TWI584398B - Temporary platform automatic correction device and method thereof - Google Patents

Description

暫存平台自動校正裝置及其方法

本發明為提供一種暫存平台自動校正裝置及其方法，特別是指一種自動校正讓使用更為便利快速，且提高準確度及靈活度的暫存平台自動校正裝置及其方法。

按，習用晶舟盒運送裝置包含有一位移機構、一設於位移機構上且可位移之夾爪及一與位移機構資訊連結之控制裝置，並夾爪係受位移機構的連動以選擇性搬移晶舟盒至平台上；而使用時係於控制裝置中依據平台的位置或晶舟盒的大小等輸入移動順序及移動距離，使控制裝置依序作動來控制夾爪進行位移，藉此達到搬移晶舟盒之目的。

但是於實際使用上卻發現每次平台的位置有變更時，係需要重新輸入移動距離，且此移動距離需要操作者自行實際量測，並經過一再測試才能取得正確移動距離，除了相當麻煩耗時外精準度係相當低。

是以，要如何解決上述習用之問題與缺失，即為本發明之發明人與從事此行業之相關廠商所亟欲研究改善之方向所在者。

故，本發明之發明人有鑑於上述缺失，乃蒐集相關資料，經由多方評估及考量，並以從事於此行業累積之多年經驗，經由不斷試作及修改，始設計出此種自動校正讓使用更為便利快速，且提高準確度及靈活度的暫存平台自動校正裝置及其方法的發明專利者。

本發明之主要目的在於：經由自動感應定位來縮短校正時間及降低難度。

本發明之再一主要目的在於：提升運送時的精準度及通用性。

為達上述目的，本發明包括有一供運送晶舟盒之運送模組，且運送模組包含有至少一得平移或升降以搬運晶舟盒之搬運裝置，並搬運裝置上得選擇性設置有至少一感應裝置，再感應裝置及運送模組資訊連結有至少一控制運算模組，控制運算模組係供使用者輸入一距離值；當本發明運作時，感應裝置可感應搬運裝置與供擺放晶舟盒之平台間的距離，且資訊傳遞給控制運算模組以控制搬運裝置進行升降，和依距離值控制搬運裝置與平台之間的距離，或控制搬運裝置與晶舟盒之間的間距。

亦可使搬運裝置進行平移，且由感應裝置來感應平台兩側邊之位置，並將感應結果資訊傳遞給控制運算模組來計算出平台之中央位置，藉由上述技術，可針對習用晶舟盒運送裝置所存在之麻煩耗時及精準度低的問題點加以突破，達到自動校正讓使用更為便利快速，且提高準確度及靈活度之實用進步性。

1‧‧‧運送模組

11‧‧‧搬運裝置

12‧‧‧平移裝置

13‧‧‧升降裝置

2‧‧‧感應裝置

3‧‧‧控制運算模組

4‧‧‧平台

T1‧‧‧距離值

T2‧‧‧範圍值

第一圖 係為本發明較佳實施例之結構示意圖。

第二圖 係為本發明較佳實施例之步驟示意圖。

第三圖 係為本發明較佳實施例之對中心動作示意圖。

第四圖 係為本發明較佳實施例之平台過近示意圖。

第五圖 係為本發明較佳實施例之平台超出示意圖。

第六圖 係為本發明較佳實施例之平台過遠示意圖。

第七圖 係為本發明較佳實施例之平台對位示意圖。

第八圖 係為本發明較佳實施例之平台定位示意圖。

第九圖 係為本發明再一較佳實施例之步驟示意圖。

為達成上述目的及功效，本發明所採用之技術手段及構造，茲繪圖就本發明較佳實施例詳加說明其特徵與功能如下，俾利完全了解。

請參閱第一圖所示，係為本發明較佳實施例之結構示意圖，由圖中可清楚看出本發明包括一供運送晶舟盒之運送模組1、至少一感應裝置2及至少一控制運算模組3(於本實施例以控制運算模組3設於運送模組1側處作為解說)，而運送模組1包含有至少一得平移或升降以搬運晶舟盒之搬運裝置11，及與搬 移裝置12及升降裝置13連動搬運裝置11，將晶舟盒擺放於平台4(於本實施例以平台4設於運送模組1側處作為解說)上，且感應裝置2得選擇性設置於搬運裝置11上，以供感測平台4的寬度及搬運裝置11與平台4之間的距離，並依感應結果產生感應資訊，而控制運算模組3與運送模組1資訊連結以控制其作動，且控制運算模組3係與感應裝置2資訊連結，以依前述感應資訊來控制搬運裝置11進行位移或對其校正，更於完成校正後亦得將感應裝置2取下與搬運裝置11分離以避免沾染髒汙或妨礙搬運晶舟盒等。

請同時配合參閱第一圖至第八圖所示，係為本發明較佳實施例之結構示意圖、步驟示意圖、對中心動作示意圖、平台過近示意圖、平台超出示意圖、平台過遠示意圖、平台對位示意圖及平台定位示意圖，由圖中可清楚看出，本發明作動時如第二圖所示，主要可分為位移、測平台4中心及測平台4距離等步驟。

步驟(a)位移：係先由控制運算模組3控制運送模組1進行位移至平台4處。

步驟(b)測平台4中心：如第三圖所示，由感應裝置2對平台4的兩側邊進行感應以取得兩側邊之相對位置(即寬度)，且產生感應資訊及傳遞給控制運算模組3進行計算，藉此校正計算出平台4之中央位置。

步驟(c)測平台4距離：使用者係得於控制運算模組3供輸入一距離值T1及一範圍值T2，且感應裝置2係感應搬運裝置11與平台4之間的距離以產生感應資訊，並資訊傳遞給控制運算模組3進行計算，控制運算模組3則依照計算結果控制搬運裝置11進行升降，以自動控制及校正搬運裝置11與平台4之間的距離。

舉例來說，當距離值T1設定為100mm，且範圍值T2設定為+/-5mm時，如第四圖所示，當感應裝置2感應搬運裝置11與平台4之間的距離小於距離值T1(100mm)時，控制運算模組3係令搬運裝置11上升；如第五圖所示，當感應裝置2感應搬運裝置11與平台4之間的距離，大於距離值T1(100mm)及範圍值T2(10mm)的加總(110mm)時，控制運算模組3係令搬運裝置11下降； 如第六圖所示，當感應裝置2感應搬運裝置11與平台4之間的距離，雖大於距離值T1(100mm)，但小於距離值T1(100mm)及範圍值T2(10mm)的加總(110mm)時，控制運算模組3仍令搬運裝置11下降；直至如第七圖所示，於感應裝置2感應搬運裝置11與平台4之間的距離介於距離值T1(100mm)及範圍值T2(10mm)之間為止，即兩者距離等同距離值T1(100mm)，然後如第八圖所示，由控制運算模組3依照範圍值T2的設定上升搬運裝置11一定高度，於本實施例中因範圍值T2的設定為+/-5mm，故搬運裝置11會再上升5mm，藉此以自動控制及校正搬運裝置11與平台4之間的距離。

請參閱第九圖所示，係為本發明再一較佳實施例之步驟示意圖，由圖中可清楚看出本實施例與前述實施例大致相同，差異處僅在於前述實施例之步驟(b)測平台中心及步驟(c)測平台距離，本實施例中順序交換為步驟(b)測平台距離及步驟(c)測平台中心，以說明「測平台中心」與「測平台距離」兩步驟間沒有絕對的優先順序。

是以，本發明之暫存平台自動校正裝置及其方法為可改善習用之技術關鍵在於：

一、藉由運送模組1、感應裝置2及控制運算模組3相配合，令本發明達到自動校正讓使用更為便利快速之實用進步性。

二、藉由運送模組1、感應裝置2及控制運算模組3相配合，令本發明達到自動校正來提高準確度及靈活度之實用進步性。

惟，以上所述僅為本發明之較佳實施例而已，非因此即侷限本發明之專利範圍，故舉凡運用本發明說明書及圖式內容所為之簡易修飾及等效結構變化，均應同理包含於本發明之專利範圍內，合予陳明。

綜上所述，本發明之暫存平台自動校正裝置及其方法於使用時，為確實能達到其功效及目的，故本發明誠為一實用性優異之發明，為符合發明專利之申請要件，爰依法提出申請，盼 審委早日賜准本發明，以保障發明人之辛苦發明，倘若 鈞局審委有任何稽疑，請不吝來函指示，發明人定當竭力配合，實感公便。

1‧‧‧運送模組

11‧‧‧搬運裝置

12‧‧‧平移裝置

13‧‧‧升降裝置

2‧‧‧感應裝置

3‧‧‧控制運算模組

4‧‧‧平台

Claims (7)

1. 一種暫存平台自動校正裝置，其包括：一供運送晶舟盒之運送模組，該運送模組包含有至少一得平移或升降之搬運裝置以搬運該晶舟盒；至少一感應裝置，該感應裝置得選擇性設置於該搬運裝置上，以感測該搬運裝置與供平台間之距離及感測該平台的寬度，且依感應結果產生感應資訊；及至少一控制運算模組，該控制運算模組係與該運送模組資訊連結以控制其作動，且該控制運算模組係與該感應裝置資訊連結，並得依前述感應資訊控制該搬運裝置進行位移或校正，而該控制運算模組係供使用者輸入一距離值，更得依前述距離值控制該搬運裝置與供擺放該晶舟盒的該平台之距離，或控制該搬運裝置與該晶舟盒之間的間距。
2. 如申請專利範圍第1項所述之暫存平台自動校正裝置，其中該運送模組還包含有與該搬運裝置連結作動之至少一平移裝置及至少一升降裝置。
3. 如申請專利範圍第1項所述之暫存平台自動校正裝置，其中該控制運算模組得依前述感應資訊算出該平台之中央位置。
4. 如申請專利範圍第1項所述之暫存平台自動校正裝置，其中該控制運算模組係供使用者輸入一範圍值，且得依前述範圍值及上述距離值控制該搬運裝置作動。
5. 一種暫存平台自動校正方法，其步驟為：(a)由控制運算模組控制供運送晶舟盒之運送模組進行位移；(b)使用者係得於該控制運算模組輸入一距離值，且選擇性設置於該運送模組之搬運裝置上的感應裝置，係感應該搬運裝置與供擺放該晶舟盒之平台間的距離以產生感應資訊，且資訊傳遞給該控制運算模組以控制該搬運裝置進行升降，和依前述距離值控制該搬運裝置與該平台之間的距離，或控制該搬運裝置與該晶舟盒之間的間距；及(c)該搬運裝置進行平移，且該感應裝置係感應該平台的兩側邊以產生感應資訊，並資訊傳遞給該控制運算模組以計算出該平台之中央位置。
6. 如申請專利範圍第5項所述之暫存平台自動校正方法，其中該步驟(a)所述之該運送模組，還包含有與該搬運裝置連結作動之至少一平移裝置及至少一升降裝置。
7. 如申請專利範圍第5項所述之暫存平台自動校正方法，其中該控制運算模組係供使用者輸入一範圍值，且得依前述範圍值及上述距離值控制該搬運裝置作動。