JP5234277B2 - 走行ガイド付き載物台 - Google Patents
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- 230000008439 repair process Effects 0.000 claims description 36
- 238000002955 isolation Methods 0.000 claims description 22
- 238000007689 inspection Methods 0.000 claims description 13
- 239000004575 stone Substances 0.000 description 79
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 23
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 18
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 15
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 7
- 239000000463 material Substances 0.000 description 7
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 4
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 4
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 3
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 3
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 3
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 3
- 239000010959 steel Substances 0.000 description 3
- 230000008859 change Effects 0.000 description 2
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 2
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 2
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 2
- 239000010438 granite Substances 0.000 description 2
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000009471 action Effects 0.000 description 1
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 1
- 230000008676 import Effects 0.000 description 1
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000007704 transition Effects 0.000 description 1
- 238000003466 welding Methods 0.000 description 1
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- Machine Tool Units (AREA)
- Preparing Plates And Mask In Photomechanical Process (AREA)
Description
本発明が適用された液晶ガラス基板用レーザリペア装置(以下、単に「レーザリペア装置」と言う)1の前部ブロック10、後部ブロック20、及びそれら10、20の組立状態を、それぞれ左前方から見た斜視図が、図1、図2、及び図3に示されている。
本発明の要部である走行ガイド付き載物台11の全体は、図3に示されるように、前側に位置する前部ブロック10(図1参照)と後側に位置する後部ブロック20(図2参照)とに前後2分割されている。
(1)全体構成について
前部ブロック10には、図1に示されるように、所定の左右方向長及び前後方向長を有しかつ処理対象となるパネル(この例では、液晶ガラス基板)が載置されるべき矩形状の前部石定盤(前部石定盤部分)103と、前部石定盤103上の左右両側縁部に沿って前後方向へと延設される左右の前部ガイドベース104,105と、左右の前部ガイドベース104,105の上に延設される1又は2以上の本数(この例では、互いに平行な2本)のガイドレール(すなわち、左側の前部ガイドベース104の上に延設される互いに平行な2本のガイドレール106,107と、右側の前部ガイドベース105の上に延設される互いに平行な2本のガイドレール108,109)と、前部石定盤103を支えるための前部架台101とを包含するものである。
前部石定盤103は、この例では、前後方向長3100mm×左右方向長4300mmからなる表面が平滑な矩形状部材とされ、その厚みは350mm程度に設定されている。また、石材としては、公知の黒御影石等々が採用されている。なお、定盤の材質としては、必ずしも、石材に限られるものではなく、例えば、スチール製角パイプを組み合わせて溶接で接合したような金属製のものでもよい。
左右の前部ガイドベース104,105は、この例にあっては、所定の長さ(例えば、2400mm)、幅(例えば、305mm)、及び厚み(例えば、170mm)を有する細長状の部材であって、その材質としては、鉄等の剛性の高い金属、石材等が使用されている。なお、この例では、左右の前部ガイドベース104,105は、同一形状である。
左側の前部ガイドベース104上に延設される2本のガイドレール106,107は、互いに長さの異なるものであり、短い方のガイドレール106は、その先端を当該前部ガイドベース104の先端にほぼ一致させ、かつその後端については、当該前部ガイドベース104の後端104aよりも所定距離L3だけ後退した位置と一致するようにして、当該前部ガイドベース104の上に、図示しないボルト等の締結具にてしっかりと固定されている。換言すれば、ガイドレール106の後端と前部ガイドベース104の後端104aとの間には、所定距離L3が確保されている。
右側の前部ガイドベース105上に延設される2本のガイドレール108,109は、互いに長さの異なるものであり、短い方のガイドレール108は、その先端を当該前部ガイドベース105の先端にほぼ一致させ、かつその後端については、当該前部ガイドベース105の後端105aよりも所定距離L3だけ後退した位置と一致するようにして、当該前部ガイドベース105の上に、図示しないボルト等の締結具にてしっかりと固定されている。換言すれば、ガイドレール108の後端と前部ガイドベース105の後端105aとの間には、所定距離L3が確保されている。
前部架台101は、それぞれ座板101aを介して床面に着座する9本の脚柱101bと、それらの脚柱101bのうちの隣接するもの同士を繋ぐ脚柱間ビーム101cとを包含するものである。脚柱101b及び脚柱間ビーム101cの材質としては、例えばスチール製角パイプ等が使用される。
前部架台101と前部石定盤103との間には、9本の脚柱101bの配置に対応させて、除振マウント102が介在されている。除振マウント102は、当業者にはよく知られているように、圧縮された空気を導入することで、その上に載せられた石定盤を、予め設定された空気圧に応じた揚力で持ち上げる作用を有する。
(1)全体構成について
後部ブロック20には、図2に示されるように、それぞれ細長状を有する左右の後部石定盤203A,203Bと、左右の後部石定盤203A,203Bの上に延設される左右の後部ガイドベース204,205と、左右の後部ガイドベース204,205の上に延設される1又は2以上の本数(この例では互いに平行な2本)の後部ガイドレール(すなわち、左側の後部ガイドベース204上に延設される互いに平行な2本のガイドレール206,207と、右側の後部ガイドベース205上に延設される互いに平行な2本のガイドレール208,209)と、左右の後部石定盤203A,203Bを支えるための後部架台201とを包含している。
左右の後部石定盤203A,203Bは、この例にあっては、所定の長さ(例えば、1200mm)、幅(例えば、400mm)、及び前部石定盤103と同一の厚み(例えば、350mm)を有する上面が平坦な細長状の部材である。なお、この例では、左右の後部石定盤203A,203Bは同一形状であり、石材としては、公知の黒御影石等々が採用されている。なお、定盤の材質としては、必ずしも、石材に限られるものではなく、金属製のものでもよい。
左右の後部ガイドベース204,205は、この例にあっては、所定の長さ(例えば、1895mm)を有すると共に、左右の前部ガイドベース104,105に対応する幅(例えば、305mm)、及び厚み(例えば、170mm)を有する細長状の部材であって、その材質としては、鉄等の剛性の高い金属、石材等が使用されている。なお、この例では、左右の後部ガイドベース204,205は、同一形状である。
左側の後部ガイドベース204上に延設される2本のガイドレール206,207は、互いに長さの異なるものであり、長い方のガイドレール206は、その後端を当該後部ガイドベース204(図4参照)の後端にほぼ一致させ、かつその先端については、当該後部ガイドベース204の先端204aよりも所定距離L3だけ前進した位置と一致するようにして、当該後部ガイドベース204の上に、図示しないボルト等の締結具にてしっかりと固定されている。換言すれば、ガイドレール206の先端と後部ガイドベース204の先端204aとの間には、所定距離L3が確保されている。
右側の後部ガイドベース205上に延設される2本のガイドレール208,209は、互いに長さの異なるものであり、長い方のガイドレール208は、その後端を当該後部ガイドベース205(図4参照)の後端にほぼ一致させ、かつその先端については、当該後部ガイドベース205の先端205aよりも所定距離L3だけ前進した位置と一致するようにして、当該後部ガイドベース205の上に、図示しないボルト等の締結具にてしっかりと固定されている。換言すれば、ガイドレール208の先端と後部ガイドベース205の先端205aとの間には、所定距離L3が確保されている。
後部架台201は、それぞれ座板201aを介して床面に着座する4本の脚柱201bと、それらの脚柱201bのうちの隣接するもの同士を繋ぐ脚柱間ビーム201cとを包含するものである。脚柱201b及び脚柱間ビーム201cの材質としては、例えばスチール製角パイプ等が使用される。
後部架台201と後部石定盤203A,203Bとの間には、4本の脚柱201bの配置に対応させて、4個の除振マウント202a,202bが介在されている。除振マウント102は、当業者にはよく知られているように、圧縮された空気を導入することで、その上に載せられた石定盤を、予め設定された空気圧に応じた揚力で持ち上げるものである。それら4個の除振マウントのうちの前側に位置する左右2個の除振マウント202aの空気圧は、後側に位置する左右2個の除振マウント202bの空気圧よりも高目に設定されている。そのため、後述するように、ガントリ3が前部ブロック10から後部ブロック20へと移行して、後部ブロック20側に大なる荷重が加わったとしても、上述の除振マウント202a,202bの設定圧相違作用によって、前後の石定盤同士の繋ぎ目、前後のガイドベース同士の繋ぎ目、前後のガイドレール同士の繋ぎ目に生ずる歪みが軽減されることとなる。
図1及び図3に示されるように、ガントリ3は、左側ガイドベース104,204上を走行する可動台301と、右側ガイドベース105,205上を走行する可動台302と、それら2つの可動台301,302の間に架け渡されるガントリビーム304と、ガントリビーム304上を走行する可動台310とから概略構成される。可動台310には、この例では、レーザリペアユニットUが搭載される。
以上の構成よりなる走行ガイド付き載物台によれば、その全体が、前側に位置する前部ブロック10と後側に位置する後部ブロック20とに前後2分割可能とされると共に、前部ブロック10には、前部石定盤103と、左右の前部ガイドベース104,105と、左右の前部ガイドレール(106,107、及び108,109)と、前部架台101とが含まれており、かつ後部ブロック20には、後部石定盤(203A,203B)と、左右の後部ガイドベース204,205と、左右の後部ガイドレール(206,207、及び208,209)と、後部架台201とが含まれており、さらに、左右の前部ガイドベース104,105のそれぞれと左右の後部ガイドベース204,205のそれぞれとの分割点P2は、前部石定盤103と後部石定盤(203A,203B)との分割点P1よりも所定距離L1だけ前部ブロック10側へと進入した点に位置決められており、かつ左右の前部ガイドレール(106,107、及び108,109)のそれぞれと前記左右の後部ガイドレール(206,207、及び208,209)のそれぞれとの分割点P3は、左右の前部ガイドベース104,105のそれぞれと左右の後部ガイドベース204,205のそれぞれとの分割点P2よりも所定距離(L2,L3)だけ前部ブロック側10へと進入した点に位置決められることとなる。
本発明は、ユニットUを変更するだけで、液晶マスクレーザリペア装置、液晶ディスプレイ欠陥検査装置、液晶マスク欠陥検査装置、太陽電池パネルパターンニング装置等の他のパネル処理装置にも適用できることは勿論である。
3,5 ガントリ
10 前部ブロック
11,41 走行ガイド付き載物台
20 後部ブロック
101 前部架台
101a 座板
101b 脚柱
101c 脚柱間ビーム
102 除振マウント
103 前部石定盤
104 前部左側ガイドベース
105 前部右側ガイドベースス
106,107 前部左側ガイドベース上のガイドレール
108,109 前部右側ガイドベース上のガイドレール
110 前部左側ガイドベース上の固定子
111 前部右側ガイドベース上の固定子
201 後部架台
201a 座板
201b 脚柱
201c 脚柱間ビーム
202a 後部ブロックの前側除振マウント
202b 後部ブロックの後側除振マウント
203A 後部左側細長状石定盤
203B 後部右側細長状石定盤
204 後部左側ガイドベース
205 後部右側ガイドベース
206,207 後部左側ガイドベース上のガイドレール
208,209 後部右側ガイドベース上のガイドレール
210 後部左側ガイドベース上の固定子
211 後部右側ガイドベース上の固定子
212 作業用空所
213a,213b 後部左側細長状石定盤の左右のボルト孔群
214a,214b 後部右側細長状石状盤の左右のボルト孔群
301 前部左側ガイドベース上の可動台
302 前部右側ガイドベース上の可動台
303 リニアスケール
303a リニアリーダ
304 ガントリビーム
305,307,308 ガイドレール
306,309 ガントリビーム上の固定子
310 ガントリビーム上の可動台
401 架台
401a 座板
401b 脚柱
401c 脚柱間ビーム
402 除振マウント
403 石定盤
403a 矩形状石定盤部分
403b 細長状石状盤部分
404,405 ガイドベース
406,407 左側ガイドベース上のガイドレール
408,409 右側ガイドベース上のガイドレール
410,411 リニアモータの固定子
414 リニアスケール
414a リニアリーダ
501,502 可動台
504 ガントリビーム
505,507,508 ガイドレール
506,509 リニアモータの固定子
U レーザリペアユニット
a ボルト
P1 前部石定盤と後部石定盤との分割点
P2 前部ガイドベースと後部ガイドベースとの分割点
P3 前部ガイドレールと後部ガイドベースとの分割点
L1 ガイドベースの前進又は後退距離
L2,L3 ガイドレールの前進又は後退距離
F 床面
Claims (7)
- 定盤と、
前記定盤上の左右両側縁部に沿って前後方向へと延設される左右のガイドベースと、
前記左右のガイドベースの上に延設される1又は2以上の本数のガイドレールと、
前記定盤を支えるための架台とを包含する走行ガイド付載物台であって、
前記走行ガイド付載物台の全体は、
前側に位置する前部ブロックと後側に位置する後部ブロックとに前後2分割可能とされており、
前記前部ブロックには、前部定盤と、左右の前部ガイドベースと、左右の前部ガイドレールと、前部架台とが含まれており、かつ前記後部ブロックには、後部定盤と、左右の後部ガイドベースと、左右の後部ガイドレールと、後部架台とが含まれており、
前記左右の前部ガイドベースのそれぞれと前記左右の後部ガイドベースのそれぞれとの分割点は、前記前部定盤と前記後部定盤との分割点よりも所定距離だけ前記前部ブロック側へと進入した点に位置決められており、かつ
前記左右の前部ガイドレールのそれぞれと前記左右の後部ガイドレールのそれぞれとの分割点は、前記左右の前部ガイドベースのそれぞれと前記左右の後部ガイドベースのそれぞれとの分割点よりも所定距離だけ前記前部ブロック側へと進入した点に位置決められており、
前記後部架台と前記後部定盤との間には、前後方向へ距離を隔てて、前側除振マウントと後側除振マウントとが介在され、かつ前記前側除振マウントの作動気体圧は前記後側除振マウントの気体圧よりも高めに設定されている、ことを特徴とする走行ガイド付載物台。 - 前記左右の前部ガイドレール及び前記左右の後部ガイドレールは、互いに平行な複数本のガイドレールをそれぞれ包含し、かつ
前記複数本のガイドレールのそれぞれにおける前部ガイドレールと後部ガイドレールとの分割点の位置は、各ガイドレール毎に異なるように決められている、ことを特徴とする請求項1に記載の走行ガイド付載物台。 - 前記定盤は、所定の左右方向長及び前後方向長を有しかつ処理対象となるパネルが載置されるべき矩形状定盤部分と、この矩形状定盤部分の後端部の左右両側部のそれぞれから後方へと延設される左右の細長状定盤部分とを有し、かつ
前記前部定盤と前記後部定盤との分割点は、前記矩形状定盤部分と前記細長状定盤部分との境界点に位置決められている、ことを特徴とする請求項1又は2に記載の走行ガイド付載物台。 - 前記前部定盤と前記後部定盤との間には、両定盤同士が接近する方向へと締結力を作用させることが可能な締結具が設けられている、ことを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載の走行ガイド付載物台。
- 前記左右の前部ガイドベース及び前記左右の後部ガイドベース上には、リニアモータの固定子が配置されている、ことを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載の走行ガイド付載物台。
- 前記左右のガイドレールのそれぞれの上を移動する左右の前後方向可動台と、
前記左右の可動台の間に架け渡されるガントリビームと、
前記ガントリービームの上に延設された左右方向ガイドレールと、
前記左右方向ガイドレールの上を移動する左右方向可動台とを包含する、ことを特徴とする請求項1〜5のいずれかに記載の走行ガイド付載物台。 - 前記左右方向可動台上には、パネルリペア用ユニット、及び/又は、パネル検査用ユニットが搭載可能とされている、ことを特徴とする請求項1〜6のいずれかに記載の走行ガイド付載物台。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008308911A JP5234277B2 (ja) | 2008-12-03 | 2008-12-03 | 走行ガイド付き載物台 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008308911A JP5234277B2 (ja) | 2008-12-03 | 2008-12-03 | 走行ガイド付き載物台 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010131696A JP2010131696A (ja) | 2010-06-17 |
JP5234277B2 true JP5234277B2 (ja) | 2013-07-10 |
Family
ID=42343551
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008308911A Active JP5234277B2 (ja) | 2008-12-03 | 2008-12-03 | 走行ガイド付き載物台 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5234277B2 (ja) |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101395033B1 (ko) | 2012-02-28 | 2014-05-16 | 주식회사 로보스타 | 조립식 구조의 석정반 및 이를 이용한 xy 스테이지 |
CN104416406B (zh) * | 2013-09-11 | 2017-03-01 | 富鼎电子科技(嘉善)有限公司 | 进给装置及采用该进给装置的双轴加工机 |
ITUB20160624A1 (it) * | 2016-02-10 | 2017-08-10 | Univ Degli Studi Genova | Centro di lavoro riconfigurabile |
CN109513633A (zh) * | 2018-12-29 | 2019-03-26 | 洛阳金石机器人科技有限公司 | 一种用于分拣工件合格品的装置 |
NL2024171B1 (en) * | 2019-11-06 | 2021-07-20 | Mecal Intellectual Property And Standards B V | Modular machine support frame |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3265670B2 (ja) * | 1993-01-21 | 2002-03-11 | 株式会社ニコン | ステージ装置、ステージ駆動方法、及び露光装置 |
JP4315295B2 (ja) * | 2006-09-12 | 2009-08-19 | 芝浦メカトロニクス株式会社 | ペースト塗布装置 |
JP4150411B2 (ja) * | 2007-03-27 | 2008-09-17 | 住友重機械工業株式会社 | ステージ装置 |
-
2008
- 2008-12-03 JP JP2008308911A patent/JP5234277B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2010131696A (ja) | 2010-06-17 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20110216 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20121121 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20121122 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20130117 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20130227 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20130312 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5234277 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
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