TWI830502B - 自動量測光罩載具之流量的治具 - Google Patents
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- 238000004891 communication Methods 0.000 claims abstract description 23
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 claims abstract description 20
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims abstract description 17
- 230000002159 abnormal effect Effects 0.000 abstract description 4
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 23
- 238000000034 method Methods 0.000 description 7
- 230000005856 abnormality Effects 0.000 description 3
- 239000000969 carrier Substances 0.000 description 3
- 230000003749 cleanliness Effects 0.000 description 3
- 238000001459 lithography Methods 0.000 description 3
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 3
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 2
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 2
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 2
- 230000006698 induction Effects 0.000 description 2
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 2
- 238000007664 blowing Methods 0.000 description 1
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 1
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 1
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 1
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000005674 electromagnetic induction Effects 0.000 description 1
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000008520 organization Effects 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 238000006467 substitution reaction Methods 0.000 description 1
- 238000011179 visual inspection Methods 0.000 description 1
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- Measuring Volume Flow (AREA)
Abstract
一種自動量測光罩載具之流量的治具，包含：一治具本體、一流量偵測模組、一無線通訊模組、一電容及一無線充電接收模組，治具本體具有一儲存空間、連通儲存空間的至少一進氣孔及至少一出氣孔，流量偵測模組包括一流量計及一訊號連接於流量計的流量顯示器，流量計設置於儲存空間中，無線通訊模組訊號連接流量計，電容電性連接流量偵測模組及無線通訊模組，無線充電接收模組設置於治具本體的底部並電性連接電容。本發明的自動量測光罩載具之流量的治具解決了氣體流量在不可視的情況下難以察覺流量意常的問題。
Description
本發明係關於一種偵測流量的治具，更特別的是關於一種自動量測光罩載具之流量的治具。
在半導體領域的先進微影製程中，特別是EUV（極紫外光）微影製程，對製程環境的潔淨度要求極高。若有塵粒（particle）汙染光罩，則會造成微影製程的缺陷。為達到潔淨度與保護光罩的需求，一般使用光罩盒以阻攔外界的塵粒。因此光罩盒本身的潔淨度便很重要。一般的清潔做法是導入潔淨的氣體（壓縮乾燥氣體或氮氣）灌入光罩盒中，以掃除其中的塵粒。
然而，若所注入的氣體太高或太低則可能會導致光罩、光罩盒變質或受損。為避免所供給的氣體流量異常，光罩盒來源端的氣體會盡可能穩定流量。即便如此，偶爾仍會發生流量異常的情況，而氣體流量在不可視的情況下難以察覺。
因此，為解決習知光罩載具的種種問題，本發明提出一種自動量測光罩載具之流量的治具。
為達上述目的及其他目的，本發明提出一種自動量測光罩載具之流量的治具，其包含：一治具本體，具有一儲存空間、連通該儲存空間的至少一進氣孔及至少一出氣孔；一流量偵測模組，包括一流量計及一訊號連接於該流量計的流量顯示器，該流量計設置於該儲存空間中；一無線通訊模組，訊號連接該流量計；一電容，電性連接該流量偵測模組及該無線通訊模組；以及一無線充電接收模組，設置於該治具本體的底部並電性連接該電容。
於本發明之一實施例中，更包括一電量顯示器，電性連接該電容。
於本發明之一實施例中，更包括一無線充電發射模組，無線地電性連接該無線充電接收模組。
於本發明之一實施例中，該流量偵測模組更包括一啟動開關，訊號連接該流量計。
於本發明之一實施例中，該無線通訊模組為藍牙通訊模組。
於本發明之一實施例中，該治具本體設有一有線充電界面。
於本發明之一實施例中，該治具本體的頂部設有一提把。
藉此，本發明的自動量測光罩載具之流量的治具可事先發現氣體流量異常的情況，並透流量偵測模組來精準檢測氣體供應來源所供給的氣體，並藉由無線通訊模組等元件來傳輸、記錄數值，可定期檢查氣體供應來源及並記錄其數據，得知氣體供應來源的情況進而判斷分析及提前預防，降低氣體供應來源發生供給異常，減少光罩載具或光罩變質、受損的風險。
為充分瞭解本發明，茲藉由下述具體之實施例，並配合所附之圖式，對本發明做一詳細說明。本領域技術人員可由本說明書所公開的內容瞭解本發明的目的、特徵及功效。須注意的是，本發明可透過其他不同的具體實施例加以施行或應用，本說明書中的各項細節亦可基於不同觀點與應用，在不悖離本發明的精神下進行各種修飾與變更。以下的實施方式將進一步詳細說明本發明的相關技術內容，但所公開的內容並非用以限制本發明的申請專利範圍。說明如後：
如圖1至圖4所示，本發明實施例之自動量測光罩載具之流量的治具100，其包含：一治具本體1、一流量偵測模組2、一無線通訊模組3、一電容4及一無線充電接收模組5。
治具本體1具有一儲存空間S、連通儲存空間S的至少一進氣孔11及至少一出氣孔12，本實施例中為二進氣孔11及二出氣孔12。這些進氣孔11及出氣孔12貫穿治具本體1的底面。治具本體1的具體形狀可比照光罩載具的形狀，在本實施例中，治具本體1大至呈矩形盒體，並且治具本體1的頂部設有一提把14，方便以抓握的方式移動治具本體1。
流量偵測模組2包括一流量計21及一訊號連接於流量計21的流量顯示器22，流量計21設置於儲存空間S中。流量計21例如為測量液體、氣體等流體用的流量感測器，例如為熱質型流量計、膜片型流量計或超音波型流量計等等，且本發明不限於此。流量顯示器22例如為液晶顯示器，接收流量計21測得的流量訊號並予以顯示。流量顯示器22較佳地設置於治具本體1的外表面。
無線通訊模組3訊號連接流量計21。無線通訊模組3接收流量計21測得的流量訊號並傳送至外部機構。無線通訊模組3例如為藍牙通訊模組，以藍牙無線傳輸的方式將流量訊號傳送至遠端的電腦、手機等終端裝置。
電容4電性連接流量偵測模組2及無線通訊模組3，用以供應流量偵測模組2及無線通訊模組3所需的電能。電容4例如為可反覆充電的電池。無線通訊模組3同樣也可以將電容4的電量傳送至外部機構。
無線充電接收模組5設置於治具本體1的底部並電性連接電容4。在對電容4充電時，無線充電接收模組5與一無線充電發射模組7近距離相對，以磁感應或磁共振的方式進行能量傳輸。無線充電發射模組7設有發射端線圈，而無線充電接收模組5設有接受端線圈，兩個線圈以磁場耦合（磁感應）或諧振（磁共振）進行能量傳輸。然而本發明不限於此。
綜上所述，藉由本發明的自動量測光罩載具之流量的治具100，可事先發現氣體流量異常的情況，並透流量偵測模組2來精準檢測氣體供應來源所供給的氣體，並藉由無線通訊模組3等元件來傳輸、記錄數值，可定期檢查氣體供應來源及並記錄其數據，得知氣體供應來源的情況進而判斷分析及提前預防，降低氣體供應來源發生供給異常，減少光罩載具或光罩變質、受損的風險。
進一步地，自動量測光罩載具之流量的治具100更包括一電量顯示器6，電性連接電容4。電量顯示器6例如為液晶顯示器，依據電容4所剩的電量並予以顯示。電量顯示器6較佳地設置於治具本體1的外表面。
進一步地，如圖2所示，自動量測光罩載具之流量的治具100更包括前述的無線充電發射模組7，無線地電性連接無線充電接收模組5。無線充電發射模組7可設置於一充氣盤面P（連通於氣體供應來源）上，充氣盤面P上設有複數個吹氣嘴P1，分別對進氣孔11吹氣、或接收出氣孔12的排氣。當自動量測光罩載具之流量的治具100裝載於充氣盤面P時，氣體供應來源透過充氣盤面P對治具本體1的儲存空間S貫入氣體，同時無線充電發射模組7近距離相對無線充電接收模組5，使無線充電接收模組5有效率地利用電磁感應的原理而對電容4充電。
進一步地，流量偵測模組2更包括一啟動開關23，訊號連接流量計21。啟動開關23可以為機械式的觸發開關，以開啟/關閉流量計21，也可以是電動式的或其他類型的開關。啟動開關23也可進一步連動於流量顯示器22，以開啟/關閉流量顯示器22。
進一步地，治具本體1更設有一有線充電界面13，有線充電界面13例如為通用串行匯流排（Universal Serial Bus，USB）界面，或常規的有線電力傳輸介面。電容4透過有線充電界面13而可有線地連接至一充電源，以作為輔助用充電方式。
本發明在上文中已以實施例揭露，然熟習本項技術者應理解的是，該實施例僅用於描繪本發明，而不應解讀為限制本發明之範圍。應注意的是，舉凡與該實施例等效之變化與置換，均應設為涵蓋於本發明之範疇內。因此，本發明之保護範圍當以申請專利範圍所界定者為準。
100:自動量測光罩載具之流量的治具
1:治具本體
11:進氣孔
12:出氣孔
13:有線充電界面
14:提把
2:流量偵測模組
21:流量計
22:流量顯示器
23:啟動開關
3:無線通訊模組
4:電容
5:無線充電接收模組
6:電量顯示器
7:無線充電發射模組
P:充氣盤面
P1:吹氣嘴
S:儲存空間
圖1係為根據本發明實施例之自動量測光罩載具之流量的治具之立體示意圖。
圖2係為根據本發明實施例之自動量測光罩載具之流量的治具之另一視角立體示意圖。
圖3係為根據本發明實施例之自動量測光罩載具之流量的治具之剖面圖。
圖4係為根據本發明實施例之自動量測光罩載具之流量的治具之方塊示意圖。
100:自動量測光罩載具之流量的治具
1:治具本體
13:有線充電界面
14:提把
22:流量顯示器
23:啟動開關
3:無線通訊模組
6:電量顯示器
Claims (7)
- 一種自動量測光罩載具之流量的治具，其包含： 一治具本體，具有一儲存空間、連通該儲存空間的至少一進氣孔及至少一出氣孔； 一流量偵測模組，包括一流量計及一訊號連接於該流量計的流量顯示器，該流量計設置於該儲存空間中； 一無線通訊模組，訊號連接該流量計； 一電容，電性連接該流量偵測模組及該無線通訊模組；以及 一無線充電接收模組，設置於該治具本體的底部並電性連接該電容。
- 如請求項1所述之自動量測光罩載具之流量的治具，更包括一電量顯示器，電性連接該電容。
- 如請求項1所述之自動量測光罩載具之流量的治具，更包括一無線充電發射模組，無線地電性連接該無線充電接收模組。
- 如請求項1所述之自動量測光罩載具之流量的治具，其中該流量偵測模組更包括一啟動開關，訊號連接該流量計。
- 如請求項1所述之自動量測光罩載具之流量的治具，其中該無線通訊模組為藍牙通訊模組。
- 如請求項1所述之自動量測光罩載具之流量的治具，其中該治具本體設有一有線充電界面。
- 如請求項1所述之自動量測光罩載具之流量的治具，其中該治具本體的頂部設有一提把。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| TW111143876A TWI830502B (zh) | 2022-11-17 | 2022-11-17 | 自動量測光罩載具之流量的治具 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| TW111143876A TWI830502B (zh) | 2022-11-17 | 2022-11-17 | 自動量測光罩載具之流量的治具 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| TWI830502B true TWI830502B (zh) | 2024-01-21 |
| TW202422220A TW202422220A (zh) | 2024-06-01 |
Family
ID=90459238
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| TW111143876A TWI830502B (zh) | 2022-11-17 | 2022-11-17 | 自動量測光罩載具之流量的治具 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| TW (1) | TWI830502B (zh) |
Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6645702B1 (en) * | 2000-05-01 | 2003-11-11 | Advanced Micro Devices, Inc. | Treat resist surface to prevent pattern collapse |
| WO2006028188A1 (ja) * | 2004-09-10 | 2006-03-16 | Nikon Corporation | ステージ装置及び露光装置 |
| TW201724325A (zh) * | 2015-10-05 | 2017-07-01 | 布魯克斯Ｃｃｓ有限公司 | 形成用於一半導體基板並具有低溼度值的一乾淨的環境的方法及系統 |
| TWM570303U (zh) * | 2018-09-04 | 2018-11-21 | 中勤實業股份有限公司 | Wisdom pallet |
| TW202215149A (zh) * | 2020-09-30 | 2022-04-16 | 家登精密工業股份有限公司 | 具有收容環境偵測之基板收容裝置 |
| TWM640851U (zh) * | 2022-11-17 | 2023-05-11 | 家碩科技股份有限公司 | 自動量測光罩載具之流量的治具 |
-
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Patent Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6645702B1 (en) * | 2000-05-01 | 2003-11-11 | Advanced Micro Devices, Inc. | Treat resist surface to prevent pattern collapse |
| WO2006028188A1 (ja) * | 2004-09-10 | 2006-03-16 | Nikon Corporation | ステージ装置及び露光装置 |
| TW201724325A (zh) * | 2015-10-05 | 2017-07-01 | 布魯克斯Ｃｃｓ有限公司 | 形成用於一半導體基板並具有低溼度值的一乾淨的環境的方法及系統 |
| TWM570303U (zh) * | 2018-09-04 | 2018-11-21 | 中勤實業股份有限公司 | Wisdom pallet |
| TW202215149A (zh) * | 2020-09-30 | 2022-04-16 | 家登精密工業股份有限公司 | 具有收容環境偵測之基板收容裝置 |
| TWM640851U (zh) * | 2022-11-17 | 2023-05-11 | 家碩科技股份有限公司 | 自動量測光罩載具之流量的治具 |
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