JP2020011792A - 電子部品搬送システムおよび搬送車 - Google Patents
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Abstract
【課題】電子部品搬送装置の第1受渡部の高低に関わらず、電子部品が収納された容器を搬送車の第2受渡部から電子部品搬送装置の第1受渡部に安定して受け渡すことができる電子部品搬送システムおよび搬送車を提供すること。【解決手段】電子部品が収納される容器が載置される第1載置面を有し、前記電子部品を搬送する電子部品搬送装置と、前記容器が載置される第2載置面と、前記第2載置面に配置され前記第2載置面と前記第1載置面との距離を検出する距離検出部と、前記第2載置面を鉛直方向に移動させる駆動部と、前記距離検出部により検出された前記距離に基づいて、前記駆動部により前記第2載置面を鉛直方向に移動させる制御部と、を有し、前記第2載置面から前記第1載置面に前記容器を受け渡す搬送車と、を含むことを特徴とする電子部品搬送システム。【選択図】図12
Description
本発明は、電子部品搬送システムおよび搬送車に関する。
従来から、例えばICデバイス等のような電子部品の電気的な試験を行う電子部品試験装置が知られている(例えば、特許文献1参照)。この特許文献1に記載の電子部品試験装置は、複数のICデバイスを収納したトレイが供給される供給部を備えている。この供給部には、電子部品試験装置でのICデバイスに対する試験に先立って、トレイが無人搬送車によって供給される。そして、この供給後に試験が行われる。
特許文献1に記載の電子部品試験装置は、例えば工場内での配置位置が変更された場合、電子部品試験装置の供給部は、高さが調整されて、変化することがある。特許文献1には、電子部品試験装置における供給部高さの変化に対応した、トレイを供給する手段については一切開示が無い。
本発明は、上述の課題を解決するためになされたものであり、以下のものとして実現することが可能である。
本発明の電子部品搬送システムは、電子部品が収納される容器が載置される第1載置面を有し、前記電子部品を搬送する電子部品搬送装置と、
前記容器が載置される第2載置面と、前記第2載置面に配置され、前記第2載置面と前記第1載置面との距離を検出する距離検出部と、前記第2載置面を鉛直方向に移動させる駆動部と、前記距離検出部により検出された前記距離に基づいて、前記駆動部により前記第2載置面を鉛直方向に移動させる制御部と、を有し、前記第2載置面から前記第1載置面に前記容器を受け渡す搬送車と、を含むことを特徴とする。
前記容器が載置される第2載置面と、前記第2載置面に配置され、前記第2載置面と前記第1載置面との距離を検出する距離検出部と、前記第2載置面を鉛直方向に移動させる駆動部と、前記距離検出部により検出された前記距離に基づいて、前記駆動部により前記第2載置面を鉛直方向に移動させる制御部と、を有し、前記第2載置面から前記第1載置面に前記容器を受け渡す搬送車と、を含むことを特徴とする。
本発明の搬送車は、電子部品が収納される容器が載置される第1載置面を有して前記電子部品を搬送する電子部品搬送装置に、前記容器を搬送する搬送車であって、
前記容器が載置される第2載置面と、
前記第2載置面に配置され、前記第2載置面と前記第1載置面との距離を検出する距離検出部と、
前記第2載置面を鉛直方向に移動させる駆動部と、
前記距離検出部により検出された前記距離に基づいて、前記駆動部により前記第2載置面を鉛直方向に移動させる制御部と、を備え、
前記第2載置面から前記第1載置面に前記容器を受け渡すことを特徴とする。
前記容器が載置される第2載置面と、
前記第2載置面に配置され、前記第2載置面と前記第1載置面との距離を検出する距離検出部と、
前記第2載置面を鉛直方向に移動させる駆動部と、
前記距離検出部により検出された前記距離に基づいて、前記駆動部により前記第2載置面を鉛直方向に移動させる制御部と、を備え、
前記第2載置面から前記第1載置面に前記容器を受け渡すことを特徴とする。
以下、本発明の電子部品搬送システムおよび搬送車を添付図面に示す好適な実施形態に基づいて詳細に説明する。
<第1実施形態>
以下、図1〜図17を参照して、本発明の電子部品搬送装置および電子部品検査装置の第1実施形態について説明する。なお、以下では、説明の便宜上、図1に示すように、互いに直交する3軸をX軸、Y軸およびZ軸とする。また、X軸とY軸を含むXY平面が水平となっており、Z軸が鉛直となっている。また、X軸に平行な方向を「X方向(第1の方向)」とも言い、Y軸に平行な方向を「Y方向(第2の方向)」とも言い、Z軸に平行な方向を「Z方向(第3の方向)」とも言う。また、各方向の矢印が向いた方向を「正」、その反対方向を「負」と言う。また、本願明細書で言う「水平」とは、完全な水平に限定されず、電子部品の搬送が阻害されない限り、水平に対して若干(例えば5°未満程度)傾いた状態も含む。また、本願明細書で言う「鉛直」とは、完全な鉛直に限定されず、電子部品の搬送が阻害されない限り、鉛直に対して若干(例えば5°未満程度)傾いた状態も含む。また、図4、図5および図8〜図17中(図18〜図20についても同様)の上側、すなわち、Z軸方向正側を「上」または「上方」、下側、すなわち、Z軸方向負側を「下」または「下方」と言うことがある。また、図6は、図5中の矢印A方向から見た図でもある。
以下、図1〜図17を参照して、本発明の電子部品搬送装置および電子部品検査装置の第1実施形態について説明する。なお、以下では、説明の便宜上、図1に示すように、互いに直交する3軸をX軸、Y軸およびZ軸とする。また、X軸とY軸を含むXY平面が水平となっており、Z軸が鉛直となっている。また、X軸に平行な方向を「X方向(第1の方向)」とも言い、Y軸に平行な方向を「Y方向(第2の方向)」とも言い、Z軸に平行な方向を「Z方向(第3の方向)」とも言う。また、各方向の矢印が向いた方向を「正」、その反対方向を「負」と言う。また、本願明細書で言う「水平」とは、完全な水平に限定されず、電子部品の搬送が阻害されない限り、水平に対して若干(例えば5°未満程度)傾いた状態も含む。また、本願明細書で言う「鉛直」とは、完全な鉛直に限定されず、電子部品の搬送が阻害されない限り、鉛直に対して若干(例えば5°未満程度)傾いた状態も含む。また、図4、図5および図8〜図17中(図18〜図20についても同様)の上側、すなわち、Z軸方向正側を「上」または「上方」、下側、すなわち、Z軸方向負側を「下」または「下方」と言うことがある。また、図6は、図5中の矢印A方向から見た図でもある。
図1、図2に示すように、電子部品搬送システム100では、第1テスター900Aと、第2テスター900Bとを用いて、ICデバイス90に対して、異なる2つの検査を行うことができる。以下、これら2つ検査のうちの一方の検査を「第1検査」と言い、他方の検査を「第2検査」と言う。第1検査と第2検査とは、例えば、検査内容、検査項目、検査精度、検査レベル(合否の基準)、検査時間、検査回数、検査方法(検査方式)等の検査条件のうちの少なくとも1つが異なるものであるのが好ましい。
なお、電子部品搬送装置10は、ハンドラー(electronic component handler)である。また、電子部品搬送装置10と検査部16とを備える装置を「電子部品検査装置1(electronic component tester)」と言う。
第1テスター900Aは、第1テスターヘッド901Aが電気的に接続されている。図1に示すように、第1テスターヘッド901Aは、電子部品検査装置1(電子部品搬送装置10)の検査部16に電気的に接続される。そして、この状態で、検査部16にICデバイス90が搬送されてきたときに第1検査が行われる。なお、第1テスターヘッド901Aは、検査部16に対して下側から接続される。また、第1検査は、第1テスター900Aが備える検査制御部に記憶されているプログラムに基づいて行われる。
第2テスター900Bは、第2テスターヘッド901Bが電気的に接続されている。図2に示すように、第2テスターヘッド901Bは、電子部品検査装置1(電子部品搬送装置10)の検査部16に電気的に接続される。そして、この状態で、検査部16にICデバイス90が搬送されてきたときに第2検査が行われる。なお、第2テスターヘッド901Bも、第1テスターヘッド901Aと同様に、検査部16に対して下側から接続される。また、第2検査は、第2テスター900Bが備える検査制御部に記憶されているプログラムに基づいて行われる。
このように電子部品検査装置1は、検査に応じて移動されて、レイアウトが、図1に示す第1レイアウトと、図2に示す第2レイアウトとに変更される。
そして、搬送車3は、第1検査が行われる場合、この検査対象となるICデバイス90が収納されたトレイ200を、第1レイアウトの電子部品検査装置1まで搬送する。また、搬送車3は、第2検査が行われる場合、この検査対象となるICデバイス90が収納されたトレイ200を、第2レイアウトの電子部品検査装置1まで搬送する。
なお、搬送車3は、無人搬送車である。本実施形態では、搬送車3を、無人搬送車のうちの1つである、AGV(自動誘導搬送車)として説明している。無人搬送車としては、無人搬送車(Unmanned Transport Vehicle:UTV)を扱う基準である、SEMI S17が示すように、半導体製造工場で使用される全ての種類の無人搬送車を対象としてもよい。例えば、搬送車3として、AGV(自動誘導搬送車)の他、RGV(地上走行レールガイド式無人搬送車)、OHT/OHS(天井空間走行レールガイド式無人搬送車)としてもよい。
図3、図4に示すように、電子部品搬送装置10を有する電子部品検査装置1は、例えばBGA(Ball Grid Array)パッケージであるICデバイス等の電子部品を搬送し、その搬送過程で電子部品の電気的特性を検査・試験する装置である。なお、以下では、説明の便宜上、前記電子部品としてICデバイスを用いる場合について代表して説明し、これを「ICデバイス90」とする。ICデバイス90は、本実施形態では平板状をなすものとなっている。電子部品の電気的特性の検査・試験を以下単に「検査」と言う。
なお、ICデバイスとしては、前記のものの他に、例えば、「LSI(Large Scale Integration)」「CMOS(Complementary MOS)」「CCD(Charge Coupled Device)」や、ICデバイスを複数のモジュールにパッケージ化した「モジュールIC」、また、「水晶デバイス」、「圧力センサー」、「慣性センサー(加速度センサー)」、「ジャイロセンサー」、「指紋センサー」等が挙げられる。
電子部品検査装置1のうちの電子部品搬送装置10は、トレイ供給領域A1と、デバイス供給領域A2と、検査領域A3と、デバイス回収領域A4と、トレイ除去領域A5とを備え、これらの領域は、後述するように各壁部で分けられている。そして、ICデバイス90は、トレイ供給領域A1からトレイ除去領域A5まで前記各領域を矢印α90方向に順に経由し、途中の検査領域A3で検査が行われる。このように電子部品検査装置1は、各領域を経由するようにICデバイス90を搬送する搬送部25を有する電子部品搬送装置10と、検査領域A3内で検査を行なう検査部16と、産業用コンピューターで構成されたハンドラー制御部800とを備えたものとなっている。また、その他、電子部品検査装置1は、モニター300と、シグナルランプ400と、操作パネル700とを備えている。
なお、電子部品検査装置1は、トレイ供給領域A1、トレイ除去領域A5が配された方、すなわち、図3中の下側が正面側となり、検査領域A3が配された方、すなわち、図3中の上側が背面側として使用される。
また、電子部品検査装置1は、ICデバイス90の種類ごとに交換される「チェンジキット」と呼ばれるものを予め搭載して用いられる。このチェンジキットには、例えば、温度調整部12と、デバイス供給部14と、デバイス回収部18とがある。また、このようなチェンジキットとは別に、ICデバイス90の種類ごとに交換されるものとしては、例えば、ユーザーが用意するトレイ200と、回収用トレイ19と、検査部16とがある。
トレイ供給領域A1は、未検査状態の複数のICデバイス90が配列されたトレイ200が供給される給材部である。トレイ供給領域A1は、トレイ200を複数積み重ねて搭載可能な搭載領域と言うこともできる。なお、本実施形態では、各トレイ200には、複数の凹部が行列状に配置されている。各凹部には、ICデバイス90を1つずつ収納、載置(place)することができる。
デバイス供給領域A2は、トレイ供給領域A1から搬送されたトレイ200上の複数のICデバイス90がそれぞれ検査領域A3まで搬送、供給される領域である。なお、トレイ供給領域A1とデバイス供給領域A2とをまたぐように、トレイ200を1枚ずつ水平方向に搬送するトレイ搬送機構11A、トレイ搬送機構11Bが設けられている。
トレイ搬送機構11Aは、搬送部25の一部であり、トレイ200を、当該トレイ200に載置されたICデバイス90ごとY方向の正側、すなわち、図3中の矢印α11A方向に移動させることができる。これにより、ICデバイス90を安定してデバイス供給領域A2に送り込むことができる。
また、トレイ搬送機構11Aは、搬送車3からトレイ200が載置される第1受渡部としても機能する。図8〜図17に示すように、トレイ搬送機構11Aは、ベルトコンベア26と、ベルトコンベア26上でのトレイ200の位置決めを行う位置決め部27とを有している。
ベルトコンベア26は、Y方向に離間して配置されたローラー261およびローラー262と、ローラー261およびローラー262に掛け回された搬送ベルト263(第1載置面)と、ローラー261を駆動ローラーとして回転駆動させる駆動源264とを有している。
ローラー261およびローラー262は、それぞれ、X方向と平行な軸回りに回転可能に支持されている。ローラー261は、駆動ローラーである。ローラー262は、従動ローラーである。
搬送ベルト263は、無端ベルトで構成されている。搬送ベルト263は、トレイ200が載置される載置面を有した部分である。この搬送ベルト263上には、トレイ200を載置することができる。そして、搬送ベルト263は、トレイ200が載置されたまま、ローラー261およびローラー262がそれぞれ同方向に回転することにより、トレイ200をY方向正側に向かって搬送することができる。搬送ベルト263は、電子部品検査装置1の支持面28と鉛直方向に所定距離離れて設けられている。また、搬送ベルト263は、後述する位置決め部27の前側ガイド271と鉛直方向に所定距離離れて設けられている。その他、搬送ベルト263は、例えばトレイ搬送機構11Aのその他の部材やトップカバー245といった、電子部品搬送装置10に設けられた部材と、鉛直方向に所定距離離れて設けられている。
駆動源264は、モーター265と、モーター265のローター265aに連結されたプーリー266と、ローラー261に連結されたプーリー267と、プーリー266およびプーリー267に掛け回されたタイミングベルト268とを有している。このような構成の駆動源264では、モーター265が作動することにより、その回転力が、プーリー266、タイミングベルト268、プーリー267を順に介して、ローラー261に伝達される。これにより、ローラー261がローラー262とともに回転して、搬送ベルト263上のトレイ200をY方向正側に向かって搬送することができる。
位置決め部27は、トレイ供給領域A1内で、前側、すなわち、Y方向負側に位置する前側ガイド271と、後側、すなわち、Y方向正側に位置する後側ガイド272とを有している。前側ガイド271は、柱状をなす。また、後側ガイド272は、前側ガイド271よりも長い柱状をなす。
前側ガイド271は、X方向に離間して2つ配置されている。後側ガイド272もX方向に離間して2つ配置されている。2つの前側ガイド271と、2つの後側ガイド272との間で、トレイ200は、挟まれて、位置決めされる。なお、以下では、図6および図7中の2つの前側ガイド271のうちのX方向負側の前側ガイド271を「第1前側ガイド271A」と言い、X方向正側の前側ガイド271を「第2前側ガイド271B」と言うことがある。
また、図12〜図15に示すように、各前側ガイド271は、回動支持部273によって時計回りに回動して、前側に向かって倒れて開状態となる。トレイ200が搬送車3からトレイ供給領域A1内に供給される際には、各前側ガイド271が倒れて、その供給が行なわれる。また、トレイ200の供給後、各前側ガイド271は、回動支持部273によって反時計回りに回動して、起立して閉状態となる。これにより、トレイ200の位置決めがなされる。
なお、回動支持部273は、本実施形態では前側ガイド271をX方向と平行な軸回りに回転させるよう構成されているが、これに限定されず、例えば、前側ガイド271をZ方向と平行な軸回りに回転させるよう構成されていてもよい。
また、各前側ガイド271の回動は、手動でもよいが、例えば、シリンダー等の駆動機構によって自動的に行なわれるのが好ましい。
また、トレイ搬送機構11Bは、空のトレイ200をY方向の負側、すなわち、図3中の矢印α11B方向に移動させることができる。これにより、空のトレイ200をデバイス供給領域A2からトレイ供給領域A1に移動させることができる。
デバイス供給領域A2には、温度調整部12と、デバイス搬送ヘッド13と、トレイ搬送機構15とが設けられている。なお、温度調整部12は、ソークプレートと呼ばれ、英語表記では「soak plate」、中国語表記では、一例で「均温板」となる。また、デバイス供給領域A2と検査領域A3とをまたぐように移動するデバイス供給部14も設けられている。
温度調整部12は、複数のICデバイス90が載置され、当該載置されたICデバイス90を一括して加熱または冷却することができる「ソークプレート」と呼ばれる。このソークプレートにより、検査部16で検査される前のICデバイス90を予め加熱または冷却して、当該検査、すなわち、高温検査や低温検査等に適した温度に調整することができる。
このような温度調整部12は、固定されている。これにより、当該温度調整部12上でのICデバイス90に対して安定して温度調整することができる。また、温度調整部12は、グランドされている。
図3に示す構成では、温度調整部12は、Y方向に2つ配置、固定されている。そして、トレイ搬送機構11Aによってトレイ供給領域A1から搬入されたトレイ200上のICデバイス90は、いずれかの温度調整部12まで搬送される。
デバイス搬送ヘッド13は、ICデバイス90を保持(hold)するものであり、デバイス供給領域A2内でX方向およびY方向に移動可能に支持され、さらにZ方向にも移動可能に支持されている。このデバイス搬送ヘッド13は、搬送部25の一部でもあり、トレイ供給領域A1から搬入されたトレイ200と温度調整部12との間のICデバイス90の搬送と、温度調整部12と後述するデバイス供給部14との間のICデバイス90の搬送とを担うことができる。なお、図3中では、デバイス搬送ヘッド13のX方向の移動を矢印α13Xで示し、デバイス搬送ヘッド13のY方向の移動を矢印α13Yで示している。
デバイス供給部14は、温度調整部12で温度調整されたICデバイス90が載置され、当該ICデバイス90を検査部16近傍まで搬送することができる「供給用シャトルプレート」または単に「供給シャトル」と呼ばれるものである。このデバイス供給部14も、搬送部25の一部となり得る。このデバイス供給部14は、ICデバイス90が収納、載置される凹部を有している。
また、デバイス供給部14は、デバイス供給領域A2と検査領域A3との間をX方向、すなわち、矢印α14方向に往復移動可能に支持されている。これにより、デバイス供給部14は、ICデバイス90をデバイス供給領域A2から検査領域A3の検査部16近傍まで安定して搬送することができ、また、検査領域A3でICデバイス90がデバイス搬送ヘッド17によって取り去られた後は再度デバイス供給領域A2に戻ることができる。
図3に示す構成では、デバイス供給部14は、Y方向に2つ配置されており、Y方向負側のデバイス供給部14を「デバイス供給部14A」と言い、Y方向正側のデバイス供給部14を「デバイス供給部14B」と言うことがある。そして、温度調整部12上のICデバイス90は、デバイス供給領域A2内でデバイス供給部14Aまたはデバイス供給部14Bまで搬送される。また、デバイス供給部14は、温度調整部12と同様に、当該デバイス供給部14に載置されたICデバイス90を加熱または冷却可能に構成されている。これにより、温度調整部12で温度調整されたICデバイス90に対して、その温度調整状態を維持して、検査領域A3の検査部16近傍まで搬送することができる。また、デバイス供給部14も、温度調整部12と同様に、グランドされている。
トレイ搬送機構15は、全てのICデバイス90が除去された状態の空のトレイ200をデバイス供給領域A2内でX方向の正側、すなわち、矢印α15方向に搬送する機構である。そして、この搬送後、空のトレイ200は、トレイ搬送機構11Bによってデバイス供給領域A2からトレイ供給領域A1に戻される。
検査領域A3は、ICデバイス90を検査する領域である。この検査領域A3には、ICデバイス90に対して検査を行なう検査部16と、デバイス搬送ヘッド17とが設けられている。
デバイス搬送ヘッド17は、搬送部25の一部であり、温度調整部12と同様に、保持したICデバイス90を加熱または冷却可能に構成されている。これにより、前記温度調整状態が維持されたICデバイス90を保持して、前記温度調整状態を維持したまま、ICデバイス90を検査領域A3内で搬送することができる。
このようなデバイス搬送ヘッド17は、検査領域A3内でY方向およびZ方向に往復移動可能に支持され、「インデックスアーム」と呼ばれる機構の一部となっている。これにより、デバイス搬送ヘッド17は、デバイス供給領域A2から搬入されたデバイス供給部14から、ICデバイス90を持ち上げて、検査部16上に搬送し、載置することができる。
なお、図3中では、デバイス搬送ヘッド17のY方向の往復移動を矢印α17Yで示している。そして、デバイス搬送ヘッド17は、検査領域A3内で、ICデバイス90のデバイス供給部14Aから検査部16への搬送と、ICデバイス90のデバイス供給部14Bから検査部16への搬送とを担うことができる。また、デバイス搬送ヘッド17は、Y方向に往復移動可能に支持されているが、これに限定されず、X方向にも往復移動可能に支持されていてもよい。
また、図3に示すように、本実施形態では、デバイス搬送ヘッド17は、Y方向に2つ配置されている。以下、Y方向負側のデバイス搬送ヘッド17を「デバイス搬送ヘッド17A」と言い、Y方向正側のデバイス搬送ヘッド17を「デバイス搬送ヘッド17B」と言うことがある。デバイス搬送ヘッド17Aは、検査領域A3内で、ICデバイス90のデバイス供給部14Aから検査部16への搬送を担うことができ、デバイス搬送ヘッド17Bは、検査領域A3内で、ICデバイス90のデバイス供給部14Bから検査部16への搬送を担うことができる。また、デバイス搬送ヘッド17Aは、検査領域A3内で、ICデバイス90の検査部16からデバイス回収部18Aへの搬送を担うことができ、デバイス搬送ヘッド17Bは、検査領域A3内で、検査部16からデバイス回収部18Bへの搬送を担うことができる。
検査部16は、電子部品であるICデバイス90を載置して、当該ICデバイス90の電気的特性を検査することができる。前述したように、この検査には、第1検査と第2検査とがある。そして、いずれの検査をする際には、ICデバイス90の端子と検査部16のプローブピンとが電気的に接続される、すなわち、接触することにより、その検査を行なうことができる。なお、検査部16でも、温度調整部12と同様に、ICデバイス90を加熱または冷却して、当該ICデバイス90を検査に適した温度に調整することができる。
デバイス回収領域A4は、検査領域A3で検査され、その検査が終了した複数のICデバイス90が回収される領域である。このデバイス回収領域A4には、回収用トレイ19と、デバイス搬送ヘッド20と、トレイ搬送機構21とが設けられている。また、検査領域A3とデバイス回収領域A4とをまたぐように移動するデバイス回収部18も設けられている。また、デバイス回収領域A4には、空のトレイ200も用意されている。
デバイス回収部18は、検査部16で検査が終了したICデバイス90が載置され、当該ICデバイス90をデバイス回収領域A4まで搬送する「回収用シャトルプレート」または単に「回収シャトル」と呼ばれる。このデバイス回収部18も、搬送部25の一部となり得る。
また、デバイス回収部18は、検査領域A3とデバイス回収領域A4との間をX方向、すなわち、矢印α18方向に沿って往復移動可能に支持されている。また、図3に示す構成では、デバイス回収部18は、デバイス供給部14と同様に、Y方向に2つ配置されており、Y方向負側のデバイス回収部18を「デバイス回収部18A」と言い、Y方向正側のデバイス回収部18を「デバイス回収部18B」と言うことがある。そして、検査部16上のICデバイス90は、デバイス回収部18Aまたはデバイス回収部18Bに搬送され、載置される。そして、デバイス搬送ヘッド17は、検査領域A3内で、ICデバイス90の検査部16からデバイス回収部18Aへの搬送と、ICデバイス90の検査部16からデバイス回収部18Bへの搬送とを担うことができる。また、デバイス回収部18も、温度調整部12やデバイス供給部14と同様に、グランドされている。
回収用トレイ19は、検査部16で検査されたICデバイス90が載置され、デバイス回収領域A4内で移動しないよう固定されている。これにより、デバイス搬送ヘッド20等の各種可動部が比較的多く配置されたデバイス回収領域A4であっても、回収用トレイ19上では、検査済みのICデバイス90が安定して載置されることとなる。なお、図3に示す構成では、回収用トレイ19は、X方向に沿って3つ配置されている。
また、空のトレイ200も、X方向に沿って3つ配置されている。この空のトレイ200も、検査部16で検査されたICデバイス90が載置される。そして、デバイス回収領域A4に移動してきたデバイス回収部18上のICデバイス90は、回収用トレイ19および空のトレイ200のうちのいずれかに搬送され、載置される。これにより、ICデバイス90は、検査結果ごとに分類されて、回収されることとなる。
デバイス搬送ヘッド20は、デバイス回収領域A4内でX方向およびY方向に移動可能に支持され、さらにZ方向にも移動可能な部分を有している。このデバイス搬送ヘッド20は、搬送部25の一部であり、ICデバイス90をデバイス回収部18から回収用トレイ19や空のトレイ200に搬送することができる。なお、図3中では、デバイス搬送ヘッド20のX方向の移動を矢印α20Xで示し、デバイス搬送ヘッド20のY方向の移動を矢印α20Yで示している。
トレイ搬送機構21は、トレイ除去領域A5から搬入された空のトレイ200をデバイス回収領域A4内でX方向、すなわち、矢印α21方向に搬送する機構である。そして、この搬送後、空のトレイ200は、ICデバイス90が回収される位置に配されることとなる、すなわち、前記3つの空のトレイ200のうちのいずれかとなり得る。
トレイ除去領域A5は、検査済み状態の複数のICデバイス90が配列されたトレイ200が回収され、除去される除材部である。トレイ除去領域A5では、多数のトレイ200を積み重ねることができる。
また、デバイス回収領域A4とトレイ除去領域A5とをまたぐように、トレイ200を1枚ずつY方向に搬送するトレイ搬送機構22A、トレイ搬送機構22Bが設けられている。トレイ搬送機構22Aは、搬送部25の一部であり、トレイ200をY方向、すなわち、矢印α22A方向に往復移動させることができる。これにより、検査済みのICデバイス90をデバイス回収領域A4からトレイ除去領域A5に搬送することができる。また、トレイ搬送機構22Bは、ICデバイス90を回収するための空のトレイ200をY方向の正側、すなわち、矢印α22B方向に移動させることができる。これにより、空のトレイ200をトレイ除去領域A5からデバイス回収領域A4に移動させることができる。
ハンドラー制御部800は、例えば、トレイ搬送機構11Aと、トレイ搬送機構11Bと、温度調整部12と、デバイス搬送ヘッド13と、デバイス供給部14と、トレイ搬送機構15と、検査部16と、デバイス搬送ヘッド17と、デバイス回収部18と、デバイス搬送ヘッド20と、トレイ搬送機構21と、トレイ搬送機構22Aと、トレイ搬送機構22Bの各部の作動を制御することができる。図3に示すように、このハンドラー制御部800は、例えば、本実施形態では、少なくとも1つのプロセッサー802(at least one processor)と、少なくとも1つのメモリー803とを有している。プロセッサー802は、メモリー803に記憶されている各種情報としての、例えば、判断用プログラム、指示・命令用プログラム等を読み込み、判断や指令を実行することができる。
また、ハンドラー制御部800は、電子部品検査装置1に内蔵されていてもよいし、外部のコンピューター等の外部機器に設けられていてもよい。この外部機器は、例えば、電子部品検査装置1とケーブル等を介して通信される場合、無線通信される場合、例えばインターネット等のネットワークを介して、電子部品検査装置1と接続されている場合等がある。
オペレーターは、モニター300を介して、電子部品検査装置1の動作条件等を設定したり、確認したりすることができる。このモニター300は、例えば液晶画面で構成された表示画面301を有し、電子部品検査装置1の正面側上部に配置されている。図4に示すように、トレイ除去領域A5の図中の右側には、マウスを載置するマウス台600が設けられている。このマウスは、モニター300に表示された画面を操作する際に用いられる。
また、モニター300に対して図4の右下方には、操作パネル700が配置されている。操作パネル700は、モニター300とは別に、電子部品検査装置1に所望の動作を命令するものである。
また、シグナルランプ400は、発光する色の組み合わせにより、電子部品検査装置1の作動状態等を報知することができる。シグナルランプ400は、電子部品検査装置1の上部に配置されている。なお、電子部品検査装置1には、スピーカー500が内蔵されており、このスピーカー500によっても電子部品検査装置1の作動状態等を報知することもできる。
電子部品検査装置1は、トレイ供給領域A1とデバイス供給領域A2との間が第1隔壁231によって区切られており、デバイス供給領域A2と検査領域A3との間が第2隔壁232によって区切られており、検査領域A3とデバイス回収領域A4との間が第3隔壁233によって区切られており、デバイス回収領域A4とトレイ除去領域A5との間が第4隔壁234によって区切られている。また、デバイス供給領域A2とデバイス回収領域A4との間も、第5隔壁235によって区切られている。
電子部品検査装置1は、最外装がカバーで覆われており、当該カバーには、例えばフロントカバー241、サイドカバー242、サイドカバー243、リアカバー244、トップカバー245がある。
ところで、第1テスターヘッド901Aと、第2テスターヘッド901Bとは、大きさ、特に高さが異なっている。従って、電子部品検査装置1は、第1テスターヘッド901Aに接続されたときと、第2テスターヘッド901Bに接続されたときとで、高さが調整される。また、この調整に伴って、前記第1受渡部であるトレイ搬送機構11Aの高さも変化する。この高さとしては、例えば、本実施形態では、図8、図17に示すように、電子部品検査装置1が設置される工場内での床面1000(基準面)から、トレイ搬送機構11Aが支持される支持面28までの高さ(鉛直方向の距離)H11Aを挙げるが、これに限定されない。例えば、床面1000からトレイ搬送機構11Aの搬送ベルト263までの高さであってもよく、床面1000からトレイ搬送機構11Aの前側ガイド271までの高さであってもよい。いずれにしても、基準面からトレイ200が載置される第1載置面である搬送ベルト263までの高さが、求められればよい。
図8に示す状態では、電子部品検査装置1は、第1レイアウトで配置されている。これは、図9〜図16についても同様である。また、図17に示す状態では、電子部品検査装置1は、第2レイアウトで配置されている。そして、図17中の高さH11Aは、図8中の高さH11Aよりも高くなっている。
搬送車3は、このように高さH11Aが変化した状態の電子部品検査装置1に対して、未検査のICデバイス90が収納されたトレイ200を搬入することができる。以下、搬送車3について説明する。
図5に示すように、搬送車3は、トレイ搬送機構11Aにトレイ200を受け渡す第2受渡部4と、第2受渡部4を鉛直方向、すなわち、Z方向に移動させる駆動部5と、第2受渡部4に配置された距離検出部6と、床面1000上を自走する走行部8と、第2受渡部4、駆動部5および走行部8を制御する制御部7とを備えている。
走行部8は、板状のベース部81と、ベース部81に対して回動可能に支持された複数の車輪82とを有している。
ベース部81は、トレイ200の搬送中、または、それ以外に関わらず、搬送車3全体を安定して支えることができる程度の大きさを有している。
また、ベース部81上には、電子部品検査装置1の正面に付されたマーカー246を検出するマーカー検出センサー83と、電子部品検査装置1との距離に応じて反応する近接センサー84とが設けられている。
ベース部81の下部には、複数の車輪82が配置されている。これらの車輪82のうちの少なくとも1つの車輪82は、ベース部81に内蔵されているモーターや歯車等を有する駆動機構に連結されている。そして、車輪82が回転駆動することにより、搬送車3は、前進、後退、左右の方向転換等を行うことができる。
制御部7は、第2受渡部4、駆動部5および走行部8の作動をそれぞれ制御する。制御部7の構成としては、例えば、本実施形態では、少なくとも1つのプロセッサー72(at least one processor)、少なくとも1つのメモリー73と、電力供給源としてのバッテリー74と、これらを一括して収納する筐体71とを有する構成となっている。
プロセッサー72は、メモリー73に記憶されている各種情報としての、例えば、判断用プログラム、指示・命令用プログラム等を読み込み、判断や指令を実行することができる。
なお、制御部7は、図5に示す構成では搬送車3のベース部81上に設けられているが、これに限定されず、例えば、外部のコンピューター等の外部機器に設けられていてもよい。この外部機器は、例えば、搬送車3とケーブル等を介して通信される場合、無線通信される場合、例えばインターネット等のネットワークを介して、搬送車3と接続されている場合等がある。
駆動部5は、支持部材51と、リニアガイド52と、ボールネジ53と、モーター54と、カップリング55と、ベアリング56と、これらを一括して収納する筐体57を有している。
支持部材51は、第2受渡部4を支持、固定する部材である。
リニアガイド52は、支持部材51を第2受渡部4ごとZ方向に案内するものである。このリニアガイド52は、Z方向に沿って延在するガイドレール521と、ガイドレール521上を摺動するスライダー522とを有している。なお、スライダー522の配置数は、特に限定されないが、支持部材51の大きさによって、適宜変更される。
リニアガイド52は、支持部材51を第2受渡部4ごとZ方向に案内するものである。このリニアガイド52は、Z方向に沿って延在するガイドレール521と、ガイドレール521上を摺動するスライダー522とを有している。なお、スライダー522の配置数は、特に限定されないが、支持部材51の大きさによって、適宜変更される。
ボールネジ53は、Z方向に沿って延在するネジ軸531と、ネジ軸531に螺合するナット532とを有している。ネジ軸531の下端側は、カップリング55を介して、モーター54のローター541に連結されている。また、ネジ軸531の上端側は、ベアリング56によって回動可能に支持されている。また、ナット532は、支持部材51に連結されている。
このような構成の駆動部5は、モーター54が作動して、ローター541が回転することにより、その回転力がカップリング55を介してネジ軸531に伝達される。これにより、ナット532は、ネジ軸531に沿って、Z方向正側またはZ方向負側に移動することができる。また、ナット532の移動力は、支持部材51を介して、第2受渡部4に伝達される。これにより、第2受渡部4を、上下方向、すなわち、Z方向正側またはZ方向負側に移動させることができる。また、リニアガイド52によって、第2受渡部4の上下方向の移動が安定して円滑に行われる。
なお、駆動部5の構成は、図5に示す構成に限定されず、例えば、ボールネジ53に代えて、プーリーと、プーリーに掛け回されるタイミングベルトとを有する構成とすることもできる。
図5に示すように、第2受渡部4は、ベース部材41と、ベース部材41に移動可能に支持されたトレイ載置部42(第2載置面)と、トレイ載置部42を移動させる移動機構部43と、トレイ載置部42をトレイ搬送機構11Aに沿わせる倣い機構部44とを有している。
ベース部材41は、板状をなし、その一端側で駆動部5の支持部材51に片持支持されている。
トレイ載置部42は、トレイ200が載置される載置面を有した部分である。このトレイ載置部42では、トレイ200を複数枚重ねて載置することができる。そして、これらのトレイ200は、重なった状態で、トレイ搬送機構11Aに受け渡される。トレイ載置部42は、ストッカー45と、ベルトコンベア46とを有している。トレイ載置部42は、ベース部材41と鉛直方向に所定距離離れて設けられている。また、トレイ載置部42は、後述するガイド部材47と鉛直方向に所定距離離れて設けられている。その他、トレイ載置部42は、例えば、第2受渡部4のその他の部材や支持部材51といった、搬送車3に設けられた部材と、鉛直方向に所定距離離れて設けられている。
ストッカー45は、トレイ200が一時的に収納される部分である。このストッカー45は、底部451と、第1壁部452と、第2壁部453とを有している。
図6、図7に示すように、底部451は、枠状をなし、その内側にベルトコンベア46が配置されている。底部451は、トレイ200を下側、すなわち、Z方向負側から支持することができる。
底部451のY方向負側には、第1壁部452が立設している。第1壁部452は、トレイ200をY方向負側から支持することができる。また、底部451のY方向正側の部分は、テーパー状をなすテーパー部451aとなっている。これにより、トレイ200の受け渡しを円滑に行うことができる。
底部451のX方向正側および負側には、それぞれ、第2壁部453が立設している。第2壁部453は、トレイ200をX方向の両側から支持することができる。
このような構成のストッカー45により、トレイ200は、複数枚重なった状態でも、安定して収納される。これにより、例えば、搬送車3の移動中に、これらのトレイ200が崩れるのを防止することができる。
ベルトコンベア46は、Y方向に離間して配置されたローラー461およびローラー462と、ローラー461およびローラー462に掛け回された搬送ベルト463と、ローラー461を駆動ローラーとして回転駆動させる駆動源464とを有している。
ローラー461およびローラー462は、それぞれ、X方向と平行な軸回りに回転可能に支持されている。ローラー461は、駆動源464に連結された駆動ローラーである。ローラー462は、従動ローラーである。
搬送ベルト463は、無端ベルトで構成されている。搬送ベルト463上には、トレイ200を載置することができる。そして、搬送ベルト463は、トレイ200が載置されたまま、ローラー461およびローラー462がそれぞれ同方向に回転することにより、トレイ200をY方向正側に向かって搬送することができる。
駆動源464は、例えばモーターや減速機等で構成されている。そして、駆動源464が作動することにより、ローラー461がローラー462とともに回転して、搬送ベルト463上のトレイ200をY方向正側に向かって搬送することができる。
トレイ載置部42のY方向負側には、移動機構部43が配置されている。移動機構部43は、図5に示す構成ではシリンダーで構成されているが、これに限定されない。移動機構部43が作動することにより、トレイ載置部42をY方向正側に押し出したり、反対に、トレイ載置部42をY方向負側に引き込んだりすることができる。
トレイ載置部42と移動機構部43との間には、倣い機構部44が配置されている。倣い機構部44は、例えば、フローティングジョイント等で構成することができる。
また、図6、図7に示すように、第2受渡部4の底部451には、例えば円柱状をなすガイド部材47が設けられている。ガイド部材47は、X方向に離間して配置されている。一方、電子部品検査装置1の支持面28上には、各ガイド部材47が嵌まり込むことができるくさび状の溝291を有する受け部材29が設けられている。
このような倣い機構部44と、ガイド部材47と、受け部材29との相乗効果によって、次のような状態が得られる。
例えば、図6に示すように、搬送車3が電子部品検査装置1に対向している場合、搬送車3上のトレイ200が、第1前側ガイド271Aの内側延長線L271Aから外側、すなわち、X方向負側にズレていたとする。このままの状態で、第1前側ガイド271Aと第2前側ガイド271Bとの間に、トレイ200をY方向正側に向かって第2受渡部4から搬入しようとしても、トレイ200が第1前側ガイド271Aに衝突してしまう。その結果、トレイ200の搬入が困難となるおそれがある。
しかしながら、図7に示すように、第2受渡部4がY方向正側に押し出されていくと、各ガイド部材47が受け部材29の溝291に案内されて行き、遂には、受け部材29の溝291に嵌まり込む。また、この嵌まり込みに伴って、第2受渡部4の姿勢は、倣い機構部44によって変化することができる。これにより、第1前側ガイド271Aの内側延長線L271Aと、第2前側ガイド271Bの内側延長線L271Bとの間に、トレイ200が臨んだ状態となる。そして、この状態で、トレイ200をY方向正側に向かって第2受渡部4から搬入すれば、トレイ200は、第1前側ガイド271Aと第2前側ガイド271Bとの間を通過して、トレイ搬送機構11Aに正確に載置されることとなる。
また、各ガイド部材47には、例えば、力覚センサーが内蔵されているのが好ましい。各ガイド部材47が受け部材29の溝291に嵌まり込んだ際、各ガイド部材47の力覚センサーは、力検出を検出して、その検出結果を制御部7に送信することができる。制御部7は、各力覚センサーでの検出結果に基づいて、搬送車3が電子部品検査装置1に対して図7に示す状態となったことを判断することができる。
また、2つの受け部材29のうちの一方の受け部材29の溝291には、各前側ガイド271を回動させる前記駆動機構の作動の開始を指示するボタンが設置されているのが好ましい。これにより、ガイド部材47が嵌まり込んだ際に、ガイド部材47によってボタンが押圧されて、各前側ガイド271が回動して開状態となり、トレイ200の搬入が可能となる。また、ボタンの押圧が解除されると、各前側ガイド271は、開状態となるときと反対方向に回動して閉状態となる。
図5に示すように、第2受渡部4のベース部材41の自由端側には、距離検出部6が下方に臨んで設けられている。距離検出部6は、第2受渡部4のベース部材41に対するトレイ搬送機構11Aの支持面28までの鉛直方向の距離を検出することができる。
本実施形態では、距離検出部6は、接触式の距離センサーを有する。接触式の距離センサーとしては、特に限定されず、例えば、力覚センサーや機械式スイッチセンサー、その他、歪ゲージ等を有するものを用いることができる。このような「接触式」センサーを用いることにより、支持面28までの距離を正確に検出することができる。そして、後述するように、制御部7は、距離検出部6による検出後、すなわち、距離検出部6により検出された距離に基づいて、駆動部5を制御することができる。これにより、第2受渡部4を、トレイ200の受け渡しが可能な正確な位置に停止させることができる。
次に、電子部品搬送システム100において、トレイ200が搬送車3から電子部品検査装置1に受け渡されるまでの動作について、図8〜図17を参照して説明する。
まず、図8に示すように、電子部品検査装置1は、第1レイアウトで配置されている。また、搬送車3は、第2受渡部4にトレイ200を積載した状態で、電子部品検査装置1の前面側に臨んでいる。このとき、搬送車3は、第2受渡部4が最下位置に位置しているのが好ましい。これにより、搬送車3の重心をできる限り低くすることができ、よって、搬送車3は、安定して走行することができる。
そして、図9に示すように、搬送車3は、マーカー検出センサー83が電子部品検査装置1のマーカー246を検出するまで、Y方向正側に走行していく。これにより、搬送車3は、電子部品検査装置1に接近することができる。マーカー検出センサー83によるマーカー246の検出後、搬送車3は、電子部品検査装置1への接近を一旦停止する。また、搬送車3は、マーカー246を検出することにより、トレイ200を搬入すべき電子部品検査装置1か否かを、制御部7が判断することができる。
次いで、図10に示すように、搬送車3は、駆動部5によって、第2受渡部4を最上位置まで上昇させる。
次いで、図11に示すように、搬送車3は、近接センサー84が電子部品検査装置1を検出するまで、Y方向正側に走行していく。これにより、搬送車3を電子部品検査装置1にさらに接近させることができる。また、このとき、電子部品検査装置1の支持面28に距離検出部6を対向させることができる。
次いで、図12に示すように、搬送車3は、駆動部5によって、第2受渡部4を最上位置から下降させていく。そして、距離検出部6が支持面28に接触することにより、第2受渡部4のベース部材41に対する支持面28までの鉛直方向の距離が零となったことが検出されたら、駆動部5は、第2受渡部4の下降を停止する。
次いで、図13に示すように、第2受渡部4では、トレイ載置部42が移動機構部43によってY方向正側に移動する。このとき、前述した倣い機構部44等によって、トレイ200が2つの前側ガイド271の間に正確に臨んだ状態となる。また、各前側ガイド271は、開状態となる。
次いで、図14に示すように、第2受渡部4では、ベルトコンベア46が作動する。これにより、トレイ200は、さらにY方向正側に移動して行き、トレイ搬送機構11Aのベルトコンベア26上にまたがる。
次いで、図15に示すように、トレイ搬送機構11Aでは、ベルトコンベア26が作動する。これにより、トレイ200は、2つの前側ガイド271の間を通過し、その後、各後側ガイド272に当接して停止する。
次いで、図16に示すように、第2受渡部4では、トレイ載置部42が移動機構部43によってY方向負側に移動する。これにより、搬送車3から電子部品検査装置1への受け渡しが完了する。また、搬送車3が電子部品検査装置1から離間すれば、各前側ガイド271は、再度閉状態となる。
一方、図17に示す状態では、電子部品検査装置1は、第2レイアウトで配置されている。この場合も、搬送車3は、第1レイアウトのときと同様に作動すれば、距離検出部6による検出が行われて、図17のように第2受渡部4の下降を停止させることができる。これにより、搬送車3から電子部品検査装置1への受け渡しが可能となる。
以上のように、本発明の搬送車3は、電子部品であるICデバイス90が収納される容器としてのトレイ200が載置される搬送ベルト263(第1載置面)を有してICデバイス90を搬送する電子部品搬送装置10に、トレイ200を搬送することができる。
搬送車3は、トレイ200が載置されるトレイ載置部42(第2載置面)と、トレイ載置部42に配置され、トレイ載置部42と搬送ベルト263との距離を検出する距離検出部6と、トレイ載置部42を鉛直方向に移動させる駆動部5と、距離検出部6により検出された距離に基づいて、駆動部5によりトレイ載置部42を鉛直方向に移動させる制御部7と、を備え、トレイ載置部42から搬送ベルト263にトレイ200を受け渡すことができる。
このような本発明によれば、搬送車3の第2受渡部4のトレイ載置部42と、電子部品搬送装置10のトレイ搬送機構11Aの搬送ベルト263との高さをあわせることができるため、電子部品搬送装置10のトレイ搬送機構11Aの高低に関わらず、ICデバイス90が収納されたトレイ200を、搬送車3の第2受渡部4のトレイ載置部42から、電子部品搬送装置10のトレイ搬送機構11Aの搬送ベルト263に安定して受け渡すことができる。すなわち、搬送車3においてトレイが載置される第2載置面と、電子部品搬送装置10においてトレイが載置される第1載置面との、高さをあわせることができるため、ICデバイス90が収納されたトレイ200を、搬送車3の第2載置面から、電子部品搬送装置10の第1載置面に安定して受け渡すことができる。
また、本発明の電子部品搬送システム100は、ICデバイス90が収納されるトレイ200が載置される搬送ベルト263(第1載置面)を有し、ICデバイス90を搬送する電子部品搬送装置10と、搬送車3とを備えるテストシステム(test system)である。
前述したように、搬送車3は、は、トレイ200が載置されるトレイ載置部42(第2載置面)と、トレイ載置部42に配置され、トレイ載置部42と搬送ベルト263との距離を検出する距離検出部6と、トレイ載置部42を鉛直方向に移動させる駆動部5と、距離検出部6により検出された距離に基づいて、駆動部5によりトレイ載置部42を鉛直方向に移動させる制御部7と、を備え、トレイ載置部42から搬送ベルト263にトレイ200を受け渡すことができる。
これにより、前述した搬送車3の利点を持つ電子部品搬送システム100が得られる。また、検査部16にまでICデバイス90を搬送することができ、よって、当該ICデバイス90に対する検査を検査部16で行なうことができる。また、検査後のICデバイス90を検査部16から搬送することができる。
<第2実施形態>
以下、図18、図19を参照して本発明の電子部品搬送システムおよび搬送車の第2実施形態について説明するが、前述した実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項はその説明を省略する。
以下、図18、図19を参照して本発明の電子部品搬送システムおよび搬送車の第2実施形態について説明するが、前述した実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項はその説明を省略する。
本実施形態は、電子部品搬送装置および搬送車の各構成が異なること以外は前記第1実施形態と同様である。
図18、図19に示すように、本実施形態では、電子部品搬送装置10は、基準面である床面1000から、第1受渡部であるトレイ搬送機構11Aの支持面28までの高さ(鉛直方向の距離)H11Aに関する情報を送信する送信部30を有している。以下、高さH11Aに関する情報を「高さ情報HI」と言う。基準面としては、例えば、床面1000であってもよいし、第1テスターヘッド901Aの上面や第2テスターヘッド901Bの上面であってもよい。また、高さ情報HIとしては、例えば、高さH11Aそのものであってもよいし、電子部品搬送装置10に形成され、第1テスターヘッド901Aや第2テスターヘッド901Bが収納される収納空間の高さ等であってもよい。また、高さ情報HIは、第1テスターヘッド901A、第2テスターヘッド901Bによってそれぞれ決まっている。また、高さ情報HIは、メモリー803に予め記憶されている。オペレーターは、これらの高さ情報HIから最適な高さ情報HIを適宜選択することができる。
搬送車3は、高さ情報(情報)HIを受信する受信部9を有している。受信部9は、例えば、制御部7の筐体71に収納されているのが好ましい。これにより、受信部9を保護することができる。
制御部7は、受信部9で受信された高さ情報HIに基づいて、駆動部5により第2載置面、すなわち、第2受渡部4(トレイ載置部42)を移動する。
図18に示す状態では、電子部品検査装置1は、第1レイアウトで配置されている。また、図19に示す状態では、電子部品検査装置1は、第2レイアウトで配置されている。そして、いずれの状態でも、第2受渡部4は、上限位置まで上昇せずとも、高さ情報HIに基づいて、上昇途中で一旦停止して、そのまま、下降に転じることができる。これにより、第2受渡部4が支持面28まで下降する下降時間の短縮が可能となる。
<第3実施形態>
以下、図20を参照して本発明の電子部品搬送システムおよび搬送車の第3実施形態について説明するが、前述した実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項はその説明を省略する。
本実施形態は、距離検出部の構成が異なること以外は前記第1実施形態と同様である。
以下、図20を参照して本発明の電子部品搬送システムおよび搬送車の第3実施形態について説明するが、前述した実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項はその説明を省略する。
本実施形態は、距離検出部の構成が異なること以外は前記第1実施形態と同様である。
図20に示すように、本実施形態では、距離検出部6は、非接触式の距離センサーを有する。非接触式の距離センサーとしては、特に限定されず、例えば、三角測距方式を利用したもの、タイム・オブ・フライトを利用したもの、パルス伝播方式を利用したもの、正反射方式を利用したもの等、各種のセンサーが挙げられ、これらの中でも特に、近接センサーを有するもの、レーザー測長器を有するものであるのが好ましい。このような「非接触式」センサーを用いることにより、例えば、第2受渡部4が下降して支持面28まで近づいてきた場合、その距離に応じて、第2受渡部4の下降速度を減少させることができる。これにより、第2受渡部4の急停止を防止することができ、よって、トレイ200上のICデバイス90に急停止時の衝撃が生じて、ICデバイス90がトレイ200から跳ね上がるのを防止することができる。
以上、本発明の電子部品搬送システムおよび搬送車を図示の実施形態について説明したが、本発明は、これに限定されるものではなく、電子部品搬送システムおよび搬送車を構成する各部は、同様の機能を発揮し得る任意の構成のものと置換することができる。また、任意の構成物が付加されていてもよい。
また、本発明の電子部品搬送システムおよび搬送車は、前記各実施形態のうちの、任意の2以上の構成(特徴)を組み合わせたものであってもよい。
なお、搬送車は、電子部品搬送装置のトレイ供給領域へのトレイの搬入と同様に、電子部品搬送装置のトレイ除去領域からトレイを搬出することもできる。このときの搬出動作は、搬入動作と反対となる。
また、距離検出部は、電子部品搬送装置に設けることもできる。
また、距離検出部は、電子部品搬送装置に設けることもできる。
1…電子部品検査装置、10…電子部品搬送装置、11A…トレイ搬送機構、11B…トレイ搬送機構、12…温度調整部、13…デバイス搬送ヘッド、14…デバイス供給部、14A…デバイス供給部、14B…デバイス供給部、15…トレイ搬送機構、16…検査部、17…デバイス搬送ヘッド、17A…デバイス搬送ヘッド、17B…デバイス搬送ヘッド、18…デバイス回収部、18A…デバイス回収部、18B…デバイス回収部、19…回収用トレイ、20…デバイス搬送ヘッド、21…トレイ搬送機構、22A…トレイ搬送機構、22B…トレイ搬送機構、231…第1隔壁、232…第2隔壁、233…第3隔壁、234…第4隔壁、235…第5隔壁、241…フロントカバー、242…サイドカバー、243…サイドカバー、244…リアカバー、245…トップカバー、246…マーカー、25…搬送部、26…ベルトコンベア、261…ローラー、262…ローラー、263…搬送ベルト、264…駆動源、265…モーター、265a…ローター、266…プーリー、267…プーリー、268…タイミングベルト、27…位置決め部、271…前側ガイド、271A…第1前側ガイド、271B…第2前側ガイド、272…後側ガイド、273…回動支持部、28…支持面、29…受け部材、291…溝、30…送信部、3…搬送車、4…第2受渡部、41…ベース部材、42…トレイ載置部、43…移動機構部、44…倣い機構部、45…ストッカー、451…底部、451a…テーパー部、452…第1壁部、453…第2壁部、46…ベルトコンベア、461…ローラー、462…ローラー、463…搬送ベルト、464…駆動源、47…ガイド部材、5…駆動部、51…支持部材、52…リニアガイド、521…ガイドレール、522…スライダー、53…ボールネジ、531…ネジ軸、532…ナット、54…モーター、541…ローター、55…カップリング、56…ベアリング、57…筐体、6…距離検出部、7…制御部、71…筐体、72…プロセッサー、73…メモリー、74…バッテリー、8…走行部、81…ベース部、82…車輪、83…マーカー検出センサー、84…近接センサー、9…受信部、90…ICデバイス、100…電子部品搬送システム、200…トレイ、300…モニター、301…表示画面、400…シグナルランプ、500…スピーカー、600…マウス台、700…操作パネル、800…ハンドラー制御部、802…プロセッサー、803…メモリー、900A…第1テスター、900B…第2テスター、901A…第1テスターヘッド、901B…第2テスターヘッド、1000…床面、A1…トレイ供給領域、A2…デバイス供給領域(供給領域)、A3…検査領域、A4…デバイス回収領域(回収領域)、A5…トレイ除去領域、H11A…高さ、HI…高さ情報、L271A…内側延長線、L271B…内側延長線、α11A…矢印、α11B…矢印、α13X…矢印、α13Y…矢印、α14…矢印、α15…矢印、α17Y…矢印、α18…矢印、α20X…矢印、α20Y…矢印、α21…矢印、α22A…矢印、α22B…矢印、α90…矢印
Claims (6)
- 電子部品が収納される容器が載置される第1載置面を有し、前記電子部品を搬送する電子部品搬送装置と、
前記容器が載置される第2載置面と、前記第2載置面に配置され、前記第2載置面と前記第1載置面との距離を検出する距離検出部と、前記第2載置面を鉛直方向に移動させる駆動部と、前記距離検出部により検出された前記距離に基づいて、前記駆動部により前記第2載置面を鉛直方向に移動させる制御部と、を有し、前記第2載置面から前記第1載置面に前記容器を受け渡す搬送車と、を含むことを特徴とする電子部品搬送システム。 - 前記電子部品搬送装置は、基準面と前記第1載置面との鉛直方向の距離に関する情報を送信する送信部を有し、
前記搬送車は、前記情報を受信する受信部を有し、
前記制御部は、前記受信部で受信された前記情報に基づいて、前記駆動部により前記第2載置面を移動する請求項1に記載の電子部品搬送システム。 - 前記距離検出部は、接触式の距離センサーを有する請求項1に記載の電子部品搬送システム。
- 前記距離検出部は、非接触式の距離センサーを有し、
前記距離センサーは、近接センサーである請求項1に記載の電子部品搬送システム。 - 前記距離検出部は、非接触式の距離センサーを有し、
前記距離センサーは、レーザー測長器である請求項1に記載の電子部品搬送システム。 - 電子部品が収納される容器が載置される第1載置面を有して前記電子部品を搬送する電子部品搬送装置に、前記容器を搬送する搬送車であって、
前記容器が載置される第2載置面と、
前記第2載置面に配置され、前記第2載置面と前記第1載置面との距離を検出する距離検出部と、
前記第2載置面を鉛直方向に移動させる駆動部と、
前記距離検出部により検出された前記距離に基づいて、前記駆動部により前記第2載置面を鉛直方向に移動させる制御部と、を備え、
前記第2載置面から前記第1載置面に前記容器を受け渡すことを特徴とする搬送車。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018133574A JP2020011792A (ja) | 2018-07-13 | 2018-07-13 | 電子部品搬送システムおよび搬送車 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2018133574A JP2020011792A (ja) | 2018-07-13 | 2018-07-13 | 電子部品搬送システムおよび搬送車 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
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JP2020011792A true JP2020011792A (ja) | 2020-01-23 |
Family
ID=69168755
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2018133574A Pending JP2020011792A (ja) | 2018-07-13 | 2018-07-13 | 電子部品搬送システムおよび搬送車 |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP2020011792A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN114751129A (zh) * | 2022-06-15 | 2022-07-15 | 徐州考拉机器人科技有限公司 | 一种层叠型rgv送料小车 |
-
2018
- 2018-07-13 JP JP2018133574A patent/JP2020011792A/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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CN114751129A (zh) * | 2022-06-15 | 2022-07-15 | 徐州考拉机器人科技有限公司 | 一种层叠型rgv送料小车 |
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