TWI488725B - Cutting method and wire sawing by wire saw - Google Patents

Description

藉由線鋸之工件的切斷方法及線鋸

本發明係有關於利用線鋸切斷半導體晶錠(ingot)等之方法及線鋸。

近年來，例如作為由半導體晶錠等工件一次切出複數個薄片(晶圓)之手段已知線鋸(wire saw)。該線鋸係具備線送出線軸(bobbin)、複數個導引滾輪(guide roller)、及線捲取線軸，從上述線鋸送出線軸拉出之切斷用線捲繞於上述各導引滾輪之周圍之後被回收於線捲取線軸。該切斷用線藉由上述兩線軸及導引滾輪之旋轉沿該線之長度方向被高速驅動。在此驅動過程中，沿著大致垂直於在特定之導引滾輪彼此之間排列的複數根線之方向切斷搬送由上述半導體晶錠等構成的工件，從而由工件同時切斷出複數個薄片。

在如上所述的線鋸中，為進行穩定之工件切斷，需向上述線賦予一定以上之張力，然而，該張力越高則施加於線捲取線軸之機械性的負擔變大。亦即，線捲取線軸所捲取的線之張力越高，則該線易於陷入該線捲取線軸之外周面，縮短該線軸之壽命之可能性變高。又，在上述線上被固接有固定砥粒的情況下，於上述線捲取線軸上，線彼此之間壓接之力變高，因此，存在該砥粒易於脫落的問題。

作為解消此種問題之手段，可考慮利用上述的張力調整裝置，使捲取側之線張力低於送出側之線張力。然而，在該線鋸中，作為驅動上述線之驅動方式採用使該線沿前進方向(從線送出線軸朝向線捲取線軸之方向)與後退方向(從線捲取線軸朝向線送出線軸之方向)交替移動的往復驅動方式較多，用此種往復驅動方式運行線鋸的情況下，若進行如上所述之張力調節，則有可能加工效率顯著下降。

亦即，在上述往復驅動方式中，若突然使線之驅動方向逆轉，則會發生較強的衝擊，實際上，需使該線一旦減速而停止，從其停止狀態開始朝向逆方向的驅動，並逐漸加速至目標速度之操作，此種驅動方向之反轉需要時間。還有，需要在使上述線之驅動方向逆轉之際，將至此為止降低張力的捲取側之線張力提高，反之，將賦予高張力的送出側之線張力降低，而且，若突然進行此種張力之變動，有可能會發生線之斷線等，因此，該線張力之增減也需要一定程度地花費時間而緩慢進行。因此，除了上述線之驅動方向之反轉之外，伴隨該反轉的張力之增減也需要時間。

為此，下述專利文獻1中提出了在用於使上述線之驅動方向逆轉之線驅動速度之減速過程中，將至此為止降低張力的捲取側的線之張力提高，並且，將賦予高張力的送出側的線之張力降低，從而削減時間浪費的方法。

然而，在該方法中，在線驅動速度之減速過程中，由於進行提高捲取側的線之張力的同時降低送出側的線之張力的調節，因此，藉由該調節而張力降低的線部分進入導引滾輪之間的區域亦即切斷工件之區域，由此，有可能對該工件之加工精度造成壞影向。

專利文獻1：日本專利公開公報特開2007－276054號

本發明之目的係提供一種能夠有效地削減使線鋸之線之驅動方向逆轉之時因線之張力之調節而造成的時間浪費，並且能夠防止起因於其張力調節的工件之加工精度降低的技術。作為用於達到該目的之手段，本發明係提供一種利用從線送出裝置送出之切斷用線捲繞於複數個導引滾輪之周圍並被線捲取裝置捲取之線鋸，藉由一邊使其導引滾輪彼此之間排列之複數根線向軸方向驅動，一邊藉由使工件與這些線進行相對移動而切斷搬送，從而切斷該工件的方法。該方法包括以下步驟：前進驅動切斷步驟，進行上述工件之切斷，在該前進驅動切斷步驟中，從上述線送出裝置送出上述線並藉由上述線捲取裝置捲取該線，並且藉由向從上述線送出裝置送出之線的張力按壓送出側張力賦予構件以將該線調節為接近於第1目標張力，且向藉由上述線捲取裝置被捲取的線的張力按壓捲取側張力賦予構件以將該線調節為接近於比上述第1目標張力更低的第2目標張力；後退驅動切斷步驟，進行上述工件之切斷，在該後退驅動切斷步驟中，藉由上述線捲取裝置捲取之上述線反過來從該線捲取裝置送出並藉由上述線送出裝置捲取該線，並且向從上述線捲取裝置送出之線按壓上述捲取側張力賦予構件以將該線之張力調節為接近於比上述第2目標張力更高的第3目標張力，且向藉由線送出裝置捲取之線按壓上述送出側張力賦予構件以將該線之張力調節為接近於比上述第1目標張力及上述第3目標張力更低的第4目標張力；第1切換步驟，在上述前進驅動切斷步驟之後使上述線之驅動速度減速，進而使其驅動方向逆轉後使該線之驅動速度加速，並轉移到上述後退驅動切斷步驟；第2切換步驟，在上述後退驅動切斷步驟之後使上述線之驅動速度減速，在使其驅動方向逆轉後使該線之驅動速度加速，並轉移到上述前進驅動切斷步驟；其中，上述前進驅動切斷步驟、上述第1切換步驟、上述後退驅動切斷步驟、及上述第2切換步驟依次反復被執行，在上述第1切換步驟，在上述線之驅動速度的減速過程中藉由上述捲取側張力賦予構件進行上述線之張力調節，將上述線捲取裝置側的線之目標張力從上述第2目標張力提高至上述第3目標張力，且在該線之驅動速度之減速完成之後藉由上述送出側張力賦予構件進行上述線之張力調節，將上述線送出裝置側的線之目標張力從上述第1目標張力降低至上述第4目標張力。

又，本發明所有關之工件切斷方法，也可以代替在上述第1切換步驟之目標張力之轉移，或者在上述第1切換步驟之目標張力之轉移之上，而在第2切換步驟，藉由上述捲取側張力賦予構件進行上述線之張力調節，將上述線捲取裝置側的線之目標張力從上述第3目標張力降低至上述第2目標張力，並且，藉由上述送出側張力賦予構件進行上述線之張力調節，將上述線送出裝置側的線之目標張力從上述第4目標張力提高至上述第1目標張力。

又，本發明係提供一種利用切斷用線在複數處同時切斷工件之線鋸。該線鋸包括：複數個導引滾輪，其被配設為旋轉中心軸相互平行，上述線被捲繞於其周圍；線送出裝置，其用於將上述線送出至上述導引滾輪；線捲取裝置，其用於從上述導引滾輪捲取上述線；切斷搬送裝置，藉由使張設於上述導引滾輪中特定導引滾輪之間的複數根線與工件相對移動，從而向該線切斷搬送該工件而切斷該工件；線驅動控制裝置，其控制上述線送出裝置及線捲取裝置之作動，從而以前進驅動切斷步驟、第1切換步驟、後退驅動切斷步驟、及第2切換步驟之順序反復執行，其中，上述前進驅動切斷步驟一邊從上述線送出裝置送出上述線並藉由上述線捲取裝置捲取該線，一邊進行上述工件之切斷；上述後退驅動切斷步驟一邊將藉由上述線捲取裝置捲取之上述線反過來從該線捲取裝置送出且藉由上述線送出裝置捲取該線，一邊進行上述工件之切斷；上述第1切換步驟在上述前進驅動切斷步驟之後使上述線之驅動速度減速，而且使其驅動方向逆轉之後使該線之驅動速度加速，並轉移到上述後退驅動切斷步驟；上述第2切換步驟在上述後退驅動切斷步驟之後使上述線之驅動速度減速，在使其驅動方向逆轉之後使該線之驅動速度加速，並轉移到上述前進驅動切斷步驟；送出側張力操作裝置，其包含在上述線送出裝置與上述各導引滾輪之間的區域被按壓於上述線之送出側張力賦予構件，藉由改變其按壓力，使該線之張力變化；捲取側張力操作裝置，其包含在上述線捲取裝置與上述各導引滾輪之間的區域被按壓於上述線之捲取側張力賦予構件，藉由改變其按壓力，使該線之張力變化；張力控制裝置，其使上述各張力操作裝置作動，以使在上述前進驅動切斷步驟使從上述線送出裝置送出的線之張力接近於第1目標張力且使藉由上述線捲取裝置捲取的線之張力接近於比第1目標張力低的第2目標張力，在上述後退驅動切斷步驟使從上述線捲取裝置送出的線之張力接近於比上述第2目標張力高的第3目標張力且使藉由上述線送出裝置捲取的線之張力接近於比上述第1目標張力及上述第3目標張力低的第4目標張力，其中，該張力控制裝置使上述各張力操作裝置作動，使得在上述第1切換步驟，在上述線之驅動速度之減速過程中進行上述線之調節以將上述線捲取裝置側的線之目標張力從上述第2目標張力提高至上述第3目標張力，且在該線之驅動速度之減速完成後進行上述線之張力調節以將上述線送出裝置側的線之目標張力從上述第1目標張力降低至上述第4目標張力。

又，在本發明所有關之線鋸中，也可以是，代替上述第1切換步驟之目標張力之轉移，或者在上述第1切換步驟之目標張力之轉移之上，上述張力控制裝置使上述各張力操作裝置作動，使得在上述第2切換步驟，進行上述線之張力調節，將上述線捲取裝置側的線之目標張力從上述第3目標張力降低至上述第2目標張力，且進行上述線之張力調節，將上述線送出裝置側的線之目標張力從上述第4目標張力提高至上述第1目標張力。

參照第1圖至第5圖，說明本發明之較佳實施例。

第1圖所示之線鋸，具備一對線送出一捲取裝置10A、10B，在其間配置的四個導引滾輪24A、24B、26A、26B。這些導引滾輪中，導引滾輪24A、24B被配設於彼此相同高度位置上，導引滾輪26A、26B分別被配設於導引滾輪24A、24B之下方之位置。

在上述線送出一捲取裝置10A與導引滾輪24A、24B、26A、26B之間，從接近線送出裝置10A一側開始依次設有固定滑輪12A、14A、16A，送出側張力操作裝置18A，及固定滑輪22A，上述送出側張力操作裝置18A包含作為送出側張力賦予構件之可動滑輪20A。同樣，在上述線送出一捲取裝置10B與導引滾輪24A、24B、26A、26B之間，從接近線捲取裝置10B側開始依次設有固定滑輪12B、14B、16B，捲取側張力操作裝置18B，及固定滑輪22B，上述捲取側張力操作裝置18B包含作為捲取側張力賦予構件之可動滑輪20B。

各線送出一捲取裝置10A、10B具備切斷用線W被捲繞的線軸9A、9B，及驅動其之線軸驅動馬達11A、11B。從線送出裝置10A之線軸9A送出之線W以固定滑輪12A、14A、16A，張力操作裝置18A之可動滑輪20A，及固定滑輪22A之順序掛上，進而被複數次捲繞於導引滾輪24A、24B、26B、26A之外側之後，以固定滑輪22B，張力操作裝置18B之可動滑輪20B，固定滑輪16B、14B、12B之順序掛上，並被線捲取裝置10B之線軸9B捲取，且藉由兩張力操作裝置18A、18B賦予線W以適當之張力。又，該線鋸具備滾輪驅動馬達25，該馬達25與導引滾輪24A、24B、26B、26A中特定之導引滾輪(圖例中為導引滾輪26A)之旋轉軸連接，而驅動該旋轉軸。

在該線鋸中，藉由各線軸驅動馬達11A、11B之線軸9A、9B之旋轉驅動方向及藉由滾輪驅動馬達25之導引滾輪26A之旋轉驅動方向以正反切換。據此，線W之驅動狀態在該線W從線軸9A送出而被線軸9B捲取之狀態與線W從線軸9B送出而被線軸9A捲取之狀態之間切換。

亦即，在該實施例所有關之線鋸中，於上述的四個導引滾輪中之導引滾輪24A、24B之間，線W以複數根排列之狀態被張設，且這些沿其長度方向(軸方向)被往復驅動。但是，在本發明中，不對上述導引滾輪之具體個數進行限定，在兩個以上之範圍可自由設定。

在上述導引滾輪24A、24B之間張設的線W之上方設有使圓柱狀工件(例如半導體晶錠)28移動之工件搬送裝置30。該工件搬送裝置30具備保持上述工件28之工件保持部32、及工件搬送馬達34。工件保持部32保持上述工件28之方向被設定為基於其結晶軸可獲得所目的之結晶方位之方向。工件搬送馬達34與圖式省略之滾珠螺桿(ball screw)聯動，使上述工件保持部與工件28一體地上升(亦即切斷搬送)。該實施例所有關之工件搬送馬達34採用伺服馬達，兼作為檢測工件28之切斷搬送位置之搬送位置檢測手段。

於上述導引滾輪24A、24B之間張設的線W之上方，在工件28之左右兩側之位置設有研磨漿(slurry)供給裝置36A、36B。這些研磨漿供給裝置36A、36B針對高速驅動的各線W，同時供給被混合砥粒之加工液(研磨漿)，並使其附著於線W之表面。

從而，在該線鋸中，於導引滾輪24A、24B之間張設之複數根線W沿其長度方向被同時高速驅動，且一邊從研磨漿供給裝置36A、36B向這些線W供給加工液，一邊工件28被切斷搬送至這些線W之下方，從而由該工件28一次同時切出複數個晶圓。

接著，基於第2圖及第3圖說明上述張力操作裝置18A、18B之構造。此外，由於兩張力操作裝置18A、18B之構成彼此相同，因此，在這裡以張力操作裝置18A為例說明。

上述可動滑輪20A被配設於固定滑輪16A、22A彼此之間，各滑輪16A、20A、22A被配設成使線長藉由該可動滑輪20A之上下移動而變化。具體而言，若可動滑輪20A下降則線長增大，若可動滑輪20A上升則線長減小。

張力操作裝置18A具備可旋轉地支撐上述固定滑輪22A之支撐構件38及被安裝於該支撐構件38之張力檢測器40。該張力檢測器40檢測被施加於上述支撐構件38之荷重，進而檢測上述線W之張力。該張力檢測器40可利用將荷重元(load cell)、差動變壓器、及彈簧組合的結構等。

上述可動滑輪20A被安裝於槓桿(lever)44之前端，使得以與線W之軸方向垂直之旋轉軸42為中心可旋轉。在該槓桿44之基端被固定有旋轉中心軸46，該旋轉中心軸46被支撐於固定側板48。具體而言，在上述固定側板48被固定有搖動汽缸(cylinder)50，上述旋轉中心軸46連接於該搖動汽缸50。該搖動汽缸50藉由使上述槓桿44及可動滑輪20A以上述旋轉中心軸46為中心並與該旋轉中心軸46一體地旋轉而將該可動滑輪20A按壓於上述線W，從而向該線W賦予張力，並且藉由其按壓力之增減使上述張力變化。

在上述旋轉中心軸46上連接有編碼器52。該編碼器(encoder)52檢測上述旋轉中心軸46之旋轉角度位置、換言之可動滑輪20A之位置。

在該線鋸中具備如第4圖所示之控制器60。該控制器60係具備作為張力控制裝置之機能，具備張力調節部62、速度調節部64、及目標張力設定部66。

張力調節部62向驅動搖動汽缸50之空氣壓伺服電路54輸出電氣訊號，調節該搖動汽缸50之驅動進而調節線張力，以使藉由線送出側及線捲取側之各個張力檢測器40檢測出的線張力保持為藉由目標張力設定部66設定之目標張力T。具體而言，例如在上述線送出一捲取裝置10A側之檢測張力高於上述目標張力T之情況下，降低搖動汽缸50之驅動力，使與該搖動汽缸50連接的槓桿44朝上旋轉，從而使被支撐於該槓桿44之可動滑輪20A施加於上述線W之按壓力降低。反之，在上述檢測張力低於上述目標張力T之情況下，提高上述搖動汽缸50之驅動力使上述槓桿44朝下旋轉，從而沿第2圖所示之逆時針方向旋轉，使上述可動滑輪20A施加於上述線W之按壓力提高。

上述速度調節部64用於調節藉由上述線軸驅動馬達11A、11B之線軸驅動之方向及驅動速度，以使作為驅動線W並切斷工件28之步驟，依次反復執行後面詳述之前進驅動切斷步驟、第1切換步驟、後退驅動切斷步驟、及第2切換步驟。

在上述前進驅動切斷步驟，上述線W從上述線送出裝置10A送出且被上述線捲取裝置10B捲取，並進行上述工件28之切斷。反之，在上述後退驅動切斷步驟，被上述線捲取裝置10B捲取之線W從該線捲取裝置10B送出且被上述線送出裝置10A捲取，並進行上述工件之切斷。

在上述第1切換步驟，於上述前進驅動切斷步驟之後上述線W之驅動速度被減速，進而其驅動方向被逆轉之後該線之驅動速度被加速。據此轉移到下一個後退驅動切斷步驟。另一方面，在上述第2切換步驟，於上述後退驅動切斷步驟之後上述線之驅動速度被減速，其驅動方向被逆轉之後該線之驅動速度被加速，據此轉移到下一個上述前進驅動切斷步驟。

該實施例所有關之速度調節部64具備向線軸驅動馬達11A、11B分別輸出控制訊號而微調節兩線軸9A、9B之旋轉速度之機能，以使利用編碼器52檢測出的可動滑輪20A、20B之位置接近於預先被設定之基準位置(在這裡，如第2圖之實線所示，為槓桿44呈水平之位置)。例如，在從線軸9A送出線W且被線軸9B捲取之狀態下，當檢測出送出側之可動滑輪20A位於比基準位置更靠下方之位置時，為使可動滑輪20A上昇，使成為線送出裝置之側的線軸9A之旋轉速度減小，反之，當檢測出可動滑輪20A位於比基準位置更靠上方之位置時，為使可動滑輪20A下降，使成為線捲取裝置之側的線軸9A之旋轉速度增大。另一方面，當檢測出線捲取側之可動滑輪20B位於比基準位置更靠下方之位置時，為使可動滑輪20B上昇，使成為線捲取裝置之側的線軸9B之旋轉速度增大，反之，當檢測出可動滑輪20B位於比基準位置更靠上方之位置時，為使可動滑輪20B下降，使成為線捲取裝置之側的線軸9B之旋轉速度減小。

目標張力設定部66，如上所述，係設定線W之目標張力T並輸入至張力調節部62，並且具有根據上述各步驟使目標張力T如第5圖最下段所示變化之特徵。具體如下所述。

1.前進驅動切斷步驟：在該步驟，目標張力設定部66將上述線送出裝置10A側之目標張力T固定為第1目標張力T1，將上述線捲取裝置10B側之目標張力T固定為比上述第1目標張力T1低的第2目標張力T2。

2.第1切換步驟：在該步驟，目標張力設定部66將上述線捲取裝置10B側之目標張力T從上述第2目標張力T2逐漸提高至比該第2目標張力T2高的第3目標張力T3。反至，將上述線送出裝置10A側之目標張力T從上述第1目標張力T1逐漸降低至比該第1目標張力T1及上述第3目標張力T3低的第4目標張力T4。

進一步，作為該線鋸之特徵，上述目標張力設定部66，如第5圖之最上段及最下段所示，與上述線W之驅動速度之減速及加速時刻(timing)同步地使上述目標張力T提高及降低。具體而言，與上述線驅動速度之減速之開始大致同時，開始提高上述線捲取裝置10B側之目標張力T，並與該減速之完成大致同時達到上述第3目標張力T3(＞T2)。接著，與上述線驅動速度之減速完成後(與該完成大致同時)開始降低上述線送出裝置10A側之目標張力T，並與向後退側之加速完成大致同時達到上述第4目標張力T4(＜T1)。

3.後退驅動切斷步驟：在該步驟，目標張力設定部66將上述線捲取裝置10B側之目標張力T固定為上述第3目標張力T3，將上述線送出裝置10A之目標張力T固定為上述第4目標張力T4。

4.第2切換步驟：在該步驟，目標張力設定部66將上述線送出裝置10A側之目標張力T逐漸從上述第4目標張力T4提高至上述第1目標張力T1。反之，將上述線捲取裝置10B側之目標張力T逐漸從上述第3目標張力T3降低至上述第2目標張力T2。

進一步，作為該線鋸之特徵，上述目標張力設定部66，與上述第1切換步驟同樣，如第5圖之最上段及最下段所示，與上述線W之驅動速度之減速及加速時刻同步地使上述目標張力T提高及降低。具體而言，與上述線驅動速度之減速之開始大致同時，開始提高上述線送出裝置10A側之目標張力T，並與該減速之完成大致同時復歸到上述第1目標張力T1(＞T4)。接著，與上述線驅動速度之減速完成後(與該完成大致同時)開始降低上述線捲取裝置10B側之目標張力T，並與向後退側之加速完成大致同時復歸到上述第2目標張力T2(＜T3)。

從而，總結上述各步驟與目標張力之間的關係，如下表所示。

另外，關於上述各目標張力T1至T4之具體數值可適宜設定。在該實施例中，上述第1目標張力T1及上述第3目標張力T3分別被設定為25(N)，上述第2目標張力T2及上述第4目標張力T4分別被設定為13(N)。又，上述各切換步驟之目標張力T之轉移速度被設定為使該轉移與該切換步驟之線驅動速度之減速結束時點(亦即線W之停止時點)大致一致。

下面，參照第5圖之時序圖表(time chart)說明上述各步驟之線鋸之動作之詳細內容以及線驅動速度和線張力之控制內容。

1.前進驅動切斷步驟

在該步驟，線送出裝置10A之線軸9A沿送出方向被旋轉驅動，線捲取裝置10B之線軸9B沿捲取方向被驅動，從而線W從上述線軸9A送出並被上述線軸9B捲取。如上伴隨線W之前進驅動，工件28被切斷搬送，據此，進行該工件28之切斷。

此時，目標張力設定部66將線送出裝置10A側之線W之目標張力T設定為第1目標張力T1(例如25N)，將線捲取裝置10B側之線W之目標張力T設定為第2目標張力T2(例如13N)。接受該目標張力T之設定，張力調節部62調節各搖動汽缸50之驅動力，以使線送出裝置10A側之張力檢測器40之檢測張力及線捲取裝置10B側之張力檢測器40之檢測張力分別接近於上述第1目標張力T1及上述第2目標張力T2。

另一方面，設於張力操作裝置18A的編碼器52之檢測訊號(亦即，可動滑輪20A之位置檢測訊號)被讀入至速度調節部64。該速度調節部64比較上述可動滑輪20A之檢測位置與預先被設定之基準位置，當前者高於後者時，為了使可動滑輪20A降低，使作為線送出線軸之線軸9A之旋轉速度增大。反之，當前者低於後者時，為了使可動滑輪20A上昇，使作為線送出側線軸之線軸9A之旋轉速度減小。藉由如上之控制，在穩定狀態下，可動滑輪20A大致保持於基準位置，來確保其移動餘裕。

藉由以上之控制，線送出裝置10A側之線張力大致保持為上述第1目標張力T1，據此，於導引滾輪24A、24B之間確保工件28之良好的切斷所必要的線張力。另一方面，線捲取裝置10B側之線張力被抑制為大致上述第2目標張力T2，因此，於該線捲取裝置10B之線軸9B之線W之陷入被緩和，施加於該裝置10B之機械性負擔減輕。

2.第1切換步驟

於上述前進驅動切斷步驟執行預先被設定之第1線長(例如300m)之後，轉移到第1切換步驟。在該步驟，首先，上述線W之驅動逐漸被減速(前進減速)。並且，其速度成為0的時點，亦即，於前進減速結束之時點，將線W之驅動方向相反地逐漸加速(後退加速)，轉移到下一個後退驅動切斷步驟。亦即，線W之驅動從前進驅動緩緩地切換至後退驅動。

此時，作為該線鋸之特徵，目標張力設定部66進行如第5圖之最下段所示之目標張力之變更。具體而言，與上述線W之減速大致同時，將線捲取裝置10B側之目標張力T從至此為止的第2目標張力T2開始提高，並於上述的前進減速結束為止使其達到第3目標張力T3(在該實施例中為25N)。進一步，從該前進減速結束之時點開始，將線送出裝置10A側之目標張力T從至此為止的第1目標張力T1開始降低，至後退加速結束為止，使其達到第4目標張力T4(例如13N)。伴隨於此，實際的線張力也分別增減，當後退驅動開始之時，線捲取裝置10B側之線張力提高至大致25N，進而，當後退加速結束之時，線送出裝置10A側之線張力降低至大致13N。

3．後退驅動切斷步驟

在該步驟，線捲取裝置10B之線軸9B沿送出方向被旋轉驅動，線送出裝置10A之線軸9A沿捲取方向被驅動，據此，線W從上述線軸9B送出並被上述線軸9A捲取。此時，關於張力控制，由於已經完全轉移至將線捲取裝置10B側之線張力接近於第3目標張力T3，且將線送出裝置10A側之線張力接近於第4目標張力T4之控制，因此，與上述前進驅動切斷步驟同樣，於導引滾輪24A、24B之間確保工件28之良好的切斷所必要之線張力(≒25N)，並且，抑制成為捲取側的線送出裝置10A側之線張力(≒13N)，可減輕該裝置10A之強度負擔。

4．第2切換步驟

於上述後退驅動切斷步驟被執行比上述第1線長短的第2線長(例如100m)之後轉移到第2切換步驟。在該步驟，也首先為上述線W之驅動逐漸被減速(後退減速)， 其速度成為0之時點亦即後退減速結束之時點，線W之驅動方向被逆轉且逐漸加速(前進加速)，轉移到上述前進驅動切斷步驟。亦即，線W之驅動從後退驅動緩緩切換為前進驅動。

此時，上述目標張力設定部66也進行如第5圖之最下段所示之張力變更。具體而言，與上述線W之減速大致同時，將上述線送出裝置10A側之目標張力T從至此為止的第4目標張力T4開始提高，並與該減速之完成大致同時復歸到上述第1目標張力T1。進一步，從上述後退減速結束之時點開始，將上述線捲取裝置10B側之目標張力T從至此為止的第3目標張力T3開始降低，並至該前進加速結束為止使該線捲取裝置10B側之目標張力T復歸到第2目標張力T2。伴隨於此，實際的線張力也分別復歸，當在下一個前進驅動切斷步驟重新開始前進驅動之時，線送出裝置10A側之線張力提高至大致25N，反之，線捲取裝置10B側之線張力降低至大致13N。

如上所述，根據該裝置，雖然採用反復線W之前進-後退之往復驅動方式，但有效利用分別被設於線送出裝置10A側及線捲取裝置10B側之張力調整用之張力操作裝置18A、18B，在確保穩定之切斷所必要的線張力的情況下只降低捲取側之線張力，能夠減輕該捲取側之線軸(前進時為線軸9B，後退時為線軸9A)之強度負擔。而且，於線反轉之第1切換步驟及第2切換步驟之間進行其張力之切換，因此，可防止起因於該張力之切換的時間浪費。

進一步，在該線鋸中，上述第1切換步驟之線送出裝置10A側之線目標張力之降低、及上述第2切換步驟之線捲取裝置10B側之線目標張力之降低分別於線驅動速度之減速完成之後開始，因此，可避免起因於該目標張力之降低而工件28之加工精度降低之情況。

例如，如第5圖之中段所示之比較例，當上述第1切換步驟之線送出裝置10A側之線目標張力之降低、及上述第2切換步驟之線捲取裝置10B側之線目標張力之降低分別與線驅動速度之減速開始大致同時開始的情況下，換言之，當該線目標張力之降低於第5圖所示之減速期間A1、A2內分別進行的情況下，藉由其目標張力之降低而實際張力之降低的線W之部分，有可能會進入第1圖所示之捲繞於導引滾輪24A、24B、26B、26A之區域，亦即進入於直接參與工件28之切斷的區域，該情況會給工件28之加工精度帶來壞影響。然而，如第5圖之最下段所示，於上述減速期間A1、A2分別結束之後，上述第1切換步驟之線送出裝置10A側之線目標張力之降低、及上述第2切換步驟之線捲取裝置10B側之線目標張力之降低開始，據此，能夠確實地防止起因於該目標張力之降低的實際張力降低之線W之部分進入到上述的參與切斷區域的情況，可防止起因於此的工件加工精度之降低。

此外，在第5圖之最下段之所示例中，與上述各切換步驟中之減速期間A1、A2之開始同時地分別開始低張力側之目標張力之提高，上述減速期間A1、A2之結束之後目標張力之降低分別被開始，但關於其時點也可賦予時間差。例如，如第6圖之最下段所示，可以遲於上述各減速期間A1、A2之開始時點而開始目標張力之提高，也可以遲於上述各減速期間A1、A2之結束時點而開始目標張力之降低。要緊的是，目標張力之切換與各切換步驟同步進行，且目標張力之降低於線驅動速度之減速結束之後(包含與結束同時之情況)開始並於向相反方向之線驅動速度之加速結束為止完成即可。

又，在上述的實施例中，第1切換步驟與第2切換步驟雙方作為張力切換期間而被利用，但是，也可以採用其中任一個切換步驟作為該一個張力切換期間利用，而另一個切換期間與該另一個切換步驟錯開之方式。在該方式中，由於可消除該一個張力切換期間之時間浪費，相應地可提高作業效率。

此外，本發明例如也可採用如下之方式。‧在本發明中，第1目標張力T1與第3目標張力T3也可以不相等，同樣，第2目標張力T2與第4目標張力T4也可以不相等。這些目標張力可在滿足上述目標張力T2、T4分別低於目標張力T1、T3之條件的範圍內適宜設定。

‧在本發明中，張力控制之具體構成不特別限定。例如，只要充分確保上述可動滑輪20A、20B之可動範圍，則可省略藉由速度調節部64之線驅動速度之微調節。又，也可於工件切斷初期進行暫時提高線張力(參與工件28之切斷的線部分之張力)之控制。

‧各張力操作裝置18A、18B之具體構造也可適宜變更。例如，上述可動滑輪20A、20B也可採用一邊藉由軌道等導引，一邊藉由送出螺桿機構、齒條與小齒輪機構(Rack and Pinion Mechanism)等直線變位之構成。又，在利用上述槓桿44之情況下，使該槓桿44搖動之手段也不限於上述搖動汽缸50，例如也可利用伺服馬達。

如上所述，本發明係提供一種能夠有效地削減使線鋸之線之驅動方向逆轉時因線之張力之調節而造成的時間浪費，並且能夠防止起因於其張力調節的工件之加工精度降低的技術。具體而言，本發明係提供一種利用從線送出裝置送出之切斷用線捲繞於複數個導引滾輪之周圍並被線捲取裝置捲取之線鋸，藉由一邊使其導引滾輪彼此之間排列之複數根線向軸方向驅動，一邊藉由使工件與這些線進行相對移動而切斷搬送，從而切斷該工件的方法。該方法包括以下步驟：前進驅動切斷步驟，進行上述工件之切斷，在該前進驅動切斷步驟中，從上述線送出裝置送出上述線並藉由上述線捲取裝置捲取該線，並且藉由向從上述線送出裝置送出之線的張力按壓送出側張力賦予構件以將該線調節為接近於第1目標張力，且向藉由上述線捲取裝置被捲取的線的張力按壓捲取側張力賦予構件以將該線調節為接近於比上述第1目標張力更低的第2目標張力；後退驅動切斷步驟，進行上述工件之切斷，在該後退驅動切斷步驟中，藉由上述線捲取裝置捲取之上述線反過來從該線捲取裝置送出並藉由上述線送出裝置捲取該線，並且向從上述線捲取裝置送出之線按壓上述捲取側張力賦予構件以將該線之張力調節為接近於比上述第2目標張力更高的第3目標張力，且向藉由線送出裝置捲取之線按壓上述送出側張力賦予構件以將該線之張力調節為接近於比上述第1目標張力及上述第3目標張力更低的第4目標張力；第1切換步驟，在上述前進驅動切斷步驟之後使上述線之驅動速度減速，進而使其驅動方向逆轉後使該線之驅動速度加速，並轉移到上述後退驅動切斷步驟；第2切換步驟，在上述後退驅動切斷步驟之後使上述線之驅動速度減速，在使其驅動方向逆轉後使該線之驅動速度加速，並轉移到上述前進驅動切斷步驟；其中，上述前進驅動切斷步驟、上述第1切換步驟、上述後退驅動切斷步驟、及上述第2切換步驟依次反復被執行，在上述第1切換步驟，在上述線之驅動速度的減速過程中藉由上述捲取側張力賦予構件進行上述線之張力調節，將上述線捲取裝置側的線之目標張力從上述第2目標張力提高至上述第3目標張力，且在該線之驅動速度之減速完成之後藉由上述送出側張力賦予構件進行上述線之張力調節，將上述線送出裝置側的線之目標張力從上述第1目標張力降低至上述第4目標張力。

根據該方法，在上述第1切換步驟之線驅動方向之反轉之際，可利用該第1切換步驟之線減速以及之後的加速所需之時間切換線張力，因此，沒有為了該張力切換所發生的時間浪費。並且，將線張力從第1目標張力降低至第4目標張力之調節於上述線減速完成之後進行，因此，可防止因該調節而張力降低之線部分進入導引滾輪間的切斷加工區域，可防止起因於此的工件加工之加工精度降低。

又，本發明所有關之工件切斷方法，也可以代替在上述第1切換步驟之張力之轉移，或者在上述第1切換步驟之目標張力之轉移之上，在第2切換步驟，藉由上述捲取側張力賦予構件進行上述線之張力調節，將上述線捲取裝置側的線之目標張力從上述第3目標張力降低至上述第2目標張力，並且，藉由上述送出側張力賦予構件進行上述線之張力調節，將上述線送出裝置側的線之目標張力從上述第4目標張力提高至上述第1目標張力。據此，可削除起因於上述線張力之切換之時間浪費。在該第2切換步驟，也在上述線之驅動速度之減速過程中進行將線之目標張力從上述第4目標張力提高至上述第1目標張力之張力調節，且在其線之驅動速度之減速完成之後進行將線之目標張力從上述第3目標張力降低至上述第2目標張力之控制，據此，可防止因該調節而張力降低之線部分進入導引滾輪間的切斷加工區域，可防止起因於此的工件加工之加工精度降低。

作為用於在上述各步驟調節線張力之操作，較為理想的是，包含檢測上述線之實際張力之操作、和將上述各張力賦予構件按壓於上述線之指定部位，以使該檢測出的張力接近於目標張力之操作。

又，本發明係提供一種利用切斷用線在複數處同時切斷工件之線鋸。該線鋸包括：複數個導引滾輪，其被配設為旋轉中心軸相互平行，上述線被捲繞於其周圍；線送出裝置，其用於將上述線送出至上述導引滾輪；線捲取裝置，其用於從上述導引滾輪捲取上述線；切斷搬送裝置，藉由使張設於上述導引滾輪中特定導引滾輪之間的複數根線與工件相對移動，從而向該線切斷搬送該工件而切斷該工件；線驅動控制裝置，其控制上述線送出裝置及線捲取裝置之作動，從而以前進驅動切斷步驟、第1切換步驟、後退驅動切斷步驟、及第2切換步驟之順序反復執行，其中，上述前進驅動切斷步驟一邊從上述線送出裝置送出上述線並藉由上述線捲取裝置捲取該線，一邊進行上述工件之切斷；上述後退驅動切斷步驟一邊將藉由上述線捲取裝置捲取之上述線反過來從該線捲取裝置送出且藉由上述線送出裝置捲取該線，一邊進行上述工件之切斷；上述第1切換步驟在上述前進驅動切斷步驟之後使上述線之驅動速度減速，而且使其驅動方向逆轉之後使該線之驅動速度加速，並轉移到上述後退驅動切斷步驟；上述第2切換步驟在上述後退驅動切斷步驟之後使上述線之驅動速度減速，在使其驅動方向逆轉之後使該線之驅動速度加速，並轉移到上述前進驅動切斷步驟；送出側張力操作裝置，其包含在上述線送出裝置與上述各導引滾輪之間的區域被按壓於上述線之送出側張力賦予構件，藉由改變其按壓力，使該線之張力變化；捲取側張力操作裝置，其包含在上述線捲取裝置與上述各導引滾輪之間的區域被按壓於上述線之捲取側張力賦予構件，藉由改變其按壓力，使該線之張力變化；張力控制裝置，其使上述各張力操作裝置作動，以使在上述前進驅動切斷步驟使從上述線送出裝置送出的線之張力接近於第1目標張力且使藉由上述線捲取裝置捲取的線之張力接近於比第1目標張力低的第2目標張力，在上述後退驅動切斷步驟使從上述線捲取裝置送出的線之張力接近於比上述第2目標張力高的第3目標張力且使藉由上述線送出裝置捲取的線之張力接近於比上述第1目標張力及上述第3目標張力低的第4目標張力，其中，該張力控制裝置使上述各張力操作裝置作動，使得在上述第1切換步驟，在上述線之驅動速度之減速過程中進行上述線之調節以將上述線捲取裝置側的線之目標張力從上述第2目標張力提高至上述第3目標張力，且在該線之驅動速度之減速完成後進行上述線之張力調節以將上述線送出裝置側的線之目標張力從上述第1目標張力降低至上述第4目標張力。

又，在本發明所有關之線鋸中，也可以是，代替上述第1切換步驟之目標張力之轉移，或者在上述第1切換步驟之目標張力之轉移之上，上述張力控制裝置使上述各張力操作裝置作動，使得在上述第2切換步驟，進行上述線之張力調節，將上述線捲取裝置側的線之目標張力從上述第3目標張力降低至上述第2目標張力，且進行上述線之張力調節，將上述線送出裝置側的線之目標張力從上述第4目標張力提高至上述第1目標張力。在該線鋸中也可削除起因於上述線張力之切換之時間浪費，並且在該第2切換步驟，藉由在上述線之驅動速度之減速過程中進行將線之目標張力從上述第4目標張力提高至上述第1目標張力之張力調節，且在其線之驅動速度之減速完成之後進行將線之目標張力從上述第3目標張力降低至上述第2目標張力之控制，可防止因該調節而張力降低之線部分進入導引滾輪間的切斷加工區域，可防止起因於此的工件加工之加工精度降低。

作為上述張力控制裝置，較為理想的是，包含：張力檢測器，在從上述線送出裝置至導引滾輪之區域以及從導引滾輪至上述線捲取裝置之區域檢測線之張力；目標張力設定部，根據上述各步驟，設定上述線之目標張力；張力調節部，使上述張力操作裝置作動，以使從上述各區域檢測出的張力接近於藉由上述目標張力設定部設定之目標張力。

亦即，根據本發明，有效利用藉由將張力賦予構件按壓於線而操作該線之張力的裝置，可在有效地只降低捲取側之線張力的情況下，以時間浪費少的有效率的運行來切斷工件，並且，可防止起因於該張力調節之工件加工精度降低。

W．．．線

10A、10B．．．線送出-捲取裝置

24A、24B．．．導引滾輪

26A、26B．．．導引滾輪

12A、14A、16A．．．固定滑輪

12B、14B、16B．．．固定滑輪

18A、18B．．．送出側張力操作裝置

9A、9B．．．線軸

11A、11B．．．線軸驅動馬達

20A、20B．．．可動滑輪

25．．．線驅動馬達

28．．．工件

30．．．工件搬送裝置

32．．．工件保持部

34．．．工件搬送馬達

36A、36B．．．研磨漿供給裝置

40．．．張力檢測器

44．．．槓桿

46．．．旋轉中心軸

50．．．搖動汽缸

52．．．編碼器

第1圖係表示本發明之實施例所有關的線鋸之整體結構圖。

第2圖係表示設於上述線鋸之張力操作裝置之正視圖。

第3圖係表示上述張力操作裝置之俯視圖。

第4圖係表示裝備於上述線鋸之控制器之機能構成之方塊圖。

第5圖係表示上述線鋸之線驅動速度及線目標張力之時間變化之曲線圖。

第6圖係表示上述線驅動速度及上述線目標張力之時間變化之變形例之曲線圖。

W．．．線

9A、9B．．．線軸

10A、10B．．．線送出-捲取裝置

11A、11B．．．線軸驅動馬達

12A、14A、16A．．．固定滑輪

12B、14B、16B．．．固定滑輪

18A、18B．．．張力操作裝置

20A、20B．．．可動滑輪

22A、22B．．．固定滑輪

24A、24B．．．導引滾輪

25．．．線驅動馬達

26A、26B．．．導引滾輪

28．．．工件

30．．．工件搬送裝置

36A、36B．．．研磨漿供給裝置

32．．．工件保持部

34．．．工件搬送馬達

Claims (8)

1. 一種藉由線鋸之工件的切斷方法，利用從線送出裝置送出之切斷用線捲繞於複數個導引滾輪之周圍並被線捲取裝置捲取之線鋸，藉由一邊使其導引滾輪彼此之間排列之複數根線向軸方向驅動，一邊藉由使工件與這些線進行相對移動而切斷搬送，從而切斷該工件，其中包括以下步驟：前進驅動切斷步驟，進行上述工件之切斷，在該前進驅動切斷步驟中，從上述線送出裝置送出上述線並藉由上述線捲取裝置捲取該線，並且藉由向從上述線送出裝置送出之線的張力按壓送出側張力賦予構件以將該線調節為接近於第1目標張力，且向藉由上述線捲取裝置被捲取的線的張力按壓捲取側張力賦予構件以將該線調節為接近於比上述第1目標張力更低的第2目標張力；後退驅動切斷步驟，進行上述工件之切斷，在該後退驅動切斷步驟中，藉由上述線捲取裝置捲取之上述線反過來從該線捲取裝置送出並藉由上述線送出裝置捲取該線，並且向從上述線捲取裝置送出之線按壓上述捲取側張力賦予構件以將該線之張力調節為接近於比上述第2目標張力更高的第3目標張力，且向藉由線送出裝置捲取之線按壓上述送出側張力賦予構件以將該線之張力調節為接近於比上述第1目標張力及上述第3目標張力更低的第4目標張力；第1切換步驟，在上述前進驅動切斷步驟之後使上述 線之驅動速度減速，進而使其驅動方向逆轉後使該線之驅動速度加速，並轉移到上述後退驅動切斷步驟；及第2切換步驟，在上述後退驅動切斷步驟之後使上述線之驅動速度減速，在使其驅動方向逆轉後使該線之驅動速度加速，並轉移到上述前進驅動切斷步驟；其中，上述前進驅動切斷步驟、上述第1切換步驟、上述後退驅動切斷步驟、及上述第2切換步驟依次反復被執行，在上述第1切換步驟，在上述線之驅動速度的減速過程中藉由上述捲取側張力賦予構件進行上述線之張力調節，將上述線捲取裝置側的線之目標張力從上述第2目標張力提高至上述第3目標張力，且在該線之驅動速度之減速完成之後藉由上述送出側張力賦予構件進行上述線之張力調節，將上述線送出裝置側的線之目標張力從上述第1目標張力降低至上述第4目標張力。
2. 一種藉由線鋸之工件的切斷方法，利用從線送出裝置送出之切斷用線捲繞於複數個導引滾輪之周圍並被線捲取裝置捲取之線鋸，藉由一邊使其導引滾輪彼此之間排列之複數根線沿軸方向驅動，一邊使工件與這些線進行相對移動，而切斷搬送，從而切斷該工件，其中包括以下步驟：前進驅動切斷步驟，進行上述工件之切斷，在該前進驅動切斷步驟中，從上述線送出裝置送出上述線並藉由上述線捲取裝置捲取該線，並且藉由向從上述線送出裝置送出之線的張力按壓送出側張力賦予構件以將該線調節為接 近於第1目標張力，且向藉由上述線捲取裝置被捲取的線的張力按壓捲取側張力賦予構件以將該線調節為接近於比上述第1目標張力更低的第2目標張力；後退驅動切斷步驟，進行上述工件之切斷，在該後退驅動切斷步驟中，藉由上述線捲取裝置捲取之上述線反過來從該線捲取裝置送出並藉由上述線送出裝置捲取該線，並且向從上述線捲取裝置送出之線按壓上述捲取側張力賦予構件以將該線之張力調節為接近於比上述第2目標張力更高的第3目標張力，且向藉由線送出裝置捲取之線按壓上述送出側張力賦予構件以將該線之張力調節為接近於比上述第1目標張力及上述第3目標張力更低的第4目標張力；第1切換步驟，在上述前進驅動切斷步驟之後使上述線之驅動速度減速，進而使其驅動方向逆轉後使該線之驅動速度加速，並轉移到上述後退驅動切斷步驟；第2切換步驟，在上述後退驅動切斷步驟之後使上述線之驅動速度減速，在使其驅動方向逆轉後使該線之驅動速度加速，並轉移到上述前進驅動切斷步驟；其中，上述前進驅動切斷步驟、上述第1切換步驟、上述後退驅動切斷步驟、及上述第2切換步驟依次反復被執行，在上述第2切換步驟，在上述線之驅動速度的減速過程中藉由上述送出側張力賦予構件進行上述線之張力調節，將上述線送出裝置側的線之目標張力從上述第4目標張力提高至上述第1目標張力，且在該線之驅動速度之減 速完成之後藉由上述捲取側張力賦予構件進行上述線之張力調節，將上述線捲取裝置側的線之目標張力從上述第3目標張力降低至上述第2目標張力。
3. 如申請專利範圍第2項所述之藉由線鋸之工件的切斷方法，其中，在上述第1切換步驟，在上述線之驅動速度的減速過程中藉由上述捲取側張力賦予構件進行上述線之張力調節，將上述線捲取裝置側的線之目標張力從上述第2目標張力提高至上述第3目標張力，且在該線之驅動速度之減速完成之後藉由上述送出側張力賦予構件進行上述線之張力調節，將上述線送出裝置側的線之目標張力從上述第1目標張力降低至上述第4目標張力。
4. 如申請專利範圍第1至3項中任一項所述之藉由線鋸之工件的切斷方法，其中，作為用於上述各步驟的線之張力調節之操作，包含：檢測上述線之實際張力之操作；及向上述線之指定部位按壓上述各張力賦予構件，以使該檢測出的張力接近於目標張力之操作。
5. 一種線鋸，利用切斷用線，在複數處同時切斷工件，包括：複數個導引滾輪，其被配設為旋轉中心軸相互平行，上述線被捲繞於其周圍；線送出裝置，其用於將上述線送出至上述導引滾輪；線捲取裝置，其用於從上述導引滾輪捲取上述線；切斷搬送裝置，藉由使張設於上述導引滾輪中特定導 引滾輪之間的複數根線與工件相對移動，從而向該線切斷搬送該工件而切斷該工件；線驅動控制裝置，其控制上述線送出裝置及線捲取裝置之作動，從而以前進驅動切斷步驟、第1切換步驟、後退驅動切斷步驟、及第2切換步驟之順序反復執行，其中，上述前進驅動切斷步驟一邊從上述線送出裝置送出上述線並藉由上述線捲取裝置捲取該線，一邊進行上述工件之切斷；上述後退驅動切斷步驟一邊將藉由上述線捲取裝置捲取之上述線反過來從該線捲取裝置送出且藉由上述線送出裝置捲取該線，一邊進行上述工件之切斷；上述第1切換步驟在上述前進驅動切斷步驟之後使上述線之驅動速度減速，而且使其驅動方向逆轉之後使該線之驅動速度加速，並轉移到上述後退驅動切斷步驟；上述第2切換步驟在上述後退驅動切斷步驟之後使上述線之驅動速度減速，在使其驅動方向逆轉之後使該線之驅動速度加速，並轉移到上述前進驅動切斷步驟；送出側張力操作裝置，其包含在上述線送出裝置與上述各導引滾輪之間的區域被按壓於上述線之送出側張力賦予構件，藉由改變其按壓力，使該線之張力變化；捲取側張力操作裝置，其包含在上述線捲取裝置與上述各導引滾輪之間的區域被按壓於上述線之捲取側張力賦予構件，藉由改變其按壓力，使該線之張力變化；張力控制裝置，其使上述各張力操作裝置作動，以使 在上述前進驅動切斷步驟使從上述線送出裝置送出的線之張力接近於第1目標張力且使藉由上述線捲取裝置捲取的線之張力接近於比第1目標張力低的第2目標張力，在上述後退驅動切斷步驟使從上述線捲取裝置送出的線之張力接近於比上述第2目標張力高的第3目標張力且使藉由上述線送出裝置捲取的線之張力接近於比上述第1目標張力及上述第3目標張力低的第4目標張力，其中，該張力控制裝置使上述各張力操作裝置作動，使得在上述第1切換步驟，在上述線之驅動速度之減速過程中進行上述線之調節以將上述線捲取裝置側的線之目標張力從上述第2目標張力提高至上述第3目標張力，且在該線之驅動速度之減速完成後進行上述線之張力調節以將上述線送出裝置側的線之目標張力從上述第1目標張力降低至上述第4目標張力。
6. 一種線鋸，其利用切斷用線，在複數處同時切斷工件，包括：複數個導引滾輪，其被配設為旋轉中心軸相互平行，上述線被捲繞於其周圍；線送出裝置，其用於將上述線送出至上述導引滾輪；線捲取裝置，其用於從上述導引滾輪捲取上述線；切斷搬送裝置，藉由使張設於上述導引滾輪中特定導引滾輪之間的複數根線與工件相對移動，從而向該線切斷搬送該工件而切斷該工件；線驅動控制裝置，其控制上述線送出裝置及線捲取裝 置之作動，從而以前進驅動切斷步驟、第1切換步驟、後退驅動切斷步驟、及第2切換步驟之順序反復執行，其中，上述前進驅動切斷步驟一邊從上述線送出裝置送出上述線且藉由上述線捲取裝置捲取該線，一邊進行上述工件之切斷；上述後退驅動切斷步驟一邊將藉由上述線捲取裝置捲取之上述線反過來從該線捲取裝置送出且藉由上述線送出裝置捲取該線，一邊進行上述工件之切斷；上述第1切換步驟在上述前進驅動切斷步驟之後使上述線之驅動速度減速，而且使其驅動方向逆轉之後使該線之驅動速度加速，並轉移到上述後退驅動切斷步驟；上述第2切換步驟在上述後退驅動切斷步驟之後使上述線之驅動速度減速，在使其驅動方向逆轉之後使該線之驅動速度加速，並轉移到上述前進驅動切斷步驟；送出側張力操作裝置，其包含在上述線送出裝置與上述各導引滾輪之間的區域被按壓於上述線之送出側張力賦予構件，藉由改變其按壓力，使該線之張力變化；捲取側張力操作裝置，其包含在上述線捲取裝置與上述各導引滾輪之間的區域被按壓於上述線之捲取側張力賦予構件，藉由改變其按壓力，使該線之張力變化；張力控制裝置，其使上述各張力操作裝置作動，以使在上述前進驅動切斷步驟使從上述線送出裝置送出的線之張力接近於第1目標張力且使藉由上述線捲取裝置捲取的線之張力接近於比第1目標張力低的第2目標張力，在上 述後退驅動切斷步驟使從上述線捲取裝置送出的線之張力接近於比上述第2目標張力高的第3目標張力且使藉由上述線送出裝置捲取的線之張力接近於比上述第1目標張力及上述第3目標張力低的第4目標張力，其中，上述張力控制裝置使上述各張力操作裝置作動，使得在上述第2切換步驟，在上述線之驅動速度之減速過程中進行上述線之調節以將上述線送出裝置側的線之目標張力從上述第4目標張力提高至上述第1目標張力，且在該線之驅動速度之減速完成後進行上述線之張力調節以將上述線捲取裝置側的線之目標張力從上述第3目標張力降低至上述第2目標張力。
7. 如申請專利範圍第6項所述之線鋸，其中，上述張力控制裝置使上述各張力操作裝置作動，使得在上述第1切換步驟，在上述線之驅動速度的減速過程中進行上述線之張力調節以將上述線捲取裝置側的線之張力從第2目標張力提高至上述第3目標張力，且在上述線之驅動速度之減速完成之後進行上述線之張力調節以將上述線送出裝置側的線之張力從上述第1目標張力降低至上述第4目標張力。
8. 如申請專利範圍第5至7項中任一項所述之線鋸，其中，上述張力控制裝置包含：張力檢測器，在從上述線送出裝置至導引滾輪之區域以及從導引滾輪至上述線捲取裝置之區域檢測線之張力；目標張力設定部，根據上述各步驟，設定上述線之目 標張力；張力調節部，使上述各張力操作裝置作動，以使在上述各區域檢測出的張力接近於藉由上述目標張力設定部設定之目標張力。