TWI424135B - Ventilation device - Google Patents

Description

通氣裝置

本發明係關於一種通氣裝置，特別係關於一種可調整空氣之通氣量者。

於建築物、房間或機械設備之換氣及空調等之通風路徑之末端，可能會設置具備可調整空氣之通氣量的功能之通氣裝置。

例如，於專利文獻1中揭示可藉由螺絲機構使擋板上下滑動調整風量之通氣裝置。

但，影像機器等所使用之液晶面板等是以玻璃基板構成，於其製造過程中，含有於基板上塗佈特定溶液並使之加熱乾燥，將該加熱乾燥後之基板以熱處理裝置加熱之步驟。

此處之熱處理係於玻璃之表面塗佈溶液之狀態下進行，故於熱處理時表面之溶媒及一部分有效成分會昇華。因此在熱處理裝置之內部，昇華物之濃度將逐漸上昇。其結果，將產生昇華物再固化而下落至基板上之問題。

因此熱處理基板之熱處理裝置需使加熱室內適當換氣，以避免昇華物之濃度上昇至超過一定程度。

換氣係藉由例如於連接加熱室之內外之導管內設置送風機，以送風機將加熱室內之空氣排出屋外而進行。又換氣用之送風機，多為恆常地以一定之旋轉數旋轉之情形。

熱處理裝置係例如專利文獻2所揭示者。專利文獻2中記 載之熱處理裝置，係於加熱室內配置載置棚上，以機械手臂將基板載入載出。

[專利文獻1]日本特開平5-272797號公報

[專利文獻2]日本特開2006-46894號公報

將加熱室內換氣之情形，如前所述，若使換氣用之送風機恆常以一定之旋轉數旋轉，應可從加熱室中不斷排出一定量之空氣，使昇華物之濃度保持在一定程度以下。但根據先前技術之方案，存在加熱室內之溫度變得不穩定之缺點。

即如專利文獻2所述，於加熱室內配置載置棚，以機械手臂將基板載入載出之構造之熱處理裝置，如前所述，會發生在進行基板熱處理當中打開開閉門而將其他基板載入載出之情形。

此處將基板載入載出之開閉門，其開口面積大且氣密性高。因此當開閉門為關閉之情形時，在送風機之旋轉下會使加熱室內成為負壓氣氛。

又該狀態下，若為了載入載出基板而將開閉門打開，則大量空氣會一下子流入加熱室，造成加熱室之溫度急速下降。

因此，可考量藉由開閉控制加熱室之進氣口，將加熱室內之壓力保持在外氣壓附近以抑制打開開閉門時之空氣流入，作為防止加熱室之溫度下降之方案。

但，專利文獻1所記載之通氣裝置，不適用於嚴禁粉塵存在之液晶面板所使用之熱處理裝置或冷卻裝置等。即，因專利文獻1之通氣裝置在調整風量時，需不斷調整配置於通氣流路附近之螺絲機構使擋板滑動，使得構件彼此磨耗，而存在磨耗時所形成之構件之粉塵流入熱處理裝置或冷卻裝置之情形。又，因流入熱處理裝置或冷卻裝置之粉塵附著於製造過程中之液晶面板，故存在使基板之製品價值顯著下降之問題。又，可調整通氣量之裝置雖有公知之節氣門，但因如此之節氣門係在構造上於調整風量時會不斷摩擦各構件，故會產生同樣的問題。

又，因先前技術之通氣裝置於風量調整時會不斷造成構件彼此之磨耗，故構件之劣化快，而有需要定期性維護之困擾。

因此本發明鑒於前述先前技術問題，其目的在於提供幾乎不會造成調整通氣量之構件劣化之情形、且於風量調整時於通氣流路附近不會產生粉塵之通氣裝置。

為解決前述問題之本發明之通氣裝置，係具備氣體流通之開口部者，其特徵在於：其係包含薄片(sheet)，前述薄片係其一端側固定於前述開口部或開口部之附近，藉由使另一端側移動而使該薄片之中間部於覆蓋前述開口部之方向移動，並藉由通過開口部之氣體之壓力而被吸著於開口部側者，藉由覆蓋前述開口部之薄片之吸著面積之大小，可改變開口部之有效開口面積。(請求項1)

根據前述構成，由於將薄片之一端側固定於開口部或開口部之附近，使薄片之中間部向遮蔽開口部之方向移動，並藉由通過該開口部之氣體之壓力使薄片壓住開口部，故於調整開口部之有效開口面積時，構件彼此不會互相摩擦。藉此，本發明之通氣裝置即使在調整通氣量時，構件彼此亦不會於通氣流路附近摩擦，故不會產生粉塵。

又，因調整通氣量之薄片係設計為始終被通過開口部之氣體之壓力所壓住之構造，故即使於通氣量調整時亦不易對薄片產生過大負荷。例如，若為使薄片於上下方向移動之情形，則在開口部未有空氣通氣之狀態下，薄片會因重力成為一部分向下方下垂之自然狀態；而即使在開口部有空氣通氣之狀況下，因只有薄片之中間部被開口部吸著而不致於使薄片之形狀改變，故薄片可在自然狀態下調整空氣量。

又若為使薄片於水平方向移動之情形，則在開口部未有空氣通氣之狀態下，薄片處於藉由自身之彈性而自然彎曲之狀態；而即使在開口部有空氣通氣之狀況下，因只有薄片之中間部被開口部吸著而不致於使薄片之形狀改變，故薄片可在自然狀態下調整空氣量。

即，因本發明之通氣裝置具有即使在通氣量之調整時薄片等構件亦不易劣化之構成，故無需定期性維護。

本發明之通氣裝置中，前述薄片宜以前述一端側為基準向覆蓋開口部之方向推動。(請求項2)

根據前述構成，由於對薄片之中間部以一端側為基準向 覆蓋開口部之方向推動，故使薄片移動時薄片之形狀不會變形，故更易於調整開口部之開口面積。換言之，薄片較佳為以被固定之一端側為基準向開口部側拉伸之狀態。

本發明之通氣裝置中，前述推動力宜為重力。(請求項3)

根據前述構成，由於將薄片之中間部藉由重力推動，故構造可單純化。例如，薄片可設為垂直方向為U字形且於底部積載重物之構造。

本發明之通氣裝置中，具有長度不同之2片以上之薄片，任一薄片均為其一端側固定於前述開口部或開口部之附近，藉由使另一端側移動而使該薄片之中間部可於覆蓋前述開口部之方向移動；於前述2片以上之薄片中宜混設通氣性不同者。(請求項4)

根據前述構成，由於具有2片以上通氣性不同之薄片，且任一薄片均為將一端側固定於開口部或開口部之附近，薄片之中間部可於遮蔽前述開口部之方向移動，故可進行更精微之通氣量之調整。例如，2片薄片中，將一方之薄片A設為較另一方之薄片B之通氣性更高之薄片之情形時，可配置為將直接覆蓋開口部之側設為薄片B，而將經由薄片B覆蓋開口部之側設為薄片A。藉此，其構成為，即使薄片B完全覆蓋開口部，一部分空氣仍可經由薄片B通氣，而以薄片A覆蓋薄片B，則薄片A、B重合之部分成為遮斷通氣之空氣。藉此，即使在通氣量急速增長之情形下，亦可藉由組合2片薄片覆蓋開口部來減少通氣量，而 即使在通氣量減少之情形下，亦可由1片薄片覆蓋開口部來使通氣量增加。

本發明之通氣裝置中，宜具備使薄片之另一端側移動之致動器，前述致動器可基於特定之信號而調節開口部之有效面積。(請求項5)

根據前述構成，由於藉由致動器使薄片之另一端側移動，該致動器接收特定之信號而調整開口部之有效開口面積，故可更確實地控制空氣之通氣量，使壓力及溫度管理變得容易。

本發明之通氣裝置中，宜於具備可開閉開口部之擋板，藉由前述擋板亦可改變開口部之有效開口面積。(請求項6)

根據前述構成，由於藉由擋板亦可改變開口部之有效開口面積，故與薄片組合下，可進行對應於各種狀況之通氣量之調整。即，可預先將開口部之一部分藉由擋板遮蔽，而以薄片進行通氣量之微調整。藉此可防止通氣量之急速變化。又，反之於通氣過程中使擋板之遮蔽開放，可積極地產生通氣量之急速變化。

又本發明之通氣裝置中，前述擋板係相對於開口部於直線方向或旋轉方向移動而改變開口部之有效開口面積者，亦可為於該擋板設有缺口部或貫通孔者。(請求項7)

根據前述構成，雖藉由向直線方向或旋轉方向移動擋板而增減開口部之開口面積，但特別於本發明所採用之擋板，設有缺口部或貫通孔。因此可使開口面積之增減量相對於擋板之移動量產生變化。

本發明之通氣裝置乃藉由移動薄片之一端側以遮蔽開口部，並藉由氣體之壓力使薄片遮蔽開口部，而可調整開口部之通氣量，故可防止因構件之磨耗造成粉塵之產生等。此外，因即使在調整通氣量時，亦不易對構件產生不必要之負荷，故幾乎不會造成構件之劣化而無需定期性維護。又，因本發明之通氣裝置無需復雜之構造部，故即使在進行維護之情形時亦非常容易。

以下，對本發明之實施形態，參照圖式進行詳細說明。

如圖1所示，本發明之通氣裝置61配置於用於玻璃製之液晶面板之製造過程中所使用之熱處理裝置1。具體而言，通氣裝置61配置於熱處理裝置1之正面、用於搬入基板之基板搬入口6之附近。又，於熱處理裝置1內，內藏可將基板配置於垂直方向30段以上(未圖示)之載置棚16(圖6、7)，及用以昇降載置棚16之昇降機構21(圖7)。

本實施形態之通氣裝置61，於熱處理裝置1上配置4個。

通氣裝置61如圖2所示，包含於熱處理裝置1之壁面形成開口之開口形成構件65、薄片66、擋板67及固定薄片66之一端側且直線移動之開閉裝置68。

開口形成構件65係框狀，於一面側設有通氣量調整面71，於內部設有使擋板67插通之空間82(圖3)。

即開口形成構件65以正面視係大致正方形，如圖3(b)所示，其正面側與背面側連通，於內部具有使擋板67***之 空間82。更詳細地說明，開口形成構件65之背面如圖3(b)所示大幅開口，該開口69與開口形成構件65內之空間82連通。又開口形成構件65之正面側設有排列成格子狀之複數之貫通孔80之集合體(開口部)76，開口形成構件65之邊緣包圍著該集合體76之周圍。

即開口形成構件65之正面側具有大致正方形狀之多數之貫通孔80，形成1個集合體(開口部)76。集合體76與通氣量調整面71之各端部(4邊)空出一定間隔而配置，且形成為大致正方形。又，因前述背面之開口69與貫通孔80之集合體76連通，故氣體可經由開口形成構件65從外部流入熱處理裝置1內部。

即開口形成構件65如圖3(b)所示，安裝於熱處理裝置1之壁面而連通熱處理裝置1之內外。

於開口形成構件65之一方之側面設有大致長方形狀之擋板插通口72。擋板插通口72與開口形成構件65之內部連通。

於通氣量調整面71之上面側配置固定後述之薄片66之一方之端部之薄片固定部86。薄片固定部86係具有固定板77，可由固定板77夾持薄片66並以螺絲等固定者。

擋板插通口72如圖3所示，係連通外部與通氣裝置61之內部(空間82)之狹縫狀貫通孔，可插通後述之擋板67者。具體而言，擋板插通口72，其長方向之長度m具有與貫通孔80之集合體76之邊中於上下延伸之邊(以圖2為基準)之長度L同等或更大之長度，其短方向之長度n具有與擋板67之 厚度同等或更大之長度。即，擋板插通口72專為使擋板67插通而形成，不具有如貫通孔80般使氣體通過之功能。因此，為保持熱處理裝置1內部之一定之氣密性，宜於擋板插通孔72之開口周圍設置橡膠性之密封材(未圖示)。

又，為固定插通於擋板插通口72之擋板67之位置，於通氣量調整面71之擋板插通口72側設置固定用之螺絲孔83，使螺絲90插通於該螺絲孔83。插通後之螺絲90於擋板插通口72內突出，且螺絲90之前端壓住擋板67。

即，將擋板67插通於擋板插通口72後，可將擋板67固定於適當位置，然後將螺絲90插通於固定螺絲孔83而定位擋板67之位置。

薄片66係以聚四氟乙烯(polytetrafluoroethylene)所構成之氟化碳樹脂而構成，且可遮斷通氣性者。薄片66，其寬度(短方向之長度)具有與貫通孔80之集合體76所形成之正方形中向左右延伸之邊(以圖2為基準)之長度S同等或更大之長度，其與前述寬度大致正交之長方向之長度具有貫通孔80之集合體76之長度L以上之長度。具體而言，如圖2所示，因薄片66之端部分別固定於開口形成構件65與後述之開閉構件68，中間部因重力而向下方下垂，故調整通氣量時最初遮蔽開口之部位係薄片66之中間部。因此，薄片66宜為從中間部至固定於開閉裝置68之端部之長度比集合體76之長度L大。藉此，薄片66成為具有可完全覆蓋通氣量調整面71之貫通孔80之集合體76之構成。

擋板67係以不銹鋼等金屬構成之矩形之薄板。擋板67如 前所述係插通於開口形成構件65之擋板插通口72，可遮蔽通氣貫通孔80之空氣者。即，擋板67其插通方向長度比貫通孔80之集合體76之長度S長，其正交於插通方向之長度具有與貫通孔80之集合體76之長度L同等或更大之長度。因此，當完全遮蔽貫通孔80之集合體76之情形時，可使用薄片66或擋板67使通氣停止。又，正交於擋板67之插通方向之剖面積，必須與擋板插通口72之開口面積同等或比其略小。

開閉裝置68如圖4所示，具備致動器73，該致動器73係基於置於熱處理裝置1內部之壓力感測器(圖8)之信號動作者。致動器73具備馬達75、滑動組件74。

滑動組件74係從齒輪箱(gear box)79突出有桿構件78者。齒輪箱79係於內部內藏未圖示之齒條與小齒輪(rack and pinion)者，將馬達75之旋轉力轉換成直線移動力。本實施形態中，當馬達75旋轉時，桿構件78會直線移動。

本實施形態所採用之致動器73之機構，雖會產生構件間之摩擦，但如公知之節氣門等，由於機械構件未位於通氣流路，故構件之粉塵等幾乎不會流入熱處理裝置1之內部。

又，因於熱處理裝置1之外部具備於垂直方向延伸之細長支持構件84，及以正交於該支持構件84之方式接合且於水平方向延伸之固定構件85，並將桿構件78經由中間構件88與支持構件84接合，故馬達75之驅動力會傳動至支持構件84，使支持構件84及固定構件85直線性於垂直方向上下 移動。

支持構件84具有遍及排列於垂直方向之所有通氣口之長度，固定構件85設置與通氣口相同之數量，以位於通氣口附近之方式配置。又，可於固定構件85上，配置固定薄片66之另一方之端部之薄片固定部87，而藉由薄片66調整通氣量調整面71之開口狀態。因此，藉由驅動致動器73，可使支持構件84及固定構件85直線移動而使薄片66直線移動。又，薄片固定部87具有與前述薄片固定部86同樣之構成。

以下對本實施形態之通氣裝置61之組裝構造進行說明。

本實施形態之通氣裝置61如圖1所示，配置於熱處理裝置1之正面側，以覆蓋設置於熱處理裝置1之通氣口(未圖示)之方式配置，並藉由螺絲等固定。

開口形成構件65，其開放面(開口69)側鄰接於熱處理裝置1，通氣量調整面71配置於與開放面對向之側。即，因熱處理裝置1之通氣口與通氣量調整面71之貫通孔80連通，故氣體可從外部流入熱處理裝置1之內部。又，於開口形成構件65中、熱處理裝置1之壁面與開口形成構件65之通氣量調整面71之間之側面，配置擋板插通口72，將擋板67插通於該擋板插通口72而固定於適當位置。即，藉由插通擋板67而遮蔽開口，可預先限制流入熱處理裝置1之氣體之通氣量。

又，於位於通氣量71之上方側之薄片固定部86，固定薄片66之一方之端部。又，薄片66之另一方之端部固定於具 有開閉裝置68之固定構件85之薄片固定部87。固定構件85構成開閉裝置68之一部分，經由支持構件84與中間構件88與致動器73接合。又，薄片固定部86與固定部87係為平行配置之位置關係。即，藉由致動器73之驅動，可使固定構件85中被固定之薄片66之另一方之端部始終以與固定部86平行之位置關係移動。換言之，藉由使薄片66之另一方之端部移動，可調整通氣量調整面71之貫通孔80之開度。

即通氣裝置61係構成熱處理裝置1之進氣口者，通氣量調整面71附近係負壓傾向。因此薄片66會被吸著於通氣量調整面71，而覆蓋通氣量調整面71之一部分。又藉由使薄片66之另一方之端部移動，改變薄片66之下垂量。因此被吸著於通氣量調整面71之薄片66之吸著面積改變，而可調整通氣量調整面71之有效開度。

以下對通氣裝置61之使用方法及動作使用圖式進行說明。

本實施形態之通氣裝置61係安裝於如圖1之熱處理裝置1而發揮功能者。

熱處理裝置1係長、寬、高為7m、4m、6m左右之巨大裝置。

熱處理裝置1係具有金屬製箱形之外壁部2，設有機器收容部3，於其上方設置基板處理部5之構成。機器收容部3內藏向基板處理部5供給電力之電源裝置(未圖示)及控制基板處理部5之動作之控制裝置(未圖示)等。

基板處理部5係大致立方體，如圖1或圖7所示於正面側 具有4個藉由未圖示之機械手臂等移載裝置而將基板載入載出之基板搬入口6。又與基板搬入口6相同之面上，設有通氣裝置61。本實施形態所採用之通氣裝置61係於縱列設有4個開口形成構件65。

送風機8之一部分從基板處理部5之一方之側面(進氣口側)突出。送風機8係於熱處理裝置1內用於使熱風循環者。

於另一方之側面設有門10。門10係於維護時打開供作業者進出而設置。

於前述基板搬入口6，安裝有與氣壓缸11之動作連動而開閉之擋板9。

基板處理部5之內部以平面性觀察如圖6所示大致分成2片區域。即基板處理部5之內部分成熱處理室12(加熱室)與熱風供給部14。

此處熱風供給部14係內藏使熱風循環於熱處理室12內之裝置之部位。更具體而言，熱風供給部14係用於加熱被導入熱處理裝置1之內部之外氣，或從熱處理室12之下游端流回之空氣等，並送入熱處理室12內者，且具備送風機8或加熱器(未圖示)等。又於熱風供給部14之基板處理部5側之面上設有過濾器15。

熱處理室12(加熱室)，係藉由安裝有過濾器15之上游壁20及絕熱材構成之周壁13所包圍之艙室。

於熱處理室12(加熱室)之中央配置包含載置棚16之基板換裝系統18。

熱處理室12經由構成上游壁20之過濾器15之開口而與熱風供給部14連通。

如圖7所示，於熱處理室12之大致中央部，配置基板換裝系統18。基板換裝系統18包含用於積載基板之載置棚16，與使該載置棚16整體昇降之昇降裝置21。

又實際之載置棚16雖具有30段以上之段部，但因製圖之關係，圖示為具有8段之段部者。因此圖示之載置棚16其高度方向之比例與實際相比有所縮小。

本實施形態之熱處理裝置1，與公知之情形相同，於熱處理室12內之載置棚16設置玻璃基板並進行熱處理。

即，使昇降裝置21動作以昇降昇降台25，使載置棚16之任一段部之高度與任一換裝口6之高度一致。又以未圖示之機械臂保持基板W，打開換裝口6，將玻璃基板W設置於熱處理室12內之載置棚16之前述段部。

之後再度使昇降裝置21之昇降台25動作，使其他任一段部之高度與任一換裝口6之高度一致，而***另一基板W。以下，重覆該動作將基板W安裝於載置棚16之所有段部。

另一方面，於熱處理裝置1內，啟動熱風供給部14之送風機8及加熱器(未圖示)，使熱處理室12內為熱風之通風氣氛。

又如圖8所示於熱處理室12內設置排氣導管30，於該排氣導管30之途中設有送風機31。

又將送風機31之馬達予以變流控制，可任意改變旋轉 數。本實施形態中，對應於以熱處理室12熱處理之基板之片數，而改變馬達之旋轉數。即當熱處理之基板之數量多之情形時，使馬達之旋轉數上昇以增大換氣量，於基板之數少之情形時，減少馬達之旋轉數以減少換氣量。

本實施形態之熱處理裝置1，為將加熱基板時產生之氣體排出至外部，故使送風機31恆常運轉，因而熱處理裝置1內部之壓力為負壓傾向，但藉由設置通氣裝置61，可使熱處理裝置1之內外之壓力差成為幾乎沒有之狀態。

即本實施形態之熱處理裝置1中具有檢測內部壓力之壓力感測器，將該壓力感測器之信號反饋至致動器73，調節通氣裝置61之有效開度以調整通氣量。即，依據熱處理裝置1之外部壓力與內部壓力之差而進行控制，由未圖示之控制裝置接收配置於熱處理裝置1之內部之壓力感測器所發出之信號，若內部壓力比大氣壓低則致動器73動作，使薄片66於上方向移動，以增大通氣裝置61之有效開度。

另一方面，若熱處理裝置1之內部壓力接近或超過大氣壓，則致動器73動作，使薄片66於下方向移動，以降低通氣裝置61之有效開度。

更具體地說明，在圖5所示之狀態下，當熱處理裝置1之內外壓力差大之情形(熱處理裝置1內為負壓)時，以使支持構件84於垂直方向向上移動之方式控制致動器73之旋轉，使薄片66之另一方之端部向上方移動。藉此，如圖2所示，因覆蓋通氣量調整面71之貫通孔80之集合體76之面積減少，故薄片66遮蔽貫通孔80之面積減少。換言之，流入 熱處理裝置1內之氣體之量大幅增加，可控制使熱處理裝置1之內外壓力差減小。

又，若開度擴大而壓力差減小時，則使具有致動器73之馬達75向與先前所說明之方向相反之方向旋轉，使薄片66之另一方之端部向下方移動，則如圖5所示，可增大覆蓋通氣量調整面71之貫通孔80之集合體76之面積。藉此，因通過通氣裝置61之空氣量減少，故內外之壓力差再度增大，故再度進行減小壓力差之控制。又，因本實施形態之通氣裝置61所採用之控制方法只控制開閉方向，而未採用比例控制，故薄片66會不斷地昇降。因此基於防止裝置振動之目的，故將減緩致動器73之動作速度設為慢速。

若採用比例控制，則亦可將致動器73之旋轉數設為高速，進行使通氣量急速增加之控制。

根據本發明之通氣裝置61，由於可進行幾乎不產生熱處理裝置1之內外壓力差之控制，故即使從基板搬入口6導入基板時，亦可防止外部氣體從基板搬入口6急速流入。藉此，可抑制氣體從基板搬入口6急速流入，防止熱處理裝置1之內部溫度變動及溫度分布混亂。

又，本實施形態之通氣裝置61，係以致動器73驅動使支持構件84於垂直方向直線移動，而如圖5所示，使薄片66遮蔽貫通孔80之集合體76，藉由通氣之氣體壓力使薄片66被貫通孔80之集合體76吸著，調整通氣之氣體量。即，在控制通氣量時，因可只以薄片66之吸著面積調整氣體通氣之開口，故不會發生構件彼此摩擦而使構件產生粉塵之情 形。因此，根據本實施形態之通氣裝置61，即使調整通氣量，通氣裝置61之開口附近亦不會產生構件之磨耗，故可防止因磨耗所產生之粉塵等流入熱處理裝置1之內部。即，於製造過程中之基板上不會附著粉塵等，故不會使製品價值降低。此外，調整通氣量時，因薄片66幾乎不會造成負荷，故無需構件之定期性維護。

又本實施形態之通氣裝置61，除藉由薄片66進行有效開口面積之增減外，亦可藉由擋板67增減有效開口面積。擋板67並非藉由動力而動作者，而是固定為一定之開度者。因此擋板67可謂係一個開口形成構件65增減本身之通氣能力者。

本實施形態所採用之通氣裝置61，係具有複數之開口形成構件65者，藉由個別調節擋板67，可改變從各開口形成構件65導入之空氣量之比率。

即本實施形態所採用之通氣裝置61，雖具有複數之開口形成構件65，但因與薄片66之動作連動，故只要各開口形成構件65之擋板67之位置相同，則無論薄片66之動作位置為何，任一開口形成構件65之有效開口面積均相同。

與之相對，若擋板67之位置有所變化，則任一開口形成構件65雖均對應於薄片66之動作位置以薄片66覆蓋之面積相同之方式作改變，但此時各開口形成構件65之有效開口面積不同。

利用該性質可使熱處理裝置1內之溫度分布均一化。

即作為熱處理裝置1所要求之品質之一，舉例有熱處理 室12(加熱室)內部之溫度偏差需小。此處根據經驗，加熱室內上下之溫度偏差大。

前述實施形態之熱處理裝置1所採用之通氣裝置61，具有複數之開口形成構件65，該等係上下排列。因此藉由改變擋板67之位置，可改變導入該高度位置之空氣量之比率。因此因高度所產生之溫度偏差，可藉由導入之空氣量不同而修正。

根據經驗，熱處理室12之溫度為上部側高而下部側溫度低。因此將擋板67之位置設為越是位於上部者則開度越大。

藉由如此，於易變成高溫之上部側導入相對大量之空氣，於易變成低溫之底部導入少量之空氣，使熱處理室12內部之溫度平滑化。

本實施形態中雖示意為將通氣裝置61運用於液晶面板之製造過程所使用之熱處理裝置1之構成，但本發明並非局限於此，亦可為運用於嚴禁粉塵等流入之無塵室等之構成。

本實施形態中雖示意為將致動器73之控制運用在依據熱處理裝置1之內外壓力差而僅控制開閉方向，但本發明並非局限於該構成，亦可為使用ON/OFF控制或比例控制於穩定壓力之位置使致動器73之驅動停止之構成。

本實施形態中雖示意為於1個支持構件84接合4個固定構件85之構成，但本發明並非局限於該構成，亦可為相對於1個固定構件85接合1個支持構件84而分別連接致動器73之 構成。但，若為該構成，則存在構件數增多、成本隨之大幅增加之情形，故宜採用前述之實施形態之構成。

本實施形態中雖示意為將薄片66之端部固定於開口形成構件65與開閉裝置68之固定構件85、而使薄片66之中間部藉由自重向下方下垂之構成，但本發明並非局限於該構成。例如，亦可為如圖9(a)所示，於薄片66之中間部之向下方下垂之袋狀位置配置筒狀重物之構成。藉此，可使薄片66以薄片固定部86為基準向覆蓋開口部之方向(其中一方向)確實地推動，可防止在調整通氣量時薄片66變形。即，因薄片66藉由重物而恆常向前述其中一方向作用一定之拉伸力，故可抑制薄片66所易產生之波紋等之發生。又，如圖9(a)所示，宜於重物之兩端安裝L字狀構件，或如圖9(b)所示，於重物之兩端安裝比重物之外徑大之圓形構件，以免重物落下。

此外，如圖9(c)所示，亦可為除重物外，再用彈簧等拉伸力更強力地推動之構成。

本實施形態中雖示意為將具有開口形成構件65之貫通孔80之集合體76之形狀設為大致正方形之構成，但本發明並非局限於此，如圖10所示，亦可為將集合體76之形狀設為梯形之構成。

本實施形態中雖示意為將擋板67設為大致正方形之構成，但本發明並非局限於此，如圖11所示，亦可為於擋板設置缺口部74而將擋板67之形狀設為梯形之構成。

根據本實施形態，可改變擋板67之移動量與開口面積之 關係。作為具有同樣效果之例，可考慮如圖12所示於擋板上設置開口(貫通之孔)89之方案。

本實施形態中雖示意為使擋板67相對於集合體(開口部)76直線移動之構成，但本發明並非局限於該構成。例如，如圖13所示，亦可為使設有複數個狹縫狀之開口(貫通之孔)之圓形狀之構件(擋板)相對於通氣量調整面71旋轉之構成。即，可考慮以下構成：將通氣量調整面71之中心與圓形狀之擋板之中心可旋轉地作為軸支，使該擋板旋轉而使通氣量調整面71之貫通孔80與該擋板之開口重合或錯開，藉此調整通氣量。該情形時，通氣量調整面71之貫通孔80宜設為與前述擋板之開口大致同樣之形狀。

本實施形態中雖示意為採用1片薄片66之構成，但本發明並非局限於此，如圖14所示，亦可使用2片以上之薄片66。該情形，宜提高先行關閉開口之薄片66之通氣性，消除之後關閉之薄片66之通氣性等，改變各薄片66之通氣性。

本實施形態中雖示意為通氣量調整面71為垂直情形之構成，但本發明並非局限於此，如圖15所示，亦可為使通氣量調整面71傾斜之構成。

即本實施形態中通氣量調整面71為傾斜姿態。因此在使薄片66昇降之情形時，薄片66與通氣量調整面71之接觸可確實地進行，使薄片66易與通氣量調整面71之形狀相合。

本實施形態中雖將通氣裝置61設置於裝置之進氣口，但亦可設置排氣口側。將本發明之通氣裝置61設置於排氣口 之情形時，需改為設置於熱處理裝置1之內側。

本實施形態中雖示意為將薄片66由聚四氟乙烯所構成之氟化碳樹脂構成，但本發明並非局限於此，只要為無通氣性且具有耐久性之素材即可。

本實施形態中雖示意為以手動移動擋板67之構成，但本發明並非局限於此，亦可為使用馬達等驅動力自動移動之構成。

本實施形態中雖示意為使薄片66之另一端部於垂直方向上下移動之構成，但本發明並非局限於此。例如，亦可為使薄片之另一端部於與集合體76正交之方向或包含垂直成分與水平成分之方向(包含曲線)移動。該情形時，薄片66之長度宜比前述實施形態長或短。

本實施形態中雖示意為薄片66之中間部向垂直方向下側下垂，使固定著薄片66之另一端之固定構件85向下側移動之構成，但本發明並非局限於此。例如，亦可為使薄片66之中間部朝向垂直方向上側或水平方向之構成。在該情形下，亦宜使薄片66之中間部以遮蔽集合體76之方式移動。

1‧‧‧熱處理裝置

2‧‧‧外壁部

3‧‧‧機器收容部

5‧‧‧基板處理部

6‧‧‧基板搬入口

8‧‧‧送風機

9‧‧‧擋板

10‧‧‧門

11‧‧‧氣壓缸

12‧‧‧熱處理室

13‧‧‧周壁

14‧‧‧熱風供給部

15‧‧‧過濾器

16‧‧‧載置棚

18‧‧‧基板換裝系統

20‧‧‧上游壁

21‧‧‧昇降機構

25‧‧‧昇降台

30‧‧‧排氣導管

31‧‧‧送風機

61‧‧‧通氣裝置

65‧‧‧構件

66‧‧‧薄片

67‧‧‧擋板

68‧‧‧開閉裝置

69‧‧‧開口

71‧‧‧通氣量調整面

73‧‧‧致動器

74‧‧‧滑動組件

75‧‧‧馬達

76‧‧‧集合體(開口部)

77‧‧‧固定板

78‧‧‧桿構件

79‧‧‧齒輪箱

80‧‧‧貫通孔

82‧‧‧空間

83‧‧‧螺絲孔

84‧‧‧持構件

85‧‧‧固定構件

86‧‧‧薄片固定部

87‧‧‧薄片固定部

88‧‧‧中間構件

89‧‧‧開口(貫通之孔)

90‧‧‧螺絲

W‧‧‧基板

圖1係表示採用本發明之實施形態之通氣裝置之熱處理裝置之立體圖；圖2係表示本發明之實施形態之通氣裝置(開口部開放狀態)之立體圖；圖3係包含開口形成構件之側面圖(a)及熱處理裝置之壁面之剖面圖(b)； 圖4係本發明之通氣裝置之正面圖；圖5係表示本發明之實施形態之通氣裝置(開口部局部遮蔽狀態)之立體圖；圖6係圖1所示之熱處理裝置之平面剖面圖；圖7係圖1所示之熱處理裝置之分解立體圖；圖8係表示圖1所示之熱處理裝置之進排氣機構之說明圖；圖9係表示本發明之變形例之通氣裝置之概略圖，(a)、(b)係藉由重物之推動，(c)係藉由重物與彈簧之推動；圖10係表示本發明之變形例(集合體之形狀)之通氣裝置之概略圖；圖11係表示本發明之變形例(擋板之形狀)之通氣裝置之概略圖；圖12係表示本發明之變形例(擋板之形狀)之通氣裝置之概略圖；圖13係表示本發明之變形例(擋板之形狀)之通氣裝置之概略圖；圖14係表示本發明之變形例(2片薄片)之通氣裝置之概略圖；及圖15係表示本發明之變形例(通氣量調整面傾斜)之通氣裝置之概略圖。

61‧‧‧通氣裝置

65‧‧‧開口形成構件

66‧‧‧薄片

67‧‧‧擋板

68‧‧‧開閉裝置

71‧‧‧通氣量調整面

72‧‧‧擋板插通口

76‧‧‧集合體(開口部)

77‧‧‧固定板

80‧‧‧貫通孔

83‧‧‧螺絲孔

84‧‧‧支持構件

85‧‧‧固定構件

86‧‧‧薄片固定部

87‧‧‧薄片固定部

89‧‧‧開口(貫通之孔)

90‧‧‧螺絲

Claims (7)

1. 一種通氣裝置，其係具備連通內外且氣體流通之開口部者，其特徵在於：該通氣裝置包含薄片；前述薄片係其一端側固定於前述開口部或開口部之附近，藉由使另一端側移動而使該薄片之中間部於覆蓋前述開口部之方向移動，並藉由通過開口部之氣體之壓力而被吸著於開口部側者；藉由覆蓋前述開口部之薄片之吸著面積之大小，使開口部之有效開口面積改變。
2. 如請求項1之通氣裝置，其中前述薄片係以前述一端側為基準向覆蓋開口部之方向被推動。
3. 如請求項2之通氣裝置，其中前述推動係藉由重力所施加之力。
4. 如請求項1至3中任一項之通氣裝置，其中具有長度不同之2片以上之薄片；任一薄片均為其一端側固定於前述開口部或開口部之附近，藉由使另一端側移動而使該薄片之中間部可於覆蓋前述開口部之方向移動；於前述2片以上之薄片中混設有通氣性不同者。
5. 如請求項1至3中任一項之通氣裝置，其中具備使薄片之另一端側移動之致動器；前述致動器可基於特定之信號而調節開口部之有效面積。
6. 如請求項1至3中任一項之通氣裝置，其中具備可開閉開口部之擋板；藉由前述擋板亦可改變開口部之有效開口面積。
7. 如請求項6之通氣裝置，其中前述擋板係相對於開口部於直線方向或旋轉方向移動而改變開口部之有效開口面積者，且於該擋板設有缺口部或貫通孔。