TWM545899U - Mocvd溫度探測器及其安裝機構 - Google Patents
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Description
本創作涉及一種半導體製備中的探測技術，具體涉及一種MOCVD溫度探測器及其安裝機構。
MOCVD(金屬有機化合物化學氣相沉澱)用於研發和生產設備時，需要根據用途，採用不同類型的石墨盤和不同尺寸的晶片。由於機械結構和製程參數的差異，相應的光學探頭需要移動至合適的位置，才能獲取有效的製程參數等資訊，定位精度低、重複性差、適用性與靈活性低。
本創作提供一種MOCVD溫度探測器及其安裝機構，可以方便有效地調整各探頭安裝位置，具有定位精度高、重複性好的特點，提高了設備適用性與靈活性。
為實現上述目的，本創作提供一種MOCVD溫度探測器的安裝機構，其特點是，該安裝機構包含：探測器支架，其架設在反應腔頂部的腔體蓋板上；連接塊，其架設在探測器支架上，用於連接溫度探測裝置；
所述探測器支架包含固定區域和/或滑軌區域；固定區域中連接塊與探測器支架固定連接；滑軌區域中設有滑軌，連接塊活動設置於滑軌中。
上述安裝機構包含尺規，其平行設置於探測器支架側邊，連接塊由探測器支架向尺規延伸，靠近尺規上的刻度。
上述連接塊上設置的溫度探測裝置與腔體蓋板上的光學凹槽位置對應。
上述光學凹槽採用玻璃槽，玻璃槽為石英材質。
上述探測器支架的固定區域中設有複數個安裝孔，複數個連接塊分別可拆卸地安裝在部分或全部安裝孔中。
上述探測器支架的端部設有定位銷。
上述反應腔採用圓柱形，探測器支架沿反應腔的直徑設置。
一種MOCVD溫度探測器，其特點是，該溫度探測器包含：上述的安裝機構；溫度探測裝置，其設置於連接塊上。
上述溫度探測裝置採用探測面朝向反應腔的非接觸式光學探測器。
本創作一種MOCVD溫度探測器及其安裝機構和現有技術的溫度探測器連接機構相比，其優點在於，本創作具有徑向導軌定位的靈活安裝配置，獨立的可調安裝孔位設計，可以方便有效地調整各探頭安裝位置，便於對不同類型的石墨盤和不同尺寸的晶片進行有效的製程參數測量。
本創作具有高精度光學定位機構，精確定位探頭及其探測區域的位置，具有定位精度高、重複性好的特點，提高了設備適用性與靈活。
101‧‧‧溫度探測器
102‧‧‧反應腔
103、207、307‧‧‧腔體蓋板
201、301‧‧‧探測器支架
202、302‧‧‧連接塊
203、303‧‧‧尺規
204、304‧‧‧光學凹槽
205‧‧‧定位銷
206、306‧‧‧溫度探測裝置
305‧‧‧定位銷
308‧‧‧滑動連接塊
第1圖為本創作MOCVD溫度探測器及半導體處理設備的正視圖。
第2圖為本創作MOCVD溫度探測器及其安裝機構的實施例一的俯視圖。
第3圖為本創作MOCVD溫度探測器及其安裝機構的實施例二的俯視圖。
以下結合圖式，進一步說明本創作的具體實施例。
如第1圖所示，公開了一種MOCVD半導體處理裝置，該半導體處理裝置包含有反應腔102，該反應腔102的形狀並非限定於圓筒狀，例如也可以是角筒狀。
在反應腔102的底部設有旋轉託盤，待處理的複數個晶圓固定在該旋轉託盤上。
反應腔102的頂部設有腔體蓋板103，在腔體蓋板103上方設有MOCVD溫度探測器101。該溫度探測器101包含溫度探測裝置及其安裝機構。其中溫度探測裝置採用探測面朝向反應腔的非接觸式光學探測器。
如第2圖所示，為本創作所公開的一種MOCVD溫度探測器的安裝機構的實施例一，該安裝機構包含：探測器支架201、連接塊202、尺規203和定位銷205。
探測器支架201為架設在反應腔頂部的腔體蓋板207上的橫杆結構，用於架設連接塊202，在探測器支架201的端部設有定位銷205。本實施例中，反應腔採用圓柱形結構，探測器支架過反應腔的中心線，沿反應腔的直徑設置。
本實施例一中，探測器支架201由反應腔的中心線分為對稱的兩部分，其中一半為用於固定連接塊202的固定區域。
探測器支架201的固定區域中設有複數個安裝孔，例如平均間隔或非平均間隔設置的九個安裝孔，根據實際製程需要，複數個連接塊202分別可拆卸地安裝在部分或全部安裝孔中。
位於固定區域中的連接塊202固定連接在探測器支架201的安裝孔中，用於連接溫度探測裝置206。本實施例中，探測器支架201的固定區域上固定連接有三個連接塊202，分別檢測反應腔三個區域的溫度情況。
尺規203平行設置於探測器支架201的側邊，連接塊202由探測器支架201向尺規203延伸，靠近尺規203的刻度。本實施例中，連接塊202延伸到尺規203上方，連接塊202朝向尺規203的一端靠近且不到尺規203、或部分與尺規203上的刻度面重疊、或完全與尺規203上的刻度面重疊。連接塊202上設有與尺規203刻度平行的邊或刻度，實現藉由尺規203可讀取連接塊202沿反應腔徑向的位置資訊。
反應腔頂部的腔體蓋板207設有光學凹槽204，連接塊202上設置的溫度探測裝置206與腔體蓋板207上的該光學凹槽204位置對應。本實施例
中光學凹槽204與尺規203和探測器支架201平行間隔設置。光學凹槽204採用玻璃槽，該玻璃槽為石英材質製成。
本創作還公開了一種採用實施例一所公開安裝機構的MOCVD溫度探測器，該溫度探測器包含：上述實施例一公開的安裝機構以及設置於安裝機構的連接塊上的溫度探測裝置。其中，溫度探測裝置206採用藉由調整螺絲設置於連接塊202上的非接觸式光學探測器，其探頭朝向反應腔頂部的腔體蓋板207，對應於光學凹槽304設置。
如圖3所示，為本創作所公開的一種MOCVD溫度探測器的安裝機構的實施例二，該安裝機構包含：探測器支架301、固定連接塊302、尺規303、光學凹槽304、定位銷305、滑動連接塊308。
探測器支架301為架設在反應腔頂部的腔體蓋板307上的橫杆結構，用於架設連接塊302，在探測器支架301的端部設有定位銷305。本實施例中，反應腔採用圓柱形結構，探測器支架過反應腔的中心線，沿反應腔的直徑設置。
探測器支架301由反應腔的中心線分為對稱的兩部分，設有固定區域和/或滑軌區域。固定區域中固定連接塊302與探測器支架201固定連接。滑軌區域中設有滑軌，滑動連接塊308活動設置於滑軌中。
探測器支架301的滑軌區域中設有沿探測器支架301軸向設置的滑軌，該滑軌中可設置滑動連接塊308或不設置滑動連接塊308，一個或複數個個滑動連接塊308活動設置於滑軌中，用於連接溫度探測裝置306，可沿滑軌自由滑動，並根據製程需要固定於滑軌的任意位置。本實施例中，探測器支架201的滑軌區域中設有一個滑動連接塊308，設置於滑軌任意需要的位置。
探測器支架301的固定區域中設有複數個安裝孔，例如平均間隔或非平均間隔設置的九個安裝孔，根據實際製程需要，複數個固定連接塊302分別可拆卸地安裝在部分或全部安裝孔中。
固定連接塊302固定連接在探測器支架301的安裝孔中，用於連接溫度探測裝置306。本實施例中，探測器支架301的固定區域上固定連接有三個連接塊302，分別檢測反應腔三個區域的溫度情況。
尺規303平行設置於探測器支架301的側邊，連接塊302由探測器支架301向尺規303延伸，靠近尺規上303的刻度。本實施例中，連接塊302延伸到尺規303上方，連接塊302朝向尺規上303的一端靠近且不到尺規303、或部分與尺規303上的刻度面重疊、或完全與尺規303上的刻度面重疊。連接塊302上設有與尺規303刻度平行的邊或刻度，實現藉由尺規303可讀取連接塊302沿反應腔徑向的位置資訊。
反應腔頂部的腔體蓋板307設有光學凹槽304，連接塊302上設置的溫度探測裝置306與腔體蓋板307上的該光學凹槽304位置對應。本實施例中光學凹槽304與尺規303和探測器支架301平行間隔設置。光學凹槽304採用玻璃槽，該玻璃槽為石英材質製成。
本創作還公開了一種採用實施例二所公開安裝機構的MOCVD溫度探測器，該溫度探測器包含：上述實施例而公開的安裝機構以及設置於安裝機構的連接塊上的溫度探測裝置。其中，溫度探測裝置306採用藉由調整螺絲設置於連接塊302上的非接觸式光學探測器，其光學探頭藉由調整螺絲設置於連接塊302上，探頭朝向反應腔頂部的腔體蓋板307，對應於光學凹槽304設置。
儘管本創作的內容已經藉由上述較佳實施例作了詳細介紹，但應當認識到上述的描述不應被認為是對本創作的限制。在本領域技術人員閱讀了
上述內容後，對於本創作的多種修改和替代都將是顯而易見的。因此，本創作的保護範圍應由所附的申請專利範圍來限定。
301‧‧‧探測器支架
302‧‧‧連接塊
303‧‧‧尺規
304‧‧‧光學凹槽
305‧‧‧定位銷
306‧‧‧溫度探測裝置
307‧‧‧腔體蓋板
308‧‧‧滑動連接塊
Claims (9)
- 一種MOCVD溫度探測器的安裝機構，其包含：一探測器支架，其架設在一反應腔頂部的一腔體蓋板上；以及一連接塊，其架設在一探測器支架上，用於連接一溫度探測裝置；其中，該探測器支架包含一固定區域及/或一滑軌區域；該固定區域中該連接塊與該探測器支架固定連接；該滑軌區域中設有一滑軌，該連接塊活動設置於該滑軌中。
- 如申請專利範圍第1項所述的安裝機構，其中，該安裝機構包含一尺規，其平行設置於該探測器支架側邊，該連接塊由該探測器支架向該尺規延伸，靠近該尺規上的刻度。
- 如申請專利範圍第1項所述的安裝機構，其中，該連接塊上設置的該溫度探測裝置與該腔體蓋板上的一光學凹槽位置對應。
- 如申請專利範圍第3項所述的安裝機構，其中，該光學凹槽採用玻璃槽，玻璃槽為石英材質。
- 如申請專利範圍第1項所述的安裝機構，其中，該探測器支架的該固定區域中設有複數個安裝孔，複數個連接塊分別可拆卸地安裝在部分或全部安裝孔中。
- 如申請專利範圍第1項所述的安裝機構，其中，該探測器支架的端部設有一定位銷。
- 如申請專利範圍第1項所述的安裝機構，其中，該反應腔採用圓柱形，該探測器支架沿該反應腔的直徑設置。
- 一種MOCVD溫度探測器，其包含：如申請專利範圍第1至7項中任一項所述的安裝機構；以及一溫度探測裝置，其設置於該連接塊上。
- 如申請專利範圍第8項所述的MOCVD溫度探測器，其中，該溫度探測裝置採用探測面朝向該反應腔的非接觸式光學探測器。
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201621055802.3U CN205991846U (zh) | 2016-09-14 | 2016-09-14 | 一种mocvd温度探测器及其安装机构 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| TWM545899U true TWM545899U (zh) | 2017-07-21 |
Family
ID=58105081
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| TW106203525U TWM545899U (zh) | 2016-09-14 | 2017-03-14 | Mocvd溫度探測器及其安裝機構 |
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| CN (1) | CN205991846U (zh) |
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| PL233797B1 (pl) * | 2017-11-30 | 2019-11-29 | Centralny Osrodek Badawczo Rozwojowy Aparatury Badawczej I Dydaktycznej Cobrabid Spolka Z Ograniczon | Sposob ustalania lokalizacji sensorow pomiarowych w wielopunktowych lub jednopunktowych sondach temperatury i przyrzad pomiarowy do realizacji tego sposobu |
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2016
- 2016-09-14 CN CN201621055802.3U patent/CN205991846U/zh active Active
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2017
- 2017-03-14 TW TW106203525U patent/TWM545899U/zh unknown
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| CN205991846U (zh) | 2017-03-01 |
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