TWI536440B - 基板輸送裝置 - Google Patents

Description

基板輸送裝置

本發明係關於一種基板輸送裝置；具體而言，本發明係關於一種使用於光學製程之基板輸送裝置。

光學製程係廣泛應用於各個領域之中，例如半導體晶圓製程、顯示面板及其他精密產業。光學製程中包含光罩、顯影、蝕刻等不同步驟，依設計來逐步或反覆施作，而形成最後所需之晶圓或電晶體或色阻結構。以蝕刻製程而言，又可分為濕式及乾式蝕刻，均各有其優劣之處。

然不論在各個製程步驟中，均需對承載的基板進行輸送。圖1所示為一種傳統的基板輸送裝置。如圖1所示，基板15係設置於包含數個滾輪30的機台上。當滾輪30受馬達21驅動而滾動時，即因滾輪30與基板15間的磨擦力而帶動基板15向前進。然而，由於滾輪30與基板15會相互摩擦，因此同時會使滾輪30受損，而產生碎屑或粉塵殘留於基板15上，進而形成痕跡。

為解決此一問題，傳統上會在滾輪30的後方加設清潔刷50。清潔刷50係以相反於基板15前進的方向刷過基板15表面，以清除滾輪30殘留的痕跡。然而清潔刷50需以獨立的馬達22來驅動，因此需要一定的空間來裝設，通常僅能裝設在機台的特定位置。此外，由於考慮基板15需維持一定 向前的推進力，因此得藉由電腦1程式或其他系統來協調相對的速度，方能維持基板15的輸送正常。此外，由於清潔刷50可能造成基板15的輸送速度不穩定，因此也必需加設額外的滾輪30來維持基板15輸送速度的穩定性。

本發明之目的在於提供一種基板輸送裝置，可減少需額外增設的動力來源。

本發明之另一目的在於提供一種基板輸送裝置，可提高輸送輪組及清潔輪組在推進力上的協調性。

基板輸送裝置包含動力源、輸送輪及清潔輪。動力源係提供驅動力作為輸送基板的動力來源。輸送輪與動力源直接或間接地連動，以接受驅動力而驅使輸送輪以第一轉向轉動，進而產生沿推進路徑上之推進力以推動基板前進。清潔輪係設置在推進路徑上，且與輸送輪相對；換言之，基板上與輸送輪接觸的位置會被推進到與清潔輪接觸。清潔輪直接或間接地與動力源連動，以接受驅動力而驅使清潔輪以第二轉向轉動，其中第二轉向係與第一轉向相反。換言之，清潔輪在與基板接觸位置處之行進方向係相反於基板的輸送方向。

輸送輪之輪面由第一材質形成，或至少包含第一材質；而清潔輪之輪面較佳由不同於第一材質的第二材質所形成。由於清潔輪設置的位置係落入輸送輪產生的推進路徑，因此可將輸送輪在推進基板時因磨擦或其他原因產生的痕跡或粉塵清除。

100‧‧‧機台

150‧‧‧基板

200‧‧‧動力源

210‧‧‧伺服馬達

230‧‧‧螺桿

231‧‧‧第一動力輸出部

232‧‧‧第二動力輸出部

233‧‧‧動力輸入部

250‧‧‧驅動齒輪

255‧‧‧連動齒輪

270‧‧‧反向驅動齒輪

275‧‧‧反向連動齒輪

290‧‧‧中繼齒輪

300‧‧‧輸送輪組

301‧‧‧輸送面

303‧‧‧推進路徑

310‧‧‧輸送輪

315‧‧‧對向輸送輪

330‧‧‧軸桿

335‧‧‧對向軸桿

500‧‧‧清潔輪組

510‧‧‧清潔輪

515‧‧‧對向清潔輪

530‧‧‧軸桿

535‧‧‧對向軸桿

550‧‧‧軸桿

X‧‧‧第一轉向

Y‧‧‧第二轉向

圖1為傳統基板輸送裝置之示意圖；圖2為本發明基板輸送裝置之實施例示意圖；圖3為基板輸送裝置之另一實施例示意圖；圖4為基板輸送裝置之實施例側視示意圖；圖5A-圖5C為基板輸送裝置之不同實施例示意圖；圖6A及圖6B為玻璃基板或積體電路元件及軟性電路板之實施例示意圖；圖7為為基板輸送裝置之另一實施例示意圖。

本發明係提供一種基板輸送裝置。在較佳實施例中，基板輸送裝置係應用於顯示面板之電路或色阻結構形成製程中，供輸送玻璃或其他材質的基板在製程機台上前進；然而在不同實施例中，基板輸送裝置亦可使用於其他類型的半導體製程或需要進行基板輸送的製程中，且運送之基板類型不限於玻璃基板。

在圖2所示之實施例中，基板輸送裝置係設置於機台100上，且包含動力源200、輸送輪組300及清潔輪組500。以濕式製程之輸送段為例，清潔輪組500可設置於輸送輪組300在輸送動線上的後方。動力源200係提供驅動力作為輸送基板150的動力來源。在此較佳實施例中，動力源200包含伺服馬達210、螺桿230及驅動齒輪250。伺服馬達210係提供可受程式 或電腦控制之旋轉力作為驅動力，因此伺服馬達210的旋轉轉速較佳可依需求而進行調整。螺桿230具有動力輸入部233及第一動力輸出部231，動力輸入部233連接於伺服馬達210之轉軸，以隨之旋轉而將旋轉力傳輸至第一動力輸出部231。驅動齒輪250係與第一動力輸出部231相嚙合以承接前述由旋轉力轉化而成的驅動力。如圖2所示，第一動力輸出部231可以為形成於螺桿230上的蝸輪，以在隨螺桿230轉動時同時帶動驅動齒輪250沿不同於螺桿230的旋轉方向而旋轉；換言之，藉由第一動力輸出部231和驅動齒輪250的搭配，可改變驅動力的動力流向。然而上述伺服馬達210、螺桿230及驅動齒輪250的搭配僅為例示之動力源200組成，並不以此為限；動力源200亦可由其他的機構及原理組合而成，例如非接觸式磁性齒輪、皮帶、鍊條等。

如圖2所示，輸送輪組300包含至少一輸送輪310，並可以輸送輪310本身或與輸送輪組300之其餘部件定義出輸送面301。輸送面301係為一虛擬之平面，表示基板150在受基板輸送裝置輸送時所處之平面。在此實施例中，輸送輪組300包含複數個輸送輪310，且這些輸送輪310係分別設置於一或多個軸桿330上。這些輸送輪310分別與輸送面301相切，以對設置於輸送面301上之基板150進行輸送。輸送輪組300係直接或間接地與動力源200連動，以接受驅動力而驅使輸送輪310以第一轉向X轉動，進而產生在輸送面301上沿推進路徑303上之推進力以推動基板150前進。如圖2所示，推進路徑303係表示輸送輪310在輸送面301上推動基板150前進之方向；在較佳實施例中，推進路徑303係重合於輸送輪310相切於輸送面301之切線方向。

在此實施例中，驅動齒輪250亦同時設置於軸桿330上，因此 當驅動齒輪250以第一轉向X轉動時，即會帶動軸桿330與輸送輪310均以第一轉向X轉動。換言之，輸送輪組300係與動力源200直接連動。然而在不同實施例中，驅動齒輪250及軸桿330之間亦可加設其他的動力傳導機構，以達到差速或其他不同的設計目的。

清潔輪組500係包含至少一清潔輪510。如圖2所示，每一清潔輪510與輸送面301相干涉的位置至少部分落入推進路徑303內，亦即清潔輪510與輸送面301上相干涉的位置可部分或全部與推進路徑303相疊合。在此實施例中，清潔輪組500包含複數個清潔輪510，且這些清潔輪510係分別設置於一或多個軸桿530上。這些清潔輪510分別與輸送面301相干涉，例如相切或是略突出於輸送面301，以對設置於輸送面301上之基板150進行清潔。當基板150沿輸送面301通過清潔輪510時，即會壓迫具有彈性的清潔輪510而與清潔輪510相切於輸送面301；此時清潔輪510因受壓而反彈，以旋轉壓迫基板150，而達到清潔的效果。清潔輪組500係直接或間接地與動力源200連動，以接受驅動力而驅使清潔輪510以第二轉向Y轉動，其中第二轉向Y係與第一轉向X相反。換言之，清潔輪510在與輸送面301干涉位置處之切線行進方向係相反於基板150的輸送方向，以對基板150表面產生清潔效果。此外，由於清潔輪510設置的位置係落入輸送輪310產生的推進路徑303，因此可將輸送輪310在推進基板150時因磨擦或其他原因產生的痕跡或粉塵清除。

由於此一設計不需額外的動力源來驅動清潔輪組500，因此整體所需的設置空間較為節省，可在機台的不同位置設置多個清潔輪組500。此外，由於輸送輪組300及清潔輪組500的驅動力均來自同一動力源 200，因此可輕易地達成同步或等差的旋轉速度，使得基板150可以穩定的速度向前輸送，而不需加設額外供穩定傳輸速度的滾輪。

在此實施例中，動力源200包含有反向驅動齒輪270。反向驅動齒輪270係設置於承載清潔輪510的軸桿530上，並與最接近的驅動齒輪250直接或間接嚙合以承接驅動力。在本實施例中，由於反向驅動齒輪270與最接近的驅動齒輪250是直接嚙合，因此當驅動齒輪250以第一轉向X轉動時，即會帶動反向驅動齒輪270朝相反的第二轉向Y轉動，且同時軸桿530與清潔輪510均以第二轉向Y轉動。然而在不同實施例中，驅動齒輪250及反向驅動齒輪270之間亦可加設其他的動力傳導機構來間接嚙合，以達到差速、間距調整或其他不同的設計目的。

圖3所示為基板輸送裝置之另一實施例示意圖。如圖3所示，螺桿230上包含第二動力輸出部232。第二動力輸出部232係與第一動力輸出部231分別位於螺桿230上之不同段，但均是用以改變驅動力的輸出方向。反向驅動齒輪270係與第二動力輸出部232相嚙合以承接由旋轉力轉化而成的驅動力。如圖3所示，第二動力輸出部232可以為形成於螺桿230上的蝸輪，以在隨螺桿230轉動時同時帶動反向驅動齒輪270沿不同於螺桿230的旋轉方向而旋轉；換言之，藉由第二動力輸出部232和反向驅動齒輪270的搭配，可改變驅動力的動力流向。此外，作為第二動力輸出部232的蝸輪可與第一動力輸出部231之蝸輪具有相反的蝸旋方向，使反向驅動齒輪270與驅動齒輪250產生相反的旋轉方向。

輸送輪310之輪面較佳由第一材質形成，或至少包含第一材質；其中第一材質可包含橡膠、聚醚醚峒(PEEK)或其他材質。清潔輪510 之輪面較佳由不同於第一材質的第二材質所形成，或至少包含第二材質；其中第二材質可包含海綿、刷毛或其他材質。在較佳實施例中，第二材質係較第一材質具有較高的液體吸收能力或液體涵帶能力。此外，第二材質較佳較第一材質具有較高的彈性，可在受壓迫時產生較大的彈性形變。在另一實施例中，第一材質形成的輸送輪310輪面較第二材質形成的清潔輪510輪面較為密實，或具有較少的孔洞等空間。

圖4為基板輸送裝置之實施例側視圖。如圖4所示，輸送輪310及清潔輪510較佳具有相同的輪徑，因此只要確定輸送輪310及清潔輪510的轉速同步或是維持固定差距，即可輕易決定輸送輪310及清潔輪510的分佈數量並提供基板150穩定的輸送速度。然而當清潔輪510具有一定彈性且需要增加清潔力時，亦可使清潔輪510的輪徑大於輸送輪310的輪徑。清潔輪510之輪面寬度亦可略大於輸送輪310之輪面寬度，以確保能完整清潔輸送輪310產生的痕跡。此外，輸送輪310及清潔輪510較佳係以相同的角速率值，但以相反的來轉動。藉由此一設計，即可計算出輸送輪組300及清潔輪組500對於基板150傳輸的助力及阻力，以妥善的安排的數量及位置。

圖5A所示為基板輸送裝置之另一實施例。如圖5A所示，輸送輪組300及清潔輪組500可分別設置於基板150的兩側，以分別清潔基板150的兩面。位於基板150兩側的輸送輪組300及清潔輪組500可均連接於同一動力源200。如圖5A所示，輸送輪組300可包含設置於基板150相反於伺服馬達210一側的對向輸送輪315及對向軸桿335；對向軸桿335上可設有連動齒輪255與驅動齒輪250相嚙合。當驅動齒輪250以第一轉向X轉動時，即同時帶動連動齒輪255及對向輸送輪315以相反的第二轉向Y轉動。同樣的，清 潔輪組500可包含設置於基板150相反於伺服馬達210一側的對向清潔輪515及對向軸桿535；對向軸桿535上可設有反向連動齒輪275與軸桿530上的反向驅動齒輪270相嚙合。當反向驅動齒輪270以第二轉向Y轉動時，即同時帶動反向連動齒輪275及對向清潔輪515以相反的第一轉向X轉動。藉由此一設計，輸送輪310及對向輸送輪315可提供更穩定的輸送速度，而對向清潔輪515亦能針對對向輸送輪315產生的痕跡進行清潔。

圖5B為基板輸送裝置之另一實施例。如圖5B所示，輸送輪310及清潔輪510均設置於基板150的上側，而伺服馬達210則位於基板150的下側。輸送輪310及連動齒輪255設置於同一軸桿350上，而對向輸送輪315及驅動齒輪設置於同一對向軸桿355上。伺服馬達210輸出之驅動力經由螺桿230及第一動力輸出部231而抵達驅動齒輪250，使得驅動齒輪250帶動對向軸桿355及對向輸送輪315以第二轉向Y轉動。同時，驅動齒輪250又與連動齒輪255嚙合，使連動齒輪255帶動軸桿350及輸送輪310以第一轉向X轉動。藉此，輸送輪310及對向輸送輪315可合力將基板150推進向前。此外，清潔輪510及反向連動齒輪275設置於同一軸桿550上。反向連動齒輪275係藉由中繼齒輪290與驅動齒輪250連動。當驅動齒輪250以第二轉向Y轉動時，反向連動齒輪275即同時帶動清潔輪510以第二轉向Y轉動，以清潔輸送輪310在基板150上側面留下的痕跡或顆粒。

圖5C為基板輸送裝置之另一實施例。如圖5C所示，輸送輪310及清潔輪510均設置於基板150的上側，而伺服馬達210則位於基板150的下側。輸送輪310及連動齒輪255設置於同一軸桿350上，而對向輸送輪315及驅動齒輪250設置於同一對向軸桿355上。伺服馬達210輸出之驅動力經由 螺桿230及第一動力輸出部231而抵達驅動齒輪250，使得驅動齒輪250帶動對向軸桿355及對向輸送輪315以第二轉向Y轉動。同時，驅動齒輪250又與連動齒輪255嚙合，使連動齒輪255帶動軸桿350及輸送輪310以第一轉向X轉動。藉此，輸送輪310及對向輸送輪315可合力將基板150推進向前。此外，清潔輪510及反向連動齒輪275設置於同一軸桿550上。反向連動齒輪275係與連動齒輪255嚙合。當連動齒輪250以第一轉向X轉動時，反向連動齒輪275即同時帶動清潔輪510以第二轉向Y轉動，以清潔輸送輪310在基板150上側面留下的痕跡或顆粒。

圖6A及圖6B為基板輸送裝置運作的實施例。在圖6A的實施例中，動力源200中的伺服馬達210係正常輸出驅動力，使輸送輪310以第一轉向X轉動，而清潔輪510以相反的第二轉向Y轉動。然而在特定需往復輸送基板150多次的製程中，例如半導體濕式製程中的清洗程序，即需在一個位置上前後多次移動基板，以達成較長時間的清洗。如圖6B所示，當需要進行反向傳送基板150時，動力源200中的伺服馬達210即可選擇改輸出反向驅動力，以使輸送輪310改以第二轉向Y轉動，而清潔輪510則同時被帶動以第一轉向X轉動。此時基板150則會被反向傳送。伺服馬達210的反轉可以電腦程序依時間排程來達成，例如在第N秒時開始反向輸出驅動力，而在第N+M秒時回正向輸出驅動力。此外，亦可於機台上的特定位置設置感應裝置A及感應裝置B，當基板150通過感應裝置A時開始反向輸出驅動力，而當再過感應裝置B時恢復正向輸出驅動力。藉由此一設置，僅需控制單一的伺服馬達210，即可同步控制輸送輪310及清潔輪510的反轉，且維持清潔輪510以相反於輸送方向的方式旋轉以達到清潔效果。在此實施例中，清潔輪510 係夾設於前後二輸送輪310之間。如此一來，不論基板150朝向哪一個方向輸送，清潔輪510均可以對一側輸送輪310產生的痕跡或顆粒進行清潔。

圖7所示為基板輸送裝置之另一實施例。如圖7所示，基板輸送裝置係設置於機台100上，且包含動力源200、輸送輪310及清潔輪510。動力源200係提供驅動力作為輸送基板150的動力來源。動力源200可由馬達、螺桿、齒輪或其他的機構及原理組合而成，例如非接觸式磁性齒輪、皮帶、鍊條等。輸送輪310係與動力源200直接或間接地連動，以接受驅動力而驅使輸送輪310以第一轉向X轉動，進而產生沿推進路徑303上之推進力以推動基板150前進。在較佳實施例中，推進路徑303係重合於輸送輪310相切於基板150之切線方向。如圖7所示，本實施例中之輸送輪310可具有較寬的輪面，以提供基板150較穩定的推進路徑。

如圖7所示，清潔輪510係設置在推進路徑303上，且與輸送輪310相對；換言之，基板150上與輸送輪310接觸的位置會被推進到與清潔輪510接觸。清潔輪510係直接或間接地與動力源200連動，以接受驅動力而驅使清潔輪510以第二轉向Y轉動，其中第二轉向Y係與第一轉向X相反。換言之，清潔輪510在與基板150接觸位置處之行進方向係相反於基板150的輸送方向，以對基板150表面產生清潔效果。此外，由於清潔輪510設置的位置係落入輸送輪310產生的推進路徑303，因此可將輸送輪310在推進基板150時因磨擦或其他原因產生的痕跡或粉塵清除。

與前述實施例相類似地，由於此一設計不需額外的動力源來驅動清潔輪組500，因此整體所需的設置空間較為節省，可在機台的不同位置設置多個清潔輪組500。此外，由於輸送輪組300及清潔輪組500的驅動力 均來自同一動力源200，因此可輕易地達成同步或等差的旋轉速度，且較不仰賴額外的系統控制來達成，可靠度較高。

本發明已由上述相關實施例加以描述，然而上述實施例僅為實施本發明之範例。必需指出的是，已揭露之實施例並未限制本發明之範圍。相反地，包含於申請專利範圍之精神及範圍之修改及均等設置均包含於本發明之範圍內。

100‧‧‧機台

150‧‧‧基板

200‧‧‧動力源

210‧‧‧伺服馬達

230‧‧‧螺桿

231‧‧‧第一動力輸出部

233‧‧‧動力輸入部

250‧‧‧驅動齒輪

270‧‧‧反向驅動齒輪

300‧‧‧輸送輪組

301‧‧‧輸送面

303‧‧‧推進路徑

310‧‧‧輸送輪

330‧‧‧軸桿

500‧‧‧清潔輪組

510‧‧‧清潔輪

530‧‧‧軸桿

X‧‧‧第一轉向

Y‧‧‧第二轉向

Claims (21)

1. 一種基板輸送裝置，包含：一動力源，提供一驅動力；其中該動力源包含一螺桿，具有一第一動力輸出部以及與該第一動力輸出部相異之一第二動力輸出部；一輸送輪，與該第一動力輸出部經由嚙合連接並與該動力源連動，該驅動力經由該第一動力輸出部驅使該輸送輪以一第一轉向轉動以產生在一推進路徑上之推進力；其中，該輸送輪之輪面係包含一第一材質；以及一清潔輪，係設置在該推進路徑上以與該輸送輪相對，且與該第二動力輸出部經由嚙合連接並與該動力源連動，該驅動力經由該第二動力輸出部驅使該清潔輪以相反於該第一轉向之一第二轉向轉動；其中，該清潔輪之輪面係包含一第二材質，該第二材質係不同於該第一材質。
2. 如請求項1所述之基板輸送裝置，其中該動力源包含：一伺服馬達；一動力輸入部位於該螺桿上；該動力輸入部係連接該伺服馬達；以及一驅動齒輪，與該輸送輪連動並與該第一動力輸出部嚙合以承接該驅動力；其中，該驅動齒輪傳遞該驅動力至該輸送輪以驅使該輸送輪以該第一轉向轉動。
3. 如請求項2所述之基板輸送裝置，其中該動力源包含：一反向驅動齒輪，與該清潔輪連動並與該驅動齒輪直接或間接嚙合以承接該驅動力；其中，該反向驅動齒輪傳遞該驅動力至該清潔輪以驅使該清潔輪以該第二轉向轉動。
4. 如請求項2所述之基板輸送裝置，其中該螺桿具有一第二動力輸出部；該動力源包含：一反向驅動齒輪，與該清潔輪連動並與該第二動力輸出部直接或間接嚙合以承接該驅動力；其中，該反向驅動齒輪傳遞該驅動力至該清潔輪以驅使該清潔輪以該第二轉向轉動。
5. 如請求項1所述之基板輸送裝置，其中該第二材質較該第一材質具有較高的液體吸收能力。
6. 如請求項1所述之基板輸送裝置，其中該輸送輪及該清潔輪具有相同的輪徑。
7. 如請求項1所述之基板輸送裝置，其中該動力源可選擇性地輸出一反向驅動力，而帶動該輸送輪改以該第二轉向轉動，並同時帶動該清潔輪改以該第一轉向轉動。
8. 如請求項1所述之基板輸送裝置，其中該輸送輪與該清潔輪係以相同的角速率轉動。
9. 一種基板輸送裝置，包含：一動力源，提供一驅動力；其中該動力源包含一螺桿，具有一第一動力輸出部及與該第一動力輸出部相異之一第二動力輸出部；一輸送輪組，包含至少一輸送輪並定義一輸送面，該輸送輪組與該第一動力輸出部經由嚙合連接並與該動力源連動，該驅動力經由該第一動力輸出部驅使每一該輸送輪以一第一轉向轉動以產生在輸送面上沿一推進路徑上之推進力；其中，該輸送輪之輪面係包含一第一材質；以及一清潔輪組，包含至少一清潔輪，每一該清潔輪與該輸送面相干涉的位置至少部分落入該推進路徑內，與該第二動力輸出部經由嚙合連接 並與該動力源連動，該驅動力經由該第二動力輸出部驅使該清潔輪以相反於該第一轉向之一第二轉向轉動；其中，該清潔輪之輪面係包含一第二材質，該第二材質係不同於該第一材質。
10. 如請求項9所述之基板輸送裝置，其中該動力源包含：一伺服馬達；一動力輸入部位於該螺桿上；該動力輸入部係連接該伺服馬達；以及一驅動齒輪，與該輸送輪組連動並與該第一動力輸出部嚙合以承接該驅動力；其中，該驅動齒輪傳遞該驅動力至該輸送輪組以驅使該輸送輪以該第一轉向轉動。
11. 如請求項10所述之基板輸送裝置，其中該動力源包含：一反向驅動齒輪，與該清潔輪組連動並與該驅動齒輪直接或間接嚙合以承接該驅動力；其中，該反向驅動齒輪傳遞該驅動力至該清潔輪組以驅使該清潔輪以該第二轉向轉動。
12. 如請求項11所述之基板輸送裝置，其中該清潔輪組包含一對向清潔輪設置於該基板相反於該伺服馬達之一側；該動力源包含一反向連動齒輪與該對向清潔輪連動並與該反向驅動齒輪嚙合；該反向驅動齒輪經由該反向連動齒輪傳遞該驅動力使該對向清潔輪以該第一轉向轉動。
13. 如請求項10所述之基板輸送裝置，其中該輸送輪及該清潔輪係設置於該基板相反於該伺服馬達之一側；該動力源包含：一中繼齒輪，係與該驅動齒輪嚙合；以及一反向連動齒輪，與該清潔輪連動並與該中繼齒輪直接或間接嚙合以承接該驅動力；其中，該驅動齒輪經由該中繼齒輪及該反向連動齒輪 傳遞該驅動力以驅使該清潔輪以該第二轉向轉動。
14. 如請求項10所述之基板輸送裝置，其中該輸送輪及該清潔輪係設置於該基板相反於該伺服馬達之一側；該動力源包含：一連動齒輪，係與該輸送輪連動並與該驅動齒輪嚙合；其中，該驅動齒輪經由該連動齒輪驅使該輸送輪以該第一轉向轉動；以及一反向連動齒輪，與該清潔輪連動並與該連動齒輪直接或間接嚙合以承接該驅動力；其中，該驅動齒輪經由該連動齒輪及該反向連動齒輪傳遞該驅動力以驅使該清潔輪以該第二轉向轉動。
15. 如請求項10所述之基板輸送裝置，其中該螺桿具有一第二動力輸出部；該動力源包含：一反向驅動齒輪，與該清潔輪組連動並與該第二動力輸出部直接或間接嚙合以承接該驅動力；其中，該反向驅動齒輪傳遞該驅動力至該清潔輪組以驅使該清潔輪以該第二轉向轉動。
16. 如請求項9所述之基板輸送裝置，其中該第二材質較該第一材質具有較高的液體吸收能力。
17. 如請求項9所述之基板輸送裝置，其中該輸送輪及該清潔輪具有相同的輪徑。
18. 如請求項9所述之基板輸送裝置，其中該動力源可選擇性地輸出一反向驅動力，而帶動該輸送輪改以該第二轉向轉動，並同時帶動該清潔輪改以該第一轉向轉動。
19. 如請求項9所述之基板輸送裝置，其中該輸送輪與該清潔輪係以相同的角速率轉動。
20. 一種基板輸送裝置，包含：一動力源，提供一驅動力； 一輸送輪，與該動力源連動，該驅動力驅使該輸送輪以一第一轉向轉動以產生在一推進路徑上之推進力；其中，該輸送輪之輪面係包含一第一材質；以及一清潔輪，係設置在該推進路徑上以與該輸送輪相對，且與該輸送輪經由嚙合連接，從而以該第一轉向轉動之該輸送輪驅動該清潔輪以相反於該第一轉向之一第二轉向轉動；其中，該清潔輪之輪面係包含一第二材質，該第二材質係不同於該第一材質。
21. 一種基板輸送裝置，包含：一動力源，提供一驅動力；一輸送輪組，包含至少一輸送輪並定義一輸送面，該輸送輪組與該動力源連動，該驅動力驅使每一該輸送輪以一第一轉向轉動以產生在輸送面上沿一推進路徑上之推進力；其中，該輸送輪之輪面係包含一第一材質；以及一清潔輪組，包含至少一清潔輪，每一該清潔輪與該輸送面相干涉的位置至少部分落入該推進路徑內，且與該輸送輪組經由嚙合連接，從而以該第一轉向轉動之該輸送輪組驅動該清潔輪以相反於該第一轉向之一第二轉向轉動；其中，該清潔輪之輪面係包含一第二材質，該第二材質係不同於該第一材質。