TWI383467B - Stage device - Google Patents

Description

載台裝置

本發明，是有關一種載台裝置，具有在搭載了基板的基台上可朝一軸方向移動的高架部。

以往，使用於液晶面板或半導體等的各種基板的製造等的載台裝置，已知例如專利文獻1。此載台裝置，是具備：將罐材連結構築成框狀製罐構造的基台、及設置於基台的兩側的一對的導引軌道、及沿著這些導引軌道被導引的一對導引滑件、及橫架於一對的導引滑件之間的樑。樑，是沿著導引軌道移動，藉由搭載於此樑的照相機或維修裝置等，檢出基板的缺陷並且進行修復。基台，是隔著除振組件被支撐於架台上。且基台，是藉由平行架設於框內的補強罐被補強。

[專利文獻1]日本特開2006－269509號公報

[發明的揭示]

但是，在上述習知的製罐構造的基台中，因為例如即使設置補強罐剛性也不充分，所以例如當樑沿著導引軌道朝前方移動並且照相機等的搭載物朝右方移動時，使基台的前方側右角會陷落，而在基台產生數十微米級的變形。 因此，照相機等的搭載物即使只移動正確地距離，此基台的變形量仍會讓搭載物及基台的相對位置產生誤差，基板的處理就無法正確地進行。這時，等待基台的變形回復至原形為止停止基板的處理的話，處理量會顯著下降。

本發明，是鑑於上述狀況，其目的為提供一種載台裝置，藉由提高基台的剛性，處理量不會下降且在基台上可正確地處理基板。

本發明的載台裝置，是具備：基台、及朝一軸方向可移動設置於前述基台上的高架部、及支撐前述基台的除振組件。前述基台，是具有：將罐材連結構築成框狀的上部框架、及將罐材連結構築成框狀且與前述上部框架呈上下分離設置的下部框架、及連結前述上部框架及前述下部框架的連結材。

在此載台裝置中，因為基台是具有上部框架及下部框架，並將其由連結材連結的盒構造，所以藉由罐材結構謀求輕量化，但剛性也被提高。因此，即使因為高架部的移動而受到負荷使除振組件沈下導致基台傾斜，藉由抑制基台本身的變形，就可使與高架部及基台的相對位置的誤差非常小，就可進行基板的正確處理。且，因為不需要等待基台的變形是回復至原形為止停止基板的處理，處理量就不會下降。

載台裝置，是具備隔著前述除振組件支撐前述基台用 的架台也可以。如此的話，在架台上可以由除振狀態支撐基台。

前述上部框架的外形是矩形狀，前述下部框架是沿著前述上部框架的外形但四角凹陷的矩形狀，前述架台是具有：沿著前述上部框架的外形的矩形狀的框體、及通過前述下部框架的四角的凹陷從下方支撐前述上部框架的四角的支柱，前述除振組件，是至少設在前述上部框架的四角及前述支柱的上端之間也可以。如此的話，因為可以通過除振組件將基台支撐於接近重心的更高位置，所以可以抑制因高架部的移動所產生的基台的擺動。且，下部框架發可揮錘的功能，可以進一步抑制基台的擺動。

前述基台，是具有將該基台在水平方向分割成複數塊體用的分割部也可以。如此的話，即使隨著基板大型化而使基台大型化，不需使用特殊的大型車輛就可分割供運送基台。

前述分割部，是在上下對應位置將構成前述上部框架及前述下部框架的罐材切斷也可以。如此的話，設置於上部框架及下部框架的分割部因為是上下方向分離，所以對於剛性有利。

在前述罐材的切斷面設有向外的凸緣也可以。如此的話，分割的塊體彼此可以容易透過向外的凸緣相互連結。

在前述上部框架及前述下部框架的至少一方的框內，呈傾斜方向架設補強材也可以。如此的話，與在框內架設平行的補強材的情況相比可以充分地提高基台的剛性。即 ，對於高架部及其搭載裝置同時移動時可能發生的基台的扭轉，可以提高扭轉剛性。

依據本發明，可以提供一種載台裝置，藉由提高基台的剛性，處理量不會下降且在基台上可正確地處理基板。

以下，參照添付圖面說明本發明的實施例。又，對於圖面的說明的同一要素是附加同一的符號，省略重複說明。

[第1實施例]

第1圖是本發明的第1實施例的載台裝置1的立體圖，第2圖是將具備第1圖的載台裝置1從基台上方所見的立體圖，第3圖將基台從下方所見的立體圖，第4圖是連結了連結材的基台的下部框架被除振組件支撐狀態的立體圖。

如第1圖所示，載台裝置1，是具備：搭載有基板的基台10、及移動於基台10上的高架部30、及設置於基台10供導引高架部30的移動用的導引軌道40及永久磁鐵42、及設置於高架部30的下部被導引軌道40導引的導引滑件44及與永久磁鐵42相面對的電磁鐵48，此高架部30是沿著導引軌道40移動。又，在第1圖中，基台10 的長度方向為Y軸方向，與其相互垂直的水平方向為X軸方向，與這些相互垂直的方向為Z軸方向。

基台10，是具有：上部框架12、及與上部框架12上下分離設置的下部框架22、及連結上部框架12及下部框架22的連結材18。

上部框架12，是在藉由連結各朝X軸方向延伸的罐材12a、12b、及朝Y軸方向延伸的罐材12c、12d而形成矩形狀的框體的內側，藉由複數補強材14a、14b、14c、14d補強的結構。在此，罐材12a、12b、12c、12d是中空的棒材，在本實施例是利用剖面口狀的口型(方型)鋼。且，補強材14a、14b、14c、14d，不論是中空或中實皆是橫架框體內側的棒材，在本實施例中利用剖面H狀的H型鋼及剖面口狀的口型鋼。

在此，雖詳細如後述，但是基台10是在長度方向的水平方向可分割成複數塊體(在此為2塊體)，朝上部框架12的Y軸方向延伸的罐材12c、12d是在途中被切斷，且設有分割部16。而且，對於從前方側及後側挾持分割部16的各塊體，在切斷部分的罐材12c、12d之間，朝X軸方向延伸的方式橫架由口型鋼組成的補強材14a。

而且，在由罐材12a及罐材12c、12d及補強材14a所形成的前方的框內，由H型鋼構成的補強材14b，是與罐材12c、12d平行架設，並且與罐材12a及補強材14a平行架設。且，由H型鋼構成的補強材14c，是對於罐材12a、12c、12d及補強材14a呈傾斜對角狀橫架。因此， 補強材14b，14c是成為在中央的一點交叉，並從此放射狀延伸的狀態。

且，在由罐材12c、12d及罐材12b及補強材14a所形成的後面的框內，由H型鋼構成的補強材14d，是對於罐材12b、12c、12d及補強材14a傾斜橫架。

下部框架22，是在藉由分別連結朝X軸方向延伸的罐材22a、22b、及朝Y軸方向延伸的罐材22c、22d而形成矩形狀的框體的內側，藉由補強材24b所補強的結構。罐材22a、22b、22c、22d的徑，是比上部框架12的罐材12a、12b、12c、12d小。由口型鋼構成的補強材24b，是在罐材22c、22d的長度方向的中央部，橫架於X軸方向。

在此，如前述，基台10是在長度方向的水平方向可分割成複數塊體(在此為2塊體)，下部框架22的朝Y軸方向延伸的罐材22c、22d是在途中被切斷，並設有分割部26。

連結材18，是在Z軸方向分離的狀態下，連結上部框架12及下部框架22。在本實施例中，連結材18是由口型鋼的罐材所構成，在四角連結上部框架12及下部框架22。進一步，為了提高剛性，而在上下的罐材12c、22c之間，在分割部16、26的前方側，朝Z軸方向延伸的如在口型鋼組成連結材18是架設。且，在上下的罐材22d、22d間中，在分割部16、26的前方側，朝Z軸方向延伸地架設由口型鋼構成連結材18。

除振組件50，是設在載台裝置1的設置面及基台10之間。更詳細的話，除振組件50，是在下部框架22的四角、及罐材22c、22d的途中的下部，可除振地支撐基台10。除振組件50，是供去除從設置面傳遞至基台10的振動，可以使用例如由空氣彈簧或橡膠等的彈性材所構成者。

導引軌道40，是分別設在罐材12c、12d的上面，朝Y軸方向延伸。更詳細的話，在罐材12c、12d的上面，朝向外側方設有突出片52，此突出片52是朝Y軸方向連續延伸。而且，在此突出片52的上面，設有導引軌道40。且，永久磁鐵42，是對於突出片52的上面被設在比導引軌道40更鄰接於外側的位置，並朝Y軸方向延伸。此永久磁鐵42，是在Y軸方向返覆S極及N極的預定模式。

在導引軌道40及永久磁鐵42的上方，配置有與朝X軸方向延伸的高架部30的兩側的下部連結的連結板46，在此連結板46的下面分別鄰接設有導引滑件44及電磁鐵48。電磁鐵48，是配合永久磁鐵42的S極及N極的模式變化磁極，藉由在永久磁鐵42之間發生反抗力可以一邊由導引軌道40導引高架部30一邊朝Y軸方向移動。

又，在突出片52的下面，架設於與罐材12c、12d的外側面之間的複數補強肋54是設成在Y軸方向隔有預定間隔。

高架部30，是具備：朝X軸方向延伸的支撐部30a、 線形馬達部30b及移動部30c。移動部30c可藉由線形馬達部30b沿著該線形馬達部30b朝X軸方向移動。而且，藉由在此移動部30c附設預定的處理裝置，使處理裝置是朝X軸方向移動，對於被搭載於基台10的基板實行預定的處理。此處理裝置，可以是：檢查基板上的缺陷的照相機、修復濾色板的色脫落等的基板的表面處理狀態的維修裝置、對於基板進行模式處理的塗抹裝置。

如第5圖所示，在載台裝置1的基台10上，設有供載置液晶面板等的基板用的工件壓板11。又，由運送車運送載台裝置1時，在設有此工件壓板11的狀態積載於運送車。

在本實施例中，是如第5圖所示，基台10、導引軌道40、永久磁鐵42、突出片52及工件壓板11，是由與Y軸方向垂直的分割面所分割。而且，分割基台10，是在分割部16、26藉由螺絲等連結。即，在分割部26(16)中，如第6圖所示，設有將切斷罐材22c(12c)的切斷面圍起來並向外的凸緣26a(16a)，通過此向外的凸緣26a(16a)連結被分割的基台10的塊體彼此。又，在上部框架12的分割部16中，補強肋54是兼具向外的凸緣16a。

如此，基台10、導引軌道40、永久磁鐵42、突出片52及工件壓板11因為是在Y軸方向可分割的結構，所以載台裝置1可分割成2個塊體。又，分割部16、26，是對於上下的Z軸方向設在對應的位置，對於Y軸方向各 塊體是形成於可積載於運送車的大小的位置。

且，在基台10的兩側方的突出片52的下方，是如第1圖及第7圖所示，設有纜線載體60。在高架部30中，連接：供給供控制高架部30本身或移動部30c的移動用的電力的無圖示電力纜線、或在與附設於移動部30c的處理裝置之間送收訊各種訊號用的無圖示訊號纜線等。這些纜線，是通過纜線載體60地被配線。

纜線載體60，是連設扁平的複數筒材的，各筒材是在相互限制的角度內可轉動自如地連結。匯集的纜線，是通過此纜線載體60的內部。纜線載體60的一端60a，是固定在被設置於基台10的側方的支撐台62上。且，纜線載體60的另一端60b，是固定於連絡構件64。連絡構件64，是筒狀的構件並與高架部30及纜線載體60連結，將來自纜線載體60的纜線導引至高架部30。

因此，如第8圖所示，纜線載體60是如履帶(日本註冊商標)地可變形自如，高架部30隨著朝Y軸方向移動，於基台10的長度方向的任意的位置可彎曲成U字狀。而且，通過纜線載體60內部的纜線，會順著纜線載體60的變形而變形。

如此，藉由將纜線載體60設在基台10的兩側方的突出片52的下方，與設置於基台10的內部的情況不同，罐材12c、22c間或罐材12d、22d間的空間的利用的自由度提高，可在此配置連結材18或除振組件50，就可提高剛性或制振性。且，藉由設置突出片52並在此上配置導引 軌道40或永久磁鐵42，與在上部框架12的罐材12c、12d上配置這些的情況相比，可以縮小的基台10的X軸方向的尺寸，可謀求降低突軌部(foot print)的發生。

如此，本實施例的載台裝置1中，基台10因為是具有上部框架12及下部框架22且由連結材18加以連結的盒構造，所以即使由罐材構成輕量化，剛性也可提高。因此，即使因為高架部30的移動而承受負荷使除振組件50下沈而導致基台10傾斜，也可抑制基台10本身的變形，高架部30及基台10的相對位置的誤差非常小，可正確地處理基板。且，因為不需要等待基台10的變形回復至原形為止就可進行基板的處理，處理量不會下降。

且，基台10，是因為具有將基台10在水平方向分割成複數塊體用的分割部16、26，所以即使隨著基板的大型化使基台10大型化，也不需使用特殊的大型車輛就可將基台10分割運送。且，將構成基台10的罐材12c、12d、22c、22d機械加工時，因為可各分割部分分別進行，所以機械加工容易進行。

且，分割基台10的情況，基台10是由罐材構成的話，接合面的剛性低，高架部30的驅動時有產生變形的可能性，但是本實施例的基台10因為是盒構造，配合上部框架12及下部框架22中的上下的接合面的話，接合面會增加，可以降低產生變形的可能性，成為有利於基台10的分割的構造。

且，分割部16、26，因為是將構成上部框架12及下 部框架22的罐材在上下對應位置切斷的結構，所以設置於上部框架12及下部框架22的分割部16、26是藉由上下方向分離，可對於讓分割面脫落的力矩進行強化，在剛性上有利。

且，在罐材的切斷面中因為設置向外的凸緣16a、26a，所以被分割的塊體彼此透過向外的凸緣16a、26a藉由螺絲等可以容易相互連結。

又，在突出片52的下面設有架設於罐材12c、12d的外側面之間的複數補強肋54，分割的基台10，也是透過此補強肋54連結。在此，習知的平台構造的情況，若欲分割的話，連結用的凸緣有需要設成伸出平台的側面，而有橫方向的尺寸變大的問題，但是在本實施例中，因為可以抑制補強肋54或分割部16、26比突出片52更朝側方伸出，所以可以抑制大型化。

且，因為在上部框架12的框內以傾斜方向架設補強材14c、14d，所以與在框內平行架設的補強材的情況相比可以充分地提高基台10的剛性。

且，藉由將纜線載體60設在基台10的兩側方突出片52的下方，與設在基台10的內部的情況不同，罐材12c、22c之間或罐材12d、22d之間的空間利用的自由度提高，在此可以配置連結材18或除振組件50，可以提高剛性或制振性。且，因為可縮短連絡構件64的Z軸方向的長度，降低可以因外亂的影響所產生的基台10的振動。且，藉由設置突出片52進一步配置導引軌道40或永久磁 鐵42，與將這些配置於上部框架12的罐材12c、12d上的情況相比，可以縮小基台10的X軸方向的尺寸，可謀求降低突軌部(foot print)的發生。

又，在此，雖只有在上部框架12的框內朝傾斜方向設置補強材，但是在下部框架22的框內朝傾斜方向設置補強材也可以。

且，連結材18雖由口型鋼構成，將上部框架12及下部框架22的四角等連結的結構，但是連結材18不限定於口型鋼，例如藉由板材將上部框架12及下部框架22包圍而連結的結構也可以。

且，如第9圖所示，上部框架12的分割部16的向外的凸緣16a、及下部框架22的分割部26的向外凸緣26a為一體構造也可以。如此的話，可以更提高基台10的剛性。

[第2實施例]

接著，說明本發明的第2實施例。又，與上述第1實施例同一的要素使用同一符號，省略重複說明。

第10圖，是本發明的第2實施例的載台裝置101的側面圖，第11圖是將具備第10圖的載台裝置101的基台110從上方所見的立體圖，第12圖是將基台110從下方所見的立體圖，第13圖，是將分割的基台110的後側的塊體從上方所見的立體圖，第14圖是連結有連結材118的基台110的下部框架122的立體圖，第15圖是架台 170及除振組件150的立體圖。

此第2實施例與第1實施例的相異點，是藉由架台170支撐基台110的點、及因此變更基台110的結構的點。

如第10圖所示，載台裝置101，是具備：搭載有基板的基台110、及移動於基台110上的高架部130、及設置於基台110供導引高架部130移動的導引軌道140及永久磁鐵142、及設置於高架部130的下部被導引至導引軌道140的導引滑件144及與永久磁鐵142相面對的電磁鐵146，此高架部130是沿著導引軌道140移動。又，在第10圖中，基台110的長度方向為Y軸方向，與其垂直的水平方向為X軸方向，與這些垂直的方向為Z軸方向。

基台110，是具有：上部框架112、及與上部框架112上下分離設置的下部框架122、及連結上部框架112及下部框架122的連結材118。

上部框架112，是在藉由分別連結朝X軸方向延伸的罐材112a、112b、及朝Y軸方向延伸的罐材112c、112d而形成矩形狀的框體的內側，由複數補強材114a、114b、114c、114d補強而構成。在此，罐材112a、112b、112c、112d是中空的棒材，在本實施例中是使用剖面口狀的口型鋼。且，補強材114a、114b、114c、114d，是無論中空或中實皆橫架於框體的內側的棒材，在本實施例中使用剖面H狀的H型鋼及剖面口狀的口型鋼。

在此，雖詳細如後述，基台110在長度方向的水平方 向可分割成複數塊體(在此為2塊體)，上部框架112的朝Y軸方向延伸的罐材112c、112d是在途中被切斷，並設有分割部116。而且，對於各別挾持分割部116的前方側及後側的塊體，在切斷部分的罐材112c、112d之間，朝X軸方向延伸地横架由口型鋼構成之補強材114a。

而且，在由罐材112a及罐材112c、112d及補強材114a所形成的前方的框內，由H型鋼構成的補強材114b，是與罐材112c、112d平行地架設，並且與罐材112a及補強材114a平行地架設。且，由H型鋼構成的補強材114c，是對於罐材112a、112c、112d及補強材114a呈傾斜對角狀地横架。因此，補強材114b，114c是成為由中央的一點交叉並從此放射狀延伸的狀態。

且，在由罐材112c、112d及罐材112b及補強材114a所形成的後方的框內，由H型鋼構成的補強材114d，是對於罐材112b、112c、112d及補強材114a傾斜地横架。

下部框架122，是在藉由分別連結朝X軸方向延伸的罐材122a、122b、及朝Y軸方向延伸的罐材122c、122d而形成矩形狀的框體的內側，藉由複數補強材124a、124b、124c所補強的結構。罐材122a、122b、122c、122d的徑，是比上部框架12的罐材112a、112b、112c、112d小。

在此，如前述，基台110是在長度方向的水平方向可分割成複數塊體(在此為2塊體)，下部框架122的朝Y 軸方向延伸的罐材122c、122d是在途中被切斷，並設有分割部126。而且，對於分割部126前方側的塊體，在切斷部分的罐材122c、122d之間，朝X軸方向延伸地横架由口型鋼構成的補強材124a。

且，在由罐材122a及罐材122c、112d及補強材124a所形成的前方的框內，由H型鋼構成的補強材124b，是與罐材122c、122d平行地架設，並且與罐材122a及補強材124a平行地架設。且，由H型鋼構成的補強材124c，是對於罐材122a、122c、122d及補強材124a呈傾斜對角狀地横架。因此，補強材124b，124c是成為由中央的一點交叉，並從此放射狀延伸的狀態。

且，下部框架122，是沿著上部框架112的外形但四角凹陷的略矩形狀。後述架台170的支柱178，是通過此凹陷119從下方支撐上部框架112的四角。

連結材118，是在Z軸方向分離的狀態下，連結上部框架112及下部框架122。在本實施例中，連結材118是由口型鋼的罐材所構成，將上部框架112及下部框架122在四角附近連結。

架台170，是如第15圖所示，在藉由分別連結朝X軸方向延伸的罐材172a、172b、及朝Y軸方向延伸的罐材172c、172d而形成的矩形狀的框體的內側，藉由複數補強材174a、174b所補強的結構。在此，罐材172a、172b、172c、172d是中空的棒材，在本實施例中使用剖面口狀的口型鋼。且，補強材174a、174b，無論是中空 或中實皆是橫架框體內側的棒材，在本實施例中使用剖面口狀的口型鋼。

在此，如前述基台110是在長度方向的水平方向在的複數塊體可分割成複數塊體(在此為2塊體)，並且架台170也可分割成複數塊體。架台170的朝Y軸方向延伸的罐材172c、172d是在途中被切斷，並設有分割部176。而且，對於各別挾持分割部176前方側及後側的塊體，在切斷部分的罐材172c、172d之間，朝X軸方向延伸地橫架由口型鋼構成的補強材174a。且，在前方側的框內，進一步朝X軸方向延伸地橫架由口型鋼構成的補強材174a。且，在架台170的框內，朝Y軸方向延伸地橫架由口型鋼構成的補強材174b。此補強材174b是在途中被切斷，並設有分割部176。

在架台170的四角中，朝Z軸方向延伸地設有支柱178。除振組件150，是設置於架台170的支柱178的上端及各罐材172a、172b、172c、172d上。更詳細的話，除振組件150，是在上部框架112的四角及架台170的支柱178的上端之間、及在各罐材172a、172b、172c、172d的途中的上部及下部框架122的罐材122a、122b、122c、122d之間，可除振地支撐基台110。除振組件150，是供去除從設置面傳遞至基台110的振動，可以使用例如由空氣彈簧或橡膠等的彈性材所構成者。

導引軌道140，是分別設在罐材112c、112d的上面，並朝Y軸方向延伸。更詳細的話，在罐材112c、112d 的上面設有朝向於外側方的突出片152，此突出片152是朝Y軸方向連續延伸。而且，在此突出片152的上面設有導引軌道140。且，永久磁鐵142，是在突出片152的上面設在比導引軌道140更鄰接於外側的位置，並朝Y軸方向延伸。此永久磁鐵142，是在Y軸方向返覆S極及N極的預定模式。

在導引軌道140及永久磁鐵142的上方，配置有與朝X軸方向延伸的高架部130的兩側的下部連結的連結板146，在此連結板146的下面，分別鄰接設置導引滑件144及電磁鐵148。電磁鐵148，是配合永久磁鐵142的S極及N極的模式變化磁極，可以藉由在永久磁鐵142之間發生的反抗力一邊將高架部130由導引軌道140導引一邊朝Y軸方向移動。

又，在突出片152的下面，架設於罐材112c、112d的外側面之間的複數補強肋154是在Y軸方向隔有預定間隔地設置。

高架部130，是具備：朝X軸方向延伸的支撐部130a、線形馬達部130b及移動部130c。移動部130c，可藉由線形馬達部130b沿著該線形馬達部130b朝X軸方向移動。而且，藉由在此移動部130c附設預定的處理裝置，使處理裝置朝X軸方向移動，並對於被搭載於基台110的基板實行預定的處理。此處理裝置，可以是檢查基板上的缺陷的照相機、修復濾色板的色脫落等基板的表面處理狀態的維修裝置、對於基板進行模式處理的塗抹裝置。

又，在載台裝置101的基台110上，與第1實施例同樣，設有供載置液晶面板等的基板用的無圖示工件壓板。又，由運送車運送載台裝置101時，在設置有此工件壓板的狀態下積載於運送車。

在本實施例，是如第10圖所示，基台110、導引軌道140、永久磁鐵142、突出片152、架台170及工件壓板，是在與Y軸方向垂直的分割面被分割。而且，分割的基台110，是在分割部116、126藉由螺絲等連結。

又，在突出片152的下面設有架設於罐材112c、112d的外側面之間的複數補強肋154，分割的基台110，也透過此補強肋154連結。在此，習知的平台構造的情況，若欲分割的話，有需要將連結用的凸緣朝平台的側面伸出地設置，而有橫方向的尺寸變大的問題，但是在本實施例中，因為可以抑制補強肋154或分割部116、126比突出片152更朝側方伸出，所以可以抑制大型化。

如此，基台110、導引軌道140、永久磁鐵142、突出片152、架台170及工件壓板因為是在Y軸方向可分割的結構，所以載台裝置101可分割成2個塊體。又，分割部116、126、176，是在上下的Z軸方向設在對應的位置，所以對於Y軸方向各塊體是形成於可積載於運送車的大小的位置。

且，在基台110的兩側方的突出片152的下方，是如第10圖及第16圖所示，設有纜線載體160。在高架部130中，連接：供給供控制高架部130本身或移動部130c 的移動用的電力的無圖示電力纜線、或在附設於移動部130c的處理裝置之間送收訊各種訊號用的無圖示訊號纜線等。這些纜線，是通過纜線載體160地配線。

纜線載體160，是連設扁平的複數筒材，各筒材是在相互限制的角度內可轉動自如地連結。匯集的纜線，是通過此纜線載體160的內部。纜線載體160的一端160a，是固定在被設置於基台110的側方的支撐台162上。且，纜線載體160的另一端160b，是固定於連絡構件164。連絡構件164，是筒狀的構件並與高架部130及纜線載體160連結，將來自纜線載體160的纜線導引至高架部130。

因此，如第17圖所示，纜線載體160是如履帶(日本註冊商標)地可變形自如，隨著高架部130朝Y軸方向移動，於基台110的長度方向的任意的位置可彎曲成U字狀。而且，通過於纜線載體160的內部的纜線，會順著纜線載體160的變形而變形。

如此，藉由將纜線載體160設在基台110的兩側方突出片152的下方，與設置於基台110的內部的情況不同，罐材112c、122c之間或罐材112d、122d之間的空間的利用自由度提高，在此可配置連結材118或除振組件150，提高剛性或制振性。且，藉由設置突出片152進一步配置導引軌道140或永久磁鐵142，與在上部框架112的罐材112c、112d上配置這些的情況相比，可以縮小的基台110的X軸方向的尺寸，可謀求降低突軌部(foot print)的 發生。

如此，本實施例的載台裝置101中，基台110因為是具有上部框架112及下部框架122、及連結這些的連結材118的盒構造，所以即使藉由罐材結構謀求輕量化，剛性也可提高。因此，藉由高架部130的移動而承受負荷使除振組件150下沈讓基台110傾斜，也可抑制基台110本身的變形，使高架部130及基台110的相對位置的誤差非常小，就可正確地處理基板。且，因為不需要等待基台110的變形回復至原形為止就可進行基板的處理，所以處理量不會下降。

且，基台110，因為具有將基台110在水平方向分割成複數塊體用的分割部116、126，即使隨著基板的大型化而使基台110大型化，也不需使用特殊的大型車輛就可將基台110分割運送。且，將構成基台110的罐材112c、112d、122c、122d機械加工時，因為可各分割部分分別進行，所以機械加工容易進行。

且，分割基台110的情況，基台110是由罐材構成的話，接合面的剛性低，高架部130的驅動時有產生變形的可能性，但是本實施例的基台110因為是盒構造，配合上部框架112及下部框架122中的上下的接合面的話，接合面會增加，可以降低產生變形的可能性，成為有利於基台110的分割的構造。

且，分割部116、126，因為是將構成上部框架112及下部框架122的罐材在上下對應位置切斷的結構，所以 設置於上部框架112及下部框架122的分割部116、126是藉由上下方向分離，可對於讓分割面脫落的力矩進行強化，在剛性上有利。

且，在罐材的切斷面中因為設置向外的凸緣116a、126a，所以被分割的塊體彼此透過向外的凸緣116a、126a藉由螺絲等可以容易相互連結。且，在架台170的罐材的切斷面因為也同樣設置向外的凸緣，所以分割的塊體彼此可以藉由螺絲等容易連結。

且，因為在上部框架112的框內以傾斜方向架設補強材114c、114d，在下部框架122的框內以傾斜方向架設補強材124c，所以與在框內平行架設補強材的情況相比，可以充分地提高基台110的剛性。

且，藉由將纜線載體160設在基台110的兩側方的突出片152的下方，與設置於基台110的內部的情況不同，罐材112c、122c間或罐材112d、122d間的空間的利用的自由度提高，可在此配置連結材118或除振組件150，就可提高剛性或制振性。且，因為可以縮短連絡構件164的Z軸方向的長度，可以降低因為外亂的影響所造成的基台110的振動。且，藉由設置突出片152並在此上配置導引軌道140或永久磁鐵142，與在上部框架112的罐材112c、112d上配置這些的情況相比，可以縮小的基台110的X軸方向的尺寸，可謀求降低突軌部(foot print)的發生。

且，載台裝置101，因為具備隔著除振組件150支撐 基台110的架台170，所以可以在架台170上由除振狀態支撐基台110。

且，因為通過下部框架122的四角的凹陷119從下方隔著除振組件150藉由支柱178支撐上部框架112的四角，所以可以隔著除振組件150將基台110支撐於接近重心的更高的位置，可以抑制因為高架部130的移動所產生的基台110的擺動。且，因為下部框架122作為錘的功能，所以可以更抑制基台110的擺動。

又，雖連結材118為口型鋼的結構且為將上部框架112及下部框架122由四角等連結的結構，但是連結材118不限定於口型鋼，例如藉由板材包圍上部框架112及下部框架122地連結的結構也可以。

又，本發明不限定於上述實施例，可進行各種的變形。例如，在上述實施例中，雖説明適用高架部30、130朝Y軸方向移動且移動部30c、130c朝X軸方向移動的2軸型的載台裝置1、101，但是只有高架部30、130移動的1軸型也可適用。

且，高架部30、130或移動部30c、130c的移動，是接觸型、非接觸型的任一種也可以。

1‧‧‧載台裝置

10‧‧‧基台

11‧‧‧工件壓板

12‧‧‧上部框架

12a‧‧‧罐材

12b‧‧‧罐材

12c‧‧‧罐材

12d‧‧‧罐材

14a‧‧‧補強材

14b‧‧‧補強材

14c‧‧‧補強材

14d‧‧‧補強材

16‧‧‧分割部

16a‧‧‧向外凸緣

18‧‧‧連結材

22‧‧‧下部框架

22a‧‧‧罐材

22b‧‧‧罐材

22c‧‧‧罐材

22d‧‧‧罐材

24b‧‧‧補強材

26‧‧‧分割部

26a‧‧‧向外凸緣

30‧‧‧高架部

30a‧‧‧支撐部

30b‧‧‧線形馬達部

30c‧‧‧移動部

40‧‧‧導引軌道

42‧‧‧永久磁鐵

44‧‧‧導引滑件

46‧‧‧連結板

48‧‧‧電磁鐵

50‧‧‧除振組件

52‧‧‧突出片

54‧‧‧補強肋

60‧‧‧纜線載體

60a‧‧‧一端

60b‧‧‧另一端

62‧‧‧支撐台

64‧‧‧連絡構件

101‧‧‧載台裝置

110‧‧‧基台

112‧‧‧上部框架

112a‧‧‧罐材

112b‧‧‧罐材

112c‧‧‧罐材

112d‧‧‧罐材

114a‧‧‧補強材

114b‧‧‧補強材

114c‧‧‧補強材

114d‧‧‧補強材

116‧‧‧分割部

116a‧‧‧向外凸緣

118‧‧‧連結材

119‧‧‧凹陷

122‧‧‧下部框架

122a‧‧‧罐材

122b‧‧‧罐材

122c‧‧‧罐材

122d‧‧‧罐材

124a‧‧‧補強材

124b‧‧‧補強材

124c‧‧‧補強材

126‧‧‧分割部

130‧‧‧高架部

130a‧‧‧支撐部

130b‧‧‧線形馬達部

130c‧‧‧移動部

140‧‧‧導引軌道

142‧‧‧永久磁鐵

144‧‧‧導引滑件

146‧‧‧連結板

148‧‧‧電磁鐵

150‧‧‧除振組件

152‧‧‧突出片

154‧‧‧補強肋

160‧‧‧纜線載體

160a‧‧‧一端

160b‧‧‧另一端

162‧‧‧支撐台

164‧‧‧連絡構件

170‧‧‧架台

172a‧‧‧罐材

172b‧‧‧罐材

172c‧‧‧罐材

172d‧‧‧罐材

174a‧‧‧補強材

174b‧‧‧補強材

176‧‧‧分割部

178‧‧‧支柱

[第1圖]本發明的第1實施例的載台裝置的立體圖。

[第2圖]將具備第1圖的載台裝置的基台從上方所見的立體圖。

[第3圖]將基台從下方所見的立體圖。

[第4圖]連結有連結材的基台的下部框架是被支撐在除振組件的狀態的立體圖。

[第5圖]將工件壓板組裝於第1圖的載台裝置的立體圖。

[第6圖]顯示分割部的前視圖。

[第7圖]顯示纜線載體的配置的部分擴大圖。

[第8圖]如第1圖所示的載台裝置的側面圖。

[第9圖]顯示分割部的變形例的圖。

[第10圖]本發明的第2實施例的載台裝置的立體圖。

[第11圖]將具備第10圖的載台裝置的基台從上方所見的立體圖。

[第12圖]將基台從下方所見的立體圖。

[第13圖]將基台分割後的後側的塊體從上方所見的立體圖。

[第14圖]連結有連結材的基台的下部框架的立體圖。

[第15圖]顯示架台及除振組件的立體圖。

[第16圖]顯示纜線載體的配置的部分擴大圖。

[第17圖]如第10圖所示的載台裝置的側面圖。

10‧‧‧基台

12‧‧‧上部框架

12a‧‧‧罐材

12b‧‧‧罐材

12c‧‧‧罐材

12d‧‧‧罐材

14a‧‧‧補強材

14b‧‧‧補強材

14c‧‧‧補強材

14d‧‧‧補強材

16‧‧‧分割部

18‧‧‧連結材

22‧‧‧下部框架

22a‧‧‧罐材

22c‧‧‧罐材

26‧‧‧分割部

30‧‧‧高架部

30a‧‧‧支撐部

30b‧‧‧線形馬達部

30c‧‧‧移動部

40‧‧‧導引軌道

42‧‧‧永久磁鐵

44‧‧‧導引滑件

46‧‧‧連結板

48‧‧‧電磁鐵

50‧‧‧除振組件

52‧‧‧突出片

54‧‧‧補強肋

60‧‧‧纜線載體

60a‧‧‧一端

60b‧‧‧另一端

62‧‧‧支撐台

64‧‧‧連絡構件

Claims (7)

1. 一種載台裝置，是具備：基台、及朝一軸方向可移動設置於前述基台上的高架部、及支撐前述基台的除振組件，其特徵為：前述基台，是具有：將罐材連結構築成框狀的上部框架、及將罐材連結構築成框狀且與前述上部框架呈上下分離設置的下部框架、及連結前述上部框架及前述下部框架的連結材。
2. 如申請專利範圍第1項的載台裝置，其中，具備隔著前述除振組件支撐前述基台用的架台。
3. 如申請專利範圍第2項的載台裝置，其中，前述上部框架的外形是矩形狀，前述下部框架是沿著前述上部框架的外形但四角凹陷的矩形狀，前述架台是具有：沿著前述上部框架的外形的矩形狀的框體、及通過前述下部框架的四角的凹陷從下方支撐前述上部框架的四角的支柱，前述除振組件，是至少設在前述上部框架的四角及前述支柱的上端之間。
4. 如申請專利範圍第1至3項中任一項的載台裝置，其中，前述基台，是具有將該基台在水平方向分割成複數塊體用的分割部。
5. 如申請專利範圍第4項的載台裝置，其中，前述分割部，是在上下對應位置將構成前述上部框架及前述下部框架的罐材切斷。
6. 如申請專利範圍第5項的載台裝置，其中，在前述罐材的切斷面設有向外的凸緣。
7. 如申請專利範圍第1至3項中任一項的載台裝置，其中，在前述上部框架及前述下部框架的至少一方的框內，呈傾斜方向架設補強材。