TWI612759B - 密封電動機、真空泵 - Google Patents

Abstract

本發明之課題在於減少樹脂製之密封外殼的厚度。連結於真空泵，且作為真空泵的旋轉驅動源使用之密封電動機係具備：定子鐵芯；轉子，係配置在定子鐵芯之內側；及非導電性的密封外殼，係配置在定子鐵芯與轉子之間而隔離定子鐵芯與轉子，且該密封外殼以樹脂、陶瓷、或該等材料的複合材料作為材料。密封外殼藉由接合劑與定子鐵芯接合。

Description

密封電動機、真空泵

本發明係關於密封電動機(canned motor)。

以往，例如有一種具備下述專利文獻1所記載之電動機的真空泵已為人所知。該真空泵係廣泛使用於半導體製程之真空室(chamber)內的處理氣體之排氣等。

在該種真空泵用之電動機中，為了密封真空泵，係形成有用以隔離電動機定子(motor stator)與電動機轉子(motor rotor)的轉子室，轉子室藉由固定於真空泵側的間隔壁(亦即藉由密封外殼(can))，而成為相對於電動機定子密閉的空間。如此，具備藉由密封外殼隔離電動機定子與電動機轉子之構造的電動機，係被稱為密封電動機。該密封電動機通常設置於真空泵的泵轉子(pump rotor)的端部，且直接連結至泵轉子。

在該密封電動機中，以往，係使用薄的不鏽鋼(stainless steel)等非磁性金屬製之密封外殼。然而，在使用非磁性金屬製之密封外殼的情況，會因為來自電動機定子之磁通的作用而在表面產生渦電流，且電動機效率因為此時的損失而降低。另一方面，雖然也有使用樹脂製的 密封外殼構件的情形，但為了維持間隔壁之機械性強度，所採用之間隔壁的板厚尺寸比金屬製密封外殼構件大。例如，在化學液輸出用泵的情況，一般而言，幾乎不會因為在電動機定子內側之減壓而產生壓力變動，此外，在電動機周圍之大氣壓側產生之對於密封外殼構件朝壓縮方向的壓力變動亦僅有些微。也可以說，密封外殼構件通常施加有朝外側擴張之方向的壓力，此時，所施加之壓力係由位在密封外殼構件之外周的定子鐵芯支撐，故即使是比較薄的密封外殼構件也不會有擴張破裂的情形。相對於此，在真空泵用密封電動機中，會因為在運轉時產生之轉子室內的真空區域與電動機周圍之壓力差，造成朝壓縮方向的大壓力直接作用在密封外殼構件。換言之，密封外殼構件朝向轉子室內側而承受大的拉力。因此，在真空泵用密封電動機中，為了防止密封外殼構件因為壓縮力而朝徑方向內側彎曲變形的情形，係藉由加大密封外殼構件的厚度來增加密封外殼構件的強度。

在具備樹脂製之密封外殼的密封電動機中，當密封外殼的厚度過小時，密封外殼的機械性強度會降低，且有無法承受真空泵之壓力變動之虞。因此，欲縮小密封構件之厚度有其極限存在。樹脂製之密封外殼的厚度通常根據JIS B8267等所記載之壓力容器計算方法來設定，在1.5至2.0mm左右。

(先前技術文獻) (專利文獻)

專利文獻1：日本特開2005-184958號公報。

專利文獻2：日本特開2011-101594號公報。

專利文獻3：日本特開平11-89158號公報。

專利文獻4：日本特開2003-153494號公報。

專利文獻5：日本特開平10-52002號公報。

專利文獻6：日本特開平5-223098號公報。

專利文獻7：日本特開昭61-231848號公報。

根據以上所述，在具備樹脂製之密封外殼的密封電動機中，係要求減少電動機定子、及電動機轉子之隔離距離，而提升電動機特性。此外，在該密封電動機中，因電動機轉子藉由泵軸承單邊支撐，故當屬於泵軸承與密封電動機之和泵軸承相反側的端部間之距離的懸伸(overhang)變長時，會產生泵主軸所須之機械強度增大，或容易產生振動等問題之虞。因此，要求減少密封電動機的懸伸。進而，以真空泵的一般性課題而言，係要求容易進行製造、及減輕維持管理的負擔等。

本發明係為了解決至少一部分上述課題而研創者，例如能夠利用以下之形態而實現。

本發明之一實施形態係提供一種連結於真空泵且作為真空泵之旋轉驅動源使用之密封電動機。該密 封電動機具備：定子鐵芯；轉子，係配置在定子鐵芯之內側；及非導電性的密封外殼，係配置在定子鐵芯與轉子之間，且在與定子鐵芯抵接的狀態下隔離定子鐵芯與轉子，該密封外殼以樹脂、陶瓷(ceramics)、或該等材料的複合材料作為材料。密封外殼藉由接合劑與定子鐵芯接合。

本發明之一實施形態係提供一種連結於真空泵且作為真空泵之旋轉驅動源使用之密封電動機。該密封電動機具備：定子鐵芯；轉子，係配置在定子鐵芯之內側；及樹脂製的密封外殼，係配置在定子鐵芯與轉子之間，且隔離定子鐵芯與轉子。密封外殼具有朝轉子的旋轉中心軸線方向延伸之中空形狀的軀體部。軀體部之外徑側的面及內徑側的面之至少一方，係為在旋轉中心軸線方向與定子鐵芯相對向之相對向範圍之中之至少一部分範圍的相對於旋轉中心線的傾斜未達0.5度的大致水平狀。

本發明之一實施形態，係提供一種定子與轉子藉由覆蓋定子之內周部的圓筒形樹脂間隔壁來隔離且使用於真空泵之旋轉驅動之密封電動機，該密封電動機係間隔壁的外周部形成有與定子的磁極齒部在徑方向囓合的囓合部。

本發明之一實施形態係提供一種連結於真空泵且作為真空泵之旋轉驅動源使用之密封電動機。該密封電動機具備：定子鐵芯；轉子，係配置在定子鐵芯之內側；及密封外殼，係配置在定子鐵芯與轉子之間，且隔離定子鐵芯與轉子，該密封外殼具有：中空形狀的軀體部， 係朝轉子的旋轉中心軸線方向延伸；及開口部，係形成旋轉中心軸線方向之中之屬於與真空泵直接連結之側的第1側之軀體部的開口。定子鐵芯與轉子係藉由密封外殼、及在密封外殼之開口部的外面沿著周方向配置之O型環來氣密性隔離。

1-20、2-20、4-20‧‧‧真空泵

1-30、1-120‧‧‧轉子

1-32‧‧‧第2段轉子

1-33‧‧‧第3段轉子

1-34、4-34‧‧‧泵主軸

1-40‧‧‧外罩

1-50、1-60、4-50、4-50a‧‧‧軸承構件

1-51、1-61‧‧‧軸承

1-70‧‧‧定時齒輪

1-100、2-100‧‧‧電動機

1-110、2-110‧‧‧定子

1-111、1-411、1-511‧‧‧定子鐵芯

1-112、1-113‧‧‧線圈部

1-130、1-230、1-330、1-430、1-530‧‧‧密封外殼

1-131、1-231、2-131、3-181‧‧‧軀體部

1-132、1-232、1-332、4-132、4-232‧‧‧閉塞部

1-133、1-233、2-133‧‧‧開口部

1-140、2-140、4-140、4-140a‧‧‧定子支架

1-141、2-141、4-141、4-141a‧‧‧支架本體

1-142、2-142、4-142‧‧‧側板

1-145、1-147、2-145‧‧‧凹部

1-146、2-146、4-146a‧‧‧突出部

1-150、1-160‧‧‧補強構件

1-153、1-154、2-153‧‧‧O型環

1-161、4-234‧‧‧第1部位

1-162、4-235‧‧‧第2部位

1-163‧‧‧第3部位

1-171、1-172‧‧‧樹脂

1-234‧‧‧肋部

1-481、1-581‧‧‧接合劑

1-482‧‧‧打底層

1-515‧‧‧齒部

1-512、4-112‧‧‧線圈

1-516‧‧‧空間

1-585‧‧‧構件

2-30、2-120‧‧‧轉子

2-111、3-22、4-111‧‧‧定子鐵芯

2-112、2-113‧‧‧線圈部

2-130、4-130、4-130a、4-230‧‧‧密封外殼

2-134‧‧‧第1軀體部

2-134a‧‧‧外面

2-134b‧‧‧內面

2-135‧‧‧第2軀體部

2-210‧‧‧上面側部位

2-211‧‧‧上面

2-221‧‧‧下面

3-3‧‧‧泵罩殼

3-16-1、3-16-2‧‧‧轉子

3-11、4-110、4-110a‧‧‧定子

3-16’-1、3-16’-2‧‧‧軸

3-17-1、3-17-2‧‧‧轉子室

3-18-1、3-18-2、3-18-1’‧‧‧間隔壁

3-19‧‧‧永久磁鐵

3-20‧‧‧磁極齒部

3-21‧‧‧繞線

3-20-2、3-20-2’‧‧‧延長部

3-20-1‧‧‧磁極基部

3-30‧‧‧槽

3-182’‧‧‧開口端

3-182、3-183‧‧‧端部

3-184‧‧‧環狀凸緣部

3-185、3-185’、3-285、3-385、3-485‧‧‧突起部

3-185-1‧‧‧基部

3-185-2‧‧‧延長部

3-185-3、3-185’-3、3-385-3、3-485-3‧‧‧囓合面

3-185-4、3-185’-4‧‧‧前端面

3-186‧‧‧溝

3-187‧‧‧繞線保持部

3-288‧‧‧矩形溝

3-388‧‧‧三角溝

3-488‧‧‧圓弧溝

4-30、4-120、4-120a‧‧‧轉子

4-100、4-100a‧‧‧電動機

4-131、4-131a、4-231‧‧‧軀體部

4-133、4-133a、4-233‧‧‧開口部

4-134‧‧‧段部

4-143、4-144、4-52a‧‧‧凹部

4-151、4-152、4-151a‧‧‧O型環

4-236‧‧‧肋部

AR‧‧‧旋轉中心軸線

C‧‧‧中心軸

FR‧‧‧相對向範圍

M‧‧‧電動機

P‧‧‧泵

PM‧‧‧加工成形品

S1‧‧‧外方側

S2‧‧‧連結側

W1、W2‧‧‧寬度

第1圖係為顯示作為本發明實施例1-A之真空泵的概略構成的說明圖。

第2圖係為顯示作為實施例1-A之密封電動機的概略構成的說明圖。

第3圖(A)係為顯示作為實施例1-B之密封電動機的密封外殼之構成的說明圖。

第3圖(B)係為顯示作為實施例1-B之密封電動機的密封外殼之構成的說明圖。

第4圖係為顯示作為實施例1-C之密封電動機的密封外殼之構成的部分剖面圖。

第5圖係為顯示作為實施例1-D之密封外殼與定子鐵芯之接合構成的剖面圖。

第6圖係為顯示作為實施例1-E之密封外殼與定子鐵芯之接合構成的剖面圖。

第7圖係為顯示作為實施例2-A之密封電動機的概略構成的說明圖。

第8圖係為顯示密封外殼之製造方法的說明圖。

第9圖係為顯示作為實施例3-A之間隔壁的詳細內容的立體圖。

第10圖係為顯示間隔壁之其他構成例的立體圖。

第11圖係為電動機之徑方向的剖面圖。

第12圖係為第11圖的部分放大圖。

第13圖係為顯示間隔壁的詳細內容的部分剖面圖。

第14圖係為顯示間隔壁的囓合部之其他例的部分剖面圖。

第15圖係為顯示間隔壁的囓合部之其他例的部分剖面圖。

第16圖係為顯示間隔壁的囓合部之其他例的部分剖面圖。

第17圖係為顯示間隔壁的囓合部之其他例的部分剖面圖。

第18圖係為顯示作為實施例4-A之密封電動機的概略構成的說明圖。

第19圖係為顯示作為比較例之密封電動機的概略構成的說明圖。

第20圖係為顯示作為實施例4-B之密封電動機的密封外殼之構成的說明圖。

第21圖係為從開口部側觀察密封外殼的圖。

1. 第1實施形態群：

本發明之一實施形態係提供一種連結於真空泵且作為 真空泵之旋轉驅動源使用之密封電動機。該密封電動機具備：定子鐵芯；轉子，係配置在定子鐵芯之內側；及非導電性的密封外殼，係配置在定子鐵芯與轉子之間，且在與定子鐵芯抵接的狀態下隔離定子鐵芯與轉子，該密封外殼以樹脂、陶瓷(ceramics)、或該等材料的複合材料作為材料。密封外殼藉由接合劑與定子鐵芯接合。

根據該密封電動機，由於密封外殼與定子鐵芯抵接，而且，藉由接合劑接合，因此密封外殼與定子鐵芯成為一體形成的狀態。因此，定子鐵芯能夠補強與定子鐵芯對應位置之密封外殼之機械性強度，相應地，能夠減少該位置之樹脂製的密封外殼之厚度。結果，能提升電動機特性。

本發明之一實施形態係提供一種連結於真空泵且作為真空泵之旋轉驅動源使用之密封電動機。該密封電動機具備：定子鐵芯；轉子，係配置在定子鐵芯之內側；及非導電性的密封外殼，係配置在定子鐵芯與轉子之間，且在與定子鐵芯抵接的狀態下隔離定子鐵芯與轉子，該密封外殼以樹脂、陶瓷、或該等材料的複合材料作為材料。密封外殼係透過形成於密封外殼的外表面之打底層而藉由接合劑與定子鐵芯接合，打底層藉由與接合劑的親和性比密封外殼高的非導電性材料來形成。

根據該密封電動機，由於定子鐵芯與密封外殼的接合強度提升，因此定子鐵芯能夠更進一步補強密封外殼的機械性強度。結果，能夠更進一步減少樹脂製之 密封外殼的厚度。

在本發明之一實施形態中，密封電動機還能夠具備配置在轉子之旋轉中心軸線方向中之定子鐵芯之外側的補強構件，該補強構件在周方向與密封外殼的外面抵接。根據該形態，即使在定子鐵芯之外側的區域中，補強構件仍然能夠補強密封外殼的機械性強度，相應地，能夠減少該位置之樹脂製的密封外殼之厚度。

在本發明的一實施形態中，密封外殼也能夠藉由接合劑與補強構件接合。根據該形態，由於密封外殼與補強構件成為一體形成的狀態，因此能夠更進一步補強定子鐵芯之外側區域中之密封外殼的機械性強度，相應地，能夠減少該位置之樹脂製的密封外殼之厚度。

在本發明的一實施形態中，密封外殼也能夠透過形成於密封外殼的外表面之打底層而藉由接合劑與定子鐵芯接合。打底層也能夠藉由與接合劑的親和性比密封外殼高的非導電性材料來形成。根據該形態，由於補強構件與密封外殼的接合強度提升，因此，補強構件能夠更進一步補強密封外殼的機械性強度，且能夠更進一步減少樹脂製的密封外殼之厚度。

在本發明之一實施形態中，補強構件的線膨脹係數也能夠為定子鐵芯的線膨脹係數以下。根據該實施形態，能夠減少因真空泵的驅動而產生壓縮熱因而使補強構件在熱膨脹時從補強構件作用到密封外殼的應力。因此，能夠減少密封外殼所須的機械性強度，結果，能夠減 少密封外殼的厚度。

在本發明之一實施形態中，在定子鐵芯中，也能夠在朝向定子鐵芯的中心突出之複數個齒部(teeth)的內周側之端部間的空間配置與齒部卡合之非導電性的構件。根據該實施形態，由於接合劑的接合面積變大，因此能夠提高定子鐵芯與密封外殼的接合強度。因此，定子鐵芯能夠更進一步補強密封外殼的機械性強度，且能夠更進一步減少樹脂製的密封外殼之厚度。

在本發明之一實施形態中，密封電動機還能夠具備：定子支架，係在定子支架的內部空間嵌入有定子鐵芯的狀態下，固定定子鐵芯，且該定子支架係於轉子的旋轉中心軸線方向形成為比定子鐵芯長；及樹脂，係充填形成於定子支架與密封外殼之間的區域，該區域係為與從定子鐵芯之旋轉中心軸線方向的兩端朝向定子鐵芯的外側突出之線圈部對應的區域。根據該實施形態，藉由充填的樹脂能夠更進一步補強密封外殼的機械性強度，相應地，能夠能夠減少該位置中樹脂製之密封外殼的厚度。

在本發明之一實施形態中，所充填之樹脂的線膨脹係數也能夠在定子鐵芯的線膨脹係數以下。根據該實施形態，在壓縮熱因真空泵的驅動而產生，所充填的樹脂產生熱膨脹時，能夠減少從充填的樹脂介由補強構件作用到密封外殼的應力。因此，能夠減少密封外殼所須之機械性強度，結果，能夠減少密封外殼的厚度。

在本發明之一實施形態中，密封外殼也能 夠具有：中空形狀的軀體部，係朝轉子的旋轉中心軸線方向延伸；閉塞部，係在旋轉中心軸線方向之中之第1側且封閉軀體部的內部空間；及開口部，係形成軀體部之屬於與第1側成相反側之第2側的開口。閉塞部也能夠包含內徑從第2側朝向第1側縮小直徑的部位。根據該實施形態，係減少密封外殼內部的容積，結果，在使真空泵驅動時之在密封外殼內部與真空泵(泵室)之間的氣體移動量會減少。亦即，通過設置在密封外殼的內部與泵室之間之軸承部的氣體量會減少。因此，能夠抑制潤滑劑隨著氣體移動減少，且能夠減少真空泵之維持管理的負擔。

在本發明之一實施形態中，閉塞部也能夠具有中央部從第2側朝向第1側凸起之圓頂(dome)形狀。根據該實施形態，能夠提升閉塞部的機械性強度。此外，能夠藉此減少閉塞部的厚度。若閉塞部的厚度減少，則軀體部與閉塞部的厚度之差會減少，因此容易藉由射出成形製造樹脂製的密封外殼。

在本發明之一實施形態中，肋部(rib)也能夠形成在閉塞部之第1側的面及第2側的面的至少一方。根據該實施形態，能夠提升閉塞部的機械性強度。此外，能夠藉此減少閉塞部的厚度。另外，在射出成形方面，會在成形後脫模時，將成形品留在內模(公模)。因此，在肋部形成在閉塞部之第2側的面時，成形品容易卡止在內模，結果，容易藉由射出成形製造樹脂製的密封外殼。

本發明之一實施形態係提供一種真空泵。 該真空泵也能夠具備上述任一形態的密封電動機。

本發明之一實施形態係提供一種連結於真空泵且作為真空泵之旋轉驅動源使用之密封電動機。該密封電動機具備：定子鐵芯；轉子，係配置在定子鐵芯之內側；及密封外殼，係配置在定子鐵芯與轉子之間，且在與定子鐵芯抵接的狀態下隔離定子鐵芯與轉子。密封外殼也能夠具有：中空形狀的軀體部，係朝轉子的旋轉中心軸線方向延伸；閉塞部，係在旋轉中心軸線方向之中之第1側且封閉軀體部的內部空間；及開口部，係形成軀體部之屬於與第1側成相反側之第2側的開口。閉塞部也能夠包含內徑從第2側朝向第1側縮小直徑的部位。

在本發明之一實施形態中，閉塞部也能夠具有中央部從第2側朝向第1側凸起之圓頂形狀。在本發明之一實施形態中，肋部也能夠形成在閉塞部之第1側的面及第2側的面的至少一方。上述各種實施形態能夠進行任意的組合。

再者，本發明之一實施形態提供一種連結於泵且作為泵之旋轉驅動源使用之密封電動機。該密封電動機具備：定子鐵芯；轉子，係配置在定子鐵芯之內側；及非導電性的密封外殼，係配置在定子鐵芯與轉子之間，且在與定子鐵芯抵接的狀態下隔離定子鐵芯與轉子，該密封外殼以樹脂、陶瓷、或該等材料的複合材料作為材料。密封外殼藉由接合劑與定子鐵芯接合。此外，本發明之一實施形態提供一種連結於泵且作為泵之旋轉驅動源使用之 密封電動機。該密封電動機具備：定子鐵芯；轉子，係配置在定子鐵芯之內側；及非導電性的密封外殼，係配置在定子鐵芯與轉子之間，且在與定子鐵芯抵接的狀態下隔離定子鐵芯與轉子，該密封外殼以樹脂、陶瓷、或該等材料的複合材料作為材料。密封外殼係透過形成於密封外殼的外面之打底層而藉由接合劑與定子鐵芯接合，打底層藉由與接合劑的親和性比密封外殼高的非導電性材料來形成。本發明之一實施形態提供一種連結於泵且作為泵之旋轉驅動源使用之密封電動機。該密封電動機具備：定子鐵芯；轉子，係配置在定子鐵芯之內側；及密封外殼，係配置在定子鐵芯與轉子之間，且在與定子鐵芯抵接的狀態下隔離定子鐵芯與轉子。密封外殼具有：中空形狀的軀體部，係朝轉子的旋轉中心軸線方向延伸；閉塞部，係在旋轉中心軸線方向之中之第1側且封閉軀體部的內部空間；及開口部，係形成軀體部之屬於與第1側成相反側之第2側的開口。閉塞部包含內徑從第2側朝向第1側縮小直徑的部位。該等實施形態的密封電動機能夠應用於各種泵且不限用於泵。例如，該等實施形態的密封電動機能夠應用於液體泵、或屬於廣義氣體泵的一種之送風機。此外，該等實施形態的密封電動機能夠與應用於真空泵而得到之上述各種實施形態進行任意的組合。以下，就本發明的第1實施形態群，例示更詳細的實施形態進行說明。在以下內容中，雖以真空泵為例進行說明，但以下所說明之實施形態係如上所述，並不限於真空泵。

1-A. 實施例1-A

第1圖係顯示真空泵1-20的概略剖面。在第1圖中，係顯示包含真空泵1-20所具有之旋轉中心軸線AR的剖面。如圖示，真空泵1-20具備一對轉子1-30(在第1圖中僅顯示一方的轉子)。在本實施例中，轉子1-30具備：第1段轉子1-31、第2段轉子1-32及第3段轉子1-33；及泵主軸1-34。該轉子1-30在其兩端部的附近由設在軸承構件1-50,1-60的軸承1-51,1-61所支撐。該轉子1-30收容於外罩1-40。在外罩1-40的上方形成有吸氣口(省略圖示)，且在下方形成有排氣口(省略圖示)。

該轉子1-30藉由設在真空泵1-20之旋轉中心軸線AR的一端側之電動機1-100而驅動。在一對轉子1-30之一端側的軸端，固定有彼此囓合之一對定時齒輪(timing gear)1-70(在第1圖中僅顯示一方的齒輪)。轉子1-30之另一端側的軸端連結於電動機1-100。在本實施例中，電動機1-100係為無刷(brushless)直流電動機。另外，在第1圖中將電動機1-100之構成簡化顯示。

當驅動電動機1-100時，一對轉子1-30會在外罩1-40的內面及轉子1-30彼此間保持些微間隙，以非接觸朝反方向旋轉。隨著一對轉子1-30的旋轉，吸入側的氣體會被封閉在轉子1-30與外罩1-40之間，並運送至送出側。經從吸氣口(省略圖示)導入之氣體，係藉由3段的轉子1-30壓縮運送，從排氣口(省略圖示)排出。

第2圖顯示旋轉驅動轉子1-30之電動機1-100的概略構成。在以下的說明中，關於電動機1-100，將在旋轉中心軸線AR方向之中之與真空泵1-20(更具體而言，係轉子1-30)連結之側也稱為連結側S2，將連結側S2之相反側也稱為外方側S1。如第2圖所示，電動機1-100係具備定子1-110、轉子1-120、密封外殼1-130、定子支架1-140、及補強構件1-150,1-160。

定子支架1-140係具備支架本體1-141、及側板1-142。支架本體1-141係具有沿著旋轉中心軸線AR形成有內部空間的圓筒形狀。支架本體1-141係具備突出部1-146。突出部1-146係為從支架本體1-141的內面朝內側突出的部位，且在支架本體1-141之連結側S2的端部附近，以旋轉中心軸線AR為中心形成為環狀。突出部1-146的突出長度，係形成為與開口部1-133從軀體部1-131(詳細後述)突出的突出長度大致相等。側板1-142係具有圓板形狀，且封閉支架本體1-141之外方側S1的開口。在支架本體1-141之外方側S1的端面形成有凹部1-145，並在該凹部1-145配置有O型環1-153。O型環1-153係在支架本體1-141與側板1-142之間朝旋轉中心軸線AR方向被壓縮，且密封定子支架1-140的內部與外部之間。另外，側板1-142藉由螺栓(省略圖示)安裝在支架本體1-141。該定子支架1-140係例如能夠以鐵或鋁形成。定子1-110、轉子1-120及密封外殼1-130係收容於該定子支架1-140的內部空間。

定子1-110係具有在定子鐵芯1-111裝設有線圈(coil)的構成。在定子1-110之旋轉中心軸線AR方向的兩端，線圈部1-112,1-113係朝向定子鐵芯1-111的外方突出。定子鐵芯1-111嵌入到定子支架1-140之支架本體1-141的內部，藉此，定子1-110以與旋轉中心軸線AR同心的方式固定到定子支架1-140。定子鐵芯1-111例如能夠積層矽鋼板來形成。轉子1-120在定子1-110的內部以與旋轉中心軸線AR同心的方式配置，並直接連結到真空泵1-20之轉子1-30的泵主軸1-34。

在該定子1-110與轉子1-120之間，設有密封外殼1-130。密封外殼1-130隔離定子1-110與轉子1-120。該密封外殼1-130具備軀體部1-131、閉塞部1-132、及開口部1-133。軀體部1-131具有大致圓筒形狀，且以與旋轉中心軸線AR同心的方式配置。該軀體部1-131係延伸在旋轉中心軸線AR方向中定子1-110之設置範圍的整體上而形成。

閉塞部1-132係為密封外殼1-130之外方側S1的端面，且在軀體部1-131之外方側S1的端面封閉軀體部1-131的內部空間。開口部1-133係為密封外殼1-130之連結側S2的端部，且形成密封外殼1-130之連結側S2的開口。開口部1-133在本實施例中，具有其外徑形成為比軀體部1-131之外徑大的凸緣(flange)形狀。

該密封外殼1-130由非導電性的樹脂形成，軀體部1-131、閉塞部1-132及開口部1-133係一 體性形成。密封外殼1-130的材料不限於樹脂，能夠是陶瓷，也能夠是樹脂與陶瓷的複合材料。在本實施例中，密封外殼1-130的材質為PPS(polyphenylene sulfide，聚苯硫)樹脂。軀體部1-131及開口部1-133的厚度能夠設為較薄，具體而言，例如能夠設為0.5mm至1.0mm。閉塞部1-132的厚度形成為比軀體部1-131的厚度大，例如能夠設為1.5mm至2.0mm。從提升電動機特性的觀點來看，軀體部1-131的厚度較佳為盡量設為較小。此外，從將屬於軸承1-51與電動機1-100之外方側S1之端部的距離之懸伸予以縮短的觀點來看，開口部1-133(凸緣形狀)之旋轉中心軸線AR方向的寬度較佳為盡量設為較小。

該密封外殼1-130以定子鐵芯1-111與軀體部1-131在周方向抵接的方式安裝。再者，定子鐵芯1-111與軀體部1-131藉由接合劑接合在該抵接部位。如此，定子鐵芯1-111與軀體部1-131藉由接合劑而接合，藉此，定子鐵芯1-111與軀體部1-131成為一體形成的狀態。因此，定子鐵芯1-111能夠補強與定子鐵芯1-111對應位置的軀體部1-131之機械性強度。藉此，在與定子鐵芯1-111對應之位置中，能夠實現上述之軀體部1-131的薄壁化。另外，考慮到真空泵1-20之運轉時的耐熱性，接合劑也能夠使用矽(silicon)系或環氧(epoxy)系等。

此外，密封外殼1-130係在與突出部1-146之連結側S2的端面、及開口部1-120之外方側S1 的端面抵接的狀態下安裝。此時，突出部1-146之內側的端面，係在周方向與軀體部1-131的外面抵接。該突出部1-146係具有密封外殼1-130之旋轉中心軸線AR方向之定位功能。

補強構件1-150係具有與軀體部1-131之外徑大致相等之內徑的環狀形狀。該補強構件1-150係以補強構件1-150與軀體部1-131在周方向抵接的方式，嵌入到旋轉中心軸線AR中比定子鐵芯1-111更靠近外側(連結側S2)。補強構件1-150之外方側S1的端部係與定子鐵芯1-111抵接，且補強構件1-150之連結側S2的端部，係嵌入並抵接於形成在突出部1-146之外方側S1的缺口形狀。補強構件1-150較佳為具有100MPa以上的抗拉強度之樹脂製構件或非磁性金屬構件。

再者，補強構件1-150與軀體部1-131係藉由接合劑接合在補強構件1-150與軀體部1-131的抵接部位。如此，補強構件1-150與軀體部1-131藉由接合劑而接合，藉此，補強構件1-150與軀體部1-131成為一體形成的狀態。因此，即使比定子鐵芯1-111更為靠近連結側S2，補強構件1-150也能夠補強軀體部1-131的機械性強度。藉此，能夠實現比定子鐵芯1-111更靠近連結側S2之軀體部1-131的薄壁化。另外，比補強構件1-150更靠近連結側S2之軀體部1-131，係藉由與突出部1-146抵接來補強其機械性強度。當然，軀體部1-131與突出部1-146也能夠藉由接合劑來接合。

補強構件1-160係具備第1部位1-161、第2部位1-162、與第3部位1-163。第1部位1-161係在補強構件1-160之中位於最靠近連結側S2，且具有與軀體部1-131之外徑大致相等的內徑之環狀形狀。第2部位1-162係具有從第1部位1-161朝向徑方向外方延伸為同心狀之凸緣狀。第3部位1-163係具有從第2部位1-162之外方側的端部朝向外方側S1延伸的環狀形狀。

該補強構件1-160係以第1部位1-161與軀體部1-131在周方向抵接的方式，嵌入到旋轉中心軸線AR中比定子鐵芯1-111更靠近外側。此時，第1部位1-161之外方側S1側的端部，係位在比線圈部1-113更靠近外方側S1，並且在旋轉中心軸線AR方向中，位於與密封外殼1-130之軀體部1-131的外方側S1側的端部相同位置。第1部位1-161之連結側S2的端部，係與定子鐵芯1-111抵接。再者，第1部位1-161與軀體部1-131係藉由接合劑接合在第1部位1-161與軀體部1-131的抵接部位。因此，第1部位1-161能夠補強定子鐵芯1-111之外方側S1的軀體部1-131的機械性強度。藉此，能夠實現比定子鐵芯1-111更靠近外方側S1之軀體部1-131的薄壁化。

此外，第2部位1-162之與旋轉中心軸線AR正交之方向的長度，係形成為與軀體部1-131之外面及支架本體1-141之內面的隔離距離相同長度。因此，第3部位1-163與支架本體1-141的內面抵接。藉由該構 成，更進一步的補強比定子鐵芯1-111更靠近外方側S1之軀體部1-131的機械性強度。

在與支架本體1-141之與第3部位1-163對應的位置，係形成有凹部1-147，在該凹部1-147配置有O型環1-154。該O型環1-154在支架本體1-141與第3部位1-163之間朝與旋轉中心軸線AR正交之方向被壓縮，且密封補強構件1-160之連結側S2與外方側S1之間。

此外，於線圈部1-112,1-113的周圍，係在支架本體1-141與軀體部1-131之間的區域形成有密閉空間，線圈部1-112,1-113係收容在該密閉空間內。具體而言，連結側S2側之線圈部1-112係收容在由支架本體1-141、突出部1-146、補強構件1-150及定子鐵芯1-111閉鎖之空間。此外，外方側S1側之線圈部1-113係收容在由支架本體1-141、第1部位1-161及第2部位1-162閉鎖之空間。在該等閉鎖空間，分別充填有樹脂1-171,1-172。藉由該構成，能夠更進一步補強定子鐵芯1-111的兩端部中軀體部1-131的機械性強度。

在該電動機1-100中，補強構件1-150,1-160之線膨脹係數，較佳係設為定子鐵芯1-111的線膨脹係數以下。同樣地，樹脂1-171,1-172的線膨脹係數，較佳係設為定子鐵芯1-111的線膨脹係數以下。如此一來，在因真空泵1-20的驅動而產生熱縮壓，以致於補強構件1-150,1-160或樹脂1-171,1-172產生熱膨脹 時，能夠減少從補強構件1-150,1-160或樹脂1-171,1-172作用到軀體部1-131的應力。因此，能夠減少軀體部1-131所須之機械性強度，結果，能夠減少軀體部1-131的厚度。此外，因為同樣的理由，定子鐵芯1-111與軀體部1-131的接合、及補強構件1-150,1-160與軀體部1-131的接合時使用之接合劑的線膨脹係數，較佳係設為定子鐵芯1-111的線膨脹係數以下。另外，同樣地，補強構件1-150,1-160及樹脂1-171,1-172的線膨脹係數，較佳係設為支架本體1-141的線膨脹係數以下，但是，通常支架本體1-141的線膨脹係數為定子鐵芯1-111的線膨脹係數以上。因此，補強構件1-150,1-160及樹脂1-171,1-172的線膨脹係數只要在定子鐵芯1-111的線膨脹係數以下，通常亦滿足支架本體1-141的線膨脹係數以下。

根據該電動機1-100，藉由上述各種構成補強密封外殼1-130之軀體部1-131的機械性強度，相應地，藉此能夠薄化軀體部1-131的厚度。因此，提升電動機1-100的特性。此外，藉由將密封外殼1-130之閉塞部1-132的厚度設為比軀體部1-131更厚，能夠確保閉塞部1-132所須之機械性強度。

該電動機1-100之密封外殼1-130亦能夠藉由射出成形來良好地製造。在射出成形中，為了使樹脂順暢地流通於模具的模穴(cavity)內，成形品的厚度較佳為有某種程度的一致性。因此，密封外殼1-130也能夠以下 述方式製造。亦即，首先以閉塞部1-132的厚度將軀體部1-131、閉塞部1-132及開口部1-133射出成形，之後，也能夠藉由切削加工等將軀體部1-131及開口部1-133予以薄壁化。此外，在射出成形方面，用以在成形後順暢地脫模，而於成形品設置些許的斜角。如上述，在藉由切削加工等將軀體部1-131及開口部1-133予以薄壁化時，也能夠以不產生該斜角的方式加工。如此一來，能夠藉由接合劑而容易接合軀體部1-131、定子鐵芯1-111及補強構件1-150,1-160。

1-B. 實施例1-B：

第3(A)圖及第3(B)圖係顯示作為實施例1-B之真空泵的密封外殼1-230的構成。作為實施例1-B的真空泵，係僅密封外殼之構成的一部分與實施例1-A不同，其他點係與實施例1-A共通。因此，在以下內容中，關於密封外殼1-230係僅就與實施例1-A的不同點進行說明。第3(A)圖係為密封外殼1-230的部分剖面圖。第3(B)圖係為從連結側S2觀察密封外殼1-230的圖。

密封外殼1-230與實施例1-A同樣地具備軀體部1-231、閉塞部1-232與開口部1-233。閉塞部1-232在與軀體部1-231之連接側的端部中帶有些許的圓角。在閉塞部1-232的內面，肋部1-234從軀體部1-231之外方側S1的端部朝向閉塞部1-232之中心部的附近散布形成在周方向。肋部1-234以從軀體部1-231之外方側S1的端部開始一面逐漸地縮小厚度，一面靠近閉 塞部1-232之中心部的附近之方式來形成。因此，肋部1-234不會與密封外殼1-230之閉塞部1-232附近之內部空間之中之配置在旋轉中心軸線AR附近的空間之螺栓等轉子1-30的安裝構件干涉。

根據該構成，能夠提高閉塞部1-232的強度。而且，相應地，藉此也能夠縮小閉塞部1-232的厚度。因此，如上所述，在藉由射出成形製造了整體具有閉塞部1-232之厚度的成形品之後進行切削加工以製造密封外殼1-230時，能夠縮小射出成形之成形品的厚度，結果，能減少切削加工量。

此外，根據該構成，在形成有肋部1-234之部位的剖面中，內徑從連結側S2朝向外方側S1縮小直徑，因此，相應地，也能縮小密封外殼1-230內部的空間，亦即縮小達肋部1-234的容積量。結果，在使真空泵1-20驅動時之在密封外殼1-230內部與真空泵1-20之間的氣體移動量會減少。亦即，通過設置在密封外殼1-230之內部空間與真空泵1-20的外罩1-40之內部空間之間之軸承1-51的氣體量會減少。因此，能夠抑制潤滑劑隨著氣體移動的減少，且能夠減少真空泵1-20之維持管理的負擔。

進而，在射出成形方面，會在成形後脫模時將成形品留在內模。根據密封外殼1-230，在藉由射出成形製造密封外殼1-230時，係藉由在密封外殼1-230形成肋部1-234，而使成形品容易卡合在內模，結果，會 變得容易製造密封外殼1-230。

1-C. 實施例1-C

第4圖係為顯示作為實施例1-C之真空泵的密封外殼1-330之構成的部分剖面圖。如圖示，密封外殼1-330之閉塞部1-332係具有中央部從連結側S2朝向外方側S1凸起之圓頂形狀。閉塞部1-332的內面具有追隨外面的形狀。根據該密封外殼1-330，能夠進一步提升閉塞部1-332的機械性強度。而且，閉塞部1-332的內徑係從連結側S2朝向外方側S1縮小直徑，因此，能夠達成與實施例1-B同樣的效果。當然，也能夠與實施例1-B同樣地在密封外殼1-330形成肋部。

1-D. 實施例1-D

第5圖係為顯示作為實施例1-D之真空泵的密封外殼1-430與定子鐵芯1-411之接合構成的剖面圖。如圖示，在本實施例中，密封外殼1-430係藉由接合劑1-481而透過形成在密封外殼1-430之外表面的打底層1-482與定子鐵芯1-411接合。亦即，在密封外殼1-430的外表面形成有打底層1-482，且該打底層1-482藉由接合劑1-481而接合於定子鐵芯1-411。在本實施例中，打底層1-482雖僅形成在密封外殼1-430的外表面之中之與定子鐵芯1-411之接合區域，但也能夠形成為遍及於密封外殼1-430的外表面整體。

打底層1-482能夠藉由與接合劑1-481的親和性比密封外殼1-430高的各種非導電性材料來形 成。作為此種非導電性材料，例如能夠使用聚亞醯氨(polyimide)及交聯成分。打底層1-482能夠藉由膏狀(paste)材料的塗布來形成，也能夠藉由鍍覆或披覆(coating)等來形成。

根據該構成，即使在密封外殼1-130以與接合劑1-481的親和性較低的材料，例如以PPS等工程塑膠(engineering plastic)來形成時，仍然能夠提升定子鐵芯1-411與密封外殼1-430之機械性強度，因此，定子鐵芯1-411能夠良好地補強密封外殼1-430之機械性強度。結果，能夠減少密封外殼1-430之厚度。

進而，打底層1-482也能夠藉由抗拉強度比密封外殼1-430大的非導電性材料來形成。以此種材料而言，例如，也能夠使用Al₂O₃等陶瓷。此時，也能夠將陶瓷熔射於密封外殼1-430的表面而形成打底層1-482。根據該構成，能夠補強經薄壁化之密封外殼1-430的強度。

雖省略圖示，但也能夠加上前述之實施例1-D的構成，或取而代之，密封外殼1-430藉由接合劑1-481而透過打底層1-482與補強構件1-150,1-160(參照實施例1-A)接合。根據該構成，因提升了補強構件1-150,1-160與密封外殼1-430的接合強度，因此，補強構件1-150,1-160能夠更進一步補強密封外殼的機械性強度，且能夠更進一步減少密封外殼1-430的厚度。

1-E. 實施例1-E

第6圖係為顯示作為實施例1-E之真空泵的密封外殼1-530與定子鐵芯1-511之接合構成的剖面圖。第6圖顯示與旋轉中心軸線AR正交之剖面。如圖示，定子鐵芯1-511具備朝向定子鐵芯1-511之中心突出之複數個齒部1-515。線圈1-512集中繞組於複數個齒部1-515。在複數個齒部1-515之內周側的端部間形成有空間1-516。該空間1-516之各者配置有與其兩側之齒部1-515卡合之非導電性的構件1-585。

構件1-585具有楔形，且以閉塞空間1-516的方式***至定子鐵芯1-511之內部。在本實施例中，構件1-585藉由玻璃環氧(glass epoxy)樹脂形成。根據該構成，密封外殼1-530、與定子鐵芯1-511之齒部1-515係藉由接合劑1-581來接合。進而，在空間1-516之中，密封外殼1-530與構件1-585係藉由接合劑1-581來接合。因構件1-585與齒部1-515卡合，故密封外殼1-530與構件1-585之接合，係有助於密封外殼1-530與定子鐵芯1-511之接合強度的提升。如此，接合劑1-581的面積變大，藉此，提升密封外殼1-530與定子鐵芯1-511之接合強度，且定子鐵芯1-511能夠更進一步補強密封外殼1-530的機械性強度。結果，能夠更進一步減少密封外殼1-530的厚度。

也能夠將樹脂充填至空間1-516來形成構件1-585。此外，充填的樹脂也能夠是接合劑。此時，接合劑較佳為具有能夠承受電動機1-100之使用溫度的耐 熱性。此外，接合劑的接合強度較佳為1kg/cm²(0.098Mpa)以上。該等點在接合劑1-581亦相同。

1-F. 變化例1-F：

1-F-1. 變化例1-F-1：

在實施例1-B或實施例1-C所示之密封外殼的閉塞部的內徑，其從連結側S2朝向外方側S1而縮小直徑的形狀並不限於上述例子，係能夠設為各種形狀。例如，閉塞部的形狀能夠設為圓錐形、截頭圓錐形、凸形等。該種情況，肋部也能夠形成在閉塞部的外面側。當然，肋部也能夠形成在閉塞部的內面與外面之雙方。

1-F-2. 變化例1-F-2：

密封外殼1-130之軀體部1-131並不限於其整體薄壁化的形狀，也能夠是僅整體的一部分為薄壁化。例如，也能夠僅軀體部1-131之中之與定子鐵芯1-111抵接的部分薄壁化。該種形狀的密封外殼也能夠在射出成形後藉由進行切削加工來製造。

2. 第2實施形態群

本發明之一實施形態係提供一種連結於真空泵且作為真空泵之旋轉驅動源使用之密封電動機。該密封電動機具備：定子鐵芯；轉子，係配置在定子鐵芯之內側；及樹脂製的密封外殼，係配置在定子鐵芯與轉子之間，且隔離定子鐵芯與轉子。密封外殼具有朝轉子的旋轉中心軸線方向延伸之中空形狀的軀體部。軀體部之外徑側的面及內徑側的面之至少一方，係為在旋轉中心軸線方向與定子鐵芯相 對向之相對向範圍之中之至少一部分範圍的相對於旋轉中心軸線的傾斜未達0.5度的大致水平狀。

在以射出成形製造樹脂製的密封外殼時，係用以在成形後順暢地脫模，而在成形品形成些許的斜角。根據上述形態之密封電動機，係減少該密封外殼的斜角，故能夠將密封外殼、與定子鐵芯及轉子之至少一方配置成更為平行。因此，能夠減少定子與轉子的隔離距離。結果，能夠提升電動機特性。

在本發明的一實施形態中，密封外殼也能夠是相對向範圍的厚度比其他部位的厚度小。根據該實施形態，因為相對向範圍的厚度比其他部位的厚度小，故能夠更進一步減少定子與轉子的隔離距離。在相對向範圍中，密封外殼的機械性強度，係藉由定子鐵芯補強，其他部位係藉由本身的厚度來良好地確保機械性強度，故能夠確保密封外殼整體的機械性強度。

在本發明的一實施形態中，密封外殼也能夠是：在旋轉中心軸線方向之中之第1側，從相對向範圍來看，內徑側的壁厚比相對向範圍大，而在與第1方向成相反側的第2側，從相對向範圍來看，外徑側的壁厚比相對向範圍大。根據該實施形態，藉由射出成形製造具備與軀體部對應之部位的成形品，之後，藉由加工成形品減少加工部位之成形品的厚度，在製造密封外殼時，能抑制加工量而進行有效率的加工。

本發明之一實施形態係提供一種真空泵。 該真空泵也能夠具備上述形態的任一種密封電動機。

本發明之一實施形態係提供一種具有朝預定方向延伸之中空形狀的軀體部之密封電動機用之密封外殼的製造方法。該密封外殼的製造方法係包括：射出成形步驟，係藉由射出成形製造具備與軀體部對應之部位的成形品；及加工步驟，係將成形品之中之外徑側的面及內徑側的面的至少一方予以加工，藉此減少至少一方的面相對於預定方向的傾斜，以製造密封外殼。根據該形態，能夠良好地製造上述形態之密封電動機所具備之密封外殼。

在本發明之一實施形態中，加工步驟也能夠包含減少至少一方的面相對於預定方向之傾斜的步驟。再者，在加工步驟中，在成形品的第1側，也能夠加工成形品之內徑側的面而減少該加工部位的厚度。此外，在成形品的第2側，也能夠加工成形品之外徑側的面而減少該加工部位的厚度。根據該實施形態，能夠良好地製造密封外殼，該密封外殼係為在旋轉中心軸線方向之中之第1側，從相對向範圍來看，內徑側的壁厚比相對向範圍大，而在與第1方向成相反側的第2側，從相對向範圍來看，外徑側的壁厚比相對向範圍大。

本發明之一實施形態係具備上述的射出成形步驟。此外，也能夠取代上述形態之加工步驟而具備下述步驟：藉由將成形品中的外徑側的面及內徑側的面之中之至少一方的面予以加工，以減少加工部位之成形品的厚度。根據該實施形態，比起僅藉由射出成形來製造密封外 殼的情況，能夠使密封外殼形狀的自由度變大。上述各種實施形態能夠進行任意的組合。

再者，本發明之一實施形態係提供一種密封電動機。該密封電動機具備：定子鐵芯；轉子，係配置在定子鐵芯之內側；及樹脂製的密封外殼，係配置在定子鐵芯與轉子之間，且隔離定子鐵芯與轉子。密封外殼具有朝轉子的旋轉中心軸線方向延伸之中空形狀的軀體部。軀體部之外徑側的面及內徑側的面之至少一方，係為在旋轉中心軸線方向與定子鐵芯相對向之相對向範圍之中之最少一部分範圍的相對於旋轉中心線的傾斜未達0.5度的大致水平狀。該實施形態的密封電動機能夠應用於各種泵。例如，該實施形態之密封電動機能夠應用於液體泵、或屬於廣義氣體泵之一種的送風機。此外，該實施形態之密封電動機能夠與應用於真空泵而得到之上述各種實施形態進行任意的組合。以下，就本發明的第2實施形態群，例示更詳細的實施形態進行說明。在以下內容中，雖以真空泵為例進行說明，但以下所說明之實施形態係如上所述，並不限於真空泵。

2-A. 實施例2-A：

在實施例2-A中，真空泵1-20的整體構成係為與上述之實施例1-A同樣。因此，在以下內容中，係以與實施例1-A的不同點為主進行說明。第7圖顯示旋轉驅動轉子2-30的電動機2-100的概略構成。在以下的說明中，關於電動機100，係將在旋轉中心軸線AR方向之中之 與真空泵20(更具體而言，係轉子30)連結之側也稱為連結側S2，將連結側S2之相反側也稱為外方側S1。如第7圖所示，電動機2-100係具備定子2-110、轉子2-120、密封外殼2-130、及定子支架2-140。

定子支架2-140係具備支架本體2-141、及側板2-142。支架本體2-141係具有沿著旋轉中心軸線AR形成有內部空間的圓筒形狀。支架本體2-141係具備突出部2-146。突出部2-146係為從支架本體2-141的內面朝內側突出的部位，且在支架本體2-141之連結側S2的端部附近，以旋轉中心軸線AR為中心而形成為環狀。突出部2-146的突出長度，係形成為與開口部2-133從軀體部2-131(詳細後述)突出的突出長度大致相等。側板2-142係具有圓板形狀，且封閉支架本體2-141之外方側S1的開口。在支架本體2-141之外方側S1的端面形成有凹部2-145，並在該凹部2-145配置有O型環2-153。O型環2-153係在支架本體2-141與側板2-142之間朝旋轉中心軸線AR方向被壓縮，且密封定子支架2-140的內部與外部之間。另外，側板2-142藉由螺栓(省略圖示)安裝在支架本體2-141。該定子支架2-140係例如能夠以鐵或鋁形成。定子2-110、轉子2-120及密封外殼2-130係收容於該定子支架2-140的內部空間。

定子2-110係具有在定子鐵芯2-111裝設有線圈的構成。在定子2-110之旋轉中心軸線AR方向的兩端，線圈部2-112,2-113係朝向定子鐵芯2-111的外 方突出。藉由定子鐵芯2-111嵌入到定子支架2-140之支架本體2-141的內部，定子2-110以與旋轉中心軸線AR同心的方式固定到定子支架2-140。定子鐵芯2-111例如能夠積層矽鋼板來形成。轉子2-120在定子2-110的內部以與旋轉中心軸線AR同心的方式配置，並直接連結到真空泵2-20之轉子2-30的泵主軸2-34。

在該定子2-110與轉子2-120之間，設有密封外殼2-130。密封外殼2-130隔離定子2-110與轉子2-120。該密封外殼2-130具備軀體部2-131、閉塞部2-132、及開口部2-133。

軀體部2-131具有大致圓筒形狀，且以與旋轉中心軸線AR同心的方式配置。該軀體部2-131具有外方側S1的第1軀體部2-134、及連結側S2的第2軀體部2-135。第1軀體部2-134係以與定子鐵芯2-111的內面相對向的方式，延伸而形成在旋轉中心軸線AR方向中定子鐵芯2-111的設置範圍之整體。將軀體部2-131之中之與定子鐵芯2-111相對向之範圍也稱為相對向範圍FR。

第2軀體部2-135形成在比相對向範圍FR更靠近連結側S2。第2軀體部2-135的厚度比第1軀體部2-134的厚度大。具體而言，第2軀體部2-135係外徑側的壁厚比第1軀體部2-134大。亦即，在與旋轉中心軸線AR正交的方向中，第2軀體部2-135的內面係位於與第1軀體部2-134相同的位置，但第2軀體部2-135 的外面位在比第1軀體部2-134的外面更靠近外側。結果，第2軀體部2-135的外徑變得比第1軀體部2-134的外徑更大。該第2軀體部2-135之外方側S1的端面，係抵接於定子鐵芯2-111之連結側S2的端面。

閉塞部2-132係為密封外殼2-130之外方側S1的端面，且在軀體部2-131之外方側S1的端部封閉軀體部2-131的內部空間。在本實施例中，閉塞部2-132係具有外徑及內徑從連結側S2朝向外方側S1變小的形狀。該閉塞部2-132的厚度係比第1軀體部2-134的厚度大。具體而言，閉塞部2-132係內徑側的壁厚比第1軀體部2-134大。亦即，閉塞部2-132的外面在第1軀體部2-134的附近，係在與旋轉中心軸線AR正交的方向中位於與第1軀體部2-134大致相同的位置，但閉塞部2-132的內面係位在比第1軀體部2-134的內面更靠近內側。

開口部2-133係為密封外殼2-130之連結側S2的端部，且形成密封外殼2-130之連結側S2的開口。在本實施例中，開口部12-33具有其外徑形成為比軀體部2-131之外徑大的凸緣形狀。開口部2-133之外方側S1的端面，係與突出部2-146之連結側S2的端面抵接。藉由該抵接關係與上述之第2軀體部2-135及定子鐵芯2-111的抵接關係而定位密封外殼2-130之旋轉中心軸線AR方向之位置。

該密封外殼2-130由樹脂形成，軀體部 2-131、閉塞部2-132及開口部2-133係一體形成。在本實施例中，密封外殼1-130的材質為PPS(polyphenylene sulfide，聚苯硫)樹脂。

在該密封外殼1302-中，閉塞部2-132及第2軀體部2-135的厚度係以具有能夠承受真空泵2-20運轉時之壓力變動之機械性強度的厚度來形成。該等構件的厚度通常根據記載於JIS B8267等之壓力容器計算方法來設定，且為1.5至2.0mm左右。在本實施例中，開口部2-133的厚度(旋轉中心軸線AR方向的厚度)，係與第2軀體部2-135的厚度大致相同。如此一來，在利用射出成形製造密封外殼2-130時，因為樹脂能夠順暢地流通於模穴內，故容易進行製造。

另一方面，第1軀體部2-134的厚度形成為比閉塞部2-132及第2軀體部2-135的厚度小。第1軀體部2-134的厚度例如能夠設為0.5mm至1.0mm。如此，藉由將第1軀體部2-134薄壁化，定子鐵芯2-111與轉子2-120的隔離距離會變小，因此而提升電動機2-100的電動機特性。

該第1軀體部2-134的外面2-134a及內面2-134b，係以相對於旋轉中心軸線AR的傾斜成為0.5°以下之大致水平狀的方式形成而遍及相對向範圍FR之整體。樹脂製的密封外殼通常藉由射出成形製造。此外，在射出成形方面，為了在成形後能夠順暢地脫模，係在模具設有些許的斜角。該斜角係稱為拔模角，通常為1至2°。 因此，在成形品亦形成有斜角。從以上說明也能瞭解，第1軀體部2-134的外面2-134a及內面2-134b，其起因於拔模角所產生的傾斜係較為減少。該軀體部2-131的形狀，係藉由後述之密封外殼2-130的製造方法來實現。

該傾斜係較小為佳。例如，較佳為該傾斜設為0.3°以下，更佳為設為0.2°以下，設為0°尤佳。在本實施例中，外面2-134a及內面2-134b的傾斜係為0°。亦即，外面2-134a及內面2-134b與旋轉中心軸線AR成為正確地平行。在本實施例中，第2軀體部2-135的外面及內面，其相對於旋轉中心軸線AR的傾斜亦成為0°。

該密封外殼2-130係以定子鐵芯2-111、及第1軀體部2-134在周方向抵接的方式安裝。由於第1軀體部2-134的外面2-134a相對於旋轉中心軸線AR並未具有傾斜，故定子鐵芯2-111與第1軀體部2-134能夠遍及相對向範圍FR的整體確實地密著。換言之，起因於該傾斜而產生在定子鐵芯2-111與外面2-134a之間的局部性間隙，會減少達到外面2-134a相對於旋轉中心軸線AR之傾斜所減少的量。因此，比起外面2-134a相對於旋轉中心軸線AR具有傾斜的情形，能夠減少定子鐵芯2-111與轉子2-120的隔離距離。此外，如上所述，雖然第1軀體部2-134比閉塞部2-132及第2軀體部2-135薄壁化，但因為定子鐵芯2-111與第1軀體部2-134確實地密著而遍及相對向範圍FR的整體，故仍能夠藉由定子鐵芯2-111補強第1軀體部2-134的機械性強度。

此外，由於第1軀體部2-134的內面2-134b相對於旋轉中心軸線AR並未具有傾斜，故內面2-134b與轉子2-120的隔離距離在旋轉中心軸線AR方向之任意位置成為固定。內面2-134b與轉子2-120為了避免彼此的干涉而必須確保預定的距離，因此在內面2-134b相對於旋轉中心軸線AR具有傾斜的情況，為了避免干涉，會局部性產生具有最低限度的必要隔離距離之部位。另一方面，根據第1軀體部2-134，比起相對於旋轉中心軸線AR具有傾斜的情況，定子鐵芯2-111與轉子2-120的隔離距離能夠減少達到該傾斜所減少的量。

進一步，在本實施例中，定子鐵芯2-111與第1軀體部2-134係藉由接合劑接合在該等構件的抵接部位。如此，因為定子鐵芯2-111與第1軀體部2-134藉由接合劑接合，藉此，定子鐵芯2-111與第1軀體部2-134成為一體形成之狀態。因此，定子鐵芯2-111能夠更進一步補強第1軀體部2-134的機械性強度。另外，考慮到真空泵2-20運轉時的耐熱性，接合劑也能夠使用耐熱性接合劑，例如矽系或環氧系等。

上述之密封外殼2-130能夠依以下之方式製造。首先，藉由射出成形製造具備與軀體部2-131、閉塞部2-132及開口部2-133對應之部位的成形品PM。接著，加工成形品PM之中之外徑側的面及內徑側的面，藉此減少該加工部位中成形品PM的厚度，以製造密封外殼2-130。根據該製造順序，不會受限於射出成形所導致之 形狀限制，而能夠增大密封外殼形狀之自由度。以下，對於成形品PM之加工詳加說明。

第8圖係顯示密封外殼的製造方法，更具體而言，係顯示成形品PM的加工方法。在第8圖中，僅顯示成形品PM一半的剖面。在與成形品PM的第1軀體部2-134對應的部位形成有上面2-211與下面2-221。上面2-211與下面2-221具有起因於拔模角而相對於旋轉中心軸線AR1至2°左右的傾斜。

在本實施例中，係加工該成形品PM之中之上面2-211側與下面2-221側雙方。具體而言，藉由切削加工成形品PM之中之上面2-211側的上面側部位2-210來形成與旋轉中心軸線AR平行的外面2-134a。在本實施例中，切削部位係為外方側S1之部位，亦即與第1軀體部2-134及閉塞部2-132對應的部位。但是，切削部位只要包含與第1軀體部2-134對應的部位即可，能夠省略其他部位的切削。

同樣地，藉由切削加工成形品PM之中之下面2-221側的下面側部位2-220來形成與旋轉中心軸線AR平行的內面2-134b。在本實施例中，切削部位係為連結側S2之部位，亦即與第1軀體部2-134、第2軀體部2-135及閉塞部2-133對應的部位。但是，切削部位只要包含與第1軀體部2-134對應的部位即可，能夠省略其他部位的切削。

在本實施例中，該切削加工係藉由車削加 工進行。但是，成形品PM的加工手法並未限制於特定方法，只要是能夠減少成形品PM之所須部位的厚度而形成所須形狀的方法即可。例如，加工手法能夠是研磨加工、拋光加工、蝕刻(etching)、或該等之組合。

根據該等製造方法，能夠良好地製造上述之密封外殼2-130。此外，關於成形品PM之上面2-211側，係僅加工外方側S1，關於下面2-221側，係僅加工連結側S2，因此，比起製造整體具有所須量以上之厚度的成形品PM而加工該成形品PM的情況，係在加工上沒有浪費且有效率。

2-B. 變化例：

2-B-1. 變化例2-B-1：

也能夠是僅有密封外殼2-130之第1軀體部2-134的外面2-134a及內面2-134b之中之一方相對於旋轉中心軸線AR具有0.7°以下的傾斜。此時，也能夠僅加工成形品PM之中之上面2-211側及下面2-221側之中之一方側。即使如此，與習知之構成相比，仍能達成一定程度的上述效果。

2-B-2. 變化例2-B-2：

也能夠僅第1軀體部2-134的相對向範圍FR之中之一部分的部位相對於旋轉中心軸線AR具有0.5°以下的傾斜。即使如此，與習知之構成相比，仍能達成一定程度的上述效果。

2-B-3. 變化例2-B-3：

相對向範圍FR未必一定要薄壁化，也能夠具有與閉塞部2-132、或第2軀體部2-135相同程度的厚度。此時，為了減少第1軀體部2-134之外面2-134a及內面2-134b相對於旋轉中心軸線AR的傾斜，也能夠對於成形品PM進行必要之最低限度的加工。

2-B-4. 變化例2-B-4：

密封外殼2-130未必一定要具有在外方側S1封閉的形狀。例如，也能夠是第1軀體部2-134朝外方側S1延伸而形成，且氣密性抵接於側板2-142。此時，從相對向範圍FR來看，外方側S1之第1軀體部2-134的厚度也能夠比相對向範圍FR的厚度大。

3. 第3實施形態群：

本發明之一實施形態，係提供一種定子與轉子藉由覆蓋定子之內周部的圓筒形樹脂間隔壁來隔離之使用於真空泵之旋轉驅動之密封電動機，該密封電動機係間隔壁的外周部形成有與定子的磁極齒部在徑方向囓合的囓合部。根據該構成，間隔壁的外周部係間隔壁的外周部形成有與定子的磁極齒部在徑方向囓合的囓合部。因此，能夠在定子側局部性地支撐真空泵運轉時作用於間隔壁之朝徑方向內側的壓縮力。因此，比起習知的構成，能夠顯著地減少間隔壁的壁厚，藉此，能夠使定子與轉子之間的空隙而使電動機效率提升。

在本發明之一實施形態中，囓合部以與磁極齒部密著的方式具備相對於磁極齒部互補的剖面形狀， 囓合部也能夠形成有沿著間隔壁的長度方向延伸的肋部。根據該實施形態，囓合部以與磁極齒部密著的方式具備相對於磁極齒部互補的剖面形狀，且囓合部形成有沿著間隔壁的長度方向延伸的肋部。因此，能夠使圓筒狀的間隔壁以囓合部嵌合於磁極齒部的方式容易地***至定子內，且能夠使間隔壁密著於定子。藉此，能夠使定子與轉子之間的空隙顯著地減少而使電動機效率提升。

在本發明之一實施形態中，也能夠是定子具備形成於磁極齒部之間的槽(slot)，囓合部以能夠將繞線保持在槽內的方式朝徑方向外側延伸。根據該實施形態，因囓合部以能夠將繞線保持在槽內的方式朝徑方向外側延伸，故能夠省去習知中作為另外的構件而***到槽內之繞線保持構件(換言之，間隔件(spacer))的使用。因此，能大幅地減少馬達的零件數量及組裝工時，且能夠大幅地削減電動機的製造成本。

在本發明之一實施形態中，囓合部也能夠具備在槽內朝向徑方向外側開口的凹部。根據該形態，囓合部係具備朝向徑方向外側開口的凹部。因此，不但能夠藉由囓合部維持與磁極齒部之徑方向的囓合，比起習知之平坦之矩形的繞線保持構件(換言之，間隔件)，還能夠最大限度地利用槽內的空間。因此，例如能夠使在槽內能夠收容的匝數增多，藉此使電動機效率顯著地提升。

本發明之一實施形態係提供具備上述形態之任一種密封電動機的真空泵。

本發明之一實施形態能夠提供一種具備密封外殼構件的密封電動機，該密封外殼構件即使在轉子室於減壓環境下使用，且密封外殼構件於運轉時承受大的壓縮力的情況，仍然不用增大密封外殼構件的壁厚，且亦不會有相對於壓縮力變形之虞。

此外，根據本發明之一實施形態，能夠提供一種藉由將定子與轉子間的磁隙設為最小限以使電動機效率顯著提升的密封電動機。

此外，根據本發明之一實施形態，能夠提供一種能夠大幅地減少零件數量及組裝時間的密封電動機。

此外，根據本發明之一實施形態，能夠提供一種最大限度地利用定子之槽內的空間，且使電動機效率顯著地提升之密封電動機。

此外，根據本發明之一實施形態，能夠提供一種具備上述密封電動機之真空泵。上述各種實施形態能夠進行任意的組合。以下，就本發明之地3實施形態群例示更詳細的實施形態進行說明。

3-A. 實施例3-A：

第9圖係為顯示間隔壁3-18-1之構成的詳細內容的立體圖。間隔壁3-18-1係為相當於上述實施例1-A之密封外殼1-130的構成。間隔壁3-18-2(參照第11圖)具有與間隔壁3-18-1同樣的構成，故在第9圖僅顯示間隔壁3-18-1。如第9圖所示，間隔壁3-18-1具備實 質上圓筒形的軀體部3-181，且軀體部3-181之長度方向的一端部3-182係為閉鎖，另一端部3-183係有開口。在開口端3-183的周緣形成有環狀凸緣部3-184，環狀凸緣部3-184透過未圖示之螺栓等在泵罩殼(pump casing)(相當於第1圖之外罩1-40)側固定為密封狀態。軀體部3-181的外周面具備朝間隔壁3-18-1之長度方向延伸的肋部，該肋部係藉由後述之囓合部形成。

另外，在第9圖所示之例中，間隔壁3-18-1係一體成形為在其長度方向中與環狀凸緣部3-184相反側之端部3-182經閉鎖的有底圓筒狀。但是，間隔壁3-18-1也能夠具備與環狀凸緣部3-184相反側之端部有開口的形態。第10圖顯示具備該種開口端3-182’的間隔壁3-18-1’之例。此時，另外的閉鎖構件以密封狀態固定於開口端3-182’。

第11圖係為電動機部分M(相當於第1圖之電動機1-100)之徑方向的剖面圖。在該圖中係顯示垂直於電動機M的剖面，且亦圖示有在其他實施例中省略圖示之電動機的冷卻配管及安裝部。電動機M係構成為在直接連結於泵P的主軸之各自的電動機轉子的軸3-16’-1、3-16’-2環繞設置有永久磁鐵3-19，且在其外周設置定子3-11而使間隔壁3-18-1、3-18-2介在於其間。定子3-11係具備：定子鐵芯3-22；朝定子鐵芯3-22的徑方向內側延伸之複數個磁極齒部3-20；及以在形成於磁極齒部3-20間的槽3-30內捲繞磁極齒部3-20的方 式配置之繞線3-21。為了增大與永久磁鐵3-19相對向之表面積，各磁極齒部3-20的前端部實質上相對於永久磁鐵3-19平行地(換言之，周方向地)延伸，形成有延長部(換言之，擴張部)3-20-2。延長部3-20-2具有比從定子鐵芯3-22大致直線狀地延伸之磁極基部3-20-1更大的剖面積(參照第12圖)。

磁極齒部3-20係以在繞線3-21通電時於兩電動機轉子3-16-1、3-16-2間的中心軸C中位在對稱的位置且形成相反的磁極的方式，進行同步而構成反轉之直流無刷電動機。另外，在本實施形態中，電動機M係使用2軸型無刷直流電動機，但在其他實施形態中，也能夠使用1軸型無刷直流電動機。此外，本實施形態所應用之電動機，只要是屬於電動機則並無特別限制。

此外，本實施形態雖然良好地應用於真空泵，惟本說明書中所謂「真空泵」之用語，係指在泵罩殼內於運轉時相對於泵周圍經減壓之狀態下所使用的泵。亦即，所謂「真空」，係包含相對性真空，並非僅指絕對真空。此外，本時形態也能夠應用於真空泵以外的泵。

接著，參照第12圖及第13圖，就間隔壁3-18-1的形態詳細地說明。第12圖係為第11圖的部分放大圖，且繞線3-21係省略圖示。第13圖係單獨顯示間隔壁3-18-1的圖，且為橫切過間隔壁3-18-1之軀體部3-181之長度方向的部分剖面圖。

參照第12圖，如同上述，定子3-11之各 磁極齒部3-20的前端部係以使相對向於永久磁鐵3-19之表面積增大的方式，實質上相對於永久磁鐵3-19平行地(換言之，周方向地)延伸，形成具有比磁極基部3-20-1大的剖面積之延長部3-20-2。在磁極齒部3-20之間形成收容繞線3-21(省略圖示)的槽3-30。另一方面，間隔壁3-18-1的外周部係以在各槽3-30內形成有在徑方向與磁極齒部3-20相互囓合之囓合部的方式構成。具體而言，在間隔壁3-18-1的軀體部3-181，係與槽3-30對應而形成有朝間隔壁3-18-1之徑方向外側突出之突起部3-185。如第12圖所示，各突起部3-185係以間隔壁3-18-1之外周部與磁極齒部3-20之前端部嵌合的方式(換言之，以間隔壁3-18-1之外周部與磁極齒部3-20之前端部密著的方式)，具備有相對於磁極齒部3-20的前端部互補的剖面形狀。具體而言，如第13圖的剖面圖所示，突起部3-185係具備從軀體部3-181朝徑方向突出之寬度(換言之，周方向尺寸)小的基部3-185-1、及從基部3-185-1的前端朝軀體部3-181的周方向伸長之寬度大的延長部(換言之，擴張部)3-185-2。延長部3-185-2係以在徑方向與磁極齒部3-20的延長部3-20-2囓合的方式，具有：在槽3-30內於徑方向與延長部3-20-2相對向而配置之囓合面3-185-3；及配置在與定子鐵芯3-22相對向之方向之平坦的前端面3-185-4。藉由各突起部3-185及位在各突起部3-185間之軀體部3-181的外表面，形成能夠供磁極齒部3-20的前端部嵌入的溝 3-186。如此，在本實施形態中，藉由間隔壁3-18-1之各突起部3-185及位在各突起部3-185間之軀體部3-181的外表面形成囓合部。

當藉由上述構成之密封電動機M旋轉驅動泵P時，泵罩殼3-3及轉子室3-17-1、3-17-2內形成有真空區域，在區劃出轉子室3-17-1、3-17-2之間隔壁3-18-1、3-18-2，會因為電動機M周圍之大氣壓與真空區域之壓力的差壓而作用有如第12圖所示之徑方向之大的壓縮力F(換言之，作用有朝轉子室3-17-1、3-17-2內側之大的拉力)。但是，在本實施形態中，因間隔壁3-18-1、3-18-2的外周部形成有具有在徑方向與定子3-11之磁極齒部3-20囓合之囓合面3-185-3的囓合部，故能夠藉由定子3-11來支撐泵運轉時所產生的徑方向之壓縮力的一部分。亦即，在上述實施形態中，壓縮力的一部分係透過囓合面3-185-3而藉由定子3-11來支撐，故不必如同習知的方式以間隔壁3-18-1、3-18-2支撐全部的壓縮力。因此，即使將間隔壁3-18-1、3-18-2形成為比習知更薄，也不會有間隔壁3-18-1、3-18-2因為壓縮力而朝內側彎曲變形之虞。因此，能夠比習知大幅地縮小位在磁隙內之間隔壁3-18-1、3-18-2的厚度，藉此，能夠使磁隙成為最小限度而改善電動機特性。

此外，如上述實施形態所示，包含囓合部之囓合面3-185-3的剖面形狀，較佳係相對於磁極齒部 3-20的前端部為互補的剖面形狀，此外，如第9圖及第10圖所示，囓合部係較佳為朝間隔壁3-18-1、3-18-2之長度方向整體延伸而形成肋部。藉此，在電動機M組裝時，能夠以間隔壁3-18-1、3-18-2的外周部嵌合於磁極齒部3-20的前端部的方式，使間隔壁3-18-1、3-18-2沿著肋部而容易地***定子3-11內，且使間隔壁3-18-1、3-18-2容易地密著於定子3-11。因此，能夠將定子與轉子間的空隙設為最小限度。本實施形態在這一點也能夠有利地應用於真空泵以外的泵。另外，在其他實施形態中，形成有囓合部的肋部也能夠不像第9圖、第10圖所示般連續延伸而遍及於間隔壁3-18-1(3-18-2)的全長。或者，該肋部也能夠斷斷續續地延伸而遍及於複數個區段。此外，也能夠延伸而遍及於間隔壁3-18-1(3-18-2)的全長的一部分。

再者，在本實施形態中，將囓合部形成為預定的徑方向尺寸，藉此也能夠使囓合部作為用以將繞線保持在槽3-30內的繞線保持部而發揮功能。以往，為了將繞線保持在定子的槽內，係使用稱為「間隔件」之另外的繞線保持構件。繞線保持構件通常為將作為非金屬性材料的樹脂材料加工成矩形的構件，且***至每個槽而以不鬆開的方式將繞線保持在槽內。繞線在電動機完成後藉由對槽內充填樹脂來固定，間隔件係在到樹脂充填為止的步驟之間保持繞線而為必須。在其他實施形態中，例如，也能夠使上述實施形態之突起部3-185的延長部3-185-2 具備預定的厚度，藉此取代習知之間隔件而將延長部3-185-2作為繞線保持部發揮功能。延長部3-185-2係為配置在槽3-30內的部分，並非為位在磁隙內的部分，因此，即使增加延長部3-185-2的厚度，也不會對電動機效率有影響。藉由該構成，不須使用另外的繞線保持構件，因此，能夠大幅地減少密封電動機的零件數量及組裝工時。

另外，在上述實施形態中，突起部3-185係剖面形成為大致T字形，但其係因為本實施形態之磁極齒部3-20之前端部的剖面形狀形成為大致倒T字形，構成囓合部之突起部的剖面形狀能夠隨對應之磁極齒部3-20之前端部的剖面形狀變更。在第14圖顯示具有其他剖面形狀之突起部3-185’的例子。在該例中，磁極齒部3-20之前端部形成為具備大致三角形之剖面形狀的延長部3-20-2’。因此，突起部3-185’包含倒三角形的部分，該倒三角形的部分具備：與延長部3-20-2’之大致三角形的斜邊囓合之囓合面3-185’-3；及與定子鐵芯3-22相對向配置之平坦的前端面3-185’-4。與第12圖及第13圖所示之實施形態同樣地，能夠透過囓合面3-185’-3將作用於間隔壁3-18-1、3-18-2之壓縮方向的力的一部分支撐在定子11。再者，突起部3-185’具備朝徑方向外側延伸之繞線保持部3-187，以便能夠將繞線(省略圖示)保持在槽3-30內。

第15圖至第17圖係顯示囓合部的剖面形狀 之另一例。在上述實施形態中，突起部3-185、3-185’的前端面3-185-4、3-185-4’係形成為平坦面，但在第15圖至第17圖的例中，囓合部具備在槽3-30內朝向徑方向外側開口之凹部(換言之，溝)。第15圖係為顯示在第13圖所示之大致T字形剖面之突起部的前端面形成有具有矩形剖面之矩形溝3-288所形成之突起部3-285的例子的圖。具體而言，在突起部3-285的前端面3-285-4之寬度方向之大致中央部形成有具有矩形剖面之矩形溝3-288。與上述實施形態同樣地，從突起部3-285的基部3-285-1的前端朝寬度方向延伸之延長部3-285-2，係具備在槽3-30內與磁極齒部3-20之延長部3-20-2相對向而配置之囓合面3-285-3，且囓合面3-285-3與延長部3-20-2在徑方向囓合，藉此能夠使壓縮方向之力的一部分支撐在定子3-11。再者，在第15圖的例中，因在前端面3-285-4形成有矩形溝3-288，故即使延長部3-285-2配置在槽3-30內，也會因為能夠最大限度地利用槽3-30內的空間作為繞線保持空間，故能夠使電動機效率提升。

第16圖係為顯示在第14圖所示之大致倒三角形剖面之突起部的前端面形成有具有倒三角形剖面之三角溝(換言之，V字溝)3-388之突起部3-385的例子的圖，第17圖係為顯示在第13圖所示之大致倒T字形剖面之突起部的前端面形成有具有圓弧狀剖面之圓弧溝3-488之突起部3-485的例子的圖。在第16圖及第17 圖所示之例中，也與第15圖所示之例同樣地在突起部3-385、3-485的前端面形成溝3-388、3-488，藉此能夠維持囓合面3-385-3、3-485-3所為之與磁極齒部3-20之徑方向的囓合，並且能夠將槽3-30內之空間最大限度地利用作為繞線保持空間，故能夠使電動機效率提升。另外，在第16圖及第17圖的例中，凹部3-388、3-488係形成在突起部3-385、3-485中前端面之寬度方向整體，但也能夠與第15圖的例子同樣地僅形成在前端面的一部分。

本實施形態能夠廣泛地應用於泵所使用之密封電動機，特別能夠良好地使用於轉子室在減壓環境下使用之真空泵。

4. 第4實施形態群

本發明之一實施形態係提供一種連結於真空泵且作為真空泵之旋轉驅動源使用之密封電動機。該密封電動機具備：定子鐵芯；轉子，係配置在定子鐵芯之內側；及密封外殼，係配置在定子鐵芯與轉子之間，且隔離定子鐵芯與轉子，該密封外殼具有：中空形狀的軀體部，係朝轉子的旋轉中心軸線方向延伸；及開口部，係形成旋轉中心軸線方向之中之屬於與真空泵直接連結之側的第1側之軀體部的開口。定子鐵芯與轉子係藉由密封外殼、及在密封外殼之開口部的外面沿著周方向配置之O型環來氣密性隔離。

根據該密封電動機，因O型環設在密封外殼之周方向的外面，故比起將O型環設在密封外殼之第2 側的端面的情況，能夠使懸伸縮短達到O型環的設置空間量。通常，真空泵以旋轉中心軸線方向成為水平方向(與垂直方向正交之方向)的方式配置、組裝。在以該配置為前提的情況，根據第1形態，因O型環裝設於水平方向的面，因此比起將O型環裝設於形成在密封外殼之第2側的端面之垂直方向的面的情況，O型環不易在真空泵的組裝中途脫落。因此，容易進行真空泵的組裝。

以本發明之一實施形態而言，密封外殼也能夠以樹脂形成。開口部也能夠形成為凸緣形狀，且凸緣形狀與旋轉中心軸線正交之方向的厚度也能夠比軀體部的厚度大。根據該實施形態，即使在為了提升電動機特性，而將軀體部的厚度盡量地薄化，並縮小轉子與定子的間隔距離的情況，仍然能夠得到開口部充分的剛性。因此，能夠使O型環良好地壓縮變形，而得到良好的密封性能。

以本發明之一實施形態而言，密封外殼也能夠以樹脂形成。開口部也能夠具有從軀體部朝向與旋轉中心軸線方向交叉之方向之中之密封外殼的外方側形成之第1部位、從第1部位朝向第1側形成之第2部位、及形成在第1部位與第2部位之間的肋部。第1部位及第2部位的厚度也能夠是軀體部之厚度的1倍以上且為2倍以下。根據該實施形態，即使在使軀體部的厚度盡量薄化，並縮小轉子與定子的間隔距離的情況，開口部仍然能夠由肋部補強而得到充分的剛性。因此，能夠使O型環良好地壓縮變形而得到確實的密封性能。而且，密封外殼的厚度 不論任何部位皆收納在預定的範圍內，因此，能夠藉由射出成形良好地製造樹脂製的密封外殼。再者，在射出成形方面，會在成形後脫模時將成形品留在內模。根據第3實施形態，在密封外殼形成有肋部，藉此，成形品容易卡止在內模(公模)，結果，容易藉由射出成形製造樹脂製的密封外殼。

以本發明之一實施形態而言，也能夠在軀體部的外面沿著周方向形成第2側朝外方突出的段部。密封外殼也能夠在段部與定子鐵芯抵接的狀態下進行安裝。根據該實施形態，在密封電動機組裝時，能夠藉由段部而進行旋轉中心軸線方向的定位。因此，與在供嵌入定子鐵芯之中空狀的定子支架之內面的一部分形成朝內徑側突出之突出部，並且，密封外殼之第2側的端部形成為凸緣狀，且該突出部與密封外殼之凸緣狀的端部抵接而進行旋轉中心軸線方向的定位之情況相比，本實施形態能夠縮短懸伸達到突出部的量。

以本發明之一實施形態而言，密封外殼也能夠在與第1側相反側的第2側具有封閉軀體部之內部空間的閉塞部。根據該實施形態，能夠容易地將密封外殼的內部予以密封，且氣密性隔離定子鐵芯與轉子。

本發明的一實施形態係提供真空泵。該真空泵也能夠具備上述形態之任一種密封電動機。上述各種實施形態能夠進行任意的組合。

再者，本發明的一實施形態係提供一種連 結於泵且作為泵之旋轉驅動源使用之密封電動機。該密封電動機具備：定子鐵芯；轉子，係配置在定子鐵芯之內側；及密封外殼，係配置在定子鐵芯與轉子之間，且隔離定子鐵芯與轉子，該密封外殼具有：中空形狀的軀體部，係朝轉子的旋轉中心軸線方向延伸；及開口部，係形成旋轉中心軸線方向之中之屬於與泵直接連結之側的第1側之軀體部的開口。定子鐵芯與轉子係藉由密封外殼、及在密封外殼之開口部的外面沿著周方向配置之O型環來氣密性隔離。該實施形態之密封電動機能夠應用於各種泵。例如，該實施形態之密封電動機能夠應用於液體泵、或屬於廣義氣體泵之一種的送風機。此外，本實施形態之密封電動機能夠與應用於真空泵所得之上述各種實施形態進行任意的組合。以下，就本發明之第4實施形態群以更詳細的實施形態例示並進行說明。在以下內容中，雖以真空泵為例進行說明，但以下說明之實施形態係如同上述，並未限定於真空泵。

4-A. 實施例4-A：

在實施例2-A中，真空泵1-20的整體構成，係與上述之實施例1-A相同。因此，在以下內容中，係以與實施例1-A之不同點為主進行說明。第18圖係顯示旋轉驅動轉子4-30之電動機4-100的概略構成。在以下的說明中，關於電動機4-100，係將在旋轉中心軸線AR方向之中之與真空泵4-20(更具體而言，係轉子4-30)連結之側也稱為連結側S1，將連結側S1之相反側也稱為外方側 S2。如第18圖所示，4-電動機100係具備定子4-110與轉子4-120與密封外殼4-130與定子支架4-140。

定子支架4-140係具備支架本體4-141與側板4-142。支架本體4-141係具有沿著旋轉中心軸線AR形成有內部空間之圓筒形狀。側板4-142具有圓板形狀，且封閉支架本體4-141之外方側S2的開口。定子4-110、轉子4-120及密封外殼4-130係收容在該定子支架4-140的內部空間。

定子4-110係具有在定子鐵芯4-111裝設有線圈4-112的構成。藉由在定子支架4-140之支架本體4-141的內部嵌入定子鐵芯4-111，定子4-110以與旋轉中心軸線AR同心的方式固定到定子支架4-140。轉子4-120以與旋轉中心軸線AR同心的方式配置在定子4-110的內部，且直接連結至真空泵4-20之轉子4-30的泵主軸4-34。

在該定子4-110與轉子4-120之間設有密封外殼4-130。密封外殼4-130隔離定子4-110與轉子4-120。該密封外殼4-130具備軀體部4-131、閉塞部4-132、開口部4-133。軀體部4-131具有大致圓筒形狀，且以與旋轉中心軸線AR同心的方式配置。該軀體部4-131係延伸而形成在旋轉中心軸線AR方向中定子4-110之設置範圍的整體。此外，連結側S1朝外方突出的段部4-134係沿著周方向延伸而形成在軀體部4-131的外面。在本實施例中，段部4-134係環狀地連續形成。 亦即，軀體部4-131的厚度係以段部4-134為邊界而連結側S1比外方側S2大。但是，段部4-134也能夠是突出部位沿著周方向散布的態樣。

閉塞部4-132係為密封外殼4-130之外方側S2的端面，且以軀體部4-131的外方側S2之端部封閉軀體部4-131的內部空間。開口部4-133係為密封外殼4-130之連結側S1的端部，且形成密封外殼4-130之連結側S1的開口。在本實施例中，開口部4-133具有其外徑形成為比軀體部4-131之外徑大的凸緣形狀。因此，開口部4-133之與旋轉中心軸線AR正交之方向的厚度，從段部4-134來看比連結側S1的軀體部4-131厚，從段部4-134來看比連結側S2的軀體部4-131厚，而且比閉塞部4-132厚

在本實施例中，密封外殼4-130係藉由樹脂形成，且軀體部4-131、閉塞部4-132及開口部4-133係形成為一體。軀體部4-131的厚度例如能夠設為1.5mm至2.0mm。軀體部4-131的厚度也能夠設為較薄，例如設為0.5mm至1.0mm。該密封外殼4-130係以定子鐵芯4-111與軀體部4-131之中之比段部4-134更靠近外方側S2的部位在周方向抵接的方式來安裝。此時，段部4-134的端面成為與定子鐵芯4-111抵接之狀態。亦即，段部4-134具有作為密封外殼4-130之旋轉中心軸線AR方向的定位手段之功能。

該電動機4-100係定子支架4-140的支架 本體4-141藉由螺栓(省略圖示)固定於軸承構件4-50，藉此安裝於真空泵4-20。另外，在第18圖中，並未顯示安裝有螺栓的剖面。此時，密封外殼4-130之開口部4-133之連結側S1的端面，係與軸承構件4-50之外方側S2的端面抵接。此外，定子4-110與轉子4-120係藉由在密封外殼4-130之開口部4-133的外面沿著周方向配置之O型環4-151而氣密性隔離。具體而言，在定子支架4-140的支架本體4-141的內面沿著周方向形成有凹部4-143，且在該凹部4-143配置O型環4-151。該O型環4-151係在開口部4-133與支架本體4-141之間朝與旋轉中心軸線AR交叉(在此為正交)之方向被壓縮，且密封定子4-110與轉子4-120之間。

此外，在支架本體4-141之連結側S1的端面形成有凹部4-144，在該凹部4-144配置有O型環4-152。該O型環4-152在支架本體4-141與軸承構件4-50之間朝旋轉中心軸線AR方向被壓縮，且將轉子4-120、及電動機4-100之間予以密封。

第19圖係顯示作為比較例之電動機4-100a的概略構成。在第19圖中，係在電動機4-100a的各構成要素，對作為實施例的電動機4-100的各構成要素附加有符號的末尾，附加與其對應之附加「a」的符號。以下，關於電動機4-100a，僅就與電動機4-100之不同點進行說明。

定子支架4-140a係具備突出部4-146a。 突出部4-146a係為從支架本體4-141a的內面朝內側突出之部位，且形成在支架本體4-141a之連結側S1的端部附近。突出部4-146a的突出長度形成為與開口部4-133a大致相等。將突出部4-146a之旋轉中心軸線AR方向的寬度也稱為寬度W1。密封外殼4-130a的軀體部4-131a在旋轉中心軸線AR方向中任意的位置具有大致相同的厚度。亦即，在軀體部4-131a並未形成電動機4-100的段部4-134。因此，密封外殼4-130a係藉由突出部4-146a之連結側S1的端面與開口部4-133a之外方側S2的端面抵接而定位於旋轉中心軸線AR方向。

在軸承構件4-50a之外方側S2的端面，係在周方向形成有環狀的凹部4-52a。將凹部4-52a之旋轉中心軸線AR方向的寬度也稱為寬度W2。在該凹部4-52a配置有O型環4-151a。O型環4-151a係在開口部4-133a與凹部4-52a之間朝旋轉中心軸線AR方向被壓縮，且將定子4-110a與轉子4-120a之間、及轉子4-120a與電動機4-100a的外部之間予以密封。電動機4-100a係朝旋轉中心軸線AR方向推抵軸承構件4-50a而進行安裝，因此，通常如第19圖所示，O型環4-151a以朝該推抵方向(亦即朝旋轉中心軸線AR方向)壓縮變形的方式配置。

由以上說明也能瞭解，突出部4-146a係為了進行密封外殼4-130之旋轉中心軸線AR的定位而設置。此外，突出部4-146a在開口部4-133a形成為較薄時，也具有輔助開口部4-133a之剛性的作用。亦即，為 了將O型環4-151a朝旋轉中心軸線AR方向壓縮，突出部4-146a係賦予開口部4-133a必要的剛性。

根據以上說明之真空泵4-20，將轉子4-120與定子支架4-140之間予以密封之O型環4-151係在密封外殼4-130(開口部4-133)的外面沿著周方向設置。因此，比起如同電動機4-100a將O型環4-151a設置在密封外殼4-130(開口部4-133a)之連結側S1的端面的情況，真空泵4-20能夠將懸伸縮短達到O型環4-151之設置空間的量(亦即達到寬度W2的量)。

而且，真空泵4-20在電動機4-100的組裝時，能夠藉由段部4-134進行旋轉中心軸線AR方向的定位。因此，與如同電動機4-100a在定子支架4-140a的內面側形成有突出部4-146a，並且，密封外殼4-130a之開口部4-133a形成為凸緣狀，突出部4-146a與開口部4-133a抵接而進行旋轉中心軸線AR方向的定位之情況相比較，真空泵4-20能夠將懸伸縮短達到突出部4-146a的量(亦即寬度W1的量)。

此外，在將真空泵4-20配置為水平，亦即以旋轉中心軸線AR沿著水平方向延伸的方式配置的狀態下，將電動機4-100安裝於真空泵4-20的情況，O型環4-151係裝設在水平方向的面。因此，比起如同電動機4-100a將O型環4-151a裝設在垂直方向的面的情況，真空泵4-20能夠抑制O型環4-151在真空泵4-20的組裝中途從凹部4-143脫落。結果，真空泵4-20的組裝變 得容易。

此外，在真空泵4-20中，密封外殼4-130係以樹脂形成，且開口部4-133的厚度比軀體部4-131的厚度大。因此，即使在為了提升電動機效率而將軀體部4-131盡量薄化以縮小轉子4-120與定子4-110之間隔距離的情況，仍然因為能夠得到開口部4-133充分的剛性，所以能夠使O型環4-151良好地壓縮變形而得到良好的密封性能。

4-B. 實施例4-B

第20圖及第21圖係顯示作為實施例4-B的真空泵之密封外殼4-230的構成。作為實施例4-B的真空泵，係僅密封外殼之構成的一部分與實施例4-A不同，其他點與實施例4-A共通。因此，在以下內容中，關於密封外殼4-230，係僅就與實施例4-A的不同點進行說明。第20圖係為與第18圖對應之密封外殼4-230的部分剖面圖。第21圖係從連結側S1觀察密封外殼4-230的圖式。

密封外殼4-230與實施例4-A同樣地具備軀體部4-231與閉塞部4-232與開口部4-233。閉塞部4-232的厚度形成為比軀體部4-231的厚度稍大。閉塞部4-232具有朝向外方側S2膨起的圓弧形狀。開口部4-233具有從軀體部4-231朝向與旋轉中心軸線AR方向交叉(在此為正交)之方向之中的密封外殼4-230之外方側形成的第1部位4-234、及從第1部位4-234朝向連結側S1形成之第2部位4-235。第1部位4-234及第2部 位4-235的厚度相對於軀體部4-231的厚度在100%以上且200%以下的範圍。

如第20圖及第21圖所示，肋部4-236係在第1部位4-234與第2部位4-235之間散布形成於周方向。該肋部4-236係從第2部位4-235之連結側S1的頂面之內側的端部，朝與旋轉中心軸線AR正交且朝向旋轉中心軸線AR的方向，以和第1部位4-234之與旋轉中心軸線AR正交方向之長度相同程度地延伸，且以與旋轉中心軸線AR形成銳角之傾斜，並且以接近於第1部位4-234之軀體部4-231側的基端部的方式形成。在具備該密封外殼4-230的電動機中，上述之O型環4-151配置在開口部4-133的外面。

根據該密封外殼4-230，即使在使軀體部4-231的厚度盡量較薄的情況，仍然能藉由肋部4-236補強開口部4-233且能夠得到充分的剛性。因此，能夠使O型環4-151良好地壓縮變形而得到確實的密封性能。而且，密封外殼4-130的厚度不論任何部位皆收納在預定的範圍內，因此，能夠藉由射出成形良好地製造樹脂製的密封外殼4-230。再者，在射出成形方面，會在成形後脫模時，將成形品留在內模。根據密封外殼4-230，在密封外殼4-230形成有肋部4-236，藉此，成形品容易卡止在內模，結果，容易藉由射出成形製造樹脂製的密封外殼4-230。

4-C. 變化例：

4-C-1. 變化例4-C-1：

開口部4-133未必一定要具有凸緣形狀。例如，開口部4-133也能夠以與軀體部4-131相同的外徑形成。即使在這種情況，O型環4-151也能夠配置在開口部4-133與定子支架4-140之間。

4-C-2. 變化例4-C-2：

O型環4-151未必一定要配置在支架本體4-141與開口部4-133之間。例如，根據軸承構件4-50與電動機4-100之配合面的形狀，O型環4-151也能夠在軸承構件4-50與開口部4-133之間以朝與旋轉中心軸線AR正交的方向被壓縮變形的方式配置。

4-C-3. 變化例4-C-3：

用以配置O型環4-151的凹部4-143未必一定要形成在支架本體4-141。例如凹部也能夠形成在開口部4-133。

4-C-4. 變化例4-C-4：

密封外殼4-130的材質不限於樹脂，也能夠設為各種材質。例如，密封外殼4-130的材質也能夠設為不鏽鋼等非磁性金屬。即使如此，也能夠與實施例4-A、4-B同樣地縮短懸伸。

4-C-5. 變化例4-C-5：

密封外殼4-130未必一定要在外方側S2具有封閉的形狀。例如，軀體部4-131也能夠進一步朝外方側S2延伸而形成，並氣密性抵接至側板4-142。

以上，雖已根據幾個實施例就本發明之實施形態進行過說明，但上述之發明的實施形態係為了容易理解本發明所為者，並非用以限定本發明者。本發明在不脫離其主旨的情形下係能夠變更、改良而獲得，並且，本發明當然包含與其相等範圍者。此外，在能夠解決至少一部分上述課題的範圍、或達成至少一部分效果的範圍，能夠進行記載於申請專利範圍及說明書之各構成要素的組合、或省略。例如，上述實施例1-C及變化例1-F-1的構成，係能夠與實施例1-A、1-B的構成分離而實現，例如，也能夠應用於未藉由接合材料來接合定子鐵芯1-111與軀體部1-131的密封電動機、或未具備補強構件1-150的密封電動機等。

1-100‧‧‧電動機

1-111‧‧‧定子鐵芯

1-112、1-113‧‧‧線圈部

1-130‧‧‧密封外殼

1-131‧‧‧軀體部

1-132‧‧‧閉塞部

1-133‧‧‧開口部

1-140‧‧‧定子支架

1-141‧‧‧支架本體

1-142‧‧‧側板

1-145、1-147‧‧‧凹部

1-146‧‧‧突出部

1-150、1-160‧‧‧補強構件

1-153、1-154‧‧‧O型環

1-161‧‧‧第1部位

1-162‧‧‧第2部位

1-163‧‧‧第3部位

1-171、1-172‧‧‧樹脂

AR‧‧‧旋轉中心軸線

S1‧‧‧外方側

S2‧‧‧連結側

Claims (13)

1. 一種密封電動機，係連結於真空泵且作為該真空泵之旋轉驅動源使用，該密封電動機具備：定子鐵芯；轉子，係配置在前述定子鐵芯之內側；及非導電性的密封外殼，係配置在前述定子鐵芯與前述轉子之間，且在與前述定子鐵芯抵接的狀態下隔離前述定子鐵芯與前述轉子，該密封外殼以樹脂、陶瓷、或該等材料的複合材料作為材料；前述密封外殼藉由接合劑與前述定子鐵芯接合，且該密封電動機更具備：配置在前述轉子之旋轉中心軸線方向中之前述定子鐵芯之外側之環狀的補強構件，該補強構件在周方向與前述密封外殼的外表面抵接；及定子支架，係收容前述定子鐵芯，前述定子支架具有自其內面朝內側突出的突出部，且前述環狀的補強構件係抵接於前述突出部。
2. 如申請專利範圍第1項所述之密封電動機，其中，前述補強構件的線膨脹係數係為前述定子鐵芯的線膨脹係數以下。
3. 如申請專利範圍第1項所述之密封電動機，其中，在前述定子鐵芯中，在朝向該定子鐵芯的中心突出之複數個齒部的內周側之端部間的空間配置有與前述齒部卡合之非導電性構件，且前述非導電性構件與 前述密封外殼係藉由接合劑接合。
4. 如申請專利範圍第1項所述之密封電動機，更具備：定子支架，係在前述定子支架的內部空間嵌入有前述定子鐵芯的狀態下，固定該定子鐵芯，該定子支架係於前述轉子的旋轉中心軸線方向形成為比前述定子鐵芯長；及樹脂，係充填於形成於前述定子支架與前述密封外殼之間的區域的閉鎖空間，該區域係為與從前述定子鐵芯之前述旋轉中心軸線方向的兩端朝向該定子鐵芯的外側突出之線圈部對應的區域。
5. 如申請專利範圍第1項所述之密封電動機，其中，前述密封外殼具有：中空形狀的軀體部，係朝前述轉子的旋轉中心軸線方向延伸；閉塞部，係在前述旋轉中心軸線方向之中之第1側封閉前述軀體部的內部空間；及開口部，係形成前述軀體部之屬於與前述第1側成相反側之第2側的開口；前述閉塞部包含內徑從前述第2側朝向前述第1側縮小直徑的部位。
6. 如申請專利範圍第1項所述之密封電動機，其中，前述閉塞部具有中央部從前述第2側朝向前述第1側凸起之圓頂形狀。
7. 如申請專利範圍第1項所述之密封電動機，其中， 在前述閉塞部之前述第1側的面及前述第2側的面的至少一方形成有肋部。
8. 如申請專利範圍第1項所述之密封電動機，更具備：定子支架，係收容前述定子鐵芯，前述環狀的補強構件係具有：屬於與轉子之旋轉中心軸線正交之部分的第1部位、及與自前述正交的部分的外方側端部延伸之前述定子支架的內面抵接的第2部位。
9. 一種密封電動機，係連結於真空泵且作為該真空泵之旋轉驅動源使用，該密封電動機具備：定子鐵芯；轉子，係配置在前述定子鐵芯之內側；以及密封外殼，係配置在前述定子鐵芯與前述轉子之間，且隔離前述定子鐵芯與前述轉子，並且具有中空形狀的軀體部、及開口部，該中空形狀的軀體部係朝前述轉子的旋轉中心軸線方向延伸，該開口部係形成前述旋轉中心軸線方向之中之屬於與前述真空泵直接連結之側的第1側之前述軀體部的開口；其中，前述定子鐵芯與前述轉子係藉由前述密封外殼、及在該密封外殼之前述開口部的外表面沿著周方向配置之O型環來氣密性隔離，前述密封外殼係以樹脂形成，前述開口部具有：第1部位，係從前述軀體部朝向與前述旋轉中心 軸線方向交叉之方向之中之前述密封外殼的外方側形成；第2部位，係從前述第1部位朝向前述第1側形成；以及肋部，係形成在前述第1部位與前述第2部位之間；且前述第1部位及前述第2部位的厚度係前述軀體部之厚度的1倍以上且係2倍以下。
10. 如申請專利範圍第9項所述之密封電動機，其中，前述開口部係形成凸緣形狀，且該凸緣形狀之與前述旋轉中心軸線正交之方向的厚度係比前述軀體部的厚度還大。
11. 如申請專利範圍第9項所述之密封電動機，其中，在前述軀體部的外表面，沿著周方向形成有前述第1側朝外方突出的段部，且以前述段部與前述定子鐵芯抵接的狀態，安裝有前述密封外殼。
12. 如申請專利範圍第9項所述之密封電動機，其中，前述密封外殼在與前述第1側相反側的第2側具有封閉前述軀體部之內部空間的閉塞部。
13. 一種真空泵，係具備申請專利範圍第9項至第12項中任一項所述之密封電動機。