TWI584408B - Long turn nozzle device - Google Patents

Description

多頭轉向吸嘴裝置

本創作係一種多頭轉向吸嘴裝置，尤指一種應用於半導體檢測設備中，用以吸取半導體晶片以進行外形檢測之多頭轉向吸嘴裝置。

半導體晶片之品質檢測，會使用一半導體檢測設備進行半導體晶片之檢測，其中，該半導體檢測設備包含一機台、一吸嘴裝置及一攝像裝置，該吸嘴裝置係可移動地設置於該機台上，該吸嘴裝置包含一可被驅動垂直升降之吸嘴，該攝像裝置係設置於該檢測設備之機台一側，該攝像裝置包含四個攝像件，該些攝像件圈圍形成一四方形之檢測空間，且該些攝像件皆面向該檢測空間。

當在進行所述半導體晶片之品質檢測時，該吸嘴裝置之吸嘴會被驅動移動至所述半導體晶片的上方，並會將所述半導體晶片吸起，並移動至該攝像裝置之上方，接著所述吸嘴裝置會將吸嘴向下移動，並使所述半導體晶片進入該檢測空間，此時該些攝像件會擷取所述半導體晶片的影像，並搭配檢測系統檢測該半導體晶片的外形是否符合標準。

然而，目前應用於半導體晶片檢測之半導體檢測設備中，每次僅能檢測一片半導體晶片，進而導致在進行大量之半導體晶片檢測時，所需之檢測時間冗長之問題。

本創作之主要目的在於提供一多頭轉向吸嘴裝置，希藉此改善現今半導體檢測設備每一次僅能對單一片半導體晶片進行檢測，無法半導體晶片批量檢測，而導致檢測時間冗長之問題。

為達成前揭目的，本創作之多頭轉向吸嘴裝置包含：一機架，其界定有三度空間中相互垂直之X軸、Y軸及Z軸，該機架的底部具有一沿著X軸方向延伸之導軌部；多數吸嘴模組，其係可沿著X軸移動地依序設置於該機架之導軌部上，每一吸嘴模組包含一殼體、一轉向件及一吸嘴組件，該殼體內部形成一Z軸向延伸之組設空間以及一抽氣通道，該殼體的後方形成一組接部，該抽氣通道自殼體外表面朝內延伸而連通該組設空間，該轉向件係設置於該殼體上方，該吸嘴組件係可沿Z軸方向移動地設置於該殼體內，該吸嘴組件包含一吸氣桿及一彈性件，該吸氣桿係可沿Z軸方向移動地設置於該殼體內，並位於該組設空間內，該吸氣桿的頂端伸出殼體頂部且連接受控於該轉向件，該吸氣桿內有吸氣通道且底端具有一吸嘴，且該吸氣桿中段具有一分隔部，該分隔部氣密地連接組設空間的側壁，且將該組設空間區隔出一第一氣密空間及一第二氣密空間，該第一氣密空間位於該第二氣密空間的上方，所述抽氣通道連通該第一氣密空間，且該吸氣桿之吸嘴通過吸氣桿內的吸氣通道連通該第一氣密空間，該彈性件係設置於該殼體內，並位於該第一氣密空間，該彈性件向下推抵該吸氣桿，該些吸嘴模組區分為多數第一吸嘴模組及多數第二吸嘴模組，所述第一吸嘴模組及所述第二吸嘴模組呈交替排列，每一第二吸嘴模組之殼體內還形成一進氣通道，該進氣通道連通該第二吸嘴模組之第二氣密空間，且該吸氣桿之分隔部位於該抽氣通道及該進氣通道之間；一驅動模組，其係設置於該機架上，該驅動模組包含一驅動組件及一平移桿，該驅動組件係設置於該機架之一端，該平移桿係可朝Y軸方向移動地設置 於該機架之一側，該平移桿連接受控於該驅動組件，該些吸嘴模組之轉向件係可滑移地連接受控於該平移桿，並控制所述吸氣桿之轉向；以及一移動模組，其係設置於該機架上，並位於該導軌部後方，該移動模組包含一螺桿及一移動組件，該螺桿係沿X軸方向樞設於該機架之導軌部後方，該移動組件係可沿X軸方向移動地螺設於該螺桿上，該移動組件包含一外殼及一定位部，該外殼係可移動地螺設於該螺桿上，該定位部係設置於該外殼內，且該定位部係可選擇性組接於該些吸嘴模組之組接部。

本創作多頭轉向吸嘴裝置係應用於一檢測設備中，且連接於該檢測設備的驅動機構上，所述檢測設備包含一機台、一氣壓裝置及一驅動裝置及一攝像裝置，該氣壓裝置及驅動裝置係設置於該機台上，該氣壓裝置包含一抽氣模組及一進氣模組，所述攝像裝置包含二個攝像件，該二攝像件相對設置於機台中，並於該二攝像件之間形成一檢測空間，本創作多頭轉向吸嘴裝置係將其抽氣通道連接該抽氣模組，該多頭轉向吸嘴裝置之進氣通道及移動模組之移動組件皆連接進氣模組，且該螺桿係受控外接機台的驅動裝置。

當在進行半導體晶片之檢測時，該多頭轉向吸嘴裝置係被驅動機構帶動至預備位置，使該移動模組的螺桿連接該檢測設備之機台上的驅動裝置驅動，藉由該移動組件可被驅動於該螺桿上移動，以定位部依序與該些吸嘴模組之組接部連接及脫離，並進行排列，使該些吸嘴模組之間形成間距，接著該些吸嘴模組可藉由該氣壓裝置對該抽氣通道進行抽氣，使該些吸嘴吸取半導體晶片後，再藉由外部連接的氣壓裝置分別通過該些第二吸嘴模組之進氣通道對組設空間輸入加壓氣體，使該些吸嘴組件之吸氣桿向上移動，進而使該些第二吸嘴模組所吸取之半導體晶片與該些第一吸嘴模組所吸取之半導體晶片形成高低差。

接著該檢測設備會移動該多頭轉向吸嘴裝置，使該些吸嘴模組所吸取之半導體晶片進入該攝像裝置之檢測空間內，以進行檢測，該些吸嘴模組之吸氣桿可藉由該驅動模組驅動轉向，該些半導體晶片會與該些吸氣桿同步轉向，使該攝像裝置之該二攝像件可進行該些半導體晶片四側面之檢測。

上述中，在進行半導體晶片之側面之檢測時，可藉由該多頭轉向吸嘴裝置同時進行多數半導體晶片之檢測，其中，該移動模組可排列該些吸嘴模組，並透過在該些第二吸嘴模組之進氣通道進氣，使該些第二吸嘴模組與該些第一吸嘴模組所吸取之半導體晶片形成高低差，進而使驅動裝置帶動該些吸氣桿轉動時，該些半導體晶片不會相互干涉，可依序進行多數半導體晶片之檢測作業，進而提高檢測效率。

10‧‧‧機架

11‧‧‧導軌部

12‧‧‧第一導軌

13‧‧‧第二導軌

14‧‧‧抵靠面

20‧‧‧吸嘴模組

20a‧‧‧第一吸嘴模組

20b‧‧‧第二吸嘴模組

21‧‧‧殼體

211‧‧‧組設空間

212‧‧‧抽氣通道

213‧‧‧第一氣密空間

214‧‧‧第二氣密空間

215‧‧‧進氣通道

22‧‧‧轉向件

221‧‧‧第一齒條

23‧‧‧吸嘴組件

231‧‧‧吸氣桿

232‧‧‧彈性件

233‧‧‧吸嘴

234‧‧‧分隔部

235‧‧‧轉向齒輪

24‧‧‧組接部

241‧‧‧定位孔

242‧‧‧定位單元

243‧‧‧止擋塊

244‧‧‧按壓端

245‧‧‧彈力件

30‧‧‧驅動模組

31‧‧‧驅動組件

32‧‧‧平移桿

33‧‧‧驅動件

34‧‧‧驅動桿

35‧‧‧第二齒條

36‧‧‧驅動齒輪

40‧‧‧移動模組

41‧‧‧螺桿

42‧‧‧移動組件

43‧‧‧外殼

44‧‧‧定位部

45‧‧‧推桿

46‧‧‧定位桿

47‧‧‧復位件

50‧‧‧半導體晶片

圖1：為本創作多頭轉向吸嘴裝置之一種較佳實施例之立體外觀示意圖。

圖2：為本創作多頭轉向吸嘴裝置之一種較佳實施例之另一視角之立體外觀示意圖。

圖3：為本創作多頭轉向吸嘴裝置之一種較佳實施例之側視平面示意圖。

圖4：為本創作多頭轉向吸嘴裝置之一種較佳實施例之第一吸嘴模組之剖面示意圖。

圖5：為本創作多頭轉向吸嘴裝置之一種較佳實施例之第二吸嘴模組之剖面示意圖。

圖6：為本創作多頭轉向吸嘴裝置之一種較佳實施例之移動模組與吸嘴模組之剖面示意圖。

圖7：為本創作多頭轉向吸嘴裝置之一種較佳實施例之驅動模組側視剖面示意圖。

圖8：為本創作多頭轉向吸嘴裝置之一種較佳實施例之俯視局部示意圖。

圖9：為本創作多頭轉向吸嘴裝置之一種較佳實施例之移動模組組接吸嘴模組之剖面示意圖。

圖10：為本創作多頭轉向吸嘴裝置之一種較佳實施例之第二吸嘴模組之進氣通道進氣之剖面示意圖。

圖11：為本創作多頭轉向吸嘴裝置之一種較佳實施例之吸嘴模組吸取半導體晶片示意圖。

圖12：為本創作多頭轉向吸嘴裝置之一種較佳實施例之第二吸嘴模組上升示意圖。

圖13：為本創作多頭轉向吸嘴裝置之一種較佳實施例之驅動模組作動側視剖面示意圖。

圖14：為本創作多頭轉向吸嘴裝置之一種較佳實施例之吸氣桿轉向俯視局部示意圖。

圖15：為本創作多頭轉向吸嘴裝置之一種較佳實施例之吸氣桿未轉向時之仰視局部示意圖。

圖16：為本創作多頭轉向吸嘴裝置之一種較佳實施例之吸氣桿轉向之仰視局部示意圖。

請參閱圖1、圖2，為本創作多頭轉向吸嘴裝置之一種較佳實施例，其包含一機架10、多數吸嘴模組20、一驅動模組30及一移動模組40。

如圖1所示，該機架10界定有三度空間中相互垂直之X軸、Y軸及Z軸，該機架10的底部具有一沿著X軸方向延伸之導軌部11。

如圖1所示，該些吸嘴模組20係可沿著X軸移動地依序設置於該機架10之導軌部11上，如圖4、圖5所示，每一吸嘴模組20包含一殼體21、一轉向件22及一吸嘴組件23，該殼體21內部形成一Z軸向延伸之組設空間211以及一抽氣通道212，該殼體21的後方形成一組接部24，該抽氣通道212自殼體21外表面朝內延伸而連通該組設空間211，該轉向件22係設置於該殼體21上方，該吸嘴組件23係可沿Z軸方向移動地設置於該殼體21內，該吸嘴組件23包含一吸氣桿231及一彈性件232，該吸氣桿231係可沿Z軸方向移動地設置於該殼體21內，並位於該組設空間211內，該吸氣桿231的頂端伸出殼體21頂部且連接受控於該轉向件22，該吸氣桿231內有吸氣通道且底端具有一吸嘴233，且該吸氣桿231中段具有一分隔部234，該分隔部234氣密地連接組設空間211的側壁，且將該組設空間211區隔出一第一氣密空間213及一第二氣密空間214，該第一氣密空間213位於該第二氣密空間214的上方，所述抽氣通道212連通該第一氣密空間213，且該吸氣桿231之吸嘴233通過吸氣桿231內的吸氣通道連通該第一氣密空間213，該彈性件232係設置於該殼體21內，並位於該第一氣密空間213，該彈性件232向下推抵該吸氣桿231。

如圖1、圖4、圖5所示，該些吸嘴模組20區分為多數第一吸嘴模組20a及多數第二吸嘴模組20b，所述第一吸嘴模組20a及所述第二吸嘴模組20b呈交替排列，如圖7所示，每一第二吸嘴模組20b之殼體21內還形成一進氣通道215，該進氣通道215連通該第二吸嘴模組20b之第二氣密空間214，且該吸氣桿231之分隔部234位於該抽氣通道212及該進氣通道215之間。

如圖1、圖3所示，該驅動模組30係設置於該機架10上，該驅動模組30包含一驅動組件31及一平移桿32，該驅動組件31係設置於該機架10之一 端，該平移桿32係可朝Y軸方向移動地設置於該機架10之一側，該平移桿32連接受控於該驅動組件31，該些吸嘴模組20之轉向件22係可滑移地連接受控於該平移桿32，並控制所述吸氣桿231之轉向。

如圖2、圖6所示，該移動模組40係設置於該機架10上，並位於該導軌部11後方，該移動模組40包含一螺桿41及一移動組件42，該螺桿41係沿X軸方向樞設於該機架10之導軌部11後方，該移動組件42係可沿X軸方向移動地螺設於該螺桿41上，該移動組件42包含一外殼43及一定位部44，該外殼43係可移動地螺設於該螺桿41上，該定位部44係設置於該外殼43內，且該定位部44係可選擇性組接於該些吸嘴模組20之組接部24。

如圖6所示，其中該機架10之導軌部11包含一第一導軌12及複數第二導軌13，該第一導軌12及該些第二導軌13相互平行，所述吸嘴模組20皆設置於該第一導軌12及該些第二導軌13上，該第一導軌12具有一抵靠面14，該抵靠面14係面向所述移動模組40，每一吸嘴模組20之組接部24形成複數定位孔241，且該組接部24上樞設一定位單元242，該定位單元242的一端設有一止擋塊243，該止擋塊243係抵靠該第一導軌12之抵靠面14，該定位單元242相對該止擋塊243的另一端形成一按壓端244，且該定位單元242與該組接部24之間設有一彈力件245，該彈力件245係位於該定位單元242相對於該止擋塊243的另一端，該移動模組40之定位部44包含一推桿45及複數定位桿46，該推桿45係設置於該外殼43內，並可選擇性地對應該些吸嘴模組20之定位單元242的按壓端244，該些定位桿46係設置於該外殼43內，並可選擇性地對應該些吸嘴模組20之該些定位孔241，該推桿45與該外殼43之間、該些定位桿46與該外殼43之間皆設有一復位件47。

此外，如圖7、圖8所示，每一吸嘴模組20之轉向件22具有一第一齒條221，且每一吸嘴模組20之吸氣桿231之頂端具有一轉向齒輪235，所述 轉向齒輪235係嚙合於對應之轉向件22之第一齒條221，且該驅動組件31包含一驅動件33、一驅動桿34及二第二齒條35，該驅動件33係設置於該機架10之一側，該驅動桿34係沿著X軸方向且可轉動地設置於該機架10之導軌部11上，該驅動桿34的二端分別設有一驅動齒輪36，該驅動桿34係連接受控於該驅動件33，該二第二齒條35係分別可沿Y軸方向移動地設置於該機架10之導軌部11上，並分別嚙合於該驅動桿34之驅動齒輪36上方，該二第二齒條35的末端分別連接該平移桿32的二端。

本創作多頭轉向吸嘴裝置係應用於一檢測設備中，且連接於該檢測設備的驅動機構上，所述檢測設備還包含一機台(圖未示)、一氣壓裝置(圖未示)、一驅動裝置(圖未示)及一攝像裝置(圖未示)，該氣壓裝置及驅動裝置係設置於該機台上，該氣壓裝置包含一抽氣模組及一進氣模組，該多頭轉向吸嘴裝置之抽氣通道212連接該抽氣模組，該多頭轉向吸嘴裝置之進氣通道215及移動模組40之移動組件42皆連接進氣模組，且該螺桿41係用以外接於該驅動裝置，所述攝像裝置包含二個攝像件，該二攝像件相對設置於機台中，並於該二攝像件之間形成一檢測空間。

如圖2所示，當在進行半導體晶片50之檢測時，該檢測設備之驅動機構會帶動該多頭轉向吸嘴裝置移動，並將該多頭轉向吸嘴裝置之螺桿41連接該驅動裝置，該驅動裝置會驅動該螺桿41，使該移動組件42可於該螺桿41上移動，如圖9所示，當該移動組件42要帶動該些吸嘴模組20移動時，該移動組件42會移動至欲移動之吸嘴模組20後方，再藉由該氣壓裝置之進氣模組進行進氣，使該推桿45自該外殼43伸出並推抵所述吸嘴模組20之定位單元242的按壓端244，此時該定位單元242會旋動，該止擋塊243會脫離該第一導軌12之抵靠面14，使該些定位桿46分別自該外殼43伸出，並分別***所述吸嘴模組20之定位孔241內，以完成該移動組件42與所述吸嘴模組20之組接，此時，該移動組 件42可帶動所述吸嘴模組20移動至定位後，該氣壓裝置之進氣模組會停止進氣，該些復位件47會分別推抵該推桿45及該些定位桿46，使該推桿45及該些定位桿46復位，所述吸嘴模組20之彈力件245會推抵該定位單元242，使該止擋塊243再次抵靠該第一導軌12之抵靠面14，接著該移動組件42可再進行下一吸嘴模組20之組接及移動之作業，使該些吸嘴模組20之間形成間距。

如圖10、圖11所示，當完成該些吸嘴模組20之排列後，該檢測設備之驅動機構會帶動該多頭轉向吸嘴裝置水平移動至一乘載有半導體晶片50之平台(圖未示)上，並帶動該多頭轉向吸嘴裝置向下移動，使該些吸嘴模組20之吸嘴233接近該些半導體晶片50，接著該些吸嘴模組20可藉由該氣壓裝置之抽氣模組對該些吸嘴模組20之抽氣通道212進行抽氣，使該些吸嘴233吸取半導體晶片50，當該些吸嘴模組20之吸嘴233吸起該些半導體晶片50後，該檢測設備之驅動機構會帶動該多頭轉向吸嘴裝置向上移動，接著，如圖10、圖12所示，該氣壓裝置之進氣模組會對該些第二吸嘴模組20b之進氣通道215進行進氣，使該些第二吸嘴模組20b之第二氣密空間214因氣壓增加而擴張，該些吸嘴組件23之吸氣桿231會因此向上移動，進而使該些第二吸嘴模組20b所吸取之半導體晶片50與該些第一吸嘴模組20a所吸取之半導體晶片50形成高低差。

此時，該檢測設備之驅動機構會帶動該多頭轉向吸嘴裝置移動至該攝像裝置，使該些吸嘴模組20所吸取之半導體晶片50進入該攝像裝置之檢測空間內，以進行檢測，當所述攝像裝置完成該些半導體晶片50之其中二側面之檢測後，如圖13、圖14所示，該驅動件33會帶動該驅動桿34轉動，該驅動桿34二端之驅動齒輪36會同時帶動該二第二齒條35，使該二第二齒條35及該平移桿32沿著Y軸方向向外移動，當該平移桿32移動時，該平移桿32會拉動該些吸嘴模組20之轉向件22，使該些吸氣桿231之轉向齒輪235隨著該些轉向件22之第 一齒條221移動而產生轉動，使該攝像裝置之該二攝像件可進行該些半導體晶片50四側面之檢測。

如圖14至圖16所示，當該驅動模組30帶動該吸氣桿231轉動時，由於兩兩相鄰之半導體晶片50間具有高低差，故該些半導體晶片50在轉動時不會相互干涉，且如圖10所示，當完成該些半導體晶片50之檢測作業後，該檢測設備之驅動機構會帶動該多頭轉向吸嘴裝置移動至該平台，並使該些吸嘴模組20所吸取之半導體晶片50鄰近該平台之頂面後，該氣壓裝置會停止該些抽氣通道212之抽氣及該些進氣通道215之進氣，故該些半導體晶片50會自該吸嘴233掉落該平台上，且該些第二吸嘴模組20b之彈性件232會分別推抵對應之吸氣桿231，使該些吸氣桿231復位。

綜上所述，本創作多頭轉向吸嘴裝置可藉由該些吸嘴模組20進行多數半導體晶片50之吸取，並透過於進氣通道215進氣，使該些第二吸嘴模組20b之吸氣桿231升起，再藉由該驅動模組30帶動該些吸氣桿231轉動，故可依序進行多數半導體晶片50之檢測，進而提高檢測之效率。

10‧‧‧機架

11‧‧‧導軌部

20‧‧‧吸嘴模組

20a‧‧‧第一吸嘴模組

20b‧‧‧第二吸嘴模組

30‧‧‧驅動模組

31‧‧‧驅動組件

32‧‧‧平移桿

33‧‧‧驅動件

Claims (5)

1. 一種多頭轉向吸嘴裝置，其包含：一機架，其界定有三度空間中相互垂直之X軸、Y軸及Z軸，該機架的底部具有一沿著X軸方向延伸之導軌部；多數吸嘴模組，其係可沿著X軸移動地依序設置於該機架之導軌部上，每一吸嘴模組包含一殼體、一轉向件及一吸嘴組件，該殼體內部形成一Z軸向延伸之組設空間以及一抽氣通道，該殼體的後方形成一組接部，該抽氣通道自殼體外表面朝內延伸而連通該組設空間，該轉向件係設置於該殼體上方，該吸嘴組件係可沿Z軸方向移動地設置於該殼體內，該吸嘴組件包含一吸氣桿及一彈性件，該吸氣桿係可沿Z軸方向移動地設置於該殼體內，並位於該組設空間內，該吸氣桿的頂端伸出殼體頂部且連接受控於該轉向件，該吸氣桿內有吸氣通道且底端具有一吸嘴，且該吸氣桿中段具有一分隔部，該分隔部氣密地連接組設空間的側壁，且將該組設空間區隔出一第一氣密空間及一第二氣密空間，該第一氣密空間位於該第二氣密空間的上方，所述抽氣通道連通該第一氣密空間，且該吸氣桿之吸嘴通過吸氣桿內的吸氣通道連通該第一氣密空間，該彈性件係設置於該殼體內，並位於該第一氣密空間，該彈性件向下推抵該吸氣桿，該些吸嘴模組區分為多數第一吸嘴模組及多數第二吸嘴模組，所述第一吸嘴模組及所述第二吸嘴模組呈交替排列，每一第二吸嘴模組之殼體內還形成一進氣通道，該進氣通道連通該第二吸嘴模組之第二氣密空間，且該吸氣桿之分隔部位於該抽氣通道及該進氣通道之間；一驅動模組，其係設置於該機架上，該驅動模組包含一驅動組件及一平移桿，該驅動組件係設置於該機架之一端，該平移桿係可朝Y軸方向移動地設置於該機架之一側，該平移桿連接受控於該驅動組件，該些吸嘴模組之轉向件係可滑移地連接受控於該平移桿，並控制所述吸氣桿之轉向；以及 一移動模組，其係設置於該機架上，並位於該導軌部後方，該移動模組包含一螺桿及一移動組件，該螺桿係沿X軸方向樞設於該機架之導軌部後方，該移動組件係可沿X軸方向移動地螺設於該螺桿上，該移動組件包含一外殼及一定位部，該外殼係可移動地螺設於該螺桿上，該定位部係設置於該外殼內，且該定位部係可選擇性組接於該些吸嘴模組之組接部。
2. 如請求項1所述之多頭轉向吸嘴裝置，其中該機架之導軌部包含一第一導軌及複數第二導軌，該第一導軌及該些第二導軌相互平行，所述吸嘴模組皆設置於該第一導軌及該些第二導軌上，該第一導軌具有一抵靠面，該抵靠面係面向所述移動模組，每一吸嘴模組之組接部形成複數定位孔，且該組接部上樞設一定位單元，該定位單元的一端設有一止擋塊，該止擋塊係抵靠該第一導軌之抵靠面，該定位單元相對該止擋塊的另一端形成一按壓端，且該定位單元與該組接部之間設有一彈力件，該彈力件係位於該定位單元相對於該止擋塊的另一端，該移動模組之定位部包含一推桿及複數定位桿，該推桿係設置於該外殼內，並可選擇性地對應該些吸嘴模組之定位單元的按壓端，該些定位桿係設置於該外殼內，並可選擇性地對應該些吸嘴模組之該些定位孔，該推桿與該外殼之間，以及該些定位桿與該外殼之間皆設有一復位件。
3. 如請求項1所述之多頭轉向吸嘴裝置，其中每一吸嘴模組之轉向件具有一第一齒條，且每一吸嘴模組之吸氣桿之頂端具有一轉向齒輪，所述轉向齒輪係嚙合於對應之轉向件之第一齒條。
4. 如請求項2所述之多頭轉向吸嘴裝置，其中每一吸嘴模組之轉向件具有一第一齒條，且每一吸嘴模組之吸氣桿之頂端具有一轉向齒輪，所述轉向齒輪係嚙合於對應之轉向件之第一齒條。
5. 如請求項1至4中任一項所述之多頭轉向吸嘴裝置，其中該驅動組件包含一驅動件、一驅動桿及二第二齒條，該驅動件係設置於該機架之一 側，該驅動桿係沿著X軸方向且可轉動地設置於該機架之導軌部上，該驅動桿的二端分別設有一驅動齒輪，該驅動桿係連接受控於該驅動件，該二第二齒條係分別可沿Y軸方向移動地設置於該機架之導軌部上，並分別嚙合於該驅動桿之驅動齒輪上方，該二第二齒條的末端分別連接該平移桿的二端。