UA59549A - Device for monitoring shape of a surface - Google Patents

Device for monitoring shape of a surface Download PDF

Info

Publication number
UA59549A
UA59549A UA2002075735A UA200275735A UA59549A UA 59549 A UA59549 A UA 59549A UA 2002075735 A UA2002075735 A UA 2002075735A UA 200275735 A UA200275735 A UA 200275735A UA 59549 A UA59549 A UA 59549A
Authority
UA
Ukraine
Prior art keywords
optical system
scanner
monitoring
image
shape
Prior art date
Application number
UA2002075735A
Other languages
Russian (ru)
Ukrainian (uk)
Inventor
Юрій Степанович Плаксій
Юрий Степанович Плаксий
Володимир Олександрович Соколов
Владимир Александрович Соколов
Original Assignee
Інститут Прикладних Проблем Фізики І Біофізики Національної Академії Наук України
Институт Прикладных Проблем Физики И Биофизики Национальной Академии Наук Украины
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Інститут Прикладних Проблем Фізики І Біофізики Національної Академії Наук України, Институт Прикладных Проблем Физики И Биофизики Национальной Академии Наук Украины filed Critical Інститут Прикладних Проблем Фізики І Біофізики Національної Академії Наук України
Priority to UA2002075735A priority Critical patent/UA59549A/en
Publication of UA59549A publication Critical patent/UA59549A/en

Links

Landscapes

  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)

Abstract

The proposed device for monitoring shape of a surface contains an optical radiation source, a scanner, an optical system, and a photodetector that is sensitive to the position of the optical beam. The photodetector is designed as a linear photocell array. In the optical system, a raster lens is provided. To the scanner, an optical beam displacement transducer is connected. The proposed device provides for improving accuracy in measuring surface profiles and monitoring deviations of the surface profile from a specified one.

Description

Опис винаходуDescription of the invention

Винахід відноситься до вимірювальної техніки і може бути використаний для визначення форми поверхні тіла 2 або для контролю відхилень профілю поверхні від заданого. Такий контроль важливий як для визначення якості продукції, так і для контролю положення деталі або її деформації під час технологічних процесів. Оптимізація системи вимірювання і, як наслідок, підвищення її швидкості, дуже важливі при застосуванні у процесах де треба контролювати динамічні зміни форми поверхні під час її виготовлення або деталей, що рухаються на конвеєрі та у виробництві з використанням рулонних технологій. 70 Найбільш близькім за технічною суттю до винаходу є пристрої (1 - 3), призначені для автоматичного контролю форми поверхонь. Вони що складаються з джерела зондуючого випромінювання, об'єктива, позиційно чутливого фотоприймача і аналізатора зображення. Пучки світла з джерела зондуючого випромінювання утворюють на контрольованій поверхні лінії, які в разі відсутності дефектів є прямими, а при наявності дефектів скривлюються. Об'єктив формує зображення ліній на фоточутливій ділянці позиційно чутливого 19 фотоприймача. Фотоприймач перетворює зображення в електричний сигнал. Аналізатор проводить кількісний аналіз форми зображення і видає рішення про наявність чи відсутність дефекту поверхні.The invention relates to measuring technology and can be used to determine the shape of the surface of the body 2 or to control deviations of the surface profile from the given one. Such control is important both for determining product quality and for controlling the position of the part or its deformation during technological processes. Optimizing the measurement system and, as a result, increasing its speed are very important when applied in processes where it is necessary to control dynamic changes in the shape of the surface during its manufacture or parts moving on the conveyor and in production using roll technologies. 70 The closest in terms of technical essence to the invention are devices (1 - 3) designed for automatic control of the shape of surfaces. They consist of a source of probing radiation, a lens, a positionally sensitive photoreceiver and an image analyzer. Beams of light from the probing radiation source form lines on the controlled surface, which are straight in the absence of defects, and curved in the presence of defects. The lens forms an image of lines on the photosensitive area of the positionally sensitive 19 photoreceptor. The photoreceptor converts the image into an electrical signal. The analyzer performs a quantitative analysis of the shape of the image and issues a decision on the presence or absence of a surface defect.

Розроблені прилади мають обмежену точність та швидкість роботи і складні за своїм алгоритмом роботи, оскільки вміщують просторові фотоприймачі і повинні проводити аналіз великооб'ємних зображень. На точність впливає недостатня кількість елементів по кожній координаті матричних фотоприймачів та обмежена роздільна здатність об'єктива. Крім того, об'єктив ще й вносить геометричні спотворення в зображенні на фотоприймачі.The developed devices have limited accuracy and speed of operation and are complex in terms of their operation algorithm, since they contain spatial photoreceptors and must carry out analysis of large-volume images. The accuracy is affected by the insufficient number of elements for each coordinate of the matrix photo receivers and the limited resolution of the lens. In addition, the lens also introduces geometric distortions in the image on the camera.

В основу винаходу поставлено задачу вдосконалення пристрою для автоматичного визначення профілю поверхні, який при збереженні всіх інших властивостей прототипів мав би підвищену точність вимірювання.The invention is based on the task of improving the device for automatic determination of the surface profile, which, while preserving all other properties of the prototypes, would have increased measurement accuracy.

Поставлена задача вирішується тим, що використовують одномірну лінійку фотоелементів та оптичну систему з растровою лінзою, що утворює квазиодновимірне зображення поверхні, що контролюється. Для 22 визначення координати точки контролю на траєкторії сканування використовують датчик положення променя. «The task is solved by using a one-dimensional line of photocells and an optical system with a raster lens that forms a quasi-one-dimensional image of the monitored surface. To determine the coordinates of the control point on the scanning path, a beam position sensor is used. "

Запропонована конструкція забезпечує підвищення точності визначення по координаті відхилень профілю поверхні за рахунок значно більшої кількості фотоелементів у лінійному приймачі в порівнянні з матричним, а по координаті вздовж траєкторії сканування - за рахунок використання додаткового датчика.The proposed design provides an increase in the accuracy of determining surface profile deviations in the coordinate due to a significantly greater number of photocells in the linear receiver compared to the matrix one, and in the coordinate along the scanning path - due to the use of an additional sensor.

Роздільна здатність та кількість відліків вздовж траєкторії сканування не пов'язана зі структурою, чи о просторовими характеристиками фотоприймача, а також не обмежена параметрами оптичної системи. Вони /-«ф можуть автоматично регулюватися, змінюватися по заданому закону або в певних зонах контролю. Також можлива автоматична зміна розміру та положення зони контролю. Це забезпечує можливість більш ретельного о аналізу найбільш важливих зон поверхні або деталізації структури дефектних ділянок. Регулювання Ге») здійснюється електронним шляхом тільки зміною положення зондуючого променя без механічних переміщень оптичної системи, зміни структури та режимів приймального каналу. При зменшенні зони сканування можливе о автоматичне підвищення роздільної здатності або зменшення часу аналізу профілю поверхні.The resolution and the number of readings along the scanning path are not related to the structure or spatial characteristics of the photoreceptor, nor are they limited by the parameters of the optical system. They /-«f can be automatically regulated, change according to a given law or in certain control zones. It is also possible to automatically change the size and position of the control zone. This provides the possibility of more thorough analysis of the most important surface areas or detailing of the structure of defective areas. The adjustment of Ge") is carried out electronically only by changing the position of the probing beam without mechanical movements of the optical system, changing the structure and modes of the receiving channel. When reducing the scanning area, it is possible to automatically increase the resolution or reduce the time of surface profile analysis.

Суть запропонованого винаходу пояснюється кресленням (фіг.), на якому зображена блок-схема пристрою для визначення профілю поверхні. «The essence of the proposed invention is explained by the drawing (fig.), which shows the block diagram of the device for determining the surface profile. "

Пристрій включає лазер 1, лінійний сканер 2, датчик положення променя 3, оптичну систему 5, лінійку З 50 фотоприймачів 6 та монітор 7. с Пристрій працює таким чином. Лазер і сканер формують на поверхні, що контролюється, прямолінійнуThe device includes a laser 1, a linear scanner 2, a beam position sensor 3, an optical system 5, a line of Z 50 photoreceptors 6 and a monitor 7. The device works as follows. The laser and the scanner form a straight line on the controlled surface

Із» траєкторію руху світлового зонда. Оптична система спрямована під кутом до цієї поверхні і перетворює зображення поверхні таким чином, що його більший розмір відповідає координаті поверхні перпендикулярній до траєкторії сканування зондуючого променя и розташований вздовж елементів лінійки фотоприймача. Менший розмір або ширина зображення формується таким чином, щоб при скануванні променя вздовж заданої траєкторії і-й зображення весь час було на фотоприймачі. (се) Для кожної точки траєкторії сканування променя сигнал з фотоприймача відповідає відхиленню профілю поверхні від прямої лінії. і-й Положення точки на траєкторії визначається за допомогою датчика 3. Сигнали з фотоприймача 6 та датчика «їз» 20 3 формують на моніторі 7 зображення профілю поверхні 4, що контролюється. 3е)From" the trajectory of the light probe. The optical system is directed at an angle to this surface and transforms the image of the surface in such a way that its larger size corresponds to the coordinate of the surface perpendicular to the scanning trajectory of the probing beam and is located along the elements of the photoreceptor line. The smaller size or width of the image is formed in such a way that when scanning the beam along the given trajectory, the i-th image is always on the photoreceptor. (se) For each point of the beam scanning trajectory, the signal from the photodetector corresponds to the deviation of the surface profile from a straight line. The position of the point on the trajectory is determined using the sensor 3. Signals from the photo receiver 6 and the "travel" sensor 20 3 form an image of the monitored surface profile 4 on the monitor 7. 3e)

Claims (1)

Формула винаходу 59 Пристрій для контролю форми поверхні, що включає джерело випромінювання, сканер, оптичну систему і в позиційно чутливий фотоприймач, який відрізняється тим, що включає датчик положення променя, замість двокоординатного фотоприймача використаний лінійний фотоприймач, а в складі оптичної системи використана растрова лінза. 60 б5Formula of the invention 59 Device for monitoring the shape of the surface, which includes a radiation source, a scanner, an optical system and a positionally sensitive photoreceiver, which differs in that it includes a beam position sensor, instead of a two-coordinate photoreceiver, a linear photoreceiver is used, and a raster lens is used as part of the optical system. 60 b5
UA2002075735A 2002-07-11 2002-07-11 Device for monitoring shape of a surface UA59549A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
UA2002075735A UA59549A (en) 2002-07-11 2002-07-11 Device for monitoring shape of a surface

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
UA2002075735A UA59549A (en) 2002-07-11 2002-07-11 Device for monitoring shape of a surface

Publications (1)

Publication Number Publication Date
UA59549A true UA59549A (en) 2003-09-15

Family

ID=74220325

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
UA2002075735A UA59549A (en) 2002-07-11 2002-07-11 Device for monitoring shape of a surface

Country Status (1)

Country Link
UA (1) UA59549A (en)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP1062478B1 (en) Apparatus and method for optically measuring an object surface contour
JP3040376B2 (en) Container sealing surface area inspection method and apparatus
US10455137B2 (en) Auto-focus system
KR100520305B1 (en) Gap measurement device for measuring a gap between a mask and a substrate using a laser displacement sensor, and measuring method thereof
US8767218B2 (en) Optical apparatus for non-contact measurement or testing of a body surface
US5319442A (en) Optical inspection probe
US7504647B2 (en) Method and apparatus for inspecting a sample having a controller for determining an estimated height of the detector from the sample
US4498776A (en) Electro-optical method and apparatus for measuring the fit of adjacent surfaces
KR20140096115A (en) Lighting device for inspection and lighting method for inspection
KR20090033031A (en) Substrate surface inspection apparatus
EP1288613A2 (en) Sidewall thickness measurement with a line shaped light beam or for several transparent containers
JP5808015B2 (en) Defect inspection method
JP2004279367A (en) Surface defect inspection device and control program recording medium
US4875778A (en) Lead inspection system for surface-mounted circuit packages
EP0338442B1 (en) A method and apparatus for the inspection of specularly reflective surfaces
UA59549A (en) Device for monitoring shape of a surface
JP2012154709A (en) Three-dimensional shape measurement device
JP2002511575A (en) Method and coordinate measuring instrument for point-scan contour determination of material surfaces by the principle of auto-focusing
JP3860202B2 (en) Transparency sheet defect inspection system
EP0177273B1 (en) Camera for visual inspection
US20230168080A1 (en) Optical measuring device and method for ascertaining the three-dimensional shape of an object
US11415528B2 (en) Method and apparatus for automated in-line inspection of optically transparent materials
US11530914B2 (en) Shape measuring method
JPH08304040A (en) Three-dimensional shape measuring apparatus
JP2725200B2 (en) Surface detector