TWI740269B - 隨需加熱器及溫度控制系統及相關方法 - Google Patents

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Abstract

一種隨需加熱器包含彼此串聯安置於一加熱器流體入口與一加熱器流體出口之間的複數個加熱器組。當來自一加熱器組之一經感測排出流體溫度不同於指派給該加熱器組之部分流體溫度升高時，調整至該等加熱器組之一或多者之電力，使得以一受控制方式在該加熱器流體出口處實現總的所要流體溫度升高。

Description

隨需加熱器及溫度控制系統及相關方法
本發明係關於隨需流體加熱器。更特定言之，本發明係關於一種具有一改良之控制系統之隨需加熱器及以一受控制方式瞬時加熱流體之方法。
隨需加熱器(亦被稱為無槽式、流通式或瞬時熱水器)係眾所周知的。此等加熱器並不利用其中儲存先前加熱之水之一槽。代替性地，當對流體有需求時，諸如在流體回應於對經加熱流體之需求而開始流動通過加熱器時，諸如在開啟水龍頭或類似者時，加熱水或其他流體。
此等類型之加熱器之一關鍵問題在於，為使隨需加熱器達到其等所要使用者溫度要求，系統功率必須為高，此係因為流體在加熱器中之停留時間短。高功率系統因其等無法防止由於潛熱及對流量及壓力變化之緩慢回應而導致之在變化流速或無流量條件下之溫度過衝而成為問題。
在高純度方法中，隨需或流通式加熱器優於習知熱水器，此係因為其等剔除大型儲存槽(storage tank或holding tank)。當加熱高純度流體(諸如去離子水)時，此尤其重要，此係因為必須藉由剔除細菌生長、金屬濕潤零件及微粒污染來維持水之純度。在一大型儲存槽中，將存在水流停滯或緩慢且細菌可生長之區域。
先前技術隨需高純度流體或去離子水加熱器依靠一輸出溫度感測器以對加熱元件進行電力調整。然而，一旦輸出之溫度不符合規格，便為時已晚，此係因為將向使用者之方法設備饋送不符合規格的溫度之流體，取決於使用高純度流體之製程(諸如在製造半導體及類似者時)，此可能會成為問題。
因此，持續需要一改良之隨需熱水器，其能夠視需要調整在該加熱器之流體入口與流體出口之間的經加熱流體之溫度，使得在一致及可靠基礎上達成流體之所要最終溫度。本發明滿足此等需求，且提供其他相關優點。
本發明係關於一種具有一改良之控制系統之隨需加熱器及用於在流體通過該加熱器時即時加熱流體並調整流體之溫度之方法。
隨需加熱器通常包括一加熱器流體入口及一加熱器流體出口。複數個加熱器組係彼此流體連通且串聯安置於該加熱器流體入口與該加熱器流體出口之間。溫度感測器感測來自各加熱器組之一排出流體之一溫度。一控制器係與該等溫度感測器電子通信。該控制器經組態以基於各加熱器組之該經感測排出流體溫度與指派給各加熱器組之一部分流體溫度升高之一比較而獨立地調整輸送至該等加熱器組之各者之一電力以調整藉由各加熱器組加熱該流體之一位準。因此，可控制地實現自該加熱器流體入口至該加熱器流體出口之一總流體溫度升高。
加熱器包含用於手動輸入加熱器流體出口處之所要流體溫度之一使用者介面。控制器可包括用於各加熱器組之一專用溫度控制器。控制器經組態以基於一經判定之加熱器流體入口流體溫度及所要最終流體溫度而計算總流體溫度升高。控制器經組態以基於該總流體溫度升高及加熱器組之數目而計算一部分流體溫度升高並指派給各加熱器組。加熱器亦可包含耦合至控制器之一流體流量或壓力感測器。
流體可包括超純水。加熱器之流體接觸表面包括一或多種無污染材料。
根據本發明之方法，判定通過加熱器之一總流體溫度升高。判定進入加熱器之流體之一溫度。藉由比較進入加熱器之流體之該溫度與加熱器流體出口處之流體之一所要最終溫度而判定該總流體溫度升高。此可進一步包括判定通過加熱器之一流體流速之步驟。
為各加熱器組指派一部分流體溫度升高。此可藉由將總流體溫度升高除以複數個加熱器組之數目來進行。
感測各加熱器組處之一排出流體溫度。調整至具有不同於指派給一加熱器組之部分流體溫度升高之一經感測排出流體溫度之該加熱器組之電力。此可藉由在該經感測排出流體溫度小於指派給加熱器組之部分流體溫度升高時增加至加熱器組之電力。此可替代性地藉由在該經感測排出流體溫度超過指派給一加熱器組之部分流體溫度升高時減少至該加熱器組之電力。控制器獨立地調整至一或多個加熱器組之電力。以此方式，在加熱器流體出口處實現總流體溫度升高。除了調整至具有不同於指派給加熱器組之部分流體溫度升高之一經感測排出流體溫度之該加熱器組之電力之外或代替此，控制器可調整至具有不同於指派給加熱器組之部分流體溫度升高之一經感測排出流體溫度之該加熱器組的下游之一或多個加熱器組之電力。
將自結合隨附圖式獲取之以下更詳細描述明白本發明之其他特徵及優點，該等隨附圖式藉由實例繪示本發明之原理。
優先權主張 本申請案主張於2018年11月13日針對「On-Demand Heater and Temperature Control System and Related Process」申請之美國專利申請案第16/189,250號之申請日期之權利。
如隨附圖式中所展示，出於圖解說明目的，本發明在於通常藉由元件符號10指代之一隨需流體加熱器。更特定言之，如本文中將更充分描述，本發明係關於一隨需流體加熱器10，其具有用於對加熱器10內之複數個加熱元件之各者進行更所要之電力調節之一改良之控制系統。
更特定言之，本發明係關於一隨需流體加熱器10，其中預期流體將以一起始溫度(諸如環境溫度)進入該加熱器，且以一所要溫度排出該加熱器，而無需使用中介儲存槽用於經加熱流體。本發明之加熱器10併入有一改良之控制系統，該改良之控制系統用於經串聯鋪設管路以用於瞬時加熱流體且更特定言之流動通過加熱器10之流體之多個電加熱器組，此加熱可在各加熱器組處即時獨立地調整。因而，一特殊需求回應電路及控制器自動地控制輸送至加熱器10之各自加熱器組之加熱元件之電力。
現參考圖1至圖3，展示體現本發明之一加熱器10。加熱器10之各種組件係容置於一圍封件12內。一使用者介面14 (諸如一觸控螢幕或鍵台或類似者)安裝於圍封外殼12上以易於使用者接取。使用者介面14使一使用者能夠手動輸入排出加熱器10之流體之所要溫度(此在本文中可被稱為設定點溫度(SP))，由該使用者輸入之該值被提供至加熱器10之一控制器。使用者介面14亦可由使用者用於確認一適當速率之流體正流動通過加熱器10且確認加熱器正在正確地操作，且視需要提供任何錯誤。
亦可在外殼12之外部處提供按鈕16 (諸如可藉由一LED或類似者照明之按鈕)以供使用者接取。此等按鈕可(例如)用於開啟加熱器10或開始加熱器10之操作或傳訊(諸如藉由使用一綠燈或類似者)加熱器10在操作模式中且無錯誤。可提供其他按鈕，諸如可用一紅色LED照明以用於指示加熱器10在一備用模式中以暫時停止加熱器10之操作之一按鈕或類似者。將瞭解，按鈕16之照明係為方便使用者且可不照明按鈕或開關。加熱器10亦可包含一緊急斷電(EMO)開關或按鈕18，若有需要該緊急斷電(EMO)開關或按鈕18可用於在緊急情況中中斷加熱器10之電力供應且完全使加熱器10斷電。
圍封外殼12容納電面板、一控制器及加熱器組(或模組) 26及所有必要管路組件。電面板(未展示)係用一風扇及排氣孔20保持冷卻。一門聯鎖感測器22可被併入至加熱器10中以偵測提供對圍封件12內之組件之接取之一圍封門何時敞開且對加熱器10之一控制器提供其狀況之資訊以提供安全操作。至加熱器系統10之傳入電力可透過延伸通過圍封外殼12之一電導管配件24引入。
特別參考圖2，加熱器10包含一流體入口28及一流體出口30。出於圖解說明目的，圖2並不包含加熱器組26，但將理解，加熱器組安置於流體入口28與流體出口30之間。加熱器10可包含諸如鄰近於流體入口28之用於維持通過加熱器10之一大體恆定流體流量及壓力之一壓力調節器32。亦可包含通常靠近流體入口28之一壓力傳感器34、儀錶防護件36及一熱電偶總成38。此等組件可用於監測及調節通過加熱器10之流量及壓力以及判定一傳入流體溫度。一電容性液位感測器40及一流量感測器42亦可用於此等目的且用於提供此資訊至加熱器10之一控制器。流量感測器42可呈一槳輪或類似者之形式。
現參考圖1及圖3，如上文所提及，複數個加熱器組26串聯安置於加熱器流體入口28與加熱器流體出口30之間。如圖3中所繪示，各加熱器組26可包含一或多個加熱器模組44。流體通過入口28進入且通過管道46以一循序、串聯方式至各加熱器組26，以及各加熱器模組44直至流體通過加熱器出口30排出。因此，在流體通過加熱器組26之複數個模組44時以逐步方式加熱流體。因而，待加熱之流體將通過入口28進入且通過一第一加熱器組26及該第一加熱器組26之一初始或第一加熱器模組44，且接著循序通過該第一加熱器組26之各加熱器模組，且接著以循序方式通過剩餘加熱器組26直至自最終或最後加熱器組26之最終輸出加熱器模組44排出至出口30。儘管展示各具有三個加熱器模組44之總共三個加熱器組26，但將瞭解，加熱器組及加熱器模組之數目可視需要調整。
隨需加熱器10 (其亦可被稱為無槽式、流通式瞬時熱水器)在加熱器模組44或加熱器組26內採用一或多個腔室，該一或多個腔室之體積容量相對較低且通常經設定大小為僅略大於內部加熱元件之尺寸。各腔室之小蓄水量有助於使加熱系統能夠幾乎瞬時將流動通過其之流體加熱至一所要溫度。此外，腔室內之浸漬加熱元件經組態以用於將電能自加熱元件快速傳遞至流體。
本發明之加熱器系統10特別適用於具有改良之溫度控制之一隨需超純水(UPW)系統。超純水係已經純化或處理至非常高的嚴格規格之水。超純水被處理至最高純度且廣泛用於製造半導體及類似者。一半導體製造公司在用於浸漬光微影之光學系統中在施加化學品之後使用UPW來沖洗晶圓以稀釋化學品本身，或在一些關鍵應用中使用UPW作為冷卻流體之補充劑。因為UPW或去離子水或其他高純度流體直接與晶圓接觸，所以必須移除所有雜質以剔除損壞。
在高純度方法應用中，隨需或流通式加熱器優於習知熱水器，此係因為其等剔除大型儲存槽(storage tank或holding tank)。當加熱高純度去離子水或類似者時，此尤其重要，此係因為必須藉由剔除細菌生長、金屬濕潤零件及微粒污染來維持水之純度。在一大型儲存槽中，將存在水或其他流體流動停滯或緩慢之區域。
本發明之加熱器10藉由對各加熱器組26及加熱器模組44串聯鋪設管路而剔除細菌生長之可能性，使得各加熱器組26及加熱器模組44具有相同高流速。此外，以在流體流動通過各腔室時增加流體紊流之一方式設計加熱器腔室，從而在管路時剔除其中經純化流體將停止流動且保持停滯之任何「盲管段(dead-leg)」。
本發明可藉由產生具有全部由氟塑料材料(諸如聚偏二氟乙烯(PVDF)及/或全氟烷氧基聚合物(PFA))製成之一入口及一出口之一加熱器外殼來剔除金屬濕潤零件。該加熱器外殼可容納夾套在PFA中之一加熱元件。加熱器感測器亦可嵌入於PFA材料中。本發明之加熱器可包含以具有所有PDVF或PFA濕潤表面之一方式製造之多個加熱器模組44。較佳地，不存在金屬濕潤表面，從而避免去離子水或純化水或其他純化流體之污染。如上文所提及，加熱器模組44經設計以在流體流動通過其時促成更大流體紊流，從而剔除盲管段。因此，維持通過加熱器10之流體之純度。
現參考圖4，一圖解視圖繪示在流體流動通過本發明之加熱器10時流體之路徑。類似於圖3，加熱器10係繪示為具有各容納藉由HTR1至HTR9識別之三個加熱器模組44之三個加熱器組26。加熱器組26及加熱器模組44之實際數目可改變。然而，加熱器組及/或模組係串聯鋪設管路，使得各加熱器模組44或組26將具有流動通過其之最大流體流速，使得剔除水停滯之所有區域。流體(諸如去離子水或其他超純水)通過流體入口28進入加熱器或系統中且接著流動通過一壓力調節器(PR) 32，該壓力調節器32以即使流體供應源在高壓下進入亦維持安全內部壓力之一方式限制進入系統中之最大可容許流體壓力。流體接著流動通過對控制器提供傳入流體溫度及壓力之入口熱電偶(T50) 38及壓力傳感器(PT) 34。較佳地，感測器34及38兩者皆與超純水流體分離。入口熱電偶38可囊封於PFA材料中。壓力傳感器34可包含具有一PFA隔板之一儀錶防護件。流體接著流動通過量測流體之流速且提供該資訊至控制器之一流量感測器(FS) 42。
在圖4中所繪示之例示性加熱器中，隨需加熱器具有三個加熱器組，其中第一加熱器組包含加熱器模組HTR1至HTR3，第二加熱器組具有加熱器模組HTR4至HTR6，且第三加熱器組具有模組HTR7至HTR9。呈熱電偶(T51至T53)之形式之一溫度感測器51至53係鄰近各加熱器組26之流體輸出或各加熱器組之最終或輸出模組。熱電偶獲取已排出加熱器組之流體溫度之一讀數。因此舉例而言，溫度感測器T51量測排出第一加熱器組之流體溫度，溫度感測器T52量測排出第二加熱器組之溫度，且溫度感測器T53量測排出第三及最終加熱器組之溫度。來自此等溫度感測器或熱電偶之溫度讀數之各者係傳輸至一控制器。流體可在自加熱器輸出之前通過一感測器48 (諸如一電容性液位感測器(LS))以確保存在通過加熱器之一適當流體流量。
各加熱器模組(HTR1至HTR9) 44可具有一熱切斷裝置(TF1至TF9)及與其相關聯之一加熱元件過熱感測器(HL1至HL9)。若加熱器模組中之流體達到一預定不安全溫度，則該熱切斷裝置將斷開一電路。加熱元件過熱感測器量測加熱元件之溫度且提供量測值至控制器。
現參考圖5，一圖式展示流體流動路徑及系統感測器與加熱器模組之間的介面及其等與一控制器50之介面。流體(諸如超純去離子水)流動通過隨需加熱器10，其中流體達到所要溫度且接著在隨需加熱器系統上輸出且在通過加熱器流體出口之後流動至方法設備。流體進入系統且藉由包含壓力傳感器(PT)、流量感測器(FS)及溫度感測器(Tin)之各自感測器連續獲取壓力、流速及傳入流體溫度讀數。來自此等讀數之資訊被發送至控制器50。流體接著行進通過串聯之各加熱器模組及加熱器組，其中自一個模組傳出之全部流體流量被供應至下一後續模組及加熱器組。以此方式，各加熱器模組及加熱器組將具有系統之全流速及最高流速，以及剔除可引起停滯流體之管路區域，因此最小化細菌生長或微粒截留之可能性。一溫度感測器51至53 (T1至T3)係放置於各加熱器組之流體輸出處以量測在此等對應區域處之流體之溫度。此等溫度讀數被提供至控制器50。以此方式，控制器50能夠分析並評估加熱器組之進展以便達到一使用者之所要溫度設定點(SP)或排出加熱器之最終流體溫度。控制器50具有獨立輸出信號以獨立地控制各加熱器組之電力，使得各加熱器組在流體流動通過加熱器時視需要貢獻一不同電力以加熱流體。控制器50發送信號至加熱器組固態繼電器(SSR)，該等加熱器組固態繼電器(SSR)接著控制各加熱器組之電力輸出。
各加熱器模組44 (HTR)包含亦被稱為一熱熔絲之一熱切斷裝置(TCO)，若該模組中之流體達到一預定不安全狀況，則該熱切斷裝置將發送一信號至控制器50。各加熱器模組亦包含一過熱加熱感測器(HL)，該過熱加熱感測器量測加熱元件之溫度且將資訊發送至控制器50，若偵測到一或多個加熱元件之不安全溫度，則該控制器50將關閉安全繼電器57，因此中斷來自電源55之電力。若偵測到高壓、低流體流量或低液位，則控制器50亦將關閉安全繼電器57。傳入電源55對隨需加熱器提供用於操作之電壓，且安全繼電器57較佳地靠近至系統之傳入電力放置，使得在偵測到一不安全狀況時，控制器50將安全地關閉至系統的電力。
先前技術隨需熱水器依靠輸出溫度感測器以對加熱器進行電力調整。然而，一旦輸出處之溫度不符合規格，便為時已晚，此係因為將向使用者之方法設備饋送不符合規格的溫度之水。然而，在本發明中，在超純、去離子水或其他流體流經系統時感測其溫度。控制器50基於使用者最終溫度設定點、流速及傳入流體溫度對在各加熱器組26之後之各點應達到什麼溫度進行計算。本發明在流體自各加熱器組26傳出時評估流體溫度進展以判定溫度是否在應有之溫度，且若不是，則對一個別加熱器組進行調整。例如，當來自一加熱器組之經感測排出流體溫度小於指派給該加熱器組之部分流體溫度升高時，可增加至該加熱器組之電力。相反地，當來自加熱器組之經感測排出流體溫度超過指派給該加熱器組之部分流體溫度升高時，可降低或減少至該加熱器組之電力。此外或替代性地，當來自一上游加熱器組之經感測排出流體溫度小於指派給該上游加熱器組之一部分流體溫度升高時，可增加至一或多個下游加熱器組之電力；且相反地，當經感測排出流體溫度超過指派給該上游加熱器組之一部分流體溫度升高時，可減少至一或多個下游加熱器組之電力。以此方式，加熱器系統之回應更快且更準確且獲得一致流體溫度。
現參考圖6，提供控制系統及其操作之一圖式。控制系統具有容許使用者能夠輸入其等所要最終水溫(亦被稱為設定點溫度(SP))之一使用者介面14 (諸如一觸控螢幕或按鈕或類似者)。此係由使用者手動輸入且值被提供至控制器50。控制器50藉由自SP減去輸入溫度感測器(Tin) 38讀數之值來判定加熱器必須提供之總流體溫度升高(亦被稱為所需增量溫度)。此值係隨需加熱器在流體流動通過加熱器時需要將流體帶至之度數，以便滿足使用者之要求。
控制器50亦具有判定指派給各加熱器組之一部分流體溫度升高或增量T之構件。控制器50具有一除法器，該除法器將通過加熱器之所需增量溫度或總流體溫度升高除以加熱器系統中之加熱器組之數目。此導致指派給各加熱器組之每加熱器組之一增量T (在本文中亦被稱為一部分流體溫度升高)。此值被傳輸至將調節至其各自加熱器組之電力之各分離且獨立的組溫度控制件。當例示闡釋性加熱器包括三個加熱器組時，在圖6中繪示三個組溫度控制件54，但該數目將取決於加熱器組之數目而改變，此係因為在一特別較佳實施例中，各加熱器組具有與其相關聯之一獨立組溫度控制件。各組溫度控制件54比較所提供之增量T/組或部分流體溫度升高目標與藉由溫度感測器51至53提供之在加熱器組之輸出處之流體之溫度讀數。各組溫度控制件54調節各個各自加熱器組處之流體之溫度，且因此能夠對流量、壓力之變化及在來自一加熱器組之經感測排出流體溫度不同於指派給該加熱器組之部分流體溫度升高或指派給該加熱器組之增量T時更快作出較佳回應。與先前技術形成對比，組溫度控制件54對各加熱器組處之即時、局部狀況作出回應，且不被延遲直至流體在系統輸出處。
先前技術隨需熱水器依靠輸出溫度感測器以對加熱器進行電力調整。一旦輸出處之溫度不符合規格，便為時已晚，此係因為使用者之方法設備將接收不符合規格的溫度之流體。本發明提供在流體流經系統時用於感測流體之溫度之構件，其中控制器基於如藉由使用者設定點或最終流體溫度與傳入流體之溫度之間的差判定之通過加熱器之總流體溫度升高，以及通過加熱器之流體流速，對各點應達到什麼溫度進行計算。本發明在流體自各加熱器組26傳出時評估流體溫度進展以判定溫度是否在應有之溫度，且若不是，則對個別加熱器組進行調整。以此方式，加熱器系統之回應更快且更準確且獲得排出加熱器之一致流體溫度。
各加熱器組26具有可操作地耦合至其之一獨立組溫度控制器54，該獨立組溫度控制器54比較加熱器組流體輸出溫度讀數與指派給該加熱器組之預期增量T/組溫度或部分溫度升高。若溫度低於預期溫度，則組溫度控制件54將調整其至加熱器組輸出之信號，該信號傳訊SSR控制加熱器組。因此，藉由增加或減少提供至各加熱器組之電力之溫度調整係幾乎即時調整。
如上文所提及，安全感測器(包含一液位感測器、流速感測器、壓力傳感器、加熱器熱切斷裝置(TC01至TC09)及加熱元件上之過熱感測器(HL1至HL9))將其等讀數發送至一安全控制件56，若偵測到一不安全狀況，則該安全控制件56將傳訊安全繼電器57關閉加熱器電力。
儘管出於圖解說明目的已詳細描述若干項實施例，但可在不脫離本發明之精神及範疇之情況下進行各種修改。因此，本發明不受限制，惟受隨附發明申請專利範圍限制除外。
10:隨需流體加熱器/加熱器/加熱器系統/隨需加熱器 12:圍封件/圍封外殼/外殼 14:使用者介面 16:按鈕 18:緊急斷電(EMO)開關或按鈕 20:排氣孔 22:門聯鎖感測器 24:電導管配件 26:加熱器組 28:流體入口/加熱器流體入口/入口 30:流體出口/加熱器流體出口/加熱器出口/出口 32:壓力調節器 34:壓力傳感器/感測器 36:儀錶防護件 38:熱電偶總成/入口熱電偶/感測器/輸入溫度感測器 40:電容性液位感測器 42:流量感測器 44:加熱器模組/模組 46:管道 48:感測器 50:控制器 51:溫度感測器 52:溫度感測器 53:溫度感測器 54:組溫度控制件/組溫度控制器 55:電源/傳入電源 56:安全控制件 57:安全繼電器
隨附圖式繪示本發明。在此等圖式中： 圖1係體現本發明之一加熱器之一部分剖面前視圖； 圖2係圖1之加熱器之一部分剖面側視圖； 圖3係沿著圖1之線3-3獲取之加熱器的一截面視圖，其繪示根據本發明之複數個串聯連接之加熱器組； 圖4係流動通過本發明之加熱器之各種組件之流體的一圖解視圖； 圖5係本發明之包含一控制系統之加熱器之各種組件的一圖解視圖；及 圖6係根據本發明使用之一控制器及控制系統的一圖解視圖。
10:隨需流體加熱器/加熱器/加熱器系統/隨需加熱器
12:圍封件/圍封外殼/外殼
14:使用者介面
16:按鈕
18:緊急斷電(EMO)開關或按鈕
22:門聯鎖感測器
24:電導管配件
26:加熱器組
40:電容性液位感測器
46:管道

Claims (18)

  1. 一種用於隨需加熱流體之方法，其包括以下步驟：提供具有串聯安置於一加熱器流體入口與一加熱器流體出口之間的複數個加熱器組之一加熱器；判定通過該加熱器之一總流體溫度升高；為該複數個加熱器組之各加熱器組指派一部分流體溫度升高；感測該複數個加熱器組之各加熱器組處之一排出流體溫度；及調整至該複數個加熱器組之至少二加熱器組之電力，該至少二加熱器組包括：至少一上游加熱器組，其具有一經感測排出流體溫度，其不同於指派給該至少一上游加熱器組之該部分流體溫度升高；及至少一下游加熱器組，其位於該至少一上游加熱器組之下游，其中調整至該至少一下游加熱器組之電力係基於從該至少一上游加熱器組之該經感測排出流體溫度與指派給該至少一上游加熱器組之該部分流體溫度升高的一比較；藉此在該加熱器流體出口處實現該總流體溫度升高。
  2. 如請求項1之方法，進一步包括判定進入該加熱器之該流體之一溫度之步驟。
  3. 如請求項2之方法，其中通過該加熱器判定一總流體溫度升高包括比較進入該加熱器之該流體之該溫度與在該加熱器流體出口處之該流體之一 所要最終溫度。
  4. 如請求項3之方法，其中通過該加熱器判定一總流體溫度升高包括通過該加熱器之一流體流速之一判定。
  5. 如請求項1之方法，其中調整至該複數個加熱器組之至少二加熱器組之電力包括在該至少一上游加熱器組之經感測排出流體溫度小於指派給該至少一上游熱加熱器組之該部分流體溫度升高時，提高電力至該至少一下游加熱器組之。
  6. 如請求項1之方法，其中調整該複數個加熱器組之至少二加熱器組之電力包括在該至少一上游加熱器組之該經感測排出流體溫度小於指派給該至少一上游加熱器組之該部分流體溫度升高時，增加至該至少一上游加熱器組之電力。
  7. 如請求項1之方法，其中調整該複數個加熱器組之至少二加熱器組之電力包括在該至少一上游加熱器組之該經感測排出流體溫度超過指派給該至少一上游加熱器組之該部分流體溫度升高時，減少至該至少一上游加熱器組之電力。
  8. 如請求項1之方法，其中指派一部分流體溫度升高至該複數個加熱器組之各加熱器組包括將該總流體溫度升高除以該複數個加熱器組之加熱器組之數目之步驟。
  9. 如請求項1之方法，進一步包括偵測通過該加熱器之一流體流量或壓力之步驟。
  10. 如請求項1之方法，其中調整至該複數個加熱器組之至少二加熱器組之電力包括一控制器獨立地調整至該至少二加熱器組之電力之步驟。
  11. 如請求項1之方法，進一步包括將超純水通過該加熱器，其中接觸該超純水之該加熱器之表面包括一或多種無污染材料。
  12. 一種隨需加熱器，其包括：一加熱器流體入口及一加熱器流體出口；複數個加熱器組，包括至少一上游加熱器組以及位於該至少一上游加熱器組下游之至少一下游加熱器組，該複數個加熱器組彼此流體連通且串聯安置於該加熱器流體入口與該加熱器流體出口之間；溫度感測器，其等用於感測來自該複數個加熱器組之各加熱器組之一流體之一排出溫度；及一控制器，其與該等溫度感測器電子通信，該控制器經組態以基於從該至少一上游加熱器組之該流體之該排出溫度與指派給該至少一上游加熱器組之一部分流體溫度升高的一比較而調整輸送至該至少一上游加熱器組及該至少一下游加熱器組之電力；其中可控制地實現自該加熱器流體入口至該加熱器流體出口之一總流體溫度升高。
  13. 如請求項12之加熱器，其中該流體包括超純水且該加熱器之流體接觸表面包括一或多種無污染材料。
  14. 如請求項12之加熱器，進一步包含耦合至該控制器之一流體流量或壓力感測器。
  15. 如請求項12之加熱器，其中該控制器包括用於各加熱器組之一專用溫度控制器。
  16. 如請求項12之加熱器，進一步包含用於手動輸入該加熱器流體出口處之一所要最終流體溫度之一使用者介面。
  17. 如請求項16之加熱器，其中該控制器經組態以基於一經判定之加熱器流體入口流體溫度及該所要最終流體溫度來計算該總流體溫度升高。
  18. 如請求項17之加熱器，其中該控制器經組態以基於該總流體溫度升高及加熱器組之數目來計算一部分流體溫度升高並指派給各加熱器組。
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