TWI394950B - 旋轉式三維動態測試設備 - Google Patents

Description

旋轉式三維動態測試設備

本發明係關於一種旋轉式三維動態測試設備，尤指一種適用於檢測動態感應器之旋轉式三維動態測試設備。

近幾年來，隨著微機電系統的日新月異，各種小型化、高性能且成本低廉之感應器紛紛問世，使得感應器由關鍵元件進一步提升成為產生創新價值的主要元件，例如：蘋果公司的iPhone、新世代iPod、任天堂的Wii所使用的三軸加速度感應器，大部分採用微機電系統技術運用在感測器上，常見的動態感應器有可檢測出迴轉或是振動的角速度感應器，也被稱為陀螺儀(Gyroscope)。

有鑑於此，有必要設計一種可大規模測試動態感應器之三軸運動訊號的設備，以提高測試之產能及降低測試成本。

本發明為一種旋轉式三維動態測試設備，包括一旋轉台、一三維翻轉裝置、複數測試座、一第一無線傳輸模組、以及一主控制器。其中，三維翻轉裝置包括有一固定座、一翻轉架、及一承載台。固定座組設於旋轉台上，翻轉架樞設於固定座上並沿一第一軸旋轉，承載台樞設於翻轉架上並沿一第二軸旋轉。而第一軸、及第二軸為彼此垂直正交。另外，複數測試座佈設於承載台上。此外，第一無線傳輸模組設置於三維翻轉裝置並電性耦接至複數測試座，第一無線傳輸模組用以發射複數測試座之測試資訊。主控制器則包括有一第二無線傳輸模組，其用以接收第一無線傳輸模組所發射之測試資訊。因此，本發明能提供陀螺儀、或其他動態感測器三個軸向的動態測試，並進一步測試其角加速度、及向心加速度。

其中，本發明之承載台可包括有相對應之一第一表面、及一第二表面，而複數測試座可分別佈設於第一表面、及第二表面。據此，本發明可進行雙面測試，亦即於承載台兩面皆可進行測試待測感測器，以增加測試規模，降低測試成本。當然不以雙面測試為限，承載台亦可為其他幾何多邊形，來構成更大的測試規模。

較佳的是，本發明之三維翻轉裝置可更包括有一控制器、及一電源模組。而控制器可電性連接複數測試座、第一無線傳輸模組、及電源模組。其中，控制器主要用以控制複數測試座、及第一無線傳輸模組，其包括資訊傳輸控制、及測試流程控制、甚至資料的編碼轉碼等。而電源模組則用以供給複數測試座、及第一無線傳輸模組電源。據此，本發明之三維翻轉裝置可達到全面無線化，亦即完全無須任何有線的電性連接，如此更有利於檢測過程中旋轉台之旋轉。

此外，本發明之主控制器可控制翻轉架相對於固定座沿第一軸旋轉，又可控制承載台相對於翻轉架沿第二軸旋轉。亦即，翻轉架、及承載台之轉向測試亦可藉由主控制器控制進行翻轉，達到完全自動化。其中，三維翻轉裝置之固定座可為一U形固定座，當然亦可為框形固定架、或其他等效構造。而三維翻轉裝置更包括有一旋轉馬達，可組設於U形固定座上，旋轉馬達可用以驅動翻轉架沿第一軸旋轉。

另外，本發明之三維翻轉裝置的翻轉架可為一框形翻轉架，當然亦可為U形翻轉架、或其他等效構造。同樣地，三維翻轉裝置可更包括有另一旋轉馬達，其可組設於框形翻轉架上，而另一旋轉馬達可用以驅動承載台沿第二軸旋轉。據此，本發明可利用旋轉馬達進行全自動化的翻轉以利進行三個維度的測試。

再者，本發明之旋轉台可開設有至少一離心半徑調整槽，而三維翻轉裝置之固定座可滑移並組設固定於至少一離心半徑調整槽內。抑或，本發明之旋轉台可開設有複數離心半徑調整孔，三維翻轉裝置之固定座可組設於複數離心半徑調整孔其中一。據此，本發明可藉由離心半徑調整槽、或離心半徑調整孔調整三維翻轉裝置距圓心之距離參數，可更進一步改變向心力、向心加速度、或其他檢測參數。

再且，本發明每一測試座可包括有一座體、一旋轉扣件、及一扭簧，其扭簧連結於座體、與旋轉扣件之間。亦即，利用扭簧之恢復彈力，提供一扣緊預力予旋轉扣件，來緊扣待測感測器於座體內，以避免承載台於翻轉過程或旋轉台旋轉之測試過程中，造成待測感測器掉落。此外，本發明之第一無線傳輸模組、及第二無線傳輸模組可為藍芽傳輸模組、射頻傳輸模組、或其他等效之無線傳輸模組亦可。

再者，本發明之旋轉式三維動態測試設備可更包括有一進料裝置，其包括有一旋轉輪、及至少一升降吸取頭。至少一升降吸取頭可組設於旋轉輪上並選擇式地移動至測試座上方，升降吸取頭係用以取放待測感測器於測試座內，旋轉輪會旋轉帶動升降吸取頭移動，以利檢測之進行。

抑或，進料裝置亦可再包括一進料平台、及一機器手臂，至少一升降吸取頭可選擇式地移動至進料平台上方而機器手臂可選擇式地移動於進料平台與複數測試座之間。其中，升降吸取頭係用以取放待測感測器於進料平台上，而機器手臂再將待測感測器從進料平台取出並置於複數測試座內。其中，進料平台可為旋轉平台、輸送帶、或其他等效裝置。

又或者，本發明之旋轉式三維動態測試設備可更包括有一分料裝置。其分料裝置包括有至少一晶片承載盤(tray)、及至少一取放裝置。其中，至少一取放裝置可選擇式地移動於至少一晶片承載盤與複數測試座之間。亦即，至少一取放裝置主要係將待測感測器從晶片承載盤中取出置於複數測試座內。另外，於檢測完畢後至少一取放裝置又將待測感測器從複數測試座中取出並置於晶片承載盤內。據此，本發明之旋轉式三維動態測試設備可依據實際需求使用不同之進料裝置或分料裝置，以達到最佳之測試產能。

請同時參閱圖1與圖2，圖1係本發明第一實施例之整體設備的立體圖，圖2為本發明第一實施例之三維翻轉裝置設置於旋轉台之示意圖。圖1中顯示旋轉式三維動態測試設備包括一旋轉台2、一三維翻轉裝置3、一主控制器5、一測試頭6、及分料裝置7。其中，旋轉台2組設於測試頭6上，測試頭6包括有一驅動馬達61，用以驅動旋轉台2旋轉。而分料裝置7設置於三維翻轉裝置3上方，分料裝置7主要用以進料、及測試完畢後篩選分類。

圖2中顯示三維翻轉裝置3包括有一固定座31、一翻轉架32、及一承載台33。固定座31係組設於旋轉台2上，翻轉架32係樞設於固定座31上並可沿一第一軸X旋轉。承載台33係樞設於翻轉架32上並可沿一第二軸Y旋轉。並且，第一軸X、及第二軸Y係彼此垂直正交，亦即藉由二個正交垂直之第一軸X、及第二軸Y間的相對運動，來形成三個維度間之翻轉測試。其中，本實施例之固定座31為一U形固定座310，而翻轉架32為一框形翻轉架320。而且，於U形固定座310、及框形翻轉架320上分別設置有一旋轉馬達34,35。然而，旋轉馬達34,35可以是伺服馬達，其主要用以協助框形翻轉架320、及承載台33進行翻轉。

另外，本實施例之旋轉台2開設有二個離心半徑調整槽21、及複數離心半徑調整孔22，而三維翻轉裝置3之固定座31可滑移且固定於離心半徑調整槽21內、或組設於複數離心半徑調整孔22其中一內。據此，可藉由離心半徑調整槽21、或離心半徑調整孔22調整三維翻轉裝置3距圓心O之距離參數，也就是半徑r，可更進一步改變向心力、向心加速度、或其他檢測參數。

詳言之，根據等速率圓周運動(uniform circular motion)之物理公式，亦即如式1所示。當物體以一定速率繞著圓形路徑運轉的運動，雖然物體的速率保持固定，但因速度的方向一直在改變，故此一質點實際上是在作變加速度運動，且加速度的方向恆指向圓周運動軌跡的圓心，故稱之為向心加速度a。此加速度大小a和速率v及圓周半徑r間的關係為：

再根據牛頓第二運動定律，物體有加速度，則必有一向心力作用在此物體質點上，向心力F的方向與向心加速度a的方向相同。因作用力恆指向圓周運動的圓心，故稱之為向心力(Centripetal Force)。向心力F的大小與運動物體的質量m、速率v(=rω)、旋轉半徑r及角速率ω間的關係如下列式2所示：

因此，本實施例可藉由改變三維翻轉裝置3距圓心O之半徑r，來改變向心加速度a、及向心力F的大小。據此，本實施例更具彈性，可依實際需要改變檢測參數。

此外，圖2中亦顯示本實施例之承載台33包括有相對應之一第一表面331、及一第二表面332。而複數測試座4係分別佈設於第一表面331、及該第二表面332。據此，本實施例可進行雙面測試，以增加測試規模，降低測試成本。當然不以雙面測試為限，承載台33亦可為其他幾何多邊形，來擴大更大的測試規模。

再請一併參閱圖3，圖3係本發明第一實施例之系統架構圖。圖中顯示有一控制器8、及一電源模組9設置於固定座31，而控制器8係電性連接測試座4、第一無線傳輸模組41、旋轉馬達34,35、及電源模組9。其中，電源模組9用以供給控制器8、複數測試座4、旋轉馬達34,35、及第一無線傳輸模組41電源。而控制器8除了用以控制複數測試座4要第一無線傳輸模組41之資訊傳輸控制、測試流程控制、資料的編碼轉碼等相關檢測控制，還可控制旋轉馬達34,35進行翻轉，亦即主控制器5控制翻轉架32相對於固定座31沿第一軸X旋轉，控制承載台33相對於翻轉架32沿第二軸Y旋轉。

再者，圖中又顯示有一第一無線傳輸模組41，其係設置於三維翻轉裝置3上，並電性耦接至複數測試座4。其中第一無線傳輸模組41係用以發射複數測試座4之測試資訊Ti，其可以是檢測結果。此外，主控制器5包括有一第二無線傳輸模組51，其係用以接收第一無線傳輸模組41所發射之測試資訊Ti。更進一步，本實施例之主控制器5可透過第一無線傳輸模組41、及第二無線傳輸模組51來控制三維翻轉裝置3上所有檢測之進行，包括翻轉、測試流程、及測試資訊Ti之傳輸等。而電源模組9則負責三維翻轉裝置3上所有電源之供給。因此，本實施例可達到完全地無線化，如此更有利於旋轉檢測之進行。其中，本實施例之第一無線傳輸模組41、及第二無線傳輸模組51分別為一藍芽傳輸模組，當然其亦可為射頻傳輸模組、或其他等效之無線傳輸模組。

請參閱圖4，圖4係本發明第一實施例之測試座設置於承載台的分解圖。圖中顯示有複數測試座4佈設於承載台33上，每一測試座4容設有一待測感測器42。其中，每一測試座4包括有一座體40、一旋轉扣件43、及一扭簧44。扭簧44連結於座體40、與旋轉扣件43之間。進一步說明，旋轉扣件43用以抵壓固定待測感測器42於座體40內，而扭簧44則提供彈力使旋轉扣件43具旋轉回復力，來抵壓固定待測感測器42，以避免承載台33於翻轉過程或旋轉台2於旋轉過程中，造成待測感測器42掉落。

再請一併參閱圖5、及圖6，圖5係本發明第一實施例之翻轉架沿第一軸旋轉的立體圖。圖6係本發明第一實施例之承載台沿第二軸旋轉的立體圖。圖5中顯示翻轉架32在相對於固定座31沿第一軸X旋轉90度，以產生第二個維度之測試。另外，圖6則顯示翻轉架32沿第一軸X旋轉90度後，承載台33再相對於翻轉架32沿第二軸Y旋轉90度，如此可產生第三個維度之測試。據此，即可達到完整三個維度的測試規格。

請一併參閱圖7a係係本發明之旋轉台另一較佳實施例之示意圖，圖7b係本發明之旋轉台又一較佳實施例之示意圖。圖7a所示之實施例與第一實施例之主要差別在於本實施例於相對應之180度處，分別設置有一組三維翻轉裝置3，故有二組三維翻轉裝置3；而圖7b所示之實施例於每90度處，分別設置有一組三維翻轉裝置3，故共有四組三維翻轉裝置3。根據圖7a及圖7b所示之實施例設計，其除可擴大測試規格外，即增加待測感測器42的數量外；更重要的是，可以維持旋轉台2運轉之重量平衡，因此可延長設備的使用壽命、及減少因材料疲勞所產生的誤差。

請參閱圖8，圖8係本發明第二實施例之進料裝置的示意圖。於本實施例中，旋轉式三維動態測試設備更包括有一進料裝置1，其具有一旋轉輪10、固定輪12、複數氣壓缸13、及多組升降吸取頭11。升降吸取頭11組設於旋轉輪10上，並藉由旋轉輪10的帶動可選擇式地移動至三維翻轉裝置3上之測試座4上方或其他位置。其中，升降吸取頭11在本實施例中為一真空吸取頭，其可取放待測感測器42於三維翻轉裝置3上之測試座4內或其他位置。另外，圖中顯示之固定輪12上又組設有複數氣壓缸13，當升降吸取頭11移動到預定位置時，氣壓缸13會驅動升降吸取頭11進行升降取放動作。

再請參閱圖9，圖9係本發明第二實施例之進料裝置的週邊設備示意圖，亦即圖8所示之進料裝置1之整體設備。圖9中顯示進料裝置又包括有一震動盤16、一攝影模組17、一定位模組18、及一轉向模組19。震動盤16包括有一螺旋導軌160、進料區161、光電感測元件162、吹氣管163、及進料槽164。震動盤16另連接有一震動機構(圖中未示)，使待測感測器42從進料區161震動落到震動盤16中。震動盤16為一個中央突出之盤狀結構，故待測感測器42掉落後，隨即落到震動盤16之環週。

同時，震動盤16藉由震動機構之震動，使待測感測器42隨著環週側壁之螺旋導軌160順勢上爬。其中，會經過光電感測元件162，光電感測元件162藉由待測感測器42正反面光之反射度不同，進行感應判斷待測感測器42之正反面。若正反面錯誤則吹氣管163會將其吹入震動盤16內，再次循環重複上述步驟繼續進料。若為正確之正反面時，待測感測器42繼續往前送入進料槽164中。

接著，進料槽164內之待測感測器42順勢被推送，而升降吸取頭11在進料槽164尾端吸取待測感測器42後，藉由旋轉輪12之帶動，而移至外觀檢驗區之平台上。於此區域主要係利用攝影模組17來檢驗待測感測器42之印刷文字是否正確或有無瑕疵。若有錯誤或瑕疵，升降吸取頭11可將待測感測器42送至回收管20中。而回收管20可設置於各模組之間，以收集有問題之待測感測器42。

再請一併參閱圖10，圖10係本發明第二實施例之進料裝置的定位模組示意圖，亦即圖9中定位模組18的放大圖。當待測感測器42之外觀印刷檢測完畢後，便進入定位模組18，其主要用以校對待測感測器42之方位、及位置。如圖11中顯示，定位模組18包括有四個楔形塊181。當升降吸取頭11吸取待測感測器42並置於四個楔形塊181所包圍之中央區域，藉由四個楔形塊181以將先前傳送過程造成之X-Y平面角度、或位置之偏移歸零，使待測感測器42精準定位後再送入下一個模組。

再請一併參閱圖11，圖11係本發明第二實施例之進料裝置的轉向模組示意圖，亦即圖9中轉向模組19的放大圖。當待測感測器42經定位模組18定位完畢後，便進入轉向模組19，其主要用以轉向待測感測器42之角度。如圖12中顯示轉向模組19包括有一旋轉平台191、吹氣管192、回收管193。當前述攝影模組17之檢驗裝置檢測出待測感測器42之X-Y平面角度有誤時，升降吸取頭11可吸取待測感測器42置於旋轉平台191上，視實際狀況作順時針或逆時針90度、或180度之旋轉，以利後續待測感測器42進行旋轉式三維動態測試設備。

此外，本實施例之轉向模組19亦可將有問題之待測感測器42，以吹氣管192吹氣之方式送至回收管193中進行回收。據此，本發明之旋轉式三維動態測試設備可依使用者之實際需要，彈性增減上述模組、改變其順序、或另外新增其他檢測模組，以符合各種測試規模，達到最佳化之動態測試程序。

請參閱圖12，圖12係本發明第三實施例之進料裝置的示意圖。旋轉式三維動態測試設備，其進料裝置1與第前述實施例大致相同，其主要差異在於進料裝置1另包括有一進料平台14、及一機器手臂15。其中，進料平台14可為旋轉平台或輸送帶，其主要用以將升降吸取頭11傳送過來之待測感測器42提供給機器手臂15。進一步說明，升降吸取頭11將待測晶片42置於一側，而進料平台14則以旋轉或輸送帶手段移到另一側。另外，機器手臂15可選擇式地移動於進料平台14與三維翻轉裝置3上之測試座4之間，將待測感測器42從進料平台14上一一吸取至三維翻轉裝置3上之測試座4內。而當待測感測器42全部置放完成後，便可開始進行旋轉式三維動態測試設備。

請參閱圖13，圖13係本發明第四實施例之進料裝置的示意圖，本實施例之旋轉式三維動態測試設備，其進料裝置1與前述實施例大致相同，主要差異在於其不具有旋轉台，且三維翻轉裝置3上可設置一個測試座4，然本實施例不限於此，本實施例之旋轉式三維動態測試設備亦可設置分設多組單獨之測試座4，藉以連續測試一個待測感測器42，以提高測試之產能。

請一併參閱圖14及圖15，圖14係本發明第第五實施例之分料裝置的示意圖，圖15係本發明第五實施例之分料裝置的內部俯視圖。於本實施例中，分料裝置7與前述實施例大致相同，主要差異在於三維翻轉裝置3係直接整合於分料裝置7(Handler)中，而分料裝置7內部不具有旋轉台2，以節省空間及其他多餘之搬運手段。其中，如圖中所示分料裝置7包括有四個晶片承載盤71(tray)、及二個取放裝置72。取放裝置72可選擇式地移動於晶片承載盤71與測試座4之間。其中，四個晶片承載盤71分包括二進料承載盤711、及二出料承載盤712。進料承載盤711係承載未經測試之待測感測器42，而出料承載盤712則承載經測試過後之待測感測器42。

在本實施例中，出料承載盤712可分別包括合格、及不合格之出料承載盤712，用以分辨經測試後之合格感測器、及不合格感測器。同樣地，本實施例包括有二套取放裝置72，其分別為進料取放裝置721、出料取放裝置722。其中，進料取放裝置721負責將進料承載盤711上的待測感測器42搬運至三維翻轉裝置3上的複數測試座4。而待測試完畢後，出料取放裝置722再將複數測試座4上的感測器裝載至出料承載盤712內。據此，本發明之旋轉式三維動態測試設備可依據實際需求使用不同之進料裝置或分料裝置，以達到最佳之測試產能。上述實施例僅係為了方便說明而舉例而已，本發明所主張之權利範圍自應以申請專利範圍所述為準，而非僅限於上述實施例。

1．．．進料裝置

10．．．旋轉輪

11．．．升降吸取頭

12．．．固定輪

13．．．氣壓缸

14．．．進料平台

15．．．機器手臂

16．．．震動盤

160．．．螺旋導軌

161．．．進料區

162．．．光電感測元件

163．．．吹氣管

164．．．進料槽

17．．．攝影模組

18．．．定位模組

181．．．楔形塊

19．．．轉向模組

191．．．旋轉平台

192．．．吹氣管

193,20．．．回收管

2．．．旋轉台

21．．．離心半徑調整槽

22．．．離心半徑調整孔

3．．．三維翻轉裝置

31．．．固定座

32．．．翻轉架

33．．．承載台

310．．．U形固定座

320．．．框形翻轉架

331．．．第一表面

332．．．第二表面

34,35．．．旋轉馬達

4．．．測試座

40．．．座體

41．．．第一無線傳輸模組

42．．．待測感測器

43．．．旋轉扣件

44．．．扭簧

5．．．主控制器

51．．．第二無線傳輸模組

6．．．測試頭

61．．．驅動馬達

7．．．分料裝置

71．．．晶片承載盤

711．．．進料承載盤

712．．．出料承載盤

72．．．取放裝置

721．．．進料取放裝置

722．．．出料取放裝置

8．．．控制器

9．．．電源模組

r．．．半徑

Ti．．．測試資訊

O．．．圓心

圖1係本發明第一實施例之整體設備的立體圖。

圖2係本發明第一實施例之三維翻轉裝置設置於旋轉台之示意圖。

圖3係本發明第一實施例之系統架構圖。

圖4係本發明第一實施例之測試座設置於承載台的分解圖。

圖5係本發明第一實施例之翻轉架沿第一軸旋轉的立體圖。

圖6係本發明第一實施例之承載台沿第二軸旋轉的立體圖。

圖7a係本發明之旋轉台另一較佳實施例之示意圖。

圖7b係本發明之旋轉台又一較佳實施例之示意圖。

圖8係本發明第二實施例之進料裝置的示意圖。

圖9係本發明第二實施例之進料裝置的週邊設備示意圖。

圖10係本發明第二實施例之進料裝置的定位模組示意圖。

圖11係本發明第二實施例之進料裝置的轉向模組示意圖。

圖12係本發明第三實施例之進料裝置的示意圖。

圖13係本發明第四實施例之進料裝置的示意圖。

圖14係本發明第五實施例之分料裝置的示意圖。

圖15係本發明第五實施例之分料裝置的內部俯視圖。

2．．．旋轉台

3．．．三維翻轉裝置

5．．．主控制器

51．．．第二無線傳輸模組

6．．．測試頭

61．．．驅動馬達

7．．．分料裝置

Claims (13)

1. 一種旋轉式三維動態測試設備，包括：一旋轉台；一三維翻轉裝置，係包括有一固定座、一翻轉架、及一承載台，該固定座係組設於該旋轉台上，該翻轉架係樞設於該固定座上並沿一第一軸旋轉，該承載台係樞設於該翻轉架上並沿一第二軸旋轉，該第一軸、及該第二軸係彼此垂直正交；複數測試座，係佈設於該承載台上；一第一無線傳輸模組，係設置於該三維翻轉裝置並電性耦接至該複數測試座，該第一無線傳輸模組係用以發射該複數測試座之測試資訊；以及一主控制器，係包括有一第二無線傳輸模組，其係用以接收該第一無線傳輸模組所發射之該測試資訊。
2. 如申請專利範圍第1項所述之旋轉式三維動態測試設備，其中，該承載台包括有相對應之一第一表面、及一第二表面，該複數測試座係分別佈設於該第一表面、及該第二表面。
3. 如申請專利範圍第1項所述之旋轉式三維動態測試設備，該三維翻轉裝置更包括有一控制器、及一電源模組，該控制器係電性連接該複數測試座、該第一無線傳輸模組、及該電源模組。
4. 如申請專利範圍第1項所述之旋轉式三維動態測試設備，其中，該主控制器控制該翻轉架相對於該固定座沿該第一軸X旋轉，該主控制器控制該承載台相對於該翻轉架沿該第二軸Y旋轉。
5. 如申請專利範圍第1項所述之旋轉式三軸動態測試設備，其中，該三維翻轉裝置更包括有一旋轉馬達，其係組設於該固定座上，該旋轉馬達係用以驅動該翻轉架沿該第一軸旋轉。
6. 如申請專利範圍第1項所述之旋轉式三軸動態測試設備，其中，該三維翻轉裝置更包括有另一旋轉馬達，其係組設於該翻轉架上，該另一旋轉馬達係用以驅動該承載台沿該第二軸旋轉。
7. 如申請專利範圍第1項所述之旋轉式三維動態測試設備，其中，該旋轉台開設有至少一離心半徑調整槽，該三維翻轉裝置之該固定座可滑移並組設固定於該至少一離心半徑調整槽內。
8. 如申請專利範圍第1項所述之旋轉式三維動態測試設備，其中，該旋轉台開設有複數離心半徑調整孔，該三維翻轉裝置之該固定座係組設於該複數離心半徑調整孔其中一。
9. 如申請專利範圍第1項所述之旋轉式三軸動態測試設備，其中，每一測試座包括有一座體、一旋轉扣件、及一扭簧，該扭簧連結於該座體、與該旋轉扣件之間。
10. 如申請專利範圍第1項所述之旋轉式三維動態測試設備，其中，該第一無線傳輸模組、及該第二無線傳輸模組分別為一藍芽傳輸模組。
11. 如申請專利範圍第1項所述之旋轉式三軸動態測試設備，其更包括有一進料裝置，該進料裝置包括有一旋轉輪、及至少一升降吸取頭，該至少一升降吸取頭係組設於該旋轉輪上並選擇式地移動至該複數測試座上方。
12. 如申請專利範圍第1項所述之旋轉式三軸動態測試設備，其更包括有一進料裝置，該進料裝置包括有一旋轉輪、至少一升降吸取頭、一進料平台、及一機器手臂，該至少一升降吸取頭係組設於該旋轉輪上並選擇式地移動至該進料平台上方，該機器手臂選擇式地移動於該進料平台與該複數測試座之間。
13. 如申請專利範圍第1項所述之旋轉式三軸動態測試設備，其更包括有一分料裝置，該分料裝置包括有至少一晶片承載盤、及至少一取放裝置，該至少一取放裝置選擇式地移動於該至少一晶片承載盤與該複數測試座之間。