TWI742453B - 氣體檢測裝置 - Google Patents

Abstract

本發明為有關一種氣體檢測裝置，主要結構包括一主體、至少一設於主體上之進氣連接部、至少一設於主體上之出氣連接部、至少一設於主體上並與進氣連接部相連通之進氣調整件、至少一設於主體上並與出氣連接部相連通之出氣調整件、至少一與進氣調整件及出氣調整件相連通的流量檢測組件、至少一設於主體上並與出氣調整件相連通之外部出氣部、至少一設於主體上並與進氣調整件相連通之外部進氣部、及至少一設於外部進氣部上之過濾元件。藉此，使用者可將主體放置於一氣體供應裝置上，藉此通過出氣連接部及進氣連接部連接於氣體供應裝置的抽氣部及供氣部上，以通過流量檢測組件分別檢測抽氣部或供氣部的氣體流量。

Description

氣體檢測裝置

本發明為提供一種氣體檢測裝置，尤指一種可分別針對進氣及抽氣之流量進行檢測的氣體檢測裝置。

按，在半導體的產業中，由於對晶圓片的要求相當精細，因此針對晶圓片的任何變化(如氧化)都需要詳細掌控，所以於正常情況下，在移動或保存晶圓片時，都會將晶圓片放置於晶圓載具內進行移動。

並且，倘若為了防止晶圓片在晶圓載具中產生氧化的狀況，都會將晶圓載具中的氣體抽出，並導入惰性氣體進入晶圓載具內部，藉此來降低晶圓片產生氧化的機會，但要做到此種功能，都必須要具有相對應的氣體供應機台進行配合。

而氣體供應機台於平時也需要利用檢測裝置進行檢測，否則若機台所導入或抽出氣體無法到達設定值的話，會影響晶圓載具內的穩定性，但一般的檢測裝置都只能同時進行供氣及抽氣的檢測，並不能單獨檢測供氣或抽氣的功能。

是以，要如何解決上述習用之問題與缺失，即為本發明之申請人與從事此行業之相關廠商所亟欲研究改善之方向所在者。

故，本發明之發明人有鑑於上述缺失，乃蒐集相關資料，經由多方評估及考量，並以從事於此行業累積之多年經驗，經由不斷試作及修改，始設計出此種能夠單獨檢測抽氣或供氣功能的氣體檢測裝置的發明專利者。

本發明之主要目的在於：通過出氣調整件及進氣調整件配合流量檢測組件，讓使用者能單獨檢測機台出氣或進氣的流量。

為達成上述目的，本發明之主要結構包括：一主體，主體上設有至少一進氣連接部、至少一出氣連接部、至少一與進氣連接部相連通的進氣調整件、至少一與出氣連接部相連通的出氣調整件、至少一與進氣調整件及出氣調整件相連通的流量檢測組件、至少一與出氣調整件相連通的外部出氣部、至少一與進氣調整件相連通的外部進氣部、及至少一設於外部進氣部側處的過濾元件。

藉由上述之結構，使用者可將主體放置於待檢測的機台上，並讓機台的抽氣部及供氣部分別連接於主體的出氣連接部及進氣連接部上，而當使用者要單獨檢測機台的供氣效果時，可先利用進氣調整件將進氣連接部與流量檢測組件調整至相連通，再利用出氣調整件將流量檢測組件與外部出氣部調整至相連通，如此即可讓氣體經由進氣連接部進入主體內，並通過進氣調整件流通至流量檢測組件中，藉此來檢測通過的氣體流量，之後再將氣體經過出氣調整件及外部出氣部處導出主體外，如此一來，當檢測機台的供氣效果時，流量檢測組件完全不會與機台的抽氣部相連通，因此不會受到抽氣部的干擾，能相當完整的檢測到供氣部所提供的氣體流量。

相對的，當要檢測抽氣部的抽氣量時，即可利用出氣調整件使出氣連接部與流量檢測組件相連通，同時利用進氣調整件使外部進氣部與流量檢測組件相連通，如此當抽氣部進行抽氣動作時，氣體會經由外部進氣部處進入，並通過流量檢測組件進行檢測流量的動作，再經由進氣連接部進入抽氣部內，藉此，即可在不會受到供氣部干擾的狀況下，完整的量測到抽氣部所能抽取的氣體流量。

如上述內容所述，使用者可針對供氣部或抽氣部單獨進行檢測動作而不會相互干擾，能夠分別量測到最為正確的流量數值，且因為外部進氣部上設有過濾元件來針對進入的氣體進行過濾的動作，可防止灰塵經由外部進氣 部進入主體內，以增加整體的整潔性。

藉由上述技術，可針對習用的檢測裝置無法單獨進行檢測的問題點加以突破，達到上述優點之實用進步性。

1、1a:主體

11、11a、11b:進氣連接部

12、12a、12b:出氣連接部

13、13b:外部進氣部

131:過濾元件

14、14b:外部出氣部

15:透光部

16a:供電元件

17a:定位元件

18a:止漏元件

2、2a、2b:流量檢測組件

21:檢測元件

22:顯示元件

3、3b:進氣調整件

31:第一進氣連通部

32:第二進氣連通部

33:第三進氣連通部

34:進氣連通控制件

4、4b:出氣調整件

41:第一出氣連通部

42:第二出氣連通部

43:第三出氣連通部

44:出氣連通控制件

5:氣體供應裝置

51:供氣部

52:抽氣部

第一圖 係為本發明較佳實施例之立體透視圖。

第二圖 係為本發明較佳實施例之另一角度立體圖。

第三圖 係為本發明較佳實施例之連接示意圖。

第四圖 係為本發明較佳實施例之結構方塊示意圖。

第五圖 係為本發明較佳實施例之放置示意圖。

第六圖 係為本發明較佳實施例之供氣量測示意圖。

第七圖 係為本發明較佳實施例之吸氣量測示意圖。

第八圖 係為本發明較佳實施例之顯示示意圖。

第九圖 係為本發明再一較佳實施例之立體透視圖。

第十圖 係為本發明再一較佳實施例之另一角度立體圖。

第十一圖 係為本發明又一較佳實施例之立體透視圖。

為達成上述目的及功效，本發明所採用之技術手段及構造，茲繪圖就本發明較佳實施例詳加說明其特徵與功能如下，俾利完全了解。

請參閱第一圖至第四圖所示，係為本發明較佳實施例之立體透視圖至結構方塊示意圖，由圖中可清楚看出本發明係包括：

一主體1，於本實施例中主體1以外殼作為舉例；

至少一設於主體1上的進氣連接部11；

至少一設於主體1上的出氣連接部12，而進氣連接部11及出氣連接部12皆為設於主體1上的連接頭；

至少一設於主體1上的流量檢測組件2，流量檢測組件2具有一分別連接下述之進氣調整件3、及出氣調整件4的檢測元件21、及一連接檢測元件21的顯示元件22，且本實施例之檢測元件21以電子式流量檢測器 作為舉例；

至少一設於主體1上的外部進氣部13；

至少一設於主體1上的外部出氣部14，於本實施例中外部出氣部14及外部進氣部13以設於主體1上的穿孔作為舉例；

至少一設於主體1上的進氣調整件3，且進氣調整件3係為三通閥，並具有一與進氣連接部11相連接的第一進氣連通部31、一與流量檢測組件2相連接的第二進氣連通部32、一與外部進氣部13相連接的第三進氣連通部33、及一進氣連通控制件34，可讓使用者通過進氣連通控制件34控制第一進氣連通部31、第二進氣連通部32、及第三進氣連通部33之相互連通效果；

至少一設於主體1上的出氣調整件4，且出氣調整件4亦為三通閥，並具有一與出氣連接部12相連接的第一出氣連通部41、一與流量檢測組件2相連接的第二出氣連通部42、一與外部出氣部14相連接的第三出氣連通部43、及一出氣連通控制件44，可讓使用者通過出氣連通控制件44控制第一出氣連通部41、第二出氣連通部42、及第三出氣連通部43之相互連通效果；

一設於主體1上之透光部15，於本實施例中透光部15係為設於流量檢測組件2側處的玻璃，可讓使用者直接經由透光部15觀察到流量檢測組件2的數值；及

至少一設於外部進氣部13上的過濾元件131。

藉由上述之說明，已可了解本技術之結構，而依據這個結構之對應配合，即可單獨針對抽氣或供氣的效果進行檢測的動作，而詳細之解說將於下述說明。

請同時配合參閱第一圖至第八圖所示，係為本發明較佳實施例之立體透視圖至顯示示意圖，藉由上述構件組構時，由圖中可清楚看出，於一般配合晶圓載具的氣體供應裝置5中，會具有至少一可供給氣體的供氣部51、及至少一可吸入氣體的抽氣部52，藉此通過供氣部51及抽氣部52來將晶圓載具內的氣體抽出並補入惰性氣體，而當使用者需要量測氣體供應裝置5時，可將主體1放置於氣體供應裝置5上，並將進氣連接部11對準並連接於供氣部51上，以及將出氣連接部12連接於抽氣部52上。

當使用者要單獨檢測供氣部51的氣體流量時，可先轉動進氣調整件3中的進氣連通控制件34，以讓第一進氣連通部31與第二進氣連通部32相連通，藉此讓進氣連接部11通過第一進氣連通部31及第二進氣連通部32與流量檢測組件2相連通。再轉動出氣調整件4中的出氣連通控制件44，以讓第三出氣連通部43與第二出氣連通部42相連通，藉此讓外部出氣部14通過第三出氣連通部43與第二出氣連通部42與流量檢測組件2相連通，上述之連通調整方式係為習用三通閥之相關技術內容，故不再贅述。

此時，使用者可控制氣體供應裝置5中的供氣部51，將氣體由進氣連接部11導入主體1內，並通過第一進氣連通部31及第二進氣連通部32將氣體導至流量檢測組件2內，即可通過流量檢測組件2量測出氣體的流量，而使用者能於透光部15處觀察到流量檢測組件2所顯示出的數值，以得知是否與氣體供應裝置5所設定輸出之數值相等，藉此來進行檢測的動作，而氣體通過流量檢測組件2後，會經由第二出氣連通部42及第三出氣連通部43導至外部出氣部14處，以直接導出主體1外，如此當使用者在量測供氣部51的流量時，並不會讓流量檢測組件2與抽氣部52相連通，因此不會被抽氣部52產生的抽氣效果影響，能夠更加完整的量測到供氣部51所提供的氣體流量。

然而，當使用者要量測抽氣部52的氣體流量時，則需轉動進氣連通控制件34，以讓第三進氣連通部33與第二進氣連通部32相連通，藉此讓外部進氣部13通過第三進氣連通部33及第二進氣連通部32與流量檢測組件2相連通。同時轉動出氣連通控制件44，以讓第一出氣連通部41與第二出氣連通部42相連通，藉此讓出氣連接部12通過第一出氣連通部41與第二出氣連通部42與流量檢測組件2相連通，而上述之連通調整方式亦為習用三通閥之相關技術內容，故不再贅述。

使用者即可控制氣體供應裝置5中的抽氣部52，以進行抽氣的動作，而此時因為外部進氣部13會通過第三進氣連通部33、第二進氣連通部32、流量檢測組件2、第一出氣連通部41、及第二出氣連通部42與出氣連接部12相連通，因此氣體會由外部進氣部13處被抽入主體1內，並經由第三進氣連通部33與第二進氣連通部32進入流量檢測組件2中，藉此量測出氣體的流量，即可配合氣體供應裝置5所設定輸出之數值來進行檢測的動 作，最後再將氣體經由第一出氣連通部41與第二出氣連通部42進入抽氣部52中，且由於氣體是由外部進行抽取的動作，因此當氣體通過外部進氣部13時，會經由過濾元件131進行過濾的動作，以防止灰塵或髒污通過外部進氣部13進入主體1內或氣體供應裝置5內，進而造成損毀或是量測誤差的狀況，由於量測抽氣部52的流量時，流量檢測組件2亦不會與供氣部51相連通，故也能更加完整的檢測到抽氣部52的流量數值。

如此可通過上述之作動，讓使用者能單獨量測抽氣部52或供氣部51所能產生之氣體流量，並且由於一般的氣體供應裝置5都會於左右兩側皆設置有抽氣部52及供氣部51，因此本實施例之進氣連接部11、出氣連接部12、進氣調整件3、出氣調整件4、流量檢測組件2、外部出氣部14、外部進氣部13、及過濾元件131數量皆為二，並對應氣體供應裝置5分為左右兩組，可讓使用者自行選擇要針對左側進行檢測或右側進行檢測，藉此來增加使用上的方便性。

再請同時配合參閱第九圖及第十圖所示，係為本發明再一較佳實施例之立體透視圖及另一角度立體圖，由圖中可清楚看出，本實施例與上述實施例為大同小異，於本實施例中，主體1a內設有一供電元件16a，以供給流量檢測組件2a電源。

並且主體1a上設有複數的定位元件17a，本實施例之定位元件17a為設於主體1a上的凹孔，能對應卡合於對氣體供應裝置上，藉此達到防呆的效果，並且進氣連接部11a及出氣連接部12a上皆設有止漏元件18a，能加強連接止漏的效果。

再請同時配合參閱第十一圖所示，係為本發明又一較佳實施例之立體透視圖，由圖中可清楚看出，本實施例與上述實施例為大同小異，僅將進氣連接部11b、出氣連接部12b、進氣調整件3b、出氣調整件4b、流量檢測組件2b、外部出氣部14b、及外部進氣部13b的數量設為一個，藉此表示其數量並不設限。

惟，以上所述僅為本發明之較佳實施例而已，非因此即侷限本發明之專利範圍，故舉凡運用本發明說明書及圖式內容所為之簡易修飾及等效結構變化，均應同理包含於本發明之專利範圍內，合予陳明。

是以，本發明之氣體檢測裝置可改善習用之技術關鍵在於：

第一，通過進氣調整件3配合出氣調整件4，藉此來達到能單獨量測氣體供應裝置5的供氣部51及抽氣部52之效果。

第二，經由過濾元件131防止灰塵或髒污進入主體1或氣體供應裝置5內，以增加量測的準確度並降低損壞的機率。

綜上所述，本發明之氣體檢測裝置於使用時，為確實能達到其功效及目的，故本發明誠為一實用性優異之發明，為符合發明專利之申請要件，爰依法提出申請，盼 審委早日賜准本發明，以保障發明人之辛苦發明，倘若 鈞局審委有任何稽疑，請不吝來函指示，發明人定當竭力配合，實感德便。

1‧‧‧主體

11‧‧‧進氣連接部

12‧‧‧出氣連接部

13‧‧‧外部進氣部

14‧‧‧外部出氣部

15‧‧‧透光部

2‧‧‧流量檢測組件

21‧‧‧檢測元件

22‧‧‧顯示元件

3‧‧‧進氣調整件

4‧‧‧出氣調整件

Claims (10)

1. 一種氣體檢測裝置，其主要包含：

   一主體；

   至少一進氣連接部，該進氣連接部設於該主體上；

   至少一出氣連接部，該出氣連接部設於該主體上，並位於該進氣連接部之側處；

   至少一進氣調整件，該進氣調整件設於該主體上，並與該進氣連接部相連通；

   至少一出氣調整件，該出氣調整件設於該主體上，並與該出氣連接部相連通；

   至少一流量檢測組件，該流量檢測組件設於該主體上，並分別與該進氣調整件及該出氣調整件相連通；

   至少一外部出氣部，該外部出氣部設於該主體上，並與該出氣調整件相連通；

   至少一外部進氣部，該外部進氣部設於該主體上，並與該進氣調整件相連通；及

   至少一過濾元件，該過濾元件設於該外部進氣部處，以過濾通過該外部進氣部之氣體。
2. 如申請專利範圍第1項所述之氣體檢測裝置，其中該主體係供放置於一氣體供應裝置上，且該氣體供應裝置上具有至少一係供連接該進氣連接部之供氣部、及至少一係供連接該出氣連接部之抽氣部。
3. 如申請專利範圍第1項所述之氣體檢測裝置，其中該主體內設有一供電元件，且該供電元件係電性連接該流量檢測組件。
4. 如申請專利範圍第1項所述之氣體檢測裝置，其中該主體上設有至少一定位元件。
5. 如申請專利範圍第1項所述之氣體檢測裝置，其中該主體上設有複數的止漏元件，且該些止漏元件分別設於該進氣連接部及該出氣連接部之一側處。
6. 如申請專利範圍第1項所述之氣體檢測裝置，其中該流量檢測組件係為電子式流量檢測器。
7. 如申請專利範圍第1項所述之氣體檢測裝置，其中該流量檢測組件具有一分 別連接該進氣調整件、及該出氣調整件之檢測元件、及一連接該檢測元件之顯示元件。
8. 如申請專利範圍第1項所述之氣體檢測裝置，其中該進氣調整件具有一連接該進氣連接部之第一進氣連通部、一連接該流量檢測組件之第二進氣連通部、一連接該外部進氣部之第三進氣連通部、及一進氣連通控制件，且該進氣連通控制件係供控制該第一進氣連通部、該第二進氣連通部、及該第三進氣連通部之相互連通效果。
9. 如申請專利範圍第1項所述之氣體檢測裝置，其中該出氣調整件具有一連接該出氣連接部之第一出氣連通部、一連接該流量檢測組件之第二出氣連通部、一連接該外部出氣部之第三出氣連通部、及一出氣連通控制件，且該出氣連通控制件係供控制該第一出氣連通部、該第二出氣連通部、及該第三出氣連通部之相互連通效果。
10. 如申請專利範圍第1項所述之氣體檢測裝置，其中該主體上設有一透光部。

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