TWI687647B - 預測數據伺服器及ｘ射線厚度測定系統 - Google Patents

預測數據伺服器及ｘ射線厚度測定系統 Download PDF

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Abstract

X射線厚度測定裝置(12)，係與預測數據伺服器(14)連接，具備：X射線控制電源；X射線產生器；及檢測部。預測數據伺服器(14)具備：取得部(62)；預測部(64)；及記憶部(48)。取得部(62)從X射線厚度測定裝置(12)取得包含驅動電壓值、驅動電流值、管電壓值、管電流值、及檢測信號之中之至少之一的測定資訊(56)。預測部(64)生成經由取得部(62)取得的測定資訊(56)之統計並作為對X射線厚度測定裝置(12)之異常進行診斷之預測數據(68)。記憶部(48)將預測部(64)生成的預測數據(68)進行記憶。

Description

預測數據伺服器及Ｘ射線厚度測定系統
實施形態關於預測數據伺服器及X線厚度測定系統。
例如在鋼板等之板狀製品(以下稱為測定對象)之生產線等，使用使用X射線對測定對象之厚度進行測定的X射線厚度測定裝置。 先前技術文獻 專利文獻
專利文獻1：特公昭58-105008號公報
[發明所欲解決之課題]
但是，用於生成對上述X射線厚度測定裝置之異常進行診斷的數據之裝置乃未知。 [用以解決課題的手段]
為了解決上述課題，實施形態之預測數據伺服器係與X射線厚度測定裝置連接。X射線厚度測定裝置具備：X射線控制電源；X射線產生器；檢測部；變壓器；驅動檢測部；及管檢測部。X射線控制電源供給電力。X射線產生器具有：藉由來自X射線控制電源之電力而放出電子的燈絲，及藉由從該燈絲放出的電子之碰撞而對厚度之測定對象照射X射線的標靶。檢測部係以和通過通過測定對象的上述X射線之強度對應的檢測電壓及檢測電流之至少一方作為檢測信號並輸出。變壓器係對來自X射線控制電源之電力進行變壓並供給至燈絲。驅動檢測部係對變壓器之一次側之電壓亦即驅動電壓值及流入變壓器之一次側的電流值亦即驅動電流值進行檢測。管檢測部係對燈絲與標靶間之電壓亦即管電壓值及燈絲與標靶間的電流值亦即管電流值進行檢測。預測數據伺服器具備：取得部；預測部；及記憶部。取得部係由X射線厚度測定裝置取得包含驅動電壓值、驅動電流值、管電壓值、管電流值、及檢測信號之中至少之一的測定資訊。預測部係生成經由取得部取得的測定資訊之統計並作為對X射線厚度測定裝置之異常進行診斷之預測數據。記憶部係將預測部所生成的預測數據進行記憶。
以下例示的實施形態或變形例包含同樣之構成要素。因此，以下，同樣之構成要素附加共通之符號，而且重複說明被局部省略。實施形態或變形例包含的部分，可以被其他實施形態或變形例之對應部分置換而構成。又，實施形態或變形例包含的部分之構成或位置等は，除非特別言及以外，均和其他實施形態或變形例同樣。
＜第1實施形態＞ 圖1表示實施形態之X射線厚度測定系統10之全體構成的概略圖。X射線厚度測定系統10，係藉由X射線厚度測定裝置12對測定對象90之厚度進行測定，而且產生X射線厚度測定裝置12之異常之診斷所必要的預測數據68(參照圖2)並蓄積，對X射線厚度測定裝置12之異常進行診斷。
如圖1所示，實施形態之X射線厚度測定系統10具備：X射線厚度測定裝置12；預測數據伺服器14；維修裝置16；及網路18。網路18可以是將X射線厚度測定裝置12、預測數據伺服器14、維修裝置16連接成為可以相互傳送/接收資訊的LAN(Local Area Network)等。又，實施形態之X射線厚度測定系統10，係依據TCP/IP等之通信規格，經由網際網路等之網路而與設置於該X射線厚度測定系統10之外部的上位裝置可以進行通信。
X射線厚度測定裝置12，係對厚度測定之對象亦即測定對象90照射X射線，藉由通過測定對象90的X射線之量對測定對象90之厚度進行測定。X射線厚度測定裝置12具備：測定部20；X射線控制電源22；及板厚運算部(控制裝置)24。
測定部20，係以對測定對象90照射X射線，而算出測定對象90之厚度之檢測電壓或檢測電流之至少之一作為檢測值，並對板厚運算部24輸出。實施形態之測定部20具有：保持部26；變壓器28；X射線產生器30；檢測器32；輸出檢測部34；及電阻35。
保持部26係將變壓器28、X射線產生器30、檢測器32、輸出檢測部34、電阻35進行保持。
變壓器28對X射線控制電源22輸出的電力進行變壓(例如升壓)，供給至後述之X射線產生器30之燈絲38。
X射線產生器30，係藉由從X射線控制電源22供給的電力，產生X射線，並照射至測定對象90。實施形態之X射線產生器30係具有X射線管36；燈絲38；及標靶40。X射線管36例如為內部維持於真空狀態的密閉的管。X射線管36係將燈絲38及標靶40收納於內部並保持。燈絲38，係經由變壓器28，藉由從X射線控制電源22供給的電力，將電子放出至標靶40。標靶40藉由燈絲38放出的電子之碰撞，將X射線照射至測定對象90。
檢測器32配置於隔著測定對象90而與X射線產生器30對置的位置。實施形態之檢測器32，係以從X射線產生器30照射，而通過測定對象90的X射線之強度所對應的檢測電壓及檢測電流之至少之一之值作為檢測信號並向輸出檢測部34輸出。檢測器32例如可以是將和射入的X射線對應的檢測電壓及檢測電流進行輸出的電離箱。
輸出檢測部34，係對檢測器32輸出的檢測信號進行轉換處理並輸出至板厚運算部24。例如輸出檢測部34具有AD轉換器等，將類比信號之檢測信號轉換為數位之值，並以該值作為算出測定對象90之厚度之檢測值予以輸出。
X射線控制電源22為電源之一例，係依據來自板厚運算部24之電源控制信號，經由變壓器28將電力供給至X射線產生器30之燈絲38。X射線控制電源22例如連接於商用電源等之外部電源。又，X射線控制電源22具有驅動檢測部42及管檢測部44。
驅動檢測部42係對驅動電壓值及驅動電流值進行檢測。驅動電壓值係變壓器28之一次側之電壓之值，為X射線控制電源22所供給的電力之電壓之值。驅動電流值係變壓器28之一次側的電流之值，為X射線控制電源22所供給的電力之電流之值。驅動檢測部42係將檢測(檢測出)的驅動電壓值及驅動電流值輸出至板厚運算部24。實施形態中，驅動檢測部42係從X射線控制電源22具有的未圖示的RTC(Real Time Clock)取得驅動電壓值及驅動電流值之檢測時之時間戳(timestamp)亦即時刻數據。接著，驅動檢測部42在檢測出的驅動電壓值及驅動電流值附加上取得的時刻數據，並輸出至板厚運算部24。又，實施形態中，驅動檢測部42係設為按事先設定的週期(例如100ms)對驅動電壓值及驅動電流值進行檢測者。
管檢測部44係對管電壓值及管電流值進行檢測。管電壓值係變壓器28之二次側之電壓之值，為燈絲38與標靶40間之電壓之值。管電流值係流過X射線產生器30之二次側的電流之值，為燈絲38與標靶40間的電流之值。實施形態中，管檢測部44係以電阻35之兩端之電壓作為管電壓值進行檢測，以流過電阻35的電流之值作為管電流值進行檢測。管檢測部44，檢測(檢測出)的管電壓值及管電流值輸出至板厚運算部24。實施形態中，管檢測部44係從X射線控制電源22具有的未圖示的RTC，取得管電壓值及管電流值之檢測時之時間戳亦即時刻數據。管檢測部44，在檢測出的管電壓值及管電流值附加上取得的時刻數據，並輸出至板厚運算部24。又，實施形態中，管檢測部44，係按事先設定的週期(例如100ms)，對管電壓值及管電流值進行檢測者。亦即，實施形態中，驅動檢測部42及管檢測部44按同一週期進行驅動電壓值、驅動電流值、管電壓值、及管電流值之檢測。
板厚運算部24負責X射線厚度測定裝置12之整體控制。板厚運算部24可以是藉由X射線厚度測定裝置12對測定對象90之厚度進行測定的作業員等使用的電腦。板厚運算部24依據從輸出檢測部34取得的檢測值，算出測定對象90之厚度。板厚運算部24將，用於指示和供給至X射線產生器30的電力之管電壓值對應的驅動電壓值之電源控制信號輸出至X射線控制電源22。板厚運算部24亦可以生成用於指示依據從管檢測部44取得的管電壓值而設定的驅動電壓值之電源控制信號。板厚運算部24係將包含從輸出檢測部34輸出的檢測值、經由驅動檢測部42檢測的驅動電壓值、經由驅動檢測部42檢測的驅動電流值、經由管檢測部44檢測的管電壓值、及經由管檢測部44檢測的管電流值之中至少之一的測定資訊56(參照圖2)輸出至網路18。板厚運算部24例如藉由廣播將測定資訊56輸出亦可。實施形態中，板厚運算部24係將從輸出檢測部304取得的檢測值及測定對象90之厚度之中包含檢測值的測定資訊56輸出，但不限定於此，只要是將包含檢測值及測定對象90之厚度之至少之一方的測定資訊56輸出者即可。例如板厚運算部24將包含檢測值及測定對象90之厚度之兩方的測定資訊56輸出亦可，取代檢測值，改為將包含測定對象90之厚度的測定資訊56輸出亦可。
預測數據伺服器14係從板厚運算部24重複複數次取得測定資訊56，將從複數個測定資訊56生成的X射線厚度測定裝置12之異常之預測的數據68(以下稱為預測數據。參照圖2)進行記憶儲存。於此，預測數據68係從X射線厚度測定裝置12取得的測定資訊56之統計。預測數據伺服器14係對應於來自維修裝置16之要求而輸出預測數據68。
維修裝置16例如為對X射線厚度測定裝置12進行維修的維修擔當者等使用的電腦。維修裝置16依據從預測數據伺服器14取得的預測數據68對X射線厚度測定裝置12之異常進行診斷，將診斷之結果藉由圖像等輸出。
圖2A係表示實施形態之X射線厚度測定系統10之控制系統之構成的方塊圖。首先，使用圖2A對X射線厚度測定裝置12具有的板厚運算部24之機能構成之一例進行說明。如圖2A所示，板厚運算部24具有控制側處理部46及控制側記憶部48。
控制側處理部46負責X射線厚度測定裝置12之整體控制。控制側處理部46可以是執行運算處理等的CPU(Central Processing Unit)及GPU(Graphics Processing Unit)等之硬體處理器。控制側處理部46，係讀入控制側記憶部48儲存的程式，將讀入的程式展開於控制側記憶部48，而執行各種之運算處理。控制側處理部46例如讀入測定程式54，作為受理部50及算出部52之功能。又，受理部50及算出部52之一部分或全部，由包含ASIC(Application Specific Integrated Circuit)或FPGA(Field-Programmable Gate Array)的電路等之硬體構成亦可。
受理部50係受理測定資訊56，並輸出至算出部52。受理部50例如受理從輸出檢測部34輸出的檢測值、經由驅動檢測部42檢測的驅動電壓值、經由驅動檢測部42檢測的驅動電流值、經由管檢測部44檢測的管電壓值、及經由管檢測部44檢測的管電流值並作為測定資訊56。
算出部52，當從受理部50取得測定資訊56時，依據該測定資訊56，算出測定對象90之厚度，而且對X射線厚度測定裝置12進行控制。例如算出部52依據檢測值算出測定對象90之厚度。實施形態中，算出部52係按從輸出檢測部34事先設定的週期(例如5ms)取得檢測值，在取得該檢測值之每一次算出測定對象90之厚度。亦即，算出部52係按事先設定的週期(例如5ms)算出測定對象90之厚度。又，實施形態中，算出部52係從板厚運算部24具有的未圖示的RTC，取得檢測值之檢測時之時間戳亦即時刻數據。算出部52在取得的檢測值及算出的測定對象90之厚度附加上取得的時刻數據。又，算出部52係以管電壓值及管電流值成為事先設定的設定電壓值的方式，生成對X射線控制電源22指示驅動電壓值之電源控制信號並輸出。算出部52可以藉由廣播將測定資訊56輸出至網路18。
控制側記憶部48具有ROM(Read Only Memory)、RAM(Random Access Memory)、HDD(Hard Disk Drive)等之主記憶裝置及補助記憶裝置。控制側記憶部48係將控制側處理部46所執行的測定程式54，及執行測定程式54而取得的測定資訊56等進行記憶。測定程式54亦可以記憶於CD-ROM(CompactDisc Read Only Memory)或DVD-ROM (Digital Versatile Disc Read Only Memory)等電腦可讀取的記憶媒體而被提供，或經由網際網路等之網路被提供亦可。
接著，使用圖2A對預測數據伺服器14之功能構成之一例進行說明。預測數據伺服器14係如圖2A所示，具有預測側處理部58及預測側記憶部60。
預測側處理部58負責預測數據伺服器14之整體控制。預測側處理部58可以是CPU及GPU等之硬體處理器。預測側處理部58讀取預測側記憶部60儲存的程式，並將讀入的程式展開於預測側記憶部60，據此，而執行各種之運算處理。預測側處理部58例如讀入預測程式66，作為取得部62及預測部64之功能。取得部62及預測部64之一部分或全部可以由包含ASIC或FPGA的電路等之硬體構成。
取得部62係從X射線厚度測定裝置12取得測定資訊56。實施形態之取得部62係取得複數次包含在網路18上流動的驅動電壓值、驅動電流值、管電壓值、管電流值及檢測值之中之至少1個參數而且附加有該參數之檢測時或算出時之時刻數據的測定資訊56，並輸出至預測部64。實施形態之取得部62，係按照比起基於後述之預測部64的預測數據68之生成所要的時間更長的週期，從X射線厚度測定裝置12取得測定資訊56。亦即，取得部62取得測定資訊56的週期，係比預測部64生成預測數據68所要的時間更長。據此，可以防止基於預測部64的預測數據68之生成導致施加於預測數據伺服器14的處理負荷變大，造成從X射線厚度測定裝置12之測定資訊56之取得失敗。
預測部64將取得部62所取得的測定資訊56寫入預測側記憶部60。又，預測部64以取得部62所取得的測定資訊56之統計作為預測數據68而生成。預測部64將生成的預測數據68寫入預測側記憶部60(記憶部之一例)。實施形態之預測部64，係依據從網路18取得的複數個測定資訊56，生成對X射線厚度測定裝置12之異常進行診斷之預測數據68，並儲存於預測側記憶部60。預測部64例如以將複數個測定資訊56與事先確定的臨限值比較的結果進行統計處理的值作為預測數據68而生成亦可。預測部64係將生成的預測數據68儲存於預測側記憶部60。預測部64對應於來自維修裝置16之要求而將儲存於預測側記憶部60的預測數據68輸出。又，預測部64依據包含於測定資訊56的驅動電壓值、驅動電流值、管電壓值、管電流值及檢測值之至少之一與臨限值比較的結果，而生成預測數據68亦可。又，預測部64，在取得部62所取得的測定資訊56產生峰值(spike)之每一次，將該測定資訊56產生了峰值之事通知維修裝置16。另外，預測部64依據類比或TCP/IP等之通信規格將生成的預測數據68通知外部之上位裝置。
預測側記憶部60具有ROM、RAM、HDD等之主記憶裝置及補助記憶裝置。預測側記憶部60係將預測側處理部58所執行的預測程式66、及預測程式66之執行而生成的預測數據68等進行記憶。預測程式66可以記憶於CD-ROM或DVD-ROM等之電腦可讀取的記憶媒體被提供，或經由網際網路等之網路提供亦可。
接著，使用圖2A對維修裝置16之功能構成之一例進行說明。維修裝置16，如圖2A所示，具有維修側處理部70、維修側記憶部72及顯示部73。
維修側處理部70負責維修裝置16之整體控制。維修側處理部70可以是CPU及GPU等之硬體處理器。維修側處理部70讀入維修側記憶部72所儲存的程式，並將讀入的程式展開於維修側記憶部72，據此，執行各種之運算處理。維修側處理部70例如讀入維修程式76，作為診斷部74之功能。診斷部74之一部分或全部由包含ASIC或FPGA的電路等之硬體構成亦可。
診斷部74取得預測數據伺服器14所輸出的預測數據68，依據預測數據68對X射線厚度測定裝置12之異常進行診斷。在X射線厚度測定裝置12之異常之情況下，診斷部74生成表示X射線厚度測定裝置12接近故障狀態的資訊(警告的資訊)、例如表示X射線厚度測定裝置12接近故障狀態之位準(以下稱為異常位準)的指示器(表示警告的圖像亦即警告圖像)，顯示於顯示部73。顯示部73顯示預測數據伺服器14所輸出的預測數據68或警告圖像等之各種資訊。具體而言，顯示部73將表示X射線厚度測定裝置12之異常位準的指示器進行顯示。在從預測數據伺服器14被通知測定資訊56產生了峰值之每一次，顯示部73將指示器所表示的異常位準提升。
維修側記憶部72具有ROM、RAM、HDD等之主記憶裝置及補助記憶裝置。維修側記憶部72係將維修側處理部70所執行的維修程式76等進行記憶。維修程式76可以記憶於CD-ROM或DVD-ROM等之電腦可讀取的記憶媒體被提供，或經由網際網路等之網路提供亦可。
於此，使用圖2B對X射線厚度測定裝置12所輸出的測定資訊56之數據之構成之一例進行說明。圖2B表示在實施形態的X射線厚度測定系統內傳送/接收的測定資訊之數據之構成之一例的圖。
如圖2B所示，板厚運算部24係將包含管電壓值TV、管電流值TC、驅動電壓值Ep、驅動電流值Ip、附加在各值TV、TC、Ep、Ip的時刻數據time1、檢測值Dv、測定對象90之厚度T、附加在該檢測值Dv及厚度T的時刻數據time2的測定資訊56經由網路18輸出至預測數據伺服器14。實施形態中，板厚運算部24按算出測定對象90之厚度T之每一次(亦即，事先設定的週期(例如5ms))生成測定資訊56，並將該生成的測定資訊56輸出。
但是，實施形態中，藉由驅動檢測部42及管檢測部44檢測出各值TV、TC、Ep、Ip的週期(例如100ms)比起算出測定對象90之厚度T之週期(例如5ms)長，因此在與算出測定對象90之厚度T的時序同一時序中，有可能無法獲得各值TV、TC、Ep、Ip之情況。因此，板厚運算部24，如圖2B所示，在算出測定對象90之厚度T的時序中，無法獲得各值TV、TC、Ep、Ip之情況下，生成作為管電壓值TV、管電流值TC、驅動電壓值Ep、驅動電流值Ip、被附加於各值TV、TC、Ep、Ip的時刻數據time1而包含Null(0)的測定資訊56。因此，實施形態之板厚運算部24係按照算出測定對象90之厚度T的週期，生成測定資訊56，並將該生成的測定資訊56輸出。
本實施形態中，板厚運算部24在算出測定對象90之厚度T之每一次將測定資訊56輸出，但不限定於此，在事先設定的數量之測定資訊56被生成之每一次，或在事先設定的週期分之測定資訊56被生成之每一次，或將事先設定的數(規定數)量之連續之測定資訊56，或將事先設定的週期分(每一規定期間)之測定資訊56彙整輸出亦可。
接著，使用圖3A~3E對預測數據伺服器14生成的預測數據68之一例進行說明。圖3A、圖3B、圖3C、圖3D、圖3E分別表示測定資訊56之各值TV、TC、Ep、Ip，Dv之一例的圖表。圖3A、圖3B、圖3C、圖3D、圖3E之各圖表之橫軸表示時間。圖3A之圖表之縱軸表示管電壓值TV。圖3B之圖表之縱軸表示管電流值TC。圖3C之圖表之縱軸表示驅動電壓值Ep。圖3D之圖表之縱軸表示驅動電流值Ip。圖3E之圖表之縱軸表示檢測值Dv。圖3A、圖3B、圖3C、圖3D、圖3E之各值TV、TC、Ep、Ip，Dv，係為了將管電壓值TV維持於100kV而對驅動電壓值Ep進行控制之情況下之值。取得部62經由網路18取得板厚運算部24所輸出的圖3A、圖3B、圖3C、圖3D、圖3E所示各值TV、TC、Ep、Ip，Dv，並輸出至預測部64。預測部64取得各值TV、TC、Ep、Ip，Dv之後，將對應關連於各值TV、TC、Ep、Ip，Dv而事先被設定的臨限值與各值TV、TC、Ep、Ip，Dv進行比較，而生成預測數據68。於此，事先設定的臨限值，係以X射線厚度測定裝置12之出廠試驗時的各值TV、TC、Ep、Ip，Dv作為正常之值，依據在該出廠試驗時的各值TV、TC、Ep、Ip，Dv之變動範圍加上餘裕度之值而被設定。
預測部64，如圖3A所示，例如判斷管電壓值TV是否為第1臨限值Th1+a以上或第2臨限值Th1-a以下。例如若管電壓值TV為第1臨限值Th1+a以上或第2臨限值Th1-a以下時，預測部64將管電壓異常值增加1。圖3A所示例中，管電壓值TV不在第1臨限值Th1+a以上或第2臨限值Th1-a以下，因此管電壓異常值未增加。
如圖3B所示，預測部64例如針對管電流值TC是否為第3臨限值Th2+b以上或第4臨限值Th2-b以下進行判斷。例如管電流值TC為第3臨限值Th2+b以上或第4臨限值Th2-b以下時，預測部64將管電流異常值增加1。例如圖3A、圖3B、圖3C、圖3D、圖3E所示例中，虛線包圍的區域內之管電流值TC成為第3臨限值Th2+b以上或第4臨限值Th2-b以下有7次，因此預測部64將管電流異常值增加7。
預測部64，如圖3C所示，例如針對驅動電壓值Ep是否為第5臨限值Th3+c以上或第6臨限值Th3-c以下進行判斷。例如驅動電壓值Ep為第5臨限值Th3+c以上或第6臨限值Th3-c以下時，預測部64將驅動電壓異常值增加1。圖3C所示例中，驅動電壓值Ep不在第5臨限值Th3+c以上或第6臨限值Th3-c以下，因此驅動電壓異常值未增加。
預測部64，如圖3D所示，例如針對驅動電流值Ip是否為第7臨限值Th4+d以上或第8臨限值Th4-d以下進行判斷。例如驅動電流值Ip為第7臨限值Th4+d以上或第8臨限值Th4-d以下時，預測部64將驅動電流異常值增加1。圖3D所示例中，驅動電流值Ip不在第7臨限值Th4+d以上或第8臨限值Th4-d以下，因此驅動電流異常值未增加。
預測部64，如圖3E所示，例如針對檢測值Dv是否為第9臨限值Th5+e以上或第10臨限值Th5-e以下進行判斷。例如檢測值Dv為第9臨限值Th5+e以上或第10臨限值Th5-e以下時，預測部64將檢測異常值增加1。圖3E所示例中，檢測值Dv不在第9臨限值Th5+e以上或第10臨限值Th5-e以下，因此檢測異常值未增加。
預測部64生成包含管電壓異常值、管電流異常值、驅動電壓異常值、驅動電流異常值、及檢測異常值等之異常值的預測數據68。又，管電壓異常值、管電流異常值、驅動電壓異常值、驅動電流異常值、及檢測異常值等之異常值之各初期值為0。因此，若值TV、TC、Ep、Ip，Dv在對應的臨限值範圍內時，值TV、TC、Ep、Ip，Dv對應的異常值為0。上述臨限值為一例，例如與管電壓值TV對應地變化臨限值亦可。該情況下，將臨限值與管電壓TV建立對應關連並儲存於預測側記憶部60即可。
接著，使用圖4A及圖4B對維修裝置16中顯示的警告圖像之一例進行說明。圖4A及圖4B表示維修裝置16所輸出的警告圖像92之一例的圖。維修裝置16之診斷部74，係依據從預測數據伺服器14取得的預測數據68，將警告圖像92顯示於顯示部73。具體而言，診斷部74依據包含於預測數據68的管電壓異常值、管電流異常值、驅動電壓異常值、驅動電流異常值、及檢測異常值，對異常位準進行診斷。例如診斷部74將管電壓異常值、管電流異常值、驅動電壓異常值、驅動電流異常值、及檢測異常值之中非0的異常值之個數設為異常位準亦可。該情況下，診斷部74在0位準至5位準之範圍內設定異常位準。又，診斷部74依據事先確定的異常判斷用臨限值來設定異常位準亦可。該情況下，診斷部74將管電壓異常值、管電流異常值、驅動電壓異常值、驅動電流異常值、及檢測異常值之中，異常判斷用臨限值以上之異常值之個數設定為異常位準亦可。本實施形態中，診斷部74將異常位準設定為0~5，但不限定於此，將異常位準設定為6以上亦可。又，在從預測數據伺服器14被通知測定資訊56產生了峰值之每一次，診斷部74將顯示於顯示部73的警告圖像92所指示的異常位準提升亦可。例如在0位準至5位準之範圍內，在從預測數據伺服器14被通知測定資訊56產生了峰值之每一次，診斷部74將異常位準提升1個亦可。又，在事先設定的期間內之預測數據68產生了事先設定的次數以上峰值之情況下，診斷部74將異常位準提升亦可。據此，可以防止暫時性在預測數據68產生了峰值之情況下，異常位準被提升，在X射線厚度測定裝置12產生異常之可能性較高之情況下可以提升異常位準。該結果，可以實現提高診斷部74設定的異常位準之可靠性。
診斷部74與異常位準對應地生成警告圖像92亦可。具體而言，診斷部74生成表示設定的異常位準的警告圖像92。接著，顯示部73顯示所生成的警告圖像92。例如異常位準為1之情況下，係如圖4A所示，診斷部74生成在警告圖像92內配列的5個四角之中最下方之四角附加著色的警告圖像92，將該生成的警告圖像92顯示於顯示部73亦可。又，異常位準為4之情況下，如圖4B所示，診斷部74生成在警告圖像92內配列的5個四角之中最下方起4個之四角附加著色的警告圖像92，並將該生成的警告圖像92顯示於顯示部73亦可。又，診斷部74在警告圖像92內之四角之每一個變化著色之色亦可。如此般，診斷部74將與異常位準對應而生成的警告圖像92顯示於顯示部73。
接著，使用圖5對X射線厚度測定裝置12之控制側處理部46所執行的測定處理之流程之一例進行說明。圖5為X射線厚度測定裝置12之控制側處理部46所執行的測定處理之流程圖。控制側處理部46係藉由讀入測定程式54執行測定處理。
如圖5所示，測定處理中，控制側處理部46之受理部50從管檢測部44取得管電壓值TV及管電流值TC，並輸出至算出部52(S102)。受理部50從驅動檢測部42取得驅動電壓值Ep及驅動電流值Ip，並輸出至算出部52(S104)。算出部52對管電壓值TV與設定電壓值進行比較，對驅動電壓值Ep進行控制(S106)。例如若管電壓值TV低於設定電壓值，算出部52將用於指示比起取得的驅動電壓值Ep高的電壓值之電源控制信號輸出至X射線控制電源22。另一方面，若管電壓值TV高於設定電壓值，算出部52將用於指示比起取得的驅動電壓值Ep低的電壓值之電源控制信號輸出至X射線控制電源22。X射線控制電源22與取得的電源控制信號所示電壓值對應地變化驅動電壓值Ep，對X射線產生器30供給電力。
受理部50從輸出檢測部34取得檢測值Dv，並輸出至算出部52(S108)。算出部52依據檢測值Dv算出測定對象90之厚度(S110)。算出部52將包含驅動電壓值Ep、驅動電流值Ip、管電壓值TV、管電流值TC及檢測值Dv的測定資訊56輸出至網路18(S112)。之後，控制側處理部46重複進行步驟S102以後。
接著，使用圖6對預測數據伺服器14之預測側處理部58所執行的預測處理之流程之一例進行說明。圖6表示預測數據伺服器14之預測側處理部58所執行的預測處理之流程圖。預測側處理部58藉由讀入預測程式66而執行預測處理。
如圖6所示，預測處理中，取得部62從網路18取得測定資訊56，並輸出至預測部64(S132)。預測部64生成預測數據68(S134)。預測部64例如對包含於測定資訊56的各值TV、TC、Ep、Ip，Dv與臨限值進行比較，對各值TV、TC、Ep、Ip，Dv是否為異常值進行判斷，生成包含異常值之個數的預測數據68。預測部64將生成的預測數據68儲存於預測側記憶部60(S136)。預測部64對是否已取得了預測數據68之要求進行判斷(S138)。預測部64判斷為未取得預測數據68之要求時(S138：否)，預測側處理部58重複進行步驟S132以後。預測部64判斷為已取得了預測數據68之要求時(S138：是)，將預測數據68輸出至網路18(S140)。之後，預測側處理部58重複進行步驟S132以後。
接著，使用圖7對維修裝置16之維修側處理部70所執行的維修處理之流程之一例進行說明。圖7表示維修裝置16之維修側處理部70所執行的維修處理之流程圖。維修側處理部70藉由讀入維修程式76，而執行維修處理。
如圖7所示，維修處理中，診斷部74係將預測數據68之要求輸出至網路18(S152)。診斷部74對是否已取得了預測數據68進行判斷(S154)。在取得預測數據68為止診斷部74處於待機狀態(S154：否)。若診斷部74取得預測數據68(S154：是)，依據包含於預測數據68的異常值之個數，對X射線厚度測定裝置12之異常進行診斷，算出異常位準(S156)。診斷部74將用於指示與算出的異常位準對應的警告的資訊(例如圖4A及圖4B所示警告圖像92)輸出至顯示部73(S158)。之後，維修側處理部70重複進行步驟S152以後。
如上述般第1實施形態之預測數據伺服器14可以生成對X射線厚度測定裝置12之故障等之異常進行診斷用的預測數據68並儲存。據此，預測數據伺服器14可以對X射線厚度測定裝置12之異常進行診斷，而且可以減低X射線厚度測定裝置12之板厚運算部24之處理負擔及診斷所必要的記憶容量。
又，第1實施形態之預測數據伺服器14，係對應於來自維修裝置16之要求，將儲存的預測數據68提供給維修裝置16。據此，預測數據伺服器14可以實現維修裝置16中的X射線厚度測定裝置12之異常之診斷。
＜第2實施形態＞ 接著，對變更了第1實施形態之預測數據68之生成方法的第2實施形態進行說明。
第2實施形態之預測部64，係依據各值TV、TC、Ep、Ip、Dv之標準偏差與臨限值比較的結果，生成預測數據68。亦即，預測部64生成包含各值TV、TC、Ep、Ip、Dv之標準偏差與臨限值之比較結果的預測數據68。圖8A、圖8B、圖8C、圖8、圖8D、圖8E分別為包含於測定資訊56的各值TV、TC、Ep、Ip、Dv之標準偏差之圖表。圖8A、圖8B、圖8C、圖8D、圖8E之橫軸表示時間。圖8A之圖表之縱軸表示管電壓值TV之標準偏差。圖8B之圖表之縱軸表示管電流值TC之標準偏差。圖8C之圖表之縱軸表示驅動電壓值Ep之標準偏差。圖8D之圖表之縱軸表示驅動電流值Ip之標準偏差。圖8E之圖表之縱軸表示檢測值Dv之標準偏差。圖8A、圖8B、圖8C、圖8D、圖8E之各值TV、TC、Ep、Ip、Dv之標準偏差為，為了將管電壓值TV維持於100kV而控制驅動電壓值Ep之情況下之值。
取得部62從網路18取得板厚運算部(控制裝置)24所輸出的圖8A、圖8B、圖8C、圖8D、圖8E所示各值TV、TC、Ep、Ip、Dv，並輸出至預測部64。預測部64取得各值TV、TC、Ep、Ip、Dv之後，算出各值TV、TC、Ep、Ip、Dv之標準偏差。預測部64係依據被附加對應於該標準偏差而事先設定的臨限值與標準偏差之比較的結果，生成預測數據68。又，預測部64依據包含於測定資訊56的驅動電壓值Ep、驅動電流值Ip、管電壓值TV、管電流值TC及檢測值Dv之至少之一之標準偏差與臨限值之比較的結果，生成預測數據68亦可。於此，事先設定的臨限值，係以X射線厚度測定裝置12之出廠試驗時的各值TV、TC、Ep、Ip、Dv之標準偏差作為正常之值，依據在該出廠試驗時的各值TV、TC、Ep、Ip、Dv之標準偏差之變動範圍加上餘裕度之值而被設定。
預測部64，如圖8A所示，例如判斷管電壓值TV之標準偏差是否為第1臨限值Th1+a以上或第2臨限值Th1-a以下。例如若管電壓值TV之標準偏差為第1臨限值Th1+a以上或第2臨限值Th1-a以下時，預測部64將管電壓異常值增加1。圖8A所示例中，管電壓值TV不在第1臨限值Th1+a以上或第2臨限值Th1-a以下，因此管電壓異常值未增加。
如圖8B所示，預測部64例如針對管電流值TC之標準偏差是否為第3臨限值Th2+b以上或第4臨限值Th2-b以下進行判斷。例如管電流值TC之標準偏差為第3臨限值Th2+b以上或第4臨限值Th2-b以下時，預測部64將管電流異常值增加1。例如圖8A、圖8B、圖8C、圖8D、圖8E所示例中，虛線包圍的區域內之管電流值TC之標準偏差成為第3臨限值Th2+b以上或第4臨限值Th2-b以下有2次，因此預測部64將管電流異常值增加2。
預測部64，如圖8C所示，例如針對驅動電壓值Ep之標準偏差是否為第5臨限值Th3+c以上或第6臨限值Th3-c以下進行判斷。例如驅動電壓值Ep之標準偏差為第5臨限值Th3+c以上或第6臨限值Th3-c以下時，預測部64將驅動電壓異常值增加1。圖8C所示例中，驅動電壓值Ep不在第5臨限值Th3+c以上或第6臨限值Th3-c以下，因此驅動電壓異常值未增加。
預測部64，如圖8D所示，例如針對驅動電流值Ip之標準偏差是否為第7臨限值Th4+d以上或第8臨限值Th4-d以下進行判斷。例如驅動電流值Ip之標準偏差為第7臨限值Th4+d以上或第8臨限值Th4-d以下時，預測部64將驅動電流異常值增加1。圖8D所示例中，驅動電流值Ip不在第7臨限值Th4+d以上或第8臨限值Th4-d以下，因此驅動電流異常值未增加。
預測部64，如圖8E所示，例如針對檢測值Dv之標準偏差是否為第9臨限值Th5+e以上或第10臨限值Th5-e以下進行判斷。例如檢測值Dv之標準偏差為第9臨限值Th5+e以上或第10臨限值Th5-e以下時，預測部64將檢測異常值增加1。圖8E所示例中，檢測值Dv不在第9臨限值Th+e以上或第10臨限值Th5-e以下，因此檢測異常值未增加。
預測部64生成包含管電壓異常值、管電流異常值、驅動電壓異常值、驅動電流異常值、及檢測異常值等之異常值的預測數據68。又，管電壓異常值、管電流異常值、驅動電壓異常值、驅動電流異常值、及檢測異常值等之異常值之各初期值可以為0。因此，若值TV、TC、Ep、Ip，Dv之標準偏差在對應的臨限值範圍內時，值TV、TC、Ep、Ip，Dv之標準偏差對應的異常值為0。
如上述般，第2實施形態之預測數據伺服器14係依據包含於測定資訊56的值TV、TC、Ep、Ip、Dv之標準偏差生成預測數據68。據此，預測數據伺服器14可以生成能夠減低因為測定資訊56之短時間之誤差所導致的X射線厚度測定裝置12之異常之誤診的預測數據68，而且可以減低預測數據68之記憶所必要的記憶容量。
＜第3實施形態＞ 接著，針對變更上述實施形態之預測數據68之生成方法的第3實施形態進行說明。
第3實施形態之預測部64，係依據檢測值Dv之分散與峰度之積、與事先設定的臨限值之比較結果來生成預測數據68。預測部64算出包含於測定資訊56的檢測值Dv之分散與峰度之積。預測部64依據算出的分散與峰度之積、與事先設定的臨限值之比較的結果來生成預測數據68亦可。亦即，預測部64生成包含檢測值Dv之分散與峰度之積、與臨限值之比較之結果的預測數據68。於此，事先設定的臨限值，係以X射線厚度測定裝置12之出廠試驗時的檢測值Dv之分散與峰度之積作為正常之值，依據在該出廠試驗時的檢測值Dv之分散與峰度之積之變動範圍加上餘裕度之值而設定。圖9表示包含於測定資訊56的檢測值Dv之分散與峰度之積之圖表。
測定對象90之厚度的統計誤差係成為布瓦松分布(Poisson distribution)。利用該統計的誤差，檢測出雜訊之性質。統計誤差依循布瓦松分布之情況下，分散及峰度可以使用平均值m以以下之公式表示。 分散=m 峰度=1/m
因此，依循布瓦松分布的檢測值Dv之分散與峰度之積，係不依賴於平均值m而成為一定之值(亦即，1)。因此，若燈絲38等無異常的話，檢測值Dv之分散與峰度之積大致為1。另一方面，在燈絲38被切斷之正前，檢測值Dv之分散與峰度之積，係如圖9之虛線之四角包圍的區域所示，顯現高的值。因此，預測部64藉由針對檢測值Dv之分散與峰度之積、與事先確定的臨限值Th6進行比較，可以檢測出燈絲38等之異常。在檢測值Dv之分散與峰度之積成為臨限值Th6以上之情況下，預測部64將檢測異常值增加1而生成預測數據68亦可。
如上述般，第3實施形態之預測數據伺服器14，係依據包含於測定資訊56的檢測值Dv之分散與峰度之積生成預測數據68。據此，預測數據伺服器14可以生成能夠減低因為測定資訊56之短時間之誤差引起的X射線厚度測定裝置12之異常之誤診的預測數據68，而且可以減低預測數據68之記憶所必要的記憶容量。
第3實施形態中，預測部64係針對檢測值Dv之分散與峰度之積、與事先設定的臨限值進行比較，並依據該比較結果生成預測數據68，但只要依據各值TV、TC、Ep、Ip、Dv之標準偏差與事先設定的臨限值之比較的結果，及檢測值Dv之分散與峰度之積與事先設定的臨限值之比較的結果之至少之一方來生成預測數據68即可，不限定於此。例如預測部64依據各值TV、TC、Ep、Ip、Dv之標準偏差與事先設定的臨限值之比較的結果，及檢測值Dv之分散與峰度之積與事先設定的臨限值之比較的結果之兩方而生成預測數據68亦可。
＜第4實施形態＞ 本實施形態中，預測數據伺服器14，係將從X射線厚度測定裝置12取得的測定資訊56進行記憶，以連續之規定數之測定資訊56或每一規定期間之測定資訊56之統計作為預測數據68而生成之例。以下之說明中，省略和上述實施形態同樣之構成之說明。
首先，對本實施形態之預測數據伺服器14之功能構成之一例進行說明。
取得部62係將從X射線厚度測定裝置12取得的測定資訊56寫入預測側記憶部60。
預測部64係以記憶於預測側記憶部60的測定資訊56之中之規定數之連續之測定資訊56或規定期間之測定資訊56之統計作為預測數據68而生成。於此，連續之測定資訊56係藉由X射線厚度測定裝置12(算出部52)連續生成的測定資訊56。又，規定數為事先設定的數，例如各日之6萬個。又，規定期間為事先設定的期間，例如各日之5分鐘。
預測部64係將生成的預測數據68，與被附加於該預測數據68之生成所使用的測定資訊56的時刻數據建立對應關連，並寫入預測側記憶部60。
但是，若於X射線產生器30發生故障等之異常時，無法算出測定對象90之厚度，無法對鋼板生產線中的測定對象90之厚度進行控制及監視。因此，在X射線產生器30產生異常之前(例如鋼板生產線之定期檢查時)，進行X射線產生器30之異常部位之交換等之維修，可以減少X射線產生器30之異常對鋼板生產線之影響。
但是，使用測定資訊56生成的預測數據68為巨大的數量，從巨大的數量之預測數據68之中找出必要的預測數據68是困難的。於此，本實施形態中，預測部64係將生成的預測數據68與被附加於該預測數據68之生成所使用的測定資訊56的時刻數據建立對應關連並寫入預測側記憶部60。據此，藉由參照與記憶於預測側記憶部60的預測數據68被建立對應關連的時刻數據，可以對必要的預測數據68進行檢索。該結果，從記憶於預測側記憶部60的巨大的數量之預測數據68可以容易找出必要的預測數據68。
實施形態中，預測部64係將生成的預測數據68，與該預測數據68之生成所使用的測定資訊56之中，被附加於最初取得的測定資訊56的時刻數據及被附加於最後取得的測定資訊56的時刻數據建立對應關連，並寫入預測側記憶部60。
又，預測部64，在生成預測數據68之後，將記憶於預測側記憶部60的測定資訊56之中之該預測數據68之生成所使用的測定資訊56從預測側記憶部60削除。據此，可以減少預測數據伺服器14中測定資訊56之記憶所要的記憶容量。但是，在測定資訊56產生了峰值之情況下，以該測定資訊56之峰值之產生作為促發，預測部64終止從預測側記憶部60刪除測定資訊56。據此，在測定資訊56產生峰值而X射線厚度測定裝置12有可能產生異常之情況下，不僅使用預測數據68，亦可以使用測定資訊56對X射線厚度測定裝置12之異常進行解析。
實施形態中，若測定資訊56所包含的管電壓值、管電流值、驅動電壓值、驅動電流值、檢測值、及厚度之中之至少之一產生了峰值之情況下，預測部64中止從預測側記憶部60刪除測定資訊56。又，實施形態中，預測部64針對記憶於預測側記憶部60的測定資訊56之中，被附加有比起附加於產生了峰值測定資訊56的時刻數據更後之時刻數據的測定資訊56不予以削除。
預測部64在中止從預測側記憶部60刪除測定資訊56之後，經過事先設定的期間(例如24小時)，若測定資訊56不再產生峰值之情況下，再度開始從預測側記憶部60刪除測定資訊56。若因塵埃等進入X射線厚度測定裝置12而暫時性於測定資訊56產生了峰值之情況下，X射線厚度測定裝置12之產生異常之可能性變高，使用測定資訊56對X射線厚度測定裝置12之異常進行解析之必要性降低，因此，再度開始從預測側記憶部60刪除測定資訊56。據此，可以減少預測數據伺服器14中測定資訊56之記憶所要的記憶容量。實施形態之預測部64，在測定資訊56產生峰值起，經過事先設定的期間，測定資訊56不產生峰值之情況下，係將被附加有從產生了峰值的測定資訊56上被附加的時刻數據起經過事先設定的期間之後之時刻數據的測定資訊56從預測側記憶部60削除。
又，預測部64，在測定資訊56產生峰值之每一次，將測定資訊56產生峰值之事經由網路18通知維修裝置16。另外，在測定資訊56所包含的檢測值及測定對象90之厚度產生峰值，但在測定資訊56所包含的驅動電壓值、驅動電流值、管電壓值、及管電流值未產生峰值及變動之情況下，預測部64檢測出X射線厚度測定裝置12內在X射線管36以外之部位產生異常。接著，預測部64將X射線厚度測定裝置12內在X射線管36以外之部位產生異常之事經由網路18通知維修裝置16。
接著，對本實施形態之維修裝置16之功能構成之一例進行說明。
診斷部74將從預測數據伺服器14取得的預測數據68作為X軸，以時間軸作為Y軸的圖表(以下稱為預測數據圖表)顯示於顯示部73。診斷部74將經由維修裝置16具有的未圖示的操作部所指示的預測數據圖表之時間軸上之時間帶之測定資訊56顯示於顯示部73。
據此，維修裝置16之作業員觀察顯示於顯示部73的預測數據68，而確認了X射線厚度測定裝置12之異常之情況下，容易確認測定資訊56，因此使用測定資訊56的X射線厚度測定裝置12之異常之解析可以容易化。實施形態中，診斷部74係事先取得從X射線厚度測定裝置12輸出的測定資訊56，並將取得的測定資訊56之中被附加有指示的時間帶之時刻數據的測定資訊56顯示於顯示部73者。
又，診斷部74，從預測數據伺服器14被通知測定資訊56產生了峰值之情況下，將通知在測定資訊56產生了峰值之通知圖像顯示於顯示部73。據此，維修裝置16之作業員容易辨識X射線厚度測定裝置12產生哪一種異常。
接著，使用圖10~15對測定資訊56所包含的管電壓TV之統計亦即預測數據68之生成處理之一例進行說明。於此，針對測定資訊56所包含的管電壓之預測數據68之生成例進行說明，但關於測定資訊56所包含的其他參數(例如管電流值TC、驅動電壓值Ep、驅動電流值Ip、檢測值Dv、及厚度T)亦同樣設為生成預測數據68者。
圖10表示第4實施形態的預測數據伺服器取得的測定資訊所包含的管電壓之一例的圖。圖10中，縱軸表示管電壓TV(kV)，橫軸表示時間軸(ms)。預測部64，如圖10所示，取得包含約130kV之管電壓TV之檢測結果的測定資訊56。預測部64係依據圖10所示管電壓TV之檢測結果，生成每一規定期間(於此為100s)之管電壓TV之預測數據68(例如平均、標準偏差、分散、偏度(skewness)、及峰度(Kurtosis))。
圖11係表示藉由第4實施形態的預測數據伺服器生成的管電壓之平均之生成結果之一例的圖。圖11中，縱軸表示管電壓TV之平均(kV)，橫軸表示時間軸(ms)。預測部64，如圖11所示，生成每一規定期間(於此為100s)之管電壓TV之平均作為預測數據68。
圖12係表示藉由第4實施形態的預測數據伺服器生成的管電壓之標準偏差之生成結果之一例的圖。圖12中，縱軸表示管電壓TV之標準偏差(kV)，橫軸表示時間軸(ms)。如圖12所示，預測部64生成每一規定期間(於此為100s)之管電壓TV之標準偏差σ作為預測數據68。
圖13係表示藉由第4實施形態的預測數據伺服器生成的管電壓之分散之生成結果之一例的圖。圖13中，縱軸表示管電壓TV之分散，橫軸表示時間軸(ms)。如圖13所示，預測部64生成每一規定期間(於此為100s)之管電壓TV之分散作為預測數據68。
圖14係表示藉由第4實施形態的預測數據伺服器生成的管電壓之偏度之生成結果之一例的圖。圖14中，縱軸表示管電壓TV之偏度，橫軸表示時間軸(ms)。如圖14所示，預測部64生成每一規定期間(於此為100s)之管電壓TV之偏度作為預測數據68。
圖15係表示藉由第4實施形態的預測數據伺服器生成的管電壓之峰度之生成結果之一例的圖。圖15中，縱軸表示管電壓TV之峰度，橫軸表示時間軸(ms)。如圖15所示，預測部64生成每一規定期間(於此為100s)之管電壓TV之峰度作為預測數據68。
接著，使用圖16說明藉由本實施形態的預測數據伺服器14進行測定資訊56之寫入處理之一例。於此說明管電壓TV產生了峰值之情況下之測定資訊56之寫入處理，但針對測定資訊56所包含的其他參數(例如管電流值TC、驅動電壓值Ep、驅動電流值Ip、檢測值Dv、及厚度T)產生了峰值之情況下亦同樣執行測定資訊56之寫入處理。
圖16係說明第4實施形態的預測數據伺服器中的測定資訊之寫入處理之一例之圖。圖16中，縱軸表示管電壓TV(kV)，橫軸表示時間軸(ms)。預測部64，在生成預測數據68之後，將記憶於預測側記憶部60的測定資訊56之中供作為預測數據68之生成所使用的測定資訊56從預測側記憶部60削除。
但是，如圖16所示，於時刻t1中，管電壓TV產生了峰值之情況下，預測部64中止測定資訊56之削除。如圖16所示，自中止從預測側記憶部60刪除測定資訊56起至經過事先設定的期間(例如830s)之時刻t2為止，管電壓TV不再產生峰值之情況下，再度開始從預測側記憶部60之測定資訊56之削除。
接著，使用圖17說明經由本實施形態的維修裝置16的預測數據68及測定資訊56之顯示處理之一例。於此說明測定資訊56所包含的管電壓TV之預測數據68之一例亦即標準偏差σ之顯示例，但關於測定資訊56所包含的其他參數之預測數據68亦同樣顯示。
圖17係說明藉由第4實施形態的維修裝置進行預測數據及測定資訊之顯示處理之一例之圖。如圖17所示，維修裝置16之診斷部74將包含縱軸表示管電壓TV之標準偏差σ、橫軸表示時間軸(ms)的預測數據圖表1701的視窗W1顯示於顯示部73。
在經由維修裝置16具有的未圖示的操作部，在顯示於顯示部73的視窗W1內之預測數據圖表1701之時間軸中，若顯示測定資訊56的時間帶被指示時，診斷部74將包含該指示的時間帶之管電壓TV之圖表的視窗W2顯示於顯示部73。於此，管電壓TV之圖表中，縱軸表示管電壓TV(kV)，橫軸表示時間軸(ms)。
據此，維修裝置16之作業員觀察顯示於視窗W1的預測數據圖表1701，確認了X射線厚度測定裝置12之異常之情況下，容易確認管電壓TV之圖表，因此使用測定資訊56的X射線厚度測定裝置12之異常之解析可以容易化。
接著，使用圖18說明藉由本實施形態的預測數據伺服器14之預測側處理部58所執行的預測處理之流程之一例。
圖18表示第4實施形態的預測數據伺服器所執行的預測處理之流程之一例的流程圖。
如圖18所示，本實施形態之預測處理中，取得部62經由網路18從X射線厚度測定裝置12取得測定資訊56，並寫入預測側記憶部60(S1801)。預測部64針對是否取得規定數之連續之測定資訊56進行判斷(S1802)。若未取得規定數之連續之測定資訊56之情況下(S1802：否)返回S1801，取得部62取得新的測定資訊56。
另一方面，取得規定數之連續之測定資訊56之情況下(S1802：是)，預測部64依據規定數之連續之測定資訊56生成預測數據68(S1803)。預測部64例如針對包含於測定資訊56的各值TV、TC、Ep、Ip、Dv與臨限值進行比較，對各值TV、TC、Ep、Ip、Dv是否為異常值進行判斷，生成包含異常值之個數的預測數據68。接著，預測部64將生成的預測數據68儲存於預測側記憶部60(S1804)。
另外，預測部64針對取得的測定資訊56是否產生峰值，或從測定資訊56最後產生峰值之後，是否經過事先設定的期間未產生新的峰值進行判斷(S1805)。若取得的測定資訊56未產生峰值之情況下，或從測定資訊56最後產生峰值起已經過事先設定的期間之情況下(S1805：否)，預測部64從預測側記憶部60將取得的測定資訊56削除(S1806)。另一方面，若取得的測定資訊56產生峰值之情況下，或從測定資訊56最後產生峰值起乃未經過事先設定的期間之情況下(S1805：是)，預測部64不進行從預測側記憶部60刪除測定資訊56。
接著，預測部64判斷是否已從維修裝置16取得了預測數據68之要求(S1807)。預測部64判斷為未取得預測數據68之要求時(S1807：否)，預測側處理部58重複進行步驟S1801以後。預測部64判斷為已取得預測數據68之要求(S1807：是)時，將預測數據68輸出至網路18(S1808)。之後，預測側處理部58重複進行步驟S1801以後。
如此般，依據第4實施形態的預測數據伺服器14，參照與記憶於預測側記憶部60的預測數據68被建立對應關連的時刻數據，可以對必要的預測數據68進行檢索。結果，容易從記憶於預測側記憶部60的巨大的數量之預測數據68找出必要的預測數據68。
對本發明之幾個實施形態進行說明，但彼等實施形態僅為提示之例，並非用來限定發明之範圍。彼等新規的實施形態可以其他各種形態實施，在不脫離發明之要旨之範圍內，可以進行各種之省略、置換、變更。彼等實施形態或其變形，係包含於發明之範圍或要旨，且包含於與申請專利範圍記載之發明均等之範圍。
上述實施形態中舉出在與預測數據伺服器14不同之維修裝置16設置診斷部74之例進行說明，但診斷部74亦可以設置於預測數據伺服器14。
10：X射線厚度測定系統 12：X射線厚度測定裝置 14：預測數據伺服器 16：維修裝置 18：網路 20：測定部 22：X射線控制電源 24：板厚運算部(控制裝置) 26：保持部 28：變壓器 30：X射線產生器 32：檢測器 34：輸出檢測部 35：電阻 36：X射線管 38：燈絲 40：標靶 42：驅動檢測部 44：管檢測部 90：測定對象
[圖1] 圖1表示實施形態之X射線厚度測定系統之全體構成的概略圖。 [圖2A] 圖2A表示實施形態之X射線厚度測定系統之控制系統之構成的方塊圖。 [圖2B] 圖2B表示在實施形態之X射線厚度測定系統內傳送/接收的測定資訊之數據之構成之一例的圖。 [圖3A] 圖3A表示測定資訊之管電壓值TV之一例的圖表。 [圖3B] 圖3B表示測定資訊之管電流值TC之一例的圖表。 [圖3C] 圖3C表示測定資訊之驅動電壓值Ep之一例的圖表。 [圖3D] 圖3D表示測定資訊之驅動電流值Ip之一例的圖表。 [圖3E] 圖3E表示測定資訊之檢測值Dv之一例的圖表。 [圖4A] 圖4A表示實施形態之維修裝置所輸出的警告圖像之一例的圖。 [圖4B] 圖4B表示實施形態之維修裝置所輸出的警告圖像之一例的圖。 [圖5] 圖5表示實施形態之厚度測定裝置之控制側處理部所執行的測定處理之流程圖。 [圖6] 圖6表示實施形態之預測數據伺服器之預測側處理部所執行的預測處理之流程圖。 [圖7] 圖7表示實施形態之維修裝置之維修側處理部所執行的維修處理之流程圖。 [圖8A] 圖8A表示測定資訊之管電壓值TV之標準偏差之圖表。 [圖8B] 圖8B表示測定資訊之管電流值TC之標準偏差之圖表。 [圖8C] 圖8C表示測定資訊之驅動電壓值Ep之標準偏差之圖表。 [圖8D] 圖8D表示測定資訊之驅動電流值Ip之標準偏差之圖表。 [圖8E] 圖8E表示測定資訊之檢測值Dv之標準偏差之圖表。 [圖9] 圖9表示測定資訊包含的檢測值之分散與峰度(Kurtosis)之積之圖表。 [圖10] 圖10表示第4實施形態的預測數據伺服器取得的測定資訊所包含的管電壓之一例的圖。 [圖11] 圖11表示第4實施形態的預測數據伺服器生成的管電壓之平均之生成結果之一例的圖。 [圖12] 圖12表示第4實施形態的預測數據伺服器生成的管電壓之標準偏差之生成結果之一例的圖。 [圖13] 圖13表示第4實施形態的預測數據伺服器生成的管電壓之分散之生成結果之一例的圖。 [圖14] 圖14表示第4實施形態的預測數據伺服器生成的管電壓之偏度(skewness)之生成結果之一例的圖。 [圖15] 圖15表示第4實施形態的預測數據伺服器生成的管電壓之峰度之生成結果之一例的圖。 [圖16] 圖16表示第4實施形態的預測數據伺服器中的測定資訊之寫入處理之一例之說明圖。 [圖17] 圖17表示基於第4實施形態的維修裝置之預測數據及測定資訊之顯示處理之一例之說明圖。 [圖18] 圖18表示第4實施形態的預測數據伺服器執行的預測處理之流程之一例的流程圖。
10：X射線厚度測定系統 12：X射線厚度測定裝置 14：預測數據伺服器 16：維修裝置 18：網路 20：測定部 22：X射線控制電源 24：板厚運算部(控制裝置) 26：保持部 28：變壓器 30：X射線產生器 32：檢測器 34：輸出檢測部 35：電阻 36：X射線管 38：燈絲 40：標靶 42：驅動檢測部 44：管檢測部 90：測定對象

Claims (12)

  1. 一種預測數據伺服器，具備：取得部，係從X射線厚度測定裝置取得包含驅動電壓值、驅動電流值、管電壓值、管電流值、及檢測信號之中之至少之一的測定資訊，該X射線厚度測定裝置為具備以下者：供給電力的X射線控制電源；X射線產生器，其具有藉由來自上述X射線控制電源之電力而放出電子的燈絲、及藉由從該燈絲放出的電子之碰撞而對厚度之測定對象照射X射線的標靶；檢測部，係以和通過上述測定對象的上述X射線之強度對應的檢測電壓及檢測電流之至少一方作為上述檢測信號並輸出；變壓器，對來自上述X射線控制電源之電力進行變壓並供給至上述燈絲；驅動檢測部，對該變壓器之一次側之電壓亦即上述驅動電壓值及流入上述變壓器之一次側的電流值亦即上述驅動電流值進行檢測；及管檢測部，對上述燈絲與上述標靶間之電壓亦即上述管電壓值及流入上述燈絲與上述標靶間的電流值亦即上述管電流值進行檢測；預測部，生成以經由上述取得部取得的上述測定資訊之統計作為對上述X射線厚度測定裝置之異常進行診斷之預測數據；記憶部，將上述預測部所生成的上述預測數據進行記憶。
  2. 如申請專利範圍第1項之預測數據伺服器，其中上述X射線厚度測定裝置還具備：板厚運算部，依據從上述檢測部輸出的上述檢測信號，算出上述測定對象之厚度；上述取得部，係從上述X射線厚度測定裝置取得包含上述驅動電壓值、上述驅動電流值、上述管電壓值、上述管電流值、上述檢測信號、及上述板厚運算部算出的厚度之至少1個參數，而且被附加有該參數之檢測時或算出時之時刻數據的上述測定資訊；上述預測部，係生成規定數之連續之上述測定資訊或每一規定期間之上述測定資訊之統計作為上述預測數據，並將上述預測數據與該預測數據之生成時使用的上述測定資訊上被附加的上述時刻數據建立對應關連並寫入上述記憶部。
  3. 如申請專利範圍第1項之預測數據伺服器，其中上述預測部，係將上述取得部取得的上述測定資訊寫入上述記憶部，在上述預測數據之生成後，將該預測數據之生成所使用的上述測定資訊從上述記憶部削除，上述預測部，係以上述測定資訊之峰值之產生作為促發，中止從上述記憶部刪除上述測定資訊，若上述測定資訊之峰值經過事先設定的時間未再度產生之情況下，再度開始從上述記憶部刪除上述測定資訊。
  4. 如申請專利範圍第3項之預測數據伺服器，其中上述取得部取得上述測定資訊之週期，比起上述預測數據之生成所要的時間更長。
  5. 如申請專利範圍第2項之預測數據伺服器，其中上述預測部，若上述檢測信號及上述板厚運算部所算出的厚度產生峰值及變動，但上述驅動電壓值、上述驅動電流值、上述管電壓值、及上述管電流值未產生峰值及變動之情況下，將上述X射線厚度測定裝置內，在內部收納有上述燈絲及上述標靶的X射線管以外之部位存在異常之事通知維修裝置。
  6. 如申請專利範圍第3項之預測數據伺服器，其中上述預測部，係生成包含上述測定資訊之標準偏差與第1臨限值之比較之結果、及上述測定資訊所包含的上述檢測信號之分散與峰度之積與第2臨限值之比較之結果的上述預測數據。
  7. 一種X射線厚度測定系統，具備：如申請專利範圍第1至6項中任一項之預測數據伺服器；上述X射線厚度測定裝置；及維修裝置；上述預測部，係對應於來自上述維修裝置之要求，將 記憶於上述記憶部的上述預測數據輸出至上述維修裝置；上述維修裝置具備顯示上述預測數據的顯示部。
  8. 如申請專利範圍第7項之X射線厚度測定系統，其中上述預測部，係在上述測定資訊產生峰值之每一次，將上述測定資訊產生了峰值之事通知上述維修裝置；上述顯示部，將表示上述X射線厚度測定裝置之異常位準的指示器予以顯示，在從上述預測數據伺服器被通知上述測定資訊產生了峰值之每一次，將上述異常位準提高。
  9. 如申請專利範圍第7項之X射線厚度測定系統，其中上述顯示部，係將表示上述X射線厚度測定裝置之異常位準的指示器予以顯示，若在事先設定的期間內之上述預測數據產生了事先設定的次數以上之峰值之情況下，將上述異常位準提高。
  10. 如申請專利範圍第7項之X射線厚度測定系統，其中上述顯示部，係將以上述預測數據作為X軸而且以時間軸作為Y軸的圖表進行顯示，將經由操作部指示的上述Y軸上之時間帶之上述測定資訊進行顯示。
  11. 如申請專利範圍第7項之X射線厚度測定系統，其中上述顯示部，係將通知上述測定資訊產生了峰值之圖 像進行顯示。
  12. 如申請專利範圍第7項之X射線厚度測定系統，其中上述預測部具備：通知部，其將上述預測數據通知外部之上位裝置。
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