TWI506666B - 桌上型電子顯微鏡及其複合多極－聚焦可調式磁透鏡 - Google Patents

桌上型電子顯微鏡及其複合多極－聚焦可調式磁透鏡 Download PDF

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Description

桌上型電子顯微鏡及其複合多極-聚焦可調式磁透鏡
本發明有關於一種磁透鏡，且特別是一種桌上型電子顯微鏡及其複合多極-聚焦可調式磁透鏡。
請參照圖1，圖1是傳統的電子顯微鏡的示意圖。電子顯微鏡包括電子槍11以及複數個透鏡12、13、141、15，所述透鏡可以是磁透鏡或電透鏡。透鏡12、13可例如是聚焦透鏡，透鏡141是像差修正透鏡(其配合電子偏轉器14)，透鏡15是物鏡。穿過透鏡15與偵測器16之後，電子束4打在目標物3，而依據應用的電子顯微鏡的種類，可以分為掃描式電子顯微鏡(Scanning Electron Microscope，SEM)或掃描穿透式電子顯微鏡(Scanning Tunneling Microscope，STM)。不論是何種電子顯微鏡，透鏡的設計大大地影響電子顯微鏡的效能。
近年來隨著電子顯微成像技術的成熟，對於電子顯微鏡解析能力的要求也越來越嚴格。像差修正器的出現，使得電子的解析能力達到原子級以下成為可能。
一般的像差修正器皆採用多極的磁透鏡或是電透鏡的組合來完成。電子顯微鏡像差修正的方式，通常都是利用一系列多極透鏡的組合來完成，每一個透鏡具有各自的功能。其中偶極透鏡功用在偏折電子束，作為偏轉器(deflector)，四極透鏡則通常以四磁透鏡與四極電透鏡的搭配做色差的修正，八極透鏡則可用來修 正球差。然而四極或是八極透鏡的引入會造成而外的像差，因而需要有六極透鏡作補償。如圖2為例，傳統的像差修正透鏡組例如包括兩個六極透鏡101、102與兩個圓柱形透鏡構成，其中f是焦距。因此，為了要使用多極的透鏡，往往需要有許多的電源供應器來提供多極磁或電場。然而，隨著桌上型電鏡的出現，需要體積更小的透鏡，以實現像差修正等透鏡功能。
本發明實施例提供一種複合多極-聚焦可調式磁透鏡，其為一種可調的磁透鏡，且同時具有多極(multiple)與聚焦(focus)的效用。本技術之特色在適當安排鐵殼殼層之間距離與極靴之間距離可以製造出任意多極磁場分佈，且可以減少需要的電源供應數量。
本發明實施例提供一種複合多極-聚焦可調式磁透鏡，包括線圈支架、第一磁極件以及第二磁極件。線圈支架用以依據中心軸而繞設線圈，線圈支架之中心具有中心開孔部，中心開孔部用以讓電子束穿過。第一磁極件設置於線圈支架的上側，具有對應於線圈的中心開孔部的第一開孔部與第一極靴，第一極靴由第一開孔部的內緣朝中心軸延伸。第二磁極件設置於線圈支架的下側，具有對應於線圈的中心開孔部的第二開孔部與第二極靴，第二極靴由第二開孔部的內緣朝中心軸延伸。第一極靴與第二極靴依據中心軸而彼此對稱。第一極靴以及第二極靴之間形成一磁迴路間隙。當線圈通電時，第一極靴、磁迴路間隙以及第二極靴形成第一磁路。
本發明實施例提供一種複合多極-聚焦可調式磁透鏡，包括線圈支架、第一磁極件以及第二磁極件。線圈支架用以依據中心軸而繞設線圈，線圈支架之中心具有中心開孔部，中心開孔部用以讓電子束穿過。第一磁極件設置於線圈支架的上側，具有對應於線圈支架的中心開孔部的第一開孔部與複數個第一極靴，複數個第一極靴由第一開孔部的內緣朝中心軸延伸。第二磁極件設置 於線圈支架的下側，具有對應於線圈支架的中心開孔部的第二開孔部與複數個第二極靴，複數個第二極靴由第二開孔部的內緣朝中心軸延伸。第一極靴的數目與第二極靴的數目分別為N個，N為大於一的整數，複數個第一極靴依據中心軸而對稱設置，複數個第二級靴依據中心軸而對稱設置，每一個第一極靴與相鄰的第二極靴依據中心軸而彼此相差一角度，所述角度為360/2N度。每一個第一極靴以及相鄰的第二極靴之間形成一磁迴路間隙。當線圈通電時，每一個第一極靴與所對應的磁迴路間隙以及第二極靴形成一第一磁路。
本發明實施例更提供一種桌上型電子顯微鏡，包括電子槍與至少一複合多極-聚焦可調式磁透鏡。電子槍用以提供電子束。複合多極-聚焦可調式磁透鏡，包括線圈支架、第一磁極件以及第二磁極件。線圈支架用以依據中心軸而繞設線圈，線圈支架之中心具有中心開孔部，中心開孔部用以讓電子束穿過。第一磁極件設置於線圈支架的上側，具有對應於線圈支架的中心開孔部的第一開孔部與複數個第一極靴，複數個第一極靴由第一開孔部的內緣朝中心軸延伸。第二磁極件設置於線圈支架的下側，具有對應於線圈支架的中心開孔部的第二開孔部與複數個第二極靴，複數個第二極靴由第二開孔部的內緣朝中心軸延伸。第一極靴的數目與第二極靴的數目分別為N個，N為大於一的整數，複數個第一極靴依據中心軸而對稱設置，複數個第二級靴依據中心軸而對稱設置，每一個第一極靴與相鄰的第二極靴依據中心軸而彼此相差一角度，所述角度為360/2N度。每一個第一極靴以及相鄰的第二極靴之間形成一磁迴路間隙。當線圈通電時，每一個第一極靴與所對應的磁迴路間隙以及第二極靴形成一第一磁路。
綜上所述，本發明實施例提供一種複合多極-聚焦可調式磁透鏡，利用電磁透鏡幾何上的設計安排，使之產生同時具有磁聚焦透鏡與多極透鏡的能力，且磁聚焦與多極透鏡作用比例可由磁 迴路間隙的相對大小決定，而且僅需一個電源供應，可以大幅減少所需要之體積。
為使能更進一步瞭解本發明之特徵及技術內容，請參閱以下有關本發明之詳細說明與附圖，但是此等說明與所附圖式僅係用來說明本發明，而非對本發明的權利範圍作任何的限制。
11‧‧‧電子槍
12、13、141、15‧‧‧透鏡
14‧‧‧電子偏轉器
16‧‧‧偵測器
4‧‧‧電子束
3‧‧‧目標物
f‧‧‧焦距
101、102‧‧‧六極透鏡
103、104‧‧‧圓柱形透鏡
21、31‧‧‧線圈支架
201、301‧‧‧線圈
22、32‧‧‧第一磁極件
23、33‧‧‧第二磁極件
24、34‧‧‧永久磁鐵
211、311‧‧‧中心開孔部
221、321‧‧‧第一開孔部
222、322‧‧‧第一極靴
231、331‧‧‧第二開孔部
232、332‧‧‧第二極靴
X‧‧‧中心軸
S、N‧‧‧磁極
G‧‧‧磁迴路間隙
D‧‧‧間距
2221‧‧‧第一延伸部
2222‧‧‧第一末端部
2321‧‧‧第二延伸部
2322‧‧‧第二末端部
圖1是傳統的電子顯微鏡的示意圖。
圖2是傳統的像差修正透鏡組的示意圖。
圖3A是本發明實施例提供的複合多極-聚焦可調式磁透鏡的***圖。
圖3B是本發明實施例提供的複合多極-聚焦可調式磁透鏡的外觀示意圖。
圖3C是本發明實施例提供的複合多極-聚焦可調式磁透鏡的剖面圖。
圖3D是本發明實施例提供的複合多極-聚焦可調式磁透鏡的線圈通電時的磁場與磁迴路的示意圖。
圖4A是本發明另一實施例提供的複合多極-聚焦可調式磁透鏡的***圖。
圖4B是本發明另一實施例提供的複合多極-聚焦可調式磁透鏡的外觀示意圖。
圖5A是圖3A的複合多極-聚焦可調式磁透鏡的磁場分布的俯視圖。
圖5B是本發明實施例提供的四極聚焦可調式磁透鏡的磁場分布的俯視圖。
圖5C是本發明實施例提供的六極聚焦可調式磁透鏡的磁場分布的俯視圖。
圖5D是圖4A的複合多極-聚焦可調式磁透鏡的磁場分布的俯 視圖。
桌上型電鏡設計上最大困難在於必須保持小體積，以往的像差修正器因為使用多極透鏡，往往需要許多的電源供應而增加體積，本發明實施例提出創新的設計方式，盡可能的在保有多極透鏡像差修正能力下，減少需要的電源供應器以減少總體積。
〔桌上型電子顯微鏡及其複合多極-聚焦可調式磁透鏡之實施例〕
本實施例提供一種桌上型電子顯微鏡及其複合多極-聚焦可調式磁透鏡。本實施例的桌上型電子顯微鏡包括如圖1的電子槍11以及至少一個複合多極-聚焦可調式磁透鏡。本發明並不限定所述複合多極-聚焦可調式磁透鏡的應用種類，複合多極-聚焦可調式磁透鏡可以是聚焦透鏡、物鏡、像差修正透鏡、繞射透鏡、投影透鏡、中繼透鏡等。
請同時參照圖3A、圖3B與圖3C，圖3A是本發明實施例提供的複合多極-聚焦可調式磁透鏡的***圖，圖3B是所述複合多極-聚焦可調式磁透鏡的外觀示意圖，圖3C是所述複合多極-聚焦可調式磁透鏡的剖面圖。複合多極-聚焦可調式磁透鏡包括線圈支架21、第一磁極件22以及第二磁極件23。線圈支架21用以依據中心軸X而繞設線圈201，線圈支架21之中心具有中心開孔部211，中心開孔部211用以讓電子束穿過(例如大約沿著中心軸X的方向穿過)。第一磁極件22設置於線圈支架21的上側，具有對應於線圈支架21的中心開孔部211的第一開孔部221與第一極靴222，第一極靴222由第一開孔部221的內緣朝中心軸X延伸。第二磁極件23設置於線圈支架21的下側，具有對應於線圈支架21的中心開孔部211的第二開孔部231與第二極靴232，第二極靴232由第二開孔部的內緣朝中心軸X延伸。第一極靴222與第二極靴232依據中心軸X而彼此對稱。第一極靴222以及第二極靴 232之間形成一磁迴路間隙G。值得一提的是，關於磁迴路間隙G的設計，當設計磁迴路間隙G相較於第一開孔部221與第二開孔部231之間的距離D，當前者小於後者則多極的效果較明顯，當前者大於後者則聚焦成分較明顯，但本發明並不因此限定。在本實施例中，以磁迴路間隙G小於第一開孔部221與第二開孔部231之間的距離D為例來說明。
請參照圖3C，近一步說明本實施例的第一極靴222與第二極靴232的構造，但本發明並不因此限定。第一極靴222具有第一延伸部2221以及第一末端部2222，第一末端部2222透過第一延伸部2221連接第一磁極件22的第一開孔部221的內緣。第二極靴232具有第二延伸部2321以及第二末端部2322，第二末端2322部透過第二延伸部2321連接第二磁極件23的第二開孔部231的內緣，其中第一末端部2222與第二末端部2322位於同一平面上，所述平面垂直於中心軸X。
請再同時參照圖3A與圖3C，上述的複合多極-聚焦可調式磁透鏡更可包括永久磁鐵24。永久磁鐵24依據中心軸X而形成環形結構，永久磁鐵24設置於線圈201之遠離中心軸X之外側，且位於第一磁極件22與第二磁極件23之間。本實施例的永久磁鐵24可以提供固定的恆磁磁場。但是，依據實際的設計需要，永久磁鐵24也可以被移除。
請在同時參照圖3C與圖3D，圖3D是本發明實施例提供的複合多極-聚焦可調式磁透鏡的線圈通電時的磁場與磁迴路的示意圖。當線圈201通電時，第一極靴222、磁迴路間隙G以及第二極靴232形成第一磁路。換句話說，依據圖3C的設計，當設計上刻意使第一極靴222與第二極靴232之間距離(即，磁迴路間隙G)小於第一磁極件22與第二磁極件23的最短距離，理想上磁力線會自動的選擇最短路徑走，而產生二極(Dipole)磁場。另一方面，實際上，當線圈通電時，第一磁極件22之第一開孔部221與 第二磁極件23之第二開孔部231也會形成第二磁路，其中在第一磁路中的磁通量大於在第二磁路中的磁通量。也就是說，實際上由於，第一極靴222與第二極靴232之間距離較短，使得主要的磁通量是通過第一極靴222與第二極靴232，而僅有少部分的磁通量是通過第一開孔部221與第二開孔部231的內緣。但實際設計上可以視對於多極與聚焦透鏡需求不同，調整第一與第二磁路相對間隙大小，可以控制在兩磁路中磁通量的比例。
另外，以此法設計之多極透鏡，不論是四極(Quardrupole)、六極(Hexpole)、八極(Qctupole)甚至是12極都只需要透過改變第一極靴222與第二極靴232的數量而無須增加額外電源供應器。此外，以這種方法產生的磁場同時具有多極與圓柱透鏡的效果。
〔桌上型電子顯微鏡及其複合多極-聚焦可調式磁透鏡之另一實施例〕
本實施例另提供一種桌上型電子顯微鏡及其複合多極-聚焦可調式磁透鏡。本實施例的桌上型電子顯微鏡包括如圖1的電子槍11以及至少一個後續所述的複合多極-聚焦可調式磁透鏡。
請同時參照圖4A與圖4B，圖4A是本發明另一實施例提供的複合多極-聚焦可調式磁透鏡的***圖。圖4B是本發明另一實施例提供的複合多極-聚焦可調式磁透鏡的外觀示意圖。當將前一實施例的設計應用於以多極透鏡時，第一極靴的數目與第二極靴的數目分別為N個，詳細的結構如下所述。以圖4A與圖4B繪示的八極透鏡為例，第一極靴的數目與第二極靴的數目則分別為4個。
複合多極-聚焦可調式磁透鏡包括線圈支架31、第一磁極件32以及第二磁極件33。線圈支架31用以依據中心軸X而繞設線圈201，線圈支架21之中心具有中心開孔311，中心開孔部211用以讓電子束穿過。第一磁極件32設置於線圈支架31的上側，具有對應於線圈支架31的中心開孔部311的第一開孔部321與複數個第一極靴322，複數個第一極靴322由第一開孔部321的內緣 朝中心軸X延伸。第二磁極件33設置於線圈支架31的下側，具有對應於線圈支架31的中心開孔部311的第二開孔部331與複數個第二極靴332，複數個第二極靴332由第二開孔部331的內緣朝中心軸X延伸。第一極靴321的數目與第二極靴331的數目分別為N個，N為大於一的整數。以圖4A與圖4B為例，第一極靴322與第二集靴332的數目皆為4個。複數個第一極靴322依據中心軸X而對稱設置，複數個第二級靴332依據中心軸X而對稱設置，每一個第一極靴322與相鄰的第二極靴332依據中心軸X而彼此相差一角度，所述角度為360/2N度。也就是說，依據中心軸X而對稱設置的複數個第一極靴322與依據中心軸X而對稱設置的複數個第二極靴332彼此交錯的設置，相鄰的第一極靴322與第二極靴332相對於中心軸X的交度相差360/2N度，其中2N是極靴的總數目(包括N個第一極靴322與N個第二極靴332)。
每一個第一極靴322以及相鄰的第二極靴332之間形成一磁迴路間隙。在本實施例中，磁迴路間隙小於第一開孔部321與第二開孔部331之間的距離，也就是說，相鄰的第一極靴322與第二極靴332的距離小於第一磁極件22與第二磁極件23的最短距離，如圖4A與圖4B所示，但本發明並不因此限定。第一極靴322以及相鄰的第二極靴332之間形成的磁迴路間隙、第一開孔部321與第二開孔部331之間的距離可以視對於多極與聚焦透鏡需求不同而調整。當線圈301通電時，每一個第一極靴322與所對應的磁迴路間隙以及第二極靴332形成第一磁路。
請再參照圖4A，上述的複合多極-聚焦可調式磁透鏡更可包括永久磁鐵34。永久磁鐵34依據中心軸X而形成環形結構，永久磁鐵34設置於線圈301之遠離中心軸X之外側，且位於第一磁極件32與第二磁極件33之間。本實施例的永久磁鐵34可以提供固定的恆磁磁場。但是，依據實際的設計需要，永久磁鐵34也可以被移除。
更進一步，本實施例的第一極靴322與第二極靴332的構造類似於前一實施例的第一極靴222與第二極靴232的構造。第一極靴322具有第一延伸部以及第一末端部，第一末端部透過第一延伸部連接第一磁極件32的第一開孔部321的內緣，第二極靴332具有第二延伸部以及第二末端部，第二末端部透過第二延伸部連接第二磁極件33的第二開孔部331的內緣，其中第一末端部與第二末端部位於同一平面上，所述平面垂直於中心軸X。另一方面，實際上，當線圈通電時，第一磁極件32之第一開孔部321與第二磁極件33之第二開孔部331也會形成第二磁路，其中在前述的第一磁路中的磁通量大於在第二磁路中的磁通量。
接下來示範性的說明，前面實施例所述的多極聚焦可調式磁透鏡的磁場分布。請參照圖5A，圖5A是圖3A的複合多極-聚焦可調式磁透鏡的磁場分布的俯視圖，即二極(dipole)透鏡的磁場分布。第一極靴322與第二極靴332分別為磁極N與磁極S(或磁極S與磁極N)。第一極靴322與所對應的磁迴路間隙以及第二極靴332形成第一磁路。
請參照圖5B、圖5C與圖5D，圖5B是本發明實施例提供的四極聚焦可調式磁透鏡的磁場分布的俯視圖，圖5C是本發明實施例提供的六極聚焦可調式磁透鏡的磁場分布的俯視圖，圖5D是圖4A的複合多極-聚焦可調式磁透鏡的磁場分布的俯視圖。第一極靴322與第二極靴332分別為磁極N與磁極S(或磁極S與磁極N)。每一個第一極靴322以及相鄰的第二極靴332之間形成一磁迴路間隙，每一個第一極靴322與所對應的磁迴路間隙以及第二極靴332形成第一磁路。
由以上的圖5A、圖5B、圖5C與圖5D可歸納得知，當N為奇數時，以中心軸X為中心，第一極靴322與不同極性的第二極靴332彼此相對。而當N為偶數時，以中心軸X為中心，第一極靴322的對面是另一個相同極性的第一極靴322，第二極靴332 的對面是另一個相同極性的第二極332靴。
〔實施例的可能功效〕
綜上所述，本發明實施例所提供的。複合多極-聚焦可調式磁透鏡，利用電磁透鏡幾何上的設計安排，使之產生同時具有磁聚焦透鏡與多極透鏡的能力，且磁聚焦與多極透鏡作用比例可由磁迴路間隙的相對大小決定，而且僅需一個電源供應，可以大幅減少所需要之體積。依據本發明實施例，在相同體積下能有效增加磁透鏡磁場調變能力，適用於需要磁透鏡調節束焦聚之桌上型儀器，比如電子顯微鏡聚焦透鏡、透射電鏡投影鏡，以及任何與電子槍整合之透鏡系統。
以上所述僅為本發明之實施例，其並非用以侷限本發明之專利範圍。
31‧‧‧線圈支架
301‧‧‧線圈
32‧‧‧第一磁極件
33‧‧‧第二磁極件
34‧‧‧永久磁鐵
311‧‧‧中心開孔部
321‧‧‧第一開孔部
322‧‧‧第一極靴
331‧‧‧第二開孔部
332‧‧‧第二極靴
X‧‧‧中心軸

Claims (11)

  1. 一種複合多極-聚焦可調式磁透鏡，包括：一線圈支架，用以依據一中心軸而繞設一線圈，該線圈支架之中心具有一中心開孔部，該中心開孔部用以讓電子束穿過；一第一磁極件，設置於該線圈支架的上側，具有對應於該線圈的該中心開孔部的一第一開孔部與一第一極靴，該第一極靴由該第一開孔部的內緣朝該中心軸延伸；以及一第二磁極件，設置於該線圈支架的下側，具有對應於該線圈的該中心開孔部的一第二開孔部與一第二極靴，該第二極靴由該第二開孔部的內緣朝該中心軸延伸，其中該第一極靴與該第二極靴依據該中心軸而彼此對稱，其中該第一極靴以及該第二極靴之間形成一磁迴路間隙，其中當該線圈通電時，該第一極靴、該磁迴路間隙以及該第二極靴形成一第一磁路；其中該第一極靴具有一第一延伸部以及一第一末端部，該第一末端部透過該第一延伸部連接該第一磁極件的該第一開孔部的內緣，該第二極靴具有一第二延伸部以及一第二末端部，該第二末端部透過該第二延伸部連接該第二磁極件的該第二開孔部的內緣，其中該第一末端部與該第二末端部位於同一平面上，該平面垂直於該中心軸。
  2. 根據請求項第1項之複合多極-聚焦可調式磁透鏡，更包括：一永久磁鐵，依據該中心軸而形成環形結構，該永久磁鐵設置於該線圈之遠離該中心軸之外側，且位於該第一磁極件與該第二磁極件之間。
  3. 根據請求項第1項之複合多極-聚焦可調式磁透鏡，其中當該線圈通電時，該第一磁極件之該第一開孔部與該第二磁極件之該第二開孔部形成一第二磁路。
  4. 一種複合多極-聚焦可調式磁透鏡，包括： 一線圈支架，用以依據一中心軸而繞設一線圈，該線圈支架之中心具有一中心開孔部，該中心開孔部用以讓電子束穿過；一第一磁極件，設置於該線圈支架的上側，具有對應於該線圈支架的該中心開孔部的一第一開孔部與複數個第一極靴，該些第一極靴由該第一開孔部的內緣朝該中心軸延伸；以及一第二磁極件，設置於該線圈支架的下側，具有對應於該線圈支架的該中心開孔部的一第二開孔部與複數個第二極靴，該些第二極靴由該第二開孔部的內緣朝該中心軸延伸；其中，該第一極靴的數目與該第二極靴的數目分別為N個，N為大於一的整數，該些第一極靴依據該中心軸而對稱設置，該些第二級靴依據該中心軸而對稱設置，每一該第一極靴與相鄰的該第二極靴依據該中心軸而彼此相差一角度，該角度為360/2N度；其中，每一該第一極靴以及相鄰的該第二極靴之間形成一磁迴路間隙，其中當該線圈通電時，每一該第一極靴與所對應的該磁迴路間隙以及該第二極靴形成一第一磁路。
  5. 根據請求項第4項之複合多極-聚焦可調式磁透鏡，更包括：一永久磁鐵，依據該中心軸而形成環形結構，該永久磁鐵設置於該線圈之遠離該中心軸之外側，且位於該第一磁極件與該第二磁極件之間。
  6. 根據請求項第4項之複合多極-聚焦可調式磁透鏡，其中該第一極靴具有一第一延伸部以及一第一末端部，該第一末端部透過該第一延伸部連接該第一磁極件的該第一開孔部的內緣，該第二極靴具有一第二延伸部以及一第二末端部，該第二末端部透過該第二延伸部連接該第二磁極件的該第二開孔部的內緣，其中該第一末端部與該第二末端部位於同一平面上，該平面垂直於該中心軸。
  7. 根據請求項第4項之複合多極-聚焦可調式磁透鏡，其中當該線圈通電時，該第一磁極件之該第一開孔部與該第二磁極件之該第二開孔部形成一第二磁路。
  8. 一種桌上型電子顯微鏡，包括：一電子槍，用以提供電子束；以及至少一複合多極-聚焦可調式磁透鏡，包括：一線圈支架，用以依據一中心軸而繞設一線圈，該線圈支架之中心具有一中心開孔部，該中心開孔部用以讓電子束穿過；一第一磁極件，設置於該線圈支架的上側，具有對應於該線圈支架的該中心開孔部的一第一開孔部與複數個第一極靴，該些第一極靴由該第一開孔部的內緣朝該中心軸延伸；以及一第二磁極件，設置於該線圈支架的下側，具有對應於該線圈支架的該中心開孔部的一第二開孔部與複數個第二極靴，該些第二極靴由該第二開孔部的內緣朝該中心軸延伸；其中，該第一極靴的數目與該第二極靴的數目分別為N個，N為大於一的整數，該些第一極靴依據該中心軸而對稱設置，該些第二級靴依據該中心軸而對稱設置，每一該第一極靴與相鄰的該第二極靴依據該中心軸而彼此相差一角度，該角度為360/2N度；其中，每一該第一極靴以及相鄰的該第二極靴之間形成一磁迴路間隙，其中當該線圈通電時，每一該第一極靴與所對應的該磁迴路間隙以及該第二極靴形成一第一磁路。
  9. 根據請求項第8項之桌上型電子顯微鏡，其中該複合多極-聚焦可調式磁透鏡更包括：一永久磁鐵，依據該中心軸而形成環形結構，該永久磁鐵設置於該線圈之遠離該中心軸之外側，且位於該第一磁極件與該第二磁極件之間。
  10. 根據請求項第8項之桌上型電子顯微鏡，其中該第一極靴具有一第一延伸部以及一第一末端部，該第一末端部透過該第一延 伸部連接該第一磁極件的該第一開孔部的內緣，該第二極靴具有一第二延伸部以及一第二末端部，該第二末端部透過該第二延伸部連接該第二磁極件的該第二開孔部的內緣，其中該第一末端部與該第二末端部位於同一平面上，該平面垂直於該中心軸。
  11. 根據請求項第8項之桌上型電子顯微鏡，其中當該線圈通電時，該第一磁極件之該第一開孔部與該第二磁極件之該第二開孔部形成一第二磁路。
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