JP6122796B2 - X線厚さ計 - Google Patents
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Description
前記X線発生器から照射する照射線量が被測定物を透過した検出照射線量を検出する検出器と、照射された前記X線の経路中に設けられる厚さ基準片を備える校正装置と、前記検出器の出力から前記被測定物による前記X線の減衰量を求めて、予め作成された前記厚さ基準片の厚さと前記検出照射線量とを対応付けした校正テーブルを参照して前記被測定物の厚さを求める演算部と、を備えるX線厚さ計であって、さらに、前記冷却媒体の温度を測定する温度センサを備え、前記演算部は、前記厚さ基準片を用いて測定する校正時の前記冷却媒体の温度と、前記被測定物を補正する測定中の冷却媒体の温度と、の温度差に基づいて前記検出照射線量を求める温度補正テーブル、または、温度補正式を予め備え、前記演算部は、前記測定中の前記冷却媒体の温度と前記校正時の温度との差を求めて、前記温度補正テーブル又は温度補正式を参照して前記検出照射線量を補正し、さらに、前記校正テーブルを参照して厚さを求め、測定中であっても厚さ測定誤差の補正が可能としたことを特徴とする。
したがって、この補正された検出照射線量Imを上記式で求め、または、この関係を温度補正テーブルから求め、求めたImに基づいて温度Tr時の校正テーブルを参照して厚さを求めれば、温度差に対応する測定誤差が補正された厚さを求めることができる。
1a X線管
1b 冷却部
1c 電源部
2 校正装置
2a 厚さ基準片
3 X線制御電源
4 被測定物
5 検出器
6 演算部
7 冷却媒体の供給部
8 冷却媒体排出部
9 温度センサ
100 X線厚さ計
Claims (2)
- X線管と、X線管を冷却媒体で冷却する冷却部と、当該X線管に印加する高圧電源及びフィラメント電流を安定化して供給する電源部と、を備え、X線を生成するX線発生器と、
前記X線発生器から照射する照射線量が被測定物を透過した検出照射線量を検出する検出器と、
照射された前記X線の経路中に設けられる厚さ基準片を備える校正装置と、
前記検出器の出力から前記被測定物による前記X線の減衰量を求めて、予め作成された前記厚さ基準片の厚さと前記検出照射線量とを対応付けした校正テーブルを参照して前記被測定物の厚さを求める演算部と、
を備えるX線厚さ計であって、
さらに、前記冷却媒体の温度を測定する温度センサを備え、
前記演算部は、前記厚さ基準片を用いて測定する校正時の前記冷却媒体の温度と、前記被測定物を補正する測定中の冷却媒体の温度と、の温度差に基づいて前記検出照射線量を求める温度補正テーブル、または、温度補正式を予め備え、
前記演算部は、前記測定中の前記冷却媒体の温度と前記校正時の温度との差を求めて、前記温度補正テーブル又は温度補正式を参照して前記検出照射線量を補正し、さらに、前記校正テーブルを参照して厚さを求め、測定中であっても厚さ測定誤差の補正が可能としたことを特徴とするX線厚さ計。 - 前記温度センサは、前記冷却部から冷却媒体が排出される位置に設けるようにした請求項1に記載のX線厚さ計。
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