WO1999045569A3 - Dispositif de mesure de l'energie des ions dissemines par une surface cible - Google Patents

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WO1999045569A3
WO1999045569A3 PCT/NL1999/000110 NL9900110W WO9945569A3 WO 1999045569 A3 WO1999045569 A3 WO 1999045569A3 NL 9900110 W NL9900110 W NL 9900110W WO 9945569 A3 WO9945569 A3 WO 9945569A3
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Hidde Herman Brongersma
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Hidde Herman Brongersma
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    • H01J49/44—Energy spectrometers, e.g. alpha-, beta-spectrometers
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    • H01J49/446—Time-of-flight spectrometers

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Abstract

L'invention concerne un dispositif permettant de déterminer l'énergie cinétique d'ions disséminés à partir d'une surface d'un corps cible, par un faisceau d'ions primaires venant frapper sur ladite surface, selon la technique de diffusion des ions à faible énergie. Les ions rétrodiffusés sont séparés par un analyseur d'énergie électrostatique en fonction de leur énergie cinétique, et sont détectés par un détecteur. Un dispositif de traitement de signaux, connecté au dispositif de détection, traite les données fournies par le dispositif de détection en fonction du nombre d'ions détectés par rapport à leur énergie. Lors de la mesure du spectre énergétique des ions rétrodiffusés, en pratique, un signal de fond puissant se produit à partir des ions pulvérisés à partir de la surface du corps cible. Selon l'invention, une analyse de fenêtre temporelle/temps de vol est effectuée sur les ions atteignant le dispositif de détection, en se fondant sur le principe que les ions pulvérisés à partir de la surface du corps cible présentent généralement une masse qui diffère de manière significative de la masse des ions du faiscau d'ions primaires venant frapper sur la surface du corps cible, et que les ions pulvérisés présentant plus ou moins la même énergie cinétique que les ions rétrodiffusés ont des temps de propagation trés différents, depuis la surface du corps cible jusqu'au dispositif de détection. En traitant, pendant la mesure, uniquement les ions dont la trajectoire/le temps de vol de la surface du corps cible au dispositif de détection se situe dans une fenêtre temporelle large, au niveau du dispositif de détection, une influence perturbante par les ions pulvérisés sur le spectre d'énergie traitée des ions rétrodiffusés du faisceau d'ions primaire, la partie appelée fond est supprimée. En raison des différences importantes dans la masse, entre les ions pulvérisés et les ions du faisceau d'ions primaires, un réglage relatif large et grossier de la fenêtre temporelle est suffisant.
PCT/NL1999/000110 1998-03-03 1999-03-02 Dispositif de mesure de l'energie des ions dissemines par une surface cible WO1999045569A2 (fr)

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