TWM499556U - 承載板及具有該承載板之光學檢測設備 - Google Patents

Description

承載板及具有該承載板之光學檢測設備

本創作關於一種設承載板及具有該承載板之光學檢測設備，該承載板係用於設置於光學檢測設備的真空台上，以供承載例如硬板或軟板等待測板，該光學檢測設備用於檢測待測板表面之電路圖案。

電路板的生產線中，為了及早檢測電路板上的缺陷，係應用一種光學檢測設備來檢測電路板表面的電路圖案，主要利用影像處理的技術，比對待測之電路板表面影像與標準影像間的差異，來判斷待測之電路板表面是否存在缺限(例如存在異物或電路圖案異常)。

習知光學檢測設備具有真空台、抽氣裝置及影像擷取裝置，係以真空台來承載待測之電路板，該真空台頂面上係具有凹陷之容置槽，該容置槽底面上排列有複數個吸孔，且該真空台係連接至該抽氣裝置，檢測進行時，該抽氣裝置係啟動並抽氣，而經由該等吸孔吸住待測之電路板，該影像擷取裝置擷取待測之電路板的影像，並經過影像處理及比對分析後，可檢出電路板表面是否存在缺陷。

習知光學檢測設備中，待測之電路板係藉由靠合在該容置槽之側壁來讓待側之電路板對位及定位，以供後續取像及處理分析。然而，習知光學檢測設備係有可檢測電路板尺寸上的限制，其係由於該容置槽的大小係限制了可檢測之電路板的最大尺寸(例如24*26吋)，而不利於廠房內現有機台的擴充應用。此外，習知光學檢測設備之真空台的吸孔孔徑大且面積密度低，因此導致當該抽氣裝置之馬力控制不當時，會造成該等吸孔的吸力過大，被吸附之電路板易變形及受損。

本創作之一目的在於為改善習知光學檢測設備由於真空台之容置槽大小而限制了可檢測電路板之尺寸、及真空台的吸孔孔徑大且面積密度低而可能使電路板易於變形及受損的問題。

為達上述目的及其他目的，本創作係提供一種承載板，用於一光學檢測設備之一真空台上以供承載一待測板，該真空台係具有一容置槽以容置該承載板，該容置槽底面係具有複數個真空吸附孔，其特徵在於：該承載板具有複數個通孔，該等真空吸附孔的每一者係對應該等通孔中的至少一者，各該通孔之孔徑係小於各該真空吸附孔之孔徑，且該承載板之厚度係等於該容置槽深度。

上述之承載板，其中各該通孔之孔徑係為0.5-1.5公釐。

上述之承載板，其中各該通孔之孔徑係為1公釐。

上述之承載板，其中該等通孔係以每平方公分至少10個的面積密度排列。

上述之承載板，其中該等通孔係排列成複數行，每一行中任二通孔的間距係為相同。

為達上述目的及其他目的，本創作係提供一種光學檢測設備，用於檢測一待測板上的電路圖案，該光學檢測設備包含一真空台、一抽氣裝置及一影像擷取裝置，其中該真空台係具有一容置槽及一抽氣室，該容置槽係形成於該真空台頂部且具有複數個真空吸附孔，該容置槽係透過該等真空吸附孔與該抽氣室連通，該抽氣裝置係連接該抽氣室以對該抽氣室抽氣，該影像擷取裝置係正對該真空台，該光學檢測設備更包含上述之承載板，該承載板係設置於該容置槽中，以供承載該待測板於其上。

上述之光學檢測設備，其中該真空台於該容置槽周圍係設置有複數個定位條，用於讓該待測板靠合定位。

綜上，上述之承載板係可使光學檢測設備適用至更大尺寸的待測板，並由於該真空台上所有真空吸附孔皆與承載板之通孔有所對應而連通，且該等通孔排列均勻及緊密，而可增進該待測板檢測時的平整度及貼合度。

為充分瞭解本創作之目的、特徵及功效，茲藉由下述具體之實施例，並配合所附之圖式，對本創作做一詳細說明，說明如後：

圖1至圖4係用於說明本創作實施例之示意圖，該等圖式中顯示之比例係非為實際比例，圖式顯示之結構及比例係僅為說明本創作的技術內容之用。

請參閱圖1，本創作實施例係關於一光學檢測設備100，該光學檢測設備100係用於檢測硬板或軟板等待測板表面的電路圖案，其係擷取該待測板的表面影像後，對擷取之影像進行影像處理並判斷，而可檢出待測板之表面是否存在異物或圖案異常等瑕疵。

如圖1所示，該光學檢測設備100包含一真空台20、一抽氣裝置30及一影像擷取裝置40，此外，該光學檢測設備100還具有顯示螢幕50、周邊裝置(鍵盤60a及滑鼠60b等)、系統主機(圖未示)、感測機構(圖未示)及驅動機構(圖未示)等。

請參閱圖2及圖3，該真空台20係具有一容置槽21及一抽氣室22，該容置槽21係形成於該真空台20頂部且具有複數個真空吸附孔23，該容置槽21係透過該等真空吸附孔23與該抽氣室22連通，該抽氣裝置30係連接該抽氣室以對該抽氣室22抽氣，該影像擷取裝置40係正對該真空台20。

一承載板10係可拆裝地設置於該容置槽21中，以供承載該待測板200於其上，藉以讓該影像擷取裝置40擷取該待測板200表面之影像。該承載板10具有複數個通孔11，該等真空吸附孔23的每一者係對應該等通孔11中的至少一者，各該通孔11之孔徑係小於各該真空吸附孔23之孔徑，即一個真空吸附孔23係對應連通一個以上的通孔11；並且，該承載板10之厚度係等於該容置槽21深度，因此，該承載板10之表面係與該容置槽21周圍之表面齊平，而可讓較大的待測板200(例如24*32吋或更大尺寸)能延伸放置於該容置槽21周圍之表面。

本實施例中，所述「該承載板10之厚度係等於該容置槽21深度」，此處之「等於」係包含製造該承載板10時尺寸之誤差在內，即該承載板10之厚度係大致上相等於該容置槽21深度。

本實施例中，該抽氣裝置30係可包含有一真空幫浦31及一管線32，該管線32係連接該真空幫浦31及該真空台20之抽氣室22，該真空幫浦31係透過該管線32對該抽氣室22抽氣。

本實施例中，該影像擷取裝置40係可包含攝影機、光源模組等。光源模組係將光照射至該待測板200表面，攝影機係擷取該待測板200表面的影像。

此外，該真空台20於該容置槽21周圍係可設置有複數個定位條24，各該定位條24係凸出於該容置槽周圍之表面，用於讓該待測板200靠合定位，該等定位條24係可藉由螺絲或黏合等方式組裝於該容置槽周圍之表面，且可依需求(例如該待測板200之尺寸)配置其數量或位置。

如圖4所示，本實施例之承載板10中，各該通孔11之孔徑D係可為0.5-1.5公釐，較佳的是，各該通孔11之孔徑係為1公釐。並且，該等通孔11係排列成複數行，每一行中任二通孔11的間距係為相同，該等通孔11係以每平方公分至少10個的面積密度排列於該承載板10上。藉此，由於該等通孔11面積密度高且均勻分布，且該真空台20上所有真空吸附孔23係與承載板10之通孔11有所對應而連通，故當該抽氣裝置30抽氣時，氣壓對該承載板10表面的待測板200所造成之吸力能均勻分布，並增加了吸附面積，進而增進了該待測板200檢測時的平整度及貼合度。

綜上，本創作實施例之承載板10係可使該光學檢測設備100適用至更大尺寸的待測板200，並由於該真空台20上所有真空吸附孔23皆與承載板10之通孔11有所對應而連通，且該等通孔11排列均勻及緊密，而可增進該待測板200檢測時的平整度及貼合度。

本創作在上文中已以較佳實施例揭露，然熟習本項技術者應理解的是，該實施例僅用於描繪本創作，而不應解讀為限制本創作之範圍。應注意的是，舉凡與該實施例等效之變化與置換，均應設為涵蓋於本創作之範疇內。因此，本創作之保護範圍當以申請專利範圍所界定者為準。

10‧‧‧承載板
11‧‧‧通孔
20‧‧‧真空台
21‧‧‧容置槽
22‧‧‧抽氣室
23‧‧‧真空吸附孔
24‧‧‧定位條
30‧‧‧抽氣裝置
31‧‧‧真空幫浦
32‧‧‧管線
40‧‧‧影像擷取裝置
50‧‧‧顯示螢幕
60a‧‧‧鍵盤
60b‧‧‧滑鼠
100‧‧‧光學檢測設備
200‧‧‧待測板
D‧‧‧孔徑

[圖1]係本創作實施例之光學檢測設備的示意圖。 [圖2]係本創作實施例中真空台與承載板的結構示意圖。 [圖3]係本創作實施例之光學檢測設備檢測待測板的示意圖。 [圖4]係本創作實施例之承載板的結構示意圖。

10‧‧‧承載板

11‧‧‧通孔

20‧‧‧真空台

22‧‧‧抽氣室

23‧‧‧真空吸附孔

24‧‧‧定位條

30‧‧‧抽氣裝置

31‧‧‧真空幫浦

32‧‧‧管線

40‧‧‧影像擷取裝置

200‧‧‧待測板

Claims (7)

1. 一種承載板，用於一光學檢測設備之一真空台上以供承載一待測板，該真空台係具有一容置槽以容置該承載板，該容置槽底面係具有複數個真空吸附孔，其特徵在於：該承載板具有複數個通孔，該等真空吸附孔的每一者係對應該等通孔中的至少一者，各該通孔之孔徑係小於各該真空吸附孔之孔徑，且該承載板之厚度係等於該容置槽深度。
2. 如請求項第1項所述之承載板，其中各該通孔之孔徑係為0.5-1.5公釐。
3. 如請求項第1項所述之承載板，其中各該通孔之孔徑係為1公釐。
4. 如請求項第1、2或3項所述之承載板，其中該等通孔係以每平方公分至少10個的面積密度排列。
5. 如請求項第4項所述之承載板，其中該等通孔係排列成複數行，每一行中任二通孔的間距係為相同。
6. 一種光學檢測設備，用於檢測一待測板上的電路圖案，該光學檢測設備包含一真空台、一抽氣裝置及一影像擷取裝置，其中該真空台係具有一容置槽及一抽氣室，該容置槽係形成於該真空台頂部且具有複數個真空吸附孔，該容置槽係透過該等真空吸附孔與該抽氣室連通，該抽氣裝置係連接該抽氣室以對該抽氣室抽氣，該影像擷取裝置係正對該真空台，其特徵在於：該光學檢測設備更包含如請求項第1至5項中任一項所述之承載板，該承載板係設置於該容置槽中，以供承載該待測板於其上。
7. 如請求項第6項所述之光學檢測設備，其中該真空台於該容置槽周圍係設置有複數個定位條，用於讓該待測板靠合定位。