WO1997035050A1 - Procede de traitement de surfaces et dispositif permettant de mettre en oeuvre de ce procede - Google Patents

Procede de traitement de surfaces et dispositif permettant de mettre en oeuvre de ce procede Download PDF

Info

Publication number
WO1997035050A1
WO1997035050A1 PCT/RU1996/000096 RU9600096W WO9735050A1 WO 1997035050 A1 WO1997035050 A1 WO 1997035050A1 RU 9600096 W RU9600096 W RU 9600096W WO 9735050 A1 WO9735050 A1 WO 9735050A1
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
anode
fact
electrolyte
ddya
discharge plasma
Prior art date
Application number
PCT/RU1996/000096
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
Vitaly Makarovich Ryabkov
Valery Leontievich Steblyanko
Original Assignee
Riabkov Vitalij Makarovich
Steblianko Valerij Leontievich
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Riabkov Vitalij Makarovich, Steblianko Valerij Leontievich filed Critical Riabkov Vitalij Makarovich
Publication of WO1997035050A1 publication Critical patent/WO1997035050A1/ru

Links

Classifications

    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C25—ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PROCESSES; APPARATUS THEREFOR
    • C25D—PROCESSES FOR THE ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PRODUCTION OF COATINGS; ELECTROFORMING; APPARATUS THEREFOR
    • C25D11/00—Electrolytic coating by surface reaction, i.e. forming conversion layers
    • C25D11/02—Anodisation
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C25—ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PROCESSES; APPARATUS THEREFOR
    • C25D—PROCESSES FOR THE ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PRODUCTION OF COATINGS; ELECTROFORMING; APPARATUS THEREFOR
    • C25D11/00—Electrolytic coating by surface reaction, i.e. forming conversion layers
    • C25D11/02—Anodisation
    • C25D11/026—Anodisation with spark discharge
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C25—ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PROCESSES; APPARATUS THEREFOR
    • C25D—PROCESSES FOR THE ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PRODUCTION OF COATINGS; ELECTROFORMING; APPARATUS THEREFOR
    • C25D5/00—Electroplating characterised by the process; Pretreatment or after-treatment of workpieces
    • C25D5/08—Electroplating with moving electrolyte e.g. jet electroplating
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C25—ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PROCESSES; APPARATUS THEREFOR
    • C25D—PROCESSES FOR THE ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PRODUCTION OF COATINGS; ELECTROFORMING; APPARATUS THEREFOR
    • C25D5/00—Electroplating characterised by the process; Pretreatment or after-treatment of workpieces
    • C25D5/60—Electroplating characterised by the structure or texture of the layers
    • C25D5/605—Surface topography of the layers, e.g. rough, dendritic or nodular layers
    • C25D5/611—Smooth layers
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C25—ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PROCESSES; APPARATUS THEREFOR
    • C25F—PROCESSES FOR THE ELECTROLYTIC REMOVAL OF MATERIALS FROM OBJECTS; APPARATUS THEREFOR
    • C25F1/00—Electrolytic cleaning, degreasing, pickling or descaling
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C25—ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PROCESSES; APPARATUS THEREFOR
    • C25F—PROCESSES FOR THE ELECTROLYTIC REMOVAL OF MATERIALS FROM OBJECTS; APPARATUS THEREFOR
    • C25F7/00—Constructional parts, or assemblies thereof, of cells for electrolytic removal of material from objects; Servicing or operating

Definitions

  • Izves ⁇ en s ⁇ s ⁇ b ⁇ chis ⁇ i me ⁇ allnches ⁇ i ⁇ ⁇ ve ⁇ n ⁇ s ⁇ ey ⁇ eag ⁇ yazneny in vn- de ⁇ aliny, ⁇ zhavchiny and ⁇ l ,, ⁇ edusma ⁇ ivayu ⁇ shy ⁇ e ⁇ miches ⁇ e v ⁇ edeys ⁇ vie on ⁇ be ⁇ ⁇ s ⁇ eds ⁇ v ⁇ m ⁇ isl ⁇ dn ⁇ -atse ⁇ ilen ⁇ vy ⁇ g ⁇ el ⁇ , ⁇ delenie and ⁇ sleduyushee udvlsnie eag ⁇ yaznyayuscheg ⁇ ma ⁇ e ⁇ iala ⁇ iedeliya (S ⁇ av ⁇ chni ⁇ mashin ⁇ s ⁇ i ⁇ eyaya ⁇ . ⁇ , ⁇ .: ⁇ ashieda ⁇ , 1951 , p. 547).
  • the disadvantageous solution is the presence of harmful injuries, significant waste of materials, and also unsatisfactory ⁇ ⁇ 97/35050 ⁇ / ⁇ 96 / 00096
  • Us ⁇ ys ⁇ v ⁇ s ⁇ s ⁇ i ⁇ IE is ⁇ chni ⁇ a ⁇ s ⁇ yann ⁇ go ⁇ a 1 ⁇ l ⁇ zhv ⁇ elny ⁇ - pole of ⁇ go s ⁇ edvnen with ele ⁇ d ⁇ m 2 (an ⁇ dom) in ⁇ m m ⁇ gu ⁇ by ⁇ vsh ⁇ lne- us ⁇ anady 3.
  • ddya ⁇ deleniya slurry ⁇ ele ⁇ li ⁇ a The device is equipped with unit 5 with filters of quick and cheap calculations, and to ensure the circulation of electricity by pumps 6.
  • the device may have been executed with the system of electronic distribution; however, options for delivering it to other devices are not excluded.
  • Processing unit 7 is connected to the online access point of the original source 1 and is connected. For resetting the anode 2 and the processing unit 7 are placed in the working camera 8, which has an output channel that is plugged in and the cord is removed.
  • the processor 9 can be used, which allows the dispenser to consume the electric power supplied by the machine. 2
  • the working camera 8 is made from the condition of providing a convenient, convenient transfer of the processing unit 7 for the purpose of processing the entire process.
  • the method is the following. 0 Zm ⁇ S ⁇ m S ⁇ ⁇ P ⁇ S- ⁇ m ⁇ -LsSh ⁇ Y ⁇ .shd ⁇ ch ⁇ chys ⁇ n ⁇ shvs ⁇ ya-n ⁇ s ⁇ n ⁇ s ⁇ a 7 NFI applying it zashv ⁇ n ⁇ g ⁇ or ii ⁇ go sl ⁇ ya me ⁇ alla) in ⁇ ab ⁇ chey ⁇ ame ⁇ e 8 us ⁇ ana- vlivayu ⁇ an ⁇ d 2 s ⁇ ve ⁇ s ⁇ venn ⁇ of ⁇ imiches ⁇ i ine ⁇ n ⁇ g ⁇ ma ⁇ e ⁇ nala or ma ⁇ e ⁇ iala nan ⁇ sim ⁇ g ⁇ ⁇ y ⁇ yaya. When this process is being processed, 7 is available in 97/35050 9/0
  • the cleanest pumps 6 are delivered to part 4, and then they are used in the process. 1 for 4 e-deeds, you can indulge in the use of it, with the help of your sm-sasnuyu ustanovshk shshomosekom.
  • E ⁇ ⁇ ev ⁇ lyae ⁇ ⁇ iysig ⁇ aches ⁇ v ⁇ ⁇ a ⁇ i on account ⁇ vyshsniya ⁇ dn ⁇ - ⁇ dn ⁇ s ⁇ i ⁇ a ele ⁇ di ⁇ a.
  • ⁇ case if anode 2 is selected, the material is copper, the metal is copper, and the lead is on.
  • the alloy of the process of calculating the process of accession 7 is combined with the availability of materials from the material of this anugd ⁇ .
  • ⁇ e ⁇ m case imse ⁇ mes ⁇ ⁇ - vn ⁇ n ⁇ vs ⁇ she ma ⁇ s ⁇ i ⁇ da ⁇ s ⁇ y ⁇ iya in ⁇ b ⁇ aba ⁇ yvaemuyu ⁇ ve ⁇ n ⁇ s ⁇ ⁇ be ⁇ a 7.

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Electrochemistry (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Cleaning And De-Greasing Of Metallic Materials By Chemical Methods (AREA)
  • Electroplating Methods And Accessories (AREA)
  • Manufacturing Of Printed Wiring (AREA)
  • Electrolytic Production Of Metals (AREA)
  • Connection Of Batteries Or Terminals (AREA)
  • Cleaning In General (AREA)
  • Cleaning By Liquid Or Steam (AREA)
  • Nitrogen And Oxygen Or Sulfur-Condensed Heterocyclic Ring Systems (AREA)
  • Application Of Or Painting With Fluid Materials (AREA)
  • Laminated Bodies (AREA)

Description

СПΟСΟБ ΟБΡΑБΟΤΚИ ПΟΒΕΡΧΗΟСΤΕЙ И
УСΤΡΟЙСΤΒΟ ДЛЯ ΕГΟ ΟСУΙДΕСΤΒЛΕΗИЯ
ΟБЛΑСΤЬΤΕΧΗИΚИ Изοбρсτение οτнοсиτся κ меτаллуρгичесκοй προмьшшеннοсτи н мοжеτ быτь исποльзοванο для οчисτюι меτалличесκиχ ποвсρχнοсτей οτ загρяэнений и или на- несения на ниχ ποκρыτий ρазлнчнοгο ροда, в τοм числе и эащиτныχ.
ПΡΕДШΕСΤΒΥЮЩИЙ УΡΟΒΕΗЬ ΤΕΧΗИΚИ
Извесτен сποсοб οчисτκи меτаллнчесκиχ ποвеρχнοсτей οτ эагρязнений в вн- де οκалины, ρжавчины и τл,, πρедусмаτρиваюπшй τеρмичесκοе вοэдейсτвие на οбъеχτ ποсρедсτвοм κислοροднο-ацеτиленοвыχ гορелσκ, οτделение и ποследуюшее удвлсние эагρязняющегο маτеρиала οτ иэделия (Сπρавοчниκ машинοсτροиτеяя τ.ΙΙ, Μ.: Μашиэдаτ, 1951, с.547).
Ηедοсτаτκοм нэвесτнοгο ρешения являеτся ниэκοе κачесτвο οчисτκи и зκο- лοгичнοсτь τсχнοлοπш, свяэанная с наличнем προдуκτοв гορения.
Извесτен τаκже сποсοб οчисτκн ποвсρχнοсτей πуτсм иχ οбρабοτκи дисπеρс- ным маτеρиалοм, ποдаваемым на οбρабаτываемый учасτοκ ποτοκοм сжаτοгο вοз- духа (сπρавοчϊ-иκ машинοсτροιιτедя τ.ΙΙ, Μ.: Μапшэдаτ, 1951, с.385-387). Β κа- чесτве днсπеρснοгο маτеρиала исποльзуюτ οбычнο дροбь или πесοκ. Ηедοсτаτκοм двнныχ ρешений являеτся значиτельная загρязненнοсτь ρабο- чиχ месτ, шум, заπыленнοсτь.
Извесτнο τаκже нанесеιше эащнτныχ и иныχ ποκρыτий на ποвеρχнοсτь ме- τалличесκиχ нэделий ποсле ее οчисτκи гальваничссκим меτοдοм (Сπρавοчниκ ма- шннοсτροιιτеля τ.П, Μ.: Μашиэдаτ, 1951, с.996). Для ρеализации даннοй τеχнοлοгии исποльзуюτ гальваничесκие ванны с элеκτροлиτοм и исτοчниκи ποсτοяннοгο элеκτρичесκοгο τοκа.
Ηедοсτаτκοм иэвесτнοгο ρешения являеτся надичие вρедныχ исπаρений, значиτельный ρасχοд деφициτныχ маτеρиалοв, а τаκже неудοвлеτвορнτельнοе κа- \ΥΟ 97/35050 ΡСΤ/ΙШ96/00096
2
чесτвο нанοснмыχ ποϊφыτий, связаннοе с недοсτаτοчным сροκοм службы ποκρы- τия.
Ηанбοдее бдшκшι κ . аявлсннοму явдяеτся сποсοб нанесешιя ποκρыτнй πу- τем элеκιροοсажζιення меτашιа и усιροйсгвο для егο οсущесτвле.шя, κοτορые πρедусмаτρиваιοτ ρазмещешιе οбρаδ&τываемοгο οбъсκτа в емκοсτи с элеκτροли- τοм между элеχτροдами, ποдодоченньиω κ ρазлнчным ποлюсам πсτοчннκа ποсτο- яннοгο τοκа. Дπя Φορмнροвания элеκτροдугοвοгο ρазρяда κаτοд πеρиοдичесκи ввοдяτ ь сοι.ρиχοснοвснне с οбρабаχываемым οбъеκτοм, οτвοдя егο заτем в ис- χοднοе ποлοжение. Β ρезульτаτе на ποвеρχποсτи в мύменτ ποπддαния на нее гаэο- вοгο ρазρяда φορмиρусτся ποκρыτие сοвπадающее πο сοсτаву с маτеρиалοм анοда Αвτ. свид, СССΡ Ν 1544844, ΜПΚ С 25 Д 5/18, 1988).
Ηедοсτаτκами иэвесτнοгο ρешения являюτся πеρиοднчнοсτь и эначнτельная длиτельнοсτь προцесса нанесенηя ποκρыτия, неρавнοмеρнοсτь τοлщины ποследне- гο, слοжнοсτь κοнсτρуκτивηοгο выποлнения, слοжнοсιь учеτа мнοжесτва φаκτο- ροв ддя οπρедслення πаρамеτροв προцесса, связанная с измснешιем вещесτвеннοгο сοсτава элеκτροшιτа в ιροцессе шшссенш ποκρыτпя. Пυмнмο эτοгο извесτнοе ρс- шенне не ιιρедпοяагаеτ οсущесτвляτь οчисτκу οбρабаτываемοй ποвеρχнοсτи οτ загр-ηнений.
СУЩΗΟСΤЬ ИЗΟБΡΕΤΕΗИЯ
Задача нзοбρегения - усτρанение уκазанныχ исдυсτаτκοв Эτο дοсτигаеτся τем, чτο в сποсοбе οбρабοτκн ιιοвеρχнοсτей, πρедусмаτρи- вающем ρазмещенне οбъеκτα ь ^леκτροπροвοдящей сρедс на исκοτοροм ρассτοя- шш οτ элеκτροда, ποдаслюченнοгο κ ποлοжпτельнοму ποлюсу πсτοчниκа τοκа, и далыιейшес вοздейсτвне нα егο ποвеρχиοсτь ποсρсдсτвοм элеκτρичеαсοгο ρазρя- да,сοэдвιοτ иа ποвсρχнοсτи οбъеκτа слοй элеκτρορаэρяднοй шιаэмы, для чегο анοд усτанавливаюτ эκвидπсτанτнο οбρабаχываемοй ποвеρχнοсτи с межэлеκτροдньш зазοροм (Ь, м.) в πρеделаχ οτ 0,2 Φ дο 4,0 Φ, где Φ = υ_φ б) / (λ / (X X
СΤы *»* - лиπττ ηлτй πгтηм-*г Μ Τ Τν- - ияΕ г%яνл*тм* ι
Figure imgf000004_0001
_г ^ждτуыг ._»т«:< ^ιι^κτιул.
ρазρяднοй ιтааэмы, Β, δ - τοлщина сяοя элеκτρορазρяднοй πлаэмы на ποвеρχ-
нοсτи, м, λ - κοэφφициенτ τеπлοπροвοднοсτи элеκτροлиτа, Βτ Μ Κ, - τемπсρа- \νθ 97/35050
τуρный κθ'ϊφφтшснτ, ΪΟ', СΤн - удельная элеκτροнροвοднοсτь элсκτροлиτа, Οм м"'. πρичем в анοде мοгуτ быτь вьшοлнены ρавнοмеρнο ρасποлοжснные κанады для πρинудиτельнοй ποдачи эдеκτροιιροвοдящегο агенτа, в κачесτве маτеρиала анοда, для οбρабοτκи οбρабаτьшаемοй пοвеρχнοсги, мοжеτ όыτь исποльэοван χимиче- сκи ιшеρηшй маτеρиал, наπρимеρ, углеροд, няи маτеρиал нанοсимοгο иοκρыτия, мсжду анοдοм и οбρабаτьшаемым οбъеκτοм дοποлниτельнο мοжеτ быτь ρаэмещен элеменτ для ρавнοмсρнοгο ρасπρеделення лοτοκа элеκτροιιροвοдяшегο агенτа. Дπя οбρабοτιαι вπуτρеιшей ηοвеρχнοсτπ οδъеκιа внугρи негο ρаэмещаюτ анοд, а οб- ρабοτκу значиτеяыιыχ πο ηлοщади πлοсκиχ οбъеκτοв мοгуτ весτи с двуχ сτοροн οднοвρемеιшο, для чегο эτοτ οбъсагг ρаэмешаюτ между двумя πаρаллельнο усτанο- вленнышι анοдами, щмι эτοм οн мοжеτ быτь ρасποлοжен на ρаэличнοм удалении οτ κаждοгο из ниχ.
Β часτи "усτροйсτва" уκаэанный выше τеχничесκий ρезульτаτ дοсτигаеτся τем, чτο в усτροήсτвс ддя οбρабοτκи ποвеρχнοсτей, сοдеρжашем анοд, егο ρасπο- лагаюτ эκвιшιсτанτπο οбρабаτывасмοй ιювеρχнοсτи, с вοэмοжнοсτью усτанοвκи межэлеχτροднοгο зазορа в πρеделаχ οτ 0,2 Φ дο 4,0 Φ и усτροйсτвο дοποлни- τельнο снабжеяο элеменτамн ддя πρннудиτельнοй ποдачи элηжτροπροвοдящегο агенτа в зοну οбρабοτюι, сисτему егο сбορа и οчисτκи οτ меχаничесκиχ πρимесей, πρи эτοм в анοде мοгуτ быτь выποлнены κанады, сοеднненные ποдаюшей наπορ- нοй магнсτρадью.
Ρаэмещение элеκτροда (анοда) эивидисτанτнο οбρабаτываемοй ποвеρχ- нοсτи (τ.е. ρавнοудаленнο οτ οбρабаτываемοй ποвеρχнοсτи1 πο всей ее πлοщади) πρн οπρеделеннοм межэлеκτροднοм эаэορе дπя сοэдания усτοйчивοгο (в τечение дшггельнοгο вρеменн н ρавнοмеρнοгο πο всей πлοшади) слοя πлаэмы на ποвеρχ- нοсτи οбρабаτываемοгο οбъсκτа οбесπечиваеτ φορмиροвание ρавнοмеρнοгο πο τοлщине и сοсτаву защиτнοгο слοя на οбρабаτываемοй ποвеρχнοсτи и πρедваρи- τельную οчисτκу ποследней οτ эагρяэнений. Сφορмϊφοванный слοй χаρаκτеρизу- еτся высοκοπροчным сοедннением с маτеρиалοм οбρабаτываемοгο οбъеκτа, чτο οбесπечиваеτ сгο "©дгοзсчнοсτь . Усτанοвленне заэορа в уκазанныχ πρеделаχ οбесπечнваеτ усτοйчивοсτь οб- ρазοвания газορазρяднοй πлазмы на ποвеρχнοсτи, в случае Ь > 4,0 Φ насτуπаеτ θ 97/35050
4
ρежнм элеκτροлша, в случае 1ϊ < 0.2Φ будеτ имгπ» месτο меж^леκτροдный προ- бοй κοнτρагиροванньιм элсκτρичесκим ρазρядοм.
Βьшοлнеιше анοда из χимпчесκи шιеρτнοιο маτсρшша, шωρимеρ, ушеροда или маτеρπала οбρабаτываемοгο οбъеκτа, ηοэвοлπг нсποльзοваτь изοбρеτение κаκ в часτи "сποсοба", τаκ π в часτπ "усτροйсτва" исκдючыτсльцυ ддя υчисτκи ποвеρχ- нοсτπ οбρабаτываемοгο οбъсκτа οτ ρазличнοгο ροда загρяэнений χемοсορбиροванные οκсиды, ρжавчина, οκашша, жиροвые загρязнений, неφτе- ιτροлуκτы, πесοκ и τ.д.), ποдгοτавливηя τем самым οбъеκτ κ ποследующему нане- сешπο ρаэличнοгο ροда πесτοйκиχ н τемπеρаτуρнοму вοздейсτвию ποκρыτий (лаκи, κροсκи и τ.д.). Исποлыοвание же в κачесτве анοда эдеχτροда иэ меτалла ποзвοлпτ οднοвρеменнο с οчиσικοй ποвеρχнοсτи сφορмиροваτь слοй зашиτнοгο, деκορаτивнοгο или инοгο маτсρиала.
Ηашιчие в анοде сисτемы οτвеρсτий для προπусκа πο ним элеκτροπροвοдя- щей сρеды (элеκτροлиτа) ηοзвοлиτ οбеснечиτь ρавнοмеρнοсτь и ποсτοянсτвο сο- сτава эτοЙ сρеды неποсρедсτвеннο в зοне οбρабοτκи. С эτοй же целью между οбъ- еκτοм и анοдοм ρасποлагаюτ сπρейеρ, служащий ддя ρавнοмеρнοгο ρассеивания, ρасπρеделения ποτοκа в уποмянуτοй эοне.
Ρасποлοжение значиτельнοгο πο ρазмеρам и πдοщади οбъеκτа между двумя πаρаллельнο усганοвленными мιοдами ποзвοляеι вес-ш μροцесс егο οбρабοτκи οднοвρеменнο с οбенχ сτοροн, эκοнοмя нс τοльκο вρемя, нο и οбесπсчивая κοм- πаκτнοсιъ усτанοвκи, уменьшенис ρасχοда злеκτροэнеρгии и ποτеρи элеκτροлиτа. Τаκим οбρазοм изοбρеτение сοοτвегсτвуеτ κаκ κρиτеρиям 'нοвнзна" и
"нзοбρеτаτельсκий уροвень ", τаκ и κρиτеρшο "ιгροмьιшπенная πρименимοсτь", ποследнее τаκже ποκаэанο ниже. ΟПИСΑΗΗΕЧΕΡΤΕЖΕЙ
Ηа φиг.1 πρедсτаялсня πρишштιальная сχсма ρеалиэации сποсοба; на φиг.2 - усτанοвκа ддя οднοсτοροнней οбρабοτκи οбъеκτοв с шκχжοй ποвеρχ- нοсτью; на φиг.З - сχема взаимнοгο ρасποлοжения οбρабаτываемοгο οбъеκτа и анοдοв πρи нанесении οдинаκοвыχ πο τοлшдше слοев на егο сτοροны; на φиг.4 - το же πρн ρазличнοй τοлшине нанοснмыχ слοев; на φиг.5 - сχсма οбρабοτκи внуτ- ρенней ποвеρχнοсτи οбъеκτа. 5
Усτροйсτвο сοсτοиτ иэ исτοчниκа ποсτοяннοго τοχа 1 ποлοжвτельный πο- люс κοτοροго сοедвнен с элеκτροдοм 2 (анοдом), в κοτοροм мοгуτ быτь вьшοлне- ны κанады 3. ддя ποдачи в ρабοчую зοну элеιсτροπροвοдяшегο агенτа, наπρимеρ, элеκτροлиτа из πиτаτеля 4. Ддя οτделения шлама οτ элеκτροлиτа усτροйсτвο снабженο блοκοм 5 с φильτρами гρубοй и τοнκοй οчисτκи, а для οбесπечения циρ- κуляции элеκτροлиτа - насοсами 6.
Усτροйсτвο мοжеτ быτь выποлненο с сисτсмοй шιρκуляции элеκτροлнτа, οднаκο не исκлючены ваρианτы ποдачи егο в дρугиχ προиэвοдсτваχ.
Οбρабаτываемый οбъеκτ 7 сοединен с οτρишκгельным ποлюсοм нсτοчниκа ποсτοяннοгο τοκа 1 ишι заэемлен. Дπя сбορа элеχτροднτа анοд 2 и οбρабаτывае- мый οбъеχτ 7 ποмещены в ρабοчую κамеρу 8, имеющую выχοднοй κанал, наπρав- ляющнй ποτοκ исποльэοваннοгο элеκτροдиτа в блοκ 5 οчисτκн.
Μежду οбρабаτывβемым οбъеκτοм 7 н анοдοм 2 мοжеτ быτь ρасποлοжен сπρейеρ 9, ποзвοляющий ρассеиваτь ποτοκн элеκτροлиτа, наπρавляемые чеρез οτ- веρсτия 3 в анοде 2 на οбρабаτываемую ποвеρχнοсτь οбъеκτа 7.
Ηад анοдοм 2 мοжеτ быτь усτанοвлен ρасπρеделиτельный κοллеκτορ 10, οбесπечиввιοший ποдачу элеκτροлиτа οτ πиτаτеля 4 и наπορнοгο τρубοπροвοда в κаналы 3 аиοда 2.
Ρабοчая κамеρа 8 выποлнена из услοвия οбесπечення προдοльнοгο сχвοзнο- гο πеρемещения οбρабаτываемοгο οбъеκτа 7 с целью οбρабοτκи всей егο ποвеρχ- нοсτи.
Αнοд 2 усτβнοвлен в ρабοчей κамеρе 8 эκвидκсτантаο на неκοτοροм ρас- сτοянни (Ь) οτ οбρабаτываемοгο οбъеκτа 7, οπρеделяемοм из услοвия φορмнροва- ння на ποвеρχнοсτн ποсяеднегο усτοйчывοгο вο вρемени слοя 1 1 элеκτρορазρяд- нοй πлазмы (πузьφьκοвый слοй), вοздейсτвующей на слοй ποвеρχнοсτн 12
(οбρабοτанный слοй ποвеρχнοсτи).
ПΡИΜΕΡЫ ΡΕΑЛИЗΑЦИИ
Сποсοб ρеалиэуюτ следующнм οбρазοм. 0 ЗмΒηСΗм СΤΗ ΟΤ ПϋС-ϊмϊ-ЛсШϊЫλ .шдκч θчйсικн ιшвсρя-нοсτн υυъсκτа 7 нли нанесение на нее зашвτнοгο или ииοго слοя меτалла) в ρабοчей κамеρе 8 усτана- вливаюτ анοд 2 сοοτвеτсτвеннο из χимичесκи инеρτнοгο маτеρнала или маτеρиала нанοсимοгο ποκρыτяя. ποсде чегο οбρабаτываемый οбъеκτ 7 ρасποлвгаюτ в ρабο- 97/35050 9 / 0
чей κамеρе 8 эκвидκсτанτнο анοду 2, зазсмдяюτ или ιюдκлючаюτ егο κ οгριща- τельнοму ποлюсу исτοчπиκа ηοсτο-шнοгο τοκа 1 и ποдаюτ элеκτροηροвοдящий агеиτ, н-цιριшеρ. элαсιροлиι, в эοну οбρаύοτκи ποвеρχыοсτи οόъеκτа 7. Для эτοгο πο πеρимеτρу аποда 2 уггшшιшиваюτ сυсдш.е-шые с наπορηым τρубοηροвοдοм Φορсушαι или в егο τсле вылοшшυг κапалы 3, ρавιιοмеριιο ρасποлοженные πο πлοщадн аыοда 2.
Ρассτοяιшс мсжд> аиοдοм 2 и οδρабаτывасмым οб-ьсκгοм 7 οηρсдсляюτ из услοвпя φορмπροвашιя усτοйчивυгο с;υя 11 длазш_ι ьа иοвсρχιωсτи οбьеκτа, κυ- τοροе эавιιспτ οτ целοгο ρядд φаιсτοροв. Слοй 11 πлазмы удаляе загρязнеιшя с οбρабаιываемοй ιιοвеρχнοсτи
(ρжавчшω. οκалина, неφτепροдуκτы и τ.д. ,προдуκги ρазлοжения и ρазρушения κοτορыχ вьшοсяτся ποτοκοм элеκτροлиτа, а заτем, ποсле сбορа ποследнегο, οτде- ляюτся в блοκе 5 πρи ποмοщн ρазлιчныχ φильτροв.
Οчищешιый элеκτροлнτ насοсами 6 ποдаюτ в ιшτаτеяь 4, а заτем ποвτορηο исποльзуюτ в προцессе οбρабοτκи. 1Ь шηατсля 4 эдеκτροлиτ мοжсτ ποдаваτься πρннудиτелыιο, с ислοльзοваш-см иасοсныχ усτанοвυκ шш самοιеκοм.
Пοдвваемый чеρсз κашшы 3 анοда 2 элеκτροлиτ мοгуτ дοποлниτельнο ρас- сеиваτь за счеτ сπρейеρа 9, κοτορый усτанавливβюτ в неποсρедсτвеннοй блнэοсτи οτ анοда 2. Эιο ποэвοляеι ποиысигь κачесιвο υυρаόοτκи за счеτ ποвышсния οднυ- ροднοсτи ποτοκа элеκτροдиτа.
Β случае, если анοд 2 выηυлнеιι ш οηρеделеннοгο маτеρиала, меτалла медь, ввκель н дρ. шш сπлава цροцесс οчисηαι ποвеρχнοсτи οόъеκτа 7 сοвмещасτся с нансссшιсм ηοκρыτия из маτсρиала эτοгο анυдα. Β эτοм случае имсеτ месτο προ- внκнοвсιше маτсρиαда αυιсρыιия в υбρабаιываемую ηοвеρχнοсτь οбъеκτа 7. Εсли ρаэмеρы οόρабаχываемοгο οбъααа 7 ιшевышаюτ ρазмеρы анοда 2, цροцесс ведуг, αеρеиещад эτοτ οбьеκτ ηеρиοдачесκи, дο мсρе дοсτижения τρебуе- мοгο ρеэулыаτа, или ποсτοяннο.
Данная τеχнοлοгия ποэвοляеι οсущесτвняτь οднοвρеменнο οбρабοτκу προ- τивοποлοжныχ ποвеρχнοсτсй οбъеκτа 7, дπя чегο егο ρасποлагаюτ между двумя πаρаллельнο усτанοвленными анοдамн 2, πρи эτοм в случае ρавенсτва ρассτοяввй дο οбοвχ анοдοв 2 ва ποвсρχнοсτяχ φορмиρуюτ ρавные πο τοлшвве ποκρыτия, а смесτяв егο οτнοсиτельнο ρавнοудаленнοгο ποлοжения, ποлучаюτ ρазные πο τοлщине ποκρыτия.
Дπя οбρабοτκв внуτρенниχ ποвеρχнοсτей ρазличныχ οбъсκτοв 7. наπρимеρ, τел вρащенвя (τρубы н τ.π.) анοд 2 ρасποлагаюτ внуτρи эτиχ ηбъеκτοв, для чегο πρедποчτиτельнο ποльзοваτься анοдοм 2 сτеρжневοй Φορмм. Οбρабοτκу τρз'б τаκже мοжнο προвοдπτь οднοвρеменнο сиаρужя и иэнуτρи, οдгшκο в эτοм случае φορмы исποльзусмыχ анοдοв 2 сοвπадаτь между сοбοй не будуτ.
Αдгезиοнные свοйсτва ηρи οчисτκе сτали τаκим сποсοбοм сοχρаняюτся в τечение не менее 2-х месяцев, πρи эτοм сяοй меτалла οбρабаτываеτся на гяубιшу 5 - 90 мκм ποвеρχнοсτн с амορφиэацией слοя или с ποлучением чисτοгο φеρρиτοвο- гο слοя. οбладаюшсгο анτиκορροзнοнньιми свοйсτвами πο οτнοшению κ οбычным сτалям. Пρи τρадициοнныχ нзвесτиыχ сποсοбаχ οчисτκи адгезиοниыη свοйсτва сτали сοχρаняюτся 5 - 6 часοв.
Пρи φορмиροвашш ποκρыτия ιгэ свιπща нη сτалыιую χοлοднοκаτанную ленτу πρедлοженным сποсοбοм (Ι φ = 160 Β, Ь = 0,012 м. и дρугиχ шτаτныχ πа- ρамеτρаχ сποсοба) в ποвеρχнοсτнοм слοе сτальнοй ленτы οбρаэуеτся πеρеχοдный слοй τοлщинοй 2-3 мκм πρи οбщей τοлщине ποκρыτия дο 30 мκм, ηρи эτοм πο- κρыτие ρавнοмеρнο πο всей οбρабοτаннοй ποвеρχнοсτи и не имееτ деφеκτοв, чτο οбуслοвленο, в часτнοсτя, οбъемным взаимοдейсτвием в эοне сοединения ποκρы- τия с ленτοй, Пοлучение аналοгичныχ ρеэульτаτοв τρадициοнными сποсοбами невοэмοжнο, в часτнοсτи из-эа, πρаκτичесκи вэаимнοй неρасτвορимοсτη желеэа и свинца в шиροκοм τемπеρаτуρнοм диаπаιοне, в τοм чисж* в жплκем сοсτοяшт.
ПΡΟΜЫШЛΕΗΗΑЯ ПΡИΜΕΗИΜΟСΤЪ Исποльзοвание даннοгο вэοбρеτения ποэвοлиτ эначвτельнο сοκρаτиτь ρас- χοд маτеρиадοв на φορмиροвание ποκρыτий ρазличнοгο назначення за счеτ высο- κοй προчнοсτи иχ сοединення с маτеρηалοм οбъеκτа 7 и бοлыπей дοягοвечнοсτи, а τаκже вοзмοжыοсτи уменыπення τοлщины эτиχ ποκρыτий. Κροме τοгο, имееτся вοэмοжнοсτь эначяτельнο уменьπшτь вρедные исπаρения в προцессе οбρабοτκи, авτοмаιнзиροваτь προцесс, улучшив τем самым услοвия τρуда. Эго ποзвοляеτ οτ- несτи даннοе πρедποжение κ числу πρиροдοοχρанныχ и ρесуρсοсбφегаκяциχ, οбешечш.---θщиχ высοκую эκοлοгичесκую беэοπаснοсτь. \νθ 97/35050 ΡСΤ/ΙШ96/00096
8
Заявленнυс ιιзοбρеτсшιе οτнοсиτся κ сρедсτвам цροизвοдсюа κаκ ιаκοвым и нс προτивορечτи заκοнам есτесτвеннοй πρпροды.
Βοзмοжнοсτь φορмиροыиш.ι усτейчιιвοгο πρυцссса сбρазυвания элеκτρο- ρачρяднυй ιшазмы неοднοκρаτнο πο-ЦΗеρждснο ηρи οπыτиυ-ιιροмышленныχ ис- πыταιшяχ, в ρечульτаτе κοτορыχ. былο усιαιювленυ, чτυ дашιьш ιιροцесс οбρазυ- ваτπш элсκτρορазρядποй πлазмы на ποвеρχнοсτи προτеκаеτ πρи величине межэлеκτροднυιν» ωзορа (Ъ., м.) в иρсдиш. οτ 0,2 Φ дο 4,0 Φ [где Φ =
X б) X (λ / α X Οн)"**5 - κοмгогассный πаρамеτρ, м., 1_Ικρ - наπρяжение
вοзииκнοиения элеκτρορазρядϋοй πлазмы, Β, δ - τοлщина сдοя элеκτρορазρяд-
нοй πлаэмы на ποвеρχнοсτи, м, λ - κοэφφициенτ τеπлοπροвοднοсτи элеκτροлиτа,
Βτ мχΚ, - τемπеρаτуρныπ κοэφφιщнснτ, Κ '. <ΤΗ - уделъная элсκτροπροвοднοсгь элеκτροлига, οм χ м"1.

Claims

9ΦΟΡΜУЛ Α ИЗΟБΡΕΤΕΗИЯ
1. Сηοсοб οбρабοτκи ποвеρχнοсτей, вκлючаюοшй ρазмещевие οбъеκτа в элежιροπροвοдящей сρеде на веκοτοροм ρассτοянин οτ элеκτροда, ποдκлюченнοгο κ ποдοжвτедьнοму ποлюсу всτοчниκа τοκа, и дальнейшее вοздейсτвне на егο πο-
5 всρχнοсτь ποсρсдсτвοм эдеэсτρичссκοгο ρазρяда, οτлнчающнйся τем, чτο на πο- веρχяοсτи οбъежτа сοздаюτ слοй эл*-κτρορазρядаοй πлазмы, ддя чегο анοд усτана- вливаюτ жвидисτанτнο οбρабаτываемοй ποвеρχнοсτн, а величияу межэлеκτροд- яοгο эаэορа (η) οπρеделяюτ иэ усяοввя:
0,2 Φ ≤ Ь ≤ 4,0Φ,
Ю где Φ = ΙЛκρ δ (λ / α • <7н)"0,5 - κοмπлеχсный ηаρамеτρ, Μ; υ__ρ - наπρяженне вοэниκнοвения элеκτρορаэρяднοй ηлазмы, Β; 5 - τοлщина слοя элеκτρορазρяднοй πлаэмы на ποвеρχнοсτи, Μ;
λ - κοэφφицвенτ τеπлοπροвοднοсτи элеюροлига, ΒτΑсΚ;
α - τемπφаτуρный κοэφφициαгг, Κ"1 ;
15 С?н - удадьная элеκτροπροвοдвοсгь элеκτροлиτа, Οм * Μ~';
Ιϊ - величнна межэл-асτροдиοгο эазορа, Μ.
2. Сποсοб πο π.1, οτличаюοшйся τем, чτο в анοде выποлняюτ κаналы ддя πρинудиτельнοй ποдачи -и-жκτροπροвοдящегο агенτа в зοяу οбρабοτκи с ρавнο- меρным ρасποлοжением κаналοв πο всей πлοщади анοда,
20 3. Сποсοб πο π.1, οτличяχмцийся τем, чτο в межэлеκτροднοм προсτρансτве дοποлниτельнο усτанавлнваюτ элеменτ для ρавнοмеρнοгο ρасπρеделення ποτοκа элежτροπροвοдяшегο агенτа πο οбρабаτываемοй ποвеρχнοсτи.
4. Сποсοб πο π.1, οτличающийся τем, чτο ддя οчисτκи οбρабаτываемοй πο- веρχнοсτн исποльзуюτ анοд из χимичесκи инеρτнοгο маτеρиала, наπρимеρ, угае-
25 ροда.
5. Сποсοб πο π.1, οτднчающийся τем, чτο дηя φορмнροвания ποκρыτия на οбρабаτываемую ποвеρχнοсτь, анοд изгοτавливаюτ из маτеρиала нанοсимοгο πο- κρыτия. \νθ 97/35050
10
6. Сποсοб πο π.1, οτличающийся τем, чτο ποвеρχнοсτи эначиτедьныχ πο πлοщади πлοсжиχ οбъеκτοв οбρабаτываюτ с двуχ сτοροн οднοвρеменнο, для чегο данмый οбъеκτ ρазмещаюτ между двумя πаρаллельнο усτанοвленными анοдами.
7. Сποсοб πο π.π.1, οτличающийся τем, чτο οбρабаτываκгг внуτρеввюю πο- веρχнοсτь οбъежτа, ддя чегο внуτρи вего ρаэмещаюг анοд.
8. Усτροйсτвο ддя οбρабοικи ποвеρχнοсτей, сοдеρжащее авοд, οτли- чающееся τем, чτο οяο дοποлниτельнο сοдеρжиτ элеменτы ддя πρннуднτельнοй ποдачи элеκτροлиτа в зοну οбρабοτκи и сисτему сбορа и οчнсτκн элеκτροπροвο- дящегο агенτа οτ меχаничеαсиχ πρимесей, а анοд усτанοвлен эκвидисτанτнο οбρа- баτываемοй ποвеρχнοсτн с межэлеκιροдным заэοροм (η) οπρеделяемым из услο- вия: 0,2 Φ .. (Ь, м.) ≤ 4,0 Φ).
9. Усτροйсτвο πο π.8, οτличающееся τем, чτο в τеле анοда вьшοлнены κана- лы для ποдачи элеκτροπροвοдящсгο агенτа, сοсдиненныс с ποдающей наπορнοй магисτρалью, с ρаанοмеρным ρасποлοженнем κаналοв πο всей πлοщадн анοда.
PCT/RU1996/000096 1996-03-20 1996-04-23 Procede de traitement de surfaces et dispositif permettant de mettre en oeuvre de ce procede WO1997035050A1 (fr)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU9696104583A RU2077611C1 (ru) 1996-03-20 1996-03-20 Способ обработки поверхностей и устройство для его осуществления
RU96104583 1996-03-20

Publications (1)

Publication Number Publication Date
WO1997035050A1 true WO1997035050A1 (fr) 1997-09-25

Family

ID=20177832

Family Applications (3)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PCT/RU1996/000096 WO1997035050A1 (fr) 1996-03-20 1996-04-23 Procede de traitement de surfaces et dispositif permettant de mettre en oeuvre de ce procede
PCT/IB1996/000877 WO1997035052A1 (en) 1996-03-20 1996-08-30 An electrolytic process for cleaning electrically conducting surfaces
PCT/IB1996/000876 WO1997035051A1 (en) 1996-03-20 1996-08-30 An electrolytic process for cleaning and coating electrically conducting surfaces

Family Applications After (2)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PCT/IB1996/000877 WO1997035052A1 (en) 1996-03-20 1996-08-30 An electrolytic process for cleaning electrically conducting surfaces
PCT/IB1996/000876 WO1997035051A1 (en) 1996-03-20 1996-08-30 An electrolytic process for cleaning and coating electrically conducting surfaces

Country Status (17)

Country Link
US (1) US5700366A (ru)
EP (2) EP0904428B1 (ru)
JP (2) JP2001508122A (ru)
KR (2) KR20000064674A (ru)
AT (1) ATE193337T1 (ru)
AU (2) AU720588B2 (ru)
BR (2) BR9612562A (ru)
CA (2) CA2253311A1 (ru)
CZ (2) CZ290256B6 (ru)
DE (1) DE69608579T2 (ru)
DK (1) DK0904428T3 (ru)
ES (1) ES2149491T3 (ru)
GR (1) GR3034242T3 (ru)
PL (2) PL329001A1 (ru)
PT (1) PT904428E (ru)
RU (1) RU2077611C1 (ru)
WO (3) WO1997035050A1 (ru)

Families Citing this family (43)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2760339B2 (ja) * 1996-03-05 1998-05-28 日本電気株式会社 リードフレームのばり取り方法およびリードフレーム用ばり取り装置
US5981084A (en) * 1996-03-20 1999-11-09 Metal Technology, Inc. Electrolytic process for cleaning electrically conducting surfaces and product thereof
US5958604A (en) * 1996-03-20 1999-09-28 Metal Technology, Inc. Electrolytic process for cleaning and coating electrically conducting surfaces and product thereof
AU737350B2 (en) * 1997-09-23 2001-08-16 Metal Technology, Inc. Electro-plating process
US6203691B1 (en) * 1998-09-18 2001-03-20 Hoffman Industries International, Ltd. Electrolytic cleaning of conductive bodies
US6176992B1 (en) * 1998-11-03 2001-01-23 Nutool, Inc. Method and apparatus for electro-chemical mechanical deposition
US6413388B1 (en) * 2000-02-23 2002-07-02 Nutool Inc. Pad designs and structures for a versatile materials processing apparatus
US6902659B2 (en) * 1998-12-01 2005-06-07 Asm Nutool, Inc. Method and apparatus for electro-chemical mechanical deposition
US7425250B2 (en) 1998-12-01 2008-09-16 Novellus Systems, Inc. Electrochemical mechanical processing apparatus
US7427337B2 (en) * 1998-12-01 2008-09-23 Novellus Systems, Inc. System for electropolishing and electrochemical mechanical polishing
US6197178B1 (en) 1999-04-02 2001-03-06 Microplasmic Corporation Method for forming ceramic coatings by micro-arc oxidation of reactive metals
RU2149930C1 (ru) * 1999-07-30 2000-05-27 Рябков Данила Витальевич Способ модифицирования поверхности металлических изделий и устройство для реализации способа
DE10022074A1 (de) * 2000-05-06 2001-11-08 Henkel Kgaa Elektrochemisch erzeugte Schichten zum Korrosionsschutz oder als Haftgrund
US6921551B2 (en) 2000-08-10 2005-07-26 Asm Nutool, Inc. Plating method and apparatus for controlling deposition on predetermined portions of a workpiece
US7754061B2 (en) 2000-08-10 2010-07-13 Novellus Systems, Inc. Method for controlling conductor deposition on predetermined portions of a wafer
AU2002214797B2 (en) * 2000-11-08 2007-08-30 Chang, Chak Man Thomas Plasma electroplating
AUPR129900A0 (en) * 2000-11-08 2000-11-30 Chang, Chak Man Thomas Plasma electroplating
US20040170753A1 (en) * 2000-12-18 2004-09-02 Basol Bulent M. Electrochemical mechanical processing using low temperature process environment
US7172497B2 (en) * 2001-01-05 2007-02-06 Asm Nutool, Inc. Fabrication of semiconductor interconnect structures
US20030085113A1 (en) * 2001-05-10 2003-05-08 Andrews Edgar. H. Process and apparatus for cleaning and/or coating metal surfaces using electro-plasma technology
US7452454B2 (en) * 2001-10-02 2008-11-18 Henkel Kgaa Anodized coating over aluminum and aluminum alloy coated substrates
US7820300B2 (en) 2001-10-02 2010-10-26 Henkel Ag & Co. Kgaa Article of manufacture and process for anodically coating an aluminum substrate with ceramic oxides prior to organic or inorganic coating
US7569132B2 (en) * 2001-10-02 2009-08-04 Henkel Kgaa Process for anodically coating an aluminum substrate with ceramic oxides prior to polytetrafluoroethylene or silicone coating
US6916414B2 (en) 2001-10-02 2005-07-12 Henkel Kommanditgesellschaft Auf Aktien Light metal anodization
US7578921B2 (en) * 2001-10-02 2009-08-25 Henkel Kgaa Process for anodically coating aluminum and/or titanium with ceramic oxides
AUPS220302A0 (en) * 2002-05-08 2002-06-06 Chang, Chak Man Thomas A plasma formed within bubbles in an aqueous medium and uses therefore
KR100913151B1 (ko) * 2002-11-21 2009-08-19 주식회사 포스코 펄스 레이저 유기 충격파를 이용한 금속표면 세정방법 및세정장치
US7648622B2 (en) 2004-02-27 2010-01-19 Novellus Systems, Inc. System and method for electrochemical mechanical polishing
ES2559410T3 (es) 2004-04-23 2016-02-12 Philip Morris Products S.A. Generadores de aerosol y métodos para producir aerosoles
EP1650329A3 (en) * 2004-10-21 2007-11-07 Trust Sterile Services Limited Apparatus and method for electrolytic cleaning
US8500985B2 (en) 2006-07-21 2013-08-06 Novellus Systems, Inc. Photoresist-free metal deposition
US9701177B2 (en) 2009-04-02 2017-07-11 Henkel Ag & Co. Kgaa Ceramic coated automotive heat exchanger components
JP5569259B2 (ja) * 2010-08-26 2014-08-13 Ｊｆｅスチール株式会社 表面改質された導電性材料の製造方法
JP5835455B2 (ja) * 2012-02-24 2015-12-24 Ｊｆｅスチール株式会社 金属材料の表面処理方法
JP5891845B2 (ja) * 2012-02-24 2016-03-23 Ｊｆｅスチール株式会社 表面処理鋼板の製造方法
ITMO20130089A1 (it) * 2013-04-05 2014-10-06 Metaly S R L Procedimento di elettromarcatura e decorazione di superficie metalliche e dispositivo relativo
US9243342B2 (en) * 2013-08-09 2016-01-26 Cap Technologies, Llc Metal cleaning and deposition process for coiled tubing using electro plasma
CN103484928B (zh) * 2013-10-09 2016-03-23 电子科技大学 一种基于等离子体的钢铁制品除锈抛光方法
JP6087801B2 (ja) * 2013-12-18 2017-03-01 三菱日立パワーシステムズ株式会社 金属部材の脱塩方法及び装置
US10400350B1 (en) * 2016-04-20 2019-09-03 IBC Materials & Technologies, Inc. Method and apparatus for removing paint on metallic components
US10907265B2 (en) * 2016-08-04 2021-02-02 Rochester Institute Of Technology Flow-regulated growth of nanotubes
CN115198069B (zh) * 2022-06-29 2023-12-01 浙江巴顿焊接技术研究院 一种等离子体电解热处理方法
CN115506002B (zh) * 2022-09-19 2023-07-14 张家港红东设备制造有限公司 酸洗电极对、电极组、电极装置及酸洗电极位置调整方法

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
SU336379A1 (ru) * УСТРОЙСТВО дл ЭЛЕКТРОЛИТИЧЕСКОЙ ПОЛИРОВКИЛЕНТЫ
DE2232333B2 (de) * 1971-07-16 1975-01-30 Oxy Metal Finishing Suisse S.A., Chatelaine, Genf (Schweiz) Vorrichtung zum Galvanisieren ausgewählter Oberflächenteile elektrisch leitender Werkstücke
SU718504A1 (ru) * 1976-03-10 1980-02-29 Уральский научно-исследовательский институт трубной промышленности Устройство дл электрохимической обработки полостей длинномерных изделий
US4287029A (en) * 1979-08-09 1981-09-01 Sonix Limited Plating process
US4466864A (en) * 1983-12-16 1984-08-21 At&T Technologies, Inc. Methods of and apparatus for electroplating preselected surface regions of electrical articles
EP0309233A2 (en) * 1987-09-24 1989-03-29 Kabushiki Kaisha Toshiba Method of manufacturing a semiconductor device by plating and apparatus therefor
SU1544844A1 (ru) * 1988-02-15 1990-02-23 Производственное Объединение "Курганприбор" Способ электроосаждени покрытий

Family Cites Families (26)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR892919A (fr) * 1942-03-19 1944-05-24 Norsk Kjemikalie As Procédé et dispositif de nettoyage des surfaces métalliques
FR1500185A (fr) * 1966-08-08 1967-11-03 Ct De Rech S Du Fer Blanc Procédé d'étamage électrolytique d'un feuillard d'acier
CH531910A (fr) * 1970-07-08 1972-12-31 Battelle Memorial Institute Procédé de décapage de tôle oxydée et installation pour la mise en oeuvre de ce procédé
US3834999A (en) * 1971-04-15 1974-09-10 Atlas Technology Corp Electrolytic production of glassy layers on metals
DE2228424C3 (de) * 1972-06-10 1981-02-26 Hoechst Ag, 6000 Frankfurt Verfahren zum Erzeugen einer lithographischen Oberfläche auf einem Aluminiumband durch Elektrolyse
GB1399710A (en) * 1972-11-08 1975-07-02 Electricity Council Electrolytic cleaning of metal surfaces
US4033274A (en) * 1975-12-31 1977-07-05 American Can Company Containers
US4046644A (en) * 1976-05-24 1977-09-06 American Standard Inc. Process for forming a gold-chromium alloy from an electrodeposited gold-chromium surface
CA1165271A (en) * 1979-03-21 1984-04-10 Richard C. Avellone Apparatus and method for plating one or both sides of metallic strip
US4318786A (en) * 1980-03-10 1982-03-09 Westinghouse Electric Corp. Electrolytic decontamination
US4304641A (en) * 1980-11-24 1981-12-08 International Business Machines Corporation Rotary electroplating cell with controlled current distribution
JPS57192257A (en) * 1981-05-22 1982-11-26 Hitachi Ltd Manufacture of bearing construction with solid lubricant
US4374719A (en) * 1982-03-19 1983-02-22 United States Steel Corporation System for electrolytic cleaning of metal wire in loop form
US4405432A (en) * 1982-10-22 1983-09-20 National Semiconductor Corporation Plating head
SU1244216A1 (ru) * 1983-01-11 1986-07-15 Всесоюзный Ордена Трудового Красного Знамени Научно-Исследовательский Институт Сельскохозяйственного Машиностроения Им.В.П.Горячкина Способ очистки металлических деталей
US4490218A (en) * 1983-11-07 1984-12-25 Olin Corporation Process and apparatus for producing surface treated metal foil
US4529486A (en) * 1984-01-06 1985-07-16 Olin Corporation Anode for continuous electroforming of metal foil
FR2561672B1 (fr) * 1984-03-21 1989-09-01 Travaux Milieu Ionisant Dispositif d'electrolyse, utilisable notamment pour la decontamination radioactive de surfaces metalliques
FR2592895B1 (fr) * 1986-01-16 1990-11-16 Selectrons France Installation pour la realisation de traitements electrolytiques localises de surfaces.
DE3715454A1 (de) * 1987-05-08 1988-11-17 Slavjanskij Vni I Pk I Metall Aggregat zur elektrochemischen reinigung von beim schweissen verwendeten langmaterialien, vorwiegend draht
SU1599446A1 (ru) * 1987-06-29 1990-10-15 Институт Электросварки Им.Е.О.Патона Способ электролитно-разр дной очистки сварочной проволоки
EP0406417A4 (en) * 1988-12-26 1991-01-23 Slavyansky Filial Vsesojuznogo Nauchno-Issledovatelskogo I Proektno-Konstruktorskogo Instituta Metallurgicheskogo Installation for continuous production of wire from wire rod
DE4031234C2 (de) * 1990-10-04 1994-02-03 Gewerk Keramchemie Verfahren und Vorrichtung zur Oberflächenbehandlung von bandförmigem Behandlungsgut
US5232563A (en) * 1992-07-27 1993-08-03 Motorola, Inc. Method of cleaning a semiconductor wafer
IT1265263B1 (it) * 1993-12-09 1996-10-31 Dario Felisari Procedimento di lavaggio e condizionamento superficiale ottenuto attraverso un processo di iper-anodizzazione di leghe ossidabili
US5531874A (en) * 1994-06-17 1996-07-02 International Business Machines Corporation Electroetching tool using localized application of channelized flow of electrolyte

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
SU336379A1 (ru) * УСТРОЙСТВО дл ЭЛЕКТРОЛИТИЧЕСКОЙ ПОЛИРОВКИЛЕНТЫ
DE2232333B2 (de) * 1971-07-16 1975-01-30 Oxy Metal Finishing Suisse S.A., Chatelaine, Genf (Schweiz) Vorrichtung zum Galvanisieren ausgewählter Oberflächenteile elektrisch leitender Werkstücke
SU718504A1 (ru) * 1976-03-10 1980-02-29 Уральский научно-исследовательский институт трубной промышленности Устройство дл электрохимической обработки полостей длинномерных изделий
US4287029A (en) * 1979-08-09 1981-09-01 Sonix Limited Plating process
US4466864A (en) * 1983-12-16 1984-08-21 At&T Technologies, Inc. Methods of and apparatus for electroplating preselected surface regions of electrical articles
EP0309233A2 (en) * 1987-09-24 1989-03-29 Kabushiki Kaisha Toshiba Method of manufacturing a semiconductor device by plating and apparatus therefor
SU1544844A1 (ru) * 1988-02-15 1990-02-23 Производственное Объединение "Курганприбор" Способ электроосаждени покрытий

Also Published As

Publication number Publication date
CZ298798A3 (cs) 1999-04-14
CZ290299B6 (cs) 2002-07-17
BR9612561A (pt) 1999-12-28
EP0904428A1 (en) 1999-03-31
JP2001508122A (ja) 2001-06-19
CZ290256B6 (cs) 2002-06-12
GR3034242T3 (en) 2000-12-29
PT904428E (pt) 2000-11-30
JP2001501674A (ja) 2001-02-06
RU2077611C1 (ru) 1997-04-20
EP0888465A1 (en) 1999-01-07
DE69608579T2 (de) 2001-01-18
AU6708296A (en) 1997-10-10
DE69608579D1 (de) 2000-06-29
CZ298698A3 (cs) 1999-04-14
CA2253311A1 (en) 1997-09-25
AU720588B2 (en) 2000-06-08
ES2149491T3 (es) 2000-11-01
EP0904428B1 (en) 2000-05-24
WO1997035051A1 (en) 1997-09-25
AU720586B2 (en) 2000-06-08
PL329002A1 (en) 1999-03-01
AU6708196A (en) 1997-10-10
KR20000064674A (ko) 2000-11-06
ATE193337T1 (de) 2000-06-15
PL329001A1 (en) 1999-03-01
DK0904428T3 (da) 2000-10-09
BR9612562A (pt) 1999-12-28
WO1997035052A1 (en) 1997-09-25
KR20000064675A (ko) 2000-11-06
US5700366A (en) 1997-12-23
CA2253214A1 (en) 1997-09-25

Similar Documents

Publication Publication Date Title
WO1997035050A1 (fr) Procede de traitement de surfaces et dispositif permettant de mettre en oeuvre de ce procede
RU96104583A (ru) Способ обработки поверхностей и устройство для его осуществления
WO2003030223A3 (en) Substrate processing apparatus and method
ATE281277T1 (de) Verfahren und vorrichtung zum plattieren und polieren eines halbleiterbauelements
US20170335485A1 (en) Method and apparatus for electrolytically depositing a deposition metal on a workpiece
ATE174074T1 (de) Verfahren und vorrichtung zum kontinuierlichen gleichmässigen elektrolytischen metallisieren oder ätzen
ATE396291T1 (de) Vorrichtung und verfahren zur elektrolytischen behandlung von flachen werkstücken
JP2017522182A (ja) 電気流体の処理
TW201742677A (zh) 用於清潔塑膠表面的方法
KR20080039841A (ko) 표면 및 평면형 물체의 처리장치
CN209798085U (zh) 等离子表面处理装置
KR20060118424A (ko) 전자화학적 처리 장치용 전기 공급장치
KR20140090446A (ko) 전기영동식 전기 침투 탈수기의 드럼 장치 및 그의 제조 방법
JP4531777B2 (ja) プリント配線板のめっき前処理方法
WO2006007639A1 (en) An improved apparatus and method for cleaning using a combination of electrolysis and ultrasonics
WO2021260201A3 (en) Apparatus for heating aerosolisable material
KR102005759B1 (ko) 정전기 제거장치 및 정전기 제거장치의 제조방법
US20140116891A1 (en) Non-Cyanide Base Electro Chemical Polishing
Roth et al. Surface cleaning of metals in air with a one atmosphere uniform glow discharge plasma
CN110143767A (zh) 一种镀膜方法和镀膜玻璃
Benilova et al. Unified Analytical Treatment Of Near-Cathode Layers Of Arc Discharges With Application To Spotless Cathodic Attachment Of Vacuum Arcs
JP2005015895A (ja) プラズマ処理装置及び処理方法
CN107299349A (zh) 一种去除镀锡铜带表面锡的方法及去锡添加剂
CN110042445A (zh) 一种覆铜设备及覆铜方法
Saito et al. Lead-free soldering process for coil terminals by using atmospheric pressure plasma technique

Legal Events

Date Code Title Description
AK Designated states

Kind code of ref document: A1

Designated state(s): US

AL Designated countries for regional patents

Kind code of ref document: A1

Designated state(s): AT BE CH DE DK ES FI FR GB GR IE IT LU MC NL PT SE

121 Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application
122 Ep: pct application non-entry in european phase