WO1988002281A1

WO1988002281A1 - Method and apparatus for precisely discharging small quantities of liquid

Info

Publication number: WO1988002281A1
Application number: PCT/JP1987/000732
Authority: WO
Inventors: Hideyo Fujii
Original assignee: Nordson Corporation
Priority date: 1986-10-03
Filing date: 1987-10-02
Publication date: 1988-04-07
Also published as: AU8073487A; JPS6391164A; JPH0811207B2

Abstract

The present invention combines and controls a dispenser having an interrupted switch valve for discharging a liquid, a timing at which a liquid to be supplied into the dispenser is pressurized and a timing at which the interruptedly pressurized liquid is interruptedly opened or closed inside the dispenser. In other words, the present invention finds out a lap time between the ''open'' timing of the interrupted switch valve for supplying the pressurized liquid and the ''open'' timing of the interrupted switch valve for discharging the liquid inside the dispenser, and discharges the liquid from the dispenser only during that period of time.

Description

明細書 Specification

液体の微量精密吐出方法と装置 Micro-precision liquid discharge method and device

技術分野 Technical field

本発明は液体の微量精密吐出方法と装置に係る。 TECHNICAL FIELD The present invention relates to a method and an apparatus for precisely discharging a minute amount of liquid.

s 背景技術 s Background technology

一般に微量液体吐出器はデイスペンザと言われている。即ちデイスペンザとは、液体吐出用ガンの一種であって、特に少量づっ液体を点滴状に吐出する場合などに使用されるものである。例えば、二液混合型樹脂又は U V ( U l t ra V i o l e t -遠紫外線）硬化型 Generally, the micro liquid ejector is called a dispenser. That is, the dispenser is a kind of liquid ejection gun, and is used particularly when a small amount of liquid is ejected in a drip-like manner. For example, two-pack resin or UV (UltraViolet -far ultraviolet) curing

, ο 樹脂などを被吐物面上に滴下吐布する場合などにである。 This is the case when resin or the like is dropped and sprayed on the surface of the object to be ejected.

上記の従来の方法について第 7図を参照して、説明する。液体ポンプ 8 7 により所定の圧力に加圧された液体 P L ₇ は、デイスペンザ 8 1 内に入れられ、その中の開閉弁 8 2 の断続的開閉によつて、そのノズル 8 3 より断続的に吐出される。この場合の断続 _{1 5} 的弁開閉作動は、タイマ 9 0 よりの電気信号により、上記バルブの操作用ソレノィド 8 5 によって行われる。 The above conventional method will be described with reference to FIG. The liquid PL ₇ pressurized to a predetermined pressure by the liquid pump 87 is introduced into the dispenser 81, and is intermittently connected to the nozzle 83 by intermittent opening and closing of the on-off valve 82 therein. Is discharged. In this case, the intermittent ₁₅ valve opening / closing operation is performed by the valve operating solenoid 85 by an electric signal from the timer 90.

上記の場合には、液体は液体ポンプによって加圧されたが、それらを使わず、同図上の仮想線に示したように、エア式加圧タンク（プレツシャポット） 8 8 によって、一定圧力の下に液体 P L ₃ 0 を、デイスペンサ 8 1 に供給することも行われている。 In the above case, the liquid was pressurized by the liquid pump, but it was not used, and as shown by the phantom line in the figure, the pneumatic pressurized tank (pleatspot) was used. 8, the liquid PL ₃₀ is supplied to the dispenser 81 under a constant pressure.

また、.吐布量の ¾めて少ぃ場合には、上述の如き液体タンクやプレツシャポットなど使用することなく、第 8図に見られるようにデイスペンザ 9 5内に小容量のタンクを設け、その中に液体を入れ、その液面への空気圧を断続して、その液体を吐出するとい 5 う最も簡単な方法もとられている。 In addition, when the spraying amount is very small, a small volume can be stored in the dispenser 95 as shown in FIG. 8 without using a liquid tank or a plenum as described above. The simplest method is to provide a tank, fill it with liquid, intermittently pressurize the liquid surface, and discharge the liquid.

最近は、これら用途が拡大され、より超微量吐出が要求されるようになつてきた。例えば滴下吐布において、 1 以下を吐出するということがある。これらの場合、液体の吐出圧力を小にすれば吐出量は少くなることは言うまでもないが、ある限度を超えると、例えば粘度 5 0 0 0 cps において吐出圧力 1 0 kg Z oi以下になると、滴下した場合、ノズルにおける液切れが悪るく、均一し 5 た定量滴下が難しくなる。また反対に吐出圧力をあげると液切ればよくなるが、ーショットの吐出量が多くなるので、その吐出時間の短縮化が必要となつてくる。しかし、それにも限度があり、必要とする短縮化即ち液体吐出の微量化は難しく、従来のディスペンザでは吐出時間即ちディスぺンサ内の開閉バルブの "開 ¹¹ In recent years, these applications have been expanded, and ultra-low-volume ejection has been required. For example, discharge 1 or less in dripping Sometimes. In these cases, it goes without saying that if the discharge pressure of the liquid is reduced, the discharge amount will decrease, but if the liquid exceeds a certain limit, for example, if the discharge pressure becomes 10 kgZoi or less at a viscosity of 500 cps, dripping will occur. In this case, the nozzle runs out of liquid poorly, and it is difficult to drip a uniform and constant amount. Conversely, if the discharge pressure is increased, the liquid may run out. However, the discharge amount of the shot increases, so that the discharge time must be shortened. However, there is a limit to it, shortening ie trace amounts of liquid ejection in need is difficult, opening and closing valves in the discharge time or di scan Bae capacitors in the conventional disk Penza "Open ¹¹

！ 0 時間はエア操作式においては 2 0 ms (ミリセコンド）、ソレノィド式でも 1 0 msが限度であつた。従って一桁のミリセコンド単位の時間設定は非常に囷難であった。これは徒来のディスペンザの構造的理由からくるものである。 ! The time limit was 20 ms (milliseconds) for the air-operated type and 10 ms for the solenoid type. Therefore, it was very difficult to set the time in single digit millisecond units. This is due to the structural reasons of hereditary dispensers.

本発明の動機は上述の如きデイスペン.サよりの液体吐出時間を The motive of the present invention is to reduce the liquid ejection time from the dispenser as described above.

_{1 5} 一桁のミリセコンドまで短縮し、より超微量の液体吐出を実現すあつ / 。 _{15 A} single digit of milliseconds has been shortened to achieve ultra-low-volume liquid ejection.

上述の如く、従来のディスぺンサにおける液体吐出時間の 1 0 msは限度であり、またその原因はその構造に基くものである。これらを列挙すると次の如くなる。 As described above, the conventional liquid ejector has a limit of the liquid ejection time of 10 ms, and its cause is based on its structure. These are enumerated as follows.

2 0 ① エア揉作式デイスペンザにおいては、操作エアがソレノイド . バルブよりエアシリンダ内に流入するまでの時間と、またそのエアの体積弾性により、そして、又、開閉弁のステムに対する液体シール用パッキングの摩擦抵抗等により、上記開閉弁作動には時間的遅れが生じていた。 2 0 ① In the air massaging type dispenser, the time until the operating air flows into the air cylinder from the solenoid and valve, and the volume elasticity of the air, and the opening / closing valve stem Due to the frictional resistance of the packing for the liquid seal and the like, there was a time delay in the operation of the on-off valve.

2 5 ② ソレノィド直動式デイスペンザにおいては、バルブステムに直結しているアマチュア自体の慣性抵抗と、またそのアマチュァが液体内に浸漬しているので、アマチユアの上下運動に当つての、液体の流体抵抗等により、開閉バルブの作動には時間的遅れが生じていた。更にまた、上記アマチュアに発生する残留磁気もその遅れに加担していたのである。 2 5 ② In a solenoid direct-acting dispenser, the armature's inertial resistance directly connected to the valve stem and the armature is immersed in the liquid, so the armature will move up and down. However, the operation of the on-off valve had a time delay due to the fluid resistance of the liquid. Furthermore, the remanence generated in the above-mentioned amateur also contributed to the delay.

以上の如き、構造上の物理的抵抗の解消は不可能で、現在の機 As described above, it is impossible to eliminate structural physical resistance.

5 構では、より以上の時間短縮化は望まれなかったのである。 For the five systems, no further time reduction was desired.

上述の如く、本問題を解決する手段としては、デイスペンサ自体の機械的構造の改善だけでは時間短縮化ははかれないことが分つた。そこで全く別な観点に立って検討をすすめた。即ち複数の機器の組合せによる複合的作用により、新規の機能を発揮せしめ 1 0 ることに着目したのである。 As described above, as a means for solving this problem, it has been found that the improvement of the mechanical structure of the dispenser itself does not shorten the time. Therefore, we proceeded from a completely different perspective. In other words, we focused on the fact that a new function is exhibited by the combined action of a combination of multiple devices.

発明の開示 Disclosure of the invention

本発明は、液体吐出用断続開閉弁を有するデイスペンザと該デイスペンザ内に供給される液体に対する断続的に加圧する時機と、またその断続的に加圧された液体を更'に該デイスペンザ,内にて断 ' . 5 繞的に開閉する時機との組合せと制御によって、即ち加圧液体供給用断続開閉弁の " 開 " 時機とディスペンザ内の液体吐出用断繞開閉弁の " 開 " 時機とのラップ時間を得、その時間のみ液体をディスペンザより吐出せしめる方法とその装置である。 The present invention relates to a dispenser having an intermittent on-off valve for discharging liquid, a timing for intermittently pressurizing liquid supplied into the dispenser, and further dispensing the intermittently pressurized liquid to the dispenser. 5 By the combination and control with the timing to open and close in the dispenser, that is, when the intermittent on / off valve for supplying the pressurized liquid is opened and the opening / closing valve for liquid discharge in the dispenser A method and device for obtaining a lap time with the "open" time and discharging the liquid from the dispenser only during that time.

次に本発明の方法の基本について説明する。そもそもディスぺ Next, the basics of the method of the present invention will be described. In the first place a disc

Z 0 ンサから液体が吐出されるには、その液体が、デイスペンザ内に供給される前から加.圧されていることと、またその加圧液体がディスペンザ内の開閉弁により開放されることとの二つの要件が重なることが必要である。言い換えると、デイスペンザ内に供袷される液体が加圧されていてもディスぺンサ内の開閉弁が閉鎖されておれば液体は吐出せず（第 6図参照）、またディスペンザ内の開閉弁が開放されていても、それに供給される液体が加圧されマいなければ液体は吐出しないのである。そこで、本発明は上記加圧液体を常時加圧液体の開閉バルブの f开放によつて得られるようにし、かつ該弁とシリーズに配設されたデイスペンサ内の吐岀用開閉弁とをタイマにより関連づけて断繞的に行なうようにしたものである。 In order for the liquid to be ejected from the Z0 sensor, the liquid must be pressurized before it is supplied to the dispenser, and the pressurized liquid must be released by the on-off valve in the dispenser. It is necessary that these two requirements overlap. In other words, even if the liquid supplied in the dispenser is pressurized, the liquid will not be discharged if the on-off valve in the dispenser is closed (see Fig. 6). Even if the on-off valve is open, the liquid will not be discharged unless the liquid supplied to it is pressurized. In view of this, the present invention enables the above-mentioned pressurized liquid to be constantly obtained by releasing the on-off valve of the pressurized liquid, and further includes a discharge on-off valve in a dispenser disposed in the valve and the series. Are related to each other by a timer and are performed partly.

s 図軍の簡単な説明 s figure military brief description

第 1図は本発明による第 1実施例の方法説明図とその装置の基本構成系統図、第 2図は本発明による第 2実施琬の構成系統図、第 3図は本発明の第 3実施伊 ί構成系統図、第 4図は本発明の第 4 実施例構成系統図、第 5図は圧抜き用バルブを除去した本発明の χ ο 第 5実施例構成系統図、第 6図は本発明による基本構成系統図における各断繞開閉バルブの断镜開閉タイミングと液体吐出のダラフ、第 7図は従来のディスペンザにおける構成系統図、第 8図は従来のェァ圧式デイスべン"サを使用した系铳図である。 FIG. 1 is an explanatory diagram of a method of the first embodiment according to the present invention and a basic configuration system diagram of the apparatus, FIG. 2 is a configuration system diagram of a second embodiment according to the present invention, and FIG. FIG. 4 is a structural diagram of a fourth embodiment of the present invention, FIG. 5 is a structural diagram of a fifth embodiment of the present invention from which a pressure relief valve is removed, and FIG. FIG. 7 is a schematic diagram of a conventional dispenser, and FIG. 8 is a conventional air pressure type in the basic configuration system diagram according to the present invention. This is a genealogical diagram using a dispenser.

' 発明の'実施例の説明 . ' 'Description of an embodiment of the invention.'

t s 次に第 1図を参照して本 ¾明の方法を説明する。液体ポンプ t s Next, the method of the present invention will be described with reference to FIG. Liquid pump

1 6 より常時加圧された液体 P Lを加圧液体用開閉バルブ S によつて、ある決められたタイミングの下に断続的に開閉せしめる。そして同バルブの "開 " によって加圧液体はシリ一ズに配設されたディスペンザ 1 内の吐出用断続開閉弁 2に至り、その弁の開放 The liquid PL constantly pressurized from 16 is intermittently opened and closed under a predetermined timing by the open / close valve S for pressurized liquid. When the valve opens, the pressurized liquid reaches the discharge intermittent on-off valve 2 in the dispenser 1 arranged in the series, and the valve is opened.

2 0 を待つが、それは上記タイミングと、タイマ 2 0 により制御され . . .る , . Wait for 20, which is controlled by the above timing and timer 20.

そして、上記ニ箇の開閉弁の "開 ³ 時機がラップした時のみ、液体が吐岀することは前述した通りである。これらラップさせる両断繞開閉弁の開閉に対するタイミングの設定は電気式タイマに Z S おいては極めて容易に行なうことができる。 When the "open ³ timing of opening and closing valves of the two箇is wrapped only, the liquid is吐岀is as described above. Set Thai Mi ring for opening and closing of the bisected Nyo off valve for these wrapping is This can be done very easily with an electric timer in the ZS.

次に本発明による装置の基本的搆造について説明する。同じく第 1図を参照されたい。吐出開閉弁 2付きディスペンザ 1 の吐出口にはノズル 3が取付けられ、また該デイスペンザの流入口 4 は加圧液体供給用配管 1 7 により、加圧液体断続開閉バルブ 6 の流Next, the basic structure of the device according to the present invention will be described. See also FIG. Dispense of dispenser 1 with discharge on-off valve 2 A nozzle 3 is attached to the opening, and an inlet 4 of the dispenser is connected to a pressurized liquid intermittent on-off valve 6 by a pressurized liquid supply pipe 17.

' 出口 8 に接繞、かつ該バルブの流入口 9 は加圧液体供給用配管 '' Around the outlet 8 and the inlet 9 of the valve is a pipe for supplying pressurized liquid

1 4により、液体加圧ポンプ 1 6 に、更に該ポンプは液体タンク 1 3 に接続さ.れる。更に又、上記加圧液体供給用配管 1 7上には、その途中に分岐管 1 8が設けられ、それに圧抜き用配管 1 9を介して圧抜き用断繞開閉バルブ 1 1 に接続される。上記各バルブの操作用ソレノイドコィノレ 5 、 1 0 、 1 5 はそれぞれタイマ 2 0 に電気接続される。 By means of 14, a liquid pressurized pump 16 is connected, which in turn is connected to a liquid tank 13. Further, a branch pipe 18 is provided on the pressurized liquid supply pipe 17 on the way, and is connected to a pressure release surrounding opening / closing valve 11 via a pressure release pipe 19. You. The solenoids 5, 10, and 15 for operating the above valves are electrically connected to a timer 20.

上記本発明の基本的構造による装置の作用について説明する。第 1図を参照されたい。液体加圧ポンプ 1 6 によりある所定の圧力に連続的に常時加圧された液体 P Lが、加圧液体用断繞開閉バルブ 6 C P ) 内に流入する。該バルブの "開 " 時に流出し断続的加生液体 P L , .は加圧液体供給用配管 1 7を通ってデイスペンサ 1 内に入る。そして該デイスペンザ内の吐出用断繞開閉弁 2 The operation of the device according to the basic structure of the present invention will be described. See FIG. The liquid PL continuously and constantly pressurized to a predetermined pressure by the liquid pressurizing pump 16 flows into the pressurized liquid surrounding opening / closing valve 6CP). When the valve is opened, it flows out and the intermittently added liquid P L,. Enters the dispenser 1 through the pressurized liquid supply pipe 17. The discharge opening / closing valve 2 in the dispenser

( D ) の " 開 " 時には、上記加圧液体はノズル 3を通して外部に吐出される。 At the time of “open” in (D), the pressurized liquid is discharged to the outside through the nozzle 3.

以上の吐出系統上のニ箇の開閉バルブの "開 " 時間をそれぞれ 3 O msとし、かつそれらの時機をずらして 1 m sだけラップさせると、それらのタイミンググラフは第 6図に示す如くなる。 If the "open" time of each of the two on-off valves on the discharge system is set to 3 Oms, and the timing is shifted to 1 ms, the timing graphs are shown in Fig. 6. It looks like this.

へ _:前述.したよ.うに,、ニ箇の開閉バルブがシリーズに配置された系統路上においては、加圧液体はそれらの "開 " のラップされた時間のみしか液体は吐出しない。よって、ラップ時間 L , 即ち 1 の間だけ液体は吐出されるのである。 To _: As mentioned earlier, on systems with two on-off valves in series, pressurized liquids can only be dispensed during their "open" laps. Does not discharge. Therefore, the liquid is discharged only during the lap time L, that is, 1.

ただし、実際上次の如き問題が発生する。再び第 1 図を参照されたい。ラップした 1 msの時間後は、加圧液体断続開閉弁 Ί は閉鎖されている。ただし同系路上の吐出用断続開閉弁 2 は開放されているので、前者の弁と後者の弁との間の配管 1 7 内の液体の圧力は残留圧となって残る。そして、それが常圧になるまで後者の弁より外部に吐岀される。即ち、前記したラップ時間 1 m s後も若干の液体が吐出するのである（第 6図の液体吐出の仮想線）。こ 5 れは精密な微量吐出にとっては好ましくない。これを防止するには上記の発生した残留圧を除去すればよい。そのためには上記加圧液体供給用配管 1 Ί の途上にバイパス配管を設けて圧拔きをさせてやればよいのである。即ち該配管 1 了上の分岐眚 1 8より圧抜き用配管 1 9を通し、圧抜き用断繞開閉バルブ i 1 内の弁の _{1 0} "開を通って大気中に上記残留圧の液体を開放せしめるのである。 However, the following problems actually occur. Please refer to FIG. 1 again. 1 ms after the lap, the pressurized liquid intermittent on-off valve Ί is closed. However, the intermittent on-off valve 2 for discharge on the same line is opened. Therefore, the pressure of the liquid in the pipe 17 between the former valve and the latter valve remains as a residual pressure. And it is discharged from the latter valve to the outside until it becomes normal pressure. That is, a little liquid is discharged even after the above-mentioned lap time of 1 ms (the virtual line of liquid discharge in FIG. 6). This is not desirable for precise microdispensing. In order to prevent this, the above-mentioned generated residual pressure may be removed. For that purpose, a bypass pipe may be provided in the middle of the pressurized liquid supply pipe 1 を to release the pressure. That is, the liquid at the above-mentioned residual pressure is introduced into the atmosphere through the pressure release pipe 19 through the pressure release pipe 19 through the branch line 18 at the end of the pipe 1, and through the ₁₀ "opening of the valve in the pressure release surrounding open / close valve i 1. Let it open.

なお、上述の残留圧の発生は、実際上の配管抵抗の (I少なること、又 ' 液体の特性上、また吐布条件上などから問題のな.いことがある。その場合には上述の圧抜き用断繞開閉バルブは取除かれ _{1 5} ても差支えない。 The above-mentioned generation of the residual pressure may not be a problem due to the fact that the actual pipe resistance is reduced (by a small amount of the liquid, the characteristics of the liquid, the spraying conditions, etc.). The above-described pressure release separating opening / closing valve may be removed and ₁₅ may be used.

上述の如く、ニ箇の断続期間バルブの開放をシリーズに、かつ微量精密に作動せしめることは比較的容易である。たとえ、断镜開閉バルブの開閉の作動が電気 i 号発信の時機よりも遅れたとしても、複数箇シリーズであれば、それらの遅延の時間を予め見込 As described above, it is relatively easy to operate the valve for two intermittent periods in a series and with a minute precision. Even if the opening / closing operation of the disconnection opening / closing valve is delayed from the timing of the transmission of the electric signal i, if there are multiple series, the delay time is estimated in advance.

Z 0 んでタイマに時間設定すればよいからである。従って、従来のソThis is because Z 0 can be used to set the time to the timer. Therefore, conventional software

- レノィ— ドバ Jレでも 1. nvsの吐出時藺が得られるのである。本発明者は本実験において、最も応答速度の早い.、本岀願人によって出願された特許願（特願昭 6 L - 1 2 5 3 2 9 ) による敏量精密液体吐出用ディズぺンサを使用し、 0. 5 msにおける微量吐出を得る _{2 5} こともできた。 -Even with the Reno-Dubai J, a rush can be obtained when discharging at 1. nvs. The inventor of the present invention has the fastest response speed in this experiment. The dispenser for sensitive liquid precision liquid discharge according to the patent application filed by the applicant (Japanese Patent Application No. 6L-125253) was filed. use the capacitors could be _{2 5} to obtain a small amount discharge of 0. 5 ms.

第 2図に示す本発明の第 2実施例においては、第 1図上の加圧液体用断続開閉バルブ 6 と圧抜き用断繞開閉バルブ 1 1 とのニ窗のバルブを一体化とした三方口切換断繞開閉バルブ 2 6 を組込んだものである。第 1図の加圧液体用断続開閉弁 7は、本例第 2図における 2 7 に、また圧抜き用断続開閉バルブ 1 2 は 2 8 に相当するものである。その他は第 1 図と同様である。作用も同様につき説明は省略する。 In the second embodiment of the present invention shown in FIG. 2, the intermittent on-off valve 6 for pressurized liquid and the on-off valve 11 for depressurization shown in FIG. It incorporates a three-way opening and closing valve 26 that integrates the above valves. The intermittent on-off valve 7 for pressurized liquid in FIG. 1 corresponds to 27 in FIG. 2, and the on-off valve 12 for depressurization corresponds to 28 in FIG. Others are the same as in Fig. 1. The description of the operation is also omitted.

第 3図は本発明の第 3実施例を示しており、第 1 および第 2実施例における液体加圧ポンプ 1 6、 3 6及び液体タンク 1 ,3 、 3 3 の代わりに、エア式加圧タンク 5 1 を設けたものである。同タンクはプレツシャポットとも言われている。即ち密閉タンク内に入れられた^体の上面にエア圧をかけ、その圧力をもって液体をタンク外にサイフォン式に圧送する方式である。この場合、ェァ圧は連続的にかけられるので、圧送される液体も常時一定加圧である。 FIG. 3 shows a third embodiment of the present invention. Instead of the liquid pressurizing pumps 16 and 36 and the liquid tanks 1, 3, and 33 in the first and second embodiments, an air type pump is used. A pressurized tank 51 is provided. This tank is also known as a pressport. In other words, the air pressure is applied to the upper surface of the body placed in the sealed tank, and the liquid is pumped out of the tank in a siphon manner with the pressure. In this case, since the air pressure is applied continuously, the liquid to be pumped is also always at a constant pressure.

第 4図に示す第 4実施例にいては、加圧タンク内に連続的に供給されるエア圧 C A ₂ を、断続開閉バルブ 7 4 により、断続的とする（ C A ₃ ) ものである。よって圧送される加圧液体 P L ₆ も断続的となってディスペンザ 6 1 内に供給することができる。従って、上記各実施例において使用される加圧液体断続開閉バルブは不要となる。ただし圧抜き用断続開閉バルブ 6 6 は設ける。しかしまた前述したように、諸条件により上記圧抜き用断続開閉バルフ'を取除いてあ差支えない場合もある。その系統図を第 5図に第 5実施例として示す。 In the fourth embodiment shown in FIG. 4, the air pressure CA ₂ continuously supplied into the pressurized tank is made intermittent by an intermittent on-off valve 74 (CA ₃ ). is there. Accordingly, the pressurized liquid PL ₆ to be pumped can also be intermittently supplied into the dispenser 61. Therefore, the pressurized liquid intermittent opening / closing valve used in each of the above embodiments becomes unnecessary. However, an intermittent on-off valve for pressure relief is provided. However, as described above, the intermittent opening / closing valve for pressure relief may be removed depending on various conditions. Fig. 5 shows the system diagram as the fifth embodiment.

第 5実施例は、上記各実施例における各断続開閉バルブを操作するソレノィド式をエア式としたものである。た、' し前述したようにエア式の断続開閉バルブは、その開閉作動において、ソレノィド式のそれよりも、電気信号に対する応答速度が遅い。発明の効果 In the fifth embodiment, the solenoid type for operating each intermittent on-off valve in each of the above embodiments is an air type. However, as described above, the pneumatic intermittent on-off valve has a slower response speed to an electric signal in opening and closing operation than the solenoid type on-off valve. The invention's effect

本凳明の方法と装置によれば、ディスペンザによる液体の吐出時間を一桁のミリセコンドに短縮化することができるものであつて、最近とみに需要の高まつてきた液体の微量精密吐出作業に対して十分に寄与できるものである。 According to the method and apparatus of the present invention, it is possible to reduce the liquid discharge time by a dispenser to one-digit millisecond. It can sufficiently contribute to the discharge work.

Claims

請求の範囲 The scope of the claims

1. 断続的に開閉される加圧液体供給手段により液体を、吐出用断続開閉弁を有する微量液体吐出用ディスペンザ内に導き、上記加圧液体供給手段の開放時機と上記デイスペンザ内の吐出用 5 断続開閉弁の開放時機とをラップさせた時間のみ、加圧液体がデイスペンザより吐出されることを特徴とする液体の微量精密吐出方法。 1. Guided liquid is supplied by a pressurized liquid supply means that is opened and closed intermittently into a dispenser for discharging a small amount of liquid having an intermittent on-off valve for discharge. 5 A micro-precision liquid dispensing method, characterized in that pressurized liquid is discharged from a dispenser only during the time when the intermittent on-off valve is opened when the intermittent on-off valve is opened.

' '

2. 吐出用開閉弁を内蔵する微量液体吐出手段と、 2. A small amount liquid discharge means with a built-in discharge on-off valve,

液体加圧供給手段に接続され、前記吐出手段に加圧液体を断続 ' _{1 0} 的に供給するための断続開閉弁を含む加圧液体断続供給手段と、前記微量液体吐出手段の吐出用開閉弁と前記加圧液体断続供給手段の断続開閉弁とに接続され両者開時にのみ流体を吐出すベぐ両 fの開閉タィミングを制御するタイミング制御手段と、から成ることを特徴とする,液体の微量精密吐出装置。 Connected to the liquid pressurizing supply means, a pressurized liquid intermittently feeding means including an intermittent on-off valve for supplying pressurized liquid intermittently _{'1 0} to the discharge means, the discharge on-off valve of the microfluidic discharge means And timing control means connected to the intermittent on-off valve of the pressurized liquid intermittent supply means for controlling the opening and closing timing of both f to discharge fluid only when both are open. , A micro precision discharge device for liquids.

. ₅ . ₅

3. 前記微量液体吐出手段から前記加圧液体断铙供給手段への液体流路に接続されて圧抜き用断镜開閉弁手段が設けてあり、該断続開閉弁手段は前記タィミング制御手段により制御される請求の範囲第 2項に記載の液体の微量精密吐出装置。 3. A pressure release disconnection opening / closing valve means is connected to the liquid flow path from the trace amount liquid discharging means to the pressurized liquid disconnection supply means, and the intermittent on / off valve means is provided with the timing control. 3. The micro-precision liquid discharging device according to claim 2, wherein the device is controlled by means.

4. 吐出用開閉弁を内蔵する微量液体吐出用デイスペンザと、 2。出口が加圧液体供給配管を介して前記ディスペンザに接続され、入口が液体加圧供給手段に接続され、前記ディスペンザに加圧液体を断続的に供給する加圧液体供袷用断繞開閉弁手段と、 4. Dispenser for dispensing a small amount of liquid with a built-in discharge on-off valve; An outlet is connected to the dispenser via a pressurized liquid supply pipe, and an inlet is connected to a liquid pressurizing supply means, and a pressurized liquid supply line intermittently supplies a pressurized liquid to the dispenser. Surrounding on-off valve means,

前記加圧液体供給配管を分枝して接続された圧抜き用断続開閉弁手段と、 Intermittent opening / closing means for depressurization connected by branching the pressurized liquid supply pipe,

Z 前記吐出用開閉弁、加圧液体供給用断続開閉弁手段および圧抜き用断続開閉弁手段に接続され、前記加圧液体供給用断続開閉弁手段と前記吐出用開閉弁とが両者開時にのみ液体を吐出すベくタイミング制御するタイミング制御手段と、 Z is connected to the discharge on-off valve, the pressurized liquid supply intermittent on-off valve means and the pressure release on-off intermittent on-off valve means, and when the pressurized liquid supply intermittent on-off valve means and the discharge on-off valve are both open. Dispense only liquid Timing control means for performing timing control;

-から成ることを特徴とする液体の微量精密吐出装置。 -A micro-precision discharge device for liquids, characterized by comprising:

5. 請求の範囲第 4項記載の加圧液体供給用断続開閉弁手段と圧抜き用断繞開閉弁手段とが、それぞれ一体化された三方口切換断続開閉バルブより成る液体の微量精密吐出装置。 5. A micro-precision liquid discharge device comprising a three-way switching intermittent on-off valve, wherein the intermittent on-off valve means for supplying pressurized liquid and the on-off valve means for depressurization according to claim 4 are respectively integrated. .