TWI505875B - 薄膜塗佈裝置 - Google Patents

Description

薄膜塗佈裝置

本揭露是有關於一種薄膜塗佈裝置，且特別是有關於一種可調整塗佈狹縫寬度的薄膜塗佈裝置。

薄膜塗佈裝置可塗佈一薄膜材料於一工件上。藉由調整薄膜塗佈裝置之塗佈狹縫的寬度，可控制形成之薄膜的厚度。然而，塗佈狹縫位於薄膜塗佈裝置中剛性較強部位的寬度與其它部位的寬度差異大，如此導致所形成之薄膜的厚度變異大，例如是薄膜的邊緣厚度大於其它部位的厚度(肥邊現象)。

本揭露係有關於一種薄膜塗佈裝置，可改善習知肥邊現象。

根據本揭露之一實施例，提出一種薄膜塗佈裝置。薄膜塗佈裝置包括一第一本體、一第二本體及一第一側蓋。第一本體具有一第一外側面及一從第一外側面往第一本體內部延伸之凹槽。第一本體之凹槽區隔第一本體為一可調整部與一基座部。第二本體相對第一本體配置，且與第一本體之間形成一塗佈狹縫。第一側蓋具有一與可調整部固定的一第一固定點且具有一 內側面、一第二外側面、一第一切割道及一第二切割道。內側面面向第一本體及第二本體，第一切割道從內側面露出一開口，開口與塗佈狹縫彼此隔離，第二外側面與第一外側面位於薄膜塗佈裝置之一同側，第二切割道從第二外側面往第一側蓋內部延伸，第一固定點位於第一切割道與第二切割道所圍繞的區域內。

根據本揭露之另一實施例，提出一種薄膜塗佈裝置。薄膜塗佈裝置包括一第一本體、一第二本體及一第一側蓋。第一本體具有一第一外側面及一從第一外側面往內延伸之凹槽，凹槽區隔第一本體為一可調整部與一基座部。第二本體相對第一本體配置，且與第一本體之間形成一塗佈狹縫。第一側蓋具有一與可調整部固定的第一固定點、一內側面及一切割道。切割道環繞第一固定點。

為了對本揭露之上述及其他方面有更佳的瞭解，下文特舉較佳實施例，並配合所附圖式，作詳細說明如下：

100‧‧‧薄膜塗佈裝置

100R‧‧‧塗佈狹縫

100Ra‧‧‧開口

110‧‧‧第一本體

110h‧‧‧貫孔

110s1‧‧‧第一外側面

110r‧‧‧凹槽

111‧‧‧第一本體之可調整部

111t‧‧‧第一鎖孔

112‧‧‧第一本體之基座部

112t‧‧‧第二鎖孔

120‧‧‧第二本體

120r‧‧‧內流道

120t‧‧‧第三鎖孔

130‧‧‧第一側蓋

130a‧‧‧開口

130b‧‧‧下緣

130c1、230c1‧‧‧第一切割道

130c2、230c2‧‧‧第二切割道

130h1‧‧‧第一貫孔

130h2‧‧‧第二貫孔

130h3‧‧‧第三貫孔

130r‧‧‧凹槽

130s1‧‧‧內側面

130s2‧‧‧第二外側面

130s3‧‧‧端面

130s4‧‧‧第三外側面

130s5‧‧‧第四外側面

130u‧‧‧上緣

131‧‧‧第一側蓋之可調整部

131t、132t‧‧‧內螺孔

132‧‧‧第一側蓋之基座部

140‧‧‧第二側蓋

150‧‧‧調整元件

151‧‧‧內螺帽

152‧‧‧螺栓

153‧‧‧外螺帽

230c‧‧‧切割道

230c3‧‧‧環形切割道

230c4‧‧‧第一線形切割道

230c5‧‧‧第二線形切割道

A1‧‧‧鈍角

A2‧‧‧銳角

C1~C5‧‧‧曲線

W、W’‧‧‧寬度

第1A圖繪示依照本揭露一實施例之薄膜塗佈裝置的分解圖。

第1B圖繪示第1A圖之第一側蓋的側視圖。

第1C圖繪示第1B圖之俯視圖。

第1D圖繪示第1A圖之薄膜塗佈裝置組合後的俯視圖。

第2圖繪示依照本揭露另一實施例之第一側蓋的側視圖。

第3圖繪示依照本揭露另一實施例之第一側蓋的側視圖。

第4圖繪示依照本揭露另一實施例之第一側蓋的側視圖。

第5圖繪示依照本揭露另一實施例之第一側蓋的側視圖。

第6圖繪示依照本揭露另一實施例之第一側蓋的側視圖。

第7圖繪示依照本揭露另一實施例之第一側蓋的側視圖。

第8圖繪示依照本揭露另一實施例之第一側蓋的側視圖。

第9圖繪示依照本揭露另一實施例之第一側蓋的側視圖。

第10圖繪示依照本揭露另一實施例之第一側蓋的側視圖。

第11圖繪示依照本揭露另一實施例之第一側蓋的側視圖。

第12圖繪示依照本揭露另一實施例之第一側蓋的側視圖。

第13圖繪示依照本揭露另一實施例之第一側蓋的側視圖。

第14圖繪示依照本揭露另一實施例之第一側蓋的側視圖。

第15A圖繪示依照本揭露另一實施例之第一側蓋的側視圖。

第15B圖繪示第15A圖之俯視圖。

第16圖繪示習知薄膜塗佈裝置與本實施例之塗佈狹縫寬度的示意圖。

第17圖繪示第1A圖之薄膜塗佈裝置所塗佈之薄膜的厚度曲線圖。

請參照第1A圖，其繪示依照本揭露一實施例之薄膜塗佈裝置的分解圖。薄膜塗佈裝置100包括第一本體110、第二本體120、第一側蓋130及第二側蓋140。

第一本體110具有第一外側面110s1及凹槽110r， 其中凹槽110r從第一外側面110s1往第一本體110內部延伸。凹槽110r區隔第一本體110為可調整部111與基座部112，其中基座部112的剛性大於可調整部111，即可調整部111的可撓性大於基座部112，使可調整部111相對基座部112係可形變，藉以調整塗佈狹縫100R(第1D圖)的寬度W。藉由調整塗佈狹縫100R(第1D圖)的寬度W，可控制使用其所形成之薄膜的厚度。此外，第一本體110具有數個貫孔110h，數個調整元件150(繪示於第1B圖)各別設於對應之貫孔110h內，藉以調整可調整部111與基座部112的相對位置。

第二本體120具有內流道120r。當薄膜塗佈裝置100進行塗佈製程時，工作流體經由內流道120r從塗佈狹縫100R噴出而塗佈於一工件(未繪示)上。

第一側蓋130與第二側蓋140分別固定於第一本體110與第二本體120的相對二端面。第一側蓋130與第二側蓋140具有相似結構，以下係以第一側蓋130為例說明。

第一側蓋130具有第一貫孔130h1(第一固定點)，而第一本體110之可調整部111具有一第一鎖孔111t，鎖合元件(未繪示)穿過第一貫孔130h1而鎖合於第一鎖孔111t內，以固定第一側蓋130與可調整部111的相對位置。此外，第一側蓋130具有第二貫孔130h2(第二固定點)，而第一本體110之基座部112具有一第二鎖孔112t，鎖合元件(未繪示)穿過第二貫孔130h2而鎖和於第二鎖孔112t內，以固定第一側蓋130與基座部112的相 對位置。另外，第一側蓋130與第二本體120可採用相似的鎖合方式固定其相對位置。

請參照第1B圖，其繪示第1A圖之第一側蓋的側視圖。第一側蓋130且具有內側面130s1、與第二外側面130s2(第1A圖)、第一切割道130c1及第二切割道130c2。內側面130s1面向第一本體110及第二本體120。第一切割道130c1從內側面130s1露出一開口130a。當薄膜塗佈裝置100組裝後，開口130a與塗佈狹縫100R(為方便理解，塗佈狹縫100R的位置以虛線繪示於第1B圖)係錯開且隔離，即不相通，如此，使位於塗佈狹縫100R內的工作流體不易經由第一切割道130c1洩漏。第二外側面130s2與第一外側面110s1位於薄膜塗佈裝置100之一同側，第二切割道130c2從第二外側面130s2往第一側蓋130內部延伸。

第一切割道130c1與第二切割道130c2可採用例如是線切割放電加工(Wire Electrical Discharging Machine)、機械刀具加工、鋸削、電火花加工(Electrical Discharge Machining,EDM)、鑄造工法或其它合適製程所形成。本實施例中，第一切割道130c1與第二切割道130c2弱化第一側蓋130的強度，使第一切割道130c1與第二切割道130c2所圍繞的區域成為一可調整部131。上述第一貫孔130h1係設於可調整部131。由於第一側蓋130之可調整部131與第一本體110的可調整部111(第1A圖)固定，使當第一本體110的可調整部111受到調整時，第一側蓋130之可調整部131被可調整部111帶動而形變。由於第一側蓋 130之可調整部131本身因為弱化而具有可撓性，使當第一本體110的可調整部111受到調整而形變時，第一側蓋130之可調整部131容易形變，進而使塗佈狹縫100R靠近第一側蓋130的寬度W(第1D圖)可容易調整，如容易擴大或縮小。

此外，第一切割道130c1與第二切割道130c2所圍繞區域之外的區域成為剛性較強(相對於可調整部131)的基座部132。上述第二貫孔130h2係設於基座部132。

第一側蓋130具有一端面130s3，其與塗佈狹縫100R之開口100Ra位於第一側蓋130之同側。第一切割道130c1從端面130s3沿一曲線路徑、一直線路徑或其組合路徑往接近第二切割道130c2的方向延伸。本實施例之第一切割道130c1係以沿直線路徑延伸為例說明。

第一切割道130c1延伸至與第二切割道130c2的延伸線相交。例如，第二切割道130c2的上緣130u的延伸線L1與第一切割道130c1相交，使可調整部131具有足夠的可撓性。另一實施例中，第二切割道130c2的下緣130b的延伸線與第一切割道130c1相交，使可調整部131具有更好的可撓性。相較於第一切割道130c1未延伸至與第二切割道130c2的延伸線相交，由於本實施例之第一切割道130c1延伸至與第二切割道130c2的延伸線相交，使第一側蓋130中連接第一切割道130c1與第二切割道130c2的材料較少，進而使可調整部131具有更好的可撓性。當第一側蓋130中連接第一切割道130c1與第二切割道130c2的材 料愈少時，可調整部131的撓性愈好。

薄膜塗佈裝置100更包括調整元件150，其連接第一側蓋130之可調整部131與基座部132，以調整可調整部131與基座部132的相對位置。詳細來說，可調整部131及基座部132分別具有內螺孔131t及132t。調整元件150包括內螺帽151、螺栓152及外螺帽153，透過內螺帽151及螺栓152的行程調整，可調整可調整部131與基座部132的相對位置，進而調整塗佈狹縫100R的寬度W(第1D圖)。當塗佈狹縫100R的寬度W(第1D圖)調整至一預設寬度後，透過鎖緊外螺帽153可固定可調整部131與基座部132的相對位置。在調整第一本體110之可調整部111後，若仍未獲得預期的塗佈狹縫寬度(例如，塗佈狹縫100R靠近第一側蓋130之處的寬度相較於中間的塗佈狹縫寬度仍過大或過小)，則可單獨操作調整元件150，以獲得各點寬度大致相同的塗佈狹縫。

請參照第1C圖，其繪示第1B圖之俯視圖。第一側蓋130具有第三外側面130s4，其與內側面130s1相對。如第1C圖所示，第一切割道130c1從內側面130s1沿直線路徑、曲線路徑或其組合路徑延伸到第三外側面130s4，即第一切割道130c1貫穿第一側蓋130的厚度。本實施例中，第一切割道130c1垂直於內側面130s1，且以直線路徑延伸至第三外側面130s4。

請參照第1D圖，其繪示第1A圖之薄膜塗佈裝置組合後的俯視圖。薄膜塗佈裝置100組合後，第二本體120相對第 一本體110配置，且與第一本體110之間形成塗佈狹縫100R。由於第一切割道130c1及第二切割道130c2的設計，塗佈狹縫100R靠近第一側蓋130的寬度W比習知塗佈狹縫靠近第一側蓋130的寬度W’更容易調整。進一步地說，就擴大寬度的相同大小調整力而言，本實施例之塗佈狹縫100R靠近第一側蓋130的寬度W比習知塗佈狹縫之靠近第一側蓋130的寬度W’還寬(因為容易調寬)。雖然未繪示，然就縮小寬度的相同大小調整力而言，本實施例之塗佈狹縫100R靠近第一側蓋130的寬度W比習知塗佈狹縫之靠近第一側蓋130的寬度W’還窄(因為容易調窄)。

請參照第2圖，其繪示依照本揭露另一實施例之第一側蓋的側視圖。相較於第1B圖之第一側蓋130，本實施例之第二切割道130c2係細線形切割道，其寬度小於第1B圖之第二切割道130c2。本實施例中，凹槽110r(為方便理解，以虛線繪示凹槽110r的位置)位於第一貫孔130h1與第二貫孔130h2之間，使第一側蓋130的可調整部131與第一本體110的可調整部111(可調整部111的可撓性較佳)固定，而不與第一本體110的基座部112(基座部112的可撓性較差)固定，因此不致讓可調整部131受到過度拘束。

請參照第3圖，其繪示依照本揭露另一實施例之第一側蓋的側視圖。與第2圖之第一側蓋不同的是，本實施例之第二切割道130c2的位置位於凹槽110r與第一貫孔130h1之間。與第2圖之第一側蓋130相似的是，凹槽110r(為方便理解，凹槽 110r的位置以虛線繪示)仍位於第一貫孔130h1與第二貫孔130h2之間，如此使可調整部131不與第一本體110的基座部112固定，因此不會讓可調整部131受到過度拘束。

請參照第4圖，其繪示依照本揭露另一實施例之第一側蓋的側視圖。第一側蓋130具有第一切割道130c1、第二切割道130c2及數個第一貫孔130h1。本實施例中，數個第一貫孔130h1位於第一切割道130c1與第二切割道130c2圍繞的區域內。由於凹槽110r(為方便理解，凹槽110r的位置以虛線繪示)仍位於第一貫孔130h1與第二貫孔130h2之間，使可調整部131不與第一本體110的基座部112固定，因此不會讓可調整部131受到過度拘束。第一貫孔130h1的數量可以是二個，或二個以上。

請參照第5圖，其繪示依照本揭露另一實施例之第一側蓋的側視圖。本實施例中，第二切割道103c2的剖面形狀係三角形。另一實施例中，第二切割道103c2的剖面形狀可以是橢圓形的一部分、圓形的一部分或多邊形的一部分。只要可讓第一側蓋130具備可撓性，第一側蓋130之第二切割道130c2的剖面形狀不受本揭露實施例所限制。

請參照第6圖，其繪示依照本揭露另一實施例之第一側蓋的側視圖。第一側蓋130之第一切割道130c1從內側面130s1傾斜地延伸至第三外側面130s4。具體而言，第一切割道130c1從內側面130s1以遠離第二外側面130s2的方式傾斜地延伸至第三外側面130s4，使第一切割道130c1與內側面130s1夾 一鈍角A1。另一實施例中，第一切割道130c1可沿曲線路徑或直線與曲線的組合路徑傾斜地延伸至第三外側面130s4。藉由設計鈍角A1的數值，可決定第一側蓋130中連接第一切割道130c1與第一切割道130c1的材料體積，藉此決定可調整部131的可撓性。

請參照第7圖，其繪示依照本揭露另一實施例之第一側蓋的側視圖。與第6圖之第一側蓋130不同的是，本實施例之第一側蓋130之第一切割道130c1與內側面130s1夾一銳角A2，並沿一直線路徑傾斜地延伸至第三外側面130s4。

請參照第8圖，其繪示依照本揭露另一實施例之第一側蓋的側視圖。與第6圖之第一側蓋130不同的是，本實施例之第一側蓋130之第一切割道130c1沿多段直線路徑傾斜地延伸，其中多段直線路徑係不平滑地連接。

請參照第9圖，其繪示依照本揭露另一實施例之第一側蓋的側視圖。第一側蓋230具有切割道230c，其環繞第一貫孔130h1。具體而言，切割道230c係一螺旋形切割道，其環繞第一貫孔130h1至少一圈，使第一側蓋230的可調整部131具備足夠可撓性。切割道230c的形成方法可相似於第一切割道130c1，容此不再贅述。

請參照第10圖，其繪示依照本揭露另一實施例之第一側蓋的側視圖。與第9圖之第一側蓋230不同的是，本實施例之切割道230c從端面130s3延伸至環繞第一貫孔130h1。

請參照第11圖，其繪示依照本揭露另一實施例之第 一側蓋的側視圖。與第10圖之第一側蓋230不同的是，本實施例之切割道230c從第二外側面130s2延伸至環繞第一貫孔130h1。

請參照第12圖，其繪示依照本揭露另一實施例之第一側蓋的側視圖。本實施例中，切割道230c包括第一切割道230c1及第二切割道230c2，其中第一切割道230c1環繞第一貫孔130h1之第一側，而第二切割道230c2環繞第一貫孔130h1之第二側，其中第一側相對於第二側。具體而言，第一切割道230c1與第二切割道230c2各包括環形切割道230c3、第一線形切割道230c4及第二線形切割道230c5，其中環形切割道230c3具有第一端與第二端，第一線形切割道230c4從環形切割道230c3之第一端往第一側蓋130之外延伸，而第二線形切割道230c5從環形切割道230c3之第二端往第一側蓋130之內延伸。本實施例中，第一線形切割道230c4從環形切割道230c3之第一端往端面130s3或第二外側面130s2的方向延伸，但不延伸至端面130s3或第二外側面130s2，而第二線形切割道230c5從環形切割道230c3之第二端往第四外側面130s5的方向延伸，但不延伸至內部流道。

請參照第13圖，其繪示依照本揭露另一實施例之第一側蓋的側視圖。本實施例中，切割道230c包括環形切割道230c3及二第二線形切割道230c5，其中環形切割道230c3環繞第一貫孔130h1，而二第二線形切割道230c5分別連接於環形切割道230c3的二端。本實施例中，環形切割道230c3環繞第一貫孔130h1至少半圈；另一實施例中，環形切割道230c3環繞第一貫孔130h1 可少於半圈。

請參照第14圖，其繪示依照本揭露另一實施例之第一側蓋的側視圖。與第12圖之第一側蓋230不同的是，本實施例之第一線形切割道230c4延伸至端面130s3，而第二線形切割道230c5延伸至第二外側面130s2。另一實施例中，第一線形切割道230c4可延伸至第二外側面130s2。

綜合上述，第一切割道130c1及第二切割道130c2具有多種延伸方式，其例如是沿一連續直線路徑、多段直線路徑(多段直線非平滑地連接)、一連續曲線路徑(平滑曲線)、多段曲線路徑(多段曲線非平滑地連接)或其組合路徑的方式延伸，其中曲線路徑例如是螺旋路徑、圓形路徑、橢圓形路徑或其它幾何型態的曲線路徑。切割道230c具有多種延伸方式，其例如是沿曲線路徑或直線路徑與曲線路徑的組合路徑的方式延伸，其中曲線路徑例如是螺旋路徑、圓形路徑、橢圓形路徑或其它幾何型態的曲線路徑。只要可讓第一側蓋130及230具備可撓性，第一側蓋130及230之切割道(130c1、130c2、230c、230c1、230c2)的延伸方式不受本揭露實施例所限制。

請參照第15A及15B圖，第15A圖繪示依照本揭露另一實施例之第一側蓋的側視圖，而第15B圖繪示第15A圖之俯視圖。第一側蓋130具有第三貫孔130h3(第三固定點)，其與第一貫孔130h1分別位於第一切割道130c1的相對二側。第二本體120具有第三鎖孔120t(第1A圖)，鎖合元件(未繪示)可穿過第三貫孔 130h3而鎖合於第三鎖孔120t內，使第一側蓋130固定於第二本體120。第一側蓋130具有一凹槽130r，凹槽130r從內側面130s1往第三外側面130s4的方向延伸，以減少內側面130s1與第二本體120的接觸面積，進而提升內側面130s1與第一本體110的接觸壓力。如此一來，可增強內側面130s1與第一本體110之間的密合性。

雖然上述固定點係以鎖合方式實現，然另一實施例之固定點亦可以卡合、黏合、焊合、鉚合、其它暫時性或永久性的固定方式實現。

請參照第16圖，其繪示習知薄膜塗佈裝置與本實施例之塗佈狹縫寬度的示意圖。寬度W(X=0)表示塗佈狹縫100R(第1D圖)接近第一側蓋130之處的寬度，寬度W(X=L)表示塗佈狹縫100R接近第二側蓋140之處的寬度。曲線C1表示習知塗佈狹縫從位置X=0至X=L的寬度分佈，曲線C2表示採用第1B圖之第一側蓋130所調整的塗佈狹縫100R從位置X=0至X=L的寬度分佈，而曲線C3表示第2圖之第一側蓋130所調整的塗佈狹縫100R從位置X=0至X=L的寬度分佈。由圖可知，相較於習知塗佈狹縫寬度，由於本揭露實施例弱化之第一側蓋130的設計，使塗佈狹縫100R靠近第一側蓋130的塗佈狹縫寬度W(X=0)、第二側蓋140的塗佈狹縫寬度W(X=L)與中間的塗佈狹縫寬度W(X=L/2)之間的差異縮小，如此可形成尺寸均勻的薄膜。如第16圖之曲線C2所示，藉由調整元件150(第1B圖)的個別調整，使塗佈狹縫 100R靠近第一側蓋130的塗佈狹縫寬度W(X=0)與中間的塗佈狹縫寬度W(X=L/2)之間的差異大幅縮小。

請參照第17圖，其繪示第1A圖之薄膜塗佈裝置所塗佈之薄膜的厚度曲線圖。曲線C4係習知薄膜塗佈裝置所形成之薄膜的厚度曲線，而曲線C5係以本揭露實施例之薄膜塗佈裝置100所形成之薄膜的厚度曲線。由圖可知，本揭露實施例之薄膜塗佈裝置100所形成之薄膜靠近第一側蓋130的厚度T(X=0)與中間區域的厚度T(X=L/2)之間的差異縮小，即，相較於習知薄膜塗佈裝置所形成之薄膜，本揭露實施例之薄膜塗佈裝置100所形成之薄膜的厚度較為均勻，明顯改善肥邊現象。

綜上所述，雖然本揭露已以較佳實施例揭露如上，然其並非用以限定本揭露。本揭露所屬技術領域中具有通常知識者，在不脫離本揭露之精神和範圍內，當可作各種之更動與潤飾。因此，本揭露之保護範圍當視後附之申請專利範圍所界定者為準。

100‧‧‧薄膜塗佈裝置

110‧‧‧第一本體

110h‧‧‧貫孔

111‧‧‧可調整部

110s1‧‧‧第一外側面

110r‧‧‧凹槽

111t‧‧‧第一鎖孔

112‧‧‧基座部

112t‧‧‧第二鎖孔

120‧‧‧第二本體

120r‧‧‧內流道

120t‧‧‧第三鎖孔

130‧‧‧第一側蓋

130h1‧‧‧第一貫孔

130h2‧‧‧第二貫孔

130s1‧‧‧內側面

130s2‧‧‧第二外側面

130s4‧‧‧第三外側面

140‧‧‧第二側蓋

Claims (18)

1. 一種薄膜塗佈裝置，包括：一第一本體，具有一第一外側面及一從該第一外側面往該第一本體內部延伸之凹槽，該第一本體之該凹槽區隔該第一本體為一可調整部與一基座部；一第二本體，相對該第一本體配置，且與該第一本體之間形成一塗佈狹縫；一第一側蓋，具有一與該可調整部固定的一第一固定點，且具有一內側面、一第二外側面、一第一切割道及一第二切割道，該內側面面向該第一本體及該第二本體，該第一切割道從該內側面露出一開口，該開口與該塗佈狹縫彼此隔離，該第二外側面與該第一外側面位於該薄膜塗佈裝置之一同側，該第二切割道從該第二外側面往該第一側蓋內部延伸，該第一固定點位於該第一切割道與該第二切割道所圍繞的區域內。
2. 如申請專利範圍第1項所述之薄膜塗佈裝置，其中該第一側蓋具有一端面，該端面與該塗佈狹縫之開口位於同一側，該第一切割道從該端面往接近該第二切割道的方向延伸。
3. 如申請專利範圍第2項所述之薄膜塗佈裝置，其中該第一切割道從該端面沿一曲線路徑、一直線路徑或其組合路徑往接近該第二切割道的方向延伸。
4. 如申請專利範圍第1項所述之薄膜塗佈裝置，其中該第二切割道的延伸與該第一切割道相交。
5. 如申請專利範圍第1項所述之薄膜塗佈裝置，其中該第一側蓋具有一與該內側面相對之第三外側面，該第一切割道從該內側面延伸到該第三外側面。
6. 如申請專利範圍第5項所述之薄膜塗佈裝置，其中該第一切割道從該內側面傾斜地延伸到該第三外側面。
7. 如申請專利範圍第5項所述之薄膜塗佈裝置，其中該第一切割道從該內側面垂直地延伸到該第三外側面。
8. 如申請專利範圍第1項所述之薄膜塗佈裝置，其中該第一側蓋具有一與該基座部固定的一第二固定點，該第二固定點位於該第一切割道與該第二切割道所圍繞的區域之外。
9. 如申請專利範圍第1項所述之薄膜塗佈裝置，其中該第一切割道與該第二切割道所圍繞的部分定義該第一側蓋之一可調整部，而該第一切割道與該第二切割道所圍繞區域以外的部分定義該第一側蓋之一基座部，該第一側蓋之該可調整部與該第一本 體的該可調整部固定，而該第一側蓋之該基座部與該第一本體的該基座部固定，該薄膜塗佈裝置更包括：一調整元件，連接該第一側蓋之該可調整部與該第一側蓋之該基座部，以調整該第一側蓋之該可調整部與該第一側蓋之該基座部的相對位置。
10. 如申請專利範圍第1項所述之薄膜塗佈裝置，其中該第一側蓋具有一該第二本體固定之一第三固定點，該第一固定點與該第三固定點位於該第一切割道的相對二側，該第一側蓋具有一凹槽，該第一側蓋之該凹槽從該內側面往該第三外側面的方向延伸。
11. 如申請專利範圍第1項所述之薄膜塗佈裝置，更包括：一第二側蓋，具有與該第一側蓋相同的結構；其中，該第一側蓋與該第二側蓋分別設於該第一本體的相對二端面。
12. 一種薄膜塗佈裝置，包括：一第一本體，具有一第一外側面及一從該第一外側面往內延伸之凹槽，該凹槽區隔該第一本體為一可調整部與一基座部；一第二本體，相對該第一本體配置，且與該第一本體之間形成一塗佈狹縫； 一第一側蓋，具有一與該可調整部固定的第一固定點、一內側面及一切割道，該切割道環繞該第一固定點。
13. 如申請專利範圍第12項所述之薄膜塗佈裝置，其中該切割道係一螺旋形切割道。
14. 如申請專利範圍第12項所述之薄膜塗佈裝置，其中該切割道包括：一第一切割道，環繞該第一固定點之一第一側；以及一第二切割道，環繞該第一固定點之一第二側。
15. 如申請專利範圍第14項所述之薄膜塗佈裝置，其中該第一切割道與該第二切割道各包括：一環形切割道，具有一第一端與一第二端；一第一線形切割道，從該環形切割道之該第一端往該第一側蓋之外延伸；以及一第二線形切割道，從該環形切割道之該第二端往該第一側蓋之內延伸。
16. 如申請專利範圍第12項所述之薄膜塗佈裝置，其中該第一側蓋具有一與該內側面相對之第三外側面，該切割道從該內側面延伸到該第三外側面。
17. 如申請專利範圍第12項所述之薄膜塗佈裝置，其中該第一側蓋具有一端面，該端面與該塗佈狹縫之開口位於同一側，該切割道延伸至該端面。
18. 如申請專利範圍第12項所述之薄膜塗佈裝置，更包括：一第二側蓋，具有與該第一側蓋相同的結構；其中，該第一側蓋與該第二側蓋分別設於該第一本體的相對二端面。