TWI588493B - 測試座 - Google Patents

Description

測試座

一或多個示範性實施例涉及一種測試座(test socket)，且更明確地說涉及一種具有可維持的電特性和可甚至經由頻繁測試過程而有效防止的使用壽命減少的測試座。

通常，需要在待測試裝置與測試設備之間穩定地形成電連接以便在待測試裝置上執行電性測試。測試座做為用於將待測試裝置連接到測試設備的設備。

所述測試座用以將待測試裝置上的端子連接到測試設備的襯墊使得可在彼此之間雙向交換電信號。各向異性導電片和彈簧頂針主要用作所述測試座。在使用各向異性導電片的測試座中，其中導電粒子密集地分佈在彈性矽橡膠中的導電單元分別連接到待測試裝置上的端子。在使用彈簧頂針的測試座中，彈簧***到外殼中，且隨後連接到待測試裝置上的端子。使用各向異性導電片的測試座和使用彈簧頂針的測試座兩者具有用於吸收可在連接到端子的過程中發生的電震動的結構。

圖1中繪示用作測試座20的各向異性導電片(anisotropic conductive sheet)的實例。測試座20包含形成於其中待測試裝置2上的球型端子4接觸測試座20的每一區域中的導電單元8，和形成於其中待測試裝置2上的球型端子4並不接觸測試座20且充當支撐導電單元8的絕緣層的區域中的絕緣單元6。導電單元8包含其內密集地安置導電粒子8a的矽橡膠。測試座20安裝在其內提供多個襯墊10的測試設備9中。詳細地說，當測試設備9中包含的所述多個襯墊10分別接觸導電單元8時，測試座20安裝在測試設備9中。

在待測試裝置2由特定載具(未圖示)承載以用於電性測試之後，待測試裝置2朝向測試座20降低以接觸導電單元8。隨後，待測試裝置2通過使用按壓部件(未圖示)而按壓導電單元8。隨後，在導電單元8的厚度的方向中壓縮導電單元8，且因此，導電單元8中的導電粒子8a彼此接觸以達到導電狀態。如果特定電信號從測試設備9施加到待測試裝置2，那麼電信號經由導電單元8傳送到待測試裝置2，且因此，執行特定電性測試。

測試座20在接觸待測試裝置2的若干過程中被反復地壓縮和擴展。如果導電單元8由於與待測試裝置2接觸而被壓縮，那麼導電單元8的中心凸出且所有導電單元8在平面方向中擴展。換句話說，導電單元8具有圖3中繪示的形狀。

絕緣單元6被提供在導電單元8附近以支撐導電單元8。絕緣單元6被一體地提供到導電單元8，且因此，支撐導電單元8。絕緣單元6還防止導電單元8的擴展。換句話說，絕緣單元6可 防止導電單元8的自由擴展。由此，因為絕緣單元6防止導電單元8的自由擴展，所以需要大的按壓力以在導電單元8的厚度的方向中按壓導電單元8。

然而，測試座20可需要特定壓力以具有導電性。這樣代表待測試的裝置2需要用所述壓力按壓測試座20以獲得導電性。在過去，當待測試裝置2中僅存在少量導電單元8時，不存在按壓測試座20時的問題。然而，因為存在朝向半導體裝置的高密度集成的增長的趨勢，所以待測試裝置2上端子的數目已增加。如果端子的數目增加，那麼導電單元8的數目也需要增加。由此，如果導電單元8的數目增加，那麼存在需要通過使用較大力來按壓測試座20以獲得導電性的問題。然而，可能技術上難以過度增加按壓部件按壓待測試裝置時所施加的按壓力，且當待測試裝置2將過度按壓力傳送到測試座20時，待測試裝置2可能損壞。

因此，在現有技術中，很難在具有多個端子的待測試裝置2上通過測試座有效地執行電性測試。

一或多個示範性實施例包含一種測試座，其用於即使當待測試裝置上的端子的數目增加時也容易地在待測試裝置上執行電性測試。

額外方面將部分在以下描述中得到闡述，並且部分地，將從描述中顯而易見，或者可以通過對所呈現的實施例的實踐習 得。

根據一或多個示範性實施例，一種被安置於待測試裝置上的端子與測試設備的襯墊之間且電連接所述端子和所述襯墊的測試座包含：第一薄片型連接器，其包含具有固定到特定位置的邊緣的第一絕緣片，以及經配置以安置在對應於待測試裝置上的端子的每一位置處的多個第一導電單元，其具有所述第一絕緣片的厚度的方向中的導電性，且被提供到所述第一絕緣片；多個導電彈性單元，其經配置以安置在所述第一薄片型連接器下方，在所述第一絕緣片的厚度的方向中在對應於待測試裝置上的端子的每一位置處延伸，由其內分佈多個導電粒子的絕緣彈性材料形成，其中所述多個導電彈性單元中的每一者的上部部分一體地提供到所述第一導電單元中的每一者；以及第二薄片型連接器，其包含安置在所述多個導電彈性單元下方且邊緣固定到特定位置的第二絕緣片，以及經配置以安置在對應於待測試裝置上的端子的每一位置處的多個第二導電單元，其具有所述第二絕緣片的厚度的方向中的導電性，且被提供到所述第二絕緣片，其中所述多個第二導電單元中的每一者的上部部分一體地提供到所述多個導電彈性單元中的每一者，其中所述多個導電彈性單元中的每一者的上部部分和下部部分的位置由所述第一薄片型連接器和所述第二薄片型連接器支撐，且空白空間(empty space)形成在所述多個導電彈性單元中的每一者附近，而不會阻止所述多個導電彈性單元在厚度方向中被按壓且在面的方向中擴展。

所述多個導電彈性單元中的每一者的一側可被空白空間包圍，使得空白空間從所述多個導電彈性單元中的每一者的所述側的頂部延伸到底部。

所述多個導電彈性單元中的每一者的一側的頂部與底部之間的中間區域可被所述空白空間包圍。

第一絕緣片可包含由合成樹脂形成的膜，且多個通孔形成在對應於待測試裝置上的端子的每一位置處，且所述多個第一導電單元可穿透所述通孔且被所述第一絕緣片支撐。

所述第一絕緣片的通孔的內徑可小於導電彈性單元的外徑，且因此，第一絕緣片中通孔的周圍區域可被導電彈性單元的上表面的一端支撐。

所述第一絕緣片可包含絕緣彈性材料，且多個通孔形成在對應於待測試裝置上的端子的每一位置處，且第一導電單元可穿透所述通孔且被第一絕緣片支撐。

所述多個第一導電單元可由導電金屬材料形成。

所述多個第一導電單元可包含與所述多個導電彈性單元的材料相同的材料。

所述多個導電彈性單元可一體地被提供到選自由以下各項組成的群組的至少一者：第一薄片型連接器和第二薄片型連接器。

所述多個導電彈性單元的絕緣彈性材料可由聚矽氧橡膠形成。

第一絕緣片的絕緣彈性材料可由聚矽氧橡膠形成。

構成所述多個導電彈性單元的絕緣彈性材料的硬度不同於構成所述第一絕緣片的絕緣彈性材料的硬度。

第一絕緣片可包含具有多個孔隙的網格，且所述多個第一導電單元可填充所述網格中的孔隙且在第一絕緣片的厚度的方向中延伸。

第一薄片型連接器和第二薄片型連接器可具有相同形狀。

根據一或多個示範性實施例，一種經配置以安置於待測試裝置上的端子與測試設備的襯墊之間且電連接所述端子和所述襯墊的測試座包含：多個導電彈性單元，其經配置以在厚度的方向中在對應於待測試裝置上的端子的每一位置處延伸，由其中分佈多個導電粒子的絕緣彈性材料形成；以及一對薄片型連接器，其經配置以分別安置在所述多個導電彈性單元上和下方以便使其間的所述多個導電彈性單元分別連接到所述多個導電彈性單元的上部部分和下部部分以支撐所述多個導體彈性單元，且具有對應於彼此的形狀，其中所述多個導電彈性單元彼此分開且被空白空間包圍。

2‧‧‧待測試裝置

4‧‧‧球型端子

6‧‧‧絕緣單元

8‧‧‧導電單元

8a‧‧‧導電粒子

9‧‧‧測試設備

10‧‧‧襯墊

20‧‧‧測試座

100‧‧‧測試座

110‧‧‧第一薄片型連接器

111‧‧‧第一絕緣片

111a‧‧‧通孔

112‧‧‧第一導電單元

120‧‧‧導電彈性單元

121‧‧‧導電粒子

125‧‧‧空白空間

130‧‧‧第二薄片型連接器

131‧‧‧第二絕緣片

132‧‧‧第二導電單元

140‧‧‧待測試裝置

141‧‧‧端子

150‧‧‧測試設備

151‧‧‧襯墊

212‧‧‧第一導電單元

232‧‧‧第二導電單元

311‧‧‧第一絕緣片

312‧‧‧第一導電單元

331‧‧‧第二絕緣片

332‧‧‧第二導電單元

400‧‧‧測試座

410‧‧‧第一薄片型連接器

411‧‧‧第一絕緣片

412‧‧‧第一導電單元

420‧‧‧導電彈性單元

430‧‧‧第二薄片型連接器

431‧‧‧第二絕緣片

432‧‧‧第二導電單元

通過下文結合附圖對實施例的描述，將可以清楚地知道並且 更容易地理解這些和/或其它方面，附圖中：圖1說明現有技術中的測試座。

圖2說明圖1的測試座的操作。

圖3為圖2中繪示的操作的放大圖。

圖4為根據示範性實施例的測試座的透視圖。

圖5為圖4中繪示的測試座的橫截面圖。

圖6說明圖5的測試座的操作。

圖7為根據另一示範性實施例的測試座的透視圖。

圖8為圖7中繪示的測試座的橫截面圖。

圖9為根據另一示範性實施例繪示的測試座的橫截面圖。

圖10為根據另一示範性實施例繪示的測試座的橫截面圖。

現在將詳細參考實施例，所述實施例的實例在附圖中說明，其中相同的參考標號始終指代相同的元件。在此方面，本發明的實施例可以具有不同形式並且不應被解釋為限於本文中所闡述的描述。因此，示範性實施例僅通過參考圖式在下文中進行描述以闡釋當前描述的各方面。

在下文中，將參看附圖詳細地描述示範性實施例。

根據示範性實施例，測試座100安置於待測試裝置140上的端子141與測試設備150的襯墊151之間，以便將端子141電連接到襯墊151。

測試座100包含第一薄片型連接器110、導電彈性單元120和第二薄片型連接器130。

第一薄片型連接器110安置在導電彈性單元120上且支撐導電彈性單元120中的每一者的位置。第一薄片型連接器110的週邊邊緣可通過使用框架(未圖示)固定。

第一薄片型連接器110包含第一絕緣片111和第一導電單元112。

第一絕緣片111由合成樹脂形成且具有通孔111a。然而，第一絕緣片111不限於此，且可由任何絕緣柔性材料形成。第一絕緣片111可由例如聚醯亞胺、液體-晶體聚合物或其組合等樹脂材料形成。然而，第一絕緣片111可由聚醯亞胺形成使得容易地通過蝕刻形成通孔。

通孔111a形成在對應於待測試裝置140上的端子141的每一位置處。通孔111a經形成以穿過第一絕緣片111的頂部表面和底部表面，且實質上具有圓形橫截面。通孔111a可具有直徑小於稍後將描述的導電彈性單元120的直徑。由此，因為第一絕緣片111中的通孔111a的內徑小於導電彈性單元120的外徑，所以第一絕緣片111中的通孔111a的週邊區域可被導電彈性單元120的上表面的週邊邊緣支撐。

第一導電單元112填充通孔111a且被提供到第一絕緣片111以具有在第一導電單元112的厚度的方向中的導電性。第一導電單元112具有其內多個導電粒子121密集地安置在導電彈性材 料中的結構。第一導電單元112的組成材料類似於稍後將描述的導電彈性單元120的組成材料。

導電彈性單元120安置在第一薄片型連接器110下方，且在導電彈性單元120的厚度的方向中在對應於待測試裝置140上的端子141的每一位置處延伸。導電彈性單元120由其中安置所述多個導電粒子121的絕緣彈性材料形成，且導電彈性材料120中的每一者的上部部分被一體地提供到第一導電單元112中的每一者，且導電彈性單元120在水平方向中彼此分開。

導電彈性單元120中的每一者的上部部分被一體地提供到第一導電單元112中的每一者的下部部分，且導電彈性單元120中的每一者的下部部分被一體地提供到第二導電單元132中的每一者的上部部分。換句話說，導電彈性單元120被一體地提供到第一導電單元112和第二導電單元132。空白空間125可形成在每一導電彈性單元120周圍，使得當在導電彈性單元120的厚度的方向中按壓導電彈性單元120時不會在平面方向中阻止導電彈性單元120的擴展。詳細地說，空白空間125可形成在導電彈性單元120的側部處且從導電彈性單元120的頂部延伸到底部(以便包圍導電彈性單元120的整個側部)。然而，空白空間125不限於此，且可形成於所述多個導電彈性單元120間在平面方向中擴展最多的導電彈性單元120的頂部與底部之間的中間區域中。

構成導電彈性單元120的絕緣彈性材料可為具有可交聯結構的聚合材料。各種可固化聚合材料可用于形成所述絕緣彈性 材料。可固化聚合材料的實例可為：共軛二烯類橡膠(conjugated diene-based rubber)，例如聚丁二烯橡膠(poly butadiene rubber)、天然橡膠、聚異戊二烯橡膠(polyisoprene rubber)、苯乙烯-丁二烯共聚物橡膠(styrene-butadiene copolymer rubber)、丙烯腈-丁二烯共聚物橡膠(acrylonitrile-butadiene copolymer rubber)或類似者，或其氫添加劑；嵌段共聚物橡膠(block copolymer rubber)，例如苯乙烯-丁二烯-二烯嵌段共聚物橡膠(styrene-butadiene-diene block copolymer rubber)、苯乙烯-異戊二烯嵌段共聚物(styrene-isoprene block copolymer)或類似者，或其氫添加劑；氯丁二烯橡膠(chloroprene rubber)；胺基甲酸酯橡膠(urethane rubber)；聚酯類橡膠(polyester-based rubber)；表氯醇橡膠(epichlorohydrin rubber)；聚矽氧橡膠(silicone rubber)；伸乙基-丙烯共聚物橡膠(ethylene-propylene copolymer rubber)；伸乙基-丙烯-二烯共聚物橡膠(ethylene-propylene-diene copolymer rubber)；或類似者。

如上文所描述，在其中對於所獲得的導電彈性單元120需要耐候性的情況下，優選的是使用除共軛二烯橡膠以外的材料，且尤其優選的是關於模制和加工特性及電特性而使用聚矽氧橡膠。

另外，所述多個導電粒子121可由磁性材料形成。所述多個導電粒子121的實例可為例如鐵、鈷、鎳或類似者等磁性金屬的粒子、其合金的粒子或含有磁性金屬的粒子、通過使用上文 提及的粒子作為核心粒子並用具有精細導電性的金屬(例如金、銀、鈀或銠)電鍍核心粒子的表面而獲得的粒子，或通過使用非磁性金屬粒子、例如玻璃珠粒等無機材料粒子或聚合物粒子作為核心粒子並用導電磁性金屬(例如鎳或鈷)電鍍核心粒子的表面而獲得的粒子。

在上文描述的粒子當中，可使用通過使用鎳粒子作為核心粒子並用具有精細導電性的金電鍍核心粒子的表面而獲得的粒子。

用導電金屬電鍍核心粒子的表面的方法可(例如)為化學電鍍方法、電解電鍍方法、濺鍍方法、沉積方法或類似者，但不限於此。

在其中使用通過用導電金屬塗覆核心粒子的表面而獲得的導電粒子121的情況下，粒子的表面中導電金屬的塗覆率(導電金屬的塗覆區域與核心粒子的表面區域的比率)優選等於或高於40%，進一步優選等於或高於45%，且特別優選地為47到95%，因為可獲得高導電性。

此外，導電金屬的塗覆量優選為核心粒子的0.5到50質量百分比，更優選地為2到30質量百分比，進一步優選為3到25質量百分比，且特別優選地為4到20質量百分比。在其中待塗覆的導電金屬為金的情況下，塗覆量為優選核心粒子的0.5到30質量百分比，更優選地為2到20質量百分比且進一步優選為3到15質量百分比。

第二薄片型連接器130包含安置在導電彈性單元120下 方的第二絕緣片131，且安置在對應於待測試裝置140上的端子141的每一位置處的多個第二導電單元132在所述多個第二導電單元132的厚度的方向中為導電的。所述多個第二導電單元132被提供到第二絕緣片131，且所述多個第二導電單元132中的每一者的上部部分被一體地提供到導電彈性單元120中的每一者。

第二薄片型連接器130支撐導電彈性單元120的下部部分，而第二薄片型連接器130的週邊區域的位置由框架(未圖示)固定。第二薄片型連接器130可具有與第一薄片型連接器110的形狀相同的形狀。並且，第二薄片型連接器130可安置為對應於第一薄片型連接器110以便使導電彈性單元120處於其間。

根據示範性實施例，測試座100可具有如下效果：測試座100安裝在測試設備150中，此時測試座100中包含的第二導電單元132接觸測試設備150的襯墊151。隨後，待測試裝置140逐漸朝向測試設備150降低，使得待測試裝置140上的端子141接觸第一薄片型連接器110中包含的第一導電單元112的頂部表面。隨後，通過使用特定按壓工具(未圖示)以便在導電彈性單元120的厚度的方向中按壓導電彈性單元120而按壓待測試裝置140。

由此，如果按壓導電彈性單元120，那麼導電彈性單元120在導電彈性單元120的厚度的方向中壓縮，而導電彈性單元120在垂直於所述厚度的方向的平面方向中擴展。在此過程中，導電彈性單元120中包含的所述多個導電粒子121彼此接觸且進入 到導電狀態中。

下文，根據示範性實施例，測試座100具有如下優點：根據示範性實施例，因為測試座100並未具備在所述多個導電彈性單元120中的每一者附近的單獨絕緣單元，所以可容易地按壓導電彈性單元120。換句話說，因為測試座100並不包含用於阻止導電彈性單元120擴展的絕緣單元而是包含在所述多個導電彈性單元120附近的空白空間125，所以可通過極少力容易地按壓導電彈性單元120。

因此，測試座100可使導電彈性單元120能夠在即使無過度壓力的情況下且即使當許多端子141呈現於待測試裝置140上時也具有導電性。

另外，因為導電彈性單元120的上部部分和下部部分被第一薄片型連接器110和第二薄片型連接器130穩定地支撐，所以導電彈性單元120可即使經由頻繁測試過程而穩定地維持在原始位置處。

根據示範性實施例，測試座可修改如下：圖7和8中繪示的測試座的描述如下：根據上文描述的實施例，第一導電單元和第二導電單元被描述為由與導電彈性單元相同的材料形成。然而，第一導電單元212和第二導電單元232並不限於此，且可由金屬材料形成。

第一導電單元212和第二導電單元232可由例如鎳、銅、銀、鈀、鐵或類似者等材料形成。整個第一導電單元212和整個 第二導電單元232可由單一金屬或兩個或更多類型的金屬的合金形成，或形成為具有其中兩個或更多類型的金屬形成分層結構的結構。另外，第一導電單元212和第二導電單元232在上面接觸端子或襯墊的表面可由例如金、銀、鈀或類似者等化學上穩定且非常導電的金屬形成，以便防止表面的氧化和減小接觸電阻。

圖9中繪示的測試座的描述如下：根據上文描述的實施例，第一絕緣片和第二絕緣片包含例如聚醯亞胺等其上具有通孔的膜，且第一導電單元和第二導電單元經由所述通孔而提供到彼此。然而，第一絕緣片和第二絕緣片並不限於此。第一絕緣片311和第二絕緣片331可由具有若干孔隙的多孔材料形成。

第一絕緣片311和第二絕緣片331中包含的多孔薄片可為通過使用有機纖維形成的網格或非編織物。有機纖維可為氟樹脂纖維，例如聚四氟乙烯纖維(polytetrafluoroethylene fiber)、芳綸纖維(aramid fiber)、聚乙烯纖維(polyethylene fiber)、聚芳酯纖維(polyarylate fiber)、耐綸纖維(nylon fiber)、聚酯纖維(polyester fiber)或類似者。通過使用其中線性熱膨脹的係數為30×10^-6到-5×10^-6/K(確切地說，10×10^-6到-3×10^-6/K)的有機纖維，此外，有可能抑制第一導電單元和第二導電單元的熱膨脹。因此，同樣在其中接收由溫度的改變造成的熱歷程的情況下，有可能穩定地維持極好的電連接狀態。此外，優選的是使用具有10到200μm的直徑的有機纖維。

因為第一導電單元312和第二導電單元332填充形成於第一絕緣片311和第二絕緣片331上的孔隙且因此與第一絕緣片311和第二絕緣片331形成為一體，所以第一導電單元312和第二導電單元332可不與第一絕緣片311和第二絕緣片331分隔開。

如參看圖9所描述，如果第一絕緣片311由多孔材料形成，那麼與絕緣片相比可確保柔性。因此，即使待測試裝置上的端子的大小彼此不同，所有所述多個第一導電單元312也可接觸待測試裝置上的所述端子。

根據上文描述的實施例，第一薄片型連接器的第一絕緣片和第二薄片型連接器的第二絕緣片描述為由聚醯亞胺或液體-晶體聚合物所製成的膜形成，但不限於此。第一絕緣片和第二絕緣片可由例如聚矽氧橡膠等絕緣彈性材料形成。詳細地說，圖10中繪示的測試座400可經形成使得構成第一絕緣片411和第二絕緣片431的絕緣彈性材料為具有與導電彈性單元420的聚矽氧橡膠相同的物理特性的聚矽氧橡膠。然而，絕緣彈性材料不限於此，且可具有不同於導電彈性單元420的絕緣彈性材料的硬度。舉例來說，如果第一絕緣片411和導電彈性單元420兩者由聚矽氧橡膠形成，那麼其兩者可為具有相同物理特性的聚矽氧橡膠，但不限於此。第一絕緣片411可為具有不同於導電彈性單元420的硬度的硬度的聚矽氧橡膠。

導電彈性單元420和第一薄片型連接器410可一體地提供到彼此。另外，導電彈性單元420和第二薄片型連接器430可 一體地提供到彼此。「一體地提供到彼此」表示導電彈性單元420、第一薄片型連接器410、第二薄片型連接器430以及第一導電單元412和第二導電單元432經提供以便彼此形成為一體。具有此結構的測試座可通過將第一薄片型連接器410、第二薄片型連接器430和液體聚合物材料(通過將液體聚矽氧橡膠與導電粒子混合而獲得的材料)安置到模具中且硬化所述第一薄片型連接器410、所述第二薄片型連接器430和所述液體聚合物材料來製造。

根據示範性實施例，在測試座中，當通過使用第一薄片型連接器和第二薄片型連接器固定導電彈性單元的上部部分和下部部分的位置時，因為每一導電彈性單元附近存在空白空間，所以當正壓縮導電彈性單元時不會阻止導電彈性單元的變形。因此，導電彈性單元可僅以極少力發生變形。

換句話說，即使導電彈性單元上施加的按壓力不大，因為待測試裝置上的端子足夠地按壓導電彈性單元，也可獲得導電性。因此，可容易地執行電性測試。

應理解，本文中所描述的示範性實施例應僅在描述性意義上考慮，而非出於限制的目的。每一示範性實施例內的特徵或方面的描述應通常被視為可用於其它示範性實施例中的其它相似特徵或方面。

雖然已參看圖式描述一或多個示範性實施例，但所屬領域的一般技術人員應理解，可在不脫離所附權利要求書所界定的發明概念的精神和範圍的情況下在其中作出形式和細節上的各種 改變。

100‧‧‧測試座

110‧‧‧第一薄片型連接器

111‧‧‧第一絕緣片

112‧‧‧第一導電單元

120‧‧‧導電彈性單元

130‧‧‧第二薄片型連接器

Claims (15)

1. 一種測試座，其經配置以安置於待測試裝置上的端子與測試設備的襯墊之間且電連接所述端子和所述襯墊，所述測試座包括：第一薄片型連接器，其包括具有固定到特定位置的邊緣的第一絕緣片，以及經配置以安置在對應於所述待測試裝置上的所述端子的每一位置處的多個第一導電單元，其具有在所述第一絕緣片的厚度的方向中的導電性，且被提供到所述第一絕緣片；多個導電彈性單元，其經配置以安置在所述第一薄片型連接器下方，在所述第一絕緣片的厚度的方向中在對應於所述待測試裝置上的所述端子的每一位置處延伸，由其內分佈多個導電粒子的絕緣彈性材料形成，其中所述多個導電彈性單元中的每一者的上部部分一體地提供到所述第一導電單元中的每一者；以及第二薄片型連接器，其包括安置在所述多個導電彈性單元下方且邊緣固定到特定位置的第二絕緣片，以及經配置以安置在對應於所述待測試裝置上的所述端子的每一位置處的多個第二導電單元，其具有在所述第二絕緣片的厚度的方向中的導電性，且被提供到所述第二絕緣片，其中所述多個第二導電單元中的每一者的上部部分一體地提供到所述多個導電彈性單元中的每一者，其中所述多個導電彈性單元中的每一者的上部部分和下部部分的位置由所述第一薄片型連接器和所述第二薄片型連接器支撐，且 空白空間形成在所述多個導電彈性單元中的每一者附近，而不會阻止所述多個導電彈性單元在厚度的方向中被按壓且在面的方向中擴展。
2. 如申請專利範圍第1項所述的測試座，其中所述多個導電彈性單元中的每一者的一側被所述空白空間包圍，使得所述空白空間從所述多個導電彈性單元中的每一者的所述側的頂部延伸到底部。
3. 如申請專利範圍第1項所述的測試座，其中所述多個導電彈性單元中的每一者的一側的頂部與底部之間的中間區域被所述空白空間包圍。
4. 如申請專利範圍第1項所述的測試座，其中所述第一絕緣片包括由合成樹脂形成的膜，且多個通孔形成在對應於所述待測試裝置上的所述端子的每一位置處，且所述第一導電單元穿透所述通孔且被所述第一絕緣片支撐。
5. 如申請專利範圍第4項所述的測試座，其中所述第一絕緣片的所述通孔的內徑小於所述導電彈性單元的外徑，且因此，所述第一絕緣片中的所述通孔的周圍區域被所述導電彈性單元的上表面的一端支撐。
6. 如申請專利範圍第1項所述的測試座，其中所述第一絕緣片包括絕緣彈性材料，且多個通孔形成在對應於所述待測試裝置上的所述端子的每一位置處，且第一導電單元穿透所述通孔且被所述第一絕緣片支撐。
7. 如申請專利範圍第4或6項所述的測試座，其中所述多個第一導電單元由導電金屬材料形成。
8. 如申請專利範圍第4或6項所述的測試座，其中所述多個第一導電單元包括與所述多個導電彈性單元的材料相同的材料。
9. 如申請專利範圍第1項所述的測試座，其中所述多個導電彈性單元一體地提供到選自由以下各項組成的群組的至少一者：所述第一薄片型連接器和所述第二薄片型連接器。
10. 如申請專利範圍第1項所述的測試座，其中所述多個導電彈性單元的所述絕緣彈性材料由聚矽氧橡膠形成。
11. 如申請專利範圍第6項所述的測試座，其中所述第一絕緣片的所述絕緣彈性材料由聚矽氧橡膠形成。
12. 如申請專利範圍第6項所述的測試座，其中構成所述多個導電彈性單元的所述絕緣彈性材料具有的硬度不同於構成所述第一絕緣片的所述絕緣彈性材料的硬度。
13. 如申請專利範圍第1項所述的測試座，其中所述第一絕緣片包括具有多個孔隙的網格，且所述多個第一導電單元填充所述網格中的所述孔隙且在所述第一絕緣片的厚度的方向中延伸。
14. 如申請專利範圍第1項所述的測試座，其中所述第一薄片型連接器和所述第二薄片型連接器具有相同形狀。
15. 一種測試座，其經配置以安置於待測試裝置上的端子與測試設備的襯墊之間且電連接所述端子和所述襯墊，所述測試座包括：多個導電彈性單元，其經配置以在厚度的方向中在對應於所述待測試裝置上的所述端子的每一位置處延伸，由其內分佈多個導電粒子的絕緣彈性材料形成；以及一對薄片型連接器，其經配置以分別安置在所述多個導電彈性單元上和下方以便使所述多個導電彈性單元處於其間，分別連接到所述多個導電彈性單元的上部部分和下部部分以支撐所述多個導體彈性單元，包括一對絕緣片以及一對導電單元，所述絕緣片具有多個通孔，所述通孔形成在對應於所述待測試裝置上的所述端子的每一位置處，所述導電單元穿透所述通孔且被所述絕緣片支撐並在所述絕緣片的厚度的方向上具有導電性，其中所述多個導電彈性單元彼此分開且被空白空間包圍。