TWI529792B - Retainer unit and scribing device - Google Patents
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Description
本發明係關於一種用以於玻璃基板、陶瓷基板、矽基板等脆性材料基板上形成劃線之保持具單元及具有該保持具單元之劃線裝置。
先前,於液晶顯示面板或有機電致發光(EL,Electroluminescence)面板等平板顯示面板、太陽能電池等之製造步驟中,設有母玻璃基板等脆性材料基板之分斷步驟。於該分斷步驟中,通常使用如專利文獻1中所記載之劃線裝置。而且,於分斷步驟中,一面對該劃線裝置所具備之劃線輪負載與脆性材料基板之材質及厚度等各種條件相適合之荷重,一面使劃線輪於脆性材料基板之表面上滾動而形成劃線,藉由對脆性材料基板負載特定之力而沿劃線分斷脆性材料基板,從而製造出單個面板或各種基板。
例如下述專利文獻1所示,該劃線裝置形成為保持具之旋轉軸部插通於軸承中,且保持具可隨著劃線頭之移動而旋轉。
使用圖6,對上述插通有保持具之旋轉軸部之軸承進行說明。再者,圖6所示之軸承為市售之稱為防塵型之軸承,圖6(a)表示軸承50之前視圖,圖6(b)表示軸承50之A-A線剖面圖。軸承50包括:外側之較大之外環51、內側之較小之內環52、配置於外環51與內環52之間之複數個旋轉體53、及為防止異物進入外環51與內環52之間等而於上下分
別安裝之密封構件54。
此時,軸承有如下類型:如圖6(b)之虛線所包圍之區域所示,密封構件54之內環52側之端部與內環52之側面之間設有間隙之類型;及密封構件54之內環52側之端部與內環52之側面接觸之類型。
如圖6(b)所示之密封構件54之內環52側之側面與內環52之側面之間設有間隙之類型中,由密封構件54所造成之摩擦較少,適於需要高速旋轉時。另一方面,密封構件54之內環52側之側面與內環52之側面接觸之類型中,防塵性及防水性較高,因此根據用途可分開予以使用。
而且,於隨著脆性材料基板之大型化而分斷步驟之高速化逐步發展之過程中,劃線裝置中多使用圖6(b)所示之密封構件54之內環52側之側面與內環52之側面之間設有間隙之類型之軸承。
[專利文獻1]日本專利特開2011-225001號公報
[專利文獻2]國際公開WO2004/007164號公報
使用此種先前之劃線裝置對玻璃等脆性材料基板進行劃線或分斷時,存在如下問題:微小之玻璃屑等異物自內環52與密封構件54之間所存在之間隙進入,而產生軸承之旋轉不良,且產生保持具之動作不良。
此處,劃線裝置中有如下劃線裝置:為更有效率地進行貼合基板之分斷步驟,例如上述專利文獻2所示,於脆性材料基板之下側亦具備劃線頭。而且,因異物自內環52與密封構件54之間所存在之間隙進入而產生軸承之旋轉不良之問題於上下配置有劃線頭之劃線裝置之下側之劃線頭中尤其常見。
因此,本發明者為消除該問題而反覆進行各種研究,結果想到藉由於上下配置有劃線頭之劃線裝置中,在下側之劃線頭之軸承上配置堵塞軸承中存在之間隙之防塵構件,可消除上述問題,從而完成本發明。
即,本發明以消除上述問題為課題,目的在於提供一種尤其於上下配置有劃線頭之劃線裝置之下側之劃線頭中,可防止因異物進入軸承之內部而導致之旋轉不良之劃線裝置。
為達成上述目的,本發明之第1態樣係一種保持具單元,其特徵在於包括:保持具,其包含用以保持對脆性材料基板進行劃線之劃線輪之輪保持部、及旋轉軸部;以及軸承,其安裝於上述旋轉軸部;上述軸承包括:外環;內環,其位於上述外環之內側;複數個旋轉體,其配置於上述外環與上述內環之間;以及密封構件,其以覆蓋上述外環與上述內環之間且不與上述外環或上述內環直接接觸之方式配置;且於上述軸承之上述輪保持部側,配置有堵塞上述外環或
上述內環與上述密封構件間之間隙之防塵構件。
根據本發明之第1態樣,於保持具單元中,以堵塞構成軸承之內環或外環與密封構件之間所形成之間隙之方式於軸承之輪保持部側配置有防塵構件,因此可以簡單之構造低價地使分斷脆性材料基板時所產生之玻璃屑等異物不易進入軸承內。
又,本發明之第2態樣係一種劃線裝置,其特徵在於:其係配置有包含保持具單元之劃線頭者,該保持具單元包括:劃線輪,其對脆性材料基板進行劃線;保持具,其包含用以保持上述劃線輪之輪保持部、及旋轉軸部;以及軸承,其安裝於上述旋轉軸部;上述軸承包括:外環;內環,其位於上述外環之內側;複數個旋轉體,其配置於上述外環與上述內環之間;以及密封構件,其以覆蓋上述外環與上述內環之間且不與上述外環或上述內環直接接觸之方式配置;且於上述軸承之上述輪保持部側,配置有堵塞上述外環或上述內環與上述密封構件間之間隙之防塵構件。
根據本發明之第2態樣,於劃線裝置中,以堵塞構成軸承之內環或外環與密封構件之間所形成之間隙之方式於軸承之輪保持部側配置有防塵構件,因此可以簡單之構造低價地使分斷脆性材料基板時所產生之玻璃屑等異物不易進入軸承內。
又,本發明之第3態樣係一種保持具單元,其特徵在於包括:保持具,其用以保持對脆性材料基板進行劃線之劃
線輪;保持具接頭,其包含保持上述保持具之刀輪保持具保持部、及旋轉軸部;以及軸承,其安裝於上述旋轉軸部;上述軸承包括:外環;內環,其位於上述外環之內側;複數個旋轉體,其配置於上述外環與上述內環之間;以及密封構件,其以覆蓋上述外環與上述內環之間且不與上述外環或上述內環直接接觸之方式配置;且於上述軸承之上述刀輪保持具保持部側,配置有堵塞上述外環或上述內環與上述密封構件間之間隙之防塵構件。
根據本發明之第3態樣,於保持具單元中,以堵塞構成軸承之內環或外環與密封構件之間所形成之間隙之方式於軸承之刀輪保持具保持部側配置有防塵構件,因此可以簡單之構造低價地使分斷脆性材料基板時所產生之玻璃屑等異物不易進入軸承內。又,保持劃線輪之保持具係經由保持具接頭之刀輪保持具保持部而裝卸自如地受到保持,因此作為消耗品之劃線輪之更換可藉由裝卸保持具而簡單地進行。
又,本發明之第4態樣係一種劃線裝置,其特徵在於:其係配置有包含保持具單元之劃線頭者,該保持具單元包括:劃線輪,其對脆性材料基板進行劃線;保持具,其用以保持上述劃線輪;保持具接頭,其包含保持上述保持具之刀輪保持具保持部、及旋轉軸部;以及軸承,其安裝於上述旋轉軸部;上述軸承包括:外環;內環,其位於上述外環之內側;
複數個旋轉體,其配置於上述外環與上述內環之間;以及密封構件,其以覆蓋上述外環與上述內環之間且不與上述外環或上述內環直接接觸之方式配置;且於上述軸承之上述刀輪保持具保持部側,配置有堵塞上述外環或上述內環與上述密封構件間之間隙之防塵構件。
根據本發明之第4態樣,於劃線裝置中,以堵塞構成軸承之內環或外環與密封構件之間所形成之間隙之方式於軸承之刀輪保持具保持部側配置有防塵構件,因此可以簡單之構造低價地使分斷脆性材料基板時所產生之玻璃屑等異物不易進入軸承內。又,保持劃線輪之保持具係經由保持具接頭之刀輪保持具保持部而裝卸自如地受到保持,因此作為消耗品之劃線輪之更換可藉由裝卸保持具而簡單地進行。
以下,使用圖式對本發明之實施形態進行說明。然而,以下所示之實施形態表示用以將本發明之技術思想具體化之劃線裝置之一例,而並非意圖將本發明特定於該劃線裝置,本發明亦可應用於申請專利範圍中所包含之其他實施形態。
圖1中表示本發明之實施形態之劃線裝置1之概略圖。劃線裝置1具備未圖示之支持部,該支持部預先支持有如液晶面板之玻璃貼合基板等脆性材料基板2。而且,於脆性材料基板2之下表面側可移動地具備劃線頭10a,於上表面
側可移動地具備劃線頭10b。
劃線頭10a包括本體11、及安裝於本體11之保持具單元12。再者,關於保持具單元12之詳情將於下文敍述。又,劃線頭10b成為與劃線頭10a相同之構成,因此省略說明。
再者,雖未特別圖示,但劃線裝置1具備於分斷步驟中用以使劃線頭10a、10b接近或遠離脆性材料基板2之升降機構、及使劃線頭10a、10b移動之移動機構。再者,該升降機構及移動機構既可與劃線頭10a、10b形成一體而設置,亦可分開而設置。
而且,除此以外劃線裝置1具備未圖示之CCD(Charge Coupled Device,電荷耦合元件)相機等圖像識別設備,利用該圖像識別設備識別標記於脆性材料基板2上之對準標記,而進行脆性材料基板2之位置調整等。
其次,使用圖2對保持具單元12進行說明。保持具單元12包括圓柱狀之保持具20、劃線輪30、兩個軸承50a、50b、及圓筒形之間隔件40。再者,圖2表示保持具單元12之前視圖,並且表示出軸承50a、50b、間隔件40之剖面圖。
於保持具20之前端,旋轉自如地保持有劃線輪30,於保持具20之圓柱狀部分,隔著圓筒形之間隔件40而設置有用以將保持具20旋動自如地保持之第1、第2軸承50a、50b。
更詳細而言,保持具20包括輪保持部21、及與該輪保持部21相連之旋轉軸部22。而且,圓柱狀之輪保持部21之前端側成為三角形狀,於該三角形狀之前端形成有用以***
劃線輪30之槽23。於該槽23,形成有用以固定劃線輪30之銷孔24。而且,於該銷孔24中插通有未圖示之銷,從而旋轉自如地安裝有劃線輪30。
該劃線輪30係由例如燒結金剛石所形成之厚度約為0.65 mm之圓盤狀構件,且於中心具有貫通孔。又,劃線輪30具有沿外周部形成脊線之V字形之刃。脊線兩側之傾斜面通常以90~165°之角度相互交叉,由該等傾斜面形成脊線。而且,於輪保持部21,利用螺釘26螺固有用以自外側覆蓋銷孔24之銷遮擋件25。
保持具20之圓柱狀之旋轉軸部22係***軸承50a、50b及間隔件40之圓筒之開口內。而且,旋轉軸部22之下端藉由螺釘等而與軸承50b固定。
此處,對劃線輪30之更換作業進行說明。再者,劃線輪30為消耗品,必需定期地進行更換。而且,劃線輪30為非常小者,因此難以於保持具單元12安裝於劃線頭10a之本體11之狀態下直接進行更換作業,故而通常首先將保持具單元12自本體11卸下,其次將劃線輪30自保持具20卸下而進行更換。
軸承50a、50b與使用圖6所說明之先前為人所知之劃線裝置中所使用之軸承相同,因而使用相同之符號進行說明。軸承50a包括:外側之較大之外環51、內側之較小之內環52、配置於外環51與內環52之間之複數個旋轉體53、保持該旋轉體53之位置之保持器(未圖示)、及為防止異物進入外環51與內環52之間等而安裝於旋轉體53之上側與下
側之密封構件54。
此時,於軸承50a之外環51之內周面側,形成有剖面U字狀之卡止槽55,密封構件54之外環51側端部彎曲成形為U字狀。而且,利用該密封構件54之彎曲部之彈性力,將密封構件54之彎曲部與卡止槽55嵌合,而固定密封構件54。另一方面,此時軸承50a成為密封構件54之內環52側之端部與內環52之側面之間設有間隙之類型。
此種密封構件54之內環52側之側面與內環52之側面之間設有間隙之類型中,由密封構件54所造成之摩擦較少,適於需要高速旋轉之情況,於劃線裝置1中亦使用有該類型之軸承50a。再者,軸承50b雖於外環51之外形上有少許差異,但亦與軸承50a大致相同,因而省略說明。
若於保持具單元12中使用軸承50a、50b,則亦如之前所述般,當對玻璃等脆性材料基板2進行劃線或分斷時,有微小之玻璃屑等異物自內環52與密封構件54之間所存在之間隙進入,而產生軸承之旋轉不良之情況。該問題易於發生在下側之劃線頭10a之保持具單元12中,尤其易於發生在位於輪保持部21側之軸承50a之上表面側。
因此,於本實施例中,防塵構件60以堵塞位於軸承50a之上表面側之內環52與密封構件54間之間隙之方式配置於軸承50a之上方。從而,於脆性材料基板2之分斷步驟中,即便異物落下至軸承50a上,亦可利用防塵構件60使該異物不易進入至內環52與密封構件54之間所存在之間隙中。
該防塵構件60係仿照軸承50a之圓環形狀,而成為圓環
形狀。而且,較佳為表面之摩擦阻力儘可能低者,其由氟樹脂、矽橡膠或鋁、不鏽鋼等金屬等所形成。又,不僅可為單層材料亦可使用特性不同之材料以多層形成。又,防塵構件60之外側之端部形成為未到達外環51,以使其儘量不對軸承50a之旋轉造成影響。
又,就防止異物之進入方面而言,防塵構件60較佳為儘可能與軸承50a之上表面密接,因此亦可接著、固定於內環52之上表面。或者,亦可如圖2所示,於輪保持部21之下側,沿圓周設置突出部27,形成該突出部27之下端與防塵構件60之表面接觸之狀態,使防塵構件60與輪保持部21之間不產生間隙。此時,若考慮到對旋轉之影響,則突出部27之下端與防塵構件60之表面接觸之區域較佳為儘可能小。因此,如圖2所示,突出部27之下端成為具備段部之構造。而且,與防塵構件60接觸之該突出部27之段部設置於與軸承50a之內環52之上表面大體相同之區域。又,藉由設置突出部27,而使玻璃屑等異物更難進入至軸承50a之上表面。再者,該突出部27無需於輪保持部21之整個圓周上突出,亦可為於圓周之數個部位突出之構成。又,亦可成為突出部27之前端向下方彎折而規制防塵構件60向橫方向之移動之構成。
藉由如上述般配置防塵構件60,可防止異物進入至內環52與密封構件54之間所存在之間隙中。尤其僅對先前之劃線裝置1追加防塵構件60便可防止異物之進入,因此零件個數之增加亦可為最小限度。又,尤其無需對劃線裝置1
之其他構成進行較大變更,因此亦可防止裝置之製造成本之增加。
又,防塵構件60不僅可配置於下側之劃線頭10a之保持具單元12之上側之軸承50a之上,亦可配置於上側之劃線頭10b之保持具接頭之下側之軸承之下側。再者,上側之劃線頭10b成為將圖2所示之劃線頭10a之上下顛倒而成之形狀,此時之下側之軸承變成軸承50a。又,亦可用於僅在上側或僅在下側配置有劃線頭之劃線裝置之劃線頭中。
本發明之實施形態之劃線裝置與實施形態1之劃線裝置1同樣地於脆性材料基板之下表面側與上表面側分別具備劃線頭。而且,於劃線頭之本體,分別安裝有保持具單元。圖3所示之該保持具單元120之構成與實施形態1之保持具單元12不同。再者,對於與實施形態1之保持具單元12相同之構成,使用相同之符號並適當地省略說明。
保持具單元120包括劃線輪300、旋轉自如地保持劃線輪300之保持具230、以及包含兩個軸承50a、50b及圓筒形之間隔件40之圓柱狀之保持具接頭200。再者,圖3表示保持具單元120之前視圖,並且表示出軸承50a、50b、間隔件40之剖面圖。
於保持具接頭200之前端安裝有保持具230,於保持具230之前端,旋轉自如地保持有劃線輪300,於保持具接頭200之圓柱狀部分,隔著圓筒形之間隔件40而設置有用以將保持具接頭200旋動自如地保持之第1、第2軸承50a、
50b。
更詳細而言,保持具接頭200包括刀輪保持具保持部210、及與該刀輪保持具保持部210相連之旋轉軸部220。而且,圓柱狀之刀輪保持具保持部210形成有圓形之開口240,於該開口240之底部埋設有磁體250。
保持具230為大致圓筒形之構件,於其前端側設置有平坦部231a、231b。再者,圖3中將保持具230之前端側放大之圖表示自橫方向觀察之情形時之放大圖。而且,於平坦部231a與平坦部231b之間形成有用以保持劃線輪300之槽232。又,於平坦部231a、231b,形成有用以固定劃線輪300之貫通孔233,將銷234貫通於該貫通孔233中,而旋轉自如地安裝劃線輪300。又,於保持具230之下端側設置有定位用之安裝部235。該安裝部235包括傾斜部與平坦部。
而且,於刀輪保持具保持部210,安裝有貫通開口240之內部之平行銷260,該平行銷260與構成保持具230之安裝部235之傾斜部相接觸,而進行保持具230之定位。
劃線輪300與實施形態1同樣地,包含由例如燒結金剛石所形成之厚度約為0.65 mm之圓盤狀構件。又,保持具接頭200之圓柱狀之旋轉軸部220與實施形態1同樣地,***至軸承50a、50b及間隔件40之圓筒之開口內。
此處,對將保持具230安裝於保持具接頭200上之方法進行說明。如圖3所示,自保持具230之安裝部235側***刀輪保持具保持部210之開口240中。此時,保持具230之下端側被磁體250吸引,安裝部235之傾斜部與平行銷260接
觸而進行定位。繼而,藉由安裝部235與磁體接觸而進行保持具230之固定。相反地,當將保持具230自保持具接頭200卸下時,僅藉由拔出保持具230便可容易地卸下。
軸承50a、50b與實施形態1同樣地,於密封構件54之內環52側與內環52之側面之間設有間隙。而且,於保持具接頭200中使用有軸承50a、50b,因此於脆性材料基板2之分斷步驟中,微小之玻璃屑等異物會自內環52與密封構件54之間所存在之間隙進入,而產生軸承之旋轉不良。
因此,於實施形態2中,防塵構件600亦以堵塞該間隙之方式配置於軸承50a之上方。從而,於脆性材料基板2之分斷步驟中,即便異物落下至軸承50a上,亦可利用防塵構件600使其不易進入內環52與密封構件54之間所存在之間隙中。
該防塵構件600亦仿照軸承50a之圓環形狀,而成為圓環形狀。而且,較佳為表面之摩擦阻力儘可能低者,其由氟樹脂、矽橡膠或鋁、不鏽鋼等金屬等所形成。
又,就防止異物之進入方面而言,防塵構件600亦較佳為儘可能與軸承50a之上表面密接,因此亦可接著、固定於內環52之上表面。或者,亦可如圖3所示,於刀輪保持具保持部210之下側,沿圓周設置突出部270,形成該突出部270之下端與防塵構件600之表面接觸之狀態,而使防塵構件600與刀輪保持具保持部210之間不產生間隙。此時,突出部270之下端與實施形態1同樣地成為具備段部之構造。而且,突出部270之與防塵構件600接觸之該段部設置
於與軸承50a之內環52之上表面大體相同之區域。
藉由如上述般配置防塵構件600,可防止異物進入內環52與密封構件54之間所存在之間隙中,且僅追加防塵構件600即可,因此零件個數之增加亦可為最小限度。又,尤其無需對劃線裝置1之其他構成進行較大變更,故而亦可防止裝置之製造成本之增加。
又,如實施形態2般,當更換劃線輪300時,無需將保持具單元整體特意自劃線頭卸下,而將保持具230自刀輪保持具保持部210中拔出便可與保持具230一併更換,於此種劃線裝置之情形時,易於進行劃線輪300之更換,另一方面,由於無需將保持具接頭200自劃線頭卸下,故而對軸承50a之表面進行清潔之機會亦變少,因此藉由將防塵構件600配置於堵塞軸承50a之間隙之位置上而獲得之效果進一步變高。
再者,防塵構件600與實施例1同樣地不僅可配置於下側之劃線頭之保持具接頭200之上側之軸承50a之上,亦可配置於上側之劃線頭之保持具接頭之下側之軸承之下。
其次,對實施形態3進行說明。實施形態3係將實施形態1中所說明之保持具單元12之局部改良而成之保持具單元12a。再者,關於保持具單元12a,對與保持具單元12相同之構成使用相同之符號,並省略說明。圖4中表示實施形態3之保持具單元12a之前視圖,並且表示軸承50a、50b、間隔件40之剖面圖。
保持具單元12a與保持具單元12之不同點在於:於輪保持部21之圓柱部分之外周安裝有圓筒狀之遮罩28。該遮罩28係由鋁等金屬或樹脂所形成之構件,且具有如可覆蓋軸承50a之整個上表面之大小。藉由使用該保持具單元12a,可使本體11與保持具單元12a之間之間隙較使用無遮罩28之保持具單元12之情形小。從而,可利用遮罩28擋住落下之大部分異物,因此可進一步減少異物向軸承50a側落下之情況。
該遮罩28自保持有劃線輪30之保持具20之前端側***,藉由使遮罩28之內周側與設置於輪保持部21之突出部27等卡合,而安裝於保持具20上。因此,遮罩28之卸下亦可容易地進行。
其次,對實施形態4進行說明。實施形態4係將實施形態2中所說明之保持具單元120之局部改良而成之保持具單元120a。再者,關於保持具單元120a,對與保持具單元120相同之構成使用相同之符號,並省略說明。圖5中表示實施形態4之保持具單元120a之前視圖,並且表示軸承50a、50b、間隔件40之剖面圖。
保持具單元120a與保持具單元120之不同點在於:於刀輪保持具保持部210之圓柱部分之外周安裝有圓筒狀之遮罩280。該遮罩280與實施形態3之遮罩同樣地,係由鋁等金屬或樹脂所形成之構件,且具有如覆蓋軸承50a之整個上表面且大體堵塞與劃線頭本體11之間的間隙之大小。
該遮罩280自保持具接頭200之前端側***,藉由使遮罩280之內周側與設置於刀輪保持具保持部210之突出部270等卡合,而安裝於保持具20上。進而,使螺釘290經由螺孔而安裝於刀輪保持具保持部210之側面,藉由安裝螺釘290而規制遮罩280向上側之移動。從而,於劃線裝置之使用中,可確實地使遮罩280不會脫落,且於卸下遮罩280時,藉由將螺釘290卸除便可簡單地將遮罩卸下。
又,於實施形態1、實施形態2、實施形態3、實施形態4中,保持具單元具備兩個軸承50a、50b,但亦可為包含一個軸承者,或者亦可為具備更多軸承者。此時,亦只要於下側之劃線頭上所安裝之保持具單元之最上部之軸承之上側配置防塵構件即可。
1‧‧‧劃線裝置
2‧‧‧脆性材料基板
10a‧‧‧劃線頭
10b‧‧‧劃線頭
11‧‧‧本體
12‧‧‧保持具單元
12a‧‧‧保持具單元
20‧‧‧保持具
21‧‧‧輪保持部
22‧‧‧旋轉軸部
23‧‧‧槽
24‧‧‧銷孔
25‧‧‧銷遮擋件
26‧‧‧螺釘
27‧‧‧突出部
28‧‧‧遮罩
30‧‧‧劃線輪
40‧‧‧間隔件
50‧‧‧軸承
50a‧‧‧軸承
50b‧‧‧軸承
51‧‧‧外環
52‧‧‧內環
53‧‧‧旋轉體
54‧‧‧密封構件
55‧‧‧卡止槽
60‧‧‧防塵構件
120‧‧‧保持具單元
120a‧‧‧保持具單元
200‧‧‧保持具接頭
210‧‧‧刀輪保持具保持部
220‧‧‧旋轉軸部
230‧‧‧保持具
231a‧‧‧平坦部
231b‧‧‧平坦部
232‧‧‧槽
233‧‧‧貫通孔
234‧‧‧銷
235‧‧‧安裝部
240‧‧‧開口
250‧‧‧磁體
260‧‧‧平行銷
270‧‧‧突出部
280‧‧‧遮罩
290‧‧‧螺釘
300‧‧‧劃線輪
600‧‧‧防塵構件
圖1係實施形態1之劃線裝置之概略圖。
圖2係實施形態1之保持具單元之前視圖。
圖3係實施形態2之保持具單元之前視圖。
圖4係實施形態3之保持具單元之前視圖。
圖5係實施形態4之保持具單元之前視圖。
圖6(a)、(b)係軸承之前視圖與剖面圖。
12‧‧‧保持具單元
20‧‧‧保持具
21‧‧‧輪保持部
22‧‧‧旋轉軸部
23‧‧‧槽
24‧‧‧銷孔
25‧‧‧銷遮擋件
26‧‧‧螺釘
27‧‧‧突出部
30‧‧‧劃線輪
40‧‧‧間隔件
50a‧‧‧軸承
50b‧‧‧軸承
51‧‧‧外環
52‧‧‧內環
53‧‧‧旋轉體
54‧‧‧密封構件
55‧‧‧卡止槽
60‧‧‧防塵構件
Claims (10)
- 一種保持具單元,其特徵在於包括:保持具,其包含用以保持對脆性材料基板進行劃線之劃線輪之輪保持部、及旋轉軸部;以及軸承,其安裝於上述旋轉軸部;上述軸承包括:外環;內環,其位於上述外環之內側;複數個旋轉體,其配置於上述外環與上述內環之間;以及密封構件,其以覆蓋上述外環與上述內環之間且不與上述外環或上述內環直接接觸之方式配置;且於上述軸承之上述輪保持部側,配置有堵塞上述外環或上述內環與上述密封構件間之間隙之防塵構件;上述防塵構件固定於上述軸承之上述內環且其外側的端部形成為未到達上述外環。
- 如請求項1之保持具單元,其中上述輪保持部配置為上述旋轉軸部側之端部與上述防塵構件接觸之狀態。
- 一種劃線裝置,其特徵在於:其係配置有包含保持具單元之劃線頭者,該保持具單元包括:劃線輪,其對脆性材料基板進行劃線;保持具,其包含用以保持上述劃線輪之輪保持部、及旋轉軸部;以及軸承,其安裝於上述旋轉軸部; 上述軸承包括:外環;內環,其位於上述外環之內側;複數個旋轉體,其配置於上述外環與上述內環之間;以及密封構件,其以覆蓋上述外環與上述內環之間且不與上述外環或上述內環直接接觸之方式配置;且於上述軸承之上述輪保持部側,配置有堵塞上述外環或上述內環與上述密封構件間之間隙之防塵構件;上述防塵構件固定於上述軸承之上述內環且其外側的端部形成為未到達上述外環。
- 如請求項3之劃線裝置,其中上述輪保持部配置為上述旋轉軸部側之端部與上述防塵構件接觸之狀態。
- 如請求項3或4之劃線裝置,其中上述劃線頭配置於脆性材料基板之上下。
- 一種保持具單元,其特徵在於包括:保持具,其用以保持對脆性材料基板進行劃線之劃線輪;保持具接頭,其包含保持上述保持具之刀輪保持具保持部、及旋轉軸部;以及軸承,其安裝於上述旋轉軸部;上述軸承包括:外環;內環,其位於上述外環之內側; 複數個旋轉體,其配置於上述外環與上述內環之間;以及密封構件,其以覆蓋上述外環與上述內環之間且不與上述外環或上述內環直接接觸之方式配置;且於上述軸承之上述刀輪保持具保持部側,配置有堵塞上述外環或上述內環與上述密封構件間之間隙之防塵構件;上述防塵構件固定於上述軸承之上述內環且其外側的端部形成為未到達上述外環。
- 如請求項6之保持具單元,其中上述刀輪保持具保持部配置為上述旋轉軸部側之端部與上述防塵構件接觸之狀態。
- 一種劃線裝置,其特徵在於:其係配置有包含保持具單元之劃線頭者,該保持具單元包括:劃線輪,其對脆性材料基板進行劃線;保持具,其用以保持上述劃線輪;保持具接頭,其包含保持上述保持具之刀輪保持具保持部、及旋轉軸部;以及軸承,其安裝於上述旋轉軸部;上述軸承包括:外環;內環,其位於上述外環之內側;複數個旋轉體,其配置於上述外環與上述內環之間;以及 密封構件,其以覆蓋上述外環與上述內環之間且不與上述外環或上述內環直接接觸之方式配置;且於上述軸承之上述刀輪保持具保持部側,配置有堵塞上述外環或上述內環與上述密封構件間之間隙之防塵構件;上述防塵構件固定於上述軸承之上述內環且其外側的端部形成為未到達上述外環。
- 如請求項8之劃線裝置,其中上述刀輪保持具保持部配置為上述旋轉軸部側之端部與上述防塵構件接觸之狀態。
- 如請求項8或9之劃線裝置,其中上述劃線頭配置於脆性材料基板之上下。
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