TWI484311B - 流體控制器及流量控制裝置 - Google Patents

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Hiroshi Ogawa
Toshihide Yoshida
Kohei Shigyou
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Fujikin Kk
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Description

流體控制器及流量控制裝置
本發明係關於流體控制器及使用此種流體控制器之流量控制裝置，該流體控制器具備閥及檢測閥之開閉狀態的極限開關，且適合於例如進行流量控制之裝置上使用。
作為以本發明為對象之流量控制裝置，在專利文獻1中提出了一種流量控制裝置(範圍可變型之流量控制裝置)，其具備：閥體，形成有所需之流體通路；控制閥、感測器及切換閥，係安裝於閥體上；第一節流孔，係設在源自控制閥之出口通路；第二節流孔，係設在源自切換閥之出口通路；及控制部；當關閉切換閥時，進行第一節流孔中之流量的控制，當開啟切換閥時，進行第二節流孔中之流量的控制。
[專利文獻1]特開2007-4644號公報
在專利文獻1之流量控制裝置的切換閥中，以利用極限開關來檢測其啟閉狀態較為適宜。在閥內部設置極限開關的情況下，會有閥的構成變得複雜而招致大型化，且有不容易進行極限開關的位置調整的問題，所以將極限開關設於閥之外側較為適宜，但在此情況下，需要有用來配置極限開關的空間，因而，組合了閥及極限開關之流體控制器的小型化成為課題。
本發明之目的在於，提供一種流體控制器，其能達成組合了閥及極限開關之流體控制器的小型化。
本發明之流體控制器，具備進行流體通路之啟閉的閥、及檢測閥之動作的極限開關；該流體控制器之特徵為：閥具有一部分從殼體之開口突出，且隨著閥之啟閉作直線移動而抵接於極限開關的移動構件，極限開關係面對著移動構件而被安裝成可進行位置調整。
極限開關可直接使用市面上販售的產品，因此，能以簡單之構成檢測閥之啟閉狀態。另外，作為閥之構成要素的移動構件係具有從殼體之開口突出的突出部，在配置極限開關時，極限開關係面對著此移動構件而被安裝成可進行位置調整，藉此，可容易配置極限開關且可減少使用空間，從而，能達成組合了閥及極限開關之流體控制器的小型化。
至於閥並無特別之限定，通常，該閥具備：閥體，係設有流體通路；殼體，係設於閥體上方；閥啟閉體，係用以啟閉流體通路；閥桿，係藉由上昇或下降而使閥啟閉體朝開啟方向或關閉方向移動；及致動器，係用以驅動閥桿。
移動構件例如可為設於閥桿之上端部的活塞，該閥桿係藉由上下移動而透過閥啟閉體使流體通路啟閉。移動構件不限定於上述構成，閥桿之上端部本身亦可作為抵接於極限開關的移動構件來使用，另外，於閥桿上安裝與活塞不同之構件，將其作為抵接於極限開關的移動構件來使用亦可。
此流體控制器係適合作為例如流量控制裝置中的切換閥使用，但並不限定於此種情況，其還可使用於需附設有檢測啟閉狀態之極限開關的閥的各種用途上。
較佳為，流體控制器還具備極限開關之定位手段。
較佳為，極限開關之定位手段具備：第一螺栓，係固定於閥之閥體上；第二螺栓，係固定於極限開關上；及連結螺桿，一端設有與第一螺栓螺合之內螺紋部，另一端設有與第二螺栓螺合之內螺紋部，用以連結兩個螺栓；且第一螺栓及第二螺栓作成螺距為不同者。
螺栓及連結螺桿之軸方向係設為與閥之閥桿的移動方向平行，極限開關之定位手段係靠近閥配置。另外，第一螺栓及第二螺栓係作成相同方向的螺紋(例如，彼此為右螺紋)。根據此極限開關定位手段，當預先防止第一螺栓及第二螺栓之共轉的狀態下使連結螺桿旋轉時，連結螺桿係隨著與螺距大之螺栓的螺合而朝此方向移動，但連結螺桿相對於螺距小之螺栓還是朝相同方向移動，所以，極限開關定位手段的兩端間間隔(從第一螺栓之頭部至第二螺栓的頭部的距離)的變化量，成為第一螺栓與第二螺栓之螺距差乘上連結螺桿之旋轉數。如此一來，在使連結螺桿旋轉之情況下，極限開關之移動量成為依照螺距之差的微量，從而可精度良好地對極限開關進行定位。
欲使螺距不同時，藉由改變螺栓直徑而可容易進行，另外，在相同螺徑方面，藉由將一方作成粗牙螺紋而另一方作成細牙螺紋，亦可使螺距不同。此種螺栓在市面上有販售，另外，其製作亦可容易進行。另外，不只是使用一般使用之粗牙螺紋，還使用細螺紋，藉此，可使用依照規格之螺栓，獲得需要之螺距差。
例如，第一螺栓係設成具有與連結螺桿螺合之連結側外螺紋部、與設於閥之閥體上的內螺紋部螺合之固定側外螺紋部、及供工具卡合之卡合部(例如，六角柱形之卡合部)，第二螺栓係設成具有與連結螺桿螺合之連結側外螺紋部、與設於極限開關(或安裝於極限開關上之連接件)上的內螺紋部螺合之固定側外螺紋部、及供工具卡合之卡合部(例如，六角柱形之卡合部)。在此情況，第一螺栓與第二螺栓之螺距不同係指在第一螺栓之連結側外螺紋部與第二螺栓之連結側外螺紋部的螺距不同。例如，當第一螺栓之連結側外螺紋部及第二螺栓之連結側外螺紋部中的任一方設成為M4之粗牙螺紋(螺距為0.7)，而另一方設成為M3之細螺紋(螺距為0.35)時，使連結螺桿旋轉一圈時之極限開關的移動量成為0.7-0.35=0.35(mm)。
極限開關定位手段與閥之固定，係以在閥之閥體上設置與第一螺栓之固定側外螺紋部對應的內螺紋部，且將第一螺栓旋入閥之閥體而進行者較為適宜。另外，極限開關定位手段與極限開關之固定，係以透過連接件來進行者較為適宜，此類固定，例如，係藉由在以螺絲等固定於極限開關之連接件上設置與第二螺栓之固定側外螺紋部對應的內螺紋部，且將第二螺栓旋入連接件而進行。
各螺栓之固定側外螺紋部，可與連結側外螺紋部設成為相同螺距，亦可為不同螺距。各螺栓之固定側外螺紋部，係用於安裝於閥之閥體或極限開關上的構成，藉由將各螺栓之連結側及固定側的雙方均設成外螺紋部，可將安裝的構成簡單化。但是，極限開關定位手段的固定側，不限定於各螺栓之外螺紋部的情況，亦可為內螺紋部，另外，亦可透過不是憑藉螺栓之栓鎖的其他適宜構成，將極限開關定位手段安裝於閥之閥體及極限開關上。
較佳為極限開關定位手段進一步具有阻止連結螺桿與第一螺栓之相對旋轉的第一止動螺母、及阻止連結螺桿與第二螺栓之相對旋轉的第二止動螺母。
藉由設計成此種構成，可防止藉極限開關定位手段精度良好地定位後的偏離，可靠度更加提升。
本發明之流體控制器，可適合使用於例如、流量範圍可變型之流量控制裝置中的切換閥。流量範圍可變型之流量控制裝置，其具備：閥體，係形成有所需之流體通路；控制閥、感測器及附設極限開關之切換閥，係安裝於閥體上；第一節流孔，係設在源自控制閥之出口通路；第二節流孔，係設在源自切換閥之出口通路；及控制部，係進行流量控制；當關閉切換閥時，進行第一節流孔中之流量的控制，當開啟切換閥時，進行第二節流孔中之流量的控制；在此種流量控制裝置中，以切換閥之啟閉狀態係利用極限開關之信號來確認者較為適宜。在此，切換閥之開度小，欲進行極限開關之位置對準時，需要進行慎重之操作，另外，一旦進行了位置對準之後的極限開關需要被牢固地固定。因此，在此種流量範圍可變型之流量控制裝置中，配置於控制閥與節流孔之間的附設極限開關之切換閥，被作為上述之流體控制器(=附設極限開關之切換閥)，藉此，可獲得小型且流量控制之精度優良的流量控制裝置。
本發明之流體控制器之用途，當然不限定於如上述之流量控制裝置。
根據本發明之流體控制器，閥具有一部分從殼體之開口突出，且隨著閥之啟閉作直線移動而抵接於極限開關的移動構件；極限開關係面對著移動構件而被安裝成可進行位置調整，所以，可容易配置極限開關，且可減少使用空間，從而，能達成組合了閥及極限開關之流體控制器的小型化。
以下，參照圖面以說明本發明之實施形態。於以下之說明中，上下左右係指圖中之上下左右。
第1圖顯示使用本發明之流體控制器的流量控制裝置之一部分。
流量控制裝置(1)係壓力式且流量範圍可變型之流量控制裝置，其具備：閥體(2)，係形成有所需之流體通路(2a)(2b)(2c)(2d)(2e)；安裝於閥體(2)之控制閥(3)、壓力感測器(4)及附設極限開關(7)之切換閥(6)；控制部(省略圖示)；第一節流孔(9)，係設置在源自控制閥(3)之出口通路(2b)；第二節流孔(10)，係設於切換閥(6)之出口通路(2e)。
從左開始依序配置控制閥(3)、壓力感測器(4)及切換閥(6)，相應地，於閥體(2)上設有朝向控制閥(3)之入口通路(2a)、源自控制閥(3)之出口通路(2b)、使源自控制閥(3)之出口通路(2b)連通於壓力感測器(4)的連通路(2c)、使源自控制閥(3)之出口通路(2b)流入切換閥(6)之分歧通路(2d)、及源自切換閥(6)之出口通路(2e)。源自控制閥(3)之出口通路(2b)與源自切換閥(6)之出口通路(2e)係配置成並列狀，於各出口通路(2b)(2e)之出口部上設有該節流孔(9)(10)。
於閥體(2)之左側對接有一通路塊體(11)，該通路塊體(11)係形成有與朝向控制閥(3)之入口通路(2a)連通的入口通路(11a)，於閥體(2)之右側對接有一通路塊體(12)，該通路塊體(12)係形成有與源自控制閥(3)之出口通路(2b)及源自切換閥(6)之出口通路(2e)連通的出口通路(12a)。
根據此流量控制裝置(1)，當關閉切換閥(6)時，進行第一節流孔(9)中之流量的控制，當開啟切換閥(6)時，進行第二節流孔(10)中之流量的控制，節流孔(9)(10)之上游側的壓力係由壓力感測器(4)所測量，一面運算藉由此壓力通過節流孔(9)(10)之流量，一面調整控制閥(3)之啟閉量，藉此，可控制通過節流孔(9)(10)之流量。
二個節流孔(9)(10)係將設在源自切換閥(6)之出口通路(2e)的節流孔(10)設成大流量用，將設在源自控制閥(3)之出口通路(2b)的節流孔(9)設成小流量用。因此，當關閉切換閥(6)時，流體僅從源自控制閥(3)之出口通路(2b)排出，而進行小流量之控制，當開啟切換閥(6)時，流體從源自控制閥(3)之出口通路(2b)及源自切換閥(6)之出口通路(2e)的雙方排出，而進行大流量之控制。
如此，藉由啟閉切換閥(6)這種的簡單操作，使大流量節流孔(第二節流孔)(10)及小流量節流孔(第一節流孔)(9)的流量控制適宜地組合，藉此，可涵蓋廣範圍之流量區域進行精度良好的流量控制。
該流量控制裝置(1)中，於附設極限開關(7)之切換閥(6)方面具有特徵，控制閥(3)、壓力感測器(4)及二個節流孔(9)(10)係公知之構成，而在設有用以切換二個節流孔(9)(10)之切換閥(6)的方面，亦與習知相同。
以下，說明附設極限開關(7)之切換閥(6)、即本發明之流體控制器(5)。
流體控制器(5)具備：切換閥(6)、檢測切換閥(6)之啟閉狀態的極限開關(7)及極限開關定位手段(8)。
切換閥(6)係空氣壓驅動之常時閉鎖型閥，其構成為根據來自控制部之信號而使電磁閥工作，以進行啟閉。此切換閥(6)之啟閉狀態，係由極限開關(7)所檢測，並輸入控制部。
切換閥(6)具備：殼體(21)，係設於閥體(2)之上方；環狀閥座(22)，係設於分歧通路(2d)之周緣；隔膜(閥啟閉體)(23)，係藉按壓環狀閥座(22)或者離開環狀閥座(22)而使流體通路(2d)啟閉；隔膜壓盤(24)，係將隔膜(23)朝下方按壓；閥桿(25)，係配置於殼體(21)內，藉由上昇或下降而使隔膜(23)朝開啟方向或者關閉方向移動；設於閥桿(25)之上下兩段的活塞(上側之第一活塞(26)及下側的第二活塞(27))；壓縮螺旋彈簧(彈性構件)(28)，係朝下方頂緊閥桿(25)；及活塞驅動手段(29)，係用以驅動第一及第二活塞(26)(27)。
極限開關(7)係市面上販售的產品，由本體(31)、檢測部(32)及端子部(33)所構成，平時被關閉，藉由作為檢測對象之移動構件(在此是指該第一活塞(26)之上端部)抵接於檢測部(32)而將其頂起，而將開關開啟。極限開關(7)係面對著從殼體(21)露出之第一活塞(26)之上面，藉此，在與閥桿(25)一體地移動之第一活塞(26)抵接於極限開關(7)時，極限開關(7)成為開啟狀態。
極限開關定位手段(8)係由以下構件構成：連接件(41)，係安裝於極限開關(7)；第一螺栓(42)，係固定於閥體(2)；第二螺栓(43)，係固定於連接件(41)；連結螺桿(44)，係連結兩個螺栓(42)(43)；第一止動螺母(45)，係用以阻止連結螺桿(44)與第一螺栓(42)之相對旋轉；及第二止動螺母(46)，係用以阻止連結螺桿(44)與第二螺栓(43)之相對旋轉。
如第2及第3圖所詳示，在連結螺桿(44)下端設有與第一螺栓(42)螺合之內螺紋部(44a)，在連結螺桿(44)上端設有與第二螺栓(43)螺合之內螺紋部(44b)。第一螺栓(42)係具有與連結螺桿(44)螺合之連結側外螺紋部(42a)、與設於閥體(2)上的內螺紋部螺合之固定側外螺紋部(42b)、及供工具卡合之六角柱形卡合部(42c)，第二螺栓(43)係具有與連結螺桿(44)螺合之連結側外螺紋部(43a)、與設於極限開關(7)之連接件(41)上的內螺紋部螺合之固定側外螺紋部(43b)、及供工具卡合之六角柱形卡合部(43c)。
各螺栓(42)(43)及連結螺桿(44)之軸方向係設為與切換閥(6)之閥桿(25)的移動方向平行(亦即，全部為上下方向)，極限開關定位手段(8)係以大致接觸於切換閥(6)的方式配置。
第一螺栓(42)及第二螺栓(43)均為右旋螺紋，但其螺距作成不同。具體而言，第一螺栓(42)之連結側外螺紋部(42a)及固定側外螺紋部(42b)均設為M4×0.7之粗牙螺紋，第二螺栓(43)之連結側外螺紋部(43a)被設為M3×0.35之細螺紋，而第二螺栓(43)之固定側外螺紋部(43b)被設為M3×0.5之粗牙螺紋。
另外，極限開關(7)係透過連接件(41)而被固定於M3(螺距0.35mm)之第二螺栓(43)上，M3(螺距0.35mm)之第二螺栓(43)與M4(螺距0.7mm)之第一螺栓(42)則被旋入連結螺桿(44)中。因此，當連結螺桿(44)旋轉時，極限開關(7)係依M3及M4之螺距的不同而朝下行進，藉此，可進行極限開關(7)之位置對準。在對準位置之後，藉由栓緊止動螺母(45)(46)，防止第一螺栓(42)及第二螺栓(43)之旋轉，藉以防止之後的極限開關(7)之位置變化。
根據此極限開關定位手段(8)，在預先放鬆止動螺母(45)(46)且防止第一螺栓(42)及第二螺栓(43)之共轉的狀態下，當使連結螺桿(44)旋轉時，連結螺桿(44)係隨著螺距大之螺栓、即第一螺栓(42)的螺合而朝其方向移動，但連結螺桿(44)還是相對於螺距小之螺栓、即第二螺栓(43)朝相同方向移動，所以，極限開關定位手段(8)的兩端間間隔(從第一螺栓(42)之下端至第二螺栓(43)的上端的距離)的變化量，成為第一螺栓(42)之連結側外螺紋部(42a)與第二螺栓(43)之連結側外螺紋部(43a)的螺距差(0.7-0.35)乘上連結螺桿(44)之旋轉數。因此，藉由使連結螺桿(44)旋轉，極限開關(7)係根據螺距差(0.7-0.35)進行移動。
極限開關定位手段(8)係藉由第一螺栓(42)之固定側外螺紋部(42b)被螺合於閥體(2)而被固定於閥體(2)上。另外，極限開關定位手段(8)係藉由將第二螺栓(43)之固定側外螺紋部(43b)螺合於以螺絲等固定於極限開關(7)之連接件(43)，而被固定於極限開關(7)上。
第4圖為切換閥(6)之剖面圖，參照第4圖，說明切換閥(6)之內部構造如下。
殼體(21)係由螺合固定於閥體(2)之下部殼體(51)及藉連接器(53)而結合於下部殼體(51)之上部殼體(52)所構成。連接器(53)係作成具有貫通孔的套環狀，且於外周形成有外螺紋，閥桿(25)係可上下移動且液密性地插通於該貫通孔內。於下部殼體(51)之上端部及上部殼體(52)之下端部形成有與連接器(53)的外螺紋螺合用之內螺紋部，藉由使下部殼體(51)從下側螺合於連接器(53)及使上部殼體(52)從上側螺合於連接器(53)，使下部殼體(51)與上部殼體(52)相互對接而結合在一起。藉此，可於連接器(53)之上方及下方分別形成第一活塞(26)及第二活塞(27)的移動空間。另外，第一活塞(26)係使其下面與連接器(53)的上面對向的方式可上下移動地配置於上部殼體(52)內，第二活塞(27)係以其上面與連接器(53)的下面對向的方式可上下移動地配置於下部殼體(51)內。
閥桿(25)係由二個零件(中軸(54)及活塞桿(55))所形成。中軸(54)係由上部設有內螺紋部之軸部及設於軸部的下端部之凸緣部所構成，凸緣部之下面係與隔膜壓盤(24)抵接。活塞桿(55)係由下端部與中軸(54)之軸部螺合的軸部及與軸部之中間部形成一體的凸緣部所構成。活塞桿(55)之凸緣部係形成第二活塞(27)，且其與中軸(54)、活塞桿(55)之軸部一起形成閥桿(25)。
活塞驅動手段(29)係為了使閥桿(25)朝上方移動而使驅動氣體作用於各活塞(26)(27)者，用於此目的之第一及第二驅動氣體導入室(56)(57)，被形成於各活塞(26)(27)的下方。第一驅動氣體導入室(56)係形成於第一活塞(26)與連接器(53)之間，第二驅動氣體導入室(57)係形成於第二活塞(27)與下部殼體(51)之內凸的凸緣部之間。當朝第一及第二驅動氣體導入室(56)(57)導入驅動氣體(壓縮空氣)時，對第一活塞(26)及第二活塞(27)作用向上的力，藉此，使閥桿(25)朝上方移動。因而，於第1圖所示之流量控制裝置(1)中，分歧通路(2d)成為開放狀態，流體被送出至出口通路(2e)。
上部殼體(52)係被形成為朝上方開口，第一活塞(26)係以當閥桿(25)處於上方位置時使活塞上端部從上部殼體(52)之開口露出的方式設於閥桿(25)的上端部。具體而言，於閥桿(25)(活塞桿(55)之軸部)之上端部設有外螺紋部，並於第一活塞(26)設置貫通孔(26a)，於貫通孔(26a)之下部設置與閥桿(25)上端部螺合的內螺紋部，閥桿(25)與第一活塞(26)係藉由將閥桿(25)上端部***第一活塞(26)之貫通孔(26a)的下部並予以螺合而被結合在一起。
第一活塞(26)之貫通孔(26a)的上部係作為可連接導入驅動氣體之配管的驅動氣體導入部(58)。另外，於閥桿(25)內部形成有從驅動氣體導入部(58)朝下方延伸之軸向通路(59)、從軸向通路(59)的中間部連通至第一驅動氣體導入室(56)的徑向通路(60)、及從軸向通路(59)下端部連通至第二驅動氣體導入室(57)的徑向通路(61)。藉此，驅動氣體導入部(58)係設為一個，且使得驅動氣體從驅動氣體導入部(58)流入各驅動氣體導入室(56)(57)。
根據此切換閥(6)，在未將驅動氣體導入切換閥(6)之各驅動氣體導入室(56)(57)的狀態(切換閥(6)關閉之狀態)之下，閥桿(25)係因壓縮螺旋彈簧(28)之頂緊力而處於關閉位置(下方位置)，第一活塞(26)亦伴隨此狀態而處於下方位置。因此，極限開關(7)成為關閉狀態。當將驅動氣體導入各驅動氣體導入室(56)(57)(切換閥(6)開啟之狀態)時，閥桿(25)係對抗壓縮螺旋彈簧(28)之頂緊力而朝上方移動，伴隨此移動，第一活塞(26)亦朝上方位置移動。其結果，第一活塞(26)之上端抵接於極限開關(7)的檢測部(32)，檢測到切換閥(6)已被開啟，並將此信息輸送至控制部。
根據此流量控制裝置(1)，配置於控制閥(3)與節流孔(9)(10)之間的切換閥(6)，係附設有如上述構成之極限開關(7)，因而可使流量控制之精度變得良好，另外，作為設置極限開關(7)之空間，只需追加上下延伸之極限開關定位手段(8)的空間即可，因而可達到小型化。而且，藉由極限開關定位手段(8)，極限開關(7)係依照螺距差(0.7-0.35)而移動，所以，可精度良好地進行極限開關(7)之定位。另外，在極限開關(7)對準位置之後，藉由止動螺母(45)(46)來防止極限開關(7)之移動，可長期間地確保精度良好之極限開關(7)之定位。
又，作為流量控制裝置(1)，除如上述般使用壓力感測器以外，亦有使用溫度感測器之熱形態之構成，該流體控制器(5)亦可應用於熱形態之構成。
另外，該流體控制器(5)還可使用於流量控制裝置以外的用途，例如，還可作為在半導體製造裝置中使用之稱為積體化流體控制裝置的流體控制裝置之構成要素來使用。在此種流體控制裝置中，所謂的將複數個流體控制機器呈串聯配置且在未透過配管、接頭而連接所形成之複數條管路並列狀地設置於基座構件上之積體化係進展著，流體控制裝置係將例如成為下段層的複數個塊狀接頭構件藉由外螺紋構件安裝於基座構件上，且以跨過相鄰之接頭構件的方式安裝有作為上段層的複數個流體控制機器。在此種積體化流體控制裝置中，可賦予該流體控制機器(例如，開閉閥)之本體或通路塊體具有與該流量控制裝置(1)之閥體(2)相同的功能，因而變得能容易安裝該極限開關之定位手段(8)。
又，極限開關定位手段(8)之可移動範圍，可根據切換閥(6)之尺寸及第一活塞(26)的移動量適宜地設定，藉由加長連結螺桿(44)之內螺紋部(44a)(44b)及第一及第二螺栓(42)(43)之連結側外螺紋部(42a)(43a)，能擴大可移動範圍。
[產業上之可利用性]
根據本發明，可於閥上附加能檢測啟閉狀態之極限開關，且能將組合了閥及極限開關之流體控制器小型化，所以，可適合作為例如流量控制裝置中之切換閥來利用，並可應用於其他各種之用途。
1．．．流量控制裝置
2．．．閥體
2a．．．入口通路
2b、2e．．．出口通路
2c．．．連通路
2d．．．分歧通路
3．．．控制閥
4．．．壓力感測器(感測器)
5．．．流體控制器
6．．．切換閥(閥)
7．．．極限開關
8．．．極限開關定位手段
9．．．第一節流孔
10．．．第二節流孔
11、12．．．通路塊體
11a．．．入口通路
12a．．．出口通路
21．．．殼體
22．．．環狀閥座
23．．．隔膜(閥啟閉體)
24．．．隔膜壓盤
25．．．閥桿
26．．．第一活塞(移動構件)
26a．．．貫通孔
27．．．第二活塞
28．．．壓縮螺旋彈簧(彈性構件)
29．．．活塞驅動手段
31．．．本體
32．．．檢測部
33．．．端子部
41．．．連接件
42．．．第一螺栓
42a．．．連結側外螺紋部
42b．．．固定側外螺紋部
42c．．．六角柱形卡合部
43．．．第二螺栓
43a．．．連結側外螺紋部
43b．．．固定側外螺紋部
43c．．．六角柱形卡合部
44．．．連結螺桿
44a、44b．．．內螺紋部
45．．．第一止動螺母
46．．．第二止動螺母
51．．．下部殼體
52．．．上部殼體
53．．．連接器
54．．．中軸
55．．．活塞桿
56．．．第一驅動氣體導入室
57．．．第二驅動氣體導入室
58．．．驅動氣體導入部
56、57．．．驅動氣體導入室
59、60、61．．．徑向通路
第1圖為顯示使用本發明之流體控制器的流量控制裝置之一實施形態的前剖面圖。
第2圖為本發明之流體控制器的極限開關定位手段之放大前剖面圖。
第3圖為本發明之流體控制器的極限開關定位手段之分解圖。
第4圖為本發明之流體控制器的閥之放大前剖面圖。
1．．．流量控制裝置
2．．．閥體
2a．．．入口通路
2b、2e．．．出口通路
2c．．．連通路
2d．．．分歧通路
3．．．控制閥
4．．．壓力感測器(感測器)
5．．．流體控制器
6．．．切換閥(閥)
7．．．極限開關
8．．．極限開關定位手段
9．．．第一節流孔
10．．．第二節流孔
11、12．．．通路塊體
11a．．．入口通路
12a．．．出口通路
21．．．殼體
22．．．環狀閥座
23．．．隔膜(閥啟閉體)
24．．．隔膜壓盤
25．．．閥桿
26．．．第一活塞(移動構件)
27．．．第二活塞
28．．．壓縮螺旋彈簧(彈性構件)
29．．．活塞驅動手段
31．．．本體
32．．．檢測部
33．．．端子部
41．．．連接件
42．．．第一螺栓
45．．．第一止動螺母
46．．．第二止動螺母

Claims (4)

  1. 一種流體控制器，係具備：進行流體通路之啟閉的閥、及檢測閥之動作的極限開關，該流體控制器之特徵為：閥具有移動構件，其一部分從殼體之開口突出，且隨著閥之啟閉作直線移動而抵接於極限開關；極限開關係面對著移動構件而被安裝成可進行位置調整，更具備極限開關之定位手段，極限開關之定位手段具備：第一螺栓，係固定於閥之閥體上；第二螺栓，係固定於極限開關上；及連結螺桿，一端設有與第一螺栓螺合之內螺紋部，另一端設有與第二螺栓螺合之內螺紋部，而用以連結兩個螺栓；且第一螺栓及第二螺栓之螺距作成不同。
  2. 如申請專利範圍第1項之流體控制器，其中極限開關之定位手段進一步具有：第一止動螺母，係阻止連結螺桿與第一螺栓之相對旋轉；及第二止動螺母，係阻止連結螺桿與第二螺栓之相對旋轉。
  3. 如申請專利範圍第1或2項之流體控制器，其中閥具備：閥體，係設有流體通路；殼體，係設於閥體上方；閥啟閉體，係用以啟閉流體通路；閥桿，係藉由上昇或下降而使閥啟閉體朝開啟方向或關閉方向移動；活塞，係設於閥桿上；及活塞驅動手段，係用以驅動活塞；活塞係以當閥桿處於上方位置時使活塞上端部從殼體 之開口露出的方式設於閥桿上端部，該活塞係作為抵接於極限開關之移動構件。
  4. 一種流量控制裝置，其具備：閥體，係形成有所需之流體通路；安裝於閥體上之控制閥、感測器及附設極限開關之切換閥；第一節流孔，係設在源自控制閥之出口通路；第二節流孔，係設在源自切換閥之出口通路；及進行流量控制之控制部，當關閉切換閥時，進行第一節流孔中之流量的控制，當開啟切換閥時，進行第二節流孔中之流量的控制；該流量控制裝置之特徵為：附設極限開關之切換閥，係作為如申請專利範圍第1至3項中任一項之流體控制器，且配置於控制閥與節流孔之間。
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