TWI225839B - Precision substrate storage container - Google Patents

Description

1225839 (1) 玖、發明說明 【發明所屬之技術領域】 本發明，是有關：將由半導體晶圓或屏蔽玻璃等梅$ 的精密基板收納、保管、移送、搬運、運送，或者是與精 密基板的加工用所標準化的機械介面裝置（SMIF) $ FIMS(Front-openingin terface Mechanical Standard)系統 連接可能的精密基板收納容器。 【先前技術】 習知的精密基板收納容器，雖無圖示，是由··將複數 枚的半導體晶圓整列收納的容器本體、及開閉此容器本體 的蓋體、及裝設於容器本體的底面的底托板所構成。 容器本體，是形成正面的開口前開盒，在左右兩側壁 的內面，將半導體晶圓呈水平支撐一對的支撐肋是呈上下 方向複數對並設，在正面的內周緣部，複數的卡合孔是分 別形成。在蓋體，內藏有可依據來·自外部的操作，將出沒 可能的卡合爪嵌入卡合孔的卡鎖機構。 在上述，處理複數枚的半導體晶圓的情況時，首先， 在裝御裝置的載體平台，將精密基板收納容器與空的過程 內容器或開卡匣一起定位組裝。 如此的話，蓋體的卡鎖機構是被解鎖操作，從容器本 體的正面將確保氣密性的蓋體取下使容器本體開口。如此 容器本體開口的話，複數枚的半導體晶圓，被確認其收納 狀態，在裝御裝置的移載至機構從下方依序取出的同時， -5- (2) 1225839 在空的過程內容器或是開卡匣從下方依序地收納，之後， 施加預定的處理。 但是，半導體晶圓的處理·加工時，需要將有關於半 導體晶圓的品種或精密基板收納容器等的資訊正確地識 別·認識。爲了實現有關的識別，習知，提案有構築使用 非接觸型的通訊機器的生産系統，將作爲非接觸型的通訊 機器的反應器用的外殼設置於精密基板收納容器的技術 (日本特開 2000-2 1 966號公報參照）。且，也有揭示在半 導體晶圓的搬運用載體的一端部形成收納溝，在此收納溝 收納反應品等將其開口閉鎖的技術（日本專利第265 1 3 5 7 號公報參照）。 習知，雖是如以上將有關於半導體晶圓的品種或精密 基板收納容器等的資訊將識別·認識，但是其中，有以下 的問題。 首先，在上述專利文獻的任一的情況，反應器是因爲 只是一方向，所以依據裝置側的通訊區域的設定規格，即 使使用例如同一的反應器，也容易會發生通訊不良的大問 題。且，反應器，一般是形成圓筒形，將定向方向有容易 錯誤的特徵。定向方向錯誤的話，會下降資訊的傳送功 能，雖使用相同反應器或精密基板收納容器但在使用時的 資訊傳達性會產生參差不一。 將這種問題的詳細，以將使用具代表性的RFID的生 産系統爲例說明。RFID系統，一般是具備主機電腦、質 問器（讀出器/記錄器），及反應器（ID標簽）。質問器，是 (3) 1225839 由控制器、送出收訊器、天線所構成，由主機電腦及其控 制下交換資訊。此質問器，是具有：讀入反應器的資訊進 行確認、及寫入的功能，設置於精密基板收納容器所使用 的裝置或過程內的預定裝置。且，反應器，是由天線、送 出收訊器及記憶體所構成，設置於精密基板收納容器用來 記憶半導體晶圓的批次、過程內的加工、或是處理經過。 如此生産系統，是有電磁結合方式、靜電結合方式、 微波方式、光通訊方式等的傳送方式，依據採用那一種方 式，來決定通訊距離、記憶容量、耐環境性等的規格。 一方面，採用那一種系統方式，即使精密基板收納容 器所使用工場也未統一，送出裝置間的傳送訊號的收訊位 置或方向也是各式各樣。因此，欲將在特定的工場可正常 功能的附RFID的精密基板收納容器轉到別的工場或過程 使用的話，資訊交換多變成困難，或不可能。 且，在讀取/寫入區域，因爲使用可能的頻率領域是 各國有所不同，所以精密基板收納容器在外國使用的情況 中，必需可在國內外使用可能地構成精密基板收納容器， 或者是將國內用及外國用嚴格地區分管理。 進一步，系統的反應器，即使從質問器的正面偏離一 些，雖通訊可能，但是與質問器的相對位置90 °變化的 話，讀取區域因爲2 0〜3 0 °/。減少，因爲與質問器的位置關 係會導致通訊錯誤。在此，雖需要一種怎樣的方式皆對 應，那工場間或裝置間皆可互換的附反應器的萬能精密基 板收納容器，但是爲了解決上述問題而將區域設定較寬的 (4) 1225839 話’會產生將存在於周圍的其他的反應器的內容誤讀取的 其他新的問題。 【發明內容】 本發明是有鑑於上述問題，其目的爲提供一種可將非 接觸型資訊媒體的方向朝複數的方向變更地抑制防止通訊 不良或資訊的傳送功能的下降，即使在不同場所或裝置等 使用也不會導致資訊的傳達性的參差不一的精密基板收納 容器。 爲了達成上述課題，本發明的精密基板收納容器，其 特徵爲，包含：收納精密基板的容器本體、及支撐於此容 器本體的容器本體及或是精密基板識別用的非接觸型資訊 媒體，並將此非接觸型資訊媒體的方向至少在不同二方向 之間變更可能。 然而，精密基板可以爲半導體晶圓，容器本體可以爲 藉由蓋體使正面開閉的前開盒。 且，非接觸型資訊媒體，可以爲反應RFID系統的質 問器的反應器。 且，反應器，可以至少具備天線、送出收訊器、記憶 體地形成略圓筒形。 且，可以包含嵌入有反應器的支架，將此支架形成剖 面略U字形並從其開口周緣部將複數的凸緣分別朝外方 向突出。 且，可以在支架，設置至少具有水切功能的貫通孔。 (5) 1225839 且，爲了達成上述課題，本發明的精密基板收納容 器，其特徵爲，包含：將精密基板從開口的一方收納容器 本體、及將此容器本體的開口閉鎖的蓋體，並在容器本體 的至少一面相面對地安裝托板，在此托板，將容器本體及 或是精密基板識別用的非接觸型資訊媒體至少在不同二方 向之間變更可能地支撐。 然而，非接觸型資訊媒體，可以爲反應RFID系統的 質問器的反應器。 且，反應器，可以至少具備天線、送出收訊器、記億 體地形成略圓筒形。 且，可以將托板，由：至少在容器本體的底部相面對 的底基板、及立設在此底基板的壁板、及設置於底基板將 非接觸型資訊媒體朝向略水平方向地支撐的第一保持機 構、及設置於壁板將非接觸型資訊媒體朝向略垂直方向支 撐的第二保持機構所構成。 且，容器本體，可以爲藉由蓋體開閉正面的前開盒 型，在此容器本體安裝有托板，在此托板將非接觸型資訊 媒體透過支架支撐。 且，容器本體，可以爲藉由蓋體開閉正面的前開盒 型，在容器本體安裝有托板，在此托板將非接觸型資訊媒 體透過支架支撐。 且，托板，可以至少由：在容器本體的底部相面對的 底基板、及立設在此底基板的壁板、及設置於底基板將支 架朝向略水平方向支撐的第一保持機構、及設置於壁板將 -9- (6) 1225839 支架朝向略垂直方向支撐的第二保持機構所構成。 且，在容器本體的底面後部兩側設置一對的保持肋， 在底基板的兩側部中，將可裝卸自如地安裝的被保持體各 別設在保持肋也可以。 且，在底基板設置複數的蓋孔，在此複數的蓋孔，將 供識別精密基板的規格用的蓋選擇地***也可以。 且，將壁板的內面與容器本體的裏面相面對，在壁板 的外面安裝有條碼也可以。 進一步，可以將第一保持機構，由：鉤在支架的兩端 部的複數卡止爪、及在支架的側部透過凸緣鉤住的卡止肋 所構成。 進一步，可以將第二保持機構，由：鉤在支架的上端 部的卡止肋、及在支架的兩側部透過凸緣鉤住的複數卡止 爪所構成。 且，爲了達成上述課題，本發明的精密基板收納容 器，其特徵爲，包含：收納精密基板的容器本體、及支撐 於此容器本體的容器本體及或是精密基板識別用的非接觸 型資訊媒體、及在容器本體的至少一面相面對地安裝的托 板，並將托板，由：至少在容器本體的底部相面對的底基 板、及立設在此底基板的壁板、及設置於底基板將非接觸 型資訊媒體朝向略水平方向支撐的第一保持機構、及設置 於壁板將非接觸型資訊媒體朝向略垂直方向支撐的第二保 持機構所構成的同時，將第一、第二保持機構的至少任一 方，由：形成比非接觸型資訊媒體大的多角形，鉤在非接 -10- (7) 1225839 觸型資訊媒體的隅部的複數卡止爪；及形成此複數的卡止 爪地位置在多角形的長邊中央部附近，使非接觸型資訊媒 體傾斜配置時，在卡止爪之間挾持非接觸型資訊媒體，且 與非接觸型資訊媒體的側部接觸一對的卡止肋所構成，而 使用這些卡止爪及卡止肋及將非接觸型資訊媒體的方向在 三方向之間變更可能。 進一步，本發明的精密基板收納容器，其特徵爲，包 含：精密基板、及收納此容器本體的至少任一方的識別用 的非接觸型資訊媒體、及嵌入此非接觸型資訊媒體的支 架。 在此申請專利範圍的精密基板，是至少包含150mm(6 英吋）、200mm(8英吋）、300mm(12英吋）的半導體晶圓（矽 晶圓）、屏蔽玻璃、液晶單元、石英玻璃、屏蔽基板等。 此精密基板是單數複數任一也可以。在容器本體中，至少 包含正面開口的前開盒、前後等的二方向開口的開盒或載 體等。在此容器本體中，可依據需要施加帶電處理等。 在非接觸型資訊媒體中，最低限是含有資訊傳達用的 由非接觸型的反應器構成的通訊機器。不同的二方向，至 少是使精密基板收納容器被定位搭載在加工裝置的情況的 高度方向的基準平面及略平行的水平方向、及與基準平面 略垂直的方向，包含橫方向、縱方向、傾斜方向的三方 向、四方向以上也可以。且，在支架的剖面略U字形 中，至少含有剖面C字形、U字形、V字形等。貫通孔， 是可以單數複數地增減，含有貫通的溝或缺口。 »11 - (8) 1225839 托板的底基板，是相面對於容器本體的全底部也可 以，與底部的一部分相向的也佳，與壁板一體形成也可 能。壁板，是形成直線的板形、剖面略半圓弧形或L字形 等，固定於底基板設置也可以，可裝卸自如地設置也可 以。且，在橫方向可滑行地安裝，或起伏可能地支撐也可 以。且，垂直地立設在底基板也可以，傾斜設置也可能。 進一步，本發明的精密基板收納容器，是至少可以利 用作爲：使用於半導體的製造的載體、過程間搬運載體 (FOUP)、出貨用的載體（FOSB)。 【實施方式】 以下，參照圖面的本發明的較佳實施例說明的話，本 實施例的精密基板收納容器，是如第1圖至第1 0圖，具 備：收納複數枚的半導體晶圓的容器本體1、及在此容器 本體1的底部後方可裝卸自如地裝設的托板的底托板 20、及在此底托板20可裝卸自如地支撐的支架50、及嵌 合收容在此支架50的RFID系統的反應器60，將支架50 的方向在水平方向及垂直方向的二方向之間可選擇地變 更。 半導體晶圓，雖無圖示，但是例如由3 00mm(12英吋） 的圓板形的砂晶圓所構成，通常是25枚或是26枚地整列 收納。 容器本體1，是如第1圖，使用輕量性或成形性等優 秀的聚碳酸酯、COP(環烯烴聚合物）、聚醚醯亞胺、聚醚 -12- 1225839 (9) 磺等的合成樹脂並成形成讓正面開口的透明的前開盒構 造，維持充分的強度、剛性、尺寸安定性來保證AGV等 構成的自動搬運裝置的正常的動作，開口的正面是藉由可 裝卸自如的蓋體1 〇開閉。此容器本體1，是在其頂棚中 央部螺合有無圖示的自控式凸緣，藉由使此自控式凸緣把 持於無圖示的空架搬運機進行搬運。 在容器本體1的底面的前部兩側及後部中央，如第2 圖或第4圖，由底面視形成三角形的剖面略逆V字形的 定位具2是分別別體，或者是一體形成，各定位具2是與 無圖示加工裝置的定位銷嵌合並將精密基板收納容器定位 於加工裝置。各定位具2，是藉由耐磨耗性等優秀的聚丙 烯、聚碳酸酯、聚乙基對苯二乙酸酯、聚醚***酮、聚醚 醯亞胺等呈平面視略長圓形成形。藉由這種定位具2使精 密基板收納容器被定位於加工裝置的話，從精密基板收納 容器使半導體晶圓裝載、卸載在加工裝置。 在此加工裝置，是從精密基板收納容器裝載半導體晶 圓移換至別的過程內容器的裝置，或者是將蓋體10自動 地開閉，或搭載開狀態的容器本體1將半導體晶圓裝載， 將半導體晶圓供給至讓半導體晶圓被施加：氧化、感光耐 蝕膜塗抹、曝光、蝕刻、洗淨、薄膜形成等的各種處理或 加工的別的裝置的裝置。 在容器本體1的底面的後部兩側，如第2圖、第4 圖、第9圖、第10圖，在後部的定位具2的左右兩側配 設隔有間隙位置的一對保持肋3，在此一對的保持肋3之 -13- (10) 1225839 間使底托板20可裝卸自如地被裝設。一對的保持肋3， 是分別形成底面視呈略L字形並在內側具有溝部4，此溝 部4是相面對。各保持肋3，其具有導引功能的長片3 a 是從容器本體1的前方橫跨後方定向，短片3b是朝左右 方向內側定向。 在容器本體1的左右兩側壁的內面，如第1圖，使將 半導體晶圓呈水平支撐的一對的支撐肋5是朝上下方向以 預定之間距複數對並設。此複數對的支撐肋5，是在容器 本體1的左右兩側壁的內面，一體形成，或者是別體裝 設。各支撐肋5，是由：可將半導體晶圓的側部周緣水平 搭載的上面、及自由端部是呈先端較細地傾斜的下面形 成，這些的交叉端緣部是形成圓角狀。容器本體1的開口 的正面，是朝外方向膨出彎曲形成而形成輪圈部6，此輪 圈部6的內部段差面是形成密封面。且，在容器本體1的 兩側壁外面，分別突設有蓋體固定用的卡止突部7。 蓋體1 〇，是如第1圖，使用輕量性或成形性等優秀 的聚碳酸酯、COP、聚醚醯亞胺等的合成樹脂呈略矩形成 形，在容器本體1的輪圈部6內透過無縫的密封構件密 嵌。在此蓋體10的左右兩側部，在容器本體1的卡止突 部7嵌合「 」字形的缺口的卡止板1 1是分別被旋轉可 能地軸支。在蓋體10的內面，將半導體晶圓的前部周緣 呈水平支撐的複數前擋板（無圖示）朝上下方向並設。 位在於容器本體1的輪圈部6內及蓋體10之間的密 封構件，是使用聚烯烴系或聚酯系的各種熱可塑性彈性 • 14 - (11) 1225839 體、氟橡膠、矽橡膠等呈框形成形，蓋體10的嵌合被覆 時壓接在輪圈部6的內部段差面進行密封。此密封構件， 其污染半導體晶圓的有機成分的發生少，由JIS K6301A 的測量方法的硬度是8 0°以下的成形材料成形較佳。 底托板20，是如第1圖、第3圖至第6圖、第9 圖、第1 0圖，由：與容器本體1的識別領域的底面後方 接近相面對的底基板21、及立設於此底基板21的後端部 並與容器本體1的裏面的一部分（識別領域）相面對的壁板 30所構成，在底基板21，設置將定向於水平橫方向的支 架50保持的第一保持機構40的同時，在壁板30中，設 置將定向在垂直縱方向的支架50保持的第二保持機構 43。此底托板20，是使用聚丙烯、聚碳酸酯、聚對苯二 甲酸丁二醇酯等的合成樹脂成形。 底托板20的底基板21，是多角形的平板所構成，從 前端部中央橫跨後方切除形成回避溝22，使此回避溝22 在容器本體1的後部的定位具2從後方嵌合來規制底托板 20與定位具2的不當干渉。在此底基板21中，複數的蓋 孔23是以預定之間隔圓地穿孔，在此複數的蓋孔23中， 供加工裝置識別精密基板的規格（精密基板收納容器的種 類或半導體晶圓的收納枚數等）用的無圖示的蓋（也稱資訊 片）是可依據需要選擇地***。在底基板21的左右兩側部 分別配設有被保持體24，此一對的被保持體24是可裝卸 自如地卡合在容器本體1的一對的保持肋3。 各被保持體24，是如第5圖或第6圖、第10圖， -15- 1225839 (12) 由：在底基板2 1的側部突出形成的本體25、及從此本體 25的前部外側朝前方延伸的停止器突起26、及從本體25 的前部內側朝前方可比停止器突起2 6細長延伸的可撓性 的首片27、及在此首片27的先端部外側呈略三角形狀形 成的脫落防止突起28、及在停止器突起26及首片27之 間區劃形成的缺口空間29所形成。停止器突起26及脫落 防止突起2 8，是位置於保持肋3的長片3 a的內側挾持短 片3b，藉由此挾持使底托板20強力地裝設在容器本體 1(第10圖參照）。 底托板20的壁板30，是如第1圖、第5圖或第6 圖，形成橫長的矩形，在不相面對於其容器本體1的裏 面，形成有條碼領域3 1。在此條碼領域3 1，使條碼3 2直 接貼合，或者是使條碼3 2通過外殼可裝卸自如地***（第 3圖參照）。 第一保持機構40，是如第5圖或第9圖，由：在底 基板2 1的後端部兩側隔有間隔地對設並卡止於支架5 0的 前後兩端部的一對的卡止爪41、及設置於底基板21的後 端部並卡止於支架5 0的長的一側部的附溝的卡止肋4 2所 構成，並與壁板30的下部鄰接。 第二保持機構43，是如同圖所示，由：設置於壁板 30的相對面中央部附近卡止於支架50的上端部的附溝的 卡止肋42A、及與壁板30的相對面中央部附近隔有間隔 地對設並卡止於支架50的左右雨側部的一對的卡止爪 4 1 A所構成。 -16- (13) 1225839 第一、第二保持機構40、43的卡止爪41、41A，是 形成具有可接觸支架50的厚度的1/4〜1/2的範圍的高度 的略L字形，在略鉤形的先端部形成有傾斜面使支架5 0 的裝卸容易。卡止爪41、41A的高度範圍，當高度是1/4 未滿的情況中’在使用時支架5 0會脫落，相反地高度是 超過1 /2的情況時，因爲裝卸困難，所以作業性悪化。 且，第1第二保持機構40、43的卡止肋42、42A，是分 別形成L字形。 支架50，是如第7圖或第8圖，使用預定的熱可塑 性樹脂成形成中空的略半圓柱形、或是剖面略 U字形 等，在裏面或側部等使複數的水切孔5 1以預定之間隔穿 孔，此複數的水切孔5 1可提高洗淨時的水切性，將反應 器60的有無或其破損的有無以視覺把握。在此支架50的 內部，是突設有規制反應器60脫落的脫落落下防止爪（無 圖示）。在支架5 0的開口周緣的左右兩側部，單數複數的 凸緣52是分別朝外方向突設被，此凸緣52是在第一保持 機構40的卡止肋42、或是第二保持機構43的卡止爪 4 1 A可裝卸自如地被卡止。 然而，對於支架5 0的水切孔5 1，是藉由將水切孔5 1 的形狀、大小、數適宜增減變更地與反應器6 0的定向性 一致，當安裝於精密基板收納容器的情況時可以將與加工 裝置的資訊交換的性能加以固定保持。 反應器60，是具備天線、送出收訊器、記憶體且一 般是形成於圓筒形，表面是由玻璃或合成樹脂等被覆保 -17- (14) 1225839 護，嵌合於支架5 0並可記憶半導體晶圓的批次、過程內 的加工、或是處理經過。 在上述結構，在底托板20的第一保持機構40，將收 容反應器60的支架50橫臥安裝的情況中，在第一保持機 構40的一對的卡止爪41及卡止肋42之間，開口無法目 視確認地將支架5 0橫地組裝，將支架5 0朝左右方向適宜 滑行，將支架50的凸緣52嵌入卡止在卡止肋42的溝的 同時，藉由一對的卡止爪41將支架50定位保持的話，就 可以將支架50安定保持。 且，在第二保持機構43，將支架50站立安裝的情 況，在第二保持機構43的卡止肋42 Α及一對的卡止爪 4 1 A之間，開口無法目視確認地將支架5 0立起組裝，將 此支架50適宜滑行，將支架50的凸緣52嵌入卡止在卡 止肋42A的溝，且藉由一對的卡止爪41A將支架50定位 保持的話，就可以將支架50安定保持。 依據上述結構，因爲在底托板20的第一、第二保持 機構40、43將反應器60透過支架50可選擇地安裝，將 反應器60的方向在縱橫二方向之間可適宜變更，所以依 據裝置側的通訊區域的設定規格，可以將反應器60的方 向簡單變更。具體上，質問器是設置於容器本體1的底面 方向的情況時，是在第一保持機構40支撐附反應器60的 支架50，質問器是設置於容器本體1的裏面方向的情況 時，是在第二保持機構43支撐附反應器60的支架50即 可。因此，即使使用同一的反應器6 0，可以有效消解容 -18- (15) 1225839 易發生通訊不良的問題。 且，因爲可以將反應器60的方向依據狀況變更， 以不會因與質問器的位置關係，導致通訊錯誤。且，因 無需將讀取區域設定較寬，所以不會誤讀取存在於周圍 其他的反應器60的內容。進一步，反應器60，因爲是 收容於支架5 0的被覆的狀態下使用’所以可以達成損 防止之外，可將設置方向的錯誤由簡易的結構成抑制 止。因此，資訊的傳送功能不會下降，雖未使用相同反 器60或精密基板收納容器，但可非常有效地抑制防止 使用時的資訊傳達性所產生的參差不一。進一步，可將 一、第二保持機構40、43比較簡易地構成而可將支架 適切且確實保持。 接著，第11圖、第12圖是顯示本發明的第2實 例，這種情況，將底托板20，由：與容器本體1的底 相面對的底基板21、及立設在此底基板21的壁板30 構成，在底基板21上，設置將朝略水平方向定向的反 器60直接間接保持的第一保持機構40的同時，在壁 30的內面，設置將朝略垂直方向將定向反應器60直接 接保持的第二保持機構43。 第一、第二保持機構40、43，是將反應器60直接 持的結構也可以，透過支架50間接地保持的結構也 以。且，由卡止爪41.41A或卡止肋42、42A將反應 6〇直接間接地保持也可以，省略這些，利用干渉到支 50的凸緣52或支架50的水切孔51的凸部等保持也 所 爲 的 在 瘍 防 應 當 第 50 施 面 所 應 板 間 保 可 器 架 可 •19- (16) 1225839 以。對於其他的部分’是因爲與上述實施例同樣所以省略 說明。 對於本實施例也很明顯可期待與上述實施例同樣的作 用效果，並可以達成反應器60的安裝有圖案的多樣化。 接著，第1 3圖是顯示本發明的第3實施例，這種情 況，是由：將第一、第二保持機構40、43的至少任一 方，形成比支架50的橫長大的長方形的複數的卡止爪 41A、及位置在形成此複數的卡止爪41A的長方形的長邊 中央部的一對的卡止肋42A所構成’使用複數的卡止爪 41A及卡止肋42A將收容反應器60的支架50的方向在三 方向之間可選擇地變更。 將本實施例以第二保持機構43爲例說明的話，複數 的卡止爪41A，是位置於長方形的四隅部地各別配設在壁 板30的相對面，各卡止爪41A是呈橫長的L字形彎曲形 成，各卡止爪41A是可與支架50的隅部卡合。一對的卡 止肋42 A，是與壁板3 0的相對面隔有間隔地分別配設， 各卡止肋4 2A是呈略V字形彎曲形成。各卡止肋42A， 是使支架50立起配置的情況中，與支架50的側部隔有間 隔地相面對，支架50是以左右45°的角度傾斜配置的情 況中，將支架50被挾住在卡止爪41A之間的同時，卡止 於支架5 0的側部。如此結構的第二保持機構43，是藉由 複數的卡止爪41A及卡止的肋42A，將收容反應器60的 支架5 0的方向在上方向、傾斜左上方向、傾斜右上方向 之間可選擇地變更。 -20- (17) 1225839 對於此，第一保持機構40的情況，複數的卡止爪 4 1 A，是位置於長方形的四隅部地分別配設在底基板2 1， 各卡止爪41A是呈L字形彎曲形成，各卡止爪41A是可 卡合於支架50的隅部。一對的卡止肋42A，是與底基板 2 1隔有間隔地分別配設，各卡止肋4 2 A是呈略V字形彎 曲形成，各卡止肋42A是與水平配置支架50的側部隔有 間隔地相面對的同時，卡止於以左右4 5 °的角度傾斜配置 的支架50的側部。對於其他的部分，因爲與上述實施例 同樣所以省略說明。此第一保持機構40，是藉由複數的 卡止爪41A及卡止的肋42A，將收容反應器60的支架50 的方向在橫方向、傾斜左橫方向、傾斜右橫方向之間可選 擇地變更。 對於本實施例也很明顯可期待與上述實施例同樣的作 用效果，並可以達成反應器60的安裝有圖案的多樣化。 且，雖將支架50的凸緣52如第13圖形成也可以，但是 省略凸緣52達成構造的簡素化也可能。 然而，在上述實施例中在容器本體1的開口的正面雖 只將蓋體10嵌合，但是不限定此。例如，在容器本體1 的正面的內周緣部使複數的卡合孔形成凹陷，在蓋體 10’內藏可依據來自外部的操作將出沒可能的卡合爪嵌入 卡合孔的卡鎖機構也可以。且，第一、第二保持機構 40' 43的卡止爪41、41A及卡止肋42、42A的數量，是 可以適宜增減。 且，分別在第一、第二保持機構40、43及支架50的 -21 - (18) 1225839 一方形成凹部，在其他方形成凸部，藉由將這些嵌合來支 撐支架50也可以。這是，即使對於容器本體1及底托板 20的關係也同樣。進一步，在容器本體1的底部或側壁 等設置第一、第二保持機構40、43，將反應器60或支架 5 〇保持在這些也可能。 (產業上的利用可能性） 如以上依據本發明，因爲可以將非接觸型資訊媒體的 方向朝複數的方向變更，所以有所謂可以將通訊不良或資 訊的傳送功能的下降抑制或是防止的效果。且，即使例如 精密基板收納容器是使用於不同場所或裝置等，也可以防 止在資訊的傳達性所產生的參差不一。 【圖式簡單說明】 第1圖是本發明的精密基板收納容器的實施例的整體 分解立體圖。 第2圖是本發明的精密基板收納容器的實施例的容器 本體的底面圖。 第3圖是本發明的精密基板收納容器的實施例的後視 圖。 第4圖是在本發明的精密基板收納容器的實施例的容 器本體裝設底托板的狀態的底面圖。 第5圖是在本發明的精密基板收納容器的實施例的底 托板的第一保持機構支撐支架的狀態的立體圖。 -22- (19) 1225839 第6圖是在本發明的精密基板收納容器的實施例在的 底托板的第二保持機構支撐支架的狀態的立體圖。 第7圖是將本發明的精密基板收納容器的實施例的支 架從裏面側顯示的立體圖。 第8圖是本發明的精密基板收納容器的實施例的支架 的前視圖。 第9圖是本發明在有關精密基板收納容器的實施例的 容器本體及底托板的裝設狀態的說明圖。 第1 〇圖是本發明的精密基板收納容器的實施例的容 器本體的保持肋及底托板的安裝部的關係的說明圖。 弟r 11圖是本發明的精密基板收納容器的第2實施例 的說明圖。 第1 2圖是本發明的精密基板收納容器的第2實施例 的說明圖。 第1 3圖是本發明的精密基板收納容器的第3實施例 的說明圖。 [主要元件對照表] 1容器本體 2定位具 3保持肋 3 a長片 3b短片 4溝部 •23- (20) (20)1225839 5支撐肋 6輪圈部 7卡止突部 10蓋體 1 1卡止板 1 3精密基板收納容器 2 0底托板 21底基板 22回避溝 23蓋孔 24被保持體 25本體 26停止器突起 27首片 2 8脫落防止突起 2 9缺口空間 3 0壁板 3 1條碼領域 3 2條碼 40保持機構 41卡止爪 41A卡止爪 42卡止肋 42卡止肋 -24 (21) 1225839 42A 卡止肋 42A 卡止肋 4 3保持機構 50支架 5 1水切孔 52凸緣 60反應器 -25

Claims (1)

1. (1) 1225839 拾、申請專利範圍 1 · 一種精密基板收納容器，其特徵爲，包含：收納 精密基板的容器本體、及支撐於此容器本體的容器本體及 或是精密基板識別用的非接觸型資訊媒體，並將此非接觸 型資訊媒體的方向至少在不同二方向之間變更可能。 2 ·如申請專利範圍第1項的精密基板收納容器，其 中’精密基板爲半導體晶圓，容器本體爲藉由蓋體使正面 開閉的前開盒。 3 ·如申請專利範圍第1項的精密基板收納容器，其 中，非接觸型資訊媒體，爲反應RFID系統的質問器的反 應器。 4 ·如申請專利範圍第3項的精密基板收納容器，其 中，反應器，至少具備天線、送出收訊器、記億體地形成 略圓筒形。 5 ·如申請專利範圍第4項的精密基板收納容器，其 中，包含嵌入有反應器的支架，將此支架形成剖面略U 字形並從其開口周緣部將複數的凸緣分別朝外方向突出。 6 ·如申請專利範圍第5項的精密基板收納容器，其 中，在支架，設置至少具有水切功能的貫通孔。 7 · —種精密基板收納容器，其特徵爲，包含：將精 密基板從開口的一方收納容器本體、及將此容器本體的開 口閉鎖的蓋體，並在容器本體的至少一面相面對地安裝托 板，在此托板，將容器本體及或是精密基板識別用的非接 觸型資訊媒體至少在不同二方向之間變更可能地支撐。 -26- (2) 1225839 8 ·如申請專利範圍第7項的精密基板收納容器，其 中，非接觸型資訊媒體，爲反應RFID系統的質問器的反 應器。 9 ·如申請專利範圍第8項的精密基板收納容器，其 中，反應器，至少具備天線、送出收訊器、記憶體地形成 略圓筒形。 10·如申請專利範圍第7項的精密基板收納容器，其 中’將托板，由：至少在容器本體的底部相面對的底基 板、及立設在此底基板的壁板、及設置於底基板將非接觸 型資訊媒體朝向略水平方向地支撐的第一保持機構、及設 置於壁板將非接觸型資訊媒體朝向略垂直方向支撐的第二 保持機構所構成。 11.如申請專利範圍第5項的精密基板收納容器，其 中，容器本體，爲藉由蓋體開閉正面的前開盒型，在此容 器本體安裝有托板，在此托板將非接觸型資訊媒體透過支 架支撐。 1 2.如申請專利範圍第6項的精密基板收納容器，其 中，容器本體，爲藉由蓋體開閉正面的前開盒型，在容器 本體安裝有托板，在此托板將非接觸型資訊媒體透過支架 支撐。 1 3 .如申請專利範圍第1 1項的精密基板收納容器， 其中，托板，至少由：在容器本體的底部相面對的底基 板、及立設在此底基板的壁板、及設置於底基板將支架朝 向略水平方向支撐的第一保持機構、及設置於壁板將支架 -27- 1225839 (3) 朝向略垂直方向支撐的第二保持機構所構成。 1 4 ·如申請專利範圍第1 3項的精密基板收納容器， 其中，在容器本體的底面後部兩側設置一對的保持肋，在 底基板的兩側部中，將可裝卸自如地安裝的被保持體各別 設在保持肋。 1 5 ·如申請專利範圍第1 3項的精密基板收納容器， 其中，在底基板設置複數的蓋孔，在此複數的蓋孔，將供 識別精密基板的規格用的蓋選擇地***。 1 6 ·如申請專利範圍第1 3項的精密基板收納容器， 其中，將壁板的內面與容器本體的裏面相面對，在壁板的 外面安裝有條碼。 1 7 .如申請專利範圍第1 3項的精密基板收納容器， 其中，將第一保持機構，由：鉤在支架的兩端部的複數卡 止爪、及在支架的側部透過凸緣鉤住的卡止肋所構成。 1 8 .如申請專利範圍第1 7項的精密基板收納容器， 其中，將第二保持機構，由：鉤在支架的上端部的卡止 肋、及在支架的兩側部透過凸緣鉤住的複數卡止爪所構 成。 19. 一種精密基板收納容器，其特徵爲，包含：收納 精密基板的容器本體、及支撐於此容器本體的容器本體及 或是精密基板識別用的非接觸型資訊媒體、及在容器本體 的至少一面相面對地安裝的托板，並將托板，由：至少在 容器本體的底部相面對的底基板、及立設在此底基板的壁 板、及設置於底基板將非接觸型資訊媒體朝向略水平方向 -28- (4) 1225839 支撐的第一保持機構、及設置於壁板將非接觸型資訊媒體 朝向略垂直方向支撐的第二保持機構所構成的同時，將第 一、第二保持機構的至少任一方，由：形成比非接觸型資 訊媒體大的多角形，鉤在非接觸型資訊媒體的隅部的複數 卡止爪；及形成此複數的卡止爪地位置在多角形的長邊中 央部附近，使非接觸型資訊媒體傾斜配置時，在卡止爪之 間挾持非接觸型資訊媒體，且與非接觸型資訊媒體的側部 接觸一對的卡止肋所構成，而使用這些卡止爪及卡止肋及 將非接觸型資訊媒體的方向在三方向之間變更可能。 2 〇. —種精密基板收納容器，其特徵爲，包含··精密 基板、及收納此容器本體的至少任一方的識別用的非接觸 型資訊媒體、及嵌入此非接觸型資訊媒體的支架。 -29·