TWI801807B - 真直度計測系統、位移感測器校正方法及真直度計測方法 - Google Patents

真直度計測系統、位移感測器校正方法及真直度計測方法 Download PDF

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Abstract

[課題] 提供一種能夠抑制真直度的計測精度的下降之真直度計測系統。 [解決手段] 感測單元包括3個位移感測器。校正基準器具有校正基準面。在使校正基準面與3個位移感測器相對向時，3個位移感測器的被測定點在校正基準面的表面上沿第1方向排列配置，3個位移感測器係測定校正基準面的高度方向上之位移。在使校正基準面與3個位移感測器相對向時，傾斜機構使校正基準面和感測單元中的一方相對於另一方朝第1方向傾斜。處理裝置，係在相對於感測單元之校正基準面的傾斜角互不相同之複數種狀態下，取得3個位移感測器的測定值，根據傾斜角和每個傾斜角的測定值，計測3個位移感測器的被測定點在第1方向上之相對位置關係與規定相對位置關係的偏離量。

Description

真直度計測系統、位移感測器校正方法及真直度計測方法
本發明係有關一種真直度計測系統、位移感測器校正方法及真直度計測方法。 本申請案係主張基於2020年03月26日申請之日本專利申請第2020-056729號的優先權。該日本申請案的全部內容係藉由參閱而援用於本說明書中。
作為計測磨削對象物的上表面的真直度之方法，已知有一種機上計測方法，其係利用磨削裝置的工件進給功能，在砂輪頭上安裝位移感測器而對加工表面進行掃描。在機上計測方法中，通常利用使用了包括3個位移感測器之感測單元之三點法(例如，專利文獻1)。
為了以良好的精度進行計測對象物表面的真直度的計測，需要進行位移感測器的零點校正以使3個位移感測器的零點位於幾何上正確之平面上。為了進行位移感測器的零點校正，使用具有真直度高的校正基準面之校正基準器。利用3個位移感測器測定校正基準面的高度方向上之位移量，並且進行零點校正以使3個位移感測器的零點位於同一平面上(例如，專利文獻2)。 [先前技術文獻]
[專利文獻1] 日本特開2015-169451號公報 [專利文獻2] 日本特開2016-166873號公報
[發明所欲解決之問題]
零點校正中所要求之精度取決於感測器間節距和欲評估之真直度。例如，當以感測器間節距100mm在長度1m內檢測到1μm的彎曲時，相對於絕對平面之高度方向上之位移量成為40nm左右。為了測定這種程度的位移量，在零點校正中要求10nm水準的精度。
本申請發明人等進行了各種實驗之結果發現，即使藉由習知之方法以充分高的精度進行零點校正，仍會有無法以所期待之精度進行真直度的計測的情況。本發明的目的在於提供一種能夠抑制真直度的計測精度的下降之真直度計測系統、位移感測器校正方法及真直度計測方法。 [解決問題之技術手段]
依本發明的一觀點，提供一種真直度計測系統，其係具備： 感測單元，係包括3個位移感測器；及 校正基準器，係具有校正基準面， 在使前述校正基準面與前述3個位移感測器相對向時，前述3個位移感測器的被測定點在前述校正基準面的表面上沿第1方向排列配置，前述3個位移感測器係測定前述校正基準面的高度方向上之位移， 前述真直度計測系統係進一步具有： 傾斜機構，係在使前述校正基準面與前述3個位移感測器相對向時，使前述校正基準面和前述感測單元中的一方相對於另一方朝前述第1方向傾斜；及 處理裝置，係在相對於前述感測單元之前述校正基準面的傾斜角互不相同之複數種狀態下，取得前述3個位移感測器的測定值，根據前述傾斜角和前述3個位移感測器的每個前述傾斜角的測定值，計測前述3個位移感測器的被測定點在前述第1方向上之相對位置關係與規定相對位置關係的偏離量。
依本發明的另一觀點，提供一種位移感測器校正方法，係準備包括3個位移感測器之感測單元，前述感測單元係測定在校正基準面的表面上沿第1方向排列配置之被測定點的高度方向上之位移，將相對於前述感測單元之前述校正基準面在前述第1方向上之傾斜角設為不同，對每個前述傾斜角執行利用前述感測單元測定前述校正基準面的高度方向上之位移量之程序， 根據前述傾斜角和前述3個位移感測器的每個前述傾斜角的測定值，求出前述3個位移感測器的被測定點在前述第1方向上之相對位置關係與規定相對位置關係的偏離量。
依本發明的又一觀點，提供一種真直度計測方法，係準備包括3個位移感測器之感測單元，前述感測單元係測定在校正基準面的表面上沿第1方向排列配置之被測定點的高度方向上之位移，將相對於前述感測單元之前述校正基準面在前述第1方向上之傾斜角設為不同，對每個前述傾斜角執行利用前述感測單元測定前述校正基準面的高度方向上之位移量之程序， 根據前述傾斜角和前述3個位移感測器的每個前述傾斜角的測定值，求出前述3個位移感測器的被測定點在前述第1方向上之相對位置關係與規定相對位置關係的偏離量， 在使用前述感測單元並藉由三點法計測對象物的表面的真直度時，考慮前述偏離量而算出曲率。 [發明之效果]
藉由計測3個位移感測器的被測定點在第1方向上之相對位置關係的偏離量，能夠使該偏離量反映在真直度的計測中。藉此，能夠抑制真直度的計測精度的下降。
參閱圖1~圖8對依實施例之真直度計測系統及位移感測器校正方法進行說明。依實施例之真直度計測系統，係使用三點法來進行計測對象物表面的真直度的計測。
在三點法中，同時計測計測對象物的表面的位於一直線上之三點的高度方向上之位置，根據計測結果求出平面的局部彎曲的程度(曲率)。將該曲率進行二階積分，藉由計算來求出計測對象物的上表面的真直度。真直度係指作為對象之形狀從幾何上正確的直線偏離的程度。進行計測對象物的上表面的真直度的計測，等同於進行計測對象物的上表面在高度方向之凹凸的形狀的計測。
首先，參閱圖1對求出計測對象物的表面的局部曲率之方法進行說明。 圖1係表示具備3個位移感測器21A、21B、21C之感測單元20及計測對象表面50之示意圖。定義x軸方向相當於應計測曲率之方向、y軸方向相當於計測對象物的表面的高度方向之xyz正交座標系統。位移感測器21A、21B、21C測定對象物的y軸方向上之位移量。作為位移感測器21A、21B、21C，能夠使用非接觸式位移感測器，例如雷射位移感測器。
3個位移感測器21A、21B、21C沿x軸方向以節距p排列。位移感測器21B配置於另外2個位移感測器21A與21C的中央。3個位移感測器21A、21B、21C的零點校正完畢，3個位移感測器21A、21B、21C的零點A0 、B0 、C0 在一條直線上以節距p排列。在圖1中，將零點A0 、B0 、C0 分別設定於位移感測器21A、21B、21C的下端，但亦可以將零點A0 、B0 、C0 設定於其他位置。例如，可以在零點校正時之校正基準面的位置設定零點。
位移感測器21A、21B、21C分別測定從零點A0 、B0 、C0 至計測對象表面50上的被測定點A、B、C為止的距離(位移量)。連接零點A0 和被測定點A之線段與y軸平行。同樣地，連接零點B0 和被測定點B之線段及連接零點C0 和被測定點C之線段亦與y軸平行。
將由位移感測器21A、21B、21C測定之位移量的測定值分別標記為a、b、c。將從線段AC至被測定點B為止的距離(以下，稱為曲率間隙(curvature gap))標記為g。將線段AC與線段B0 B的交點稱為間隙原點O。曲率間隙g與線段OB的長度相等，並且由以下式表示。
Figure 02_image001
被測定點B上之計測對象表面50的形狀的二階微分由以下式表示。
Figure 02_image003
在對式(2)進行變形時，利用式(1)。
接著，參閱圖2對三點法進行說明。 圖2係表示用以說明三點法之計測對象表面50與感測單元20的相對位置關係之圖。一邊使感測單元20與計測對象表面50相對向且沿x軸方向以一定的步長(以下，稱為積分節距)移動，一邊測定被測定點A、B、C的y軸方向上之位移。根據在各位置取得之測定值，使用式(1)求出曲率間隙g。若曲率間隙g被求出，則使用式(2)求出被測定點B上之計測對象表面50的二階微分(曲率)。藉由以積分節距對每個被測定點B的二階微分值進行二階積分來求出被測定點B的y軸方向上之位移，亦即求出計測對象表面50的形狀。
接著，參閱圖3A及圖3B對感測單元20的零點校正的方法進行說明。
圖3A係表示進行感測單元20的零點校正時之3個位移感測器21A、21B、21C與校正基準器60的位置關係之圖。3個位移感測器21A、21B、21C與校正基準器60的校正基準面61相對向。校正基準面61相對於y軸垂直地配置。在零點校正之前的狀態下，位移感測器21A、21B、21C的零點A0 、B0 、C0 並沒有配置於一條直線上。例如，零點B0 從線段A0 C0 在y軸方向偏離g0 。
在該狀態下，測定分別從零點A0 、B0 、C0 至校正基準面61上的被測定點A、B、C為止的位移量a、b、c。零點B0 的偏離量g0 能夠由以下式求出。
Figure 02_image005
在進行零點校正時，會有因各種原因而使校正基準面61相對於y軸從垂直的姿勢傾斜的情況。
圖3B係表示校正基準面61繞z軸傾斜之狀態下之3個位移感測器21A、21B、21C與校正基準器60的位置關係之圖。使用在校正基準面61傾斜之狀態下測定出之位移量a、b、c並藉由式(3)計算之偏離量g0 ，係與在校正基準面61未傾斜之狀態下計算之偏離量g0 相同。因此，即使在校正基準面61傾斜之狀態下，仍能夠進行準確的零點校正。
但是發現，在3個位移感測器21A、21B、21C從等節距的狀態偏離之情況下，即使準確地進行零點校正，真直度的計測結果的精度仍會下降。接著，參閱圖4A、圖4B對3個位移感測器21A、21B、21C從等節距的狀態偏離時之真直度的計測進行說明。
圖4A係表示感測單元20的零點校正完畢之狀態下之3個位移感測器21A、21B、21C與校正基準器60的位置關係之圖。中央的位移感測器21B向其中一個位移感測器21A側偏離。將其偏離量標記為Δx。由於零點校正完畢，因此零點B0 位於線段A0 C0 上。此時，中央的位移感測器21B的零點B0 亦從線段A0 C0 的中點向靠近零點A0 之方向偏離Δx，被測定點B亦從線段AC的中點、亦即間隙原點O在x軸方向向靠近被測定點A之方向偏離Δx。
圖4B係表示從圖4A所示之狀態變成校正基準面61繞z軸傾斜之狀態下之3個位移感測器21A、21B、21C與校正基準器60的位置關係之圖。將相對於與y軸垂直之平面之校正基準面61的傾斜角標記為Δθ。
當未發生位移感測器21B的位置偏離時，是藉由位移感測器21B測定線段AB的中點(間隙原點O)的高度方向上之位移量，但實際上是測定從間隙原點O在x軸方向偏離了Δx之被測定點B的高度方向上之位移量。將被測定點B與間隙原點O的高度之差稱為零點偏差Δh。
零點偏差Δh會被檢測為曲率間隙g(圖1)。因此，若使用式(2)計算曲率，則曲率成為2×Δh/p2 。如此，儘管是計測曲率為零的校正基準面61，但曲率仍會成為有限的值。這起因於3個位移感測器21A、21B、21C沒有以等節距排列。
接著，參閱圖5對求出偏離量Δx之方法進行說明。 當傾斜角Δθ充分小時，由以下式近似計算位移量之差Δh。
Figure 02_image007
可知偏離量Δx相當於將傾斜角Δθ設為橫軸且將零點偏差Δh設為縱軸之圖表的斜率。零點偏差Δh能夠根據3個位移感測器21A、21B、21C的測定值，由以下式求出。
Figure 02_image009
亦即，零點偏差Δh係兩端的位移感測器21A、21C的測定值a、c的平均值與中央的位移感測器21B的測定值b之差。改變傾斜角Δθ，對每個傾斜角Δθ使用式(5)計算零點偏差Δh。根據藉由計算而得到之傾斜角Δθ和零點偏差Δh的值來製作散佈圖。
圖5係表示傾斜角Δθ與零點偏差Δh的關係的一例之散佈圖。橫軸上以單位“mrad”表示傾斜角Δθ，縱軸上以單位“nm”表示零點偏差Δh。該散佈圖的近似直線的斜率、亦即零點偏差Δh的變化量與傾斜角Δθ的變化量之比相當於偏離量Δx。
接著，參閱圖6A~圖7對搭載有依實施例之真直度計測系統之磨削裝置進行說明。
圖6A係搭載有依實施例之真直度計測系統之磨削裝置的立體圖。該磨削裝置包括可動工作台40、工作台導引機構41、砂輪頭45、砂輪46、導軌48、處理裝置30、輸入輸出裝置31、感測單元20及校正基準器60。可動工作台40藉由工作台導引機構41沿水平面內的一方向往返移動。於可動工作台40上支承被磨削物。該被磨削物相當於藉由依實施例之真直度計測系統計測真直度之計測對象物。
砂輪頭45藉由導軌48可升降地支承於可動工作台40的上方。砂輪頭45能夠在水平面內沿與可動工作台40的進給方向正交之方向移動。以將可動工作台40的進給方向作為x軸方向、將砂輪頭45的移動方向作為z軸方向且將鉛垂向上方向作為y軸的正方向來定義xyz正交座標系統。
在砂輪頭45的下端部安裝有砂輪46。砂輪46具有圓柱狀的形狀，其中心軸與z軸方向平行。使砂輪頭45下降至砂輪46與支承於可動工作台40之被磨削物接觸之程度，藉由一邊使砂輪46旋轉一邊沿x軸方向進給可動工作台40來進行被磨削物的磨削。藉由使砂輪頭45沿z軸方向移動來反覆進行相同之處理，從而能夠對被磨削物的上表面的整個區域進行磨削。
處理裝置30進行可動工作台40向x軸方向之進給、砂輪頭45向z軸方向之移動及向y軸方向之升降、砂輪46的旋轉的控制。各種指令(command)從輸入輸出裝置31輸入到處理裝置30，由處理裝置30進行處理所得之結果等輸出到輸入輸出裝置31。輸入輸出裝置31例如包括顯示器、指向裝置、鍵盤等。
在砂輪頭45的側面可裝卸地安裝有感測單元20。在進行磨削時，將感測單元20從砂輪頭45卸下。在計測被磨削物的上表面的真直度時及進行感測單元20的零點校正時，將感測單元20安裝於砂輪頭45上。感測單元20例如藉由磁鐵的吸引力、螺絲緊固等而安裝於砂輪頭45上。在進行感測單元20的零點校正時，將校正基準器60載置於可動工作台40上，使其移動至與感測單元20相對向之位置。
圖6B係在砂輪頭45上安裝有感測單元20之狀態下之感測單元20的側視圖。如參閱圖1~圖4B所說明，感測單元20包括3個位移感測器21A、21B、21C。
圖7係使校正基準器60與感測單元20相對向之狀態下之感測單元20、校正基準器60及傾斜機構65的概略圖。在可動工作台40上載置有傾斜機構65，在其上保持有校正基準器60。利用校正基準器60的上表面來作為校正基準面61。作為傾斜機構65，例如使用測角台(goniometer stage)。傾斜機構65能夠使保持於其上之校正基準器60朝x軸方向傾斜。傾斜角的測定值輸入到處理裝置30。由3個位移感測器21A、21B、21C測定之位移量的測定值輸入到處理裝置30。
接著，參閱圖8對依實施例之位移感測器校正方法進行說明。 圖8係表示依實施例之位移感測器校正方法的程序之流程圖。在以下的說明中，根據需要參閱圖7。
首先，在可動工作台40上載置傾斜機構65，在其上保持校正基準器60。在砂輪頭45(圖6A)上安裝感測單元20。在使校正基準面61與感測單元20相對向之狀態下，處理裝置30(圖7)讀取由3個位移感測器21A、21B、21C測定之位移量的測定值，並進行感測單元20的零點校正(步驟S1)。使用式(3)來進行零點校正。
在進行零點校正之後，使校正基準面61相對於感測單元20朝x軸方向傾斜，處理裝置30對每個傾斜角Δθ從3個位移感測器21A、21B、21C取得位移量的測定值(步驟S2)。
處理裝置30根據傾斜角Δθ與位移量的測定值的關係算出偏離量Δx(圖4A、圖4B)(步驟S3)。具體而言，根據圖5所示之散佈圖的斜率算出偏離量Δx。
當所算出之偏離量Δx在容許範圍內時，結束位移感測器的校正(步驟S4)。當所算出之偏離量Δx超出容許範圍時，向使所算出之偏離量變小之方向微調位移感測器21B的位置(步驟S5)。然後，反覆進行從步驟S1至步驟S3為止的程序。
接著，對上述實施例的優異之效果進行說明。 依上述實施例，能夠將位移感測器21B向x軸方向之偏離量Δx(圖4A、圖4B)減小至落入容許範圍內。其結果，能夠高精度地進行真直度的計測。
例如，當偏離量Δx為20μm、傾斜角Δθ為1mrad時，根據式(4)，零點偏差Δh成為20nm。該偏差的大小在真直度的計測中無法忽略。藉由運用本實施例，能夠使偏離量Δx落入容許範圍內，因此能夠將零點偏差Δh減小至容許上限值以下。
接著，參閱圖9對上述實施例的變形例進行說明。 圖9係表示在本變形例中感測單元20的零點校正完畢之狀態下之3個位移感測器21A、21B、21C與校正基準器60的位置關係之圖。在圖4A、圖4B中示出了位移感測器21B的位置在x軸方向偏離之情況，但如圖9所示，還存在由於位移感測器21B的姿勢從標準姿勢偏離而使被測定點B從間隙原點O偏離之情況。即使在該情況下，仍能夠利用與上述實施例相同之方法求出從間隙原點O至被測定點B為止的偏離量Δx。
另外，實際上難以區分是位移感測器21B的位置在x軸方向偏離，還是位移感測器21B的姿勢從標準姿勢偏離。不管是哪個情況下，只要求出被測定點B從間隙原點O之偏離量Δx，並微調位移感測器21B的位置或姿勢以使該偏離量Δx落入容許範圍內即可。
在上述實施例及變形例中，微調了中央的位移感測器21B的位置及姿勢，但亦可以微調兩端的位移感測器21A及21C中的至少一方的位置或姿勢。亦即，在圖4A、圖4B中，可以藉由使被測定點A及C中的一方在x軸方向移動來進行微調以使被測定點B位於線段AC的中點。如此，只要藉由微調3個位移感測器21A、21B、21C中的至少一個位移感測器的位置或姿勢來調整3個位移感測器21A、21B、21C的相對位置關係即可。
將3個位移感測器21A、21B、21C的被測定點A、B、C沿x軸方向以節距p排列之狀態定義為規定相對位置關係。此時，可以說處理裝置30係計測3個位移感測器21A、21B、21C的被測定點A、B、C在x軸方向上之相對位置關係與規定相對位置關係之間的偏離量。
接著，參閱圖10及圖11對依另一實施例之真直度計測方法進行說明。以下，關於與圖1~圖9所示之實施例及變形例相同之構成，將省略說明。
圖10係表示依本實施例之真直度計測方法的程序之流程圖。從步驟S1至步驟S3為止的程序與從圖8所示之步驟S1至步驟S3為止的程序相同。藉由從步驟S1至步驟S3為止的程序求出偏離量Δx(圖4A、圖4B)。
若偏離量Δx被求出，則在基於三點法算出曲率時，考慮偏離量Δx而算出曲率(步驟S6)。然後，根據所算出之曲率的值求出真直度(步驟S7)。
接著，參閱圖11對考慮偏離量Δx而求出曲率之方法進行說明。 圖11係表示在本實施例中所使用之具備3個位移感測器21A、21B、21C之感測單元20及計測對象表面50之示意圖。中央的位移感測器21B在x軸方向偏離偏離量Δx。線段AC與線段B0 B的交點成為實際間隙原點O’。實際間隙原點O’從位於線段AC的中點之原始間隙原點O沿著線段AC而偏離。實際間隙原點O’與圖4B所示之校正基準面61上的被測定點B的位置一致。
藉由內分點公式，由以下式算出線段B0 O’的長度b’。
Figure 02_image011
對式(6)進行變形而得到以下式。
Figure 02_image013
由以下式算出曲率間隙g。
Figure 02_image015
在本實施例中，代替式(1)而使用式(8)來計算曲率間隙g。根據該曲率間隙g，能夠使用式(2)計算曲率。在式(8)中，相對於式(1)，新追加了右邊的第3項。該右邊的第3項相當於起因於位移感測器21B的偏離之修正項。
接著，對本實施例的優異之效果進行說明。 在本實施例中，根據位移感測器21B的位置或姿勢的偏離來修正曲率間隙g的計算值。藉此，能夠抑制起因於位移感測器21B的位置或姿勢的偏離之曲率的計算精度的下降。其結果，能夠更高精度地求出真直度。
上述各實施例僅為例示，當然亦可以進行在不同實施例中所示之構成的部分置換或組合。關於基於複數個實施例的相同構成之相同之作用效果，將不對每個實施例逐次提及。另外，本發明並不僅限於上述實施例。例如，可以進行各種變更、改良、組合等，這對於當業者而言是顯而易見的。
20:感測單元 21A,21B,21C:位移感測器 30:處理裝置 31:輸入輸出裝置 40:可動工作台 41:工作台導引機構 45:砂輪頭 46:砂輪 48:導軌 50:計測對象表面 60:校正基準器 61:校正基準面 65:傾斜機構 A,B,C:被測定點 A0 ,B0 ,C0 :零點 g:曲率間隙 O:原始間隙原點 O’:實際間隙原點
[圖1]係表示具備3個位移感測器之感測單元及計測對象表面之示意圖。 [圖2]係表示用以說明三點法之計測對象表面與感測單元的相對位置關係之圖。 [圖3A]係表示在進行感測單元的零點校正時之3個位移感測器與校正基準器的位置關係之圖，[圖3B]係表示在校正基準面繞z軸傾斜之狀態下之3個位移感測器與校正基準器的位置關係之圖。 [圖4A]係表示感測單元的零點校正完畢之狀態下之3個位移感測器與校正基準器的位置關係之圖，[圖4B]係表示在從圖4A所示之狀態變成校正基準面繞z軸傾斜之狀態下之3個位移感測器與校正基準器的位置關係之圖。 [圖5]係表示傾斜角Δθ與零點偏差Δh的關係的一例之散佈圖。 [圖6A]係搭載有依實施例之真直度計測系統之磨削裝置的立體圖，[圖6B]係在砂輪頭上安裝有感測單元之狀態下之感測單元的側視圖。 [圖7]係使校正基準器與感測單元相對向之狀態下之感測單元、校正基準器及傾斜機構的概略圖。 [圖8]係表示進行依實施例之真直度計測系統的位移感測器的校正之位移感測器校正方法的程序之流程圖。 [圖9]係表示在實施例的變形例中感測單元的零點校正完畢之狀態下之3個位移感測器與校正基準器的位置關係之圖。 [圖10]係表示依本實施例之真直度計測方法的程序之流程圖。 [圖11]係表示在實施例(圖10)中所使用之具備3個位移感測器之感測單元及計測對象表面之示意圖。
20:感測單元
21A:位移感測器
21B:位移感測器
21C:位移感測器
30:處理裝置
40:可動工作台
60:校正基準器
61:校正基準面
65:傾斜機構

Claims (7)

  1. 一種真直度計測系統，係具備： 感測單元，係包括3個位移感測器；及 校正基準器，係具有校正基準面， 在使前述校正基準面與前述3個位移感測器相對向時，前述3個位移感測器的被測定點在前述校正基準面的表面上沿第1方向排列配置，前述3個位移感測器係測定前述校正基準面的高度方向上之位移， 前述真直度計測系統係進一步具有： 傾斜機構，係在使前述校正基準面與前述3個位移感測器相對向時，使前述校正基準面和前述感測單元中的一方相對於另一方朝前述第1方向傾斜；及 處理裝置，係在相對於前述感測單元之前述校正基準面的傾斜角互不相同之複數種狀態下，取得前述3個位移感測器的測定值，根據前述傾斜角和前述3個位移感測器的每個前述傾斜角的測定值，計測前述3個位移感測器的被測定點在前述第1方向上之相對位置關係與規定相對位置關係的偏離量。
  2. 如請求項1所述之真直度計測系統，其中， 前述3個位移感測器的被測定點的規定相對位置關係，係前述3個位移感測器的被測定點在前述第1方向上以等節距排列之狀態。
  3. 如請求項1或請求項2所述之真直度計測系統，其中， 前述處理裝置，係對每個前述傾斜角求出兩端的位移感測器的測定值的平均值與中央的位移感測器的測定值之差，亦即求出零點偏差，並根據零點偏差的變化量與前述傾斜角的變化量之比來求出前述偏離量。
  4. 如請求項1或請求項2所述之真直度計測系統，其中， 前述處理裝置，係在使用前述感測單元並藉由三點法計測對象物的表面的真直度時，考慮前述偏離量而求出真直度。
  5. 一種位移感測器校正方法，係準備包括3個位移感測器之感測單元，前述感測單元係測定在校正基準面的表面上沿第1方向排列配置之被測定點的高度方向上之位移，將相對於前述感測單元之前述校正基準面在前述第1方向上之傾斜角設為不同，對每個前述傾斜角執行利用前述感測單元測定前述校正基準面的高度方向上之位移量之程序， 根據前述傾斜角和前述3個位移感測器的每個前述傾斜角的測定值，求出前述3個位移感測器的被測定點在前述第1方向上之相對位置關係與規定相對位置關係的偏離量。
  6. 如請求項5所述之位移感測器校正方法， 進一步根據前述偏離量修正前述3個位移感測器中的至少一個位移感測器的位置或姿勢，以使前述3個位移感測器的被測定點沿前述第1方向以等節距排列。
  7. 一種真直度計測方法，係準備包括3個位移感測器之感測單元，前述感測單元係測定在校正基準面的表面上沿第1方向排列配置之被測定點的高度方向上之位移，將相對於前述感測單元之前述校正基準面在前述第1方向上之傾斜角設為不同，對每個前述傾斜角執行利用前述感測單元測定前述校正基準面的高度方向上之位移量之程序， 根據前述傾斜角和前述3個位移感測器的每個前述傾斜角的測定值，求出前述3個位移感測器的被測定點在前述第1方向上之相對位置關係與規定相對位置關係的偏離量， 在使用前述感測單元並藉由三點法計測對象物的表面的真直度時，考慮前述偏離量而算出曲率。
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