TWI688774B - 高速探針卡裝置及其矩形探針 - Google Patents

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Abstract

本發明公開一種高速探針卡裝置及其矩形探針，矩形探針定義有長度方向且外表面包含平行長度方向的兩寬側面與兩窄側面。矩形探針包含中間段、相連於中間段兩端第一連接段與第二連接段、分別相連於第一連接段與第二連接段的第一接觸段與第二接觸段、及行程結構。行程結構形成於中間段、第一接觸段、及第二接觸段的至少其一，並包含：縱向穿孔及兩橫向溝槽。縱向穿孔貫穿兩寬側面且平行於長度方向。兩橫向溝槽分別凹設於兩寬側面、並自縱向穿孔分別延伸至兩窄側面。兩橫向溝槽能分別朝彼此遠離的方向移動，以縮短矩形探針的長度並續有回彈力。

Description

高速探針卡裝置及其矩形探針
本發明涉及一種探針卡，尤其涉及一種高速探針卡裝置及其矩形探針。
半導體晶片進行測試時，測試設備是透過一探針卡裝置而與待測物電性連接，並藉由信號傳輸及信號分析，以獲得待測物的測試結果。現有的探針卡裝置設有對應待測物的電性接點而排列的多個探針，以藉由上述多個探針同時點接觸待測物的相對應電性接點。
然而，現有探針卡裝置在面臨高速信號傳輸的相關測試時，現有探針卡裝置的多個探針需在進行測試前就先變形來蓄有回彈力，所以現有探針的長度較長，因而不利於高速信號的傳輸。
於是，本發明人認為上述缺陷可改善，乃特潛心研究並配合科學原理的運用，終於提出一種設計合理且有效改善上述缺陷的本發明。
本發明實施例在於提供一種高速探針卡裝置及其矩形探針，能有效地改善現有探針卡裝置所可能產生的缺陷。
本發明實施例公開一種高速探針卡裝置，包括：一上導板，形 成有多個上開孔；一下導板，形成有多個下開孔，所述下導板平行於所述上導板，並且多個所述下開孔的位置分別對應於多個所述上開孔的位置；以及多個矩形探針，分別穿設於所述上導板的多個所述上開孔、並分別穿過所述下導板的多個所述下開孔；其中，每個所述矩形探針呈長形並定義有一長度方向，每個所述矩形探針的一外表面包含有平行於所述長度方向的兩個寬側面與兩個窄側面，並且每個所述矩形探針包含：一中間段，位於所述上導板與所述下導板之間；一第一連接段，自所述中間段一端延伸所形成並穿設於相對應的所述上開孔內；一第二連接段，自所述中間段另一端延伸所形成並穿設於相對應的所述下開孔內；一第一接觸段，自所述第一連接段延伸所形成且穿出相對應的所述上開孔；一第二接觸段，自所述第二連接段延伸所形成且穿出相對應的所述下開孔；及至少一行程結構，形成於所述中間段、所述第一接觸段、及所述第二接觸段的至少其中之一，並且至少一所述行程結構包含有：一縱向穿孔，貫穿兩個所述寬側面且平行於所述長度方向；及兩個橫向溝槽，分別凹設於兩個所述寬側面、並分別位於所述縱向穿孔的兩側，並且兩個所述橫向溝槽自所述縱向穿孔分別延伸至兩個所述窄側面；其中，兩個所述橫向溝槽位於垂直所述長度方向的一平面上；其中，當所述高速探針卡裝置的多個所述矩形探針壓抵於一待測物時，每個所述矩形探針的至少一所述行程結構的兩個所述橫向溝槽分別朝彼此遠離的方向移動，以使每個所述矩形探針形成有至少一所述行程結構的一部位在所述長度方向上的長度縮短、並續有一回彈力。
本發明實施例也公開一種矩形探針，呈長形並定義有一長度方向，並且所述矩形探針的一外表面包含有平行於所述長度方向的兩個寬側面與兩個窄側面，所述矩形探針包括：一中間段；一第一連接段與一第二連接段，分別自所述中間段的相反兩端延伸所形成；一第一接觸段，自所述第一 連接段朝遠離所述中間段方向延伸所形成；一第二接觸段，自所述第二連接段朝遠離所述中間段方向延伸所形成；及至少一行程結構，形成於所述中間段、所述第一接觸段、及所述第二接觸段的至少其中之一，並且至少一所述行程結構包含有：一縱向穿孔，貫穿兩個所述寬側面且平行於所述長度方向；及兩個橫向溝槽，分別凹設於兩個所述寬側面、並分別位於所述縱向穿孔的兩側，並且兩個所述橫向溝槽自所述縱向穿孔分別延伸至兩個所述窄側面；其中，兩個所述橫向溝槽位於垂直所述長度方向的一平面上；其中，當所述矩形探針壓抵於一待測物時，至少一所述行程結構的兩個所述橫向溝槽分別朝彼此遠離的方向移動，以使所述矩形探針形成有至少一所述行程結構的一部位在所述長度方向上的長度縮短、並續有一回彈力。
綜上所述，本發明實施例所公開的高速探針卡裝置，其通過在矩形探針上設有行程結構來蓄有回彈力，並使得矩形探針不必在壓抵於待測物之前就需形成有彎曲狀的彈力部，所以矩形探針的長度相較於現有導電探針的長度來說，可以明顯地縮短，據以使所述高速探針卡裝置及其矩形探針能夠利於高速信號的傳輸。
為能更進一步瞭解本發明的特徵及技術內容，請參閱以下有關本發明的詳細說明與附圖，但是此等說明與附圖僅用來說明本發明，而非對本發明的保護範圍作任何的限制。
1000:高速探針卡裝置
100:探針頭
1:上導板
11:上開孔
2:下導板
21:下開孔
3:間隔板
31:容置空間
4:矩形探針
4a:寬側面
4b:窄側面
41:中間段
411:彈力臂
42:第一連接段
43:第二連接段
44:第一接觸段
441:彈力臂
45:第二接觸段
451:彈力臂
46:固持結構
461:缺口
462:彈臂
463:突出部
47:行程結構
471:縱向穿孔
472:橫向溝槽
48:絕緣層
200:轉接板
α:夾角
D:長度方向
D1:第一長度
D2:第二長度
L4、L471:長度
W4a、W471:寬度
T472:深度
T4:厚度
圖1為本發明實施例一的高速探針卡裝置的剖視示意圖。
圖2為本發明實施例一的矩形探針的立體示意圖。
圖3A為本發明實施例一的高速探針卡裝置的另一態樣剖視示意圖。
圖3B為本發明實施例一的高速探針卡裝置的又一態樣剖視示意圖。
圖4為本發明實施例一的矩形探針於受力時的立體示意圖。
圖5為圖4的側視示意圖。
圖6為圖2的中間段在設有行程結構的位形成絕緣層的立體示意圖。
圖7為本發明實施例二的高速探針卡裝置的剖視示意圖。
圖8為本發明實施例二的矩形探針的立體示意圖。
圖9為本發明實施例二的矩形探針於受力時的立體示意圖。
圖10為本發明實施例三的高速探針卡裝置的剖視示意圖(一)。
圖11為本發明實施例三的高速探針卡裝置的剖視示意圖(二)。
請參閱圖1至圖11所示，其為本發明的實施例，需先說明的是，本實施例對應附圖所提及的相關數量與外型，僅用來具體地說明本發明的實施方式，以便於了解本發明的內容，而非用來侷限本發明的保護範圍。
[實施例一]
如圖1至圖6所示，其為本發明的實施例一。如圖1所示，本實施例公開一種高速探針卡裝置1000，其包括有一探針頭100(probe head)以及抵接於上述探針頭100一側(如：圖1中的探針頭100頂側)的一轉接板200(space transformer)，並且所述探針頭100的另一側(如：圖1中的探針頭100底側)能用來頂抵測試一待測物(圖未繪示，如：半導體晶圓)。
需先說明的是，為了便於理解本實施例，所以圖式僅呈現高速探針卡裝置1000的局部構造，以便於清楚地呈現高速探針卡裝置1000的各個 元件構造與連接關係，但本發明並不以圖式為限。以下將分別介紹所述探針頭100的各個元件構造及其連接關係。
如圖1所示，所述探針頭100包含有一上導板1(upper die)、一下導板2(lower die)、夾持於上導板1與下導板2之間的一間隔板3、及多個矩形探針4。需說明的是，於本發明未繪示的其他實施例中，所述探針頭100的間隔板3也可以省略或是其他構件取代。再者，所述矩形探針4也可以搭配其他構件或是單獨地應用。
所述間隔板3夾持於所述上導板1與下導板2之間，以使上導板1與下導板2能夠彼此平行地間隔設置，但本發明不受限於此。其中，所述上導板1形成有多個上開孔11，所述下導板2形成有多個下開孔21，並且所述多個下開孔21的位置分別對應於多個上開孔11的位置。所述間隔板3形成有連通於多個上開孔11與多個下開孔21的一容置空間31。再者，所述間隔板3於本實施例中可以是環形構造、並夾持於上導板1及下導板2的相對應外圍部位，由於所述間隔板3與本發明的改良重點的相關性較低，所以下述不詳加說明間隔板3的細部構造。
需說明的是，所述上導板1及下導板2於本實施例中未有相對錯位設置(也就是，每個下開孔21的位置分別沿矩形探針4的長度方向D對應於多個上開孔11的位置)，並且所述每個矩形探針4是定位於所述上導板1及下導板2的至少其中之一(如圖1所示，矩形探針4是以定位於鄰近轉接板200的上導板1來說明)，以使所述每個矩形探針4呈直線狀，但本發明不以此為限。
如圖1和圖2所示，所述多個矩形探針4分別穿設於所述上導板1的多個上開孔11、並分別穿過所述下導板2的多個下開孔21。其中，每個矩形探針4呈長形並定義有一長度方向D，每個矩形探針4的一外表面包含有平行於所述長度方向D的兩個寬側面4a與兩個窄側面4b。由於本實施例探針頭100的 多個矩形探針4構造皆大致相同，所以圖式及下述說明是以單個矩形探針4為例，但本發明不受限於此。舉例來說，在本發明未繪示的其他實施例中，所述探針頭100的多個矩形探針4也可以是具有彼此相異的構造。
所述矩形探針4於本實施例中為可導電且具有可撓性的直線狀構造，並且矩形探針4的橫剖面大致呈矩形。需說明的是，本實施例高速探針卡裝置1000是限定使用矩形探針4，其可以是由微機電系統(MEMS)技術所製造，所以本實施例是排除製造工序截然不同的圓形探針。換句話說，本實施例的矩形探針4相較於圓形探針來說，由於兩者的製造工序截然不同，所以並未有彼此參考的動機存在。
其中，所述矩形探針4包含有一中間段41、分別自上述中間段41的相反兩端延伸所形成的一第一連接段42與一第二連接段43、自所述第一連接段42朝遠離所述中間段41方向延伸所形成的一第一接觸段44、及自所述第二連接段43朝遠離所述中間段41方向延伸所形成的一第二接觸段45。
換個角度來看，沿所述轉接板200朝向待測物的一直線方向(如：圖1中的由上往下)，所述矩形探針4依序形成有第一接觸段44、第一連接段42、中間段41、第二連接段43、及第二接觸段45。其中，所述第一接觸段44穿出上導板1的相對應上開孔11並且頂抵於轉接板200的相對應導電接點(也就是，轉接板200固定於每個矩形探針4的第一接觸段44)；所述第一連接段42穿設於上導板1的相對應上開孔11內；所述中間段41位於上導板1與下導板2之間(也就是，中間段41位於間隔板3的容置空間31內)；所述第二連接段43穿設於下導板2的相對應下開孔21內；所述第二接觸段45穿出下導板2的相對應下開孔21並且用來可分離地頂抵(或壓抵)於待測物的相對應導電接點(圖中未示出)。
再者，所述矩形探針4在第一連接段42及其鄰近第一連接段42 的所述中間段41部位形成有一固持結構46，並且矩形探針4是以所述固持結構46定位於上導板1。其中，所述固持結構46於本實施例的圖1和圖2中包含有形成在第一連接段42的一缺口461以及形成在鄰近第一連接段42的所述中間段41部位的一彈臂462。所述矩形探針4在植針的過程中，上述固持結構46能穿過相對應的下開孔21，但所述缺口461會卡持於上導板1(如：相對應上開孔11的局部內壁收容於缺口461內)，而所述彈臂462會抵持於上導板1的內表面，以使矩形探針4定位於上導板1，但本發明不受限於此。
舉例來說，如圖3A所示，所述固持結構46也可以是形成在矩形探針4的第一連接段42，並且固持結構46例如是突出部463、並與相對應上開孔11呈干涉配合，據以使矩形探針4以所述固持結構46定位於該上導板1。依上所載，所述矩形探針4可以在第一連接段42及鄰近第一連接段42的所述中間段41部位的至少其中之一形成有固持結構46。
再者，如圖3B所示，所述上導板1也可以採用彼此錯位設置的雙導板，並且上述雙導板對應於第一連接段42各形成有一個上開孔11，以使所述矩形探針4的第一連接段42能夠被所述雙導板的的兩個上開孔11卡持，據以使矩形探針4定位於上導板1。
此外，所述矩形探針4於本實施例中是以具備相同外徑的第一接觸段44、第一連接段42、中間段41、第二連接段43、及第二接觸段45來說明，但本發明不受限於此。舉例來說，在本發明未繪示的其他實施例中，所述第一接觸段44與第二接觸段45各能夠形成尖銳狀結構或其他構造。
更進一步地說，如圖2、圖4、及圖5所示，所述矩形探針4於中間段41還形成有一行程結構47，並且上述行程結構47包含有一縱向穿孔471及連通於上述縱向穿孔471的兩個橫向溝槽472。其中，所述縱向穿孔471貫穿兩個寬側面4a且平行於長度方向D，而所述兩個橫向溝槽472分別凹設於上述兩 個寬側面4a、並分別位於所述縱向穿孔471的兩側。上述兩個橫向溝槽472於本實施例中是位於垂直所述長度方向D的一平面上。
再者，所述兩個橫向溝槽472是自所述縱向穿孔471分別延伸至上述兩個窄側面4b，並且每個橫向溝槽472於本實施例中是連通於所述縱向穿孔471的中央部位(如：所述中央部位相當於矩形探針4的中間段41在長度方向D上的30~70%處)。其中，所述縱向穿孔471的長度L471至少為所述縱向穿孔471的寬度W471的兩倍，所述縱向穿孔471的所述寬度W471不大於任一個所述寬側面4a的寬度W4a的30%，而每個所述橫向溝槽472的深度T472不大於所述矩形探針4的厚度T4的50%。
依上所述，當所述高速探針卡裝置1000的多個矩形探針4壓抵於待測物時，所述每個矩形探針4的行程結構47的兩個橫向溝槽472分別朝彼此遠離的方向(如：圖4中的向左移動與向右移動)移動，以使每個矩形探針4形成有上述行程結構47的一部位(如：下述兩個彈力臂411)在所述長度方向D上的長度縮短、並續有一回彈力。也就是說，當所述高速探針卡裝置1000的多個矩形探針4離開上述待測物時，每個矩形探針4會通過行程結構47釋放回彈力，而使每個矩形探針4回復成直線狀。
據此，本實施例高速探針卡裝置1000的每個矩形探針4通過設有上述行程結構47來蓄有回彈力，並使得矩形探針4不必在壓抵於待測物之前就需形成有彎曲狀的彈力部，所以矩形探針4的長度相較於現有導電探針的長度來說，可以明顯地縮短，據以使所述高速探針卡裝置1000及其矩形探針4能夠利於高速信號的傳輸。也就是說，所述矩形探針4具有較短的長度，以有效地降低其電感值，而本實施例的矩形探針4的長度L4較佳是介於2~6.5公厘(mm)，但本發明不受限於此。舉例來說，在本發明未繪示的其他實施例中，所述矩形探針4的長度L4也可以是1~10公厘。
更詳細地說，上述形成有該行程結構47的矩形探針4的該部位包含有兩個彈力臂411，並且每個彈力臂411的大致中央處凹設有上述橫向溝槽472，據以能在一直線位置與一彎曲位置之間作動。也就是說，當所述矩形探針4壓抵於上述待測物時，每個彈力臂411處於彎曲位置；當所述矩形探針4未壓抵於待測物時，每個彈力臂411處於直線位置。
其中，由於本實施例的所述兩個彈力臂411是對應於縱向穿孔471呈鏡像對稱設置，所以圖式及下述說明是以單個彈力臂411為例，但本發明不受限於此。舉例來說，在本發明未繪示的其他實施例中，所述兩個彈力臂411的外型也可以存有差異。
當所述彈力臂411處於直線位置時，彈力臂411於長度方向D上具有一第一長度D1。當所述彈力臂411處於彎曲位置時，彈力臂411的內緣形成有大於0度且小於180度的一夾角α，並且所述夾角α較佳為一銳角，以使所述彈力臂411於長度方向D上具有一第二長度D2。其中，D2=D1sin(α/2)，180°>α>0。也就是說，當所述矩形探針4壓抵於待測物時，矩形探針4形成有行程結構47的該部位在所述長度方向D上所縮短的長度為D1(1-sin(α/2))。
需額外說明的是，為避免所述多個矩形探針4的行程結構47相互接觸，每個矩形探針4較佳是包含有一絕緣層48，並且每個矩形探針4的絕緣層48是包覆於形成有所述行程結構47的該部位(也就是，上述兩個彈力臂411的外表面)。
[實施例二]
如圖7至圖9所示，其為本發明的實施例二，本實施例類似於上述實施例一，所以兩個實施例的相同處則不再加以贅述，而本實施例相較於上述實施例一的差異主要如下：於本實施例中，每個矩形探針4所形成的上述行程結構47數量進 一步限定為多個，並且所述每個矩形探針4的多個行程結構47是沿所述長度方向D間隔地形成於所述中間段41上。也就是說，依據實施例一和實施例二所公開的技術內容，本發明每個矩形探針4所包含的行程結構47數量可以是至少一個。
其中，上述多個行程結構47的縱向穿孔471較佳是沿著平行長度方向D的一直線進行排列，但本發明不受限於此。再者，於每個矩形探針4的彼此相鄰兩個行程結構47中，位於相同所述寬側面4a但分屬於不同所述行程結構47的兩個所述橫向溝槽472分別連通於兩個所述窄側面4b；也就是說，於本實施例每個矩形探針4的彼此相鄰兩個行程結構47中，位於相同所述寬側面4a但分屬於不同所述行程結構47的兩個所述橫向溝槽472不適合連通於相同的窄側面4b。
據此，本實施例矩形探針4能夠通過增加行程結構47的數量，以有效地縮短橫向溝槽472的移動距離，使得多個矩形探針4之間的距離能夠被縮小，進而能夠提高所述高速探針卡裝置1000的矩形探針4的設置密度。
[實施例三]
如圖10和圖11所示，其為本發明的實施例三，本實施例類似於上述實施例一，所以兩個實施例的相同處則不再加以贅述，而本實施例相較於上述實施例一的差異主要如下：於本實施例中，所述矩形探針4的行程結構47可以是形成於所述第一接觸段44或第二接觸段45，但上述行程結構47的縱向穿孔471未連通至第一接觸段44或第二接觸段45的末端緣。進一步地說，如圖10所示，所述行程結構47形成在第一接觸段44，以使第一接觸段44包含有兩個彈力臂441；如圖11所示，所述行程結構47形成在第二接觸段45，以使第二接觸段45包含有兩個彈力臂451。
也就是說，依據實施例一至實施例三所公開的技術內容，本發明每個矩形探針4所包含的行程結構47，可以是形成於所述中間段41、第一接觸段44、及第二接觸段45的至少其中之一。換個角度來說，在本發明未繪示的其他實施例中，所述矩形探針4的中間段41、第一接觸段44、及第二接觸段45也可以各形成有所述行程結構47。
[本發明實施例的技術效果]
綜上所述，本發明實施例所公開的高速探針卡裝置，其通過在矩形探針上設有行程結構來蓄有回彈力，並使得矩形探針不必在壓抵於待測物之前就需形成有彎曲狀的彈力部，所以矩形探針的長度相較於現有導電探針的長度來說，可以明顯地縮短，據以使所述高速探針卡裝置及其矩形探針能夠利於高速信號的傳輸。進一步地說，所述上導板及下導板可以是未有相對錯位設置，並且每個矩形探針呈直線狀並定位於所述上導板及下導板的至少其中之一，據以使每個矩形探針的長度可以是介於2~6.5公厘。
再者，本發明實施例所公開的矩形探針，其能夠通過增加行程結構的數量，以有效地縮短橫向溝槽的移動距離，使得多個矩形探針之間的距離能夠被縮小，進而能夠提高所述高速探針卡裝置的矩形探針的設置密度。
以上所公開的內容僅為本發明的優選可行實施例，並非因此侷限本發明的專利範圍，所以凡是運用本發明說明書及圖式內容所做的等效技術變化，均包含於本發明的專利範圍內。
1000:高速探針卡裝置
100:探針頭
1:上導板
11:上開孔
2:下導板
21:下開孔
3:間隔板
31:容置空間
4:矩形探針
4a:寬側面
4b:窄側面
41:中間段
411:彈力臂
42:第一連接段
43:第二連接段
44:第一接觸段
45:第二接觸段
46:固持結構
461:缺口
462:彈臂
47:行程結構
471:縱向穿孔
472:橫向溝槽
200:轉接板
D:長度方向

Claims (8)

  1. 一種高速探針卡裝置，包括：一上導板，形成有多個上開孔；一下導板，形成有多個下開孔，所述下導板平行於所述上導板，並且多個所述下開孔的位置分別對應於多個所述上開孔的位置；以及多個矩形探針，分別穿設於所述上導板的多個所述上開孔、並分別穿過所述下導板的多個所述下開孔；其中，每個所述矩形探針呈長形並定義有一長度方向，每個所述矩形探針的一外表面包含有平行於所述長度方向的兩個寬側面與兩個窄側面，並且每個所述矩形探針包含：一中間段，位於所述上導板與所述下導板之間；一第一連接段，自所述中間段一端延伸所形成並穿設於相對應的所述上開孔內；一第二連接段，自所述中間段另一端延伸所形成並穿設於相對應的所述下開孔內；一第一接觸段，自所述第一連接段延伸所形成且穿出相對應的所述上開孔；一第二接觸段，自所述第二連接段延伸所形成且穿出相對應的所述下開孔；及至少一行程結構，形成於所述中間段、所述第一接觸段、及所述第二接觸段的至少其中之一，並且至少一所述行程結構包含有：一縱向穿孔，貫穿兩個所述寬側面且平行於所述長度方向；及兩個橫向溝槽，分別凹設於兩個所述寬側面、並分別位於所述縱向穿孔的兩側，並且兩個所述橫向溝槽自所述縱 向穿孔分別延伸至兩個所述窄側面；其中，兩個所述橫向溝槽位於垂直所述長度方向的一平面上；其中，當所述高速探針卡裝置的多個所述矩形探針壓抵於一待測物時，每個所述矩形探針的至少一所述行程結構的兩個所述橫向溝槽分別朝彼此遠離的方向移動，以使每個所述矩形探針形成有至少一所述行程結構的一部位在所述長度方向上的長度縮短、並續有一回彈力；其中，於每個所述矩形探針中，至少一所述行程結構的數量進一步限定為多個，並且多個所述行程結構是沿所述長度方向間隔地形成於所述中間段上；於每個所述矩形探針的彼此相鄰兩個所述行程結構中，位於相同所述寬側面但分屬於不同所述行程結構的兩個所述橫向溝槽分別連通於兩個所述窄側面。
  2. 如請求項1所述的高速探針卡裝置，其中，於至少一所述行程結構中，每個所述橫向溝槽的深度不大於所述矩形探針的厚度的50%，並且每個所述橫向溝槽連通於所述縱向穿孔的中央部位。
  3. 如請求項1所述的高速探針卡裝置，其中，於至少一所述行程結構中，所述縱向穿孔的長度至少為所述縱向穿孔的寬度的兩倍，所述縱向穿孔的所述寬度不大於任一個所述寬側面的寬度的30%。
  4. 如請求項1所述的高速探針卡裝置，其中，每個所述矩形探針包含有一絕緣層；於每個所述矩形探針中，所述絕緣層包覆於形成有至少一所述行程結構的所述部位。
  5. 如請求項1所述的高速探針卡裝置，其中，所述上導板及所述下導板未有相對錯位設置，每個所述矩形探針呈直線狀並定位於所述上導板及所述下導板的至少其中之一，多個所述下開孔 的位置分別沿所述長度方向對應於多個所述上開孔的位置；每個所述矩形探針的長度介於2~6.5公厘(mm)。
  6. 如請求項5所述的高速探針卡裝置，其中，每個所述矩形探針的所述第一連接段及鄰近所述第一連接段的所述中間段部位的至少其中之一形成有一固持結構，並且每個所述矩形探針是以所述固持結構定位於所述上導板。
  7. 如請求項1所述的高速探針卡裝置，其中，所述高速探針卡裝置進一步包括：一間隔板，夾持於所述上導板與所述下導板之間，並且所述間隔板形成有連通於多個所述上開孔與多個所述下開孔的一容置空間；及一轉接板，固定於多個所述矩形探針的所述第一接觸段，每個所述矩形探針定位於鄰近所述轉接板的所述上導板；其中，多個所述矩形探針的所述第二接觸段是用來壓抵於所述待測物。
  8. 一種矩形探針，呈長形並定義有一長度方向，並且所述矩形探針的一外表面包含有平行於所述長度方向的兩個寬側面與兩個窄側面，所述矩形探針包括：一中間段；一第一連接段與一第二連接段，分別自所述中間段的相反兩端延伸所形成；一第一接觸段，自所述第一連接段朝遠離所述中間段方向延伸所形成；一第二接觸段，自所述第二連接段朝遠離所述中間段方向延伸所形成；及至少一行程結構，形成於所述中間段、所述第一接觸段、及所述第二接觸段的至少其中之一，並且至少一所述行程結構包 含有：一縱向穿孔，貫穿兩個所述寬側面且平行於所述長度方向；及兩個橫向溝槽，分別凹設於兩個所述寬側面、並分別位於所述縱向穿孔的兩側，並且兩個所述橫向溝槽自所述縱向穿孔分別延伸至兩個所述窄側面；其中，兩個所述橫向溝槽位於垂直所述長度方向的一平面上；其中，當所述矩形探針壓抵於一待測物時，至少一所述行程結構的兩個所述橫向溝槽分別朝彼此遠離的方向移動，以使所述矩形探針形成有至少一所述行程結構的一部位在所述長度方向上的長度縮短、並續有一回彈力；其中，至少一所述行程結構的數量進一步限定為多個，並且多個所述行程結構是沿所述長度方向間隔地形成於所述中間段上；於彼此相鄰兩個所述行程結構中，位於相同所述寬側面但分屬於不同所述行程結構的兩個所述橫向溝槽分別連通於兩個所述窄側面。
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