TWI538863B - 物品搬送設備 - Google Patents

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Description

物品搬送設備 發明領域
本發明係有關於一種物品搬送設備，其物品處理裝置及分別對應於前述複數之物品處理裝置而設置的物品移載處係設置於地上側，而在複數之前述物品處理裝置間搬送物品之物品搬送車所行進的行進路徑則係配置於頂部側，前述行進路徑具備有在路徑橫寬方向彼此隔著間隔配置且從平面視角看來係經由前述物品移載處的第1行進路徑部位及第2行進路徑部位，在前述第1行進路徑部位及前述第2行進路徑部位之間沿著路徑長方向，複數之前述物品處理裝置係配設成如下之狀態：至少一個前述物品處理裝置與其物品移載處對應於前述第1行進路徑部位而配置、且至少一個前述物品處理裝置與其物品移載處對應於前述第2行進路徑部位而配置。
發明背景
在如上述之物品搬送設備中，由於物品搬送車所行進之行進路徑係設置於頂部側，物品處理裝置及該物品處理裝置中之物品移載處則係設置於地上側，因此在物品搬送車上，具有用以支持物品之把持部並使之可自由升降。藉此，物品搬送車沿著行進路徑行進至對應於物品移載處之停止位置而使把持部升降，藉此，可在與物品處理裝置中之物品移載處間移載物品(例如，參照專利文獻1)。
在記載於上述專利文獻1之設備中，行進路徑係具備有：以平面視角看來經由複數之物品移載處的複數工程內環狀軌道、及連結於複數之工程內環狀軌道且可使物品搬送車在工程內環狀軌道間移動的工程間環狀軌道。工程內環狀軌道係以排列於其路徑橫寬方向之狀態具備有複數個，工程內環狀軌道及工程間環狀軌道各分別由相對向之一對直線部位與連結直線部位間之曲線部位所構成。藉此，在以工程內環狀軌道之路徑橫寬方向鄰接之工程內環狀軌道之間，對應於一工程內環狀軌道而設置之複數物品處理裝置係沿著其路徑長方向排列設置，並且對應於另一工程內環狀軌道而設置之複數物品處理裝置係沿著其路徑長方向排列設置。因此，在以路徑橫寬方向鄰接之工程內環狀軌道中，一工程內環狀軌道之直線部位成為第1行進路徑部位，而另一工程內環狀軌道之直線部位成為第2行進路徑部位。
先行技術文獻 專利文獻
專利文獻1：日本特開2006-319154號公報
發明揭示
在記載於上述專利文獻1之設備中，具有複數台物品搬送車，藉由以複數台物品搬送車來搬送物品，以提升搬送效率。然而，例如從對應於第1行進路徑部位而設置之物品 處理裝置，搬送物品至對應於第2行進路徑部位而設置之物品處理裝置時，物品搬送車必須依序行進於工程內環狀軌道中之直線部位的第1行進路徑部位、工程間環狀軌道、工程內環狀軌道中之直線部位的第2行進路徑部位，物品搬送車之行進距離會變長，其物品搬送所需之時間也會變長。又，物品搬送車依序行進於第1行進路徑部位、工程間環狀軌道、第2行進路徑部位時，其他物品搬送車會造成妨礙而難以順暢地行進，從此點看來，在對應於第1行進路徑部位而設置之物品處理裝置與對應於第2行進路徑部位而設置之物品處理裝置之間搬送物品所需的時間會變長，而降低搬送效率。
因此，例如考慮在第1行進路徑部位與第2行進路徑部位之間設置用以搬送物品之運輸機等的行進路徑間搬送裝置，從對應於第1行進路徑部位而設置之物品處理裝置，搬送物品至對應於第2行進路徑部位而設置之物品處理裝置時，藉由使用該行進路徑間搬送裝置，可達成搬送物品所需之時間縮短化。然而，在第1行進路徑部位與第2行進路徑部位之間，由於在地上側，有複數之物品處理裝置沿著路徑長方向排列設置，故難以確保行進路徑間搬送裝置的設置空間。亦即，為了設置更多的物品處理裝置，在第1行進路徑部位與第2行進路徑部位之間，須儘量縮小路徑長方向上之複數物品處理裝置間的間隔，將複數之物品處理裝置排列設置於路徑長方向。因此，無法在路徑長方向中之複數物品處理裝置間確保行進路徑間搬送裝置的設置空 間，行進路徑間搬送裝置的設備空間會被限於物品處理裝置上方側的空間。
在此，物品搬送車藉由使把持物品之把持部升降，在與物品移載處等之移載對象之間進行物品的移載。因此，當以該物品搬送車在與行進路徑間搬送裝置之間進行物品的移載時，必須確保以把持部使所把持之物品升降於較物品搬送車為下方側的空間，而必須依該空間將行進路徑間搬送裝置的設置高度向下方側移。結果，即使欲在物品處理裝置上方側的空間設置行進路徑間搬送裝置，行進路徑間搬送裝置會干擾物品處理裝置，最後，也無法在物品處理裝置上方側的空間設置行進路徑間搬送裝置。
本發明係著眼於上述問題點而作成者，目的在於提供一種物品搬送設備，可有效地活用物品處理裝置上方側的空間，設置在第1行進路徑部位與第2行進路徑部位間進行物品搬送的行進路徑間搬送裝置等，以達成在對應於第1行進路徑部位而設置之物品處理裝置與對應於第2行進路徑部位而設置之物品處理裝置間搬送物品所需時間的縮短化，而提高搬送效率。
為了達成該目的，本發明之物品搬送設備，係於地上側設置複數之物品處理裝置及分別對應於前述複數之物品處理裝置而設置的物品移載處，並於頂部側配置在複數之前述物品處理裝置間搬送物品之物品搬送車所行進的行進路徑，前述行進路徑具備有在路徑橫寬方向彼此隔著間隔配 置的第1行進路徑部位及第2行進路徑部位，在前述第1行進路徑部位及前述第2行進路徑部位之間沿著路徑長方向，複數之前述物品處理裝置係配設成如下之狀態：至少一個前述物品處理裝置與其物品移載處對應於前述第1行進路徑部位而配置、且至少一個前述物品處理裝置與其物品移載處對應於前述第2行進路徑部位而配置者，前述物品搬送設備設有：行進路徑間搬送裝置，係為了在以平面視角看來在前述第1行進路徑部位旁之位置且配置於前述第2行進路徑部位側的第1物品供受處、與以平面視角看來在前述第2行進路徑部位旁之位置且配置於前述第1行進路徑部位側的第2物品供受處間搬送物品，配置成在設置於前述第1行進路徑部位與第2行進路徑部位間之前述物品處理裝置上方側的空間延伸，並連接前述第1物品供受處與前述第2物品供受處者；第1升降滑動搬送裝置，係可移動或固定地位於前述第1行進路徑部位之區域者；及第2升降滑動搬送裝置，係可移動或固定地位於前述第2行進路徑部位之區域者；前述第1升降滑動搬送裝置具備有保持物品之保持部並使之可升降且可滑動移動於前述第1行進路徑部位之路徑橫寬方向；前述第2升降滑動搬送裝置具備有保持物品之保持部並使之可升降且可滑動移動於前述第2行進路徑部位之路徑橫寬方向； 前述第1升降滑動搬送裝置係構成為：藉由以平面視角看來在與前述第1行進路徑部位重疊的位置進行前述保持部的升降，可在與對應於前述第1行進路徑部位而配置之前述至少一個前述物品處理裝置之前述物品移載處間自由移載物品，並且，藉由進行前述保持部之向前述第1行進路徑部位之路徑橫寬方向的滑動移動，可在與前述第1物品供受處間自由移載物品，而前述第2升降滑動搬送裝置則係構成為：藉由以平面視角看來在與前述第2行進路徑部位重疊的位置進行前述保持部的升降，可在與對應於前述第2行進路徑部位而配置之前述至少一個前述物品處理裝置之前述物品移載處間自由移載物品，並且，藉由進行前述保持部之向前述第2行進路徑部位之路徑橫寬方向的滑動移動，可在與前述第2物品供受處間自由移載物品。
根據上述構成，由於第1與第2升降滑動搬送裝置分別使保持部自由滑動移動於所對應之路徑部位的路徑橫寬方向地具備有保持部，故以平面視角看來第1行進路徑部位及第2行進路徑部位中，在與所對應之路徑部位重疊的位置，進行保持部之滑動移動，藉此，可在與以平面視角看來配置於第1行進路徑部位、或第2行進路徑部位旁之位置的第1物品供受處、或第2物品供受處的物品供受處間移載物品。因此，在第1或第2升降滑動搬送裝置與行進路徑間搬送裝置間進行物品移載時，無須確保使由保持部所保持之物品升降於較該升降滑動搬送裝置下方側的空間。藉此，可在 較物品處理裝置上方側設置該等升降滑動搬送裝置，使行進路徑間搬送裝置之設置高度與該等升降滑動搬送裝置之設置高度為相同程度，行進路徑間搬送裝置不會干擾物品處理裝置，而可在物品處理裝置上方側的空間確保行進路徑間搬送裝置的設置空間。因此，可將行進路徑間搬送裝置配置成在物品處理裝置上方側空間延伸的狀態下，連接在第1行進路徑部位旁之位置且配置於第2行進路徑部位側的第1物品供受處、與在第2行進路徑部位旁之位置且配置於第1行進路徑部位側的第2物品供受處。
例如，從對應於第1行進路徑部位而設置之物品處理裝置搬送物品至對應於第2行進路徑部位而設置之物品處理裝置時，位於第1行進路徑部位之區域的第1升降滑動搬送裝置進行保持部之升降，藉此，可從物品處理裝置中之物品移載處收取物品，第1升降滑動搬送裝置進行保持部之滑動移動，藉此，可將所收取之物品移載至第1物品供受處。然後，行進路徑間搬送裝置可將移載至第1物品供受處之物品從第1物品供受處搬送至第2物品供受處。位於第2行進路徑部位之區域的第2升降滑動搬送裝置進行保持部之滑動移動，藉此，可從第2物品供受處收取物品，該第2升降滑動搬送裝置進行保持部之升降，藉此，可將所收取之物品移載至物品處理裝置中之物品移載處。如此，使用第1與第2升降滑動搬送裝置與行進路徑間搬送裝置，藉此，直接進行第1行進路徑部位與第2行進路徑部位間之物品搬送，不會增長物品搬送車之行進距離，而可在對應於第1行進路徑 部位而設置之物品處理裝置與對應於第2行進路徑部位而設置之物品處理裝置間搬送物品。
根據以上，可有效地活用物品處理裝置上方側的空間，設置在第1物品供受處與第2物品供受處間進行物品搬送之行進路徑間搬送裝置，使用該行進路徑間搬送裝置，藉此，達成在對應於第1行進路徑部位而設置之物品處理裝置與對應於第2行進路徑部位而設置之物品處理裝置間搬送物品所需時間的縮短化，而可實現一種可達成搬送效率提升的物品搬送設備。
本發明之物品搬送設備實施形態中，其中前述物品搬送車，宜分別構成為具有把持物品之把持部來作為前述保持部，並將該把持部設置成可自由升降、且將該把持部設置成可自由滑動移動於前述第1行進路徑部位及前述第2行進路徑部位之路徑部位的路徑橫寬方向，當位於前述第1行進路徑部位時，可產生作為前述第1升降滑動搬送裝置之機能，而當位於前述第2行進路徑部位時，則可產生作為前述第2升降滑動搬送裝置之機能。
根據如前述之構成，由於物品搬送車具備有把持部，且將把持部設置成可自由升降、且將其把持部設置成可自由滑動移動於所對應之路徑部位的路徑橫寬方向故該物品搬送車進行把持部之升降，藉此，可在與物品移載處間移載物品，並且，進行把持部之滑動移動，藉此，可在與第1物品供受處或第2物品供受處之物品供受處間移載物品。如此，物品搬送車不僅在複數之物品處理裝置間移載物品， 當位於第1行進路徑部位時，可產生作為在對應於第1行進路徑部位而設置之物品處理裝置之物品移載處、與行進路徑間搬送裝置之第1物品供受處間進行物品搬送的第1升降滑動搬送裝置之機能，而當位於第2行進路徑部位時，則可產生作為在對應於第2行進路徑部位而設置之物品處理裝置之物品移載處、與行進路徑間搬送裝置之第2物品供受處間進行物品搬送的第2升降滑動搬送裝置之機能。因此，升降滑動搬送裝置可不另外設置與物品搬送車有別的裝置，而可達成構成的簡樸化。
本發明之物品搬送設備實施形態中，宜藉由前述物品搬送車使前述把持部升降而在與對應於前述第1行進路徑部位配置之前述至少一個前述物品處理裝置之前述物品移載處間移載物品的停止位置、與前述物品搬送車使前述把持部滑動移動而在與前述第1物品供受處間移載物品的停止位置，在前述第1行進路徑部位之路徑上係設定為同一位置， 並且，藉由前述物品搬送車使前述把持部升降而在與對應於前述第2行進路徑部位配置之前述至少一個前述物品處理裝置之前述物品移載處間移載物品的停止位置、與前述物品搬送車使前述把持部滑動移動而在與前述第2物品供受處間移載物品的停止位置，在前述第2行進路徑部位之路徑上係設定為同一位置。
根據如前述之構成，物品搬送車在第1行進路徑部位(或第2行進路徑部位)之路徑上，在停止於在與對應設置之 物品移載處間移載物品的停止位置之狀態下，不僅可藉由進行把持部的升降而在與物品移載處間進行物品的移載，還可藉由進行把持部的滑動移動而在與第1物品供受處(或第2物品供受處)間進行物品的移載。因此，無須進行物品搬送車的行進，只要進行把持部的升降及滑動移動，即可進行在物品移載處與第1物品供受處間的物品搬送、及在物品移載處與第2物品供受處間的物品搬送。所以，可縮短在對應於第1行進路徑部位而設置之物品處理裝置與對應於第2行進路徑部位而設置之物品處理裝置間搬送物品所需的時間。
本發明之物品搬送設備實施形態中，其中前述行進路徑間搬送裝置宜構成為可在前述第1物品供受處與前述第2物品供受處間使物品繞著上下軸心迴旋。
例如，由於已設定供給至物品處理裝置時之物品的方向等理由，第1升降滑動搬送裝置交付至第1物品供受處時之物品的方向、與第2升降滑動搬送裝置從第2物品供受處收取時之物品的方向，有時會相對於行進路徑間搬送裝置之搬送方向呈前後相反方向。在上述情況下，由於亦可根據前述般構成，行進路徑間搬送裝置可使物品繞著上下軸心迴旋而適當變更物品的方向，故即使在需要變更物品方向時亦可進行適宜地對應。
本發明之物品搬送設備實施形態中，其中前述行進路徑間搬送裝置宜構成為可在其搬送路徑上以排列複數物品之狀態配置複數物品，而在前述第1物品供受處與前述第2 物品供受處間自由搬送複數之物品。
根據如前述之構成，行進路徑間搬送裝置不僅可在第1物品供受處與第2物品供受處間搬送1個物品，還可因應需要，在搬送路徑上以排列複數物品之狀態配置，而在第1物品供受處與第2物品供受處間搬送複數之物品。如此，由於行進路徑間搬送裝置可一面貯放複數之物品一面進行搬送，故可利用行進路徑間搬送裝置作為暫時貯放物品的裝置。
圖式簡單說明
第1圖係物品搬送設備的平面圖。
第2圖係顯示物品搬送設備重要部份的側面圖。
第3圖係物品搬送車的側面圖。
第4圖係物品搬送車的正面圖。
第5圖係顯示物品搬送設備重要部份的立體圖。
第6圖係行進路徑間搬送裝置的平面圖。
用以實施發明之最佳形態
根據圖示說明本發明之物品搬送設備的實施形態。
在本物品搬送設備中，如第1及2圖所示，物品處理裝置1及其物品處理裝置1中之站台2(相當於物品移載處)係設置於地上側，在複數之物品處理裝置1間搬送物品4之物品搬送車3所行進的行進路徑S則設置於頂部側。並且，在該物品搬送設備中，將收納有半導體基板的容器作為物品4，並構成為物品搬送車3在複數之物品搬送處理裝置1間搬送 物品4。第1圖係以平面視角顯示物品搬送設備概略者，省略顯示物品搬送設備的一部份。第2圖則係顯示物品搬送設備的重要部份之側面者。
行進路徑S係由藉著懸吊支持具5以固定狀態設置於頂部之行進軌6所構成。行進路徑S如第1圖所示，係形成為以平面視角看來，經由複數之物品處理裝置1中之各站台2(相當於物品移載處)的狀態，並設有複數台可沿著該行進路徑S自由移動於一方向的頂部搬送式之物品搬送車3。行進路徑S具有：複數(第1圖中為6個)之環狀的站台經由部位S1，係形成為經由複數之物品處理裝置1中之各站台2的狀態者；及環狀的連結部位S2，係連結複數之站台經由部位S1者(第1圖中省略一部份)。各站台經由部位S1及各連結部位S2，係由一對直線部位與連接該等一對直線部位間的曲線部位所構成。站台經由部位S1係以鄰接於其路徑橫寬方向(第1圖中為X方向)排列的狀態而具備有複數個。對於複數個站台經由部位S1之各直線部位，係以沿著其路徑長方向(第1圖中為Y方向)排列複數個物品處理裝置1的狀態而配置物品處理裝置1，該站台經由部位S1中之直線部位，係設置成從平面視角來看可通過複數站台2的大致正上方(亦即實質地正上方)。
如第2圖所示，物品搬送車3具有把持部7，並將以懸吊狀態把持物品4的把持部7具備成可自由升降、且將該把持部7具備成可自由滑動移動於行進路徑S的路徑橫寬方向(第2圖中為X方向)。把持部7係設置成在物品搬送車3已停 止之狀態下，藉由將以下說明之皮帶8捲取或拉出，而可在接近物品搬送車3之上升位置以及在與站台2之間進行物品移載之下降位置之間自由升降。亦可利用例如鋼索來代替皮帶8。
站台2係以載置支持物品4之載置台所構成。並且，站台2係用以從物品搬送車3收取由物品處理裝置1進行預定處理之物品4、或者將已由物品處理裝置1進行了預定處理之物品4交付至物品搬送車3者，且係分別對應於複數之物品處理裝置1而配置。
物品搬送車3係構成為：以使把持部7位於上升位置的狀態下沿著行進路徑S移動，在複數之站台2中，以停止於與移載對象之站台2對應的停止位置的狀態，使把持部7升降於上升位置與下降位置之間，藉此，在與站台2之間進行物品4的移載。
(物品搬送車)
如第3及4圖所示，物品搬送車3係構成為具備有：行進於行進軌6上的行進驅動部9、及懸吊支持於行進驅動部9而位於行進軌6下方的物品支持部10。第3圖顯示位於站台經由部位S1之物品搬送車3的以路徑橫寬方向視角(第4圖中為X方向視角)看來的側面圖。第4圖顯示以行進路徑S之路徑長方向視角(第3圖中為Y方向視角)看來的物品搬送車3之正面圖，以實線表示使把持部7以平面視角看來滑動移動於行進路徑S之側旁(即行進路徑S旁邊的位置)的狀態，並以虛線表示使把持部7位於以平面視角看來與行進路徑S重 疊之位置的狀態。
行進軌6係於路徑橫寬方向(第4圖中X方向)隔著間隔設置左右一對，於行進驅動部9，設有：行進輪12，係以驅動馬達11旋轉驅動而轉動於延伸在左右一對行進軌6各水平方向之上面者；及行進引導輪13，係抵接於沿著左右一對行進軌6各相對向之上下方向的側面而自由旋轉者。並且，行進輪12以驅動馬達11繞著沿物品搬送車3之橫寬方向(即水平方向)的軸心旋轉驅動，繞著上下軸心自由旋轉之行進引導輪13以左右一對之行進軌6抵接引導，藉此，構成為物品搬送車3可引導而行進於行進軌6。
行進輪12係於物品搬送車3橫寬方向之兩端部配設有左右一對，該左右一對之行進輪12係於物品搬送車3之前後方向隔著間隔設有2個，共計設有4個行進輪12。行進引導輪13則係於物品搬送車3橫寬方向之一側設有4個，於橫寬方向之另一側設有4個，在各側，4個行進引導輪13的2個係配置於前面的行進輪12之前後，剩下的2個則配置於後面的行進輪12之前後。因此，在各側，2個行進引導輪12係相對於另外的2個行進引導輪12於物品搬送車3之前後方向隔著間隔而設置，且於物品搬送車3，共計設有8個行進引導輪13。
物品支持部10具有從側面看來為凹狀(即ㄈ字狀)的罩部14，該罩部14延伸於路徑長方向(第3圖中Y方向)且其前端部位及後端部位延伸至下方側，其中央部延伸於前後方向，在該罩部14之前端部位與後端部位之間的空間，配置 有把持部7。在物品支持部10中，罩部14之下方側為開放，透過該開放空間使把持部7升降。又，罩部14之路徑橫寬方向(第4圖中X方向)之兩側也為開放，透過該開放空間使把持部7滑動移動於路徑橫寬方向(第4圖中X方向)。物品支持部10具備：使把持部7升降的升降操作機構15、及使把持部7及升降操作機構15滑動移動於路徑橫寬方向(第4圖中X方向)的滑動移動操作機構16。
把持部7具備有藉由把持用馬達17可自由切換操作用以把持物品4之把持姿勢、及解除把持之把持解除姿勢的把持具18。升降操作機構15具備有捲繞皮帶8而藉由升降用馬達19旋轉驅動的旋轉滾筒20。升降操作機構15係構成為：藉由以升降用馬達19使旋轉滾筒20旋轉驅動，來使把持部7及以其所把持之物品4升降移動，藉由以把持用馬達17將把持具18切換操作，來把持物品4或解除對物品4之把持。
把持部7及升降操作機構15係具備於滑動移動體21(亦即，由滑動移動體21所支持)，在該滑動移動體21與罩部14之間，透過中間滑動移動體22，相對於罩部14可自由滑動移動於路徑橫寬方向(第4圖中X方向)地設有滑動移動體21。藉此，相對於罩部14可自由滑動移動於路徑橫寬方向(第4圖中X方向)地具有把持部7及升降操作機構15。如第3圖所示，中間滑動移動體22係藉由具備於罩部14之第1滑動軌23與具備於中間滑動移動體22上面部之第2滑動軌24，被支持成可相對於罩部14自由滑動移動於路徑橫寬方向(第4圖中X方向)。滑動移動體21則係藉由具備於中間滑動移動 體22下面部之第3滑動軌25與具備於滑動移動體21之第4滑動軌26，被支持成可相對於中間滑動移動體22自由滑動移動於路徑橫寬方向(第4圖中X方向)。
滑動移動操作機構16具有：無端皮帶28，係掛在於路徑橫寬方向(第4圖中X方向)隔著間隔配置的一對旋轉滑輪27(第4圖中，僅圖示一旋轉滑輪27，省略另一旋轉滑輪27之圖示)者；及圖外之滑動用馬達，係使旋轉滑輪27旋轉而使無端皮帶28旋轉驅動者。並且，無端皮帶28中在一對旋轉滑輪27間之中間部位的一側，係連結於罩部14側，中間部位之另一側則係連結於滑動移動體21側。藉此，若使無端皮帶28旋轉驅動，則連結於罩部14側之無端皮帶28的中間部位、及連結於滑動移動體21側之無端皮帶28的中間部位，會在路徑橫寬方向(第4圖中X方向)上朝反方向移動。因此，在路徑橫寬方向(第4圖中X方向)上，由於以中間滑動移動體22為中心，罩部14側與滑動移動體21側係朝反方向滑動移動，故相對於罩部14中間滑動移動體22滑動移動的方向、與相對於中間滑動移動體22滑動移動體21滑動移動的方向成為同一方向。藉此，滑動移動操作機構16藉由以圖外之滑動用馬達將無端皮帶28旋轉驅動，使中間滑動移動體22相對於罩部14滑動移動，並且使滑動移動體21相對於中間滑動移動體22滑動移動，使把持部7及升降操作機構15相對於罩部14滑動移動。並且，滑動移動操作機構16係構成為：藉由以圖外之滑動用馬達將無端皮帶28朝一方向與另一方向旋轉驅動，在平面視角看來與行進路徑S重疊 的位置(參照第4圖中虛線)、與平面視角看來偏離至行進路徑S側旁(即行進路徑S旁邊附近)的位置(參照第4圖中實線)之間，使把持部7及升降操作機構15滑動移動。
於物品搬送車3，係構成為：在物品搬送車3之前後方向及橫寬方向之中央部配設有受電線圈29，藉由該受電線圈29可接收來自於供電線30之驅動用電力的供電。供電線30係以由行進軌6支持之狀態具備有左右一對，左右一對之供電線30係配線成：以於物品搬送車3之橫寬方向隔著間隔的狀態位於左右一對之行進軌6之間，且沿著行進軌6延伸。並且，係構成為：藉由將交流電流通電於供電線30而產生磁場，藉由該磁場於受電線圈29產生驅動用電力，以無接觸狀態進行對物品搬送車3之驅動用電力供電。藉由從供電線30將驅動用電力供電至受電線圈29，物品搬送車3可藉由該驅動用電力進行行進驅動部9之行進及把持部7之升降等。
(第1行進路徑部位及第2行進路徑部位)
回到第1圖，站台經由部位S1中之直線部位係形成為從平面視角看來會經由複數之站台2。並且，在一個(一方之)站台經由部位S1、與相對於此在站台經由部位S1之路徑橫寬方向(第1圖中X方向)鄰接的其他(另一方之)站台經由部位S1之間，對應於一方之站台經由部位S1而設置的複數物品處理裝置1，係沿著路徑長方向(第1圖中Y方向)排列設置，並且，對應於另一方之站台經由部位S1而設置的複數物品處理裝置1，也是沿著路徑長方向(第1圖中Y方向)排列 設置。因此，一方之站台經由部位S1中的直線部位，會成為第1行進路徑部位D1，另一方之站台經由部位S1中的直線部位，會成為第2行進路徑部位D2。在第1圖中，由於係顯示為在站台經由部位S1之路徑橫寬方向(第1圖中X方向)鄰接之站台經由部位S1具有合計4個之例，故第1行進路徑部位D1與第2行進路徑部位D2之組係具備有4組。
(行進路徑間搬送裝置)
如第1圖所示，第1行進路徑部位D1與第2行進路徑部位D2，係於路徑橫寬方向(第1圖中X方向)隔著間隔而配置，在第1行進路徑部位D1與第2行進路徑部位D2之路徑之間，沿著路徑長方向(第1圖中Y方向)排列設置有複數之物品處理裝置1。並且，如第2及5圖所示，在第1行進路徑部位D1之在第2行進路徑部位D2側的側旁(即在第1行進路徑部位D1的旁邊且為第2行進路徑部位D2側之位置)，配置有第1物品供受處K1，而在第2行進路徑部位D2之在第1行進路徑部位D1側的側旁(即在第2行進路徑部位D2的旁邊且為第1行進路徑部位D1側之位置)，配置有第2物品供受處K2，並且設有行進路徑間搬送裝置31，可在第1物品供受處K1與第2物品供受處K2間搬送物品4。第2圖係第1行進路徑部位D1與第2行進路徑部位D2、與該等兩路徑間之物品處理裝置1在路徑長方向視角上的圖，而第5圖則係第1行進路徑部位D1與第2行進路徑部位D2、與該等兩路徑間之物品處理裝置1的立體圖。行進路徑間搬送裝置31係以固定狀態懸吊支持於頂部，並配置成藉由在物品處理裝置1的上方側空 間延伸，而可連接第1物品供受處K1與第2物品供受處K2。如第1圖所示，該行進路徑間搬送裝置31係配置成：在沿著路徑長方向(第1圖中Y方向)排列之複數物品處理裝置1中，在位於其中央區域之物品處理裝置1上方側的空間延伸。並且，行進路徑間搬送裝置31係在第1行進路徑部位D1與第2行進路徑部位D2間之一個區域具備有2個，1個行進路徑間搬送裝置31係構成為從第1行進路徑部位D1側向第2行進路徑部位D2側搬送物品4，另1個行進路徑間搬送裝置31則係構成為從第2行進路徑部位D2側向第1行進路徑部位D1側搬送物品4。
如第5及6圖所示，行進路徑間搬送裝置31係以將分別繞著水平軸旋轉之驅動滾輪32排列於搬送方向之滾輪運輸機所構成。該等驅動滾輪32可以習知的任何方法來驅動。例如，可藉由對於各驅動滾輪32具備一個馬達，來個別控制各驅動滾輪32的旋轉。除此之外，也可以齒輪連結沿著一列驅動滾輪32延伸且藉著馬達旋轉的旋轉軸、與該旋轉軸及一列中之複數的各驅動滾輪32，藉此來將驅動滾輪32驅動。第6圖係行進路徑間搬送裝置31的平面圖。並且，雖省略了圖示，但行進路徑間搬送裝置31係構成為：在第1物品供受處K1或第2物品供受處K2及搬送路徑的途中處，具有可檢測物品4之庫存感測器等感測器，根據該感測器之檢測資訊，控制驅動滾輪32(亦即馬達)之作動，藉此，可使物品4停止於第1物品供受處K1或第2物品供受處K2及搬送路徑途中處的所需位置。該等感測器屬於習知技術，例如， 將投光器配置於搬送路徑之一側，並將受光器配置於搬送路徑之相反側的對應位置，可將上述般光學感測器利用為感測器。又，感測器亦可為藉由物理性接觸物品而來感之物品的感測器。
如第6圖所示，驅動滾輪32係在相對於搬送方向直交之搬送橫寬方向隔著間隔而具有一對，並構成為以該等一對驅動滾輪32將物品4之搬送橫寬方向兩端部載置支持而進行搬送。在第1物品供受處K1及第2物品供受處K2，分別在一對驅動滾輪32間具有可自由升降的升降台33(參照第6圖的虛線)。並且，構成為藉由使升降台33升降，可將物品4自由升降於以驅動滾輪32載置支持物品4的載置位置、與從驅動滾輪32使物品4浮起的浮上位置。在升降台33，具有複數個可與物品4底部之複數溝部自由嵌合的銷，該等複數銷分別與物品4底部之複數溝部嵌合，藉此，可以將物品4定位之狀態來載置支持物品4。
如第2圖所示，行進路徑間搬送裝置31係構成為在第1物品供受處K1與第2物品供受處K2間搬送物品4的途中，可繞著上下軸心迴旋。即，行進路徑間搬送裝置31在其搬送路徑之途中部位，配置有可在一對驅動滾輪32間自由升降且繞著上下軸心自由迴旋的迴旋台(省略圖示)。在迴旋台，具有複數個可與物品4底部之複數溝部自由嵌合的銷，該等複數銷分別與物品4底部之複數溝部嵌合，藉此，可以將物品4定位之狀態來載置支持物品4。行進路徑間搬送裝置31係構成為：使物品4停止於該迴旋台的上方，並使迴旋台上 升，藉此，以將物品4定位的狀態來載置支持物品4，且使迴旋台繞著上下軸心迴旋而使物品4繞著上下軸心迴旋。
又，如第2及5圖所示，行進路徑間搬送裝置31係構成為以使複數物品4排列於其搬送路徑上的狀態配置物品4，而在第1物品供受處K1與第2物品供受處K2間自由搬送複數之物品4。即，如上所述，行進路徑間搬送裝置31係構成為：由於可藉由控制驅動滾輪32的驅動，來使物品4位於搬送路徑上的所需位置，故可使物品4分別配置於搬送路徑上之複數所需位置而搬送複數之物品4。
(作為升降滑動搬送裝置的機能)
物品搬送車3如上所述，可將把持部7具備成可自由升降且將該把持部7具備成可自由滑動移動於路徑橫寬方向(第2圖中X方向)。並且，位於第1行進路徑部位D1的物品搬送車3，係如第2圖所示，構成為：在以平面視角看來與第1行進路徑部位D1重疊的位置，進行把持部7的升降而在與站台2間自由移載物品4，並且，進行把持部7的滑動移動而在與行進路徑間搬送裝置31中之第1物品供受處K1間自由移載物品4。同樣地，位於第2行進路徑部位D2的物品搬送車3，係構成為：在以平面視角看來與第2行進路徑部位D2重疊的位置，進行把持部7的升降而在與站台2間自由移載物品4，並且，進行把持部7的滑動移動而在與行進路徑間搬送裝置31中之第2物品供受處K2間自由移載物品4。如此一來，在第1行進路徑部位D1，物品搬送車3可在站台2與第1物品供受處K1間搬送物品4，在第2行進路徑部位D2，物品 搬送車3亦可在站台2與第2物品供受處K2間搬送物品4。藉此，構成為將物品搬送車3之把持部7作為升降滑動搬送裝置之保持部，物品搬送車3亦產生作為可進行物品4之上下方向移動與水平方向移動之升降滑動搬送裝置的機能。
亦即，如此一來，由於具有行進路徑間搬送裝置31，物品搬送車3可在與行進路徑間搬送裝置31之第1物品供受處K1間移載物品4，並且物品搬送車3可在與行進路徑間搬送裝置31之第2物品供受處K2間移載物品4，故例如當將物品4從對應於第1行進路徑部位D1而設置之物品處理裝置1搬送至對應於第2行進路徑部位D2而設置之物品處理裝置1等時，當在第1行進路徑部位D1與第2行進路徑部位D2間進行物品搬送時，可使用行進路徑間搬送裝置31。
以下，說明當將物品4從對應於第1行進路徑部位D1而設置之物品處理裝置1搬送至對應於第2行進路徑部位D2而設置之物品處理裝置1時的動作。
在此，具有：管理複數台物品搬送車3之運行等物品搬送設備之運轉的設備管理用控制部、根據來自該設備管理用控制部之指令而控制物品搬送車3之運轉的台車側控制部、及控制行進路徑間搬送裝置31之運轉的搬送裝置控制部，藉由該等複數控制部的控制，將物品4從對應於第1行進路徑部位D1而設置之物品處理裝置1搬送至對應於第2行進路徑部位D2而設置之物品處理裝置1。
如第2及5圖所示，首先，根據來自於設備管理用控制部之指令等，位於在行進方向上游側最靠近其站台2之物品 搬送車3的台車側控制部，控制物品搬送車3的行進，使物品搬送車3停止於與位於第1行進路徑部位D1下之站台2對應的停止位置。在此，雖省略圖示，但在物品搬送車3，具有停止板檢測感測器，可檢測出設置於行進軌6之側旁等、顯示對應於各站台2之停止位置的停止板；台車側控制部係根據該停止板檢測感測器之檢測資訊，使物品搬送車3停止於與位於第1行進路徑部位D1路徑上之站台2對應的停止位置。然後，台車側控制部在以平面視角看來與第1行進路徑部位D1重疊的位置，使把持部7下降，更進一步地進行切換操作使把持具18為開啟位置，將把持部18切換至把持位置，藉此，從站台2收取物品4，使把持部7上升，然後，就這樣從以平面視角看來與第1行進路徑部位D1重疊之位置，使把持部7向水平方向滑動移動後，進行把持部7的下降及把持具18往把持解除位置的切換操作，藉此，將從站台2收取之物品4移載至行進路徑間搬送裝置31之第1物品供受處K1。如此一來，物品搬送車3使把持部7升降而在與站台2間移載物品4的停止位置，與物品搬送車3使把持部7滑動移動而在與第1物品供受處K1間移載物品4的停止位置，係在第1行進路徑部位D1的路徑上設定為同一位置。藉此，物品搬送車3可維持停止於與站台2對應之停止位置的狀態，進行把持部7的升降及滑動移動，藉此，可進行從站台2至第1物品供受處K1的物品搬送，可在短時間內平順地進行從站台2至第1物品供受處K1的物品搬送。附帶一提，將物品4從物品搬送車3移載至第1物品供受處K1時，搬送裝 置控制部會使第1物品供受處K1之升降台33上升至浮上位置。
搬送裝置控制部當以升降台33收取物品4時，使該升降台33從浮上位置下降至載置位置，以驅動滾輪32載置支持物品4，將該物品4向第2物品供受處K2搬送。在此，由於已設定供給至物品處理裝置1時之物品4的方向等理由，物品搬送車3交付至第1物品供受處K1時之物品4的方向、與物品搬送車3從第2物品供受處K2收取時之物品4的方向，會相對於行進路徑間搬送裝置31之搬送方向呈前後相反方向。對此，搬送裝置控制部使用配置於搬送路徑途中之迴旋台，使物品4繞著上下軸心迴旋，使物品4之方向前後反向而搬送至第2物品供受處K2。又，行進路徑間搬送裝置31也可不僅搬送1個物品4，亦可以在搬送路徑上排列複數之物品4的狀態配置物品4，將複數之物品4從第1物品供受處K1搬送至第2物品供受處K2。
當以行進路徑間搬送裝置31將物品4搬送至第2物品供受處K2時，根據來自設備管理用控制部之指令等，在行進方向上游側位於最靠近站台2之物品搬送車3的台車側控制部，控制物品搬送車3的行進，使物品搬送車3停止於與第2行進路徑部位D2之路徑上的站台2對應的停止位置。然後，台車側控制部在以平面視角看來與第2行進路徑部位D2重疊的位置，使把持部7滑動移動，並使把持部7下降，進行切換操作使把持具18為開啟位置，從第2物品供受處K2收取物品4，然後，將把持具18切換至把持位置，使把持部7滑 動移動至與第2行進路徑部位D2重疊的位置(即物品搬送車3的位置)，使把持部7下降，將把持具18往把持解除位置切換，藉此，從第2物品供受處K2將物品4移載至站台2。如此一來，物品搬送車3使把持部7升降而在與站台2間移載物品4的停止位置、與物品搬送車3使把持部7滑動移動而在與第2物品供受處K2間移載物品4的停止位置，係設定為在第2行進路徑部位D2之路徑上為同一位置。藉此，物品搬送車3係停止於與站台2對應的位置而進行把持部7之升降及滑動移動，而可進行從第2物品供受處K2至站台2的物品搬送，並可以短時間順暢地進行從第2物品供受處K2至站台2的物品搬送。附帶一提，當物品搬送車3從第2物品供受處K2收取物品4時，搬送裝置控制部使第2物品供受處K2之升降台33上升至浮上位置。
如此一來，由於可一面使用行進路徑間搬送裝置31，一面將物品4從對應於第1行進路徑部位D1而設置之物品處理裝置1搬送至對應於第2行進路徑部位D2而設置之物品處理裝置1，故可以短時間流暢地進行從對應於第1行進路徑部位D1而設置之物品處理裝置1至對應於第2行進路徑部位D2而設置之物品處理裝置1的物品搬送，而可達到搬送效率的提升。
在上述動作中，使用行進路徑間搬送裝置31之物品搬送，係說明了將物品4從對應於第1行進路徑部位D1而設置之物品處理裝置1搬送至對應於第2行進路徑部位D2而設置之物品處理裝置1的情況，但並不限定於上述情況。
例如，在第1圖中，從第1行進路徑部位D1中在路徑長方向(第1圖中Y方向)上配置於與行進路徑間搬送裝置31之設置位置不同位置的物品處理裝置1，搬送物品4至對應於第2行進路徑部位D2而設置之物品處理裝置1時，也可使用行進路徑間搬送裝置31。此時，首先，使物品搬送車3行進至第1行進路徑部位D1中在路徑長方向(第1圖中Y方向)上配置於與行進路徑間搬送裝置31之設置位置不同位置的物品處理裝置1中與站台2對應的停止位置，物品搬送車3使把持部7升降，從站台2收取物品4。接著，物品搬送車3可行進至在與第1物品供受處K1間移載物品4的停止位置，物品搬送車3進行把持部7的滑動移動，而將從站台2收取的物品4移載至第1物品供受處K1。
又，亦可藉由行進路徑間搬送裝置31，將搬送至第2物品供受處K2的物品4，搬送至第2行進路徑部位D2中在路徑長方向(第1圖中Y方向)上配置於與行進路徑間搬送裝置31之設置位置不同位置的物品處理裝置1。此時，物品搬送車3可行進至在與第2物品供受處K2間移載物品4的停止位置，物品搬送車3進行把持部7的滑動移動，而從第2物品供受處K2收取物品4。然後，物品搬送車3行進至第2行進路徑部位D2中在路徑長方向(第1圖中Y方向)上配置於與行進路徑間搬送裝置31之設置位置不同位置的物品處理裝置1中與站台2對應的停止位置，使把持部7升降，將從第2物品供受處K2收取之物品4移載至該站台2。
如此一來，不限於將物品4從對應於第1行進路徑部位 D1而設置之物品處理裝置1搬送至對應於第2行進路徑部位D2而設置之物品處理裝置1的情況，當進行第1行進路徑部位D1與第2行進路徑部位D2間之物品搬送時，可有效地活用行進路徑間搬送裝置31而流暢地進行物品搬送，而可達成搬送效率的提升。
〔其他實施形態〕
(1)在上述實施形態中，將物品搬送車3之把持部7作為升降滑動搬送裝置之保持部，物品搬送車3係作為升降滑動搬送裝置而產生機能。亦可設置與物品搬送車3有別之升降滑動搬送裝置，來取代之。亦即，在第1行進路徑部位D1側與第2行進路徑部位D2側的兩側，於較物品處理裝置1為上方側的位置設置升降滑動搬送裝置。並且，升降滑動搬送裝置係構成為：具備有保持物品4之保持部且可自由升降、並且使其保持部可自由滑動移動於路徑橫寬方向，在平面視角看來與所對應之路徑部位(第1行進路徑部位D1或第2行進路徑部位D2)重疊的位置，可進行保持部之升降而在與站台2間自由移載物品4，並且，進行保持部之滑動移動而在與所對應之路徑部位(第1物品供受處K1或第2物品供受處K2)之物品供受處間自由移載物品4。可利用在上述實施形態中所說明之物品搬送車3所具備者，來作為升降滑動搬送裝置。
此時，例如，在第1行進路徑部位D1及第2行進路徑部位D2的側旁，配置可暫時保管物品4的物品保管部，藉此，升降滑動搬送裝置係構成為進行保持部之滑動移動，且對 於該物品保管部也可自由移載物品4。藉由上述構成，升降滑動搬送裝置不止在站台2與行進路徑間搬送裝置31間進行物品搬送，在站台2與物品保管部間、及行進路徑間搬送裝置31與物品保管部間也可進行物品搬送。
(2)在上述實施形態中，係顯示了在第1行進路徑部位D1與第2行進路徑部位D2間，具有2個行進路徑間搬送裝置31之例，但關於行進路徑間搬送裝置31的數量可進行適當變更，也可為1個或3個以上。
例如，在具有1個行進路徑間搬送裝置31時，使該行進路徑間搬送裝置31之搬送方向可自由逆轉，藉此，可藉由1個行進路徑間搬送裝置31，進行從第1行進路徑部位D1側至第2行進路徑部位D2側的物品搬送、與從第2行進路徑部位D2側至第1行進路徑部位D1側的物品搬送。
(3)在上述實施形態中，係構成為行進路徑間搬送裝置31使物品4繞著上下軸心迴旋而進行搬送，或者在搬送路徑上排列配置複數之物品4而進行搬送，但行進路徑間搬送裝置31亦可不具備上述構成。
又，行進路徑間搬送裝置31係舉例如滾輪運輸機，但並不限於該滾輪運輸機，例如，也可利用在第1物品供受處K1與第2物品供受處K2間自由行進地具有載置支持物品4之載置支持體的搬送裝置或皮帶運輸機等，可使用各種搬送裝置。
(4)在上述實施形態中，所顯示之例係：物品搬送車3使把持部7升降而在與站台2間移載物品4的停止位置、與物 品搬送車3使把持部7滑動移動而在與第1物品供受處K1及第2物品供受處K2之物品供受處間移載物品4的停止位置，在第1行進路徑部位D1及第2行進路徑部位D2之路徑部位的路徑上為同一位置。關於第1行進路徑部位D1及第2行進路徑部位D2之路徑部位的路徑長方向上行進路徑間搬送裝置31的設置位置，可進行適當變更，也可在第1行進路徑部位D1及第2行進路徑部位D2之路徑部位的路徑上，將鄰接之站台2間的位置，設定為物品搬送車3使把持部7滑動移動而在與第1物品供受處K1及第2物品供受處K2之物品供受處間移載物品4的停止位置。
1‧‧‧物品處理裝置
2‧‧‧站台(物品移載處)
3‧‧‧物品搬送車
4‧‧‧物品
5‧‧‧懸吊支持具
6‧‧‧行進軌
7‧‧‧把持部
8‧‧‧皮帶
9‧‧‧行進驅動部
10‧‧‧物品支持部
11‧‧‧驅動馬達
12‧‧‧行進輪
13‧‧‧行進引導輪
14‧‧‧罩部
15‧‧‧升降操作機構
16‧‧‧滑動移動操作機構
17‧‧‧把持用馬達
18‧‧‧把持具
19‧‧‧升降用馬達
20‧‧‧旋轉滾筒
21‧‧‧滑動移動體
22‧‧‧中間滑動移動體
23‧‧‧第1滑動軌
24‧‧‧第2滑動軌
25‧‧‧第3滑動軌
26‧‧‧第4滑動軌
27‧‧‧旋轉滑輪
28‧‧‧無端皮帶
29‧‧‧受電線圈
30‧‧‧供電線
31‧‧‧行進路徑間搬送裝置
32‧‧‧驅動滾輪
33‧‧‧升降台
D1‧‧‧第1行進路徑部位
D2‧‧‧第2行進路徑部位
K1‧‧‧第1物品供受處
K2‧‧‧第2物品供受處
S‧‧‧行進路徑
S1‧‧‧站台經由部位
S2‧‧‧連結部位
X、Y‧‧‧方向
第1圖係物品搬送設備的平面圖。
第2圖係顯示物品搬送設備重要部份的側面圖。
第3圖係物品搬送車的側面圖。
第4圖係物品搬送車的正面圖。
第5圖係顯示物品搬送設備重要部份的立體圖。
第6圖係行進路徑間搬送裝置的平面圖。
1‧‧‧物品處理裝置
2‧‧‧站台(物品移載處)
3‧‧‧物品搬送車
4‧‧‧物品
5‧‧‧懸吊支持具
6‧‧‧行進軌
7‧‧‧把持部
8‧‧‧皮帶
14‧‧‧罩部
15‧‧‧升降操作機構
31‧‧‧行進路徑間搬送裝置
D1‧‧‧第1行進路徑部位
D2‧‧‧第2行進路徑部位
K1‧‧‧第1物品供受處
K2‧‧‧第2物品供受處
X‧‧‧方向

Claims (6)

  1. 一種物品搬送設備，係於地上側設置複數個物品處理裝置及分別對應於前述複數個物品處理裝置而設置的物品移載處，並於頂部側配置在複數個前述物品處理裝置間搬送物品之物品搬送車所行進的行進路徑，前述行進路徑具備有在路徑橫寬方向彼此隔著間隔配置的第1行進路徑部位及第2行進路徑部位，在前述第1行進路徑部位及前述第2行進路徑部位之間沿著路徑長方向，複數個前述物品處理裝置係配設成如下之狀態：至少一個前述物品處理裝置與其物品移載處對應於前述第1行進路徑部位而配置、且至少一個前述物品處理裝置與其物品移載處對應於前述第2行進路徑部位而配置，前述物品搬送設備設有：行進路徑間搬送裝置，係為了在以平面視角看來在前述第1行進路徑部位橫側之位置且配置於前述第2行進路徑部位側的第1物品供受處、與以平面視角看來在前述第2行進路徑部位橫側之位置且配置於前述第1行進路徑部位側的第2物品供受處間搬送物品，配置成在設置於前述第1行進路徑部位與第2行進路徑部位間之前述物品處理裝置上方側的空間延伸，並連接前述第1物品供受處與前述第2物品供受處；第1升降滑動搬送裝置，係可移動或固定地位於前述第1行進路徑部位之區域；及第2升降滑動搬送裝置，係可移動或固定地位於前 述第2行進路徑部位之區域，前述第1升降滑動搬送裝置具備有保持物品之保持部並使之可升降且可滑動移動於前述第1行進路徑部位之路徑橫寬方向，前述第2升降滑動搬送裝置具備有保持物品之保持部並使之可升降且可滑動移動於前述第2行進路徑部位之路徑橫寬方向，前述第1升降滑動搬送裝置係構成為：藉由以平面視角看來在與前述第1行進路徑部位重疊的位置進行前述保持部的升降，可在與對應於前述第1行進路徑部位而配置之前述至少一個前述物品處理裝置之前述物品移載處間自由移載物品，並且，藉由進行前述保持部之向前述第1行進路徑部位之路徑橫寬方向的滑動移動，可在與前述第1物品供受處間自由移載物品，而前述第2升降滑動搬送裝置則係構成為：藉由以平面視角看來在與前述第2行進路徑部位重疊的位置進行前述保持部的升降，可在與對應於前述第2行進路徑部位而配置之前述至少一個前述物品處理裝置之前述物品移載處間自由移載物品，並且，藉由進行前述保持部之向前述第2行進路徑部位之路徑橫寬方向的滑動移動，可在與前述第2物品供受處間自由移載物品。
  2. 如申請專利範圍第1項之物品搬送設備，其中前述物品搬送車，係分別構成為具有把持物品之把持部來作為前述保持部，並將該把持部設置成可自由升降、且將該把 持部設置成可自由滑動移動於前述第1行進路徑部位及前述第2行進路徑部位之路徑部位的路徑橫寬方向，當位於前述第1行進路徑部位時，可進行作為前述第1升降滑動搬送裝置之機能，而當位於前述第2行進路徑部位時，則可進行作為前述第2升降滑動搬送裝置之機能。
  3. 如申請專利範圍第2項之物品搬送設備，藉由前述物品搬送車使前述把持部升降而在與對應於前述第1行進路徑部位配置之前述至少一個前述物品處理裝置之前述物品移載處間移載物品的停止位置、與前述物品搬送車使前述把持部滑動移動而在與前述第1物品供受處間移載物品的停止位置，在前述第1行進路徑部位之路徑上係設定為同一位置，並且，藉由前述物品搬送車使前述把持部升降而在與對應於前述第2行進路徑部位配置之前述至少一個前述物品處理裝置之前述物品移載處間移載物品的停止位置、與前述物品搬送車使前述把持部滑動移動而在與前述第2物品供受處間移載物品的停止位置，在前述第2行進路徑部位之路徑上係設定為同一位置。
  4. 如申請專利範圍第1~3項中任1項之物品搬送設備，其中前述行進路徑間搬送裝置係構成為可在前述第1物品供受處與前述第2物品供受處間使物品繞著上下軸心迴旋。
  5. 如申請專利範圍第1~3項中任1項之物品搬送設備，其中前述行進路徑間搬送裝置係構成為可在其搬送路徑 上使複數個物品以排列的狀態配置，而在前述第1物品供受處與前述第2物品供受處間自由搬送複數個物品。
  6. 如申請專利範圍第1~3項中任1項之物品搬送設備，其中將對應於前述第1行進路徑部位所經由之前述物品移載處的前述物品處理裝置作為第1物品處理裝置，將對應於前述第2行進路徑部位所經由之前述物品移載處的前述物品處理裝置作為第2物品處理裝置，在前述路徑橫寬方向上之前述第1行進路徑部位與前述第2行進路徑部位之間，配置前述第1物品處理裝置與前述第2物品處理裝置，前述第1物品供受處是配置在比前述第1物品處理裝置之頂端更高的位置，前述第2物品供受處是配置在比前述第2物品處理裝置之頂端更高的位置，前述行進路徑間搬送裝置橫跨前述第1物品處理裝置之上方側的空間與前述第2物品處理裝置之上方側的空間而配置。
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Families Citing this family (35)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5141987B2 (ja) * 2009-12-07 2013-02-13 株式会社ダイフク 物品搬送設備
JP5440870B2 (ja) * 2010-08-19 2014-03-12 株式会社ダイフク 物品搬送設備
CN103183211B (zh) * 2011-12-28 2015-08-12 富泰华工业（深圳）有限公司 加工模组
JP5842276B2 (ja) * 2012-02-28 2016-01-13 株式会社ダイフク 物品移載装置
US9385019B2 (en) 2012-06-21 2016-07-05 Globalfoundries Inc. Overhead substrate handling and storage system
TW201416173A (zh) * 2012-10-22 2014-05-01 Hon Hai Prec Ind Co Ltd 送料裝置
TW201422501A (zh) * 2012-12-04 2014-06-16 Tian-Sing Huang 晶圓承載裝置及其應用
TWI483209B (zh) * 2013-07-03 2015-05-01 Chyi Yeu Lin 自動供餐系統
DE102013218403A1 (de) * 2013-09-13 2015-03-19 Krones Ag Vorrichtung und Verfahren zum Transport von Behältern in einer Behälterbehandlungsanlage
US9633879B2 (en) * 2014-05-14 2017-04-25 Murata Machinery, Ltd. Storage system in the ceiling space and storage method for goods thereby
JP6358142B2 (ja) * 2015-03-26 2018-07-18 株式会社ダイフク 物品搬送設備
JP6304122B2 (ja) * 2015-05-13 2018-04-04 株式会社ダイフク 物品搬送設備
US10479613B2 (en) * 2015-11-27 2019-11-19 Murata Machinery, Ltd. Transport system and transport method
JP6471702B2 (ja) * 2016-01-12 2019-02-20 株式会社ダイフク 物品搬送装置
JP6613941B2 (ja) * 2016-02-10 2019-12-04 株式会社ダイフク 物品搬送設備
JP6586936B2 (ja) 2016-09-21 2019-10-09 株式会社ダイフク 物品搬送設備
CN107323978B (zh) * 2017-06-20 2020-10-20 东旭（昆山）显示材料有限公司 天车***的物料输送方法
CN110831873B (zh) * 2017-06-30 2021-07-16 村田机械株式会社 搬运***以及搬运方法
JP6919610B2 (ja) * 2018-03-22 2021-08-18 株式会社ダイフク 物品搬送設備
EP3546196B1 (en) * 2018-03-28 2022-05-04 CL Schutzrechtsverwaltungs GmbH Plant comprising at least one apparatus for additively manufacturing three-dimensional objects
EP3546198B1 (en) 2018-03-28 2022-07-27 CL Schutzrechtsverwaltungs GmbH Plant comprising at least two apparatus for additively manufacturing three-dimensional objects
JP7184453B2 (ja) * 2018-05-17 2022-12-06 株式会社ディスコ 搬送システム
CN109018907A (zh) * 2018-06-27 2018-12-18 上海新创达智能科技有限公司 一种架空运输***
CN108792472A (zh) * 2018-06-27 2018-11-13 上海新创达智能科技有限公司 一种新型的架空运输***
JP6969512B2 (ja) * 2018-07-05 2021-11-24 株式会社ダイフク 物品搬送装置
CN109368245A (zh) * 2018-10-17 2019-02-22 武汉德恒汽车装备有限公司 一种抓取搬运机构
JP7109863B2 (ja) * 2018-11-30 2022-08-01 株式会社ディスコ 搬送システム
JP7162982B2 (ja) * 2018-12-07 2022-10-31 株式会社ディスコ 搬送システム
JP7224726B2 (ja) * 2019-03-26 2023-02-20 株式会社ディスコ 搬送システム及び管理方法
US11072501B2 (en) * 2019-06-27 2021-07-27 Sst Systems, Inc. Finishing system and method of operating
KR102288931B1 (ko) * 2019-12-03 2021-08-12 세메스 주식회사 비히클 주행 경로 설정 방법
CN115023401B (zh) * 2020-02-04 2024-06-11 平田机工株式会社 自动仓库单元以及自动仓库设备
KR20230058777A (ko) 2021-10-25 2023-05-03 삼성전자주식회사 기판 이송 시스템
WO2023188769A1 (ja) * 2022-03-29 2023-10-05 村田機械株式会社 搬送システム
CN114649250B (zh) * 2022-05-20 2022-08-05 弥费实业(上海)有限公司 供存储库与oht交换晶圆盒的运输装置、天车窗口及存储库

Family Cites Families (23)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4820102A (en) * 1986-03-10 1989-04-11 Wean Incorporated Arrangement for and method of stacking blanks
JPH0664180U (ja) * 1993-02-17 1994-09-09 株式会社アドバンテスト Ｉｃハンドラにおける搬送装置
US6435330B1 (en) * 1998-12-18 2002-08-20 Asyai Technologies, Inc. In/out load port transfer mechanism
US6889813B1 (en) * 2000-06-22 2005-05-10 Amkor Technology, Inc. Material transport method
US6321138B1 (en) * 2000-09-15 2001-11-20 Woodson Incorporated Storage and retrieval system with automated order make up
JP3508130B2 (ja) * 2000-09-21 2004-03-22 村田機械株式会社 搬送システム
US6854583B1 (en) * 2001-02-06 2005-02-15 Middlesex General Industries, Inc. Conveyorized storage and transportation system
US6699329B2 (en) * 2001-05-25 2004-03-02 George Koch Sons, Llc Coating and curing system
JP2003142547A (ja) * 2001-08-24 2003-05-16 Hirata Corp ワーク搬送装置
EP1535143A4 (en) * 2002-06-19 2010-05-05 Brooks Automation Inc AUTOMATED MATERIAL HANDLING SYSTEM FOR SEMICONDUCTOR MANUFACTURING BASED ON A COMBINATION OF VERTICAL CAROUSELS AND OVERHEAD HOISTS
KR101323337B1 (ko) * 2002-10-11 2013-10-30 무라타 기카이 가부시키가이샤 자동 재료 핸들링 시스템
JP2005150129A (ja) * 2003-11-11 2005-06-09 Asyst Shinko Inc 移載装置及び移載システム
US7578650B2 (en) * 2004-07-29 2009-08-25 Kla-Tencor Technologies Corporation Quick swap load port
JP4126559B2 (ja) 2004-08-09 2008-07-30 村田機械株式会社 天井走行車システム
CN100392841C (zh) * 2004-08-12 2008-06-04 友达光电股份有限公司 自动化物料搬运***
JP4123383B2 (ja) 2004-08-12 2008-07-23 村田機械株式会社 天井走行車システム
JP4858673B2 (ja) * 2005-05-13 2012-01-18 ムラテックオートメーション株式会社 懸垂式昇降搬送台車の搬送システム
JP2009514235A (ja) * 2005-10-27 2009-04-02 アシスト テクノロジーズ インコーポレイテッド 水平方向配列ストッカ
JP2007191235A (ja) * 2006-01-17 2007-08-02 Murata Mach Ltd 天井走行車システム
KR101492886B1 (ko) * 2007-07-09 2015-02-12 미들섹스 제네랄 인더스트리즈, 이이앤씨 모노레일 공장 운송 시스템의 차량 이용률 및 처리량을 개선하기 위한 시스템 및 방법
JP4796024B2 (ja) * 2007-08-30 2011-10-19 東京エレクトロン株式会社 容器交換システム及び容器交換方法
JP4543338B2 (ja) * 2007-11-13 2010-09-15 村田機械株式会社 天井走行車システムとそのバッファの施工方法
JP5686501B2 (ja) * 2009-03-27 2015-03-18 株式会社ダイフク 物品搬送設備

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