 of the optical pickup support device 20 and a photocollimator 50 for adjusting the inclination of the simulation member 31 may be provided.
  • the CCD imaging elements 55, 63, and 73 are used as light receiving elements incorporated in the auto collimator 50, the shirt Quartman sensor 60, and the spot analyzer 60.
  • one or more of the CCD image sensors 55, 63, and 73 may be formed of a light receiving element such as a CMOS image sensor.
  • a two-dimensional position sensor PSD may be used instead of the CCD image sensors 55 and 73. In this case, the output of the two-dimensional position sensor (PSD) may be displayed on an oscilloscope.
  • the holding plate 32 holding the plurality of simulation members 31 is formed in a disk shape, and the holding plate 32 is operated by rotating the operation element 35 to form one simulation.
  • the member 31 is arranged on the optical axis of the laser beam emitted from the optical pickup 10, it is not limited to this.
  • the holding plate 32 may be formed in a rectangular shape, and the plurality of simulated members 31 may be held in the longitudinal direction of the rectangular holding plate 32 ′.
  • the holding plate 3 2 ′ is displaced in the longitudinal direction of the holding plate 3 2 ′.
  • a screw feed mechanism in which a screw rod 38b is screwed to a nut 38a fixed to the lower surface of the holding plate 32 is provided.
  • the motor 39 is connected to a control device, for example, a controller 100, and its rotation is controlled.
  • the holding plate 32 is displaced in the axial direction of the screw rod 38 b by the rotation drive of the motor 39, and the one simulated member 31 is irradiated with laser light emitted from the optical pickup 10. It is positioned to be placed on the axis.
  • an operator for manual operation is provided at one end of the screw rod 38b, and by operating the operator, one simulation member 31 is emitted from the optical pickup 10. May be arranged on the optical axis of the laser beam.
  • the holding plate 32 is provided with a plurality of through holes, and the simulation member 31 is attached to the through holes.
  • the present invention is not limited to this.
  • a plurality of notches may be provided on the outer periphery along the circumferential direction of the holding plate 32, and the simulation member 31 may be attached to these notches.
  • the holding plate 32 is rotatably supported by the support portion 33a of the simulation member supporting device 30.
  • the present invention is not limited to this.
  • the holding plate 32 may be detachably supported by the support portion 33a of the simulation member supporting device 30.
  • an interferometer 130 is provided in place of the shirt Quartman sensor 60, and an image generation device 64 is provided.
  • the image generation device 140 It should be noted that a focus error signal generation circuit 84, a focus servo control circuit 85, and a drive circuit 86 for controlling the focus lens of the objective lens 14 are provided.
  • the configuration may be the same as the form.
  • the interferometer 130 includes a half mirror 131a, 131b, a mirror 132a, 132b, a convex lens 133, 134, 135, 136, a pinhole 137, and a CCD image sensor 138, and the beam splitters 45, 46, This is a measuring instrument that measures the interference fringes generated by the optical path difference after guiding the laser light incident through the optical path 47 to two different optical paths, respectively.
  • the half mirror 131a is an optical element that transmits part of the incident laser light in the same direction as the incident direction and reflects another part in the direction perpendicular to the incident direction.
  • a mirror 132a, a convex lens 133, a pinhole 137, a convex lens 134, and a half mirror 131b are provided on the optical axis of the laser beam transmitted through the half mirror 131a.
  • the mirror 132a is a reflector that totally reflects the incident laser light in a direction perpendicular to the incident direction.
  • the convex lens 133 is a condenser lens that focuses the laser beam reflected by the mirror 132a on a pinhole 137.
  • the pinhole 137 is a small hole (4 to 20 m) provided in the center of the plate surface formed in a flat plate shape. The pinhole 137 condenses the laser light emitted from the convex lens 133 and collects the laser light.
  • the convex lens 134 is a relay lens for guiding the laser beam transmitted through the pinhole 137 to the CCD image sensor 138 as reference light via the half mirror 131b.
  • the half-mirror 13 lb reflects the laser light emitted from the convex lens 134 at right angles, guides the laser light to the CCD image sensor 138, and transmits the laser light reflected by a mirror 132b described later to transmit the same CCD image.
  • Optical element leading to element 138 That is, the laser light emitted from the convex lens 134 and the laser light reflected by the mirror 132b are superimposed and guided to the CCD image sensor 138.
  • a convex lens 135 as a capacitor lens, a convex lens 136 as a relay lens, a mirror 132b, and a half mirror 131b are provided on the optical axis of the laser beam reflected by the half mirror 131a.
  • the convex lens 135 is an optical lens that guides the laser light reflected by the half mirror 131a.
  • the convex lens 136 receives the laser light once condensed by the convex lens 135, and transmits the laser light through the mirror 132b and the half mirror 131b to the CCD image sensor. This is a relay lens for guiding the light to be measured on 1 38.
  • the mirror 132b is a reflector that totally reflects the incident laser light in a direction perpendicular to the incident direction, similarly to the mirror 132a. That is, the laser light reflected by the half mirror 131a is guided to the CCD image pickup device 138 without removing its aberration.
  • the CCD imager 1338 is an imager that captures interference fringes by superimposing two light beams converted into collimated light beams by the convex lenses 1334 and 1336 by a half mirror 13lb.
  • the interference fringe imaged by the CCD image sensor 1338 is obtained by superimposing the laser light from which the aberration has been removed by the pinhole 1337 and the laser light from which the aberration has not been removed without passing through the pinhole 133.
  • the interference fringes captured by the CCD image sensor 138 that is, the video signal, are supplied to the image generator 140.
  • the I-image generator 140 is controlled by the controller 100 and analyzes the interference fringes of the laser beam based on the video signal output from the CCD image sensor 138 to analyze the amount of aberration and the like. It is a device that calculates results and generates stereoscopic image data of the wavefront.
  • the analysis result calculated by the image generating apparatus 140 and the generated image data are output to a monitor 65 together with a video signal, and the monitor 65 generates interference fringes of the laser light and a wavefront of the laser light.
  • the stereoscopic image and the analysis result are displayed.
  • the operator When using the optical pickup adjustment device using the interferometer 130 as such an observation device, the operator performs the operation up to the inclination adjustment process of the objective lens in the same procedure as in the above embodiment. Then, in the tilt angle adjustment step of the objective lens, the operator checks the state of the interference fringes of the laser light displayed on the monitor device 65, the three-dimensional image of the wavefront of the generated laser light, and the displayed aberration, Operate the tilt adjustment mechanism 17 for adjusting the X rotation direction and the tilt adjustment mechanism 18 for adjusting the Y rotation direction of the optical pickup 10 so that the interference fringes are within the specified standard. Then, the tilt of the objective lens 14 in the illustrated 0x, ⁇ y rotation direction is adjusted.
  • a simulation member 31 having necessary optical characteristics is selected from a plurality of simulation members 31 having different optical characteristics. Can be instantly placed on the optical axis of the laser beam emitted from the optical pickup 10 and the autocollimator 50, improving work efficiency. Can be improved.
  • a simulation such as the angle calibration process of the stage 21 of the optical pickup supporting device 20 is performed. Even when the member 31 is not required, it can respond quickly.
  • the inclination of the holding plate that is, the simulated member 31 in the display 0x, 0y rotation direction
  • the inclination of the holding plate that is, the simulated member 31 in the display 0x, 0y rotation direction
  • Rate can be improved.
  • the focus error signal generation circuit 84, the focus servo control circuit 85, and the drive circuit 86 control the objective lens 14 in focus servo, the position calculation circuit 94, and the X—Y direction support.
  • the two-directional support control of the objective lens 14 and the illustrated Y-axis direction of the objective lens 14 and the collimating lens 41 in the illustrated X-axis direction is performed by the one-point control circuit 95 and the drive circuits 96 and 977. .
  • the objective lens 14 is always emitted from the objective lens 14 even if the position of the objective lens changes due to the position adjustment of the objective lens 14 in the rotation directions of 0x and ⁇ y in the drawing.
  • the point image of the laser beam can be held at a predetermined position, and the working efficiency can be improved.
  • a spot analyzer 70 ′ is arranged in place of the shirt Quarttman sensor 60, and an image generation device 65 Instead of this, an image generation device 150 is arranged.
  • the spot analyzer 70 in FIG. 1 can be shared by the spot analyzer 70 ′, the spot analyzer 70 and the monitor device 74 are unnecessary. Therefore, a convex lens 81, a cylindrical lens 82, and a four-segment photodetector 83 are provided on the optical axis of the laser beam transmitted through the beam splitter 45, and the four-segment photodetector 83 has a focus.
  • the error signal generation circuit 84 is connected.
  • An ND filter 91, a convex lens 92, and a two-dimensional position sensor 93 are provided on the optical axis of the laser beam reflected by the beam splitter 46, and a two-dimensional position sensor is provided.
  • the position sensor 93 is connected to a position calculation circuit 94.
  • a spot analyzer 70 ′ is provided on the optical axis of the laser beam transmitted through the beam splitter 46, and an image generator 150 is connected to the spot analyzer 70 ′. ing.
  • the spot analyzer 70 ′ has the same configuration as the spot analyzer 70 in the above embodiment, and a description thereof will be omitted. That is, the ND filter 71 corresponds to the ND filter 7 1 ′, the condenser lens 72 corresponds to the condenser lens 7 2 ′, and the CCD image sensor 73 has the CCD image sensor 73 3 ′. It corresponds to.
  • the image generating device 150 is controlled by the controller 100 and uses the video signal output from the CCD image sensor 138 to change the spot shape of the laser beam to the 0th-order light image and the 1st-order diffracted light. This is a device for generating an image data to be displayed as a ring-shaped image according to.
  • the image data generated by the image generating device 150 is output to a monitor device 65, and the monitor device 65 changes the spot shape of the laser beam into a ring shape by the zero-order light image and the first-order diffracted light. Displayed as an image.
  • the operator When using the optical pickup adjustment device using the spot analyzer 70 'as such an observation device, the operator performs the operation up to the objective lens tilt angle adjustment process in the same procedure as in the above embodiment. Then, in the step of adjusting the tilt angle of the objective lens, the operator checks the 0-order light image and the ring image of the laser light displayed on the monitor device 65 while the 0-order light image and the ring image have predetermined shapes. As described above, the tilt angle adjusting mechanism 17 for adjusting the X rotation direction and the tilt angle adjusting mechanism 18 for adjusting the rotation direction of the optical pickup 10 shown in FIG. y Adjust the tilt in the rotation direction.
  • one of the plurality of simulated members 31 is also used.
  • One through-hole (opening) that does not have the simulated member 31 in addition to the plurality of simulated members 31, controls the focus of the objective lens 14, and controls the focus of the objective lens 14.
  • Illustrated X-axis direction and collimating lens 41 Illustrated 2-axis direction servo control in the Y-axis direction improves the tilt adjustment accuracy of the objective lens and improves work efficiency
  • a heart man constituted by a plurality of circular apertures and an image sensor arranged at the focal position of the convex lens and the convex lens is used.
  • a sensor may be used as an observation device.

Landscapes

  • Optical Head (AREA)
  • Moving Of The Head For Recording And Reproducing By Optical Means (AREA)
  • Optical Recording Or Reproduction (AREA)

Abstract

光ピックアップの調整装置は、フォーカスエラー信号生成回路84、フォーカスサーボ制御回路85およびドライブ回路86により、シャックハートマンセンサ60に入射するレーザ光の一部を用いて対物レンズ14をフォーカスサーボ制御する。また、光ピックアップの調整装置は、位置計算回路94、X-Y方向サーボ制御回路95およびドライブ回路96,97により、シャックハートマンセンサ60に入射するレーザ光の一部を用いて対物レンズ14の図示X軸方向およびコリメーティングレンズ41の図示Y軸方向の2方向サーボ制御する。

Description

光ピックアツプの調整装置および調整方法 技 術 分 野
本発明は、 光ピックアップに搭載される対物レンズの傾きを調整するために利 用される光ピックアツプの調整装置および対物レンズの傾きを調整する光ピック アップの調整方法に関する。
明
背 景 技 術
光ピックアップは、 光ディスク装置などに組み込まれ、 光ディスクなどの記録 媒体 （以下、 単に 「光ディスク」 という） に対して情報の記録または再生を行う ' ものである。 この光ピックアップの組み立て工程において、 理想的には対物レン ズょり出射されるレ一ザ光の光軸に対して光ディスクが垂直な姿勢となるように 調整されている。 これは、 光ディスクに対して垂直にレーザ光を照射することに より、 いわゆるコマ収差の発生を抑えて、 光ディスクに対する情報の記録または 再生の精度の向上を図るものである。 また、 対物レンズを透過したレーザ光に含 まれる非点収差成分を対物レンズを傾けることにより補正し、 光ディスクに対し て情報の記録または再生の精度の向上を図ることも可能である。
この光ピックァップの対物レンズの傾きの調整は、 光ピックアツプの対物レン ズを介して出射されるレーザ光を観測装置によって観測し、 同観測結果に基づい て行われている。 このような光ピックアツプの対物レンズの傾きを調整する工程 に用いられる光ピックアップの調整装置として、 特開平 1 0— 9 1 9 6 8号公報 に示されるような観測装置として干渉計を用いた調整装置がある。 この干渉計を 用いた調整装置においては、 対物レンズを介して光ディスクと等価な光学特性を もつ模擬部材にレーザ光を照射し、 同模擬部材を透過したレーザ光は干渉計に導 かれる。 干渉計内に導かれたレーザ光は、 ビ一ムスプリッ夕により分割され、 異 なる 2つの光路にそれぞれ導かれたのち再び合成されて干渉縞を形成し、 1つの C C D撮像素子により受光される。 この C C D撮像素子からのビデオ信号は、 コ ンピュータ装置に入力される。 コンピュータ装置は、 ビデオ信号から干渉縞デー 夕を作成し、 解析してモニタ上に干渉縞と解析結果を表示する。 そして、 作業者 は、 このモニタ上に表示された干渉縞の本数、 曲がり具合および解析結果に基づ いて、 これらが所定の状態となるように対物レンズの傾きを調整する。
また、 上記干渉計を用いた調整装置とは別の観測装置を用いた光ピックァップ の調整装置として特開 2 0 0 1 - 2 7 3 6 4 3号公報に示されるようなスポット アナライザを用いた調整装置がある。 このスポットアナライザを用いた調整装置 においては、 光ディスクと等価な光学特性をもつ模擬部材上に対物レンズを介し て形成される光スポットを、 スポットアナライザである顕微鏡および C C D撮像 素子により撮像し、 これを 2値化してモニタ上に表示させている。 そして、 作業 者は、 このモニタ上に表示される光スポットの、 0次光画像の真円度および 1次 回折光によるリング状画像の均一性を目視により判断し、 これらが所定の状態と なるように対物レンズの傾きを調整する。
これらのような観測装置を用いた光ピックアツプの調整作業において、 作業者 はモニタ上に表示される観測装置によるレーザ光の観測結果に基づいて光ピック アップ内に設けられている対物レンズの傾きを調整する機構を操作して対物レン ズの傾きを調整する。
しかし、 光ピックアップに搭載されている対物レンズは、 光ピックアップのケ —シングに対して弾性的に支持されているため、 対物レンズの傾き調整を行う際 の僅かな振動によって対物レンズが大きく振動する。 このため、 対物レンズを介 して観測装置に入射するレーザ光が、 前記対物レンズの振動により観測装置の視 野範囲から外れ、 対物レンズの傾き調整作業が中断し作業効率が悪くなるという 問題がある。 発 明 の 開 示
本発明は、 前記問題に対処するためになされたもので、 その目的は、 対物レン ズの傾きを調整する際の振動による影響を抑えて、 光ピックアップの調整作業の 作業効率を向上させることが可能な光ピックアツプの調整装置を提供することに ある。 前記目的を達成するため、 本発明の特徴は、 ハウジングと、 ハウジングに収容 されてレーザ光を出射するレーザ光源と、 ハウジングに収容されて前記出射され たレ一ザ光を平行光束に変換する第 1のコリメ一ティングレンズと、 ハウジング に組み付けられて前記変換されたレーザ光を集光する対物レンズと、 レーザ光に 対する対物レンズの傾角を調整するための傾角調整機構とを有する光ピックアツ プにおける対物レンズの傾角を調整するための光ピックアップの調整装置であつ て、 レーザ光源から出射されて第 1のコリメ一ティングレンズおよび対物レンズ を介したレーザ光を平行光束に変換する第 2のコリメ一ティングレンズと、 第 2 のコリメ一ティングレンズによって平行光束に変換されたレ一ザ光を観測する観 測装置と、 観測装置に入射されるレーザ光の一部を取り出すフォーカス制御用ビ 一ムスプリッ夕と、 フォーカス制御用ビ一ムスプリッタにより取り出されたレー ザ光を受光するフォーカス制御用受光素子と、 フォーカス制御用受光素子による レーザ光の受光に基づいて、 対物レンズによるレーザ光の焦点位置と観測装置に レーザ光を的確に入射させるための焦点位置とのずれをなくすように、 対物レン ズによるレ一ザ光の焦点位置をフォーカスサーボ制御するフォーカスサ一ポ制御 回路とを備えたことにある。
この場合、 フォーカスサ一ポ制御回路を、 例えば、 フォーカス制御用受光素子 によるレーザ光の受光に基づいて対物レンズによるレ一ザ光の焦点位置と観測装 置にレ一ザ光を的確に入射させるための焦点位置とのずれを検出して、 同検出結 果により光ピックアップに内蔵されているフォーカスァクチユエ一夕を駆動制御 するようにしてもよい。 また、 光ピックアップを支持するとともに、 同光ピック アップを対物レンズの光軸方向に変位させるァクチユエ一夕を含む支持装置を備 え、 フォーカスサーポ制御回路は、 フォーカス制御用受光素子によるレーザ光の 受光に基づいて対物レンズによるレーザ光の焦点位置と観測装置にレーザ光を的 確に入射させるための焦点位置とのずれを検出して、 同検出結果により支持装置 内のァクチユエ一夕を駆動制御するようにしてもよい。
このように構成した本発明の特徴によれば、 対物レンズによるレーザ光の焦点 位置と観測装置にレーザ光を的確に入射させるための焦点位置とのずれに基づい て、 対物レンズをフォーカスサーポ制御できるため、 観測装置にレーザ光を的確 に入射させることができるとともに、 対物レンズの傾き調整を安定的に行うこと ができる。
また、 本発明の他の特徴は、 前記と同様に構成した光ピックアップにおける対 物レンズの傾角を調整するための光ピックアップの調整装置であって、 レーザ光 源から出射されて第 1のコリメ一ティングレンズおよび対物レンズを介したレー ザ光を平行光束に変換する第 2のコリメ一ティングレンズと、 第 2のコリメーテ ィングレンズによって平行光束に変換されたレーザ光を観測する観測装置と、 観 測装置に入射されるレーザ光の一部を取り出す光軸制御用ビ一ムスプリッ夕と、 光軸制御用ビームスプリッタにより取り出されたレーザ光を受光する光軸制御用 受光素子と、 光軸制御用受光素子によるレーザ光の受光に基づいて、 観測装置に 取り込まれるレーザ光の光軸と観測装置の光軸とのずれをなくすように、 観測装 置に取り込まれるレーザ光の光軸を同光軸と直交する 1方向にサーポ制御する 1 方向サ一ポ制御回路とを備えたことにある。
この場合、 前記光ピックアップは、 対物レンズをレーザ光の光軸と直交する平 面内の 1方向に駆動するトラッキングァクチユエ一夕を有しており、 1方向サ一 ポ制御回路は、 光軸制御用受光素子によるレーザ光の受光に基づいて観測装置に 取り込まれるレーザ光の光軸と観測装置の光軸とのずれを検出して、 同検出結果 によりトラッキングァクチユエ一夕を駆動するようにするとよい。 また、 光ピッ クアツプを支持するとともに、 同光ピックアツプを前記光軸に直交する平面内の 1方向に変位させるァクチユエ一夕を含む支持装置を備え、 1方向サ一ポ制御回 路は、 光軸制御用受光素子によるレーザ光の受光に基づいて観測装置に取り込ま れるレーザ光の光軸と観測装置の光軸とのずれを検出して、 同検出結果により支 持装置内のァクチユエ一夕を駆動制御するようにしてもよい。
このように構成した本発明の他の特徴によれば、 観測装置に取り込まれるレー ザ光の光軸と観測装置の光軸とのずれに基づいて、 対物レンズをレーザ光の光軸 と直交する平面内の前記 1方向においてサ一ポ制御することができる。 これによ り、 観測装置に入射するレーザ光を同平面内における所定の位置に保持すること ができるため、 精度よくレーザ光を観測できるとともに、 対物レンズの傾きを安 定的に行うことができる。 さらに、 本発明の他の特徴は、 前記と同様に構成した光ピックアップにおける 対物レンズの傾角を調整するための光ピックァップの調整装置であって、 レーザ 光源から出射されて第 1のコリメ一ティングレンズおよび対物レンズを介したレ 一ザ光を平行光束に変換する第 2のコリメ一ティングレンズと、 第 2のコリメ一 ティングレンズによって平行光束に変換されたレーザ光を観測する観測装置と、 観測装置に入射されるレーザ光の一部を取り出す光軸制御用ビームスプリツ夕と、 光軸制御用ビームスプリッタにより取り出されたレーザ光を受光する光軸制御用 受光素子と、 光軸制御用受光素子によるレーザ光の受光に基づいて、 観測装置に 取り込まれるレーザ光の光軸と観測装置の光軸とのずれをなくすように、 観測装 置に取り込まれるレーザ光の光軸を同光軸と直交する 2方向にサ一ポ制御する 2 方向サーポ制御回路とを備えたことにある。
この場合、 レーザ光の光軸と直交する平面内に属し光ピックアップに内蔵され るトラッキングァクチユエ一夕とは異なる方向に第 2のコリメ一ティングレンズ を駆動するコリメ一ティングァクチユエ一夕を備え、 2方向サーポ制御回路は、 光軸制御用受光素子によるレ一ザ光の受光に基づいて観測装置に取り込まれるレ —ザ光の光軸と観測装置の光軸とのずれを検出して、 同検出結果によりトラツキ ングァクチユエ一タおよびコリメ一ティングァクチユエ一夕とを駆動するように するとよい。 また、 光ピックアップを支持するとともに、 同光ピックアップを前 記光軸に直交する平面内の異なる 2方向にそれぞれ変位させる 2つのァクチユエ 一夕を含む支持装置を備え、 2方向サーポ制御回路は、 光軸制御用受光素子によ るレーザ光の受光に基づいて観測装置に取り込まれるレーザ光の光軸と観測装置 の光軸とのずれを検出して、 同検出結果により支持装置内の 2つのァクチユエ一 夕をそれぞれ駆動制御するようにしてもよい。
このように構成した本発明の他の特徴によれば、 観測装置に取り込まれるレー ザ光の光軸と観測装置の光軸とのずれに基づいて、 対物レンズをレーザ光の光軸 と直交する平面内の前記一方向においてサーポ制御するとともに、 第 2のコリメ —ティングレンズをレーザ光の光軸と直交する平面内の異なる方向にサ一ポ制御 する。 よって 2方向にサーポ制御できる。 これにより、 観測装置に入射するレー ザ光を同平面内における所定の位置により安定的に保持することができるため、 さらに精度よくレーザ光を観測できるとともに、 対物レンズの傾き調整を安定的 に行うことができる。
また、 本発明は装置の発明として実施できるばかりでなく、 方法の発明として も実施できるものである。 図 面 の 簡 単 な 説 明
図 1は、 本発明の一実施形態に係る光ピックアツプの調整装置の全体を概略的 に示すブロック図である。
図 2は、 図 1の光ピックァップの調整装置に用いられる光ピックァップを示す 斜視図である。
図 3は、 図 1の光ピックァップの調整装置に用いられる光ピックアツプ支持装 置を示す斜視図である。
図 4は、 図 1の光ピックァップの調整装置に用いられる模擬部材支持装置を示 す斜視図である。
図 5は、 図 1の光ピックアップの調整装置に角度校正治具を配した状態を概略 的に示すブロック図である。
図 6は、 図 1の光ピックァップの調整装置用いられる角度校正治具を示す斜視 図である。
図 7は、 図 2の光ピックァップ支持装置に角度校正治具を配した状態を示す斜 視図である。
図 8は、 光ピックァップ支持装置の他の例を示す斜視図である。
図 9は、 模擬部材支持装置の他の例を示す斜視図である。
図 1 0は、 本発明の他の実施形態に係る光ピックアップの調整装置の全体を概 略的に示すプロック図である。
図 1 1は、 本発明の他の実施形態に係る光ピックアップの調整装置の全体を概 略的に示すプロック図である。
発明を実施するための最良の形態 以下、 本発明に係る光ピックアップの調整装置の一実施形態を図面を参照しな がら説明する。 図 1は、 光ピックアップに搭載される対物レンズの傾きを調整す るために利用される光ピックアップの調整装置の全体概略図である。 この調整装 置は、 光ピックアップ 1 0を載置する光ピックアップ支持装置 2 0と、 光ピック アップ 1 0の上方に配置される模擬部材 3 1を支持する模擬部材支持装置 3 0と を備えている。
光ピックアップ 1 0は、 C D， D VDなどの光ディスクに記録されている信号 を再生し、 および/または、 同光ディスクに信号を記録するものであり、 本発明 に係る光ピックアップの調整装置による調整対象である。 この調整対象である光 ピックアップ 1 0について簡単に説明しておくと、 同光ピックアップ 1 0は、 ケ 一シング 1 0 aにそれぞれ組み付けられたレーザ光源 1 1、 コリメ一ティングレ ンズ 1 2、 立上ミラ一 1 3および対物レンズ 1 4などから構成されている。 レー ザ光源 1 1は、 後述するレーザ駆動回路 1 0 2に制御されてレ一ザ光を出射する。 レーザ光源 1 1から出射されたレーザ光は、 コリメ一ティングレンズ 1 2により 平行光束にされた後、 立上ミラー 1 3により反射されて対物レンズ 1 4に向けて 進行し、 対物レンズ 1 4により焦点を結ぶ。 この対物レンズ 1 4は、 ケーシング 1 0 aに対して弾性支持部材 1 0 b (例えば、 ワイヤー） により片持梁または両 持梁によつて弾性的に支持されている。
この光ピックアップ 1 0は、 フォーカスァクチユエ一夕 1 5およびトラックァ クチユエ一夕 1 6も備えている。 フォーカスァクチユエ一夕 1 5は、 対物レンズ 1 4をレーザ光の光軸方向、 換言すれば、 この光ピックアップ 1 0が用いられる 光ディスク （図示せず） の板面と垂直方向に微動させて光スポットを光ディスク の記録面に正確に形成させるものである。 フォーカスァクチユエ一夕 1 5は、 こ の光ピックアップの調整装置の作動時には、 対物レンズ 1 4を図示 Z軸方向にお ける所定の位置、 具体的には、 収差が最小となる位置である後述するコリメーテ ィングレンズ 4 1の物点位置に点像が正確に位置するように、 対物レンズ 1 4を 保持するために用いられる。 なお、 この対物レンズ 1 4を保持する位置は、 対物 レンズ 1 4の図示 Z軸方向における弾性支持部材 1 0 bの力学的な中立位置に設 定されている場合もある。 トラックァクチユエ一夕 1 6は、 対物レンズ 1 4を、 この光ピックアップ 1 0 が用いられる光ディスク （図示せず） のトラック方向 （光ディスクの径方向） に 微動させて光スポットを光ディスクのトラックに正確に追従させるものである。 トラックァクチユエ一タ 1 6は、 この光ピックアップの調整装置の作動時には、 対物レンズ 1 4を前記トラック方向、 すなわち図示 Y軸方向における所定の位置 (例えば、 対物レンズ 1 4の図示 Y軸方向における弾性支持部材 1 0 bの力学的 な中立位置） に保持するために用いられる。
また、 この光ピックアップ 1 0は、 傾角調整機構 1 7， 1 8も備えている。 傾 角調整機構 1 7， 1 8は、 レーザ光の光軸に直交する平面、 換言すればこの光ピ ックアップ 1 0が用いられる光ディスク （図示せず） の板面に対して、 対物レン ズ 1 4の傾きを 2軸回りにそれぞれ調整することが可能なネジ機構により構成さ れている。 この光ピックアップの調整装置の作動時には、 図示 X— Y座標平面に 対して X軸および Y軸回り、 すなわち図示 0 x， 0 y回転方向の傾きが調整され る。 なお、 これらの図示 Θ χ， 0 y回転方向は一例を示すものであり、 対物レン ズ 1 4の傾角を調整するための互いに直交する 2つの軸線回りの回転方向であれ ば他の 2つの軸線回りの回転方向であってもよい。 この対物レンズ 1 4の傾きは、 傾角調整機構 1 7 , 1 8をドライバ工具などを用いて操作することにより調整さ れる。 なお、 この光ピックアップ 1 0の底面には、 後述する光ピックアップ支持 装置 2 0にセットされる際に利用される 2つの取り付け部 1 9 a , 1 9 bが設け られている。
このような光ピックアップ 1 0の具体的な一例を図 2に示す。 図中における符 号は前記した光ピックアップ 1 0の説明に対応している。 なお、 前記取り付け部 1 9 aは、 図においては、 ケーシング 1 0 aの外側前面の一角部から水平方向に 突出した 2つの四角柱状に形成されているとともに、 前記取り付け部 1 9 bは、 図においては、 ケ一シング 1 0 aの外側後面の両端から突出した 2つのフランジ 状に形成されている。 また、 コリメ一ティングレンズ 1 2および傾角調整機構 1 8は、 死角によって図示されていない。
光ピックアップ支持装置 2 0は、 前記光ピックアップ 1 0を着脱可能に支持す る支持部であり、 ステージ 2 1および移動装置 2 2から構成されている。 光ピッ クアップ 1 0を支持するステージ 2 1は図を簡略化するために平板状に示されて おり、 同ステージ 2 1には光ピックアップ 1 0を着脱可能な状態で支持する一対 の支持部 2 3 a， 2 3 bが設けられている。 実際には、 図 3に示すように、 光ピ ックアップ 1 0を支持する支持部 2 3 a， 2 3 bは、 直方体状に形成されたステ ージ 2 1の側面から水平方向に延設されており、 これらの支持部 2 3 a , 2 3 b に光ピックアップ 1 0の外側前後面にそれぞれ設けられた取り付け部 1 9 a， 1 9 bを侵入させ、 取り付け部 1 9 a， 1 9 bの両端をクリップなどにより挟み支 持部 2 3 a , 2 3 b上に光ピックアップ 1 0を固定するようになっている。
移動装置 2 2は、 ステージ 2 1を支持するとともに、 同ステージ 2 1を 3軸方 向に変位させ、 かつ 2軸回りに回転させることが可能な移動機構を備えている。 ここで、 前記 3軸方向とは、 図 1に示すように、 各一対が互いに直交する X， Y， Ζ軸方向であり、 前記 2軸回りとは、 図示 X， Υ軸回り、 すなわち 0 x， 0 y回 転方向である。 この移動装置 2 2は、 前記 X， Υ, Z軸方向および 0 x , 0 y回 転方向に移動装置 2 2を手動操作によりそれぞれこの順で変位させることができ る操作子 2 4〜 2 8を備えている。
実際には、 図 3に示すように、 操作子 2 4を回転操作することにより、 プレー ト 2 2 aがプレート 2 2 bに対して図示 X軸方向に摺動するとともに、 操作子 2 5を回転操作することにより、 プレート 2 2 cがプレート 2 2 aに対して図示 Y 軸方向に摺動するようになつている。 また、 操作子 2 6を回転操作することによ り、 プレート 2 2 bがプレート 2 2 dに対して図示 Z軸方向に変位するようにな つている。 さらに、 操作子 2 7を回転操作することにより、 プレート 2 2 eがプ レート 2 2 f に対して図示 0 X回転方向に摺動するとともに、 操作子 2 8を回転 操作することにより、 プレート 2 2 fがプレート 2 2 gに対して図示 0 y回転方 向に摺動するようになつている。 したがって、 これらの各操作子 2 4〜2 8を操 作することによりステージ 2 1、 すなわちステージ 2 1上に支持される光ピック アップ 1 0を、 それぞれ対応する方向に変位させることができる。 なお、 前記 0 X , 0 y回転方向を X, Y軸回りとしたが、 これらの 0 x， 0 y回転方向は、 こ れに限らず X— Y平面に存在し、 かつ互いに直交する 2つの軸線回りの回転方向 であれば、 他の 2つの軸線回りの回転方向であってもよい。 図 1に戻り、 模擬部材支持装置 3 0は、 模擬部材 3 1を保持するとともに、 同 模擬部材 3 1の傾きを調整することが可能な模擬部材傾き調整機構を備えた支持 装置である。 模擬部材 3 1は、 ガラス、 プラスチック等の透明な部材からなり、 光ピックアップ 1 0が用いられる光ディスクの光学特性と等価な光学特性を有す るものである。 一般に、 光ディスクは、 金属薄膜等で形成されたデ一タ記録面の 前面側、 すなわち照射されるレーザ光の光源側に、 同データ記録面をキズまたは 埃等から保護するためのポリカーボネート材からなる透明基板を備えている。 こ のため、 光ディスクに照射されるレーザ光は、 同透明基板を透過してデータ記録 面上に合焦されることになる。
本発明に係る光ピックアップの調整装置は、 実際には、 対物レンズ 1 4から出 射されて、 光ディスクの透明基板を透過したレーザ光の波面と等価なレーザ光を 得るために、 透明基板の厚みおよび屈折率によるレーザ光の波面収差を補正する ための模擬部材 3 1を必要とする。 すなわち、 模擬部材 3 1は、 光ディスクを模 擬するために光ディスクの代わりに配置されるもので、 光ディスクのデータ記録 面上に照射されるレーザ光の波面と等価なレーザ光の波面を得るために光デイス クの基板と等価な性質、 具体的には等価な厚さおよび屈折率、 すなわち光デイス クと等価な光路長を有する。
この模擬部材支持装置 3 0は、 図 4に詳しく示すように、 保持プレート 3 2お よびプレート支持台 3 3から構成されている。 保持プレート 3 2は、 円盤状に形 成されており、 その中央部に設けた貫通孔に回転軸 3 4を貫通させて固定してい る。 この保持プレート 3 2には、 その上面から底面に貫通した複数の貫通孔が、 周方向に沿って略等間隔に設けられている。 これら複数の貫通孔のうちの 1つを 除く他の複数の貫通孔 （例えば 3つの貫通孔） には、 保持プレート 3 2を回転す ることにより模擬部材 3 1が交換可能な状態でそれぞれ取り付けられている。 こ の場合、 複数の模擬部材 3 1 (例えば、 3つの模擬部材 3 1 ) は、 光学特性の異 なる光ディスクの基板に対応して、 それぞれ光学特性の異なる複数種類の模擬部 材となっている。 また、 模擬部材 3 1が取り付けられていない 1つの貫通孔 （す なわち開口部） は、 模擬部材 3 1を用いない工程が存在するために用意されてい る。 プレート支持台 3 3は、 保持プレート 3 2を支持するとともに、 保持プレート 3 2の傾きを調整することが可能な模擬部材傾き調整機構を備えており、 支持部 3 3 a , 3 3 bおよび基部 3 3 cから構成されている。 支持部 3 3 aは、 略 U字 状に形成されており、 水平方向に延設された上下一対のアーム 3 3 a 1 , 3 3 a 2の先端部には、 保持プレート 3 2の回転軸 3 4の両端を、 同回転軸 3 4の軸線 回りに回転可能な状態でそれぞれ支持する。 回転軸 3 4の上端部は、 上側のァー ム 3 3 a 1から突出しており、 同上端部には、 手動操作により保持プレート 3 2 を回転軸 3 4の軸線回りに回転させるための操作子 3 5が設けられている。 支持部 3 3 aにおけるアーム 3 3 a 1， 3 3 a 2の基端部下面は、 支持部 3 3 bの上端部と接し、 支持部 3 3 aと支持部 3 3 bとの接触面の Y軸に直交する断 面形状が X—Z平面にて円弧状となるように成型されている。 また、 支持部 3 3 aと支持部 3 3 bとの接触面の X軸に直交する断面形状が Y— Z平面にて直線状 になるように成形されている。 そして、 支持部 3 3 aの下面は支持部 3 3 bの上 面上に摺動可能に係合しており、 支持部 3 3 aはその下面にて支持部 3 3 bの上 面上に Y軸回りに回転可能に支持されている。 また、 支持部 3 3 bには、 手動操 作により支持部 3 3 aを支持部 3 3 bに対して Y軸回り、 すなわち 0 y方向に回 転させるための操作子 3 6が設けられている。
支持部 3 3 bの下面は、 基部 3 3 cの上端部と接し、 支持部 3 3 bと基部 3 3 cとの接触面の X軸に直交する断面形状が Y— Z平面にて円弧状となるように成 型されている。 また、 支持部 3 3 bと基部 3 3 cとの接触面の Y軸に直交する断 面形状が X— Z平面にて直線状になるように成形されている。 そして、 支持部 3 3 bの下面は基部 3 3 cの上面上に摺動可能に係合しており、 支持部 3 3 bはそ の下面にて基部 3 3 cの上面上に X軸回りに回転可能に支持されている。 また、 基部 3 3 cには、 手動操作により支持部 3 3 bを基部 3 3 cに対して X軸回り、 すなわち 0 X方向に回転させるための操作子 3 7が設けられている。
この光ピックアップの調整装置は、 光ピックアップ支持装置 2 0上に載置固定 される後述する角度校正治具 1 1 0に設けられた平面ミラー部 1 1 2にレーザ光 を照射し、 平面ミラー部 1 1 2での反射光を 1 2波長板 4 2およびビームスプ リツ夕 4 3を介して入射させるォ一トコリメ一夕 5 0も備えている。 ここで 1 / 2波長板 4 2は、 入射したレーザ光の光ピックアップの調整装置内に設けられた ビームスプリッタなどの光学素子の偏光依存性を解消するために設けられている。 ビームスプリツ夕 4 3は、 入射したレーザ光の一部を入射方向と同一方向に透過 させるとともに、 他の一部を入射方向と直角方向に反射させる光学素子である。 オートコリメ一夕 5 0は、 レーザ光源 5 1、 コリメ一ティングレンズ 5 2、 ビ —ムスプリッ夕 5 3、 集光レンズ 5 4および C C D撮像素子 5 5から構成されて おり、 対象物体に向けてレーザ光を照射し、 同対象物体からの反射光を受光して 照射されたレーザ光に対する対象物体の傾きを検出する傾角検出装置である。 レ 一ザ光源 5 1から出射されたレーザ光は、 コリメ一ティングレンズ 5 2およびビ 一ムスプリッタ 5 3を介して、 光ピックアップ支持装置 2 0に向けて照射され、 同光ピックアップ支持装置 2 0からの反射光がビームスプリッタ 5 3、 集光レン ズ 5 4を介して撮像器としての C C D撮像素子 5 5により受光される。 C C D撮 像素子 5 5には、 モニタ装置 5 6が接続されており、 C C D撮像素子 5 5による 受光像がモニタ装置 5 6に表示されるようになっている。 この場合、 モニタ装置 5 6の表示画面には、 このオートコリメ一夕 5 0から光ピックアップ支持装置 2 0に照射されるレーザ光の光軸の方向を交点とする十字状の目盛りが表示されて おり、 ステージ 2 1 (すなわち支持部 2 3 a , 2 3 b ) に取り付けられる後述す る角度校正治具 1 1 0に設けられた平面ミラー部 1 1 2による反射光を C C D撮 像素子 5 5を介してモニタ装置 5 6に表示させることにより、 ステージ 2 1の傾 きを目視することができるようになつている。 なお、 モニタ装置 5 6は、 光ピッ クアップの調整装置の図示しない支持部材により、 作業者の視認し易い位置に固 定されている。 また、 ォ一トコリメ一夕 5 0は、 上記と同様にして対物レンズ 1 4から出射されるレーザ光の光軸に対する模擬部材 3 1の傾きを検出することも できる。
また、 この光ピックアップ調整装置は、 光ピックアップ支持装置 2 0上に載置 固定される光ピックアップ 1 0の対物レンズ 1 4を透過するレ一ザ光を、 前述し た模擬部材 3 1、 コリメ一ティングレンズ 4 1および 1 / 2波長板 4 2を介し、 ビームスプリッタ 4 3で反射させて後述するシャツクハートマンセンサ 6 0、 ス ポットアナライザ 7 0、 4分割フォトディテクタ 8 3および 2次元ポジションセ ンサ （P S D) 9 3に導くようになつている。 ここで、 コリメ一ティングレンズ 4 1は、 入射したレーザ光を平行光束にする光学素子であり、 光ピックアップの 調整装置内に設けた図示しないコリメ一ティングレンズ移動機構により、 前記レ 一ザ光の光路上または光路外に配置されるように支持されている。 このコリメー ティングレンズ 4 1は、 高倍率と低倍率の 2種類のレンズからなり、 使用目的に 応じて一方の倍率のコリメ一ティングレンズ 4 1がコリメ一ティングレンズ移動 機構に交換可能な状態で取り付けられている。 また、 このコリメ一ティングレン ズ 4 1は、 コリメ一ティングレンズァクチユエ一タ 4 4の駆動により、 光ピック アップ 1 0のトラックァクチユエ一夕 1 6の駆動方向と直交する方向、 図 1にお いては X軸方向に変位するようになっている。
ビームスプリッタ 4 3により反射されたレ一ザ光の光軸上には、 ビームスプリ ッタ 4 5， 4 6， 4 7を介してシャツクハートマンセンサ 6 0が設けられている。 ビームスプリッタ 4 5， 4 6， 4 7は、 前述したビ一ムスプリッ夕 4 3と同様に、 入射したレーザ光の一部を入射方向と同一方向にそれぞれ透過させるとともに、 他の一部を入射方向と直角方向にそれぞれ反射させる光学素子である。 ピームス プリッタ 4 3により反射されたレーザ光は、 ビームスプリッ夕 4 5によりその一 部が直角方向に反射されるとともに、 同反射光の一部がそれぞれビームスプリッ 夕 4 6， 4 7を透過してレーザ光の観測装置としてのシャツクハートマンセンサ 6 0に入射するようになっている。
シャツクハートマンセンサ 6 0は、 N D (Neutral Dens i ty) フィルタ 6 1、 レンズアレイ 6 2および C C D撮像素子 6 3から構成されており、 ビームスプリ ッタ 4 5 , 4 6 , 4 7を介して入射するレーザ光の波面収差を計測する波面計測 器である。 N Dフィルタ 6 1は、 入射するレ一ザ光の光量を適切にするための光 学フィルタである。 レンズアレイ 6 2は、 入射するレーザ光のビ一ム径に比べ小 さなレンズを 2次元格子状に配列した複数のレンズから構成され、 入射したレー ザ光を各レンズごとにそれぞれ C C D撮像素子 6 3上に集光させる。 C C D撮像 素子 6 3は、 レンズアレイ 6 2を構成する複数のレンズによるレーザ光の集光位 置に配置され、 同複数のレンズによって形成される複数の点像を撮像する撮像器 である。 この C C D撮像素子 6 3によって撮像された複数の点像は、 ハートマン ノグラムと呼ばれ、 収差を含まない波面により得られる複数の点像からのそれぞ れの変位、 すなわち、 C C D撮像素子 6 3による撮像面におけるレーザ光の波面 の法線ベクトルの正弦 （サイン） 成分に対応する。 C C D撮像素子 6 3によって 撮像された複数の点像、 すなわちビデオ信号は画像生成装置 6 4に供給される。 画像生成装置 6 4は、 後述するコントローラ 1 0 0によって制御されて、 C C D撮像素子 6 3から出力されるビデオ信号を用いてレーザ光の波面形状を計算し、 同波面を立体画像として表示するための立体画像デ一タを生成する装置である。 この画像生成装置 6 4により生成された立体画像データは、 モニタ装置 6 5に出 力され、 同モニタ装置 6 5によりレーザ光の波面の様子が立体画像として表示さ れる。 また、 同時に収差量を計算し、 数値データとしてモニタ装置 6 5に表示さ せたり、 測定および計算された波面に基づいて擬似的に干渉縞をモニタ装置 6 5 に表示させることも可能である。 このモニタ装置 6 5は、 光ピックアップの調整 装置の図示しない支持部材により、 作業者の視認し易い位置に固定されている。 ビームスプリッタ 4 5を透過したレ一ザ光の光軸上には、 スポットアナライザ 7 0が設けられている。 スポットアナライザ 7 0は、 NDフィル夕 7 1、 集光レ ンズ 7 2および C C D撮像素子 7 3から構成されており、 ビ一ムスプリッタ 4 5 を透過したレーザ光 （すなわちシャツクハートマンセンサ 6 0に入射するレ一ザ 光に等価なレーザ光） の光軸の同光軸に直交する面内におけるずれ、 具体的は図 示 X— Y軸平面内における対物レンズ 1 4によるレーザ光の焦点スポットの形状 および位置を観察する検出器である。 また、 スポットアナライザ 7 0は、 対物レ ンズ 1 4により出射されるレーザ光の光軸に対する模擬部材 3 1の傾角を検出す ることも可能である。 さらに、 前述したォ一トコリメ一夕 5 0の集光レンズ 5 4 および C C D撮像素子 5 5の機能を代わりに行うことも可能である。 N Dフィル 夕 7 1は、 前記 NDフィルタ 6 1と同様に、 入射するレーザ光の光量を適切にす るための光学フィルタである。 集光レンズ 7 2は、 入射するレーザ光を C C D撮 像素子 7 3上に集光させる光学レンズである。 C C D撮像素子 7 3は、 集光レン ズ 7 2の集光位置に配置され、 同集光レンズ 7 2によって形成される点像を撮像 する撮像器である。
C C D撮像素子 7 3には、 モニタ装置 7 4が接続されており、 C C D撮像素子 7 3による受光像がモニタ装置 7 4に表示されるようになっている。 この場合、 モニタ装置 7 4の表示画面には、 シャツク八一トマンセンサ 6 0、 後述する 4分 割フォトディテクタ 8 3および 2次元ポジションセンサ （P S D) 9 3がレーザ 光を受光することができる受光範囲の中心位置を交点とする十字状の目盛りが表 示されており、 シャツクハートマンセンサ 6 0に入射するレーザ光の光軸と前記 受光範囲の中心位置との位置関係を目視することができるようになつている。 ま た、 モニタ装置 7 4に表示される点像の大きさにより、 対物レンズ 1 4によるレ 一ザ光の焦点位置とシャツクハートマンセンサ 6 0にレーザ光を的確に入射させ るための位置関係を、 さらに 1次回折リングが観察できる場合には、 そのリング の途切れ具合から模擬部材 3 1の最大傾角となる方向を目視することができるよ うになつている。 なお、 モニタ装置 7 4は、 光ピックアップの調整装置の図示し ない支持部材により、 作業者の視認し易い位置に固定されている。
ビ一ムスプリッタ 4 6により反射されたレーザ光の光軸上には、 凸レンズ 8 1、 シリンドリカルレンズ 8 2および 4分割フォトディテクタ 8 3が設けられており、 ビームスプリッ夕 4 6により反射されたレーザ光、 すなわちシャツクハートマン センサ 6 0に入射するレーザ光の一部が 4分割フォトディテクタ 8 3上の図示し ない受光部 a， b， c , dでの受光量に対応した受光信号 A， B， C， Dに変換 されてフォーカスエラ一信号生成回路 8 4に出力される。 フォーカスエラー信号 生成回路 8 4は、 4分割フォトディテクタ 8 3から出力された受光信号 A〜Dか ら非点収差法などによりフォーカスエラー信号を生成し、 フォーカスサーポ制御 回路 8 5に出力する。 フォーカスサーポ制御回路 8 5は、 後述するコントローラ 1 0 0に制御されて、 フォーカスエラー信号生成回路 8 4から出力されるフォ一 カスエラ一信号に基づいてフォーカスサーポ信号を生成し、 ドライブ回路 8 6に 出力する。 ドライブ回路 8 6は、 フォーカスサーポ信号に応じて調整対象である 光ピックアップ 1 0に内蔵されるフォーカスァクチユエ一夕 1 5を駆動制御する ことによって対物レンズ 1 4を光軸方向に変位させる。 したがって、 フォーカス エラー信号生成回路 8 4、 フォーカスサーポ制御回路 8 5およびドライブ回路 8 6の協働により対物レンズ 1 4のフォーカスサーポ制御が実現される。
ビームスプリッタ 4 7により反射されたレーザ光の光軸上には、 N Dフィルタ 9 1および凸レンズ 9 2を介して 2次元ポジションセンサ （P S D) 9 3が設け られている。 NDフィル夕 9 1は、 前述した N Dフィル夕 7 1 , 6 1と同様に、 入射するレーザ光の光量を適切にするための光学フィルタである。 凸レンズ 9 2 は、 入射したレーザ光を 2次元ポジションセンサ （P S D) 9 3上に集光する光 学レンズである。 2次元ポジションセンサ （P S D) 9 3は、 フォトダイオード の表面抵抗を利用した 2次元の受光光量の重心を検出する素子であり、 凸レンズ 9 2の集光位置に配置され、 同凸レンズ 9 2によって 2次元ポジションセンサ ( P S D) 9 3上に形成される点像の重心位置を表す受光信号を位置計算回路 9 4に出力する。 この受光信号が表す位置とは、 ビームスプリツ夕 4 7により反射 されたレ一ザ光 （すなわちシャツクハートマンセンサ 6 0に入射するレーザ光に 等価なレ一ザ光） の光軸と直交する平面内における位置、 すなわち図示 X— Y軸 平面内におけるシャツクハートマンセンサ 6 0の光軸と対物レンズ 1 4から放射 されるレーザ光の光軸とのずれを 2次元ポジションセンサ （P S D) 9 3上に投 影したものである。
位置計算回路 9 4は、 2次元ポジションセンサ （P S D) 9 3から出力される 受光信号を用いて、 シャツクハートマンセンサ 6 0がレーザ光を受光することが できる受光範囲の中心位置とシャツクハートマンセンサ 6 0に入射するレーザ光 の光軸の位置との図示 X— Y軸平面におけるずれをそれぞれ計算し、 同ずれをそ れぞれ表す X方向エラー信号および Y方向エラ一信号を X— Y方向サーポ制御回 路 9 5に出力する。 X— Y方向サ一ポ制御回路 9 5は、 後述するコントローラ 1 0 0に制御されて、 前記 X方向エラ一信号および Y方向エラ一信号に基づいて X 方向サーポ信号および Y方向サーボ信号を生成し、 ドライブ回路 9 6 , 9 7にそ れぞれ出力する。
ドライブ回路 9 6は、 X方向サーポ信号に応じてコリメ一ティングレンズ用の コリメ一ティングレンズァクチユエ一夕 4 4を駆動制御することによってコリメ 一ティングレンズ 4 1を図示 X軸方向に変位させる。 また、 ドライブ回路 9 7は、 Y方向サーポ信号に応じて調整対象である光ピックアップ 1 0に内蔵されるトラ ックァクチユエ一夕 1 6を駆動制御することによって対物レンズ 1 4を図示 Y軸 方向に変位させる。 したがって、 位置計算回路 9 4、 X— Y方向サーポ制御回路 9 5、 ドライブ回路 9 6， 9 7の協働によりコリメ一ティングレンズ 4 1の図示 X軸方向および対物レンズ 1 4の図示 Y軸方向の 2方向サーポ制御が実現される。 なお、 コリメ一ティングレンズァクチユエ一夕 4 4は、 対物レンズ 1 4から出射 したレーザ光の光軸を模擬部材 3 1を介して X軸方向に変位させるために利用さ れる。
コントローラ 1 0 0は、 C P U、 R OM、 R AMなどからなり、 入力装置 1 0 1からの指示に応じて、 画像生成装置 6 4、 フォーカスサーポ制御回路 8 5、 X 一 Y方向サーポ制御回路 9 5およびレーザ駆動回路 1 0 2の作動をそれぞれ制御 する。 入力装置 1 0 1は、 複数の押しポタンスィッチからなり、 画像生成装置 6 4、 フォーカスサ一ポ制御回路 8 5、 X— Y方向サ一ポ制御回路 9 5およびレー ザ駆動回路 1 0 2のそれぞれの作動の開始を指示する。 レーザ駆動回路 1 0 2は、 コント口一ラ 1 0 0からの指示に応じて、 光ピックアップ 1 0のレーザ光源 1 1 およびォ一トコリメ一夕 5 0のレーザ光源 5 1の作動を制御する。
このように構成された光ピックアップの調整装置の使用に際しては、 予め光ピ ックアツプ支持装置 2 0のステージ 2 1および模擬部材 3 1の角度校正が必要で あるため、 これらの角度校正工程について説明する。 まず、 光ピックアップ支持 装置 2 0のステージ 2 1の角度校正工程について説明する。
図 5に示すように、 作業者により、 角度校正治具 1 1 0を光ピックアップ支持 装置 2 0のステージ 2 1上にセットする。 この角度校正治具 1 1 0は、 図 6に示 すように、 方形状の平板部材からなる基台 1 1 1上に設けられた平面ミラー部 1 1 2が設けられている。 実際には、 図 7に示すように、 前述したステージ 2 1の 一対の支持部 2 3 a , 2 3 bは 2本のシャフトで構成されており、 基台 1 1 1の 底面に設けた互いに平行な 2本の溝からなる一対の取り付け部 1 1 3 a , 1 1 3 bが同シャフト上にそれぞれ載置されてステージ 2 1にセットされる。 平面ミラ —部 1 1 2は、 ステージ 2 1の角度校正に用いられる反射部材であり、 ステージ 2 1上に基台 1 1 1を載置した状態で、 反射面の法線がシャツクハートマンセン サ 6 0の光軸と平行になるように角度校正が行われる。 この角度校正によりステ ージ 2 1上に固定される光ピックアップ 1 0から出射されるレーザ光の光軸とシ ャックハートマンセンサ 6 0の光軸が平行になる。 この角度校正治具をステージ 2 1上に載置固定した状態で、 作業者は、 図示し ない電源スィッチの投入により、 コントローラ 1 0 0を含む光ピックアップの調 整装置の作動を開始させる。 次に、 作業者は、 模擬部材支持装置 3 0の操作子 3 5を操作することにより保持プレート 3 2を回転させて、 保持プレート 3 2の模 擬部材 3 1が取り付けられていない 1つの貫通孔 （開口部） を、 ォ一トコリメ一 夕 5 0から出射されるレーザ光の光軸上に位置させる。 これは、 オートコリメ一 夕 5 0から出射されるレーザ光が、 模擬部材 3 '1を介さずに平面ミラー部 1 1 2 に照射されることにより、 模擬部材 3 1による反射光を生じさせないためである。 なお、 オートコリメータ 5 0から出射されるレーザ光の光軸は、 ピ一ムスプリッ 夕 4 3を介したシャツクハートマンセンサ 6 0の光軸に一致するように予め設定 されている。
このとき、 光ピックアップの調整装置内に設けられた図示しないコリメ一ティ ングレンズ移動機構を操作して、 コリメ一ティングレンズ 4 1をオートコリメー 夕 5 0から出射されるレー I光の光路外に位置するように移動させておく。 これ は、 オートコリメ一夕 5 0から出射されるレ一ザ光が、 同オートコリメ一夕 5 0 に内蔵されるコリメ一ティングレンズ 5 2によって既に平行光束に変換されてい るためである。
次に、 作業者は、 入力装置 1 0 1を操作してコントローラ 1 0 0に対して、 ォ 一トコリメ一夕 5 0からのレーザ光の出射を指示する。 この指示に応答してコン トローラ 1 0 0は、 レーザ駆動回路 1 0 2に対して、 オートコリメ一夕 5 0内の レーザ光源 5 1の作動の開始を指示する。 これにより、 オートコリメ一タ 5 0は、 レーザ光源 5 1から出射されたレーザ光を、 コリメ一ティングレンズ 5 2および ビームスプリッタ 5 3を介して、 光ピックアップ支持装置 2 0上に載置された平 面ミラー部 1 1 2に向けて出射する。 オートコリメ一夕 5 0から出射されたレー ザ光は、 ビームスプリツ夕 4 3および保持プレ一ト 3 2の模擬部材 3 1が取り付 けられていない 1つの貫通孔 （開口部） を通って平面ミラ一部 1 1 2に照射され る。
平面ミラー部 1 1 2に照射されたレーザ光は、 平面ミラー部 1 1 2の反射面に より反射されて、 再び保持プレート 3 2の模擬部材 3 1が取り付けられていない 1つの貫通孔 （開口部） およびビームスプリッタ 4 3を通ってォ一トコリメ一夕 5 0に入射する。 オートコリメ一夕 5 0に入射した反射光は、 ビームスプリツ夕 5 3を介してコンデンサレンズ 5 4に入射し、 コンデンサレンズ 5 4は、 入射し た反射光を C C D撮像素子 5 5上に結像する。 そして、 この C C D撮像素子 5 5 に結像した反射光を表すビデオ信号は、 モニタ装置 5 6に入力され同モニタ装置 5 6は、 図示 X— Y軸平面における反射光の角度を点像として表示する。 作業者 は、 このモニタ装置 5 6の表示に基づいて、 前記点像の位置がモニタ装置 5 6上 に表示されている十字状の目盛りの交点に位置するように光ピックァップ支持装 置 2 0の図示 0 x， 0 y回転方向調整用の操作子 2 7， 2 8を操作して、 ステー ジ 2 1の図示 0 y回転方向における傾きを調整する。 なお、 この場合も、 前記 0 x， 0 回転方向を ， Y軸回りとしたが、 これらの 0 x， 0 y回転方向 は、 これに限らず X— Y平面に存在し、 かつ互いに直交する 2軸回りの回転方向 であれば、 他の 2つの軸線回りの回転方向であってもよい。
これにより、 オートコリメ一夕 5 0から出射されるレ一ザ光の光軸に対して光 ピックアップ支持装置 2 0のステージ 2 1の一対の支持部 2 3 a， 2 3 b ( 2本 のシャフト） 上の母線が垂直となるように、 ステージ 2 1の傾きが調整される。 その後、 作業者は、 入力装置 1 0 1を操作して、 ォ一トコリメ一タ 5 0からのレ 一ザ光の出射を停止させるとともに、 角度校正治具 1 1 0をステージ 2 1上から 取り除く。 これにより、 光ピックアップ支持装置 2 0のステージ 2 1の角度校正 工程が終了する。 このような光ピックアップ支持装置 2 0によれば、 モニタ装置 5 6の表示を確認しながら図示 S x， 0 y回転方向調整用の操作子 2 7， 2 8を 操作することにより、 ステージ 2 1の図示 0 x， 0 y回転方向における傾きを簡 単に調整することができる。
次に、 模擬部材 3 1の角度校正工程について説明する。 この模擬部材 3 1の角 度校正工程は、 オートコリメ一夕 5 0から出射されるレーザ光を模擬部材 3 1で 反射させ、 同反射光の位置をモニタ装置 5 6に表示させて模擬部材 3 1の傾きを 調整するものである。 具体的には、 まず、 作業者は、 模擬部材支持装置 3 0の操 作子 3 5を操作することによって保持プレート 3 2を回転させて、 保持プレート 3 2に取り付けられている複数の模擬部材 3 1のうちの 1つの模擬部材 3 1をォ 一トコリメ一夕 5 0から出射されるレーザ光の光軸上に位置させる。 この場合、 複数の模擬部材 3 1から選択される 1つの模擬部材 3 1は、 この光ピックアップ の調整装置によって調整される光ピックアップ 1 0が用いられる光ディスクに対 応する光学特性を有する模擬部材 3 1である。
次に、 作業者は、 入力装置 1 0 1を操作してコントローラ 1 0 0に対して、 ォ 一トコリメ一夕 5 0からのレーザ光の出射を指示する。 これにより、 オートコリ メータ 5 0は、 前記光ピックアップ支持装置 2 0のステージ 2 1の角度校正工程 の場合と同様にレーザ光を出射する。 オートコリメ一夕 5 0から出射されたレー ザ光は、 ビームスプリツ夕 4 3を介して模擬部材 3 1に照射される。 模擬部材 3 1に照射されたレーザ光は、 その一部が模擬部材 3 1を透過するとともに、 他の 一部が模擬部材 3 1により反射されて再びビームスプリッ夕 4 3を介してオート コリメータ 5 0に受光される。 この場合も、 コリメ一ティングレンズ 4 1はォー トコリメ一タ 5 0から出射されるレーザ光の光路外に位置している。 また、 模擬 部材 3 1を透過したレーザ光は、 光ピックアップ支持装置 2 0のステージ 2 1上 に照射されるが、 ステージ 2 1上には平面ミラーまたは光ピックアップ 1 0は存 在しないため、 これらからの反射光はない。
オートコリメ一夕 5 0は、 受光した反射光に基づいて、 0 ー0 方向にぉけ る反射光の角度を点像としてモニタ装置 5 6に表示させる。 作業者は、 このモニ 夕装置 5 6の表示に基づいて、 前記点像の位置がモニタ装置 5 6上に表示されて いる十字状の目盛りの交点に位置するように模擬部材保持器 3 0の操作子 3 6， 3 7を操作して、 保持プレート 3 2、 すなわち模擬部材 3 1の図示 0 x , 0 y回 転方向における傾きを調整する。 これにより、 オートコリメ一夕 5 0から出射さ れるレーザ光の光軸が模擬部材 3 1に対して垂直となるように、 模擬部材 3 1の 傾きが調整される。 その後、 作業者は、 入力装置 1 0 1を操作して、 オートコリ メータ 5 0からのレーザ光の出射を停止させる。 これにより、 模擬部材 3 1の角 度校正工程が終了する。 なお、 この模擬部材 3 1の角度校正工程は、 前述した光 ピックアップ支持装置 2 0のステージ 2 1の角度校正工程の前工程として行って もよい。
次に、 作業者は、 光ピックアップの位置調整工程に移る。 光ピックアップの位 置調整工程は、 シャツクハートマンセンサ 6 0がレーザ光を受光することができ る受光範囲の中心位置に光ピックアップ 1 0から出射されるレーザ光の光軸が位 置するように光ピックアップ 1 0の図示 X— Y座標方向における位置を調整する とともに、 光ピックアップ 1 0から出射されるレーザ光の焦点位置が模擬部材 3 1を介してシャツクハートマンセンサ 6 0にレ一ザ光を的確に取り込む位置に位 置するように光ピックアップ 1 0の図示 Z軸方向における位置を調整するもので ある。 具体的には、 コリメ一ティングレンズ 4 1の下方に位置する点 （すなわち、 コリメ一ティングレンズ 4 1の収差を最小にするための点で、 理想的な軸上の物 点） である。 まず、 作業者は、 図 1に示すように、 この光ピックアップの調整装 置における調整対象である光ピックアップ 1 0を、 光ピックアツプ支持装置 2 0 のステージ 2 1上に載置し固定する。 そして、 光ピックアップの調整装置内に設 けられた図示しないコリメ一ティングレンズ移動機構に低倍率のコリメーティン グレンズ 4 1をセットするとともに、 同コリメ一ティングレンズ移動機構を操作 して、 コリメ一ティングレンズ 4 1を光ピックアップ 1 0から出射されるレーザ 光の光路上に位置させるように移動する。 この場合、 低倍率のコリメ一ティング レンズ 4 1を用いるのは、 光ピックアップ 1 0から出射されるレーザ光が、 後述 するスポットアナライザ 7 0の受光範囲内に入射され易くするためである。 また、 光ピックアップ 1 0のレーザ光源 1 1にレーザ駆動回路 1 0 2を接続するととも に、 フォーカスァクチユエ一夕 1 5およびトラックァクチユエ一夕 1 6をドライ ブ回路 8 6 , 9 6にそれぞれ接続する。
次に、 作業者は、 入力装置 1 0 1を操作してコントローラ 1 0 0に対して、 光 ピックアップ 1 0からのレーザ光の出射を指示する。 この指示に応答してコント ローラ 1 0 0は、 レーザ駆動回路 1 0 2に対して、 光ピックアップ 1 0内のレ一 ザ光源 1 1の作動の開始を指示する。 これにより、 光ピックアップ 1 0は、 レー ザ光源 1 1から出射されたレーザ光をコリメ一ティングレンズ 1 2、 立上ミラ一 1 3および対物レンズ 1 4を介して模擬部材 3 1に向けてレ一ザ光を出射する。 光ピックアップ 1 0から出射されたレーザ光は、 模擬部材 3 1、 コリメ一ティン グレンズ 4 1およびビームスプリツ夕 4 3， 4 5 , 4 6， 4 7を介して、 それぞ れスポットアナライザ 7 0、 4分割フォトディテクタ 8 3、 2次元ポジションセ ンサ （P S D) 9 3およびシャツクハートマンセンサ 6 0に受光される。 これら のうち、 シャツクハートマンセンサ 6 0、 4分割フォトディテクタ 8 3および 2 次元ポジションセンサ （P S D) 9 3により受光されたレ一ザ光は、 それぞれ画 像生成装置 6 4、 フォーカスサ一ポ制御回路 8 5および X— Y方向サーポ制御回 路 9 5の作動がコントローラ 1 0 0によりそれぞれ停止された状態であるので、 結果として無視される。
スポットアナライザ 7 0は、 ビ一ムスプリッタ 4 5から入射したレーザ光を、 N Dフィルタ 7 1および集光レンズ 7 2を介して C C D撮像素子 7 3上に集光さ せる。 この C C D撮像素子 7 3は、 この集光されたレーザ光に対応するビデオ信 号をモニタ装置 7 4に出力し、 モニタ装置 7 4は、 このビデオ信号に基づき図示 X— Y座標平面におけるレーザ光の位置を点像として表示する。 この場合、 対物 レンズ 1 4の焦点位置が模擬部材 3 1を介してシャツクハートマンセンサ 6 0に レーザ光を的確に取り込む位置、 すなわちコリメ一ティングレンズ 4 1の下方に 位置する点 （すなわち、 コリメ一ティングレンズ 4 1の収差を最小にするための 点で、 理想的な軸上の物点） に位置していなければ、 モニタ装置 7 4に表示され る点像は不明瞭な像として表示される。 したがって、 作業者は、 まず、 対物レン ズ 1 4の焦点位置が前記コリメ一ティングレンズ 4 1の下方に位置する点に位置 するように光ピックアップ 1 0の位置調整を行う。 具体的には、 作業者は、 モニ 夕装置 7 4の表示を確認しながら、 前記不明瞭な像が明瞭かつ最小な点像となる ように光ピックアップ支持装置 2 0の図示 Z軸方向調整用の操作子 2 6を操作し て、 ステージ 2 1の図示 Z軸方向の位置を調整する。 これにより、 対物レンズ 1 4の焦点位置がコリメ一ティングレンズ 4 1の下方に位置する点 （すなわち、 コ リメ一ティングレンズ 4 1の収差を最小にするための点で、 理想的な軸上の物 点） に位置するようになる。 次に、 作業者は、 モニタ装置 7 4の表示に基づいて、 前記点像の位置がモニタ装置 7 4上に表示されている十字状の目盛りの交点に位 置するように光ピックアップ支持装置 2 0の図示 X, Y軸方向調整用の操作子 2 4， 2 5を操作して、 ステージ 2 1の図示 X, Y軸方向における位置を調整する。 次に、 作業者は、 コリメ一ティングレンズ移動機構にセットされている低倍率 のコリメーティングレンズ 4 1に代えて高倍率のコリメ一ティングレンズ 4 1を セットする。 そして、 前述したように、 モニタ装置 7 4の表示を確認しながら前 記点像が最小となるように光ピックァップ支持装置 2 0の図示 Z軸方向調整用の 操作子 2 6を操作するとともに、 前記点像の位置がモニタ装置 7 4上に表示され ている十字状の目盛りの交点に位置するように光ピックアツプ支持装置 2 0の図 示 X, Y軸方向調整用の操作子 2 4， 2 5を操作して、 ステージ 2 1の図示 X， Y軸方向における位置を調整する。 このような、 高倍率のコリメ一ティングレン ズ 4 1を用いることにより、 さらに高精度に光ピックアップ 1 0の位置決めを行 うことができる。
これにより、 スポットアナライザ 7 0におけるレーザ光の受光範囲の中心位置 に対物レンズ 1 4を介して光ピックアップ 1 0から出射されるレーザ光の光軸を 表す点像が投影されるようになる。 このことは、 シャツクハ一トマンセンサ 6 0 の光軸と光ピックアップ 1 0から出射されるレ一ザ光の光軸が平行になつたこと を意味する。 これにより、 光ピックアップの位置調整工程が終了する。 このよう な光ピックアップ支持装置 2 0によれば、 モニタ装置 7 4の表示を確認しながら 図示 X， Y， Ζ軸方向調整用の操作子 2 4〜 2 6を操作することにより、 光ピッ クアップ 1 0の図示 X, Υ, Ζ軸方向における位置を簡単に調整することができ る。
次に、 作業者は、 対物レンズのフォーカスサーポ制御開始工程に移る。 対物レ ンズのフォーカスサーポ制御開始工程は、 対物レンズ 1 4のフォーカスサ一ポ制 御を正確かつ安定的に行わせるための工程であり、 前述した光ピックアツプの位 置調整工程から連続的に行われるものである。 具体的には、 作業者は、 入力装置 1 0 1を操作して、 コントローラ 1 0 0に対して、 対物レンズ 1 4のフォーカス サ一ポ制御の開始を指示する。 この指示に応答してコントローラ 1 0 0は、 フォ —カスサ一ボ制御回路 8 5の作動を開始させる。 この場合、 ビームスプリッタ 4 6により反射されたレーザ光は、 凸レンズ 8 1およびシリンドリカルレンズ 8 2 を介して 4分割フォトディテクタ 8 3に入射し、 4分割フォトディテクタ 8 3に より図示しない受光部 a， b , c , dでの受光量に対応する受光信号 A〜Dに変 換されてフォーカスエラ一信号生成回路 8 4に供給されている。 そして、 フォ一 カスエラー信号生成回路 8 4により、 同受光信号 A〜Dに基づいてフォーカスェ ラー信号が生成され、 フォーカスサーポ制御回路 8 5は、 同フォーカスエラー信 号に基づいてフォーカスサーポ信号を生成してドライブ回路 8 6に出力する。 ド ライブ回路 8 6は、 このフォーカスサ一ポ信号に応じて対物レンズ 1 4の駆動制 御を開始する。
次に、 作業者は、 この対物レンズ 1 4がフォーカスサーポ制御された状態で対 物レンズ 1 4の図示 X， Υ, Z軸方向における位置の補正を行う。 具体的には、 前述した光ピックァップの位置調整工程と同様に光ピックァップ支持装置 2 0の 図示 X, Υ, Z軸方向調整用の操作子 2 4〜2 6を操作して光ピックアップ 1 0 の位置を補正する。 これは、 光ピックアップ 1 0に内蔵される対物レンズ 1 4が、 ワイヤー等からなる弾性支持部材により弾性的に支持されているため、 対物レン ズ 1 4がフォーカスサ一ポ制御されない状態においては、 対物レンズ 1 4の自重 により図示 Z軸方向における弾性指示部材 1 0 bの力学的な中立位置から下方に ずれた位置にあるためである。
すなわち、 この対物レンズ 1 4が前記中立位置から下方にずれた位置にある状 態で、 前述した光ピックアップの位置調整工程により、 光ピックアップ 1 0の図 示 Z軸方向における位置を決定してフォーカスサーポ制御を開始すると、 対物レ ンズ 1 4は前記中立位置から下方にずれた位置を中心にしてフォーカスサーポ制 御されることになる。 したがって、 作業者は、 光ピックアップ支持装置 2 0の図 示 Z軸方向調整用の操作子 2 6を操作して、 光ピックアップ 1 0の図示 Z軸方向 における位置を、 対物レンズ 1 4が前記中立位置からずれている量だけ下方に変 位させて、 対物レンズ 1 4のフォ一カスサーポ制御が、 前記中立位置を中心にし て行われるようにする。 この場合、 対物レンズ 1 4の前記中立位置からのずれ量 を予め測定しておき、 このずれ量を所定値として作業者は、 光ピックアップ 1 0 の図示 Z軸方向における位置を下方に変位させる。
また、 これに代えて、 対物レンズ 1 4の外周に環状の平面部を設けておき、 こ の平面部を含む対物レンズ 1 4に向けてォ一トコリメ一夕 5 0からレーザ光を照 射して、 同平面部からの反射光をモニタ装置 5 6に表示させる。 この場合、 図 1 の破線に示すように、 ビームスプリツ夕 4 3とオートコリメ一夕 5 0の間に集光 レンズ 4 8を設けることにより、 オートコリメ一夕 5 0から出射された平行光束 を対物レンズ 1 4の環状の平面部に照射し、 この平面部からの反射光をオートコ リメ一タ 5 0にて受光する。 これにより、 モニタ装置 5 6上には平面部の傾角に 対応して点像が表示され、 作業者は、 同像がモニタ装置 5 6上の所定の位置にな るように光ピックアップ支持装置 2 0の図示 Z軸方向調整用の操作子 2 6を操作 して、 光ピックアップ 1 0の図示 Z軸方向における位置を補正することもできる。 このような光ピックアツプの図示 Z軸方向における位置の補正は、 対物レンズ 1 4が光ピックアップ 1 0のケーシング 1 0 aに対して片持梁によって支持されて いる場合には特に有効である。 なお、 この集光レンズ 4 8は、 対物レンズ 1 4の— 位置の補正作業においてのみ用いるものであるから、 光ピックアツプの調整装置 内に設けられた図示しない集光レンズ移動機構により、 ォ一トコリメ一夕 5 0か ら出射されるレーザ光の光路上または光路外に選択的に配置されるように支持さ れている。 したがって、 集光レンズ 4 8が不必要な場合には、 図 5の破線に示す ように、 集光レンズ 4 8をォ一トコリメ一夕 5 0から出射されるレーザ光の光路 外に配置させるようにする。
また、 この光ピックアップ 1 0の図示 Z軸方向の位置の補正作業によって、 図 示 X、 Y軸方向における光ピックアップ 1 0の位置がずれた場合には、 スポット アナライザ 7 0に接続されたモニタ装置 7 4に表示される前述した点像を確認し ながら光ピックアップ支持装置 2 0の図示 X, Y軸方向調整用の操作子 2 4 , 2 5を操作して、 光ピックアップ 1 0の図示 X, Y軸方向における位置を補正する。 これにより、 対物レンズ 1 4のフォーカスサ一ポ制御が正確かつ安定的に行われ るようになり、 対物レンズのフォ一カスサーポ制御開始工程が終了する。
次に、 作業者は、 2方向サーポ制御開始工程に移る。 2方向サーボ制御開始ェ 程は、 対物レンズ 1 4の図示 Y軸方向におけるサーポ制御を開始させるとともに、 コリメーティングレンズ 4 1の図示 X軸方向におけるサーポ制御を開始させるェ 程であり、 前述した対物レンズのフォーカスサ一ポ制御開始工程から連続的に行 われるものである。 具体的には、 作業者は、 入力装置 1 0 1を操作してコント口 —ラ 1 0 0に対して、 2方向サーポ制御の開始を指示する。 この指示に応答して コントローラ 1 0 0は、 X— Y方向サーポ制御回路 9 5の作動を開始させる。 この場合、 ビームスプリツ夕 4 7により反射されたレーザ光は、 N Dフィルタ 9 1および凸レンズ 9 2を介して 2次元ポジションセンサ （P S D) 9 3に入射 し、 2次元ポジションセンサ （P S D) 9 3により対応する点像の重心位置を表 す受光信号に変換されて位置計算回路 9 4に供給される。 そして、 位置計算回路 9 4により、 同受光信号に基づいて X方向エラー信号および Y方向エラー信号が それぞれ生成され、 X— Y方向サーポ制御回路 9 5は、 同 X方向エラー信号およ び同 Y方向エラー信号に基づいて X方向サーポ信号および Y方向サ一ポ信号をそ れぞれ生成しドライブ回路 9 6， 9 7にそれぞれ出力する。 ドライブ回路 9 7は、 この Y方向サーポ信号に応じて対物レンズ 1 4の図示 Y方向における駆動制御を 開始する。 また、 ドライブ回路 9 6は、 この X方向サーポ信号に応じてコリメ一 ティングレンズ 4 1の図示 X方向における駆動制御を開始する。 これにより、 対 物レンズ 1 4の図示 Y方向におけるサーポ制御が開始されるとともに、 コリメ一 ティングレンズ 4 1の図示 X方向におけるサーボ制御が開始され、， 2方向サ一ポ 制御開始工程が終了する。
次に、 作業者は、 対物レンズの傾角調整工程に移る。 対物レンズ 1 4の傾角調 整工程は、 光ピックアップ 1 0のレーザ光源 1 1からコリメ一ティングレンズ 1 2を介して出射されるレーザ光の光軸が、 対物レンズ 1 4の光軸と平行に対物レ ンズ 1 4の傾きを調整する工程であり、 前述した 2方向サーポ制御開始工程から 連続的に行われるものである。 具体的には、 作業者は、 入力装置 1 0 1を操作し てコントローラ 1 0 0に対して、 画像生成装置 6 4の作動の開始を指示する。 こ の指示に応答してコントローラ 1 0 0は、 画像生成装置 6 4の作動を開始させる。 この場合、 ビームスプリツ夕 4 7を透過したレーザ光は、 シャツクハートマン センサ 6 0に入射する。 シャツクハートマンセンサ 6 0は、 ビームスプリッタ 4 7から入射したレーザ光を、 NDフィルタ 6 1およびレンズアレイ 6 2を介して C C D撮像素子 6 3上に集光させる。 この場合、 レンズアレイ 6 2によって複数 の点像が C C D撮像素子 6 3上に集光される。 C C D撮像素子 6 3は、 これらの 集光されたレーザ光に対応するビデオ信号を画像生成装置 6 4に出力し、 画像生 成装置 6 4は、 同ビデオ信号に基づいてレーザ光の波面を計算し立体画像として 表示するための立体画像データを生成してモニタ装置 6 5に出力する。 モニタ装 置 6 5は、 この立体画像データに基づきレ一ザ光の波面の様子を立体画像として 表示する。
作業者は、 モニタ装置 6 5に表示されるレーザ光の波面の様子を確認しながら、 波面の立体画像が平坦となるように、 光ピックアップ 1 0の図示 0 x回転方向調 整用の傾角調整機構 1 7および図示 0 y回転方向調整用の傾角調整機構 1 8を操 作して、 対物レンズ 1 4の図示 0 x， 0 y回転方向における傾きを調整する。 こ の場合、 対物レンズ 1 4の図示 6> x， 0 y回転方向における傾きを調整する過程 において、 光ピックアップ 1 0から出射されるレーザ光の光軸がシャツクハート マンセンサ 6 0のレーザ光の受光範囲から外れた場合には、 前述した光ピックァ ップの位置調整工程に戻って、 光ピックアツプの位置調整工程から再度各工程の 作業を行う。 これにより、 光ピックアップ 1 0のレーザ光源 1 1からコリメーテ イングレンズ 1 2を介して出射されるレーザ光の光軸が、 対物レンズ 1 4の光軸 と平行となる。
このようにして、 対物レンズ 1 4の傾きが調整された場合には、 作業者は、 入 力装置 1 0 1を操作して、 コントローラ 1 0 0に対して、 画像生成装置 6 4、 フ ォ一カスサ一ポ制御回路 8 5、 X— Y方向サ一ポ制御回路 9 5およびレーザ駆動 回路 1 0 2のそれぞれの作動の停止を指示する。 この指示に応答してコント口一 ラ 1 0 0は、 画像生成装置 6 4、 フォーカスサ一ポ制御回路 8 5、 X— Y方向サ ーポ制御回路 9 5およびレ一ザ駆動回路 1 0 2のそれぞれの作動を停止させる。 そして、 作業者は、 光ピックアップ 1 0を光ピックアップ支持装置 2 0のステー ジ 2 1から取り除き、 対物レンズの傾角調整工程が終了する。
なお、 続けて他の光ピックアップ 1 0の調整作業を行う場合には、 前述した光 ピックアップの位置調整工程から作業を開始すればよい。 また、 他の光学特性を 有する光ディスクに用いられる光ピックアップ 1 0の調整を行う場合には、 模擬 部材支持装置 3 0の操作子 3 5を操作することによって保持プレート 3 2を回転 させて、 保持プレート 3 2に取り付けられている複数の模擬部材 3 1のうち必要 な光学特性を有する 1つの模擬部材 3 1をオートコリメータ 5 0から出射される レーザ光の光軸上に位置させた後、 前述した光ピックアツプの位置調整工程から 作業を開始すればよい。
上記作動説明からも理解できるように、 上記実施形態によれば、 光ピックアツ プ 1 0から出射されるレーザ光は、 対物レンズ 1 4および模擬部材 3 1を介して シャツクハートマンセンサ 6 0により受光され、 同シャツクハートマンセンサ 6 0により受光したレーザ光の波面収差が計測されて、 この計測された収差に基づ いて計算された波面の様子がモニタ装置 6 5上に表示される。 そして、 作業者は、 モニタ装置 6 5に表示されるレーザ光の波面の様子を確認しながら対物レンズ 1 4の傾きを調整する。 このレーザ光の波面収差はレーザ光の可干渉性とは無関係 に計測され、 かつレーザ光の波面はレーザ光の可干渉性と無関係に観察されるた め、 レーザ光の可干渉性に影響されることなく対物レンズ 1 4の傾きを調整する ことができる。 また、 このレーザ光の波面収差は高開口数のコリメ一ティングレ ンズ 4 1を用いることなく計測できるため、 対物レンズ 1 4の開口数に影響され ることなく対物レンズ 1 4の傾きを調整することができる。
また、 このような対物レンズ 1 4の傾角の調整後に、 次のような方法により、 対物レンズ 1 4の傾角が最良に調整されていることを確認することもできる。 例 えば、 光ディスクの光路長に相当する光路長に対して、 所定の光路長だけ長い光 路長を有する第 1模擬部材と、 前記所定の光路長だけ短い光路長を有する第 2模 擬部材とを順次入れ換えて、 光ピックアップ 1 0から出射されるレーザ光をシャ ックハートマンセンサ 6 0に取り込むようにする。 そして、 前記第 1模擬部材ぉ よび第 2模擬部材を用いた場合におけるレーザ光束の波面が有する収差をそれぞ れ計算するとともに、 前記対物レンズ 1 4の傾角調整完了時の収差に対する前記 計算した両収差の変化量を計算する。 そして、 これらの計算した両変化量の対称 性を確認することにより、 対物レンズ 1 4の傾角が最良に調整されていることを 確認する。
また、 前記第 1模擬部材ぉよぴ第 2模擬部材を入れ換えて用いるのに代えまた は加えて、 前記対物レンズ 1 4の傾角調整完了後に、 模擬部材 3 1を 0 x 回転方 向および Zまたは 0 y 回転方向に所定量だけ順次正逆に傾ける。 そして、 前述の ように、 各正逆に傾けた状態におけるレ一ザ光束の波面が有する両収差をそれぞ れ計算するとともに、 前記計算した両収差の変化量の対称性を確認することによ り、 対物レンズ 1 4の傾角が最良に調整されていることを確認することもできる。 また、 上記実施形態によれば、 異なる光学特性を有する複数の模擬部材 3 1を 保持するとともに、 同模擬部材 3 1の傾きを調整することができる模擬部材傾き 調整機構を備えた模擬部材支持装置 3 0を用いて、 模擬部材 3 1を光ピックアツ プ 1 0から出射されるレーザ光の光軸上に配置している。 これによれば、 異なる 光学特性を有する複数の模擬部材 3 1の中から必要とする光学特性を有する模擬 部材 3 1を即座に光ピックアップ 1 0およびオ^"トコリメ一夕 5 0から出射され るレーザ光の光軸上に配置させることができ、 作業効率を向上させることができ る。 また、 複数の模擬部材 3 1の他に模擬部材 3 1を有しない 1つの貫通孔 （開 口部） を設けることにより、 光ピックアップ支持装置 2 0のステージ 2 1の角度 校正工程のような模擬部材 3 1を必要としない場合にも速やかに対応することが できる。 また、 モニタ装置 5 6の表示を確認しながら操作子 3 6， 3 7を操作す ることにより、 保持プレート、 すなわち模擬部材 3 1の図示 0 x， 0 y回転方向 における傾きを簡単に調整することができる。 これにより、 対物レンズ 1 4の傾 き調整精度を向上させることができる。 また、 この場合、 複数の模擬部材 3 1の うちの 1つの模擬部材 3 1に対して同傾きを調整することにより、 他の複数の模 擬部材 3 1の傾きを調整する必要がないため、 更に作業効率を向上させることが できる。
また、 上記実施形態によれば、 フォーカスエラー信号生成回路 8 4、 フォー力 スサーポ制御回路 8 5およびドライブ回路 8 6により、 対物レンズ 1 4をフォ一 カスサーボ制御するとともに、 位置計算回路 9 4、 X— Y方向サ一ポ制御回路 9 5およびドライブ回路 9 6 , 9 7により、 対物レンズ 1 4の図示 Y軸方向および コリメ一ティングレンズ 4 1の図示 X軸方向の 2方向サ一ポ制御を行うようにし た。 これにより、 対物レンズの傾角調整工程において、 対物レンズ 1 4の図示 0 X , 0 y回転方向における位置調整により対物レンズ 1 4の位置が変化しても、 常に対物レンズ 1 4の焦点を所定の位置に保持することができ、 作業効率を向上 させることができる。
さらに、 本発明の実施にあたっては、 前記実施形態に限定されるものではなく、 本発明の目的を逸脱しない限りにおいて種々の変更が可能である。
上記実施形態においては、 画像生成装置 6 4は、 シャツクハートマンセンサ 6 0から出力されるビデオ信号に基づいてレーザ光の波面収差を計算して、 この計 算した波面収差に基づいて計算された波面の様子をモニタ装置 65に表示させて いたが、 これに限定されるものではない。 例えば、 画像生成装置 64は、 シャツ クハートマンセンサ 60から出力されるビデオ信号に基づいて、 レーザ光の波面 とともに、 または波面とは別に擬似的な干渉縞を生成したり、 レーザ光の非点収 差、 コマ収差および球面収差をそれぞれ計算して、 同計算した波面の立体画像と ともに、 または波面の立体画像とは別に擬似的な干渉縞、 レーザ光の非点収差、 コマ収差および球面収差の値をモニタ装置 65に表示させるようにしてもよい。 また、 上記実施形態においては、 光ピックアップ支持装置 20のステージ 21 の図示 X, Υ, Z軸方向および図示 0 x， 0y回転方向の調整は、 移動装置 22 の操作子 24〜28を手動操作することにより行ったが、 これに限定されるもの ではなく、 例えば、 入力装置 101を介してコントローラ 100を操作すること により同調整を行うこともできる。 この場合、 操作子 24〜 28に代えて、 電動 モータなどの駆動装置をステージ 21を 3軸方向に変位させ、 かつ 2軸回りに回 転させることが可能な移動機構にそれぞれ設けるとともに、 同各駆動装置をコン トローラ 100により制御するように構成する。 そして、 作業者は、 入力装置 1 01を操作してステージ 21の X， Υ, Z軸方向および 0y回転方向にお ける位置を指定する。 この指示に応答してコント口一ラ 100は、 ステージ 21 を同指示された位置に位置するように前記各駆動装置を駆動制御する。
また、 上記実施形態においては、 光ピックアップ支持装置 20のステージ 21 の図示 0 x， 0y回転方向の変位は、 光ピックアップ支持装置 20の移動装置 2 2におけるプレート 22 e， 22 f を、 円弧状に形成されたプレート 22 f， 2 2 g上面をそれぞれ摺動させることによって行ったが、 これに限定されるもので はない。 例えば、 図 8に示すように、 移動装置 22におけるプレート 22 e, 2 2 f , 22 gをそれぞれリンク機構により組み付けて行ってもよい。 具体的には、 平板状に形成されたプレート 22 e, 22 f , 22 gを、 それぞれ 4つの引張ス プリング 121, 122 (各 1つ図示せず） を介して積み重ね、 それぞれ上下関 係にあるプレート 22 f, 22 eおよびプレート 22 e, 22 f をそれぞれ 4つ のリンク 123 a， 123 b, 124 a, 124 bおよびリンク 125 a , 12 5 b, 126 a, 126 bによって連結する。 なお、 リンク 123 b， 124b, 125 b, 126 bはそれぞれリンク 123 a, 124 a, 125 a, 126 a が取り付けられているプレート 22 e, 22 f , 22 gの各側面の反対側の側面 に取り付けられるため図示されない。
この場合、 それぞれ 2つのリンク 123 a (123 b) , 124 a (1 24 b) 、 125 a (125 b) , 126 a (126 b) は互いに非平行な状態でそ れぞれ取り付けられる。 具体的には、 リンク 123 a (123 b) は、 図示 Z軸 方向と平行な向きで取り付けられているが、 リンク 124 a (124b) は、 図 示 Z軸方向に対して図示 Y軸方向に傾いた状態で取り付けられている。 また、 リ ンク 125 a (125 b) は、 図示 Z軸方向と平行な向きで取り付けられている が、 リンク 126 a (126 b) は、 図示 Z軸方向に対して図示 X軸方向に傾い た状態で取り付けられている。 これらにより、 プレート 22 eはリンク 125 a (125 b) 側を支点としてリンク 126 a (126 b) 側が図示 0 y回転方向 に変位可能となるとともに、 プレート 22 fはリンク 123 a (123 b) 側を 支点としてリンク 124 a (124b) 側が図 ¾^ 0 x回転方向に変位可能となる。 なお、 プレート 22 e， 22 f は、 引張スプリング 121， 122により、 常に 下方に付勢された状態となっている。
また、 プレート 22 e， 22 fのそれぞれ図示 0 y， 0 x回転方向に変位する 側の側面中央部には、 円柱状のカムフォロア 127 a， 127 bが回転可能に組 み付けられており、 このカムフォロア 127 a, 127 bの各円周面にそれぞれ カム 128 a, 128 bが接している。 これらのカム 128 a， 128 bは、 そ れぞれモータ 129 a, 129 bにシャフトを介して接続されており、 モータ 1 29 a, 129 bの回転により、 それぞれ回転するようになっている。 モータ 1 29 a, 129 bは図示しない制御装置 （例えば、 コントローラ 100) にそれ ぞれ接続されており、 その回転が制御される。 したがって、 モー夕 129 a, 1 29 bの回転によるカム 128 a, 128 bの回転変位により、 カムフォロア 1 27 a, 127 bがそれぞれ下方に引かれることによって、 プレート 22 e, 2 2 f は、 引張スプリング 121, 122の弾性力に杭して図示 0 y, θ x回転方 向に変位する。 これにより、 作業者は、 制御装置を操作することにより、 ステ一 ジ 21を図示 0 y， 0 X回転方向に変位させることができる。 なお、 モー夕 1 2 9 a， 1 2 9 bに代えて、 手動操作用操作子をカム 1 2 8 a , 1 2 8 bに取り付け、 上記実施形態のように作業者による手動操作によりプレー ト 2 2 e , 2 2 f、 すなわちステージ 2 1の傾きを調整するようにしてもよい。 また、 このような移動装置 2 2は、 上記実施形態における模擬部材支持装置 2 0 の模擬部材傾き調整機構にも適用できるものである。
また、 上記実施形態においては、 光ピックアップ 1 0に備えられたフォーカス ァクチユエ一夕 1 5およびトラックァクチユエ一夕 1 6に、 ドライブ回路 8 6お よびドライブ回路 9 7を接続するとともに、 光ピックアツプの調整装置に備えら れたコリメーティングレンズァクチユエ一夕 4 1にドライブ回路 9 6を接続して、 対物レンズ 1 4の焦点位置のフォ一カスサーポ制御およびシャックハートマンセ ンサ 6 0に取り込まれる光軸の図示 X， Y軸方向における 2方向サ一ボ制御を行 つたが、 これに限定されるものではない。 例えば、 光ピックアップ支持装置 2 0 のステージ 2 1を図示 X， Υ, Z軸方向にそれぞれサ一ポ制御するようにしても よい。 この場合、 図 1の破線に示すように、 光ピックアップ支持装置 2 0内にス テ一ジ 2 1を図示 X， Υ, Z軸方向にそれぞれ駆動する Y軸方向ァクチユエ一夕 1 6， 、 X軸方向ァクチユエ一タ 4 4， および Z軸方向ァクチユエ一夕 1 5， を 設け、 これら Y軸方向ァクチユエ一夕 1 6 ' 、 X軸方向ァクチユエ一タ 4 4， お よび Z軸方向ァクチユエ一夕 1 5 ' に、 ドライブ回路 9 7 , 9 6 , 8 6'をそれぞ れ接続して対物レンズ 1 4の焦点位置のフォーカスサーポ制御およびシャツクハ ―トマンセンサ 6 0に取り込まれる光軸の図示 X, Y軸方向における 2方向サー ポ制御を行うようにする。
また、 上記実施形態においては、 位置計算回路 9 4、 X— Y方向サ一ポ制御回 路 9 5およびドライブ回路 9 6 , 9 7により対物レンズ 1 4の図示 Y軸方向およ びコリメ一ティングレンズ 4 1の図示 X軸方向の 2方向サーポ制御を行うように したが、 これに限定されるものではない。 例えば、 光ピックアップ 1 0の構造上、 X軸方向の振動が少ない場合 （例えば、 トラックァクチユエ一夕 1 6の Y軸方向 の剛性が高い場合） 、 コリメ一ティングレンズ 4 1の X軸方向サーポ制御を省く ことができる。 この場合、 2次元ポジションセンサ 9 3に代えて 1次元ポジショ ンセンサを用いることができるとともに、 位置計算回路 9 4も 2次元の計算回路 から 1次元の計算回路に変更することができる。 これにより、 光ピックアップの 調整装置の構成を簡略化することができる。
また、 上記実施形態においては、 図示 X， Y， Ζ軸方向および図示 0 χ , Θ y 回転方向の 5軸方向にステージ 2 1を変位させることができる光ピックアップ支 持装置 2 0を用いたが、 これに限定されるものではなく、 例えば、 図示 X， Y， Ζ軸方向の 3軸または図示 0 X , 0 y回転方向の 2軸方向にステージ 2 1を変位 させることができる光ピックアップ支持装置 2 0としてもよい。
また、 上記実施形態においては、 1つのオートコリメ一夕 5 0を用いて、 光ピ ックアップ支持装置 2 0のステージ 2 1の傾きおよび模擬部材 3 1の傾きを調整 するようにしたが、 これに限定されるものではない。 例えば、 光ピックアップ支 持装置 2 0のステージ 2 1の傾きを調整するオートコリメータ 5 0および模擬部 材 3 1の傾きを調整するォ一トコリメ一夕 5 0をそれぞれ備えるようにしてもよ い。
また、 上記実施形態においては、 オートコリメ一夕 5 0、 シャツクハートマン センサ 6 0およびスポットアナライザ 6 0に内蔵される受光素子として C C D撮 像素子 5 5 , 6 3， 7 3を用いた。 しかし、 これらの C C D撮像素子 5 5， 6 3 , 7 3いずれか 1つまたは複数を、 例えば、 C MO S撮像素子などの受光素子で構 成してもよい。 また、 ォ一トコリメ一夕 5 0およびスポットアナライザ 7 0にお いては、 C C D撮像素子 5 5 , 7 3に代えて、 2次元ポジションセンサ （P S D ) を用いるようにしてもよい。 この場合、 2次元ポジションセンサ （P S D) の出力をオシロスコープに表示させるようにすればよい。
また、 上記実施形態においては、 複数の模擬部材 3 1を保持する保持プレート 3 2を円盤状に形成して、 この保持プレート 3 2を操作子 3 5を回転操作するこ とにより、 1つの模擬部材 3 1を光ピックアップ 1 0から出射されるレーザ光の 光軸上に配置するようにしたが、 これに限定されるものではない。 例えば、 図 9 に示すように、 保持プレート 3 2を長方形状に形成し、 この長方形状に形成した 保持プレート 3 2 ' の長手方向に複数の模擬部材 3 1を保持させるようにしても よい。
この場合、 保持プレート 3 2 ' を、 保持プレート 3 2 ' の長手方向に変位させ ることができる機構、 例えば、 図に示すように、 保持プレート 3 2の下面に固着 したナット 3 8 aにスクリューロッド 3 8 bが螺合してなるネジ送り機構を設け、 このネジ送り機構のスクリュ一ロッド 3 8 bの一端にモータ 3 9を接続する。 こ のモ一タ 3 9は、 制御装置、 例えばコントローラ 1 0 0に接続されており、 その 回転が制御される。 保持プレート 3 2， は、 このモータ 3 9の回転駆動によりス クリューロッド 3 8 bの軸線方向に変位し、 1つの模擬部材 3 1を光ピックアツ プ 1 0から出射されるレ一ザ光の光軸上に配置するように位置決めされる。 また、 前記スクリユーロッド 3 8 bの一端にモータ 3 9に代えて、 手動操作用操作子を 設け、 同操作子を操作することによって、 1つの模擬部材 3 1を光ピックアップ 1 0から出射されるレーザ光の光軸上に配置するようにしてもよい。
また、 上記実施形態においては、 保持プレート 3 2に複数の貫通孔を設けて、 この貫通孔に模擬部材 3 1を取り付けていたが、 これに限定されるものではない。 例えば、 保持プレート 3 2の周方向に沿って、 外周上に複数の切欠部を設けて、 これらの切欠部に模擬部材 3 1を取り付けるようにしてもよい。
また、 上記実施形態においては、 保持プレート 3 2を模擬部材支持装置 3 0の 支持部 3 3 aに回転可能な状態で支持させるようにしたが、 これに限定されるも のではない。 例えば、 保持プレート 3 2を模擬部材支持装置 3 0の支持部 3 3 a に対して着脱可能な状態で支持させるようにしてもよい。
また、 上記実施形態およびその変形例におけるレ一ザ光の観測装置としてのシ ャックハートマンセンサを、 干渉計またはスポットアナライザで置換することで も可能である。
観測装置として干渉計を用いた光ピックアップの調整装置においては、 図 1 0 に示すように、 シャツクハートマンセンサ 6 0に代えて干渉計 1 3 0を配置する とともに、 画像生成装置 6 4に代えて画像生成装置 1 4 0を配置する。 なお、 対 物レンズ 1 4をフォーカスサ一ポ制御するためのフォーカスエラ一信号生成回路 8 4、 フォーカスサーポ制御回路 8 5およびドライブ回路 8 6を設けるとともに、 対物レンズ 1 4の図示 Y軸方向およびコリメ一ティングレンズ 4 1の図示 X軸方 向の 2方向サーポ制御を行うための位置計算回路 9 4、 X— Y方向サーポ制御回 路 9 5およびドライブ回路 9 6 , 9 7は、 上記実施形態と同じ構成でよい。 干渉計 130は、 ハ一フミラー 131 a， 131 b, ミラー 132 a, 132 b、 凸レンズ 133， 134， 135， 136、 ピンホール 137および C C D 撮像素子 138から構成されており、 ビームスプリッタ 45， 46， 47を介し て入射するレーザ光を 2つの異なる光路にそれぞれ導いた後、 再び重ね合わせ光 路差により発生する干渉縞を計測する計測器である。 ハーフミラ一 131 aは、 入射したレーザ光の一部を入射方向と同一方向に透過させるとともに、 他の一部 を入射方向と直角方向に反射させる光学素子である。
このハーフミラ一 131 aを透過したレーザ光の光軸上には、 ミラー 132 a、 凸レンズ 133、 ピンホール 137、 凸レンズ 134およびハーフミラ一 131 bが設けられている。 ミラ一 132 aは、 入射したレーザ光を入射方向と直角方 向に全反射させる反射板である。 凸レンズ 133は、 ミラー 132 aにより反射 されたレーザ光をピンホ一ル 137上に集光させるコンデンサレンズである。 ピ ンホール 137は、 平板状に形成された板面の中央部に設けられた小さな孔 （4 〜20 m) であり、 前記凸レンズ 133から出射したレーザ光を集光し、 同集 光された点像の中心部のみを透過させて、 同レーザ光の収差を除去する光学素子 である。 凸レンズ 134は、 ピンホール 137を透過したレーザ光をハーフミラ 一 131 bを介して CCD撮像素子 138上に参照光として導くためのリレーレ ンズである。 ハーフミラー 13 l bは、 凸レンズ 134から出射したレーザ光を 直角方向に反射させ、 同レーザ光を CCD撮像素子 138に導くとともに、 後述 するミラー 132 bにより反射されたレーザ光を透過させて同 CCD撮像素子 1 38に導く光学素子である。 すなわち、 凸レンズ 134から出射したレーザ光と ミラー 132 bにより反射されたレーザ光を重ね合わせて CCD撮像素子 138 に導くものである。
一方、 ハーフミラー 131 aにより反射されたレーザ光の光軸上には、 コンデ ンサレンズとしての凸レンズ 135、 リレーレンズとしての凸レンズ 136、 ミ ラー 132 bおよびハーフミラ一 131 bが設けられている。 凸レンズ 135は、 ハーフミラ一 131 aにより反射されたレーザ光を導く光学レンズである。 凸レ ンズ 136は、 凸レンズ 135によって一旦集光されたレーザ光を入射して、 同 レーザ光をミラー 132 bおよびハーフミラー 131 bを介して CCD撮像素子 1 3 8上に被測定光として導くためのリレーレンズである。 ミラー 1 3 2 bは、 前記ミラー 1 3 2 aと同様に、 入射したレーザ光を入射方向と直角方向に全反射 させる反射板である。 すなわち、 ハーフミラ一 1 3 1 aにより反射されたレーザ 光は、 その収差が除去されない状態で C C D撮像素子 1 3 8に導かれる。
C C D撮像素子 1 3 8は、 前記凸レンズ 1 3 4， 1 3 6によりコリメート光束 に変換された 2つの光束をハーフミラー 1 3 l bにより重ね合わせ、 干渉縞を取 り込む撮像器である。 この C C D撮像素子 1 3 8によって撮像される干渉縞は、 ピンホール 1 3 7により収差が除去されたレーザ光と、 ピンホール 1 3 7を介さ ずに収差が除去されないレーザ光が重ね合わされた 2つの光束の干渉縞である。 この C C D撮像素子 1 3 8によって撮像された干渉縞、 すなわちビデオ信号は画 像生成装置 1 4 0に供給される。
I 像生成装置 1 4 0は、 コント口一ラ 1 0 0によって制御されて、 C C D撮像 素子 1 3 8から出力されるビデオ信号を基にレーザ光の干渉縞を解析して収差量 などの解析結果を算出したり、 波面の立体画像データを生成する装置である。 こ の画像生成装置 1 4 0により算出された解析結果および生成された画像データは、 ビデオ信号とともにモニタ装置 6 5に出力され、 同モニタ装置 6 5によりレーザ 光の干渉縞、 レーザ光の波面の立体画像および解析結果が表示される。
このような観測装置として干渉計 1 3 0を用いた光ピックアップの調整装置の 使用に際して作業者は、 上記実施形態と同様の手順により対物レンズの傾角調整 工程まで作業を行う。 そして、 対物レンズの傾角調整工程において作業者は、 モ ニタ装置 6 5に表示されるレーザ光の干渉縞の様子や生成されたレーザ光の波面 の立体画像および表示された収差を確認しながら、 同干渉縞が所定の規格内とな るように、 光ピックアップ 1 0の図示 0 X回転方向調整用の傾角調整機構 1 7お よび図示 0 y回転方向調整用の傾角調整機構 1 8を操作して、 対物レンズ 1 4の 図示 0 x， Θ y回転方向における傾きを調整する。
これによれば、 観測装置として干渉計 1 3 0を用いた光ピックアップの調整装 置においても、 異なる光学特性を有する複数の模擬部材 3 1の中から必要とする 光学特性を有する模擬部材 3 1を即座に光ピックアップ 1 0およびオートコリメ —タ 5 0から出射されるレーザ光の光軸上に配置させることができ、 作業効率を 向上させることができる。 また、 複数の模擬部材 3 1の他に模擬部材 3 1を有し ない 1つの貫通孔 （開口部） を設けることにより、 光ピックアップ支持装置 2 0 のステージ 2 1の角度校正工程のような模擬部材 3 1を必要としない場合にも速 やかに対応することができる。 また、 モニタ装置 5 6の表示を確認しながら操作 子 3 6， 3 7を操作することにより、 保持プレート、 すなわち模擬部材 3 1の図 示 0 x , 0 y回転方向における傾きを簡単に調整することができる。 この場合、 複数の模擬部材 3 1のうちの 1つの模擬部材 3 1に対して同傾きを調整すること により、 他の複数の模擬部材 3 1の傾きを調整する必要がないため、 更に作業効 率を向上させることができる。
また、 フォーカスエラー信号生成回路 8 4、 フォーカスサーポ制御回路 8 5お よびドライブ回路 8 6により、 対物レンズ 1 4をフォーカスサーポ制御するとと もに、 位置計算回路 9 4、 X— Y方向サ一ポ制御回路 9 5およびドライブ回路 9 6， 9 7により、 対物レンズ, 1 4の図示 Y軸方向およびコリメ一ティングレンズ 4 1の図示 X軸方向の 2方向サ一ポ制御を行うようにした。 これにより、 対物レ ンズの傾角調整工程において、 対物レンズ 1 4の図示 0 x， Θ y回転方向におけ る位置調整により対物レンズの位置が変化しても、 常に対物レンズ 1 4より出射 されたレ一ザ光の点像を所定の位置に保持することができ、 作業効率を向上させ ることができる。
また、 観測装置としてスポットアナライザを用いた光ピックアップの調整装置 においては、 図 1 1に示すように、 シャツクハートマンサンサ 6 0に代えてスポ ットアナライザ 7 0 ' を配置するとともに、 画像生成装置 6 5に代えて画像生成 装置 1 5 0を配置する。 この場合、 図 1におけるスポットアナライザ 7 0はスポ ットアナライザ 7 0 ' によって兼用できるため、 スポットアナライザ 7 0および モニタ装置 7 4は不要である。 したがって、 ピームスプリッ夕 4 5を透過したレ —ザ光の光軸上には、 凸レンズ 8 1、 シリンドリカルレンズ 8 2および 4分割フ オトディテクタ 8 3が設けられるとともに、 4分割フォトディテクタ 8 3には、 フォーカスエラー信号生成回路 8 4が接続されている。 また、 ビームスプリツ夕 4 6により反射されたレーザ光の光軸上には、 N Dフィルタ 9 1、 凸レンズ 9 2 および 2次元ポジションセンサ 9 3が設けられているとともに、 2次元ポジショ ンセンサ 9 3には、 位置計算回路 9 4が接続されている。 そして、 ビームスプリ ッ夕 4 6を透過したレーザ光の光軸上には、 スポットアナライザ 7 0 ' が設けら れているとともに、 スポットアナライザ 7 0 ' には画像生成装置 1 5 0が接続さ れている。
スポットアナライザ 7 0 ' は、 上記実施形態におけるスポットアナライザ 7 0 と同じ構成であるので説明は省略する。 すなわち、 N Dフィルタ 7 1は N Dフィ ル夕 7 1 ' に対応しており、 集光レンズ 7 2は集光レンズ 7 2 ' に対応しており、 C C D撮像素子 7 3は C C D撮像素子 7 3 ' に対応している。 画像生成装置 1 5 0は、 コント口一ラ 1 0 0によって制御されて、 C C D撮像素子 1 3 8から出力 されるビデオ信号を用いてレーザ光のスポット形状を 0次光画像および 1次回折 光によるリング状画像として表示するための画像デ一夕を生成する装置である。 この画像生成装置 1 5 0により生成された画像データは、 モニタ装置 6 5に出力 され、 同モニタ装置 6 5によりレーザ光のスポット形状の様子が 0次光画像およ び 1次回折光によるリング状画像として表示される。
このような観測装置としてスポットアナライザ 7 0 ' を用いた光ピックアップ の調整装置の使用に際して作業者は、 上記実施形態と同様の手順により対物レン ズの傾角調整工程まで作業を行う。 そして、 対物レンズの傾角調整工程において 作業者は、 モニタ装置 6 5に表示されるレーザ光の 0次光画像およびリング画像 を確認しながら、 同 0次光画像およびリング画像が所定の形状となるように、 光 ピックアップ 1 0の図示 0 X回転方向調整用の傾角調整機構 1 7および図示 0 y 回転方向調整用の傾角調整機構 1 8を操作して、 対物レンズ 1 4の図示 0 X , Θ y回転方向における傾きを調整する。
これによれば、 観測装置としてスポットアナライザ 7 0 ' を用いた光ピックァ ップの調整装置においても、 上記観測装置として干渉計を用いた場合と同様に、 複数の模擬部材 3 1の中の 1つを選択切り替え可能にし、 複数の模擬部材 3 1の 他に模擬部材 3 1を有しない 1つの貫通孔 （開口部） を設け、 対物レンズ 1 4を フォーカスサーボ制御し、 かつ対物レンズ 1 4の図示 X軸方向およびコリメ一テ ィングレンズ 4 1の図示 Y軸方向の 2軸方向サーポ制御を行うようにしたので、 対物レンズの傾き調整精度が向上するとともに作業効率も向上させることができ る。
さらに、 上記シャツクハートマンセンサ 6 0、 干渉計 1 3 0およびスポットァ ナライザ 7 0 ' に代えて、 複数の円形開口および凸レンズと同凸レンズの焦点位 置に配置された撮像素子にて構成されたハートマンセンサを観測装置として用い てもよい。

Claims

請 求 の 範 囲
1 . ハウジングと、 前記ハウジングに収容されてレーザ光を出射するレーザ光源 と、 前記ハウジングに収容されて前記出射されたレーザ光を平行光束に変換する 第 1のコリメ一ティングレンズと、 前記ハウジングに組み付けられて前記変換さ れたレーザ光を集光する対物レンズと、 レーザ光に対する前記対物レンズの傾角 を調整するための傾角調整機構とを有する光ピックアップにおける前記対物レン ズの傾角を調整するための光ピックァップの調整装置であつて、
前記レ一ザ光源から出射されて前記第 1のコリメ一ティングレンズおよび対物 レンズを介したレーザ光を平行光束に変換する第 2のコリメーティングレンズと、 前記第 2のコリメ一ティングレンズによって平行光束に変換されたレーザ光を 観測する観測装置と、
前記観測装置に入射されるレーザ光の一部を取り出すフォーカス制御用ビーム スプリッタと、
前記フオーカス制御用ビームスプリツ夕により取り出されたレーザ光を受光す るフォーカス制御用受光素子と、
前記フォーカス制御用受光素子によるレーザ光の受光に基づいて、 前記対物レ ンズによるレーザ光の焦点位置と前記観測装置にレーザ光を的確に入射させるた めの焦点位置とのずれをなくすように、 前記対物レンズによるレーザ光の焦点位 置をフォーカスサーポ制御するフォーカスサーポ制御回路とを備えたことを特徴 とする光ピックアツプの調整装置。
2 . 請求項 1に記載した光ピックアップの調整装置において、
前記観測装置に入射されるレーザ光の一部を取り出す光軸制御用ビームスプリ ッ夕と、
前記光軸制御用ビームスプリッ夕により取り出されたレーザ光を受光する光軸 制御用受光素子と、
前記光軸制御用受光素子によるレーザ光の受光に基づいて、 前記観測装置に取 り込まれるレーザ光の光軸と前記観測装置の光軸とのずれをなくすように、 前記 観測装置に取り込まれるレ一ザ光の光軸を同光軸と直交する 1方向にサ一ボ制御 する 1方向サーポ制御回路とを備えたことを特徴とする光ピックアップの調整装 置。
3 . 請求項 1に記載した光ピックアップの調整装置において、
前記観測装置に入射されるレーザ光の一部を取り出す光軸制御用ピームスプリ ッ夕と、
前記光軸制御用ビームスプリッタにより取り出されたレーザ光を受光する光軸 制御用受光素子と、
前記光軸制御用受光素子によるレーザ光の受光に基づいて、 前記観測装置に取 り込まれるレーザ光の光軸と前記観測装置の光軸とのずれをなくすように、 前記 観測装置に取り込まれるレーザ光の光軸を同光軸と直交する 2方向にサーポ制御 する 2方向サーポ制御回路とを備えたことを特徴とする光ピックァップの調整装 置。
4 . ハウジングと、 前記ハウジングに収容されてレーザ光を出射するレーザ光源 と、 前記ハウジングに収容されて前記出射されたレーザ光を平行光束に変換する 第 1のコリメ一ティングレンズと、 前記ハウジングに組み付けられて前記変換さ れたレーザ光を集光する対物レンズと、 レ一ザ光に対する前記対物レンズの傾角 を調整するための傾角調整機構とを有する光ピックアップにおける前記対物レン ズの傾角を調整するための光ピックァップの調整装置であつて、
前記レーザ光源から出射されて前記第 1のコリメ一ティングレンズおよび対物 レンズを介したレーザ光を平行光束に変換する第 2のコリメ一ティングレンズと、 前記第 2のコリメ一ティングレンズによって平行光束に変換されたレーザ光を 観測する観測装置と、
前記観測装置に入射されるレーザ光の一部を取り出す光軸制御用ピームスプリ ッ夕と、
前記光軸制御用ビームスプリツ夕により取り出されたレ一ザ光を受光する光軸 制御用受光素子と、 前記光軸制御用受光素子によるレーザ光の受光に基づいて、 前記観測装置に取 り込まれるレーザ光の光軸と前記観測装置の光軸とのずれをなくすように、 前記 観測装置に取り込まれるレーザ光の光軸を同光軸と直交する 1方向にサーポ制御 する 1方向サ一ポ制御回路とを備えたことを特徴とする光ピックアツプの調整装 置。
5 . ハウジングと、 前記ハウジングに収容されてレーザ光を出射するレーザ光源 と、 前記八ウジングに収容されて前記出射されたレーザ光を平行光束に変換する 第 1のコリメーティングレンズと、 前記ハウジングに組み付けられて前記変換さ れたレーザ光を集光する対物レンズと、 レーザ光に対する前記対物レンズの傾角 を調整するための傾角調整機構とを有する光ピックアップにおける前記対物レン ズの傾角を調整するための光ピックァップの調整装置であつて、
前記レーザ光源から出射されて前記第 1のコリメ一ティングレンズおよび対物 レンズを介したレ一ザ光を平行光束に変換する第 2のコリメーティングレンズと、 前記第 2のコリメ一ティングレンズによって平行光束に変換されたレーザ光を 観測する観測装置と、
前記観測装置に入射されるレーザ光の一部を取り出す光軸制御用ビームスプリ ッタと、
前記光軸制御用ビームスプリツ夕により取り出されたレーザ光を受光する光軸 制御用受光素子と、
前記光軸制御用受光素子によるレーザ光の受光に基づいて、 前記観測装置に取 り込まれるレーザ光の光軸と前記観測装置の光軸とのずれをなくすように、 前記 観測装置に取り込まれるレーザ光の光軸を同光軸と直交する 2方向にサーポ制御 する 2方向サ一ポ制御回路とを備えたことを特徴とする光ピックアップの調整装 置。
6 . 請求項 1ないし請求項 3のうちの 1つに記載した光ピックァップの調整装置 において、
前記フォーカスサーポ制御回路は、 前記フォーカス制御用受光素子によるレー ザ光の受光に基づいて前記対物レンズによるレーザ光の焦点位置と前記観測装置 にレーザ光を的確に入射させるための焦点位置とのずれを検出して、 同検出結果 により光ピックアップに内蔵されているフォーカスァクチユエ一夕を駆動制御す るものである光ピックアツプの調整装置。
7 . 請求項 1ないし請求項 3のうちの 1つに記載した光ピックァップの調整装置 において、 さらに、
光ピックアツプを支持するとともに、 同光ピックアツプを前記対物レンズの光 軸方向に変位させるァクチユエ一夕を含む支持装置を備え、
前記フォーカスサ一ポ制御回路は、 前記フォーカス制御用受光素子によるレー ザ光の受光に基づいて前記対物レンズによるレーザ光の焦点位置と前記観測装置 にレーザ光を的確に入射させるための焦点位置とのずれを検出して、 同検出結果 により前記支持装置内のァクチユエ一夕を駆動制御するものである光ピックアツ プの調整装置。
8 . 請求項 2または請求項 4に記載した光ピックアツプの調整装置において、 前記光ピックアツプは、 対物レンズをレ一ザ光の光軸と直交する平面内の 1方 向に駆動するトラッキングァクチユエ一夕を有しており、
前記 1方向サーポ制御回路は、 前記光軸制御用受光素子によるレーザ光の受光 に基づいて前記観測装置に取り込まれるレーザ光の光軸と前記観測装置の光軸と のずれを検出して、 同検出結果により前記トラッキングァクチユエ一夕を駆動す るものである光ピックアツプの調整装置。
9 . 請求項 2または請求項 4に記載した光ピックアップの調整装置において、 さ らに、
光ピックアツプを支持するとともに、 同光ピックアツプを前記光軸に直交する 平面内の 1方向に変位させるァクチユエ一夕を含む支持装置を備え、
前記 1方向サーボ制御回路は、 前記光軸制御用受光素子によるレーザ光の受光 に基づいて前記観測装置に取り込まれるレーザ光の光軸と前記観測装置の光軸と のずれを検出して、 同検出結果により前記支持装置内のァクチユエ一タを駆動制 御するものである光ピックァップの調整装置。
1 0 . 請求項 3または請求項 5に記載した光ピックアップの調整装置において、 前記光ピックァップは、 対物レンズをレーザ光の光軸と直交する平面内の 1方 向に駆動するトラッキングァクチユエ一夕を有しており、 さらに、
前記レーザ光の光軸と直交する平面内に属し前記トラッキングァクチユエ一夕 とは異なる方向に前記第 2のコリメ一ティングレンズを駆動するコリメ一ティン グァクチユエ一夕を備え、
前記 2方向サーポ制御回路は、 前記光軸制御用受光素子によるレーザ光の受光 に基づいて前記観測装置に取り込まれるレーザ光の光軸と前記観測装置の光軸と のずれを検出して、 同検出結果により前記トラッキングァクチユエ一夕および前 記コリメ一ティングァクチユエ一夕とを駆動するものである光ピックアップの調 整装置。
1 1 . 請求項 3または請求項 5に記載した光ピックアップの調整装置において、 さらに、
光ピックアツプを支持するとともに、 同光ピックアツプを前記光軸に直交する 平面内の異なる 2方向にそれぞれ変位させる 2つのァクチユエ一夕を含む支持装 置を備え、
前記 2方向サーボ制御回路は、 前記光軸制御用受光素子によるレーザ光の受光 に基づいて前記観測装置に取り込まれるレーザ光の光軸と前記観測装置の光軸と のずれを検出して、 同検出結果により前記支持装置内の 2つのァクチユエ一夕を それぞれ駆動制御するものである光ピックァップの調整装置。
1 2 . ハウジングと、 前記ハウジングに収容されてレーザ光を出射するレーザ光 源と、 前記ハウジングに収容されて前記出射されたレーザ光を平行光束に変換す る第 1のコリメ一ティングレンズと、 前記ハウジングに組み付けられて前記変換 されたレーザ光を集光する対物レンズと、 レーザ光に対する前記対物レンズの傾 角を調整するための傾角調整機構とを有する光ピックアップにおける前記対物レ ンズの傾角を調整するための光ピックァップの調整方法であつて、
前記レーザ光源から出射されて前記第 1のコリメーティングレンズおよび対物 レンズを介したレーザ光を第 2のコリメーティングレンズで平行光束に変換し、 前記第 2のコリメ一ティングレンズによって平行光束に変換されたレーザ光の 一部をフオーカス制御用ビームスプリツ夕を用いて取り出し、
前記同取り出した一部のレーザ光に基づいて、 前記対物レンズによるレーザ光 の焦点位置と前記第 2のコリメ一ティングレンズによって平行光に変換されたレ 一ザ光を観測するための観測装置にレーザ光を的確に入射させるための焦点位置 とのずれをなくすように、 前記対物レンズによるレーザ光の焦点位置をフォ一力 スサーポ制御し、
前記フォーカス制御用ビームスプリッタによって取り出されなかった他の一部 のレーザ光を前記観測装置に導いて、 前記第 2のコリメ一ティングレンズによつ て平行光に変換されたレーザ光を観測するようにしたことを特徴とする光ピック ァップの調整方法。
1 3 . 請求項 1 2に記載した光ピックアップの調整方法において、 さらに、 前記第 2のコリメ一ティングレンズによって平行光に変換されたレ一ザ光の一 部を光軸制御用ビームスプリッ夕を用いて取り出し、 同取り出した一部のレーザ 光に基づいて、 前記観測装置に取り込まれるレーザ光の光軸と前記観測装置の光 軸とのずれをなくすように、 前記観測装置に取り込まれるレーザ光の光軸を同光 軸と直交する 1方向に 1方向サーポ制御するようにしたことを特徴とする光ピッ クアツプの調整方法。
1 4 . 請求項 1 2に記載した光ピックアップの調整方法において、 さらに、 前記第 2のコリメ一ティングレンズによって平行光に変換されたレーザ光の一 部を光軸制御用ビームスプリッ夕を用いて取り出し、 同取り出した一部のレーザ 光に基づいて、 前記観測装置に取り込まれるレーザ光の光軸と前記観測装置の光 軸とのずれをなくすように、 前記観測装置に取り込まれるレーザ光の光軸を同光 軸と直交する 2方向に 2方向サーポ制御するようにしたことを特徴とする光ピッ クアップの調整方法。
1 5 . ハウジングと、 前記ハウジングに収容されてレーザ光を出射するレーザ光 源と、 前記ハウジングに収容されて前記出射されたレーザ光を平行光束に変換す る第 1のコリメ一ティングレンズと、 前記ハウジングに組み付けられて前記変換 されたレーザ光を集光する対物レンズと、 レーザ光に対する前記対物レンズの傾 角を調整するための傾角調整機構とを有する光ピックアップにおける前記対物レ ンズの傾角を調整するための光ピックァップの調整方法であつて、
前記レーザ光源から出射されて前記第 1のコリメ一ティングレンズおよび対物 レンズを介したレーザ光を第 2のコリメーティングレンズで平行光束に変換し、 前記第 2のコリメ一ティングレンズによって平行光束に変換されたレーザ光の 一部を光軸制御用ビームスプリツ夕を用いて取り出し、
前記同取り出した一部のレ一ザ光に基づいて、 前記第 2のコリメ一ティングレ ンズによって平行光に変換されたレーザ光を観測するための観測装置に取り込ま れるレーザ光の光軸と前記観測装置の光軸とのずれをなくすように、 前記第 2の コリメ一ティングレンズによって平行光束に変換されたレーザ光の光軸を同光軸 と直交する 1方向に 1方向サ一ポ制御し、
前記光軸制御用ビームスプリッ夕によって取り出されなかった他の一部のレー ザ光を前記観測装置に導いて、 前記第 2のコリメ一ティングレンズによって平行 光に変換されたレ一ザ光を観測するようにしたことを特徴とする光ピックアツプ の調整方法。
1 6 . ハウジングと、 前記ハウジングに収容されてレーザ光を出射するレーザ光 源と、 前記ハウジングに収容されて前記出射されたレーザ光を平行光束に変換す る第 1のコリメ一ティングレンズと、 前記ハウジングに組み付けられて前記変換 されたレーザ光を集光する対物レンズと、 レーザ光に対する前記対物レンズの傾 角を調整するための傾角調整機構とを有する光ピックアップにおける前記対物レ ンズの傾角を調整するための光ピックァップの調整方法であつて、 前記レーザ光源から出射されて前記第 1のコリメ一ティングレンズおよぴ対物 レンズを介したレーザ光を第 2のコリメーティングレンズで平行光束に変換し、 前記第 2のコリメ一ティングレンズによって平行光束に変換されたレーザ光の 一部を光軸制御用ビームスプリッ夕を用いて取り出し、
前記同取り出した一部のレーザ光に基づいて、 前記第 2のコリメ一ティングレ ンズによって平行光に変換されたレーザ光を観測するための観測装置に取り込ま れるレーザ光の光軸と前記観測装置の光軸とのずれをなくすように、 前記第 2の コリメ一ティングレンズによって平行光束に変換されたレーザ光の光軸を同光軸 と直交する 2方向に 2方向サ一ポ制御し、
前記光軸制御用ビームスプリッ夕によつて取り出されなかった他の一部のレー ザ光を前記観測装置に導いて、 前記第 2のコリメーティングレンズによって平行 光に変換されたレーザ光を観測するようにしたことを特徴とする光ピックアップ の調整方法。 .
1 7 . 請求項 1 2ないし請求項 1 4のうちの 1つに記載した光ピックアップの調 整方法において、
前記フォーカスサーポ制御は、 フォーカス制御用受光素子によるレーザ光の受 光に基づいて前記対物レンズによるレーザ光の焦点位置と前記観測装置にレーザ 光を的確に入射させるための焦点位置とのずれを検出して、 同検出結果により光 ピックアップに内蔵されているフォーカスァクチユエ一夕を駆動制御する光ピッ クアップの調整方法。
1 8 . 請求項 1 2ないし請求項 1 4のうちの 1つに記載した光ピックアップの調 整方法において、 さらに、
前記フォーカスサ一ポ制御は、 フォーカス制御用受光素子によるレーザ光の受 光に基づいて前記対物レンズによるレーザ光の焦点位置と前記観測装置にレーザ 光を的確に入射させるための焦点位置とのずれを検出して、 同検出結果により、 光ピックアップを支持する支持機構に内蔵されていて同光ピックアップを前記対 物レンズの光軸方向に変位させるァクチユエ一夕を駆動制御する光ピックアップ の調整方法
1 9 . 請求項 1 3または請求項 1 5に記載した光ピックアップの調整方法におい て、
前記光ピックアツプは、 対物レンズをレ一ザ光の光軸と直交する平面内の 1方 向に駆動するトラッキングァクチユエ一夕を有しており、
前記 1方向サーポ制御は、 光軸制御用受光素子によるレーザ光の受光に基づい て前記観測装置に取り込まれるレーザ光の光軸と前記観測装置の光軸とのずれを 検出して、 前記トラッキングァクチユエ一夕を駆動制御する光ピックアップの調 整方法。
2 0 . 請求項 1 3または請求項 1 5に記載した光ピックアップの調整方法におい て、 さらに、
前記 1方向サーポ制御は、 光軸制御用受光素子によるレーザ光の受光に基づい て前記観測装置に取り込まれるレーザ光の光軸と前記観測装置の光軸とのずれを 検出して、 同検出結果により、 光ピックアップを支持する支持装置に内蔵されて いて同光ピックアップを前記光軸に直交する平面内の 1方向に変位させるァクチ ユエ一タを駆動制御する光ピックアツプの調整方法。
2 1 . 請求項 1 4または請求項 1 6に記載した光ピックアップの調整方法におい て、
前記光ピックアツプは、 対物レンズをレーザ光の光軸と直交する平面内の 1方 向に駆動するトラッキングァクチユエ一夕を有しており、 さらに、
前記 2方向サーポ制御は、 光軸制御用受光素子によるレーザ光の受光に基づい て前記観測装置に取り込まれるレーザ光の光軸と前記観測装置の光軸とのずれを 検出して、 同検出結果により前記トラッキングァクチユエ一夕および前記第 2の コリメ一ティングレンズを前記トラッキングァクチユエ一夕とは異なる方向に変 位させるためのコリメ一ティングァクチユエ一夕とを駆動制御する光ピックアツ プの調整方法。
2 2 . 請求項 1 4または請求項 1 6に記載した光ピックアップの調整方法におい て、 さらに、
前記 2方向サ一ポ制御は、 光軸制御用受光素子によるレーザ光の受光に基づい て前記観測装置に取り込まれるレーザ光の光軸と前記観測装置の光軸とのずれを 検出して、 同検出結果により、 光ピックアップを支持する支持装置に内蔵されて いて同光ピックァップを前記光軸に直交する平面内の異なる 2方向にそれぞれ変 位させる 2つのァクチユエ一夕をそれぞれ駆動制御する光ピックアップの調整方
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