TWI580926B - Three - dimensional measuring device - Google Patents

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TWI580926B
TWI580926B TW105117804A TW105117804A TWI580926B TW I580926 B TWI580926 B TW I580926B TW 105117804 A TW105117804 A TW 105117804A TW 105117804 A TW105117804 A TW 105117804A TW I580926 B TWI580926 B TW I580926B
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Nobuyuki Umemura
Tsuyoshi Ohyama
Norihiko Sakaida
Manabu Okuda
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Ckd Corp
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Description

三維測量裝置
本發明係有關一種利用相移法進行三維測量之三維測量裝置。
一般，在印刷基板上封裝電子零件之情況，首先在配設於印刷基板上之既定的電極圖案上印刷銲膏。接著，依據該銲膏的黏性使電子零件暫時固定於印刷基板上。之後，前述印刷基板被導引至回銲爐，經過既定的回銲工程而進行銲接。近來，於導入回銲爐的前階段有必要檢查銲膏的印刷狀態，在進行此種檢查時有時使用三維測量裝置。
近年提案有各種使用光的非接觸式三維測量裝置。當中使用相移法的三維測量裝置廣為周知。
在利用相移法的三維測量裝置中，利用既定的投影手段對被測量物投影既定的條紋圖案。投影手段係具備發出既定的光之光源和將源自該光源的光變換成條紋圖案之格柵而成。
上述格柵係形成讓光透射的透光部與遮蔽光的遮光部交互排列配置的構成。
而且，使用配置在被測量物的正上之拍攝手 段拍攝投影在被測量物上之條紋圖案。作為拍攝手段，使用由透鏡及拍攝元件等所構成之CCD相機等。
於上述構成下，在藉相機拍攝的影像資料上之各畫素的光強度(輝度)I可依下式(U1)獲得。
I=f．sinφ+e．．(U1)
其中，f：增益，e：偏移量，φ：條紋圖案的相位。
然後，在以往，如圖28所示，係使格柵間歇移動，使條紋圖案的相位例如進行各90°的四種(φ+0、φ+90°、φ+180°、φ+270°)偏移，並在格柵每次停止時拍攝條紋圖案。藉此，可取得在不同相位的各條紋圖案之下所拍攝之擁有強度分布I0、I1、I2、I3的影像資料，進而可依據下述式(U2)求出相位φ。
φ=tan-1[(I1-I3)/(I2-I0)]．．(U2)
使用此相位φ，可依據三角測量原理求出在被測量物上的各座標(X，Y)之高度(Z)。
一般，關於使用相移法的三維測量裝置，為提高測量精度，投影具有正弦波狀的光強度分布之條紋圖案。但是，投影具有精度佳的正弦波狀的光強度分布之條紋圖案係非常困難。
相對，近年亦可見一種透過將經由格柵變換的具有矩形波狀的光強度分布之條紋圖案以挪移焦點的方式投影於被測量物而投影具有正弦波狀的光強度分布之條紋圖案的技術(例如，參照專利文獻1)。
[先前技術文獻] [專利文獻]
[專利文獻1]日本特開2007-85862號公報
然而，與對準焦點情況不同，要將條紋圖案的焦點之偏移情況維持管理成所期望的狀態係非常困難，而有投影於被測定物上的條紋圖案之光強度分布(波形)容易走樣，無法成為正弦波狀的光強度分布之虞。
又，由於條紋圖案的焦點之偏移情況亦因與被測量物之相對位置關係而異，故當與被測量物之相對位置關係變化時，會有導致條紋圖案之光強度分布(波形)亦變化之虞。
再者，由於是挪移焦點進行投影，故亦無法使用遠心光學系投影條紋圖案。
結果，擔心在三維測量中之測量精度降低。
此外，上述課題未必限定於印刷在印刷基板上之銲膏等的高度測量，亦包含在其他三維測量裝置領域中。
本發明係有鑑於上述情事而完成者，其目的在於提供一種在進行利用相移法的三維測量時，能達成飛躍地提升測量精度之三維測量裝置。
以下，針對適合於上述課題之各手段，作分 項說明。此外，因應需求而在對應的手段上附記特有的作用效果。
手段1.一種三維測量裝置，其特徴為，具備：投影手段，具有發出既定的光之光源、將來自該光源的光變換成既定的條紋圖案之格柵及可移動該格柵的驅動手段，且可對被測量物(例如印刷基板)投影前述條紋圖案；拍攝手段，可拍攝被投影前述條紋圖案的前述被測量物；影像取得手段，控制前述投影手段及前述拍攝手段，可取得不同光強度分布的複數個影像資料；及影像處理手段，可依據藉由前述影像取得手段所取得之複數個影像資料利用相移法執行前述被測量物的三維測量， 前述影像取得手段在取得前述複數個影像資料中的1個影像資料上，執行使前述格柵移往既定位置並暫時停止之處理，並且 至少於前述格柵停止期間中，以及在包含該停止期間開始前的格柵移動期間中的一部份及/或該停止期間結束後的格柵移動期間中的一部份之既定期間執行連續地進行拍攝(曝光)之拍攝處理，或， 至少在前述格柵停止期間中，以及在包含該停止期間開始前的格柵移動期間中的一部份及/或該停止期間結束後的格柵移動期間中的一部份之既定期間，執行分成複數次進行拍攝(曝光)之拍攝處理，執行將該拍攝結果(所拍攝之複數個影像資料的各畫素之輝度值)按畫素進行加算或平均之處理。
依據上述手段1，不僅在間歇移動的格柵的停 止期間中，在之前及/或之後的移動期間中之一部份亦被拍攝期間(既定期間)所包含。接著，將在此拍攝期間中連續地拍攝停止中及移動中的條紋圖案，或，分成複數次拍攝並按各畫素將該拍攝結果加算或平均。藉此，可取得在一部份含有移動中的條紋圖案的資料之影像資料。
其結果，在取得利用相移法進行三維測量上所需之不同光強度分布的複數個影像資料當中的1個影像資料上，與投影既定的條紋圖案(例如具有矩形波狀的光強度分布之條紋圖案)且僅在停止期間中拍攝的情況相較下，可取得具有更接近於理想的正弦波之光強度分布的影像資料。
此處所謂「正弦波狀」係意味著「呈現像正弦波那樣的形狀」，而在僅言及「正弦波狀」的情況，不僅是理想的「正弦波」，亦包含近似「正弦波」者(關於後述的「矩形波」等其他「非正弦波」亦同樣)。
又，在上述「既定的條紋圖案」亦含有「具有正弦波狀的光強度分布之條紋圖案」。亦即，也可建構成：投影非理想的「正弦波」之具有近似正弦波的光強度分布之條紋圖案，以取得具有更接近理想的正弦波之光強度分布的影像資料。
依據本手段，即使在對準焦點狀態投影條紋圖案，亦可取得具有正弦波狀的光強度分布之影像資料。藉由可在對準焦點狀態下投影條紋圖案，條紋圖案的光強度分布(波形)變得容易維持。再者，亦可進行使用遠心光學系的條紋圖案之投影。
結果，在進行利用相移法的三維測量時，可達成飛躍地提升測量精度。
又，就以往而言，如圖28所示，建構成：於格柵移動處理完了的同時(或移動處理完了後)，開始拍攝處理，於拍攝處理結束的同時(或拍攝處理結束後)，開始格柵的移動處理。
而且，通常格柵的移動，為避免振動等而花費較長的時間進行，故要縮短格柵的移動期間有限。
相對地，依據本手段，係建構成：在未待格柵的移動處理完了之下開始拍攝處理及/或在未待拍攝處理完了之下開始格柵移動處理。藉此，縮短格柵的停止期間，可達成測量的高速化。
此外，若從縮短格柵的停止期間之觀點來看，在格柵的停止期間開始前之格柵移動期間中不包含於拍攝期間的情況，亦即在僅停止期間結束後之格柵移動期間中之一部份包含於拍攝期間之情況，宜於格柵的移動處理完了(開始格柵停止處理)的同時，開始拍攝處理。同樣地，在格柵的停止期間結束後之格柵移動期間中不包含於拍攝期間之情況，亦即在僅停止期間開始前之格柵移動期間中之一部份包含於拍攝期間之情況，宜於拍攝處理完了的同時，開始格柵的移動處理。
手段2.如手段1之三維測量裝置，其中前述既定期間(拍攝期間)的長度設定成前述格柵的一次的移動期間(格柵移動相當於一次的相位偏移量之份量的期間)的長度以下。
拍攝期間所含之格柵的移動期間的比例越增加，越能減少與理想的正弦波之誤差，但在超過移動相當於既定的相位偏移量之份量(例如相當於相位90°之份量)的期間進行拍攝之情況，會有影像資料之光強度分布偏離理想的正弦波之虞。對此，依據本手段，可達成抑制測量精度的降低。
手段3.如手段1或2之三維測量裝置，其中前述既定的條紋圖案係具有非正弦波狀的光強度分布之條紋圖案。
此外，上述所謂「非正弦波」係意味著例如「矩形波」、「梯形波」、「三角波」、「鋸齒波」等不是「正弦波」之既定的波。
一般，比起投影具有非正弦波狀(例如矩形波狀)的光強度分布之條紋圖案進行三維測量，以投影具有正弦波狀的光強度分布之條紋圖案進行三維測量者測量精度較佳。
然而，如同上述，利用投影手段生成具有正弦波狀的光強度分布之條紋圖案係非常困難，有將機械構成複雜化之虞。
針對這點，依據本手段3，在不使投影手段之機械構成複雜化之下，投影非正弦波之具有非正弦波狀(例如矩形波狀)的光強度分布之條紋圖案並進行較簡單的控制處理或演算處理等，可取得具有正弦波狀的光強度分布之影像資料。結果，可達成抑制機械構成的複雜化，甚至可抑制製造成本。
手段4.如手段1至3中任一手段之三維測量裝置，其中前述格柵係供光透射的透光部與遮蔽光的遮光部交互排列配置之構成。
依據上述手段4，可獲得與上述手段3同樣的作用效果。透過使用像本手段那樣的二值格柵，可投影至少具有輝度最大且成為一定之平坦的峰值部分(以下，謂之「明部」)與輝度最小且成為一定之平坦的峰值部分(以下，謂之「暗部」)的光強度分布之條紋圖案。亦即，可投影具有矩形波狀或梯形波狀的光強度分布之條紋圖案。
通常，起因於通過格柵的光並非完整的平行光，在透光部及遮光部的交界部中之繞射作用等，在條紋圖案的「明部」及「暗部」的交界部可能產生中間階調域，故未成為完整的矩形波。
此處，格柵中之透光部及遮光部的配置間隔等依構成而異，但在「明部」與「暗部」的交界部中之中間階調域的輝度斜率急遽的情況，成為具有矩形波狀的光強度分布之條紋圖案，在中間階調域的輝度斜率和緩的情況，成為具有梯形波狀的光強度分布之條紋圖案。
手段5.如手段1至4中任一手段之三維測量裝置，其中前述被測量物係印刷有銲膏的印刷基板，或形成有銲點凸塊的晶圓基板。
依據上述手段5，可進行印刷於印刷基板之銲膏或形成於晶圓基板之銲點凸塊的高度測量等。進而，在銲膏或銲點凸塊的檢查中，依據其測量值可進行銲膏 或銲點凸塊之良否判定。因此，在此種檢查中，可獲得上述各手段之作用效果，可精度佳地進行良否判定。結果，可達成提升在銲料印刷檢查裝置或銲點凸塊檢查裝置中之檢查精度。
1‧‧‧基板檢查裝置
2‧‧‧印刷基板
4‧‧‧照明裝置
4a‧‧‧光源
4b‧‧‧格柵板
5‧‧‧相機
6‧‧‧控制裝置
24‧‧‧影像資料記憶手段
[圖1]係示意顯示基板檢查裝置之概略構成圖。
[圖2]係表示基板檢查裝置的電氣構成之方塊圖。
[圖3]係示意顯示被投影在印刷基板上之條紋圖案的態樣圖。
[圖4]係用以說明相機及照明裝置的處理動作之時序圖。
[圖5]係表示在第1模擬中每經過既定時間之拍攝元件在X軸方向(座標X1~X12)的光強度分布之表。
[圖6]係表示在第1模擬中每經過既定時間之拍攝元件在X軸方向(座標X13~X24)的光強度分布之表。
[圖7]係表示在第1模擬中每經過既定時間之拍攝元件在X軸方向(座標X25~X36)的光強度分布之表。
[圖8]係有關第1模擬的表，(a)係表示拍攝元件在X軸方向(座標X1~X10)之理想的正弦波的光強度分布之表，(b)係表示各畫素中之輝度值的各種平均值的表，(c)係表示理想值與各種平均值之差的表。
[圖9]係有關第1模擬的表，(a)係表示拍攝元件在X軸方向(座標X11~X20)之理想的正弦波的光強度分布之表，(b)係表示各畫素中之輝度值的各種平均值的表，(c) 係表示理想值與各種平均值之差的表。
[圖10]係有關第1模擬的表，(a)係表示拍攝元件在X軸方向(座標X21~X30)之理想的正弦波的光強度分布之表，(b)係表示各畫素中之輝度值的各種平均值的表，(c)係表示理想值與各種平均值之差的表。
[圖11]係有關第1模擬的表，(a)係表示拍攝元件在X軸方向(座標X31~X36)之理想的正弦波的光強度分布之表，(b)係表示各畫素中之輝度值的各種平均值的表，(c)係表示理想值與各種平均值之差的表。
[圖12]係表示第1模擬的條紋圖案的光強度分布之曲線圖。
[圖13]係表示圖8~圖11的(a)所示之理想的正弦波的光強度分布之曲線圖。
[圖14]繪製圖8~圖11的(b)所示之各種平均值的曲線圖。
[圖15]繪製圖8~圖11的(c)所示之各種平均值與理想值之差的曲線圖。
[圖16]係表示在第2模擬中每經過既定時間之拍攝元件在X軸方向(座標X1~X12)的光強度分布之表。
[圖17]係表示在第2模擬中每經過既定時間之拍攝元件在X軸方向(座標X13~X24)的光強度分布之表。
[圖18]係表示在第2模擬中每經過既定時間之拍攝元件在X軸方向(座標X25~X36)的光強度分布之表。
[圖19]係有關第2模擬的表，(a)係表示拍攝元件在X軸方向(座標X1~X10)之理想的正弦波的光強度分布之 表，(b)係表示各畫素中之輝度值的各種平均值的表，(c)係表示理想值與各種平均值之差的表。
[圖20]係有關第2模擬的表，(a)係表示拍攝元件在X軸方向(座標X11~X20)之理想的正弦波的光強度分布之表，(b)係表示各畫素中之輝度值的各種平均值的表，(c)係表示理想值與各種平均值之差的表。
[圖21]係有關第2模擬的表，(a)係表示拍攝元件在X軸方向(座標X21~X30)之理想的正弦波的光強度分布之表，(b)係表示各畫素中之輝度值的各種平均值的表，(c)係表示理想值與各種平均值之差的表。
[圖22]係有關第2模擬的表，(a)係表示拍攝元件在X軸方向(座標X31~X36)之理想的正弦波的光強度分布之表，(b)係表示各畫素中之輝度值的各種平均值的表，(c)係表示理想值與各種平均值之差的表。
[圖23]係表示第2模擬的條紋圖案的光強度分布之曲線圖。
[圖24]係表示圖19~圖22的(a)所示之理想的正弦波的光強度分布之曲線圖。
[圖25]繪製圖19~圖22的(b)所示之各種平均值的曲線圖。
[圖26]繪製圖19~圖22的(c)所示之各種平均值與理想值之差的曲線圖。
[圖27](a)、(b)係用以說明別的實施形態中之相機及照明裝置的處理動作之時序圖。
[圖28]係用以說明習知的相機及照明裝置的處理動 作之時序圖。
以下，針對一實施形態，一邊參照圖面一邊作說明。圖1係示意顯示具備本實施形態中之三維測量裝置的基板檢查裝置1之概略構成圖。如同一圖所示，基板檢查裝置1具備：載置台3，其用以載置印刷有作為測量對象的銲膏K(參照圖3)而成之作為被測量物的印刷基板2；作為投影手段之照明裝置4，其對印刷基板2的表面從斜上方投影既定的條紋圖案(條紋狀的光圖案)；作為拍攝手段的相機5，其拍攝印刷基板2上的被投影條紋圖案的部分；及控制裝置6，其用以實施照明裝置4或相機5的驅動控制等在基板檢查裝置1內之各種控制或影像處理、演算處理。控制裝置6係構成本實施形態中的影像取得手段及影像處理手段。
在載置台3設有馬達15、16，透過控制裝置6驅動控制該馬達15、16使載置於載置台3上的印刷基板2朝任意方向(X軸方向及Y軸方向)滑動。
照明裝置4係具備發出既定的光之光源4a、將源自該光源4a的光變換成條紋圖案之格柵板4b，受控制裝置6驅動控制。此處，從光源4a發出的光係被導往集光透鏡(圖示略)，在那成為平行光後，經由格柵板4b導入投影透鏡(圖示略)而以條紋圖案投影於印刷基板2。
此外，亦可作成於具有集光透鏡或投影透鏡等之照明裝置4的光學系使用遠心光學系之構成。印刷基板2在移動於檢查區域之際會有高度位置微妙變化之虞 。若使用遠心光學系，則可在不受此種變化影響下精度佳地進行測量。
格柵板4b係成為供光透射之直線狀的透光部與遮蔽光的直線狀遮光部在正交於光源4a的光軸既定方向交互排列之配置構成。藉此，對印刷基板2可投影具有矩形波狀或梯形波狀的光強度分布之條紋圖案。如圖3所示，本實施形態中，投影了條紋的方向是正交於X軸方向且平行於Y軸方向的條紋圖案。
通常，起因於通過格柵板4b的光並非完整的平行光，在透光部及遮光部的交界部中之繞射作用等，在條紋圖案的「明部」及「暗部」的交界部可能產生中間階調域，故未成為完整的矩形波。其中，圖3中為了簡化，省略中間階調域，以明暗二值的條紋模樣圖示出條紋圖案。
此處，格柵板4b中之透光部及遮光部的配置間隔等依構成而異，但在「明部」與「暗部」的交界部中之中間階調域的輝度斜率急遽的情況，成為具有矩形波狀的光強度分布之條紋圖案(參照圖12)，在中間階調域的輝度斜率和緩的情況，成為具有梯形波狀的光強度分布之條紋圖案(參照圖23)。
再者，照明裝置4具備移動格柵板4b之壓電元件等的驅動手段(圖示略)。控制裝置6係藉由驅動控制該驅動手段，進行朝與光源4a的光軸正交之前述既定方向移動格柵板4b之移動處理。藉此，能以使條紋圖案相對於印刷基板2沿著X軸方向一邊偏移各90°(各四分之一間 距)相位一邊繼續間歇移動下去的方式進行投影。
相機5具備透鏡或拍攝元件等。本實施形態中採用CCD感測器作為拍攝元件。本實施形態的拍攝元件具有例如在X軸方向(水平方向)512畫素，Y軸方向(垂直方向)480畫素的解析度。
藉由相機5拍攝之影像資料係於該相機5內部變換成數位信號後，以數位信號的形式被輸入於控制裝置6，記憶於後述的影像資料記憶裝置24。然後，控制裝置6依據該影像資料，實施後述般的影像處理或演算處理等。
此處，針對控制裝置6之電氣構成作說明。如圖2所示，控制裝置6具備：掌管基板檢查裝置1整體的控制之CPU及輸入輸出介面21(以下，謂之「CPU等21」)；由鍵盤或滑鼠、觸控面板等所構成之作為「輸入手段」的輸入裝置22；CRT或液晶等的具有顯示畫面之作為「顯示手段」的顯示裝置23；用以記憶利用相機5所拍攝的影像資料等之影像資料記憶裝置24；用以記憶各種演算結果之演算結果記憶裝置25；及用以預先記憶設計資料等的各種資訊之設定資料記憶裝置26等。此外，此等各裝置22~26係與CPU等21電連接。
其次，針對基板檢查裝置1按印刷基板2的各檢查區域所進行之檢查程序，參照圖4作詳細說明。圖4係用以說明相機5及照明裝置4的處理動作之時序圖。
此種檢查程序係在控制裝置6(CPU等21)上被執行者。本實施形態中，針對各檢查區域，藉由進行分 別4次的影像取得處理，取得不同光強度分布的4種的影像資料。
控制裝置6，首先驅動控制馬達15、16使印刷基板2移動，將相機5的視野(拍攝範圍)對準印刷基板2上的既定的檢查區域。此外，檢查區域係為以相機5的視野的大小為1單位將印刷基板2的表面預先分割當中的1個區域。
接著，控制裝置6係驅動控制照明裝置4及相機5，使格柵板4b的位置移往第1設定位置(例如相位「0°」的位置)並開始第1次的影像取得處理。此外，格柵板4b的設定位置於4次的影像取得處理中分別不同，以在設定位置中之條紋圖案的相位各偏移90°(每四分之一間隔)的方式設定。
當第1次的影像取得處理開始時，控制裝置6係於既定的時序N1使照明裝置4的光源4a發光，開始條紋圖案的投影，同時開始相機5的拍攝處理。但是，在此時點格柵板4b還是移動中。格柵板4b的移動中，係被投影於檢查區域之條紋圖案沿著X軸方向以一定速度連續移動。
當拍攝處理開始時，於既定的拍攝期間中分成複數次利用相機5進行拍攝(曝光)。更詳言之，條紋圖案每移動既定量△x(例如相當於條紋圖案的相位10°之距離)，亦即每經過既定時間△t即拍攝印刷基板2。此處，每經過既定時間△t利用相機5所拍攝的影像資料係隨時朝影像資料記憶裝置24傳送並記憶。
之後，控制裝置6係於既定的時序M1停止格柵板4b的移動處理，但繼續拍攝處理。
然後，控制裝置6係於從時序N1經既定時間後的時序N2使照明裝置4的光源4a消光，結束條紋圖案的投影並結束相機5的拍攝處理。
又，控制裝置6係於從時序N1經既定時間後的時序M2，結束格柵板4b的移動處理。但是，本實施形態中設定成：格柵板4b的移動處理之開始時序M2和相機5的拍攝處理之結束時序N2是同時。
當相機5的拍攝處理結束時，控制裝置6依據藉該拍攝處理所得之拍攝結果執行既定的演算處理。更詳言之，執行將於拍攝處理所拍攝之一連串的影像資料(條紋圖案每移動既定量△x所拍攝之複數個影像資料)之各畫素的輝度值按各畫素作加算，算出其平均值之平均處理。藉以取得具有正弦波狀的光強度分布之影像資料。
接著，控制裝置6將依上述平均處理所取得之影像資料記憶於演算結果記憶裝置25，結束第1次的影像取得處理。
另一方面，控制裝置6係在第1次的影像取得處理結束後，或在第1次的影像取得處理之上述平均處理的執行中，驅動控制照明裝置4及相機5，使格柵板4b的位置移往第2設定位置(例如從第1設定位置到條紋圖案的相位偏移四分之一間距的相位「90°」的位置)並開始第2次的影像取得處理。
此外，第2次的影像取得處理的工序係和上述 第1次的影像取得處理相同，故省略其詳細說明(針對第3次及第4次的影像取得處理亦相同)。
控制裝置6係依第2次的影像取得處理而取得具有正弦波狀的光強度分布之影像資料，將其記憶於演算結果記憶裝置25，結束該第2次的影像取得處理。
控制裝置6係在第2次的影像取得處理結束後，或在第2次的影像取得處理之上述平均處理執行中，驅動控制照明裝置4及相機5，使格柵板4b的位置移往第3設定位置(例如從第2設定位置到條紋圖案的相位偏移四分之一間距的相位「180°」的位置)，並開始第3次的影像取得處理。
控制裝置6係在當依第3次的影像取得處理取得具有正弦波狀的光強度分布之影像資料時，將其記憶於演算結果記憶裝置25，結束該第3次的影像取得處理。
控制裝置6係於第3次的影像取得處理結束後，或於第3次的影像取得處理的上述平均處理執行中，驅動控制照明裝置4及相機5，一邊使格柵板4b的位置移往第4設定位置(例如從第3設定位置到條紋圖案的相位偏移四分之一間距的相位「270°」的位置)，並開始第4次的影像取得處理。
控制裝置6係當藉由第4次的影像取得處理取得具有正弦波狀的光強度分布之影像資料時，將其記憶在演算結果記憶裝置25，結束該第4次的影像取得處理。
如此，藉由進行上述4次的影像取得處理，取得不同光強度分布的四種影像資料。藉此，可取得與使 具有正弦波狀的光強度分布之條紋圖案的相位各偏移90°所拍攝之四種影像資料同樣的影像資料。
接著，控制裝置6依據上述那樣取得之四種的影像資料(各畫素的輝度值)，利用在背景技術中亦有說明之公知的相移法進行三維測量(高度測量)，將此種測量結果記憶於演算結果記憶裝置25。
其次，控制裝置6依據三維測量結果(於各座標之高度資料)，進行銲膏K之良否判定處理。具體言之，控制裝置6依據上述那樣獲得之檢查區域的測量結果，檢測高於基準面的銲膏K之印刷範圍，透過積分在此範圍內的各部位之高度，算出被印刷之銲膏K的量。
接著，控制裝置6將如此求得之銲膏K的位置、面積、高度或量等的資料與預先記憶於設定資料記憶裝置26的基準資料[封面資料(cover data)等]作比較判定，依據此比較結果是否在容許範圍內而判定在其檢查區域中之銲膏K的印刷狀態之良否。
於進行此種處理的期間，控制裝置6驅動控制馬達15、16使印刷基板2朝下一個檢查區域移動，之後，上述一連串的處理經於所有檢查區域反複進行而結束印刷基板2整體的檢查。
以下，顯示將本實施形態涉及之基板檢查裝置1的作用效果藉由模擬所驗證之結果。首先，針對在投影具有矩形波狀的光強度分布之條紋圖案的情況之模擬(第1模擬)結果，參照圖5~圖15作說明。
在本模擬中，將拍攝元件在X軸方向36畫素 份量設為1週期，在「明部」與「暗部」的交界部投影2畫素份量的中間階調域(輝度斜率)所存在之具有矩形波狀的光強度分布之條紋圖案，使該條紋圖案依格柵板4b的移動處理按每經過既定時間△t往X軸方向移動1畫素份量(條紋圖案的相位10°份量)。
圖5~圖7係表示拍攝元件在X軸方向之各畫素的座標位置(橫軸：座標X1~X36)與時間經過(縱軸：時間t(-8)~t(4))一起變化的條紋圖案的輝度值之關係表。亦即，表示每經過既定時間的拍攝元件在X軸方向之光強度分布之表。其中，在假定輝度是成為最大的「明部」之輝度值為「1」，輝度是成為最小的「暗部」之輝度值為「0」進行模擬。
此外，在圖5~圖7只示出條紋圖案的1週期份量(在X軸方向36畫素份量)，但實際上複數週期的條紋圖案是在X軸方向連續地存在。亦即，座標X1~X36的範圍所示之光強度分布是反複存在。又，圖5~圖7係以格柵板4b的移動完了時序M1為基準時間t(0)而顯示者，縱軸的時間t(-8)到時間t(0)表示格柵板4b移動期間中之光強度分布，縱軸的時間t(0)到時間t(4)表示格柵板4b停止期間中之光強度分布。
如圖5~圖7所示，在時間t(-8)，座標X2~X17的範圍成為輝度值「1」的「明部」，座標X20~X35的範圍成為輝度值「0」的「暗部」。又，在位於「明部」和「暗部」的交界部之座標X36、X1與座標X18、X19分別存在輝度值漸變之2畫素份量的中間階調域。
接著，在從時間t(-8)經過既定時間△t後的時間t(-7)，座標X3~X18的範圍成為輝度值「1」的「明部」，座標X21~X36的範圍成為輝度值「0」的「暗部」。然後，在從時間t(-7)經過既定時間△t後的時間t(-6)，座標X4~X19的範圍成為輝度值「1」的「明部」，座標X22~X1的範圍成為輝度值「0」的「暗部」。
如此，於格柵板4b移動期間中，條紋圖案之光強度分布每經過既定時間△t朝圖5~圖7的右方向移動1畫素份量。接著，於格柵板4b停止後(時間t(0)~t(4))，條紋圖案之光強度分布不變化。具體言之，於時間t(0)~t(4)，座標X10~X25的範圍成為輝度值「1」的「明部」，座標X28~X7的範圍成為輝度值「0」的「暗部」。又，在位於「明部」和「暗部」的交界部之座標X26、X27與座標X8、X9分別存在輝度值漸變之2畫素份量的中間階調域。亦即，在格柵板4b停止期間中(時間t(0)等)之條紋圖案之光強度分布係成為圖12的曲線圖那樣。
其次，一邊與具有理想的正弦波的光強度分布之條紋圖案作比較一邊進行驗證。圖8~圖11的(a)係表示拍攝元件在X軸方向的各畫素之座標位置(座標X1~X36)與理想的正弦波之光強度分布(理想值)的關係之表。此處，顯示在以既定的拍攝期間(既定時間△t的5次份量)設定之拍攝期間〔t(-3~1)〕、拍攝期間〔t(-2~2)〕、拍攝期間〔t(-1~3)〕、拍攝期間〔t(0~4)〕中之具有上述矩形波狀的光強度分布之條紋圖案與週期、振幅及相位成為相同之理想的正弦波之光強度分布。與各拍 攝期間對應之理想的正弦波係分別成為圖13所示之曲線圖那樣。
圖8~圖11的(b)係將針對於拍攝期間〔t(-3~1)〕、拍攝期間〔t(-2~2)〕、拍攝期間〔t(-1~3)〕及於拍攝期間〔t(0~4)〕所拍攝之複數個影像資料(各畫素的輝度值)進行平均處理的結果(平均值)，按拍攝元件在X軸方向的各畫素之座標位置(橫軸：座標X1~X36)作顯示的表。
更詳言之，在圖8~圖11的(b)中，於最下層表示作為比較例之將不含格柵板4b的移動期間之僅在停止期間的拍攝期間〔t(0~4)〕亦即時間t(0)、t(1)、t(2)、t(3)、t(4)分別拍攝的5個影像資料(各畫素的輝度值)予以平均的平均值。
在從下面算起第2層表示：將於拍攝期間〔t(-1~3)〕亦即時間t(-1)、t(0)、t(1)、t(2)、t(3)分別拍攝的5個影像資料(各畫素的輝度值)平均的平均值。
在從下面算起第3層表示：將於拍攝期間〔t(-2~2)〕亦即時間t(-2)、t(-1)、t(0)、t(1)、t(2)分別拍攝的5個影像資料(各畫素的輝度值)平均的平均值。
在從下面算起第4層表示：將於拍攝期間〔t(-3~1)〕亦即時間t(-3)、t(-2)、t(-1)、t(0)、t(1)分別拍攝的5個影像資料(各畫素的輝度值)平均的平均值。
接著，經將圖8~圖11的(b)所示之上述各平均值各別繪製後，成為圖14所示之曲線圖。
又，圖8~圖11的(c)係將圖8~圖11的(a)所示 的各理想值與圖8~圖11的(b)所示的各平均值之差，按拍攝元件在X軸方向的各畫素之座標位置(橫軸：座標X1~X36)作顯示的表。
更詳言之，在圖8~圖11的(c)中，於最下層表示作為比較例之於拍攝期間〔t(0~4)〕所拍攝之影像資料(各畫素的輝度值)的各平均值與各理想值之差。
在從下面算起第2層表示：於拍攝期間〔t(-1~3)〕所拍攝之影像資料(各畫素的輝度值)的各平均值與各理想值之差。在從下面算起第3層表示：於拍攝期間〔t(-2~2)〕所拍攝之影像資料(各畫素的輝度值)的各平均值與各理想值之差。在從下面算起第4層表示：於拍攝期間〔t(-3~1)〕所拍攝之影像資料(各畫素的輝度值)的各平均值與各理想值之差。
接著，經將圖8~圖11的(c)所示之上述各值分別繪製後，形成如圖15所示之曲線圖。又，在圖11(c)的右端顯示按拍攝元件在X軸方向之各畫素(座標X1~X36)所示之上述各值的平均值及按各拍攝期間表示各值的最大值。
觀看圖11(c)的右端、圖14、15等可知，如同相較於拍攝期間〔t(0~4)〕的拍攝期間〔t(-1~3)〕、如同相較於拍攝期間〔t(-1~3)〕的拍攝期間〔t(-2~2)〕這種伴隨著拍攝期間所含之移動期間增加，與理想的正弦波(理想值)之誤差持續減少，拍攝期間〔t(-3~1)〕的情況成為誤差最小。因此，本模擬中使用於拍攝期間〔t(-3~1)〕所拍攝之影像資料進行基於相移法的三維測量 更佳。
其次，針對在投影具有梯形波狀的光強度分布之條紋圖案的情況中之模擬(第2模擬)的結果，參照圖16~圖26作說明。
在本模擬中，將拍攝元件的X軸方向36畫素份量設為1週期，在「明部」與「暗部」的交界部投影12畫素份量的中間階調域(輝度斜率)所存在之具有梯形波狀的光強度分布之條紋圖案，使該條紋圖案藉由格柵板4b的移動處理而每經過既定時間△t往X軸方向移動1畫素份量(條紋圖案的相位10°份量)。
圖16~圖18係表示拍攝元件在X軸方向的各畫素之座標位置(橫軸：座標X1~X36)與時間經過(縱軸：時間t(-8)~t(4))一起變化的條紋圖案的輝度值之關係表。亦即，表示每經過既定時間的拍攝元件在X軸方向的光強度分布之表。其中，在假定輝度是成為最大的「明部」之輝度值為「1」，輝度是成為最小的「暗部」之輝度值為「0」進行模擬。
此外，在圖16~圖18只示出條紋圖案的1週期份量(在X軸方向36畫素份量)，但實際上複數週期的條紋圖案是在X軸方向連續地存在。亦即，在座標X1~X36的範圍所示之光強度分布是反複存在。又，圖16~圖18係以格柵板4b的移動完了時序M1為基準時間t(0)而顯示者，縱軸的時間t(-8)到時間t(0)表示格柵板4b移動期間中之光強度分布，縱軸的時間t(0)到時間t(4)表示格柵板4b停止期間中之光強度分布。
如圖16~圖18所示，於時間t(-8)，座標X7~X12的範圍成為輝度值「1」的「明部」，座標X25~X30的範圍成為輝度值「0」的「暗部」。又，在位於「明部」和「暗部」之交界部的座標X31~X6與座標X13~X24分別存在輝度值漸變之12畫素份量的中間階調域。
接著，在從時間t(-8)經過既定時間△t後的時間t(-7)，座標X8~X13的範圍成為輝度值「1」的「明部」，座標X26~X31的範圍成為輝度值「0」的「暗部」。而且，在從時間t(-7)經過既定時間△t後的時間t(-6)，座標X9~X14的範圍成為輝度值「1」的「明部」，座標X27~X32的範圍成為輝度值「0」的「暗部」。
如此，於格柵板4b移動期間中，條紋圖案之光強度分布每經過既定時間△t，朝圖16~圖18的右方向移動1畫素份量。接著，在格柵板4b停止之後(時間t(0)~t(4))，條紋圖案之光強度分布未變化。具體言之，於時間t(0)~t(4)，座標X15~X20的範圍成為輝度值「1」的「明部」，座標X33~X2的範圍成為輝度值「0」的「暗部」。又，在位於「明部」和「暗部」的交界部之座標X21~X32與座標X3~X14分別存在輝度值漸變之12畫素份量的中間階調域。亦即，在格柵板4b停止期間中(時間t(0)等)之條紋圖案之光強度分布係成為如同圖23的曲線圖。
其次，一邊和具有理想的正弦波的光強度分布之條紋圖案作比較一邊進行驗證。圖19~圖22的(a)係表示拍攝元件在X軸方向的各畫素之座標位置(座標X1 ~X36)與理想的正弦波之光強度分布(理想值)的關係之表。此處，顯示在以既定的拍攝期間(既定時間△t的5次份量)設定的拍攝期間〔t(-3~1)〕、拍攝期間〔t(-2~2)〕、拍攝期間〔t(-1~3)〕、拍攝期間〔t(0~4)〕中具有上述梯形波狀的光強度分布之條紋圖案與週期、振幅及相位成為相同之理想的正弦波之光強度分布。與各拍攝期間對應之理想的正弦波係分別成為圖24所示之曲線圖。
圖19~圖22的(b)係將針對於拍攝期間〔t(-3~1)〕、拍攝期間〔t(-2~2)〕、拍攝期間〔t(-1~3)〕及於拍攝期間〔t(0~4)〕所拍攝之複數個影像資料(各畫素的輝度值)進行平均處理的結果(平均值)，按拍攝元件在X軸方向的各畫素之座標位置(橫軸：座標X1~X36)作顯示的表。
更詳言之，在圖19~圖22的(b)中，於最下層表示作為比較例之將不含有格柵板4b的移動期間之僅停止期間的拍攝期間〔t(0~4)〕亦即在時間t(0)、t(1)、t(2)、t(3)、t(4)分別拍攝之5個影像資料(各畫素的輝度值)予以平均的平均值。
在從下面算起第2層表示：將於拍攝期間〔t(-1~3)〕亦即時間t(-1)、t(0)、t(1)、t(2)、t(3)分別拍攝的5個影像資料(各畫素的輝度值)平均的平均值。
在從下面算起第3層表示：將於拍攝期間〔t(-2~2)〕亦即時間t(-2)、t(-1)、t(0)、t(1)、t(2)分別拍攝的5個影像資料(各畫素的輝度值)平均的平均值。
在從下面算起第4層表示：將於拍攝期間〔t(-3 ~1)〕亦即時間t(-3)、t(-2)、t(-1)、t(0)、t(1)分別拍攝的5個影像資料(各畫素的輝度值)平均的平均值。
然後，經將圖19~圖22的(b)所示之上述各平均值各別繪製後，成為如同圖25所示之曲線圖。
又，圖19~圖22的(c)係表示圖19~圖22的(a)所示各理想值與圖19~圖22的(b)所示各平均值之差，為按拍攝元件在X軸方向的各畫素之座標位置(橫軸：座標X1~X36)作顯示的表。
更詳言之，在圖19~圖22的(c)中，於最下層表示作為比較例之於拍攝期間〔t(0~4)〕所拍攝之影像資料(各畫素的輝度值)的各平均值與各理想值之差。
在從下面算起第2層表示：於拍攝期間〔t(-1~3)〕所拍攝之影像資料(各畫素的輝度值)的各平均值與各理想值之差。在從下面算起第3層表示：於拍攝期間〔t(-2~2)〕所拍攝之影像資料(各畫素的輝度值)的各平均值與各理想值之差。在從下面算起第4層表示：於拍攝期間〔t(-3~1)〕所拍攝之影像資料(各畫素的輝度值)的各平均值與各理想值之差。
然後，經將圖19~圖22的(c)所示之上述各值各別繪製後，成為如同圖26所示之曲線圖。又，在圖22(c)的右端顯示拍攝元件在X軸方向之各畫素(座標X1~X36)所示之上述各值的平均值及按各拍攝期間表示各值的最大值。
觀看圖22(c)的右端、圖25、26等可知，如同相較於拍攝期間〔t(0~4)〕的拍攝期間〔t(-1~3)〕、相 較於拍攝期間〔t(-1~3)〕的拍攝期間〔t(-2~2)〕這種伴隨著拍攝期間所包含之移動期間增加，與理想的正弦波(理想值)之誤差持續減少，拍攝期間〔t(-3~1)〕的情況成為誤差變最小。因此，於本模擬中，以使用於拍攝期間〔t(-3~1)〕所拍攝之影像資料進行利用相移法之三維測量較佳。
如以上所詳述，依據本實施形態，不僅是間歇移動的格柵板4b(條紋圖案)的停止期間中，在其之前的移動期間中之一部份亦被包含於拍攝期間。而且，在此拍攝期間中將停止中及移動中的條紋圖案分成複數次拍攝，將該拍攝之一連串的影像資料的各畫素之輝度值按各畫素加算，算出其平均值。
因此，在取得藉相移法進行三維測量上所需之不同光強度分布的複數個影像資料中的1個影像資料方面，與投影具有矩形波狀或梯形波狀的光強度分布之條紋圖案且僅於停止期間中拍攝的情況相較下，可取得具有更接近於理想的正弦波之光強度分布的影像資料。
又，依據本實施形態，即便在對準焦點狀態下投影條紋圖案，亦可取得具有正弦波狀的光強度分布之影像資料。藉由可在對準焦點狀態投影條紋圖案，條紋圖案的光強度分布(波形)變得容易維持。
結果，在進行利用相移法之三維測量時，可達成飛躍地提升測量精度。
再者，依據本實施形態，在未使機械構成複雜化之下投影非正弦波之具有矩形波狀或梯形波狀的光 強度分布之條紋圖案並進行較簡單的控制處理或演算處理等，藉此可取得具有正弦波狀的光強度分布之影像資料。結果，可達成抑制機械構成的複雜化，進而抑制製造成本。
而且，依據本實施形態，由於在未待格柵板4b的移動處理完了之下開始拍攝處理之構成，故縮短格柵板4b的停止期間，可達成測量的高速化。
此外，不受限於上述實施形態的記載內容，例如亦可按照以下那樣來實施。當然亦可為以下未例示的其他應用例、變更例。
(a)上述實施形態中，將三維測量裝置具體化成用以測量印刷於印刷基板2之銲膏K的高度之基板檢查裝置1，但不受此所限，例如亦可具體化成用以測量印刷於基板上之銲點凸塊或封裝於基板上的電子零件等其他物的高度之構成。
(b)上述實施形態中，形成在利用相移法進行三維測量上，取得條紋圖案的初期相位各差90°的四種的影像資料之構成，但相位偏移次數及相位偏移量不受此等所限。亦可採用能利用相移法進行三維測量的其他相位偏移次數及相位偏移量。
例如亦可作成取得相位各差120°(或90°)之三種的影像資料而進行三維測量之構成，亦可作成取得相位各差180°(或90°)之兩種的影像資料而進行三維測量之構成。
(c)上述實施形態中，形成投影具有矩形波狀 或梯形波狀的光強度分布之條紋圖案，取得具有正弦波狀的光強度分布之影像資料的構成。
但不受此所限，亦可建構成：投影例如三角波狀或鋸齒波狀等具有其他非正弦波狀的光強度分布之條紋圖案，以取得具有正弦波狀的光強度分布之影像資料。當然，若可能的話，亦可建構成：投影不存在中間階調域(輝度斜率)之具有矩形波狀的光強度分布之條紋圖案，以取得具有正弦波狀的光強度分布之影像資料。
又，亦可建構成：投影非理想的正弦波之具有近似正弦波的(正弦波狀的)光強度分布之條紋圖案，以取得更接近於理想的正弦波之具有光強度分布之影像資料。
(d)投影手段的構成不受限於上述實施形態的照明裝置4。
例如在上述實施形態中，在將源自光源4a的光變換成條紋圖案的格柵方面採用格柵板4b。
但不受此所限，例如，格柵方面亦可採用液晶面板。液晶面板具備形成於一對透明基板間的液晶層、配置於一透明基板上的共通電極、及以與此對向的方式複數併設於另一透明基板上的帶狀電極，利用驅動電路控制與各帶狀電極各自連接的切換元件(薄膜電晶體等)之ON/OFF，控制施加於各帶狀電極的電壓，藉以切換與各帶狀電極對應之各格柵線的光透射率，形成光透射率高的透光部與光透射率低的遮光部交互排列之格柵圖案。而且，透過切換控制此等透光部及遮光部的位置 可進行格柵的移動處理。
又，亦可取代液晶面板，改為採用使用數位鏡裝置的DLP(註冊商標)作為格柵。
(e)上述實施形態中，採用透光部與遮光部交互排列之二值的格柵(格柵板4b)，但不受此所限，例如亦可為在格柵板或液晶面板上形成3層以上透射率互異之多值的格柵圖案之構成。
(f)上述實施形態中，成為在格柵板4b移動完了(移動完了時序M1)前開始相機5的拍攝處理(拍攝開始時序N1)，在該拍攝處理結束(拍攝結束時序N2)的同時，開始格柵板4b的移動(移動開始時序M2)之構成。
但不受此所限，如圖27(a)所示，亦可作成在格柵板4b移動完了(移動完了時序M1)的同時，開始相機5的拍攝處理(拍攝開始時序N1)，於該拍攝處理結束(拍攝結束時序N2)前開始格柵板4b的移動(移動開始時序M2)之構成。
又，如圖27(b)所示，亦可作成在格柵板4b移動完了(移動完了時序M1)前開始相機5的拍攝處理(拍攝開始時序N1)，於該拍攝處理結束(拍攝結束時序N2)前開始格柵板4b的移動(移動開始時序M2)之構成。
(g)上述實施形態中，係藉由壓電元件等的驅動手段移動格柵板4b之構成，但驅動手段不受此所限。亦可為例如利用馬達等移動格柵板4b之構成。
又，上述實施形態中，成為例如一次的移動處理(相當於一次的相位偏移量之份量的移動)透過一次 的移動動作(連續動作)進行之構成，但不受此所限，亦可作成每既定量利用複數次的移動動作來進行之構成。
(h)上述實施形態中，成為於各影像取得處理之拍攝期間中分成複數次進行拍攝(曝光)，將該拍攝之一連串的影像資料的各畫素之輝度值按各畫素加算，算出其平均值之構成。
但不受此所限，亦可建構成：省略算出平均值的處理，依據按各畫素加算一連串的影像資料之各畫素的輝度值之加算資料(影像資料)進行三維測量。
又，亦可建構成：於各影像取得處理之拍攝期間中連續地進行拍攝(曝光)，依據該拍攝之影像資料進行三維測量。
此外，通常拍攝元件所受光的光量(受光量)越多，越能獲得更適合於測量之畫質佳的影像，亦即受雜訊、量子化誤差的影響小之影像。但是當拍攝(曝光)時間長時，會造成拍攝元件達到飽和程度而導致影像所謂「爆光(blown-out hightlight)」的情形。對此，透過如上述實施形態在拍攝期間中將拍攝(曝光)分成複數次反複進行，按各畫素加算輝度值，可在不使飽和之下獲得受光量更多的影像。
另一方面，若係拍攝元件未達飽和程度的範圍，則於拍攝期間中連續地進行拍攝(曝光)的處理負擔較少。
(i)上述實施形態中，在相機5的拍攝元件方面係採用CCD感測器，但拍攝元件不受此所限，例如亦可 採用CMOS感測器等。
此外，在使用一般的CCD相機等之情況，因為在曝光中無法進行資料傳送，所以如上述實施形態般在拍攝期間中將拍攝(曝光)分成複數次進行之情況，有必要在其間進行資料傳送(讀出)。
對此，關於相機5，在使用CMOS相機或擁有可於資料傳送中曝光的機能之CCD相機等的情況，因為拍攝(曝光)和資料傳送可一部份重複地進行，故可達成縮短測量時間。
(j)上述實施形態中，將既定時間△t的5次份量(相當於相位50°之份量)設定為拍攝期間，但拍攝期間不受此所限。但是，在達成抑制精度的降低方面，較佳為：拍攝期間的長度設定為格柵板4b的一次的移動期間，亦即格柵板4b移動相當於一次的相位偏移量之份量(例如上述實施形態中相當於相位90°之份量)的期間之長度以下。
如上述，拍攝期間所含之格柵板4b的移動期間的比例越增加，越能減少與理想的正弦波之誤差，但在超過移動相當於既定的相位偏移量之份量的期間進行拍攝之情況，會有導致影像資料的光強度分布從理想的正弦波偏離之虞。
1‧‧‧基板檢查裝置
2‧‧‧印刷基板
3‧‧‧載置台
4‧‧‧照明裝置
4a‧‧‧光源
4b‧‧‧格柵板
5‧‧‧相機
6‧‧‧控制裝置
15、16‧‧‧馬達

Claims (9)

  1. 一種三維測量裝置，其特徴為具備：投影手段，具有發出既定的光之光源、將來自該光源的光變換成既定的條紋圖案之格柵及可移動該格柵的驅動手段，且可對被測量物投影前述條紋圖案；拍攝手段，可拍攝被投影前述條紋圖案的前述被測量物；影像取得手段，控制前述投影手段及前述拍攝手段，可取得不同光強度分布的複數個影像資料；及影像處理手段，可依據藉由前述影像取得手段所取得之複數個影像資料利用相移法執行前述被測量物的三維測量，前述影像取得手段在取得前述複數個影像資料中的1個影像資料上，執行使前述格柵移往既定位置並暫時停止之處理，並且至少於前述格柵停止期間中，以及在包含該停止期間開始前的格柵移動期間中的一部份及/或該停止期間結束後的格柵移動期間中的一部份之既定期間執行連續地進行拍攝之拍攝處理，或，至少在前述格柵停止期間中，以及在包含該停止期間開始前的格柵移動期間中的一部份及/或該停止期間結束後的格柵移動期間中的一部份之既定期間， 執行分成複數次進行拍攝之拍攝處理，執行將該拍攝結果按畫素進行加算或平均之處理。
  2. 如請求項1之三維測量裝置，其中前述既定期間的長度設定成前述格柵的一次的移動期間的長度以下。
  3. 如請求項1之三維測量裝置，其中前述既定的條紋圖案係具有非正弦波狀的光強度分布之條紋圖案。
  4. 如請求項2之三維測量裝置，其中前述既定的條紋圖案係具有非正弦波狀的光強度分布之條紋圖案。
  5. 如請求項1之三維測量裝置，其中前述格柵係供光透射的透光部與遮蔽光的遮光部交互排列配置之構成。
  6. 如請求項2之三維測量裝置，其中前述格柵係供光透射的透光部與遮蔽光的遮光部交互排列配置之構成。
  7. 如請求項3之三維測量裝置，其中前述格柵係供光透射的透光部與遮蔽光的遮光部交互排列配置之構成。
  8. 如請求項4之三維測量裝置，其中前述格柵係供光透射的透光部與遮蔽光的遮光部交互排列配置之構成。
  9. 如請求項1至8中任一項之三維測量裝置，其中前述被測量物係印刷有銲膏的印刷基板或形成有銲點凸塊的晶圓基板。
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