TW561106B - Method and apparatus for manufacturing color filter, liquid crystal display apparatus, electroluminescent substrate, electroluminescent device and film, optical apparatus and its manufacturing method, and electronic machine - Google Patents

Description

561106 A7 B7 五、發明説明（1 ) 【發明所屬之技術範圍】 本發明係有關彩色濾色片之製造方法及製造裝置，液 晶顯示裝置之製造方法及製造裝置，電激發光層配設基板 之製造方法及製造裝置，電激發光裝置之製造方法及製造 裝置。又，本發明係有關經由噴頭掃瞄基板，於該基板上 ，吐出吐出物的噴頭之掃瞄方法及噴頭之掃瞄裝置。又， 本發明係於基板上形成膜之成膜方法及成膜裝置。又，本 發明係有關光電裝置及該製造方法以及電子機器。 近年以來，於攜帶電話機、攜帶型電腦等之電子機器 之顯示部，廣爲使用液晶顯示裝置、電激發光裝置之顯示 裝置。又，將使用如此顯示裝置之電子機器之顯示部，以 全彩顯示爲多。 液晶顯示裝置之全彩顯示係將例如經由液晶層調變之 光，透過彩色濾色片而進行。如此之彩色濾色片係於玻璃 、塑膠等所成之基板表面，將R (紅）、G (綠）及B ( 藍）之點狀之各色濾色片元件，經由以條紋狀排列、△排 列或馬賽克排列等之所定排列加以配設而形成。 又，電激發光裝置所成之全彩顯示係例如於玻璃、塑 膠等所成之基板表面，將R (紅）、G (綠）及B (藍） 之點狀之各色發光層，以條紋狀排列、△排列或馬賽克排 列等之所定排列加以配設，形成電激發光基板，將此電激 發光基板之發光褚，以一對之電極加以挾持，形成複數之 顯示點，將施加於此等之電極的電流或電壓，於每顯示點 加以控制，將顯示點以所期望之顏色發光而進行。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 項再填ί 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -4- 561106 A7 B7 五、發明説明（2 ) 以往，圖案化彩色濾色片之R (紅）、G (綠）及B (藍）之各色之濾色片元件時，或圖案化電激發光基板之 R (紅）、G (綠）及B (藍）之各發光層時，使用微縮 術法。但是，此微縮術法中，需使用於每顯示點不同的圖 案光罩，進行曝光、顯飮3、洗淨等之煩雜的工程，因爲 會消耗許多各色材料及光阻劑之故，有成本變高等之問題 〇 爲解決此問題，提案有藉由經由噴墨法將濾色片材料 或發光層形成材料，成爲點狀加以吐出，以形成濾色片元 件或發光層之方法。此噴墨法係例如使用具備壓電體薄膜 元件之噴墨頭而進行。 於此噴墨法中，於噴墨頭之加壓室，貯藏畫素形成用 之墨水，經由上述壓電體元件之振動的加壓室之體積變化 ，吐出該墨水，由此，於彩色濾色片之基板上形成畫素。 根據此噴墨法時，可提升彩色濾色片等之生產效率。又， 更且於此噴墨法中，可進行墨水量之高度控制之故，可有 效率製造高精密之彩色濾色片。 於圖25及圖26，顯示經由噴墨法，藉由將濾色片材 料或發光層形成材料等成爲點狀加以吐出，形成點狀排列 之濾色片元件或發光層等之方法之一例。 如圖25 ( a )所示，於形成於玻璃、塑膠等所成大面 積之基板（所謂母板）301之表面的複數之面板範圍302 之內部範圍，使用具備vi9如圖25 ( b )所示複數之噴嘴 304成爲列狀加以排列的噴嘴列305的噴墨頭306，根據 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -項再填办 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -5- 561106 A7 B7 五、發明説明（3 ) 噴墨法加以形成。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 此時，例如如圖2 5 ( b )所示，將噴墨頭3 0 6於箭頭 A1及箭頭A2所示方向’關於1個之面板範圍302，掃瞄 複數次，圖25 ( b )所示時爲2次，於此等之主掃瞄間， 自複數之噴嘴304選擇性呈出墨水，例如墨水濾色片材料 ，於所期望之位置，形成濾色片單元303。 在此，濾色片單元303係將R (紅）、G (綠）及B (藍）之各色經由以條紋狀排列、△排列或馬賽克排列等 之形態加以排列而形成。因此，圖25 ( b )所示之噴墨頭 3 0 6之濾色片單元3 0 3之形成，係將僅吐出R (紅）、G (綠）及B (藍）中之1色的噴墨頭306，對應R (紅） 、G (綠）及B (藍）之3色，預先準備3類，將此等之 噴墨頭306對應3色順序重覆使用，於1枚之母板301上 ，經由形成R (紅）、G (綠）及B (藍）色之3色排列 加以進行。 【發明欲解決之課題】 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 然而，於噴墨頭306中，一般而言，於構成噴嘴列 3 05之複數之噴嘴304的墨水吐出量，有不一致的情形。 例如，噴墨頭306係如圖26 ( a )所示，具有對應於噴嘴 列305之兩端部的位置之吐出量爲多，該中央部爲次多， 此等之中間部之吐出量爲少之墨水吐出待性Q。然而，於 圖26 ( a )中，噴嘴304之數顯示180個之情形。 考量如此墨水吐出量之參差時，如圖25 ( b )所示， 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -6 - 561106 A7 B7 五、發明説明（4 ) 經由噴墨頭306形成減色片單兀303時，於圖26(b)中 ，於對應於位於噴墨頭306之兩端部的噴嘴之濾色片單元 3 03之形成範圍P1或對應於位於中央部之噴嘴的濾色片 單元303之形成範圍P2 ’形成濃度濃之線條，彩色濾色 片之平面性光透過特性或反射特性會有不均勻之問題。又 ，經由此時，於形成範圍P1及P2之雙方，有形成濃度濃 之線條的情形。 又，經由如此噴墨法製造彩色濾色片之時，要求噴墨 頭之噴嘴正確通過畫素，即顯示點形成之範圍上，且於適 切位置吐出墨水地，正確移動噴墨頭。但是，對於如此之 問題，未能充分加以解決爲現今的狀況。 具體說明此等之時，爲如下所述。即，墨水之吐出所 成濾色片元件或發光層之形成時，即畫素之形成時，爲防 止欲置入1個畫素形成範圍之墨水向鄰接之其他之畫素形 成範圍漏出而產生混色，需經由將噴嘴通過畫素形成範圍 之正上，將墨水滴儘可能附著於畫素之中心。假使，噴嘴 不在畫素形成範圍之正上之時，無法自噴嘴吐出墨水。 有如此理想的另一方面，點換行方向（即副掃瞄方向 )之畫素相互之排列間隔（即濾色片元件間隔或畫素間隔 )，和副掃瞄方向之噴嘴相互之排列間隔（即噴嘴間隔） 係在通常爲不一致。於此狀態，將噴墨頭單純進行主掃瞄 時，會產生不通過畫素形成範圍之正上的噴嘴，即無法使 用之噴嘴，而產生噴嘴之使用率（即描繪效率）下降的問 題。對於此問題，在於以往未充分地加以解決。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閲讀背面之注意事 項再填· 寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 561106 A7 _B7___ 五、發明説明（5 ) 本發明有鑑於上述之問題，在於製造彩色濾色片或電 激發光基板時之噴墨頭之掃瞄時，藉由該噴墨頭之所有噴 嘴，經由正確通過畫素形成之範圍上，提高噴嘴之使用效 率爲目的。 又，本發明係經由將噴墨頭對於對象物正確地移動， 可將墨水吐出於對象物上之適切位置，由此，防止每一晝 素之色不均，平面性均勻化彩色濾色片之光透過特性，或 液晶顯示裝置之彩色顯示特性，或發光層之發光特性等之 光學柿件之光學特性爲目的。 【爲解決課題之手段】 本發明人等爲達成上述目的，進行硏究的結果，位於 複數之噴墨頭中之相互鄰接之各最端部的噴嘴中，將相互 最接近之噴嘴間之相互間隔（W )、及印表頭（液滴材料 吐出機構），於噴頭掃瞄方向及噴頭換行方向（即，縱橫 之方向），將主掃瞄及副掃瞄時之換行方向之副掃瞄移動 間隔（D)經由特定於噴嘴之一定排列間隔（d )之實質 上整數倍，發現可達成上述目的，以完仍本發明。即，經 由本發明可提供以下之彩色濾色片之製造方法及製造裝置 ，液晶顯示裝置之製造方法及製造裝置，電激發光基板之 製造方法及製造裝置，電激發光裝置之製造方法及製造裝 置’成膜方法及成膜裝置，光電裝置及其製造方法以及電 子機器。 (1)有關本發明之彩色濾色片之製造方法，係具備 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閱讀背面之注意事項 項再填寫士 本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -8- 561106 Α7 Β7 五、發明説明（6 ) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 將複數之噴嘴以所定之間隔排列的複數之噴頭，向噴頭掃 瞄方向移動，主掃瞄基板的工程，和在交叉於前述噴頭掃 瞄方向之噴頭換行方向，以所定之移動間隔加以移動，副 掃瞄前述基板之工程，和自前述複數之噴嘴，將濾色片材 料吐出至前述基板上之濾色片元素形成範圍的工程；前述 複數之噴頭中，位於鄰接噴頭之各最端部的前述噴嘴間之 相互間隔（W )及前述噴嘴之一定之排列間隔（D )係實 質上滿足 W = m D (惟，m係2以上之整數）之關係式，前述噴 頭之副掃瞄移動間隔（P )及前述噴嘴之一定之排列間隔 C D )係實質上滿足P = n D (惟，η係1以上之整數）之 關係式爲特徵者。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 經由此構成，於噴頭之1次之主掃瞄，雖然通過畫素 所形成之範圍附近，仍可減少於鄰接畫素吐出濾色片材料 之疑慮。又，於所有之主掃目苗中，可減少無法吐出德色片 材料之噴嘴，或使之消除，因此，可提升噴嘴之使用效率 (即描繪效率）。即，由於與噴頭之掃瞄次數之關連，可 有效率配設濾色片元件.。 更且，經由噴頭，僅需吐出必要量之濾色片材料，即 可形成期望範圍內之濾色片元件，因此，無需經過使用微 縮術法之時的曝光、顯像、洗淨等之複雜工程，又可削減 製造上必要之濾色片材料的使用量。 (2)於上述構成之彩色濾色片之製造方法，其中， 將前述噴頭對於前述噴頭換行方向，以0° <0 <180。之角 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ297公釐） -9 - 561106 A7 _B7 ___ 五、發明説明（7 ) 度加以排列， (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 位於鄰接噴頭之各最端部的前述噴嘴間之相互間隔（ W )及前述噴嘴之前述換行方向之排列間隔（Dcos 0 )係 實質上滿足 W = m Dcos 0 (惟，m係2以上之整數） 之關係式，前述噴頭之前述噴頭換行方向之副掃瞄移動間 隔（P)及前述噴嘴之前述噴頭換行方向之排列間隔（ Dcos0 )係實質上滿足 P = n Dcos 0 (惟，η係1以上之整數） 之關係式。 根據此構成之時，對於副掃瞄方向之各濾色片單元間 之間隔（即，濾色片單元間隔），可將噴嘴排列間隔成爲 實質上整數倍，可使用液滴材料吐出噴頭（噴墨頭）內之 所有噴嘴有效率地配設濾色片單元。 (3 )上述構成之彩色濾色片之製造方法中，位於前 述噴頭之端部的前述噴嘴係於前述基板上之前述濾色片元 素形成範圍，不吐出前述濾色片材料地加以構成爲佳。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 根據此構成，即使使用濾色片材料之吐出分布特性大 爲變化之液滴材料吐出噴頭（噴墨頭）時，可自該液滴材 料吐出噴頭（噴墨頭）吐出適切量之墨水，因此，可配設 於基板之濾色片單元形成範圍，即於畫素形成範圍具有均 勻之平面形狀及厚度的濾色片單元，因此，可防止每一畫 素之顏色的參差不齊。 (4)於上述構成之彩色濾色片之製造方法中，將前 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ297公釐） -10- 561106 A7 B7 五、發明説明（8 ) 述濾色片材料由複數色之液體狀材料所構成，包含於各前 述複數之噴頭的前述複數之噴嘴，吐出前述複數色中之一 部份者而構成。 假使，所有之噴頭爲僅吐出一部分之液體狀材料時， 仍需將剩餘之種類的顏色使用其他之機械，或進行液體狀 材料交換加以對應。對此，根據上述之構成時，可將不同 之顏色的液體狀材料按每噴頭同時加以吐出，因此，於基 板之濾色片單元形成範圍、即於畫素形成範圍，可提高配 設濾色片單元時之噴嘴之使用效率，即可提高描繪效率。 在此，做爲複數色一般而言使用R (紅）、G (綠） 及B (藍）之3種墨水，當然亦可使用例如C (青藍）、 Μ (紫紅）及Y (黃色）等之墨水。 (5)於上述構成之彩色濾色片之製造方法中，將前 述濾色片材料由複數色之液體狀材料所構成，包含於各前 述複數之噴頭的前述複數之噴嘴，吐出各前述複數色而構 成。 假使，所有之噴頭爲僅吐出一部分之液體狀材料時， 仍需將剩餘之種類的顏色使用其他之機械，或進行液體狀 材料交換加以對應。對此，根據上述之構成時，可將不同 之顏色的液體狀材料按每噴頭同時加以吐出，因此，於基 板之濾色片單元形成範圍、即於畫素形成範圍，可提高配 設濾色片單元時之噴嘴之使用效率，即可提高描繪效率。 在此，做爲複數色一般而言使用R (紅）、G (綠） 及Β (藍）之3種墨水，當然亦可使用例如C (青藍）、 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS〉Α4規格（210Χ297公釐） (請先閲讀背面之注意事 -項再填· :寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -11 - 561106 Α7 Β7 五、發明説明（9 ) Μ (紫紅）及Y (黃色）等之墨水。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) (6) 接著，有關本發明之彩色濾色片之製造裝置， 係具有吐出液滴狀之濾色片材料的複數之噴嘴，和將前述 複數之噴嘴以一定之排列間隔（D )加以排列的複數之噴 頭，和將前述噴頭向噴頭掃瞄方向移動之主掃瞄驅動手段 ，和將前述噴頭向交叉於前述噴頭掃瞄方向之噴頭換行方 向，以所定之移動間隔（Ρ )加以移動之副掃瞄驅動手段 ;前述複數之噴頭中，位於鄰接噴頭之各最端部的前述噴 嘴間之相互間隔（W)及前述噴嘴之一定之排列間隔（D )係實質上滿足 W = m D (惟，m係2以上之整數） 之關係式，前述噴頭之副掃瞄移動間隔（P )及前述噴嘴 之一定之排列間隔（D )係實質上滿足 P = nD (惟，η係1以上之整數） 之關係式爲特徵。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 經由此構成，於噴頭之1次之主掃瞄，雖然通過畫素 所形成之範圍附近，仍可減少於鄰接畫素吐出濾色片材料 之疑慮。又，於所有之主掃瞄中，可減少無法吐出濾色片 材料之噴嘴，或使之消除，因此，可提升噴嘴之使用效率 (即描繪效率）。即，由於與噴頭之掃瞄次數之關連’可 有效率配設濾色片元件.。 (7) 於上述構成之彩色濾色片之製造方法中’將前 述噴頭對於前述噴頭換行方向，以〇° <θ <180°之角度加 以排列，位於鄰接噴頭之各最端部的前述噴嘴間之相互間 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X297公釐） 561106 A 7 B7 五、發明説明（10 ) 隔（w)及前述噴嘴之前述換行方向之排列間隔（Dcos θ )係實質上滿足 W = m Dcos 0 (惟，m係2以上之整數） 之關係式，前述噴頭之前述噴頭換行方向之副掃目苗移動間 隔（P )及前述噴嘴之前述噴頭換行方向之排列間隔（

Dcos0 )係實質上滿足 P = nDcos0 (惟，η係1以上之整數） 之關係式而構成。 根據此構成之時’對於副掃瞄方向之各濾色片單兀間 之間隔（即，濾色片單元間隔）’可將噴嘴排列間隔成爲 實質上整數倍，可使用液滴材料吐出噴頭（噴墨頭）內之 所有噴嘴有效率地配設濾色片單元。 (8 )接著，有關本發明之液晶顯示裝置之製造方法 ，係屬於具備形成彩色濾色片之工程的液晶顯示裝置之製 造方法中，經由以上所述彩色濾色片之製造方法形成彩色 濾色片爲特徵者。根據此彩色濾色片之製造方法時，可有 效率製造具備優異光學特性之彩色濾色片，彩色顯示特性 平面性均勻化之液晶顯示裝置。 (9 )接著，有關液晶顯示裝置之製造裝置，屬於製 造具備彩色濾色片之液晶顯示裝置之製造裝置中，具備如 上記載之彩色濾色片之製造裝置爲特徵者。根據此彩色據 色片之製造方法時，可有效率製造具備優異光學特性之彩 色濾色片，彩色顯示特性平面性均勻化之液晶顯示裝置。 (10)接著，有關本發明之電激發光基板之製造方法 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 項再填办 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -13- 561106 A 7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明説明（11 ) ，係具備將複數之噴嘴以所定之間隔排列的複數之噴頭’ 向噴頭掃瞄方向移動，主掃瞄基板的工程，和在交叉於前 述噴頭掃瞄方向之噴頭換行方向，以所定之移動間隔加以 移動，副掃瞄前述基板之工程，和自前述複數之噴嘴，將 機能層形成材料吐出至前述基板上之機能層形成範圍的工 程；前述複數之噴頭中，位於鄰接噴頭之各最端部的前述 噴嘴間之相互間隔（W)及前述噴嘴之一定之排列間隔（ D)係實質上滿足 W = m D (惟，m係2以上之整數） 之關係式，前述噴頭之副掃瞄移動間隔（P )及前述噴嘴 之一定之排列間隔（D )係實質上滿足 P = n D (惟，η係1以上之整數） 之關係式爲特徵。 經由此構成，於噴頭之1次之主掃瞄，雖然通過機能 層所形成之範圍附近，仍可減少於鄰接機能層吐出機能層 形成材料之疑慮。又，於所有之主掃瞄中，可減少無法吐 出機能層形成材料之噴嘴，或使之消除，因此，可提升噴 嘴之使用效率（即描繪效率）。即，由於與噴頭之掃瞄次 數之關連，可有效率配設濾色片元件.。 更且’經由噴頭，僅需吐出必要量之機能層形成材料 ’即可形成期望範圍內之機能層，因此，無需經過使用微 縮術法之時的曝光、顯像、洗淨等之複雜工程，又可削減 製造上必要之機能層形成材料的使用量。 (1η於上述構成之電激發光基板之製造方法中，將 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 項再填· 裝· 訂 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X29*7公釐） -14- 561106 A 7 B7 五、發明説明（12 ) 前述噴頭對於前述噴頭換行方向’以〇° <θ<18〇°之角度 加以排列， (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 位於鄰接噴頭之各最端部的前述噴嘴間之相互間隔（ W )及前述噴嘴之前述換行方向之排列間隔（Dcos 0 )係 實質上滿足 W = m Dcos 0 (惟，m係2以上之整數） 之關係式，前述噴頭之前述噴頭換行方向之副掃瞄移動間 隔（P )及前述噴嘴之前述噴頭換行方向之排列間隔（ Dcos 0 )係實質上滿足 P = n Dcos 0 (惟，η係1以上之整數） 之關係式而構成。 根據此構成之時，對於副掃瞄方向之各機能層間之間 隔（即，機能層間隔），可將噴嘴排列間隔成爲實質上整 數倍，可使用液滴材料吐出噴頭（噴墨頭）內之所有噴嘴 有效率地配設機能層。 (12)於上述構成之電激發光基板之製造方法中，位 於前述噴頭之端部的前述噴嘴係於前述基板上之前述機能 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 層形成範圍，不吐出前述前述機能層形成材料地加以構成 〇 根據此構成，即使使用機能層形成材料，即液體狀材 料之吐出分布特性大爲變化之液滴材料吐出噴頭（噴墨頭 )時，可自該液滴材料吐出噴頭（噴墨頭）吐出適切量之 墨水，因此，可配設於基板之機能層形成範圍，即於畫素 形成範圍具有均勻之平面形狀及厚度的機能層，因此，可 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -15- 561106 A 7 B7 五、發明説明（13 ) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 防止每一畫素之顏色的參差不齊。然而，如此可防止顏色 之不均之顏色中，包含分光透過率、反光反射率（Yxy) 等之藍色系所表示之顏色。 (13) 於上述構成之電激發光基板之製造方法中’前 述機能層形成材料係發光層形成材料爲佳。 (14) 於上述構成之電激發光基板之製造方法中，前 述機能層形成材料係正孔植入輸送層形成材料爲佳。 (15) 於上述構成之電激發光基板之製造方法中，前 述機能層形成材料係包含經由發光層形成材料及正孔植入 輸送層形成材料所成群選擇之材料爲佳。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 (16) 於上述構成之電激發光基板之製造方法中，前 述發光層形成材料係包含發光色之不同之複數材料，各前 述噴頭，將各對應於前述發光色之不同之複數材料中的一 個，自各前述噴嘴吐出爲佳。假使，所有之噴頭爲僅吐出 一部分之發光層形成狀材料時，仍需將剩餘之種類的顏色 使用其他之機械，或進行發光層形成材料交換加以對應。 對此，根據上述之構成時，可將不同之顏色的發光層形成 材料按每噴頭同時加以吐出，因此，於基板之發光層形成 範圍、即於畫素形成範圍，可提高配設發光層時之描繪效 率，即噴嘴之使用效率，即可提高描繪效率。 在此，做爲複數色一般而言使用R (紅）、G (綠） 及B(藍）之3種墨水，當然亦可使用例如C(青藍）、 Μ (紫紅）及Y (黃色）等之發光層形成材料。 (17) 於上述構成之電激發光基板之製造方法中，前 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -16 - 561106 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7五、發明説明（14 ) 述發光層形成材料係包含發光色之不同之複數材料，各前 述複數之噴嘴，吐出各對應於前述發光色之不同之複數材 料中的一個爲佳。 假使’所有之噴頭爲僅吐出一部分之發光層形成狀材 料時’仍需將剩餘之種類的顏色使用其他之機械，或進行 發光層形成材料交換加以對應。對此，根據上述之構成時 ’可將不同之顏色的發光層形成材料按每噴頭同時加以吐 出’因此’於基板之發光層形成範圍、即於畫素形成範圍 ，可提高配設發光層時之描繪效率。 在此，做爲複數色一般而言使用R (紅）、G (綠） 及B (藍）之3種之發光層形成材料，當然使用例如C( 青藍）、Μ (紫紅）及Y (黃色）等之發光層形成材料亦 無妨。 (18)·接著，有關本發明之電激發光基板之製造裝置 ’係具有吐出液滴狀之機能層形成材料的複數之噴嘴，和 將前述複數之噴嘴以一定之排列間隔（D )加以排列的複 數之噴頭，和將前述噴頭向噴頭掃瞄方向移動之主掃瞄驅 動手段，和將前述噴頭向交叉於前述噴頭掃瞄方向之噴頭 換行方向，以所定之移動間隔（Ρ )加以移動之副掃瞄驅 動手段；前述複數之噴頭中，位於鄰接噴頭之各最端部的 前述噴嘴間之相互間隔（W )及前述噴嘴之一定之排列間 隔（D)係實質上滿足 W = m D (惟，m係2以上之整數） 之關係式，前述噴頭之副掃瞄移動間隔（P )及前述噴嘴 (請先閱讀背面之注意事_

J# •項再填I 裝-- 寫本頁) 訂 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -17- 561106 A7 B7_ 五、發明説明（15 ) 之〜定之排列間隔（D )係實質上滿足 P = n D (惟，η係1以上之整數） 之關係式爲特徵。 經由此構成，於噴頭之1次之主掃瞄，雖然通過機會g 層所形成之範圍附近，仍可減少於鄰接晝素吐出機能層形 成材料之疑慮。又，於所有之主掃瞄中，可減少無法吐出 機能層形成材料之噴嘴，或使之消除，因此，可提升噴嘴 之使用效率（即描繪效率）。即，由於與噴頭之掃瞄次數 之關連，可有效率配設濾色片元件.。 更且，經由噴頭，僅需吐出必要量之機能層形成材料 ’即可形成期望範圍內之機能層，因此，無需經過使用微 縮術法之時的曝光、顯像、洗淨等之複雜工程，又可削減 製造上必要之機能層形成材料的使用量。 (19)上述構成之電激發光基板之製造裝置，其中， 將前述噴頭對於前述噴頭換行方向，以0° < 0 <180°之角 度加以排列，位於鄰接噴頭之各最端部的前述噴嘴間之相 互間隔（W)及前述噴嘴之前述換行方向之排列間隔（ Dcos0 )係實質上滿足 W = m Dcos 0 (惟，m係2以上之整數） 之關係式，前述噴頭之前述噴頭換行方向之副掃猫移動間 隔（P )及前述噴嘴之前述噴頭換行方向之排列間隔（ Dcos0 )係實質上滿足 P = n Dcos 0 (惟，η係1以上之整數） 之關係式而構成。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X 297公釐） (請先閲讀背面之注意事' -項再填· :寫本頁} 經濟部智慧財產局S工消費合作社印製 -18- 561106 A7 B7 五、發明説明（16 ) 根據此構成之時，對於副掃瞄方向之各機能層間之間 隔（即，機能層間隔），可將噴嘴排列間隔成爲實質上整 數倍，可使用液滴材料吐出噴頭（噴墨頭）內之所有噴嘴 有效率地配設機能層。 (20) 接著、有關電激發光裝置之製造方法，屬於具 備形成機能層之工程的電激發光裝置之製造方法中，經由 以上所記載之電激發光基板之製造方法形成機能層爲特徵 者。根據此電激發光裝置之製造方法，可有效率製造具備 光學特性優異之電激發光基板，顯示特性平面性均勻化之 電激發光裝置。 (21) 接著、有關電激發光裝置之製造裝置，屬於製 造具備電激發光基板之電激發光裝置之製造裝置中，具備 以上述記載之電激發光基板之製造裝置而成爲特徵。根據 此電激發光裝置之製造裝置時，可有效率製造具備光學特 性優異之電激發光基板，顯示特性平面性均勻化之電激發 光裝置。 (22 )接著，有關本發明之噴頭掃瞄方法，係具備將 複數之噴嘴以所定之間隔排列的複數之噴頭，向噴頭掃瞄 方向移動，主掃瞄基板的工程，和在交叉於前述噴頭掃瞄 方向之噴頭換行方向，以所定之移動間隔加以移動，副掃 瞄前述基板之工程，和自前述複數之噴嘴，將吐出材料吐 出至前述基板的工程；前述複數之噴頭中，位於鄰接噴頭 之各最端部的前述噴嘴間之相互間隔（W )及前述噴嘴之 一定之排列間隔（D )係實質上滿足 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閲讀背面之注意事 項再填· :寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -19- 561106 A7 B7 五、發明説明（17 ) W = m D (惟，m係2以上之整數） 之關係式，前述噴頭之副掃瞄移動間隔（P)及前述噴嘴 之一定之排列間隔（D )係實質上滿足 P = n D (惟，η係1以上之整數） 之關係式爲特徵。 經由此構成，於噴頭之1次之主掃瞄，雖然通過要素 所形成之範圍附近，仍可減少在於鄰接要素吐出吐出物之 疑慮。又，於所有之主掃瞄中，可減少無法吐出吐出物之 噴嘴，或使之消除，因此，可提升噴嘴之使用效率（即描 繪效率）。即，由於與噴頭之掃瞄次數之關連，可有效率 配設濾色片元件.。 更且，經由噴頭，僅需吐出必要量之吐出物，即可形 成期望範圍內之要素，因此，無需經過使用微縮術法之時 的曝光、顯像、洗淨等之複雜工程，又可削減製造上必要 之機能層形成材料的使用量。上述構成之噴頭之掃瞄方法 ，係考量例如各種半導體元件（例如，薄膜電晶體、薄膜 二極體等）、配線圖案、及絕緣膜之形成等做爲該利用範 圍之一例。 然而，吐出物係對應於形成之要素，可進行種種選擇 ，例如可考量除了上述濾色片材料、機能層形成材料之外 ，矽玻璃先驅體、金屬化合物等之導電性材料、介電質材 料、或半導體材料做可爲該一例。 (23)上述構成之噴頭掃瞄方法中，將前述噴頭對於 前述噴頭換行方向，以0° < 0 <180°之角度加以排列，位 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X297公釐） (請先閲讀背面之注意事_ 項再填· 寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -20- 561106 Α7 Β7 五、發明説明（18 ) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 於鄰接噴頭之各最端部的前述噴嘴間之相互間隔（w)及 前述噴嘴之前述換行方向之排列間隔（Dcos 0 )係實質上 滿足 W = mDcos0 (惟，m係2以上之整數） 之關係式，前述噴頭之前述噴頭換行方向之副掃瞄移動間 隔（P )及前述噴嘴之前述噴頭換行方向之排列間隔（ Dcos0 )係實質上滿足 P = nDcos0 (惟，η係1以上之整數） 之關係式而構成。 根據此構成之時，對於副掃瞄方向之各要素間之間隔 ，可將噴嘴排列間隔成爲實質上整數倍，可使用液滴材料 吐出噴頭（噴墨頭）內之所有噴嘴有效率地配設吐出物。 (24)上述構成之噴頭掃瞄方法中，位於前述噴頭之 端部的前述噴嘴係於前述基板上之吐出物附著範圍，不吐 出前述吐出材料地加以構成。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 根據此構成，使用吐出物之吐出分布特性大爲變化之 液滴材料吐出噴頭（噴墨頭）時，可自該液滴材料吐出噴 頭（噴墨頭）吐出適切量之吐出物，即，可吐出吐出材料 ，因此，於基板之要素形成範圍，即於畫素形成範圍可配 設具有均勻之平面形狀及厚度的要素，因此，可防止每一 要素之特性的參差不齊。 (25 )上述構成之噴頭掃瞄方法中，前述吐出材料係 包含特性之不同之複數材料，各前述噴頭，將各對應於前 述特性之不同之複數材料中的一個，自各前述噴嘴吐出爲 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ297公釐） -21 - 561106 A7 B7 五、發明説明（19 ) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 佳。假使，所有之噴頭爲僅吐出一種之吐出材料時，仍需 將剩餘之種類的顏色使用其他之機械，或進行墨水交換加 以對應。對此，根據上述之構成時，可將特性不同之吐出 材料按每噴頭同時加以吐出，因此，於基板之要素形成範 圍、即於畫素形成範圍，可提高配設要素時之描繪效率， 即噴嘴之使用效率，即可提高描繪效率。 (26)於上述構成之噴頭掃瞄方法中，前述吐出材料 係包含特性之不同之複數材料，各前述複數之噴嘴，吐出 各對應於前述特性之不同之複數材料中的一個爲佳。假使 ，噴頭爲僅吐出一種之吐出材料時，所有噴頭吐出同樣種 類之吐出材料之時，仍需將剩餘之種類的顏色使用其他之 機械，或進行吐出材料之交換加以對應。對此，根據上述 之構成時，可將特性不同之吐出材料按每噴頭同時加以吐 出，因此，於基板之要素形成範圍，可提高配設要素時之 描繪效率，即噴嘴之使用效率，即可提高描繪效率。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 (27 )接著，有關本發明之噴頭掃瞄裝置，係具有吐 出液滴狀之吐出材料的複數之噴嘴，和將前述複數之噴嘴 以一定之排列間隔（D )加以排列的複數之噴頭，和將前 述噴頭向噴頭掃瞄方向移動之主掃瞄驅動手段，和將前述 噴頭向交叉於前述噴頭掃瞄方向之噴頭換行方向，以所定 之移動間隔（P )加以移動之副掃瞄驅動手段；前述複數 之噴頭中，位於鄰接噴頭之各最端部的前述噴嘴間之相互 間隔（W)及前述噴嘴之一定之排列間隔（D )係實質上 滿足 -22- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 561106 A7 B7_____ 五、發明説明（2〇 ) W = m D (惟，m係2以上之整數） 之關係式， (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 前述噴頭之副掃瞄移動間隔（P)及前述噴嘴之一定 之排列間隔（D )係實質上滿足 P = n D (惟，η係1以上之整數） 之關係式爲特徵。 經由此構成，於噴頭之1次之主掃瞄，雖然通過要素 所形成之範圍附近，仍可減少在於鄰接要素吐出吐出物， 即吐出墨水之疑慮。又，於所有之主掃瞄中，可減少無法 吐出吐出物之噴嘴，或使之消除，因此，可提升噴嘴之使 用效率（即描繪效率）。即，由於與噴頭之掃瞄次數之關 連，可有效率配設要素.。 更且，經由噴頭，僅需吐出必要量之吐出物，即可形 成期望範圍內之要素，因此，無需經過使用微縮術法之時 的曝光、顯像、洗淨等之複雜工程，又可削減製造上必要 之吐出材料的使用量 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 (28)上述構成之噴頭掃瞄裝置中，將前述噴頭對於 前述噴頭換行方向，以0° < 0 <180°之角度加以排列，位 於鄰接噴頭之各最端部的前述噴嘴間之相互間隔（W)及 前述噴嘴之前述換行方向之排列間隔（Dcos0 )係實質上 滿足 W = m Dcos 0 (惟，m係2以上之整數） 之關係式，前述噴頭之前述噴頭換行方向之副掃瞄移動間 隔（P )及前述噴嘴之前述噴頭換行方向之排列間隔（ _ » 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 561106 A7 B7 五、發明説明（21 )

Dc〇S0 )係實質上滿足 P = n Dcos 0 (惟，η係1以上之整數） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 之關係式而構成。 根據此構成之時，對於副掃瞄方向之各要素間之間隔 ，可將噴嘴排列間隔成爲實質上整數倍，可使用液滴材料 吐出噴頭（噴墨頭）內之所有噴嘴有效率地配設各要素。 (29 )接著，有關本發明之成膜方法，係具備將複數 之噴嘴以所定之間隔排列的複數之噴頭，向噴頭掃瞄方向 移動，主掃瞄基板的工程，和在交叉於前述噴頭掃瞄方向 之噴頭換行方向，以所定之移動間隔加以移動，副掃瞄基 板之工程，和自前述複數之噴嘴，將膜材料吐出至前述基 板上之膜形成範圍的工程；前述複數之噴頭中，位於鄰接 噴頭之各最端部的前述噴嘴間之相互間隔（W )及前述噴 嘴之一定之排列間隔（D )係實質上滿足 W与mD (惟，m係2以上之整數） 之關係式，前述噴頭之副掃瞄移動間隔（P )及前述噴嘴 之一定之排列間隔（D )係實質上滿足 P与n D (惟，η係1以上之整數） 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 之關係式爲特徵。 經由此構成，於噴頭之1次之主掃瞄，雖然通過欲吐 出膜材料之範圍（以下，稱之爲吐出目標範圍）之附近， 仍可減少在於鄰接之吐出目標範圍，吐出膜材料之疑慮。 又，於所有之主掃瞄中，可減少無法吐出膜材料之噴嘴， 或使之消除，因此，可提升噴嘴之使用效率（即描繪效率 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ297公釐） -24- 561106 A 7 B7 五、發明説明（22 ) )。更且，由於與噴頭之掃瞄次數之關連，可有效率形成 膜。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 更且，經由噴頭，僅需吐出必要量之膜材料，即於期 望範圍內形成膜，因此’無需經過使用微縮術法之時的曝 光、顯像、洗淨等之複雜工程，又可削減製造上必要之膜 材料的使用量。 (30)上述構成之成膜方法中，將前述噴頭對於前述 噴頭換行方向，以0° < 0 <180°之角度加以排列，位於鄰 接噴頭之各最端部的前述噴嘴間之相互間隔（W )及前述 噴嘴之前述換行方向之排列間隔（Dcos 0 )係實質上滿足 W#mDcos0 (惟，m係2以上之整數） 之關係式，前述噴頭之前述噴頭換行方向之副掃瞄移動間 隔（P )及前述噴嘴之前述噴頭換行方向之排列間隔（ Dc〇S0 )係實質上滿足 P与n Dcos 0 (惟，η係1以上之整數） 之關係式而構成。 經濟部智慧財度局員工消費合作社印製 根據此構成之時，對於副掃瞄方向之各吐出目標範圍 間之間隔，可將噴嘴排列間隔成爲實質上整數倍，可使用 液滴材料吐出噴頭（噴墨頭）內之所有噴嘴有效率地吐出 膜材料。 (3 1 )上述構成之成膜方法中，位於前述噴頭之端部 的前述噴嘴係於前述基板上之膜形成範圍，不吐出前述膜 材料地加以構成。 根據此構成，使用膜材料之吐出分布特性大爲變化之 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -25- 561106 A7 B7 五、發明説明（23 ) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 液滴材料吐出噴頭（噴墨頭）時，可自該液滴材料吐出噴 頭（噴墨頭）吐出適切量之膜材料，即可吐出液體狀材料 ，因此，於基板之膜形成範圍，形成具有均勻之平面形狀 及厚度的膜，因此，可防止膜之特性的參差不齊。 (32)上述構成之成膜方法中，前述膜材料係包含特 性之不同之複數之膜材料，各前述噴頭，將各對應於前述 特性之不同之複數之膜材料中的一個，自各前述噴嘴吐出 爲佳。假使，所有之噴頭爲僅吐出一種之膜材料時，仍需 將剩餘之種類的膜材料使用其他之機械，或進行膜材料之 交換加以對應。對此，根據上述之構成時，可將不同種類 之膜材料按每噴頭同時加以吐出，因此，可提高於基板之 膜形成範圍，吐出膜材料時之噴嘴之使用效率，即可提高 描繪效率。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 (33 )上述構成之成膜方法中，前述膜材料係包含特 性之不同之複數材料，各前述複數之噴嘴，吐出各對應於 前述特性之不同之複數材料中的一個爲佳。假使，噴頭爲 僅吐出一種之膜材料時，噴頭之所有吐出同樣之種類之膜 材料時，仍需將剩餘之種類的膜材料使用其他之機械，或 進行膜材料之交換加以對應。對此，根據上述之構成時， 可將複數種類之各膜材料，同時加以吐出，因此，可提高 於基板之膜形成範圍，吐出膜材料時之描繪效率。 (34 )接著，有關本發明之成膜裝置，係具有吐出液 滴狀之膜材料的複數之噴嘴，和將前述複數之噴嘴以一定 之排列間隔（D )加以排列的複數之噴頭，和將前述噴頭 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -26- 561106 A7 B7 五、發明説明（24 ) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 向噴頭掃瞄方向移動之主掃瞄驅動手段，和將前述噴頭向 交叉於前述噴頭掃瞄方向之噴頭換行方向，以所定之移動 間隔（P )加以移動之副掃瞄驅動手段；前述複數之噴頭 中，位於鄰接噴頭之各最端部的前述噴嘴間之相互間隔（ W)及前述噴嘴之一定之排列間隔（D )係實質上滿足 W与mD (惟，m係2以上之整數） 之關係式，前述噴頭之副掃瞄移動間隔（P)及前述噴嘴 之一定之排列間隔（D )係實質上滿足 P与nD (惟，η係1以上之整數） 之關係式爲特徵。 經由此構成，於噴頭之1次之主掃瞄，雖然通過欲吐 出膜材料之範圍（以下，稱之爲吐出目標範圍）之附近， 仍可減少在於鄰接之吐出目標範圍，吐出膜材料之疑慮。 又，於所有之主掃瞄中，可減少無法吐出膜材料之噴嘴， 或使之消除，因此，可提升噴嘴之使用效率（即描繪效率 )。更且，由於與噴頭之掃瞄次數之關連，可有效率形成 膜。 經濟部智慈財產局員工消費合作社印製 更且，經由噴頭，僅需吐出必要量之膜材料，即於期 望範圍內形成膜，因此，無需經過使用微縮術法之時的曝 光、顯像、洗淨等之複雜工程，又可削減製造上必要之膜 材料的使用量。 (35)於上述構成之成膜裝置中，將前述噴頭對於前 述噴頭換行方向，以0° < 0 <180°之角度加以排列，位於 鄰接噴頭之各最端部的前述噴嘴間之相互間隔（W)及前 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ297公釐） -27- 561106 A7 B7 五、發明説明（25 ) 述噴嘴之前述換行方向之排列間隔（D c 〇 s (9 )係實質上滿 足 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) W与mDcos0 (惟’ m係2以上之整數） 之關係式，前述噴頭之前述噴頭換行方向之副掃瞄移動間 隔（P )及前述噴嘴之前述噴頭換行方向之排列間隔（ Dc〇S0 )係實質上滿足 P与nDcos0 (惟，η係1以上之整數） 之關係式而構成。 根據此構成之時，對於副掃瞄方向之各吐出目標範圍 間之間隔，可將噴嘴排列間隔成爲實質上整數倍，可使用 液滴材料吐出噴頭（噴墨頭）內之所有噴嘴有效率地吐出 膜材料。 (36) 本發明之光電裝置之製造方法，係使用上述（ 26 )之構成之成膜方法爲特徵。 (37) 本發明之光電裝置，係經由（33)之構成之之 光電裝置之製造方法加以製造爲特徵。 (38) 本發明之電子機器，係包含上述（34)之構成 之光電裝置爲特徵。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 (39 )本發明之電子機器，係包含經由上述（8 )之 構成之液晶顯示裝置之製造方法所製造之液晶顯示裝置爲 特徵。 (40 )本發明之電子機器係包含經由上述（17 )之構 成之電激發光裝置之製造方法所製造之電激發光裝置爲特 徵0 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ297公釐） -28- 561106 A7 B7 五、發明説明（26 ) 【發明之實施形態】 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 以下，將本發明之實施形態，參照圖面具體加以說明 。圖1係顯示有關本發明之彩色濾色片之製造方法之一實 施形態的噴墨頭（液滴材料吐出頭）22之使用方法。此 實施形態中，如圖1所示，使用將1個以上之噴墨頭（液 滴材料吐出頭）22，以所定之鄰接間隔加以排列的列表頭 (液滴材料吐出機構）22a。各噴墨頭（液滴材料吐出頭 )22係具有以一定之排列間隔D，成爲列狀排列之複數 之噴嘴27。 列表頭（液滴材料吐出機構）22a係於一定方向之噴 頭掃瞄方向（圖1(A)爲縱方向之X方向），主掃瞄基 板2的同時，於正交於該噴頭掃瞄方向的噴頭換行方向（ 圖1 ( A)爲橫方向之Y方向），以所定之移動間隔副掃 瞄基板2。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 各噴墨頭（液滴材料吐出頭）22係自各個複數之噴 嘴27，做爲墨水，吐出濾色片材料，此吐出之濾色片材 料則選擇供給於基板2上之複數濾色片元件形成範圍7 , 即選擇供給於畫素形成範圍。更且，對應於需要，複數次 重覆噴墨頭（液滴材料吐出頭）22之主掃瞄及副掃瞄， 將濾色片材料於基板2之濾色片元件形成範圍7，以所定 形狀及所定厚度加以附著。由此，於基板2上，形成所定 形狀及所定厚度之濾色片單元3，因此，形成畫素。 如本實施形態，使用相當於R (紅）、G (綠）及b 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -29- 561106 A7 B7 五、發明説明（27 ) (藍）之3原色之濾色片單元3進行彩色顯示之時，1個 濾色片單元3形成1個之顯示點，R (紅）、G (綠）及b (藍）之3色之顯示點成爲1個單元，形成1個之晝素。 本實施形態中，將令噴嘴27之一定之排列間隔成爲 D，令位於設於相互鄰接之各噴墨頭（液滴材料吐出頭） 22之複數之噴嘴27中最端部，相互最接近者間之間隔爲 W時，設定成 W = m D (惟，m係2以上之整數）。 即，於相互鄰接之噴墨頭（液滴材料吐出頭）22間 ，相互鄰接之噴嘴27間之間隔W係成爲噴嘴27之排列 間隔D之整數倍地加以構成。 又，同時，如圖1 ( b )所示，令列表頭（液滴材料 吐出機構）22a之噴頭換行方向之副掃瞄移動間隔爲”p”， 及噴嘴27之一定之排列間隔爲”D”時，設定成爲 P = n D (惟，η係1以上之整數）。 即，噴墨頭（液滴材料吐出頭）2 2之副掃瞄之移動 間隔Ρ係成爲噴嘴27之排列間隔D之整數倍地加以構成 〇 於鄰接之噴墨頭（液滴材料吐出頭）間之噴嘴間隔w 、副掃瞄之移動間隔Ρ、及噴嘴之排列間隔D間，經由設 定如上述之關係時，於列表頭（液滴材料吐出機構）2 2 a 之主掃猫及副掃猫時，令噴嘴27向所有之丨慮色片元件形 成範圍7正確對向’可通過此等之上方，因此，可提高描 繪效率，且可於適切位置吐出墨水。然後，由此，將均勻 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） "" -30- (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 一裝· 訂 經濟部智慈財產局員工消費合作社印製 561106 A7 B7__ 五、發明説明（28 ) 平面形狀及均勻厚度之濾色片單元3,即畫素’形成於基 板2上。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 圖2係顯示有關本發明之彩色濾色片之製造方法之 其他實施形態的噴墨頭（液滴材料吐出頭）22之使用方 法。此實施形態中，1個以上之噴墨頭（液滴材料吐出頭 )22，對於噴頭換行方向Y，各僅傾斜角度0加以排列。 惟0係較0度爲大，1 80度爲小之角度。 令噴嘴27之一定之排列間隔成爲D，噴嘴27之噴頭 換行方向Y之排列間隔係Dcos 0。更且，令位於設於相 互鄰接之各噴墨頭（液滴材料吐出頭）22之複數之噴嘴 27中最端部，相互最接近者間之間隔爲W時，設定成 W = m Dcos Θ (惟，m係2以上之整數）〇 即，於相互鄰接之噴墨頭（液滴材料吐出頭）2 2間 ，相互鄰接之噴嘴27間之噴頭換行方向之間隔w係成爲 噴嘴27之噴頭換行方向之排列間隔D之整數倍地加以構 成。 經濟部智慈財產局員工消費合作社印製 又，同時，令列表頭（液滴材料吐出機構）22a之噴 頭換行方向之副掃瞄移動間隔爲” P ”（參照圖丨（b )), 成爲噴嘴27之噴頭換行方向之排列間隔Dc〇s 0之整數倍 地，即成爲 P = n Dcos 0 (惟，η係1以上之整數） 而構成。 經由如此之構成，於濾色片單元3 (參照圖丨（a )) 間之間隔（即，濾色片單元間隔）和噴嘴排列間隔D不 本紙張尺度適用中國國家樣準(CNS ) A4規格（210X297公着] -------- -31 - 561106 A7 B7 五、發明説明（29 ) 同之時，噴墨頭（液滴材料吐出頭）22所有之噴嘴27可 設定正確通過畫素之形成之範圍上，因此，使用所有噴嘴 27，於基板2上之適切位置，吐出墨水。然後，由此，可 提升彩色濾色片之畫素形成效率，即可提升描繪效率。 又，圖1或圖2所示之列表頭（液滴材料吐出機構） 22a中，位於-1個以上之噴墨頭（液滴材料吐出頭）22之 兩端部的1個以上之噴嘴27，例如兩端部之1 〇個噴嘴27 ，係於基板2上之濾色片單元形成範圍7，不吐出濾色片 單元材料地加以構成亦可。 如此之時，沿噴墨頭（液滴材料吐出頭）22之噴嘴 列28的吐出分布特性大爲變化之時，亦可由該噴墨頭（ 液滴材料吐出頭）22吐出適切量之墨水，於基板2內之 各濾色片單元形成範圍7，配設具有均勻平面形狀及厚度 的濾色片單元。 即使，如圖26 ( a )所示，使用沿噴嘴列305之所有 180個之噴嘴304時，經由自端之噴嘴列305吐出的材料 所形成之濾色片單元303，其厚度會變厚，透過率或反射 率則下降，結果，透過濾色片觀察之像中，會有產生向主 掃瞄方向延伸之帶狀部分的疑慮。 對此，如上所述，例如於圖1及圖2中，對於兩端部 之各10個噴嘴27，構成爲不吐出濾色片材料時，成爲同 等於噴嘴27之數（18CM0-10)個=160個之噴墨構成，各 濾色片單元3係成爲具有均勻平面形狀及厚度者，爲此， 所得之彩色濾色片係成爲光學性均勻之物。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 項再填ΐ 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -32- 561106 五、發明説明（3〇 ) 又，使用圖1或圖2之列表頭（液滴材料吐出機構） 22a，於基板2上形成濾色片單元3之時，將濾色片材料 經由R (紅）、G (綠）及B (藍）之3種之墨水加以構 成之時，將1個以上之噴墨頭（液滴材料吐出頭）22，各 別排列之複數之所有噴嘴27，僅吐出r (紅）、G (綠） 及B (藍）之3種之墨水的1種，形成對應之1色之濾色 片單元3地，區分成爲3種。 此時，將各1個以上之噴墨頭（液滴材料吐出頭）22 ’於列表頭（液滴材料吐出機構）2 2 a內，以所定鄰接間 隔加以排列的同時，經由該列表頭（液滴材料吐出機構） 22a，掃瞄基板2，以1次之主掃瞄，將對應於r (紅）、 G (綠）及B (藍）之各色的濾色片單元3，同時形成於 基板2上。爲此，可提升畫素形成效率，即提升描繪效率 又，可採用將濾色片材料，經由R (紅）、G (綠） 及B (藍）之3種墨水構成之時，於複數之噴墨頭（液滴 材料吐出頭）22之至少一個的內部，形仍複數例如3個 之獨立流路，於此等流路之各個中，各導入r (紅）、g C綠）及B (藍）之3種墨水中不同之一個的構成。 於此時，可自同樣噴墨頭（液滴材料吐出頭）22內 之噴嘴27吐出不同之色之墨水，可於1次之主掃瞄同時 吐出R (紅）、G (綠）及B (藍）之各色，可將對應於 各色之濾、色片單元3同時形成於基板2上。經由此方法時 ’亦可提升畫素形成效率，即提升描繪效率。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) >裝. 訂 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） -33- 561106 A7 B7 五、發明説明（31 ) (彩色濾色片之製造裝置之實施形態） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 有關本發明之彩色濾色片之製造裝置，於圖1中，製 造於基板2上，配設所定形狀及所定厚度之濾色片單元3 ，即配設晝素所成之彩色濾色片的裝置。 圖1、圖8及圖9係顯示有關本發明之彩色濾色片之 製造裝置之一實施形態。在此所示彩色濾色片之控制裝置 係具備備有複數之噴嘴27的列表頭（液滴材料吐出機構 )22a (參照圖1 )，和向複數之噴嘴27供給濾色片材料 之濾色片材料供給手段（未圖示）、和移動列表頭（液滴 材料吐出機構）22a，主掃瞄基板2之主掃瞄驅動手段19 (參照圖2及圖3 )，和移動列表頭（液滴材料吐出機構 )2 2 a副掃瞄基板2之副掃猫驅動手段2 1 (參照圖2及圖 3)，和控制噴嘴27之動作之噴嘴吐出控制手段（未圖示 )，和控制主掃瞄驅動手段19之動作之主掃瞄控制手段 (未圖示），和控制副掃瞄驅動手段2 1之動作之副掃猫 控制手段（未圖示）。 經濟部智慈財產局員工消費合作社印製 於上述構成中，列表頭（液滴材料吐出機構）22a係 將複數之噴嘴27，經由以一定排列間隔D，將成爲列狀 加以排列的1個以上之噴墨頭（液滴材料吐出頭）2 2，以 所定之鄰接間隔加以排列而形成。又濾色片材料供給手段 (未圖示）係向構成列表頭（液滴材料吐出機構）22a之 複數之噴嘴27，供給濾色片材料。被供給之此濾色片材 料係自此等之噴嘴27向基板2上之濾色片單元形成範圍 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X29*7公釐） -34- 56Π〇6 Α7

’選擇性吐出，形成濾色片單元3，即形成晝素。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 主掃瞄驅動手段1 9係將列表頭（液滴材料吐出機構 )2 2a向一定方向之噴頭掃瞄方向（即，圖1之縱方向χ )移動，掃瞄基板2。又，副掃瞄驅動手段21係將列表 頭（液滴材料吐出機構）22a向噴頭換行方向γ，以所定 之移動間隔P (參照圖1 ( b ))加以術動，副掃瞄基板2 。又’未圖不之上述噴嘴吐出控制手段係控制自複數之噴 嘴27吐出之濾色片材料的吐出量及吐出時期. 關於本實施形態之彩色濾色片之製造裝置中，將列表 頭（液滴材料吐出機構）22a向一定方向之噴頭掃瞄方向 (即，圖1之縱方向X)移動，掃瞄基板2。然後，與此 同時向噴頭換行方向Y，以所定之移動間隔P，副掃瞄基 板2。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 此等之主掃瞄及副掃瞄間，自排列成爲1個以上之噴 墨頭（液滴材料吐出頭）22之複數之噴嘴27，將濾色片 材料向基板2上之濾色片單元形成範圍7，即畫素形成範 圍選擇性吐出。又，依需要，複數次重覆上述之主掃瞄及 副掃，將濾色片材料，於基板2之濾色片單元形成範圍， 即於畫素形成範圍，以所定形狀及所定厚度加以附著。由 此，於基板2上，配設所定形狀及所定厚度之濾色片單元 3，即配設畫素。 又，有關本實施形態之彩色濾色片之製造裝置，於圖 1，位於噴墨頭（液滴材料吐出頭）22之各最端部的同時 ，最接近者間之相互間隔爲W，係爲成爲噴嘴27之排列 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -35- 561106 A7 ----一 —_____B7 五、發明説明（33 ) 間隔D之整數倍，即成爲 W = m D (惟，m係2以上之整數） 之構成°然後同時，列表頭（液滴材料吐出機構）22a之 噴頭換行方向Y之副掃瞄移動間隔P係爲成爲噴嘴27之 排列間隔D之整數倍地，即成爲 p = n D (惟，η係1以上之整數） 加以構成。 圖3係顯示有關本發明之彩色濾色片之製造裝置的列 表頭（液滴材料吐出機構）22a之一例。此例中，列表頭 (液滴材料吐出機構）22a係具有6個之噴墨頭（液滴材 料吐出頭）22，於各個噴墨頭（液滴材料吐出頭）22中 ，形成經由複數，例如1 2個之噴嘴27形成之直線狀之噴 嘴列28。噴嘴27之配設間隔P3係例如141 μιη，噴嘴27 之直徑D1係例如28 μιη，濾色片元件（即晝素）之形成間 隔爲例如1 4 1 μ m。 然而，如前述，噴墨頭（液滴材料吐出頭）22係如 圖2所示，對於噴頭換行方向γ各設置θ之角度之傾斜 加以排列。此角度0係較〇度爲大，較1 8〇度爲小之角度 。然後’於此時，於相互鄰接之噴墨頭（液滴材料吐出頭 )22之相互鄰接的最端部之噴嘴27之相互間隔W係成爲 W = mDcos0 (惟，m係2以上之整數） 之構成。 然後同時，列表頭（液滴材料吐出機構）22a之噴頭 換行方向Y之副掃瞄移動間隔P (參照圖1 )係爲成爲噴 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) ▼裝. 訂 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -36- 561106 A7 B7 五、發明説明（34 ) 嘴27之排列間隔Dcos θ之整數倍地，即成爲 P = n Dcos 0 (惟，n係1以上之整數） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 加以構成。 圖4係顯示有關本發明之彩色濾色片之製造裝置的歹[J 表頭（液滴材料吐出機構）22a之一例。此例中，列表頭 (液滴材料吐出機構）22a係具有6個之噴墨頭（液滴材 料吐出頭）22，於各個噴墨頭（液滴材料吐出頭）22中 ’形成經由複數，例如1 2個之噴嘴27形成之直線狀之噴 嘴列28。噴墨頭（液滴材料吐出頭）22係以角度0傾斜 設置，此傾斜角度0係例如設定成例如57.9度。 又，噴嘴27之排列間隔係例如141 μιη，噴嘴27之直 徑係例如28 μιη，濾色片元件（即畫素）之形成間隔爲例 如 7 5 μ m 〇 (彩色濾色片之一例） 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 以下，對於使用有關本發明之彩色濾色片之製造方法 及其製造裝置製造之彩色濾色片加以說明。圖5係顯示該 彩色濾色片之平面形狀的平面圖，尤其（a)係於各之彩 色濾色片顯示切出前之母板之整體，（b )係顯示切出之 1個彩色濾色片。 圖6係將彩色濾色片之製造工程依工程順序加以顯示 ，各圖係相當於根據圖5 ( b )之VII-VII線之彩色濾色片 之截面構造之一部分。尤其，於圖6中，（a )係顯示吐 出濾色片材料前之狀態，（b )係顯示吐出濾色片材料後 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X29*7公釐） -37- 561106 A7 B7 五、發明説明（35 ) " ' "" 之狀態，（c )顯示配設濾色片元件之狀態，（d )係更顯 示形成保護膜之狀態。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 於圖5中，彩色濾色片1係於玻璃、塑膠等所成長方 形狀之基板2之表面，將濾色片單元3配設成爲點圖案狀 (圖5(b)爲點·矩陣狀），更且，如圖6(d)所示， 於其上，經由堆積保護膜4加以形成。然而，圖5 ( b ) 係顯示除去保護膜4之狀態之彩色濾色片1。 如圖6 ( d )所厚，濾色片單元3係形成於經由間隔 壁6分割之範圍。此間隔壁6係經由無透光性之樹脂材料 ，自圖6(a)之箭頭B視之，形成成爲格子狀之圖案。 經由此間隔壁6，形成排列成點陣列狀之複數之長方形狀 範圍，此等之範圍內以色材加以埋入，形成濾色片單元3 〇 又，此等之濾色片單元3係經由各R (紅）、G (綠 )及B (藍）之中之任一色之濾色片材料加以形成，此等 之各濾色片元件則排列成成所定之形態。做爲此排列，例 如，可爲如圖7 ( a )〜圖7 ( c )所示之條紋排列、馬賽克 排列及△排列等中之任一省。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 條紋排列係矩陣之縱列爲所有同色之排列。馬賽克排 列係排列於縱橫之直線上之任意之3個之濾色片元件成爲 R (紅）、G (綠）及B (藍）之3色的排列。然後，△排 列係完全不同於濾色片元件之配置，任意鄰接之3個之濾 色片元件成爲R (紅）、G (綠）及B (藍）之3色的排 歹[J 0 -38 - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 561106 A7 B7 五、發明説明（36 ) 於圖5 ( b )中，彩色濾色片1之大小T0係例如1 · 8 英吋。又，1個之濾色片單元3之大小係例橫X縱=L0x Ll = 30pmx ΙΟΟμιη。又，各濾色片單元3之間之間隔（所 謂元件間間隔）Ρ4係例如75μπι。 又，彩色濾色片1之副掃瞄方向之間隔係濾色片單元 3之排列間隔之整數倍爲佳。經由成爲如此之構成，更且 有效率地形成濾色片單元3。 於將如此之彩色濾色片1做爲全彩顯示之光學要素加 以使用之時，將R (紅）、G (綠）及Β (藍）之3個之 濾色片元件做爲1個之單元形成1個畫素，於1畫素內之 R (紅）、G (綠）及Β (藍）之任一個或此等之組合， 經由選擇通過光線，進行全彩顯示。此時，經由無透光性 之樹脂材料形成之間隔壁6係做爲黑色矩陣加以工作。 上述之彩色濾色片1係例如經由自如圖5 ( a )所示 之大面積之母板基板12切出加以形成。具體而言，首先 於構成於母板基板1 2內之複數之彩色濾色片形成範圍11 之各表面，形成彩色濾色片1之1個分之圖案，於此等之 彩色濾色片形成範圍11之周圍形成切斷用之溝，更且沿 此等之溝，經由切斷母板基板1 2，形成各個之彩色濾色 片1 〇 (彩色濾色片之製造方法及該製造裝置之實施形態） 以下，將本發明之彩色濾色片之製造方法及該製造裝 置’以製造圖5 ( b )所示彩色濾色片1爲例，更具體地 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -39- 56H〇6 A7 B7 五、發明説明（37 ) ~ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 加以說明。又，於圖6 ( a )中，於母板基板12之表面經 由沒有透光性之樹脂材料，將間隔壁6自箭頭B方向視 之形成爲格子狀圖案。格子狀圖案之格子孔部分7係形成 濾色片單元3之範圍。自經由此間隔壁6形成之各濾色片 元件形成範圍7之箭頭B方向所見之時的平面尺寸，係 橫X 縱=30μιηχ ΙΟΟμιη 程度。 間隔壁6係兼具阻止供給予濾色片元件形成範圍7之 濾色片材料的流動之功能及黑色矩陣之功能。又，間隔壁 6經由任意之手法，例如經由微縮術法加以形成，更且可 依需要經由加熱器而燒成。 間隔壁6之形成後，於圖6 ( b )中，將濾、色片材料 之液滴8經由供予各濾色片元件形成範圍7，於濾色片元 件形成範圍7塡充濾色片材料13。然而，於圖6(b)中 ’顯示使用R (紅）之濾色片材料13R、G (綠）之濾色 片材料1 3 G、B (藍）之濾色片材料1 3 B時之情形。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 於各濾色片元件形成範圍7，塡充所定量之濾色片材 料1 3時，經由加熱器，將母板基板丨2例如加熱至70°C 的程度’使濾色片材料1 3之溶媒蒸發。經由此蒸發，如 圖6 ( c )所示，減少濾色片材料丨3之體積。於體積減少 劇烈之時，做爲彩色濾色片直到得充分膜厚爲止，重覆執 行濾色片材料1 3之液滴8之供給和該液滴8之加熱。經 由以上之處理，最終，僅濾色片材料丨3之固體部分被殘 留膜化，由此，可形成所期望之各色濾色片單元3。 如以上形成濾色片單元3後，爲完全乾燥此等之濾色 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X29<7公餐） -40- 561106 A7 ___B7_ 五、發明説明（38 ) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 片單元3，以所定之溫度執行所定時間之加熱處理。之後 ，例如使用旋轉塗佈法、滾筒塗佈法、切割法等之適切手 法’形成保護膜4。此保護膜4係主要爲予濾色片單元3 等之保護及彩色濾色片1之平坦化而形成。 圖8係顯不爲進行不於圖6(b)之濾色片材料13之 供給處理的噴墨手段（液滴材料吐出手段）之一形態。此 噴墨手段（液滴材料吐出手段）1 6係爲將R (紅）、g ( 綠）、B (藍）中之1色、例如將r (紅）之濾色片材料 做爲墨水液滴’吐出於母板基板12 (參照圖5(a))內 之各彩色爐色片形成範圍11內之所定位置加以附著的裝 置。G色之濾色片材料及B色之濾色片材料之噴墨手段（ 液滴材吐出手段）亦各別有所準備，此等之構造可與圖8 所示之構造相同。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 於圖8中，噴墨手段（液滴材料吐出手段）1 6係具 備將1個以上之噴墨頭（液滴材料吐出頭）22以所定之 鄰接間隔加以排列所成列表頭（液滴材料吐出機構）22a (參照圖1 )的噴頭單元26，控制列表頭（液滴材料吐出 機構）22a之位置的噴頭位置控制手段1 7，和控制母板基 板1 2之位置之基板位置控制手段1 8，和將噴墨頭（液滴 材料吐出頭）22對於母板基板1 2副掃瞄移動之副掃瞄驅 動手段2 1，和將母板基板1 2向噴墨手段（液滴材料吐出 手段）1 6內之所定之作業位置供給的基板供給裝置23， 和然後司掌噴墨手段（液滴材料吐出手段）1 6之所有控 制之控制裝置24。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -41 - 561106 A7 _____B7_ 五、發明説明（39 ) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 噴頭位置控制手段17、基板位置控制手段18、主掃 瞄驅動手段19及副掃瞄驅動手段21之各裝置係設置於基 座上。此等之各裝置則依需要經由蓋罩14加以被覆。 噴墨頭（液滴材料吐出頭）22係例如如圖1 〇所示， 具有將複數之噴嘴27經由成爲列狀排列形成之噴嘴列28 。噴嘴27之數係例如180個，噴嘴27之孔徑D1係例如 28 μιη，噴嘴27間之噴嘴間隔P2係例如141 μιη。然而， 對於圖5(a)及圖5(b)之彩色濾色片1及母板基板12 之噴頭掃瞄方向（即，主掃瞄方向）X及與此正交之副掃 瞄方向Υ係各對應於圖10之X方向及Υ方向。 又，如圖11所示，將噴嘴列28經由沿噴頭掃瞄方向 X加以2列設置，經由載置於同樣主掃瞄線之2個噴嘴 27，於1個之濾色片單元形成範圍7，供給濾色片材料亦 可。此時，噴嘴27之排列間隔Ρ3係可設定於141 μιη。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 又，如圖1 2所示，將噴嘴列28經由沿噴頭掃瞄方向 X加以2列設置，更且將複數之噴嘴27設置成爲鋸齒狀 ，透過此等之噴嘴27於濾色片單元形成範圍7 (參照圖1 (a))，供給濾色片材料亦可。然而，此時，噴嘴27之 排列間隔D爲141 μιη時，延伸於主掃瞄方向X之複數之 掃瞄線間之實質間隔Ρ5爲其一半的70· 5 μιη。 又，如圖1 3所示，將沿噴頭掃瞄方向X相互鄰接之 一對之噴嘴列28設置複數組的同時，包含於上述一對之 噴嘴列28之複數之噴嘴27設置成爲鋸齒狀地，構成噴墨 頭（液滴材料吐出頭）22，經由此等之噴嘴27 ’於濾色 -42- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（21〇X 297公釐） 561106 A7 B7 五、發明説明（4〇 ) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 片單元形成範圍7，供給濾色片材料亦可。然而，圖13 中，描繪有2組具有排列成爲鋸齒狀之噴嘴27的一對噴 嘴列28。又，噴嘴27之排列間隔D雖爲141 μιη時，延伸 於X方向之主掃瞄線之實質間隔Ρ5爲其一半的70.5 μηι 〇 又，如圖14所示，將噴嘴列2 8沿噴頭掃瞄方向X， 偏移1 /3間隔設置3列地，於濾色片單元形成範圍7，供 給濾色片材料亦可。此時，噴嘴27之排列間隔D雖爲 141 μιη時’延伸於X方向之主掃瞄線之實質間隔Ρ5爲其 1/3 的 47μιη。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 噴墨頭（液滴材料吐出頭）22係如圖1所示，該噴 嘴列28位於與噴頭掃瞄方向X正交之方向地加以構成， 又此時，如圖2所示，對於與噴頭掃瞄方向X正交之方 向，給予所定之角度0之傾斜加以設置。此噴墨頭（液滴 材料吐出頭）22係於向噴頭掃瞄方向X平行移動期間， 經由將濾色片材料，即將墨水，自複數之噴嘴27選擇性 吐出，於母板基板1 2 (參照圖5 ( a ))內之濾色片單元 形成範圍7 (參照圖6 ( a ))，附著濾色片材料。又，噴 墨頭（液滴材料吐出頭）22係經由向副掃瞄方向Y僅所 定距離平行移動，將噴墨頭（液滴材料吐出頭）22所成 主掃瞄位置，可以所定間隔加以偏移。噴墨頭（液滴材料 吐出頭）22係例如具有圖1 5 ( a )及圖1 5 ( b )所示之內 部構造。具體而言，噴墨頭（液滴材料吐出頭）22係具 有不鏽鋼製之噴嘴板29，和對於此之振動板3 1 ’和將此 -43- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 561106 A7 B7_ __ 五、發明説明（41 ) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 等相互接合之複數之區隔構件32。於噴嘴板29和振動板 3 1間，經由區隔構件32形成墨水室33和聚液部34 °複 數之墨水室33和聚液部34係藉由通路38相互連通°於 振動板3 1之適切處，形成墨水供給孔36，於此墨水供給 孔36，連接墨水供給裝置37。此墨水供給裝置37係R ( 紅）、G (綠-)、B (藍）中之1色，例如將R色之濾色 片材料Μ向墨水供給孔36供給。供給之濾色片材料Μ係 塡充於聚液部34，更且透過通路38，塡充於墨水室33。 於噴嘴板29，設置自墨水室33爲將濾色片材料Μ噴 射刃噴射狀之噴嘴27。又，於形成振動板31之墨水室33 面之背面，對應於墨水室33，安裝墨水加壓體39。此墨 水加壓體39係如圖1 5 ( b )所示，具有壓電元件4 1以及 挾持此之一對電極42a及42b。壓電元件41係經由電極 42a、42b之通電，各以箭頭C所示之外側突出地，彎曲 變形，由此增大墨水室3 3之容積。結果，相當於增大之 容積部分的濾色片材料Μ，則自聚液部34透過通路38， 向墨水室33流入。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 接著，解除對壓電元件41之通電時，壓電元件41和 振動板3 1皆回復至原來的形狀。由此，墨水室33 /亦@復 爲原本的容積，在於墨水室3 3內部之濾色片材料M g % 上昇，向母板基板12(參照圖5(a)，濾色片材料μ成 爲液滴8被噴出。然而，於噴嘴27之周邊部，爲防止、液 滴液滴8之飛行曲線或噴嘴27之阻塞等，例如設置 全氟乙烧共析鍍層所成排墨水層4 3。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ297公釐） -44 - 561106 A7 B7 五、發明説明（42 ) 於圖9中，噴頭位置控制手段1 7係具有將列表頭（ 液滴材料吐出機構）22a面內旋轉之α馬達44，和將列表 頭（液滴材料吐出機構）22a ’於與副掃瞄方向γ形行之 軸線旋轉，搖動旋轉之β馬達46 ’和將列表頭（液滴材 料吐出機構）22a，於與噴頭掃瞄方向X平行之軸線旋轉 ，搖動旋轉之r馬達47，和將列表頭（液滴材料吐出機 構）22a，向上下方向平行移動的Z馬達48。 示於圖8之基板位置控制手段18係如圖9所示，具 有載置母板基板1 2之工作台49，和將該工作台49如箭 頭0面內旋轉之Θ馬達51。又，示於圖18之主掃瞄驅動 手段19之係如圖9所示，具有向噴頭掃瞄方向X延伸之 導軌52，和內藏脈衝驅動之線性馬達之滑動器53。滑動 器53係作動內藏之線性馬達之時，沿導軌52向噴頭掃瞄 方向X平行移動。 又，示於圖8之副掃瞄驅動手段21係如圖9所示， 具有向副掃瞄方向Y延伸之導軌54，和內藏脈衝驅動之 線性馬達之滑動器56。滑動器56係作動內藏之線性馬達 之時，沿導軌54向副掃瞄方向γ平行移動。 於滑動器53或滑動器56內脈衝驅動之線性馬達係經 由供予馬達之脈衝信號，可進行精密輸出軸之旋轉角度控 制’因此，可高精度地控制於支持於滑動器53之噴墨頭 (液滴材料吐出頭）22之噴頭掃瞄方向X上之位置或工 作台49之副掃瞄方向Y上之位置。 然而，列表頭（液滴材料吐出機構）22a或工作台49 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X 297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)

、1T 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -45 - 561106 A7 B7 五、發明説明（43 ) 之位置控制係非僅使用脈衝馬達之位置控制’可爲使用伺 服馬達之反饋控制，或使用其他任意之控制方法。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 圖8所示之基板供給裝置23係具有收容母板基板1 2 之基板收容部57，和輸送母板基板12之機器人58。機器 人58係具有載置於地板、地面等之設置面的基台59，對 於基台59昇降移動之昇降軸61，和將昇降軸61爲中心 旋轉之第1手臂62，和對於第1手臂62旋轉之第2手臂 63，和設於第2手臂63之前端下面之吸附墊64。吸附墊 64係可經由空氣吸附等，吸附母板基板1 2。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 於圖8中，經由主掃瞄驅動手段19驅動，於列表頭 (液滴材料吐出機構）22a之軌跡下，於副掃瞄驅動手段 21 —方之旁側位置，配設遮蓋手段76及淸潔手段77。又 ，於另一方之旁側位置，配設電子天平78。淸潔手段77 係爲洗淨噴墨頭（液滴材料吐出頭）22之手段。電子天 平78係將自噴墨頭（液滴材料吐出頭）22內之各噴嘴27 (參照圖1 0 )吐出之墨水之液滴之重量，按每噴嘴加以 測定之機器。然後，遮蓋手段76係當噴墨頭（液滴材料 吐出頭）22爲待機狀態時，爲防止噴嘴27 (參照圖1〇) 之乾燥的手段。 於列表頭（液滴材料吐出機構）22a之附近，與列表 頭（液滴材料吐出機構）22a —體移動之關係下，配設噴 頭用攝影機81。又，支持於設於基座9上之支持裝置（ 未圖示）的基板用攝影機82，配置於可攝影母板基板i 2 之位置。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X29*7公釐） -46- 561106 A7 B7 五、發明説明（44 ) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 圖8所示控制裝置24係具有收容處理器之電腦本體 部66，和做爲輸入裝置之鍵盤67，和做爲顯示裝置之 CRT顯示器68。上述處理器中，如圖π所示，具有進行 演算處理之CPU69 ’和做爲記憶各資訊之資訊記憶媒體的 記憶體71。 圖8所示噴頭位置控制手段17、基板位置控制手段 1 8、主掃瞄驅動手段1 9、副掃瞄驅動手段2 1、驅動噴墨 頭（液滴材料吐出頭）22內之壓電元件41 (參照圖1 5 ( b))之噴頭驅動電路72之各機器係於圖17，藉由輸出 入界面73及匯流排74，連接於CPU69。又，基板供給裝 置23、輸入裝置67、顯示器68、電子天平78、淸潔手段 77及遮蓋手段76之各機器亦藉由輸出入界面73及匯流 排74，連接於CPU69。 經濟部智慈財產局員工消費合作社印製 記憶體7 1係包含RAM (隨機存取記憶體）、ROM ( 唯讀記憶體）等之半導體記憶體，或硬碟、CD-ROM讀取 裝置、碟片型記憶媒體等之外部記憶裝置等之槪念，機能 性上，具有記憶記述噴墨手段（液滴材料吐出手段）i 6 之動作之控制手續之程式軟體的記憶範圍，或爲了將實現 有關如圖7所示R (紅）、G (綠）、B (藍）之各種排歹！] 的有關R (紅）、G (綠）、B (藍）中之1色（例如R1 色）之母板基板12 (參照圖5 ( a ))內之吐出位置，做 爲座標資料加以記憶之記憶範圍，或爲記憶圖9之副掃猫 方向Y之母板基板1 2之副掃瞄移動量的記憶範圍，或做 爲CPU69之工作區域或暫存檔等之功能的範圍，或其他 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（X297公釐） -47- 561106 A7 B7 五、發明説明（45 ) 各種之記憶範圍。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) CPU69係根據記憶於記憶體71內之程式軟體，於母 板基板1 2之表面之所定位置，爲進行濾色片材料，即爲 吐出墨水之控制，做爲具體之機能實現部，具有進行爲實 現淸潔處理之演算的淸潔演算部，和爲實現遮蓋處理之遮 蓋演算部，和進行爲實現使用電子天平78 (參照圖8 )之 重量測定之演算的重量測定演算部，和進行經由噴墨描繪 濾色片材料之演算的描繪演算部。 描繪演算部係具有向爲描繪列表頭（液滴材料吐出機 構）22a之啓始位置重置之描繪開始位置演算部，和演算 爲將列表頭（液滴材料吐出機構）22a向噴頭掃瞄方向X 以所定速度掃瞄移動的控制之主掃瞄控制演算部，和演算 將母板基板1 2向副掃瞄方向Y以所定之副掃瞄移動間隔 ’僅偏移副掃瞄量之控制的副掃瞄控制演算部，和然後進 行作動噴墨頭（液滴材料吐出頭）22內之複數之噴嘴27 中之任一者，控制吐出墨水即濾色片材料之演算的噴嘴吐 出控制演算部等之各機能演算部。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 然而，上述各機能之一部分或全部，取代使用CPU69 軟體實現，經由不使用CPU單獨之邏輯電路或電子電路 實現之時，取代CPU69或除了 CPU69，可使用如此之電 子電路等。 以下，將由上述構成所成圖8之噴墨手段（液滴材料 吐出手段）1 6之動作，根據示於圖1 8之流程圖加以說明 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（2丨〇'〆297公釐） -48 - 561106 A7 B7 五、發明説明（46 ) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 經由操作員之切入電源，使噴墨手段（液滴材料吐出 手段）1 6動作時，首先，於步驟S 1中，執行啓始設定。 具體而言，噴頭單元26或基板供給裝置23或控制裝置 24等預先設定於啓始狀態。 接著，重量測定時間到來時（步驟S2爲YES )，將 圖9所示之噴頭單元26，經由主掃瞄驅動手段19，移動 至圖8所示之電子天平78處（步驟S3 )，將自噴嘴27 吐出之墨水量，使用電子天平78，對於所有噴嘴27之各 個加以測定（步驟S4 )。然後，配合噴嘴27之墨水吐出 特性，調節施加於對應於各噴嘴27之壓電元件41的電壓 〇 接著，淸潔時間到來之時（步驟S6爲YES )，將噴 頭單元26經由主掃瞄驅動手段19，移動至淸潔手段77 之處（步驟S7)，經由該淸潔手段77，淸潔噴墨頭（液 滴材料吐出頭）22 (步驟S8 )。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 重量測定時間或淸潔時間未到來之時（步驟S2及S6 爲NO)，或此等之處理終了時，於步驟S9中，令圖8所 示之基板供給裝置23動作，將母板基板1 2供給至工作台 49。具體而言，將基板收容部57內之母板基板1 2經由吸 附墊片64吸引保持，接著，移動昇降軸61、第1手臂62 及第2手臂63，將母板基板12輸送至工作台49，更且按 壓於預先設於工作台49之適切處之定位腳50 (參照圖9 )。然而，爲防止於工作台4 9.上之母板基板1 2之位置偏 移，經由空氣吸引等之手段，將母板基板1 2固定於工作 -49 - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210 X297公釐） 561106 A7 B7__ 五、發明説明（47 ) 台49爲佳。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 接著，經由圖8所示之基板用攝影機82觀察母板基 板12地，將圖9所示β馬達5 1之輸出軸，經由以微小角 度單位加以旋轉，將工作台49以微小角度單位於面內旋 轉，定位母板基板12 (步驟S10 )。接著，經由圖8所示 之噴頭用攝影機81，觀察母板基板12地，經由噴墨頭（ 液滴材料吐出頭）22，藉由演算開始描繪之位置加以決定 (步驟S 1 1 )，然後，適切動作主掃瞄驅動手段19及副 掃瞄驅動手段21，將噴墨頭（液滴材料吐出頭）22向描 繪開始位置移動（步驟S 1 2 )。 此時，列表頭（液滴材料吐出機構）22a係如圖2所 示，複數之噴嘴27，即噴嘴列28對於列表頭（液滴材料 吐出機構）22a之副掃瞄方向Y以角度0傾斜地加以配設 爲佳。此係爲了於通常之噴墨手段（液滴材料吐出手段） 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 1 6之時’鄰接之噴嘴27間之間隔的噴嘴間間隔D，與鄰 接濾色片單元3，即濾色片元件形成範圍7之間之間隔的 單元間隔不同之情形爲多，將列表頭（液滴材料吐出機構 )22a向噴頭掃瞄方向X移動時，噴嘴間間隔〇之副掃瞄 方向Y之尺寸成分與單元間隔幾何學上相等的措施。 於圖1 8所示之步驟S丨2，將噴墨頭（液滴材料吐出 頭）22置於描繪開始位置，之後，於圖丨8所示之步驟 S 1 3 ’開始向噴頭掃瞄方向X之主掃瞄，同時開始墨水之 吐出。具體而言，動作圖9所示之主掃瞄驅動手段19， 列表頭（液滴材料吐出機構）22a向噴頭掃瞄方向X以一 本紙張尺度適财SS家標準（CNS ) ( 21()><297公羡）" " -50- 561106 A7 B7 五、發明説明（48 ) 定之速度，直線掃瞄移動，該移動中，到達對應於欲供給 墨水之濾色片元件形成範圍7之噴嘴27時，自該噴嘴27 吐出濾色片材料，即吐出墨水。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 然而，此時之墨水吐出量係非埋入濾色片元件形成範 圍7之容積全部的量，爲該全量之數分之1，具體而言爲 全量之4分之1。此係如後所述，各濾色片元件形成範圍 7係非經由自噴嘴27之1次之墨水吐出埋入，經由數次 之墨水吐出之重疊吐出，例如經由4次重疊吐出，埋入容 積全部爲佳。 列表頭（液滴材料吐出機構）22a係對於母板基板1 2 之1線部分之主掃瞄終了時（步驟S14爲YES)，反轉移 動向啓始位置（參照圖1(a))回復（步驟S14)。然後 ’更且列表頭（液滴材料吐出機構）22a係經由副掃瞄驅 動手段2 1驅動，向副掃瞄方向Y僅移動預定之副掃瞄移 動間隔P (步驟S 1 6 )。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 向圖1所示位置副掃瞄移動之列表頭（液滴材料吐出 機構）22a係以步驟S 1 3，重覆主掃瞄移動及墨水吐出加 以執行。更且，之後，列表頭（液滴材料吐出機構）22a 係重覆副掃瞄移動地，重覆主掃瞄移動及墨水吐出（步驟 S 1 3〜步驟S 1 6 )，由此，終止母板基板1 2之彩色濾色片 形成範圍11之1列部分之墨水附著處理。 然而，於本實施形態中，接受複數次，例如4次之墨 水吐出處理，於該全容積內，全量供給所定量即所定膜厚 之墨水即全量供給濾色片材料。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -51 - 561106 A7 ____B7___ 五、發明説明（49 ) 又，噴嘴列28係順序地副掃瞄移動進行時，各位置 之噴嘴列28則不與其他之位置之噴嘴列28於副掃瞄方向 Y重疊，但是各位置間之噴嘴列28關於副掃瞄方向Y相 互連接地，執行副掃瞄移動。因此，吐出之濾色片材料之 厚度係成爲均勻。 如以上「圖5 ( a )所示母板基板1 2內之彩色濾色片 形成範圍11之一列部分之墨水吐出終了時，噴墨頭（液 滴材料吐出頭）22係經由副掃瞄驅動手段2 1加以驅動， 向下列之彩色濾色片形成範圍11之啓始位置輸送（步驟 S 19)，對於列之彩色濾色片形成範圍n，重覆主掃瞄、 副掃瞄及墨水吐出，於濾、色片元件形成範圍7內，形成濃 色片元件（步驟S13〜S16 )。 之後，關於母板基板1 2內之所有之彩色濾色片形成 範圍1 1，形成R (紅）、G (綠）、Β (藍）之1色時， 例如形成R 1色之濾色片單元3時（步驟S 1 7及S 1 8爲 YES )，於步驟S20，將母板基板12經由基板供給裝置 23，或經由其他之輸送機器，處理後之母板基板1 2向外 部排出。 之後’不經由操作員指示作業終了之下（步驟S21爲 Y E S ) ’ C P U 6 9係於圖8，將列表頭（液滴材料吐出機構 )22a輸送至遮蓋手段76處，經由該遮蓋手段76，對於 列表頭（液滴材料吐出機構）22a，施以遮蓋處塌（步驟 S22 )。 藉由以上，構成彩色濾色片之R (紅）、G (綠）、 本紙張尺度適用中關家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐) ' -52- (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 擎裝. ,11 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 561106 A7 B7 五、發明説明（50 ) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) B (藍）之3色中的第1色，例如對於r色之圖案化終了 ，之後，將母板基板12之R (紅）、g (綠）、B (藍） 之第2色，例如將G色成爲濾色片材料向噴墨手段（液 滴材料吐出手段）16輸送，進行G色之圖案化，更且最 終之（紅）、G (綠）、B (藍）之第3色，例如將B色 成爲濾色片材料向噴墨手段（液滴材料吐出手段）16輸 送，進行B色之圖案化。由此，具有條紋狀排列等之期 望R (紅）、G (綠）、B (藍）之點配列的彩色濾色片1 (參照圖5 ( bB))，製造複數個形成之母板基板12。 然而，將彩色濾色片1爲使用液晶顯示裝置之彩色顯 示而使用之時，於彩色濾色片1之表面，更堆積電極或配 向膜等而成。此時，於堆積電極或配向膜等之前，切斷母 板基板12，切出各彩色濾色片1之時，在於之後之電極 等之形成工程上會變得麻煩。因此，於此時，於母板基板 1 2上，完成彩色濾色片1之後，並非馬上切斷母板基板 1 2，於完成電極形成或配向膜形成等之必要附加工程後， 切斷母板基板1 2爲佳 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 如以上所述，圖5 ( b )所示彩色濾色片1內之各濾 色片單元3係非經由噴墨頭（液滴材料吐出頭）22之向 X方向之1次主掃瞄所形成，各1個濾色片材料3乃經由 屬於不同噴嘴群之複數之噴嘴27，重疊η次例如4次， 經由接受墨水吐出，形成成所定膜厚爲此，即使於複數之 噴嘴27間，於膜厚存在產生參差不齊之情形，於複數之 濾色片單元3間，可防止於膜厚產生參差不齊，因此，可 -53- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X297公釐） 561106 Α7 Β7 五、發明説明（51 ) 將彩色濾色片之光透過特性成爲平面性且均勻者 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 又，如前述，對應形成噴墨頭（液滴材料吐出頭）22 之噴嘴列28的複數之噴嘴27的墨水吐出量分布爲不均勻 ，以及尤其存在於噴嘴列28之兩端部之1個以上（例如 單端側10個）之噴嘴27，墨水吐出量爲大之情形，如圖 16所示，存在形成於噴墨頭（液滴材料吐出頭）22之複 數之噴嘴27中之噴嘴列28的雨端部E的1個以上（例如 10個程度）係預先成爲不吐出墨水之構成爲佳。例如， 噴嘴27之數爲180個之時，兩端各爲10個，自合計20 個之噴嘴27不吐出墨水地，於施加電壓等加上條件，使 用殘留中央部1 60個，進行墨水之吐出。以上之說明中， 於圖6中，做爲間隔壁6雖使用無透光性之樹脂材料，但 做爲間隔壁6亦可使用無透光性之樹脂材料。此時，對應 於濾色片單元3間之位置，例如於間隔壁6之上，或間隔 壁6之下等，另外將遮光性之金屬膜或樹脂材料加以設置 做爲黑色矩陣亦可。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 又，做爲濾色片單元3，使用了 R (紅）、G (綠）B (藍），但不但是R (紅）、G (綠）、B (藍），使用C (青藍）、Μ (紫紅）、Υ (黃色）亦可。此時代替r ( 紅）、G (綠）、Β (藍）之濾色片材料，使用具有c、Μ 、Υ色之濾色片材料即可。 以上之說明中，間隔壁6係雖經由微縮術形成，亦可 與濾色片單元3同樣經由噴墨法加以形成。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ297公釐） •54- 561106 A7 B7___ 五、發明説明（52 ) (噴墨頭（液滴材料吐出頭））之變形例 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 圖19係顯示有關本發明之彩色濾色片之製造方法及 製造裝置之其他之實施形態所使用之噴墨頭（液滴材料吐 出頭）22A。此噴墨頭（液滴材料吐出頭）22A與圖10所 示之噴墨頭（液滴材料吐出頭）22不同之處係將吐出R 色墨水之噴嘴列28R，和吐出G色墨水之噴嘴列28G ’和 吐出B色墨水之噴嘴列28B之3類之噴嘴列形成於噴墨 頭（液滴材料吐出頭）22A，於此等3類中，設置圖15 ( a)及圖15樣b)所示之墨水吐出系，對應R色噴嘴列 2 8R之墨水吐出系則連接R墨水供給裝置37R，對應G色 噴嘴列28G之墨水吐出系則連接G墨水供給裝置37G， 然後對應B色噴嘴列28B之墨水吐出系則連接B墨水供 給裝置37B。 (彩色濾色片之製造方法及製造裝置之變形例） 經濟部智慈財產局8工消費合作社印製 又，例如以上說明之彩色濾色片之製造方法及質造裝 置之實施例中，如圖5 ( a )所示，例示有於母板基板12 中，構成複數列之彩色濾色片形成範圍11，使用較此等 之彩色濾色片形成範圍11爲小之噴墨頭（液滴材料吐出 頭）22，於各彩色濾色片形成範圍1 1內，形成濾色片單 元3之情形，亦可爲使用較1個之彩色濾色片形成範圍 11之一邊爲展，但較母板基板12之一邊爲短的長度之噴 嘴列28，於母板基板1 2形成濾色片單元3。 又，雖例示有於母板基板1 2中，構成複數列之彩色 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -55- 561106 A7 B7 五、發明説明（53 ) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 濾色片形成範圍1 1時之情形，但亦可爲於母板基板1 2中 ，構成1列之彩色濾色片形成範圍i丨之情形亦可。又， 與母板基板1 2同樣大小或僅較其小之1個之彩色濾色片 形成範圍11，構成於該母板基板1 2中之情形。 又’圖8及圖9所示之噴墨手段（液滴材料吐出手段 )16中，將列表頭（液滴材料吐出機構）22a向X方向移 動主掃瞄基板1 2，將基板1 2經由副掃瞄驅動手段2 1向Y 方向2移動’經由列表頭（液滴材料吐出機構）22a副掃 瞄基板1 2，與此相反，經由向基板1 2之γ方向之移動， 執行主掃瞄，經由向噴墨頭（液滴材料吐出頭）22之X 方向之移動，進行副掃瞄亦可。 (液晶顯示裝置之製造方法） 圖20係將關於本發明之液晶顯示裝置之製造方法之 一實施形態經由工程圖加以顯示。又，圖2 1係顯示經由 該製造方法製造之液晶顯示裝置之一例。又，圖22係根 據圖21之X-X線，顯示液晶顯示裝置之截面構造。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 然而，在此說明之液晶顯示裝置係以單純矩陣方式， 進行全彩顯示之半透過方式之液晶顯示裝置。 圖2 1中，液晶顯示裝置1 〇 1係於液晶面板1 〇2安裝 做爲半導體晶片之驅動用IC103a及103b，將做爲配線連 接要素之FPC (可撓性印刷電路板）1 04連接於液晶面板 102，更且於液晶面板102之背面側，將照明裝置106經 由做爲背光設置而形成。 -56- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 561106 A7 B7 五、發明説明（54 ) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 液晶面板102係將第1基板107a經由密封材108奔 加以配合而形成。密封材108係例如經由網版印刷等，將 琅氧樹脂於第1基板l〇7a或第2基板107b之內側表面， 經由成爲環狀附著而形成。又，於密封材108之內部，如 圖22所示，經由導電性材料，球狀或買筒狀形成之導通 材109以分散狀態而含有。 如圖22所示，第1基板107a係具有透明之玻璃或透 明塑膠等所成板狀之基材Π la。於此基材11 la之內側表 面（圖12之上側表面），形成反射膜112。於此上，堆 積絕緣膜113，於其上第1電極114a自箭頭D方向視之 ，形成成爲條紋狀（參照圖21 )，更且於其上形成配向 膜116a。又，於基材111a之外側表面（圖22之下側表面 )，經由貼附偏光板11 7a而裝設。 於圖21，爲易於顯示第1電極114a之排列，將此等 條紋間隔以較實際廣大許多地加以描繪，因此，第1電極 114a之條數雖描繪得較少，但實際上，第1電極114a係 更多條地形成於基材111a。 經濟部智慈財產局員工消費合作社印製 於圖22中，第2基板107b係具有透明之玻璃或透明 塑膠等所成板狀之基材111b。於此基材111b之內側表面 (圖22之下側表面），形成彩色濾色片1 1 8。於此上， 第2電極114b向與上述第1電極114a正交之方向，自箭 頭D方向視之，形成成爲條紋狀（參照圖21 )，更且於 其上形成配向膜116b。又，於基材111b之外側表面（圖 22之yml側表面），經由貼附偏光板1 1 7b而裝設。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -57· 561106 A7 B7 五、發明説明（55 ) 於圖21，爲易於顯示第2電極114b之排列，與第1 電極1 1 4a之時同樣地，將此等條紋間隔以較實際廣大許 多地加以描繪，因此，第2電極114B之條數雖描繪得較 少，但實際上，第2電極114B係更多條地形成於基材 111b。 於圖22 ·中，於經由第1基板l〇7a、第2基板107b及 密封材1 08所包圍之間隔（所謂晶胞間隔）內，封入有液 晶，例如封入STN (超級扭轉向列）液晶L。於第1基板 l〇7a或第2基板107b之內側表面，微小多數分散球形之 間隔物1 1 9，此等之間隔物11 9係經由存在於晶胞間隔內 ，該晶胞間隔之厚度可被均勻地維持。 第1電極1 14a和第2電極114B係相互成爲正交關係 而配置，此等之交差點係自圖22之箭頭D視之，配列成 爲點矩陣狀。然後，此點矩陣狀之各交叉點則構成1個之 顯示點。彩色濾色片1 18係將R (紅）、G (綠）及B ( 藍）之各色要素自箭頭D視之，經由以所定之圖案，例 如以條紋狀排列、△排列或馬賽克排列等之圖案排列而形 成。上述之一個之顯示點係對應於此等R (紅）、G (綠 )、B (藍）之各1色，然後R (紅）、G (綠）、B (藍 )之3色顯示點成爲1個單元，構成1畫素。 經由選擇性發光排列成爲點矩陣狀之複數顯示點（即 畫素），於液晶面板102之第2基板107b之外側，顯示 文字、數字等之像。如此地，顯示像之範圍爲有效顯示範 圍，於圖21及圖22，經由箭頭V所示平面性長方形範圍 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 、τ 經濟部智慈財產局員工消費合作社印製 -58- 561106 A7 B7 五、發明説明（56 ) ，則成爲該有效顯示範圍V。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 於圖22，反射膜112係經由APC合、A1 (鋁）合等 之光反射性材料而形成，於與第1電極1 14a和第2電極 114b之交叉點之對應各顯示點之位置，形成開口 121。 Vr7wd3，開口 121係由圖22之箭頭D方向視之，與顯示 點同樣，排列成爲點矩陣狀。 第1電極114a及第2電極114b係例如經由透明導電 材之ITO所形成。又，配向膜116a及116b係將聚醯亞胺 系樹脂附著成一樣厚度之膜狀而形成。此等配向膜11 6a 及116b經由接受平磨處理，決定第1基板107a及第2基 板107b表面上之液晶分子之啓始配向。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 於圖21，第1基板107a係形成於較第2基板107b爲 廣之面積，將此等基板經由密封材1 08貼合之時，第1基 板l〇7a係具有向第2基板107b之外側展開之展開部107c 。然後，此展開部107c中，適切圖案形成自第1電極 1 14a延伸出之引出配線1 14c、藉由存在於密封材108之 內部的導通材109，與第2基板107b上之第2電極114b 導通之引出配線114d、連接於驅動用IC 103a之輸入用突 起電極（即輸入用端子）之金屬配線114e、連接於驅動 用IC103b之輸入用突起電極之金屬配線114f等之各種配 線。 自第1電極114a延伸出之引出配線114c及導通於第 2電極114b之引出配線114d係經由與此等電極同樣材料 之ITO，即經由導電性氧化物形成。又，驅動用IC 103a -59- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 561106 A7 B7 五、發明説明（57 ) (讀先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 及l〇3b之輸入側配線之金屬配線H4e及li4f係電阻値 低之金屬材料，例如經由APC合金加以形成。APC合係 主要包含Ag，附隨包含Pd及Cu之合金，例如Ag:98%、 Pd:l%、Cu:l%所成合金。 驅動用IC 103a及驅動用IC 103b係經由ACF (向異性 導電膜）122，黏著於展開部l〇7c之表面加以安裝。即， 於本實施形態中，於基板上，做爲直接安裝半導體晶片之 構造之所謂COG (覆晶玻璃方式）方式之液晶面板加以 形成。此COG方式之安裝構造中，經由包含於ACF122之 內部之導電粒子，驅動用IC103a及103B之輸入側突起電 極及金屬配線114e及114F則導電連接，驅動用IC103a 及103B之輸出側突起電極及與引出配線ii4c及114D導 電連接。 於圖21中，FPC104係具有可撓性之樹脂薄膜123， 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 和包含晶片零件1 24構成之電路1 26，和金屬配線端子 127。電路126係於樹脂薄膜123之表面，經由焊接其他 之導連接手法，直接加以搭載。又，金屬配線端子1 27係 經由APC合金、Cr、Cu其他之導電材料而形成。形成 FPC104中之金屬配線端子127的部分係於形成第1基板 107a中之金屬配線114e及金屬配線114f的部分，經由 ACF 122力口以連接。然後，經由包含於ACF 122之內部之 導電粒子之作用，導通基板側之金屬配線114e及114f和 FPC側之金屬配線端子127。 FPC 1 04之相反側之邊端部中，形成外部連接端子 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -60- 561106 A7 B7 五、發明説明（58 ) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 1 3 1，此外部連接端子1 3 1連接於未圖示之外部電路。然 後，根據自此外部電路傳送之信號，驅動驅動用IC 103a 及103b，於第1電極114a及第2電極114b之一方，供給 掃瞄信號，於另一方，供給資料信號。由此，施加於排歹ij 於有效顯示範圍V內之點矩陣狀之顯示點的電壓被各別 控制，結果，液晶L之排列於每顯示點加以控制。 於圖2 1中，做爲所謂背光作用之照明裝置1 〇6係具 有如圖22所示，經由丙烯酸樹脂等構成之導光體132， 和設於該導光體132之光射出面132b之擴散薄片133， 和設於導光體132之光射出面132b之相反面的反射薄片 134，和做爲發光源之LED (發光二極體）136。 LED1 36係支持於LED基板137，該LED基板137係 裝著於例如與導光體1 32 —體形成之支持部（未圖示）。 LED基板137經由裝著於支持部之所定位置，LED 136則 放置於對向於導光體132之側邊端面之光置入面132a的 位置。然而，符號138係顯示爲緩衝附加於液晶面板102 之衝擊之緩衝材。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 LED136發光時，該光由光置入面132a置入，向導光 體132之內部引導，以反射薄片134或導光體132之壁面 加以反射傳播之期間，自光射出面132b通過擴散薄片 1 33，向外部做爲平面光加以射出。 液晶顯示裝置101係如以上加以構成之故，於太陽光 、室內光等之外光光充分明亮之時，於圖22，自第2基 板107b，外部光則置入液晶面板102之內部，該光線通 -61 - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 561106 A7 B7_ 五、發明説明（59 ) 過液晶L後，以反射膜112反射，再向液晶L供給。液 晶L係經由挾持此之電極114a及114b，於每R (紅）、 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) G (綠）、B (藍）之各色的顯示點，控制該排列，因此 ，向液晶L供給之光線係按顯示點加以調變，經由該調 變，通過偏光板117b之時，經由不通過光線，於液晶面 板102之外部，顯示文字、數字等之像。由此，進行反射 型之顯示。 另一方面，無法充分獲得外部光之光量時，LED 136 則發光，自導光體132之光射出面132b射出平面光，該 光線通過形成於反射膜112之開口 121，向液晶L供給。 此時，與反射型之顯示同樣，供給之光經由排列控制之液 晶L，於每顯示點調變，由此，向外部顯示像。由此，進 行透過型之顯示。 上述構成之液晶顯示裝置101係使用本發明之液晶顯 示裝置之製造方法及製造裝置，具體而言，經由圖20所 示之製造方法加以製造。於此製造方法中，工程P1至工 程P6之一連串工程，形成第1基板107a之工程。第1基 板形成工程和第2基板形成工程係通常各自獨立進行。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 首先，於第1基板形成工程，於經由透光性玻璃、透 光性塑膠等所形成之大面積之母板原料基材之表面，將液 晶面板1 02之複數個部分之反射膜11 2，使用微縮術法等 加以形成，更且於其上使用周知之成膜法加以形成（工程 P1)，接著，使用微縮術法等，形成第1電極114a及配 線 114c、114d、114e、114f (工程 P2)。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -62- 561106 A7 B7 五、發明説明（6〇 ) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 接著，於第1電極114a上，經由塗佈、印刷等，形 成配向膜116a (工程P3)，更且對於該配向膜116a，經 由施加平磨處理，決定液晶之啓始排列（工程P4 )。接 著，例如，經由網版印刷等，將密封材108形成成爲環狀 (工程P5)。更且，於其上，分散球狀之間隔物119(工 程P6)。經由以上，形成複數分爲開口部102之第1基 板107a上之面板圖案之大面積之母板第1基板。 與以上之第1基板形成工程另外地，實施第2基板形 成工程（圖20之工程P11至工程P20)。首先，準備經 由透光性玻璃、透光性塑膠等形成之大面積之母板原料基 材，於該表面，形成液晶面板102之複數部分之彩色濾色 片11 8 (工程PI 1 )。此彩色濾色片之形成工程係使用圖 6所示之製造方法加以進行，該製造方法中之R (紅）、 G (綠）及B (藍）之各色濾色片元件之形成係使用圖8 所示之噴墨手段（液滴材料吐出手段）1 6加以進行。此 等之彩色濾色片之製造方法及噴墨頭（液滴材料吐出頭） 之控制方法係與已說明之內容相同。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 如圖6 ( d )所示，於母板基板12，即於母板原料基 板之上，形成彩色濾色片1、即彩色濾色片11 8時，接著 ，經由微縮術法，形成第2電極114b (工程P 1 2 )，更且 經由塗佈、印刷等，形成配向膜116b (工程P13 )。更且 ，對於該配向膜11 6b，施以平磨處理，決定液晶之啓始 排列（工程P14 )。經由以上，形成複數分有液晶面板 102之第2基板107b之面板圖案的大面積母板第2基板 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -63- 561106 A7 B7 五、發明説明（61 ) 〇 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 經由以上，經形成大面積之母板第1基板及母板第2 基板後，將此等之母板基板，令密封材108挾於其間，加 以調校，即於定位後，相互貼合（工程P21 )。由此，包 含液晶面板複數個分之面板部分，形成未封入液晶狀態之 空面板構造體。 接著，於完成之空面板構造體之所定位置，形成劃線 溝，即形成切斷用溝，更且，將該劃線溝爲基準，破裂面 板構造體，即加以切斷（工程P22 )。由此’各液晶面板 部分之密封材108之液晶注入用開口 11 〇，形成向外部露 出之狀態之所謂短冊狀之空面板構造體。 經濟部智慈財產局員工消費合作社印製 之後，透過曝露之液晶注入用開口 Π 0，於各液晶面 板部分之內部，注入液晶L，更且將各液晶注入用開口 11 0經由樹脂等加以封閉（工程P23 )。通常之液晶注入 處理係佛如於貯存容器中貯存液晶’將貯存該液晶之貯存 容器和短冊狀之空面板置入處理室等中，將該處理室等之 中成爲真空狀態，於該處理室之內部，於液晶中浸漬短冊 狀之空面板，之後，將處理室開放於大氣而進行。此時’ 空面板之內部爲真空狀態之故，經由大氣壓加壓之液晶透 過液晶注入用開口 110，導入面板之內部。於液晶植入後 之液晶面板構造體之周圍，附著液晶之故，液晶注入處理 後之短冊狀面板係於工程P24接受洗淨處理。 之後，對於液晶注入及洗淨終了後之短冊狀之母板面 板，再於所定位置形成畫線溝，更且將該畫線溝爲基準， -64- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公董） 561106 A 7 B7 五、發明説明（62 ) 經由切斷短冊狀面板，各切出複數個之液晶面板（工程 P25)。對於如此製作之各液晶面板102，如圖21所示， (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 安裝液晶驅動用IC103a、103b，將照明裝置1〇6做爲照明 裝置加以裝著，更且經由連接FPC 104，完成目標之液晶 顯示裝置101。 以上說明之液晶顯示裝置之製造方法及製造裝置係尤 其於製造彩色濾色片之階段，可有效利用具有該製造方法 之特徵之故，可更有效率地平面均勻彩色濾色片之光透過 材料。此係於圖22所示之液晶顯示裝置101中，表示可 得無色斑駁之鮮明彩色顯示。 又，於本發明之液晶顯示.裝置之製造方法及製造裝置 中，經由使用噴墨手段（液滴材料吐出手段）1 6，經由使 用噴墨頭（液滴材料吐出頭）22之墨水吐出，形成濾色 片單元3之故，無需經過使用微縮術法的方法之複雜工程 ，且不會浪費材料。 (電激發光基板之製造方法之實施形態） 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 接著，有關本發明之電激發光基板之製造方法係除了 取代上述彩色爐色片之製造方法之爐色片材料，使用機能 層形成材料之外，基本上與該彩色濾色片之製造方法同樣 地加以構成。說明此電激發光基板之製造方法之一實施形 態，則爲如下。在此，機能層係包含正孔注入輸送層或發 光層，機能層形成材料係包含正孔注入輸送層形成材料或 發光層形成材料。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -65- 561106 A7 B7 五、發明説明（63 ) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 例如’於圖1 ( a )中，將複數之噴嘴27，以一定排 列間隔D ’成爲列狀加以排列的1個以上之噴墨頭（液滴 材料吐出頭）22，以所定之鄰接間隔加以排列，形成列表 頭（液滴材料吐出機構）22a。然後，將列表頭（液滴材 料吐出機構）22a向一定方向之噴頭掃瞄方向（即，圖1 (a)之縱方向X)移動，主掃瞄基板2。又，與此同時 將列表頭（液滴材料吐出機構）22a，於正交於噴頭掃瞄 方向之噴頭換行方向γ (即，圖1(b)之縱方向Y)，以 所定之移動間隔P，副掃瞄基板2。 進行上述之主掃瞄及副掃瞄之間，自排列成爲1個以 上之噴墨頭（液滴材料吐出頭）22之複數之噴嘴27，將 機能層形成材料向基板2上之機能層形成範圍，（即頤示 點）選擇性吐出。又，依需要，複數次重覆主掃瞄及副掃 ’將機能層形成材料，於基板2之機能層形成形成範圍， 以所定形狀及所定厚度加以附著。由此，於基板2上之各 顯示點，形成所定形狀及所定厚度之機能層。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 又’有關本實施形態之電激發基板之製造裝置，令噴 嘴27之一定之排列間隔爲”D”，設於各相互連接之噴墨頭 (液滴材料吐出頭）22之複數之噴嘴27中位於最端部， 相互最接近者間之相互間隔爲W時，設定爲 W = m D (惟，m係2以上之整數） 之構成。即，於相互連接之噴墨頭（液滴材料吐出頭）22 間，相互連接之噴嘴27間的間隔W係成爲噴嘴27之排 列間隔D之整數倍地加以構成。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X29*7公釐） -66 - 561106 A7 B7 五、發明説明（64 ) 又，同時地，如圖1 ( b )所示，令列表頭（液滴材 料吐出機構）2 2 a之噴頭換行方向Y之副掃猫移動間隔爲 ”P”，噴嘴27之一定之排列間隔爲”D”時，設定爲 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) P = nD (惟，η係1以上之整數） 加以構成。即，噴墨頭（液滴材料吐出頭）22之副掃猫 之移動間隔Ρ係成爲噴嘴27之排列間隔D之整數倍地加 以構成。 於鄰接之噴墨頭（液滴材料吐出頭）間之噴嘴間隔w 、副掃瞄之移動間隔Ρ、及噴嘴之排列間隔D間，經由設 定爲上述之開係，於列表頭（液滴材料吐出機構）22a之 主掃瞄及副掃瞄時，將噴嘴27配向對向於所有之機能層 形成範圍，可通過此等之上，因此，可提高描繪效率，且 可以於切位置吐出墨水。然後由此，將均勻平面形狀均勻 厚度之機能層，即將畫素形成於基板2上。 然而，1個以上噴墨頭（液滴材料吐出頭）22係如圖 2所示，對於噴頭換行方向Y各設置0之角度之傾斜加以 排列。此角度Θ係較0度爲大，較1 80度爲小之角度。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 又，位於1個以上之噴墨頭（液滴材料吐出頭）22 之兩端部各1個以上之噴嘴27係可於基板2上之機能層 形成範圍，不吐出機能層形成材料地加以構成。 又，發光層形成材料係經由成爲R (紅）、G (綠） 及B (藍）之3類之發光層的材料加以形成。又，1個以 上之噴墨頭（液滴材料吐出頭）22係例如成爲圖1 5所示 之構成。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -67- 561106 A7 B7 五、發明説明（65 ) (電激發光基板之製造裝置之實施形態） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 有關本發明之電激發光基板之製造裝置係可與前述彩 色濾色片之製造裝置，基本上同樣地加以構成。即，有關 本發明之電激發光基板之製造裝置係裝造於基板上配設所 定形狀及所定厚度之機能層之電激發光基板的裝置。說明 此電激發光基板之製造裝置之一實施形態之裝置時，爲如 下。在此，機能層係包含正孔注入輸送層或發光層，機會g 層形成材料係包含正孔注入輸送層形成材料或發光層形成 材料。 例如本實施形態之電激發光基板之製造裝置係具有於 圖1，將複數之噴嘴27，以一定排列間隔D，將成爲列狀 加以排列的1個以上之噴墨頭（液滴材料吐出頭）22，以 所定之鄰接間隔加以排列而形成之列表頭（液滴材料吐出 機構）22a。自複數之噴嘴27，機能層形成材料向基板2 上之機能層形成範圍，選擇性吐出，由此，於基板2上形 成機能層。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 列表頭（液滴材料吐出機構）22a內之複數噴嘴27 中，連接未圖示之機能層形成材料供給手段，經由此機能 層形成材料供給手段之工作，於噴嘴27供給機能層形成 。又，於列表頭（液滴材料吐出機構）22a，連接未圖示 之主掃瞄驅動手段，經由此主掃瞄驅動手段之工作，列表 頭（液滴材料吐出機構）22a係向一定方向之噴頭掃瞄方 向（即，圖1(b)之縱方向X)移動，主掃瞄基板2。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -68- 561106 A7 __B7_ 五、發明説明（66 ) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 又，列表頭（液滴材料吐出機構）22a中，連接未g 示副掃瞄驅動手段，經由此副掃瞄驅動手段之X作，歹jl表 頭（液滴材料吐出機構）22a係向正交於點掃瞄方向χ & 方向之噴頭換行方向（即，圖1之（a)橫方向γ)移動 ，以所定之移動間隔（P )，副掃瞄基板2。又，於複數 之噴嘴27中，連接噴嘴吐出控制手段，經由此噴嘴吐出 控制手段之工作’控制自噴嘴27吐出之機能層形成材料 之吐出量及吐出時期。 列表頭（液滴材料吐出機構）22a係向一定方向之_ 頭掃猫方向（即，圖1(a)之縱方向X)移動，掃猫基 板2。然後，同時列表頭（液滴材料吐出機構）2 2 a係向 噴頭換行方向Y，以所定之移動間隔P，副掃瞄基板2。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 上述之主掃瞄及副掃瞄間，自排列成爲i個以上之噴 墨頭（液滴材料吐出頭）22之複數之噴嘴27，將機能層 形成材料向基板2上之機能層形成範圍，選擇性吐出。更 且’依需要，複數次重覆主掃瞄及副掃，將機能層材料， 於基板2上之機能層材料形成範圍，以所定形狀及所定厚 度加以附著。由此，於基板2上，形成所定形狀及所定厚 度之機能層。 又，有關本實施形態之電激發基板之製造裝置，令噴 嘴27之一定之排列間隔爲”D”，設於各相互連接之噴墨頭 (液滴材料吐出頭）22之複數之噴嘴27中位於最端部， 相互最接近者間之相互間隔爲W時，設定爲 W = m D (惟，m係2以上之整數） 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -69- 經濟部智慈財產局員工消費合作社印製 561106 A7 B7 五、發明説明（67 ) 之構成。即，於相互連接之噴墨頭（液滴材料吐出頭）22 間，相互連接之噴嘴27間的間隔W係成爲噴嘴27之排 列間隔D之整數倍地加以構成。 又，同時地，如圖1 ( b )所示’令列表頭（液滴材 料吐出機構）22a之噴頭換行方向Y之副掃瞄移動間隔爲 ”P”，噴嘴27·之一定之排列間隔爲”D”時，設定爲 P = n D (惟，η係1以上之整數） 加以構成。即，噴墨頭（液滴材料吐出頭）22之副掃瞄 之移動間隔Ρ係成爲噴嘴27之排列間隔D之整數倍地加 以構成。 於鄰接之噴墨頭（液滴材料吐出頭）間之噴嘴間隔W 、副掃瞄之移動間隔Ρ、及噴嘴之排列間隔D間，經由設 定爲上述之開係，於列表頭（液滴材料吐出機構）22a之 主掃瞄及副掃瞄時，將噴嘴27配向對向於所有之機能層 形成範圍，可通過此等之上’因此，可提高描繪效率，且 可以於切位置吐出墨水。然後由此，將均勻平面形狀均勻 厚度之機能層，即將畫素形成於基板2上。 然而，1個以上噴墨頭（液滴材料吐出頭）22係如圖 2所示，對於噴頭換行方向Y各設置β之角度之傾斜加以 排列。此角度0係較〇度爲大，較1 80度爲小之角度。 (電激發光基板之製造方法及製造裝置之變形例） 又，例如以上說明之電激發光基板之製造方法及製造 裝置之實施例中，具有排列母板基板12之複數面板單位 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)

本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X297公釐） -70- 561106 A7 B7 五、發明説明（68 ) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 11，使用較此等之面板單位11爲小之噴墨頭（液滴材料 吐出頭）22，於各面板單位11內，例示形成機能層時， 使用較1個之面板單位11之一邊爲長，但較母板基板12 之一邊爲短之長度的噴嘴列28，於1個之母板基板12內 ，形成機能層亦可。 又，例示具有排列母板基板1 2之複數之面板單位i i 之情形，僅與母板基板1 2幾近大小同樣或較其更小之1 個之面板單位11，構成於母板基板1 2中之情形爲佳。 又，於圖8及圖9所示噴墨手段（液滴材料吐出手段 )16中，將列表頭（液滴材料吐出機構）22a向X方向移 動，主掃瞄基板1 2，將基板1 2經由副掃瞄驅動手段2 1 向Y方向移動，藉由列表頭（液滴材料吐出機構）22a , 副掃瞄基板1 2 ’但與此相反，亦可經由向基板1 2之Y方 向的移動，執行主掃瞄，經由向噴墨頭（液滴材料吐出頭 )22之X方向的移動，進行副掃瞄。 (電激發光基板之製造方法及製造裝置之實施形態） 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 有關本發明之電激發光基板之製造方法及製造裝置之 構成，係與前述液晶顯示裝置之製造方法及製造裝置之時 基本上爲同樣的。即，有關本發明之電激發光基板之製造 方法之一實施形態中，經由前述電激發光基板之製造方法 製作電激發光基板，由所得電激發光基板切出所定數之面 板單位。 然後，更且於使用於此面板單位之電激發光基板之基 -71 - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 561106 A7 B7 五、發明説明（69 ) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 板（即，共通電極基板）上，形成保護層，和共通電極的 同時，對向於上述共通電極基板，於構成一對之基板的基 板（即，顯示點電極基板）上，對向於共通電極，形成構 成一對之電極的顯示點電極。 又，有關本發明之電激發光裝置之製造裝置係製造具 有一方之基板，例如共通電極基板，和對向此之另一方之 基板，例如顯示點電極基板的電激發光裝置的裝置。於共 通電極基板上，配設所定形狀及所定厚度之機能層，由此 ，形成電激發光基板。又，於共通電極基板上，更形成保 護層、和共通電極。又，於對各於共通電極基板之顯示點 電極基板上，對向於共通電極，形成構成一對電極之閻示 點電極。 (電激發光基板之製造方法及製造裝置之實施形態） 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 圖23係將有關本發明之電激發光裝置之製造方法之 一實施形態，經由工程圖加以顯示。又，圖24係顯示對 應圖23工程圖之各工程的電激發光裝置之斷面構造。如 圖24 ( d)所示，電激發光裝置201係於透明基板204上 ，形成畫素電極202，於各畫素電極202間，將區庫205 自箭頭G方向視之，形成成爲格子狀，於此等之格子狀 凹部中，形成正孔注入輸送層220，成爲自箭頭G方向視 之條紋排列等之所定排列，將R色發光層（機能層） 203R、G色發光層（機能層）203G、B色發光層（機能層 )203B形成於各格子狀凹部中，更且於此等上經由形成 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -72- 561106 A7 B7 五、發明説明（70 ) 對向電極2 1 3而形成。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 於將上述畫素電極202經由TFD (薄膜二極體）元件 等之2端子型之主動元件加以驅動之時，上述對向電極 2 1 3係做爲單一之面電極加以形成。 經由各畫素電極202和各對向電極213挾持之範圍則 成爲一個顯示點，R (紅）、G (綠）及B (藍）3色之顯 示點成爲1個單元，形成1個畫素。經由控制流動於各顯 示點之電流，選擇性發光複數之顯示點中之所期望者，由 此’於箭頭Η方向，可顯示期望之全彩像。 上述電激發光裝置201係經由例如圖23所煽之製造 方法加以製造。即，如工程Ρ51及圖24 ( a )，於透明基 板204之表面，形成TFD元件或TFT元件等之主動元件 ’更且形成畫素電極202。做爲形成方法，例如可使用光 蝕刻法，真空蒸著法，濺鍍法、熱溶膠法等。做爲畫素電 極之材料，可使用ITO、氧化錫、氧化銦和氧化鋅之複合 氧化物等。 經濟部智慧財產局S工消費合作社印製 接著，如工程P52及圖24 ( a )所示，將間隔壁即儲 存所205，使用公知之圖案化手法，例如使用微縮術法加 以形成，經由此儲存所205，埋入各透明電極202之間。 由此’可對比之提升，機能層形成材料之混色之防止，防 止畫素和畫素間之漏光等。做爲儲存所205之材料，對於 機能層形成材料之溶媒，具有耐久性時，則不特別加以限 定’經由氟碳氣電漿處理可氟樹脂化者即可，例如丙烯酸 樹脂、環氧樹脂、感光性聚醯亞胺等之有機材料爲佳。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -73- 561106 A7 _B7_ 五、發明説明（71 ) 接著，於塗佈正孔注入層形成材料（機能層形成材料 )之前，於基板204，進行氧氣和氟碳氣電漿之連續電漿 處理（工程P53 )。由此，聚醯亞胺表面係被排水化， (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) ITO表面會親水化，將噴墨法滴微細圖案化之基板側之濕 潤性之控制。做爲產生電漿之裝置，係於真空中產生電漿 裝置亦可，於大氣中產生電漿裝置。 接著，工程P54及如圖24 ( a )所示，將正孔注入層 形成材料（機能層形成材料），自圖8所示噴墨手段（液 滴材料吐出手段）1 6之噴墨頭（液滴材料吐出頭）22吐 出’於各畫素電極202，進行圖案化塗佈。具體之噴墨頭 (液滴材料吐出頭）之控制方法係可使用前述之方法。以 該塗佈後，真空（例如11 〇 〇 r )中，室溫，2 0分之條件下 ’除去溶媒（工程P55 )，之後，於大氣中，20°C (例如 加熱板上），10分之熱處理，形成與發光層形成材料（ 機能層形成材料）不相溶之正孔注入層形成材料（機能層 形成材料）220 (工程P56)。膜厚係成爲4〇nm程度。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 接者’工程P57及如圖24 ( b )所示，於各濾、色片元 件範圍內之正孔注入輸送層22〇上，使用噴墨手法，塗佈 R發光層形成材料（機能層形成材料）及G發光層形成材 料（機能層形成材料）。在此，各發光層形成材料（機能 層形成材料）係自圖8所示噴墨手段（液滴材料吐出手段 )16之噴墨頭（液滴材料吐出頭）22吐出，更且做爲噴 墨頭（液滴材料吐出頭）之控制方式，可使用前述之方法 。根據噴墨方式時，可將微細之圖案化簡易且短時間地加

-74- 561106 A7 B7 五、發明説明（72 ) 以進行。又’經由改變墨水組成物之固體部分濃度及吐出 量，改變膜厚。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 發光層形成材料（機能層形成材料）之塗佈後，以真 空（例如ltorr)中，室溫、20分等之條件，除去溶媒（ 工程5 8 )，接著，經由氮氣氛中，1 5 0 °C、4小時程度之 熱處理加以共軛化，發光層係不溶於溶媒。 然而，形成發光層之前，於正孔注入輸送層220，進 行氧氣和氟碳電漿之連續電漿處理亦可。由此，於正孔注 入輸送層220上形成氧化物層，經由提升雜子化電位，增 加正孔注入效率，提供發光效率高之有機電激發光裝置。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 接著，工程P60及如圖24(c)所示，將B色發光層 20 3B，重疊於各顯示內之R色發光層20 3R、G色發光層 203G及正孔注入輸送層220加以形成。由此，不僅形成 R (紅）、G (綠）、B (藍）之3原色，掩埋R色發光層 203R及G色發光層203G及B色發光層203B之階差，加 以平坦化。由此，可確實防止上下電極間之短路，經由調 整B色發光層203B之膜厚，B色發光層203B係於R色 發光層203R及G色發光層203G之堆積構造，做爲電子 植入輸送層作用，不發光爲B色。 以上，做爲B色發光層203B之形成方法，例如做爲 濕式法，一般使用旋轉塗佈法亦可，使用與R色發光層 203R及G色發光層203G之形成法同樣之噴墨法亦可之後 ，工程P61及圖24 ( d)所示，經由形成對向電極213， 可製造目標之電激發光裝置201。當對向電極213爲面電 -75- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 561106 A7 _B7_ 五、發明説明（73 ) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 極之時，例如可將Mg、Ag、Al、Li等做爲材料，使用蒸 著法、濺鍍法等之成膜法加以形成。又，對向電極21 3爲 條紋電極狀之時，將成膜之電極層使用微縮術法等之圖案 化手法加以形成。 根據以上逆明之電激發光裝置之製造方法及製造裝置 時，做爲噴墨頭（液滴材料吐出頭）之控制方法，可使用 前述之控制方法。即使，於複數之噴嘴27間，於機能層 形成材料吐出量有不均存在之時，於複數之顯示點間，可 防止膜厚產生不均，因此可使電激發光裝置之發光分布特 性平坦且均勻化。此係意味於圖24 ( d )所示電激發光裝 置20 1中，可得顏色鮮明無色斑駁之彩色顯示。 又，本發明之電激發光裝置之製造方法及製造裝置中 ’經由使用圖8所示之噴墨手段（液滴材料吐出手段）i 6 ’經由使用列表頭（液滴材料吐出機構）2 2 a之機能層形 成材料吐出’形成R (紅）、G (綠）、B (藍）之各色 顯示點之故’無需經過使用微縮術法等之方法之複雜工程 ，且無材料上之浪費。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 (成膜方法及成膜裝置之實施形態） 有關本發明之成膜裝置係可使用圖8所示噴墨手段（ 液滴材料吐出手段）1 6之構成。又做爲使用該噴墨手段 (液滴材料吐出手段）1 6之噴墨頭（液滴材料吐出頭） 22 ’可使用圖1、圖2、圖3、圖4、圖1〇、圖11、圖12 、圖13、圖14、圖15、圖16及圖19所示噴墨頭（液滴

561106 A7 B7 五、發明説明（74 ) 材料吐出頭）。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 唯，自此等之噴墨頭（液滴材料吐出頭）22等之噴 嘴27吐出的墨水匣係於本實施形態之時，爲膜材料。此 膜材料係對應於形成於基板上之膜的種類，適切地加以選 定。膜之花紋，即圖案係噴墨頭（液滴材料吐出頭）22 令2基板於主掃瞄及副掃瞄間，經由適切控制吐出膜材料 的噴嘴27，自由加以選定。 又，有關本發明之成膜方法，係將圖8所示之噴墨手 段（液滴材料吐出手段）1 6使用圖1 7所示控制電路，根 據圖1 8所示之控制程式加以實現。但，在此時，自噴墨 頭（液滴材料吐出頭）22吐出之墨水爲對應欲形成於基 板上之膜的種類所選定之膜材料。 (電子機器之實施形態） 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 以下，顯示做爲有關本發明之光電裝置，使用上述本 發明之液晶顯示裝置之電子機器爲例。在此，顯示了使用 上述本發明之液晶顯示裝置之電子機器，但不限定於此， 本發明之電子機器可爲使用上述本發明之電激發光裝置， 或使用上述本發明之成膜方法製造之光電裝置亦可。 (1 )數位相機 對於將有關本發明之第4之實施形態之液晶顯示裝置 11 00，使用觀景器的數位相機加以說明。圖27係顯示數 位相機之構成的斜視圖，更且對於與外部機器之連接亦簡 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -77- 561106 A7 B7 五、發明説明（75 ) 易地加以顯示° (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 通常之相機係對於經由被攝體之光像感光軟片，數位 相機係將被攝體之光像，經由CCD等之攝像元件光電變 換，生成攝像信號。在此’數位相機2000之殼體2202之 背面（圖27爲前面側），設置上述液晶顯示裝置1100之 液晶面板，根據CCD所成之攝像信號，進行顯示而構成 。爲此，液晶顯示裝置11〇〇係做爲顯示被攝體之觀景器 加以工作。又，於殼體2202之前面側（於圖27爲背面側 )，設置包含光學透鏡或CCD等之受光單元2204。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 在此，攝影者確認顯示於液晶顯示裝置11 〇〇之被攝 體像，按下快門鈕2206時’此時之CCD之攝像信號傳送 •收容於電路基板2208之記憶體。又，於此數位相機中 ，於殼體2 2 0 2之側面’設置視訊信號輸出端子2 2 1 2，和 資料通訊用之輸出入端子2214。然後，如圖27所示，依 需要，於前述視訊信號輸出端子2212連接電視監視器 23 00，又，於後者之資料通訊用之輸出入端子2214，連 接個人電腦2400。更且，經由所定之操作，收容於電路 基板2208之記憶體的攝像信號，則輸出至電視監視器 2300，或連接個人電腦2400而構成。 (2)攜帶電話機，其他之電子機器 圖28(A) 、（ B)及（C)係做爲有關本發明之光電 裝置使用液晶顯示裝置，顯示其他之電子機器之例的外觀 圖。圖28 ( A )係攜帶電話機3000，於其前方上面，具備 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -78- 561106 A 7 B7 五、發明説明（76 ) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 液晶顯示裝置1100。圖28(B)係手錶4000’於本體之 前面中央，設置使用液晶顯示裝置11 〇〇之顯示部。圖28 (C)係攜帶資訊機器5000，具備液晶顯示裝置1100所 成顯示部和輸入部5100。 此等之電子機器係除了液晶顯示裝置Π00外，雖未 圖示，包含顯示輸出源、顯示資訊處理電路、時脈產生電 路等之各種電路，或於此等之電路供給電力之電源電路等 所成顯示信號生成部加以構成。於顯示部，例如於攜帶資 訊機器5000之情形，根據自輸入部5100輸入之資訊等， 經由供給顯示信號生成部生成之信號，形成顯示畫像。 做爲組裝有關本發明之液晶顯示裝置1100之電子機 器，不限於數位相機、可有呼叫器、POS終端、1C卡、 MD播放器、液晶投影機、對應多媒體之個人電腦（PC ) 及工程用工作站（EWS )、筆記型個人電腦、文字處理器 、電視、觀景型或監視型之攝錄影機、電子筆記本、電子 計算機、汽車導航裝置、具備觸控板之裝置，手錶等各種 電子機器。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 (其他之實施形態） 本發明係不限定於上述實施形態，可使用所有於基材 上施以微細圖之工業技術。例如可做爲各種半導體元件（ 例如薄膜電晶體、薄膜二極體），配線圖案、及絕緣膜之 形成等做爲該利用範圍之一例加以考量。 又’於本發明’做爲吐出材料，對應形成要素，可進 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -79- 經濟部智慧財產局8工消費合作社印製 56U〇6 A7 ^_一_B7_____ 五、發明説明（77 ) 行種種選擇，例如除了上述濾色片材料、機能層形成材料 、膜形成材料外，矽玻璃先驅體、金屬化合物等之導電性 才料、介電質材料，或半導體材料等爲一例加以考量。又 ’例如’使用本發明，於基板上或設於基板之薄膜上，可 形成金屬配線。 又’於上述實施形態，爲與其他之構成要素明確化稱 「噴墨頭（液滴材料吐出頭）」，自此噴墨頭（液滴材料 吐出頭）吐出之吐出物係不限定於墨水，可爲例如前述之 機#層形成材料，砂玻璃先驅體、金屬化合物等之導電性 材料、介電質材料或半導體材料等之各種。 又，於上述實施形態中，使用利用壓電元件之彎曲變 形，吐出墨水（液體狀材料）之構造的噴墨頭（液滴材料 吐出頭），亦可使用其他任意構造之噴墨頭（液滴材料吐 出頭），例如利用墨水（液體狀材料）之熱膨脹的熱噴墨 方式的噴墨頭（液滴材料吐出頭）亦可。 又，本發明係不限於液晶裝置及電激發光裝置等之光 電裝置，可適用需要於基板上形成彩色濾色片、金屬配線 等之各種膜的所有光電裝置。例如對於無機電激發光裝置 、電漿顯示裝置、電泳顯示裝置、場發射顯示裝置等之光 電裝置，可適用本發明。 又，圖2 1所示之光電裝置之一例的液晶顯示裝置爲 單純矩陣方式之液晶顯示裝置，本發明係亦可適用於將 TFD等之2端子型開關元件做爲主動元件加以使用之構造 的主動矩陣方式之光電裝置，或將TFT等之3端子型開 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)

-80- 561106 A7 B7 五、發明説明（78 ) 關元件做爲主動元件加以使用之構造的主動矩陣方式之光 電裝置等。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 【發明之效果】 如以上之說明，根據本發明，列表頭（液滴材料吐出 機構）之掃瞄時，噴墨頭（液滴材料吐出頭）之構成要素 之所有噴嘴可正確通過畫素形成之範圍上。因此，描繪效 率爲高，於適切之位置，吐出墨水地，正確移動噴墨頭（ 液滴材料吐出頭），掃瞄對象物。 更且，防止每畫素之色之不均，可平面性均勻化彩色 濾色片之光透過特性、液晶顯示裝置之彩色顯示特性，機 能層之發光特性等之光學構件之光學特性。 【圖面之簡單說明】 【圖1】 顯示有關本發明之彩色濾色片製造方法之一實施形態 之主要工程的平面圖。 【圖2】 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 顯示有關本發明之彩色濾色片之製造方法之其他之實 施形態，將噴墨頭（液滴材料吐出頭）22對於噴頭換行 方向Y設置角度0之傾斜加以排列時之實施形態的平面 圖。 【圖3】 顯示有關本發明之彩色濾色片之製造方法之列表頭（ 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -81 - 561106 A7 ____ B7 五、發明説明（79 ) 液滴材料吐出機構）之一例的斜視圖。 【圖4】 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 顯示有關本發明之彩色濾色片之製造方法之列表！I ( 液滴材料吐出機構）之其他例的斜視圖。 【圖5】 顯示有關本發明之彩色濾色片之製造裝置及經由 造裝置所得之彩色濾色片之平面形狀的平面圖，尤其（a )顯示切成彩色濾色片前之母板整體，（b )係顯示切成 1個之彩色濾色片。 【圖6】 將有關本發明之彩色濾色片之製造方法之主要工程， 經由彩色濾色片之截面構成之變化加以顯示，顯示截面構 造之各圖你顯示根據圖5(b)之VII-VII線的彩色濾色片 之截面構成之變化。尤其，（a )顯示吐出濾色片前之狀 態，（b )顯示吐出濾色片後之狀態，（c )顯示配設濾色 片元件之狀態，（d )更顯示形成保護膜之狀態。 【圖7】 經濟部智慈財產局員工消費合作社印製 顯示彩色濾色片之R (紅）、G (綠）、B (藍）之3 色之顯示點之排列側的平面圖。 【圖8】 顯示構成有關本發明之彩色濾色片之製造裝置、'液晶 顯示裝置之製造裝置及電激發光裝置之各製造裝置之主要 部份的噴墨手段（液滴材料吐出手段）之一實施形態的斜 視圖。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -82- 561106 A7 B7 五、發明説明（8〇 ) 【圖9】 擴大圖8所手段之主要部加以顯示之斜視圖。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 【圖10】 擴大圖9所示主要部之噴墨頭（液滴材料吐出頭）加 以顯示之斜視圖。 【圖11】 顯示噴墨頭（液滴材料吐出頭）之改變例的斜視圖。 【圖12】 顯示噴墨頭（液滴材料吐出頭）之其他改變例的平面 圖。 【圖13】 顯示噴墨頭（液滴材料吐出頭）之另一改變例的平面 【圖14】 顯示噴墨頭（液滴材料吐出頭）之另一改變例的平面 圖。 【圖15】 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 顯示噴墨頭（液滴材料吐出頭）之內部構造之一例圖 ，（a )係一部分剖面該內部構造加以顯示之斜視圖，（b )係根據（a )之線顯示截面構造的截面圖。 【圖1 6】 顯示噴墨頭（液滴材料吐出頭）之另一改變例的平面 圖。 【圖17】 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -83 - 561106 A7 _B7 五、發明説明（81 ) 顯示使用於圖8所煽之噴墨頭（液滴材料吐出頭）手 段之電氣控制系的方塊圖。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 【圖18】 顯示經由圖1 7所示控制系執行之控制之流動之流程 圖。 【圖19】 顯示噴墨頭（液滴材料吐出頭）之另一改變例的斜視 圖。 【圖20】 顯示有關本發明之液晶顯示裝置之製造方法之一實施 形態的工程圖。 【圖2 1】 將根據有關本發明之液晶顯示裝置之製造方法製造之 液晶裝置之一例，以分解狀態加以顯示的斜視圖。 【圖22】 根據圖21之X-X線顯示液晶顯示裝置之截面構造的 截面圖。 【圖23】 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 顯示有關本發明之電激發光裝置之製造方法之一實施 形態的工程圖。 【圖24】 對應顯示圖23之工程圖的電激發光裝置之截面圖。 【圖25】 顯示以往之彩色濾色片之製造方法之一例的平面圖。 -84- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 561106 A7 B7_ 五、發明説明（82 ) 【圖2 6】 爲說明以往之彩色濾色片之特性圖。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 【圖27】 顯示做爲本發明之電子機器之實施形態之一例的數位 相機的斜視圖。 【圖2 8】 (A)〜（C)係顯示本發明之電子機器之適用例’( A)係攜帶電話機，（B)爲手錶，（C)爲攜帶資訊機器 【符號之說明】 1 彩色濾色片 2 基板 3 濾色片單元 4 保護膜 6 間隔壁 7 濾色片元件形成範圍 經濟部智慈財產局員工消費合作社印製 11 彩色濾色片形成範圍（面板單位） 12 母板基板 13 濾色片材料 16 噴墨手段（液滴材料吐出手段） 17 噴頭位置控制手段 18 基板位置控制手段 19 主掃瞄驅動手段 本紙張尺度適用中國國参標準（CNS ) A4規格（210X297公着） -85- 561106 A7 B7 五、發明説明（83 ) 21 副掃瞄驅動手段 22 噴墨頭（液滴材料吐出頭） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 22A噴墨頭（液滴材料吐出頭） 22a列表頭（液滴材料吐出機構） 26 噴頭單元 27 噴嘴 28 噴嘴列 39 墨水加壓體 41 壓電元件 49 工作台 76 遮蓋手段 77 淸潔手段 78 電子天平 81 噴頭用攝影機 82 基板用攝影機 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 101液晶顯示裝置 102 液晶面板 107a，107b 基板 1 1 1 a，111 b 基板 114a j 114b 電極 201電激發光裝置 202 畫素電極 203R、203G、203B發光層（機能層） 204基板 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -86- 561106 Α7 Β7 五、發明説明（84) 205儲存所 213 對向電極 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 220 正孔注入輸送層（機能層） D 噴嘴之排列間隔 L 液晶 Μ 濾色片材料 Ρ 副掃瞄方向之移動間隔 Q 墨水特性 W 於噴墨頭端部最接近之噴嘴間之相互間隔 X 噴頭掃瞄方向 Υ 副掃瞄方向 1 100液晶顯示裝置 2000數位相機 2002殼體 2204光學單元 2206快門鈕 2208電路基板 2212視訊信號輸出端子 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 2214資料通訊用之輸出入端子 2300電視監視器 2400個人電腦 3000攜帶電話機 4000手錶 5000攜帶資訊機器 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X297公釐） -87- 561106 A7 B7 五、發明説明（85 )5100輸入部 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -88-

Claims (1)

1. 561106 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍 1 1、 一種彩色濾色片之製造方法’其特徵係具備 將複數之噴嘴以所定之間隔排列的複數之噴頭’向噴 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁} 頭掃瞄方向移動，主掃瞄基板的工程， 和在交叉於前述噴頭掃瞄方向之噴頭換行方向’以所 定之移動間隔加以移動，副掃瞄前述基板之工程， 和自前述複數之噴嘴，將濾色片材料吐出至前述基板 上之濾色片元素形成範圍的工程； 前述複數之噴頭中，位於鄰接噴頭之各最端部的前述 噴嘴間之相互間隔（W)及前述噴嘴之一定之排列間隔（ D)係實質上滿足 W = m D (惟，m係2以上之整數） 之關係式， 前述噴頭之副掃瞄移動間隔（P )及前述噴嘴之一定 之排列間隔（D )係實質上滿足 P = n D (惟，η係1以上之整數） 之關係式。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 2、 如申請專利範圍第1項之彩色濾色片之製造方法 ，其中，將前述噴頭對於前述噴頭換行方向，以〇° <0 <180°之角度加以排列， 位於鄰接噴頭之各最端部的前述噴嘴間之相互間隔（ W )及前述噴嘴之前述換行方向之排列間隔（Dcos 0 )係 實質上滿足 W = mDcos0 (惟，m係2以上之整數） 之關係式， 本紙張尺度逋用中國國家揉準（CNS ) A4規格（210 X 297公釐） -89- 561106 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍 2 前述噴頭之前述噴頭換行方向之副掃瞄移動間隔（P )及前述噴嘴之前述噴頭換行方向之排列間隔（DCOS0 ) 係實質上滿足 P = n Dcos 0 (惟，η係1以上之整數） 之關係式。 3、 如申請專利範圍第1項或第2項之彩色濾色片之 製造方法，其中，位於前述噴頭之端部的前述噴嘴係於前 述基板上之前述濾色片元素形成範圍，不吐出前述濾色片 材料地加以構成。 4、 如申請專利範圍第1項或第2項之彩色濾色片之 製造方法，其中，將前述濾色片材料由複數色之液體狀材 料所構成， 包含於各前述複數之噴頭的前述複數之噴嘴，吐出前 述複數色中之一部份者。 5、 如申請專利範圍第1項或第2項之彩色濾色片之 製造方法，其中，將前述濾色片材料由複數色之液體狀材 料所構成， 包含於各前述複數之噴頭的前述複數之噴嘴，吐出各 前述複數色者。 6、 一種彩色濾色片之製造裝置，其特徵係具有 吐出液滴狀之濾色片材料的複數之噴嘴， 和將前述複數之噴嘴以一定之排列間隔（D )加以排 列的複數之噴頭， 和將前述噴頭向噴頭掃瞄方向移動之主掃瞄驅動手段 本紙張尺度適用中國國家揉準（CNS ) Α4规格（210Χ297公釐） 丨|^----^---%II (請先聞讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 •90- 561106 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍 3 和將前述噴頭向交叉於前述噴頭掃瞄方向之噴頭換行 方向’以所定之移動間隔（P )加以移動之副掃瞄驅動手 段； 前述複數之噴頭中，位於鄰接噴頭之各最端部的前述 噴嘴間之相互間隔（W)及前述噴嘴之一定之排列間隔（ D )係實質上滿足 W = m D (惟，m係2以上之整數） 之關係式， 前述噴頭之副掃瞄移動間隔（P )及前述噴嘴之一定 之排列間隔（D )係實質上滿足 P = n D (惟，η係1以上之整數） 之關係式。 7、如申請專利範圍第6項之彩色濾色片之製造裝置 ，其中，將前述噴頭對於前述噴頭換行方向，以〇° <θ <180°之角度加以排列， 位於鄰接噴頭之各最端部的前述噴嘴間之相互間隔（ W )及前述噴嘴之前述換行方向之排列間隔（Dcos Θ )係 實質上滿足 W = m Dcos Θ (惟，m係2以上之整數） 之關係式， 前述噴頭之前述噴頭換行方向之副掃瞄移動間隔（P )及前述噴嘴之前述噴頭換行方向之排列間隔（Dcos~ ) 係實質上滿足 本紙張尺度逋用中國國家糅準（CNS ) Α4规格（210X297公羡） ^--------- (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 、^Τ 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -91 - 561106 A8 B8 C8 __ D8 六、申請專利範圍 4 P = n Dcos 0 (惟，η係1以上之整數） 之關係式。 8、 一種液晶顯示裝置之製造方法，屬於具備形成彩 色濾色片之工程的液晶顯示裝置之製造方法中，其特徵係 經由如申請專利範圍第1項或第2項所記載之彩色濾色片 之製造方法形成彩色濾色片者。 9、 一種液晶顯示裝置之製造裝置，屬於製造具備彩 色濾色片之液晶顯示裝置之製造裝置中，其特徵係具備如 申請專利範圍第6項或第7項所記載之彩色濾色片之製造 裝置而成者。 10、 一種電激發光基板之製造方法，其特徵係具備‘ 將複數之噴嘴以所定之間隔排列的複數之噴頭，向噴 頭掃瞄方向移動，主掃瞄基板的工程， 和在交叉於前述噴頭掃瞄方向之噴頭換行方向，以戶斤 定之移動間隔加以移動，副掃瞄前述基板之工程， 和自前述複數之噴嘴，將機能層形成材料吐出至前述 基板上之機能層形成範圍的工程； 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 n^i 111 ·ϋϋ I (请先閱讀背面之注意事項再填寫本頁} 訂 前述複數之噴頭中，位於鄰接噴頭之各最端部的前述 噴嘴間之相互間隔（w)及前述噴嘴之一定之排列間隔（ D)係實質上滿足 W = m D (惟，m係2以上之整數） 之關係式， 前述噴頭之副掃瞄移動間隔（P )及前述噴嘴之一定 之排列間隔（D )係實質上滿足 本紙張尺度適用中國國家揉準（CNS ) A4規格（210X297公瘦3 ~ 561106 A8 Β8 C8 _ D8 六、申請專利範圍 5 P = n D (惟，η係1以上之整數） 之關係式。 11、如申請專利範圍第10項之電激發光基板之製造 方法，其中，將前述噴頭對於前述噴頭換行方向，以0° < 0 <180°之角度加以排列， 位於鄰接噴頭之各最端部的前述噴嘴間之相互間隔（ W)及前述噴嘴之前述換行方向之排列間隔（DCOS0 )係 實質上滿足 W = m Dcos 0 (惟，m係2以上之整數） 之關係式， 前述噴頭之前述噴頭換行方向之副掃瞄移動間隔（P )及前述噴嘴之前述噴頭換行方向之排列間隔（Dcos 0 ) 係實質上滿足 P = n Dcos 0 (惟，η係1以上之整數） 之關係式。 1 2、如申請專利範圍第1 〇項或第11項之電激發光基 板之製造方法，其中，位於前述噴頭之端部的前述噴嘴係 於前述基板上之前述機能層形成範圍，不吐出前述前述機 能層形成材料地加以構成。 13、 如申請專利範圍第1〇項或第11項之電激發光基 板之製造方法，其中，前述機能層形成材料係發光層形成 材料。 14、 如申請專利範圍第10項或第π項之電激發光基 板之製造方法，其中，前述機能層形成材料係正孔植入輸 本紙張尺度適用中國國家揉準（CNS ) Α4規格（210X297公釐） 7-------— (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁〕 π- 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -93- 561106 A8 B8 C8 D8 、申請專利範圍6 送層形成材料。 15 '如申請專利範圍第1〇項或第η項之電激發光基 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 造方法，其中，前述機能層形成材料係包含經由發 %»开彡成材料及正孔植入輸送層形成材料所成群選擇之材 料。 1 6 '如申請專利範圍第丨3項之電激發光基板之製造 力丨去’其中，前述發光層形成材料係包含發光色之不同之 複數材料， 各前述噴頭，將各對應於前述發光色之不同之複數材 料中的一個，自各前述噴嘴吐出。 17、 如申請專利範圍第13項之電激發光基板之製造 方法’其中，前述發光層形成材料係包含發光色之不同之 複數材料， 各前述複數之噴嘴，吐出各對應於前述發光色之不同 之複數材料中的一個。 18、 一種電激發光基板之製造裝置，其特徵係具有 吐出液滴狀之機能層形成材料的複數之噴嘴， 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 和將前述複數之噴嘴以一定之排列間隔（D )加以排 列的複數之噴頭， 和將前述噴頭向噴頭掃瞄方向移動之主掃瞄驅動手段 和將前述噴頭向交叉於前述噴頭掃瞄方向之噴頭換行 方向’以所定之移動間隔（Ρ )加以移動之副掃瞄驅動手 段； 本紙張尺度逋用中鬮國家揉準（CNS ) Α4規格（210X297公釐） -94 - 561106 A8 B8 C8 ____ D8 六、申請專利範圍 7 前述複數之噴頭中，位於鄰接噴頭之各最端部的前述 噴嘴間之相互間隔（w)及前述噴嘴之一定之排列間隔（ D)係實質上滿足 W = m D (惟，m係2以上之整數） 之關係式， 前述噴頭之副掃瞄移動間隔（P)及前述噴嘴之一定 之排列間隔（D )係實質上滿足 P = n D (惟，n係1以上之整數） 之關係式。 19、 如申請專利範圍第18項之電激發光基板之製造 裝置，其中，將前述噴頭對於前述噴頭換行方向，以〇° < 0 <180°之角度加以排列， 位於鄰接噴頭之各最端部的前述噴嘴間之相互間隔（ W )及前述噴嘴之前述換行方向之排列間隔（Dcos 0 )係 實質上滿足 W = m Dcos 0 (惟，m係2以上之整數） 之關係式， 前述噴頭之前述噴頭換行方向之副掃瞄移動間隔（P )及前述噴嘴之前述噴頭換行方向之排列間隔（Dcos 0 ) 係實質上滿足 P = nDcos0 (惟，η係1以上之整數） 之關係式。 20、 一種電激發光裝置之製造方法’屬於具備形成機 能層之工程的電激發光裝置之製造方法中’其特徵係經由 本紙張尺度適用中國國家揉準（CNS ) Α4规格（210Χ297公釐） ---^----。----- (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -95- 561106 B8 C8 D8 六、申請專利範圍 8 如申請專利範圍第10項或第11項所記載之電激發光基板 之製造方法形成機能層者。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 21、 一種電激發光裝置之製造裝置’屬於製造具備電 激發光基板之電激發光裝置之製造裝置中’其特徵係具備 如申請專利範圍第1 8項或第19項所記載之電激發光基板 之製造裝置而成者。 22、 一種噴頭掃瞄方法，其特徵係具備 將複數之噴嘴以所定之間隔排列的複數之噴頭’向噴 頭掃瞄方向移動，主掃瞄基板的工程’ 和在交叉於前述噴頭掃瞄方向之噴頭換行方向’以所 定之移動間隔加以移動，副掃瞄前述基板之工程’ 和自前述複數之噴嘴，將吐出材料吐出至前述基板的 工程； 前述複數之噴頭中，位於鄰接噴頭之各最端部的前述 噴嘴間之相互間隔（W)及前述噴嘴之一定之排列間隔（ D)係實質上滿足 W = m D (惟，m係2以上之整數） 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 之關係式， 前述噴頭之副掃瞄移動間隔（P )及前述噴嘴之一定 之排列間隔（D )係實質上滿足 P = n D (惟，η係1以上之整數） 之關係式。 23、 如申請專利範圍第22項之噴頭掃瞄方法，其中 ，將前述噴頭對於前述噴頭換行方向，以0。<0 <180°之 本紙張尺度適用中國國家揉準（CNS ) Α4規格（210X297公釐） ^ -96- 561106 B8 C8 D8 六、申請專利範圍 9 角度加以排列， 位於鄰接噴頭之各最端部的前述噴嘴間之相互間隔（ W )及前述噴嘴之前述換行方向之排列間隔（Dcos 0 )係 實質上滿足 W = m Dcos 0 (惟，m係2以上之整數） 之關係式， 前述噴頭之前述噴頭換行方向之副掃瞄移動間隔（P )及前述噴嘴之前述噴頭換行方向之排列間隔（Dc〇s0 ) 係實質上滿足 P = n Dcos 0 (惟，η係1以上之整數） 之關係式。 24、 如申請專利範圍第22項或第23項之噴頭掃瞄方 法，其中，位於前述噴頭之端部的前述噴嘴係於前述基板 上之吐出物附著範圍，不吐出前述吐出材料地加以構成。· 25、 如申請專利範圍第22項或第23項之噴頭掃瞄方 法，其中，前述吐出材料係包含特性之不同之複數材料， 各前述噴頭，將各對應於前述特性之不同之複數材料中的 一個，自各前述噴嘴吐出。 26、 如申請專利範圍第22項或第23項之噴頭掃瞄方 法，其中，前述吐出材料係包含特性之不同之複數材料， 各前述複數之噴嘴，吐出各對應於前述特性之不同之 複數材料中的一個。 27、 一種噴頭掃瞄裝置，其特徵係具有 吐出液滴狀之吐出材料的複數之噴嘴， 本紙張XAit用中ΗΗ家辟（CNS ) ( 210X297公釐) ---^---··---— (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -97- 561106 A8 Β8 C8 六、申請專利範圍 10 和將前述複數之噴嘴以一定之排列間隔（D )加以排 列的複數之噴頭， 和將前述噴頭向噴頭掃瞄方向移動之主掃瞄驅動手段 和將前述噴頭向交叉於前述噴頭掃瞄方向之噴頭換行 方向，以所定之移動間隔（P )加以移動之副掃瞄驅動手 段； 前述複數之噴頭中，位於鄰接噴頭之各最端部的前述 噴嘴間之相互間隔（W)及前述噴嘴之一定之排列間隔（ D)係實質上滿足 W = m D (惟，m係2以上之整數） 之關係式， 前述噴頭之副掃瞄移動間隔（P )及前述噴嘴之一定 之排列間隔（D )係實質上滿足 P = n D (惟，η係1以上之整數） 之關係式。 28、如申請專利範圍第27項之噴頭掃瞄裝置，其中 ，將前述噴頭對於前述噴頭換行方向，以0° <0<1 80°之 角度加以排列， 位於鄰接噴頭之各最端部的前述噴嘴間之相互間隔（ W)及前述噴嘴之前述換行方向之排列間隔（Dcos0 )係 實質上滿足 W = m Dcos 0 (惟，m係2以上之整數） 之關係式， 本紙張尺度逋用中國國家揉準（CNS ) A4規格（210X297公釐:> ' -98- ---^----^----- (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 561106 B8 C8 D8 ----:------ 六、申請專利範圍 11 前述噴頭之前述噴頭換行方向之副掃瞄移動間隔（p )及前述噴嘴之前述噴頭換行方向之排列間隔（Dcos θ ) 係實質上滿足 P = n Dcos 0 (惟，η係1以上之整數） 之關係式。 29、一種成膜方法，其特徵係具備 將複數之噴嘴以所定之間隔排列的複數之噴頭’向噴 頭掃瞄方向移動，主掃瞄基板的工程’ 和在交叉於前述噴頭掃瞄方向之噴頭換行方向’以所 定之移動間隔加以移動，副掃瞄基板之工程’ 和自前述複數之噴嘴’將膜材料吐出至則述基板上之 膜形成範圍的工程； 前述複數之噴頭中，位於鄰接噴頭之各最端部的前述 噴嘴間之相互間隔（W)及前述噴嘴之一定之排列間隔（ D )係實質上滿足 W^mD (惟，m係2以上之整數） 之關係式， 前述噴頭之副掃瞄移動間隔（P)及前述噴嘴之一定 之排列間隔（D )係實質上滿足 P与nD (惟，η係1以上之整數） 之關係式。 3〇、如申請專利範圍第29項之成膜方法，其中，將 前述噴頭對於前述噴頭換行方向，以〇° <0<18〇°之角度 加以排列， 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4规格（210Χ：297公釐） ；----；----- (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁} -、π 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -99 - 561106 Α8 Β8 C8 D8 六、申請專利範圍 12 位於鄰接噴頭之各最端部的前述噴嘴間之相互間隔（ W)及前述噴嘴之前述換行方向之排列間隔（DCOS0 )係 實質上滿足 W与m Dcos0 (惟，m係2以上之整數） 之關係式， 前述噴頭之前述噴頭換行方向之副掃瞄移動間隔（P )及前述噴嘴之前述噴頭換行方向之排列間隔（Dcos 0 ) 係實質上滿足 P与n Dcos 0 (惟，η係1以上之整數） 之關係式。 31、 如申請專利範圍第29項或第30項之成膜方法/ 其中，位於前述噴頭之端部的前述噴嘴係於前述基板上之 膜形成範圍，不吐出前述膜材料地加以構成。 32、 如申請專利範圍第29項或第30項之成膜方法， 其中，前述膜材料係包含特性之不同之複數之膜材料，各 前述噴頭，將各對應於前述特性之不同之複數之膜材料中 的一個，自各前述噴嘴吐出。 33、 如申請專利範圍第29項或第30項之成膜方法， 其中，前述膜材料係包含特性之不同之複數材料，各前述 複數之噴嘴，吐出各對應於前述特性之不同之複數材料中 的一個。 34、 一種成膜裝置，其特徵係具有 吐出液滴狀之膜材料的複數之噴嘴， 和將前述複數之噴嘴以一定之排列間隔（D )加以排 本紙張尺度適用中國國家揉率（CMS ) Α4規格（210Χ297公釐） ^----^---— (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -100- 561106 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍 13 列的複數之噴頭， 和將前述噴頭向噴頭掃瞄方向移動之主掃瞄驅動手段 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 和將前述噴頭向交叉於前述噴頭掃瞄方向之噴頭換行 方向，以所定之移動間隔（P )加以移動之副掃瞄驅動手 段； 前述複數之噴頭中，位於鄰接噴頭之各最端部的前述 噴嘴間之相互間隔（w)及前述噴嘴之一定之排列間隔（ D)係實質上滿足 W与mD (惟，m係2以上之整數） 之關係式， 前述噴頭之副掃瞄移動間隔（P)及前述噴嘴之一定 之排列間隔（D )係實質上滿足 P与nD (惟，η係1以上之整數） 之關係式。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 35、如申請專利範圍第34項之成膜裝置，其中，將 前述噴頭對於前述噴頭換行方向，以〇° <θ <180°之角度 加以排列， 位於鄰接噴頭之各最端部的前述噴嘴間之相互間隔（ W)及前述噴嘴之前述換行方向之排列間隔（Dcos0 )係 實質上滿足 W与m Dcos 0 (惟，m係2以上之整數） 之關係式， 前述噴頭之前述噴頭換行方向之副掃瞄移動間隔（P 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4规格i 210X297公釐) — -101 - 561106 Α8 Β8 C8 D8 六、申請專利範圍 14 )及前述噴嘴之前述噴頭換行方向之排列間隔（Dcos 0 ) 係實質上滿足 P与nDcos0 (惟，η係1以上之整數） 之關係式。 36、 一種光電裝置之製造方法，其特徵係使用如申請 專利範圍第29項或第30項之成膜方法者。 37、 一種光電裝置之製造裝置，其特徵係經由如申請 專利範圍第36項所記載之光電裝置之製造方法加以製造 〇 38、 一種電子機器，其特徵係包含如申請專利範圍第 37項所記載之光電裝置。 39、 一種電子機器，其特徵係包含經由如申請專利範 圍第8項所記載之液晶顯示裝置之製造方法所製造之液晶 顯示裝置。 4 0、一種電子機器，其特徵係包含經由如申請專利範 圍第20項所記載之電激發光裝置之製造方法所製造之電 激發光裝置。 ---^--------- (請先聞讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 本紙張尺度逍用中國國家揉準（CNS ) Α4規格（21〇><297公釐） -102-