TWI670217B - 電子零件搬送裝置及電子零件檢查裝置 - Google Patents

電子零件搬送裝置及電子零件檢查裝置 Download PDF

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Abstract

本發明之課題在於提供一種可確立電子零件之可追蹤性，而管理各個電子零件之品質之電子零件搬送裝置及電子零件檢查裝置。 本發明之電子零件搬送裝置具有：個體識別資訊讀取部17，其可讀取記載於電子零件10之電子零件10之個體識別資訊；電子零件資訊產生發送部，其可產生包含個體識別資訊、且對檢查電子零件10之檢查部1a發送之電子零件資訊，且可將電子零件資訊發送至檢查部1a；電子零件檢查載置部配置部，其可配置能夠檢查電子零件10之電子零件檢查載置部34；及電子零件搬送部36、41，其可載置電子零件10，且向電子零件檢查載置部配置部搬送電子零件10；且檢查部1a可將檢查電子零件10之結果與個體識別資訊一併記憶。

Description

電子零件搬送裝置及電子零件檢查裝置
本發明係關於一種電子零件搬送裝置及電子零件檢查裝置者。
先前以來，於IC(Integrated Circuit：積體電路)(半導體積體電路裝置)等電子零件之電性特性檢查中，有根據良品、不良品之檢查結果而將電子零件分類、收納之IC檢查用處理機。 以IC檢查用處理機實施檢查之電子零件以實施檢查之個數單位管理良品、不良品。又，附加價值高之電子零件係有獨立地管理個體品質之傾向。 例如，揭示有攝像電子零件而辨識電子零件之種類，並將檢查電子零件之檢查程式發送至測試器(檢查部)之情況(例如，參照專利文獻1)。 [先前技術文獻] [專利文獻] [專利文獻1]日本專利特開平9-178807號公報
[發明所欲解決之問題] 然而，於專利文獻1中未揭示於實施檢查後，將各電子零件、與測試器所檢查之記錄建立關聯並確認之方法。 [解決問題之技術手段] 本發明係為了解決上述課題之至少一部分而完成者，可作為以下之形態或應用例而實現。 [應用例1]本應用例之電子零件搬送裝置之特徵在於，具有：個體識別資訊讀取部，其可讀取記載於電子零件之上述電子零件之個體識別資訊；電子零件資訊產生發送部，其可產生包含上述個體識別資訊、且對檢查上述電子零件之檢查部發送之電子零件資訊，且可將上述電子零件資訊發送至上述檢查部；電子零件檢查載置部配置部，其可配置能檢查上述電子零件之電子零件檢查載置部；及電子零件搬送部，其可載置上述電子零件，且向上述電子零件檢查載置部配置部搬送上述電子零件；且上述檢查部可將檢查上述電子零件之結果與上述個體識別資訊一併記憶。 根據本應用例，由於附加個體識別資訊讀取部，以個體識別資訊讀取部讀取電子零件所記述之個體識別資訊，並將以個體識別資訊讀取部讀取之個體識別資訊於檢查時發送至檢查部，故可將電子零件之個體識別資訊與檢查結果一併(建立關聯)記錄。藉此，可於之後確認電子零件個體與以檢查部檢查之記錄，以電子零件搬送裝置亦可進行實施檢查之電子零件之個體管理。其結果，可確立電子零件之可追蹤性，而管理(分析)搬送路徑中各個電子零件之品質差異。 [應用例2]於上述應用例所記載之電子零件搬送裝置中，較佳為具有：固持部，其固持上述電子零件；且上述個體識別資訊讀取部讀取被載置於上述電子零件搬送部之上述電子零件、及由上述固持部固持之上述電子零件中之至少一者之上述個體識別資訊。 根據本應用例，因於將電子零件載置於電子零件檢查載置部之電子零件檢查載置部配置部中，係吸附電子零件之上表面並搬送，故難以由個體識別資訊讀取部讀取個體識別資訊，但可於將電子零件搬送至電子零件檢查載置部配置部之前讀取個體識別資訊。藉此，可與載置於電子零件檢查載置部之電子零件分開將個體識別資訊發送至檢查部。 [應用例3]於上述應用例所記載之電子零件搬送裝置中，較佳為上述個體識別資訊讀取部係讀碼器及攝像裝置中之至少一者。 根據本應用例，可於個體識別資訊包含文字串、條碼、及2D(2維)碼等時亦容易地自個體識別資訊讀取成為個體識別之資訊。 [應用例4]於上述應用例所記載之電子零件搬送裝置中，較佳為上述電子零件資訊產生發送部係基於來自上述檢查部之信號，將上述電子零件資訊發送至上述檢查部。 根據本應用例，可於實施檢查前將電子零件之個體識別資訊發送至檢查部。 [應用例5]於上述應用例所記載之電子零件搬送裝置中，較佳為上述個體識別資訊讀取部無法讀取上述電子零件之上述個體識別資訊時，上述檢查部不檢查上述電子零件，且上述電子零件搬送部將上述電子零件載置於特定之載置部。 根據本應用例，於讀取個體識別資訊但無法辨識個體識別資訊之情形時，於將該電子零件搬送至電子零件檢查載置部後，不對檢查部發送個體識別資訊。藉此，檢查部可判斷將電子零件分類為不良、或再檢查。例如，於檢查前檢驗電子零件並判斷為不良之情形時，可不檢查而予以撤離。 [應用例6]於上述應用例所記載之電子零件搬送裝置中，較佳為具有可設定及確認上述個體識別資訊讀取部之讀取位置的操作部，且上述操作部具有可進行用以設定上述讀取位置之輸入、及用以確認上述讀取位置之顯示的觸控面板。 根據本應用例，可容易地設定與確認個體識別資訊讀取部之讀取位置。 [應用例7]於上述應用例所記載之電子零件搬送裝置中，較佳為具有可設定及確認上述個體識別資訊讀取部之讀取位置的操作部，且上述操作部具有：輸入部，其可進行用以設定上述讀取位置之輸入；及顯示部，其可進行用以確認上述讀取位置之顯示。 根據本應用例，可容易地設定與確認個體識別資訊讀取部之讀取位置。 [應用例8]於上述應用例所記載之電子零件搬送裝置中，較佳為於上述電子零件資訊中，除上述個體識別資訊外，並包含上述電子零件搬送裝置中之上述電子零件之搬送路徑之資訊。 根據本應用例，可自電子零件資訊作成電子零件之搬送路徑圖，並基於檢查結果確立可追蹤性。又，可管理(分析)搬送路徑之各電子零件之品質差異。 [應用例9]本應用例之電子零件檢查裝置之特徵在於，具有：個體識別資訊讀取部，其可讀取記載於電子零件之上述電子零件之個體識別資訊；檢查部，其檢查上述電子零件；電子零件資訊產生發送部，其可產生包含上述個體識別資訊、且對上述檢查部發送之電子零件資訊，且可將上述電子零件資訊發送至上述檢查部；電子零件檢查載置部，其可檢查上述電子零件；及電子零件搬送部，其可載置上述電子零件，且向上述電子零件檢查載置部搬送上述電子零件；且上述檢查部可將檢查上述電子零件之結果與上述個體識別資訊一併記憶。 根據本應用例，由於附加個體識別資訊讀取部，以個體識別資訊讀取部讀取電子零件所記述之個體識別資訊，並將以個體識別資訊讀取部讀取之個體識別資訊於檢查時發送至檢查部，故可將電子零件之個體識別資訊與檢查結果一併(建立關聯)記錄。藉此，可於之後確認電子零件個體與以檢查部檢查之記錄，以電子零件檢查裝置亦可進行實施檢查之電子零件之個體管理。其結果，可確立電子零件之可追蹤性，而管理(分析)搬送路徑中各電子零件之品質差異。
於本實施形態中，對具備電子零件搬送裝置之電子零件檢查裝置、及該電子零件搬送裝置搬送電子零件之方法之特徵例進行說明。以下，按照圖式對實施形態進行說明。另，由於各圖式之各構件設為可於各圖式上辨識程度之大小，故對各構件使比例尺不同而圖示。 (第1實施形態) 對本實施形態相關之電子零件檢查裝置按照圖1～圖8進行說明。 (電子零件檢查裝置) 圖1係顯示電子零件檢查裝置之構造之模式俯視圖，即為卸除罩體後之圖。圖2係顯示電子零件檢查裝置之構造之概略立體圖。 如圖1所示，電子零件檢查裝置1係具備長方形板狀之基台2。將俯視基台2時基台2正交之2條邊所延伸之方向設為X方向及Y方向，且將鉛直方向之下方向設為-Z方向。電子零件檢查裝置1主要由檢查電子零件10之檢查部1a、及作為將電子零件10搬送至檢查部1a之電子零件搬送裝置之搬送部1b構成。搬送部1b具備可配置能檢查電子零件10之檢查用插口34之電子零件檢查載置部配置部。電子零件檢查載置部配置部可配置能檢查電子零件10之檢查用插口34。電子零件檢查載置部配置部係例如檢查電子零件10之檢查用插口34(檢查部1a)。 於基台2上之X方向側，設置有於X方向較長而延伸之6個帶式輸送機。帶式輸送機自-Y方向側依序為第1輸送機3、第2輸送機4、第3輸送機5、第4輸送機6、第5輸送機7、及第6輸送機8。第1輸送機3係供材用之帶式輸送機，於第1輸送機3上載置有托盤9。托盤9係由隔板以5列5行之矩陣狀被劃分，且於各劃分區域載置有電子零件10。因此，托盤9可排列於正交之2個方向並載置電子零件10。 第1輸送機3於內部具備馬達、減速機、及滑輪，馬達以藉由減速機減速之轉速使滑輪旋動(未圖示)。且，皮帶與滑輪之外周接觸地設置，藉由馬達使滑輪旋動而使皮帶移動。且，載置於第1輸送機3上之托盤9與皮帶一同於X方向往復移動。將第1輸送機3移動托盤9之X方向設為第1方向3c。第2輸送機4～第6輸送機8為與第1輸送機3相同之構造，可與第1輸送機3同樣地使托盤9於X方向往復移動。 第2輸送機4及第3輸送機5成為放置空托盤9之場所，第4輸送機6成為放置對判定為不良之電子零件10加以存放之托盤9之場所。且，第5輸送機7及第6輸送機8成為放置對判定為良品之電子零件10加以存放之托盤9之場所。 電子零件10之形態未特別限定，但於本實施形態中，例如電子零件10可適應扁平封裝等各種封裝形態之IC(Integrated Circuit)、CIS(Contact Image Sensor：接觸式影像感測器)、液晶面板、液晶模組、及電子模組等。且，電子零件檢查裝置1為檢查電子零件10之電性特性並區分良品與不良品之裝置。作為IC之例，列舉LSI(Large Scale Integration：大型積體電路)、將複數個IC模組封裝化之模組IC、CMOS(Complementary Metal Oxide Semiconductor：互補金屬氧化物半導體)、CCD(Charge Coupled Device：電荷耦合器件)、水晶器件、壓力感測器、氣壓感測器、慣性(加速度)感測器、旋轉(角速度)感測器、指紋感測器、照度感測器、顏色感測器、溫度感測器、紫外線感測器、光感測器等。 於與第1輸送機3～第6輸送機8對向之場所，設置有托盤搬送部11。托盤搬送部11具備跨越第1輸送機3～第6輸送機8而設置之門型之托盤搬送支持部12。托盤搬送支持部12係於Y方向較長之形狀，於托盤搬送支持部12之-X方向側設置有於Y方向延伸之導軌13。 於導軌13之-X方向側，設置有沿著導軌13移動之托盤移動載台14。將托盤移動載台14移動之Y方向設為第2方向14a。第2方向14a係與第1方向3c正交之方向，第1方向3c及第2方向14a成為將電子零件10排列於托盤9之方向。於托盤搬送支持部12之內部，設置有使托盤移動載台14移動之直動機構。該直動機構之種類無特別限定，可使用線性馬達、馬達與滾珠螺桿之組合、齒條、小齒輪、及馬達之組合等各種形態。於本實施形態中例如採用伺服馬達與滾珠螺桿之組合。 於托盤移動載台14之-X方向側之面介隔托盤固持支持部15而設置有托盤固持部16。托盤固持部16具備升降裝置與真空夾具。真空夾具係具備吸盤，且吸盤藉由配管而與真空泵連接。且，升降裝置具備使真空夾具升降之功能。升降裝置使真空夾具下降並使真空夾具之吸盤與托盤9接觸。且，藉由將吸盤與托盤9之間設為真空而使真空夾具固持托盤9。其後，可藉由升降裝置使托盤9上升，而使托盤9自第1輸送機3離開，並使托盤移動載台14於Y方向上移動托盤9。托盤搬送部11由托盤搬送支持部12、導軌13、托盤移動載台14、托盤固持支持部15、及托盤固持部16等構成。 於第1輸送機3～第6輸送機8之-X方向側設置有電子零件除供材部20。於基台2上之-Y方向側設置有電子零件供材部29。電子零件供材部29具備第1支持部25。第1支持部25係於X方向較長之形狀，於第1支持部25之Z方向側設置有於X方向延伸之導軌18。 於導軌18之Z方向側設置有沿著導軌18移動之供材X載台23。於第1支持部25內置直動機構，該直動機構使供材X載台23於X方向往復移動。另，第1支持部25之直動機構可使用與驅動托盤移動載台14之直動機構同樣之機構。 供材X載台23具備第1支持樑22。第1支持樑22係於Y方向較長之形狀，於第1支持樑22之Z方向側設置有於Y方向延伸之導軌19。 於導軌19之Z方向側設置有沿著導軌19移動之供材Y載台27。於第1支持樑22內置直動機構，該直動機構使供材Y載台27於Y方向往復移動。另，第1支持樑22之直動機構可使用與驅動托盤移動載台14之直動機構同樣之機構。 於供材Y載台27之-Z方向側之面設置有供材電子零件固持部(固持部)28。供材電子零件固持部28固持電子零件10。供材電子零件固持部28具備升降裝置與真空夾具。該升降裝置及真空夾具係省略與托盤固持部16具備之升降裝置及真空夾具同樣之構造之說明。由第1支持樑22、供材X載台23、第1支持部25、供材Y載台27、及供材電子零件固持部28等構成電子零件供材部29。 於供材電子零件固持部28中，升降裝置使真空夾具下降而使真空夾具之吸盤與電子零件10接觸。且，藉由將吸盤與電子零件10之間設為真空而使真空夾具固持電子零件10。其後，可藉由升降裝置使電子零件10上升，而使供材X載台23及供材Y載台27於X方向及Y方向上移動電子零件10。 同樣地，於基台2上之Y方向側設置有電子零件除材部33。電子零件除材部33具備第2支持部30。第2支持部30係於X方向較長之形狀，於第2支持部30之Z方向側設置有於X方向延伸之導軌21。 於導軌21之Z方向側設置有沿著導軌21移動之除材X載台24。於第2支持部30內置直動機構，該直動機構使除材X載台24於X方向往復移動。另，第2支持部30之直動機構可使用與驅動托盤移動載台14之直動機構同樣之機構。 除材X載台24具備第2支持樑26。第2支持樑26係於Y方向較長之形狀，於第2支持樑26之Z方向側設置有於Y方向延伸之導軌39。 於導軌39之Z方向側設置有沿著導軌39移動之除材Y載台31。於第2支持樑26內置直動機構，該直動機構使除材Y載台31於Y方向往復移動。另，第2支持樑26之直動機構可使用與驅動托盤移動載台14之直動機構同樣之機構。 於除材X載台24之-Z方向側之面設置有除材電子零件固持部32。除材電子零件固持部32具備升降裝置與真空夾具。該升降裝置及真空夾具係省略與托盤固持部16具備之升降裝置及真空夾具同樣之構造之說明。由第2支持樑26、除材X載台24、第2支持部30、除材Y載台31、及除材電子零件固持部32等構成電子零件除材部33。 於除材電子零件固持部32中，升降裝置使真空夾具下降而使真空夾具之吸盤與電子零件10接觸。且，藉由將吸盤與電子零件10之間設為真空而使真空夾具固持電子零件10。其後，可藉由升降裝置使電子零件10上升，而使除材X載台24及除材Y載台31於X方向及Y方向上移動電子零件10。 於托盤搬送支持部12之-X方向，於基台2上設置有作為電子零件檢查載置部之檢查用插口34。檢查用插口34為檢查電子零件10之場所。於檢查用插口34形成與電子零件10之外形形狀大體相同形狀之凹部，可於該凹部設置電子零件10。且，於凹部設置有可與電子零件10之端子電性接觸之探針。於檢查用插口34設置4個凹部，可同時檢查4個電子零件10。 於檢查用插口34之X方向，於檢查用插口34與托盤搬送支持部12之間設置有一對導軌35。導軌35於Y方向延伸而設置，於導軌35上設置有沿著導軌35移動之作為電子零件搬送部之第1梭載台36。第1梭載台36可載置電子零件10，並將電子零件10向檢查用插口34(檢查部1a)搬送。於基台2，直動機構內置於一對導軌35之間，該直動機構使第1梭載台36於Y方向往復移動。另，導軌35之間之直動機構可使用與驅動托盤移動載台14之直動機構同樣之機構。 於第1梭載台36之朝向Z方向之面，設置有8個用以設置電子零件10之凹部37。其中4個凹部37配置於第1梭載台36之-Y方向側，且將該凹部37設為供材用凹部37a。剩餘之4個凹部37配置於第1梭載台36之Y方向側，將該凹部37設為除材用凹部37b。於除材用凹部37b位於檢查用插口34附近時，於俯視基台2時，供材用凹部37a係位於電子零件供材部29之供材電子零件固持部28可移動之場所。同樣，於供材用凹部37a位於檢查用插口34附近時，於俯視基台2時，除材用凹部37b位於電子零件除材部33之除材電子零件固持部32可移動之場所。 於檢查用插口34之-X方向，於檢查用插口34與基台2之端之間設置有一對導軌40。導軌40於Y方向延伸而設置，於導軌40上設置有沿著導軌40移動之作為電子零件搬送部之第2梭載台41。第2梭載台41可載置電子零件10，並將電子零件10向檢查用插口34(檢查部1a)搬送。於基台2直動機構內置於一對導軌40之間，該直動機構使第2梭載台41於Y方向往復移動。另，導軌40之間之直動機構可使用與驅動托盤移動載台14之直動機構同樣之機構。 於第2梭載台41之朝向Z方向之面，設置有8個用以設置電子零件10之凹部42。其中4個凹部42配置於第2梭載台41之-Y方向側，將該凹部42設為供材用凹部42a。剩餘之4個凹部42配置於第2梭載台41之Y方向側，將該凹部42設為除材用凹部42b。於除材用凹部42b位於檢查用插口34附近時，於俯視基台2時，供材用凹部42a位於電子零件供材部29之供材電子零件固持部28可移動之場所。同樣，於供材用凹部42a位於檢查用插口34附近時，於俯視基台2時，除材用凹部42b位於電子零件除材部33之除材電子零件固持部32可移動之場所。 於第1及第2梭載台36、41上之Z方向側設置有作為個體識別資訊讀取部之讀碼器17。讀碼器17較佳讀取被載置於第1及第2梭載台36、41之電子零件10、及由供材電子零件固持部28固持之電子零件10中之至少一者之個體識別2D碼10e。藉此，藉由可選擇對個體識別2D碼10e加以讀取之讀碼器17之設置位置，而可選擇成本或速度之優先。 讀碼器17設置於出入檢查部1a之第1及第2梭載台36、41之上部。讀碼器17設置有4個。讀碼器17係於供材用凹部37a通過之上部沿X方向排列設置有2台。讀碼器17係於供材用凹部42a通過之上部沿X方向排列設置有2台。於凹部37、42(排列於與第1及第2梭載台36、41之移動方向正交之方向)之Z方向上方配置有各讀碼器17。於本實施形態中，讀碼器17介隔安裝金屬件63且藉由螺絲(未圖示)等安裝於按壓支持部44。若讀碼器17可固定於讀取被載置於第1及第2梭載台36、41之電子零件10之個體識別2D碼10e的位置，則不論安裝部位如何。例如，讀碼器17亦可安裝於導軌45或隔板55等。藉此，藉由設置複數台讀碼器17，可提高搬送速度。另，亦可於高溫時對讀碼器17追加溫度維持用空氣系統。又可於低溫時進行低溫維持。 讀碼器17可讀取被載置於第1及第2梭載台36、41之電子零件10之作為個體識別資訊之個體識別2D碼10e。據此，可讀取電子零件10之條碼及2D碼等中之至少一者。又，據此，因於將電子零件10載置於檢查用插口34之檢查部1a中吸附電子零件10之上表面並搬送，故以讀碼器17讀取個體識別2D碼10e較為困難，但可於將電子零件10搬送至檢查用插口34之前讀取個體識別2D碼10e。藉此，可與載置於檢查用插口34之電子零件10分開將個體識別2D碼(電子零件資訊)10e發送至檢查部1a。 讀碼器17可讀取記載於各個電子零件10之電子零件10之品種2D碼10d。讀碼器17係將2維碼轉換為文字資料之裝置。讀碼器17可對品種2D碼10d及個體識別2D碼10e射出光線17a並掃描(參照圖3)。且，讀碼器17可接收反射光，將反射光之光強度信號轉換成品種2D碼10d及個體識別2D碼10e所示之文字資訊。另，亦可藉由以相機(攝像裝置)等拍攝而進行圖像處理，而識別品種2D碼10d及個體識別2D碼10e所示之文字資訊。 讀碼器17可讀取矩陣型之2維碼。矩陣型之2維碼係QR(Quick Response：快速應答)碼(註冊商標)、DataMatrix、VeriCode等。讀碼器17可讀取堆疊型之2維碼。堆疊型之2維碼係PDF(Portable Data File：便攜式資料檔案)417、CODE49等。讀碼器17可讀取條碼。條碼係JAN(Japanese Article Number：日本製品編碼)等。據此，於個體識別2D碼10e包含文字串、條碼、及2D碼等時，亦可容易地自個體識別2D碼10e讀取個體識別之資訊。 圖3係讀碼器17及第1梭載台36之側視圖。 讀碼器17相對於個體識別2D碼10e傾斜安裝。這是為了不使強光源之反射光入射至圖像(個體識別2D碼10e)之受光透鏡。具體而言，雷射式讀碼器對2D碼標籤自傾斜方向照射雷射光，而接收其漫反射光，藉此可讀取2D碼標籤。例如，必須傾斜15度左右而設置。若以雷射光與2D碼標籤成直角之方式設置(正反射安裝)，則會自2D碼標籤面局部地返回極強之反射光(正反射光或直接反射光)。「於帶有角度而安裝」之情形時，由於所有之反射光皆為漫反射，故可正常地自類比波形轉換為數位波形，但於「正反射安裝」之情形時，由於接收了正反射光，故類比波形之一部分與漫反射相比變為極高之位準，而無法正常地轉換為數位波形。因此，於採取正反射安裝之情形時無法讀取。 於與第1梭載台36及第2梭載台41對向之場所設置有電子零件按壓裝置43。電子零件按壓裝置43具備跨越第1梭載台36及第2梭載台41而設置之門型之按壓支持部44。按壓支持部44係於X方向較長之形狀，於按壓支持部44之Y方向側設置有於X方向延伸之導軌45。 於導軌45之Y方向側設置有沿著導軌45移動之測定X載台46。於按壓支持部44之內部設置有使測定X載台46移動之直動機構。另，測定X載台46之直動機構可使用與驅動托盤移動載台14之直動機構同樣之機構。 於測定X載台46之Y方向側設置檢查電子零件固持部47，檢查電子零件固持部47具備升降裝置及真空夾具。該升降裝置及真空夾具省略了與托盤固持部16具備之升降裝置及真空夾具同樣之構造之說明。檢查電子零件固持部47之真空夾具具備4個吸盤，可1次固持4個電子零件10。 於檢查電子零件固持部47中，升降裝置使真空夾具下降並使真空夾具之吸盤與電子零件10接觸。且，藉由將吸盤與電子零件10之間設為真空而使真空夾具固持電子零件10。其後，可藉由升降裝置使電子零件10上升，而使測定X載台46於X方向上往復移動電子零件10。 接著，電子零件按壓裝置43固持被載置於第1梭載台36之供材用凹部37a之電子零件10並向檢查用插口34移動。且，電子零件按壓裝置43將電子零件10按壓至檢查用插口34。此時，由於將電子零件10之端子按壓於探針，故端子與探針確實地電性連接。維持該狀態並進行電子零件10之電性特性檢查。接著，於電子零件10之電性特性檢查結束後，電子零件按壓裝置43係將電子零件10移動至第1梭載台36之除材用凹部37b。以同樣之程序，檢查電子零件固持部47將載置於第2梭載台41之電子零件10移動至檢查用插口34，並將電子零件10按壓至檢查用插口34，藉此輔助電性特性檢查。 電子零件供材部29、第1梭載台36、第2梭載台41、及電子零件按壓裝置43係向實施特定處置之位置搬送。該特定處置係為了將電子零件10送入檢查用插口34而改變電子零件10之方向、將電子零件10***檢查用插口34、對電子零件10接入檢查電流而檢查等之處置。 於基台2之-X方向側設置有電特檢查裝置50。電特檢查裝置50係與設置於檢查用插口34之探針連接。且，電特檢查裝置50係與電子零件10進行電性信號之通信，而進行電子零件10之電性特性之良否判定之裝置。於基台2之X方向側設置有控制部51。控制部51係控制電子零件檢查裝置1之動作之裝置。於控制部51，設置有作為操作部之顯示部(資訊輸出部、資訊顯示部、及警報輸出部)之資訊顯示裝置51a及作為操作部之輸入部(資訊輸入部)之資訊輸入裝置51b。再者，於位於第3輸送機5之Z方向之場所，如圖2所示，設置有資訊顯示裝置48。資訊顯示裝置48及資訊顯示裝置51a係液晶顯示裝置等顯示裝置，即顯示報知操作者之資訊之裝置。資訊輸入裝置51b係鍵盤或滑鼠等裝置，即用以輸入操作者指示控制部51之內容之裝置。再者，資訊輸入裝置51b具備與外部機器通信並輸入資料之功能。 資訊顯示裝置51a係顯示用以確認讀碼器17之讀取位置之資訊之裝置。資訊輸入裝置51b具備輸入用以設定讀碼器17之讀取位置之資訊之功能。據此，可容易地設定與確認讀碼器17之讀取位置。 另，資訊輸入裝置51b亦可為輸入用以設定讀碼器17之讀取位置之資訊、及顯示用以確認讀碼器17之讀取位置之資訊之裝置。資訊輸入裝置51b亦可為能夠進行用以設定讀取位置之輸入、及用以確認讀取位置之顯示的觸控面板。據此，可容易地設定與確認讀碼器17之讀取位置。 於基台2之X方向側且Y方向側之角設置有警告燈52。警告燈52係於混入了未預定檢查之電子零件10時亮滅而促使操作者注意之裝置。電子零件檢查裝置1係於Z方向側設置罩體53，資訊顯示裝置48係固定於罩體53。罩體53由透光之樹脂形成，可通過罩體53觀察內部。且，罩體53防止灰塵或塵埃侵入至電子零件檢查裝置1。 於罩體53之Z方向側設置有空氣供給部54。空氣供給部54具備防止灰塵或塵埃通過之過濾器與風扇。且，空氣供給部54將去除灰塵或塵埃之空氣供給至電子零件檢查裝置1。空氣自空氣供給部54流入至罩體53之內部，並自基台2及基台2與罩體53之間流出。藉此，灰塵或塵埃不會侵入至電子零件檢查裝置1。 檢查用插口34具備加熱器，可將電子零件10加熱。藉此，可以特定溫度檢查電子零件10。且，包圍檢查用插口34及電子零件按壓裝置43而設置有隔板55。隔板55抑制熱自檢查用插口34之周圍散逸。藉此，將電子零件10加熱之熱被保留於檢查用插口34之周圍。 電子零件檢查裝置1中之檢查用插口34及電特檢查裝置50構成檢查部1a。且，電子零件檢查裝置1中之將電子零件10於托盤9與檢查用插口34之間搬送之各載台及輸送機構成搬送部1b。 圖4係用以說明電子零件之模式俯視圖。 如圖4所示，於電子零件10印刷有顯示製造者名稱10a、品種顯示名稱10b、及個體識別編碼10c之文字串。再者，於電子零件10，印刷有以2維碼顯示品種顯示名稱10b之品種2D碼10d、以2維碼顯示個體識別編碼10c之個體識別2D碼10e。 藉由將編碼體系由1維設為2維，可增加能顯示之文字數。因此，可增多顯示於電子零件10之資訊量。另，個體識別資訊係指標記於電子零件10之商標或標識等圖形、製造者名稱等文字資訊、電子零件之型號或序列號、批號等數字資訊之可識別該電子零件與其他電子零件的資訊。文字之內容或配置等屬性未特別限定，可設定於每個電子零件10。 圖5係電子零件檢查裝置1之電性控制方塊圖。 於圖5中，電子零件檢查裝置1具備控制電子零件檢查裝置1之動作之控制部51。且，控制部51具備：CPU(Central Processing Unit：中央運算處理單元)58，其作為處理器進行各種運算處理；及記憶體59，其記憶各種資訊。再者，載台驅動裝置60、輸送機驅動裝置61、固持部驅動裝置62、讀碼器17、資訊輸入裝置51b、資訊顯示裝置48、資訊顯示裝置51a、資訊輸出裝置65、及電特檢查裝置50係經由輸入輸出介面66及資料匯流排67而與CPU58連接。 另，電特檢查裝置50與控制部51之通信亦可使用包含GP-IB(General Purpose Interface Bus：通用介面匯流排)、RS-232C(Recommended Standard-232C：建議標準-232C)、DIO(Digital In And Out：數位輸入輸出)(數位I/O)之通信。檢查部1a與搬送部1b之通信亦可使用GP-IB通信。又，讀碼器17與控制部51之通信亦可使用RS-232C、USB(Universal Serial Bus：通用串列匯流排)、LAN(Local Area Network：區域網路)通信。 載台驅動裝置60驅動托盤移動載台14及設置於托盤固持部16之托盤升降載台68。各載台具備檢測位置之裝置。且，載台驅動裝置60係可藉由移動載台直至到達移動目的之場所而使托盤固持部16移動至期望之場所並停止。 再者，載台驅動裝置60驅動供材Y載台27、供材X載台23、及設置於供材電子零件固持部28之供材Z載台69。再者，載台驅動裝置60係驅動除材Y載台31、除材X載台24、及設置於除材電子零件固持部32之除材Z載台70。且，載台驅動裝置60係可藉由移動載台直至到達移動目的之場所，而使供材電子零件固持部28及除材電子零件固持部32移動至期望之場所並停止。 再者，載台驅動裝置60驅動第1梭載台36、第2梭載台41、測定X載台46、及設置於檢查電子零件固持部47之測定Z載台71。且，載台驅動裝置60係可藉由驅動各載台而於第1梭載台36、第2梭載台41、及檢查用插口34間移動電子零件10。 輸送機驅動裝置61驅動第1輸送機3～第6輸送機8。輸送機驅動裝置61係可藉由驅動各輸送機，使輸送機移動直至托盤9到達移動目的之場所，而使托盤9移動至期望之場所並停止。 固持部驅動裝置62係驅動托盤固持部16、供材電子零件固持部28、除材電子零件固持部32、及檢查電子零件固持部47。固持部驅動裝置62係驅動與各固持部連接之真空泵。且，驅動被設置於各固持部與真空泵之間之閥而使閥開閉。藉此，固持部驅動裝置62係可使電子零件10固持於各固持部後予以釋放。資訊輸出裝置65係與外部機器連接，具有將資訊設為電性信號而輸出至外部機器之介面功能之裝置。 記憶體59係包含RAM(Ramdom Access Memory：隨機存取記憶體)、ROM(Read Only Memory：唯讀記憶體)等之半導體記憶體、或硬碟、DVD-ROM(Digital Video Disc-Read Only Memory：數位影音光碟-唯讀記憶體)之外部記憶裝置之概念。於功能上設定有對電子零件檢查裝置1之動作之控制程序所記述之程式軟體72加以記憶的記憶區域。此外，設定有對檢測出設置於電子零件10之個體識別編碼10c之資料即個體識別資料75加以記憶的記憶區域。此外，設定有作為供CPU58使用之工作區域或臨時檔案等而發揮功能之記憶區域或其他各種記憶區域。 CPU58係根據記憶於記憶體59內之程式軟體72而進行檢查電子零件10之控制者。具有載台控制部76作為具體之功能實現部。載台控制部76係與載台驅動裝置60進行通信並取得各載台之位置資訊。接著，以使各載台移動至載台控制部76期望之場所並停止之方式將指令信號輸出至載台驅動裝置60。再者，載台控制部76係與輸送機驅動裝置61進行通信並取得第1輸送機3～第6輸送機8之位置資訊。接著，以使各輸送機移動至載台控制部76期望之場所並停止之方式將指令信號輸出至輸送機驅動裝置61。 此外，CPU58具有固持控制部77。固持控制部77係以固持部驅動裝置62驅動托盤固持部16、供材電子零件固持部28、除材電子零件固持部32、及檢查電子零件固持部47。接著，進行使電子零件10吸附於各固持部之動作與釋放之動作之控制。接著，載台控制部76與固持控制部77協同搬送電子零件10。 此外，CPU58具有資訊顯示控制部81。資訊顯示控制部81係於資訊顯示裝置48及資訊顯示裝置51a顯示算出之個體識別資料75。 此外，CPU58具有電子零件資訊產生發送部82。電子零件資訊產生發送部82係經由資訊輸出裝置65而將個體識別資料75輸出至外部機器。 電子零件資訊產生發送部82可產生電子零件資訊。電子零件資訊產生發送部82可將電子零件資訊發送至檢查電子零件10之檢查部1a。電子零件資訊包含個體識別2D碼10e。電子零件資訊除個體識別2D碼10e外包含有部位資訊。部位資訊係指例如以檢查部1a檢查電子零件10時之檢查用插口34之凹部之編碼。 另，於電子零件資訊中，除個體識別資訊外亦可包含有搬送部1b之電子零件10之搬送路徑之資訊。據此，可根據電子零件資訊作成電子零件10之搬送路徑圖。且，可基於檢查結果確立可追蹤性。電子零件10之搬送路徑資訊係指供給時托盤9之編碼及其排列、回收時托盤9之編碼及其排列、檢查用插口34之凹部編碼、檢查順序、及檢查之種類等。另，搬送路徑資訊亦可記錄於該電子零件10。 電子零件資訊產生發送部可基於來自檢查部1a之信號，將個體識別2D碼(電子零件資訊)10e發送至檢查部1a。檢查部1a可將檢查電子零件10之結果與個體識別2D碼10e一併(建立關聯)記憶。據此，可於實施檢查前將電子零件10之個體識別資訊發送至檢查部1a。 另，於本實施形態中，雖使用CPU58以程式軟體實現上述各功能，但於不使用CPU58而藉由單獨之電子電路(硬體)可實現上述各功能之情形時，亦可使用此種電子電路。 圖6係顯示讀碼器17之設定畫面之一例之圖。 基於圖6說明讀碼器17之設定方法。 於圖6所示之「2D碼設定(2D Code Setup)」畫面G1，例如，包含有「存在2D碼使用(2D Code Use existence)」選擇區域RA1、「讀取錯誤之處理(Processing of reading error)」選擇區域RA2、「梭1設定(Shuttle 1 setup)」選擇區域RA3。 於圖6所示之例中，於選擇區域RA1，包含有「有效(Valid)」之文字串、與該文字串建立對應之選項按鈕RB1、「無效(Invalid)」之文字串、及與該文字串建立對應之選項按鈕RB2。 操作者輕觸(點擊)被顯示於選擇區域RA1之2個選項按鈕(選項按鈕RB1及選項按鈕RB2)中之1個，藉此選擇有無使用2D碼。於選項按鈕RB2被設定之情形時為普通運轉，不進行個體識別2D碼10e之讀取。 於選擇區域RA2，包含有「即時停止錯誤(Instant error stop)」之文字串、與該文字串建立對應之選項按鈕RB3、「繼續讀取錯誤(Continuation reading error)」之文字串、與該文字串建立對應之選項按鈕RB4、用以受理錯誤類別之輸入框N1、及用以受理連續錯誤次數之輸入框N2。 操作者輕觸(點擊)顯示於選擇區域RA2之2個選項按鈕(選項按鈕RB3及選項按鈕RB4)中之1個，藉此設定產生讀取錯誤時之處理。操作者將任意之數值輸入被顯示於選擇區域RA2之2個輸入框(輸入框N1及輸入框N2)，藉此設定產生讀取錯誤時之處理。操作者係於選擇區域RA2設定個體識別2D碼10e之讀取失敗時之處理。 於選項按鈕RB3被設定之情形時，一旦產生讀取錯誤，馬上停止錯誤。於選項按鈕RB4被設定之情形時，於連續產生輸入框N2中設定之次數之情形時停止錯誤。輸入框N1中設定之值係寫入至讀取出差錯之凹部37、42之錯誤類別編碼。寫入有錯誤類別之電子零件10之檢查係不實施。另，於讀碼器17搭載有自動重試功能。 於選擇區域RA3，包含有「讀取位置(Reading position)」之文字串、與該文字串建立對應之輸入框N3、「移動(Move)」按鈕BT1、及「Reg.(登錄)」按鈕BT2、「等待時間(Wait Time)」之文字串、與該文字串建立對應之輸入框N4、「梭1列A(Shuttle 1 rowA)」選擇區域RA4、及「梭1列B(Shuttle 1 rowB)」選擇區域RA5。 於「梭1列A(Shuttle 1 rowA)」選擇區域RA4包含有「讀取(Read)」按鈕BT3、及與該按鈕建立對應之輸出框S1及輸出框S2。 操作者係指定讀取被載置於供材用凹部37a、42a之-Y側之電子零件10之個體識別2D碼10e時之位置(第1及第2梭載台36、41之位置)。藉由點擊按鈕BT2可登錄當前之第1及第2梭載台36、41之位置。 操作者於第1及第2梭載台36、41移動至讀取位置後，等待指定時間後執行讀取。 操作者點擊按鈕BT1。第1及第2梭載台36、41移動至讀取位置。 操作者點擊按鈕BT2。以當前之第1及第2梭載台36、41之位置更新輸入框N3之值。 操作者點擊按鈕BT3。成為讀碼器17反復執行讀取之狀態。若成功讀取個體識別2D碼10e，則將讀取之個體識別2D碼10e顯示於按鈕BT3右側之輸出框S1，並將讀取所花費之時間顯示於其下方之輸出框S2。讀取時間越短，讀取條件越佳(內部重試較少之故)。若讀取失敗，則於輸出框S1顯示為「讀取錯誤」。 於「梭1列B(Shuttle 1 rowB)」選擇區域RA5包含有「讀取(Read)」按鈕BT4、及與該按鈕建立對應之輸出框S3及輸出框S4。另，由於選擇區域RA5係與選擇區域RA4同樣之功能，故省略說明。 又，由於「梭2設定(Shuttle 2 setup)」選擇區域RA6係與選擇區域RA3同樣之功能，故省略說明。 於「日誌檔案保存(Log File Save)」選擇區域RA7，包含有「啟用(Enable)」之文字串、與該文字串建立對應之選項按鈕RB5、「禁用(Disable)」之文字串、及與該文字串建立對應之選項按鈕RB6。 操作者輕觸(點擊)被顯示於選擇區域RA7之2個選項按鈕(選項按鈕RB5及選項按鈕RB6)中之1個，藉此設定日誌檔案保存之有效、無效。 搬送部1b係特定期間將個體識別2D碼10e資訊與檢查結果作為控制部51內之日誌資料而保存。例如，保存為“Barcodexx1, Site1, Bin1, Barcodexx2, Site2, Bin3”“Barcodexx3, Site3, Bin1, Barcodexx4, Site4, Bin6”。 接著，說明讀取位置之登錄。 讀取位置調整係按畫面G1之選擇區域RA3之「讀取位置(Reading position)」、「等待時間(Wait Time)」實施。 首先，將檢查對象即電子零件10***第1梭載台36之供材用凹部37a之-Y側。若按下按鈕BT1，則將第1梭載台36移動至供材用凹部37a之-Y側。 接著，藉由於輸入框N4任意設定等待時間並按下按鈕BT3，而使對應之讀碼器17之1者以設定之間隔開始連續讀取。以輸入之方式設定值時，反復將「讀取位置(Reading position)」之值輸入至輸入框N3，並按下按鈕BT1，而調整至讀取位置。 以手移動而設定第1梭載台36時，向可讀取之位置移動第1梭載台36，並以按鈕BT2登錄位置。 具體而言，首先，點擊按鈕BT3開始讀取。接著，以手使第1梭載台36移動而尋找讀取位置。接著，一面確認被顯示於輸出框S1之個體識別2D碼10e與被顯示於輸出框S2之處理時間，一面找出最佳位置。接著，以按鈕BT2登錄位置。接著，更行輸入框N3之值。接著，以按鈕BT1再次確認。接著，亦同樣地登錄第2梭載台41側之位置。 確認實際流入電子零件10時是否可進行個體識別2D碼10e之讀取。於讀取失敗時，調整輸入框N3或輸入框N4之值而尋找最佳之設定。 電子零件10所進入之第1及第2梭載台36、41係以步驟動作每次移動1行。藉由讀碼器17，而於第1及第2梭載台36、41上讀取檢查前之電子零件10之個體識別2D碼10e。個體識別2D碼10e係經由GP-IB而於檢查開始後對檢查部1a發送。另，個體識別2D碼10e之讀取亦可於檢查後進行。 搬送部1b係將個體識別2D碼10e與部位資訊傳送至檢查部1a。搬送部1b係基於檢查部1a之檢查結果而將電子零件10分層。 檢查結果例如以“Site1, Bin1, Site2, Bin3, Site3, Bin1, Site4, Bin6”之格式發送。 (電子零件之檢查方法) 接著，對使用上述電子零件檢查裝置檢查電子零件之方法，使用圖7及圖8進行說明。 圖7係顯示電子零件之檢查方法之流程圖。圖8係顯示搬送部1b與檢查部1a之通信序列之圖。 首先，如圖7所示，步驟S10相當於托盤設置步驟。該步驟係操作者將托盤9設置於第1輸送機3之步驟。 接著移至步驟S20。步驟S20相當於標識攝像步驟。該步驟係讀碼器17讀取電子零件10之個體識別2D碼10e之步驟。 接著移至步驟S30。步驟S30相當於檢查步驟。該步驟中，搬送部1b將電子零件10搬送至檢查用插口34，檢查部1a檢查電子零件10之電性特性，且，搬送部1b將已檢查之電子零件10收納於托盤9之步驟。 接著移至步驟S40。步驟S40相當於空托盤移動步驟。該步驟係托盤搬送部11於第1輸送機3～第6輸送機8之間移動空托盤9之步驟。 接著移至步驟S50。步驟S50相當於托盤去除步驟。該步驟係操作者自第4輸送機6～第6輸送機8去除收納有已檢查之電子零件10之托盤9之步驟。藉由以上之步驟，檢查電子零件10之步驟結束。 接著，與圖7所示之步驟對應，詳細地說明電子零件10之檢查方法。 步驟S10係托盤設置步驟。操作者將電子零件10排列設置於托盤9。該電子零件10係預定之後要進行電性特性檢查者。接著，操作者將設置有電子零件10之托盤9載置於第1輸送機3。 步驟S20係標識拍攝步驟。於步驟S20中，載台控制部76係以輸送機驅動裝置61驅動第1輸送機3而使托盤9接近電子零件除供材部20。接著，載台控制部76係以載台驅動裝置60移動第1梭載台36。接著，使供材用凹部37a於供材電子零件固持部28之移動範圍內移動。 接著，載台控制部76及固持控制部77係以載台驅動裝置60及固持部驅動裝置62驅動電子零件供材部29，而使托盤9上之4個電子零件10移動至供材用凹部37a。 接著，載台控制部76係以載台驅動裝置60移動第1梭載台36。讀碼器17對品種2D碼10d及個體識別2D碼10e射出光線17a並掃描(參照圖3)。且，讀碼器17接收反射光，將反射光之光強度信號轉換為條碼顯示之文字資訊。該文字資訊係個體識別資料75。CPU58自讀碼器17輸入文字資訊而記憶於記憶體59。 即便產生堵塞使得搬送部停止、因而電子零件滯留於搬送區域，個體識別2D碼已被拍攝之電子零件亦因搬送部之控制部保存有個體識別2D碼而可繼續動作。 於讀碼器無法讀取電子零件之個體識別2D碼時，檢查部1a不檢查電子零件10，搬送部1b將電子零件10存放在載置於作為特定載置部之第4輸送機6之托盤9。或，存放之場所亦可為任意設定之場所。於本實施形態中，雖將判定為不良之電子零件10存放在載置於第4輸送機6之托盤9，但亦可新設置再檢查用之托盤9而存放於該處。據此，於讀取個體識別2D碼10e但無法辨識個體識別2D碼10e之情形時，於將該電子零件10搬送至檢查用插口34後，不向檢查部1a發送個體識別2D碼10e。藉此，檢查部1a可判斷將電子零件10分類為不良、或再檢查。例如，於檢查前檢驗電子零件10並判斷為不良之情形時，可不檢查而予以撤離。 步驟S30係檢查步驟。於步驟S30中載台控制部76係以載台驅動裝置60移動第1梭載台36，而使供材用凹部37a移動至檢查用插口34旁。 接著，載台控制部76及固持控制部77係以載台驅動裝置60及固持部驅動裝置62驅動電子零件按壓裝置43。接著，固持控制部77係以檢查電子零件固持部47固持電子零件10。接著，載台控制部76係使測定X載台46及測定Z載台71移動，而使電子零件10自供材用凹部37a移動至檢查用插口34。 接著，載台控制部76以電子零件按壓裝置43將電子零件10按壓至檢查用插口34。藉此，檢查用插口34之探針與電子零件10之端子導通。 接著，基於圖8說明搬送部1b與檢查部1a之通信序列。 首先，如圖8所示，於步驟S100中，搬送部1b係於檢查用插口34配設電子零件10後，對檢查部1a發送檢查開始。 接著，於步驟S110中，檢查部1a對搬送部1b發送個體識別2D碼10e之請求。檢查部1a向搬送部1b詢問配設有電子零件10之檢查用插口34之編碼。 讀取所有配設於檢查用插口34之電子零件10之個體識別2D碼10e。例如，根據GP-IB通信規格將“BARCODE?”之文字串自檢查部1a對搬送部1b發送。 讀取指定之檢查用插口34之電子零件10之個體識別2D碼10e。例如，發送“BARCODE:S#?”作為指令。另，於S#之部分配設檢查用插口34之編碼。 接著，於步驟S120中，搬送部1b將保存於控制部51之個體識別2D碼(電子零件資訊)10e發送至檢查部1a。搬送部1b對檢查部1a通知配設有電子零件10之檢查用插口34之編碼。 發送所有配設於檢查用插口34之電子零件10之個體識別2D碼10e。例如，發送“BARCODE:S#_xxxxx,S#_xxxxx,…;”作為指令。具體而言，發送“BARCODE:S1_1234567890, S2_, S3_1000234585, S4_1100345478;”。 發送指定之檢查用插口34之電子零件10之個體識別2D碼10e。例如，發送“BARCODE:S#_xxxxx;”作為指令。具體而言，發送“BARCODE:S1_1234567890;”。於S#之部分配設檢查用插口34之編碼並根據GP-IB通信規格將搬送部1b之控制部51中保存之個體識別2D碼10e發送至檢查部1a。 接著，於步驟S130中，由於檢查部1a確認自搬送部1b接收之個體識別2D碼10e是否正確，故將自搬送部1b接收之個體識別2D碼10e回覆至搬送部1b。 檢查部1a將自搬送部1b接收之個體識別2D碼10e發送至搬送部1b。例如，發送“ECHO S#_xxxxx,S#_xxxxx,…;”作為指令。具體而言，發送“ECHO S1_1234567890;”。 接著，於步驟S140中，搬送部1b係比較發送至檢查部1a之個體識別2D碼10e與自檢查部1a接收之個體識別2D碼10e並回應檢查部1a是否已正確地發送至檢查部1a。 確認搬送部1b發送之個體識別2D碼10e與檢查部1a接收之個體識別2D碼10e是否相等。 例如，於相等之情形時發送“ECHOOK”，於不等之情形時發送“ECHONG”，具體而言，判斷ECHO指令與BARCODE指令之資料是否匹配，若匹配則返回“ECHOOK”，若不匹配則返回“ECHONG”。 接著，電特檢查裝置50與電子零件10通信而檢查電子零件10之電性特性。檢查部1a檢查電子零件10。 接著，於步驟S150中，檢查部1a將電子零件10之檢查結果通知搬送部1b。 接著，於步驟S160中，搬送部1b為了確認自檢查部1a接收之檢查結果資料是否正確，而將檢查結果發送至檢查部1a。 接著，於步驟S170中，檢查部1a比較發送至搬送部1b之檢查結果與自搬送部1b接收之檢查結果並回應搬送部1b是否已正確地發送至搬送部1b。 於電特檢查裝置50檢查電子零件10之電性特性之期間，載台控制部76使第1梭載台36移動並使除材用凹部37b移動至檢查用插口34旁。接著，載台控制部76使第2梭載台41移動。接著，使供材用凹部42a移動至供材電子零件固持部28之移動範圍內。接著，載台控制部76及固持控制部77以載台驅動裝置60及固持部驅動裝置62驅動電子零件供材部29，而使托盤9上之4個電子零件10移動至第2梭載台41之供材用凹部42a。接著，載台控制部76以載台驅動裝置60移動第2梭載台41，而使供材用凹部42a移動至檢查用插口34旁。接著，搬送部1b待機直至電子零件10之檢查結束。 於電子零件10之檢查結束後，載台控制部76以載台驅動裝置60移動測定X載台46及測定Z載台71，而使電子零件10自檢查用插口34移動至第1梭載台36之除材用凹部37b。 檢查部1a將檢查電子零件10之結果與個體識別2D碼10e一併(建立關聯)記憶。 接著，載台控制部76及固持控制部77以載台驅動裝置60及固持部驅動裝置62驅動電子零件按壓裝置43。接著。固持控制部77以檢查電子零件固持部47固持位於供材用凹部42a之電子零件10。接著，載台控制部76以載台驅動裝置60移動測定X載台46及測定Z載台71，而使電子零件10自供材用凹部42a移動至檢查用插口34。 接著，載台控制部76以檢查電子零件固持部47將電子零件10按壓至檢查用插口34。此時，檢查用插口34之探針與電子零件10之端子導通。接著，電特檢查裝置50與電子零件10通信而檢查電子零件10之電性特性。 於電特檢查裝置50檢查電子零件10之電性特性之期間，載台控制部76以載台驅動裝置60移動第2梭載台41。接著，載台驅動裝置60使除材用凹部42b移動至檢查用插口34旁。接著，載台控制部76以載台驅動裝置60移動第1梭載台36。接著，載台驅動裝置60使除材用凹部37b移動至除材電子零件固持部32之移動範圍內。接著，載台控制部76及固持控制部77以除材電子零件固持部32固持電子零件10。 電性特性檢查之結果係檢查之電子零件10為良品時，載台控制部76以電子零件除材部33使電子零件10載置於第5輸送機7或第6輸送機8上之托盤9。電性特性檢查之結果係電子零件10為不良品時，載台控制部76以電子零件除材部33使電子零件10載置於第4輸送機6上之托盤9。 另，亦可於1個托盤9配設有複數個配置區域，且搬送部1b根據分級程度而配置電子零件10。 接著，載台控制部76以載台驅動裝置60驅動第1梭載台36而使供材用凹部37a移動至供材電子零件固持部28之移動範圍內。如此，電子零件供材部29、第1梭載台36、第2梭載台41、及電子零件按壓裝置43將電子零件10自第1輸送機3上之托盤9移動至檢查用插口34。接著，檢查用插口34及電特檢查裝置50檢查電子零件10之電性特性。接著，電子零件按壓裝置43將電子零件10自檢查用插口34移動至第1梭載台36或第2梭載台41。 接著，電子零件除材部33將電子零件10自第1梭載台36或第2梭載台41移動至第4輸送機6～第6輸送機8上之托盤9。依序反覆該動作進行電子零件10之電性特性檢查。另，各電子零件10之電性特性檢查之判定結果記憶於記憶體59，並顯示於資訊顯示裝置48及資訊顯示裝置51a。又，電性特性檢查之判定結果可藉由資訊輸出裝置65自記憶體59輸出至外部機器。 接著，返回圖7，步驟S40係空托盤移動步驟。於步驟S40中，載台控制部76以載台驅動裝置60移動托盤移動載台14，且以輸送機驅動裝置61驅動第1輸送機3。接著，載台控制部76以移動電子零件10而變空之托盤9與托盤固持部16對向之方式使托盤9與托盤固持部16移動。 接著，載台控制部76以載台驅動裝置60驅動被設置於托盤固持部16之托盤升降載台68而使托盤固持部16下降。接著，載台控制部76將指令信號輸出至固持部驅動裝置62而以托盤固持部16固持托盤9。接著，載台控制部76將指令信號輸出至載台驅動裝置60及固持部驅動裝置62而使托盤9移動至第2輸送機4或第3輸送機5上。 於第4輸送機6～第6輸送機8上之托盤9無載置電子零件10之場所，而有設置托盤9之場所時，載台控制部76將指令信號輸出至載台驅動裝置60、輸送機驅動裝置61、及固持部驅動裝置62。接著，載台控制部76使托盤9自第2輸送機4及第3輸送機5移動至第4輸送機6～第6輸送機8上。 接著，步驟S50係托盤去除步驟。於步驟S50中，載台控制部76將指令信號輸出至輸送機驅動裝置61。接著，載台控制部76以輸送機驅動裝置61驅動第4輸送機6～第6輸送機8，而將載置有電子零件10之托盤9移動至罩體53之外側。接著，操作者將載置有電子零件10之托盤9自電子零件檢查裝置1去除並向下個步驟之作業場所搬送。藉由以上之步驟而結束檢查電子零件10之步驟。 根據本實施形態，附加讀碼器17，以讀碼器17讀取電子零件10之所記述之個體識別2D碼10e，並將以讀碼器17讀取之個體識別2D碼10e於檢查時發送至檢查部1a，因此可將電子零件10之個體識別2D碼10e與檢查結果一併(建立關聯)記錄。藉此，可於之後確認電子零件10個體與以檢查部1a檢查之記錄，搬送部1b亦可進行實施檢查之電子零件10之個體管理。其結果，可確立電子零件10之可追蹤性，而管理各電子零件10之品質。 於根據檢查部1a實施檢查之結果而將資訊寫入至電子零件10之情形時，可於之後確認寫入至每個電子零件10個體之資料。 (第2實施形態) 本實施形態與第1實施形態不同之處在於讀碼器17之設置部位。另，對與第1實施形態相同之點省略說明。 圖9係顯示第2及第3實施形態相關之電子零件檢查裝置之構造之模式俯視圖。 本實施形態之讀碼器38設置於第1支持樑22(供材電子零件固持部28)之下部。讀碼器38介隔安裝金屬件(未圖示)且藉由螺絲(未圖示)等安裝於第1支持樑22之下部。 讀碼器38可讀取被載置於第1及第2梭載台36、41之電子零件10之個體識別2D碼10e。 讀碼器38可藉由第1支持樑22之移動而讀取搬送至第1及第2梭載台36、41之電子零件10之個體識別2D碼10e。藉此，因藉由1台讀碼器38讀取個體識別2D碼10e，故可抑制成本。 又，若將讀碼器38設置於電子零件供材部29之供材Y載台27，則因供材Y載台27變重而使移動速度降低。因此，於該構造中，電子零件供材部29移動電子零件10所花費之時間延長。與該構造相比，於本實施形態中，由於將讀碼器38設置於第1支持樑22，故可生產性較佳地使電子零件10移動。 (第3實施形態) 本實施形態與第1實施形態不同之處在於讀碼器17之設置部位。另，對與第1實施形態相同之點省略說明。 本實施形態之讀碼器49如圖9所示設置於搬送部1b之頂板(基台2)。讀碼器49介隔安裝金屬件(未圖示)且藉由螺絲(未圖示)等而安裝於基台2。 讀碼器49可讀取由供材電子零件固持部28固持之電子零件10之個體識別2D碼10e。藉此，於個體識別2D碼10e被記述於電子零件10之背面之情形時有效。此外，亦可與第1及第2實施形態之至少一者之讀碼器17、38組合。 另，本實施形態並非限定於上述實施形態者，於本發明之技術思想內，亦可由於該領域中具有通常之知識者實施各種變更或改良。變化例係如下所述。 (變化例1) 圖10係用以說明本變化例相關之電子零件之模式俯視圖。 於上述實施形態中，電子零件10之個體識別資訊未限定於個體識別2D碼，例如，亦可為圖10所示之記述。對個體識別資訊所顯示之電子零件85之一變化例使用圖10進行說明。於上述1～3實施形態中，將2維之個體識別2D碼10e印刷於電子零件10。編碼未限定於2維，亦可設為1維之條碼。 於本變化例中，如圖10所示，將顯示製造者名稱85a、品種顯示名稱85b、及個體識別編碼85c之文字串印刷於電子零件85。再者，於電子零件85，印刷有以條碼顯示品種顯示名稱85b之品種條碼85d、與以條碼顯示個體識別編碼85c之個體識別條碼85e。另，文字或條碼之內容或配置等屬性並未特別限定，設定於每個電子零件85。 讀碼器17對品種條碼85d及個體識別條碼85e射出光線17a並掃描。 (變化例2) 圖11係用以說明本變化例相關之電子零件之模式俯視圖。 於上述變化例1中，將1維之個體識別條碼85e印刷於電子零件85。如圖11所示，於電子零件88，印刷有顯示製造者名稱88a、品種顯示名稱88b、及作為個體識別資訊之個體識別編碼88c之文字串。 個體識別資訊讀取部係未圖示之攝像裝置。據此，可讀取文字、條碼、及2D碼等之至少一者作為電子零件10之個體識別資訊。 攝像裝置係於內部組裝有對物透鏡、自動聚焦裝置、同軸落射照明裝置與CCD(Charge Coupled Device：電荷耦合器件)攝像元件者。攝像裝置係朝向電子零件88設置對物透鏡。首先，自同軸落射照明裝置射出之光係照射電子零件88。攝像裝置係通過對物透鏡輸入以電子零件88反射之光。接著，自動聚焦裝置於CCD攝像元件成像。藉由CCD攝像元件將圖像轉換為電性信號，攝像裝置可攝像電子零件88。製造者名稱88a、品種顯示名稱88b、及個體識別編碼88c之文字串較佳為可以攝像裝置攝影之色調。於本變化例中，例如背景為白色，文字顏色為黑色。另，自攝像裝置攝像之圖像算出個體識別資料75之方法可使用周知之方法。 (變化例3) 於上述變化例2中，攝像裝置係於內部組裝有CCD攝像元件。將圖像轉換為電性信號之裝置未限定於CCD攝像元件。可使用攝像管或CMOS(互補金屬氧化物半導體)影像感測器。此外，亦可使用紅外線影像感測器。亦可配合攝影之環境或電子零件88之印刷狀況而加以選擇。
1‧‧‧電子零件檢查裝置
1a‧‧‧檢查部
1b‧‧‧搬送部(電子零件搬送裝置)
2‧‧‧基台
3‧‧‧第1輸送機
3c‧‧‧第1方向
4‧‧‧第2輸送機
5‧‧‧第3輸送機
6‧‧‧第4輸送機
7‧‧‧第5輸送機
8‧‧‧第6輸送機
9‧‧‧托盤
10‧‧‧電子零件
10a‧‧‧製造者名稱
10b‧‧‧品種顯示名稱
10c‧‧‧個體識別編碼
10d‧‧‧品種2D碼
10e‧‧‧個體識別2D碼(個體識別資訊)
11‧‧‧托盤搬送部
12‧‧‧托盤搬送支持部
13‧‧‧導軌
14‧‧‧托盤移動載台
14a‧‧‧第2方向
15‧‧‧托盤固持支持部
16‧‧‧托盤固持部
17‧‧‧讀碼器(個體識別資訊讀取部)
17a‧‧‧光線
18‧‧‧導軌
19‧‧‧導軌
20‧‧‧電子零件除供材部
21‧‧‧導軌
22‧‧‧第1支持樑
23‧‧‧供材X載台
24‧‧‧除材X載台
25‧‧‧第1支持部
26‧‧‧第2支持樑
27‧‧‧供材Y載台
28‧‧‧供材電子零件固持部(固持部)
29‧‧‧電子零件供材部
30‧‧‧第2支持部
31‧‧‧除材Y載台
32‧‧‧除材電子零件固持部
33‧‧‧電子零件除材部
34‧‧‧檢查用插口(電子零件檢查載置部)
35‧‧‧導軌
36‧‧‧第1梭載台(電子零件搬送部)
37‧‧‧凹部
37a‧‧‧供材用凹部
37b‧‧‧除材用凹部
38‧‧‧讀碼器(個體識別資訊讀取部)
39‧‧‧導軌
40‧‧‧導軌
41‧‧‧第2梭載台(電子零件搬送部)
42‧‧‧凹部
42a‧‧‧供材用凹部
42b‧‧‧除材用凹部
43‧‧‧電子零件按壓裝置
44‧‧‧按壓支持部
45‧‧‧導軌
46‧‧‧測定X載台
47‧‧‧檢查電子零件固持部
48‧‧‧資訊顯示裝置
49‧‧‧讀碼器(個體識別資訊讀取部)
50‧‧‧電特檢查裝置
51‧‧‧控制部
51a‧‧‧資訊顯示裝置
51b‧‧‧資訊輸入裝置
52‧‧‧警告燈
53‧‧‧罩體
54‧‧‧空氣供給部
55‧‧‧隔板
58‧‧‧CPU
59‧‧‧記憶體
60‧‧‧載台驅動裝置
61‧‧‧輸送機驅動裝置
62‧‧‧固持部驅動裝置
63‧‧‧安裝金屬件
65‧‧‧資訊輸出裝置
66‧‧‧輸入輸出介面
67‧‧‧資料匯流排
68‧‧‧托盤升降載台
69‧‧‧供材Z載台
70‧‧‧除材Z載台
71‧‧‧測定Z載台
72‧‧‧程式軟體
75‧‧‧個體識別資料
76‧‧‧載台控制部
77‧‧‧固持控制部
81‧‧‧資訊顯示控制部
82‧‧‧電子零件資訊產生發送部
85‧‧‧電子零件
85a‧‧‧製造者名稱
85b‧‧‧品種顯示名稱
85c‧‧‧個體識別編碼
85d‧‧‧品種條碼
85e‧‧‧個體識別條碼(個體識別資訊)
88‧‧‧電子零件
88a‧‧‧製造者名稱
88b‧‧‧品種顯示部
88c‧‧‧個體識別編碼(個體識別資訊)
BT1‧‧‧按鈕
BT2‧‧‧按鈕
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BT4‧‧‧按鈕
G1‧‧‧畫面
N1‧‧‧輸入框
N2‧‧‧輸入框
N3‧‧‧輸入框
N4‧‧‧輸入框
RA1‧‧‧選擇區域
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S20‧‧‧步驟
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Y‧‧‧方向
Z‧‧‧方向
圖1係顯示第1實施形態相關之電子零件檢查裝置之構造之模式俯視圖。 圖2係顯示電子零件檢查裝置之構造之概略立體圖。 圖3係讀碼器及第1梭載台之側視圖。 圖4係用以說明電子零件之模式俯視圖。 圖5係電子零件檢查裝置之電性控制方塊圖。 圖6係顯示讀碼器之設定畫面之一例之圖。 圖7係顯示電子零件之檢查方法之流程圖。 圖8係顯示搬送部與檢查部之通信序列之圖。 圖9係顯示第2及第3實施形態相關之電子零件檢查裝置之構造之模式俯視圖。 圖10係用以說明變化例1相關之電子零件之模式俯視圖。 圖11係用以說明變化例2相關之電子零件之模式俯視圖。

Claims (9)

  1. 一種電子零件搬送裝置，其具有：個體識別資訊讀取部，其可讀取記載於電子零件之上述電子零件之個體識別資訊；檢查部，其檢查上述電子零件；電子零件資訊產生發送部，其可產生包含上述個體識別資訊、且對上述檢查部發送之電子零件資訊，且可將上述電子零件資訊發送至上述檢查部；電子零件檢查載置部配置部，其可配置能夠檢查上述電子零件之電子零件檢查載置部；及電子零件搬送部，其可載置上述電子零件，且向上述電子零件檢查載置部配置部搬送上述電子零件；且上述檢查部可將檢查上述電子零件之結果與上述個體識別資訊一併記憶。
  2. 如請求項1之電子零件搬送裝置，其中具有：固持部，其固持上述電子零件；且上述個體識別資訊讀取部係讀取被載置於上述電子零件搬送部之上述電子零件、及由上述固持部固持之上述電子零件中至少一者之上述個體識別資訊。
  3. 如請求項1或2之電子零件搬送裝置，其中上述個體識別資訊讀取部係讀碼器及攝像裝置中至少一者。
  4. 如請求項1或2之電子零件搬送裝置，其中上述電子零件資訊產生發送部係基於來自上述檢查部之信號，將上述電子零件資訊發送至上述檢查部。
  5. 如請求項1或2之電子零件搬送裝置，其中於上述個體識別資訊讀取部無法讀取上述電子零件之上述個體識別資訊時，上述檢查部不檢查上述電子零件，且上述電子零件搬送部將上述電子零件載置於特定之載置部。
  6. 如請求項1或2之電子零件搬送裝置，其中具有：操作部，其可設定及確認上述個體識別資訊讀取部之讀取位置；且上述操作部具有可進行用以設定上述讀取位置之輸入、及用以確認上述讀取位置之顯示的觸控面板。
  7. 如請求項1或2之電子零件搬送裝置，其中具有：操作部，其可設定及確認上述個體識別資訊讀取部之讀取位置；且上述操作部具有：輸入部，其可進行用以設定上述讀取位置之輸入；及顯示部，其可進行用以確認上述讀取位置之顯示。
  8. 如請求項1或2之電子零件搬送裝置，其中於上述電子零件資訊中，除上述個體識別資訊外，並包含上述電子零件搬送裝置中之上述電子零件之搬送路徑的資訊。
  9. 一種電子零件檢查裝置，其具有：個體識別資訊讀取部，其可讀取記載於電子零件之上述電子零件之個體識別資訊；檢查部，其檢查上述電子零件；電子零件資訊產生發送部，其可產生包含上述個體識別資訊、且對上述檢查部發送之電子零件資訊，且可將上述電子零件資訊發送至上述檢查部；電子零件檢查載置部，其可檢查上述電子零件；及電子零件搬送部，其可載置上述電子零件，且向上述電子零件檢查載置部搬送上述電子零件；且上述檢查部可將檢查上述電子零件之結果與上述個體識別資訊一併記憶。
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