TWI474105B - 遮罩資料產生方法 - Google Patents

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Description

遮罩資料產生方法
本發明關於遮罩資料產生方法。
在半導體裝置製造過程的光刻過程中使用曝光設備(光刻設備)。光刻過程是用於將半導體裝置的電路圖案轉印到基板(也稱為矽基板、玻璃基板或晶圓)上的過程。曝光設備的照射光學系統使用從光源發射的光束照射遮罩(中間掩模(reticle))。然後，在遮罩上形成的電路圖案經由例如投影光學系統被轉印到晶圓上。
近年來，由於半導體裝置的圖案小型化，使用被稱為多重構圖的方法。根據該多重構圖，透過使用多個遮罩多次曝光晶圓的一個層。因此，在晶圓上形成多個遮罩的圖案。
曝光設備的解析度限度由hp=k1×λ/NA表達。在該式中，“hp”是半間距的縮寫，該半間距是兩個相鄰的圖案之間的最短距離的一半。並且，“k1”是與製程有關的因數，“λ”是曝光波長，並且“NA”是曝光設備的數值孔 徑。根據多重構圖，具有比曝光設備的解析度限度的半間距小的半間距的圖案被分割成多個遮罩的圖案。當透過使用獲得的遮罩圖案對晶圓進行曝光時，可在晶圓上形成比解析度限度更細微的圖案。
由於用以將一個佈局(圖案)分割成多個遮罩的圖案的方法與映射著色類似，因此，它一般被稱為著色問題。在以下的描述中，可透過使用用於著色的表述來描述圖案的分割方法。在美國專利申請公開No.2007/0031740和美國專利申請公開No.2011/0078638中討論了用於將原始目標圖案分割成多個遮罩的圖案的方法。
在美國專利申請公開No.2007/0031740中，描述了重複應用分割規則的方法。根據該方法，確定分割規則。然後，基於分割規則將目標圖案分成要由第一遮罩或第二遮罩形成的圖案。對於各圖案重複執行該過程。
美國專利申請公開No.2011/0078638討論了使用衝突圖(conflict graph)和數學編程的圖案分割方法。衝突圖由頂點和邊緣(edge)構成。當衝突圖被應用於圖案分割時，各遮罩圖案由頂點指示，並且，超出解析度限度的圖案透過邊緣連接。此外，圖案被以如下方式分割：共用邊界(邊緣)的兩個區域的遮罩號碼是不同的。該過程使用整數規劃。
另一方面，根據向較低k1值的趨勢，已變得難以透過使用在X方向和Y方向上延伸的習用的二維佈 局圖案逼真地將希望的圖案轉印到晶圓上。因此，近年來，已經開發了稱為一維佈局技術的電路圖案的製造方法，諸如在“Low k1 Logic Design using Gridded Design Rules”,Michael C.Smayling等，Proc.of SPIE Vol.6925(2008)中討論的技術。根據該一維佈局技術，形成單間距線和空間(L/S)圖案。然後，在多個位置處，具有相同尺寸的孔圖案或切割圖案的多個圖案元素在規則的網格上被曝光。隨後，在圖案元素處切割單間距L/S圖案並製造電路圖案。根據該方法，不僅與習用的二維圖案相比減少了曝光面積，而且可以更容易地執行曝光處理。
根據美國專利申請公開No.2007/0031740和美國專利申請公開No.2011/0078638，基於在X方向和Y方向上延伸的二維佈局圖案執行圖案分割。根據美國專利申請公開No.2007/0031740，需要對於所有的二維佈局圖案確定目標圖案和其他的圖案是否適用於分割規則。因此，需要長的時間計算。此外，根據美國專利申請公開No.2011/0078638，為了產生衝突圖，需要對於所有的二維佈局圖案計算圖案之間的距離。因此，長的計算時間是必需的。
此外，以前不存在將美國專利申請公開No.2007/0031740和美國專利申請公開No.2011/0078638中討論的圖案分割方法應用於一維佈局的孔圖案或切割圖案的多個圖案元素的情況。即使該圖案分割方法實際應用於多個圖案元素，仍必須透過使用該多個圖案元素的資料 計算所有圖案元素之間的距離並確定所獲得的距離是否滿足距離的約束條件。因此，長的計算時間是必需的。
本發明針對可用於在更短的時間內透過分割包含多個圖案元素的圖案產生遮罩資料的遮罩資料產生方法。
根據本發明的一個方面，提供了一種遮罩資料產生方法，該方法透過使用電腦產生用於多重構圖的包含第一遮罩和第二遮罩的多個遮罩的資料，該多重構圖透過使用第一遮罩將基板曝光並接著透過使用第二遮罩將基板曝光，該方法包括：獲得包含多個圖案元素的圖案的資料；透過使用獲得的圖案的資料將圖案的區域分成多個部分(section)以使得各圖案元素被佈置在各部分中，並產生包含指示各部分中的圖案元素的有無的資訊的映射資料(map data)；透過使用約束條件和映射資料對於包含圖案元素的各部分設定多條遮罩個別資訊中的一條遮罩個別資訊，該約束條件禁止在包含一個部分及其周圍的部分的約束區域中設定相同遮罩個別資訊；和透過使用設定的遮罩個別資訊產生與多條遮罩個別資訊對應的多個遮罩的資料。
參照附圖閱讀以下示例性實施例的詳細描述，本發明的其他特徵將變得顯而易知。
2‧‧‧圖案
20,21,501‧‧‧圖案元素
301,302,401,404‧‧‧方形
402,405‧‧‧約束區域
圖1是示出根據本發明的第一示例性實施例的遮罩資料的產生方法的流程圖。
圖2A和圖2B分別示出圖案和映射資料。
圖3示出約束區域。
圖4A、圖4B和圖4C示出遮罩號碼的設定例子。
圖5示出經圖案分割而不被轉換成映射資料的多邊形資料的習用的例子。
圖6示出要被分割的圖案的例子。
圖7是示出根據本發明的第二示例性實施例的遮罩資料的產生方法的流程圖。
圖8示出衝突圖的例子。
本發明可用於產生用於各種裝置的製造和微觀結構的遮罩(原始板)的圖案的資料，這些裝置包含諸如積體電路(IC)和大規模集成(LSI)電路的半導體晶圓、諸如液晶面板的顯示裝置、諸如磁頭的檢測元件和諸如電荷耦合裝置(CCD)感測器的圖像感測器。
首先，描述根據第一示例性實施例的遮罩資料產生方法。圖1是示出根據第一示例性實施例的遮罩資料的產生方法的流程圖。產生方法由諸如電腦的資訊處理設備執行。根據該處理，產生用於曝光基板以使得將遮罩 圖案的圖像轉印到基板的曝光設備(光刻設備)的遮罩的資料。
在步驟S101中，電腦獲取要被分割的圖案的資料。圖2A示出用於一維佈局技術的孔圖案或切割圖案。在圖2A中，圖案2包括分別具有相同的矩形形狀的多個圖案元素20。根據本實施例，圖案2被分成例如第一遮罩、第二遮罩和第三遮罩的多個遮罩的圖案。一般地，用於在遮罩上形成圖像的佈局圖案的資料被轉換成例如GDSII格式的多邊形資料並被儲存。電腦獲得圖案2的多邊形資料。
在步驟S102中，電腦將多邊形資料格式的圖案2的資料轉換成包含多個網格(或任何形式的部分)21的映射資料。在圖2B中示出映射資料的例子。圖案2的區域被分割成具有相同的寬度的多個方形(或任何形式的部分)21，使得圖案元素20中的每一個被佈置在方形21中的一個中。然後，對於方形21中的每一個，向包含圖案元素20的方形分配“1”，並且向不包含圖案元素20的方形分配“0”。由於孔圖案或切割圖案中各圖案元素20被設計為基於網格設計規則適配入網格中，因此，各圖案元素20與具有相同的寬度的各方形21一一應對。以這種方式，圖案2的資料被轉換成包含指示各方形21中的圖案元素20的有/無的資訊的映射資料。各方形的形狀不限於矩形，並且，可使用任意的形狀，只要各圖案元素與各形狀對應即可。此外，作為映射資料，可以使用如下網格映 射資料，在該網格映射資料中，透過使諸如各方形的中心的位置與網格的交點匹配利用網格的各交點的座標表達各圖案元素20的佈置。
在步驟S103中，電腦確定遮罩個別資訊的設定的約束條件。將參照圖3描述約束條件的確定方法。首先，包含一個方形301和方形301周圍的方形302的區域被設為約束區域。在圖3中，約束區域包含一個方形301(由★表示)和方形301的上下左右、斜上和斜下的方形302(由×表示)。在該約束區域中，由於方形被緊密佈置，因此，如果在一個遮罩上形成這些方形的圖案元素並透過使用遮罩執行曝光，則會降低圖案元素的解析度。因此，約束條件被應用於該約束區域。根據該約束條件，在約束區域中的各方形中禁止使用相同遮罩個別資訊。
遮罩個別資訊為例如遮罩的號碼資料或顏色資料。遮罩號碼是與各遮罩對應的各個別的個別號碼，諸如1、2或3。約束區域中的方形不限於關於目標方形的上下左右、斜上和斜下的方形，並且可包含解析度性能降低的任意位置處的方形。例如，可在約束區域中包含與作為評價目標的方形相距三個方形的位置處的方形。
在步驟S104中，電腦從多個方形選擇一個方形作為評價目標。在選擇方形時，電腦選擇包含圖案元素21中的一個的方形，該方形是具有值“1”的方形。例如，電腦選擇圖4A所示的方形401。在步驟S105中，電腦獲得在方形401位於中心的約束區域402中已設定的遮罩個 別資訊。在步驟S106中，電腦對於作為評價目標的方形401設定與約束區域402中已設定的遮罩個別資訊不同的遮罩個別資訊。
將參照圖4B描述已確定遮罩個別資訊(遮罩號碼)中的一些的情況。如果方形404是評價目標的方形，則約束區域405將是約束區域。由於已在約束區域405中使用遮罩號碼“1”，因此將對於方形404設定遮罩號碼“2”。
在步驟S107中，電腦確定在包含圖案元素21的多個方形中是否存在沒有遮罩個別資訊的方形。如果存在沒有遮罩個別資訊的方形(在步驟S107中為是(YES))，則處理返回步驟S104，並且，選擇作為要設定遮罩個別資訊的不同的評價目標的方形。然後，重複步驟S105至S107。雖然在步驟S104中選擇作為具有值“1”的方形的具有圖案元素21的方形並且選擇所選擇的方形設定於中心的區域作為約束區域，但是，方形的選擇不限於這種例子。例如，不管是否存在圖案元素，都可依次選擇所有的方形，並且，可透過將所選擇的方形設定在中心來設定約束區域。如果不存在沒有遮罩個別資訊的方形(在步驟S107中為否(NO))，則處理結束。
以這種方式，對於包含圖案元素21的所有方形設定遮罩個別資訊，並且，輸出資料。圖4C示出對於包含圖案元素21的所有方形都設定了遮罩個別資訊的映射資料。在圖4C中，對於各方形設定遮罩個別資訊的遮 罩號碼。
根據遮罩個別資訊產生遮罩圖案的資料，並且，根據產生的資料將圖案2分成多個遮罩的圖案。更準確地說，如圖4C所示，圖案2被分成包含與遮罩號碼“1”對應的圖案元素的第一遮罩、包含與遮罩號碼“2”對應的圖案元素的第二遮罩和包含與遮罩號碼“3”對應的圖案元素的第三遮罩的圖案。
存在多種用於在步驟S106中設定遮罩個別資訊的方法。例如，存在分配在約束區域中未使用的遮罩號碼中的最小號碼的方法。根據圖4B中的例子，例如，在確定作為評價目標的方形404的遮罩號碼時，由於已在約束區域405中使用了遮罩號碼“1”，因此，對於方形404設定作為未使用的遮罩號碼中的最小遮罩號碼的“2”。此外，存在如下方法，該方法在確定約束區域中未使用的遮罩號碼中的最大遮罩號碼(至少為2)之後隨機選擇小於等於該最大遮罩號碼的一個號碼。例如，根據圖4B中的例子，在確定作為評價目標的方形404的遮罩號碼時，由於已在約束區域405中使用遮罩號碼“1”，因此，如果最大預定遮罩號碼是“3”，則隨機確定“2”或“3”作為方形404的遮罩號碼。該方法表達為亂數方法。
將參照圖5描述如下情況，其中如習用執行般，在不將多邊形資料轉換成映射資料的情況下，將多邊形資料分割成圖案。首先，如圖5所示，為了確定成為評價目標的圖案元素501的遮罩號碼，計算圖案元素501的 中心與所有周圍圖案元素中的每一個的中心之間的距離。然後，確定不滿足圖案元素之間的距離的約束條件的圖案元素。此外，確定是否已對於不滿足約束條件的圖案元素設定遮罩個別資訊。如果已設定遮罩個別資訊，則將對於圖案元素501設定與已設定的遮罩個別資訊不同的遮罩個別資訊。作為評價目標的圖案元素501周圍的圖案元素的數量越多，則計算距離所花費的時間越長。
另一方面，根據本實施例，由於多邊形資料被轉換其中各圖案元素與各方形相關聯的映射資料並且基於映射資料設定有限面積的約束區域，因此，可避免不必要地計算所有圖案元素的距離，而可減少計算時間。
圖6示出5600個矩形圖案元素。當透過使用習用的方法對於不滿足距離的約束條件的各方形設定不同的遮罩個別資訊時，在不將多邊形資料轉換成映射資料並計算圖案元素的中心位置之間的距離的情況下，計算時間為4.99秒。另一方面，當如本實施例那樣將多邊形資料轉換成映射資料並根據亂數方法設定遮罩號碼時，計算時間為0.51秒。因此，計算時間減少到約10%。
下面，將描述本發明的第二示例性實施例。圖7是示出根據第二示例性實施例的遮罩資料的產生方法的流程圖。
在步驟S701中，電腦獲取要被分割的圖案的資料。在步驟S702中，電腦將多邊形資料格式的圖案的資料轉換成被分割成多個方形的映射資料。在步驟S703 中，電腦確定約束條件。步驟S701~S703與根據第一示例性實施例的步驟S101~S103類似。
在步驟S704中，電腦基於映射資料產生衝突圖。根據衝突圖，透過使用頂點表達圖案元素，並且，透過邊緣連接超出解析度限度的頂點。首先，選擇包含圖案元素的一個方形。然後，在包含選擇的方形的約束區域中，選擇的方形和包含圖案元素的方形透過邊緣連接。此係對於包含圖案元素的所有方形執行。該圖的邊緣的一端處的遮罩個別資訊需要與另一端處的遮罩個別資訊不同。以這種方式，設定關於遮罩個別資訊的設定的約束條件。圖8示出圖2B所示的映射資料的衝突圖。它是透過使用圖3所示的約束區域獲得的。
在步驟S705中，電腦透過使用整數規劃設定遮罩個別資訊。以以下的數學運算式表達目標是使遮罩的數量最小化的整數規劃的例子。
(1)變數的描述
j：遮罩號碼1jm
m：最大遮罩號碼
y j ：表示是否要使用遮罩號碼j的二進位變數，0：使用，1：不使用
i：圖案元素號碼
x ij ：表示是否對於圖案元素號碼i要使用遮罩號碼j的二進位變數，0：使用，1：不使用
(2)數學運算式的描述
代價函數(目標函數)表達如下：
這意味著要使用的遮罩號碼的數量要被最小化。
由於數學式(7)等於遮罩號碼的數量，因此，如果遮罩號碼的數量從“2”增加到“3”，則數學式(7)的值從“2”變為“3”。遮罩號碼的數量是透過分割圖案形成的遮罩的數量。因此，從遮罩成本的觀點看，將圖案分成更少數量的遮罩是重要的。
透過下式表達約束條件：
透過下式表達邊界條件：y 1 =1 (12)
數學式(8)表示需要以昇冪分配遮罩號碼的約束條件。其為如下約束條件，即如果不使用第一遮罩號碼(yi=0)，則防止使用第二遮罩號碼(y2=1)。
數學式(9)表示對於作為第i個圖案元素的xi僅要設定一個遮罩號碼。其為防止對於第i個圖案元素設定第一遮罩號碼和第二遮罩號碼兩者的約束條件。
數學式(10)表示將不透過使用未被使用的遮罩號碼設定遮罩號碼。換句話說，其為防止在未使用第j個遮罩號碼(yi=0)時對於第i個圖案元素使用第j個遮罩號碼(xij=1)的約束條件。
數學式(11)表示基於衝突圖的圖案的約束條件。當透過線段連接第i個圖案和第i' 個圖案時，使用該約束條件。換句話說，當不應分配相同的遮罩號碼時，使用它。因此，該約束條件不被應用於所有圖案元素。對於一個約束區域內的圖案元素設定該約束條件。
關於邊界條件，將如數學式(12)表示般使用第一遮罩號碼。
在步驟S705中，電腦在整數規劃的執行軟體中輸入上述的數學式，執行計算，並設定遮罩個別資訊。然後，電腦輸出添加了遮罩個別資訊的方形的資料。
根據本示例性實施例，當產生多個遮罩的圖案的資料時在更短的時間內分割圖案。
也可透過如下方式實現上述的示例性實施例，即經由網路或各種類型的儲存媒體向系統或設備供給 實現上述的示例性實施例的各功能的軟體程式，並且，系統或設備中的電腦(或CPU或MPU)讀取和執行儲存於這種儲存媒體中的程式。
在遮罩繪製設備中輸入如上面描述的那樣產生的遮罩的資料，並且，製造多個遮罩。在曝光設備的遮罩台架上安裝製造的遮罩，並且，透過照射光學系統照射它。根據該照射，在晶圓上曝光遮罩圖案的圖像。在完成使用製造遮罩中的一個的晶圓的曝光之後，透過使用不同的遮罩曝光晶圓的同一層。以這種方式，可透過多重構圖在晶圓的一個層上形成圖案。
以下，將描述諸如液晶顯示裝置的裝置的製造方法。液晶顯示裝置製造過程包括透明電極的形成過程。透明電極形成過程包括透過氣相沉積向具有透明導電塗層的玻璃基板施加感光材料、在曝光設備上設定如上面描述般製造的遮罩並曝光施加了感光材料的玻璃基板、以及顯影玻璃基板。
在上述的曝光設備中，照射光學系統用來自光源的光照射遮罩，以透過投影光學系統等將在遮罩上形成的電路圖案轉印到晶圓上。但是，示例性實施例不限於這種曝光設備。曝光設備可以是被配置為透過使在模子上形成的圖案與在基板上施加的樹脂相互接觸並接著使樹脂固化或硬化而在基板上形成圖案的壓印設備。在這種情況下，經分割的遮罩圖案的資料與在模子上形成的圖案對應。另外，在示例性實施例中描述的曝光設備可以是被配 置為用電荷粒子束(電子束)在基板上執行繪製的設備。在這種情況下，基於經分割的遮罩圖案的資料控制被配置為執行繪製的設備。此外，可透過對於各分割的遮罩圖案組合使用上述的各種設備形成圖案的圖像。
除了液晶顯示裝置的製造以外，上述的使用曝光設備的裝置製造方法也適於供諸如半導體裝置的裝置使用。該方法可包括在曝光設備上安裝如上面描述般製造的遮罩、曝光施加了感光材料的基板並顯影被照射的基板。此外，裝置製造方法可包括諸如氧化、成膜、氣相沉積、摻雜、平坦化、蝕刻、抗蝕劑剝離、切割、接合和封裝的其他已知的處理。
也可透過讀出並執行記錄於儲存媒體(例如，非暫態電腦可讀儲存媒體)上的電腦可執行指令以執行上述的本發明的實施例中的一個或更多個的功能的系統或設備的電腦、以及透過由系統或設備的電腦透過例如從儲存媒體讀出並執行電腦可執行指令以執行上述的實施例中的一個或更多個的功能而執行的方法，實現本發明的實施例。電腦可包括中央處理單元(CPU)、微處理單元(MPU)或其他電路中的一個或更多個，並且可包括單獨的電腦或單獨的電腦處理器的網路。可例如從網路或儲存媒體向電腦提供電腦可執行指令。儲存媒體可包括例如硬碟、隨機存取記憶體(RAM)、唯讀記憶體(ROM)、分散式計算系統的記憶體、光碟(諸如緊致盤(CD)、數位通用盤(DVD)或藍光碟(BD)TM ))、快閃記憶體裝 置和儲存卡等中的一個或更多個。
雖然已參照示例性實施例說明了本發明，但應理解，本發明不限於揭示的示例性實施例。以下的申請專利範圍的範圍應被賦予最廣義的解釋以包含所有這樣的變更方式和等同的結構和功能。

Claims (13)

  1. 一種遮罩資料產生方法，該方法使用電腦產生用於多重構圖的包含第一遮罩和第二遮罩的多個遮罩的資料，該多重構圖使用第一遮罩將基板構圖並接著使用第二遮罩將該基板構圖，該方法包括：獲得包含多個圖案元素的圖案的資料；透過使用獲得的圖案的資料將圖案的區域分成多個部分以使得該多個圖案元素的各圖案元素被佈置在一部分中，並產生包含指示各部分中的圖案元素的有無的資訊的映射資料；透過使用約束條件和該映射資料，對於包含圖案元素的每一部分設定多條遮罩個別資訊中的一條遮罩個別資訊，該約束條件禁止在包含一個部分及其周圍的部分的約束區域中設定相同遮罩個別資訊；和透過使用設定的遮罩個別資訊產生與該多條遮罩個別資訊對應的該多個遮罩的資料。
  2. 根據申請專利範圍第1項的遮罩資料產生方法，其中，該約束區域是包含一個部分和以該一個部分為中心的周圍部分的區域。
  3. 根據申請專利範圍第1項的遮罩資料產生方法，其中，該約束區域是包含一個部分和與該一個部分相鄰的部分的區域。
  4. 根據申請專利範圍第1項的遮罩資料產生方法，還包括透過對於該多個部分重複進行如下操作來設定多條 遮罩個別資訊：從該多個部分選擇一個部分，並在包含所選擇的部分的約束區域中的包含圖案元素的部分中，設定與對於所選擇的部分設定的遮罩個別資訊不同的遮罩個別資訊。
  5. 根據申請專利範圍第1項的遮罩資料產生方法，還包括設定已被從該多條遮罩個別資訊中的不在該約束區域中使用的遮罩個別資訊中隨機選擇的遮罩個別資訊。
  6. 根據申請專利範圍第1項的遮罩資料產生方法，還包括使用整數規劃設定遮罩個別資訊。
  7. 根據申請專利範圍第6項的遮罩資料產生方法，還包括設定遮罩個別資訊，以使得在數條遮罩個別資訊在整數規劃中被用作代價函數的情況下，代價函數被最小化。
  8. 根據申請專利範圍第6項的遮罩資料產生方法，還包括：如果多個部分中的包含圖案元素的部分被設定為頂點，則透過在禁止設定相同遮罩個別資訊的約束區域中透過邊緣連接頂點來設定約束條件，並且透過使用整數規劃設定遮罩個別資訊以使得在透過邊緣連接的頂點的部分中不設定相同遮罩個別資訊。
  9. 根據申請專利範圍第1項的遮罩資料產生方法，其中，遮罩個別資訊是號碼資料或顏色資料。
  10. 一種導致電腦執行根據申請專利範圍第1至9項中的任一項的遮罩資料產生方法的程式。
  11. 一種資訊處理設備，用於執行根據申請專利範圍 第1至9項中的任一項的遮罩資料產生方法。
  12. 一種光刻設備，該光刻設備使用在第一遮罩上形成的圖案和在第二遮罩上形成的圖案在多重構圖中將基板構圖，該多重構圖使用第一遮罩將基板構圖並接著使用第二遮罩將該基板構圖，其中，包含第一遮罩和第二遮罩的多個遮罩的資料是透過遮罩資料產生方法所產生，並且，其中，該遮罩資料產生方法是使用電腦產生多個遮罩的資料之方法，該方法包括：獲得包含多個圖案元素的圖案的資料；透過使用獲得的圖案的資料將圖案的區域分成多個部分以使得各圖案元素被佈置在各部分中，並產生包含指示各部分中的圖案元素的有無的資訊的映射資料；透過使用約束條件和該映射資料，對於包含圖案元素的每一部分設定多條遮罩個別資訊中的一條遮罩個別資訊，該約束條件禁止在包含一個部分及其周圍的部分的約束區域中設定相同遮罩個別資訊；和透過使用設定的遮罩個別資訊產生與該多條遮罩個別資訊對應的該多個遮罩的資料。
  13. 一種裝置製造方法，包括使用光刻設備將基板構圖並且顯影構圖的基板，其中，該光刻設備使用在第一遮罩上形成的圖案和在第二遮罩上形成的圖案在多重構圖中將基板構圖，該多重構圖使用該第一遮罩將基板構圖並接著使用該第二遮罩將 基板構圖，其中，包含該第一遮罩和該第二遮罩的多個遮罩的資料是透過遮罩資料產生方法所產生，並且，其中，該遮罩資料產生方法是使用電腦產生多個遮罩的資料之方法，該方法包括：獲得包含多個圖案元素的圖案的資料；透過使用獲得的圖案的資料將圖案的區域分成多個部分以使得各圖案元素被佈置在各部分中，並產生包含指示各部分中的圖案元素的有無的資訊的映射資料；透過使用約束條件和該映射資料，對於包含圖案元素的每一部分設定多條遮罩個別資訊中的一條遮罩個別資訊，該約束條件禁止在包含一個部分及其周圍的部分的約束區域中設定相同遮罩個別資訊；和透過使用設定的遮罩個別資訊產生與該多條遮罩個別資訊對應的該多個遮罩的資料。
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