TWI837357B - 吸光分析系統、程序存儲介質以及吸光度測量方法 - Google Patents

吸光分析系統、程序存儲介質以及吸光度測量方法 Download PDF

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Abstract

提供一種吸光分析系統，具備：檢測器，對透過了氣體的光的強度進行檢測；總壓感測器，測量氣體的總壓；干擾氣體分壓-吸光度關係存儲部，存儲干擾氣體分壓-吸光度關係數據；干擾氣體分壓推定部，基於由總壓感測器測量出的總壓來推定干擾氣體的分壓；干擾氣體吸光度轉換部，基於干擾氣體分壓-吸光度關係數據，將由干擾氣體分壓推定部推定出的干擾氣體推定分壓轉換為干擾氣體的吸光度；測量對象氣體吸光度計算部，基於檢測器的輸出值和由干擾氣體吸光度轉換部轉換而得的干擾氣體吸光度，來計算測量對象氣體的吸光度。

Description

吸光分析系統、程序存儲介質以及吸光度測量方法
本發明涉及吸光分析系統、吸光分析系統用程序存儲介質、吸光分析裝置以及吸光度測量方法。
以往，作為對半導體製造工藝中的向成膜裝置的腔室等供給對象供給的氣體中所含的測量對象氣體的濃度進行測量的系統，有具備對透過氣體的光的強度進行檢測的檢測器和對氣體的總壓進行測量的總壓感測器的吸光分析系統。
應予說明，上述檢測器為如下結構：具備例如對在流路中流通的氣體照射光的光源、使從光源射出的光的波長之中測量對象氣體所吸收的波長（以下，也稱為測量波長）的光透過的濾光器、以及對透過了氣體的測量波長的光的強度進行檢測的受光部。
然而，有時在通過上述現有的吸光分析系統分析的氣體中含有吸收測量波長的光的干擾氣體作為除測量對象氣體以外的其他氣體。在此情況下，不僅測量對象氣體，干擾氣體所吸收的測量波長的光的強度也被檢測器檢測到，因此無法準確地對測量對象氣體的濃度進行測量。
因此，如專利文獻1所示，在上述現有的吸光分析系統中，使用多個能夠檢測測量波長的光的強度的檢測器，求解與由該檢測器檢測出的各測量波長的光的強度相關的聯立方程式，來計算出測量對象氣體和干擾氣體的濃度。
現有技術文獻
專利文獻
專利文獻1：日本特開2004-101416號
技術問題
本發明主要的課題在於，提供一種即使不使用多個檢測測量波長的光的強度的檢測器，也能夠根據透過了包含干擾氣體在內的氣體的光的強度來高精度地對測量對象氣體的濃度進行測量的吸光分析系統。
技術方案
即，本發明的吸光分析系統的特徵在於，具備：檢測器，其對透過了氣體的光的強度進行檢測；總壓感測器，其測量上述氣體的總壓；干擾氣體分壓-吸光度關係存儲部，其存儲干擾氣體分壓-吸光度關係數據，上述干擾氣體分壓-吸光度關係數據表示與測量對象氣體一起被包含於上述氣體中的干擾氣體的分壓與吸光度之間的關係；干擾氣體分壓推定部，其基於由上述總壓感測器測量出的總壓來推定上述干擾氣體的分壓；干擾氣體吸光度轉換部，其基於上述干擾氣體分壓-吸光度關係數據，將由上述干擾氣體分壓推定部推定出的干擾氣體推定分壓轉換為上述干擾氣體的吸光度；以及測量對象氣體吸光度計算部，其基於上述檢測器的輸出值和由上述干擾氣體吸光度轉換部轉換而得的干擾氣體吸光度，來計算上述測量對象氣體的吸光度。
如果是這樣的構成，則基於由總壓感測器測量出的總壓來推定干擾氣體的分壓，基於預先存儲的表示干擾氣體的分壓與吸光度之間的關係的干擾氣體分壓-吸光度關係數據，將該干擾氣體推定分壓轉換為干擾氣體的吸光度，基於該干擾氣體吸光度和檢測器的輸出值，來計算測量對象氣體的吸光度，因此即使不使用多個檢測測量波長的光的強度的檢測器，也能夠根據檢測器的輸出值較高精度地計算測量對象氣體的濃度。
應予說明，在半導體製造工藝中，大多對供給對象供給測量對象氣體的濃度比干擾氣體的濃度低的氣體，在此情況下，能夠將由總壓感測器測量出的總壓近似地推定為干擾氣體的分壓。應予說明，在計算測量對象氣體的濃度時，即使進行了這樣的近似，但由該近似導致的誤差的影響與干擾氣體對由檢測器檢測出的光的強度的影響導致的誤差相比小，因此結果也能夠高精度地計算測量對象氣體的濃度。
在此，干擾氣體分壓-吸光度關係數據中的吸光度表示基於由吸光分析系統所具備的檢測器檢測出的輸出值而計算出的干擾氣體的吸光度。
因此，上述干擾氣體分壓推定部也可以構成為將由上述總壓感測器測量出的總壓推定為上述干擾氣體的分壓。
應予說明，作為上述吸光分析系統的具體的構成，可列舉如下吸光分析系統：其還具備：測量對象氣體分壓-吸光度關係存儲部，其存儲表示上述氣體中所含的測量對象氣體的分壓與吸光度之間的關係的測量對象氣體分壓-吸光度關係數據；以及測量對象氣體分壓轉換部，其基於上述測量對象氣體分壓-吸光度關係數據，將由上述測量對象氣體吸光度計算部計算出的測量對象氣體吸光度轉換為上述測量對象氣體的分壓。另外，可列舉還具備干擾氣體分壓計算部的吸光分析系統，上述干擾氣體分壓計算部基於由上述總壓感測器測量出的總壓和由上述測量對象氣體分壓轉換部轉換而得的測量對象氣體分壓，來計算上述干擾氣體的分壓。
在此，測量對象氣體分壓-吸光度關係數據中的吸光度表示基於由吸光分析系統所具備的檢測器檢測出的輸出值而計算出的測量對象氣體的吸光度。
另外，在希望上述吸光分析系統更高精度地計算測量對象氣體的濃度的情況下，可以設置為：具備第二干擾氣體吸光度轉換部，上述第二干擾氣體吸光度轉換部基於上述干擾氣體分壓-吸光度關係數據，將由上述干擾氣體分壓計算部計算出的干擾氣體計算分壓轉換為上述干擾氣體的新的吸光度，上述測量對象氣體吸光度計算部基於上述檢測器的輸出值和由上述第二干擾氣體吸光度轉換部轉換而得的新的干擾氣體吸光度，來計算上述測量對象氣體的新的吸光度。
如果是這樣的系統，則由干擾氣體分壓計算部計算出的干擾氣體計算分壓比由干擾氣體分壓推定部推定出的干擾氣體推定分壓更加接近實際的干擾氣體分壓。因此，通過將由干擾氣體分壓計算部計算出的干擾氣體計算分壓轉換為干擾氣體的新的吸光度，並基於該新的干擾氣體吸光度來重新計算測量對象氣體的新的吸光度，從而能夠計算精度更高的測量對象氣體的濃度。
另外，本發明的吸光分析系統用程序存儲介質的特徵在於，存儲吸光分析系統用程序，上述吸光分析系統具備：對透過了氣體的光的強度進行檢測的檢測器、以及測量上述氣體的總壓的總壓感測器，上述吸光分析系統用程序使計算機發揮作為干擾氣體分壓-吸光度關係存儲部、干擾氣體分壓推定部、干擾氣體吸光度轉換部、測量對象氣體吸光度計算部的功能，上述干擾氣體分壓-吸光度關係存儲部存儲干擾氣體分壓-吸光度關係數據，上述干擾氣體分壓-吸光度關係數據表示與測量對象氣體一起被包含於上述氣體中的干擾氣體的分壓與吸光度之間的關係，上述干擾氣體分壓推定部基於由上述總壓感測器測量出的總壓來推定上述干擾氣體的分壓，上述干擾氣體吸光度轉換部基於上述干擾氣體分壓-吸光度關係數據，將由上述干擾氣體分壓推定部推定出的干擾氣體推定分壓轉換為上述干擾氣體的吸光度，上述測量對象氣體吸光度計算部基於上述檢測器的輸出值和由上述干擾氣體吸光度轉換部轉換而得的干擾氣體吸光度，來計算上述測量對象氣體的吸光度。
另外，本發明的吸光分析裝置的特徵在於，其用於吸光分析系統，上述吸光分析系統具備：對透過了氣體的光的強度進行檢測的檢測器、以及測量上述氣體的總壓的總壓感測器，上述吸光分析裝置具備：干擾氣體分壓-吸光度關係存儲部，其存儲干擾氣體分壓-吸光度關係數據，上述干擾氣體分壓-吸光度關係數據表示與測量對象氣體一起被包含於上述氣體中的干擾氣體的分壓與吸光度之間的關係；干擾氣體分壓推定部，其基於由上述總壓感測器測量出的總壓來推定上述干擾氣體的分壓；干擾氣體吸光度轉換部，其基於上述干擾氣體分壓-吸光度關係數據，將由上述干擾氣體分壓推定部推定出的干擾氣體推定分壓轉換為上述干擾氣體的吸光度；以及測量對象氣體吸光度計算部，其基於上述檢測器的輸出值和由上述干擾氣體吸光度轉換部轉換而得的干擾氣體吸光度，來計算上述測量對象氣體的吸光度。
另外，本發明的吸光度測量方法的特徵在於，是利用吸光分析系統而對氣體中所含的測量對象氣體的吸光度進行測量的方法，上述吸光分析系統具備：對透過了上述氣體的光的強度進行檢測的檢測器、以及測量上述氣體的總壓的總壓感測器，上述吸光度測量方法包括：第一步驟，存儲干擾氣體分壓-吸光度關係數據，上述干擾氣體分壓-吸光度關係數據表示與測量對象氣體一起被包含於上述氣體中的干擾氣體的分壓與吸光度之間的關係；第二步驟，基於由上述總壓感測器測量出的總壓和所預測的上述干擾氣體的濃度，來推定上述干擾氣體的分壓；第三步驟，基於上述干擾氣體分壓-吸光度關係數據，將由上述第二步驟推定出的干擾氣體推定分壓轉換為上述干擾氣體的吸光度；以及第四步驟，基於由上述第三步驟轉換而得的干擾氣體吸光度和上述檢測器的輸出值，來計算上述測量對象氣體的吸光度。
技術效果
根據如此構成的吸光分析系統，即使不使用多個檢測測量波長的光的強度的檢測器，也能夠根據透過了包含干擾氣體在內的氣體的光的強度來高精度地對測量對象氣體的濃度進行測量。
以下，基於附圖對本發明的一實施方式的吸光分析系統進行說明。
本實施方式的吸光分析系統是例如設置於半導體生產線等而用於對與干擾氣體一起被包含於向供給對象供給的氣體中的測量對象氣體的濃度進行測量的系統。
如圖1所示，本實施方式的吸光分析系統100具備：用於向腔室CH（供給對象）供給氣體的流路L、設置於流路L的總壓感測器10、設置於流路L的比總壓感測器10靠近下游側的位置的檢測器20以及吸光分析裝置C。
上述總壓感測器10是對在流路L中流通的氣體的總壓進行測量的感測器。
上述檢測器20對透過在流路L中流通的氣體的光的強度進行檢測。具體來說，如圖2所示，檢測器20具備：對在流路L中流通的氣體照射光的光源21、使從光源21射出的光的波長之中測量對象氣體所吸收的波長（以下，也稱為測量波長）的光透過的濾光器22、以及對透過了濾光器22的測量波長的光的強度進行檢測的受光部23。應予說明，在將流路L中的從光源21射出的光所透過的區域設為測量區域Z的情況下，檢測器20在測量區域Z的一側配置有光源21，在測量區域Z的另一側配置有濾光器22和受光部23。另外，在光源21與流路L之間以及濾光器22與流路L之間分別設置有窗部件24。由此，光源21、濾光器22和受光部23不與在流路L中流通的氣體直接接觸。而且，檢測器20輸出受光部23的表示透過了存在於測量區域Z中的氣體的光的強度的輸出信號作為輸出值。
應予說明，如圖3所示，上述檢測器20在測量區域Z的另一側除了可以具備濾光器22和受光部23以外，還可以具備使材料氣體所不吸收的波長的光透過的參照用濾光器22r以及對透過了參照用濾光器22r的波長的光的強度進行檢測的參照用受光部23r。在此情況下，也可以使用受光部23的輸出信號與參照用受光部23r的輸出信號之比來作為檢測器20的輸出值。
上述吸光分析裝置C是計算測量對象氣體的濃度等的裝置，至少與總壓感測器10和檢測器20連接。具體來說，是具有CPU、存儲器、AD轉換器、DA轉換器、輸入部等的計算機，構成為通過利用CPU來執行存儲於上述存儲器的程序，從而如圖4所示，發揮作為干擾氣體分壓-吸光度關係存儲部C1、干擾氣體分壓推定部C2、干擾氣體吸光度轉換部C3、測量對象氣體吸光度計算部C4、測量對象氣體分壓-吸光度關係存儲部C5、測量對象氣體分壓轉換部C6、測量對象氣體濃度計算部C7等的功能。
上述干擾氣體分壓-吸光度關係存儲部C1是存儲表示干擾氣體的分壓與吸光度之間的關係的干擾氣體分壓-吸光度關係數據的存儲部。例如，干擾氣體分壓-吸光度關係存儲部C1在吸光分析系統100出廠前或出廠後的測量前等，在流路L中流通已知濃度的干擾氣體，此時，預先獲取表示存在於檢測器20的測量區域Z中的干擾氣體的分壓與吸光度之間的關係的數據，存儲該數據作為干擾氣體分壓-吸光度關係數據。應予說明，干擾氣體的分壓可以基於由總壓感測器10測量出的總壓和干擾氣體的已知濃度來計算。另外，干擾氣體的吸光度可以基於由檢測器20檢測出的輸出值來計算。附帶說明，干擾氣體分壓-吸光度關係數據通過例如作為如圖5所示，將干擾氣體分壓設為縱軸，將吸光度設為橫軸，表示干擾氣體分壓與吸光度之間的關係的圖表來獲取。應予說明，在吸光分析系統100出廠前使用干擾氣體作為用於校正檢測器20的校正氣體的情況下，干擾氣體分壓-吸光度關係數據與在該校正中使用的標準曲線數據一致。應予說明，介由輸入部能夠向干擾氣體分壓-吸光度關係存儲部C1輸入干擾氣體分壓-吸光度關係數據。
在流路L中流通有氣體的情況下，上述干擾氣體分壓推定部C2根據由總壓感測器10測量出的總壓來推定干擾氣體的分壓。例如，在氣體中所含的測量對象氣體的濃度低的情況下，干擾氣體分壓推定部C2將由總壓感測器10檢測出的總壓推定為干擾氣體的分壓。順便來說，氣體中所含的測量對象氣體的濃度低的情況表示例如在氣體中含有數％的測量對象氣體這樣的情況。在此情況下，推定出的干擾氣體分壓包含因測量對象氣體的分壓造成的誤差。另外，在氣體中所含的測量對象氣體的濃度不低的情況下，干擾氣體分壓推定部C2根據預測出的干擾氣體的濃度和上述總壓來推定干擾氣體的分壓。
上述干擾氣體吸光度轉換部C3基於干擾氣體分壓-吸光度關係數據，將由上述干擾氣體分壓推定部C2推定出的干擾氣體推定分壓轉換為干擾氣體的吸光度。
在流路L中流通有氣體的情況下，上述測量對象氣體吸光度計算部C4基於檢測器20的輸出值和由干擾氣體吸光度轉換部C3轉換而得的干擾氣體吸光度，來計算測量對象氣體的吸光度。具體來說，測量對象氣體吸光度計算部C4將從根據檢測器20的輸出值計算出的吸光度中減去干擾氣體吸光度而得的值作為測量對象氣體吸光度。
上述測量對象氣體分壓-吸光度關係存儲部C5存儲表示測量對象氣體的分壓與吸光度之間的關係的測量對象氣體分壓-吸光度關係數據。例如，測量對象氣體分壓-吸光度關係存儲部C5在吸光分析系統100出廠前或出廠後的測量前等，在流路L中流通已知濃度的測量對象氣體，此時，預先獲取表示存在於檢測器20的測量區域Z中的測量對象氣體的分壓與吸光度之間的關係的數據，存儲該數據作為測量對象氣體分壓-吸光度關係數據。應予說明，測量對象氣體的分壓可以基於由總壓感測器10測量出的總壓和測量對象氣體的已知濃度來計算。另外，測量對象氣體的吸光度可以基於由檢測器20檢測出的輸出值來計算。應予說明，介由輸入部能夠向測量對象氣體分壓-吸光度關係存儲部C5輸入測量對象氣體分壓-吸光度關係數據。
上述測量對象氣體分壓轉換部C6將由測量對象氣體吸光度計算部C4計算出的測量對象氣體吸光度轉換為測量對象氣體的分壓。具體來說，測量對象氣體分壓轉換部C6基於測量對象氣體分壓-吸光度關係數據將測量對象氣體吸光度轉換為測量對象氣體的分壓。
上述測量對象氣體濃度計算部C7基於由總壓感測器10測量出的總壓10和由測量對象氣體分壓轉換部C6轉換而得的測量對象氣體分壓來計算測量對象氣體的濃度，並將其顯示於顯示部。
接著，對本實施方式的吸光分析裝置C的動作進行說明。
首先，在流路L中流通有氣體的狀態下，如果測量開始信號輸入到吸光分析裝置C，則干擾氣體分壓推定部C2接收表示由總壓感測器10測量出的總壓的總壓信號（步驟S1）。然後，干擾氣體分壓推定部C2基於接收到的總壓信號所表示的壓力來推定上述氣體中所含的干擾氣體的分壓（步驟S2）。應予說明，在步驟S2中，在上述氣體中所含的干擾氣體的濃度低的情況下，也可以將接收到的總壓信號所表示的壓力推定為上述氣體中所含的干擾氣體的分壓。
接著，干擾氣體吸光度轉換部C3參照干擾氣體分壓-吸光度關係數據而將由干擾氣體分壓推定部C2推定出的干擾氣體推定分壓轉換為干擾氣體的吸光度（步驟S3）。
接著，測量對象氣體吸光度計算部C4接收表示根據檢測器20的輸出值計算出的吸光度的氣體吸光度信號（步驟S4）。然後，測量對象氣體吸光度計算部C4將氣體吸光度信號所表示的氣體吸光度與由干擾氣體吸光度轉換部C3轉換而得的干擾氣體吸光度之差視為測量對象氣體的吸光度（步驟S5）。
接著，測量對象氣體分壓轉換部C6參照測量對象氣體分壓-吸光度關係數據而將由測量對象氣體吸光度計算部C4計算出的測量對象氣體吸光度轉換為測量對象氣體分壓（步驟S6）。
然後，測量對象氣體濃度計算部C7基於由總壓感測器10測量出的總壓和由測量對象氣體分壓轉換部C6轉換而得的測量對象氣體分壓，來計算測量對象氣體濃度（步驟S7）。應予說明，測量對象氣體濃度計算部C7將計算出的測量對象氣體濃度顯示於顯示部（步驟S8）。
＜另一實施方式＞　作為上述實施方式中的吸光分析裝置C的變形例，可列舉如下裝置，其除了發揮作為干擾氣體分壓-吸光度關係存儲部C1、干擾氣體分壓推定部C2、干擾氣體吸光度轉換部C3、測量對象氣體吸光度計算部C4、測量對象氣體分壓-吸光度關係存儲部C5、測量對象氣體分壓轉換部C6、測量對象氣體濃度計算部C7的功能以外，還發揮作為干擾氣體分壓計算部C8、第二干擾氣體吸光度轉換部C9、轉換次數計數部C10、計數次數判定部C11的功能。
上述干擾氣體分壓計算部C8基於由總壓感測器10測量出的總壓和由測量對象氣體分壓轉換部C6轉換而得的測量對象氣體分壓，來計算干擾氣體分壓。具體來說，干擾氣體分壓計算部C8將總壓與測量對象氣體分壓之差作為干擾氣體分壓。
上述第二干擾氣體吸光度轉換部C9參照干擾氣體分壓-吸光度關係數據而將由干擾氣體分壓計算部C8計算出的干擾氣體分壓轉換為干擾氣體的新的吸光度。
上述轉換次數計數部C10對干擾氣體吸光度轉換部C3和第二干擾氣體吸光度轉換部C9的轉換為干擾氣體吸光度的次數進行計數。
上述計數次數判定部C11對轉換次數計數部C10的計數次數是否達到了設定次數進行判定。具體來說，計數次數判定部C11判定計數次數是否達到了預先設定的兩次以上的設定次數。
接著，對上述另一實施方式的吸光分析裝置C的動作進行說明。
在本實施方式中，在上述實施方式的吸光分析裝置C的動作中的步驟S3與步驟S4之間，對轉換為干擾氣體吸光度的次數進行計數（步驟S9）。另外，在本實施方式中，在上述實施方式的吸光分析裝置C的動作中的步驟S6與步驟S7之間，對轉換為干擾氣體吸光度的次數（計數次數）是否達到了設定次數進行判定（步驟S10）。
然後，在判斷為轉換成干擾氣體吸光度的次數達到了設定次數的情況下，進入步驟S7、步驟S8並將測量對象氣體濃度顯示於顯示部。
另一方面，在判斷為轉換成干擾氣體吸光度的次數未達到設定次數的情況下，干擾氣體分壓計算部C8基於由總壓感測器10測量出的總壓和由測量對象氣體分壓轉換部C6獲取到的測量對象氣體分壓，來計算干擾氣體分壓（步驟S11）。然後，第二干擾氣體吸光度轉換部C9參照干擾氣體分壓-吸光度關係數據而將由干擾氣體分壓計算部C8計算出的干擾氣體分壓轉換為干擾氣體的新的吸光度（步驟S12）。然後，通過步驟S4～步驟S6，基於由第二干擾氣體吸光度轉換部C9轉換而得的新的干擾氣體吸光度，導出測量對象氣體分壓。應予說明，循環重復操作步驟S9、步驟S4～S6、步驟S10～S12，直到轉換次數計數部C10的計數次數達到設定次數為止。
應予說明，在上述另一實施方式中，構成為對循環次數進行計數，在計數的數目達到了設定次數的情況下結束循環，但是，也可以構成為，例如對由上次循環（例如，上一次循環）計算出的測量對象氣體分壓與由當前循環計算出的測量對象氣體分壓之差是否小於預定值進行判定，在為預定值以下的情況下結束循環。
如果是這樣的構成，則隨著第二干擾氣體吸光度轉換部C9的轉換次數增多，測量對象氣體分壓所含的誤差變小，具體來說，通過在干擾氣體分壓推定部C2中基於由總壓感測器10測量出的總壓來推定出干擾氣體分壓，從而該推定出的干擾氣體分壓中所含的測量對象氣體的誤差的比例變少。其結果，測量對象氣體濃度的測量精度提高。
另外，在上述實施方式中，在流路L的比檢測器20更靠近上流側的位置設置有總壓感測器10，但是在此情況下，因檢測器20的測量區域Z與總壓感測器10的測量點之間產生的壓損，導致在總壓感測器10中只能檢測受到該壓損的影響的總壓。因此，優選例如如圖2中虛線所示，將總壓感測器10設置為使得該總壓感測器10的測量點與檢測器20的測量區域Z一致。具體來說，優選將總壓感測器10設置為使得該總壓感測器10的測量點位於從檢測器20的光源21射出的光的光軸（圖2中，用單點劃線表示）上。
應予說明，在上述實施方式中，示例出在測量對象氣體分壓-吸光度關係存儲部C5中，在獲取測量對象氣體分壓-吸光度關係數據的情況下，向檢測器20流通已知濃度的測量對象氣體的方法，但不限於此。例如，使分壓與吸光度之間的關係是與測量對象氣體存在已知的關聯關係的替代氣體流向檢測器20，此時，預先獲取表示存在於檢測器20的測量區域Z中的替代氣體的分壓與吸光度之間的關係的數據。然後，基於該數據和上述已知的關聯關係也可以獲取測量對象氣體分壓-吸光度關係數據。可以說對於干擾氣體分壓-吸光度關係存儲部C3也是同樣。
另外，本發明不限於上述各實施方式，在不脫離其主旨的範圍內當然可以進行各種變形。
100:吸光分析系統 L:流路 10:總壓感測器 20:檢測器 21:光源 22:濾光器 22r:參照用濾光器 23:受光部 23r:參照用受光部 24:窗部件 CH:腔室 C:吸光分析裝置 C1:干擾氣體分壓-吸光度關係存儲部 C2:干擾氣體分壓推定部 C3:干擾氣體吸光度轉換部 C4:測量對象氣體吸光度計算部 C5:測量對象氣體分壓-吸光度關係存儲部 C6:測量對象氣體分壓轉換部 C7:測量對象氣體濃度計算部 C8:干擾氣體分壓計算部 C9:第二干擾氣體吸光度轉換部 C10:轉換次數計數部 C11:計數次數判定部 Z:測量區域 S1~S12:步驟
圖1是示出實施方式的吸光分析系統的整體結構的示意圖。 圖2是示出實施方式的吸光分析系統的檢測器的結構的示意圖。 圖3是示出實施方式的吸光分析系統的檢測器的變形例的結構的示意圖。 圖4是示出實施方式的吸光分析裝置的功能的框圖。 圖5是示意性地示出用於實施方式的吸光分析裝置的干擾氣體分壓-吸光度關係數據的示例的圖表。 圖6是示出實施方式的吸光分析裝置的動作的流程圖。 圖7是示出另一實施方式的吸光分析裝置的功能的框圖。 圖8是示出另一實施方式的吸光分析裝置的動作的流程圖。
C:吸光分析裝置
C1:干擾氣體分壓-吸光度關係存儲部
C2:干擾氣體分壓推定部
C3:干擾氣體吸光度轉換部
C4:測量對象氣體吸光度計算部
C5:測量對象氣體分壓-吸光度關係存儲部
C6:測量對象氣體分壓轉換部
C7:測量對象氣體濃度計算部

Claims (8)

  1. 一種吸光分析系統，計算氣體中所含的預定的測量對象氣體的吸光度，係包含：檢測器，係透過了該氣體的預定的測量波長的光的強度進行檢測；總壓感測器，係測量該氣體的總壓；干擾氣體分壓-吸光度關係存儲部，係存儲干擾氣體分壓-吸光度關係數據，該干擾氣體分壓-吸光度關係數據表示與測量對象氣體一起被包含於該氣體中的干擾氣體的分壓與吸光度之間的關係，所述干擾氣體是所述測量對象氣體以外的氣體且吸收所述測量波長的光，所述吸光度是所述干擾氣體在所述測量波長下的吸光度；干擾氣體分壓推定部，係基於由該總壓感測器測量出的總壓來推定該干擾氣體的分壓；干擾氣體吸光度轉換部，係基於該干擾氣體分壓-吸光度關係數據，將由該干擾氣體分壓推定部推定出的干擾氣體推定分壓轉換為該干擾氣體的吸光度；以及測量對象氣體吸光度計算部，係基於該檢測器的輸出值和由該干擾氣體吸光度轉換部轉換而得的干擾氣體吸光度，來計算該測量對象氣體的吸光度。
  2. 根據請求項1所述之吸光分析系統，其中該干擾氣體分壓推定部將由該總壓感測器測量出的總壓推定為該干擾氣體的分壓。
  3. 根據請求項1所述之吸光分析系統，更包含：測量對象氣體分壓-吸光度關係存儲部，係存儲表示該氣體中所含的測量對象氣體的分壓與吸光度之間的關係的測量對象氣體分壓-吸光度關係數據；以及 測量對象氣體分壓轉換部，係基於該測量對象氣體分壓-吸光度關係數據，將由該測量對象氣體吸光度計算部計算出的測量對象氣體吸光度轉換為該測量對象氣體的分壓。
  4. 根據請求項3所述之吸光分析系統，更包含干擾氣體分壓計算部，該干擾氣體分壓計算部基於由該總壓感測器測量出的總壓和由該測量對象氣體分壓轉換部轉換而得的測量對象氣體分壓，來計算該干擾氣體的分壓。
  5. 根據請求項4所述之吸光分析系統，更包含第二干擾氣體吸光度轉換部，該第二干擾氣體吸光度轉換部基於該干擾氣體分壓-吸光度關係數據，將由該干擾氣體分壓計算部計算出的干擾氣體計算分壓轉換為該干擾氣體的新的吸光度，該測量對象氣體吸光度計算部基於該檢測器的輸出值和由該第二干擾氣體吸光度轉換部轉換而得的新的干擾氣體吸光度，來計算該測量對象氣體的新的吸光度。
  6. 一種程序存儲介質，係存儲有吸光分析系統用程序，該吸光分析系統計算氣體中所含的預定的測量對象氣體的吸光度，具備對透過了該氣體的預定的測量波長的光的強度進行檢測的檢測器、以及測量該氣體的總壓的總壓感測器，該吸光分析系統用程序使計算機發揮作為干擾氣體分壓-吸光度關係存儲部、干擾氣體分壓推定部、干擾氣體吸光度轉換部、測量對象氣體吸光度計算部的功能，該干擾氣體分壓-吸光度關係存儲部存儲干擾氣體分壓-吸光度關係數據，該干擾氣體分壓-吸光度關係數據表示與測量對象氣體一起被包含於該氣體中的干 擾氣體的分壓與吸光度之間的關係，所述干擾氣體是所述測量對象氣體以外的氣體且吸收所述測量波長的光，所述吸光度是所述干擾氣體在所述測量波長下的吸光度，該干擾氣體分壓推定部基於由該總壓感測器測量出的總壓來推定該干擾氣體的分壓，該干擾氣體吸光度轉換部基於該干擾氣體分壓-吸光度關係數據，將由該干擾氣體分壓推定部推定出的干擾氣體推定分壓轉換為該干擾氣體的吸光度，該測量對象氣體吸光度計算部基於該檢測器的輸出值和由該干擾氣體吸光度轉換部轉換而得的干擾氣體吸光度，來計算該測量對象氣體的吸光度。
  7. 一種吸光分析裝置，係用於吸光分析系統，該吸光分析系統計算氣體中所含的預定的測量對象氣體的吸光度，具備對透過了該氣體的預定的測量波長的光的強度進行檢測的檢測器、以及測量該氣體的總壓的總壓感測器，該吸光分析裝置包含：干擾氣體分壓-吸光度關係存儲部，係存儲干擾氣體分壓-吸光度關係數據，該干擾氣體分壓-吸光度關係數據表示與測量對象氣體一起被包含於該氣體中的干擾氣體的分壓與吸光度之間的關係，所述干擾氣體是所述測量對象氣體以外的氣體且吸收所述測量波長的光，所述吸光度是所述干擾氣體在所述測量波長下的吸光度；干擾氣體分壓推定部，係基於由該總壓感測器測量出的總壓來推定該干擾氣體的分壓； 干擾氣體吸光度轉換部，係基於該干擾氣體分壓-吸光度關係數據，將由該干擾氣體分壓推定部推定出的干擾氣體推定分壓轉換為該干擾氣體的吸光度；以及測量對象氣體吸光度計算部，係基於該檢測器的輸出值和由該干擾氣體吸光度轉換部轉換而得的干擾氣體吸光度，來計算該測量對象氣體的吸光度。
  8. 一種吸光度測量方法，係利用吸光分析系統而對氣體中所含的測量對象氣體的吸光度進行測量的方法，該吸光分析系統具備對透過了該氣體的光的強度進行檢測的檢測器、以及測量該氣體的總壓的總壓感測器，該吸光度測量方法包含：第一步驟，係存儲干擾氣體分壓-吸光度關係數據，該干擾氣體分壓-吸光度關係數據表示與測量對象氣體一起被包含於該氣體中的干擾氣體的分壓與吸光度之間的關係；第二步驟，係基於由該總壓感測器測量出的總壓和所預測的該干擾氣體的濃度，來推定該干擾氣體的分壓；第三步驟，係基於該干擾氣體分壓-吸光度關係數據，將由該第二步驟推定出的干擾氣體推定分壓轉換為該干擾氣體的吸光度；以及第四步驟，係基於由該第三步驟轉換而得的干擾氣體吸光度和該檢測器的輸出值，來計算該測量對象氣體的吸光度。
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