TWI680927B - 保管棚 - Google Patents

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Abstract

具有複數個收納部的保管棚包含：複數個支柱，豎立設置在左右兩端部及相鄰的收納部之間的各個位置；朝左右方向延伸的橫架構件；及載置被保管物的載置部。支柱是包含分割形成之一對分割支柱體。橫架構件是固定於一對分割支柱體之間。載置部是在抵接於橫架構件的狀態下，呈懸臂狀地固定於相鄰的支柱。

Description

保管棚
發明領域 本發明是有關於一種具有複數個收納部的保管棚。
發明背景 在例如工業製品的製程中，保管設備是用以在待工等的期間暫時性地保管原料或中間製品等。保管設備是例如日本特開第2002-252277號公報(專利文獻1)所揭示之內容般普遍包含有保管棚，且該保管棚具有朝上下左右對齊配置的複數個收納部。
在此，專利文獻1的保管棚包含複數個支柱[柱3]、載置被保管物的載置部[頂板5]、及固定於支柱而支撐載置部的支撐構件[支撐肋6]。且，於專利文獻1的保管棚中，載置部是在藉由一端分別固定於左右兩側之支柱的支撐構件從下方支撐的狀態下，藉由固接構件而固定於支撐構件。
發明概要 用以解決課題之手段 然而，在如此之構成中，由於是將左右一對支撐構件個別地固定於分別對應的支柱，故兩支撐構件之上下方向的對位困難，且有錯位會直接影響載置部之傾斜的缺點。又，為避免發生該情形，需要精確度佳地進行兩支撐構件之上下方向的對位。在此情形下，必須對所有的收納部進行仔細的作業，而在裝設作業上花費莫大的勞力。
期望有當使用複數個支柱及複數個載置部組裝時，裝設作業容易且可適度地進行載置部之對位的保管棚。
本發明之保管棚是一種具有朝上下左右對齊配置的複數個收納部的保管棚，包含：複數個支柱，沿著上下方向豎立設置在前述複數個收納部的左右兩端部及彼此左右相鄰的前述收納部之間的各個位置，並且分別包含朝前後方向分割形成的一對分割支柱體；朝左右方向延伸的橫架構件，固定於一對前述分割支柱體當中位於背面側之第一分割支柱體的前面或是位於正面側之第二分割支柱體的背面；及載置被保管物的載置部，在至少一部分抵接於前述橫架構件的上端部的狀態下，在背面側呈懸臂狀地固定於朝左右方向彼此相鄰的前述支柱。
即，具有朝上下左右對齊配置的複數個收納部的保管棚包含：沿著上下方向豎立的複數個支柱、及藉由前述支柱所支撐之載置被保管物的載置部，前述支柱設置在前述複數個收納部的左右兩端部與彼此左右相鄰的前述收納部之間的各個位置，前述載置部固定於彼此相鄰的前述支柱，前述支柱包含朝前後方向分割形成的一對分割支柱體，且前述保管棚進一步包含固定於一對前述分割支柱體當中位於背面側之第一分割支柱體的前面或是位於正面側之第二分割支柱體的背面的朝左右方向延伸的橫架構件，前述載置部在該載置部之至少一部分抵接於前述橫架構件的上端部的狀態下，呈懸臂狀地固定於前述支柱。
根據此構成，由於可令上端部抵接於載置部的橫架構件作為定位的構件而發揮功能，故即使是在將各個載置部分別固定於相鄰的支柱時，亦可高精確度地進行載置部在上下方向上的定位。所以，可將各個載置部分別朝水平(正面視角中的水平)裝設，並且可使各段中之載置部的高度一致。又，上述載置部之高精確度的定位，由於僅需以抵接於橫架構件之上端部的方式令載置部相對移動而固定於支柱即可進行，故可達到裝設作業容易化。因此，可實現當使用複數個支柱及複數個載置部組裝時，裝設作業容易且可適度地進行載置部之對位的保管棚。
且，在本構成中，由於將如同上述用以定位的橫架構件設置於一對分割支柱體的前後方向之間，故相較於例如將橫架構件固定在第二分割支柱體的前面的情形，可不受限於橫架構件之尺寸，而將被保管物***至收納部的更深處。所以，可抑制保管棚之前後方向之尺寸的擴大，並可提升收納效率。又，當載置部至少固定於第一分割支柱體時，在被保管物載置於載置部的狀態下，作用於載置部之載重的一部分亦可由橫架構件承受。所以，可提升載置部對被保管物的支撐強度。進而，由於支柱具有朝前後方向分割形成的一對分割支柱體，故不僅確保與作為單一構造物構成時相同程度的強度，並且可達到材料費之降低。
本發明之更進一步的特徵及優點，藉由參照附圖所記載之以下例示且非限定的實施形態之說明應可更明確地看出。
用以實施發明之形態 就保管設備之實施形態加以說明。在本實施形態中，作為其中一個例子，是就例如將容納半導體晶圓等所構成之半導體基板的容器7作為被保管物而保管之保管設備1加以說明。本實施形態之保管設備1是設置於例如無塵室內，且用以在例如半導體製品的製程中，於待工等的期間暫時地保管原料或中間製品等。保管設備1之保管機能是以具有複數個收納部S的保管棚2為核心而實現。以下，就本實施形態之保管設備1及保管棚2詳細地加以說明。
再者，於以下之說明中，上下方向V、左右方向H、及前後方向D之各方向，是以正對於定置在保管設備1之保管棚2的狀態下的方向為基準而定義。即，上下方向V與保管棚2之高度方向一致，左右方向H與保管棚2之寬度方向一致，前後方向D與保管棚2之深度方向一致。又，以下說明中所謂「沿著某個方向」是一種概念，該概念除了包含與該方向平行的狀態，亦包含對該方向些微(例如小於10 °的角度)傾斜的狀態。又，以下說明中使用的方向或尺寸等相關用語(「平行」或「等間隔」等)是一種概念，該概念亦包含具有誤差(製造上或裝設上可容許之程度的誤差)所生成之差異的狀態。
如圖1所示，保管設備1包含具有複數個收納部S的保管棚2。又，保管設備1進一步包含氣體供給部5，該氣體供給部5是將惰性氣體供給至收納於收納部S的容器7的各個。保管棚2及氣體供給部5是配設於以地板部91、周壁部92、及天花板部93包覆外圍的保管室90內。又，保管設備1進一步包含在其與收納部S之間搬送容器7的搬送部6。搬送部6之主要構成包含有第一搬送裝置61、移動裝置62、第二搬送裝置63、及移載裝置67。第一搬送裝置61配設於保管室90之外，移動裝置62配設成貫通周壁部92的狀態，第二搬送裝置63及移載裝置67則配設於保管室90內。氣體供給部5及搬送部6之各自的動作，是基於來自設置在保管設備1的控制裝置(未圖示)的指令而被控制。
在本實施形態中，保管設備1是包含成對的2個保管棚2。該等2個保管棚2是設置為夾住構成搬送部6的第二搬送裝置63而相向。再者，在本實施形態中，2個保管棚2當中的一者為一併設置有氣體供給部5的「沖淨棚」，另一者則為未設置氣體供給部5的「非沖淨棚」。該等是除了氣體供給部5之設置的有無，以及，構成搬送部6之移動裝置62之設置空間的有無以外，基本上為相同的構造。
如圖2所示，保管棚2具有朝上下左右對齊配置的複數個收納部S。保管棚2具有複數個(在本例中是156個)收納部S，該複數個收納部S是對齊配置成在上下方向V上具有m段(m為2以上的任意整數，在本例中m=12)且在左右方向H上具有n列(n為2以上的任意整數，在本例中n=13)。在本實施形態中，屬於各段之各個的所有收納部S配置於相同的上下方向V之位置，且，屬於各列之各個的所有收納部S配置於相同的左右方向H之位置，複數個收納部S是整體對齊配置成正交之格子狀。
保管棚2包含有沿著上下方向V豎立設置的複數個支柱20、及載置藉由支柱20而支撐的容器7的載置部30。在本實施形態中，保管棚2包含有只比收納部S的列數多1根之(n+1)根的支柱20。該等(n+1)根的支柱20是設置成在左右方向H上以等間隔排成一列。且，載置部30是固定於彼此相鄰的支柱20。在本實施形態中，與收納部S的段數相等的m個載置部30，在與收納部S的列數相等的n處，是分別固定於彼此相鄰的支柱20。在各個載置部30之上側的空間，且為被區隔在比上1段的載置部30更下側的空間，形成有收納部S。如此，在本實施形態中，構成(n+1)根的支柱20的每1根，是設置於保管棚2之左右方向H的兩端部及彼此朝左右方向H相鄰的收納部S之間的各個位置。
再者，作為容器7，可使用例如稱為FOUP(晶圓傳送盒；Front Opening Unified Pod)之前開式的箱型容器。此種容器7可為符合SEMI(Semiconductor Equipment and Materials Institute)標準的合成樹脂製之氣密容器。如圖5及圖6所示，容器7包含具有開口部的殼體71、及對該殼體71覆蓋開口部之自由裝卸的蓋體(未圖示)。容器7是構成為在蓋體裝設於殼體71的狀態下，內部空間密閉於氣密狀態。又，容器7在其上表面進一步包含有被第一搬送裝置61固持的凸緣76。
構成容器7之殼體71是整體形成為立方體狀。所謂「立方體狀」意指儘管具有少許的變形部分，但其整體的概略形狀仍為立方體(以下，關於與形狀等相關而附加「狀」字使用的其他表現也是相同的意旨)。容器7是在背板部72與一對側板部73的各個之間的區域具有平面狀或曲面狀的斜行板部74。如此，本實施形態之容器7是形成為於背面側之左右兩側具有斜行板部74的倒角立方體狀。考慮到此種容器7的立體形狀，設置於相鄰的收納部S之間的支柱20，是配置於在載置於載置部30的狀態下彼此朝左右方向H相鄰的2個容器7之相向的斜行板部74之間所區隔出來的空間(參照圖5)。藉此，可避免構成保管棚2的複數個支柱20與作為被保管物的容器7的干涉，且適當地分散設置於左右方向H。
如圖3~圖6所示，載置部30是在前後方向D的背面側(裏側)呈懸臂狀地固定於支柱20。載置部30是前後方向D的正面側(前側)為開放。此種懸臂構造在容易對收納部S由正面側進行容器7之移載的點上是有利的。
載置部30具有從下方承接並支撐載置之容器7的載置本體部31、及分別固定於支柱20的一對安裝板部37。載置本體部31是形成為沿著左右方向H及前後方向D而延伸的平板狀。載置本體部31於俯視中是在正面側具有五角形狀的缺口部31a，且於俯視中是形成為呈U字狀。載置本體部31的缺口部31a是成為設置於移載裝置67的支撐體68上下地通過的空間。
複數個(在本例中是3個)頂出銷32以朝向上方突出的方式設置於載置本體部31的上表面。複數個頂出銷32是沿著缺口部31a設置。容器7的底面形成有溝部或孔部等所構成之卡合凹部(未圖示)，在頂出銷32與容器7之卡合凹部卡合的狀態下，使容器7定位於載置本體部31。再者，在本實施形態中，1個頂出銷32設置於五角形狀的缺口部31a之頂點附近，2個頂出銷32設置於U字狀的載置本體部31之突出側的前端部(U字前端部)附近。設置於U字前端部的2個頂出銷32之間的左右方向H的間隔，比朝左右方向H相鄰的一對支柱20之間的間隔更狹窄。
又，載置本體部31的上表面設置有用以將來自氣體供給部5所供給之惰性氣體供給至容器7之內部的供氣部33、及使從容器7之內部排出的氣體流通的排氣部34。供氣部33連接有構成氣體供給部5的後述分歧配管53。排氣部34連接有相反側之端部開放的排氣管(未圖示)。容器7的底面形成有用以注入自氣體供給部5供給之惰性氣體的供氣口78(參照圖6)、及用以排出存在於內部空間之氣體的排氣口(未圖示)。在容器7定位於載置本體部31的狀態下，供氣部33與供氣口78連通，排氣部34與排氣口連通。當自氣體供給部5供給預定壓力的惰性氣體時，使容器7之內部的氣體從排氣口排出至外部，並從供氣口78將惰性氣體注入至容器7的內部。
又，載置本體部31的上表面亦設置有複數個(在本例中是2個)存貨感測器35。存貨感測器35可藉由例如壓力感測器等而構成。存貨感測器35是檢測容器7是否載置於載置部30(換句話說即容器7是否收納於收納部S)。
一對安裝板部37是形成為沿著上下方向V及前後方向D而延伸的平板狀。該等在載置部30的左右方向H的兩端部是朝左右方向H彼此相向地配置，且配置於面向各自對應之支柱20的側面的狀態。安裝板部37是配置成交叉(在本例中是正交)於載置本體部31的狀態。安裝板部37是形成為在側面視角中呈L字狀。安裝板部37是配置成在載置本體部31的背面側，其一部分比載置本體部31更進一步位於背面側的狀態。於各自的安裝板部37形成有貫通於其厚度方向(在本例中是左右方向H)的複數個(在本例中是3個)插通孔37a(參照圖6)。該插通孔37a是用以插通構成固接構件81的螺栓之軸部的孔部，且該固接構件81用以將載置部30固定於支柱20。
載置部30進一步具有以交叉(在本例中是正交)的方式設置於載置本體部31的一對肋部39。一對肋部39大致上是形成為沿著上下方向V及前後方向D而延伸的細長形平板狀。肋部39在俯視中，是以連結設置於載置本體部31之成為受貨點的U字前端部的頂出銷32與支柱20的方式直線地延伸。肋部39是配置成隨著從設置有支柱20的背面側朝向U字前端部所在的正面側，以朝向左右方向H的內側(收納部S的左右中央側)的方式，對前後方向D微微(在本例中是約15°的程度)傾斜的狀態。
在本實施形態中，構成載置部30的載置本體部31及肋部39是一體地形成。又，安裝板部37也包含在內，構成載置部30的載置本體部31及肋部39及安裝板部37是一體地形成。在本實施形態中，載置本體部31及肋部39及安裝板部37是藉由彎曲加工金屬製的平板構件而一體地形成。在圖示之例中，以使用無孔板作為金屬製的平板構件的情形為例，但不限定於如此之構成，亦可使用例如網板或沖孔板等的多孔板。
在本實施形態中，由於載置部30設置有與載置本體部31一體的肋部39，故可提升該載置部30自身的強度。由於肋部39是連結支柱20及載置本體部31之成為受貨點的U字前端部而直線地延伸，故可充分地確保載置部30對容器7的支撐強度。特別是，即使不在支柱20及載置部30的連結部位另外設置補強用的構件，亦可充分地確保載置部30對容器7的支撐強度。又，藉由金屬製的平板構件之彎曲加工，可容易地形成輕量且具備足夠之支撐強度的載置部30。
在此，在本實施形態中，沿著上下方向V豎立設置的複數個支柱20，分別包含朝前後方向D分割形成的一對分割支柱體21、22(參照圖5)。此種分割構造的支柱20(分割支柱體21、22)，至少確保了與作為單一構造物構成時相同程度的強度，並且在達到降低材料費的點上是有利的。複數個支柱20分別包含第一分割支柱體21、及與該第一分割支柱體21平行且朝前後方向D隔著間隙配置的第二分割支柱體22。第一分割支柱體21及第二分割支柱體22是在上下方向V的複數處，透過間隔件而連結固定於前後方向D之間。再者，第一分割支柱體21及第二分割支柱體22之間的前後方向D的間隙，相較於載置部30的前後方向D的長度為非常小(例如是小於1/15)。一對分割支柱體21、22是任一對皆配置於載置部30的背面側的端部。第二分割支柱體22是配置於比第一分割支柱體21更正面側。第二分割支柱體22在側面視角中，是配置成與載置於載置部30之狀態的容器7背面側的端部重疊(參照圖6)。另一方面，第一分割支柱體21不與載置於載置部30之狀態的容器7重疊，而是配置於比該容器7更背面側。
保管棚2進一步包含朝左右方向H延伸的橫架構件40。橫架構件40是橫跨朝左右方向H相鄰的支柱20而架設。在本實施形態中，橫架構件40在與將支柱20設定為分割構造的關係中，是設置於一對分割支柱體21、22的前後方向D之間。換句話說，橫架構件40是利用第一分割支柱體21及第二分割支柱體22之間的前後方向D的間隙而配置。更具體地說，在本實施形態中，橫架構件40位於一對分割支柱體21、22當中的背面側，且，固定在比載置於載置部30之狀態的容器7更位於背面側的第一分割支柱體21的前表面21a。若是如此之固定位置，即使是在追加設置橫架構件40的情形下，也不受限於其尺寸(尤其是上下方向V的尺寸)而不會與載置狀態下的容器7產生干涉。又，可將用以使橫架構件40固接而固定於第一分割支柱體21的固接構件82的螺栓之頭部，收置於一對分割支柱體21、22之間的前後方向D的間隙。如此，可不降低保管棚2之前後方向D的收納效率，並完成橫架構件40的設置。
在本實施形態中，橫架構件40是橫跨並固定於朝左右方向H彼此相鄰之3根以上的第一分割支柱體21。橫架構件40宜為橫跨並固定於朝左右方向H彼此相鄰之數根的第一分割支柱體21。例如，可使用長度約有保管棚2之左右方向H的長度的一半的橫架構件40，橫跨於朝左右方向H彼此相鄰之半數(在本例中是7根)的第一分割支柱體21而固定橫架構件40。如此，由於是橫跨複數列的收納部S而架設共通的橫架構件40，故容易進行橫架構件40的設置作業。又，亦容易水平地設置橫架構件40。
亦利用如此之橫架構件40，將載置部30呈懸臂狀地固定於構成支柱20的一對分割支柱體21、22。載置部30是在該載置部30的至少一部分抵接於橫架構件40的上端部40u的狀態下，固定於一對分割支柱體21、22。橫架構件40是藉由其上端部40u抵接於載置部30，而至少作為用以決定載置部30的設置位置及設置姿勢的定位構件發揮功能。所以，即使是在將各個載置部30分別固定於彼此相鄰的支柱20的情形下，亦可高精確度地進行載置部30在上下方向V上的定位。其結果，可將各個載置部30分別朝水平(正面視角中的水平)裝設，並且可使在各段中的各個載置部30的高度一致。又，由於僅以抵接於橫架構件40的上端部40u的方式使載置部30相對移動而固定於支柱20，便可進行如此之載置部30之高精確度的定位，故裝設作業也非常容易。
進而在本實施形態中，載置部30是與一對安裝板部37及橫架構件40交叉，且，在一對安裝板部37的各個的下端部37d抵接於橫架構件40的上端部40u的狀態下，固定於一對分割支柱體21、22(參照圖6)。在如此之構成中，由於可使一對安裝板部37的下端部37d在交叉狀態下穩定地抵接於橫架構件40的上端部40u，所以可更加容易且高精確度地進行載置部30在上下方向V上的定位。載置部30是在與安裝板部37及一對分割支柱體21、22的各側面21c、22c面接觸的狀態下(參照圖5)，藉由插通於安裝板部37之插通孔37a的固接構件81而固定於一對分割支柱體21、22。在本例中，載置部30是對第二分割支柱體22固定於上下2處，並且對第一分割支柱體21，在與對第二分割支柱體22之上側的固定位置相同之上下方向V的位置固定於1處。固接構件81是包含例如彼此螺合的螺栓及螺帽。
在安裝板部37與各側面21c、22c面接觸的狀態下，當使用包含螺栓及螺帽的固接構件81將載置部30固定於支柱20時，在該固定時，載置部30有時會快要跟著固接構件81轉動。即使是在這種情形下，亦可藉由橫架構件40的上端部40u與安裝板部37的下端部37d的抵接而限制載置部30隨之旋動。橫架構件40是藉由其上端部40u抵接於載置部30(安裝板部37的下端部37d)，而亦作為固接構件81之鎖緊固定時的旋動限制構件的功能。藉此，可將各個載置部30分別朝水平(在側面視角中也是水平)裝設。
在本實施形態中，載置部30是橫跨於第一分割支柱體21及第二分割支柱體22，換句話說是夾住橫架構件40而在前後方向D的兩側，固定於一對分割支柱體21、22。在如此之構成中，在容器7載置於載置部30的狀態下，作用於載置部30且以第一分割支柱體21側的固定位置當作支點的向下之載重的一部分，亦藉由橫架構件40從下方支撐。橫架構件40是藉由其上端部40u抵接於載置部30(安裝板部37的下端部37d)，而亦作為容器7之保管時的支撐輔助構件的功能。所以，藉由與將上述肋部39設置於載置部30的相乘效果，可更加提升載置部30對容器7的支撐強度。
氣體供給部5是僅設置於一對保管棚2當中的沖淨棚。氣體供給部5是將惰性氣體供給至收納於保管棚2(在此是沖淨棚)之收納部S之容器7的各個。惰性氣體是對容納於容器7的物品(在本例中是半導體基板)反應性低(實質上不產生成為問題的化學反應)的氣體。作為惰性氣體，是使用例如氮氣、氬氣及氪氣等的稀有氣體等。
如圖2所示，氣體供給部5是包含連接於高壓罐等惰性氣體供給源(未圖示)的主幹配管51、自該主幹配管51分歧的複數個縱配管52、及自各個縱配管52分歧的複數個分歧配管53。惰性氣體是依惰性氣體供給源→主幹配管51→縱配管52→分歧配管53的順序流通，而供給至收納於各收納部S的容器7。主幹配管51是例如沿著左右方向H而配設在比最下段的收納部S更下方。主幹配管51是形成為具有在所有的收納部S中收納有容器7的狀態下，可將預定壓力之惰性氣體供給至各容器7的管徑。藉由作業者的人為操作而自由開閉的手動開閉閥，及基於來自控制裝置的指令而自由開閉的自動控制閥，是介於主幹配管51的上游側部位(皆未圖示)。
複數個縱配管52的各個是沿著上下方向V而配設。複數個縱配管52的各個是配設為自主幹配管51朝上方延伸。複數個縱配管52的各個是配設為跨越保管棚2之上下方向V的全部區域而延伸。在本實施形態中，與收納部S的列數相等的n根之縱配管52是設置為朝左右方向H以等間隔排成一列。在此，如同上述，構成保管棚2之(n+1)根的支柱20，亦是設置為朝左右方向H以等間隔排成一列。在本實施形態中，縱配管52的左右方向H的配設節距，是設定成與支柱20的左右方向H的配設節距相同。
進而，複數個縱配管52的各個是固定於固定有該縱配管52之惰性氣體之供給目的地之載置部30的支柱20，且配置成與複數個支柱20的任1個一對一地對應之狀態。換句話說，相對於各個支柱20(排除左右兩端的2根當中的任1根)，縱配管52是個別地配置。若進一步採用其他說法，則是相對於收納部S的各列，各配置有1根縱配管52。複數個縱配管52的各個是個別地固定於對應之支柱20。如圖3~圖6所示，縱配管52是在保持於第一支架84的狀態下，使用包含螺栓及螺帽的固接構件85而固定於對應之支柱20。在本實施形態中，縱配管52是透過第一支架84而固定於構成支柱20的一對分割支柱體21、22當中位於正面側之第二分割支柱體22的前表面22a。
如此，複數個縱配管52的各個是配置成在比支柱20(第二分割支柱體22)更正面側並與對應之支柱20(第二分割支柱體22)在正面視角中重疊的狀態(參照圖4)。在如此之構成中，當對未設置氣體供給部5之狀態的保管棚2重新進行氣體供給部5的設置作業時，作業者可在面對保管棚2的狀態下，容易地將縱配管52配設且固定於第二分割支柱體22的前表面22a。由於第二分割支柱體22的前表面22a不存在構成保管棚2的其他元件，故從此點也容易進行縱配管52的設置作業。
又，縱配管52是配置於在載置部30載置有容器7的狀態下彼此相鄰的容器7之相向的斜行板部74、支柱20所區隔形成的柱狀空間P之間，支柱20是共通地固定有分別載置該等彼此相鄰之容器7的載置部30(參照圖5)。藉由利用如此之柱狀空間P而配置各個縱配管52，可避免與收納於收納部S的容器7之干涉，並且將縱配管52適當地固定於對應之支柱20(第二分割支柱體22)。
如此，在本實施形態中，藉由使構成氣體供給部5之複數個縱配管52對應複數個支柱20之配置而分散地配置，而使各個縱配管52之管徑較小。例如縱配管52是形成為其管徑小到在對應的列中的所有(與段數相等的m個)收納部S皆收納有容器7的狀態下，仍可將預定壓力之惰性氣體供給至各容器7的程度。因此，當收納部S皆收納有容器7時，縱配管52亦收置於上述柱狀空間P，且不產生與收納之容器7的干涉。所以，不同於習知樣式的保管棚，無須犧牲載置部30的設置空間來確保縱配管52的配設空間，即可將所有的列作為收納部S而利用。因此，可提高保管棚2的收納效率。
再者，藉由作業者之人為操作而自由開閉的手動開閉閥、及基於來自控制裝置的指令而自由開閉的自動控制閥之至少其中一者，亦可介於各個縱配管52之最上游側部位。
複數個分歧配管53的各個是自對應之縱配管52分歧，而連接於個別地設置於載置部30的供氣部33。在本實施形態中，與收納部S的段數相等的m根之分歧配管53連接於各個縱配管52。該等m根之分歧配管53的各個，是配置成與構成各段之收納部S的載置部30一對一地對應之狀態。又，在本實施形態中，所有的分歧配管53是配置為從對應之縱配管52朝同一個方向延伸。
如圖3~圖6所示，流量調節部56介於分歧配管53。流量調節部56包含有：測量流動於其內部之流路的惰性氣體之流量的流量計56A、變更調節惰性氣體之流量的流量調節閥56B、及控制該流量調節閥56B之作動的內部控制部(未圖示)。內部控制部是基於來自流量計56A的檢測結果之資訊，而控制流量調節閥56B的作動，藉以將每單位時間的惰性氣體之流量(換句話說即是往容器7的供給流量)調整為目標流量。藉此，流量調節部56擔任用以調節往容器7的惰性氣體之供給流量的角色。
例如流量調節部56是以如下方式調節惰性氣體的供給流量：從容器7往收納部S收納完成時到設定初期供給時間經過為止成為第一目標流量，設定初期供給時間經過後成為其值設定成比第一目標流量更小的第二目標流量。當然，流量調節部56亦可以除此之外的其他供給模式來調節惰性氣體的供給流量。由於將如此之流量調節部56個別地設置於複數個收納部S，故對於收納在收納部S的各個容器7，可以各自希望的供給模式來供給惰性氣體。所以，即使是在對於保管棚2的各容器7之入庫時期有所差異的情形下，分別適當而正確地維持各容器7之內容物的狀態亦是容易的。
在本實施形態中，作為流量調節部56，是使用無通電狀態下之氣體洩漏量小於0.01%者。若為如此之高密閉度的流量調節部56，即使包含保管設備1的系統假設因為意外的錯誤等而緊急停止，來自流量調節部56的惰性氣體之氣體洩漏亦不會實質地產生。因此，無須為了預防如此之意外的狀況而在流量調節部56一併設置常閉型之預備開閉閥，且實際上，於本實施形態之流量調節部56亦無一併設置如此之預備開閉閥。即，在本實施形態中，作為流量調節部56，是使用無通電狀態下之氣體洩漏量小於0.01%者，且該流量調節部56未一併設置常閉型之預備開閉閥。所以，可簡化流量調節部56附近的布局。
再者，在習知樣式的保管設備(例如，參照日本特開第2015-12039號公報的圖4)中，是使用難以產生溫度變化的氣閥作為預備開閉閥，以將給予惰性氣體之供給流量的影響極力抑制在最小。然而，作為該目的而使用的氣閥多為大型者，而有使流量調節部56附近的布局變得複雜等的不便。與使用氣閥之習知樣式相比，本實施形態之無閥構造在可使流量調節部56附近的布局大幅簡化的點上是有利的。
再者，這裡說的「常閉型之預備開閉閥」，不包含藉由作業者之人為操作而自由開閉的手動開閉閥57。手動開閉閥57是構成為藉由作業者之人為操作而自由切換惰性氣體可流通的開閥狀態及惰性氣體無法流通的閉閥狀態。手動開閉閥57是連同氣閥而亦裝備於習知樣式之保管設備，且相較於氣閥為十分小型，即使與流量調節部56一併設置亦無特別的壞處。因此，實際上，與流量調節部56一併設置的手動開閉閥57亦介於本實施形態之分歧配管53。
流量調節部56及手動開閉閥57是設置成相對於流量調節部56，手動開閉閥57位於上游側的狀態。且，分歧配管53之上游側配管部53a連接於手動開閉閥57。手動開閉閥57連接於流量調節部56的流入側埠。流量調節部56的吐出側埠連接有分歧配管53的下游側配管部53b。下游側配管部53b連接於供氣部33。當供氣部33如同本實施形態設置複數個(在本例中是3個)時，下游側配管部53b是對應供氣部33的個數而分歧並連接於各個供氣部33。
在本實施形態中，載置本體部31是配置成橫跨於左右兩側之一對支柱20之間的全部區域。即，本實施形態之載置本體部31之左右方向H的配置區域，即是左右兩側之一對支柱20之間的全部區域。流量調節部56及手動開閉閥57是配置於對應之載置部30的載置本體部31的左右方向H的配置區域。流量調節部56及手動開閉閥57在相同程度之左右方向H的配置區域中，是配置成流量調節部56位於比載置部30更上方，手動開閉閥57位於比該流量調節部56更進一步上方的狀態(參照圖4)。分歧配管53的上游側配管部53a是配置成在比手動開閉閥57更進一步上方的位置，從縱配管52通過柱狀空間P中的支柱20與容器7的斜行板部74之間的容器支柱間間隙而朝向背面側斜行(參照圖5)。再者，為使上游側配管部53a的斜行部分易於配設，在第二分割支柱體22的前表面22a的左右兩端部設置有以去掉角部的方式切割形成的缺口狀凹部23。上游側配管部53a是通過俯視時與手動開閉閥57重疊的位置，而在與縱配管52的相反側連接於手動開閉閥57。
流量調節部56及手動開閉閥57是配置成在俯視中彼此重疊(參照圖5)。且，配置於相同的前後方向D之配置區域的流量調節部56及手動開閉閥57，是配置在比載置本體部31更背面側。在本實施形態中，載置本體部31之背面側的端部與構成支柱20之第二分割支柱體22的背表面22b在前後方向D上是相同程度的位置。相對於此，流量調節部56及手動開閉閥57則是配置成在側面視角中與第一分割支柱體21重疊(參照圖6)。流量調節部56及手動開閉閥57是配置在比載置於載置部30之狀態的容器7的背板部72更背面側。再者，流量調節部56及手動開閉閥57是在固定於第二支架87的狀態下固定於載置本體部31。第二支架87與載置本體部31可一體地形成，亦可是不同的個體。
採用如此之流量調節部56的布局構成是依據下述理由。即，在本實施形態之保管棚2中，如同上述，複數個支柱20分散地設置於左右方向H，且載置部30固定於彼此相鄰的支柱20。因此，相較於載置部30之載置本體部31的左右兩側，在比載置本體部31更背面側，更容易確保用以配置其他物品的空間。因此，藉由將流量調節部56配置在載置本體部31之左右方向H的配置區域中比該載置本體部31更背面側，可使載置部30及流量調節部56緊密地配置於各個收納部S。且，由於未一併設置常閉型之預備開閉閥而使用整體為薄型的流量調節部56，故可將流量調節部56以收置在與第一分割支柱體21相同前後方向D的配置區域的方式加以配置 (參照圖6)。所以，可不擴大保管棚2之前後方向D的尺寸，而將需要的各元件緊密地配置於沖淨棚。
如圖1所示，在與保管棚2之各收納部S之間用以搬送容器7的搬送部6，包含有第一搬送裝置61、移動裝置62、第二搬送裝置63、及移載裝置67。第一搬送裝置61是例如吊掛式的搬送車。第一搬送裝置61是沿著鋪設於設置有保管設備1之設施的天花板部97的導軌98而行進。第一搬送裝置61是在固持設置於容器7之凸緣76的狀態下，將該容器7搬入及搬出移動裝置62。移動裝置62是例如輥式或帶式等的輸送機。移動裝置62是在保管室90的內部與外部之間移動容器7。
第二搬送裝置63是例如堆高式起重機。第二搬送裝置63具有沿著設置於保管室90的地板部91的行進軌道95行進移動的行進台車64、豎立設置於行進台車64的柱桿65、及在受該柱桿65引導之狀態下升降移動的升降台66。移載裝置67設置於升降台66，在該升降台66與收納部S之間移載容器7。移載裝置67包含從下方支撐容器7的板狀之支撐體68。支撐體68構成為可突出或後退於突出至收納部S內部的突出位置與後退至升降台66側的後退位置。包含移載裝置67的第二搬送裝置63是以對收納部S及移動裝置62進行卸下處理及掬取處理，而進行對各自的移載作業。在此，卸下處理是藉由移載裝置67交付容器7的處理，掬取處理則是藉由移載裝置67掬起並承接容器7的處理。
第一搬送裝置61、移動裝置62、第二搬送裝置63、及移載裝置67是彼此協作而進行將容器7搬入(收納)至收納部S的入庫作業。又，該等是彼此協作而進行將容器7從收納部S搬出(取出)的出庫作業。該等之動作是藉由控制裝置，根據設置在保管設備1之各部的各種感測器的檢測結果之資訊而依常規控制。
[其他實施形態] (1)在上述實施形態中，以橫架構件40固定於第一分割支柱體21的前表面21a之構成為例加以說明。然而，不限定於如此之構成，亦可是例如圖7所示般，橫架構件40固定於一對分割支柱體21、22當中位於正面側的第二分割支柱體22的背面22b。即使是如此之構成，亦可使橫架構件40發揮作為定位構件、旋動限制構件、及支撐輔助構件的各功能，而得到與上述實施形態相同的效果。
(2)在上述實施形態中，以橫架構件40橫跨並固定於朝左右方向H彼此相鄰之半數的第一分割支柱體21之構成為例加以說明。然而，不限定於如此之構成，而可任意地設定1個橫架構件40架設的第一分割支柱體21的根數。在此情形下，亦可是例如橫架構件40僅橫跨朝左右方向H彼此相鄰之2根的第二分割支柱體22而個別地固定。
(3)在上述實施形態中，以載置部30在安裝板部37的下端部37d抵接於橫架構件40的上端部40u的狀態下，固定於一對支柱20之構成為例加以說明。然而，不限定於如此之構成，亦可是例如載置部30在載置本體部31之背面側之端部之下表面抵接於橫架構件40之上端部40u的狀態下被固定。
(4)在上述實施形態中，以構成載置部30的載置本體部31與肋部39一體地形成之構成為例加以說明。然而，不限定於如此之構成，亦可是例如肋部39與載置本體部31為不同之個體而固定於載置本體部31。
(5)在上述實施形態中，以支柱20構造為朝前後方向D二分割的一對分割支柱體21、22之構成為例加以說明。然而，不限定於如此之構成，亦可是例如支柱20構造為朝前後方向D分割形成3個以上的分割支柱體。
(6)在上述實施形態中，以容器7形成為倒角立方體狀，且縱配管52配置於相鄰的容器7之相向的斜行板部74與支柱20之間的柱狀空間P之構成為例加以說明。然而，不限定於如此之構成，亦可任意地設定容器7之立體形狀。只要縱配管52亦對應容器7之立體形狀而配置於可避免與收納於收納部S之容器7干涉的位置即可。
(7)在上述實施形態中，是以縱配管52個別地固定於各個支柱20(排除左右兩端的2根當中的任1根)之構成為例加以說明。然而，不限定於如此之構成，只要複數個縱配管52的各個，至少固定於固定有該縱配管52之惰性氣體之供給目的地之載置部30的任一支柱20即可。例如圖8所示般，亦可是對於朝左右方向H排列配置的複數個支柱20，每隔1根固定有縱配管52。在此情形下，對於各個縱配管52，連接有最多與收納部S的段數的2倍相等的2m根之分歧配管53。在此情形下，各個分歧配管53從對應的縱配管52延伸的方向，是在彼此相鄰的列之間成反方向。如此之構成具有如下優點：在收納部S的段數較少也無所謂的情形等，可藉由減少縱配管52的根數而簡化氣體供給部5。
(8)在上述實施形態中，以縱配管52配置成固定於第二分割支柱體22的前表面22a而與該第二分割支柱體22在正面視角中重疊的狀態之構成為例加以說明。然而，不限定於如此之構成，亦可是例如縱配管52固定於第一分割支柱體21的側面21c或第二分割支柱體22的側面22c。在此情形下，縱配管52亦可配置成與第一分割支柱體21或第二分割支柱體22在側面視角中重疊的狀態。
(9)在上述實施形態中，作為流量調節部56，是以使用無通電狀態下之氣體洩漏量小於0.01%者之構成為例加以說明。然而，不限定於如此之構成，亦可是例如來自無通電狀態下之流量調節部56之惰性氣體的氣體洩漏量為0.01%以上。
(10)在上述實施形態中，以使用流量調節部56而未一併設置常閉型之預備開閉閥之構成為例加以說明。然而，不限定於如此之構成，亦可是除了流量調節部56以外，另有例如氣閥或電磁閥等所構造之常閉型之預備開閉閥介於分歧配管53。
(11)在上述實施形態中，以將流量調節部56配置在對應之載置部30之載置本體部31之左右方向H的配置區域中比該載置本體部31更背面側之構成為例加以說明。然而，不限定於如此之構成，亦可是例如當支柱20與載置本體部31朝左右方向H遠離地設置時，至少部分地利用該支柱20與載置本體部31之間的區域而配置流量調節部56。或是，亦可配置成流量調節部56在載置本體部31之背面側的區域中，在俯視中至少部分地與載置本體部31重疊。
(12)在上述實施形態中，以將縱配管52個別地固定於朝左右方向H分散配置的複數個支柱20之構成為例加以說明。然而，不限定於如此之構成，亦可是例如將橫跨複數段複數列的複數個收納部S單元化，並且於一部分的列不設置載置部30，而利用該不設置的列來配設大徑之縱配管52。
(13)在上述實施形態中，以將容納半導體基板的容器7作為被保管物而保管之保管設備1為例加以說明。然而，不限定於如此之構成，容納並保管於容器7的物品，亦可是例如玻璃基板、或金屬薄膜所積層之玻璃板等所構造之光罩基板等。又，容納並保管於容器7的物品不限定於工業製品(包含原料或中間製品)，亦可是例如食品或醫藥品等。進而，保管於包含保管棚2之保管設備1的被保管物不限定於FOUP，亦可是例如卡匣式的容器7，又，不限定於容器7，亦可是例如已載置對象物品之狀態的托板等。
再者，上述各實施形態(包含上述實施形態及其他實施形態;以下同)所揭示之構成只要不產生矛盾，亦可與其他實施形態所揭示之構成組合應用。
關於其他構成，亦應理解本說明書所揭示之實施形態在所有的點中是供作例示，本發明之範圍並不受該等所限定。只要是該技術領域中具有通常知識者，應容易理解在不脫離本發明之宗旨的範圍內，適當的變更是可能的。因此，在不脫離本發明之宗旨的範圍而變更的其他實施形態，當然也包含於本發明之範圍。
[上述實施形態之概要] 以下，就上述內容中所說明之保管棚的概要加以說明。
保管棚是一種具有朝上下左右對齊配置的複數個收納部的保管棚，包含：複數個支柱，沿著上下方向豎立設置在前述複數個收納部的左右兩端部及彼此左右相鄰的前述收納部之間的各個位置，並且分別包含朝前後方向分割形成的一對分割支柱體；朝左右方向延伸的橫架構件，固定於一對前述分割支柱體當中位於背面側之第一分割支柱體的前面或是位於正面側之第二分割支柱體的背面；及載置被保管物的載置部，在至少一部分抵接於前述橫架構件的上端部的狀態下，在背面側呈懸臂狀地固定於朝左右方向彼此相鄰的前述支柱。
即，具有朝上下左右對齊配置的複數個收納部的保管棚包含：沿著上下方向豎立的複數個支柱、及藉由前述支柱所支撐之載置被保管物的載置部，前述支柱設置在前述複數個收納部的左右兩端部與彼此左右相鄰的前述收納部之間的各個位置，前述載置部固定於彼此相鄰的前述支柱，前述支柱包含朝前後方向分割形成的一對分割支柱體，且前述保管棚進一步包含固定於一對前述分割支柱體當中位於背面側之第一分割支柱體的前面或是位於正面側之第二分割支柱體的背面且朝左右方向延伸的橫架構件，前述載置部在該載置部之至少一部分抵接於前述橫架構件的上端部的狀態下，呈懸臂狀地固定於前述支柱。
根據此構成，由於可令上端部抵接於載置部的橫架構件作為定位構件而發揮功能，故即使是在將各個載置部分別固定於彼此相鄰的支柱時，亦可高精確度地進行載置部在上下方向上的定位。所以，可將各個載置部分別朝水平(正面視角中的水平)裝設，並且可使各段中之載置部的高度一致。又，上述載置部之高精確度的定位，由於僅需以抵接於橫架構件之上端部的方式令載置部相對移動而固定於支柱即可進行，故可達到使裝設作業變得容易。因此，可實現當使用複數個支柱及複數個載置部組裝時，裝設作業容易且可適度地進行載置部之對位的保管棚。
且，在本構成中，由於將如同上述用以定位的橫架構件設置於一對分割支柱體的前後方向之間，故相較於例如將橫架構件固定在第二分割支柱體的前面的情形，可不受限於橫架構件之尺寸，而將被保管物***至收納部的更深處。所以，可抑制保管棚之前後方向之尺寸的擴大，並可提升收納效率。又，當載置部至少固定於第一分割支柱體時，在被保管物載置於載置部的狀態下，作用於載置部之載重的一部分亦可由橫架構件承受。所以，可提升載置部對被保管物的支撐強度。進而，由於支柱具有朝前後方向分割形成的一對分割支柱體，故不僅確保與作為單一構造物構成時相同程度的強度，並且可達到材料費之降低。
其中1種態樣宜為：前述載置部具有載置本體部、及在該載置本體部之背面側朝左右方向彼此相向並分別固定於前述支柱的一對安裝板部，前述一對安裝板部之各個與前述橫架構件交叉，且，前述載置部在前述一對安裝板部之各個的下端部抵接於前述橫架構件的上端部之狀態下固定於前述支柱。
根據此構成，可使作為載置部之一部分的安裝板部之下端部在交叉狀態下穩定地抵接於橫架構件之上端部。所以，可容易且高精確度地進行載置部在上下方向上的定位。又，在此構成中，一對安裝板部會成為固定於左右一對支柱之彼此相向的側面。在此情形下，當使用例如包含有螺栓及螺帽的固接構件將載置部固定於支柱時，可藉由橫架構件之上端部與安裝板部之下端部的抵接而限制在該固定時可能產生的載置部之旋動。所以，從這一點也可將各個載置部分別朝水平(在側面視角中也是水平)裝設。
其中1種態樣宜為：前述橫架構件橫跨並固定於朝左右方向彼此相鄰之3個以上的前述分割支柱體。
根據此構成，由於是橫跨左右連續並排的複數個收納部而架設共通的橫架構件，故橫架構件的設置作業為容易的，且可適當而正確地確保作為定位構件的功能。
其中1種態樣宜為：前述載置部具有在俯視中呈U字狀的載置本體部，並且與前述載置本體部一體地具有肋部，該肋部是以連結前述載置本體部之成為受貨點的U字前端部與前述支柱的方式直線地延伸。
根據此構成，可利用在俯視中呈U字狀的載置本體部之缺口部，容易地進行被保管物的移載。又，由於載置部設置有與載置本體部一體的肋部，故可提升該載置部本身的強度。在此情形下，由於肋部是以連結載置本體部之成為受貨點的U字前端部與支柱的方式直線地延伸，故即使未在支柱與載置部之連結部位另外設置補強用的構件，也可充分地確保載置部對被保管物的支撐強度。
其中1種態樣宜為：前述載置本體部與前述肋部是藉由彎曲加工金屬製的平板構件而一體地形成。
根據此構成，可容易地形成輕量且具備充分之支撐強度的載置部。
1‧‧‧保管設備2‧‧‧保管棚5‧‧‧氣體供給部6‧‧‧搬送部7‧‧‧容器(被保管物)20‧‧‧支柱21‧‧‧第一分割支柱體(分割支柱體)21a‧‧‧前表面21c‧‧‧側面22‧‧‧第二分割支柱體(分割支柱體)22a‧‧‧前表面22b‧‧‧背表面22c‧‧‧側面23‧‧‧缺口狀凹部30‧‧‧載置部31‧‧‧載置本體部31a‧‧‧缺口部32‧‧‧頂出銷33‧‧‧供氣部34‧‧‧排氣部35‧‧‧存貨感測器37‧‧‧安裝板部37a‧‧‧插通孔37d‧‧‧下端部39‧‧‧肋部40‧‧‧橫架構件40u‧‧‧上端部51‧‧‧主幹配管52‧‧‧縱配管53‧‧‧分歧配管53a‧‧‧上游側配管部53b‧‧‧下游側配管部56‧‧‧流量調節部56A‧‧‧流量計56B‧‧‧流量調節閥57‧‧‧手動開閉閥61‧‧‧第一搬送裝置62‧‧‧移動裝置63‧‧‧第二搬送裝置64‧‧‧行進台車65‧‧‧柱桿66‧‧‧升降台67‧‧‧移載裝置68‧‧‧支撐體71‧‧‧殼體72‧‧‧背板部73‧‧‧側板部74‧‧‧斜行板部76‧‧‧凸緣78‧‧‧供氣口81‧‧‧固接構件82‧‧‧固接構件84‧‧‧第一支架85‧‧‧固接構件87‧‧‧第二支架90‧‧‧保管室91‧‧‧地板部92‧‧‧周壁部93‧‧‧天花板部95‧‧‧行進軌道97‧‧‧天花板部98‧‧‧導軌S‧‧‧收納部P‧‧‧柱狀空間V‧‧‧上下方向H‧‧‧左右方向D‧‧‧前後方向
圖1是實施形態之保管設備的側面圖。 圖2是保管棚的正面圖。 圖3是收納部的立體圖。 圖4是收納部的正面圖。 圖5是收納部的平面圖。 圖6是收納部的側面圖。 圖7是其他態樣之收納部的主要部分側面圖。 圖8是其他態樣之保管棚的正面圖。
2‧‧‧保管棚
7‧‧‧容器(被保管物)
20‧‧‧支柱
21‧‧‧第一分割支柱體(分割支柱體)
21a‧‧‧前表面
22‧‧‧第二分割支柱體(分割支柱體)
22a‧‧‧前表面
30‧‧‧載置部
31‧‧‧載置本體部
32‧‧‧頂出銷
33‧‧‧供氣部
35‧‧‧存貨感測器
37‧‧‧安裝板部
37a‧‧‧插通孔
37d‧‧‧下端部
39‧‧‧肋部
40‧‧‧橫架構件
40u‧‧‧上端部
52‧‧‧縱配管
53‧‧‧分歧配管
53a‧‧‧上游側配管部
53b‧‧‧下游側配管部
56‧‧‧流量調節部
57‧‧‧手動開閉閥
71‧‧‧殼體
72‧‧‧背板部
73‧‧‧側板部
74‧‧‧斜行板部
76‧‧‧凸緣
78‧‧‧供氣口
81‧‧‧固接構件
82‧‧‧固接構件
S‧‧‧收納部
V‧‧‧上下方向
D‧‧‧前後方向

Claims (8)

  1. 一種保管棚，具有朝上下左右對齊配置的複數個收納部，且該保管棚之特徵在於包含：複數個支柱，沿著上下方向豎立設置在前述複數個收納部的左右兩端部及彼此左右相鄰的前述收納部之間的各個位置，並且分別包含朝前後方向分割形成的一對分割支柱體；朝左右方向延伸的橫架構件，固定於一對前述分割支柱體當中位於背面側之第一分割支柱體的前面或是位於正面側之第二分割支柱體的背面；及載置被保管物的載置部，在至少一部分抵接於前述橫架構件的上端部的狀態下，在背面側呈懸臂狀地固定於朝左右方向彼此相鄰的前述支柱，前述載置部固定於一對前述分割支柱體的雙方。
  2. 如請求項1之保管棚，其中前述載置部具備複數個，前述載置部具有第一安裝板部與第二安裝板部，前述第一安裝板部固定於一對前述分割支柱體的雙方，該一對分割支柱體構成複數個前述支柱的其中一根前述支柱，前述第二安裝板部固定於一對前述分割支柱體的雙方，該一對分割支柱體構成與固定前述第一安裝板部的前述支柱於左右方向鄰接的其他前述支柱。
  3. 如請求項1之保管棚，其中前述橫架構件設置於一對前述分割支柱體彼此的前後方向之間。
  4. 如請求項1之保管棚， 其中前述載置部是具有：載置本體部；及一對安裝板部，在該載置本體部的背面側朝左右方向彼此相向並分別固定於前述支柱，前述一對安裝板部之各個與前述橫架構件交叉，且，在前述一對安裝板部之各個的下端部抵接於前述橫架構件的上端部的狀態下，前述載置部固定於前述支柱。
  5. 如請求項1之保管棚，其中前述橫架構件，是橫跨並固定於朝左右方向彼此相鄰的3個以上的前述分割支柱體。
  6. 如請求項1之保管棚，其中前述載置部具有在俯視中呈U字狀的載置本體部，並且與前述載置本體部一體地具有肋部，該肋部是以連結前述載置本體部之成為受貨點的U字前端部與前述支柱的方式直線地延伸。
  7. 如請求項6之保管棚，其中前述載置本體部與前述肋部是藉由彎曲加工金屬製的平板構件而一體地形成。
  8. 如請求項1至7中任一項之保管棚，其中所有複數個前述支柱皆含有一對前述分割支柱體。
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