TWI544972B - 空氣集塵裝置 - Google Patents

Description

空氣集塵裝置

本發明是關於空氣集塵裝置，尤其是關於一種藉由空氣來去除基板等工件表面之粉塵的空氣集塵裝置。

太陽電池等積層基板是在玻璃基板上積層有金屬膜或是半導體膜等薄膜。而且，在這些薄膜會形成複數個分離凹槽以便進行絕緣處理。該分離凹槽可藉由使用雷射光的雷射頭、或是使用鑽石等刀鋒的機械工具形成。

在如以上的薄膜形成凹槽時，被去除的膜的一部分會以粉塵等的異物附著在基板上。這種異物會是形成瑕疵品的原因，因此必須從基板上去除。

以往，就這種用來去除基板上之粉塵等異物的裝置而言，提供了例如專利文獻1所示的裝置。該專利文獻1所示的裝置是將壓縮空氣噴在基板等工件表面，藉此將附著在工件表面的粉塵去除。

具體而言，專利文獻1所示的裝置具備：空氣洗淨頭、超音波振盪控制部、以及兩個超音波產生器。空氣洗淨頭具有：可供應壓縮空氣的加壓腔室(chamber)、以及將所噴出的壓縮空氣與粉塵一起吸引的負壓腔室。在加壓腔室設有彼此連通的兩個加壓室，超音波產生器是設在這兩個加壓室。又，在兩個加壓室設有用來噴出超音波空氣的一對噴出噴嘴。

這種裝置可從一對噴出噴嘴對工件表面噴出高速的超音波空氣。而且，可從設在負壓腔室的粉塵吸引口將粉塵與空氣一起吸引至負壓室內。

(先前技術文獻)

(專利文獻)

(專利文獻1)日本特開2003-200121號公報

專利文獻1所示的裝置除了空氣洗淨頭以外，還需要超音波產生器及超音波振盪控制部，裝置成本相當高。而且，雖可藉由將超音波空氣以高速噴在工件表面，將附著在工件表面的粉塵去除，但是卻不易將所去除的粉塵有效率地吸引至負壓室內。因此，有時被去除的粉塵會再度附著在工件表面。

本發明之課題在於提供一種可藉由簡單且低成本的構造去除工件表面的粉塵，且可有效率地吸引被去除的粉塵並排氣的裝置。

申請專利範圍第1項之空氣集塵裝置是藉由空氣去除工件表面之粉塵的空氣集塵裝置，且具備：可導入空氣的空氣導入部、噴射部、及排氣部。噴射部是使來自空氣導入部的空氣流速提高並噴出至工件表面。排氣部是吸入從噴射部噴出的空氣及其周圍的空氣並排氣。並且，藉由從噴射部流至排氣部的空氣的噴射效應，使工件表面的氣壓低於周圍的大氣壓力。

該裝置可從外部將空氣導入至空氣導入部。該導入的空氣可藉由噴射部提高流速並噴出至工件表面。此時，藉由從噴射部流到排氣部的空氣會產生噴射效應，工件表面附近的氣壓會變得比周圍的大氣壓力低。因此，在工件表面會有周圍的空氣與來自噴射部的空氣一起流入，且可藉由該氣流去除工件表面的粉塵。而且，從工件表面去除的粉塵會與空氣一同被吸入排氣部並排出。

在此，可藉由簡單且低成本的構造去除工件表面的粉塵。而且，比起如習知裝置將高速的空氣噴射在工件表面的情況，可更有效率地吸入空氣及粉塵並排氣。

申請專利範圍第2項之空氣集塵裝置是如申請專利範圍第1項之裝置，其中，噴射部是將工件表面的氣壓設成工件不會舉起來之程度的負壓。

在此，因噴射效應使工件表面附近的氣壓過度降低時，有時工件表面會被從工作檯等的載置部舉起。而且，一旦工件表面被舉起，工件的位置就會偏移，並形成加工誤差的原因。

因此，該申請專利範圍第2項之發明是調整了工件表面之負壓的程度。因此，工件不會被舉起，而可避免工件之位置偏移所導致的加工誤差。

申請專利範圍第3項之空氣集塵裝置是如申請專利範圍第1項或第2項之裝置，其中，空氣導入部具有隔著排氣部相對向而配置的一對空氣導入口。又，噴射部具有一對壓縮部、及一對空氣流出部。一對壓縮部是在一對空氣導入口的空氣流路下游側隔著排氣部相對向而配置，可提高來自空氣導入口的空氣之流速。一對空氣流出部是配置在一對壓縮部的空氣流路下游側。

在此，可從相對向配置的兩個空氣導入口導入空氣，並且將來自兩個空氣流出部的空氣噴在工件表面。而且，在這些之間配置有排氣部。因此，可有效率地將空氣噴在工件表面，且可有效率地去除空氣及粉塵並排氣。

申請專利範圍第4項之空氣集塵裝置是如申請專利範圍第3項之裝置，其中，排氣部具有：在內部設有排氣室，並且在下端設有與排氣室連通的吸入口的一對排氣用板構件。又，噴射部具有：分別安裝在一對排氣用板構件的外側，並且在與一對排氣用板構件之間形成壓縮部及空氣流出部的一對噴射用板構件。而且，復具備：設在一對排氣用板構件與一對噴射用板構件之間，用來調整壓縮部之空氣流路剖面積的填隙片。

在此，可藉由簡單的構造構成噴射部及排氣部，而且組裝及分解容易。又，在噴射用板構件與排氣用板構件之間設有填隙片，因此可藉由該填隙片來調節噴射部之壓縮部的空氣流路剖面積(壓縮直徑)，且可容易使工件表面之空氣的氣壓形成適當的壓力。

如以上所述的本發明，可藉由簡單且低成本的構造去除工件表面的粉塵。而且，可有效率地吸引所去除的粉塵並排氣。

[全體構造]

第1圖是本發明之一實施形態的空氣集塵裝置的外觀立體圖，第2圖是其剖視圖。該空氣集塵裝置是在對例如太陽電池用基板進行圖案化處理時，用來去除附著在基板表面之粉塵的裝置。

該裝置具備複數個空氣導入部1、噴射部2及排氣部3。此外，排氣部3是由相對向配置的一對排氣用板構件5所構成。又，噴射部2是由一對排氣用板構件5及一對噴射用板構件6所構成。一對噴射用板構件6是藉由複數個螺栓7固定在一對排氣用板構件5各個的外側。如第1圖所明示，各板構件5、6是形成朝某方向長長延伸的帶狀。

[空氣導入部]

空氣導入部1具有複數個供應管10、以及與複數個供應管10分別連結而設置的一對導入管11。在複數個供應管10連結有未圖示的壓縮機等空氣供應源。一對導入管11是從一個供應管10分歧而設置，在其前端設有接頭(空氣導入口)12。各接頭12是安裝在一對噴射用板構件6。藉由這種構造，便可從排氣部3的兩側導入空氣。

[噴射部]

噴射部2具有分別隔著排氣部3相對向而配置的一對空氣導入室14、一對壓縮部15、及一對空氣流出部16。噴射部2是將來自空氣導入部1的空氣之流速提高而對基板G的表面噴出的部分。藉由從該噴射部2朝向排氣部3的氣流可獲得噴射效應，基板表面的氣壓會形成低於周圍之大氣壓力的負壓。此外，基板表面的氣壓是被控制成基板G不會舉起之程度的負壓。

噴射部2是隔著排氣部3對稱地形成，因此以下僅針對一方的構造加以說明。

噴射部2是由排氣用板構件5及噴射用板構件6所構成。具體而言，噴射用板構件6是在與排氣用板構件5相對向的側面具有構成空氣導入室14的上側凹部、以及構成空氣流出部16的下側凹部。

上側凹部是從噴射用板構件6的上部形成至上下方向的中央部及其下方，具有上壁14a、側壁14b及上傾斜壁14c。上壁14a是水平地形成。側壁14b是垂直地形成，在該側壁14b連接有空氣導入部1的接頭12。上傾斜壁14c是從側壁14b的下端再朝下方延伸，並以越往下方越靠近排氣用板構件5的方式傾斜。

下側凹部是形成在噴射用板構件6的下端部。該下側凹部具有下傾斜壁16a及側壁16b，下方是開放的。下傾斜壁16a是形成下側凹部的上部，而且是隨著離排氣用板構件5越遠越向上方傾斜。而且，在排氣用板構件5中，與下側凹部相對向的部分具有越向下方越朝內側傾斜的外傾斜部5a。又，側壁16b是垂直地形成。藉由這種下側凹部及排氣用板構件的外傾斜部5a便構成空氣流出部16。藉由這種構造，通過後述壓縮部15流入空氣流出部16的空氣會沿著外傾斜部5a流到內側，而不會沿著下傾斜壁16a流出至外側。因此，可防止流入空氣流出部16的空氣流出至空氣集塵裝置之外側所導致的粉塵之飛散。

壓縮部15是形成在上側凹部(空氣導入室14)與下側凹部(空氣流出部16)之間。該壓縮部15是形成在噴射用板構件6的內側端面與排氣用板構件5的外側端面之間的預定間隙，在上下方向具有預定的長度。而且，由於從空氣導入室14而流來的空氣會通過該壓縮部15，因此流速會變快，在從空氣流出部16到排氣部3的部分便會產生噴射效應。

[排氣部]

排氣部3係吸入來自噴射部2的空氣及其周圍的空氣並排氣者。如前所述，排氣部3是由相對向的一對排氣用板構件5所構成，在一對排氣用板構件5之間是構成排氣室18。而且，在該排氣室18連接有複數個排氣管19。如第1圖所明示，複數個排氣管19是沿著長邊方向以預定間隔配置。又，在排氣室18的下端部形成有排氣用吸入口20。在排氣用吸入口20的下端形成有越往下方越向外側擴展而傾斜的一對內傾斜部20a。藉由該內傾斜部20a，來自外部的空氣較容易流入排氣室18。

[填隙片]

在噴射用板構件6與排氣用板構件5之間的上部***有填隙片22。藉由調整填隙片22的厚度及片數，可調整壓縮部15的壓縮直徑，也就是空氣的流路剖面積。藉由調整該壓縮部15的壓縮直徑、以及被供應至空氣導入部1的空氣的壓力，可調整噴射效應所產生的基板表面的負壓，使配置在本裝置之下方的基板G不會被舉起。

[動作]

經由供應管10從空氣導入部1導入空氣時，空氣會經由接頭12流入噴射部2。在噴射部2中，空氣一旦流入空氣導入室14之後，就會通過壓縮部15而流到空氣流出部16。此時，從壓縮部15流出的空氣會變得快速，並且通過基板表面，然後朝向排氣部3的吸入口20流動。藉由這種氣流，基板表面會形成低於其周圍之大氣壓力的負壓。藉由該負壓及空氣的黏性，周圍的空氣會被流入排氣部3之吸入口20的氣流所吸入。藉由這種噴射效應，附著在基板表面的粉塵會與空氣一同被吸入排氣部3的吸入口20，並且流入排氣部3的排氣室18。然後經由排氣管19排出至外部。

[特徵]

(1)並非將空氣噴在基板表面來吹走粉塵，而是藉由噴射效應，將粉塵與周圍的空氣一同吸引至排氣部3，因此可有效率地進行粉塵之去除及排氣。

(2)由於可藉由填隙片22簡單調整噴射部2之壓縮部15的壓縮直徑(空氣流路剖面積)，因此可容易地獲得最適當的噴射效應。

(3)由於是隔著排氣部3將噴射部2的空氣流出部16相對向配置，因此可更有效率地去除基板表面的粉塵並排氣。

(4)可藉由分別為一對的排氣用板構件5及噴射用板構件6來實現裝置的主要構成部分。因此，能簡單且低成本地實現裝置。而且，分解、組裝容易，維修作業較為容易。

[其他實施形態]

本發明並不限於如上所述的實施形態，而可不脫離本發明之範圍地進行各種變形或修正。

空氣導入部或噴射部的配置、構造並不限於前述實施形態。例如，亦可將空氣導入部及噴射部僅配置在排氣部的一側。

1．．．空氣導入部

2．．．噴射部

3．．．排氣部

5．．．排氣用板構件

5a．．．外傾斜部

6．．．噴射用板構件

7．．．螺栓

11．．．導入管

12．．．接頭(空氣導入口)

14．．．空氣導入室

14a．．．上壁

14b．．．側壁

14c．．．上傾斜壁

15．．．壓縮部

16．．．空氣流出部

16a．．．下傾斜壁

16b．．．側壁

18．．．排氣室

19．．．排氣管

20．．．排氣用吸入口

22．．．填隙片(墊片)

G．．．基板

第1圖是本發明一實施形態的空氣集塵裝置的外觀立體圖。

第2圖是前述空氣集塵裝置的剖視圖。

1．．．空氣導入部

2．．．噴射部

3．．．排氣部

5．．．排氣用板構件

5a．．．外傾斜部

6．．．噴射用板構件

7．．．螺栓

11．．．導入管

12．．．接頭(空氣導入口)

14．．．空氣導入室

14a．．．上壁

14b．．．側壁

14c．．．上傾斜壁

15．．．壓縮部

16．．．空氣流出部

18．．．排氣室

16a．．．下傾斜壁

16b．．．側壁

19．．．排氣管

20．．．排氣用吸入口

22．．．填隙片(墊片)

G．．．基板

Claims (3)

1. 一種空氣集塵裝置，是藉由空氣去除工件表面之粉塵的空氣集塵裝置，且具備：具有相對向而配置的一對空氣導入口，而可導入空氣的空氣導入部；使來自前述空氣導入部的空氣之流速提高並噴出至工件表面的噴射部；以及夾於前述一對空氣導入口之間，吸入從前述噴射部噴出的空氣及其周圍的空氣並排氣的排氣部，藉由從前述噴射部流至前述排氣部的空氣的噴射效應，使工件表面的氣壓低於周圍的大氣壓力，前述噴射部係具有：在前述一對空氣導入口的空氣流路下游側，隔著前述排氣部相對向而配置，用以提高來自前述空氣導入口的空氣之流速的一對壓縮部；以及配置在前述一對壓縮部的空氣流路下游側的一對空氣流出部，前述一對空氣流出部係分別以朝向前述工件表面而擴大的方式，且以流出的空氣流向前述排氣部的方式而形成，前述排氣部係具有一對排氣用板構件，前述噴射部係具有一對噴射用板構件，前述空氣流出部係具有：隨著離排氣用板構件越遠越向上方傾斜的下 傾斜壁；垂直地形成的側壁；以及越向下方越朝內側傾斜的外傾斜部，前述外傾斜部係與設置於前述噴射用板構件之前述下傾斜壁及前述側壁相對向，而設置於前述排氣用板構件。
2. 如申請專利範圍第1項所述之空氣集塵裝置，其中，前述噴射部是將工件表面的氣壓設成前述工件不會舉起來之程度的負壓。
3. 如申請專利範圍第1或2項所述之空氣集塵裝置，其中，前述一對排氣用板構件係在內部設有排氣室，並且在下端設有與前述排氣室連通的吸入口，前述一對噴射用板構件係分別安裝在前述一對排氣用板構件的外側，並且在與前述一對排氣用板構件之間形成前述壓縮部及前述空氣流出部，該空氣集塵裝置復具備：設在前述一對排氣用板構件與前述一對噴射用板構件之間，用來調整前述壓縮部之空氣流路剖面積的填隙片。