1311500 九、發明說明： 【發明所屬之技彳椅領域】 技術領域 本發明係有關於一種在基板塗布溶液之溶液塗布裝 5置、計測供給至基板之溶液量的計測方法及溶液之供給方 法。
L· H 背景技術 舉例而言，在液晶顯示裝置的製造過程中，有一在破 10璃製基板上形成電路圖案的薄膜形成過程。在該薄膜形成 過程中，在基板板面上形成如定向膜或抗蝕膜等功能性薄 膜。 於基板上形成功能性薄膜時，所使用的是將形成該功 能性薄膜之溶液由喷嘴喷出並塗布在基板板面之噴墨方式 15 的塗布裝置。 該塗布裝置具有用以搬運基板之載置台，且在該载置 台上方，沿著與基板搬運方向大略垂直相交的方向配置有 複數塗布頭，而該等塗布頭内形成有前述喷嘴。如此—來， 由複數塗布頭之喷嘴所喷出之溶液可朝搬運方向及與該方 20向交又之方向，以預定間隔塗布於被搬運之基板的上面。 在各塗布頭内，相對於各噴嘴隔著可撓板設有壓電元 件。若對壓電元件施加電壓，則可使前述可撓板變形，以 從前述喷嘴供給溶液。 不過’即使對各塗布頭之壓電元件施加相同電壓，各 1311500 製作精度、或 量不同。結果， 個塗布頭仍會因為溶液供給源之管線阻力、 組合精度等造纽質相異，導致供給之溶液 形成於基板之機能性薄膜厚度會不均—。
一所以，以往作業者係將施加於各頭部之電壓設定為預 5定值，再於對每個頭部施加電壓時用杯狀體承接前述嘴嘴 所供給之溶液，並用設置於與塗布裝置不同位置之電子秤 測定前述供給量，然後根據該測定調整施加至各塗布頭的 電壓。前述調整需在塗布褒置開始運轉前或定期地進行。 t 明内穷】 10 發明揭示 本發明欲解決之問題 但是，近年來液晶顯示裝置有大型化的趨勢，且基板 亦隨之大型化。基板漸趨大型化後，裳設於塗布裝置之塗 布頭的數量亦有增多至如20〜50個或更多的情形。 15 &於塗布頭的數量增加後，作業者必須對應塗布頭的 數量反覆進行用杯狀體承接每個塗布頭供給之溶液並用秤 測量的作業，所以會有作業者負擔變大，且生產性顯著降 低的問題。 ^在使用形成定向膜等機能性薄膜之溶液，例如聚醯亞 2〇胺心液時，該溶液中含有機溶劑。含有溶劑之溶液在從塗 布頭之噴嘴喷出後即開始吸水，且重量會隨時間變化。 又，在作業者用杯狀體承接塗布頭所供給之溶液並用 裝設於與塗布裝置不同位置之秤測定重量時，因為從承接 /容液到測疋重量前很耗費時間，所以在此種狀況下無法高 1311500 精度地測定塗布頭所供給之溶液的重量。 此外，若秤設置於與前述塗布襞置不同之場所，則會 產生測定溶液重量之場所與設置前述塗布頭之場所的溫度 或溼度等環境不同的情形。此時，即使根據測量結果設定 5施加於前述塗布頭之電壓，但因為未考慮到環境差異，所 以亦會有無法高精度地測量塗布頭所供給之溶液量的情 形。 π η促仏此判杈昇嘴嘴所供給之溶液供給量的測量 10 15 精度與該測量作業效率之溶液之塗布裝置、溶液供給量之 測量方法及溶液之供給方法。 解決問題之方法 本發明係有關於-種溶液之塗布裝置，係用以對基板 供給並塗布溶液者，包含有： 複數喷嘴，係沿著預定方&斯$ … 者預疋方向配置且可前述基板供給 並塗布前述溶液者； 載置台’係可於上面載置前述基板者； 第1驅動機構，係使前述載 ^ ^ 罝口與刖迷塗布頭朝與前述 預疋方向父叉之方向相對移動者； 秤，係用以測量前述喷嘴 望规祕姓 贺嘴所供給之溶液的重量者；及 弟2驅動機構，係用以使 預定方秆朝刖述預定方向及與該 預疋方向乂又之方向獨立地 ^ ^ 對於則述載置台移動者。 ，本發明係、—種m , 置艾计測方法，係利用秤 视。者預疋方向配置之複數噴 者，包含有以下步驟： 至基板之溶液的量 20 動；及_4秤相對於前述嘴嘴朝前述預定方向相對地移 承接朝前述預定方向之移動，利用前述种依序 J迷後數噴嘴所供給之溶液。 並從該等=翻t種錢供給方法，係設置複數噴嘴， 你、、贺出溶液者’包含有以下步驟： 僅2數噴嘴同時噴出液滴狀之溶液； 個噴嘴it前述喷嘴同時喷出之複數液滴狀溶液中，由i 出之溶液細前糾量；及 料_喷嘴所噴 設定嘴所㈣之液滴狀溶液的重量後進行 各則述溶液之重量相同。 發明效果 定二將軒設置為可朝前述預定方向及與該預 w 向獨立地相對於前述載置台移動，且藉由 S量。’前述秤依序承接各喷嘴所供給之溶液後進行 卢，、:二’可在喷嘴相對於基板供給並塗布溶液的位置 =用斤·^対所供給之紐的重量，所Ή在符合溶液 使用㈣之環境m溶液重量。 而且’由於秤可相對於载置***立地移動，所以即使在 基板供給並塗布溶液時，亦可事先將秤從 口汗、>就位。如此一來，即使在對基板塗布溶液時， 亦可同’在退開後之位置處保養秤。因此，可提升測量精 1311500 度與作業效率。 L實方包方式】 本發明之較佳實施型態 以下 邊參照圖式一邊說明本發明之實施型態。 5 第1圖至第7圖係顯示本發明第1實施型態，且第1圖與 第2圖中使用於本發明之塗布裝置具有約呈長方體狀之底 座卜在該底座1下面之預定位置分別設有座腳2，並水平地 支撐住前述底座1。 如第2圖所示，分別在前述底座1上面之寬方向兩端 10部，沿著長方向設有安震板3，並分別在該等安裝板3上面 之寬方向-端部沿著長方向設有引導構件心又，長方形板 狀之Χσ 5由平行設置在其底面之寬方向兩似截面大致呈 倒U字瓜之-對支撐構件6可滑動地卡合支撐在該等引導構 件4的上面。另外’在X台5上面設有小於該X台5之載置台 15 7。即’载置台7可藉由前述X台5沿著前述引導構件4朝X方 向移動。 如第2圖所示，在前述引導構件4設有定子4a，而在前 述第1承又構件6内設有動子6a。即，利用前述定子4a與動 子如可形成作為第1驅動機構之第1線性馬達8。 20 W如用於主動矩陣方式之液晶顯示裝置的玻璃製基板 W可供。至該載置台7上’並且該基板W可利用真空吸附或 f電吸附等方法吸附並保持於前述載置台7。因此，可藉由 則述口5朝X方向驅動保持於載置台7之基板W。 在珀述底座1之長方向中間部直立設有橫跨前述一對 1311500 引導構件4的門型支撐體n，且在該支撐體u兩側上部水平 地架設有由四方柱所構成之安裝構件12。 在前述安裝構件12上設有可沿著與前述乂台5之驅動方 向即與X方向直父之γ方向（第2圖之箭頭所示)移動之頭載 5台19。在前述支撐體11之寬方向一側設有由脈衝馬達構成 之Y驅動源21，且該γ驅動源21可沿著γ方向驅動前述頭载 σ 19另外，亦可用線性馬達取代脈衝馬達將頭載台19朝γ 方向驅動。 在則述頭載台19的一側面上，沿著γ方向配置有複數塗 1〇布頭22，且該等塗布頭22藉由喷墨方式點狀地喷出可形成 如定向膜等機能性薄膜之溶液(聚醯亞胺溶液）。在本實施型 態中，配置有兩列例如7個呈鋸齒狀之塗布頭22。 如第3圖與第4圖所示，前述各塗布頭22包含有頭本體 28頭本體28形成為筒狀，並利用可撓板29封閉該本體下 面開口。該可撓板29被贺嘴板31覆蓋，並於該喷嘴板Μ與 前述可撓板29之間形成有複數液室32。 各液室32分別透過圖未示之支管連通至喷嘴板31内所 形成的主管31Α，且溶液由前述主管31Α經由前述支管供給 至各液室32。又，主管31Α—端與後述之給液孔33連接，另 20 —端則與後述之回收孔37連接。 在蝻述頭本體28之長方向一端部形成有連通至前述液 至32之前述給液孔33，並從該給液孔33對前述液室32供給 幵/成功旎性薄膜之前述溶液。如此一來，可用溶液裝滿前 述液室32。 1311500 。如第4圖所不，在前述噴嘴板Μ沿著與基板W之搬運方 之方向’即¥方向錄齒狀地設有穿出之複數噴嘴34。 如第3圖所tf ’在錢可撓板29表面設有分別與前述各喷嘴 34對向之複數壓電元件35。 5 利用設置於珂述頭本體28内之驅動部36供給各壓電元 • 彳35鶴電壓。如此—來，由於壓電元件35伸縮且使可撓 板29局部地變形，所以溶液可由與該壓電元件％對向位置 φ 之噴嘴34點狀地噴出，並塗布至所搬運的基板W上面。因 此’在基板W的表面上可形成由點狀溶液呈矩陣狀排列而 1〇成之塗布圖案。接著’藉著點狀之各溶液流動並關擴大， 該塗布圖案互相附著而成為一體的膜。 ’、 另外，若改變施加至壓電元件35的電壓控制壓電元件 35之動作量，則可改變由與各壓電元件35對向之㈣34所 喷出之溶液的液滴大小。即，可控制塗布頭22之溶液供給 15 量。 籲纟歧頭本㈣之長方向另—端形成有連通至前述液 室32之前述回收孔37，且從前述給液孔33供給至前述液室 32之溶液可由前述回收孔37進行回收。也就是說，各頭22 不僅僅由喷嘴34喷出供給至前述液室32之溶液，亦可經由 20 前述液室32由回收孔37進行回收。 如第5圖齡，設置於各塗布頭22内之驅動部％的驅動 可透過控制裝置40來控制。即，例如，在將塗布頭22安裝 於頭載台19的狀態下，前述控制裝置4〇可辨識形成於複數 塗布頭22之各喷嘴34的X、Y座標。如此一來，可控制相對 1311500 基板W之溶液沿著前述γ方向之噴出位置。 前述控制裝置40不僅僅控制各塗布頭22之驅動部36， 亦控制將X台5朝X方向驅動之第巉性馬達8、及將設有塗 布頭22之頭載台19朝Υ方向驅動之γ驅動源洲驅動。 5 如第旧所示’在前述引導構件4-端設有電子方式的 秤4卜即’在引導構件4之-端，第丨可動構件42由設置在 其下面寬方向兩端部之-對第2承受構件43(圖中僅顯示i 個）为別可滑動地卡合支樓於前述各引導構件4。 月述電子方式的秤4卜可使用電磁方式的秤，係用電 1〇磁力平衡被計量物之重量，並由此時的電流大小檢測出被 计里物之重量者；或使用測力方式的秤，係用輸出與重量 相應之訊號的負重轉換器（測力器）檢測出被計量物之重量 者。 如第7圖所示，在前述第2承受構件43中設有動子43a， 15且前述動子43以系與設置於前述引導構件4之定子4a共同構 成第2線性馬達44者。由前述控制裝置4〇控制前述第2線性 馬達44之驅動動作，如此一來，前述第1可動構件42可朝X 方向沿著前述引導構件4驅動。 在前述第1可動構件42上面設有可沿著垂直相交於前 20述X方向之Y方向移動之第2可動構件45。又，在前述第河 動構件42之長方向一端設有由脈衝馬達所構成之γ驅動源 46。藉由動作該γ驅動源46，可使前述第2可動構件衫沿著 Υ方向驅動。 在前述第2可動構件45上面設有前述秤41。如此一來， 12 1311500 种41可朝X方向與Y方向驅動。即，可用前述第2線性馬連 ’前述γ驅動源46構成將前述秤4_、γ方向驅動之第2 驅動機構。 在前述秤41之受壓部47載置有上面呈開口狀且可安裝
5 拆卸之杯狀體48，且該权戕舻L 茨杯狀體48之上面開口係形成為大於 . 至少1個塗布頭22平面面積的大小。 、 ，另外，在此實施型態中，杯狀體48之上面開口大小係 • 形成為在Χ方向具有大於2個塗布頭22之寬尺寸的長度尺 寸且在Υ方向具有大於i個塗布頭Μ之長方向尺寸的長度 尺寸另外，杯狀體48具有可在設定下述塗布頭22之溶液 供給量時’貯存分別從7個塗布頭22供給之溶液的足夠容 積。 如下述般，前述杯狀體48會承接由塗布頭22供給之溶 液在杯狀體48承接溶液後，秤41會透過受壓部47計測溶 15液重量，並將該計測訊號輪出至前述控制裝置40。 φ 比較在杯狀體48承接溶液前與承接溶液後秤41輸出之 訊號後’控制裝置4〇會從兩者的差求出供給至杯狀體48之 /谷液的重ϊ °然後，比較所求出之溶液重量與事先設定好 之設定值’且根據該比較設定施加至塗布頭22之驅動部36 2〇的電壓。如此—來，可將由塗布頭22供給之溶液的重量控 制為預定值。 前述秤41側邊設有安裝於前述第2可動構件45之L型支 撐構件49 ’且該支撐構件49上端設有無桿缸51。另外，L 型連結構件53之其中一邊安裝於該無桿缸51之滑件52，且 13 1311500 該連結構件53之另外一邊安裝有擋門54。前述連結構件53 可藉由前述無桿缸51而使前述擋門54在第6圖中實線表示 位置與虛線表示位置間驅動，並藉此開關前述杯狀體48之 上面開口。另外’擋門54係裝設為離杯狀體48之上面開口 5 有些微空隙。 透過朝X方向驅動前述第1可動構件42 ,可使前述秤41 . 位於設置於前述支撐體11之塗布頭22的下方。又，透過朝γ • 方向驅動前述第2可動構件45，可使已位於塗布頭22下方之 秤41定位至相對複數塗布頭22之其中1個塗布頭22的下方。 10 另外，藉由同時對動子6a、43a通電，可將前述X台5 與前述秤41朝X方向驅動。不過，將χ台5朝又方向驅動之第 1承受構件6與將秤41朝X方向驅動之第2承受構件43係設置 於前述引導構件4上之相異位置。因此，可透過個別控制對 第1、第2承受構件6、43之動子6a、43a的通電分別控制驅 15動前述X台5與前述秤41。 • 前述控制裝置4〇内連接有操作面板56(參照第5圖），且 在該操作面板56内設有操作鍵，且前述操作鍵係用以設定 塗布溶液於前述基板W的塗布模式、及利用前述秤41調整 各塗布頭36所供給之溶液喷出量的調整模式等。 2〇 ++ 藉由事先教示(teaching)前述控制裝置4〇七個塗布頭36 、位置，可透過前述操作面板56之鍵操作定位前述秤Μ以 依序相對於各塗布頭22的下方。 根據輸出至控制裝置4〇之位置檢測器57所檢測出之檢 娜訊號來決定前述秤41之1、γ方向的教示位置。圖中雖然 14 1311500 未詳細晝出位置檢測器57，但舉例而言，藉由將附加設置 於第2線性馬達44之位置檢測器S7(參照第$圖）、及附加設置 於Y驅動源46之位置檢測器57(參照第5圖）所分別產生之訊 號輸入控制裝置40，可分別檢測出χ方向、γ方向。 5 例如，作業者透過操作面板56之鍵操作動作第2線性馬 達44與Υ驅動源46’使秤41之杯狀體48位於第2圖中右端第j 個塗布頭22的下方。根據位置檢測器57所輸出之訊號，控 制裝置40可檢測出此時秤41的位置。然後，將該位置記憶 為相對於第1個塗布頭22之秤41的定位位置。 10 控制裝置40可根據相對於第1個塗布頭22之秤41的定 位位置與已知之各塗布頭22的配置間隔算出相對於第2到 第7個塗布頭22之秤41的定位位置。 又，如前所述，由於杯狀體48之上面開口大小係形成 為在X方向具有大於2個塗布頭22之長度尺寸，所以在教示 15相對於第2到第7個塗布頭22之秤41的定位位置時，只要將 杯狀體48之中心置於配置為兩列呈鋸齒狀之塗布頭22中間 即可。如此一來，僅動作γ驅動源46，即可將杯狀體牝依序 定位至七個塗布頭22各自的下方。 另外，雖然已說明由作業者教示相對於第丨個塗布頭2 2 20之秤41的定位位置，控制襄置40再算出相對於第2到第7個 塗布頭22之枰41的定位位置，但亦可由作業者教示相對於 所有塗布頭22之秤41的定位位置。又，亦可由控制裝置4〇 根據塗布頭22之配置位置資訊算出相對於所有塗布頭22之 秤41的定位位置。 15 !3115〇〇 在則述構造之塗布裝置中，在開始對基板评塗布溶液 前，或已使塗布裝置運轉預定時間後，測量各塗布頭22所 供給之溶液供給量，並進行設定以固定該供給量。 在設定從塗布頭22喷出之溶液的供給量時，透過前述 5操作©板56之鍵操作襲調整模式。選擇前述調整模式 後，如第1圖所示，載置台7會朝X方向驅動至第】圖中底幻 之左侧端，即，從裝設於支撐體u之塗布頭22下方退開。 接著，秤41會根據教示位置而位於支撐體丨丨之塗布頭^的 下方。首先，秤41會定位至複數塗布頭22中第丨個塗布頭22 10的下方。 在秤41於X方向上定位後，驅動擋門54以敞開杯狀體48 的上面，再由第1個塗布頭22之所有喷嘴34依據控制裝置4〇 所設定的設定條件，即，電壓、電壓施加時間及噴出次數 供給溶液至杯狀體48。供給完溶液後，再利用擋門54關閉 15杯狀體48之上面。如此一來，因為可防止供給至杯狀體48 之溶液的溶劑發生吸水後重量改變的情形，所以可以用秤 41正破地測量溶液重量。 另外’由於利用擋門54關閉杯狀體48之上面，所以即 使處於從塗布裝置上方供給如清潔氣體之向下流動環境氣 20體下’亦可防止積存於杯狀體48内之溶液的液面產生波紋。 如此一來，因為可防止液面波紋導致秤41之計測訊號 變動，所以即使使用高精度之秤41，亦可正確地測量溶液 重量。因此，適合用於機能性薄膜之塗布裝置，且前述塗 布裝置中，從噴嘴34喷出之溶液液滴尺寸極小。 16 1311500 接下來，在供給溶液至杯狀體48後，秤41會將該溶液 重量之計測訊號輸入控制裝置4〇。說得更明白一點，在此 實施型態内控制裝置40會比較擋門54打開前秤41的計測訊 號與已供給溶液至杯狀體4 8且擋門5 4關閉後秤4丨的計測訊 5號，並從前兩者之差求出供給至杯狀體48之溶液的重量。 然後，比較所求出溶液之重量與事先設定之設定值，判斷 所測量之溶液重量是否位於設定值的容許範圍内，也就是 說，以是否得到目標供給量來判定好壞。若測量值在容許 值内，則判斷第1個塗布頭22之供給量為良。 10 若測量值不在容許值内，則判定為不良，並求出測量 值與設定值的差。然後，調整喷出條件以去除前述測量值 與設定值的差。前述調整係透過增加減少施加至設置為與 各噴嘴34對兩之壓電元件35的電壓來進行。舉例而言，在 測量值與設定值之差為D，喷出次數為N，而塗布頭22之喷 15嘴數為n時，可利用』W=D/(N· η)的算式求出每次喷出次 數之溶液、及每個噴嘴34之溶液的過與不足」w。然後， 設定施加於壓電元件35之電壓以使」w為〇或在容許範圍 内。 在此狀況下，因為可事先求出電壓與從噴嘴34噴出之 20溶液供給量的關係，所以可設定施加至壓電元件35之電壓。 如前所述結束第1個塗布頭22之調整後，再次測量該塗 布頭22之溶液供給量，確認是否得到目標之供給量。然後， 若可得到目標之供給量則判斷為良，又若未得到目標之供 給量則重覆進行前述調整。 17 1311500 又，設定調整重複次數的上限，若達到調整次數上限 仍無法得到目標之供給量，則透過將塗布職號馬等可指 出該塗布頭22之資訊顯示於操作面板_，通知作業者^ 法調整。在不能調_ ’注意是否為例如塗布頭22之; 5 34堵塞等。如此—來，因為在*能觀時作業者會確 認前述塗麵22是㈣異常，_可_該確認進行清掃 喷嘴34或更換塗布頭22等。
如則所述，在結束第！個塗布頭22之調整作業後，同樣 地從右邊開始依序對第2〜第7個塗布抑調整溶液供給 10里。然後，在結束所有塗布頭a的調整後，將前述結果顯 不於操作面板56，並且將㈣朝第i圖中乂方向右端之待機 位置移動。 另外，因為控制裝置40係由供給溶液至杯狀體48前盘 供=後之計測訊號的差求出此次供給至杯狀體48之溶液的 15重量，所以不需在每次計測時去除已供給至杯狀體48之溶 • ’夜可效率良好地設定塗布頭22之溶液供給量。 、 事先將此時到杯狀體48裝滿前連續進行之溶 液供二里相次數的上限值設定於控制裝置4 G之記憶部 (圖未示）内，i 贫 〜 Θ 丹於每次結束相對於1個塗布頭22之溶液供給 的又&時利用控制裝置計算計測次數，並在計算值到達 上限值時，骑田，、，& 将用以如醒清除杯狀體48内溶液的警報顯示於 才呆作面板56。 、 4又w亦可事先測定在不溢出的狀態下可貯存於杯狀體 之冷液重量的上限值並設定於控制裝置4〇之記憶部 18 1311500 (圖未示）’再利用控制裝置40比較杯狀體48内溶液之實際重 量與重量上限值，並在實際重量達到重量上限值時中斷溶 液供給量的設定，同時將用以提醒清除杯狀體48内溶液的 警報顯示於操作面板56。 5 另外’在此種狀況時’控制裝置40亦可在已選擇前述 調整模式的條件下，比較杯狀體48内溶液之實際重量與重 量上限值。此時控制裝置40會在相對於七個塗布頭22設定 溶液供給量時’判斷實際重量與重量上限值間是否有差， 且前述差為容許供給至杯狀體48内估計之溶液總量（以下 10稱為「設定所需之溶液量」）。 然後’在判斷有前述差時設定溶液供給量，又，在判 斷沒有前述差距時則不設定溶液供給量，而於操作面板％ 顯示用以提醒清除杯狀體48内溶液的警報。 另外，在未進行前述判斷，且杯狀體48内溶液的實際 15重量與重量上限值的差小於設定所需之溶液量的2倍時，控 制裝置40會在結束此次溶液供給量之設定時，在操作面板 56顯示用以提醒清除杯狀體48内溶液的警報。 藉由前述動作，在設定溶液供給量後根據塗布模式的 選擇而進行塗布對基板W之溶液時，因為可除去位於軸 2〇位置之秤41之杯狀體48内的溶液，所以在調整模式時不。 中斷設定溶液供給量以清除杯狀體48内的溶液，可有饮率 地設定溶液供給量。 > 又，控制裝置40可從杯狀體48内淨空時秤41之計測π 號與秤41此刻之計測訊號的差求出杯狀體48内溶液之實際 19 1311500 重量。 如前所述，根據前述構造之塗布裝置，因為可依序自 動測量複數塗布頭22所供給之溶液的重量並進行修正所 以即使基板W大型化且塗布頭22數量增加時，亦可效率良 5 好地設定各塗布頭22之溶液供給量。 而且，由於秤41可朝X、Y方向驅動並定位於塗布頭22 下方，所以可立即計測從塗布頭22供給至載置於秤41之杯 狀體48的溶液重量，又，可利用擋門54關閉已供給溶液之 杯狀體48。因此，可在溶液所含之溶劑吸水而改變重量之 10油測罝塗布頭22所供給之溶液的重量，所以可提升測量精 度。 此外，因為秤41可朝X、γ方向驅動，所以可在與設有 塗布頭22處大致相同之位置測量各塗布頭22所供給之溶液 的重量。即，可在與實際使用溶液之環境相同的環境下測 15量溶液重量與修正供給量，所以亦可藉此精確地設定各塗 布頭22之溶液供給量。 又，因為控制裝置40可將秤41正確地定位於對應各塗 布頭22之位置，以使秤41依序定位於教示好孓位置，所以 杯狀體48可確實地承接塗布頭22所供給之溶液，並可正確 20 地測量所供給之溶液的重量。 另外’由於使秤41移動後定位於對應於各塗布頭22之 位置’所以可用一個秤41設定複數塗布頭22之溶液供給 量，故可簡化裝置構造。 利用第2線性馬達44將秤41朝又方向獨立於利用第1線 20 1311500 性馬達8移動之载置台7移動，且在對基板w塗布溶液時， 如第1圖所示’使秤41在X方向右端之待機位置待機。 因此，即使在對基板W塗布溶液時，亦可同時進行去 除貯存於秤41之杯狀體48内的溶液等對秤W的保養檢查。 5如此-來，可防止對基板㈣布溶液之作業中斷以去除杯 狀體48内溶液的情形，而可效率良好地進行對基板〜塗布 溶液的作業。 雖然前述第1實施型態中，塗布裝置係藉由使基板帅 對於塗布頭22通過-次進行塗布，但亦可使基板w通過複 10數次進行塗布。 另外，使基板W通過複數次時，於每次通過時藉由γ 驅動源移動頭載台19以將塗布頭22朝例如γ軸方向（喷嘴34 之配置方向）每次移動喷嘴34配置間隔的二分之一等，進行 螺距運送時，在每個經螺距運送之位置分別設定各塗布頭2 15 之溶液供給量即可。 如此一來，因為可在與實際使用溶液之環境(溫度、溼 度、或塗布頭22之溶液供給管的彎曲狀態等)相符的環境下 設定溶液供給量，所以在實際塗布溶液時，可更正確地重 現已堍定好之溶液供給量。因此，可提升對於基板w之溶 20液塗布精度，並更加提昇所形成之機能性薄膜厚度的均一 化0 在前述第1實施型態中，雖然以使基板相對於已定位於 預疋位置之塗布頭朝X方向驅動的情形為例進行說明，但亦 可將塗布頭朝X方向驅動以對基板塗布溶液。 21 i3ll5〇〇 由舍Γ堇只對每個塗布頭，更可對塗布頭之每個嘴嘴測量 於2碩噴出之溶液的重量。如此一來，本發明並不僅限 右/、複數塗布頭之塗布裝置，亦可用於構造為在單一塗 5 射財複財嘴之塗布裝置。又，在此種情況下，亦 :將複數個噴嘴構成Η_ ’並對每—組測量溶液之供給 置0 _另外，可利用控制裝置根據所辨識之噴嘴的χ、γ座 標，求出此時秤之相對於喷嘴之定位位置。又，作業者亦 可透過操作面板移動秤，教示相對於各噴嘴或各喷嘴組之 10定位位置。 在塗布頭之溶液供給量異於設定值時，雖然反覆進行 供給量的調整，但亦可發出警報。作業者會依此檢查異常 之塗布頭，即，確認是否從異常之塗布頭的所有喷嘴喷出 溶液。然後，在去除異常後，亦可再次測量該塗布頭之溶 15 液供給量。 又，雖然已說明具1個秤·41的例，但亦可設置複數個秤 41。因為可藉由設置複數個秤41減少1個秤41所對應之塗布 頭22的數量，所以可縮短設定塗布頭22之溶液供給量的時 間，而可更有效率地進行作業。 20 另外，雖然以喷墨方式之塗布頭作為塗布頭22進行說 明，但亦可使用其他方式之塗布頭，例如活塞方式或氣體 加壓方式的塗布頭。 而且，雖然可移動載置台7以搬運基板，但亦可使載置 台7具有例如較料搬運機構等搬運機構，而在載置台7上搬 22 1311500 運基板。 再者，在測量塗布頭22所供給之溶液的重量時，雖然 使枰41朝X、γ方向移動但亦可使㈣僅朝X方向，而塗 布頭22朝Y方向分別獨立移動。 5 接下來，一邊參照第8圖至第11圖一邊說明本發明之第 2實施型態。 第8圖之溶液塗布裝置具有底座1〇ι，且在該底座1〇1 上沿著預定方向以預定間隔平行地設有一對分開之導執 102。在該導軌1〇2上設有可移動之載置台1〇3，且該載置台 10 1〇3係由例如線性馬達等圖未示之驅動源所驅動 ，而該驅動 方向為第8圖中箭頭所表示的χ方向。另外，用於例如液晶 顯示裝置之玻璃製基板W可供給至該載置台103上，並透過 靜電卡盤或真空吸附等方式吸附固持並支撐。 在前述底座101之X方向中間處，於垂直相交於X方向 15 之Y方向兩端直立設有支柱104,又，於一對支柱104之一側 面與另一側面沿著Y方向架起設有2片安裴板1〇5,且安裝板 105係相對於X方向以預定間隔相對。在各安裝板1〇5内面分 別固持有複數，本實施型態係4個之塗布頭22。即，在2片 安裝板105内面呈鋸齒狀地設有共8個塗布頭22。 2〇 因為各塗布頭22與第1實施型態中第3圖、第4圖顯示之 構造相同，所以賦予相同部分同樣之記號，並省略其說明。 在前述導執102中設有計測用台125，且計測用台125 與前述載置台103同樣可利用圖未示之線性馬達等驅動源 朝X方向驅動，且可相對於前述載置台103個別驅動。又， 23 1311500 在該計測用台125上，設有可沿著計測用台125之長方向， 即，Y方向移動之第1可動體126與第2可動體127，且第1、 第2可動體126、127可分別利用例如線性馬達等圖未示之驅 動源朝Y方向個別驅動。 5 第1、第2可動體126、127中，於上下方向以預定間隔 设有上載置部126a、127a與下載置部126b、127b。另外， 上載置部126a、127a設有長方形之遮蔽構件128，且下載置 部126b、127b設有電子方式的秤（以下稱為「電子天 平」）129。 10 如第10A圖、第10B圖所示，前述遮蔽構件128形成有 朝上面開口之長方形凹狀的液體貯存部131。另外，在該液 體貯存部131沿著X方向之一端的γ方向中間處設有圓錐狀 之凸部133，且該前述凸部133形成有朝厚方向貫通之通過 孔132。该通過孔132之大小係形成為容許由塗布頭22之1個 15 喷嘴所喷出之液滴狀的溶液通過。 舉例而言，在塗布頭22隔1mm間隔形成直徑〇1〇1111之 喷嘴34後，將前述通過孔132之直徑形成為例如 0.2〜0.4mm。如此一來，即使同時從第3圖與第4圖之塗布頭 22的複數喷嘴34喷出溶液，亦僅可使相對於通過孔132之噴 20嘴34喷出之溶液通過通過孔132,而其他噴嘴34所喷出之溶 液則會貯存於前述液體貯存部131。由於通過孔132成形於 凸部133 ’所以可防止貯存於液體貯存部ι31之溶液流入通 過孔132。 將前述液體貯存部131之沿著Y方向的尺寸大小設定為 24 1311500 沿著前述塗布頭22之喷嘴34列之γ方向長度尺寸的2倍或更 大。如此一來’即使在通過孔132與位於塗布頭22γ方向末 &之喷嘴34相對的狀態下，從該塗布頭22之所有喷嘴34喷 出溶液L ’從與通過孔132相對之噴嘴34以外的喷嘴34所喷 5出之溶液亦可嘴出至前述液體貯存部131。 通過前述通過孔132之溶液會滴落至前述電子天平129 之承接部129a(第9圖所示）。因此，即使從複數喷嘴34同時 噴出溶液’仍可利用前述電子天平29計測僅由1個喷嘴34喷 出之溶液的重量。此處，與第1實施型態之杯狀體48相同， 10 承接部129a使用盤狀之承接孤。 在前述遮蔽構件128上面，沿著γ方向之一邊設有一對 第1感測器134，且沿著X方向之一邊設有第2感測器135作為 定位感測器。又’第1、第2感測器134、135為例如具有照 明部與受光部之反射型光感測器，並用以在前述遮蔽構件 15 128朝塗布頭22下方驅動時，檢測出沿著該塗布頭22之γ方 向之一側與沿著X方向之一側。如此一來，第1、第2可動體 126、127可相對於塗布頭22朝X、Y方向定位。 在與前述液體貯存部131之前述通過孔132距離預定尺 寸處形成有排液孔136，而且，如第10圖所示，該排液孔126 20連接有排液管137。如此一來，從未與前述通過孔132相對 之喷嘴34喷出至前述液體貯存部131之溶液l可經由前述排 液管137排出。 此外’在前述液體貯存部131之γ方向一端，以由前述 液體貯存部131上面開口朝上方突出的高度沿著X方向設有 25 1311500 清掃構件139，且該清掃構件139係用橡膠等彈性材形成為 翼狀。在第1、第2可動體126、127從塗布頭22下方沿著γ 方向驅動後’可透過前述清掃構件139擦拭喷嘴34之開口 面，即，塗布頭22之下面。如此一來，可清除附著於頭22 5下面之溶液L。又，從塗布頭22清除之溶液L會順著清掃構 件139貯存於液體貯存部131，再經由排液管137排出。 第π圖為溶液供給裝置之控制電路圖’且同圖中之171 為控制裝置。該控制裝置171可控制頭控制部172、喷嘴控 制部173 ’並同時根據設置於前述第1、第2可動體126、127 10之第1、第2感測器134、135所發出之信號，將第！、第2可 動體126、127朝X、Y方向定位驅動，並使設置於遮蔽構件 128之通過孔132依序置於相對於設置於頭22之複數喷嘴34 的位置。 前述控制部172、173係根據圖未示的編碼器所發出之 15檢測訊號而將驅動訊號輸出至主單元174,且前述編碼器可 檢測出前述載置台103之X、Y座標。該主單元174具有第 1CPU175、第1收發器176、及供給24V直流電壓之電源177， 且控制由複數塗布頭22之喷嘴34之溶液L喷射。 各塗布頭22内設有前述驅動電路部36，且該驅動電路 20部36内設有第2CPU182。對第2CPU182輸入前述第1CPU175 所產生之同步脈衝，並經由與前述第1收發器176通訊之第2 收發器183輸入前述喷嘴控制部173產生之驅動訊號。 相對於圖未示之X編碼器所產生之複數脈衝訊號，且前 述X編碼器係以前述台103之X方向移動量為基準，前述第 26 1311500 1CPU175可透過前述控制裝置171及前述塗布頭控制部 172，將1個同步脈衝輸出至前述第2CPU182。 第2CPU182連接有貯存塗布資料之記憶體184。由於前 述第1CPU175產生之同步脈衝訊號會輸入驅動電路部36之 5第2CPU182，所以可從該第2CPU175讀出前述塗布資料。 而第2CPU175所讀出之塗布資料則輸出至串列平行資料 (serial parallel data)轉換部 185。 串列平行資料轉換部185與第1變壓部186連接。該第1 變壓部186係根據前述第2CPU182所產生的電壓指令’將前 10 述主單元174之電源177所產生的24V電壓變壓至0〜90V，再 輸出至前述串列平行資料轉換部185。又，前述串列平行資 料轉換部185與設置於前述各塗布頭22之複數壓電元件35 連接。 從第1CPU175將同步訊號輸入至第2CPU182後，再從 15前述第2CPU182輸出振動信號至前述串列平行資料轉換部 185。如此一來’因為係根據記憶體184之塗布資料對預定 壓電元件35施加第1變壓部186產生之電壓，所以會從對應 該壓電元件35之喷嘴34喷射出溶液。 接下來’說明測量設置於前述構造之塗布裝置中各塗 20布頭22之喷嘴34的溶液喷出量並進行設定的順序。在對基 板W塗步溶液時，上面載置有基板w之載置台103會朝乂方 向從第8圖之實線位置移動至虛線位置。然後，在基板…通 過塗布頭22下方時，各塗布頭22之喷嘴34會喷出溶液。 在測量前述噴嘴34之溶液喷出量並進行設定時，如第8 27 1311500 圖中實線所示，首先，將載置台103從塗布頭22下方退開， 再將測量用台125朝X方向驅動，使第卜第2可動體126、127 分別位於不同塗布頭22之下方。 在第1、第2可動體126、127分別就位於塗布頭22下方 5 後，控制裝置171首先會驅動測量用台125，使設置於各可 動體126、127，即，遮蔽構件128之第1感測器134朝X方向 在預先設定之範圍内移動。根據該移動中第1感測器134的 輸出訊號與附屬設置於測量用台125之圖未示之位置測量 器的輸出訊號，控制裝置171可檢測出塗布頭22之沿著Y方 10 向之圖示右側的位置。 求出塗布頭2 2之Y方向的端部位置後，接著分別驅動各 動子126、127，使設置於遮蔽構件128之第2感測器135朝Y 方向在預定範圍内移動。根據該移動中第2感測器135的輸 出訊號與附屬設置於各動子126、127之圖未示之位置測量 15 器的輸出訊號’控制裝置171可檢測出塗布頭22之沿著X方 向之圖示上側端部的位置。 然後，從已求出之各塗布頭22之X方向端部位置與γ方 向端部位置，控制裝置171可求出塗布頭22與各可動體 126、127的位置關係。 20 由於可從設計資料得知塗布頭22中各喷嘴34之位置資 訊與遮蔽構件128中通過孔132之位置資訊，所以控制裝置 171可從預先設定好之前述已知位置資訊、及前述已求出之 塗布頭22與各可動體126、127之位置關係，求出各噴嘴34 與通過孔132之相對位置。 28 1311500 根據照前述方式所求出之各噴嘴34與通過孔132的相 對位置’控制裝置171可定位第1、第2可動體126、127以使 設置於不同遮蔽構件128之通過孔132依序相對於各頭22之 37個喷嘴34。 5 另外’在遮蔽構件128上沿著Y方向設有2個第1感測器 134。如此一來，因為可利用2個第1感測器134檢測出塗布 頭22之相對於X方向的傾斜角度，所以可藉此更加精度良好 - 地辨識塗布頭22的位置。 在前述通過孔132與頭22之37個喷嘴34的其中一個相 10對後，該頭22之37個喷嘴34會同時噴出溶液。然後，僅有 從相對於通過孔132之1個喷嘴34喷出之溶液會通過前述通 過孔13並滴落至電子天平129之承接部12知，且被測量重 量。測量好之溶液的重量會輸入至控制裝置171，並記憶於 圖未不之記憶部，並且將最初之喷嘴34作為第1喷嘴％。 15 另外，控制裝置171可從第1喷嘴噴出溶液前與噴出後 # t子天平129輸出值的差’算_落至承接部⑽之溶液的 重量。舉例而言，各喷嘴34喷出1000次液滴後，會有1000 滴溶液滴落至承接部129a。而控制裝置171會求出該咖滴 液滴滴落前後好天平129輸出值，並㈣差除以咖 後的值作為第i噴嘴34所噴出U滴液滴的重量。然後，將 該1滴液滴之重量記憶於控制裝置171的記憶部。 又，從與通過孔132相對之i個喷嘴34以外的36個喷嘴 喷出之溶液會喷出至遮蔽構件128之液體貯存部⑶，再 從液體貯存部131經由舰孔136排出轉液管Up 29 1311500 接下來，驅動第1、第2可動體126、127使通過孔132 與第2噴嘴34相對，再從頭22之37個噴嘴34同時喷出溶液。 如此—來，僅有從第2喷嘴34喷出之溶液會通過前述通過孔 132並被電子天平129測量重量。以下，用同樣步驟測量第 5 3〜第37噴嘴34所噴出之溶液的重量。 如此一來，在測量分別從丨個塗布頭22之37個喷嘴34 噴出之溶液的重量後，利用控制裝置171中圖未示之比較部 比較該等重量與作為目標值之重量。若相對於目標重量， 從各噴嘴34喷出之溶液的重量之差超過容許值，則將此情 10形輸出至第2CPU182。而前述目標重量已事先記憶於控制 裝置171之圖未示的記憶部。 因此，為了使各喷嘴34喷出之溶液在目標重量的容許 值内，第2CPU182會控制從第1變壓部186經由串列平行資 料轉換部185施加至相對於各喷嘴34之壓電元件35的電壓 15 值或電壓脈寬。 舉例而言，在控制施加至壓電元件35之電壓值以調整 喷嘴34喷出之溶液的量時，事先將電壓修正量記憶於第 2CPU182之記憶部184。然後，在控制裝置171所傳送之溶 液重量差為正（測量出之重量大於目標重量）時，因為必須減 2〇少喷出量，所以第2CPU182會控制第1變壓部185以使施加 至壓電元件35之電壓值僅降低電壓修正量份。相反地，在 溶液重量差為負（測量出之重量小於目標重量）時，因為必須 增加噴出量，所以第2CPU182會控制第1變壓部185以使施 加至壓電元件35之電壓值僅增加電壓修正量份。 30 1311500 如前所述’在修正各喷嘴34之溶液喷出量後，使用與 前述相同方法，利用控制裝置171再次測量各嘴嘴34喷出之 溶液的重量炎與目標重量進行比較。比較的結果，若所有 喷嘴34喷出之溶液的重量在目標重量之容許值内則結束調 5 整，又，若超出容許值，則反覆調整直到所有喷嘴34喷出 之溶液重量位於目標重量容許值内。 如此一來’在結束對1個塗布頭22之各噴嘴34設定噴出 量的動作後’同樣地，透過控制裝置171對其他塗布頭22進 行設定喷出量的動作。 10 如前所述’根據本實施例，可從所有設置於1個塗布頭 22之複數喷嘴34同時喷出溶液，並在此時僅容許相對於遮 蔽構件128之通過孔132的1個喷嘴34噴出之溶液[通過前述 通過孔132 ’再用電子天平129測量重量《而且，對塗布頭 22之37個喷嘴34依序進行前述測量。 15 由於對每個喷嘴34進行溶液供給的設定，所以可抑制 塗布頭22之每個喷嘴34溶液喷出量相異的情形。因此，可 均-化各噴嘴34之溶液噴出量，亦可使形成之機能性薄膜 的厚度更加均一化。 如刖所述 20 '因為可在與將溶液實際塗布於基板W時的 相同條件下測量從各噴嘴34噴出之溶液的重量，所以若根 據,亥測*設定各喷嘴34噴^之溶液的重量，可在對基板^ 塗布溶液時，使從各噴嘴对出之溶㈣重量設 也就是說，可對於基板郷成均—之所需厚度的機 能性薄膜。 31 1311500 遮蔽構件128中沿著X方向設有清掃構件139。因此，在 將第1、第2動子126、127朝Y方向驅動至塗布頭22下方以測 里從各噴嘴34噴出之溶液的重量時，清掃構件139前端部分 T邊摩擦塗布頭22下面一邊移動，故可清除附著於噴嘴 5 34開口面之溶液。 舉例而言’在測量噴嘴34之溶液喷出量以進行設定的 設定動作中，在每次結束對1個喷嘴34之設定後，將可動體 126、127朝Y方向往復移動以擦拭塗布頭22下面整面。另 外，此時，利用圖未示之氣壓缸等驅動裝置使上載置部 10 126a、127a可相對於可動體126、127升降，並在前述往復 移動時，於往動時使上載置部126a、127a朝上升端移動以 使清掃構件139上端就位至可接觸塗布頭22下面的擦拭位 置，而且，在復動時使上載置部126a、127a朝下降端移動 以使清掃構件139上端就位至不接觸塗布頭22下面的待機 15 位置。 可知在反覆從噴嘴34噴出溶液時，溶液會附著於塗布 頭22下面而且，溶液附著量逐漸增加後，該溶液會造成 噴嘴34開口阻塞，妨礙喷嘴34喷出溶液。 因此，如前所述，因為在喷出量的設定動作中，用清 20掃構件139擦拭塗布頭22下面後可防止附著於塗布頭下 面之溶液阻塞喷嘴34，所以可更加精度良好地測量並設定 各喷嘴34之噴出量。 另外由於利用電子天平直接測量各噴嘴34所噴出之 溶液的重量’所以可精度良好地測量出喷出量並可使各 32 1311500 喷嘴34之嗅出量正確地配合所需之喷出量。結果，在相對 塗布溶液時’可用均-塗布量塗布溶液，且可形 成不”有不均一部份之厚度均-之機能性薄膜。 J述之~種實施型態中，雖然於計測用台設有2個可 — <同時測量從2個頭之噴嘴噴出之溶液的重量，但並未 限疋°又置於計剛用台之可動體的數量，1個或3個以上皆可。 又雖然進行設定以使各喷嘴％喷出之溶液的 重量相 同’但亦可進行設定使每個噴嘴34之溶液重量不同。 另外’雖然已用-邊從所有喷嘴Μ同时出溶液一邊 此量從各噴嘴34噴出之溶液的重量的例進行說明，但亦可 在停止從所有嘴嘴34之一部分喷嘴34喷出溶液後，再測量 ，液重i舉例而吕，在此次形成於基板W之機能性薄膜 之圖案中，在只從頭22之37個喷嘴34中30個喷嘴34喷出溶 液時，一邊僅由該30個喷嘴34同時喷出溶液，一邊測量分 I5別從該等30個喷嘴34喷出之溶液的重量。即使在此種情況 下，亦可一邊從將溶液實際塗布於基板w時使用之所有噴 嘴34噴出溶液，一邊測定從各噴嘴34噴出之溶液的重量。 如此一來，根據該測量調整過之溶液喷出量會與實際塗布 量相符，可提升形成之機能性薄膜的品質。 -0 另外，雖然已說明在作為遮蔽構鍵之長方形板狀之遮 蔽構件129上設有通過孔132的情形，但因為最重要的是僅 容許1個喷嘴34所喷出之溶液通過，所以舉例而言，亦可用 僅容許1個喷嘴34所噴出之溶液通過的間隔配置2片長方形 板，並用2片長方形板之任一片承接其餘喷嘴34噴出之溶 33 1311500 液。 又，雖然以1000滴份液滴重量算出從喷嘴34喷出之液 滴重量為例進行說明，但並未限定用以測量重量之液滴數 量為1000滴，幾滴皆可，1滴亦可。此外，雖然以1滴份液 5 滴重量與目標重量進行比較之例進行說明，但亦可比較 1000滴份等複數液滴份的重量來調整喷出量。 I：圖式簡單說明3 • 第1圖係顯示本發明第1實施型態塗布裝置之概略構造 •的正面圖。 10 第2圖係第1圖所示之塗布裝置的側視圖。 第3圖係塗布頭之縱截面圖。 第4圖係顯示形成有喷嘴之塗布頭下面的圖。 第5圖係顯示控制系統之方塊圖。 第6圖係秤的平面圖。 15 第7圖係設置於引導構件之秤的正視圖。 ^ 第8圖係顯示本發明第2實施型態塗布裝置之概略構造 的正面圖。 第9圖係第8圖所示之塗布裝置的側視圖。 第10A圖係遮蔽構件之平面圖。 20 第10B圖係沿著第10A圖所示之遮蔽構件中線A-A的截 面圖。 第11圖係用以使塗布頭之喷嘴喷出溶液之控制電路 圖。 34 1311500 【主要元件符號說明】 卜101···底座 36…驅動部 2…座腳 37"·回收孔 3、105···安裝板 40、17l···控制裝置 4…引導構件 4l·..秤 4a.·.定子 42…第1可動構件 5…X台 43…第2承受餅 6…第1承受構件 44…第2線性馬達 6a、43a…動子 45…第2可動構件 7、103…載置台 46…Y驅動源 8…第1線性馬達 47…受壓部 ll···門型支樓體 48…杯狀體 12…安裝構件 49…支樓構件 19…頭載台 51…無桿缸 21…Y驅動源 52…滑件 22…塗布頭 53…連結構件 28…頭本體 54…擔門 29…可撓板 56…操作面板 3l··.喷嘴板 57…位置檢測器 31A…主管 102…導軌 32…液室 104…支柱 33…給液孔 125…計測用台 34…喷嘴 126…第1可動體 35…壓電元件 127…第2可動體 35 1311500 126a、127a”·上載置部 126b、127b…下載置部 128…遮蔽構件 129…電子天平 129a".承接部 131…液體貯存部 132"·通過孔 133…凸部 134···第1感測器 135···第2感測器 136…排液孔 137…排液管 139".清掃餅 172…頭控制器 173…喷嘴控制器 174…主單元 175 …第 1CPU 176…第1收發器 177…電源 182 …第 2CPU 183…第2收發器 184…記憶體 185...串列平行資料轉換部 186…第1變壓部 W··.紐 36