WO2002099324A1

WO2002099324A1 - Four-way valve

Info

Publication number: WO2002099324A1
Application number: PCT/JP2002/005167
Authority: WO
Inventors: Toshihiro Hanada; Wataru Inoue
Original assignee: Asahi Organic Chemicals Industry Co., Ltd.
Priority date: 2001-05-31
Filing date: 2002-05-28
Publication date: 2002-12-12
Also published as: TW520428B; JP4721560B2; JP2002357274A

Abstract

A four-way valve, comprising a body having a main flow passage, a valve chamber, and a pair of branch flow passages and a cylinder body having a piston inserted therein, wherein the valve chamber is allowed to communicate with the main flow passage through a communication port having a valve seat, the branch flow passage is formed so that the lowest part of the inner diameter thereof is flush with the bottom surface of the valve chamber, a rod part having a valve element at the tip thereof is projectedly provided on the lower surface of the piston, the valve element is connected to a diaphragm supported by the body, and a pair of working fluid feed ports for vertically moving the piston are provided in the cylinder body.

Description

明細書四方弁技術分野 Description Four-way valve Technical field

本発明は、主流路と分岐流路を有する四方弁に関するものであり、さらに詳しくは、優れたシール性能を有しかつ流量特性に優れた四方弁に関するものである。背景技術 The present invention relates to a four-way valve having a main flow path and a branch flow path, and more particularly to a four-way valve having excellent sealing performance and excellent flow characteristics. Background art

従来、半導体産業におけるスラリーラインゃ各種化学薬液ラインで流体を主流路から分岐して供給するラインにおいて、スラリーの凝集 · 固着や結晶の析出等のトラブルを防ぐ目的として、分岐ラインを洗浄するためのラインを設けることがあった。一般的な方法としては図 7に示すように二方弁 2台とチーズ 2個とを組み合わせる方法と図 8に示すように三方弁と二方弁とチーズとを組み合わせる方法があった。しかしながら、前者の方法では図 7においてチーズ 4 8から二方弁 5 0までの流路に薬液が滞留するという問題と二方弁 5 0からチーズ 4 9までの流路が十分に洗浄されないという問題があった。また後者の方法でも三方弁 6 0からチーズ 5 5までの流路が十分に洗浄されず問題となっていた。 Conventionally, a slurry line in the semiconductor industry ゃ a line that supplies fluid from the main flow path in various chemical liquid lines to prevent problems such as slurry aggregation and sticking and precipitation of crystals. There was a case where a line for washing was provided. As a general method, there were a method of combining two two-way valves and two cheeses as shown in FIG. 7, and a method of combining a three-way valve, two-way valve and cheese as shown in FIG. However, in the former method, the problem that the chemical solution stays in the flow path from the cheese 48 to the two-way valve 50 and the problem that the flow path from the two-way valve 50 to the cheese 49 is not sufficiently cleaned in FIG. was there. Also, in the latter method, the flow path from the three-way valve 60 to the cheese 55 was not sufficiently cleaned, which was a problem.

これらの問題を解決したものとして図 6に示すような四方弁が提案されている。図 6によれば、 3 8は本体であり下部に主流路 3 9 と上部に弁室 4 1 を有している。主流路 3 9の上部と弁室 4 1 の底面中央は連通口 4 0で連通されており連通口 4 0の弁室側の開口部の角部が弁座部 4 4 となっている。本体 3 8の側面には 2つの分岐流路 4 2， 4 3がそれぞれ弁室 4 1 の底面外周部と連通するように設けられている。尚、主流路 3 9 と分岐流路 4 2， 4 3はほぼ同じ高さに形成されているので、分岐流路 4 2 ， 4 3は略 L字形となつている。本体 3 8の上部に接合された駆動部 4 7の操作によってダィャフラム 4 5の下端中央に設けられた弁体 4 6が弁座部 4 4 と圧接 · 離間することによって弁の開閉が行われる。 As a solution to these problems, a four-way valve as shown in Figure 6 has been proposed. According to FIG. 6, reference numeral 38 denotes a main body, which has a main flow path 39 at a lower part and a valve chamber 41 at an upper part. The upper part of the main flow path 39 and the center of the bottom surface of the valve chamber 41 communicate with each other through a communication port 40, and a corner of the opening of the communication port 40 on the valve chamber side is a valve seat part 44. On the side of the body 38, two branch channels 42, 43 are connected so as to communicate with the outer periphery of the bottom surface of the valve chamber 41, respectively. Is provided. Since the main channel 39 and the branch channels 42, 43 are formed at substantially the same height, the branch channels 42, 43 are substantially L-shaped. The valve is opened and closed by pressing and separating the valve body 46 provided at the center of the lower end of the diaphragm 45 from the valve seat 44 by operating the drive unit 47 connected to the upper part of the main body 38. Will be

この四方弁の使用方法を図 9に示す。図 9 によれば、二方弁 6 1 を閉じ四方弁 6 5 を開いて主流路 6 2から流体を分岐供給している間は二方弁 6 1 と四方弁 6 5の間に流体が滞留することになるが、四方弁 6 5により主流路 6 2 , 6 2 を閉じ二方弁 6 1 を開けて洗浄を行えば、滞留していた流体は下流へ押し流され、四方弁 6 5及び分岐流路 6 3 を洗浄することができる。 Figure 9 shows how to use this four-way valve. According to FIG. 9, the fluid stays between the two-way valve 61 and the four-way valve 65 while the two-way valve 61 is closed and the four-way valve 65 is opened to supply and branch the fluid from the main flow path 62. However, if the main flow paths 62 and 62 are closed by the four-way valve 65 and the two-way valve 61 is opened for washing, the retained fluid is pushed downstream and the four-way valve 6 5 and the branch channel 63 can be washed.

しかしながら、このような四方弁では分岐流路が L字形状となつているため、弁の開状態または閉状態において流体の流れがわん曲され流量特性が悪く、また弁室が大きいため弁室内に残った薬液を完全に排出するのに時間がかかるという問題もあった。更に、弁を閉状態にして分岐流路を洗浄する際には、洗浄液の圧力によってダィャフラムが上方へ押し上げられて弁体と弁座が離間し洗浄液が主流路へ漏れ出す、或いは主流路の薬液が分岐流路へ漏れ出すといつた問題もあった。発明の開示 However, in such a four-way valve, the branch flow path has an L-shape, so that the flow of fluid is curved and the flow characteristics are poor when the valve is open or closed, and the valve chamber is large because the valve chamber is large. There was also a problem that it took time to completely drain the remaining chemical solution. Further, when cleaning the branch flow path by closing the valve, the diaphragm is pushed upward by the pressure of the cleaning liquid, the valve body and the valve seat are separated, and the cleaning liquid leaks into the main flow path, or There was also a problem when the chemical solution leaked into the branch channel. Disclosure of the invention

本発明は、上記従来技術の問題点に鑑みなされたもので、優れたシール性能を有しかつ流量特性に優れた四方弁を提供することを目的とする。 The present invention has been made in view of the above problems of the related art, and has as its object to provide a four-way valve having excellent sealing performance and excellent flow characteristics.

上記の目的を達成するため、本発明の四方弁の構成は、主流路と弁室と一対の分岐流路とを有する本体と、内部にビストンが密封状態で摺動自在に嵌挿されたシリンダ部を有するシリンダ本体と、シリンダ本体の上部を密閉するよう接合されたシリンダ蓋とからなり、前記主流路は本体の下部に直線状に配置され、前記弁室は主流路と垂直に設けられた連通口によつて主流路に連通されかつ該連通口の縁が弁座となっており、前記分岐流路はその内径の最下部の位置が弁室の底面とほぼ面一となるよう形成され、前記ビストンの下面中央には前記シリンダ本体の底部に摺動自在に支承されたロッド部が突設され、該ロッド部の先端には前記弁座に圧接 · 離間される弁体が設けられ、該弁体は前記本体とシリンダ部とにより挟持されたダイャフラムに連結され、前記シリンダ本体の側面には前記ビストンを上下動させるための一対の作動流体供給口が設けられていることを特徴としている。 In order to achieve the above object, a four-way valve according to the present invention comprises a main body having a main flow passage, a valve chamber, and a pair of branch flow passages, and a biston slidably fitted therein in a sealed state. A cylinder body having a The main flow path is linearly arranged at the lower part of the main body, and the valve chamber is formed by a communication port provided perpendicularly to the main flow path. The branch passage is formed so that the lowermost position of the inner diameter thereof is substantially flush with the bottom surface of the valve chamber, A rod portion slidably supported on the bottom of the cylinder main body protrudes at the center of the lower surface of the cylinder, and a valve body which is pressed into contact with and separated from the valve seat is provided at the tip of the rod portion. The valve body is connected to a diaphragm sandwiched between the main body and the cylinder portion, and a pair of working fluid supply ports for moving the piston up and down is provided on a side surface of the cylinder main body. It is characterized by being provided.

本発明の好ましい実施態様では、上記四方弁においてビストンの上面とシリンダ蓋の下面の間にビストンを下方に付勢するようにバネが配置されている。 In a preferred embodiment of the present invention, in the four-way valve, a spring is disposed between the upper surface of the piston and the lower surface of the cylinder lid so as to urge the biston downward.

本発明の他の好ましい実施態様では、上記四方弁においてビストンの下面とシリンダ部の底面の間にビストンを上方に付勢するようにパネが配置されている。 In another preferred embodiment of the present invention, a panel is disposed between the lower surface of the piston and the bottom surface of the cylinder in the four-way valve so as to urge the biston upward.

さらにまた、上記四方弁において一対の分岐流路が主流路に対して直交する方向に設けられている。図面の簡単な説明 Further, in the four-way valve, a pair of branch flow paths are provided in a direction orthogonal to the main flow path. BRIEF DESCRIPTION OF THE FIGURES

図 1 は本発明の四方弁の閉状態を示す縦断面図である。 FIG. 1 is a longitudinal sectional view showing a closed state of the four-way valve of the present invention.

図 2は図 1の四方弁の開状態を示す縦断面図である。 FIG. 2 is a longitudinal sectional view showing an open state of the four-way valve of FIG.

図 3は図 1の四方弁の本体の斜視図である。 FIG. 3 is a perspective view of the main body of the four-way valve of FIG.

図 4は本発明の四方弁の第二の実施態様を示す縦断面図である。図 5は本発明の四方弁の第三の実施態様を示す縦断面図である。図 6は従来の四方弁の閉状態を示す部分断面図である。図 7は二方弁を用いた薬液分岐供給ラインを示す外観図である。図 8は三方弁を用いた薬液分岐供給ラインを示す外観図である。図 9は四方弁を用いた薬液分岐供給ラインを示す外観図である。発明を実施するための最良の形態 FIG. 4 is a longitudinal sectional view showing a second embodiment of the four-way valve of the present invention. FIG. 5 is a longitudinal sectional view showing a third embodiment of the four-way valve of the present invention. FIG. 6 is a partial cross-sectional view showing a closed state of a conventional four-way valve. FIG. 7 is an external view showing a chemical liquid branch supply line using a two-way valve. FIG. 8 is an external view showing a chemical liquid branch supply line using a three-way valve. FIG. 9 is an external view showing a chemical branch supply line using a four-way valve. BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION

本発明の実施態様について図面を参照して説明する。 An embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.

図 1 は本発明の四方弁の閉状態を示す縦断面図である。図 2は図 1の四方弁の開状態を示す縦断面図である。図 3は図 1の本体の斜視図である。図 4は本発明の四方弁の第二の実施態様を示す縦断面図である。図 5は本発明の四方弁の第三の実施態様を示す縦断面図である。 FIG. 1 is a longitudinal sectional view showing a closed state of the four-way valve of the present invention. FIG. 2 is a longitudinal sectional view showing an open state of the four-way valve of FIG. FIG. 3 is a perspective view of the main body of FIG. FIG. 4 is a longitudinal sectional view showing a second embodiment of the four-way valve of the present invention. FIG. 5 is a longitudinal sectional view showing a third embodiment of the four-way valve of the present invention.

図において 1 は本体であり、下部に主流路 6 と、上部に主流路 6 に対して垂直に設けられた連通口 7で連通された弁室 8を有しており、この連通口 7の開口部の周縁部を弁座 2 0 としている。弁室 8 は連通口 7の開口部及び弁体 1 7の外径より大きくなつており（図 3参照）、弁の閉状態において分岐流路 9， 1 0に洗浄液を流すことによって弁室 8を洗浄することができる。また、本体 1の上部側面には弁室 8に連通した一対の分岐流路 9， 1 0が主流路 6に対して直交する方向に設けられている。分岐流路 9， 1 0は、その内径の最下部の位置が弁室 8の底面とほぼ面一となるように形成されている。尚、この分岐流路 9， 1 0は、主流路 6に対して平行に設けられてもよく、その場合には本体 1の高さを高くする必要がある。本実施態様においては、内部に分岐流路 9， 1 0が形成された一対の継手部 3 0， 3 1 が本体 1の上部側面に一体的に突出して形成されている（図 1参照）。本体 1 に配管チューブ 3 5を固定するには、継手部 2 9の外周に設けられた雄ねじ部 3 1 にキャップナツト 3 3の雌ねじ部 3 4を螺着させ、継手部 2 9の先端部 3 2に嵌合された配管チューブ 3 5の端部を挟持固定する方法で行われる。尚、当該四方弁を配管するための構造は本実施態様に限定されず、配管が可能な構造であればいずれでもよい。 In the figure, reference numeral 1 denotes a main body, which has a main passage 6 at a lower portion, and a valve chamber 8 communicated at an upper portion with a communication port 7 provided perpendicularly to the main flow passage 6. The periphery of the opening is a valve seat 20. The valve chamber 8 is larger than the opening of the communication port 7 and the outer diameter of the valve element 17 (see FIG. 3). When the valve is closed, the cleaning liquid flows through the branch flow paths 9 and 10 to open the valve chamber. Room 8 can be cleaned. A pair of branch passages 9 and 10 communicating with the valve chamber 8 are provided on the upper side surface of the main body 1 in a direction orthogonal to the main passage 6. The branch flow paths 9 and 10 are formed such that the lowermost position of the inner diameter thereof is substantially flush with the bottom surface of the valve chamber 8. The branch flow paths 9 and 10 may be provided in parallel with the main flow path 6, and in this case, the height of the main body 1 needs to be increased. In the present embodiment, a pair of joint portions 30 and 31 in which branch flow paths 9 and 10 are formed are integrally formed to protrude from the upper side surface of the main body 1 (see FIG. 1). . To fix the piping tube 35 to the main body 1, screw the female thread 34 of the cap nut 33 into the male thread 31 provided on the outer periphery of the joint 29, and attach the tip of the joint 29. 3 mated to 2 It is performed by a method of clamping and fixing the end of the pipe tube 35 thus formed. In addition, the structure for piping the four-way valve is not limited to this embodiment, and may be any structure as long as piping is possible.

2はシリンダ本体であり、内部に円筒状のシリンダ部 1 1 と下面に円柱状の突部 1 2を有し、シリンダ部 1 1 の底面中央から突部 1 2 を貫通するように貫通穴 1 3が設けられている。貫通穴 1 3 の内周面には O — リング 2 7が嵌挿されている。更にシリンダ本体 2の側面にはシリンダ部 1 1 の上方及び下方にそれぞれ連通された一対の作動流体供給口 2 3， 2 4が設けられている。 Reference numeral 2 denotes a cylinder body, which has a cylindrical cylinder portion 11 inside and a cylindrical protrusion 12 on the lower surface, and penetrates the protrusion 12 from the center of the bottom surface of the cylinder portion 11. A through hole 13 is provided. An O-ring 27 is inserted into the inner peripheral surface of the through hole 13. Further, a pair of working fluid supply ports 23 and 24 are provided on the side surface of the cylinder body 2 above and below the cylinder portion 11 respectively.

3はシリンダ蓋であり、底面に O — リング 2 8が嵌挿された円柱状突部 1 4を有し、円柱状突部 1 4をシリンダ部 1 1 の上部に O— リング 2 8 を介して嵌挿することによりボルト、ナット（図示せず ) でシリンダ本体 2に接合されている。 Reference numeral 3 denotes a cylinder lid, which has a cylindrical projection 14 on the bottom surface of which an O-ring 28 is inserted, and which has an O-ring on the top of the cylinder 11. It is joined to the cylinder body 2 by bolts and nuts (not shown) by being inserted through 28.

4はビストンであり、外周面に O — リング 2 6が嵌挿されており、シリンダ本体 2のシリンダ部 1 1 に O — リング 2 6 を介して上下に摺動自在に嵌挿されている。下端面中央にはシリンダ本体 2の貫通穴 1 3を摺動自在に貫通突出するようにロッド部 1 5がー体に設けられており、ロッド部 1 5の先端部にはダイヤフラム 5の弁体 1 7が接合される接合部 1 6が設けられている。また、ピストン 4の上面とシリンダ部 1 1 の内周面とシリンダ蓋 3の下面とによって上部空隙 2 1 が形成され、ビストン 4 の下面とロッド部 1 5 の外周面とシリンダ部 1 1 の内周面及び底面とによって下部空隙 2 2が形成されている。 Reference numeral 4 denotes a screw having an O-ring 26 fitted on the outer peripheral surface thereof. The O-ring 26 can be slid up and down on the cylinder portion 11 of the cylinder body 2 via the O-ring 26. It is inserted. In the center of the lower end surface, a rod part 15 is provided in the body so as to slidably penetrate through the through hole 13 of the cylinder body 2, and a tip part of the rod part 15 is provided. Is provided with a joint 16 to which the valve element 17 of the diaphragm 5 is joined. Also, an upper gap 21 is formed by the upper surface of the piston 4, the inner peripheral surface of the cylinder portion 11, and the lower surface of the cylinder lid 3, and the lower surface of the piston 4 and the rod portion 15 are formed. A lower gap 22 is formed by the outer peripheral surface and the inner peripheral surface and the bottom surface of the cylinder portion 11.

ダイヤフラム 5は、中央下面に弁室 8 の弁座 2 0に圧接 ' 離間される弁体 1 7がー体的に設けられており、この弁体 1 7はピストン 4のロッド部 1 5の先端部に接合されている。ダイヤフラム 5の外周縁部には円筒状膜部 1 8が設けられており、さらに円筒状膜部 1 8の上端部外周には環状突部 1 9が設けられている。円筒状膜部 1 8は本体 1 の弁室 8の内周面とシリンダ本体 2の突部 1 2の外周面とによって挟持されており、さらに、環状突部 1 9は、弁室 8の内周面上部に設けられた段差部 2 5に嵌挿されるとともに本体 1 の弁室 8の内周面とシリンダ本体 2の突部 1 2の外周面とによって挟持固定されている。このダイヤフラム 7の形状は本実施態様に限定されるものではなく、本体 1 とシリンダ部 1 1 によって挟持された膜部を有するものであればいずれでもよく、ベローズ型などの形状でもよい。 The diaphragm 5 is provided with a valve element 17 which is pressed into contact with and separated from the valve seat 20 of the valve chamber 8 on the center lower surface, and the valve element 17 is a rod of the piston 4. It is joined to the tip of part 15. A cylindrical film portion 18 is provided on the outer peripheral edge of the diaphragm 5 and further has a cylindrical film portion 1. An annular projecting portion 19 is provided on the outer periphery of the upper end of 8. The cylindrical membrane portion 18 is sandwiched between the inner peripheral surface of the valve chamber 8 of the main body 1 and the outer peripheral surface of the projection 12 of the cylinder main body 2, and the annular projection 19 is formed of a valve chamber. 8 is inserted into the step 25 provided at the upper part of the inner peripheral surface, and is clamped and fixed by the inner peripheral surface of the valve chamber 8 of the main body 1 and the outer peripheral surface of the projection 12 of the cylinder main body 2. . The shape of the diaphragm 7 is not limited to the present embodiment, but may be any shape having a film portion sandwiched between the main body 1 and the cylinder portion 11, and may be a bellows shape or the like.

尚、本発明において本体等の部材は、耐薬品性に優れ不純物の溶出も少ないことから、ポリテトラフルォロエチレン（以下 P T F E とレヽう）ゃテトラフノレォロエチレン一ノヽ。ーフノレオロアノレキノレビ二ノレエーテル共重合体（以下 P F Aという）などのフッ素樹脂が好適に使用されるが、ポリ塩化ビニル、ポリプロピレン等のその他のブラスチックあるいは金属でも良く特に限定されるものではない。また、ダイヤフラムの材質は P T F E , P F A等のフッ素樹脂が好適に使用されるが、ゴム及び金属でもよく特に限定されない。 In the present invention, since the members such as the main body have excellent chemical resistance and little leaching of impurities, polytetrafluoroethylene (hereinafter referred to as PTFE) {tetrafluoroethylene ethylene}. . Fluororesins such as funorolelo anolequinolebininole ether copolymer (hereinafter referred to as PFA) are preferably used, but other plastics or metals such as polyvinyl chloride and polypropylene are not particularly limited. As the material of the diaphragm, a fluororesin such as PTFE or PFA is preferably used, but rubber or metal is not particularly limited.

次に本実施態様の四方弁の作動について説明する。 Next, the operation of the four-way valve of the present embodiment will be described.

図 1 は弁の閉状態を示しているが、このとき流体は主流路 6を流れており分岐流路 9 ， 1 0へは流れていない。この状態で作動流体供給口 2 4から下部空隙 2 2に外部より作動流体（例えば圧縮された空気等）が注入されると、該作動流体の圧力でピストン 4が押し上げられるためこれと接合されている口ッド部 1 5は上方へ引き上げられ、口ッド部 1 5の下端部に接合された弁体 1 7 も弁座 2 0から離間し上方へ引き上げられバルブは開状態となり（図 2の状態）、流体が主流路 6から分岐流路 9 ， 1 0へと流れ出す。このとき、従来のバルブに比べて流体の流れが直線状となるため圧力損失が少なく、優れた流量特性が得られる。 FIG. 1 shows the closed state of the valve. At this time, the fluid is flowing through the main flow path 6 and not flowing into the branch flow paths 9 and 10. In this state, when a working fluid (for example, compressed air or the like) is externally injected into the lower space 22 from the working fluid supply port 24, the piston 4 is pushed up by the pressure of the working fluid, so that the piston 4 is pushed up. The port 15 joined to the valve 15 is pulled upward, and the valve element 17 joined to the lower end of the port 15 is also lifted upward away from the valve seat 20. Is in the open state (the state shown in FIG. 2), and the fluid flows out of the main flow path 6 to the branch flow paths 9 and 10. At this time, the pressure loss is small because the fluid flow is straight compared to the conventional valve. And excellent flow characteristics can be obtained.

一方、図 2の状態で、作動流体供給口 2 3から上部空隙 2 1に作動流体が注入されると、ピストン 4が押し下げられ、それにともなつて、ロッド部 1 5 とその下端部に接合された弁体 1 7も下方へ押し下げられ弁座 2 0に圧接され、バルブは閉状態となる（図 1 の状態）。 On the other hand, when the working fluid is injected from the working fluid supply port 23 into the upper space 21 in the state of FIG. 2, the piston 4 is pushed down, and accordingly, the rod 15 and the The valve element 17 connected to the lower end is also pushed down and pressed against the valve seat 20 to close the valve (the state shown in FIG. 1).

バルブの閉状態（図 1 の状態）において二方の分岐流路側に取り付けられた例えば洗浄液供給用のバルブを開くと弁室 8に残っていた流体は洗浄液によって押し出され、他方の分岐流路から排出されて分岐流路の洗浄が行われる。このとき、分岐流路の内径の最下部の位置が弁室 8の底面とほぼ面一になるように設計されているため、流路が直線状となり圧力損失が少なく流量特性に優れており効率的に弁室内の薬液を排出することができる。更に、従来のバルブに比べて弁室 8がコンパクトであり、またダイヤフラム 5の受圧面積も小さくなつている為、ダイヤフラム 5は洗浄液の圧力が上昇しても上方へ押し上げられにくく、弁体 1 7 と弁座 2 0が離間し洗浄液が主流路 6へ漏れ出す、或いは主流路 6の薬液が分岐流路 9， 1 0 へ漏れ出すといった問題が起こりにくレ、。 When, for example, the cleaning liquid supply valve attached to the two branch flow paths is opened in the closed state of the valve (the state shown in Fig. 1), the fluid remaining in the valve chamber 8 is pushed out by the cleaning liquid, and the other branch flow path is opened. And the branch channel is washed. At this time, since the lowermost position of the inner diameter of the branch flow path is designed so as to be substantially flush with the bottom surface of the valve chamber 8, the flow path is linear, the pressure loss is small, the flow characteristics are excellent, and efficiency is improved The liquid medicine in the valve chamber can be discharged efficiently. Further, compared to the conventional valve, the valve chamber 8 is more compact and the pressure receiving area of the diaphragm 5 is also smaller, so that the diaphragm 5 is hard to be pushed upward even if the pressure of the cleaning liquid increases, and the valve 5 The problem that the cleaning liquid leaks out to the main flow path 6 when the body 17 is separated from the valve seat 20 or the chemical liquid in the main flow path 6 leaks out to the branch flow paths 9 and 10 is unlikely to occur.

図 4は本発明の第二の実施態様を示した縦断面図である。前記第一の実施態様と異なる点は上部空隙 2 1 内にパネ 3 6を配置した点である。ビストン 4がパネの反発力によって押し下げられてバルブは閉状態となっている。この状態で作動流体供給口 2 4から下部空隙 2 2に外部より作動流体が注入されると、該作動流体の圧力でピストン 4が押し上げられるためこれと接合されている口ッド部 1 5 は上方へ引き上げられ、ロッド部 1 5の下端部に接合された弁体 1 7 も上方へ引き上げられバルブは開状態となり、流体が主流路 6から分岐流路 9 , 1 0へと流れ出す。このときパネ 3 6は圧縮されているが、下部空隙 2 2内の作動流体が排出されれば再びバルブは閉状態となる。 FIG. 4 is a longitudinal sectional view showing a second embodiment of the present invention. The difference from the first embodiment is that a panel 36 is arranged in the upper space 21. Biston 4 is pushed down by the resilience of the panel, and the valve is closed. In this state, when a working fluid is externally injected from the working fluid supply port 24 into the lower space 22, the pressure of the working fluid pushes up the piston 4, so that the piston 4 is joined to the lower part. The valve part 15 is lifted upward, the valve element 17 joined to the lower end of the rod part 15 is also lifted upward, and the valve is opened, and the fluid flows from the main flow path 6 to the branch flow path 9, Flows out to 10 At this time, panel 3 6 is compressed However, if the working fluid in the lower gap 22 is discharged, the valve is closed again.

図 5は本発明の第三の実施態様を示した縦断面図である。前記第一の実施態様と異なる点は下部空隙 2 2内にパネ 3 7を配置した点である。ビストン 4がパネ 3 7の反発力によって押し上げられてバルブは開状態となっている。この状態で作動流体供給口 2 3から上部空隙 2 1 に外部より作動流体が注入されると、該作動流体の圧力でビストン 4が押し下げられるため、これと接合されている口ッド部 1 5は下方へ押し下げられ、ロッド部 1 5の下端部に接合された弁体 1 7 も下方へ押し下げられ弁座 2 0に圧接されてバルブは閉状態になり、流体の主流路 6から分岐流路 9， 1 0への流れは遮断される。このときバネ 3 7は圧縮されているが、上部空隙 2 1内の作動流体が排出されれば再びバルブは開状態となり、流体が主流路 6 から分岐流路 9， 1 0へと流れ出す。 FIG. 5 is a longitudinal sectional view showing a third embodiment of the present invention. The difference from the first embodiment is that a panel 37 is arranged in the lower space 22. Biston 4 is pushed up by the rebound of panel 37, and the valve is open. In this state, when the working fluid is externally injected from the working fluid supply port 23 into the upper space 21, the pressure of the working fluid pushes down the screw 4, so that the port connected thereto is not used. The valve part 15 is pushed down, and the valve element 17 joined to the lower end of the rod part 15 is also pushed down and pressed against the valve seat 20 to close the valve and the main flow of fluid The flow from channel 6 to branch channels 9 and 10 is blocked. At this time, the spring 37 is compressed, but when the working fluid in the upper gap 21 is discharged, the valve is again opened, and the fluid flows from the main flow path 6 to the branch flow paths 9 and 10.

本発明は以上説明したような構造をしており、これを使用することにより以下の優れた効果が得られる。 The present invention has a structure as described above, and the use of the structure has the following excellent effects.

( 1 ) 全閉時に分岐流路に洗浄液を流した場合には、分岐流路は圧力損失が少なく流量特性に優れた形状に形成されすなわち流路が直線状になるため、弁室内に残った薬液を効率的に洗浄排出することができ、その結果、分岐流路の洗浄時間を大幅に短縮することができる。 (1) When the cleaning liquid flows through the branch flow path when fully closed, the branch flow path is formed into a shape with low pressure loss and excellent flow characteristics, that is, the flow path becomes linear, and remains in the valve chamber. The chemical solution can be efficiently cleaned and discharged, and as a result, the cleaning time of the branch channel can be significantly reduced.

( 2 ) 弁室がコンパクトでかつダイャフラムの受圧面積が小さいため、洗浄液の圧力が上昇してもダイャフラムが上方へ押し上げられにくく、弁体と弁座が離間し洗浄液が主流路へ漏れ出す、或いは主流路の薬液が分岐流路へ漏れ出すといった問題も起こりにくい。 (2) Since the valve chamber is compact and the pressure receiving area of the diaphragm is small, even if the pressure of the cleaning liquid increases, the diaphragm is not easily pushed upward, the valve body and the valve seat are separated, and the cleaning liquid flows to the main flow path. Problems such as leakage or leakage of the chemical in the main flow passage to the branch flow passage are less likely to occur.

( 3 ) 全開時には分岐流路が直線状となり流量特性に優れているため、従来のバルブよりも多くの流体を流すことができ、スラリーを含む薬液にも使用可能である。 (3) When the valve is fully open, the branch flow path is straight and has excellent flow characteristics, allowing more fluid to flow than conventional valves. It can also be used for chemical solutions containing.

( 4 ) 本体及びダイヤフラムの素材として P T F E， P F A等のフッ素樹脂を使用すると耐薬品性が高くなり、また流体への不純物の溶出も少ないため、半導体産業における超純水ラインゃ各種化学薬液ラインにも好適に使用できる。 (4) The use of fluororesins such as PTFE and PFA as the material of the main body and diaphragm increases chemical resistance and reduces elution of impurities into fluids. It can be suitably used for chemical liquid lines.

Claims

請求の範囲 The scope of the claims

1 . 主流路と弁室と一対の分岐流路とを有する本体と、内部にピストンが密封状態で摺動自在に嵌挿されたシリンダ部を有するシリンダ本体と、シリンダ本体の上部を密閉するよう接合されたシリンダ蓋とからなり、前記主流路は本体の下部に直線状に配置され、前記弁室は主流路と垂直に設けられた連通口によつて主流路に連通されかつ該連通口の縁が弁座となっており、前記分岐流路はその内径の最下部の位置が弁室の底面とほぼ面一となるよう形成され、前記ビストンの下面中央には前記シリンダ本体の底部に摺動自在に支承された口ッド部が突設され、該ロッド部の先端には前記弁座に圧接 • 離間される弁体が設けられ、該弁体は前記本体とシリンダ部とにより挟持されたダイャフラムに連結され、前記シリンダ本体の側面には前記ピストンを上下動させるための一対の作動流体供給口が設けられていることを特徴とする四方弁。 1. A main body having a main flow path, a valve chamber, and a pair of branch flow paths, a cylinder main body having a cylinder portion in which a piston is slidably inserted in a sealed state, and a cylinder main body. The main flow path is linearly arranged at the lower part of the main body, and the valve chamber is formed by a communication port provided perpendicularly to the main flow path. The branch passage is formed so that it is communicated with the main flow passage and an edge of the communication opening serves as a valve seat, and the lowermost position of the inner diameter of the branch flow passage is substantially flush with the bottom surface of the valve chamber. At the center of the lower surface of the tongue, a port portion slidably supported on the bottom of the cylinder body is protruded, and a valve body pressed and separated from the valve seat at the tip of the rod portion. The valve body is connected to a diaphragm sandwiched between the main body and the cylinder portion, and A four-way valve, wherein a pair of working fluid supply ports for moving the piston up and down is provided on a side surface of the cylinder body.

2 . ビストンの上面とシリンダ蓋の下面との間にビストンを下方に付勢するようにパネが配置されていることを特徴とする請求項 1 記載の四方弁。 2. The four-way valve according to claim 1, wherein a panel is disposed between the upper surface of the biston and the lower surface of the cylinder lid so as to urge the biston downward.

3 . ビストンの下面とシリンダ部の底面との間にビストンを上方に付勢するようにパネが配置されていることを特徴とする請求項 1 記載の四方弁。 3. The four-way valve according to claim 1, wherein a panel is arranged between the lower surface of the piston and the bottom surface of the cylinder so as to urge the rubber upward.

4 . 一対の分岐流路が主流路に対して直交する方向に設けられていることを特徴とする請求項 1 乃至 3のうちの 1項に記載の四方弁 4. The four-way valve according to any one of claims 1 to 3, wherein a pair of branch flow paths are provided in a direction orthogonal to the main flow path.