TWI657232B - 液面計、具備彼之氣化器及液面檢測方法 - Google Patents

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Abstract

本發明的液面計(20)是具備：電阻式測溫體(R11)；位於其上方的溫度測定體(電阻式測溫體R12)；檢測出電阻式測溫體及溫度測定體的溫度的溫度檢測部(27)；以電阻式測溫體及溫度測定體成為被預定的溫度差之方式決定流動至電阻式測溫體的電流值的電流控制部(28)；將被決定的電流值的電流流動至電阻式測溫體的電源部(22)；及檢查液面的位置的液面檢測部(29)，液面檢測部是依據流動至電阻式測溫體的電流值的被預定的一定期間的變化幅度的正負，及變化幅度是否為被預定的值以上，來檢查液面對於電阻式測溫體的相對位置的變化。藉此，不受電阻式測溫體的特性的偏差的影響，可精度佳檢測出液面的位置。

Description

液面計、具備彼之氣化器及液面檢測方法
[0001] 本發明是有關檢查液面位準的液面計、根據藉由該液面計所檢查的液面位準來適當地管理所收容的液體量之氣化器及液面檢測方法。另外，在氣化器是也含有液體儲藏用的槽等，若為液體供給系(液體供給裝置)的槽，則亦可為被使用於常溫者，或被使用於高溫者。
[0002] 以往，例如對使用有機金屬氣相成長法(MOCVD： Metal Organic Chemical Vapor Deposition)的半導體製造裝置供給原料流體的液體原料氣化供給裝置(以下亦稱為氣化器)被提案(例如專利文獻1~3)。 　　[0003] 此種的液體原料氣化供給裝置是使TEOS (Tetraethyl orthosilicate)等的液體原料在氣化腔室內加熱而氣化，藉由流量控制裝置來將使氣化的氣體控制成被預定的流量而供給至半導體製造裝置。然後，為了彌補使原料液體氣化而造成的原料液體的減少，需要檢測出原料液體的液面，供給減少部分，藉此控制液面。 　　[0004] 作為檢測出原料液體的液面的方法，例如有利用散熱常數在液相及氣相為不同的熱式液面檢測裝置(專利文獻4~6)為人所知。 　　[0005] 在此種的熱式液面檢測裝置中，如圖8所示般，在鉛直方向分別將封入白金等的電阻式測溫體(Resistive Temperature Detector)R1、R2的2個的保護管P***容器C內，在一方的電阻式測溫體R1是為了藉由自己發熱來將電阻式測溫體R1保持於比周圍溫度還高溫，而流動比較大的定電流I1(加熱電流)，在另一方的電阻式測溫體R2是以可測定周圍溫度的程度來流動可無視發熱的大小的微小的定電流I2(周圍溫度測定用電流)。 　　[0006] 如此一來，流動大的電流I1的電阻式測溫體R1會發熱。此時，電阻式測溫體處於液相L中的情況的散熱常數是比處於氣相G中的情況的散熱常數更大，因此處於氣相G中的情況的電阻式測溫體的溫度是若與處於液相L中的情況作比較會變高。 　　[0007] 而且此情形是意味電阻值，氣相中的電阻式測溫體會比液相中的電阻式測溫體更高，藉由觀察流動大的電流的電阻式測溫體R1的電壓輸出與流動微小的電流的電阻式測溫體R2的電壓輸出的差分(絕對值)，可判別電阻式測溫體是位於液面的上方還是位於下方。亦即，可判斷成，差分小的情況是電阻式測溫體處於比液面更下方，差分大的情況是電阻式測溫體處於比液面更上方。 [先前技術文獻] [專利文獻] 　　[0008] 　　[專利文獻1] 日本特開2009-252760號公報 　　[專利文獻2] 日本特開2010-180429號公報 　　[專利文獻3] 日本特開2013-77710號公報 　　[專利文獻4] 日本特許第3009809號公報 　　[專利文獻5] 日本特許第5400816號公報 　　[專利文獻6] 日本特開2001-99692號公報
(發明所欲解決的課題) 　　[0009] 在上述以往的液面檢測中，將電阻式測溫體R1及R2的電壓差的大致瞬間值與被預定的基準值(臨界值)作比較，藉此判斷液相中或氣相中，因此除了雜訊等的影響所造成的誤檢查以外，也有受到所使用的電阻式測溫體的個體差，亦即特性值的偏差所產生的影響而誤檢查的問題。例如，可想像使用對電阻式測溫體R1輸出高的值者，且使用對電阻式測溫體R2輸出低的值者的情況，或使用對電阻式測溫體R1輸出低的值者，且使用對電阻式測溫體R2輸出高的值者的情況。在前者的情況及後者的情況中，即使電阻式測溫體R1及R2與液面的位置關係為相同的狀態，前者的情況的電阻式測溫體R1及R2的電壓差也會比後者的情況大。雖藉由按每個使用的電阻式測溫體來設定適當的基準值，可提升檢測精度，但調整費時費工，不適合量產。 　　[0010] 又，由於使用配置於同高度的2個的電阻式測溫體，因此為了以複數n(n為正的正數值)的位準來檢查液面位置，需要設置2n的電阻式測溫體，在n為大的情況，會有電阻式測溫體佔據容器中的大的空間的問題。 　　[0011] 為了減少電阻式測溫體的數量，亦可思考在不同的高度配置複數的電阻式測溫體。將1個的電阻式測溫體使用於基準溫度的測定(流動微弱電流)，有關其他的電阻式測溫體，以和基準溫度產生一定的溫度差之方式使電流值變化。藉由將使變化的各電流值的瞬間值與被預定的基準值(臨界值)作比較，可檢查液面位置。但，該情況也如上述般受到電阻式測溫體的特性值的偏差所產生的影響，有誤檢查的問題。 　　[0012] 本發明是以解決上述問題，提供一種可精度佳檢查液面的液面計、具備彼之氣化器及液面檢測方法作為主要的目的。 (用以解決課題的手段) 　　[0013] 為了達成上述目的，本發明的第1局面的液面計，係具備： 　　第1電阻式測溫體； 　　溫度測定體，其係被配置於比配置前述第1電阻式測溫體的位置更高的位置；及 　　控制部，其係利用前述溫度測定體及前述第1電阻式測溫體來檢查液面的位置， 　　其特徵為： 　　前述控制部，係流動至前述第1電阻式測溫體的電流值在被預定的一定時間內變化被預定的一定值以上時， 　　檢查前述液面的位置從比配置前述第1電阻式測溫體的位置更高的位置變化至比配置前述第1電阻式測溫體的位置更低的位置的情形，或， 　　檢查前述液面的位置從比配置前述第1電阻式測溫體的位置更低的位置變化至比配置前述第1電阻式測溫體的位置更高的位置的情形。 　　[0014] 前述控制部，係含有溫度檢測部、液面檢測部及電流控制部， 　　前述溫度檢測部，係檢測出前述溫度測定體及前述第1電阻式測溫體的溫度， 　　前述電流控制部，係以藉由前述溫度檢測部所檢測出的前述第1電阻式測溫體的溫度與前述溫度測定體的溫度之溫度差成為被預定的第1值之方式，決定流動至前述第1電阻式測溫體的電流值， 　　前述液面檢測部，係亦可從流動至前述第1電阻式測溫體的電流值的變化檢查前述液面的位置。 　　[0015] 上述的液面計可更具備電源部，其係將藉由前述電流控制部所決定的前述電流值的電流流動至前述第1電阻式測溫體。 　　[0016] 前述液面檢測部為： 　　檢查：若流動至前述第1電阻式測溫體的前述電流值的前述一定時間內的變化幅度為負的值，該變化幅度的絕對值為正的被預定的第2值以上，則前述液面係從比配置前述第1電阻式測溫體的位置更高的位置變化至比配置前述第1電阻式測溫體的位置更低的位置的情形， 　　檢查：若前述變化幅度為正的值，該變化幅度的絕對值為前述第2值以上，則前述液面係從比配置前述第1電阻式測溫體的位置更低的位置變化至比配置前述第1電阻式測溫體的位置更高的位置的情形。 　　[0017] 前述第1電阻式測溫體及前述溫度測定體，係亦可藉由支撐構件來固定於水平方向。 　　[0018] 前述溫度測定體亦可為：流動比流動至前述第1電阻式測溫體的電流值更小的值的電流之電阻式測溫體。 　　[0019] 前述電流控制部為： 　　以前述溫度差成為前述第1值的方式，流動至前述第1電阻式測溫體的前述電流值為比被預定的上限值大時，將流動至前述第1電阻式測溫體的前述電流值維持於前述上限值， 　　以前述溫度差成為前述第1值的方式，流動至前述第1電阻式測溫體的前述電流值為比被預定的下限值小時，可將流動至前述第1電阻式測溫體的前述電流值維持於前述下限值。 　　[0020] 上述的液面計更具備電壓測定部，其係測定前述第1電阻式測溫體的兩端的電壓， 　　前述溫度檢測部，係從藉由前述電壓測定部所測定的前述第1電阻式測溫體的兩端的電壓來決定前述第1電阻式測溫體的溫度， 　　前述電流控制部為： 　　當前述溫度差比被預定的基準值更大時，將流動至前述第1電阻式測溫體的前述電流值決定成比流動於前述第1電阻式測溫體的電流值更小的值， 　　當前述溫度差比前述基準值更小時，將流動至前述第1電阻式測溫體的前述電流值決定成比流動於前述第1電阻式測溫體的電流值更大的值， 　　當前述溫度差等於前述基準值時，可將流動至前述第1電阻式測溫體的前述電流值決定成與流動於前述第1電阻式測溫體的電流值相同的值。 　　[0021] 前述液面檢測部，係當被判斷成在比配置前述第1電阻式測溫體的位置更低的位置有前述液面時，輸出應使前述液面上昇的訊號， 　　前述液面檢測部，係當被判斷成在比配置前述第1電阻式測溫體的位置更高的位置有前述液面時，可輸出應使前述液面的上昇停止的訊號。 　　[0022] 上述的液面計更具備第2電阻式測溫體，其係被施加任意的大小的電流， 　　前述第2電阻式測溫體，係被配置於比配置前述溫度測定體的位置更低的位置，即與配置前述第1電阻式測溫體的位置不同的高度的位置， 　　前述溫度檢測部，係檢測出前述第2電阻式測溫體的溫度， 　　前述電流控制部，係以藉由前述溫度檢測部所檢測出的前述第2電阻式測溫體的溫度與前述溫度測定體的溫度之溫度差成為前述第1值的方式，決定流動至前述第2電阻式測溫體的電流值， 　　前述電源部，係將藉由前述電流控制部所決定之流動至前述第2電阻式測溫體的前述電流值的電流流動至前述第2電阻式測溫體， 　　前述液面檢測部為： 　　檢查：若流動至前述第2電阻式測溫體的前述電流值的變化幅度為負的值，該變化幅度的絕對值為正的被預定的第2值以上，則前述液面係從比配置前述第2電阻式測溫體的位置更高的位置變化至比配置前述第2電阻式測溫體的位置更低的位置的情形， 　　檢查：若流動至前述第2電阻式測溫體的前述電流值的變化幅度為正的值，該變化幅度的絕對值為前述第2值以上，則前述液面係從比配置前述第2電阻式測溫體的位置更低的位置變化至比配置前述第2電阻式測溫體的位置更高的位置的情形， 　　前述液面檢測部，係可由利用前述第1電阻式測溫體的前述液面的位置的檢查結果及利用前述第2電阻式測溫體的該液面的位置的檢查結果來檢查該液面的位置。 　　[0023] 前述第2電阻式測溫體，係有關鉛直方向，被配置於前述第1電阻式測溫體與前述溫度測定體之間， 　　前述液面檢測部，係當被判斷成在比配置前述第1電阻式測溫體的位置更低的位置有前述液面時，輸出應使前述液面上昇的訊號， 　　前述液面檢測部，係當被判斷成在比配置前述第2電阻式測溫體的位置更高的位置有前述液面時，亦可輸出應使前述液面的上昇停止的訊號。 　　[0024] 前述第1電阻式測溫體、前述第2電阻式測溫體及前述溫度測定體可為白金電阻式測溫體。 　　[0025] 本發明的第2局面的氣化器，係具備：安裝有上述任一個的液面計，所收容的液體的液面係藉由前述液面計來檢查之容器，使氣化的液體係被收容於前述容器。 　　[0026] 本發明的第3局面的液面檢測方法，係利用電阻式測溫體，及被配置於比配置前述電阻式測溫體的位置更高的位置之溫度測定體來檢查液面之方法，其特徵係包含： 　　在將電流流動至前述電阻式測溫體的狀態下，檢測出前述電阻式測溫體及前述溫度測定體的溫度之步驟； 　　以被檢測出的前述電阻式測溫體的溫度與前述溫度測定體的溫度之溫度差成為被預定的第1值之方式，調整流動至前述電阻式測溫體的電流值之步驟；及 　　由流動至前述電阻式測溫體的電流值之被預定的一定時間內的變化幅度來檢查前述液面的位置之檢查步驟， 　　前述檢查步驟係包含： 　　檢查：若前述變化幅度為負的值，該變化幅度的絕對值為正的被預定的第2值以上，則前述液面係從比配置前述電阻式測溫體的位置更高的位置變化至比配置前述電阻式測溫體的位置更低的位置的情形之步驟；及 　　檢查：若前述變化幅度為正的值，該變化幅度的絕對值為前述第2值以上，則前述液面係從比配置前述電阻式測溫體的位置更低的位置變化至比配置前述電阻式測溫體的位置更高的位置的情形之步驟。 [發明的效果] 　　[0027] 若根據本發明的液面計、具備彼之氣化器及液面檢測方法，則不受使用的電阻式測溫體的特性值的偏差的影響，可精度佳檢查液面位置。 　　[0028] 藉由對流動於電阻式測溫體的電流值設置上限，可抑制儘管在液相中但變動幅度超過基準值所產生的誤檢查。並且，藉由對流動於電阻式測溫體的電流值設置下限，可抑制儘管在氣相中但變動幅度超過基準值所產生的誤檢查。
[0030] 一面參照圖面，一邊說明有關本發明的液面計、氣化器及液面檢測方法的實施形態。另外，全圖及全實施形態，對同一或類似的構成部分附上同符號。 　　[0031] 在圖1中顯示具備本發明的實施形態的液面計之氣化器的概略構造。氣化器是具備：收容液體的容器1、支撐容器1的支撐部2、用以從液體供給裝置(未圖示)供給液體L至容器1的液體供給管3、被配置於容器1的壁面的不同的高度的第1保護管4及第2保護管5、及用以使容器1內的液體L氣化的加熱器(未圖示)。氣化氣體是被供給至流量控制裝置(未圖示)。在第1保護管4及第2保護管5中封入有後述的電阻式測溫體，為了測定溫度而被使用。在圖1中，液體L的液面S是位於第1保護管4及第2保護管5之間。液面S是隨著液體L的氣化而下降，藉由液體供給裝置之液體L的供給而上昇。液面S的上方的空間是含有氣化氣體的氣相G。 　　[0032] 在圖2顯示本發明的實施形態的液面計的概略構成。本實施形態的液面計20是具備：第1電阻式測溫體R11及第2電阻式測溫體R12、控制部21、電源部22、電壓測定部23、記憶部24、計時器25及時脈產生部26。在圖2中雖未圖示，但實際液面計20亦具備用以對各部供給必要的電力之電源等，為了作為液面計機能所必要的構成要素。 　　[0033] 第1電阻式測溫體R11及第2電阻式測溫體R12皆是使用相當於以日本工業規格(JIS)或IEC規格所規定的Pt100之白金電阻式測溫體，額定電阻值(0℃時)是100Ω。白金電阻式測溫體是電阻值與溫度的關係會線性變化，其變化率大，再現性亦佳，因此適於電阻式測溫體。白金電阻式測溫體，一般是可由白金電阻元件、內部導線、絕緣物、保護管、端子等所構成。 　　[0034] 參照圖3，第1電阻式測溫體R11及第2電阻式測溫體R12是分別被封入至第1保護管4及第2保護管5，被配置於收容有液相(液體)L的容器1。第2電阻式測溫體R12是以經常被配置於氣相(氣體)G中的方式，被配置於比配置第1電阻式測溫體R11的位置更高的位置。在圖3中，初期液面S0是位於第1電阻式測溫體R11與第2電阻式測溫體R12之間。液體L氣化後的氣體會從容器1排出，被供給至外部裝置(流量控制裝置等)，藉此液體L的液面是從初期液面S0降下(以S來表示降下後的液面位置)。 　　[0035] 控制部21是控制液面計20全體。控制部21是例如藉由周知的半導體運算元件(CPU)及半導體記憶元件(RAM等)所構成。控制部21所實行的預定的程式是被記憶於記憶部24。一旦液面計20的電源被投入，則控制部21會將被預定的程式從記憶部24讀出、實行。如後述般，控制部21是對液體供給裝置輸出液供給訊號SG，而使能藉由第1電阻式測溫體R11及第2電阻式測溫體R12來檢測出液面的變化，按照液面的位置，外部裝置的液體供給裝置可進行朝容器1內之液體的供給或供給的停止。 　　[0036] 電源部22是由控制部21輸入電流設定資料，分別對第1電阻式測溫體R11及第2電阻式測溫體R12流動對應於所被輸入的電流設定資料之電流I11及I12。電源部22是具備D/A變換器，產生對應於從控制部21接收的數位的電流設定資料之類比的電流I11及I12。電源部22是可使用2組的周知的D/A轉換器及放大器來構成。 　　[0037] 電壓測定部23是測定第1電阻式測溫體R11及第2電阻式測溫體R12的各者的兩端的電壓V11及V12，將測定值V11及V12輸出至控制部21。電壓測定部23是具備A/D變換器，測定值V11及V12是從類比的電壓產生的數位資料。電壓測定部23是亦可使用周知的數位電壓計IC或使用2組的周知的放大器及A/D轉換器來構成。 　　[0038] 記憶部24是亦記憶控制部21為了控制液面計20全體而所必要的參數的初期值。控制部21是在剛實行上述的程式之後，從記憶部24讀出初期參數。 　　[0039] 計時器25是從被輸入的時脈產生時刻資料，輸出至控制部21。時脈產生部26是產生在各部的動作所必要的時脈，供給至各部。 　　[0040] 在以下表示液面計20的動作原理。第1電阻式測溫體R11及第2電阻式測溫體R12是一旦被通電，則溫度上昇。藉由白金電阻式測溫體的電阻值的溫度直線性，可從第1電阻式測溫體R11及第2電阻式測溫體R12的兩端的電壓V11及V12來算出第1電阻式測溫體R11及第2電阻式測溫體R12的各者的溫度T1及T2。具體而言，R1j(j=1或2)的溫度Tj(℃)是可利用0℃的電阻值R1j(0)及現在的電流值I1j，藉由Tj={(V1j/I1j)-R1j(0)}/(α×R1j(0))･･･(式1)來算出。在此，α是以電阻值作為溫度的1次函數時的溫度係數(1/℃)。 　　[0041] 若為白金電阻式測溫體Pt100，則α=0.003851。又，由於Pt100的0℃的電阻值R1j(0)為100Ω，因此若表記成V1j/I1j=Rj，則上述的式1是亦可記載成Tj=(Rj-100)/0.3851･･･(式2)。 　　[0042] 在第1電阻式測溫體R11及第2電阻式測溫體R12之中，在第2電阻式測溫體R12是流動微小的一定電流(例如2mA)。另一方面，在第1電阻式測溫體R11是流動比第2電阻式測溫體R12更大的電流(加熱電流)，藉由自己發熱來將第1電阻式測溫體R11保持於比周圍溫度高溫，以T1-T2(T1＞T2)形成被預定的值(例如T1-T2=10(℃))之方式，調整(反餽控制)流動至第1電阻式測溫體R11的電流值。第2電阻式測溫體R12是被配置於氣相中，相對的，第1電阻式測溫體R11是接受隨液面的上下的周圍環境(熱傳導性)的變化所產生的影響。亦即，在流動一定的電流的狀態，T1是若第1電阻式測溫體R11處於液相L中則小(放熱效果高)，若第1電阻式測溫體R11處於氣相G中則大(放熱效果低)。為了T1-T2形成被預定的值，需要調整成若第1電阻式測溫體R11處於液相L中，則擴大電流值，若第1電阻式測溫體R11處於氣相G中，則縮小電流值。因此，為了將T1-T2維持於被預定的值，可藉由應通電至第1電阻式測溫體R11的電流值來特定液面S。 　　[0043] 具體而言，參照圖4所示的控制部21的機能方塊圖，溫度檢測部27是從電壓V1j(j=1或2)及上述的式1或式2來算出現在的溫度Tj(j=1或2)，接受算出結果，電流控制部28是以符合T1-T2=ΔT的方式，使電流I11的值變化。亦即，電流控制部28是若T1-T2＞ΔT，則減少電流I11，若T1-T2＜ΔT，則增大電流I11，若T1-T2=ΔT，則以維持現在的電流值之方式，控制電源部22。然後，溫度檢測部27、電流控制部28及電源部22是重複上述的反餽控制，液面檢測部29是被預定的期間記憶第1電阻式測溫體R11的電流值的變動，利用被記憶的資料來特定第1電阻式測溫體R11處於液相中或是處於氣相中特定現在的液面S。亦即，液面檢測部29是檢查處於比配置第1電阻式測溫體R11的位置更高的位置的液面，或處於比配置第1電阻式測溫體R11的位置更低的位置的液面。液面檢測部29是按照所被特定的液面的位置來控制液體供給裝置。 　　[0044] 在圖5中模式性地表示容器1內的液體的液面位置的變化及伴隨於此的第1電阻式測溫體R11的電流值I11的變化。圖5是表示如圖3所示般液面S0會從位於第1電阻式測溫體R11及第2電阻式測溫體R12之間的狀態，因液體氣化而液面降下，一旦第1電阻式測溫體R11會位於氣相中，然後從液體供給裝置供給液體，再度第1電阻式測溫體R11會位於液相中的情況之第1電阻式測溫體R11的電流變化。圖5的最下的記載是表示第1電阻式測溫體R11的周圍環境。被配置於氣相中的第2電阻式測溫體R12的電流值I12是不拘時間經過，被維持於一定的微弱電流I0(例如2mA)。 　　[0045] 最初，第1電阻式測溫體R11是處於液相中，相對於第2電阻式測溫體R12，為了維持於被預定的溫度差的高溫，第1電阻式測溫體R11的電流I11的值大。在圖5中，被限制於上限值Imax。亦即，在第1電阻式測溫體R11中，超過上限值Imax的電流是不流動。然後，一時被維持一定的電流值Imax(此期間，第1電阻式測溫體R11是處於液相中)，但若形成時刻t1，則電流I11的值會開始減少。這是因為液體會氣化而液面降下，第1電阻式測溫體R11位於氣相中。一旦第1電阻式測溫體R11位於氣相中，則相對於第2電阻式測溫體R12，為了將第1電阻式測溫體R11維持於被預定的溫度差的高溫，第1電阻式測溫體R11的電流I11是在小的電流值足夠。在圖5中，被限制於下限值Imin。亦即，在第1電阻式測溫體R11中，比下限值Imin更小的電流是不流動。 　　[0046] 第1電阻式測溫體R11是從安定狀態(例如在液相中被通電比較大電流的狀態)遷移至別的安定狀態(例如在氣相中被通電比較小電流的狀態)的期間，電流值會過渡性地變化。將第1電阻式測溫體R11的周圍環境的變化(從液相中往氣相中的變化或其相反的變化)所產生的第1電阻式測溫體R11的電流值的變化稱為過渡電流值變化。 　　[0047] 以往是設定被預定的臨界值，若電阻式測溫體的電流值(瞬間值)比臨界值Ith大，則判斷成處於液相中。若電阻式測溫體的電流值(瞬間值)比臨界值Ith小，則判斷成處於氣相中，液面會判斷成比電阻式測溫體更降低。 　　[0048] 相對於此，在本實施形態中，被預定的期間Δt，記憶電流值I11，算出期間Δt內的I11的過渡電流值變化的幅度ΔI，將該幅度與被預定的臨界值ΔA作比較。具體而言，過渡電流值變化會減少，若其幅度ΔI(ΔI＜0)符合ΔI≦-ΔA，則第1電阻式測溫體R11的周圍環境是判斷成從液相變化至氣相。 　　[0049] 在圖5中，電流I11會從時刻t1開始減少，但至形成時刻t2為止，變化幅度小，為ΔI＞-ΔA，一旦形成時刻t2，則成為ΔI≦-ΔA，第1電阻式測溫體R11會被判斷成處於氣相中。接受第1電阻式測溫體R11被判斷成處於氣相中，可從液體供給裝置供給液體至氣化器內。 　　[0050] 一旦液體被供給至氣化器內，則液面會上昇，第1電阻式測溫體R11是再度位於液相中。這表示在圖5中，時刻t3以後的電流值I11增大。電流值I11會從時刻t3開始增大，但至形成時刻t4為止，變化幅度小，為ΔI＜+ΔA，一旦形成時刻t4，則成為ΔI≧+ΔA，第1電阻式測溫體R11的周圍環境是被判斷成從氣相變化至液相。接受第1電阻式測溫體R11被判斷成處於氣相中，可停止液體的供給。 　　[0051] 因此，只要適當地設定被預定的臨界值ΔA，便可藉由包含該等的符號來比較過渡電流值變化的幅度ΔI與被預定的臨界值ΔA，而特定第1電阻式測溫體R11的現在的周圍環境(液相中或氣相中)。 　　[0052] 電阻式測溫體為了維持被預定的溫度差而應通電的電流量是即使為相同的周圍環境，也會依電阻式測溫體而偏差。因此，將電流值的瞬間值與臨界值作比較的方法，其課題與上述者同樣，受到電阻式測溫體的特性的偏差(例如使用輸出高的值者時或使用輸出低的值者時)的影響。在本發明中，不是使用電流值的瞬間值，而是利用被預定的期間中的1個的電阻式測溫體(在上述是第1電阻式測溫體R11)的測定資料(電流值)的變化幅度，因此不受電阻式測溫體的特性的偏差的影響，可精度佳判斷液相/氣相。 　　[0053] 另外，之所以不將第1電阻式測溫體R11的電流I11設定於比上限值Imax大的值，是為了防止在第1電阻式測溫體R11流動大電流，及為了防止儘管第1電阻式測溫體R11處於液相中但變動幅度超過基準值所產生的誤檢查。又，之所以不將第1電阻式測溫體R11的電流I11設定於比下限值Imin小的值，是為了防止儘管第1電阻式測溫體R11處於氣相中但變動幅度超過基準值所造成的誤檢查。因此，最好設置上限值Imax及下限值Imin，但在液面的檢查不是不可缺少。 　　[0054] 在圖6顯示控制部21所進行的處理的流程圖。以下，參照圖6來更具體說明液面計20全體的動作。在此，第1電阻式測溫體R11及第2電阻式測溫體R12會被配置成如圖3所示般，初期液面S0為位於第1電阻式測溫體R11及第2電阻式測溫體R12之間。 　　[0055] 在步驟30中，控制部21是從記憶部24讀出控制參數(初期值等)，以控制參數之中，用以特定第1電阻式測溫體R11及第2電阻式測溫體R12的初期電流值之資料作為電流設定資料輸出至電源部22。 　　[0056] 並且，控制部21是在記憶部24確保變數領域。變數是有表示第1電阻式測溫體R11的周圍環境的變數。在此，若為液相，則被設定為“0”，若為氣相，則被設定為“1”。 　　[0057] 在控制參數是例如含有其次般者。 　　･表示第1電阻式測溫體R11的周圍環境的變數的初期值：在此是被設定為“0”。 　　･溫度差的基準值ΔT：ΔT是正的值，例如10℃。 　　･電流變化幅度的基準值ΔA：ΔA是正的值，例如6mA。 　　･第1電阻式測溫體R11及第2電阻式測溫體R12的電流I11及I12的初期值：例如I11=25(mA)，I12=2(mA)。 　　･電流I11的上限值Imax及下限值Imin：例如Imax=30(mA)，Imin=16(mA)。 　　･第1電阻式測溫體R11及第2電阻式測溫體R12的0℃的電阻值R11(0)及R12(0)：若為Pt100，則皆為100Ω。 　　[0058] 被輸入第1電阻式測溫體R11及第2電阻式測溫體R12的初期電流值的資料之電源部22是藉由內部的D/A變換器來對第1電阻式測溫體R11及第2電阻式測溫體R12流動對應的電流(類比)I11及I12。在此，電流I12是如上述般為微小的一定電流(例如2mA)，其值會被維持。 　　[0059] 在步驟31中，控制部21是從電壓測定部23取得第1電阻式測溫體R11及第2電阻式測溫體R12的各者的兩端的電壓V11及V12(類比)被A/D變換的數位資料。電壓測定部23是以被預定的時機(例如50毫秒間隔)如上述般測定第1電阻式測溫體R11及第2電阻式測溫體R12的各者的兩端的電壓V11及V12(類比)，藉由A/D變換器來變換成數位資料，輸出至控制部21。 　　[0060] 在步驟32中，控制部21是從在步驟31取得的電壓V11及V12，藉由上述的式1或式2來算出第1電阻式測溫體R11及第2電阻式測溫體R12的各者的溫度T1及T2。 　　[0061] 在步驟33中，控制部21是從在步驟32求得的溫度T1及T2來決定應流動至第1電阻式測溫體R11的電流值。具體而言，控制部21是為了反餽控制成為T1-T2=ΔT，而決定流動至第1電阻式測溫體R11的電流值。例如，若T1-T2＜ΔT，則控制部21是決定比現在的電流值I11更大的值，以上限值Imax以下的值作為其次應流動的第1電阻式測溫體R11的電流值。若T1-T2＞ΔT，則控制部21是決定比現在的電流值I11更小的值，以下限值Imin以上的值作為其次應流動的第1電阻式測溫體R11的電流值。若T1-T2=ΔT，則控制部21是決定與現在的電流值I11相同的值作為其次應流動的第1電阻式測溫體R11的電流值。 　　[0062] 在步驟34中，控制部21是將在步驟33所被決定的電流值記憶於記憶部24，將對應於該電流值的電流設定資料輸出至電源部22。藉此，電源部22是如上述般，將對應於所被輸入的電流設定資料之電流流動至第1電阻式測溫體R11。此時，第2電阻式測溫體R12的電流值是初期值會被維持。如後述般，藉由重複步驟34，記憶被預定的期間Δt、電流值I11。 　　[0063] 在步驟35中，控制部21是判斷是否形成判定液面位置的時間(判定時間)。具體而言，判斷從測定開始時刻或從判定前回的液面位置的時刻是否經過被預定的時間。被預定的時間是例如500毫秒。當被判斷成經過被預定的時間(形成判定時間)時，控制是移至步驟36。當被判定成未經過被預定的時間(未形成判定時間)時，控制是回到步驟31，上述的步驟31~34會被重複，50毫秒間隔的第1電阻式測溫體R11的電流值會被記憶於記憶部24。在此，記憶部24的容量之中，使用可記憶一定期間的測定值(電流值)的容量，當測定資料超過該容量時，新的測定資料是覆蓋最舊的資料而記憶。例如，記憶測定資料的一定期間為30秒。被記憶的測定資料全部被使用在後述的步驟36的電流值的變化的算出。亦即，Δt=30(秒)。 　　[0064] 被預定的時間的經過是可藉由預先從計時器25取得現在時刻作為基準時刻記憶，然後將從計時器25取得的時刻與基準時刻作比較來進行判定。被判定成經過被預定的時刻時，以該時的時刻來更新記憶的基準時刻，藉此可重複判定被預定的時間的經過。 　　[0065] 在步驟36中，控制部21是讀出被記憶於記憶部24的電流值，包含符號算出電流值的變化(過渡電流值變化)的最大變化幅度ΔI。符號是由成為最大變化幅度的2個的電流值的大小與測定該等的時間的前後關係來決定。成為最大變化幅度的2個的電流值之中，若測定時間為後的值大，則符號為「正」，若測定時間為後的值小，則符號為「負」。 　　[0066] 在步驟37中，控制部21是利用在步驟36所被決定的電流值的最大變化幅度ΔI來判定第1電阻式測溫體R11處於液相中或處於氣相中。具體而言，控制部21是若ΔI＞0，ΔI≧+ΔA，則判斷成第1電阻式測溫體R11的周圍環境從氣相變化至液相，若ΔI＜0，ΔI≦-ΔA，則判斷成第1電阻式測溫體R11的周圍環境從液相變化至氣相。若變化後的周圍環境為液相，則對表示周圍環境的變數設為“0”，若為氣相，則對表示周圍環境的變數設為“1”。控制部21是在ΔI皆未符合上述哪個的條件時，什麼都不做，對表示周圍環境的變數維持所被記憶的值。 　　[0067] 在步驟38中，控制部21是讀出表示周圍環境的變數，輸出對應於該值的液供給訊號SG。具體而言，若表示周圍環境的變數為“1”，則由於第1電阻式測溫體R11處於氣相中，因此控制部21是輸出使液體L供給至液體供給裝置的位準(例如高位準)的液供給訊號SG。若表示周圍環境的變數為“0”，則由於第1電阻式測溫體R11處於液相中，因此控制部21是輸出使液體供給裝置停止往容器1供給液體L的位準(例如低位準)的液供給訊號SG。 　　[0068] 步驟38之後，控制是回到步驟31。步驟31~38的一連串的處理是藉由液面計20的電源被關閉而終了。 　　[0069] 以上，藉由步驟30~38，液面計20是可每500毫秒，利用之前的30秒間以50毫秒間隔測定的資料，以第1電阻式測溫體R11的位置作為基準，檢查液面位置。因此，液面計20是每500毫秒重複監視液面的位置，只要液面S比配置第1電阻式測溫體R11的位置更降低，便使液體從外部的液體供給裝置供給至容器1內，若液面S超過配置第1電阻式測溫體R11的位置，則可使從外部的液體供給裝置往容器1內的液體供給停止。藉此，可將容器1內的液體L的液面維持於適當的範圍。 　　[0070] 在上述是說明使用2個的電阻式測溫體的情況，但並非限於此。亦可按照用途，使用3個以上的電阻式測溫體。例如，使用4個的電阻式測溫體，將其中的1個配置於氣相中，為了測定基準溫度，只要將剩下的3個配置於各個不同的高度，便可檢測出液面的下限、上限、及溢出(overflow)。將如此的使用例的實驗結果顯示於圖7。 　　[0071] 在實驗中，將被配置於氣相中，用以測定基準溫度的電阻式測溫體，及在比配置該電阻式測溫體的位置更低的位置，被配置不同的高度的3個的電阻式測溫體予以配置於容器內。3個的電阻式測溫體之中，被配置於最高的位置的電阻式測溫體是用以檢查液面的溢出者。被配置於最低的位置的電阻式測溫體是用以檢查液面到達下限位置的情形者。被配置於該等的中間的電阻式測溫體是用以檢查液面到達上限位置的情形者。 　　[0072] 在容器空的狀態下，將容器內的溫度設定於約200℃的狀態，開始液體的供給，至液面位於溢出檢查用電阻式測溫體之上為止供給液體後，停止液體的供給，將液體的氣化氣體排出至外部。這期間，將3個的電阻式測溫體的各電流值與圖6同樣地控制於上限值及下限值之間。 　　[0073] 在圖7中，附記「基準溫度」的圖表是用以測定基準溫度的電阻式測溫體的檢測溫度(左側的標度)。附記成「下限檢查用」、「上限檢查用」及「溢出檢查用」的圖表是對應於各者的電阻式測溫體的電流值(右側的標度)。 　　[0074] 一旦液體被供給，則液面上昇，形成比依序配置3個的電阻式測溫體的位置更高的位置，相對於基準溫度，為了維持被預定的溫度差，3個的電阻式測溫體的電流值會依序增大(約2分鐘經過後)。因此，3個的電阻式測溫體的各者的電流值的最大變化幅度ΔI(ΔI＞0)是比電流變化量的基準值ΔA更大(ΔI≧+ΔA)，從氣相中變化至液相中的情形會被檢查出，液面會被判斷成比配置溢出檢查用電阻式測溫體的位置更上。此時，之所以基準溫度降低，是因為被供給比較低溫的液體。 　　[0075] 然後，隨著時間經過，液面會因氣化而降下，約經過4分鐘時，溢出檢查用電阻式測溫體的電流值會急劇地降低，其最大變化幅度ΔI(ΔI＜0)是成為ΔI≦-ΔA，溢出檢查用電阻式測溫體從液相中出去至氣相中(液面位置會比配置溢出檢查用電阻式測溫體的位置更低)的情形會被檢查出。此期間，上限檢查用電阻式測溫體及下限檢查用電阻式測溫體的電流值也變動，但變動幅度的絕對值是比ΔA更小，該等的周圍環境是可判斷成未變化(皆處於液相中)。 　　[0076] 隨著時間經過，液面會因氣化而更降下，約經過5分鐘時，上限檢查用電阻式測溫體的電流值會急劇地降低，其最大變化幅度ΔI(ΔI＜0)是成為ΔI≦-ΔA，上限檢查用電阻式測溫體從液相中出去至氣相中(液面位置會比配置上限檢查用電阻式測溫體的位置更低)的情形會被檢查出。此期間，下限檢查用電阻式測溫體及溢出檢查用電阻式測溫體的電流值也變動，但變動幅度的絕對值是比ΔA更小，該等的周圍環境是可判斷成未變化(溢出檢查用電阻式測溫體是處於氣相中，下限檢查用電阻式測溫體是處於液相中)。 　　[0077] 然後，時間經過，且因氣化而液面更下降，約經過8分鐘半時，下限檢查用電阻式測溫體的電流值會急劇地降低，其最大變化幅度ΔI(ΔI＜0)是成為ΔI≦-ΔA，下限檢查用電阻式測溫體從液相中出去至氣相中(液面位置為形成比配置下限檢查用電阻式測溫體的位置更低)的情形會被檢查出。此期間，上限檢查用電阻式測溫體及溢出檢查用電阻式測溫體的電流值也變動，但變動幅度的絕對值是比ΔA更小，該等的周圍環境是可判斷成未變化(全都處於氣相中)。 　　[0078] 藉由如此將3個以上的電阻式測溫體配置於不同的高度，可更細檢查液體的氣化及供給所造成的液面的變化，可更正確地控制液面位置。 　　[0079] 上述舉的數值只不過是一例，非意圖限於此。被使用於判斷的控制參數(ΔA、ΔT、Imax、Imin)是只要考慮所使用的液體的種類、氣化器中的氣相溫度及液相溫度等來適當決定即可。取樣時間，判定時間，Δt及其間的資料記憶容量等也同樣決定即可。 　　[0080] 圖2所示的構成為一例，只要是可按照上述的動作原理(根據電阻式測溫體的過渡電流值變化幅度之判斷)來判斷電阻式測溫體的周圍環境(液相或氣相)，檢查液面位置的構成即可。 　　[0081] 並且，說明控制部21實行從記憶部24讀出的程式的情況，但亦可將控制部21藉由ASIC、FPGA等的專用IC來實現。此情況，亦可將控制部21藉由1個的IC來實現或藉由複數的IC來實現。例如，亦可將圖4所示的機能方塊的各者藉由IC來實現。 　　[0082] 上述是說明假定在控制的開始時位於液相(表示周圍環境的變數的初期值為“0”)，檢查液面，控制液體的供給的情況。將初期的周圍環境設為液相是為了好防止液體的過剩供給，但並非限於此。亦可假定成在控制開始時位於氣相(表示周圍環境的變數的初期值為“1”)。 　　[0083] 上述的圖6的流程圖為一例，可為各種的變更。例如，若為可多重任務的環境，則亦可將測定資料記憶的處理步驟31~34)及判斷液相/氣相的處理(步驟36~38)設為別的程式實現。複數的程式是可一邊藉由中斷處理等來互相調整時機，並列實行。 　　[0084] 上述是說明從計時器25取得現在時刻，判斷經過時間的情況，但並非限於此。控制部21是亦可藉由計數從時脈產生部26供給的時脈CLK的數量來判斷經過時間。 　　[0085] 又，以能夠形成一定的溫度差ΔT之方式反餽控制電阻式測溫體的電流值的方法是可採用任意的方法。 　　[0086] 又，溫度差ΔT是亦可為持有被預定的幅度的值。亦即，T1-T2是否等於ΔT是亦可在被預定的誤差的範圍內判斷。例如，將δ設為微小的值，T1-T2=ΔT是亦可為意思ΔT-δ＜T1-T2＜ΔT+δ。 　　[0087] 基準溫度測定用的第2電阻式測溫體R12是不限於電阻式測溫體，只要可測定溫度者(溫度測定體)即可。例如，亦可為周知的熱電偶。在使用熱電偶來測定溫度時是需要冷接點補償，但只要使用周知的技術(例如，中村黃三、「將數mV的直流訊號高精度分解至1萬分之1」，電晶體技術SPECIAL，CQ出版社，2015年7月1日發行，No.131，pp.47-62)即可。亦可使用內藏冷接點補償電路的A/D轉換器IC(例如MAXIM社製的MAX6675或MAX31855)。 　　[0088] 並且，基準溫度是只要在氣化器(容器)內，在哪個場所測定皆可，亦可將感測器(例如被封入有電阻式測溫體的棒狀的保護管)固定於水平，測定偏離容器的中央的位置的溫度。又，亦可測定感測器的途中的場所，或氣化器內部的內面上部或側面等的溫度。 　　[0089] 在氣化器是亦含有液體儲藏用的槽等。若為液體供給系(液體供給裝置)的槽，則亦可為被使用於常溫者，或亦可為被使用於高溫者。該等亦可適用本案發明。 　　[0090] 這回所被揭示的實施形態是舉例說明者，本發明並非限於上述的實施形態。本發明的範圍是包含參酌發明的詳細的說明的記載，依據申請專利範圍的各請求項來特定，被記載於各請求項的詞句的均等的範圍內的所有的變更。 [產業上的利用可能性] 　　[0091] 若根據本發明，則在具備電阻式測溫體及被配置於更高的位置的溫度測定體之液面計中，當流動於電阻式測溫體的電流值在被預定的時間內變換至一定值以上時，液面的位置判定成超過配置電阻式測溫體的位置而變化，藉此不受所使用的電阻式測溫體的偏差的影響，可精度佳檢查液面位置。
[0092]
1‧‧‧容器
2‧‧‧支撐部
3‧‧‧液體供給管
4‧‧‧第1保護管
5‧‧‧第2保護管
L‧‧‧液相(液體)
G‧‧‧氣相(氣體)
S‧‧‧液面
20‧‧‧液面計
21‧‧‧控制部
22‧‧‧電源部
23‧‧‧電壓測定部
24‧‧‧記憶部
25‧‧‧計時器
26‧‧‧時脈產生部
27‧‧‧溫度檢測部
28‧‧‧電流控制部
29‧‧‧液面檢測部
R11‧‧‧第1電阻式測溫體(液面檢測用)
R12‧‧‧第2電阻式測溫體(基準溫度)
[0029] 　　圖1是表示具備本發明的實施形態的液面計的氣化器的部分剖面側面圖。 　　圖2是表示本發明的實施形態的液面計的方塊圖。 　　圖3是表示本發明的實施形態的液面計的第1及第2電阻式測溫體的配置的模式圖。 　　圖4是表示控制部的機能的方塊圖。 　　圖5是模式性地表示液相/氣相判定的原理的圖表。 　　圖6是表示圖2的液面計的動作的流程圖。 　　圖7是表示實驗結果的圖表。 　　圖8是表示以往的液面計的概略構成圖。

Claims (11)

  1. 一種液面計，係具備：第1電阻式測溫體；溫度測定體，其係被配置於比配置前述第1電阻式測溫體的位置更高的位置；及控制部，其係利用前述溫度測定體及前述第1電阻式測溫體來檢查液面的位置，其特徵為：前述控制部，係含有溫度檢測部、液面檢測部及電流控制部，前述溫度檢測部，係檢測出前述溫度測定體及前述第1電阻式測溫體的溫度，前述電流控制部，係以藉由前述溫度檢測部所檢測出的前述第1電阻式測溫體的溫度與前述溫度測定體的溫度之溫度差成為被預定的第1值之方式，決定流動至前述第1電阻式測溫體的電流值，前述液面檢測部，係從流動至前述第1電阻式測溫體的電流值的變化檢查前述液面的位置，更具備電源部，其係將藉由前述電流控制部所決定的前述電流值的電流流動至前述第1電阻式測溫體，前述液面檢測部為：檢查：被預定的一定時間內之流動至前述第1電阻式測溫體的前述電流值的的變化幅度為負的值，該變化幅度的絕對值若為正的被預定的第2值以上，則前述液面係從比配置前述第1電阻式測溫體的位置更高的位置變化至比配置前述第1電阻式測溫體的位置更低的位置的情形，檢查：前述變化幅度為正的值，該變化幅度的絕對值若為前述第2值以上，則前述液面係從比配置前述第1電阻式測溫體的位置更低的位置變化至比配置前述第1電阻式測溫體的位置更高的位置的情形。
  2. 如申請專利範圍第1項之液面計，其中，前述第1電阻式測溫體及前述溫度測定體，係藉由支撐構件來固定於水平方向。
  3. 如申請專利範圍第1項之液面計，其中，前述溫度測定體為：流動比流動至前述第1電阻式測溫體的電流值更小的值的電流之電阻式測溫體。
  4. 如申請專利範圍第1項之液面計，其中，前述電流控制部為：當以前述溫度差成為前述第1值的方式，流動至前述第1電阻式測溫體的前述電流值為比被預定的上限值大時，將流動至前述第1電阻式測溫體的前述電流值維持於前述上限值，當以前述溫度差成為前述第1值的方式，流動至前述第1電阻式測溫體的前述電流值為比被預定的下限值小時，將流動至前述第1電阻式測溫體的前述電流值維持於前述下限值。
  5. 如申請專利範圍第1項之液面計，其中，更具備電壓測定部，其係測定前述第1電阻式測溫體的兩端的電壓，前述溫度檢測部，係從藉由前述電壓測定部所測定的前述第1電阻式測溫體的兩端的電壓來決定前述第1電阻式測溫體的溫度，前述電流控制部為：當前述溫度差比被預定的基準值更大時，將流動至前述第1電阻式測溫體的前述電流值決定成比流動於前述第1電阻式測溫體的電流值更小的值，當前述溫度差比前述基準值更小時，將流動至前述第1電阻式測溫體的前述電流值決定成比流動於前述第1電阻式測溫體的電流值更大的值，當前述溫度差等於前述基準值時，將流動至前述第1電阻式測溫體的前述電流值決定成與流動於前述第1電阻式測溫體的電流值相同的值。
  6. 如申請專利範圍第1項之液面計，其中，前述液面檢測部，係當被判斷成在比配置前述第1電阻式測溫體的位置更低的位置有前述液面時，輸出應使前述液面上昇的訊號，前述液面檢測部，係當被判斷成在比配置前述第1電阻式測溫體的位置更高的位置有前述液面時，輸出應使前述液面的上昇停止的訊號。
  7. 如申請專利範圍第1項之液面計，其中，更具備第2電阻式測溫體，其係被施加任意的大小的電流，前述第2電阻式測溫體，係被配置於比配置前述溫度測定體的位置更低的位置，即與配置前述第1電阻式測溫體的位置不同的高度的位置，前述溫度檢測部，係檢測出前述第2電阻式測溫體的溫度，前述電流控制部，係以藉由前述溫度檢測部所檢測出的前述第2電阻式測溫體的溫度與前述溫度測定體的溫度之溫度差成為前述第1值的方式，決定流動至前述第2電阻式測溫體的電流值，前述電源部，係將藉由前述電流控制部所決定之流動至前述第2電阻式測溫體的前述電流值的電流流動至前述第2電阻式測溫體，前述液面檢測部為：檢查：若流動至前述第2電阻式測溫體的前述電流值的變化幅度為負的值，該變化幅度的絕對值為正的被預定的第2值以上，則前述液面係從比配置前述第2電阻式測溫體的位置更高的位置變化至比配置前述第2電阻式測溫體的位置更低的位置的情形，檢查：若流動至前述第2電阻式測溫體的前述電流值的變化幅度為正的值，該變化幅度的絕對值為前述第2值以上，則前述液面係從比配置前述第2電阻式測溫體的位置更低的位置變化至比配置前述第2電阻式測溫體的位置更高的位置的情形，前述液面檢測部，係由利用前述第1電阻式測溫體的前述液面的位置的檢查結果及利用前述第2電阻式測溫體的該液面的位置的檢查結果來檢查該液面的位置。
  8. 如申請專利範圍第7項之液面計，其中，前述第2電阻式測溫體，係有關鉛直方向，被配置於前述第1電阻式測溫體與前述溫度測定體之間，前述液面檢測部，係當被判斷成在比配置前述第1電阻式測溫體的位置更低的位置有前述液面時，輸出應使前述液面上昇的訊號，前述液面檢測部，係當被判斷成在比配置前述第2電阻式測溫體的位置更高的位置有前述液面時，輸出應使前述液面的上昇停止的訊號。
  9. 如申請專利範圍第7項之液面計，其中，前述第1電阻式測溫體、前述第2電阻式測溫體及前述溫度測定體為白金電阻式測溫體。
  10. 一種氣化器，其特徵係具備：安裝有如申請專利範圍第1項所記載的液面計，所收容的液體的液面係藉由前述液面計來檢查之容器，使氣化的液體係被收容於前述容器。
  11. 一種液面檢測方法，係利用電阻式測溫體，及被配置於比配置前述電阻式測溫體的位置更高的位置之溫度測定體來檢查液面之方法，其特徵係包含：在將電流流動至前述電阻式測溫體的狀態下，檢測出前述電阻式測溫體及前述溫度測定體的溫度之步驟；以被檢測出的前述電阻式測溫體的溫度與前述溫度測定體的溫度之溫度差成為被預定的第1值之方式，調整流動至前述電阻式測溫體的電流值之步驟；及由流動至前述電阻式測溫體的電流值之被預定的一定時間內的變化幅度來檢查前述液面的位置之檢查步驟，前述檢查步驟係包含：檢查：若前述變化幅度為負的值，該變化幅度的絕對值為正的被預定的第2值以上，則前述液面係從比配置前述電阻式測溫體的位置更高的位置變化至比配置前述電阻式測溫體的位置更低的位置的情形之步驟；及檢查：若前述變化幅度為正的值，該變化幅度的絕對值為前述第2值以上，則前述液面係從比配置前述電阻式測溫體的位置更低的位置變化至比配置前述電阻式測溫體的位置更高的位置的情形之步驟。
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