TWM570536U - 流體驅動系統 - Google Patents

Abstract

一種流體驅動系統，包括一致動單元、一壓電元件、一訊號傳導層、一平面單元及一凸出部。壓電元件包括電性隔絕的一第一電極及一第二電極。訊號傳導層包括一第一傳導區及一第二傳導區，壓電元件的第一電極導通於訊號傳導層的第一傳導區，壓電元件的第二電極導通於訊號傳導層的第二傳導區。平面單元具有至少一孔，其中壓電元件、訊號傳導層及平面單元分別位於致動單元的同一側。凸出部位於致動單元與平面單元之間，凸出部對應於孔且朝向孔凸出。

Description

流體驅動系統

本新型是有關於一種流體驅動系統，特別是指一種電性連接至壓電元件的訊號傳導層具有較佳的被保護性的流體驅動系統。

壓電泵是一種新型的流體驅動器，其無需附加驅動電機，僅透過電陶瓷的逆壓電效應便能使壓電振子產生變形，再依據前述變形產生泵腔的容積變化以實現流體輸出，或者透過壓電振子產生波動來傳輸流體，因此壓電泵已逐漸取代傳統泵而廣泛地應用於電子、生醫、航太、汽車以及石化等產業。

一般來說，壓電泵是由壓電元件以及泵體所組成，其中當通電至壓電元件時，壓電元件會在電場作用下徑向壓縮，並於其內部產生拉應力而彎曲變形。當壓電元件正向彎曲時，泵體的腔室(以下稱泵腔)的容積便會增大，使得泵腔內的壓力減小，以令流體自入口流入泵腔。另一方面，當壓電元件向反向彎曲時，泵腔的容積減小，使得泵腔內的壓力增大，以令泵腔內的流體被擠壓而自出口排出。目前，用來供電至壓電元件的電路結構通常為多層結構，且位於泵體外部，整體體積較大且較容易受損。

本新型提供一種流體驅動系統，其用以電性連接至壓電元件的訊號傳導層，具有較佳的被保護性。

本新型的一種流體驅動系統，包括一致動單元、一壓電元件、一訊號傳導層、一平面單元及一凸出部。壓電元件包括電性隔絕的一第一電極及一第二電極。訊號傳導層包括一第一傳導區及一第二傳導區，壓電元件的第一電極導通於訊號傳導層的第一傳導區，壓電元件的第二電極導通於訊號傳導層的第二傳導區。平面單元具有至少一孔，其中壓電元件、訊號傳導層及平面單元分別位於致動單元的同一側。凸出部位於致動單元與平面單元之間，凸出部對應於孔且朝向孔凸出。

在本新型的一實施例中，上述的壓電元件具有一通孔，凸出部穿設於通孔並固定至致動單元。

在本新型的一實施例中，上述的凸出部被壓電元件環繞。

在本新型的一實施例中，上述的致動單元、壓電元件、訊號傳導層及平面單元依序堆疊。

在本新型的一實施例中，上述的壓電元件具有相對的一第一面與一第二面，第一電極及第二電極分別位於第一面與第二面，壓電元件的第一面朝向致動單元，致動單元為導體，壓電元件的第一電極透過致動單元導通於訊號傳導層的第一傳導區。

在本新型的一實施例中，上述的流體驅動系統更包括一框體，致動單元包括一第一中央區、一第一周圍區及連接於第一中央區及第一周圍區的多個第一連接區，凸出部及壓電元件固定於致動單元的第一中央區，框體固定於致動單元的第一周圍區。

在本新型的一實施例中，上述的框體在朝向於平面單元的一表面共平面於壓電元件在朝向於平面單元的一表面。

在本新型的一實施例中，上述的致動單元包括一第一中央區、一第一周圍區及連接於第一中央區及第一周圍區的多個第一連接區，第一周圍區在朝向於平面單元的一表面共平面於壓電元件在朝向於平面單元的一表面。

在本新型的一實施例中，上述的流體驅動系統更包括一傳導單元，位於壓電元件與平面單元之間，傳導單元包括對應於壓電元件的一第二中央區及位於第二中央區之外的一第二周圍區，第一傳導區形成於傳導單元的第二中央區，第二傳導區形成於傳導單元的第二周圍區。

在本新型的一實施例中，上述的流體驅動系統更包括一承載件，配置於致動單元的一第一周圍區與平面單元之間，承載件朝向平面單元的一表面共平面於凸出部在朝向於平面單元的一表面。

在本新型的一實施例中，上述的流體驅動系統更包括一傳導單元，位於壓電元件與平面單元之間，承載件配置於傳導單元與平面單元之間。

在本新型的一實施例中，上述的承載件與傳導單元為一體。

在本新型的一實施例中，上述的致動單元、訊號傳導層、壓電元件及平面單元依序堆疊。

在本新型的一實施例中，上述的流體驅動系統更包括一傳導單元，第一傳導區與第二傳導區形成於傳導單元上，傳導單元位於致動單元與壓電元件之間，壓電元件包括朝向傳導單元的一第一面，第一電極及第二電極位於第一面。

在本新型的一實施例中，上述的傳導單元係選用可撓性或軟性印刷電路板(Flexible Printed Circuit Board，FPCB)。

在本新型的一實施例中，上述的致動單元與凸出部為一體。

基於上述，本新型的流體驅動系統的壓電元件、訊號傳導層及平面單元分別位於致動單元的同一側。由於用以電性連接於壓電元件的第一電極與第二電極的訊號傳導層位於致動單元與平面單元之間，訊號傳導層形成在流體驅動系統的內部而具有較佳的被保護性。此外，一般而言，流體驅動系統的中央區(也就是各層對應於閥片的孔處)的部位，可說是流體驅動系統的主要功能區。本新型的流體驅動系統將凸出部配置於致動單元與平面單元之間，凸出部對應於孔且朝向孔凸出。如此一來，本新型的流體驅動系統在中央位置的可動構件可以只有致動單元、凸出部與平面單元，換句話說，本新型的流體驅動系統在中央位置的可動構件數量少，而使得流體驅動系統具有較小的公差，進而具有良好的精度。

為讓本新型的上述特徵和優點能更明顯易懂，下文特舉實施例，並配合所附圖式作詳細說明如下。

圖1是依照本新型的第一實施例的一種流體驅動系統的示意圖。圖2是圖1的流體驅動系統的另一視角的示意圖。圖3是圖1的流體驅動系統的***示意圖。圖4是圖3的另一視角的示意圖。圖5A是圖1的流體驅動系統的剖面示意圖。圖5B是圖1的流體驅動系統的凸出部與壓電元件的俯視示意圖。請參閱圖1至圖5B，本實施例的流體驅動系統100包括一致動單元110、一壓電元件130、一訊號傳導層145、一平面單元160及一凸出部155。下面對流體驅動系統100進行詳細地說明。

請參閱圖3與圖4，在本實施例中，致動單元110包括一第一中央區112、一第一周圍區114及連接於第一中央區112及第一周圍區114的多個第一連接區116。第一中央區112可相對於第一周圍區114運動。此外，在本實施例中，致動單元110的材質可包括金屬或合金，具有可撓曲的特性，但致動單元110的材質不以此為限制。當然，在其他實施例中，致動單元110也可以只有局部具有導電性，例如是第一中央區112、第一周圍區114與第一周圍區114的局部位置。

在本實施例中，壓電元件130具有相對的一第一面132與一第二面136，且包括電性隔絕的一第一電極134(標示於圖3)及一第二電極138(標示於圖4)。第一電極134及第二電極138分別位於第一面132與第二面136。第一電極134及第二電極138的其中一者為正極，另一者為負極。

在本實施例中，壓電元件130的第一面132朝向致動單元110。更明確地說，在本實施例中，壓電元件130固定於致動單元110的第一中央區112，當壓電元件130被通電時會運動，而可帶動致動單元110的第一中央區112運動。此外，在本實施例中，壓電元件130的形狀可為片狀或任意幾何外形，且壓電元件130的輪廓為弧形、多角形、矩形、多邊形等，壓電元件130的形狀並不以此為限制。

在本實施例中，訊號傳導層145包括電性隔絕的一第一傳導區149及一第二傳導區148。更明確地說，在本實施例中，流體驅動系統100更包括一傳導單元140，傳導單元140位於壓電元件130與平面單元160之間。傳導單元係選用可撓性或軟性印刷電路板(Flexible Printed Circuit Board，FPCB)。傳導單元140包括由多個穿槽142圍繞出且對應於壓電元件130的一第二中央區141及位於第二中央區141之外的一第二周圍區143。第一傳導區149與第二傳導區148分別形成於傳導單元140上。更明確地說，第二傳導區148形成於傳導單元140的第二中央區141，第一傳導區149形成於傳導單元140的第二周圍區143。傳導單元140上之第一傳導區149與第二傳導區148係互相電性隔離絕緣，不會電性連接。

在本實施例中，壓電元件130的第一電極134導通於訊號傳導層145的第一傳導區149，壓電元件130的第二電極138導通於訊號傳導層145的第二傳導區148。如圖4與圖5所示，在本實施例中，第二傳導區148透過一第二導電區146導通於壓電元件130的第二電極138。此外，如圖3與圖5所示，在本實施例中，致動單元110為導體，壓電元件130的第一電極134透過致動單元110導通於訊號傳導層145的第一傳導區149。

更明確地說，請回到圖3，在本實施例中，流體驅動系統100更包括一框體120，框體120位在致動單元110的第一周圍區114與傳導單元140的第二周圍區143之間。在本實施例中，壓電元件130的第一電極134接觸到具有導電性的致動單元110的第一中央區112，框體120固定於致動單元110的第一周圍區114，傳導單元140的第一導電區147位於傳導單元140的第二周圍區143，第一導電區147連接於傳導區149。框體120例如是金屬材質。

上述配置使得壓電元件130的第一電極134、致動單元110的第一中央區112、第一連接區116、第一周圍區114、框體120、第一導電區147及第一傳導區149之間形成一導通路徑。因此，壓電元件130的第一電極134可導通於傳導單元140的第一傳導區149。

當然，在其他實施例中，第一傳導區149與第二傳導區148也可以是兩條一般形式的導線，也可以直接連接壓電元件130的第一電極134與第二電極138，第一傳導區149與第二傳導區148並不一定要形成在傳導單元140上，第一傳導區149與第二傳導區148也不一定要形成在同一層，壓電元件130的第一電極134與第一傳導區149之間也不一定要透過致動單元110與框體120來導通，結構上不以上述為限制，只要第一傳導區149與第二傳導區148導通於壓電元件130的第一電極134與第二電極138即可。

另外，在本實施例中，壓電元件130具有一通孔131。傳導單元140具有對應通孔131的一開孔144。凸出部155穿設於壓電元件130的通孔131與傳導單元140的開孔144，且固定至致動單元110的第一中央區112。在本實施例中，凸出部155被壓電元件130與傳導單元140環繞。

一般而言，流體驅動系統的中央區(也就是可以運動的各層對應於閥片的孔處)的部位，可說是流體驅動系統的主要功能區。如圖5A所示，本實施例的流體驅動系統100將凸出部155配置於致動單元110與平面單元160之間，凸出部155對應於孔166且朝向孔166凸出。如此一來，流體驅動系統100在中央位置的可動構件可以只有致動單元110、凸出部155與平面單元160。因此，在本實施例中，流體驅動系統100在中央位置的可動構件數量較少，而使得流體驅動系統100在主要功能區可具有較小的公差，進而具有良好的精度。

請繼續回到圖3，在本實施例中，平面單元160為一閥片，但平面單元160的形式不以此為限制。平面單元160包括三個形狀為弧形的穿槽163，這些圍繞出圓形的第四中央區162並區分出位在第四中央區162之外的第四周圍區164，平面單元160還包括形成於第四中央區162的一孔166。在本實施例中，第四中央區162的位置對應於壓電元件130的位置。在其他實施例中，平面單元160的穿槽163的數量以及形狀並不以此為限制。此外，平面單元160的材質可為金屬或非導電性材質，但平面單元160的材質並不以此為限制。

另外，如圖3所示，在本實施例中，流體驅動系統100更包括一導流件170，平面單元160位於壓電元件130與導流件170之間。在本實施例中，導流件170包括由多個凹槽175圍繞出且對應於壓電元件130的一第五中央區172、位於第五中央區172之外的一第五周圍區174、貫穿導流件170的三個貫孔176及分別連通於這三個貫孔176的三個流道178。當然，導流件170的貫孔176與流道178的數量並不以此為限制。

在本實施例中，導流件170的第五周圍區174貼附至平面單元160的第四周圍區164，平面單元160的第四中央區162可相對於第四周圍區164運動。此外，在本實施例中，導流件170的材質可包括金屬或合金，但導流件170的材質並不以此為限制。

值得一提的是，在本實施例中，壓電元件130、訊號傳導層145及平面單元160分別位於致動單元110的同一側且依序堆疊。換句話說，在本實施例中，壓電元件130與訊號傳導層145會位於致動單元110與平面單元160之間。由於訊號傳導層145主要是形成在流體驅動系統100的內部。如此，本實施例的流體驅動系統100可對訊號傳導層145具有較佳的保護性。

此外，由圖5A可見，在本實施例中，框體120在朝向於平面單元160的一表面共平面於壓電元件130在朝向於平面單元160的一表面。由於框體120的下表面與壓電元件130的下表面齊平，在組裝的時候，操作者可一次性地將傳導單元140貼在框體120的下表面與壓電元件130的下表面上，而無需分段進行，組裝上較為方便，且可確保傳導單元140的平整度。

另外，由圖5A可見，在本實施例中，流體驅動系統100更包括一承載件150，配置於致動單元110的第一周圍區114與平面單元160的第四周圍區164之間。更明確地說，承載件150配置於傳導單元140的第二周圍區143與平面單元160的第四周圍區164之間。在本實施例中，框體120的厚度、傳導單元140的厚度、及承載件150的厚度的總和實質上相同於凸出部155的厚度。因此，承載件150朝向平面單元160的一表面共平面於凸出部155在朝向於平面單元160的一表面。

如此，當流體驅動系統100組裝完成之後，凸出部155可抵住平面單元160在靠近孔166處的部位，而可確保在某一個作動的時刻(例如是圖5的時刻)，凸出部155抵住孔166，而使流體(未繪示)不通過孔166。

要說明的是，在本實施例的流體驅動系統100中，導通於壓電元件130的訊號傳導層145被設置在位於致動單元110與平面單元160之間的單一件傳導單元140上。由於訊號傳導層145製作在單一件傳導單元140上，相較於習知的流體驅動系統具有多層的訊號傳導層，本實施例的流體驅動系統100也具有較小的整體厚度，組裝上也較為簡單方便。此外，由於傳導單元140主要是位於流體驅動系統100的內部，而提供了訊號傳導層145較佳的保護。

值得一提的是，如圖5B所示，在本實施例中，壓電元件130呈環形而使得凸出部155連續地被壓電元件130包圍。但壓電元件130的形狀、數量、壓電元件130與凸出部155之間的配置關係並不以此為限制。

圖5C至圖5D分別是依照本新型的多個實施例的凸出部與壓電元件的俯視示意圖。請先參閱圖5C，在本實施例中，壓電元件130’呈C形，而具有一開口。凸出部155位於壓電元件130’之內，且不連續地被壓電元件130’包圍。請再參閱圖5D，在本實施例中，流體驅動系統可具有兩個壓電元件130’’，各壓電元件130’’呈弧形。凸出部155位於兩壓電元件130’’之內，且不連續地被壓電元件130’’包圍。

下面將介紹其他形式的流體驅動系統100a、100b、100c、100d。與前一實施例相同或相近的元件以相同或相近的符號表示，不再多加贅述，下面僅就不同實施例之間的主要差異之處進行說明。

圖6是依照本新型的第二實施例的一種流體驅動系統的***示意圖。圖7是圖6的流體驅動系統的另一視角的示意圖。圖8是圖6的流體驅動系統的剖面示意圖。請參閱圖6至圖8，本實施例的流體驅動系統100a與前一實施例的流體驅動系統100的主要差異在於，在前一實施例中，如圖5A所示，傳導單元140在第二中央區141的厚度相同於第二周圍區143的厚度，且承載件150配置於傳導單元140a的第二周圍區143與平面單元160之間。

在本實施例中，如圖8所示，傳導單元140a具有不同的厚度，特別是在傳導單元140a的第二中央區141的厚度小於第二周圍區143a的厚度。在本實施例中，傳導單元140a可以看成是將圖5A中傳導單元140的第二周圍區143與承載件150成為一體的結構。因此，在本實施例中，凸出部155的下表面與傳導單元140a在第二周圍區143a的下表面齊平。

圖9是依照本新型的第三實施例的一種流體驅動系統的***示意圖。圖10是圖9的流體驅動系統的另一視角的示意圖。圖11是圖9的流體驅動系統的剖面示意圖。請參閱圖9至圖11，本實施例的流體驅動系統100b與圖5A的實施例的流體驅動系統100的差異在於，在圖5A的實施例中，致動單元110的第一中央區112的厚度與第一周圍區114的厚度相同。此外，在圖5A的實施例中，承載件150所分布的區域對應於傳導單元140的第二周圍區143所分布的區域。也就是說，在圖5A的實施例中，承載件150是疊置於傳導單元140的第二周圍區143。

如圖10所示，在本實施例中，致動單元110b在第一中央區112的朝向壓電元件130的表面(下表面)具有一凸台113b。此外，如圖11所示，致動單元110b的第一周圍區114b的下表面齊平於凸台113b的下表面。在本實施例中，凸台113b穿過壓電元件130的通孔131，且壓電元件130的下表面齊平於凸台113b的下表面。

此外，如圖11所示，在本實施例中，傳導單元140b的第二周圍區143的外輪廓小於等於承載件150b的內輪廓，而使得傳導單元140b可位於承載件150b之內，而使得傳導單元140b與承載件150b在大部分的區域是不交疊的。承載件150b直接接觸於致動單元110b的第一周圍區114b。在本實施例中，凸出部155配置於凸台113b，且凸出部155的下表面齊平於承載件150b的下表面。在本實施例中，凸出部155的厚度實質上相同於承載件150b的厚度。因此，凸出部155與承載件150b可由同一件物件來製作，以使凸出部155與承載件150b具有高精度。

值得一提的是，如圖9所示，在本實施例中，承載件150b具有一凹陷部152，承載件150b在凹陷部152的厚度會小於承載件150b在其他部位的厚度，凹陷部152用來使傳導單元140b的一部分放置於其上。因此，凹陷部152縮減的厚度實質上相同於傳導單元140b的厚度。當然，在其他實施例中，承載件150b在對應於凹陷部152的區域也可以挖空(而不具有此部分)，以供傳導單元140b的一部分通過，承載件150b的形式不限於此。

圖12是依照本新型的第四實施例的一種流體驅動系統的剖面示意圖。請參閱圖12，本實施例的流體驅動系統100c與圖11的流體驅動系統100b的主要差異在於，在圖11的流體驅動系統100b中，致動單元110b具有多個厚度。此外，在圖11的流體驅動系統100b的中央部位中，致動單元110b、壓電元件130、具有訊號傳導層的傳導單元140b及平面單元160依序堆疊。

在本實施例的流體驅動系統100c中，致動單元110具有單一的厚度。此外，在圖12的流體驅動系統100c的中央部位中，傳導單元140b位於致動單元110與壓電元件130之間。也就是說，在本實施例的流體驅動系統100c中，致動單元110、具有訊號傳導層的傳導單元140b、壓電元件130及平面單元160依序堆疊。

此外，在本實施例中，壓電元件130的第一電極134及第二電極138位於朝向傳導單元140b的表面(壓電元件130的上表面)，且第一電極134及第二電極138彼此電性隔離。傳導單元140b包括位於下表面且絕緣於彼此的第一導電區147與第二導電區146，傳導單元140b的第一導電區147與第二導電區146分別對應於壓電元件130的第一電極134及第二電極138，而使得壓電元件130導通於傳導單元140。

在本實施例中，由於壓電元件130直接接觸且導通於傳導單元140，壓電元件130並非透過致動單元110導通於傳導單元140，因此，致動單元110的材質可以不是金屬，例如致動單元110的材質可以是陶瓷或塑膠，但不以此為限制。

此外，在本實施例中，由於凸出部155的厚度實質上相同於承載件150c的厚度。因此，凸出部155與承載件150c可由同一件物件來製作，以使凸出部155與承載件150c具有高精度。

圖13是依照本新型的第五實施例的一種流體驅動系統的剖面示意圖。請參閱圖13，本實施例的流體驅動系統100d與圖12的流體驅動系統100c的主要差異在於，在本實施例中，致動單元110d可看成是圖12的致動單元110、凸出部155及承載件150c為一體的結構。如此一來，不但致動單元110d在對應於孔166的凸台115的部位與承載件150c的部位可以是一體製作而具有良好的的高度精度。流體驅動系統100d在中央位置的可動構件數量可更少(只有致動單元110d)，而使得流體驅動系統100d具有較小的公差，進而具有良好的精度。

綜上所述，本新型的流體驅動系統的壓電元件、訊號傳導層及平面單元分別位於致動單元的同一側。由於用以電性連接於壓電元件的第一電極與第二電極的訊號傳導層位於致動單元與平面單元之間，訊號傳導層形成在流體驅動系統的內部而具有較佳的被保護性。此外，一般而言，流體驅動系統的中央區(也就是各層對應於閥片的孔處)的部位，可說是流體驅動系統的主要功能區。本新型的流體驅動系統將凸出部配置於致動單元與平面單元之間，凸出部對應於孔且朝向孔凸出。如此一來，本新型的流體驅動系統在中央位置的構件可以只有致動單元、凸出部與平面單元，換句話說，本新型的流體驅動系統在中央位置的構件數量少，而使得流體驅動系統具有較小的公差，進而具有良好的精度。

雖然本新型已以實施例揭露如上，然其並非用以限定本新型，任何所屬技術領域中具有通常知識者，在不脫離本新型的精神和範圍內，當可作些許的更動與潤飾，故本新型的保護範圍當視後附的申請專利範圍所界定者為準。

100、100a、100b、100c、100d‧‧‧流體驅動系統

110、110b、110d‧‧‧致動單元

112‧‧‧第一中央區

113b、115‧‧‧凸台

114、114b‧‧‧第一周圍區

116‧‧‧第一連接區

120‧‧‧框體

130、130’、130’’‧‧‧壓電元件

131‧‧‧通孔

132‧‧‧第一面

134‧‧‧第一電極

136‧‧‧第二面

138‧‧‧第二電極

140、140a、140b‧‧‧傳導單元

141‧‧‧第二中央區

142‧‧‧穿槽

143、143a‧‧‧第二周圍區

144‧‧‧開孔

145‧‧‧訊號傳導層

146‧‧‧第二導電區

147‧‧‧第一導電區

148‧‧‧第二傳導區

149‧‧‧第一傳導區

150、150b、150c‧‧‧承載件

152‧‧‧凹陷部

155‧‧‧凸出部

160‧‧‧平面單元

162‧‧‧第四中央區

163‧‧‧穿槽

164‧‧‧第四周圍區

166‧‧‧孔

170‧‧‧導流件

172‧‧‧第五中央區

174‧‧‧第五周圍區

175‧‧‧凹槽

176‧‧‧貫孔

178‧‧‧流道

圖1是依照本新型的第一實施例的一種流體驅動系統的示意圖。 圖2是圖1的流體驅動系統的另一視角的示意圖。 圖3是圖1的流體驅動系統的***示意圖。 圖4是圖3的另一視角的示意圖。 圖5A是圖1的流體驅動系統的剖面示意圖。 圖5B是圖1的流體驅動系統的凸出部與壓電元件的俯視示意圖。 圖5C至圖5D分別是依照本新型的多個實施例的凸出部與壓電元件的俯視示意圖。 圖6是依照本新型的第二實施例的一種流體驅動系統的***示意圖。 圖7是圖6的流體驅動系統的另一視角的示意圖。 圖8是圖6的流體驅動系統的剖面示意圖。 圖9是依照本新型的第三實施例的一種流體驅動系統的***示意圖。 圖10是圖9的流體驅動系統的另一視角的示意圖。 圖11是圖9的流體驅動系統的剖面示意圖。 圖12是依照本新型的第四實施例的一種流體驅動系統的剖面示意圖。 圖13是依照本新型的第五實施例的一種流體驅動系統的剖面示意圖。

Claims (16)

1. 一種流體驅動系統，包括： 一致動單元； 一壓電元件，包括電性隔絕的一第一電極及一第二電極； 一訊號傳導層，包括一第一傳導區及一第二傳導區，該壓電元件的該第一電極導通於該訊號傳導層的該第一傳導區，該壓電元件的該第二電極導通於該訊號傳導層的該第二傳導區； 一平面單元，具有至少一孔，其中該壓電元件、該訊號傳導層及該平面單元分別位於該致動單元的同一側；以及 一凸出部，位於該致動單元與該平面單元之間，該凸出部對應於該孔且朝向該孔凸出。
2. 如申請專利範圍第1項所述的流體驅動系統，其中該壓電元件具有一通孔，該凸出部穿設於該通孔並固定至該致動單元。
3. 如申請專利範圍第1項所述的流體驅動系統，其中該凸出部被壓電元件環繞。
4. 如申請專利範圍第1項所述的流體驅動系統，其中該致動單元、該壓電元件、該訊號傳導層及該平面單元依序堆疊。
5. 如申請專利範圍第4項所述的流體驅動系統，其中該壓電元件具有相對的一第一面與一第二面，該第一電極及該第二電極分別位於該第一面與該第二面，該壓電元件的該第一面朝向該致動單元，該致動單元為導體，該壓電元件的該第一電極透過該致動單元導通於該訊號傳導層的該第一傳導區。
6. 如申請專利範圍第1項所述的流體驅動系統，更包括： 一框體，該致動單元包括一第一中央區、一第一周圍區及連接於該第一中央區及該第一周圍區的多個第一連接區，該凸出部及該壓電元件固定於該致動單元的該第一中央區，該框體固定於該致動單元的該第一周圍區。
7. 如申請專利範圍第6項所述的流體驅動系統，其中該框體在朝向於該平面單元的一表面共平面於該壓電元件在朝向於該平面單元的一表面。
8. 如申請專利範圍第1項所述的流體驅動系統，其中該致動單元包括一第一中央區、一第一周圍區及連接於該第一中央區及該第一周圍區的多個第一連接區，該第一周圍區在朝向於該平面單元的一表面共平面於該壓電元件在朝向於該平面單元的一表面。
9. 如申請專利範圍第1項所述的流體驅動系統，更包括： 一傳導單元，位於該壓電元件與該平面單元之間，該傳導單元包括對應於該壓電元件的一第二中央區及位於該第二中央區之外的一第二周圍區，該第一傳導區形成於該傳導單元的該第二中央區，該第二傳導區形成於該傳導單元的該第二周圍區。
10. 如申請專利範圍第1項所述的流體驅動系統，更包括： 一承載件，配置於該致動單元的一第一周圍區與該平面單元之間，該承載件朝向該平面單元的一表面共平面於該凸出部在朝向於該平面單元的一表面。
11. 如申請專利範圍第10項所述的流體驅動系統，更包括： 一傳導單元，位於該壓電元件與該平面單元之間，該承載件配置於該傳導單元與該平面單元之間。
12. 如申請專利範圍第11項所述的流體驅動系統，其中該承載件與該傳導單元為一體。
13. 如申請專利範圍第1項所述的流體驅動系統，其中該致動單元、該訊號傳導層、該壓電元件及該平面單元依序堆疊。
14. 如申請專利範圍第13項所述的流體驅動系統，更包括： 一傳導單元，該第一傳導區與該第二傳導區形成於該傳導單元上，該傳導單元位於該致動單元與該壓電元件之間，該壓電元件包括朝向該傳導單元的一第一面，該第一電極及該第二電極位於該第一面。
15. 如申請專利範圍第9項、第11項或第14項所述的流體驅動系統，其中該傳導單元係選用可撓性或軟性印刷電路板(Flexible Printed Circuit Board，FPCB)。
16. 如申請專利範圍第1項所述的流體驅動系統，其中該致動單元與該凸出部為一體。