TWI664823B - 用於編碼器之即時校正方法及其系統 - Google Patents

用於編碼器之即時校正方法及其系統 Download PDF

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TWI664823B
TWI664823B TW108100363A TW108100363A TWI664823B TW I664823 B TWI664823 B TW I664823B TW 108100363 A TW108100363 A TW 108100363A TW 108100363 A TW108100363 A TW 108100363A TW I664823 B TWI664823 B TW I664823B
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蔡清雄
焦郁華
林正平
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台達電子工業股份有限公司
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Abstract

一種用於編碼器之即時校正方法,包括下列步驟。感測待測元件之運動,以取得第一弦波信號與第二弦波信號,其中第一弦波信號與第二弦波信號的相位相差90度。對第一弦波信號與第二弦波信號進行取樣,以取得N個第一數位信號值與N個第二數位信號值。依據N個第一數位信號值與N個第二數位信號值,產生N個定位位置。將N個定位位置加入計算群組中。對計算群組中之定位位置進行迴歸分析,以取得迴歸曲線。依據回歸曲線,預測第N+1個預測位置。依據理想位置曲線,在第N+1個預測位置的時間點,取得待測元件之理想位置,並利用第N+1個預測位置與理想位置之間的誤差值對待測元件進行校正。

Description

用於編碼器之即時校正方法及其系統
本發明有關於一種用於編碼器之即時校正方法及其系統。
編碼器主要用以提供例如伺服馬達之轉子(動子)之精確位置,以滿足伺服驅動裝置穩定控速與精準定位之需求。然而,機構於組裝時所造成的誤差將會影響編碼器之位置輸出之精確度。另外,在持續使用一段時間後,由於機構等相對位置改變或者受到外在環境污染的影響,進而使編碼器位置輸出的準確度變差。因此,如何即時地計算編碼器位置輸出的誤差並修正位置輸出為目前所需解決之問題。
為解決上述問題,本發明提供一種用於編碼器之即時校正方法,藉以提定位精確度及延長編碼器的使用壽命,以增加使用上的便利性。
本發明提供一種用於編碼器之即時校正方法,包括下列步驟。感測待測元件之運動,以取得第一弦波信號與第 二弦波信號,其中第一弦波信號與第二弦波信號的相位相差90度。對第一弦波信號與第二弦波信號進行取樣,以取得N個第一數位信號值與N個第二數位信號值。依據N個第一數位信號值與N個第二數位信號值,產生N個定位位置。將N個定位位置加入計算群組中。對計算群組中之定位位置進行迴歸分析,以取得迴歸曲線。依據回歸曲線,預測第N+1個預測位置。依據理想位置曲線,在第N+1個預測位置的時間點,取得待測元件之一理想位置,並利用第N+1個預測位置與理想位置之間的誤差值對待測元件進行校正。
本發明另一實施例提供一種用於編碼器之即時校正系統,包括感測單元、取樣單元以及處理單元。感測單元用以感測待測元件之運動,取得第一弦波信號與第二弦波信號,其中第一弦波信號與第二弦波信號的相位相差90度。取樣單元對第一弦波信號與第二弦波信號進行取樣,以取得N個第一數位信號值與N個第二數位信號值。處理單元依據N個第一數位信號值與N個第二數位信號值,產生N個定位位置,將N個定位位置加入計算群組中,對計算群組中之定位位置進行迴歸分析,以取得迴歸曲線,依據回歸曲線,預測第N+1個預測位置,且依據理想位置曲線,在第N+1個預測位置的時間點,取得待測元件之理想位置,並利用第N+1個預測位置與理想位置之間的誤差值對待測元件進行校正。
本發明實施例所揭露之用於編碼器之即時校正方法及其系統,透過取得對應待測元件之N個定位位置,並對N個定位位置進行回歸分析,以取得回歸曲線,進而預測第N+1 個預測位置,再依據理想位置曲線,於對應第N+1個預測位置的時間點,取得待測元件之理想位置,並利用第N+1個預測位置與對應之理想位置之間的誤差值對待測元件進行校正。如此一來,可以有效地讓編碼器之定位位置精確度維持在一定範圍且也可延長編碼器的使用壽命,以增加使用上的便利性。
100‧‧‧用於編碼器之即時校正系統
110‧‧‧感測單元
120‧‧‧取樣單元
130‧‧‧處理單元
131‧‧‧計算單元
132‧‧‧計算單元
133‧‧‧校正單元
134‧‧‧濾波器
210‧‧‧待測元件
220‧‧‧驅動單元
S502~S514、S602、S604、S606‧‧‧步驟
第1圖為依據本發明一實施例所述之用於編碼器之即時校正系統之示意圖。
第2A圖為依據本發明一實施例所述之編碼器的理想位置輸出之示意圖。
第2B圖為依據本發明一實施例所述之編碼器的實際位置輸出之示意圖。
第3圖為依據本發明一實施例所述之定位位置、預測位置與回歸曲線之對應關係的之示意圖。
第4圖為依據本發明一實施例所述之經校正後的位置信號以及未經校正的位置信號之比較示意圖。
第5圖為依據本發明一實施例所述之用於編碼器之即時校正方法之流程圖。
第6圖為依據本發明另一實施例所述之用於編碼器之即時校正方法之流程圖。
有關本發明之裝置以及方法適用之其他範圍將於 接下來所提供之詳述中清楚易見。必須了解的是下列之詳述以及具體之實施例,當提出有關用於編碼器之即時校正系統及其方法之示範實施例時,僅作為描述之目的以及並非用以限制本發明之範圍。
第1圖顯示本發明一實施例所述之用於編碼器之即時校正系統之示意圖。本實施例之用於編碼器之即時校正系統100適用於校正待測元件210,且待測元件210例如馬達等的各種不同待測元件。請參考第1圖,用於編碼器之即時校正系統100包括感測單元110、取樣單元120、處理單元130與儲存單元140。
感測單元110連接待測元件150,用以感測待測元件210之運動,取得第一弦波信號與一第二弦波信號。在本實施例中,第一弦波信號與第二弦波信號的相位相差90度。並且,第一弦波信號例如為正弦(sin)信號,而第二弦波信號例如為餘弦(cos)信號。另外,第一弦波信號與一第二弦波信號可以於待測元件210開始運作時取得,或是於待測元件210運作一段時間後取得。
取樣單元120連接感測單元110,對第一弦波信號與第二弦波信號進行取樣,以取得N個第一數位信號值與N個第二數位信號值,其中N為大於1的正整數。在本實施例中,取樣單元120例如為高速訊號取樣器。
處理單元130例如為數位信號處理器(digital signal processor,DSP)或者現場可程式化邏輯閘陣列(Field Programmable Gate Array,FPGA)。處理單元130連接取樣單元 120,依據N個第一數位信號值與N個第二數位信號值,產生N個定位位置,其中N為大於1的正整數。在本實施例中,處理單元130可以透過座標旋轉數位計算器(Coordinate Rotation Digital Computer,CORDIC)演算法或反三角函數演算法,依據N個第一數位信號值與N個第二數位信號值,產生N個定位位置。接著,處理單元130將N個定位位置加入計算群組中,並對計算群組中之定位位置進行迴歸分析,以取得迴歸曲線。
之後,處理單元130依據上述回歸曲線,預測第N+1個預測位置。也就是說,第N+1個預測位置對應於下一取樣時間點之預測位置。接著,處理單元130依據理想位置曲線,在第N+1個預測位置的時間點,取得待測元件210之理想位置。在本實施例中,理想位置曲線可以是依據計算群組中之N個定位位置之至少一部分產生。
接著,處理單元130可以利用第N+1個預測位置與上述理想位置之間的誤差值,對待測元件210進行校正。舉例來說,處理單元130可以依據上述誤差值,產生輸出驅動信號給驅動單元220。如此,驅動單元220可依據上述驅動信號,對待測元件210進行校正,以提高編碼器之定位精確度。
進一步來說,在利用上述誤差值對待測元件210進行校正後,處理單元130更可以取得第N+1個定位位置。接著,處理單元130可以將計算群組中之第1個定位位置刪除,且將第N+1個定位位置加入計算群組中,以更新計算群組。此時,計算群組包括第2個定位位置至第N+1個定位位置。
之後,處理單元130會重新對計算群組中之定位位 置(即第2個定位位置至第N+1個定位位置)進行迴歸分析,以取得迴歸曲線,並依據此回歸曲線,預測第N+1個預測位置(此時,第N+1個預測位置為第N+2個預測位置)。接著,處理單元130會依據理想位置曲線,在第N+1個預測位置(即第N+2個預測位置)的時間點,取得待測元件210之理想位置。之後,處理單元130可以利用第N+1個預測位置(即第N+2個預測位置)與理想位置之間的誤差值對待測元件210進行校正。
接著,處理單元130更可以取得第N+1個定位位置(此時,第N+1個定位位置為第N+2個定位位置)。接著,處理單元130可以將計算群組中之第1個定位位置刪除,且將第N+1個定位位置加入計算群組中,以更新計算群組。此時,計算群組包括第3個定位位置至第N+2個定位位置。
之後,處理單元130會重新對計算群組中之定位位置(即第3個定位位置至第N+2個定位位置)進行迴歸分析,以取得迴歸曲線,並依據此回歸曲線,預測第N+1個預測位置(此時,第N+1個預測位置為第N+3個預測位置)。接著,處理單元130會依據理想位置曲線,在第N+1個預測位置(即第N+3個預測位置)的時間點,取得待測元件210之理想位置。之後,處理單元130可以利用第N+1個預測位置(即第N+3個預測位置)與理想位置之間的誤差值對待測元件210進行校正。其餘則類推。
儲存單元140可以為非揮發性記憶體。儲存單元140用以儲存對應於如上所述之N個定位位置、取得本發明各種參數值所需的算式以及用以校正待測元件210之定位位置之誤差值及誤差表。
進一步來說,處理單元130包括計算單元131、132與校正單元133。計算單元131連接取樣單元120,依據N個第一數位信號值與N個第二數位信號值,產生N個定位位置,並將N個定位位置加入計算群組。其中,計算單元131透過座標旋轉數位計算器演算法或反三角函數演算法,依據N個第一數位信號值與N個第二數位信號值,產生N個定位位置。計算單元132連接計算單元131,接收上述計算群組,對計算群組中之定位位置進行迴歸分析,以取得迴歸曲線。
校正單元133連接計算單元132與儲存單元140,依據回歸曲線,預測第N+1個預測位置,且依據理想位置曲線,在第N+1個預測位置的時間點,取得待測元件210之理想位置,並利用第N+1個預測位置與理想位置之間的誤差值對待測元件210進行校正。接著,校正單元133也會將第N+1個預測位置與理想位置之間的誤差值儲存至儲存單元140中,以更新儲存單元140所儲存之資料,例如誤差值及誤差表。
進一步來說,處理單元130更包括濾波器134。濾波器134連接於計算單元131與計算單元132之間,用以對N個定位位置進行濾波處理,以濾除N個定位位置的雜訊,並將濾波後的N個定位位置輸出至計算模組132。如此一來,可以避免計算群組132所產生之回歸曲線被雜訊干擾而造成計算誤差過大的影響。在本實施例中,濾波器134可以是低通濾波器(Low Pass Filter,LPF)。
第2A圖為依據本發明一實施例所述之編碼器的理想定位位置輸出之示意圖,而第2B圖為依據本發明一實施例所 述之編碼器的實際定位位置輸出之示意圖。當待測元件210(如馬達)以定速運轉時,由於待測元件210之機構慣性,因此待測馬達210在短時間內的位置變化應呈現線性變化,如第2A圖所示。
然而,如前所述,由於編碼器與待測元件210組裝時所造成的誤差或者受到外在環境的影響,編碼器的實際定位位置輸出會有誤差,如第2B圖所示。為了提高編碼器之定位位置輸出精確度,本發明之實施例將會對編碼器的輸出位置進行預測,並依據一理想位置曲線取得對預測位置與其對應之理想位置之間的誤差,對待測元件210進行校正,以改善定位精確度。
第3圖為依據本發明一實施例所述之定位位置、預測位置與回歸曲線之對應關係的示意圖。在本實施例中,N例如以18為例。如第3圖所示,“x”表示對應取樣時間T1~T18之定位位置、“o”表示定取樣時間點T19的預測位置。
請合併參考第1圖及第3圖。在本實施例中,在取得對應於取樣時間點T1~T18(即T1~TN)之18(即N)個定位位置後,處理單元130更將上述18(即N)個定位位置加入計算群組中。接著,處理單元130對計算群組中之18(即N)個定位位置進行迴歸分析,以取得對應於18(即N)個位置之多項式(如第3圖之回歸曲線301)。之後,處理單元130可以依據如上之回歸曲線301,預測對應於取樣時間點T19(即TN+1)之預測位置。
在一實施例中,上述N個定位位置之取樣時間範圍至少大於第一弦波信號或者第二弦波信號之一循環週期。另外, 上述多項式之階次依據待測元件210(馬達)之運動狀態決定。舉例來說,當待測元件210之運轉為固定速度或者速度變動小於一既定範圍時,用以預測下一取樣時間點TN+1之定位位置的多項式可為一次多項式。
此外,當待測元件210之運轉有加速度的情況產生或者待測元件210於每個取樣時間點之間之定位位置差異較大時,處理單元130所使用之預測取樣時間點TN+1之定位位置的多項式會採用二次多項式。在本實施例中,上述多項式之係數可透過最小平方演算法取得。也就是說,處理單元130可以透過最小平方演算法對計算群組中之定位位置進行回歸分析,以取得迴歸曲線。
舉例來說,由於第3圖之每兩個取樣時間點所對應之定位位置變化較不固定,因此處理裝置130所採用的多項式為二次多項式,用以取得迴歸曲線。在本實施例中,迴歸曲線301之取樣時間範圍可為T1~T18(即TN),或者只取對應於一個循環週期之既定時間範圍。接著,於取得迴歸曲線301後,處理單元130更可依據計算群組中之18(即N)個定位位置之至少一部分,以取得理想位置曲線。
舉例來說,以取樣時間點T1~T6對應之定位位置(即計算群組之N個定位位置之至少一部分)為例。處理單元130可分別計算對應於取樣時間點T1~T2、T2~T3、T3~T4、T4~T5、T5~T6之間之定位位置的變化,再將所取得之定位位置的變化除以5個時間間隔,以計算每一個時間間隔之待測元件210所移動的平均距離。其中,上述5個時間間隔為取樣時間點T1~T6 之取樣時間的間隔。接著,處理單元130可以依據上述之平均距離,以取得理想位置曲線。在一實施例中,在待測元件210運作於相同的環境條件下,例如於對應於理想位置曲線之取樣時間內,待測元件210之轉速維持不變。
此外,在另一實施例中,理想位置曲線亦可為使用者自定義之方程式來產生,亦即理想位置曲線與待測元件210之運轉狀態無直接的關聯。接著,處理單元130可以依據理想位置曲線,以在對應於第19(即N+1)個預測位置的取樣時間點T19(TN+1)時,取得取樣時間點T19(TN+1)所對應之待測元件210的理想位置。
接著,處理單元130依據對應於取樣時間點T19(TN+1)之第19(N+1)個預測位置(即第3圖所示之“o”),並將第19(N+1)個預測位置與對應之理想位置相減,以得到對應的誤差值。
之後,處理單元130可以利用此誤差值對待測元件210進行校正。舉例來說,處理單元130可以依據此誤差值,輸出驅動信號至驅動單元220,使得驅動單元220可依據對應於誤差值之驅動信號,對待測元件210的運轉速度進行校正,以提高定位精確度。
在處理單元130利用所計算之誤差值對待測元件210進行校正後,取樣單元120更可以取樣對應於取樣時間點T19(TN+1)之第19(N+1)個定位位置,並將第19(N+1)個定位位置提供給處理單元130。接著,處理單元130可以將第19(N+1)個定位位置加入計算群組,並將計算群組中之第1個定位位置 刪除,以更新計算群組。此時,計算群組之N個定位位置包括第2至19個定位位置。其中,第2個定位位置作為計算群組中的第1個定位位置,而第19個定位位置可以作為計算群組中的第N個定位位置。
之後,處理單元130會重新依據計算群組之定位位置(即第2至19個定位位置)進行回歸分析,以取得回新的回歸曲線,並依據此回歸曲線,預測第20個預測位置。接著,處理單元130會依據理想位置曲線,在第20個預測位置的時間點,取得待測元件210之理想位置。之後,處理單元130可以利用第20個預測位置與對應之理想位置之間的誤差值對待測元件210進行校正。其餘則類推。另外,藉由持續重新取得回歸曲線、重新取得下一個預測位置、重新取得對應於下一個預測位置之時間點的理想位置,並依據下一個預測位置與對應之理想位置之間的誤差對待測元件210進行校正,使得待測元件210之實際運作狀況越接近理想狀態,以提升其運作之精確度。
此外,在一實施例中,處理單元130亦可將依據取樣時間點T1~T18所對應之定位位置所求得之迴歸曲線301儲存於儲存單元140中,並將取樣時間點T1~T18所對應之定位位置與所對應理想位置曲線之理想位置相減,以取得對應之誤差值,並利用這些誤差值建立誤差表。接著,處理單元130可於待測元件210啟動後,依據事先所儲存之迴歸曲線301對預測下一個預測位置,或者直接依據誤差表中之誤差值對待測元件210進行校正,以減少運算時間。
在本實施例中,處理單元130更在取得迴歸曲線 301前,透過濾波器134對對應取樣時間點T1~T18之18個定位位置進行濾波處理,以濾除定位位置所產生的雜訊,使得計算單元132所產生之迴歸曲線301不會受到雜訊的影響。舉例來說,如第3圖所示,取樣時間點T14所對應之定位位置相較於取樣時間點T13之定位位置跳動較大,因此透過濾波器134進行濾波處理,可以有效地消除取樣時間點T14所對應之定位位置的雜訊,將取樣時間點T14所對應之定位位置平滑化,使得對應如圖3所示之回歸曲線301不會受到雜訊的影響,以增加位置校正的精確度。
第4圖為依據本發明一實施例所述之經校正的位置信號以及未經校正的位置信號之比較示意圖。如第4圖中所示,未經校正的位置信號相較於經校正的位置信號其誤差波動較大,而經校正的位置信號則接近於理想狀態之有斜率的一直線。
第5圖為依據本發明一實施例所述之用於編碼器之即時校正方法之流程圖。在步驟S502中,感測待測元件之運動,以取得第一弦波信號與第二弦波信號,其中第一弦波信號與第二弦波信號的相位相差90度。在步驟S504中,對第一弦波信號與第二弦波信號進行取樣,以取得N個第一數位信號值與N個第二數位信號值。
在步驟S506中,依據N個第一數位信號值與N個第二數位信號值,產生N個定位位置。在步驟S508中,將N個定位位置加入計算群組中。在步驟S510中,對計算群組中之定位位置進行迴歸分析,以取得迴歸曲線。在步驟S512中,依據回 歸曲線,預測第N+1個預測位置。在步驟S514中,依據理想位置曲線,在第N+1個預測位置的時間點,取得待測元件之理想位置,並利用第N+1個預測位置與理想位置之間的誤差值對待測元件進行校正。在本實施例中,理想位置曲線是依據計算群組中之定位位置之至少一部分產生。
第6圖為依據本發明一實施例所述之用於編碼器之即時校正方法之流程圖。在步驟S502中,感測待測元件之運動,以取得第一弦波信號與第二弦波信號,其中第一弦波信號與第二弦波信號的相位相差90度。在步驟S504中,對第一弦波信號與第二弦波信號進行取樣,以取得N個第一數位信號值與N個第二數位信號值。
在步驟S506中,依據N個第一數位信號值與N個第二數位信號值,產生N個定位位置。在步驟S508中,將N個定位位置加入計算群組中。在步驟S602中,對計算群組之定位位置進行濾波處理。在步驟S510中,對計算群組中之定位位置進行迴歸分析,以取得迴歸曲線。在步驟S512中,依據回歸曲線,預測第N+1個預測位置。在步驟S514中,依據理想位置曲線,在第N+1個預測位置的時間點,取得待測元件之理想位置,並利用第N+1個預測位置與理想位置之間的誤差值對待測元件進行校正。在本實施例中,理想位置曲線是依據計算群組中之定位位置之至少一部分產生。
在步驟S604中,取得第N+1個定位位置。在步驟S606中,將計算群組中之第1個定位位置刪除以及將第N+1個定位位置加入計算群組中,以更新計算群組。接著,進入步驟S602 中,以對更新後的計算群組之定位位置進行濾波處理、重新取得迴歸曲線、重新預測第N+1個預測位置、重新取得對應預測第N+1個預測位置之時間點的理想位置,並持續對待測元件進行校正。
值得注意的是,第5圖及第6圖之步驟的順序僅用以作為說明之目的,不用於限制本發明實施例之步驟的順序,且上述步驟之順序可由使用者視其需求而改變。並且,在不脫離本發明之精神以及範圍內,可增加額外之步驟或者使用更少之步驟。
綜上所述,本發明實施例所揭露之用於編碼器之即時校正方法及其系統,透過取得對應待測元件之N個定位位置,並對N個定位位置進行回歸分析,以取得回歸曲線,進而預測第N+1個預測位置,再依據理想位置曲線,於對應第N+1個預測位置的時間點,取得待測元件之理想位置,並利用第N+1個預測位置與對應之理想位置之間的誤差值對待測元件進行校正。另外,本發明實施例可進一步取得第N+1個定位位置,以重新取得迴歸曲線、重新預測第N+1個預測位置、重新取得對應預測第N+1個預測位置之時間點的理想位置,並持續對待測元件進行校正。如此一來,可以有效地讓編碼器之定位位置精確度維持在一定範圍且也可延長編碼器的使用壽命,以增加使用上的便利性。
本發明雖以實施例揭露如上,然其並非用以限定本發明的範圍,任何所屬技術領域中具有通常知識者,在不脫離本發明之精神和範圍內,當可做些許的更動與潤飾,因此本 發明之保護範圍當視後附之申請專利範圍所界定者為準。

Claims (13)

  1. 一種用於編碼器之即時校正方法,包括:感測一待測元件之運動,以取得一第一弦波信號與一第二弦波信號,其中該第一弦波信號與該第二弦波信號的相位相差90度;對該第一弦波信號與該第二弦波信號進行取樣,以取得N個第一數位信號值與N個第二數位信號值;依據該N個第一數位信號值與該N個第二數位信號值,產生N個定位位置;將該N個定位位置加入一計算群組中;對該計算群組中之該些定位位置進行迴歸分析,以取得一迴歸曲線;依據該回歸曲線,預測一第N+1個預測位置;以及依據一理想位置曲線,在該第N+1個預測位置的時間點,取得該待測元件之一理想位置,並利用該第N+1個預測位置與該理想位置之間的誤差值對該待測元件進行校正。
  2. 如申請專利範圍第1項所述之即時校正方法,其中該理想位置曲線是依據該計算群組中之該些定位位置之至少一部分產生。
  3. 如申請專利範圍第1項所述之即時校正方法,更包括:取得該第N+1個定位位置;將該計算群組中之第1個定位位置刪除以及將該第N+1個定位位置加入該計算群組中,以更新該計算群組;以及對該計算群組中之該些定位位置進行迴歸分析,以取得該迴歸曲線。
  4. 如申請專利範圍第1項所述之即時校正方法,其中依據該N個第一數位信號值與該N個第二數位信號值,產生該N個定位位置的步驟包括:透過一座標旋轉數位計算器演算法或一反三角函數演算法,依據該N個第一數位信號值與該N個第二數位信號值,產生該N個定位位置。
  5. 如申請專利範圍第1項所述之即時校正方法,其中對該計算群組中之該些定位位置進行迴歸分析,以取得該迴歸曲線包括:透過一最小平方演算法對該計算群組中之該些定位位置進行回歸分析,以取得該迴歸曲線。
  6. 如申請專利範圍第1項所述之即時校正方法,更包括:在取得該迴歸曲線前,對該些定位位置進行濾波處理。
  7. 一種用於編碼器之即時校正系統,包括:一感測單元,用以感測一待測元件之運動,取得一第一弦波信號與一第二弦波信號,其中該第一弦波信號與該第二弦波信號的相位相差90度;一取樣單元,對該第一弦波信號與該第二弦波信號進行取樣,以取得N個第一數位信號值與N個第二數位信號值;以及一處理單元,依據該N個第一數位信號值與該N個第二數位信號值,產生N個定位位置,將該N個定位位置加入一計算群組中,對該計算群組中之該些定位位置進行迴歸分析,以取得一迴歸曲線,依據該回歸曲線,預測一第N+1個預測位置,且依據一理想位置曲線,在該第N+1個預測位置的時間點,取得該待測元件之一理想位置,並利用該第N+1個預測位置與該理想位置之間的誤差值對該待測元件進行校正。
  8. 如申請專利範圍第7項所述之即時校正系統,其中該理想位置曲線是依據該計算群組中之該些定位位置之至少一部分產生。
  9. 如申請專利範圍第8項所述之即時校正系統,其中該處理單元包括:一第一計算單元,依據該N個第一數位信號值與該N個第二數位信號值,產生N個定位位置,並將該N個定位位置加入該計算群組;一第二計算單元,對該計算群組中之該些定位位置進行迴歸分析,以取得該迴歸曲線;以及一校正單元,依據該回歸曲線,預測一第N+1個預測位置,且依據一理想位置曲線,在該第N+1個預測位置的時間點,取得該待測元件之一理想位置,並利用該第N+1個預測位置與該理想位置之間的誤差值對該待測元件進行校正。
  10. 如申請專利範圍第7項所述之即時校正系統,其中該處理單元更取得該第N+1個定位位置,並將該計算群組中之第1個定位位置刪除以及將該第N+1個定位位置加入該計算群組中,以更新該計算群組,並重新對該計算群組中之該些定位位置進行迴歸分析,以取得該迴歸曲線,重新依據該回歸曲線,預測該第N+1個預測位置,且重新依據該理想位置曲線,在該第N+1個預測位置的時間點,取得該待測元件之該理想位置,並利用該第N+1個預測位置與該理想位置之間的誤差值對該待測元件進行校正。
  11. 如申請專利範圍第7項所述之即時校正系統,其中該處理單元更透過一座標旋轉數位計算器演算法或一反三角函數演算法,依據該N個第一數位信號值與該N個第二數位信號值,產生該N個定位位置。
  12. 如申請專利範圍第7項所述之即時校正系統,其中該處理單元更透過一最小平方演算法對該計算群組中之該些定位位置進行回歸分析,以取得該迴歸曲線。
  13. 如申請專利範圍第7項所述之即時校正系統,其中該處理單元更在取得該迴歸曲線前,對該些定位位置進行濾波處理。
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